TWI378234B - Inline automatic insepction apparatus and inline automatic detection system - Google Patents

Description

1378234 下一個線內自動檢查裝置，在該線內自動檢查裝置開始檢 查上述檢查對象物。下一個檢查對象物是通過第2個線內 自動檢查裝置的內部搬運部輸送至下一個線內自動檢查裝 置，和上述相同開始檢查，因此能夠有效率地檢查多數的 檢查對象物。

ί 發 rL 式 方 施 態 形 施 實 佳 最 之 明 的 關 相 態 形 施 實 明 發 本 明 說 邊 - 圖 附 照 參 邊 1 下 以 的態 關形 相施 態實 形明 施發 實本 明示 發表 本爲 示圖 表 2 爲第 圖 ， 1 圖 第視 。 透 置置 裝裝 查查 檢檢 otsn non 0 白 內內 線線 相關的線內自動檢查裝置側面圖，第3圖爲表示本發明實 施形態相關的線內自動檢査裝置其工件平台成傾斜狀態下 的側面圖，第4圖爲表示本發明實施形態相關的線內自動 檢查裝置其工件平台成傾斜狀態下的透視圖，第5圖爲表 示本發明實施形態相關的線內自動檢査裝置正面剖面圖 (第6圖的A-A線剖面圖），第6圖爲表示本發明實施形 態相關的線內自動檢查裝置正面圖，第7圖爲表示本發明 實施形態相關的線內自動檢查裝置正面剖面圖，第8圖爲 表示本發明實施形態相關線內自動檢查裝置的轉動機構透 視圖，第9圖爲表示發明實施形態相關線內自動檢查裝置 的粗定位單元裝置透視圖，第10圖爲表示本發明實施形 態相關線內自動檢查裝置的粗定位單元裝置組入在上游側 搬運部時的狀態透視圖，第Π圖爲表示本發明實施形態 -8- 1378234 相關線內自動檢查裝置的粗定位單元裝置組入在上游側搬 運部時的狀態平面圖，第1 2圖爲表示本發明實施形態相 關的線內自動檢查裝置複數組入在生產線時的線內自動檢 查系統透視圖。 線內自動檢查裝置1是一種組入在檢查對象物搬運路 徑的裝置。線內自動檢查裝置1是於各種檢查對象物的搬 運路徑進行該檢查對象物的檢查。檢查對象物的搬運路 徑，於此是以液晶面板的生產線爲例子進行說明。液晶面 板的生產線，通常是以輸送機構成，於該輸送機的途中去 除該輸送機的一部份然後組入線內自動檢查裝置1。 線內自動檢査裝置1，如第〗圖至第8圖所示，由上 游側搬運部2、檢査部3、下游側搬運部4、上游側移載部 5及下游側移載部6構成。 上游側搬運部2是將上述輸送機所搬運過來的液晶面 板8沿著搬運路徑搬運至檢查部3用的搬運裝置。上游側 搬運部2是在上述輸送機一部份去除的位置，配置在該輸 送機的上游側成彼此接近形成連續。該上游側搬運部2是 由輥式輸送機構成。上游側搬運部2，具體而言是由：隔 著一定間隔配設成平行的輥9;從各輥9兩側支撐著各輥 9使各輥9支撐成可旋轉的側壁10;可對液晶面板8的大 槪位置（粗位置）進行調整的粗定位單元裝置1 1 (參照第 10圖）：及上述輥9旋轉驅動用的驅動部（未圖示）所構 成。側壁10設有配合上述輸送機高度的腳部（未圖 示）。上述驅動部是被控制成和下述的下游側移載部6的 -9- 1378234 驅動部及下述的檢查部3的內部搬運部47的驅動部連 動，形成能夠順利搬運液晶面板8。 粗定位單元裝置1 1，是在上游側移載部5將液晶面板 8從上游側搬運部2轉移至下述的檢查部3的工件平台45 時，對液晶面板8的粗位置進行調整的裝置。粗定位單元 裝置11，如第9圖至第11圖所示，由縱向定位部13、橫 向定位部14及昇降部15構成。另，第9圖至第π圖所 示的上游側搬運部2的全體構成，雖是和第1圖所示的上 游側搬運部2在尺寸方面有些不同，但功能相同^ 縱向定位部1 3是在搬運至上游側搬運部2下游側端 部的液晶面板8轉移至檢查部3時，對液晶面板8的縱向 位置進行調整的裝置。縱向定位部13是由軌道17、滑件 1 8、缸筒1 9、支撐構件20及面板檢測感測器2 1構成。軌 道17是沿著上述搬運路徑配設，可將滑件18支撐成沿著 搬運路徑的縱向移動。軌道17是固定在上游側搬運部2 側。滑件18是可滑動地嵌合在軌道17，由軌道17支撐成 可沿著搬運路徑縱向移動。缸筒19是可對支撐構件20進 行支撐加以昇降的裝置。該缸筒19是可使用空氣缸筒、 油壓缸筒等既有的缸筒。於缸筒19連接有空氣壓或油壓 供應用的裝置（未圖示）。缸筒19是安裝在滑件18，形 成可沿著搬運路徑縱向移動。支撐構件20是從液晶面板8 下側直接接觸對液晶面板8進行支撐的構件。該支撐構件 20是以矽膠等構成。面板檢測感測器2 1是一種對液晶面 板8是否位於粗定位單元裝置1 1正上方進行檢測用的感

-10- 1378234 測器。.除此之外，適宜配設有可對液晶面板8縱向位置進 行檢測的感測器。 橫向定位部14，在搬運至上游側搬運部2下游側端部 的液晶面板8轉移至檢查部3時，對液晶面板8的橫向位 置進行調整的裝置。橫向定位部14是由軌道23、滑件 24、缸筒25及支撐構件26構成。軌道23是配設在上述 搬運路徑正交橫向，支撐著滑件24使滑件24可橫向移 動。軌道23是和上述縱向定位部13的軌道17成一體固 定在上游側搬運部2側。滑件24是可滑動地嵌合在軌道 23，由軌道23支撐成可橫向移動。缸筒25是設置2個在 滑件24。各缸筒25是可對支撐構件26進行支撐加以昇降 的裝置。各缸筒25是可使用空氣缸筒、油壓缸筒等既有 的缸筒。於缸筒25連接有空氣壓或油壓供應用的裝置 (未圖示）。缸筒25是安裝在滑件24，形成爲可橫向移 動。支撐構件2 6是從液晶面板8下側直接接觸對液晶面 板8進行支撐的構件。該支撐構件26是以矽膠等構成。 昇降部15是上述縱向定位部13及橫向定位部14調 整粗位置後的液晶面板8昇降用的裝置。昇降部15是由 面板提升器28及缸筒29構成。 面板提升器28是一種直接接觸液晶面板8背面可將 液晶面板8舉起的構件。面板提升器28是由支撐板31’ 和配設在該支撐板31下側的4支導棒32，和配設在該支 撐板31上側的4根支撐棒33，及設置在各支撐棒33上端 部的支撐構件34所構成》4支導棒32是插入在導板35的

-11 - 1378234 4個導孔36，被支撐成可朝上下方向滑動。導板35是固 定在上游側搬運部2的框架3 7。 缸筒29是面板提升器28昇降用的構件。該缸筒29 是固定在導板35的背面，其缸筒桿（未圖示）連結在支 撐板31。如此一來，當缸筒28伸出缸筒桿時，可使面板 提升器28上昇，將支撐棒33上端的支撐構件34所支撐 的液晶面板8往上方舉起。被舉起的液晶面板8被交接至 上游側移載部5然後轉移至檢查部3。 檢查部3是配置在上游側搬運部2下游側成彼此接近 形成連續‘，對上述液晶面板8進行支撐加以傾斜或往上方 舉起進行檢查的同時，其下側可容許液晶面板8通過的裝 置。檢查部3，如第1圖至第8圖所示，主要是由XYZ 0 平台40 (參照第7圖）、檢査平台41圖像處理部42構 成。 ΧΥΖ0平台40是將檢查平台41朝XYZ軸方向及旋轉 方向微調整用的裝置。該XYZ 0平台40是另外組入有別 於Z平台’大幅昇降檢查平台41用的昇降機構（未圖 示）。檢查平台41是由該昇降機構從上述搬運路徑下側 推出在該搬運路徑對液晶面板8進行支撐往上方舉起。如 此一來’就能夠使檢査平台41往上方大幅上昇進行檢 查。 檢查平台4 1可正確地支撐著液晶面板8從該液晶面 板8背面進行照明的裝置。檢查平台41是由工件平台 45、背光燈46 '內部搬運部47及轉動機構48構成。 •12- 1378234 工件平台45是直接支撐液晶面板8用的構件。工件 平台45是由ΧΥΖ0平台40支撐成可昇降，使液晶面板8 可支撐在正確位置。背光燈46是對工件平台45所支撐的 液晶面板8從其背面（下側面）進行照射用的構件。以背 光燈46從液晶面板8背面照射液晶面板8，對液晶面板8 進行點燈檢查。 內部搬運部47是一種爲了讓液晶面板8接受檢查可 在工件平台45上昇時，和上游側搬運部2及下游側搬運 部4共同合作構成上述搬運路徑的搬運裝置。內部搬運部 47是由設置在ΧΥΖ0平台40和背光登46之間的輥式輸 送機構成。該輥式輸送機是設定成在ΧΥΖ0平台40的昇 降機構使檢查平台41成爲上昇的狀態，其高度和上游側 搬運部2及下游側搬運部4 —致。內部搬運部47設有其 內部輥9驅動用的驅動部（未圖示）。該驅動部是構成爲 和上游側搬運部2及下游側搬運部4的驅動部同步對各輥 9進行驅動。 轉動機構4 8是爲了目視檢査可對工件平台4 5加以傾 斜的機構。該轉動機構48是由底座板49、旋轉軸50、軸 承51及旋轉驅動部52構成。 底座板49是工件平台45支撐用的板材。工件平台45 是以支撐在該底座板49的狀態和底座板49 一起轉動。底 座板49的基端側設有旋轉軸50連結用的連結塊4 9Α»該 連結塊49A和旋轉軸50是彼此牢固結合著。 旋轉軸50是轉動底座板49用的軸。軸承51可支撐 ί -13- 1378234 著旋轉軸50使旋轉軸旋轉的構件。軸承51是以支撐 XYZ 0平台40側的狀態，將旋轉軸50的兩端部支撐成 旋轉。旋轉驅動部52是透過旋轉軸50轉動底座板49 的裝置。該旋轉驅動部52是以固定在軸承51的狀態連 於旋轉軸50。旋轉驅動部52，具體而言是構成爲具備 驅動馬達（未圖示）和根據需求設置的減速機構（未 示）。當工件平台45或座板49較重時，具備減速機構 根據上述重量程度設定減速比。上述驅動馬達是連接於 內自動檢查系統全體控制用的控制部（未圖示），和上 側搬運部2及下游側搬運部4等同時受到控制。 工件平台45的上部，設有探針單元（未圖示）。 探針單元是以其探針接觸液晶面板8的電極施加檢查 號，將測試圖案等顯示在液晶面板8。 圖像處理部42是對液晶面板8的表面進行攝影利 圖像處理對液晶面板8的瑕疵等進行檢查的裝置。圖像 理部42，主要是由攝影機53、攝影機驅動機構54、處 裝置55及暗室用箱體56構成。 攝影機53是緊貼著工件平台45形成設置。由該攝 機5 3對液晶面板8進行攝影，使液晶面板8的影像資 送訊至處理裝置55。攝影機驅動機構54是可支撐著攝 機53對攝影機53位置進行調整的裝置。由攝影機驅動 構54使該攝影機53上下、前後左右移動執行攝影機 對準位置。處理裝置55是處理攝影機53所攝影的圖像 的裝置。 在 可 用 結 有 圖 y 線 游 該 訊 用 處 理 影 料 影 機 53 用 -14 - 54 1378234 暗室用箱體56是可將攝影機53和攝影機驅動機構 —起收納在內部，從工件平台45上側覆蓋著工件平台 時可構成暗室的箱體。暗室用箱體56是設置成可昇降 從工件平台45上側適當覆蓋著工件平台54構成暗室。 此一來，就能夠讓工件平台45所支撐的液晶面板8受 背光燈46照射，由攝影機53攝影，在處理裝置55進 圖像處理執行液晶面板8的檢查。 下游側搬運部4是可將檢查後的液晶面板8沿著搬 路徑往下游側搬運的裝置。下游側搬運部4是配置在檢 部3下游側成彼此接近形成連續。下游側搬運部4的全 構成，除了不具有粗定位單元裝置11以外，其他是和 述上游側搬運部2成對稱構成。 上游側移載部5是將液晶面板8從上游側搬運部2 移至檢查部3用的裝置。上游側移載部5是由面板吸附 57、面板搬運臂58及面板搬運機構59構成。 面板吸附部5 7是可吸附著液晶面板8對液晶面板 進行支撐的構件。面板吸附部57是構成具備有可吸附 晶面板8表面的吸附墊61，和面板昇降機構62。該吸 墊61是連接於吸引裝置（未圖示）。面板昇降機構62 以固定在面板搬運臂58的狀態，支撐著吸附墊61使該 附墊6 1所吸附的液晶面板8昇降。 面板搬運臂5 8是從上游側搬運部2的側部支撐液 面板8用的棒材。面板搬運臂58的前端安裝有面板吸 部5 7，使該面板吸附部5 7所吸附的液晶面板8由面板 54 如 到 行 運 查 體 上 轉 部 液 附 是 吸 晶 附 搬 -15- 1378234 運臂58從上游側搬運部2的側部加以支撐。面板搬運機 構59是將液晶面板8從上游側搬運部2往檢查部3移動 用的裝置。面板搬運機構59是以直接支撐著面板搬運臂 58，透過該面板搬運臂58及面板吸附部57對液晶面板8 加以支撐，使液晶面板8能夠從上游側搬運部2往檢查部 3移動。 下游側移載部6是將液晶面板8從檢查部3轉移至下 游側搬運部4用的裝置。下游側移載部6是和上述上游側 移載部5相同，由面板吸附部65、面板搬運臂66及面板 搬運機構67構成。該等各部的功能，除了左右對稱不同 以外，其他是和上游側移載部5的各部機構相同。 上述上游側移載部5和下游側移載部6被控制成互相 連動，設定成可同時執行液晶面板8從上游側搬運部2轉 移至檢查部3的移載動作，和液晶面板8從檢查部3轉移 至下游側搬運部4的移載動作。 [動作] 構成爲上述的線內自動檢查裝置1，其動作如下述。 液晶面板8的生產線是從玻璃基板的狀態，經過各種 處理步驟後製造出液晶面板8。 該生產線的製造步驟中，有時會加入檢查步驟。該狀 況時，於生產線途中，設置線內自動檢查裝置1。該線內 自動檢查裝置1中，生產線所搬運過來的液晶面板8是沿 著其搬運路徑一邊輸送一邊搬入至線內自動檢查裝置I, IS1 -16- 1378234 檢查結束後返回搬運路徑。該線內自動檢查裝置1的動 作，如以下所述。 生產線搬運過來的液晶面板8，首先是輸送至上游側 搬運部2。於上游側搬運部2，由粗定位單元裝置11對液 晶面板8的位置進行大致定位。具體而言是由粗定位單元 裝置11的縱向定位部13進行液晶面板8的縱向定位，由 橫向定位部14進行液晶面板8的橫向定位。當滑件1 8檢 測出有液晶面板8時，由缸筒19上昇支撐構件20舉起液 晶面板8，透過滑件1 8在軌道1 7滑動，使液晶面板8的 縱向形成定位。接著，由缸筒25上昇支撐構件26舉起液 晶面板8，透過滑件24在軌道23滑動，使液晶面板8的 橫向形成定位。 其次，上昇昇降部15的支撐構件34舉起液晶面板 8，將液晶面板8交給上游側移載部5的面板吸附部5 7。 於上游側移載部5，面板吸附部5 7是吸附著液晶面板8對 液晶面板8加以支撐，由面板搬運機構59搬運至檢査部3 的工件平台45。此時，工件平台45上若已有液晶面板8 時，在其檢査結束後執行搬運。此時，上游側移載部5和 下游側移載部6是連動形成同時移載。 接著，由XYZ 0平台40內的昇降機構上昇液晶面板 8，使液晶面板8靠近攝影機53。其次，以圖像處理部42 進行圖像處理。具體而言，將攝影機5 3所攝影的液晶面 板8的表面圖像資料送訊至處理裝置55，由該處理裝置 5 5進行圖像處理，執行液晶面板8的點燈檢查。 -17- 1378234 此時，下一個液·晶面板8是從上游側搬運部2通過內 部搬運部47輸送至下游側搬運部4。設有複數的線內自動 檢查裝置1時，下一個液晶面板8是輸送至後方的線內自 動檢查裝置1。 另一方面，由作業員進行目視檢查時，上昇暗室用箱 體56，使工件平台45形成傾斜。具體而言，由旋轉驅動 部52透過旋轉軸50轉動底座板49，使工件平台45從第 2圖的狀態傾斜成第3圖或第4圖的狀態。 作業員是位於已經傾斜的工件平台45的正面，以目 視檢查被支撐在傾斜的工件平台4 5從背面加有背光燈照 射的液晶面板。檢查結束後，就由旋轉驅動部5 2將工件 平台4 5恢復成水平狀態，經由上游側搬運部2和下游側 搬運部4等的連動對液晶面板8進行移載。 接著，由旋轉驅動部52使工件平台45成傾斜狀態， 重覆性執行上述處理。此時，同樣地下一個液晶面板8是 從上游側搬運部2通過內部搬運部4 7輸送至下游側搬運 部4。 [效果] 如以上所述，於線內自動檢査裝置1，因該線內自動 檢查裝置1是設置在搬運路徑上，所以不需要有該線內自 動檢査裝置1設置用的特別空間，能夠達到大幅度空間的 節省。 線內自動檢查裝置1具備有轉動機構48，所以在搬運 m -18- 1378234 路徑能夠執行目視檢查，能夠提昇檢查效率。 此外’因不需要特別設置移載裝置，所以能夠有效利 用空間或降低營運成本等，因此能夠實現整體成本的降 低。 [變形例] 上述實施形態是以設有1個線內自動檢查裝置1爲例 子進行了說明，但如第12圖所示，也可於生產線設有複 數的線內自動檢查裝置1。該狀況時，複數的線內自動檢 查裝置〗是彼此合作進行液晶面板8的檢查》具體而言， 複數配設在上述搬運路徑的線內自動檢查裝置1當中，當 前頭的線內自動檢查裝置1開始進行液晶面板8的檢査 時，下一個液晶面板8就會通過前頭的線內自動檢查裝置 1的內部搬運部47輸送至下一個線內自動檢查裝置1，在 該線內自動檢査裝置1開始檢查液晶面板8。下一個液晶 面板8通過第2個線內自動檢查裝置1的內部搬運部47 輸送至下一個線內自動檢查裝置1’形成和上述相同開始 檢查，因此能夠有效率地檢查多數的液晶面板8。 再加上，自動檢查和目視檢查能夠選擇性進行’或用 複數的線內自動檢查裝置1能夠同時進行雙方的檢査’因 此能夠大幅提昇檢査效率。 另外，上述實施形態’檢査對象物是以液晶面板8爲 例子進行了說明’但也可應用在液晶面板8以外的檢查對 象物，於該狀況同樣能夠達到上述相同的作用、效果。 iiSl! -19 - 1378234 【圖式簡單說明】 第1圖爲表示本發明實施形態相關的線內自動檢查裝 置透視圖。 第2圖爲表示本發明實施形態相關的線內自動檢查裝 置側面圖。 第3圖爲表示本發明實施形態相關的線內自動檢查裝 置其工件平台成傾斜狀態下的側面圖。 第4圖爲表示本發明實施形態相關的線內自動檢查裝 置其工件平台成傾斜狀態下的透視圖。 第5圖爲表示本發明實施形態相關的線內自動檢查裝 置正面剖面圖（第6圖的A-A剖線剖面圖）。 第6圖爲表示本發明實施形態相關的線內自動檢查裝 置正面圖。 第7圖爲表示本發明實施形態相關的線內自動檢査裝 置正面剖面圖。 第8圖爲表示本發明實施形態相關線內自動檢查裝置 的轉動機構透視圖。 第9圖爲表示發明實施形態相關線內自動檢査裝置的 粗定位單元裝置透視圖。 第1 〇圖爲表示本發明實施形態相關線內自動檢查裝 置的粗定位單元裝置組入在上游側搬運部時的狀態透視 圖。 第】1圖爲表示本發明實施形態相關線內自動檢查裝

I -20- 1378234 置的粗定位單元裝置組入在上游側搬運部時的狀態平面 圖。 第12圖爲表示本發明實施形態相關的線內自動檢查 裝置複數組入在生產線時的線內自動檢查系統透視圖。 【主要元件符號說明】 1:線內自動檢查裝置 2 :上游側搬運部 3 :檢查部 4 :下游側搬運部 5 :上游側移載部 6 :下游側移載部 8 :液晶面板 9 :輥 1 0 :側壁 1 1 :粗定位單元裝置 1 3 :縱向定位部 1 4 :橫向定位部 15 :昇降部 17 :軌道 1 8 :滑件 ]9 :缸筒 2 〇 :支撐構件 2 1 :面板檢測感測器 -21 - 1378234 23 :軌道 24 :滑件 25 :缸筒 26 :支撐構件 28 :面板提升器 29 :缸筒 31 :支撐板 32 :導棒 33 :支撐棒 3 4 :支撐構件 35 :導板 3 6 :導孔 37 :框架 40 : XYZ 0 平台 41 :檢査平台 4 2 ·圖像處理部 4 5 :工件平台 4 6 :背光燈 47 :內部搬運部 48 :轉動機構 49 :底座板 5 0 :旋轉軸 5 1 :軸承 5 2 :旋轉驅動部 -22 1378234

53 ： 54 ： 55 : 56 ： 57 ： 58 ： 59 ： 62 ： 65 : 66 : 6 7 ： 攝影機 攝影機驅動機構 處理裝置 暗室用箱體 面板吸附部 面板搬運臂 面板搬運機構 吸附墊 面板昇降機構 面板吸附部 面板搬運臂 面板搬運機構

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Claims (1)

1378234 第097107675號專利申請案中文申請專利範圍修正本 民國101年4月12日修正 十、申請專利範園 1.一種線內自動檢查裝置，其特徵爲，構成具備： 可將檢查對象物沿著搬運路徑搬運的上游側搬運部； 配置在該上游側搬運部下游側成彼此接近形成連續， 可從上述搬運路徑舉起上述檢查對象物並支撐加以傾斜進 行目視檢查，並使得形成在其下側的內部搬運部與上述上 游側搬運部共同合作構成上述搬運路徑而可容許上述檢查 對象物通過的檢查部； 配置在該檢查部下游側成彼此接近形成連續，可將檢 査後的上述檢查對象物沿著搬運路徑往下游側搬運的下游 側搬運部； 可將上述檢查對象物從上述上游側搬運部轉移至上述 檢査部的上游側移載部；及 可將上述檢査對象物從上述檢查部轉移至上述下游側 搬運部的下游側移載部。 2 ·如申請專利範圍第1項所記載的線內自動檢查裝 置’其中，上述檢查部，構成爲具備有：設置成可轉動並 且可昇降地對上述檢查對象物進行支撐的工件平台；爲了 讓上述檢查對象物接受檢查可在該工件平台已上昇的位置 與上述上游側搬運部及下游側搬運部共同合作構成搬運路 徑的內部搬運部；及可使上述工件平台於目視檢查時成爲 傾斜的轉動機構。 1378234 3. 如申請專利範圍第1項所記載的線內自動檢查裝 置，其中，上述檢查對象物從上述上游側搬運部轉移至上 述檢查部的動作，和上述檢查對象物從上述檢查部轉移至 上述下游側搬運部的動作，是由上述上游側移載部和上述 下游側移載部形成連動同時執行。 4. 如申請專利範圍第2項所記載的線內自動檢查裝 置，其中，上述上游側搬運部，具備有可在上述檢查部的 工件平台對上述上游側移載部轉移的上述檢查對象物的大 致位置進行調整的粗定位單元裝置。 5. 如申請專利範圍第1項所記載的線內自動檢查裝 置，其中，上述檢查部具有緊貼著上述工件平台形成設置 的攝影機；及可將該攝影機收納在內部的同時，可從上述 工件平台上側覆蓋該工件平台構成上述攝影機對該工件平 台所支撐的上述檢査對象物進行攝影時所需之暗室的可昇 降箱體》 6. —種線內自動檢查系統，其特徵爲：於上述搬運路 徑複數配設有下述構成的線內自動檢查裝置，即該線內自 動檢查裝置構成具備：可將檢查對象物沿著搬運路徑搬運 的上游側搬運部；配置在該上游側搬運部下游側成彼此接 近形成連續，可從上述搬運路徑舉起上述檢查對象物並支 撐加以傾斜進行目視檢查，並使得形成在其下側的內部搬 運部與上述上游側搬運部共同合作構成上述搬運路徑而可 容許上述檢查對象物通過的檢查部；配置在該檢查部下游 側成彼此接近形成連續，可將檢查後的上述檢查對象物沿 -2- 1378234 著搬運路徑往下游側搬運的下游側搬運部；可將上述檢查 對象物從上述上游側搬運部轉移至上述檢查部的上游側移 載部：及可將上述檢查對象物從上述檢查部轉移至上述下 游側搬運部的下游側移載部，又，上述檢查部，具備有： 設置成可轉動並且可昇降地對上述檢查對象物進行支撐的 工件平台；爲了讓上述檢查對象物接受檢查可在該工件平 台已上昇的位置與上述上游側搬運部及下游側搬運部共同 合作構成搬運路徑的內部搬運部；及可使上述工件平台於 目視檢査時成爲傾斜的轉動機構。