JP2000009661A - フラットパネル検査装置 - Google Patents
フラットパネル検査装置Info
- Publication number
- JP2000009661A JP2000009661A JP10180559A JP18055998A JP2000009661A JP 2000009661 A JP2000009661 A JP 2000009661A JP 10180559 A JP10180559 A JP 10180559A JP 18055998 A JP18055998 A JP 18055998A JP 2000009661 A JP2000009661 A JP 2000009661A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- defect
- flat panel
- gripping
- inspection apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 フラットパネルに用いられる基板の撓みを抑
制しつつ欠陥検出位置精度を向上させる。 【解決手段】 検査装置１は、把持機構８を有するＹテ
ーブル４と、位置決めピン９と、ころ搬送部１２と、エ
ア浮上ステージ１１とを備える。位置決めピン９に当接
することにより位置決めされた基板１７を把持機構８に
よって把持し、その状態でＹテーブル４を駆動して欠陥
検査を行なう。
制しつつ欠陥検出位置精度を向上させる。 【解決手段】 検査装置１は、把持機構８を有するＹテ
ーブル４と、位置決めピン９と、ころ搬送部１２と、エ
ア浮上ステージ１１とを備える。位置決めピン９に当接
することにより位置決めされた基板１７を把持機構８に
よって把持し、その状態でＹテーブル４を駆動して欠陥
検査を行なう。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はＰＤＰ（Plasma D
isplay Panel）やＬＣＤ（Liquid Crystal Display）等
のフラットパネルの欠陥検査を行なう装置に関する。
isplay Panel）やＬＣＤ（Liquid Crystal Display）等
のフラットパネルの欠陥検査を行なう装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４および図５に、ＰＤＰやＬＣＤに使
用されるカラーフィルタ基板（ガラス基板）の欠陥検査
装置の一例を示す。図４および図５に示すように、検査
装置１は、定盤２と、Ｘテーブル３と、Ｙテーブル４
と、欠陥検出用の検出カメラ６とを備える。
用されるカラーフィルタ基板（ガラス基板）の欠陥検査
装置の一例を示す。図４および図５に示すように、検査
装置１は、定盤２と、Ｘテーブル３と、Ｙテーブル４
と、欠陥検出用の検出カメラ６とを備える。
【０００３】Ｘテーブル３には検出カメラ６が取付けら
れる。Ｙテーブル４は、定盤２上に設置され、基板１７
固定用のチャックテーブル２１を搭載する。欠陥検出用
の透過照明１３は、定盤２に固定される。
れる。Ｙテーブル４は、定盤２上に設置され、基板１７
固定用のチャックテーブル２１を搭載する。欠陥検出用
の透過照明１３は、定盤２に固定される。
【０００４】上記の構成において、Ｘテーブル３とＹテ
ーブル４とを相互に走査することにより、基板１７全域
を検査することができる。
ーブル４とを相互に走査することにより、基板１７全域
を検査することができる。
【０００５】検査装置としては、上記のもの以外に図６
に示すタイプのものもある。図６を参照して、検査装置
１は、ベルトコンベア２２を備える。基板１７はベルト
コンベア２２により搬送され、検出カメラ６下を通過す
る際に欠陥検出を行なう。
に示すタイプのものもある。図６を参照して、検査装置
１は、ベルトコンベア２２を備える。基板１７はベルト
コンベア２２により搬送され、検出カメラ６下を通過す
る際に欠陥検出を行なう。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図４および図５に示す
タイプの検査装置１では、チャックテーブル２１の内部
がくり抜かれ、チャックテーブル２１の周縁部によって
のみ基板１７を支持している。そのため、基板が大型化
するにつれ基板の撓みが大きくなり、欠陥検出能力が著
しく低下するという問題があった。
タイプの検査装置１では、チャックテーブル２１の内部
がくり抜かれ、チャックテーブル２１の周縁部によって
のみ基板１７を支持している。そのため、基板が大型化
するにつれ基板の撓みが大きくなり、欠陥検出能力が著
しく低下するという問題があった。
【０００７】他方、図６に示すタイプの検査装置１で
は、ベルトコンベア２２間の距離を最小化することによ
り、基板１７の撓みは防止できるものの、検出された欠
陥の位置精度が悪く、後に欠陥をレビューしようとして
もできないという問題があった。
は、ベルトコンベア２２間の距離を最小化することによ
り、基板１７の撓みは防止できるものの、検出された欠
陥の位置精度が悪く、後に欠陥をレビューしようとして
もできないという問題があった。
【０００８】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたものである。この発明の目的は、基板の
撓みを抑制しつつ欠陥検出位置の精度を向上させること
が可能となる検査装置を提供することにある。
ためになされたものである。この発明の目的は、基板の
撓みを抑制しつつ欠陥検出位置の精度を向上させること
が可能となる検査装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明に係るフラット
パネル検査装置は、欠陥検出部と、位置決め機構と、１
軸テーブルと、基板支持部とを備える。欠陥検出部は、
基板の欠陥を検出するためのものである。位置決め機構
は、装置内における基板の位置決めを行なうものであ
る。１軸テーブルは、位置決め機構により基板の位置決
めを行なった後に基板の端部を把持する把持機構を有す
る。基板支持部は、基板の欠陥検出時に基板の下面を全
体的に支持するものである。ここで、「全体的に支持す
る」とは、従来のチャックテーブル２１のように基板の
一部のみを選択的に支持する場合を排除する意味であ
り、基板の下面全面と基板支持部とが当接する場合のみ
ならず基板の下面と基板支持部とが選択的に当接する場
合も含む。また、「支持する」には、基板の下面と接し
て支持する場合のみならず、高圧エア等により基板の下
面を非接触状態で支持する場合も含まれる。
パネル検査装置は、欠陥検出部と、位置決め機構と、１
軸テーブルと、基板支持部とを備える。欠陥検出部は、
基板の欠陥を検出するためのものである。位置決め機構
は、装置内における基板の位置決めを行なうものであ
る。１軸テーブルは、位置決め機構により基板の位置決
めを行なった後に基板の端部を把持する把持機構を有す
る。基板支持部は、基板の欠陥検出時に基板の下面を全
体的に支持するものである。ここで、「全体的に支持す
る」とは、従来のチャックテーブル２１のように基板の
一部のみを選択的に支持する場合を排除する意味であ
り、基板の下面全面と基板支持部とが当接する場合のみ
ならず基板の下面と基板支持部とが選択的に当接する場
合も含む。また、「支持する」には、基板の下面と接し
て支持する場合のみならず、高圧エア等により基板の下
面を非接触状態で支持する場合も含まれる。
【００１０】上記のように位置決め機構と把持機構とを
設けることにより、装置内での基板の位置決めを行なっ
た後に基板を把持した状態で送ることができる。それに
より、欠陥検出位置の精度を向上でき、欠陥検出位置を
精度良く再現することができる。また、基板支持部を設
けることにより、欠陥検出時に基板の下面を全体的に支
持できるので、欠陥検出時の基板の撓みを抑制できる。
それにより、欠陥検出能力低下を抑制できる。
設けることにより、装置内での基板の位置決めを行なっ
た後に基板を把持した状態で送ることができる。それに
より、欠陥検出位置の精度を向上でき、欠陥検出位置を
精度良く再現することができる。また、基板支持部を設
けることにより、欠陥検出時に基板の下面を全体的に支
持できるので、欠陥検出時の基板の撓みを抑制できる。
それにより、欠陥検出能力低下を抑制できる。
【００１１】上記基板支持部は、欠陥検出部近傍に設け
られ基板を浮上あるいは吸着する機能を有するステージ
を含む。
られ基板を浮上あるいは吸着する機能を有するステージ
を含む。
【００１２】上記のようなステージを採用することによ
り、たとえば高圧エア等の流体を基板下面に供給して基
板を浮上させ、基板下面を全体的に支持することができ
る。また、該ステージが基板を浮上させる機能を有する
ことにより、欠陥検出時に基板が損傷するのを防止でき
ることに加え、基板の高さを一定に保つこともできる。
それにより、高精度の欠陥検出が行なえる。また、ステ
ージが基板を吸着する機能を有することにより、複数セ
ットの把持機構を備える場合に、欠陥検出位置精度を低
下させることなく他の把持機構で把持しなおすことがで
きる。それにより、１軸テーブルのストロークを低減す
ることができる。
り、たとえば高圧エア等の流体を基板下面に供給して基
板を浮上させ、基板下面を全体的に支持することができ
る。また、該ステージが基板を浮上させる機能を有する
ことにより、欠陥検出時に基板が損傷するのを防止でき
ることに加え、基板の高さを一定に保つこともできる。
それにより、高精度の欠陥検出が行なえる。また、ステ
ージが基板を吸着する機能を有することにより、複数セ
ットの把持機構を備える場合に、欠陥検出位置精度を低
下させることなく他の把持機構で把持しなおすことがで
きる。それにより、１軸テーブルのストロークを低減す
ることができる。
【００１３】上記フラットパネル検査装置は、好ましく
は、欠陥検出後に欠陥をレビューする欠陥レビュー部を
備える。この欠陥レビュー部は、好ましくは、欠陥検出
部から基板の長さ分あるいはそれ以上離して配置され
る。
は、欠陥検出後に欠陥をレビューする欠陥レビュー部を
備える。この欠陥レビュー部は、好ましくは、欠陥検出
部から基板の長さ分あるいはそれ以上離して配置され
る。
【００１４】このように欠陥レビュー部を基板の長さ以
上欠陥検出部から離して配置することにより、欠陥レビ
ュー動作と装置内への基板搬入動作を同時に行なうこと
ができ、効率的に基板の検査を行なうことができる。
上欠陥検出部から離して配置することにより、欠陥レビ
ュー動作と装置内への基板搬入動作を同時に行なうこと
ができ、効率的に基板の検査を行なうことができる。
【００１５】上記把持機構は、好ましくは、基板の端部
を把持する１対のエアシリンダを含む。
を把持する１対のエアシリンダを含む。
【００１６】このようにエアシリンダを用いることによ
り、把持力を一定に保つことができる。
り、把持力を一定に保つことができる。
【００１７】上記把持機構は、好ましくは、基板の長さ
分だけ離して複数セット設けられる。
分だけ離して複数セット設けられる。
【００１８】このように複数セットの把持機構を設ける
ことにより、基板を所定距離送った後に他の把持機構に
より把持し直すことができる。それにより、１軸テーブ
ルのストロークを低減することができる。このとき、把
持機構の各セットを基板長だけ離すことにより基板の同
じ位置を把持でき、基板の把持位置を管理することで欠
陥検出位置の精度は低下しない。
ことにより、基板を所定距離送った後に他の把持機構に
より把持し直すことができる。それにより、１軸テーブ
ルのストロークを低減することができる。このとき、把
持機構の各セットを基板長だけ離すことにより基板の同
じ位置を把持でき、基板の把持位置を管理することで欠
陥検出位置の精度は低下しない。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図３を用いて、この
発明の１つの実施の形態について説明する。図１と図２
にこの発明の１つの実施の形態におけるフラットパネル
検査装置１を示す。
発明の１つの実施の形態について説明する。図１と図２
にこの発明の１つの実施の形態におけるフラットパネル
検査装置１を示す。
【００２０】図１と図２を参照して、本発明に係る検査
装置１は、定盤２と、Ｙテーブル４と、ころ搬送部１２
と、エア浮上ステージ１１と、欠陥検出部１５と、欠陥
レビュー部１６とを備える。
装置１は、定盤２と、Ｙテーブル４と、ころ搬送部１２
と、エア浮上ステージ１１と、欠陥検出部１５と、欠陥
レビュー部１６とを備える。
【００２１】Ｙテーブル４は、基板１７を把持するため
の複数セットの把持機構８を備える。エア浮上ステージ
１１は、基板１７を非接触支持するためのものであり、
定盤２上に設置される透過照明１３を挟んで両側に配置
される。エア浮上ステージ１１の表面には、高圧エアを
吹出すための吹出口と、基板１７をバキュームチャック
するための吸引口の少なくとも一方が設けられる。な
お、エアの流路を切換えて使用する場合は、吹出口と吸
引口の一方のみを設けてもよい。
の複数セットの把持機構８を備える。エア浮上ステージ
１１は、基板１７を非接触支持するためのものであり、
定盤２上に設置される透過照明１３を挟んで両側に配置
される。エア浮上ステージ１１の表面には、高圧エアを
吹出すための吹出口と、基板１７をバキュームチャック
するための吸引口の少なくとも一方が設けられる。な
お、エアの流路を切換えて使用する場合は、吹出口と吸
引口の一方のみを設けてもよい。
【００２２】ころ搬送部１２は、基板１７を搬入／搬出
するためのものであり、定盤２上に設置される。また、
ころ搬送部１２は、複数のころを有する。
するためのものであり、定盤２上に設置される。また、
ころ搬送部１２は、複数のころを有する。
【００２３】欠陥検出部１５は、基板１７の欠陥を検出
するための検出カメラ６と、透過照明１３とを含む。こ
の検出カメラ６は、Ｚスライド１０に取付けられる。こ
のＺスライド１０を上下動させることにより、基板１７
の厚さが異なる場合にも対応できる。
するための検出カメラ６と、透過照明１３とを含む。こ
の検出カメラ６は、Ｚスライド１０に取付けられる。こ
のＺスライド１０を上下動させることにより、基板１７
の厚さが異なる場合にも対応できる。
【００２４】欠陥レビュー部１６は、カラーカメラ７と
透過照明１３とを備える。このカラーカメラ７により、
欠陥検出後に欠陥をレビューすることができる。カラー
カメラ７は、Ｚテーブル５に取付けられ、Ｚテーブル５
は、Ｘテーブル３に取付けられる。なお、上記欠陥レビ
ュー部６は、欠陥をカラーカメラ７でレビューする必要
がある場合に設けられればよい。
透過照明１３とを備える。このカラーカメラ７により、
欠陥検出後に欠陥をレビューすることができる。カラー
カメラ７は、Ｚテーブル５に取付けられ、Ｚテーブル５
は、Ｘテーブル３に取付けられる。なお、上記欠陥レビ
ュー部６は、欠陥をカラーカメラ７でレビューする必要
がある場合に設けられればよい。
【００２５】検査装置１は、さらに、基板１７を装置内
の所定位置に配置するための位置決め機構を備える。位
置決め機構は、位置決めピン９と、突き当てシリンダ１
４とを備える。位置決めピン９は、直交する２方向に間
隔をあけて設けられ、突き当てシリンダ１４は、基板１
７の大きさに合わせて複数セット設けられる。
の所定位置に配置するための位置決め機構を備える。位
置決め機構は、位置決めピン９と、突き当てシリンダ１
４とを備える。位置決めピン９は、直交する２方向に間
隔をあけて設けられ、突き当てシリンダ１４は、基板１
７の大きさに合わせて複数セット設けられる。
【００２６】上記位置決め機構により基板１７を所定位
置に配置することができ、その状態で基板１７の端部が
把持機構８によって把持されることとなる。かかる位置
決め機構と把持機構８とを備えることにより、欠陥検出
位置の精度を向上させることができる。
置に配置することができ、その状態で基板１７の端部が
把持機構８によって把持されることとなる。かかる位置
決め機構と把持機構８とを備えることにより、欠陥検出
位置の精度を向上させることができる。
【００２７】次に、欠陥検出時の動作について説明す
る。上流側から搬送されてきた基板１７は、ころ搬送部
１２上を位置決めピン９付近まで移動する。次に、突き
当てシリンダ１４により位置決めピン９に基板１７の２
つの端面を当接させる。具体的には、基板１７の側面と
前面とを位置決めピン９に当接させる。それにより、基
板１７の正確な位置決めが行なえる。
る。上流側から搬送されてきた基板１７は、ころ搬送部
１２上を位置決めピン９付近まで移動する。次に、突き
当てシリンダ１４により位置決めピン９に基板１７の２
つの端面を当接させる。具体的には、基板１７の側面と
前面とを位置決めピン９に当接させる。それにより、基
板１７の正確な位置決めが行なえる。
【００２８】この状態で、把持機構８によって基板１７
の端部を把持する。図３に、把持機構８の拡大図を示
す。図３に示すように、把持機構８は、下側エアシリン
ダ１８と、上側エアシリンダ１９と、Ｙテーブル４に締
結された取付板２０とを備える。１対のエアシリンダ１
８，１９は、取付板２０に沿って上下方向に移動する。
基板１７を把持する場合には、まず下側エアシリンダ１
８をエア浮上ステージ１１とほぼ同じ高さまで上昇させ
て停止させる。次に、上側シリンダ１９を下降させ、押
付力が一定となるようにする。それにより、基板１７の
高さと把持力を一定にすることができる。
の端部を把持する。図３に、把持機構８の拡大図を示
す。図３に示すように、把持機構８は、下側エアシリン
ダ１８と、上側エアシリンダ１９と、Ｙテーブル４に締
結された取付板２０とを備える。１対のエアシリンダ１
８，１９は、取付板２０に沿って上下方向に移動する。
基板１７を把持する場合には、まず下側エアシリンダ１
８をエア浮上ステージ１１とほぼ同じ高さまで上昇させ
て停止させる。次に、上側シリンダ１９を下降させ、押
付力が一定となるようにする。それにより、基板１７の
高さと把持力を一定にすることができる。
【００２９】基板１７の把持が完了すると、Ｙテーブル
４が走査を開始する。このＹテーブル４によって基板１
７を精度よく走査することができる。このＹテーブル４
の走査により、欠陥検査が行なわれる。
４が走査を開始する。このＹテーブル４によって基板１
７を精度よく走査することができる。このＹテーブル４
の走査により、欠陥検査が行なわれる。
【００３０】このとき、基板１７を非接触支持するた
め、エア浮上ステージ１１に設けられた吹出口から高圧
エアが吹出す。このことにより、基板１７が損傷するの
を防ぐとともに、基板１７のレベルを一定に保つことが
できる。その結果、精度のよい欠陥検出が可能となる。
め、エア浮上ステージ１１に設けられた吹出口から高圧
エアが吹出す。このことにより、基板１７が損傷するの
を防ぐとともに、基板１７のレベルを一定に保つことが
できる。その結果、精度のよい欠陥検出が可能となる。
【００３１】欠陥検出が完了し、その結果に基づいて欠
陥レビューを行なう場合には、Ｙテーブル４とＸテーブ
ル３およびＺテーブル５の協調動作により欠陥位置にカ
ラーカメラ７を移動させる。それにより、欠陥レビュー
を行なえる。その後、基板１７を搬出する。
陥レビューを行なう場合には、Ｙテーブル４とＸテーブ
ル３およびＺテーブル５の協調動作により欠陥位置にカ
ラーカメラ７を移動させる。それにより、欠陥レビュー
を行なえる。その後、基板１７を搬出する。
【００３２】ところで、基板１１が大型化し、Ｙテーブ
ル４のストロークも大きなものになるとコストアップが
懸念される。
ル４のストロークも大きなものになるとコストアップが
懸念される。
【００３３】この場合には、Ｙテーブル４に上記把持機
構８を基板１７の長さ（基板１７の送り方向の長さ）分
だけ離して２セット設けることにより、Ｙテーブル４の
ストロークを半分にすることができる。なお、把持機構
８を３セット以上設けてもよい。
構８を基板１７の長さ（基板１７の送り方向の長さ）分
だけ離して２セット設けることにより、Ｙテーブル４の
ストロークを半分にすることができる。なお、把持機構
８を３セット以上設けてもよい。
【００３４】次に、基板１７の長さ分だけ把持機構８を
離して２セット設けた場合の動作について説明する。基
板１７の長さ分だけＹテーブル４を駆動することにより
欠陥検出を終えた基板１７は、エア浮上ステージ１１上
に位置する。次に、高圧エアの吹出しを停止し、吸引を
開始する。それにより、基板１７をエア浮上ステージ１
１に固定する。
離して２セット設けた場合の動作について説明する。基
板１７の長さ分だけＹテーブル４を駆動することにより
欠陥検出を終えた基板１７は、エア浮上ステージ１１上
に位置する。次に、高圧エアの吹出しを停止し、吸引を
開始する。それにより、基板１７をエア浮上ステージ１
１に固定する。
【００３５】次に、基板１７の把持を解除し、Ｙテーブ
ル４を初期位置に復帰させる。ここで、別セットの把持
機構８により基板１７を把持する。把持が完了すると、
エア浮上ステージ１１における基板１７の吸引を停止
し、高圧エアを吹出口から吹出す。そして、基板１７が
非接触状態になった後、Ｙテーブル４を再び駆動し、欠
陥レビューもしくは基板１７の搬出動作を行なう。
ル４を初期位置に復帰させる。ここで、別セットの把持
機構８により基板１７を把持する。把持が完了すると、
エア浮上ステージ１１における基板１７の吸引を停止
し、高圧エアを吹出口から吹出す。そして、基板１７が
非接触状態になった後、Ｙテーブル４を再び駆動し、欠
陥レビューもしくは基板１７の搬出動作を行なう。
【００３６】このとき、エア浮上ステージ１１が吸引機
能を有することにより、欠陥検出位置精度は低下しな
い。また、把持機構８を基板長だけ離して設けることに
より、把持し直した場合でも、把持位置を管理すること
により、欠陥検出位置精度は低下しない。
能を有することにより、欠陥検出位置精度は低下しな
い。また、把持機構８を基板長だけ離して設けることに
より、把持し直した場合でも、把持位置を管理すること
により、欠陥検出位置精度は低下しない。
【００３７】上記のような動作を検査装置１に行なわせ
る場合には、検査装置１が次のような構成を有すること
が好ましい。すなわち、検査装置１が、把持機構８の動
作制御を行なう把持機構制御手段と、この把持機構制御
手段に接続され所定のタイミングでエア浮上ステージ１
１にエアを供給／吸引するエア供給／吸引手段とを備え
ることが好ましい。
る場合には、検査装置１が次のような構成を有すること
が好ましい。すなわち、検査装置１が、把持機構８の動
作制御を行なう把持機構制御手段と、この把持機構制御
手段に接続され所定のタイミングでエア浮上ステージ１
１にエアを供給／吸引するエア供給／吸引手段とを備え
ることが好ましい。
【００３８】次に、欠陥検出部１５と欠陥レビュー部１
６との位置関係について説明する。図１を参照して、欠
陥検出部１５と欠陥レビュー部１６間の距離Ｌは、好ま
しくは、基板１７の長さ以上となるように設定される。
それにより、欠陥レビュー動作の際に他の基板１７を位
置決めピン９に当接させて位置決めを行なった場合にお
いても、欠陥レビュー中の基板と位置決め後の基板１７
とが干渉することを回避できる。その結果、欠陥レビュ
ー動作と基板１７の搬入動作を同時に行なうことがで
き、タクトタイムの短縮に繋がる。
６との位置関係について説明する。図１を参照して、欠
陥検出部１５と欠陥レビュー部１６間の距離Ｌは、好ま
しくは、基板１７の長さ以上となるように設定される。
それにより、欠陥レビュー動作の際に他の基板１７を位
置決めピン９に当接させて位置決めを行なった場合にお
いても、欠陥レビュー中の基板と位置決め後の基板１７
とが干渉することを回避できる。その結果、欠陥レビュ
ー動作と基板１７の搬入動作を同時に行なうことがで
き、タクトタイムの短縮に繋がる。
【００３９】以上のようにこの発明の実施の形態につい
て説明を行なったが、今回開示された実施の形態はすべ
ての点で例示であって制限的なものではないと考えられ
るべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって
示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での
すべての変更が含まれる。
て説明を行なったが、今回開示された実施の形態はすべ
ての点で例示であって制限的なものではないと考えられ
るべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって
示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での
すべての変更が含まれる。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、位置決め機構と、把持機構を有する１軸テーブル
と、基板支持部とを設けたので、基板の撓みによる検出
能力の低下を回避しつつ欠陥検出位置を精度よく再現で
きる。
ば、位置決め機構と、把持機構を有する１軸テーブル
と、基板支持部とを設けたので、基板の撓みによる検出
能力の低下を回避しつつ欠陥検出位置を精度よく再現で
きる。
【図１】この発明の１つの実施の形態における検査装置
の平面図である。
の平面図である。
【図２】図１に示す検査装置の側面図である。
【図３】図１に示す把持機構の拡大図である。
【図４】従来の検査装置の平面図である。
【図５】図４に示す検査装置の側面図である。
【図６】従来の検査装置の他の例を示す斜視図である。
１ 検査装置 ２ 定盤 ３ Ｘテーブル ４ Ｙテーブル ５ Ｚテーブル ６ 検出カメラ ７ カラーカメラ ８ 把持機構 ９ 位置決めピン １０ Ｚスライド １１ エア浮上ステージ １２ ころ搬送部 １３ 透過照明 １４ 突き当てシリンダ １５ 欠陥検出部 １６ 欠陥レビュー部 １７ 基板（ガラス基板） １８ 下側エアシリンダ １９ 上側エアシリンダ ２０ 取付板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島田 稔也 静岡県磐田市東貝塚1578番地 エヌティエ ヌ株式会社内 Ｆターム(参考） 2F065 AA49 BB01 CC25 DD00 FF01 HH15 JJ00 MM03 MM07 PP11 PP12 TT01 TT02 2F069 AA60 BB40 CC06 DD30 GG04 GG07 GG11 HH30 MM03 MM23 PP02 PP06 2G051 AA73 AA90 AB02 AC01 BA00 CA03 CA04 CA07 CB02 CD04 DA06
Claims (5)
- 【請求項１】 フラットパネルに用いられる基板を検査
する装置であって、 前記基板の欠陥を検出する欠陥検出部と、 前記基板の位置決めを行なう位置決め機構と、 位置決め後の前記基板の端部を把持する把持機構を有す
る１軸テーブルと、 前記基板の欠陥検出時に前記基板の下面を全体的に支持
する基板支持部と、 を備えたフラットパネル検査装置。 - 【請求項２】 前記基板支持部は、前記欠陥検出部近傍
に設けられ前記基板を浮上あるいは吸着する機能を有す
るステージを含む、請求項１に記載のフラットパネル検
査装置。 - 【請求項３】 前記フラットパネル検査装置は、欠陥を
レビューする欠陥レビュー部を備え、 前記欠陥レビュー部は、前記欠陥検出部から前記基板の
長さ以上離して配置される、請求項１または２に記載の
フラットパネル検査装置。 - 【請求項４】 前記把持機構は、前記基板の端部を把持
する１対のエアシリンダを含む、請求項１から３のいず
れかに記載のフラットパネル検査装置。 - 【請求項５】 前記把持機構は、ほぼ前記基板の長さ分
だけ離して複数セット設けられる、請求項１から４のい
ずれかに記載のフラットパネル検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10180559A JP2000009661A (ja) | 1998-06-26 | 1998-06-26 | フラットパネル検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10180559A JP2000009661A (ja) | 1998-06-26 | 1998-06-26 | フラットパネル検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000009661A true JP2000009661A (ja) | 2000-01-14 |
Family
ID=16085406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10180559A Withdrawn JP2000009661A (ja) | 1998-06-26 | 1998-06-26 | フラットパネル検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000009661A (ja) |
Cited By (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003040711A1 (fr) * | 2001-11-05 | 2003-05-15 | Olympus Corporation | Dispositif de controle de substrat |
| JP2005062148A (ja) * | 2002-11-01 | 2005-03-10 | Photon Dynamics Inc | 平坦なパターン形成済み媒体検査用の方法と装置 |
| JP2006258727A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
| JP2006266722A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Olympus Corp | 基板検査システム及び基板検査方法 |
| JP2006292404A (ja) * | 2005-04-06 | 2006-10-26 | Olympus Corp | 外観検査装置 |
| US7132671B2 (en) | 2003-04-22 | 2006-11-07 | Shimadzu Corporation | Substrate testing device and substrate testing method |
| JP2006308334A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Horiba Ltd | パネル部材検査装置及びそれに適用される位置情報補正プログラム |
| JP2007107945A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
| JP2008063130A (ja) * | 2006-09-11 | 2008-03-21 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
| WO2008035752A1 (fr) * | 2006-09-22 | 2008-03-27 | Olympus Corporation | Appareil d'inspection de substrat |
| JP2009023804A (ja) * | 2007-07-20 | 2009-02-05 | Olympus Corp | 基板搬送装置および基板搬送方法 |
| JP2009051654A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-12 | Toppan Printing Co Ltd | 基板搬送装置及び基板検査装置 |
| JP2009098052A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Toppan Printing Co Ltd | 基板搬送装置用基板把持機構 |
| WO2009093341A1 (ja) * | 2008-01-21 | 2009-07-30 | Toppan Printing Co., Ltd. | 検査方法及び検査装置 |
| JP2009214106A (ja) * | 2003-10-06 | 2009-09-24 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 搬送装置、塗布システム、及び検査システム |
| JP2009231717A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Toppan Printing Co Ltd | 基板移動装置および基板搬送装置および基板撮像装置 |
| KR100979822B1 (ko) | 2004-01-30 | 2010-09-02 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 부상식 기판 반송 처리 장치 |
| JP2011099875A (ja) * | 2011-02-18 | 2011-05-19 | Olympus Corp | 外観検査装置 |
| CN102253047A (zh) * | 2011-04-27 | 2011-11-23 | 3i系统公司 | 太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统及其检测方法 |
| JP2012098250A (ja) * | 2010-11-05 | 2012-05-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 基板検査装置及び基板検査方法 |
| WO2012153662A1 (ja) * | 2011-05-10 | 2012-11-15 | 旭硝子株式会社 | 透光性板状体の微小欠点の検査方法および透光性板状体の微小欠点の検査装置 |
| JP2013079847A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Olympus Corp | 基板検査装置および基板検査方法 |
| KR101275600B1 (ko) * | 2011-10-25 | 2013-07-04 | (주)그림 | 3차원 입체영상 필터 불량 검출장치 |
| KR101362454B1 (ko) * | 2011-02-01 | 2014-02-11 | 쿠퍼 에스 케이 쿠오 | 광학 검사용 장치 |
| KR101855322B1 (ko) | 2016-09-02 | 2018-05-09 | 한국생산기술연구원 | 제진 성능이 향상된 복합생산장비 |
| CN109916344A (zh) * | 2019-04-08 | 2019-06-21 | 天津中精微仪器设备有限公司 | 气浮式连杆测量仪 |
| JP2022536569A (ja) * | 2019-12-26 | 2022-08-18 | ナンジン リアン セミコンダクター リミテッド | 半導体産業におけるウェハ幾何学形状測定のためのツールアーキテクチャ |
-
1998
- 1998-06-26 JP JP10180559A patent/JP2000009661A/ja not_active Withdrawn
Cited By (38)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003040711A1 (fr) * | 2001-11-05 | 2003-05-15 | Olympus Corporation | Dispositif de controle de substrat |
| JP2005062148A (ja) * | 2002-11-01 | 2005-03-10 | Photon Dynamics Inc | 平坦なパターン形成済み媒体検査用の方法と装置 |
| KR100745079B1 (ko) | 2003-04-22 | 2007-08-01 | 가부시키가이샤 시마즈세이사쿠쇼 | 기판 검사장치 및 기판 검사방법 |
| US7132671B2 (en) | 2003-04-22 | 2006-11-07 | Shimadzu Corporation | Substrate testing device and substrate testing method |
| JP2009214106A (ja) * | 2003-10-06 | 2009-09-24 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 搬送装置、塗布システム、及び検査システム |
| KR100979822B1 (ko) | 2004-01-30 | 2010-09-02 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 부상식 기판 반송 처리 장치 |
| JP2006258727A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
| JP2006266722A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Olympus Corp | 基板検査システム及び基板検査方法 |
| JP2006292404A (ja) * | 2005-04-06 | 2006-10-26 | Olympus Corp | 外観検査装置 |
| JP4704793B2 (ja) * | 2005-04-06 | 2011-06-22 | オリンパス株式会社 | 外観検査装置 |
| JP4519705B2 (ja) * | 2005-04-26 | 2010-08-04 | 株式会社堀場製作所 | パネル部材検査装置及びそれに適用される位置情報補正プログラム |
| JP2006308334A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Horiba Ltd | パネル部材検査装置及びそれに適用される位置情報補正プログラム |
| KR101305262B1 (ko) * | 2005-10-12 | 2013-09-09 | 올림푸스 가부시키가이샤 | 기판 검사 장치 |
| JP2007107945A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
| JP2008063130A (ja) * | 2006-09-11 | 2008-03-21 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
| KR101424017B1 (ko) * | 2006-09-11 | 2014-07-28 | 올림푸스 가부시키가이샤 | 기판 검사 장치 |
| JPWO2008035752A1 (ja) * | 2006-09-22 | 2010-01-28 | オリンパス株式会社 | 基板検査装置 |
| WO2008035752A1 (fr) * | 2006-09-22 | 2008-03-27 | Olympus Corporation | Appareil d'inspection de substrat |
| JP2009023804A (ja) * | 2007-07-20 | 2009-02-05 | Olympus Corp | 基板搬送装置および基板搬送方法 |
| JP2009051654A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-12 | Toppan Printing Co Ltd | 基板搬送装置及び基板検査装置 |
| JP2009098052A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Toppan Printing Co Ltd | 基板搬送装置用基板把持機構 |
| JPWO2009093341A1 (ja) * | 2008-01-21 | 2011-05-26 | 凸版印刷株式会社 | 検査方法 |
| US7852982B2 (en) | 2008-01-21 | 2010-12-14 | Toppan Printing Co., Ltd. | Test method |
| WO2009093341A1 (ja) * | 2008-01-21 | 2009-07-30 | Toppan Printing Co., Ltd. | 検査方法及び検査装置 |
| JP2009258114A (ja) * | 2008-01-21 | 2009-11-05 | Toppan Printing Co Ltd | 検査方法及び検査装置 |
| US8358735B2 (en) | 2008-01-21 | 2013-01-22 | Toppan Printing Co., Ltd. | Test method and test device |
| JP2009231717A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Toppan Printing Co Ltd | 基板移動装置および基板搬送装置および基板撮像装置 |
| JP2012098250A (ja) * | 2010-11-05 | 2012-05-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 基板検査装置及び基板検査方法 |
| KR101362454B1 (ko) * | 2011-02-01 | 2014-02-11 | 쿠퍼 에스 케이 쿠오 | 광학 검사용 장치 |
| JP2011099875A (ja) * | 2011-02-18 | 2011-05-19 | Olympus Corp | 外観検査装置 |
| CN102253047A (zh) * | 2011-04-27 | 2011-11-23 | 3i系统公司 | 太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统及其检测方法 |
| WO2012153662A1 (ja) * | 2011-05-10 | 2012-11-15 | 旭硝子株式会社 | 透光性板状体の微小欠点の検査方法および透光性板状体の微小欠点の検査装置 |
| CN103534582A (zh) * | 2011-05-10 | 2014-01-22 | 旭硝子株式会社 | 透光性板状体的微小缺陷的检查方法和透光性板状体的微小缺陷的检查装置 |
| JP2013079847A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Olympus Corp | 基板検査装置および基板検査方法 |
| KR101275600B1 (ko) * | 2011-10-25 | 2013-07-04 | (주)그림 | 3차원 입체영상 필터 불량 검출장치 |
| KR101855322B1 (ko) | 2016-09-02 | 2018-05-09 | 한국생산기술연구원 | 제진 성능이 향상된 복합생산장비 |
| CN109916344A (zh) * | 2019-04-08 | 2019-06-21 | 天津中精微仪器设备有限公司 | 气浮式连杆测量仪 |
| JP2022536569A (ja) * | 2019-12-26 | 2022-08-18 | ナンジン リアン セミコンダクター リミテッド | 半導体産業におけるウェハ幾何学形状測定のためのツールアーキテクチャ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2000009661A (ja) | フラットパネル検査装置 | |
| JP4384504B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
| TW200900681A (en) | Inline automatic insepction apparatus and inline automatic detection system | |
| KR200341202Y1 (ko) | 산업용 인쇄회로기판 자동검사 시스템 | |
| JPWO2007088927A1 (ja) | 基板交換装置及び基板処理装置並びに基板検査装置 | |
| CN100401495C (zh) | 显示面板的检查装置 | |
| JP5303129B2 (ja) | 塗布装置及び塗布方法 | |
| JP5771432B2 (ja) | 塗布装置 | |
| TWI231964B (en) | LCD panel auto gripping apparatus and method for use in a panel carrier for an automatic probe unit | |
| TW200922697A (en) | A spreading device and a method for cleaning a spreading device | |
| KR100490952B1 (ko) | 스테이지 방식을 갖는 다목적 광학 검사용 디스플레이패널 이송장치 | |
| KR20080076041A (ko) | 에어 플로팅을 이용한 비접촉식 필름 검사장치 | |
| KR101543875B1 (ko) | 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 장치 | |
| TW201832313A (zh) | 對準裝置 | |
| KR100444251B1 (ko) | 오토 프로브 유닛용 패널 캐리어의 액정패널 자동파지장치 | |
| JP3791698B2 (ja) | ウエハ検査装置 | |
| KR101544282B1 (ko) | 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 장치 | |
| JP2005017386A (ja) | 平板状ワークの検査、修正装置 | |
| JP3619314B2 (ja) | 露光装置 | |
| JP5928771B2 (ja) | 基板検査装置および基板検査方法 | |
| KR20170115636A (ko) | 스크라이빙 장치 | |
| JPH09222446A (ja) | 表示パネル基板の検査方法および装置 | |
| JP2012137300A (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法並びに基板処理システム及び基板処理方法 | |
| JP2002019958A6 (ja) | 基板ハンドリング設備 | |
| JP4499483B2 (ja) | 検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050906 |