JP2009085865A - 基板検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】搬送装置間で基板を受け渡しながら検査を行う構成において、装置を小型化かつ構造を簡略化する。
【解決手段】基板検査装置１は、浮上ステージ１１で浮上させたガラス基板Ｗを搬送するための第１の搬送部１２と、第２の搬送部１３が搬送方向に順番に設置されている。第１、第２の搬送部１２，１３は、搬送方向に平行な同軸上に配置されている。さらに、２つの搬送部１２，１３間でのガラス基板Ｗの受け渡しを行うローラ式搬送部１４が設けられている。ローラ式搬送部１４は、浮上ステージ１１に対して突没自在に昇降する自走式のローラ４１を備える。ガラス基板Ｗを受け渡す際には、第１の搬送部１２の吸着を解除してからローラ４１をガラス基板Ｗに当接させ、第２の搬送部１３に向けてガラス基板Ｗを移動させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、ウェハや液晶ガラス基板等の検査に用いられる基板検査装置に関する。

フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）などの製造工程においては、ガラス基板の外観を観察する検査（マクロ検査）が行われている。この検査工程では、搬送装置でガラス基板を搬送しながら検査ヘッドで基板表面の画像を取得する基板検査装置を用いることが知られている。この種の基板検査装置に用いられる搬送装置としては、ガラス基板をエアー浮上させると共に、ガラス基板の側部を保持して移動するステージを備え、ガラス基板を非接触で搬送するように構成したものがある。

ここで、近年では、ガラス基板のサイズが大型化し、１辺の長さが例えば３ｍに達することもある。このようなサイズのガラス基板の略全面の画像データを取得するためには、搬送装置はガラス基板を少なくとも１辺の２倍（１辺が３ｍの場合には６ｍ）の距離搬送しなければならない。このため、従来の基板検査装置では、搬送方向に複数の搬送装置を設け、隣り合う搬送装置の間でガラス基板を受け渡しながら、大型のガラス基板の検査を行うようにしている。搬送方向で隣り合う２つの搬送装置は、搬送軸同士や、ステージ同士が干渉しないように、隣り合う２つの搬送装置を搬送方向に直交する幅方向にずらして設置される（例えば、特許文献１参照）。搬送装置ごとに搬送軸を設けることで、１つ１つの搬送軸を短くでき、直線度を確保し易くなっていた。また、設置の際にも水平度の調整が容易になるというメリットもあった。
再公表第ＷＯ２００３／０８６９１７号公報

しかしながら、従来では、ステージの干渉を防止するために隣り合う搬送装置の搬送軸をずらして敷設し、搬送装置が幅方向に互い違いに突出させていたので、基板検査装置の幅が大きくなり、工場の限られたスペースに設置することが困難になっていた。
さらに、従来では、２つの搬送装置の間でガラス基板を受け渡すときに位置ずれが生じないように、受け渡し元となる搬送装置でガラス基板を保持している間に、別の保持手段でガラス基板を保持させ、受け渡し元となる搬送装置の保持を解除した後、受け渡し先となる搬送装置に保持させていた。別の保持手段を設けることで装置構成が複雑化し、装置コストを増大させる原因になっていた。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、搬送装置間で基板を受け渡しながら検査を行う構成において、装置を小型化かつ構造を簡略化することを主な目的とする。

上記の課題を解決する本発明は、浮上ステージで浮上させた基板を保持して搬送する基板搬送部を搬送方向に複数設け、複数の前記基板搬送部の間で基板を受け渡しながら基板の検査を行う基板検査装置において、前記複数の基板搬送部が搬送方向に平行な同一のライン上に配置されると共に、基板の底面に当接して搬送方向に隣り合う２つの前記基板搬送部の間で基板を移動させる回転部材を備えることを特徴とする基板検査装置とした。

本発明によれば、基板搬送部が搬送方向に直交する方向に互い違いに突出することがなくなって、複数の基板搬送部を設置するために必要なスペースが少なく済む。このため、装置を小型化できる。回転部材を利用して基板搬送部間で基板を受け渡すことで位置ずれを防止したので、位置調整のための装置を別に設ける必要がなくなって装置構成を簡略化できる。

本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、各実施の形態で同じ構成要素には同一の符号を付してある。また、各実施の形態で重複する説明は省略する。

（第１の実施の形態）
図１に示すように、基板検査装置１は、ベース２上にガラス基板Ｗを１軸方向に搬送する基板搬送装置３が敷設され、基板搬送装置３の搬送方向に第１の検査部４と、第２の検査部５とが離間して配設されている。各部の制御は、制御装置６で行われている。制御装置６には、検査者が操作する操作部や検査結果などを表示する表示装置を設けられている。なお、検査対象は、ガラス基板に限定されず、その他の基板でも良い。

基板搬送装置３は、ガラス基板Ｗをエアー浮上させる浮上ステージ１１と、搬送方向の上流側、つまりガラス基板Ｗの搬入側に敷設された第１の搬送部１２と、搬送方向の下流側、つまりガラス基板Ｗの搬出側に敷設された第２の搬送部１３と、これら２つの搬送部１２，１３の間でガラス基板Ｗを受け渡すために使用されるローラ式搬送部１４とを備える。

浮上ステージ１１は、多数の浮上プレート２１を有する。これら浮上プレート２１は、搬送方向に平行に敷設されている。各浮上プレート２１は、上面が水平になるように支持されており、上面にはエアー噴き出し孔２２が多数設けられている。これら浮上プレート２１は、不図示のエアー供給源に接続されており、各浮上プレートの各エアー噴き出し孔２２からエアーを上向きに噴出させることができるようになっている。エアー噴き出し孔２２は、ガラス基板Ｗの略全体を下方から浮上させるのに十分な数及び配置になっている。隣り合う２つの浮上プレート２１の間には、隙間２３が形成されているが、この隙間２３は、エアー浮上に影響を与えない程度の大きさにしてある。この浮上ステージ１１は、搬送方向に複数本の浮上プレート２１を繋ぎ合わせてある。浮上プレート２１を繋ぎ合わせた接合部１１Ａは、第２の搬送部１３内で第２の検査部５より上流側に設けられており、僅かな隙間を有する。

ここで、浮上プレート２１の接合部１１Ａに合わせて、１列の乗り越し用のローラ２４が設けられている。ローラ２４は、浮上プレート２１の隙間２３に配置され、不図示の支持部に回転自在に支持されたフリーローラである。ローラ２４を有することで、接合部１１Ａでの浮上力低下によるガラス基板Ｗの撓みなどを防止できる。また、ローラ２４があることによって、接合される上流側と下流側の各浮上プレート２１の高さを厳密に一致させなくてもガラス基板Ｗをスムーズに搬送できるようになる。浮上プレート２１の接合位置に合わせてベース２も接合しても良い。なお、浮上ステージ１１が接合部１１Ａを有しない場合には、このローラ２４を設けない。

また、浮上プレート２１の搬入端及び搬出端のそれぞれの隙間２３には、ガラス基板Ｗに搬送力を伝える自走式の搬入ローラ２６と搬出ローラ２７が挿入されている。これらローラ２６，２７は、ガラス基板Ｗを他の装置から基板検査装置１に搬入したり、搬出したりする際に使用される。ガラス基板Ｗの搬入出時以外には、ローラ２６，２７を浮上したガラス基板Ｗの裏面に接触しないように浮上プレート２１の上面より下がった位置まで退避できるようにする。

第１の搬送部１２は、浮上ステージ１１の両側に沿って平行に敷設されている。各第１の搬送部１２は、搬送方向に平行に敷設された搬送ガイドレール３１と、搬送ガイドレール３１に沿って移動するスライダ３２と、スライダ３２を駆動させる駆動部であるリニアモータ３３と、スライダ３２に搭載されてガラス基板Ｗを吸着保持する基板保持部３４とを備える。
図１及び図２に示すように、駆動部には、リニアモータ３３が用いられているが、ボールネジとモータを組み合わせた直線移動機構でも良い。搬送ガイドレール３１は、リニアモータ３３を挟むように一対設けられている。リニアモータ３３及び搬送ガイドレール３１の長さは、ガラス基板Ｗの１辺の長さよりは大きいが、１辺の２倍よりは小さい。基板保持部３４は、ガラス基板Ｗの外縁部の裏面に当接させられる吸着パッド３５を昇降自在に備えている。吸着パッド３５の上面には、不図示の吸引孔が開口しており、これを吸引源に接続することで、ガラス基板Ｗを吸着保持することができる。吸着パッド３５は、ガラス基板Ｗを傷付けない程度の硬度と、十分な耐摩耗性を有する材料から製造されている。なお、吸着パッド３５を首振り動作できるようにしておけば、ガラス基板Ｗを吸着し易くなる。

図１に示すように、第２の搬送部１３は、第１の搬送部１２と同様の構成になっている。搬送方向に直交する幅方向において、第２の搬送部１３の設置位置は、第１の搬送部１２の設置位置に一致させてある。つまり、同じ側方の２つの搬送部１２，１３のスライダ３２が同軸上に配置されており、２つの搬送部１２，１３が同一ライン上に、幅方向にずれることなく一直線状に設置されている。各搬送部１２，１３の搬送ガイドレール３１及びリニアモータ３３は、独立しているので、スライダ３２及び基板保持部３４が互いに干渉することはない。

図１及び図２に示すように、ローラ式搬送部１４は、第１の搬送部１３の搬送経路内の下流側で、浮上プレート２１の隙間２３に設置された２列の自走式ローラ機構を備える。自走式ローラ機構は、軸受支持部４３に回転自在に支持された回転軸４２にローラ４１が固定される。回転軸４２及び軸受支持部４３は、モータステージ４４に昇降自在に支持されている。自走式ローラ機構としては、例えば、図３に示すように、回転軸４２に減速機構部４５を介してモータ４６に連結した構成があげられる。シリンダ４７は、矢印に示すように軸受支持部４３、モータ４６、ローラ４１を一体に上下方向に移動させる昇降機構を構成している。この昇降機構によって、ローラ４１を浮上プレート２１の上面に対して突没させることができる。ローラ４１の突出量は、エアー浮上させているガラス基板Ｗの下面にローラ４１を当接させるのに必要な基板浮上高さと同等の大きさである。ローラ４１は、１列でも良く、３列以上でも良い。なお、前記した搬入搬出用のローラ２６，２７を昇降させときの機構も同様のものを使用できる。接合部１１Ａの乗り越し用のローラ２４を昇降させるときも同様である。

第１の検査部４は、搬入ローラ２６より下流側、かつローラ式搬送部１４より上流側に配置されており、浮上ステージ１１及び第１の搬送部１２を幅方向で跨ぐようにベース２に固定された門型フレーム（ガントリともいう）５１と、門型フレーム５１の水平梁５１Ａに固定された不図示のライン照明装置と、ラインセンサカメラからなる複数の検査ヘッド５３を備えるマクロ検査装置である。ライン照明装置は、幅方向にスリット状のライン照明光を照射し、下方に設定された検査位置にあるガラス基板Ｗの表面に斜めに入射するように構成されている。検査ヘッド５３は、幅方向に配列されたスリット状の検査領域の画像データを取得する撮像素子を備える。例えば、正反射の画像を取得する場合には、ガラス基板Ｗで正反射した光の光路上に検査ヘッド５３が設置される。なお、検査位置を中心とする検査ヘッド５３の設置角度を変更可能な角度調整機構を設けると、暗視野での画像データや回折光の画像データを取得することも可能になる。

第２の検査部５は、ローラ式搬送部１４及び乗り越し用ローラ２４より下流側、かつ搬出用ローラ２７より上流側に配置されており、浮上ステージ１１及び第２の搬送部１３を幅方向で跨ぐようにベース２に固定された門型フレーム（ガントリともいう）６１と、門型フレーム６１の水平梁６１Ａに敷設され、幅方向に敷設された軸に沿って移動可能なスライダ６２と、スライダ６２に搭載された顕微鏡６３とを備え、ミクロ検査装置又はレビュー装置と呼ばれる。顕微鏡６３には、落射照明が用いられており、ガラス基板Ｗの表面の顕微鏡画像を取得して画像データを出力する撮像素子が設けられている。なお、浮上プレート２１の下方にライン状の照明を設け、透過照明によってガラス基板Ｗの表面観察を行っても良い。この場合は、浮上プレートに照明光を通すための狭いスリットが形成される。

次に、この基板検査装置１の動作について説明する。
最初に、第１、第２の搬送部１２，１３のそれぞれのスライダ３２を上流側に移動させ待機させる。各基板保持部３４は、吸着パッドの吸着面がガラス基板Ｗの裏面に接触しない位置まで降下させておく。浮上プレート２１のエアー吹き出し孔２２からはエアーを噴き出させておく。
ラインの上流側でアライメントされたガラス基板Ｗが搬入されると、最初に搬入ローラ２６によってガラス基板Ｗが浮上ステージ１１上に案内される。基板検査装置１に搬入されたガラス基板Ｗは、エアー浮上させられるので、第１の搬送部１２の基板保持部３４を上昇させて、ガラス基板Ｗを吸着パッド３５で吸着保持する。基板保持部３４は、ガラス基板Ｗの下流側の端部を吸着保持する。

リニアモータ３３でスライダ３２を下流に向かって移動させる。スライダ３２に搭載されている基板保持部３４に吸着保持されているガラス基板Ｗが下流に向かって搬送される。
このとき、ガラス基板Ｗの先端が第１の検査部４の検査位置に達したら、マクロ検査が開始される。すなわち、照明装置で照明されたガラス基板Ｗの表面の画像が検査ヘッド５３によって取得される。制御装置６は、各検査ヘッド５３が出力する画像データからガラス基板Ｗの表面画像を作成する。この画像は、ライン状の画像になるので、第１の搬送部１２でガラス基板Ｗを搬送しながら撮像を繰り返し、画像データを足し合わせることでガラス基板Ｗの略全面についての表面画像のデータが得られる。このようにして得られた画像データに基づいて検査者が目視で欠陥の有無を調べたり、予め制御装置６に登録しておいた欠陥の無い画像データとパターンマッチングして欠陥の抽出をしたりする。欠陥の位置や種類を調べたデータは、欠陥データとして制御装置６の記憶装置に保存される。

第１の搬送部１２が基板保持部３４を最も下流側まで移動させてから停止させると、ガラス基板Ｗの下流側の端部がローラ式搬送部１４の２列のローラ４１の上方に案内される。モータステージ４４でローラ４１を上昇させ、ガラス基板Ｗの裏面に当接させる。吸着パッド３５の吸着を解除してからモータ４６を駆動させてローラ４１を回転させると、ガラス基板Ｗが下流に向かって搬送される。第２の搬送部１３の基板保持部３４が吸着パッド３５でガラス基板Ｗを吸着保持するのに十分な量だけガラス基板Ｗが第２の搬送部１３に送り込まれたところでローラ４１の回転を停止させる。ローラ式搬送部１４によるガラス基板Ｗの送り量Ｌは、図１に示す受け渡し時の基板保持部３４間の距離に相当する。

第２の搬送部１３は、基板保持部３４を上昇させて吸着パッド３５でガラス基板Ｗの端部を吸着保持する。吸着を確認したら、ローラ式搬送部１４のローラ４１を浮上プレート２１より下方まで下げる。これによって、２つの搬送部１２，１３間でのガラス基板Ｗの受け渡しが完了する。この間、ガラス基板Ｗのはりつきを防止するために、エアー浮上は継続して行われる。また、エアー浮上を継続させることで、少ない力でガラス基板Ｗを第２の搬送部１３に向けて搬送することができ、ローラ４１の数を少なくできる。

第２の搬送部１３でガラス基板Ｗを吸着保持したら、スライダ３２を下流に向かって移動させる。ガラス基板Ｗが浮上プレート２１上を搬送される。ガラス基板Ｗが第２の検査部５の検査位置に達したら、ミクロ検査が開始される。すなわち、顕微鏡６３が幅方向に移動しながら、ガラス基板Ｗの表面の顕微鏡画像を取得し、制御装置６に出力する。顕微鏡観察を行うポイントは、第１の検査部４におけるマクロ検査で欠陥として抽出された位置である。制御装置６は、第２の搬送部１３でのガラス基板Ｗの送り量と、顕微鏡６３の幅方向の移動量から欠陥データとして登録されている位置に顕微鏡６３を合わせさせる。顕微鏡画像は、制御装置６の記憶装置に記憶させたり、画面表示させたりされる。検査者は、画面表示された顕微鏡画像から欠陥を評価し、必要な処置を講じる。

ミクロ検査が完了し、第２の搬送部１３がガラス基板Ｗを浮上ステージ１１の下流側の端部まで搬送したら、吸着を解除する。搬出用のローラ２７を上昇させ、ローラ搬送によってガラス基板Ｗを搬出させる。ミクロ検査を実施している間、第１の搬送部１２は基板保持部３４を上流側に戻して、次のガラス基板Ｗの搬入に備える。このため、マクロ検査やミクロ検査が完了したら直ぐに次のガラス基板Ｗのマクロ検査やミクロ検査を開始できるようになってタクトタイムを短くできる。

この実施の形態によれば、第１の搬送部１２から第２の搬送部１３にガラス基板Ｗを受け渡すときに、自走式のローラ４１でガラス基板Ｗを第２の搬送部１３に向けて搬送するようにしたので、搬送部１２，１３の位置を幅方向にずらす必要がなくなる。このため、装置の幅を従来の比べて小さくできる。ローラ４１がガラス基板Ｗに接触することで発生する抵抗によってガラス基板Ｗの位置ずれが防止されるので、搬送部１２，１３間の受け渡し時に位置ずれを防止するための新たな機構を設ける必要がなくなって装置構成を簡略化できる。

なお、第１の搬送部１２がガラス基板Ｗを吸着保持する場所を端部より中央寄りにすれば、基板保持部３４を最も下流側に移動させたときに、ガラス基板Ｗの一部が第２の搬送部１３に進入するようになるので、ローラ式搬送部１４の送り量を少なくできる。

（第２の実施の形態）
図４及び図５に示すように、この基板検査装置８０は、ベース２上に基板搬送装置８１として、浮上ステージ１１を有し、さらに幅方向の略中央で浮上ステージ１１に重なるように第１の搬送部８２と第２の搬送部８３が同一ライン上に設けられている。
第１の搬送部８２は、搬送方向に沿って架設されたフレーム部９１に敷設された搬送ガイドレール３１及び駆動部であるリニアモータ３３と、リニアモータ３３によって移動するスライダ３２に搭載された基板保持部９２とを備える。

図６に示すように、基板保持部９２は、スライダ３２上に固定されたテーブル９３を有する。テーブル９３には、シリンダ９４を介してベース９５が昇降自在に支持されている。ベース９５には細長のステージ９６が取り付けられている。ステージ９６には吸着パッド３５が長手方向に沿って３つ搭載されている。吸着パッド３５は、ステージ９６の幅方向の中心位置と、これを挟んで対称な位置のそれぞれに１つずつ配置されている。吸着パッド３５は、浮上プレート２１の隙間２３に１つずつ挿入可能で、浮上プレート２１の上面から突没させることができるように配置されている。

図４及び図５に示すように、第１の搬送部８２の搬送ガイドレール３１及びリニアモータ３３は、第１の検査部４の下流側で、第２の検査部５の手前まで延びている。第１の搬送部８２の搬送経路内で、下流側の位置には、ローラ式搬送部１０１が設けられている。ローラ式搬送部１０１は、第１の搬送部８２の敷設位置を避けるように左右に振り分けて配置されている。その構成は、第１の実施の形態と同様であって、モータステージ４４によってローラ４１を浮上プレート２１の隙間２３に突没させることができ、さらにモータ４６によってローラ４１を回転させることができる。なお、搬入側のローラ２６と、搬出側のローラ２７も搬送部８２，８３を避けて左右に振り分けて設置されている。

第２の搬送部８３は、第１の搬送部８２と同様の構成になっている。第２の搬送部８３の搬送ガイドレール３１及びリニアモータ３３は、上流側では第２の検査部５で使用するライン照明１０２よりも下流側から搬出端に至るまで敷設されている。各搬送部８２，８３の搬送ガイドレール３１及びリニアモータ３３は、独立しているので、スライダ３２及び基板保持部９２が互いに干渉することはない。

図４に示すように、第２の検査部５は、門型フレーム６１の水平梁６１Ａに移動自在に取り付けられた顕微鏡６３と、顕微鏡６３の下方に配置されたライン照明１０２とを有する。ライン照明１０２は、光源１０３と、光源１０３の光を伝達すると共に上方に向けて光をライン状に放射する細長のライトガイド部材１０４とを有する。浮上ステージ１１は、ライン照明１０２の照明光を通過させるために、浮上プレート２１にスリット１０６を設けて照明光が通過できるようにしてある。

この基板検査装置８０の動作について説明する。
最初にエアーの噴き出しを開始する。各搬送部８２，８３の基板保持部９２を上流側に移動させ、吸着パッド３５を浮上プレート２１よりも下げておく。
ガラス基板Ｗが搬入されたら、基板保持部９２のシリンダ９４を伸長させてベース９５を上昇させる。３つの吸着パッド３５が浮上プレート２１の隙間２３から突出してガラス基板Ｗの裏面に当接するので、吸引を開始するとガラス基板Ｗが吸着保持される。スライダ３２を搬送ガイドレール３１に沿って移動させると、基板保持部９２に吸着されたガラス基板Ｗが下流に向かって搬送される。基板搬送を行いながら第１の検査部５で第１の実施の形態と同様にマクロ検査を行う。

マクロ検査が終了し、ガラス基板Ｗを第１の搬送部８２の最も下流側の部分まで搬送する。ローラ式搬送部１０１のローラ４１を上昇させ、ガラス基板Ｗの裏面に当接させる。吸着パッド３５の吸着を解除させ、シリンダ９４を収縮させてベース９５を下降させ、吸着パッド３５をガラス基板Ｗから離す。
ローラ４１を回転させると、ガラス基板Ｗが下流側に向かって搬送される。ローラ式搬送部１０１は、ガラス基板Ｗの端部が第２の搬送部８３の吸着パッド３５の上方に到達するまで搬送を行う。つまり、このときの送り量は、受け渡し時で最も近接状態にある基板保持部９２間の距離に相当する。

ローラ搬送が完了したら、第２の搬送部８３の基板保持部９２がガラス基板Ｗを吸着保持する。吸着保持の手順は、第１の搬送部８２と同じであり、移載はガラス基板Ｗをエアー浮上させた状態で実施する。スライダ３２を搬送ガイドレール３１に沿って移動させると、基板保持部９２に吸着されたガラス基板Ｗが下流に向けて搬送される。基板搬送を行いながら第２の検査部５でミクロ検査を行う。ミクロ検査は、透過照明を使用する以外は、第１の実施の形態と同様である。

この実施の形態によれば、幅方向の中央部分に２つの搬送部８２，８３を同軸に配置したので、装置の幅を小さくできる。第１の搬送部８２と第２の搬送部８３に分割されるので、各検査部４，５の検査軸に対して搬送ガイドレール３１の直角度の調整などが容易になる。２つの搬送部８２，８３で独立に基板搬送もできるので、検査のタクトタイムを減少できる。ローラ式搬送部１０１を有する効果は、第１の実施の形態と同様である。

なお、本発明は、前記の各実施の形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、基板搬送装置は、搬送部１２，１３，８２，８３を３つ以上有しても良い。
検査部４，５は、１つでも良く、３つ以上でも良い。搬送経路中に欠陥の修正を行うリペア装置などの処理装置を設けても良い。
第２の実施の形態において、ガラス基板Ｗの位置を補正する必要があるときは、スライダ３２に対してテーブル９３を幅方向に移動させる機構と、ステージ９６を中央の吸着パッド３５を中心に回動させる機構を設けたりすると良い。

基板検査装置の構成を示す平面図であって、側部に搬送部を有する図である。 図１のＡ−Ａ線に沿った断面図である。 図１のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。 基板検査装置の構成を示す平面図であって、中央に搬送部を有する図である。 図４に基板検査装置で搬送部の構成を説明するための図である。 図４のＣ−Ｃ線に沿った断面図である。

符号の説明

１，８０ 基板検査装置
３，８１ 基板搬送装置
４ 第１の検査部
５ 第２の検査部
１１ 浮上ステージ
１２，８２ 第１の搬送部（基板搬送部）
１３，８３ 第２の搬送部（基板搬送部）
１４，１０１ ローラ式搬送部
２１ 浮上プレート
２４ 乗り越し用のローラ
４１ ローラ（回転部材）
３４，９２ 基板保持部
Ｗ ガラス基板

Claims (5)

1. 浮上ステージで浮上させた基板を保持して搬送する基板搬送部を搬送方向に複数設け、複数の前記基板搬送部の間で基板を受け渡しながら基板の検査を行う基板検査装置において、
   前記複数の基板搬送部が搬送方向に平行な同一のライン上に配置されると共に、基板の底面に当接して搬送方向に隣り合う２つの前記基板搬送部の間で基板を移動させる回転部材を備えることを特徴とする基板検査装置。
2. 前記浮上ステージは、搬送方向に平行に敷設され、空気を噴き出す孔が設けられた浮上プレートを有し、前記回転部材は、前記浮上プレートの間の隙間に突没自在に設けられた自走式のローラであることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
3. 前記浮上ステージは、前記浮上プレートを搬送方向に継ぎ合わせて形成されており、前記浮上プレートの接合部分を基板が乗り越えられるように、フリーローラが設けられていることを特徴とする請求項２に記載の基板検査装置。
4. 前記基板搬送部は、搬送方向に直交する幅方向の中央に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
5. 前記複数の基板搬送部のそれぞれの搬送経路中に基板の検査を行うための検査部が少なくとも１つずつ配置されていることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。

Images