JP5269328B2 - インライン自動検査装置及びインライン自動検査システム - Google Patents

Description

本発明は、検査対象物を製造ライン等の搬送経路を搬送している間に検査するインライン自動検査装置及びインライン自動検査システムに関する。

液晶パネルの点灯検査等の検査対象物の検査をする装置としては、特許文献１や特許文献２に記載のものがある。特許文献１は、液晶パネルを受けるパネル受けを設け、液晶パネルの種類の変更に伴って開口の大きさが変更して、液晶パネルを検査するものである。

また、特許文献２は、４つの板状のベースで矩形の開口を共同して形成してその寸法を調整することで、大きさが異なる液晶パネルの検査をするものである。
特開２００６−１１９０３１号公報 特開２００６−１３８６３４号公報

しかし、このような従来の検査装置の場合、例えば搬送経路の横に設置することになるが、その検査装置のための特別のスペースが必要となり、嵩張ってしまう。特に、種々の装置が製造ラインに沿って設置されている場合には、検査装置のための設置スペースを充分に確保することができない場合もある。さらに、検査装置を搬送経路の横に設置する場合、ロボットハンド等のパネル移載装置が必要となり、この装置のための設置スペースも必要となる。

また、検査装置は、製造ライン等の搬送経路から離れた位置にあるため、液晶パネル１枚１枚を搬送経路から一旦取り出して、前記検査装置で検査してまた搬送経路に戻す必要がある。これにより、液晶パネルの検査をすることができるが、検査に時間がかかるため、大量に検査する必要がある場合には不向きである。

ものによっては全量検査が必要な場合もあるが、この場合は、液晶パネルを搬送経路から一旦取り出して、１枚ずつ検査して元に戻していては時間が係り過ぎて検査効率が悪いため、短時間で効率的に検査できる検査装置が望まれている。

本発明は、上述した課題に鑑みてなされたもので、本発明のインライン自動検査装置は、検査対象物を搬送経路に沿って搬送する上流側搬送部と、当該上流側搬送部の下流側に連なるように互いに近接して配置され、ワークテーブルが前記搬送経路にその下側からせり出して前記検査対象物を支持して前記ワークテーブルの上部のプローブユニットに面する位置へ持ち上げて検査を行うと共に前記ワークテーブルの下側に形成された内部搬送部が前記上流側搬送部と一体となって前記搬送経路を形成して前記検査対象物の通過を許容する検査部と、当該検査部の下流側に連なるように互いに近接して配置されて検査後の前記検査対象物を搬送経路に沿って下流側へ搬送すると共に前記ワークテーブルの持ち上げにより当該ワークテーブルの下側の前記内部搬送部と一体となって前記搬送経路を形成する下流側搬送部と、前記検査対象物を前記上流側搬送部から前記検査部に移し替える上流側移載部と、前記検査対象物を前記検査部から前記下流側搬送部に移し替える下流側移載部とを備えて構成されたことを特徴とする。

記検査部は、昇降可能に設置されて前記検査対象物を支持するワークテーブルと、前記検査対象物の検査のために当該ワークテーブルを上昇させた位置で前記上流側搬送部及び下流側搬送部と協働して搬送経路を構成する内部搬送部と、前記ワークテーブル及び内部搬送部を昇降させる昇降機構とを備えて構成されることが望ましい。前記検査対象物を前記上流側搬送部から前記検査部に移し替える動作と、前記検査部から前記下流側搬送部に移し替える動作とは、前記上流側移載部と下流側移載部とが連動して同時に行うことが望ましい。前記上流側搬送部には、前記検査部のワークテーブルに前記上流側移載部で移し替える前記検査対象物の粗位置を調整する粗アライメントユニット装置を備えることが望ましい。前記検査部は、前記ワークテーブルに望ませて設けられたカメラと、当該カメラを内部に収納すると共に、前記ワークテーブルをその上側から覆って当該ワークテーブルに支持された前記検査対象物を前記カメラで撮影するための暗室を構成する昇降可能な筐体とを備えることが望ましい。

また、本発明のインライン自動検査システムは、検査対象物を搬送経路に沿って搬送する上流側搬送部と、当該上流側搬送部の下流側に連なるように互いに近接して配置され、前記搬送経路にその下側からせり出して前記検査対象物を支持して上方へ持ち上げて検査を行うと共にその下側での検査対象物の通過を許容する検査部と、当該検査部の下流側に連なるように互いに近接して配置されて検査後の前記検査対象物を搬送経路に沿って下流側へ搬送する下流側搬送部と、前記検査対象物を前記上流側搬送部から前記検査部に移し替える上流側移載部と、前記検査対象物を前記検査部から前記下流側搬送部に移し替える下流側移載部とを備え、前記検査部が、昇降可能に設置されて前記検査対象物を支持するワークテーブルと、前記検査対象物の検査のために当該ワークテーブルを上昇させた位置で前記上流側搬送部及び下流側搬送部と協働して搬送経路を構成する内部搬送部と、前記ワークテーブル及び内部搬送部を昇降させる昇降機構とを備えて構成されたインライン自動検査装置を、前記搬送経路に複数配設されたことを特徴とする。

前記インライン自動検査装置では、当該インライン自動検査装置が搬送経路上に設置されるため、このインライン自動検査装置のための特別の設置スペースを必要とせず、大幅な省スペース化を図ることができる。また、移載装置を特別に設ける必要がないため、スペースの有効利用やランニングコストの低減等により全体としてコスト低減を図ることができる。

また、インライン自動検査システムでは、前記搬送経路に複数配設されたインライン自動検査装置のうち、先頭のインライン自動検査装置で前記検査対象物の検査が開始されると、次の検査対象物は先頭のインライン自動検査装置の内部搬送部を通過して次のインライン自動検査装置に流れ、このインライン自動検査装置で前記検査対象物の検査が開始される。次の検査対象物は２番目のインライン自動検査装置の内部搬送部を通過して次のインライン自動検査装置に流れ、前記同様にして検査が開始され、多数の検査対象物を効率的に検査することができる。

以下、本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す斜視図、図２は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す正面図、図３は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す正面断面図（図５のＡ−Ａ線矢視断面図）、図４は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す斜視図、図５は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す平面図、図６は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す斜視図、図７は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す正面図、図８は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す正面断面図、図９は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置の粗アライメントユニット装置を示す斜視図、図１０は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置の粗アライメントユニット装置を上流側搬送部に組み込んだ状態を示す斜視図、図１１は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置の粗アライメントユニット装置を上流側搬送部に組み込んだ状態を示す平面図である。

インライン自動検査装置１は、検査対象物の搬送経路に組み込まれる装置である。インライン自動検査装置１は、種々の検査対象物の搬送経路において、当該検査対象物の検査を行う。検査対象物の搬送経路としてここでは、液晶パネルの製造ラインを例に説明する。液晶パネルの製造ラインは、通常、コンベアで構成されているため、インライン自動検査装置１は、このコンベアの途中において、このコンベアの一部を取り除いて組み込まれることになる。

インライン自動検査装置１は図１〜８に示すように、上流側搬送部２と、検査部３と、下流側搬送部４と、上流側移載部５と、下流側移載部６とから構成されている。

上流側搬送部２は、前記コンベアを搬送されてきた液晶パネル８を搬送経路に沿って検査部３まで搬送するための装置である。上流側搬送部２は、前記コンベアの一部を取り除いた位置に、当該コンベアの上流側に連なるように互いに近接して配置されている。この上流側搬送部２は、ローラーコンベアによって構成されている。上流側搬送部２は具体的には、一定間隔を空けて平行に配設されたローラー９と、各ローラー９をその両側から回転可能に支持する側壁１０と、液晶パネル８の大まかな位置（粗位置）を調整する粗アライメントユニット装置１１（図５参照）と、前記ローラー９を回転駆動する駆動部(図示せず)とから構成されている。側壁１０には前記コンベアの高さに合わせた脚部(図示せず)が設けられる。前記駆動部は、後述する下流側移載部６の駆動部及び後述する検査部３の内部搬送部４７の駆動部と連動して制御され、液晶パネル８をスムーズに搬送できるようになっている。

粗アライメントユニット装置１１は、液晶パネル８を上流側搬送部２から後述する検査部３のワークテーブル４５に上流側移載部５で移し替える際に、液晶パネル８の粗位置を調整するための装置である。粗アライメントユニット装置１１は、図９〜１１に示すように、縦位置決め部１３と、横位置決め部１４と、昇降部１５とから構成されている。なお、図９〜１１に示す上流側搬送部２の全体的構成は、図１に示す上流側搬送部２とその寸法が少し違うが、機能が同様出る。

縦位置決め部１３は、上流側搬送部２の下流側端部に搬送された液晶パネル８を検査部３に移し替える際に、液晶パネル８の縦方向の位置を調整するための装置である。縦位置決め部１３は、レール１７と、スライダ１８と、シリンダ１９と、支持部材２０と、パネル検知センサ２１とから構成されている。レール１７は、前記搬送経路に沿って配設され、スライダ１８を搬送経路に沿う縦方向に移動可能に支持している。レール１７は、上流側搬送部２側に固定されている。スライダ１８は、レール１７にスライド可能に嵌合されて、前記搬送経路に沿う縦方向に移動可能支持されている。シリンダ１９は、支持部材２０を支持して昇降させるための装置である。このシリンダ１９は、エアシリンダ、油圧シリンダ等の既存のシリンダを用いることができる。シリンダ１９には、空気圧又は油圧を供給するための装置(図示せず)が接続されている。シリンダ１９は、スライダ１８に取り付けられて、搬送経路に沿う縦方向に移動できるようになっている。支持部材２０は、液晶パネル８にその下側から直接に接触して支持するための部材である。この支持部材２０は、シリコンゴム等で構成されている。パネル検知センサ２１は、液晶パネル８が粗アライメントユニット装置１１の直上に位置していることを検知するためのセンサである。これ以外に、液晶パネル８の縦横の位置を検知するセンサが適宜配設される。

横位置決め部１４と、上流側搬送部２の下流側端部に搬送された液晶パネル８を検査部３に移し替える際に、液晶パネル８の横方向の位置を調整するための装置である。横位置決め部１４は、レール２３と、スライダ２４と、シリンダ２５と、支持部材２６とから構成されている。レール２３は、前記搬送経路に直交する横方向に配設され、スライダ２４を横方向に移動可能に支持している。レール２３は、前記縦位置決め部１３のレール１７と一体的に、上流側搬送部２側に固定されている。スライダ２４は、レール２３にスライド可能に嵌合されて、横方向に移動可能支持されている。シリンダ２５は、スライダ２４に２つ設けられている。各シリンダ２５は、支持部材２６を支持して昇降させるための装置である。各シリンダ２５は、エアシリンダ、油圧シリンダ等の既存のシリンダを用いることができる。シリンダ２５には、空気圧又は油圧を供給するための装置(図示せず)が接続されている。シリンダ２５は、スライダ２４に取り付けられて、横方向に移動できるようになっている。支持部材２６は、液晶パネル８にその下側から直接に接触して支持するための部材である。この支持部材２６は、シリコンゴム等で構成されている。

昇降部１５は、前記縦位置決め部１３及び横位置決め部１４で粗位置が調整された後の液晶パネル８を昇降させるための装置である。昇降部１５は、パネルリフタ２８と、シリンダ２９とから構成されている。

パネルリフタ２８は、液晶パネル８の裏面に直接に接触して液晶パネル８を持ち上げるための部材である。パネルリフタ２８は、支持板３１と、この支持板３１の下側に４本配設されたガイド棒３２と、支持板３１の上側に４本配設された支持棒３３と、各支持棒３３の上端部に設けられた支持部材３４とから構成されている。４本のガイド棒３２は、案内板３５の４つのガイド穴３６に挿入されて、上下方向にスライド可能に支持されている。案内板３５は、上流側搬送部２のフレーム３７に固定されている。

シリンダ２９は、パネルリフタ２８を昇降させるための部材である。このシリンダ２９は、案内板３５の裏面に固定されて、シリンダロッド(図示せず)が支持板３１に連結されている。これにより、シリンダ２９がシリンダロッドを延出させることで、パネルリフタ２８が上昇して、支持棒３３の上端の支持部材３４で支持された液晶パネル８を上方へ持ち上げるようになっている。持ち上げられた液晶パネル８は、上流側移載部５に渡されて検査部３に移し替えられる。

検査部３は、上流側搬送部２の下流側に連なるように互いに近接して配置され、前記搬送経路にその下側からせり出して液晶パネル８を支持して上方へ持ち上げて検査を行うと共にその下側での液晶パネル８の通過を許容するための装置である。検査部３は主に、ＸＹＺθステージ４０と、検査ステージ４１と、画像処理部４２とから構成されている。

ＸＹＺθステージ４０は、検査ステージ４１をＸＹＺ軸方向及び回転方向に微調整するための装置である。このＸＹＺθステージ４０には、Ｚステージ部とは別に、検査ステージ４１を大きく昇降させるための昇降機構が組み込まれている。この昇降機構によって、検査ステージ４１が上方へ大きく上昇されて、検査が行われる。

検査ステージ４１は、液晶パネル８を正確に支持して、その背面から照明するための装置である。検査ステージ４１は、ワークテーブル４５と、バックライト４６と、内部搬送部４７とから構成されている。

ワークテーブル４５は、液晶パネル８を直接に支持するための部材である。ワークテーブル４５は、ＸＹＺθステージ４０で昇降可能に支持されて、液晶パネル８を正確な位置に支持する。バックライト４６は、ワークテーブル４５に支持された液晶パネル８をその背面（下側面）から照明するための部材である。バックライト４６で液晶パネル８を背面から照明して、液晶パネル８の点灯検査が行われる。

内部搬送部４７は、液晶パネル８の検査のためにワークテーブル４５を上昇させたときに、上流側搬送部２及び下流側搬送部４と協働して前記搬送経路を構成するための装置である。内部搬送部４７は、ＸＹＺθステージ４０とバックライト４６との間に設けられたローラーコンベアによって構成されている。このローラーコンベアは、ＸＹＺθステージ４０の昇降機構によって検査ステージ４１が上昇された状態で、上流側搬送部２及び下流側搬送部４とその高さが一致するように設定されている。内部搬送部４７には、その内部のローラー９を駆動するための駆動部(図示せず)が設けられている。この駆動部は、上流側搬送部２及び下流側搬送部４の駆動部と同期して各ローラー９を駆動するようになっている。

ワークテーブル４５の上部にはプローブユニット(図示せず)が設けられている。このプローブユニットは、そのプローブが液晶パネル８の電極に接触して検査信号を印加し、液晶パネル８にテストパターン等を表示させる。

画像処理部４２は、液晶パネル８の表面を撮影して画像処理により、液晶パネル８の欠陥等の検査を行うための装置である。画像処理部４２は主に、カメラ５１と、カメラ駆動機構５２と、処理装置５３と、暗室用筐体５４とから構成されている。

カメラ５１は、ワークテーブル４５に望ませて設けられている。このカメラ５１によって、液晶パネル８が撮影されて、その映像データが処理装置５３に送信される。カメラ駆動機構５２は、カメラ５１を支持してその位置を調整するための装置である。このカメラ駆動機構５２によってカメラ５１が上下、前後左右に移動されて位置合わせが行われるようになっている。処理装置５３は、カメラ５１で撮影した画像を処理するための装置である。

暗室用筐体５４は、カメラ５１をカメラ駆動機構５２と共に内部に収納して、ワークテーブル４５をその上側から覆って暗室を構成するための筐体である。暗室用筐体５４は、昇降可能に設けられ、ワークテーブル４５をその上側から適宜覆って暗室を構成する。これにより、ワークテーブル４５に支持された液晶パネル８をバックライト４６で照明してカメラ５１で撮影し、処理装置５３で画像処理を行って液晶パネル８の検査を行う。

下流側搬送部４は、検査後の液晶パネル８を搬送経路に沿って下流側へ搬送するための装置である。下流側搬送部４は、検査部３の下流側に連なるように互いに近接して配置されている。下流側搬送部４の全体構成は、粗アライメントユニット装置１１を有しない点を除いて、前記上流側搬送部２と対称に構成されている。

上流側移載部５は、液晶パネル８を上流側搬送部２から検査部３に移し替えるための装置である。上流側移載部５は、パネル吸着部５７と、パネル搬送アーム５８と、パネル搬送機構５９とから構成されている。

パネル吸着部５７は、液晶パネル８を吸着して支持するための部材である。パネル吸着部５７は、液晶パネル８の表面に吸着する吸着パッド６１と、パネル昇降機構６２とを備えて構成されている。この吸着パッド６１は吸引装置(図示せず)に接続されている。パネル昇降機構６２は、パネル搬送アーム５８に固定された状態で、吸着パッド６１を支持してこの吸着パッド６１で吸着された液晶パネル８を昇降させる。

パネル搬送アーム５８は、上流側搬送部２の側部から液晶パネル８を支持するための棒材である。パネル搬送アーム５８の先端にパネル吸着部５７が取り付けられ、このパネル吸着部５７で吸着された液晶パネル８をパネル搬送アーム５８で上流側搬送部２の側部から支持するようになっている。パネル搬送機構５９は、液晶パネル８を上流側搬送部２から検査部３へ移動させるための装置である。パネル搬送機構５９は、直接的にはパネル搬送アーム５８を支持することで、このパネル搬送アーム５８及びパネル吸着部５７を介して液晶パネル８を支持して、上流側搬送部２から検査部３へ移動させるようになっている。

下流側移載部６は、液晶パネル８を検査部３から下流側搬送部４に移し替えるための装置である。下流側移載部６は、前記上流側移載部５と同様に、パネル吸着部６５と、パネル搬送アーム６６と、パネル搬送機構６７とから構成されている。これら各部の機能は、左右対称になっている点の違いを除いて、上流側移載部５の各部の機構と同様である。

前記上流側移載部５と下流側移載部６とは互いに連動して制御され、液晶パネル８を上流側搬送部２から検査部３に移し替える動作と、検査部３から下流側搬送部４に移し替える動作とを、同時に行うように設定されている。

［動作］
以上のように構成されたインライン自動検査装置１は、次のように動作する。

液晶パネル８の製造ラインにおいては、ガラス基板の状態から、種々の処理工程を経て液晶パネル８が製造される。

この製造ラインの製造工程において、検査工程が組み込まれる場合がある。この場合は、製造ラインの途中に、インライン自動検査装置１が設置される。このインライン自動検査装置１では、製造ラインを搬送されてきた液晶パネル８が、その搬送経路に沿って流れながらインライン自動検査装置１に搬入され、検査終了後に搬送経路に戻される。このインライン自動検査装置１の動作を次に示す。

製造ラインを搬送されてきた液晶パネル８は、まず上流側搬送部２に流れてくる。上流側搬送部２では、粗アライメントユニット装置１１で液晶パネル８のあらかたの位置合わせがされる。具体的には、粗アライメントユニット装置１１の縦位置決め部１３で液晶パネル８の縦方向が、横位置決め部１４で横方向が位置あわせされる。スライダ１８で液晶パネル８を検出すると、シリンダ１９で支持部材２０が上昇されて液晶パネル８が持ち上げられ、スライダ１８がレール１７をスライドすることで、液晶パネル８の縦方向が位置合わせされる。次いで、シリンダ２５で支持部材２６が上昇されて液晶パネル８が持ち上げられ、スライダ２４がレール２３をスライドすることで、液晶パネル８の横方向が位置合わせされる。

次いで、昇降部１５の支持部材３４が上昇して液晶パネル８を持ち上げて、上流側移載部５のパネル吸着部５７に受け渡す。上流側移載部５では、パネル吸着部５７が液晶パネル８に吸着して液晶パネル８を支持し、パネル搬送機構５９で検査部３のワークテーブル４５に搬送される。このとき、ワークテーブル４５上に既に液晶パネル８が存在する場合は、その検査が終了してから搬送が行われる。このとき、上流側移載部５と下流側移載部６とは連動して図４の状態から図６の状態に、同時に移し替える。

次いで、ＸＹＺθステージ４０内の昇降機構によって液晶パネル８が上昇され、カメラ５１に近づく。次いで、画像処理部４２で画像処理が行われる。具体的には、カメラ５１で撮影した液晶パネル８の表面の画像データが処理装置５３に送信され、この処理装置５３で画像処理が行われて、液晶パネル８の点灯検査が行われる。

このとき、次の液晶パネル８は、上流側搬送部２から内部搬送部４７を通って下流側搬送部４に流される。複数のインライン自動検査装置１が設置されている場合は、後方のインライン自動検査装置１に流される。

検査が終了すると、上流側移載部５後下流側移載部６とが連動して、図４の状態から図６の状態に、同時に移し替える。

［効果］
以上のように、インライン自動検査装置１では、このインライン自動検査装置１が搬送経路上に設置されるため、このインライン自動検査装置１のための特別の設置スペースを必要とせず、製造ラインの周囲の大幅な省スペース化を図ることができる。

また、移載装置を特別に設ける必要がなく、スペースの有効利用やランニングコストの低減により、全体としてコスト低減を図ることができる。

［変形例］
前記実施形態では、１つのインライン自動検査装置１について説明したが、製造ラインに複数のインライン自動検査装置１を設けてもよい。この場合、複数のインライン自動検査装置１が互いに連携して液晶パネル８の検査を行う。具体的には、前記搬送経路に複数配設されたインライン自動検査装置１のうち、先頭のインライン自動検査装置１で液晶パネル８の検査が開始されると、次の液晶パネル８は先頭のインライン自動検査装置１の内部搬送部４７を通過して次のインライン自動検査装置１に流れ、このインライン自動検査装置１で液晶パネル８の検査が開始される。次の液晶パネル８は２番目のインライン自動検査装置１の内部搬送部４７を通過して次のインライン自動検査装置１に流れ、前記同様にして検査が開始され、多数の液晶パネル８を効率的に検査することができる。

また、前記実施形態では、検査対象物として液晶パネル８を例に説明したが、液晶パネル８以外の検査対象物でも適用可能であり、前記同様の作用、効果を奏する。

本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す正面図である。 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す正面断面図（図５のＡ−Ａ線矢視断面図）である。 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す平面図である。 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す正面図である。 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す正面断面図である。 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置の粗アライメントユニット装置を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置の粗アライメントユニット装置を上流側搬送部に組み込んだ状態を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置の粗アライメントユニット装置を上流側搬送部に組み込んだ状態を示す平面図である。

符号の説明

１：インライン自動検査装置、２：上流側搬送部、３：検査部。４：下流側搬送部、５：上流側移載部、６：下流側移載部、８：液晶パネル、９：ローラー、１０：側壁、１１：粗アライメントユニット装置、１３：縦位置決め部、１４：横位置決め部、１５：昇降部、１７：レール、１８：スライダ、１９：シリンダ、２０：支持部材、２１：パネル検知センサ、２３：レール、２４：スライダ、２５：シリンダ、２６：支持部材、２８：パネルリフタ、２９：シリンダ、３１：支持板、３２：ガイド棒、３３：支持棒、３４：支持部材、３５：案内板、３６：ガイド穴、３７：フレーム、４０ＸＹＺθステージ、４１：検査ステージ、４２：画像処理部、４５：ワークテーブル、４６：バックライト、４７：内部搬送部、５１：カメラ、５２：カメラ駆動機構、５４：暗室用筐体、５７：パネル吸着部、５８：パネル搬送アーム、５９：パネル搬送機構、６１：吸着パッド、６２：パネル昇降機構、６５：パネル吸着部、６６：パネル搬送アーム、６７：パネル搬送機構。

Claims (6)

1. 検査対象物を搬送経路に沿って搬送する上流側搬送部と、
   当該上流側搬送部の下流側に連なるように互いに近接して配置され、ワークテーブルが前記搬送経路にその下側からせり出して前記検査対象物を支持して前記ワークテーブルの上部のプローブユニットに面する位置へ持ち上げて検査を行うと共に前記ワークテーブルの下側に形成された内部搬送部が前記上流側搬送部と一体となって前記搬送経路を形成して前記検査対象物の通過を許容する検査部と、
   当該検査部の下流側に連なるように互いに近接して配置されて検査後の前記検査対象物を搬送経路に沿って下流側へ搬送すると共に前記ワークテーブルの持ち上げにより当該ワークテーブルの下側の前記内部搬送部と一体となって前記搬送経路を形成する下流側搬送部と、
   前記検査対象物を前記上流側搬送部から前記検査部に移し替える上流側移載部と、
   前記検査対象物を前記検査部から前記下流側搬送部に移し替える下流側移載部とを備えて構成されたことを特徴とするインライン自動検査装置。
2. 請求項１に記載のインライン自動検査装置において、
   前記検査部が、昇降可能に設置されて前記検査対象物を支持する前記ワークテーブルと、前記検査対象物の検査のために当該ワークテーブルを上昇させた位置で前記上流側搬送部及び下流側搬送部と協働して搬送経路を構成する前記内部搬送部と、前記ワークテーブル及び内部搬送部を昇降させる昇降機構とを備えて構成されたことを特徴とするインライン自動検査装置。
3. 請求項１又は２に記載のインライン自動検査装置において、
   前記検査対象物を前記上流側搬送部から前記検査部に移し替える動作と、前記検査部から前記下流側搬送部に移し替える動作とを、前記上流側移載部と下流側移載部とが連動して同時に行うことを特徴とするインライン自動検査装置。
4. 請求項２又は３に記載のインライン自動検査装置において、
   前記上流側搬送部に、前記検査部のワークテーブルに前記上流側移載部で移し替える前記検査対象物の粗位置を調整する粗アライメントユニット装置を備えたことを特徴とするインライン自動検査装置。
5. 請求項１乃至４のいずれか１項に記載のインライン自動検査装置において、
   前記検査部が、前記ワークテーブルに望ませて設けられたカメラと、当該カメラを内部に収納すると共に、前記ワークテーブルをその上側から覆って当該ワークテーブルに支持された前記検査対象物を前記カメラで撮影するための暗室を構成する昇降可能な筐体とを備えたことを特徴とするインライン自動検査装置。
6. 検査対象物を搬送経路に沿って搬送する上流側搬送部と、当該上流側搬送部の下流側に連なるように互いに近接して配置され、ワークテーブルが前記搬送経路にその下側からせり出して前記検査対象物を支持して前記ワークテーブルの上部のプローブユニットに面する位置へ持ち上げて検査を行うと共に前記ワークテーブルの下側に形成された内部搬送部が前記上流側搬送部と一体となって前記搬送経路を形成して前記検査対象物の通過を許容する検査部と、当該検査部の下流側に連なるように互いに近接して配置されて検査後の前記検査対象物を搬送経路に沿って下流側へ搬送すると共に前記ワークテーブルの持ち上げにより当該ワークテーブルの下側の前記内部搬送部と一体となって前記搬送経路を形成する下流側搬送部と、前記検査対象物を前記上流側搬送部から前記検査部に移し替える上流側移載部と、前記検査対象物を前記検査部から前記下流側搬送部に移し替える下流側移載部とを備え、前記検査部が、昇降可能に設置されて前記検査対象物を支持する前記ワークテーブルと、前記検査対象物の検査のために当該ワークテーブルを上昇させた位置で前記上流側搬送部及び下流側搬送部と協働して搬送経路を構成する前記内部搬送部と、前記ワークテーブル及び内部搬送部を昇降させる昇降機構とを備えて構成されたインライン自動検査装置を、前記搬送経路に複数配設されたことを特徴とするインライン自動検査システム。

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