JP2001194311A

JP2001194311A - 基板検査装置

Info

Publication number: JP2001194311A
Application number: JP2000325855A
Authority: JP
Inventors: Makoto Nishizawa; 誠西澤; Tsutomu Ozawa; 津登務小澤; Nobuo Fujisaki; 暢夫藤崎; Yasushi Sato; 靖佐藤
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1999-10-25
Filing date: 2000-10-25
Publication date: 2001-07-19

Abstract

(57)【要約】【課題】ミクロ観察時の振動の影響を改善し、ガラス基
板の検査を容易にかつ短時間で能率よくすること。【解決手段】ガラス基板１に対するマクロ観察とミク
ロ観察とを行う基板検査装置に、ガラス基板１を保持し
てミクロ観察を行うためのミクロ検査用ホルダ６と、ガ
ラス基板１を保持して揺動自在に設けられかつこのミク
ロ検査用ホルダ６上から退避可能にしたマクロ検査用ホ
ルダ１４とを備えることで、マクロ観察とミクロ観察と
を同一位置若しくは隣接位置で行うことができ、さら
に、ガラス基板１の搬送時間を短縮し、タクトタイムを
短くできる。又、マクロ検査用ホルダ１４をミクロ検査
用ホルダと別体にすることで、マクロ観察時の揺動動作
の自由度及び設計の自由度を向上させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶ディス
プレイ（以下、ＬＣＤと称する）に用いられるガラス基
板を検査して欠陥等を検出するに適用される基板検査装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＬＣＤに用いられるガラス基板の欠陥検
査では、マクロ観察と称する検査とミクロ観察と称する
検査とが行われている。マクロ観察は、ガラス基板の表
面に照明光を照射し、その反射光の光学的変化をオペレ
ータの目視により観察してガラス基板の表面上の傷など
の欠陥を検出するものである。ミクロ観察は、マクロ観
察で検出された欠陥部分を顕微鏡を用いて拡大して観察
するものである。

【０００３】この場合、マクロ観察とミクロ観察とで同
一のホルダを用いる場合、マクロ観察では、ガラス基板
を基板検査装置におけるホルダ上に保持し、この状態で
ホルダをオペレータに向かって前後方向に揺動させてオ
ペレータの目視によりガラス基板の表面を観察してい
る。一方、裏面を観察したい場合には、ホルダを反転さ
せて、上記同様にホルダをオペレータに向かって前後方
向に揺動させてオペレータの目視によりガラス基板の裏
面を観察することが考えられている。

【０００４】このマクロ観察で抽出された欠陥をミクロ
観察する場合には、上記ホルダを水平状態にし、このホ
ルダを水平面内で移動させ、ガラス基板の上方に固定さ
れた顕微鏡によりミクロ観察する。

【０００５】又、マクロ観察とミクロ観察とを別々の装
置で行う場合には、マクロ観察が終了すると、ガラス基
板をマクロ観察のホルダから取り出し、ローダ等で移動
してミクロ観察の別のホルダに移し替えている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】近年、ＬＣＤの大型化
に伴って複数面取りのガラス基板がさらに大型化する傾
向にあり、その重量も大きくなっている。このような大
型のガラス基板を保持するホルダでは、ミクロ観察時に
振動の影響を受け易くなるために、振動が発生しにくい
ようにホルダの重量と強度を高めることが要求される。
ところが、マクロ観察とミクロ観察とで同一ホルダを用
いる場合では、ホルダの重量及び強度を高くすると、ミ
クロ観察時に振動が生じにくくなる反面、マクロ観察時
に重いホルダを揺動させるの大きなパワーのモータとそ
のモータから発生する内部振動を抑える特別な工夫が必
要になるとともに、ホルダの揺動の自由度に規制を受け
てしまう。

【０００７】一方、マクロ観察とミクロ観察とを別々の
場所で行う場合には、マクロ観察が終了した後に、ガラ
ス基板をマクロ観察のホルダから取り出し、ローダ等で
移動してミクロ観察のホルダに移し替えなければならな
い。このため、ガラス基板の搬送距離が長くなり、ガラ
ス基板の検査作業が煩雑となり、タクトタイムの掛かる
ものであった。さらに、マクロ検査装置とミクロ検査装
置とを別々に並設した場合、両装置間にガラス基板を転
送するローダ装置を配置しければならないため、設計、
配置の自由度の制限を受けるとともに、これら装置の設
置スペースが大きくなってしまう。

【０００８】そこで本発明は、ミクロ観察時の振動の影
響を改善し、ガラス基板の検査を容易にかつ短時間で能
率よくできる基板検査装置を提供することを目的とす
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１記載による本発
明は、基板を目視により検査するマクロ観察又は前記基
板の画像を拡大して検査するミクロ観察を行うための基
板検査装置において、前記基板を保持するもので、前記
ミクロ観察を行うミクロ検査用ホルダと、前記基板を保
持するもので、前記ミクロ検査用ホルダに隣接して揺動
自在に設けられかつ前記ミクロ検査用ホルダ上方に挿脱
可能なマクロ検査用ホルダとを具備したことを特徴とす
る基板検査装置である。

【００１０】請求項２記載による本発明は、請求項１記
載記載の基板検査装置において、前記ミクロ観察用のヘ
ッドと前記ミクロ検査用ホルダとは、相対的に前記基板
面に対して平行な平面内で移動自在に設けられたことを
特徴とする。

【００１１】請求項３記載による本発明は、請求項１記
載記載の基板検査装置において、前記マクロ検査用ホル
ダは、前記基板を通る一方向を軸として前記基板を揺動
させることを特徴とする。

【００１２】請求項４記載による本発明は、請求項１記
載記載の基板検査装置において、前記マクロ検査用ホル
ダは、前記退避方向に対して交差する方向に移動可能で
あることを特徴とする。

【００１３】請求項５記載による本発明は、請求項１記
載記載の基板検査装置において、前記マクロ検査用ホル
ダは、前記基板面上に中心をおいて前記基板を回動させ
ることを特徴とする。

【００１４】請求項６記載による本発明は、請求項１記
載記載の基板検査装置において、前記マクロ検査用ホル
ダは、前記基板を所望の傾斜角で傾斜させた状態で前記
基板を前後方向に移動可能であることを特徴とする。

【００１５】請求項７記載による本発明は、請求項１記
載記載の基板検査装置において、前記マクロ検査用ホル
ダは、前記基板をほぼ垂直に傾斜させた状態で前記基板
を前後方向（Ｙ方向）、平行方向（Ｘ方向）、昇降方向
（Ｚ方向）に移動可能であることを特徴とする。

【００１６】請求項８記載による本発明は、請求項１記
載記載の基板検査装置において、前記マクロ検査用ホル
ダには、前記基板上の欠陥の座標を検出するポインタが
一体に設けられていることを特徴とする。

【００１７】請求項９記載による本発明は、請求項１記
載記載の基板検査装置において、前記マクロ検査用ホル
ダは、前記ミクロ検査用ホルダの上方又は退避位置で前
記マクロ観察可能であることを特徴とする。

【００１８】請求項１０記載による本発明は、請求項１
記載記載の基板検査装置において、前記マクロ検査用ホ
ルダと、このマクロ検査用ホルダが先端部に回動自在に
設けられかつ軸方向に回転可能な支持部材とを有するホ
ルダ機構を備えたことを特徴とする。

【００１９】請求項１１記載による本発明は、請求項１
記載記載の基板検査装置において、前記マクロ検査用ホ
ルダは、このマクロ検査用ホルダが先端部に回動自在に
設けられかつ軸方向に回転可能な支持部材と、この支持
部材を回動させて前記マクロ検査用ホルダを揺動させる
揺動回転機構とを備えたことを特徴とする。

【００２０】請求項１２記載による本発明は、請求項１
記載記載の基板検査装置において、前記マクロ検査用ホ
ルダは、このマクロ検査用ホルダが先端部に回動自在に
設けられかつ軸方向に回転可能な支持部材と、これらマ
クロ検査用ホルダ及び支持部材を一体的に平行移動させ
る平行移動機構とを備えたことを特徴とする。

【００２１】請求項１３記載による本発明は、請求項１
記載記載の基板検査装置において、前記マクロ検査用ホ
ルダは、このマクロ検査用ホルダが先端部に回動自在に
設けられかつ軸方向に回転可能な支持部材と、これらマ
クロ検査用ホルダ及び支持部材を一体的に昇降させる昇
降機構とを備えたことを特徴とする。

【００２２】請求項１４記載による本発明は、請求項１
記載記載の基板検査装置において、前記マクロ検査用ホ
ルダは、このマクロ検査用ホルダが先端部に回動自在に
設けられかつ軸方向に回転可能な支持部材と、この支持
部材を回動させて前記マクロ検査用ホルダを揺動させる
揺動回転機構と、これらマクロ検査用ホルダ及び支持部
材を一体的に平行移動させる平行移動機構と、これらマ
クロ検査用ホルダ及び支持部材を一体的に昇降させる昇
降機構とを備えたことを特徴とする。

【００２３】

【発明の実施形態】以下、本発明の一実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００２４】図１及び図２はＬＣＤに用いられるガラス
基板の欠陥検査に適用した基板検査装置の構成図であっ
て、図１は正面図、図２は上方から見た図である。この
基板検査装置は、複数枚のガラス基板１を収納するカセ
ットステーション２と、このカセットステーション２に
収納されているガラス基板１を取り出し保持して検査装
置３に搬送し、かつ検査装置３で検査済みのガラス基板
１を取り出し保持してカセットステーション２に戻す搬
送ロボット４と、ガラス基板１を目視して検査するマク
ロ観察又はガラス基板１の画像を拡大して検査するミク
ロ観察とを行うことによりガラス基板１に対する検査を
行うための上記検査装置３と、この検査装置３に搬送さ
れたガラス基板１を保持してＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向
に移動自在であると共に、揺動、回転自在に設けられた
ホルダ機構５とを備えている。これらカセットステーシ
ョン２、搬送ロボット４、検査装置３及びホルダ機構５
は、図面上Ｘ方向に配置されている。

【００２５】上記カセットステーション２は、未検査の
ガラス基板１を複数枚収納する第１のカセット２ａと、
検査済みのガラス基板１を複数枚収納する第２のカセッ
ト２ｂとを備えている。これら第１と第２のカセット２
ａ、２ｂは、搬送ロボット４の移動方向（矢印イ方向：
Ｙ方向）に対して並行方向に配列されている。

【００２６】搬送ロボット４は、矢印イ方向に移動可能
であって、多関節のロボットアームの先端にハンドを取
付けたロボットアーム４ａ、４ｂを一対備え、さらに一
対のハンドを上下に配置して２枚のガラス基板１を同時
に搬送できるダブルアーム方式を採用した。この搬送ロ
ボット４は、一方のロボットアーム４ａで第１のカセッ
ト２ａに収納されている未検査のガラス基板１を取り出
して保持し、この状態で矢印イ方向に移動し１８０°回
転して検査装置３に位置決めし、他方のロボットアーム
４ｂで検査装置３内のミクロ検査用ホルダ６に置かれて
いる検査済みのガラス基板１を取り出すと同時に一方の
ロボットアーム４ａで未検査のガラス基板を検査装置３
内のミクロ検査用ホルダ６に置く。次に搬送ロボット４
は、矢印イ方向に移動し１８０°回転して第２のカセッ
ト２ｂに位置決めし、他方のロボットアーム４ｂで保持
している検査済みのガラス基板１を第２のカセット２ｂ
に収納し、再び矢印イ方向に移動して第１のカセット２
ａに位置決めする動作を繰り返すものとなっている。

【００２７】又、搬送ロボット４は、第１のカセット２
ａに収納されている未検査のガラス基板１を取り出す高
さ位置、検査装置３内にガラス基板１を載置又は取り出
す高さ位置、第２のカセット２ｂに検査済みのガラス基
板１を収納する高さ位置に調整するように矢印ロ方向
（Ｚ方向）に昇降自在に設けられている。

【００２８】検査装置３は、例えば同一ステーション内
でマクロ観察とミクロ観察とを行えるようにしたもの
で、これら観察の対象となるガラス基板１を保持してミ
クロ観察を行うためのミクロ検査用ホルダ６が備えられ
ている。このミクロ検査用ホルダ６は、検査装置３のベ
ース上に固定されたもので、その下方には複数のリフト
ピン７がガラス基板１の全面に対して所定の間隔で配置
されている。これらリフトピン７は、昇降（Ｚ方向）し
てミクロ検査用ホルダ６上に保持されているガラス基板
１を所定の高さだけ持ち上げるものとなっている。

【００２９】検査装置３の上部には、マクロ観察で使用
する照明装置８が設けられている。又、ミクロ検査用ホ
ルダ６の上部には、ミクロ観察を行うための顕微鏡９
（ミクロ観察用のヘッド）が設けられている。この顕微
鏡９は、門型アーム９ａに対して移動自在（Ｘ方向）に
設けられている。門型アーム９ａは、ミクロ検査用ホル
ダ６の両側を挟んでガイドレール上に沿って（Ｙ方向）
走行するものとなっている。従って、顕微鏡９は、ミク
ロ検査用ホルダ６上に保持されたガラス基板１に対して
ＸＹ方向に移動自在となっている。

【００３０】ホルダ機構５は、図３に示すように回転軸
１０に例えばモータを内蔵した回転源１１を介して支持
部材１２を設け、かつこの支持部材１２の先端部に貫通
して設けられた回転軸１３に固定されたヨ字形状のマク
ロ検査用ホルダ１４を回転自在に設けたものとなってい
る。

【００３１】このマクロ検査用ホルダ１４は、回転軸１
０と一体的に、ミクロ検査用ホルダ６の上方から退避す
るＸ方向（回転軸１０の軸方向、ミクロ検査用ホルダ６
の上方に挿脱する方向）に移動可能であり、さらに回転
軸１０に対して揺動、傾動、反転可能（矢印ハ方向）、
上記退避方向（Ｘ方向）に対して交差する方向に移動可
能（前後方向：Ｙ方向、平行方向、昇降方向：Ｚ方
向）、ガラス基板１の面上のほぼ中心において回転可能
（矢印ニ方向）となっている。なお、このガラス基板１
を矢印ハ方向に反転可能であることから、ガラス基板１
の裏面をオペレータＱ側に向ける反転動作が可能となっ
ている。

【００３２】このようなマクロ検査用ホルダ１４であれ
ば、例えばガラス基板１を所望の傾斜角で傾斜させた状
態で前後方向に移動可能となり、さらにはカラス基板１
を所望の傾斜角で傾斜させた状態で前後方向、平行方
向、昇降方向にそれぞれ移動可能となる。

【００３３】具体的にマクロ検査用ホルダ１４は、上記
回転軸１０を中心（Ｘ軸方向を中心に）に矢印ハ方向に
回転自在に設けられている。又、マクロ検査用ホルダ１
４は、支持部材１２の先端部の回転軸１３を回転中心と
して矢印ニ方向に回動自在に設けられている。このうち
マクロ検査用ホルダ１４を回動運動させる機構は、回転
源１１の出力軸（回転軸）１５と、支持部材１２の下面
に半径の異なる各プーリを一体化した回転体１６との間
にタイミングベルト１７を掛け、かつこの回転体１６と
回転軸１３との間にタイミングベルト１８を掛けたもの
となっている。

【００３４】従って、回転源１１が回転駆動すると、こ
の回転がタイミングベルト１７を介して回転体１６に伝
達され、さらにタイミングベルト１８を介して回転軸１
３に伝達されることによって、マクロ検査用ホルダ１４
が図４(a)(b)に示すように回動する。同図(a)は支持部
材１２とマクロ検査用ホルダ１４とが同一方向を向いて
おり、これをホルダ回転０度とする。同図(b)は支持部
材１２に対してマクロ検査用ホルダ１４が９０度回転し
ており、これをホルダ回転９０度とする。

【００３５】なお、図３及び図４では、マクロ検査用ホ
ルダ１４上にＬＣＤに用いられるガラス基板１が保持さ
れている。

【００３６】又、マクロ検査用ホルダ１４には、欠陥の
ｘｙ座標を指示するポインタ手段として、例えば図５に
示すようにレーザポインタを構成する各レーザ光源１９
ａ、１９ｂが備えられている。これらレーザ光源１９
ａ、１９ｂは、マクロ検査用ホルダ１４の枠上（マクロ
検査用ホルダ１４の縁）に形成された各ガイドスケール
２０ａ（ｘ座標）、２０ｂ（ｙ座標）上を移動自在に設
けられている。この場合、マクロ検査用ホルダ１４上に
基準の座標系ｘ−ｙを設定すると、各レーザ光源１９
ａ、１９ｂから出力される各レーザ光Ｌ１、Ｌ２の交差
点のｘ，ｙ座標が各レーザ光源１９ａ、１９ｂの位置に
おけるｘ座標とｙ座標に一致し、この両座標からレーザ
光Ｌ１、Ｌ２の交差点のｘｙ座標が求められる。レーザ
光源１９ａの位置がｘ座標、レーザ光源１９ｂの位置が
ｙ座標を示すものとなる。従って、ガラス基板１上の欠
陥上に各レーザ光Ｌ１、Ｌ２の交差点が位置するように
各レーザ光源１９ａ、１９ｂを移動させれば、欠陥の座
標が求められる。

【００３７】なお、各レーザ光源１９ａ、１９ｂは、そ
れぞれモータ及びベルトと連結し、モータの回転により
ベルトを駆動して各ガイドスケール２０ａ、２０ｂ上を
自動的に移動するように構成することが好ましい。この
場合、各レーザ光源１９ａ、１９ｂの移動は、後述する
操作部２７へのオペレータＱの操作によって行われるよ
うにすればよい。

【００３８】又、ポインタ手段は、図５に示すＸＹレー
ザポインタに限られるものではないが、ガラス基板１が
揺動、回転することから欠陥位置の座標を正確かつ容易
に求めるためにマクロ検査用ホルダ１４上に設けること
が好ましい。

【００３９】又、マクロ検査用ホルダ１４上には、ガラ
ス基板１の周縁部を保持するための吸着機構が設けられ
ている。この吸着機構は、ホルダ機構５が揺動、反転し
てもガラス基板１がマクロ検査用ホルダ１４から取り外
れない程度の吸着力を持っている。

【００４０】ホルダ機構５には、図２に示すように回転
駆動機構２１、揺動回転機構２２、前後移動機構２３、
平行移動機構２４及び昇降機構２５が備えられている。
回転駆動機構２１は、図３に示す回転源１１を駆動して
マクロ検査用ホルダ１４を矢印ニ方向に回動させ、例え
ば図４(a)に示すホルダ回転０度や同図(b)に示すホルダ
回転９０度の任意の回転角度に、又は３６０°に回転運
動させる機能を有している。

【００４１】揺動回転機構２２は、図３に示す回転軸１
０を回転させる駆動源を備え、この回転軸１０を回転さ
せてホルダ機構（支持部材１２とマクロ検査用ホルダ部
材１４の一体）５を矢印ハ方向に揺動、傾動又は反転さ
せる機能を有している。

【００４２】前後移動機構２３は、図３に示す回転軸１
０を含むホルダ機構５全体を図２に示すＹ方向すなわち
オペレータＱから見て前後方向に移動させる機能を有し
ている。

【００４３】平行移動機構２４は、図３に示す回転軸１
０を含むホルダ機構５全体を図２に示すＸ方向すなわち
オペレータＱから見て左右方向に移動させる機能を有し
ている。

【００４４】昇降機構２５は、図１に示すように回転軸
１０を含むマクロ検査用ホルダ１４をＺ方向すなわちオ
ペレータＱから見て上下方向に昇降させる機能を有して
いる。

【００４５】このようなホルダ機構５であれば、コンパ
クトな構成で、マクロ検査用ホルダ１４上にガラス基板
１を載置し、吸着機構により吸着保持することにより、
回転運動、揺動運動、前後移動、平行移動及び昇降がで
きるものとなる。

【００４６】制御部２６は、基板検査装置全体の動作を
制御するもので、操作部２７からの指令を受けて搬送ロ
ボット３を動作制御してカセットステーション２と検査
装置３との間でガラス基板１を搬送させ、さらに上記回
転駆動機構２１、揺動回転機構２２、前後移動機構２
３、平行移動機構２４及び昇降機構２５をそれぞれ動作
制御してホルダ機構５を回転運動、揺動（傾動、反転）
運動、前後（Ｙ方向）移動、平行（Ｘ方向）移動及び昇
降（Ｚ方向）させる機能を有している。又、制御部２６
は、マクロ検査用ホルダ１４上の各レーザ光源１９ａ、
１９ｂの各位置から例えば欠陥の座標を求める機能を有
している。

【００４７】操作部２７は、検査装置３のオペレータＱ
が観察するところに設置されるもので、オペレータＱか
ら操作されるホルダ機構５に対する回動運動、揺動運
動、前後移動、平行移動及び昇降の指示を制御部２６に
送る機能を有している。又、この操作部２７は、搬送ロ
ボット３の動作指令、検査装置３におけるマクロ観察の
ための照明装置８の点灯の有無の指示、ミクロ観察のた
めに顕微鏡９を移動させて位置決めするための指示など
を操作する機能を有している。なお、操作部２７は、図
２中において図示する関係上オペレータＱの横側に設け
られているが、実際にはオペレータＱの前方に配置され
ている。

【００４８】次に、上記の如く構成された装置の作用に
ついて説明する。

【００４９】搬送ロボット４は、一対のロボットアーム
４ａ、４ｂを動作させ、例えば、一方のロボットアーム
４ａで第１のカセット２ａに収納されている未検査のガ
ラス基板１を取り出して保持し、この状態で矢印イ方向
に移動し１８０°回転して検査装置３に位置決めし、ガ
ラス基板１を検査装置３内のミクロ検査用ホルダ６上に
載置する。このとき検査装置３内に検査済みのガラス基
板１があれば、未検査のガラス基板１を検査装置３内に
搬入する前に、他方のロボットアーム４ｂでミクロ検査
用ホルダ６上に置かれている検査済みのガラス基板１を
先に取り出し、これと共に一方のロボットアーム４ａで
未検査のガラス基板１をミクロ検査用ホルダ６上に載置
する。

【００５０】このガラス基板の搬送のとき搬送ロボット
４は、図１に示すように矢印ロ方向に昇降して第１のカ
セット２ａに収納されている未検査のガラス基板１を取
り出す高さ位置、検査装置３内にガラス基板１を搬入又
は搬出する高さ位置に調整される。

【００５１】搬送ロボット４により検査装置３内に未検
査のガラス基板１が搬入されると、先ずガラス基板１に
対するマクロ観察が行われ、続いてミクロ観察が行われ
る。これらマクロ観察及びミクロ観察は、オペレータＱ
が操作部２７を操作することによりその操作指示が制御
部２６に送られ、この制御部２６の制御により回転駆動
機構２１、揺動回転機構２２、前後移動機構２３、平行
移動機構２４又は昇降機構２５のいずれか１つ又は組み
合わせで動作して行われる。

【００５２】先ず、マクロ観察について検査装置３のミ
クロ検査用ホルダ６をＸ方向から見た図６〜図１０を参
照して説明する。検査装置３内においてガラス基板１
は、図６に示すようにミクロ検査用ホルダ６上に正しく
位置決めされた状態で載置されている。この状態から複
数のリフトピン７が上昇し、図７に示すようにガラス基
板１を所定の高さまで持ち上げる。

【００５３】次に、ホルダ機構５は、平行移動機構２４
の動作によってＸ方向、すなわち図１及び図２では右側
方向に移動し、図８に示すように支持部材１２及びマク
ロ検査用ホルダ１４が各リフトピン７の間を通ってガラ
ス基板１の下方に挿入される。このとき、ホルダ機構５
は、ガラス基板１が正規の位置からずれた場合には、マ
クロ検査用ホルダ１４上にガラス基板１が正しく載置さ
れるようにＸ方向の他に前後移動機構２３の動作によっ
て前後方向（Ｙ方向）に移動させて位置調整される。
又、図示しない位置決め機構によりガラス基板１が基準
位置に位置決めされると、吸着作用によりガラス基板１
をマクロ検査用ホルダ１４上に吸着保持する。

【００５４】このとき、各リフトピン７が図９に示すよ
うに下降し、これによってガラス基板１は、ホルダ機構
５のマクロ検査用ホルダ１４上に載せ替えられる。

【００５５】次に、ホルダ機構５は、前後移動機構２３
の動作によってオペレータＱ側に移動し、昇降機構２５
によりホルダ機構５が回転しても検査装置３の内壁やミ
クロ検査用ホルダ６に接触しないように上昇した後、揺
動回転機構２２の動作によって回転軸１０を中心として
所定角度範囲内でガラス基板１を前後に揺動させながら
オペレータＱの目視によるマクロ観察が行われる。

【００５６】このホルダ機構５の揺動及びオペレータＱ
側への移動によりホルダ機構５は、図１０に示すように
ガラス基板１を水平状態から斜め状態にし、かつオペレ
ータＱ側に近付けられる。なお、ホルダ機構５の揺動、
オペレータＱ側への移動及び昇降は、同時に動作させて
もよし、別々に動作させてもよい。図１０中の示すＲ１
はホルダ機構５の揺動、オペレータＱ側への移動及び昇
降を同時に動作させたときの支持部材１２の軌跡、同図
中のＲ２はオペレータＱ側への移動及び昇降を別々に動
作させたときの支持部材１２の軌跡の一例を示してい
る。

【００５７】より具体的にガラス基板１の揺動マクロ観
察のときのホルダ機構５におけるマクロ検査用ホルダ１
４の動作について説明すると、例えば、このマクロ検査
用ホルダ１４は、先ず、昇降機構２５によりマクロ検査
用ホルダ１４がミクロ検査用ホルダ６に干渉せず見やす
い高さ位置まで上昇すると同時に前後移動機構２３によ
りマクロ検査用ホルダ１４を前に移動させてオペレータ
Ｑ側に近付ける。続いて揺動回転機構２２により所定の
角度に傾斜される。このとき、傾斜されたマクロ検査用
ホルダ１４上のガラス基板１に対して照明装置８から照
明されることによりマクロ検査が行われる。

【００５８】すなわち、ガラス基板１が傾斜してセット
されると、照明装置８が点灯されてガラス基板１を照明
する。このときガラス基板１の表面に照明光を照射し、
その反射光の光学的変化をオペレータＱの目視により観
察してガラス基板１の表面上の傷などの欠陥を検出する
というマクロ観察が行われる。このマクロ観察では、ガ
ラス基板１の表面からの反射光の光学的変化を観察する
ためにオペレータＱの操作により揺動回転機構２２を動
作させ、ホルダ機構５が所望の傾斜角になるように調整
される。

【００５９】なお、マクロ検査用ホルダ１４を傾斜させ
るとき、予めマクロ検査用ホルダ１４を上昇させるの
で、このマクロ検査用ホルダ１４がミクロ検査用ホルダ
６に接触することはない。

【００６０】次に、マクロ検査用ホルダ１４は、揺動回
転機構２２により揺動され、この揺動中のガラス基板１
に対して照明装置８から照明されることによりマクロ検
査が行われる。

【００６１】次に、マクロ検査用ホルダ１４は、回転駆
動機構２１により図３に示す矢印ニ方向に回動され、ガ
ラス基板１を当該ガラス基板１上の欠陥の種類（欠陥の
方向）に応じて欠陥が見やすい角度、例えば図４(b)に
示すホルダ角度９０°若しくは３６０°に回転移動す
る。これにより、ガラス基板１に対して照明装置８から
照明されることによりマクロ検査が行われる。

【００６２】次に、マクロ検査用ホルダ１４は、揺動回
転機構２２によりマクロ検査用ホルダ１４をほぼ垂直な
状態まで回動させた後、前後移動機構２３によりオペレ
ータＱ側に近付けるように移動（Ｙ方向）し、さらに平
行移動機構２４によりオペレータＱに対して左右方向
（Ｘ方向）に移動されるとともに、昇降機構２５により
Ｚ方向に昇降され、これによりガラス基板１上の欠陥が
オペレータＱにより最も観察しやすい所望の位置、例え
ばオペレータＱの前方に移動される。

【００６３】このとき、オペレータＱは、操作部２７を
操作し、マクロ検査用ホルダ１４をＸＹＺ方向に移動
し、例えばオペレータＱの目の前に欠陥Ｇを移動させる
ので、オペレータＱは観察位置から移動しないでも、前
方の観察しやすいところに欠陥Ｇの部分を移動させるこ
とができる。又、ガラス基板１の欠陥によっては、透過
照明の方が見え易い場合があるので、バックライトを用
意するのが好ましい。

【００６４】次に、ガラス基板１の裏面のマクロ観察を
行う場合は、図１１に示すようにホルダ機構５は、ガラ
ス基板１の表面のマクロ観察をしている状態から揺動回
転機構２２の動作によって回転軸１０を中心として反転
される。そして、ガラス基板１の裏面がオペレータＱ側
を向いた状態で斜め方向でセットされると、上記同様に
照明装置８が点灯されてガラス基板１の裏面を照明す
る。このようにガラス基板１の裏面に照明光を照射し、
その反射光の光学的変化をオペレータＱの目視により観
察してガラス基板１の裏面上の傷などの欠陥を検出する
というマクロ観察が行われる。

【００６５】又、ガラス基板１の表面又は裏面のマクロ
観察において、図１２に示すように照明装置８の照明光
の照射領域Ｗがガラス基板１の全面に照射されず、一部
分の狭い領域である場合がある。この場合、ホルダ機構
５は、平行移動機構２４の動作によってマクロ検査用ホ
ルダ１４をＸ方向又はＹ方向に平行移動させる。この場
合、マクロ検査用ホルダ１４をＸ方向に移動させること
によりガラス基板１は、図１３に示すように図中右側方
向に移動し、欠陥Ｇが照明光の照射領域Ｗに入る。

【００６６】又、ガラス基板１には、規則的なパターン
が形成されたものがある。このようなガラス基板１で
は、図４(a)に示すようにガラス基板１を横方向に載置
して揺動するのでは、パターンの配列方向や当該ガラス
基板１面上の欠陥等を検出できないことがある。このパ
ターン特有の欠陥もその方向によっては検出できないも
のである。この場合、オペレータＱによる操作部２７へ
の操作によりホルダ機構５は、回転駆動機構２１の駆動
によって回転源１１を回動駆動する。この回動駆動は、
タイミングベルト１７を介して回転体１６に伝達され、
さらにタイミングベルト１８を介してマクロ検査用ホル
ダ１４の回転軸に伝達される。

【００６７】これによりマクロ検査用ホルダ１４は、回
動し、例えば図４(b)に示すようにホルダ回転９０度の
状態となる。このホルダ回転９０度の状態であれば、規
則的なパターンが形成されたガラス基板１に照明光を照
射してマクロ観察することが可能となる。又、ガラス基
板１面上に形成されているパターンが互いに直交してい
る２つのパターンであれば、例えばマクロ検査用ホルダ
１４を４５度の回動角度の状態にすれば、両方のパター
ンに対する欠陥を同時にマクロ観察することが可能とな
る。

【００６８】例えば、ホルダ回転９０度の状態におい
て、ガラス基板１の表面からの反射光の光学的変化を観
察するためにオペレータＱの操作により揺動回転機構２
２を動作させ、ホルダ機構５が所望の傾斜角になるよう
に調整することができる。

【００６９】又、上記同様に、ホルダ回転９０度の状態
でガラス基板１の裏面のマクロ観察を行う場合でも、オ
ペレータＱの操作によりホルダ機構５を揺動回転機構２
２の動作によって反転させることによってガラス基板１
の裏面上のマクロ観察が可能である。

【００７０】さらに、ホルダ回転９０度の状態でのガラ
ス基板１の表面又は裏面のマクロ観察において、照明装
置８の照明光の照射領域Ｗがガラス基板１の全面に照射
されない場合には、ホルダ機構５を平行移動機構２４の
動作によってＸ方向に平行移動やＹ方向に前後移動、さ
らにＺ方向に昇降させることによってオペレータＱの前
方の観察しやすいところに欠陥Ｇの部分を配置すること
が可能である。

【００７１】以上のような各マクロ観察において、ガラ
ス基板１の表面又は裏面に欠陥Ｇが検出されると、図５
に示すレーザポインタを構成する各レーザ光源１９ａ、
１９ｂからそれぞれレーザ光Ｌ１、Ｌ２が出力され、こ
の状態に各レーザ光源１９ａ、１９ｂがオペレータＱの
手動によって各レーザ光Ｌ１、Ｌ２の交差点が欠陥Ｇ上
に位置するように各ガイドスケール２０ａ、２０ｂ上に
移動される。なお、自動操作の場合は、オペレータＱが
操作部２７を操作することによって各レーザ光源１９
ａ、１９ｂが各ガイドスケール２０ａ、２０ｂ上を移動
する。

【００７２】各レーザ光Ｌ１、Ｌ２の交差点が欠陥Ｇ上
に位置すると、このときのレーザ光源１９ａの位置がｘ
座標、レーザ光源１９ｂの位置がｙ座標を示すものとな
り、従って、ガラス基板１上の欠陥Ｇの座標（ｘ，ｙ）
が求められる。この欠陥Ｇの座標（ｘ，ｙ）は、制御部
２６に記憶される。

【００７３】マクロ観察が終了すると、ホルダ機構５
は、回転駆動機構２１、揺動回転機構２２、前後移動機
構２３、平行移動機構２４及び昇降機構２５の動作によ
りガラス基板１を水平状態に戻す。そして、リフトピン
７が上昇してガラス基板１を支持し、このときホルダ機
構５は、ガラス基板１に対する吸着を停止し、マクロ検
査用ホルダ１４をガラス基板１の下方から抜き出しミク
ロ検査用ホルダ６上から退避させる。この後、リフトピ
ン７が下降してガラス基板１をミクロ検査用ホルダ６上
に載置する。

【００７４】次に、ミクロ観察が行われる。このミクロ
観察は、マクロ観察で検出されたガラス基板１の欠陥Ｇ
の部分を顕微鏡９を用いて拡大して観察する。顕微鏡９
は、マクロ観察で検出された欠陥Ｇの座標（ｘ，ｙ）に
基づいて門型アーム９ａ上でのＸ方向への移動、門型ア
ーム９ａのＹ方向への移動によってガラス基板１の上方
でＸＹ方向に移動する。そして、顕微鏡９は、ガラス基
板１上の欠陥Ｇの上方で停止し、欠陥Ｇの拡大像を捕ら
える。この拡大像は、例えばＣＤＤ等の撮像装置によっ
て撮像され、モニタテレビジョンに映し出される。

【００７５】マクロ観察及びミクロ観察が終了すると、
搬送ロボット４は、既に一方のロボットアーム４ａで未
検査のガラス基板１を保持している状態にある。従っ
て、他方のロボットアーム４ｂで検査装置３内の検査済
みのガラス基板１が取り出されて保持され、これ共に一
方のロボットアーム４ａで未検査のガラス基板が検査装
置３内に載置される。そして、搬送ロボット４は、矢印
イ方向に移動し回転して第２のカセット２ｂに位置決め
し、他方のロボットアーム４ｂで保持している検査済み
のガラス基板１を第２のカセット２ｂに収納し、再び矢
印イ方向に移動して第１のカセット２ａに位置決めす
る。

【００７６】このように上記一実施の形態においては、
ガラス基板１を目視して検査するマクロ観察又はガラス
基板１の画像を拡大して検査するミクロ観察とを行う基
板検査装置に、ガラス基板１を保持してミクロ観察を行
うための固定されたミクロ検査用ホルダ６と、ガラス基
板１を保持してミクロ検査用ホルダ６の上方で揺動回転
自在でかつＸＹＺ方向に移動可能に設けられたマクロ検
査用ホルダ１４とを備えたので、ガラス基板１に対する
マクロ観察とミクロ観察とを同一位置で行うことがで
き、従来のようにマクロ観察とミクロ観察とを別々の装
置で行う場合と比較して装置の設置スペースを小さくで
き、装置全体のコンパクト化ができる。

【００７７】上記の如くマクロ観察とミクロ観察とを同
一位置で行うことができるので、マクロ観察とミクロ観
察との別々の装置間にガラス基板１を搬送することがな
くなり、ガラス基板１の検査時間を短縮でき、タクトタ
イムを短くできる。

【００７８】すなわち、検査装置３においてマクロ観察
とミクロ観察とが同一位置でできるので、従来のように
マクロ観察とミクロ観察とを別々の装置まで移送して行
うのでなく、ガラス基板１をマクロ検査用ホルダ１４又
はミクロ検査用ホルダ６に載せ替えると同時にマクロ観
察又ミクロ観察を行うことが可能になるので、検査時間
を短縮できる。カセットステーション２に収納されてい
るガラス基板１を搬送ロボット４により取り出し検査装
置３に搬送した後は、この検査装置３内においてガラス
基板１のマクロ観察及びミクロ観察が行なわれ、このマ
クロ／ミクロ観察検査済みのガラス基板１を搬送ロボッ
ト４により検査装置３から取り出してカセットステーシ
ョン２に搬送するというような一連の検査動作の時間を
短縮でき、検査の能率を向上できる。

【００７９】又、ミクロ検査用ホルダ６を固定にするこ
とによりミクロ観察時に振動の影響を受けることなく検
査ができ、ガラス基板１が振動することなく、顕微鏡９
による欠陥Ｇ等の拡大画像を鮮明に高画質で得ることが
でき、ミクロ観察の性能を向上できる。さらにマクロ検
査用ホルダ１４を別体にし退避可能に設けることにより
ガラス基板１の揺動の自由度及び設計の自由度を向上さ
せることができる。

【００８０】マクロ観察においてマクロ検査用ホルダ１
４を回転運動、揺動運動、前後移動、平行移動及び昇降
させるので、例えば、マクロ検査用ホルダ１４を、先ず
上昇させ、続いて傾斜させてマクロ検査を行い、次に、
揺動させてマクロ検査を行い、次に回動させてガラス基
板１を当該ガラス基板１上の欠陥の種類（欠陥の方向）
に応じてオペレータＱから欠陥が観察可能となる角度に
してマクロ検査を行い、次にオペレータＱ側に近付ける
ように前後方向に移動させ、さらにオペレータＱに対し
て左右方向に移動されるとともに、Ｚ方向に昇降させ、
これによりガラス基板１上の欠陥をオペレータＱにより
最も観察しやすい所望の位置、例えばオペレータＱの前
方に移動させることができる。さらにマクロ検査用ホル
ダ１４を回動させてガラス基板１を反転して、ガラス基
板１の裏面をマクロ観察できる。

【００８１】すなわち、検査装置３でのマクロ観察にお
いてガラス基板１を保持するマクロ検査用ホルダ１４
を、回動運動、揺動運動、前後移動、平行移動及び昇降
させることができ、ガラス基板１の表面と裏面とのマク
ロ観察がオペレータＱの操作部２７への操作だけで容易
にできる。

【００８２】なお、マクロ検査用ホルダ１４を前後移動
（Ｙ方向）及び平行移動（Ｘ方向）させることにより、
ガラス基板１がミクロ観察時の基準位置からずれたとき
の位置ずれを修正できる。

【００８３】又、ホルダ機構５は、支持部材１２と、こ
の支持部材１２の先端に対して回転自在に設けられたマ
クロ検査用ホルダ１４とから構成し、支持部材１２とマ
クロ検査用ホルダ１４とを一体的に揺動運動、前後移
動、平行移動及び昇降させる各機構を備えたので、当該
ホルダ機構５をコンパクトで安価にできる。

【００８４】さらに、マクロ観察の場合には、マクロ検
査用ホルダ１４を、傾斜させ、オペレータＱ側に近付け
るように前後方向に移動させ、さらにオペレータＱに対
して左右方向に移動させるとともに、Ｚ方向に昇降させ
ることができるので、オペレータＱからガラス基板１を
見易い傾斜角度に調整することができる上、オペレータ
Ｑとガラス基板１との間隔を遠くすることなく、ガラス
基板１の表面又は裏面が見易いところまで近付けること
ができ、オペレータＱからガラス基板１が見易くマクロ
観察で欠陥Ｇを検出し易くなる。

【００８５】又、マクロ観察での照明装置８の照明光の
照射領域Ｗが狭い領域であっても、マクロ検査用ホルダ
１４を平行移動機構２４の動作によってＸ−Ｙ方向に平
行移動やＺ方向に昇降するだけで、部分照明光で大型ガ
ラス基板１の全面を照射することができる。さらに、オ
ペレータＱが観察位置から移動しないでも、例えばオペ
レータＱの前方の観察しやすい視野範囲に部分照明を照
射しマクロ検査用ホルダ１４をＸ−Ｙ方向にラスタスキ
ャンさせることもできる。特に大型のガラス基板１のマ
クロ観察には有効である。又、照射領域Ｗの小さな照明
装置８を使用できる。従って、例えば大型のガラス基板
１を照射領域Ｗの小さな照明装置８を使用してマクロ照
明する場合のようなガラス基板１の一部分にしかマクロ
照明できない場合には、マクロ検査用ホルダ１４をＸ方
向やＺ方向に移動することで、ガラス基板１の全面をマ
クロ観察できる。

【００８６】さらに、規則的なパターンが形成されたガ
ラス基板１であっても、マクロ検査用ホルダ１４を回転
駆動機構２１の駆動によって回動運動させることによっ
て例えばホルダ回転９０度や４５度などの状態にすれ
ば、規則的なパターンが形成されたガラス基板１でもオ
ペレータＱは回動指示を操作部２７に与えるだけでマク
ロ観察が可能となる。

【００８７】マクロ観察でガラス基板１上に欠陥Ｇが検
出された場合には、レーザポインタを構成する各レーザ
光源１９ａ、１９ｂからそれぞれレーザ光Ｌ１、Ｌ２の
交差点を欠陥Ｇ上に位置するように移動すれば、欠陥Ｇ
の座標（ｘ，ｙ）を容易に求めることができる。そし
て、この欠陥Ｇの座標（ｘ，ｙ）は、ミクロ観察での欠
陥位置情報として使用できる。

【００８８】この欠陥Ｇの座標（ｘ，ｙ）は、マクロ検
査用ホルダ１４にレーザポインタを構成する各レーザ光
源１９ａ、１９ｂを備えたので、ホルダ機構５が回動運
動、揺動運動、前後移動、平行移動及び昇降してもマク
ロ検査用ホルダ１４上に固有の座標系ｘ−ｙは変化する
ことなく、常に同じ座標系ｘ−ｙで欠陥Ｇの座標（ｘ，
ｙ）を得ることができる。

【００８９】ミクロ観察では、マクロ観察で検出された
マクロ検査用ホルダ１４上の固有の座標系ｘ−ｙでの欠
陥座標（ｘ，ｙ）に基づいて顕微鏡９を移動させるの
で、マクロ観察においてホルダ機構５が回動運動、揺動
運動、前後移動、平行移動及び昇降しても、固定された
ミクロ検査用ホルダ６上のガラス基板１の欠陥Ｇの位置
に正確に顕微鏡を位置合わせすることができる。

【００９０】なお、本発明は、上記一実施の形態に限定
されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない
範囲で種々に変形することが可能である。

【００９１】さらに、上記実施形態には、種々の段階の
発明が含まれており、開示されている複数の構成要件に
おける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で
述べられている効果が得られる場合には、この構成要件
が削除された構成が発明として抽出できる。

【００９２】例えば、上記一実施の形態は、次の通り変
形してもよい。例えば、ホルダ機構５は、図１４に示す
ようにモータ等の回転源３０を設け、この回転源３０の
回転出力に回転軸３１を連結する。そして、この回転軸
３１に連結部材３２を介して上記回転軸１０を連結して
もよい。このように構成しても上記一実施の形態と同様
にマクロ観察においてホルダ機構５を旋回運動、揺動運
動、前後移動、平行移動及び昇降させることができる。

【００９３】又、ホルダ機構５は、検査装置３から退避
した当該検査装置３に隣接した位置においてマクロ観察
可能としてもよい。なお、この検査装置３の隣接位置を
マクロステーションの専用の位置としてもよい。すなわ
ち、ホルダ機構５のマクロ検査用ホルダ１４は、検査装
置３に隣接した位置において回転軸１０に対して揺動、
傾動、反転可能（矢印ハ方向）、上記退避方向（Ｘ方
向）に対して交差する方向に移動可能（前後方向：Ｙ方
向、平行方向、昇降方向：Ｚ方向）、ガラス基板１の面
上のほぼ中心をおいてミクロ検査用ホルダ６を回転可能
（矢印ニ方向）となる。又、この検査装置３に隣接した
位置には、その上方にマクロ照明装置が備えられてい
る。

【００９４】これにより、上記一実施の形態と同様に、
例えば、マクロ検査用ホルダ１４を、先ず上昇させ、続
いて傾斜させてマクロ検査を行い、次に、揺動させてマ
クロ検査を行い、次に回動させてガラス基板１を当該ガ
ラス基板１上の欠陥の種類（欠陥の方向）に応じてオペ
レータＱから欠陥が観察可能となる角度にしてマクロ検
査を行い、次にオペレータＱ側に近付けるように前後方
向に移動させ、さらにオペレータＱに対して左右方向に
移動されるとともに、Ｚ方向に昇降させ、これによりガ
ラス基板１上の欠陥をオペレータＱにより最も観察しや
すい所望の位置、例えばオペレータＱの前方に移動させ
ることができる。さらにマクロ検査用ホルダ１４を回動
させてガラス基板１を反転して、ガラス基板１の裏面を
マクロ観察できる。

【００９５】このように検査装置３に隣接した位置にお
いてマクロ観察を行うことができるので、上記第１の実
施の形態と同様の効果を奏することができるとともに、
検査装置３では、ミクロ観察用の顕微鏡９や門型アーム
９ａなどからの反射光による外乱光の影響、さらにはこ
れら外乱光による背景への影響を受け易いが、これらの
影響を全く受けずに、目視によるマクロ観察の精度を高
めることができる。但し、ホルダ機構５を退避させるこ
とからタクトタイムが上記一実施の形態よりも多少かか
るが、それよりも目視によるマクロ観察の精度が高くな
る方が検査に対する効果が大きい。

【００９６】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、ミ
クロ観察時の振動の影響を改善し、ガラス基板の検査を
容易にかつ短時間で能率よくできる基板検査装置を提供
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態を
正面から見た構成図。

【図２】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態を
上方から見た構成図。

【図３】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おけるホルダ機構の具体的な構成図。

【図４】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おけるホルダ機構の回転を示す図。

【図５】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おけるホルダ機構での欠陥の座標の求め方を説明するた
めの図。

【図６】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おけるマクロ観察の動作を説明するための図。

【図７】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おけるマクロ観察の動作を説明するための図。

【図８】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おけるマクロ観察の動作を説明するための図。

【図９】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おけるマクロ観察の動作を説明するための図。

【図１０】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態
におけるマクロ観察の動作を説明するための図。

【図１１】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態
におけるガラス基板の裏面のマクロ観察を行う場合のホ
ルダ機構の回転を示す図。

【図１２】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態
におけるガラス基板の平行移動を説明するための図。

【図１３】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態
におけるガラス基板の平行移動を説明するための図。

【図１４】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態
におけるホルダ機構の変形例を示す構成図。

【符号の説明】

１：ガラス基板２：カセットステーション３：検査装置４：搬送ロボット５：ホルダ機構６：ミクロ検査用ホルダ７：リフトピン８：照明装置９：顕微鏡１０：回転軸１１：回転源１２：支持部材１３：回転軸１４：マクロ検査用ホルダ１６：回転体１７：タイミングベルト１８：タイミングベルト１９ａ，１９ｂ：レーザ光源２０ａ，２０ｂ：ガイドスケール２１：回転駆動機構２２：揺動回転機構２３：前後移動機構２４：平行移動機構２５：昇降機構２６：制御部２７：操作部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者藤崎暢夫東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号オリンパス光学工業株式会社内 (72)発明者佐藤靖東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号オリンパス光学工業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板を目視により検査するマクロ観察又
は前記基板の画像を拡大して検査するミクロ観察を行う
ための基板検査装置において、前記基板を保持するもので、前記ミクロ観察を行うミク
ロ検査用ホルダと、前記基板を保持するもので、前記ミクロ検査用ホルダに
隣接して揺動自在に設けられかつ前記ミクロ検査用ホル
ダ上方に挿脱可能なマクロ検査用ホルダと、を具備した
ことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】前記ミクロ観察用のヘッドと前記ミクロ
検査用ホルダとは、相対的に前記基板面に対して平行な
平面内で移動自在に設けられたことを特徴とする請求項
１記載の基板検査装置。
【請求項３】前記マクロ検査用ホルダは、前記基板を
通る一方向を軸として前記基板を揺動させることを特徴
とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項４】前記マクロ検査用ホルダは、前記退避方
向に対して交差する方向に移動可能であることを特徴と
する請求項１記載の基板検査装置。
【請求項５】前記マクロ検査用ホルダは、前記基板面
上に中心をおいて前記基板を回動させることを特徴とす
る請求項１記載の基板検査装置。
【請求項６】前記マクロ検査用ホルダは、前記基板を
所望の傾斜角で傾斜させた状態で前記基板を前後方向に
移動可能であることを特徴とする請求項１記載の基板検
査装置。
【請求項７】前記マクロ検査用ホルダは、前記基板を
ほぼ垂直に傾斜させた状態で前記基板を前後方向（Ｙ方
向）、平行方向（Ｘ方向）、昇降方向（Ｚ方向）に移動
可能であることを特徴とする請求項１記載の基板検査装
置。
【請求項８】前記マクロ検査用ホルダには、前記基板
上の欠陥の座標を検出するポインタが一体に設けられて
いることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項９】前記マクロ検査用ホルダは、前記ミクロ
検査用ホルダの上方又は退避位置で前記マクロ観察可能
であることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項１０】前記マクロ検査用ホルダと、このマクロ検査用ホルダが先端部に回動自在に設けられ
かつ軸方向に回転可能な支持部材と、を有するホルダ機
構を備えたことを特徴とする請求項１記載の基板検査装
置。
【請求項１１】前記マクロ検査用ホルダは、このマクロ検査用ホルダが先端部に回動自在に設けられ
かつ軸方向に回転可能な支持部材と、この支持部材を回動させて前記マクロ検査用ホルダを揺
動させる揺動回転機構と、を備えたことを特徴とする請
求項１記載の基板検査装置。
【請求項１２】前記マクロ検査用ホルダは、このマクロ検査用ホルダが先端部に回動自在に設けられ
かつ軸方向に回転可能な支持部材と、これらマクロ検査用ホルダ及び支持部材を一体的に平行
移動させる平行移動機構と、を備えたことを特徴とする
請求項１記載の基板検査装置。
【請求項１３】前記マクロ検査用ホルダは、このマクロ検査用ホルダが先端部に回動自在に設けられ
かつ軸方向に回転可能な支持部材と、これらマクロ検査用ホルダ及び支持部材を一体的に昇降
させる昇降機構と、を備えたことを特徴とする請求項１
記載の基板検査装置。
【請求項１４】前記マクロ検査用ホルダは、このマクロ検査用ホルダが先端部に回動自在に設けられ
かつ軸方向に回転可能な支持部材と、この支持部材を回動させて前記マクロ検査用ホルダを揺
動させる揺動回転機構と、これらマクロ検査用ホルダ及び支持部材を一体的に平行
移動させる平行移動機構と、これらマクロ検査用ホルダ及び支持部材を一体的に昇降
させる昇降機構と、を備えたことを特徴とする請求項１
記載の基板検査装置。