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CN109521017B - 具有可进行AOI θ轴对齐的输送设备的在线台架 - Google Patents

具有可进行AOI θ轴对齐的输送设备的在线台架 Download PDF

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CN109521017B
CN109521017B CN201711175894.8A CN201711175894A CN109521017B CN 109521017 B CN109521017 B CN 109521017B CN 201711175894 A CN201711175894 A CN 201711175894A CN 109521017 B CN109521017 B CN 109521017B
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Abstract

根据本发明的在线台架的输送设备，包括：输送平板部(110)，放置所述检查对象体，在在线台架(10)往复输送，进行θ轴对齐；输送带部(120),进行升/降以便将检查对象体装载于所述输送平板部(110)上部或卸载；第1及第2横杆(130,131)，为支撑所述输送带部(120)，纵向垂直地形成，分别配置于所述在线台架(10)的一侧及另一侧；第1及第2升/降驱动部(140,141)，使得所述第1及第2横杆(130,131)升/降，结合于各个所述第1及第2横杆(130,131)的两端。

Description

具有可进行AOI θ轴对齐的输送设备的在线台架
技术领域
本发明涉及具有显示屏输送设备的在线检测设备，更详细地，涉及一种可进行AOIθ轴对齐，真空吸附显示屏而输送，从而，能够无晃动地安全地输送显示屏的具有可进行AOIθ轴对齐的输送设备的在线台架。
背景技术
一般而言，在线检测设备是用于检测TFTLCD板或PDP、彩色滤光器等显示屏的图案缺陷或异物的设备。
此类在线台架(in-line stage)检测设备，包括：输送检测对象板的输送带(conveyor)使得输送带升/降升/降装置(up/down module)，并且，形成于与放置检测对象板的架子驱动轴相同的基底面。
并且，如图1至图2所示，Stand Alone AOI检测设备是在输送架子的架子主底座1下部形成有θ轴对齐(theta alignaxis)。
并且，架子形成有为了保证角度而传送动力的马达2(servo motor)和为了精密旋转的交叉辊子轴承3(cross roller bearing)。
并且，使得所述输送带升/降的升/降装置形成于与架子驱动轴相同的基底面，因此，以往架子直线输送带结构适用用于角度保证的θ轴对齐模块时，发生θ轴对齐模块与输送带升/降装置互相干扰的问题。
发明内容
发明要解决的问题
为了解决上述的问题，本发明提供一种具有可进行AOI θ轴对齐的输送设备的在线台架，为了防止用于检测对象板的θ轴对齐保证的θ轴对齐模块与输送带升/降装置发生干扰，将升/降装置形成于在线台架的外侧。
但，本发明的目的并非限定于上述说明的目的，本发明的技术领域的技术人员应当理解未涉及的其他目的。
解决问题的技术方案
为了实现上述目的，根据本发明的在线台架，形成有用于光学性地检测部件的缺陷的光学检测机和用于将检查对象体以既定间隔移动的输送设备，以进行检查，所述输送设备，包括：输送平板部110，放置所述检查对象体，在在线台架10的底(bottom)板12往复输送，进行θ轴对齐；输送带部120,进行升/降以便将检查对象体装载于所述输送平板部110上部或卸载；第1及第2横杆130,131，为支撑所述输送带部120，纵向垂直地形成，分别配置于所述在线台架10的一侧及另一侧；第1及第2升/降驱动部140,141，使得所述第1及第2横杆130,131升/降，结合于各个所述第1及第2横杆130,131的两端。
并且，所述输送带部120，包括：支撑框121，由所述检查对象体的输送方向以既定间隔并排地配置多个，两端置于所述第1及第2横杆130,131的上部；输送带辊122，在所述支撑框121设置多个而旋转；辊驱动部123，提供使所述输送带辊122旋转驱动的动力。
并且，在所述第1及第2横杆130,131上支撑形成所述支撑框121，从而，在所述输送带部120与所述底(bottom)板12之间形成空间13，使得所述输送平板部110在所述空间13往复输送。
并且，所述输送平板部110，包括：LM导引件111，在所述底(bottom)板12的上部由纵向配置多个而运行；底座112，在所述LM导引件111上部配置结合，通过所述LM导引件111的运行而由纵向输送；θ轴调整板113，在所述底座112的上部配置结合，为了所述检查对象体的θ轴对齐保证而旋转。
并且，在所述底座112的上部形成有伺服马达M2和对于所述底座112的中心形成圆弧而连续形成的导引件块体GB，在所述θ轴调整板113的下部形成有向所述导引件块体GB侧突出的导引件轨道GL，由此，通过所述伺服马达M2的驱动，使得所述θ轴调整板113的导引件轨道GL沿着所述底座112的导引件块体GB输送。
并且，所述输送平板部110还包括：垂直板框架114，在所述θ轴调整板113的上端部由所述检查对象体的输送方向配置多个，以既定间隔并排地配置；水平真空板115，在所述垂直板框架114的上端部由所述检查对象体的输送方向排列多个，并为了将所述检查对象体吸附可固定在上部面，形成有形成吸附空气的吸附孔H。
并且，所述水平真空板115防止与相互邻接的输送带部120的支撑框121及辊122发生干扰地隔着既定间隔地配置，而在各个所述水平真空板115之间形成有既定空间，在所述既定空间形成所述输送带部120的输送带辊122。
本发明的特征及益处将通过利用附图的如下的详细说明而更明确。
在本说明书及权利要求书范围中使用的术语或单词不能以通常及词典解释，要以发明者可能为了以最佳的方法说明自身的发明而适当地定义术语的原则，以符合本发明的技术性思想的意义和概念进行解释。
发明的效果
如上述说明，根据本发明，将升/降驱动部形成于在线台架的外侧，从而，防止输送平板部与升/降驱动部的干扰，而能够进行θ轴对齐，并改善检查对象体的位置歪曲，提高检查结果的准确度。
并且，通过真空吸附检查对象体进行输送，从而，能够无晃动地安全地输送显示屏，从而，确保缺陷检测的均一性及安全性，并提高检查对象体的平坦度。
附图说明
图1为以往的通常的在线台架的立体图,
图2为表示以往的普通的Stand Alone AOI的构成图,
图3为根据本发明的具有输送带部的在线台架的立体图,
图4为根据本发明的在线台架的平面图,
图5为根据本发明的输送平板部的分解立体图,
图6为根据本发明的输送带部被分解的状态的在线台架的立体图,
图7为概略图示根据本发明的输送带部及升/降驱动部的结合状态的扩大图。
附图符号标记
1:主底座 2:马达 3:交叉辊子轴承
10:在线台架 110:输送平板部
111:LM导引件 112:底座
113:θ轴调整板 114:垂直板框架
115:水平真空板 120:输送带部
121:支撑框 122:输送带辊
123:连接部 130,131:第1及第2横杆
140,141:第1及第2升/降驱动部
GB:导引件块体 GL:导引件轨道
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明的优选实施例。该过程中为了说明的明确性和便利，在附图中图示的线的厚度或构成要素的大小等可夸张地图示。
并且，后述的术语为考虑到本发明中的功能而定义的术语，其可根据使用者、运用者的意图或惯例而不同。因此，关于此类术语的定义应基于本说明书的整体内容而决定。
并且，下述的实施例并非为了限定本发明的权利范围，其只是在本发明的权利要求书中提示的构成要素的示例性的事项，并且，在本发明的说明书整篇中的技术思想中包含的、包括在权利要求范围的构成要素中可以均等物置换的构成要素的实施例属于本发明的权利范围。
附图中的图3为根据本发明的具有输送带部的在线台架的立体图,图4为根据本发明的在线台架的平面图,图5为根据本发明的输送平板部的分解立体图,图6为根据本发明的输送带部被分解的状态的在线台架的立体图,图7为概略图示根据本发明的输送带部及升/降驱动部的结合状态的扩大图。
如图3至图7所示，根据本发明的在线台架10，包括：光学检测机11，用于光学性地检测部件的缺陷；输送设备，用于将检查对象体(未图示)以既定间隔移动。
此时，所述输送设备，包括：输送平板部110；输送带部120；第1及第2横杆130,131；第1及第2升/降驱动部140,141。
并且，在所述输送平板部110放置所述检查对象体，在在线台架10的底(bottom)板12上部往复输送，可进行θ轴对齐。
并且，所述输送带部120通过升/降，将检查对象体装载于所述输送平板部(110)上部或卸载。
并且，所述第1及第2横杆130,131与纵向垂直地形成，以支撑所述输送带部120，分别配置于所述在线台架10的一侧及另一侧。
并且，所述输送带部120，包括：支撑框121，由所述检查对象体的输送方向隔着既定间隔并排地配置多个，两端置于所述第1及第2横杆130,131的上部；输送带辊122，在所述支撑框121设置多个而旋转；辊驱动部123，提供使得所述输送带辊122旋转驱动的动力。
即，所述输送带部120包括为了由纵向支撑两侧的在所述第1及第2横杆130,131的上部设置的支撑框121；在所述支撑框121设置多个的输送带辊122。
并且，所述支撑框121形成有双数(4个以上)时，为了将除了形成于外侧(最外侧)的支撑框121之外的支撑框121分别以2个进行连接，还包括在一侧及另一侧分别结合的连接部。
并且，在所述第1及第2横杆130,131支撑形成所述支撑框121，从而，在所述输送带部120与所述底(bottom)板12之间形成有空间13，所述输送平板部110在所述空间13往复输送。
并且，所述输送平板部110，包括：在所述底(bottom)板12的上部由纵向配置多个而运行的LM导引件111；在所述LM导引件111上部配置结合，通过所述LM导引件111的运转而向纵向输送的底座112；在所述底座112的上部配置结合，为所述检查对象体的θ轴对齐保证而旋转的θ轴调整板113。
此时，所述LM导引件111是在轨道上块体由纵向移动的结构，块体通过驱动马达(线性马达)在轨道上移动，其为公知的事项，因此，省却有关该结构及工作原理。
并且，在所述底座112的上部形成有伺服马达M2和对于所述底座112的中心形成圆弧地连续形成的导引件块体GB。
并且，在所述θ轴调整板113的下部形成有向所述导引件块体GB侧突出的导引件轨道GL，从而，通过所述伺服马达M2的驱动，所述θ轴调整板113的导引件轨道GL沿着所述底座112的导引件块体GB输送。
通过所述伺服马达M2的驱动，所述θ轴调整板113的导引件轨道GL沿着所述底座112的导引件块体GB输送，由此，能够进行检查对象体的θ轴对齐。
即，在上流设备中，为了向在线台架10侧传送检查对象体发送信号时，在线台架10的输送设备开始运转，此时，通过所述输送带部120将检查对象体置于所述输送平板部110的上部。
并且，在所述水平真空板115的上部面上吸附固定的检查对象体，被对齐摄像头(未图示)读取标志(mark)后，借助于通过所述伺服马达M2的驱动而旋转的θ轴调整板113而进行检查对象体的θ轴对齐。
并且，所述输送平板部110，还包括：在所述θ轴调整板113的上端部由所述检查对象体的输送方向配置多个，以既定间隔并排地配置的垂直板框架114；在所述垂直板框架114的上端部由所述检查对象体的输送方向配置多个，形成有为了将所述检查对象体吸附固定在上部面而形成吸附空气的吸附孔H的水平真空板115。
在所述垂直板框架114的上部形成有沿着所述垂直板框架114吸附固定所述检查对象体的水平真空板115，从而，能够真空吸附检查对象体，无晃动地安全地输送，确保缺陷检测的均一性及安全性，提高检查对象体的平坦度。
并且，所述水平真空板115与相互邻接的输送带部120的支撑框121及辊122无干扰地隔着既定间隔配置，而在各个所述水平真空板115之间形成有既定空间，在所述既定空间设置有所述输送带部120的输送带辊122。
即，在所述水平真空板115形成有形成吸附空气的吸附孔H，而将检查对象体吸附固定在水平真空板115的上部面，大致为四角板状的板体形状。
并且，所述垂直板框架114隔着既定间隔并排地配置，所述水平真空板115由检查对象体的输送方向排列，能够防止与相互连接的输送带辊122发生干扰地配置。
并且，所述垂直板框架114支撑所述水平真空板115，所述水平真空板115隔着既定间隔配置，各个所述水平真空板115之间形成有既定空间，在所述既定空间形成有所述输送带部120的输送带辊122。
即，除了在左右两侧的外侧配置的垂直板框架之外，一个水平真空板与两个垂直板框架的上部面接触地配置，所述水平真空板隔着既定间隔配置，各个水平真空板115之间形成有既定空间。
此时，在与所述一个水平真空板接触的两个垂直板框架上重叠并不接触地形成有另一个水平真空板。
并且，所述第1及第2升/降驱动部140,141，包括：在所述在线台架10的上部棱角侧分别固定安装的线性马达M1及与所述各个线性马达M1结合，通过所述线性马达M1的运转垂直地上下运行的升降杆(post)P。
并且，所述第1及第2升/降驱动部140,141使得所述第1及第2横杆130,131升/降，与各个所述第1及第2横杆130,131的两端结合。
此时，所述LM导引件111配置于相比所述第1及第2升/降驱动部140,141配置于所述在线台架10的内侧。
即，所述LM导引件111配置于所述第1及第2升/降驱动部140,141的升降杆P之间。
由此，通过将所述升/降驱动部140,141形成于在线台架10的外侧，而防止输送平板部110与升/降驱动部140,141的干扰。
以上通过具体实施例详细地说明了本发明，但，其只是详细地说明本发明，本发明并非限定于此，本发明的技术领域的技术人员在本发明的技术思想范围内可进行变形或改良。
本发明的简单的变形或变形均属于本发明的范畴，本发明的具体的保护范围将通过权利要求书而明确。

Claims (3)

1.一种在线台架，形成有用于光学性地检测部件的缺陷的光学检测机和用于将检查对象体以既定间隔移动的输送设备，以进行检查，其特征在于，
所述输送设备，包括：
输送平板部(110)，放置所述检查对象体，在在线台架(10)的底板(12)往复输送，进行θ轴对齐；
输送带部(120),进行升降以便将检查对象体装载于所述输送平板部(110)上部或卸载；
第1及第2横杆(130,131)，为支撑所述输送带部(120)，纵向垂直地形成，分别配置于所述在线台架(10)的一侧及另一侧；
第1及第2升降驱动部(140,141)，使得所述第1及第2横杆(130,131)升降，结合于各个所述第1及第2横杆(130,131)的两端；
所述输送带部(120)，包括：
支撑框(121)，由所述检查对象体的输送方向以既定间隔并排地配置多个，两端置于所述第1及第2横杆(130,131)的上部；
输送带辊(122)，在所述支撑框(121)设置多个而旋转；
辊驱动部(123)，提供使所述输送带辊(122)旋转驱动的动力，
并且，在所述第1及第2横杆(130,131)上支撑形成所述支撑框(121)，从而，在所述输送带部(120)与所述底板(12)之间形成空间(13)，
使得所述输送平板部(110)在所述空间(13)往复输送；
所述输送平板部(110)，包括：
LM导引件(111)，在所述底板(12)的上部由纵向配置多个而运行；
底座(112)，在所述LM导引件(111)上部配置结合，通过所述LM导引件(111)的运行而由纵向输送；
θ轴调整板(113)，在所述底座(112)的上部配置结合，为了所述检查对象体的θ轴对齐保证而旋转；
在所述底座(112)的上部形成有伺服马达和对于所述底座(112)的中心形成圆弧而连续形成的导引件块体，
在所述θ轴调整板(113)的下部形成有向所述导引件块体侧突出的导引件轨道，由此，通过所述伺服马达的驱动，使得所述θ轴调整板(113)的导引件轨道沿着所述底座(112)的导引件块体输送。
2.根据权利要求1所述的在线台架，其特征在于，
所述输送平板部(110)还包括：
垂直板框架(114)，在所述θ轴调整板(113)的上端部由所述检查对象体的输送方向配置多个，以既定间隔并排地配置；
水平真空板(115)，在所述垂直板框架(114)的上端部由所述检查对象体的输送方向排列多个，并为了将所述检查对象体吸附可固定在上部面，形成有形成吸附空气的吸附孔。
3.根据权利要求2所述的在线台架，其特征在于，
所述水平真空板(115)防止与相互邻接的输送带部(120)的支撑框(121)及辊(122)发生干扰地隔着既定间隔地配置，而在各个所述水平真空板(115)之间形成有既定空间，在所述既定空间形成所述输送带部(120)的输送带辊(122)。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102052135B1 (ko) * 2018-04-09 2019-12-04 주식회사 에이치비테크놀러지 사이드 듀얼 그립퍼 구동방식의 θ축 얼라인 조정이 가능한 AOI 검사 장비
KR101994624B1 (ko) * 2018-10-10 2019-10-01 변성경 부품 검사 장치
KR101994622B1 (ko) * 2018-10-10 2019-07-02 변성경 부품 이송 장치
KR102095386B1 (ko) * 2018-11-20 2020-03-31 주식회사 쎄믹스 웨이퍼 프로버의 얼라인먼트 장치
KR102175502B1 (ko) * 2019-03-28 2020-11-06 주식회사 에이치비테크놀러지 원판과 분판 모두의 세타축 정렬이 가능한 하이브리드형 디스플레이 패널 검사장치
CN112098418B (zh) * 2020-09-10 2024-06-21 安徽皓视光电科技有限公司 基于气浮传输下玻璃基板的角度补正机构和aoi检测装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1513739A (zh) * 2002-12-18 2004-07-21 满留安机械株式会社 辊式输送机
CN1693902A (zh) * 2004-04-30 2005-11-09 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 检查装置
JP2008166348A (ja) * 2006-12-27 2008-07-17 Olympus Corp 基板搬送装置
CN102374995A (zh) * 2010-08-11 2012-03-14 乐金显示有限公司 用于检查显示设备的装置和方法
KR20160085740A (ko) * 2016-07-07 2016-07-18 삼성디스플레이 주식회사 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지
CN106564757A (zh) * 2015-08-19 2017-04-19 数字成像技术公司 直线移动载物台装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201206803A (en) * 2010-04-14 2012-02-16 Tae Sung Eng Co Ltd Multi-gate conveyor
CN102514971A (zh) * 2011-12-08 2012-06-27 深圳市鑫联达包装机械有限公司 一种能够连续传送纸张的传输系统及其传输方法
KR101174860B1 (ko) 2012-02-15 2012-08-17 (주)버금시스템 피검사물과 테스트 기판의 정렬이 이루어지는 디스플레이용 패널 검사장치 및 그 제어방법
KR101329073B1 (ko) * 2012-07-16 2013-11-14 주식회사 엠플러스 이차 전지용 극판 스태킹 장치

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1513739A (zh) * 2002-12-18 2004-07-21 满留安机械株式会社 辊式输送机
CN1693902A (zh) * 2004-04-30 2005-11-09 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 检查装置
JP2008166348A (ja) * 2006-12-27 2008-07-17 Olympus Corp 基板搬送装置
CN102374995A (zh) * 2010-08-11 2012-03-14 乐金显示有限公司 用于检查显示设备的装置和方法
CN106564757A (zh) * 2015-08-19 2017-04-19 数字成像技术公司 直线移动载物台装置
KR20160085740A (ko) * 2016-07-07 2016-07-18 삼성디스플레이 주식회사 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지

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