JP3999863B2 - 被測定基板の検査装置 - Google Patents
被測定基板の検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3999863B2 JP3999863B2 JP36477297A JP36477297A JP3999863B2 JP 3999863 B2 JP3999863 B2 JP 3999863B2 JP 36477297 A JP36477297 A JP 36477297A JP 36477297 A JP36477297 A JP 36477297A JP 3999863 B2 JP3999863 B2 JP 3999863B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- substrate
- unit
- measurement
- relay
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルのような被測定基板の通電試験をする検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶パネル（液晶表示パネル）のような被測定基板（被検査基板）を搬送ロボットにより搬送する検査装置の１つとして、搬送ロボットが配置されたローダ部と、測定用（検査用）のプローブユニットが配置された測定部（検査部９との間に液晶パネルの受け渡し部を設け、この受け渡し部に受け渡し装置を配置し、測定ステージを受け渡し部と測定部とに移動させるものがある（特許第２５４９８８２号公報）。
【０００３】
上記検査装置において、カセットに収容された未測定（未検査）の被測定基板は、搬送ロボットによりカセット設置台上のカセットから取り出され、搬送ロボットから受け渡し装置に転載され、受け渡し装置から測定ステージに転載され、測定ステージにより測定部に搬送され、測定部において点灯試験のような通電試験をされる。測定の終了した液晶パネルは、前記と逆に搬送されて、カセット設置台上の所定のカセットに収納される。
【０００４】
この従来の検査装置によれば、被測定基板の搬送が完全に自動化されるから、作業者の肉眼によるいわゆる目視点灯検査、テレビカメラ及び画像処理技術を用いたいわゆる自動点灯検査のいずれであっても、被測定基板を人手により測定ステージに設定する装置に比べ、検査効率すなわち測定効率が著しく高い。
【０００５】
しかし、上記の検査装置では、搬送ロボット、受け渡し装置、測定ステージ及びプローブユニットを１つずつ設けているにすぎないから、搬送ロボットは受け渡し装置に対する被測定基板の受け渡しのための待ち時間が多く、受け渡し装置は測定ステージに対する被測定基板の受け渡しのための待ち時間が多く、プローブユニットは被測定基板の交換のための待ち時間が多い。
【０００６】
上記の結果、従来の検査装置では、搬送ロボット、受け渡し装置、測定ステージ及びプローブユニット等の各機器が効率よく組み合わされておらず、従って単位時間当たりの処理能力（スループット）が低い。
【０００７】
【解決しようとする課題】
それゆえに、各機器の待ち時間を短縮して、単位時間当たりの処理能力を高めることは、被測定基板の検査装置において重要である。
【０００８】
【解決手段、作用および効果】
本発明の検査装置は、被測定基板のための測定部、被測定基板のための少なくとも２つの中継部、被測定基板を有する１以上のカセットを配置するためのカセット設置部、及び、被測定基板を前記中継部と前記カセット設置部との間で搬送するためのローダ部を有する本体と、一方の前記中継部と前記測定部とに選択的に移動される第１の測定ステージと、他方の前記中継部と前記測定部とに選択的に移動される第２の測定ステージと、各中継部に配置されて前記測定ステージに対する被測定基板の受け渡しをする第１及び第２の中継機構とを含む。
【０００９】
上記の検査装置は、たとえば、未測定の被測定基板及び測定済みの被測定基板の受け渡しを一方の系列の第１及び第２の中継機構と測定ステージとの間で行われている間、他方の系列の測定ステージを他方の系列の中継部から測定部に移動させて他方の系列の測定基板の上の被測定基板の測定をすることができる。
【００１０】
また、同じ系列の第１及び第２の中継機構と測定基板との間における未検査の測定基板の受け渡しと検査済みの測定基板の受け渡しを並行して行い、未測定の被測定基板を有する一方の系列の測定ステージを、一方の系列の測定ステージ上の被測定基板の測定が終了するまで、待機させることができる。
【００１１】
搬送手段は、たとえば、一方の系列に対する未測定の被測定基板及び検査済みの測定基板の受け渡しと、他方の系列に対する未測定の被測定基板及び検査済みの測定基板の受け渡しとを交互に行うように制御することができる。
【００１２】
上記のように、少なくとも２つの中継部を設けるとともに、各中継部に対応させて測定ステージを設け、さらに各中継部に少なくとも２つの中継機構を設けることにより、たとえ搬送ロボット及びプローブユニットを１つずつ設けただけであっても、搬送ロボット、受け渡し装置、測定ステージ及びプローブユニット等の各機器を１つずつ設けた場合及び２つの測定ステージを設けた場合に比べ、各機器の待ち時間が著しく短縮し、単位時間当たりの処理能力が著しく高くなる。
【００１３】
前記測定部を前部中央に配置し、前記中継部を前記測定部の左右に配置し、前記カセット設置部を後方に配置し、前記ローダ部を前後方向中間に配置することができる。これにより、搬送ロボットの移動範囲を大きくすることなく、測定ステージの移動路を別々にすることができる。
【００１４】
前記第１及び第２の中継機構は前記測定ステージに対する被測定基板の受け渡しをする可動手段をそれぞれ備え、両可動手段の移動路は当該中継機構に受けた被測定基板と直交する第１の軸線方向に間隔をおおくことができる。この場合、たとえば、先ず、一方の可動手段は搬送ロボットに対して被測定基板の受け渡しをする位置に移動され、他方の可動手段は測定ステージに対して被測定基板の受け渡しをする位置に移動される。次いで、一方の可動手段は測定ステージに対して被測定基板の受け渡しをする位置に移動され、他方の可動手段は搬送ロボットに対して被測定基板の受け渡しをする位置に移動される。上記のように両可動手段の移動路が第１の軸線の方向へ間隔をおいていると、両可動手段がその移動時に干渉しない。
【００１５】
前記中継機構は、さらに、前記測定ステージに対する被測定基板の受け渡しをする第１の位置と該第１の位置から離れた第２の位置とに前記可動手段を選択的に移動させる第１の駆動手段と、共同して被測定基板を受けるべく被測定基板と平行の面内で直交する第１の方向及び第２の方向のうちのいずれか一方の方向へ間隔をおいて前記可動手段に配置された一対の受け手段と、該受け手段を相寄り相離れる方向へ同時に移動させる第２の駆動手段とを備えることができる。
【００１６】
前記可動手段は、前記第１の駆動手段により前記第１及び第２の位置へ選択的に移動される第１の可動体と、前記第１の方向及び第２の方向のうちの他方の方向へ移動可能に前記第１の可動体に支持され、前記第１の方向及び第２の方向のうちの前記一方の方向へ伸びる一対の第２の可動体と、前記第１の可動体に対する前記第２の可動体の位置を解除可能に維持する維持手段とを備え、各受け手段及び前記第２の駆動手段は前記第２の可動体に配置することができる。
【００１７】
前記可動手段は、さらに、前記第２の可動体の他端部側を前記可動体に連結する一対のリンクアームを備え、各リンクアームを、前記第１及び第２の可動体の一方に枢軸的に連結するとともに、前記第１及び第２の可動体の他方に前記リンクアームの長手方向へ相対的に移動可能に連結することができる。これにより、第２の可動体が第１の可動体に片持ち梁状に支持されていても、第２の可動体は第１の可動体に対する移動を両リンクアームにより正しく規制される。
【００１８】
各受け手段は、前記第２の可動体にこれの長手方向へ間隔をおいて配置された一対のホルダであって被測定基板の縁部を受ける凹所を有するホルダを含み、該ホルダを前記第２の駆動手段により前記可動アームの移動方向へ移動させる構造とすることができる。これにより、被測定基板は対向する一対の縁部をホルダに受け入れられた状態に把持されるから、被測定基板を受け手段により損傷するおそれがない。
【００１９】
さらに、前記中継部及び前記測定部への前記測定ステージの移動を案内する１以上のガイドと、前記測定ステージを移動させる１以上の第３の駆動手段とを含むことができる。これにより、測定ステージを円滑に移動させることができる。
【００２０】
前記測定部は前記本体に傾斜して配置された検査用のプローブユニットを含み、各測定ステージは被測定基板を傾斜した状態に受ける受け部を有することができる。これにより、被測定基板を斜め上方から目視することができる。
【００２１】
前記測定ステージは傾斜した状態に前記本体に配置されており、前記本体は前記測定ステージが前記本体内で転倒することを防止する転倒防止手段を備えることができる。これにより、測定ステージが傾斜していても、測定ステージの移動が安定する。
【００２２】
さらに、前記ローダ部と前記中継機構との間で被測定基板の受け渡しをすべく前記各中継部に配置されたアライメント機構を含むことができる。
【００２３】
前記第１および第２の測定ステージをリニアモータにより移動させることができる。このようにすれば、リードスクリューのような他の駆動手段を用いた場合に比べ、測定ステージの移動時の振動が著しく小さいから、一方の測定ステージ上の被測定基板の測定時に、他方の測定ステージを移動させても、一方の測定ステージ上の被測定基板の測定が他方の測定ステージの移動の影響を受けない。
【００２４】
【発明の実施の形態】
図１から図４を参照するに、検査装置１０は、長方形の液晶パネルを被測定基板（被検査基板）１２とする目視点灯検査装置として用いられる。
【００２５】
検査装置１０は、前面上部が上向きの傾斜面とされた本体を含む。本体は、複数のチャンネル部材を組み立てた本体フレームと、該本体フレームに取り外し可能に取り付けられた複数のパネルとにより筐体の形に形成されている。
【００２６】
本体の傾斜面の中央は被測定基板の測定部（すなわち、検査部）１４とされており、測定部の左右両側のそれぞれは被測定基板のための中継部１６とされている。本体の後部は、カセット設置部（すなわち、カセット設置台）１８とされている。本体の前後方向中央部は、中継部１６とカセット設置部１８との間で被測定基板を搬送するローダ部２０とされている。
【００２７】
測定用プローブユニット２２は、複数のプローブブロックを矩形の基板に取り付けた公知のものであり、また、測定部１４に配置されている。プローブユニット２２の基板は、その斜め下側に配置された被測定基板１２を目視により検査する矩形の開口２４を有する。測定部１４には、また、検査装置１０の作動を制御する操作パネル２６と、検査部１４に搬送された被測定パネルを観察するための光学顕微鏡２８とが配置されている。
【００２８】
複数のカセット３０は、カセット設置部１８に配置されている。図に示す例では、複数のカセット３０を重ねた４つのカセット群が設置されている。被測定基板は、各カセット３０に収容されている。
【００２９】
被測定基板の受け渡し及び搬送は、ローダ部２０に配置された搬送ロボット３４により被測定基板を水平に維持した状態で行われる。
【００３０】
搬送ロボット３４は、ローダ部２０を左右方向へ平行に伸びる一対のガイドレール３６に移動可能に支持されており、また、モータ３８及び該モータにより回転されるリードスクリュー４０を備えるロボット移動機構により左右方向の適宜な位置へ移動されて、カセット３０及び後に説明するアライメント機構５０に対する被測定基板の受け渡し及び搬送をする。
【００３１】
搬送ロボット３４は、ガイドレール３６に沿って移動されるスライダ４２と、該スライダの上に取り付けられた駆動機構４４と、該駆動機構により別々に駆動されて被測定基板の受け渡しをする一対のロボットアーム４６とを備える。被測定基板は、搬送ロボット３４により、長手方向がロボットアーム４６の長手方向と一致した状態で水平に搬送されるとともに、受け渡しをされる。
【００３２】
搬送ロボット３４において、カセット３０に対する被測定基板の受け渡しは、一方のロボットアームに受けている測定済みの被測定基板を適宜なカセット群のカセットに渡すとともに、他のカセット内の未測定の被測定基板を同じロボットアーム又は他方のロボットアームに受け取るように、制御することができる。
【００３３】
アライメント機構５０に対する被測定基板の受け渡しは、測定済みの被測定基板を一方のロボットアームに受け取るとともに、他方のロボットアームに受けている未測定の被測定基板を同じアライメント機構５０に渡すように、制御することができる。
【００３４】
アライメント機構５０は、各中継部１６内にあってローダ部２０の側に配置されている。
【００３５】
図５から図７に示すように、各アライメント機構５０は、搬送ロボット３４に対し水平の状態で被測定基板の受け渡しをするターンテーブル５２と、ターンテーブル５２及び後に説明する中継機構１００，１０２に対し傾斜した状態で被測定基板の受け渡しをするアライメントステージ５４と、長方形の板の形を有する昇降ベース５６と、昇降ベース５６上に取り付けられたテーブルベース５８と、昇降ベース５６上に取り付けられたリンクステージ６０とを備える。
【００３６】
ターンテーブル５２は、テーブルベース５８に上下方向へ伸びる軸線の周りに回転可能にほぼ水平に支持されており、被測定基板を解放可能に水平の状態に真空吸着する複数の吸着パッド６２を上面に有する。ターンテーブル５２は、受けた被測定基板の方向を合わせるべく電動機６４により上下方向へ伸びる軸線の周りに回転される。電動機６４は、テーブルベース５８に取り付けられている。
【００３７】
ターンテーブル５２の回転位置は、テーブルベース５８上に取り付けられた一対のセンサ６６と、ターンテーブル５２の下側に取り付けられた被感知部材６８との共同作用により感知される。センサ６６は、電動機６４の回転軸線を中心に９０度離されている。このため、ターンテーブル５２の回転範囲は９０度の範囲に制限される。これにより被測定基板はその長手方向が前後方向から左右方向に又はその逆になるように変更される。
【００３８】
アライメントステージ５４は、板材によりターンテーブル５２の３方を囲むコ字状に形成されており、また、被測定基板を解放可能に真空吸着する複数の吸着パッド７０を上面に有する。
【００３９】
アライメントステージ５４は、リニアシャフト７２とリードスクリュー７４とによりリンクステージ６０に昇降可能に支持されている。リニアシャフト７２はリンクステージ６０に取り付けられたリニアブッシュ７６を上下方向に貫通しており、リードスクリュー７４はリンクステージ６０に取り付けられた電動機７８のナット部と螺合している。このため、アライメントステージ５４は、電動機７８の回転により、アライメントステージ５４に受けた被測定基板と直角の軸線の方向へ移動される。
【００４０】
アライメントステージ５４には、２組のストッパ８０と、２組のプッシャ８２とが取り付けられている。ストッパ８０は仮想的な長方形の隣合う２つの縁部に対応する箇所に設けられており、プッシャ８２はその長方形の他の隣り合う縁部に対応する箇所に設けられている。
【００４１】
各プッシャ８２は、アクチュエータ８４により図５において点線で示す位置と実線で示す位置とに回転される。具体的には、各プッシャ８２は、被測定基板を搬送ロボット３４に対し受け渡すとき、点線で示すように後退され、被測定基板を受け取った後被測定基板を吸着パッド６２に吸着する前に、実線で示す位置に回転されて、その被測定基板を対向するストッパ８０に押圧する。これにより、被測定基板は、その縁部がストッパ８０に接触することにより、アライメントステージ５４上においてアライメントをされる。その後、吸着パッド６２に吸着される。
【００４２】
昇降ベース５６は、装置本体に連結された一対のフレーム８６を上下方向に滑動可能に貫通する複数のシャフト８８の下端にほぼ水平に取り付けられており、また、シリンダにおいてフレーム８６に取り付けられた一対のエアーシリンダ９０のピストンロッドに連結されている。両エアーシリンダ９０は、同期して伸縮される。このため、昇降部ベース５６及びこれに支持された各種の部材の高さ位置をエアーシリンダ９０により変更することができる。
【００４３】
リンクステージ６０は、昇降ベース５６上に水平方向へ間隔をおいて取り付けられた一対のブラケット９２と、軸受（図示せず）を用いて両ブラケット９２に回転可能に組み付けられたシャフト９４とにより、水平方向へ伸びる軸線の周りに回転（枢軸運動）可能に昇降ベース５６に組み付けられている。
【００４４】
リンクステージ６０は、エアーシリンダ９６により昇降ベース５６に連結されている。エアーシリンダ９６は、連結中心がブラケット９８により昇降ベース５６に連結されており、また、シャフト９４の軸線よりやや上方の位置になるようにリンクステージ６０に枢軸的に連結されている。
【００４５】
エアーシリンダ９６が図７に示す収縮状態から伸張されると、リンクステージ６０及びこれに支持された各種の部材は、図１９に示すように、シャフト９４を支点として昇降ベース５６に対して回動され、それによりアライメントベース５４に受けられている被測定基板を水平の状態から傾斜した状態に変更する。
【００４６】
第１及び第２の中継機構１００，１０２は、各中継部１６内にあってアライメント機構５０より前方に傾斜した状態に配置されている。
【００４７】
図８から図１１に示すように、各中継機構１００，１０２は、一対のベース１０４を本体フレームに支持させ、第１の可動体１０６を斜め上向きの仮想的な傾斜面に沿って上下方向へ移動可能にベース１０４に配置している。
【００４８】
両ベース１０４は、長い板状部材から形成されており、また、第１の可動体１０６の左右方向側部を上記の傾斜面に沿って上下方向へ平行に伸びるように本体フレームに連結されている。
【００４９】
第１の可動体１０６は、処理すべき被測定基板より大きい長方形の開口１０８を中央に有する長方形の板部材から形成されている。第１の可動体１０６は、リニアシャフト１１０とリードスクリュー１１２とにより両ベース１０４に支持されている。
【００５０】
リニアシャフト１１０は、一方のベース１０４に一対のブラケット１１４により支持されており、また、第１の可動体１０６の一方の側部に取り付けられたリニアブッシュ１１６を滑動可能に貫通している。リードスクリュー１１２は、他方のベース１０４に一対のブラケット１１８により回転可能に取り付けられており、また、第１の可動体１０６の他方の側部に取り付けられたリードナット１２０に螺合している。
【００５１】
各リードスクリュー１１２は、逆転可能の電動機１２２により回転されて、第１の可動体を移動させる。電動機１２２は、ブラケット１２４によりフレーム１０４に取り付けられている。
【００５２】
第１の可動体１０６は、後述する測定ステージ１５０に対する被測定基板の受け渡しをする第１の位置と、アライメント機構５０に対する被測定基板の受け渡しをする第２の位置とに選択的に移動される。図８において、第１の位置は第１の中継機構１００の第１の可動体１０６の位置であり、第２の位置は第２の中継機構１０２の第１の可動体１０６の位置であり、第１の位置は第２の位置より上方である。第１の可動体が第１及び第２の位置のいずれにあっても、第１の可動体１０６は傾斜されている。
【００５３】
第１及び第２の中継機構１００，１０２は、一方が斜め上側となり、他方が斜め下側となるように、及び、両第１の可動体１０６の移動路が受けた被測定基板と直交する方向へ間隔をおくように、配置されている。これにより、両第１の可動体１０６の移動が干渉しない。
【００５４】
第１の可動体１０６は、一対の細長い第２の可動体（すなわち、摺動アーム）１２６を第１の可動体１０６の移動方向へ移動可能に支持している。第２の可動体１２６は、第１の可動体１０６の移動方向に間隔をおいて平行に左右方向へ伸びている。
【００５５】
各第２の可動体１２６は、レール１２８により一端部において第１の可動体１０６に支持されており、また、八字状の一対のリンクアーム１３０により他端部において第１の可動体１０６に支持されている。これにより、第２の可動体１２６が第１の可動体１０６に片持ち梁状に支持されていても、第２の可動体１２６は第１の可動体１０６に対する移動をレール１２８及び両リンクアーム１３０により正しく規制される。
【００５６】
レール１２８に対する第２の可動体１２６の位置は、第２の可動体１２６の一端部に螺合された止めねじ１３２をゆるめることにより変更可能であるが、測定の間は止めねじ１３２を締め付けることにより変位不能に維持される。
【００５７】
リンクアーム１３０は、一端部を第２の可動体１２６に枢軸ピン１３４により揺動可能に連結されており、他端部を長穴１３６及び枢軸ピン１３８によりリンクアーム１３０の長手方向へ相対的に移動可能に連結されている。これにより、両第２の可動体１２６は相寄り相離れる方向へ平行に移動される。
【００５８】
各第２の可動体１２６には、被測定基板を受ける一対のホルダ１４０がスライドガイド１４２により第２の可動体１２６の移動方向へ平行移動可能に配置されている。ホルダ１４０は、左右方向に間隔をおいており、また、エアーシリンダ１４４と、両ホルダ１４０を連結する連結アーム１４６とにより同時に移動される。
【００５９】
各ホルダ１４０は、被測定基板の縁部を受け入れるコ字状の凹所１４８（図１２及び図１３参照）を有する。一方の第２の可動体１２６の両ホルダ１４０と、他方の第２の可動体１２６の両ホルダ１４０とは、凹所１４８を対向させている。両第２の可動体１２６のホルダ１４０は、同期して作動されるエアーシリンダ１４４により、被測定基板１２を把持するとき相寄る方向へ移動され、被測定基板を解放するとき相離れる方向へ移動される。
【００６０】
測定ステージ１５０は、各中継部１６に配置されている。図３、図１４及び図１５に示すように、各測定ステージ１５０は、被測定基板を解放可能に吸着するワークテーブル１５２と、ワークテーブル１５２をこれに受けた被測定基板と直交する軸線の周りに角度的に回転させるθステージ１５４と、ワークテーブル１５２をこれに受けた被測定基板と直交する軸線の方向へ移動させるＺステージ１５６と、ワークテーブル１５２をこれに受けた被測定基板と平行の面内で斜め上下方向（Ｙ方向）へ移動させるＹステージ１５８と、受けた被測定基板と平行の面内で左右方向（Ｘ方向）へ移動されるステージベース１６０とを備える。
【００６１】
ワークテーブル１５２、θステージ１５４、Ｚステージ１５６、及び、Ｙステージ１５８は、それぞれ、θステージ１５４、Ｚステージ１５６、Ｙステージ１５８、及び、ステージベース１６０に支持されている。
【００６２】
ワークテーブル１５２は斜め上方に開口する凹所を有する直方体状の箱の形を有しており、被測定基板を受ける受け面は長方形の形状を有する。ワークテーブル１５２の凹所内には、被測定基板を照明するバックライトユニット（図示せず）が設けられている。
【００６３】
ワークテーブル１５２は、被測定基板を真空吸着する複数の吸着溝１６２を上面に有し、中継機構１００，１０２に対する被測定基板の受け渡し時に中継機構１００，１０２のホルダ１４０を受け入れる複数の切り欠き部１６４を上面に有し、一対のストッパ１６６を長方形の隣り合う２つの辺のそれぞれに有し、長方形の隣り合う他の２つの辺のそれぞれにプッシャ１６８を有する。
【００６４】
各プッシャ１６８は、アクチュエータ１７０により図１４において点線で示す位置と実線で示す位置との回転され、実線で示す位置に回転されることにより被測定基板を対向する縁部に設けられたストッパ１６６に押圧する。これにより、被測定基板は測定ステージ１５０においてもアライメントをされる。また、被測定基板は、その基板に形成されたアライメントマークを撮影する図示しないテレビカメラの出力信号の画像処理をする技術を用いて、ステージ１５４，１５８及びステージベース１６０により精密アライメントをされる。
【００６５】
測定ステージ１５０は、被測定基板を傾斜した状態に支持するように、リニアレール１７２と、該リニアレールに滑動可能に嵌合する１以上のリニアガイド１７４と、スライドレール１７６と、該スライドレールに滑動可能に嵌合する１以上のスライドガイド１７８とによりフレーム１８０に受けられている。
【００６６】
リニアレール１７０及びリニアガイド１７４は、それぞれ、リニアモータの固定子及び可動子である。リニアレール１７２とスライドレール１７６とは、測定部１４と対応する中継部１６との間に設けられている。リニアガイド１７４とスライドガイド７８とは、対応する測定ステージ１５０のステージベース１６０に設けられている。
【００６７】
測定ステージ１５０及びフレーム１８０が傾斜されていることから、測定ステージ１５０は、フレーム１８０に設けられたスライドガイドレール１８２と、該スライドレールに滑動可能に嵌合する複数のスライドガイド１８４とにより、傾斜した状態に維持されるとともに、横転することを防止されている。スライドガイドガイド１８４は、対応するステージベース１５０の側部に取り付けられている。
【００６８】
レール１７２，１７６及び１８２は、両測定ステージ１５０で共通に利用するように設けてもよいし、測定ステージ１５０毎に設けてもよい。いずれの場合も、測定ステージ１５０の駆動手段としてリニアモータを用いれば、リードスクリューのような他の駆動手段を用いた場合に比べ、測定ステージの移動時の振動が著しく小さいから、一方の測定ステージ上の被測定基板の測定時に、他方の測定ステージを移動させても、一方の測定ステージ上の被測定基板の測定が他方の測定ステージの移動の影響を受けない。
【００６９】
検査装置１０において、未測定の被測定基板を搬送ロボット３４からターンテーブル５２に受け渡すとき、アライメント機構５０のアライメントベース６０は水平の状態に維持されており、昇降ベース５６はエアーシリンダ９０により下げられている。従って、昇降ベース５６に支持された各種の部材も下げられている。また、アライメントステージ５４は、図１６に示すように、電動機７８によりターンテーブル５２より下方に下げられている。
【００７０】
上記状態で、先ず、被測定基板１２がその長手方向を前後方向とした状態で搬送ロボット３４のアーム４４によりターンテーブル５２の上方に搬送される。
【００７１】
次いで、図１６に示すように、搬送ロボット３４のアーム４４が下げられて被測定基板１２がターンテーブル５２に渡されるとともに、ターンテーブル５２の吸着パッド６２が作動して被測定基板１２を吸着する。これにより、被測定基板１２がターンテーブル５２に受けられる。この状態で、アーム３４はアライメント機構５０から後退される。
【００７２】
次いで、図１７に示すように、ターンテーブル５２が電動機６４により回転される。ターンテーブル５２の回転量は、センサ６６と被感知部材６８とにより９０度に制限される。これにより、被測定基板１２は、その長手方向が前後方向から左右方向となるように、回転される。
【００７３】
次いで、吸着パッド６２が被測定基板１２を解放した状態で、アライメントステージ５４が電動機７８の回転によりターンテーブル５２より上方へ移動され、プッシャ８２がアクチュエータ８４により回転されて、被測定基板１２をストッパ８０に押す。これにより、図１８に示すように、被測定基板１２は、アライメントステージ５４に移され、アライメントが行われる。
【００７４】
次いで、昇降ベース５６がエアシリンダ９０により上昇され、それにより、中継機構１００，１０２に対するアライメント機構５０の高さ調整が行われる。
【００７５】
次いで、エアーシリンダ９６が伸張される。これにより、図１９に示すように、リンクステージ６０がシャフト９４の軸線の周りに回転されるから、アライメントステージ５４は被測定基板１２を吸着パッド７０に吸着した状態で傾けられ、被測定基板１２は水平状態から傾斜状態に変更される。この状態で、アライメント機構５０と中継機構１００又は１０２への被測定基板１２の受け渡しが行われる。
【００７６】
被測定基板１２をアライメント機構５０から中継機構１００（又は１０２）に渡すとき、図２０に示すように、第１及び第２の中継機構１００，１０２のいずれか一方の第１の可動体１０６は測定ステージ１５０に対する受け渡しをする第１の位置に移動されており、他方の第１の可動体１０６はアライメント機構５０に対する受け渡しをする第２の位置に移動されている。
【００７７】
図２０は、第１の中継機構１００の第１の可動体１０６を実線で示し、第２の中継機構１０２の第１の可動体１０６を一点差線で示す。以下の説明では、第１の中継機構１００の可動体１０６が第２の位置に移動されている。被測定基板１２を第１の中継機構１００の可動体１０６に渡すものとする。しかし、被測定基板１２を第２の中継機構１０２の可動体１０６に渡す場合も同様に動作する。
【００７８】
先ず、アライメントステージ５４が傾斜された状態において、図２１に示すように、被測定基板１２がこれと直角方向におけるホルダ１４０の位置に達するまで、アライメントステージ５４が電動機７８によりさらに突出され、その状態でホルダ１４０がエアーシリンダ１４４により相寄る方向へ移動される。これにより、ホルダ１４０は、図１２及び図１３に点線で示すように、被測定基板１２の縁部を凹所１４８に受け入れて、被測定基板１２を把持する。
【００７９】
次いで、吸着パッド７０が被測定基板１２を解放した後、アライメントステージ５４が電動機７８により第１の可動体１０６の位置より後退される。
【００８０】
第１の中継機構１００とアライメントステージ５４との間における未測定の被測定基板１２の受け渡しが終了するまでに、対応する測定ステージ１５０は、測定部１４から対応する中継部１６に移動されて、測定済みの被測定基板を第２の中継器１０２に渡し終わっており、従ってその測定ステージ１５０は第１の位置に待機している。
【００８１】
それゆえに、引き続き、第１の中継機構１００の第１の可動体１０６が第１の位置へ移動され、第２の中継器機構１０２の第１の可動体１０６が第２の位置へ移動されて、第２の中継機構１０２とアライメント機構５０との間で測定済みの被測定基板の受け渡しが行われるとともに、第１の中継機構１００と対応する測定ステージ１５０との間で未測定の被測定基板１２の受け渡しが行われる。
【００８２】
第２の中継機構１０２からアライメント機構５０への測定済みの被測定基板の受け渡し及びアライメント機構５０から搬送ロボット３４への測定済みの被測定基板の受け渡しは、上記と逆に行われる。
【００８３】
第１の中継機構１００が第１の位置へ移動されると、第１の位置に待機している測定ステージ１５０は、ワークテーブル１５２をＺステージ１５６により上昇させて、未測定の測定基板をワークテーブル１５２に真空吸着することにより未測定の測定基板を第１の中継機構１００から受け、その状態で再度待機する。
【００８４】
一方の系列において、搬送ロボット３４からアライメント機構５０への未測定の被測定基板の受け渡しが行われている間、及び、アライメント機構５０から測定ステージへの未測定の被測定基板の受け渡しが行われている間、他方の系列の測定ステージ上の被測定基板の測定が行われる。
【００８５】
他方の系列の測定ステージ上の被測定基板の測定が終了すると、その測定ステーキは他方の系列の中継部１６に移動されて、測定済みの被測定基板を他方の系列の中継機構に渡した後、未測定の被測定基板を他方の系列の中継機構１０２または１００から受けて他方の系列の中継部１６に待機する。また、一方の系列の測定ステージ１５０は、未測定の被測定基板を把持した状態で測定部１４に移動される。
【００８６】
測定済みの被測定基板を測定ステージ１５０から中継機構１００又は１０２に渡すときは、測定ステージ１５０から中継機構１００又は１０２は上記と逆の動作をする。
【００８７】
被測定基板１２をアライメント機構５０から中継機構１００（又は１０２）に及びその逆に渡すとき、被測定基板１２は、吸着パッド７０に吸着されているとともに、ストッパ８０とプッシャ８２とに把持されているから、アライメントステージ５４からの落下を防止されるとともに、アライメントステージ５４に対する移動を阻止されて、位置決められる。
【００８８】
プッシャ８２は、被測定基板１２を搬送ロボット３４もしくは中継機構１００（又は１０２）から受けるときに、被測定基板１２をストッパ８０に押圧し、被測定基板１２を搬送ロボット３４もしくは中継機構１００（又は１０２）に渡した後に待機位置に戻る。
【００８９】
搬送ロボット３４は、先ず一方の系列のアライメント機構５０に対する測定済みの被測定基板及び未測定の被測定基板の受け渡しをし、次いでカセット３０に対する測定済みの被測定基板及び未測定の被測定基板の受け渡しをし、次いで他方の系列のアライメント機構５０に対する測定済みの被測定基板及び未測定の被測定基板の受け渡しをし、その後カセット３０に対する測定済みの被測定基板及び未測定の被測定基板の受け渡しを再び行う動作を繰り返す。しかし、搬送ロボット３４は、前記の動作以外の動作をしてもよい。
【００９０】
検査装置１０のように、アライメント機構、中継機構及び検査ステージによる被測定基板の受け渡し経路を２系列設けるとともに、各系列に２つの中継機構を設けると、たとえ搬送ロボット及びプローブユニットを１つずつ設けただけであっても、搬送ロボット、受け渡し装置、測定ステージ及びプローブユニット等の各機器を１つずつ設けた場合及び２つの測定ステージを設けた場合に比べ、各機器の待ち時間が著しく短縮し、単位時間当たりの処理能力が著しく高くなる。
【００９１】
本発明は上記実施例に限定されない。たとえば、アライメント機構を設けなくてもよい。また、搬送ロボットを被測定基板の受け渡し経路の系列毎に設けてもよい。さらに、本発明は、目視検査装置のみならず、自動検査装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る検査装置の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１の検査装置の上部カバーを外した平面図である。
【図３】図１に示す検査装置の断面図である。
【図４】図３における４−４線に沿って得た断面図である。
【図５】アライメント機構の一実施例を示す平面図である。
【図６】図５に示すアライメント機構の正面図である。
【図７】図５に示すアライメント機構の側面図である。
【図８】２つの中継機構の一実施例を示す平面図である。
【図９】図８における９−９線に沿って得た断面図である。
【図１０】１つの中継機構の一実施例を示す拡大平面図である。
【図１１】図１０における１１−１１線に沿って得た断面図である。
【図１２】ホルダの動作を説明するための断面図である。
【図１３】ホルダの動作を説明するための他の断面図である。
【図１４】測定ステージの一実施例を示す平面図である。
【図１５】図１４に示す測定ステージの右側面図である。
【図１６】アライメント機構の動作の最初のステップを説明するための図である。
【図１７】アライメント機構の、図１６のステップに続くステップを説明するための図である。
【図１８】アライメント機構の、図１７のステップに続くステップを説明するための図である。
【図１９】アライメント機構の、図１８のステップに続くステップを説明するための図である。
【図２０】アライメント機構の、図１９のステップに続くステップを説明するための図である。
【図２１】アライメント機構の、図２０のステップに続くステップを説明するための図である。
【図２２】アライメント機構の、図２１のステップに続くステップを説明するための図である。
【符号の説明】
１０ 検査装置
１２ 被測定基板
１４ 測定部
１６ 中継部
１８ カセット設置部
２０ ローダ部
２２ プローブユニット
３４ 搬送ロボット
４４ ロボットアーム
５０ アライメント機構
１００，１０２ 中継機構
１０４ ベース
１０６ 第１の可動体
１１０ リニアシャフト
１１２ リードスクリュー
１１６ リニアブッシュ
１２０ リードナット
１２２ 電動機
１２６ 第２の可動体
１２８ レール
１３０ リンクアーム
１４０ ホルダ
１４４ エアーシリンダ
１５０ 測定ステージ
１７２ リニアガイド（リニアモータの固定子）
１７４ リニアガイド（リニアモータの可動子）
１７６，１８２ スライドレール
１７８，１８４ スライドガイド
１８０ フレーム
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルのような被測定基板の通電試験をする検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶パネル（液晶表示パネル）のような被測定基板（被検査基板）を搬送ロボットにより搬送する検査装置の１つとして、搬送ロボットが配置されたローダ部と、測定用（検査用）のプローブユニットが配置された測定部（検査部９との間に液晶パネルの受け渡し部を設け、この受け渡し部に受け渡し装置を配置し、測定ステージを受け渡し部と測定部とに移動させるものがある（特許第２５４９８８２号公報）。
【０００３】
上記検査装置において、カセットに収容された未測定（未検査）の被測定基板は、搬送ロボットによりカセット設置台上のカセットから取り出され、搬送ロボットから受け渡し装置に転載され、受け渡し装置から測定ステージに転載され、測定ステージにより測定部に搬送され、測定部において点灯試験のような通電試験をされる。測定の終了した液晶パネルは、前記と逆に搬送されて、カセット設置台上の所定のカセットに収納される。
【０００４】
この従来の検査装置によれば、被測定基板の搬送が完全に自動化されるから、作業者の肉眼によるいわゆる目視点灯検査、テレビカメラ及び画像処理技術を用いたいわゆる自動点灯検査のいずれであっても、被測定基板を人手により測定ステージに設定する装置に比べ、検査効率すなわち測定効率が著しく高い。
【０００５】
しかし、上記の検査装置では、搬送ロボット、受け渡し装置、測定ステージ及びプローブユニットを１つずつ設けているにすぎないから、搬送ロボットは受け渡し装置に対する被測定基板の受け渡しのための待ち時間が多く、受け渡し装置は測定ステージに対する被測定基板の受け渡しのための待ち時間が多く、プローブユニットは被測定基板の交換のための待ち時間が多い。
【０００６】
上記の結果、従来の検査装置では、搬送ロボット、受け渡し装置、測定ステージ及びプローブユニット等の各機器が効率よく組み合わされておらず、従って単位時間当たりの処理能力（スループット）が低い。
【０００７】
【解決しようとする課題】
それゆえに、各機器の待ち時間を短縮して、単位時間当たりの処理能力を高めることは、被測定基板の検査装置において重要である。
【０００８】
【解決手段、作用および効果】
本発明の検査装置は、被測定基板のための測定部、被測定基板のための少なくとも２つの中継部、被測定基板を有する１以上のカセットを配置するためのカセット設置部、及び、被測定基板を前記中継部と前記カセット設置部との間で搬送するためのローダ部を有する本体と、一方の前記中継部と前記測定部とに選択的に移動される第１の測定ステージと、他方の前記中継部と前記測定部とに選択的に移動される第２の測定ステージと、各中継部に配置されて前記測定ステージに対する被測定基板の受け渡しをする第１及び第２の中継機構とを含む。
【０００９】
上記の検査装置は、たとえば、未測定の被測定基板及び測定済みの被測定基板の受け渡しを一方の系列の第１及び第２の中継機構と測定ステージとの間で行われている間、他方の系列の測定ステージを他方の系列の中継部から測定部に移動させて他方の系列の測定基板の上の被測定基板の測定をすることができる。
【００１０】
また、同じ系列の第１及び第２の中継機構と測定基板との間における未検査の測定基板の受け渡しと検査済みの測定基板の受け渡しを並行して行い、未測定の被測定基板を有する一方の系列の測定ステージを、一方の系列の測定ステージ上の被測定基板の測定が終了するまで、待機させることができる。
【００１１】
搬送手段は、たとえば、一方の系列に対する未測定の被測定基板及び検査済みの測定基板の受け渡しと、他方の系列に対する未測定の被測定基板及び検査済みの測定基板の受け渡しとを交互に行うように制御することができる。
【００１２】
上記のように、少なくとも２つの中継部を設けるとともに、各中継部に対応させて測定ステージを設け、さらに各中継部に少なくとも２つの中継機構を設けることにより、たとえ搬送ロボット及びプローブユニットを１つずつ設けただけであっても、搬送ロボット、受け渡し装置、測定ステージ及びプローブユニット等の各機器を１つずつ設けた場合及び２つの測定ステージを設けた場合に比べ、各機器の待ち時間が著しく短縮し、単位時間当たりの処理能力が著しく高くなる。
【００１３】
前記測定部を前部中央に配置し、前記中継部を前記測定部の左右に配置し、前記カセット設置部を後方に配置し、前記ローダ部を前後方向中間に配置することができる。これにより、搬送ロボットの移動範囲を大きくすることなく、測定ステージの移動路を別々にすることができる。
【００１４】
前記第１及び第２の中継機構は前記測定ステージに対する被測定基板の受け渡しをする可動手段をそれぞれ備え、両可動手段の移動路は当該中継機構に受けた被測定基板と直交する第１の軸線方向に間隔をおおくことができる。この場合、たとえば、先ず、一方の可動手段は搬送ロボットに対して被測定基板の受け渡しをする位置に移動され、他方の可動手段は測定ステージに対して被測定基板の受け渡しをする位置に移動される。次いで、一方の可動手段は測定ステージに対して被測定基板の受け渡しをする位置に移動され、他方の可動手段は搬送ロボットに対して被測定基板の受け渡しをする位置に移動される。上記のように両可動手段の移動路が第１の軸線の方向へ間隔をおいていると、両可動手段がその移動時に干渉しない。
【００１５】
前記中継機構は、さらに、前記測定ステージに対する被測定基板の受け渡しをする第１の位置と該第１の位置から離れた第２の位置とに前記可動手段を選択的に移動させる第１の駆動手段と、共同して被測定基板を受けるべく被測定基板と平行の面内で直交する第１の方向及び第２の方向のうちのいずれか一方の方向へ間隔をおいて前記可動手段に配置された一対の受け手段と、該受け手段を相寄り相離れる方向へ同時に移動させる第２の駆動手段とを備えることができる。
【００１６】
前記可動手段は、前記第１の駆動手段により前記第１及び第２の位置へ選択的に移動される第１の可動体と、前記第１の方向及び第２の方向のうちの他方の方向へ移動可能に前記第１の可動体に支持され、前記第１の方向及び第２の方向のうちの前記一方の方向へ伸びる一対の第２の可動体と、前記第１の可動体に対する前記第２の可動体の位置を解除可能に維持する維持手段とを備え、各受け手段及び前記第２の駆動手段は前記第２の可動体に配置することができる。
【００１７】
前記可動手段は、さらに、前記第２の可動体の他端部側を前記可動体に連結する一対のリンクアームを備え、各リンクアームを、前記第１及び第２の可動体の一方に枢軸的に連結するとともに、前記第１及び第２の可動体の他方に前記リンクアームの長手方向へ相対的に移動可能に連結することができる。これにより、第２の可動体が第１の可動体に片持ち梁状に支持されていても、第２の可動体は第１の可動体に対する移動を両リンクアームにより正しく規制される。
【００１８】
各受け手段は、前記第２の可動体にこれの長手方向へ間隔をおいて配置された一対のホルダであって被測定基板の縁部を受ける凹所を有するホルダを含み、該ホルダを前記第２の駆動手段により前記可動アームの移動方向へ移動させる構造とすることができる。これにより、被測定基板は対向する一対の縁部をホルダに受け入れられた状態に把持されるから、被測定基板を受け手段により損傷するおそれがない。
【００１９】
さらに、前記中継部及び前記測定部への前記測定ステージの移動を案内する１以上のガイドと、前記測定ステージを移動させる１以上の第３の駆動手段とを含むことができる。これにより、測定ステージを円滑に移動させることができる。
【００２０】
前記測定部は前記本体に傾斜して配置された検査用のプローブユニットを含み、各測定ステージは被測定基板を傾斜した状態に受ける受け部を有することができる。これにより、被測定基板を斜め上方から目視することができる。
【００２１】
前記測定ステージは傾斜した状態に前記本体に配置されており、前記本体は前記測定ステージが前記本体内で転倒することを防止する転倒防止手段を備えることができる。これにより、測定ステージが傾斜していても、測定ステージの移動が安定する。
【００２２】
さらに、前記ローダ部と前記中継機構との間で被測定基板の受け渡しをすべく前記各中継部に配置されたアライメント機構を含むことができる。
【００２３】
前記第１および第２の測定ステージをリニアモータにより移動させることができる。このようにすれば、リードスクリューのような他の駆動手段を用いた場合に比べ、測定ステージの移動時の振動が著しく小さいから、一方の測定ステージ上の被測定基板の測定時に、他方の測定ステージを移動させても、一方の測定ステージ上の被測定基板の測定が他方の測定ステージの移動の影響を受けない。
【００２４】
【発明の実施の形態】
図１から図４を参照するに、検査装置１０は、長方形の液晶パネルを被測定基板（被検査基板）１２とする目視点灯検査装置として用いられる。
【００２５】
検査装置１０は、前面上部が上向きの傾斜面とされた本体を含む。本体は、複数のチャンネル部材を組み立てた本体フレームと、該本体フレームに取り外し可能に取り付けられた複数のパネルとにより筐体の形に形成されている。
【００２６】
本体の傾斜面の中央は被測定基板の測定部（すなわち、検査部）１４とされており、測定部の左右両側のそれぞれは被測定基板のための中継部１６とされている。本体の後部は、カセット設置部（すなわち、カセット設置台）１８とされている。本体の前後方向中央部は、中継部１６とカセット設置部１８との間で被測定基板を搬送するローダ部２０とされている。
【００２７】
測定用プローブユニット２２は、複数のプローブブロックを矩形の基板に取り付けた公知のものであり、また、測定部１４に配置されている。プローブユニット２２の基板は、その斜め下側に配置された被測定基板１２を目視により検査する矩形の開口２４を有する。測定部１４には、また、検査装置１０の作動を制御する操作パネル２６と、検査部１４に搬送された被測定パネルを観察するための光学顕微鏡２８とが配置されている。
【００２８】
複数のカセット３０は、カセット設置部１８に配置されている。図に示す例では、複数のカセット３０を重ねた４つのカセット群が設置されている。被測定基板は、各カセット３０に収容されている。
【００２９】
被測定基板の受け渡し及び搬送は、ローダ部２０に配置された搬送ロボット３４により被測定基板を水平に維持した状態で行われる。
【００３０】
搬送ロボット３４は、ローダ部２０を左右方向へ平行に伸びる一対のガイドレール３６に移動可能に支持されており、また、モータ３８及び該モータにより回転されるリードスクリュー４０を備えるロボット移動機構により左右方向の適宜な位置へ移動されて、カセット３０及び後に説明するアライメント機構５０に対する被測定基板の受け渡し及び搬送をする。
【００３１】
搬送ロボット３４は、ガイドレール３６に沿って移動されるスライダ４２と、該スライダの上に取り付けられた駆動機構４４と、該駆動機構により別々に駆動されて被測定基板の受け渡しをする一対のロボットアーム４６とを備える。被測定基板は、搬送ロボット３４により、長手方向がロボットアーム４６の長手方向と一致した状態で水平に搬送されるとともに、受け渡しをされる。
【００３２】
搬送ロボット３４において、カセット３０に対する被測定基板の受け渡しは、一方のロボットアームに受けている測定済みの被測定基板を適宜なカセット群のカセットに渡すとともに、他のカセット内の未測定の被測定基板を同じロボットアーム又は他方のロボットアームに受け取るように、制御することができる。
【００３３】
アライメント機構５０に対する被測定基板の受け渡しは、測定済みの被測定基板を一方のロボットアームに受け取るとともに、他方のロボットアームに受けている未測定の被測定基板を同じアライメント機構５０に渡すように、制御することができる。
【００３４】
アライメント機構５０は、各中継部１６内にあってローダ部２０の側に配置されている。
【００３５】
図５から図７に示すように、各アライメント機構５０は、搬送ロボット３４に対し水平の状態で被測定基板の受け渡しをするターンテーブル５２と、ターンテーブル５２及び後に説明する中継機構１００，１０２に対し傾斜した状態で被測定基板の受け渡しをするアライメントステージ５４と、長方形の板の形を有する昇降ベース５６と、昇降ベース５６上に取り付けられたテーブルベース５８と、昇降ベース５６上に取り付けられたリンクステージ６０とを備える。
【００３６】
ターンテーブル５２は、テーブルベース５８に上下方向へ伸びる軸線の周りに回転可能にほぼ水平に支持されており、被測定基板を解放可能に水平の状態に真空吸着する複数の吸着パッド６２を上面に有する。ターンテーブル５２は、受けた被測定基板の方向を合わせるべく電動機６４により上下方向へ伸びる軸線の周りに回転される。電動機６４は、テーブルベース５８に取り付けられている。
【００３７】
ターンテーブル５２の回転位置は、テーブルベース５８上に取り付けられた一対のセンサ６６と、ターンテーブル５２の下側に取り付けられた被感知部材６８との共同作用により感知される。センサ６６は、電動機６４の回転軸線を中心に９０度離されている。このため、ターンテーブル５２の回転範囲は９０度の範囲に制限される。これにより被測定基板はその長手方向が前後方向から左右方向に又はその逆になるように変更される。
【００３８】
アライメントステージ５４は、板材によりターンテーブル５２の３方を囲むコ字状に形成されており、また、被測定基板を解放可能に真空吸着する複数の吸着パッド７０を上面に有する。
【００３９】
アライメントステージ５４は、リニアシャフト７２とリードスクリュー７４とによりリンクステージ６０に昇降可能に支持されている。リニアシャフト７２はリンクステージ６０に取り付けられたリニアブッシュ７６を上下方向に貫通しており、リードスクリュー７４はリンクステージ６０に取り付けられた電動機７８のナット部と螺合している。このため、アライメントステージ５４は、電動機７８の回転により、アライメントステージ５４に受けた被測定基板と直角の軸線の方向へ移動される。
【００４０】
アライメントステージ５４には、２組のストッパ８０と、２組のプッシャ８２とが取り付けられている。ストッパ８０は仮想的な長方形の隣合う２つの縁部に対応する箇所に設けられており、プッシャ８２はその長方形の他の隣り合う縁部に対応する箇所に設けられている。
【００４１】
各プッシャ８２は、アクチュエータ８４により図５において点線で示す位置と実線で示す位置とに回転される。具体的には、各プッシャ８２は、被測定基板を搬送ロボット３４に対し受け渡すとき、点線で示すように後退され、被測定基板を受け取った後被測定基板を吸着パッド６２に吸着する前に、実線で示す位置に回転されて、その被測定基板を対向するストッパ８０に押圧する。これにより、被測定基板は、その縁部がストッパ８０に接触することにより、アライメントステージ５４上においてアライメントをされる。その後、吸着パッド６２に吸着される。
【００４２】
昇降ベース５６は、装置本体に連結された一対のフレーム８６を上下方向に滑動可能に貫通する複数のシャフト８８の下端にほぼ水平に取り付けられており、また、シリンダにおいてフレーム８６に取り付けられた一対のエアーシリンダ９０のピストンロッドに連結されている。両エアーシリンダ９０は、同期して伸縮される。このため、昇降部ベース５６及びこれに支持された各種の部材の高さ位置をエアーシリンダ９０により変更することができる。
【００４３】
リンクステージ６０は、昇降ベース５６上に水平方向へ間隔をおいて取り付けられた一対のブラケット９２と、軸受（図示せず）を用いて両ブラケット９２に回転可能に組み付けられたシャフト９４とにより、水平方向へ伸びる軸線の周りに回転（枢軸運動）可能に昇降ベース５６に組み付けられている。
【００４４】
リンクステージ６０は、エアーシリンダ９６により昇降ベース５６に連結されている。エアーシリンダ９６は、連結中心がブラケット９８により昇降ベース５６に連結されており、また、シャフト９４の軸線よりやや上方の位置になるようにリンクステージ６０に枢軸的に連結されている。
【００４５】
エアーシリンダ９６が図７に示す収縮状態から伸張されると、リンクステージ６０及びこれに支持された各種の部材は、図１９に示すように、シャフト９４を支点として昇降ベース５６に対して回動され、それによりアライメントベース５４に受けられている被測定基板を水平の状態から傾斜した状態に変更する。
【００４６】
第１及び第２の中継機構１００，１０２は、各中継部１６内にあってアライメント機構５０より前方に傾斜した状態に配置されている。
【００４７】
図８から図１１に示すように、各中継機構１００，１０２は、一対のベース１０４を本体フレームに支持させ、第１の可動体１０６を斜め上向きの仮想的な傾斜面に沿って上下方向へ移動可能にベース１０４に配置している。
【００４８】
両ベース１０４は、長い板状部材から形成されており、また、第１の可動体１０６の左右方向側部を上記の傾斜面に沿って上下方向へ平行に伸びるように本体フレームに連結されている。
【００４９】
第１の可動体１０６は、処理すべき被測定基板より大きい長方形の開口１０８を中央に有する長方形の板部材から形成されている。第１の可動体１０６は、リニアシャフト１１０とリードスクリュー１１２とにより両ベース１０４に支持されている。
【００５０】
リニアシャフト１１０は、一方のベース１０４に一対のブラケット１１４により支持されており、また、第１の可動体１０６の一方の側部に取り付けられたリニアブッシュ１１６を滑動可能に貫通している。リードスクリュー１１２は、他方のベース１０４に一対のブラケット１１８により回転可能に取り付けられており、また、第１の可動体１０６の他方の側部に取り付けられたリードナット１２０に螺合している。
【００５１】
各リードスクリュー１１２は、逆転可能の電動機１２２により回転されて、第１の可動体を移動させる。電動機１２２は、ブラケット１２４によりフレーム１０４に取り付けられている。
【００５２】
第１の可動体１０６は、後述する測定ステージ１５０に対する被測定基板の受け渡しをする第１の位置と、アライメント機構５０に対する被測定基板の受け渡しをする第２の位置とに選択的に移動される。図８において、第１の位置は第１の中継機構１００の第１の可動体１０６の位置であり、第２の位置は第２の中継機構１０２の第１の可動体１０６の位置であり、第１の位置は第２の位置より上方である。第１の可動体が第１及び第２の位置のいずれにあっても、第１の可動体１０６は傾斜されている。
【００５３】
第１及び第２の中継機構１００，１０２は、一方が斜め上側となり、他方が斜め下側となるように、及び、両第１の可動体１０６の移動路が受けた被測定基板と直交する方向へ間隔をおくように、配置されている。これにより、両第１の可動体１０６の移動が干渉しない。
【００５４】
第１の可動体１０６は、一対の細長い第２の可動体（すなわち、摺動アーム）１２６を第１の可動体１０６の移動方向へ移動可能に支持している。第２の可動体１２６は、第１の可動体１０６の移動方向に間隔をおいて平行に左右方向へ伸びている。
【００５５】
各第２の可動体１２６は、レール１２８により一端部において第１の可動体１０６に支持されており、また、八字状の一対のリンクアーム１３０により他端部において第１の可動体１０６に支持されている。これにより、第２の可動体１２６が第１の可動体１０６に片持ち梁状に支持されていても、第２の可動体１２６は第１の可動体１０６に対する移動をレール１２８及び両リンクアーム１３０により正しく規制される。
【００５６】
レール１２８に対する第２の可動体１２６の位置は、第２の可動体１２６の一端部に螺合された止めねじ１３２をゆるめることにより変更可能であるが、測定の間は止めねじ１３２を締め付けることにより変位不能に維持される。
【００５７】
リンクアーム１３０は、一端部を第２の可動体１２６に枢軸ピン１３４により揺動可能に連結されており、他端部を長穴１３６及び枢軸ピン１３８によりリンクアーム１３０の長手方向へ相対的に移動可能に連結されている。これにより、両第２の可動体１２６は相寄り相離れる方向へ平行に移動される。
【００５８】
各第２の可動体１２６には、被測定基板を受ける一対のホルダ１４０がスライドガイド１４２により第２の可動体１２６の移動方向へ平行移動可能に配置されている。ホルダ１４０は、左右方向に間隔をおいており、また、エアーシリンダ１４４と、両ホルダ１４０を連結する連結アーム１４６とにより同時に移動される。
【００５９】
各ホルダ１４０は、被測定基板の縁部を受け入れるコ字状の凹所１４８（図１２及び図１３参照）を有する。一方の第２の可動体１２６の両ホルダ１４０と、他方の第２の可動体１２６の両ホルダ１４０とは、凹所１４８を対向させている。両第２の可動体１２６のホルダ１４０は、同期して作動されるエアーシリンダ１４４により、被測定基板１２を把持するとき相寄る方向へ移動され、被測定基板を解放するとき相離れる方向へ移動される。
【００６０】
測定ステージ１５０は、各中継部１６に配置されている。図３、図１４及び図１５に示すように、各測定ステージ１５０は、被測定基板を解放可能に吸着するワークテーブル１５２と、ワークテーブル１５２をこれに受けた被測定基板と直交する軸線の周りに角度的に回転させるθステージ１５４と、ワークテーブル１５２をこれに受けた被測定基板と直交する軸線の方向へ移動させるＺステージ１５６と、ワークテーブル１５２をこれに受けた被測定基板と平行の面内で斜め上下方向（Ｙ方向）へ移動させるＹステージ１５８と、受けた被測定基板と平行の面内で左右方向（Ｘ方向）へ移動されるステージベース１６０とを備える。
【００６１】
ワークテーブル１５２、θステージ１５４、Ｚステージ１５６、及び、Ｙステージ１５８は、それぞれ、θステージ１５４、Ｚステージ１５６、Ｙステージ１５８、及び、ステージベース１６０に支持されている。
【００６２】
ワークテーブル１５２は斜め上方に開口する凹所を有する直方体状の箱の形を有しており、被測定基板を受ける受け面は長方形の形状を有する。ワークテーブル１５２の凹所内には、被測定基板を照明するバックライトユニット（図示せず）が設けられている。
【００６３】
ワークテーブル１５２は、被測定基板を真空吸着する複数の吸着溝１６２を上面に有し、中継機構１００，１０２に対する被測定基板の受け渡し時に中継機構１００，１０２のホルダ１４０を受け入れる複数の切り欠き部１６４を上面に有し、一対のストッパ１６６を長方形の隣り合う２つの辺のそれぞれに有し、長方形の隣り合う他の２つの辺のそれぞれにプッシャ１６８を有する。
【００６４】
各プッシャ１６８は、アクチュエータ１７０により図１４において点線で示す位置と実線で示す位置との回転され、実線で示す位置に回転されることにより被測定基板を対向する縁部に設けられたストッパ１６６に押圧する。これにより、被測定基板は測定ステージ１５０においてもアライメントをされる。また、被測定基板は、その基板に形成されたアライメントマークを撮影する図示しないテレビカメラの出力信号の画像処理をする技術を用いて、ステージ１５４，１５８及びステージベース１６０により精密アライメントをされる。
【００６５】
測定ステージ１５０は、被測定基板を傾斜した状態に支持するように、リニアレール１７２と、該リニアレールに滑動可能に嵌合する１以上のリニアガイド１７４と、スライドレール１７６と、該スライドレールに滑動可能に嵌合する１以上のスライドガイド１７８とによりフレーム１８０に受けられている。
【００６６】
リニアレール１７０及びリニアガイド１７４は、それぞれ、リニアモータの固定子及び可動子である。リニアレール１７２とスライドレール１７６とは、測定部１４と対応する中継部１６との間に設けられている。リニアガイド１７４とスライドガイド７８とは、対応する測定ステージ１５０のステージベース１６０に設けられている。
【００６７】
測定ステージ１５０及びフレーム１８０が傾斜されていることから、測定ステージ１５０は、フレーム１８０に設けられたスライドガイドレール１８２と、該スライドレールに滑動可能に嵌合する複数のスライドガイド１８４とにより、傾斜した状態に維持されるとともに、横転することを防止されている。スライドガイドガイド１８４は、対応するステージベース１５０の側部に取り付けられている。
【００６８】
レール１７２，１７６及び１８２は、両測定ステージ１５０で共通に利用するように設けてもよいし、測定ステージ１５０毎に設けてもよい。いずれの場合も、測定ステージ１５０の駆動手段としてリニアモータを用いれば、リードスクリューのような他の駆動手段を用いた場合に比べ、測定ステージの移動時の振動が著しく小さいから、一方の測定ステージ上の被測定基板の測定時に、他方の測定ステージを移動させても、一方の測定ステージ上の被測定基板の測定が他方の測定ステージの移動の影響を受けない。
【００６９】
検査装置１０において、未測定の被測定基板を搬送ロボット３４からターンテーブル５２に受け渡すとき、アライメント機構５０のアライメントベース６０は水平の状態に維持されており、昇降ベース５６はエアーシリンダ９０により下げられている。従って、昇降ベース５６に支持された各種の部材も下げられている。また、アライメントステージ５４は、図１６に示すように、電動機７８によりターンテーブル５２より下方に下げられている。
【００７０】
上記状態で、先ず、被測定基板１２がその長手方向を前後方向とした状態で搬送ロボット３４のアーム４４によりターンテーブル５２の上方に搬送される。
【００７１】
次いで、図１６に示すように、搬送ロボット３４のアーム４４が下げられて被測定基板１２がターンテーブル５２に渡されるとともに、ターンテーブル５２の吸着パッド６２が作動して被測定基板１２を吸着する。これにより、被測定基板１２がターンテーブル５２に受けられる。この状態で、アーム３４はアライメント機構５０から後退される。
【００７２】
次いで、図１７に示すように、ターンテーブル５２が電動機６４により回転される。ターンテーブル５２の回転量は、センサ６６と被感知部材６８とにより９０度に制限される。これにより、被測定基板１２は、その長手方向が前後方向から左右方向となるように、回転される。
【００７３】
次いで、吸着パッド６２が被測定基板１２を解放した状態で、アライメントステージ５４が電動機７８の回転によりターンテーブル５２より上方へ移動され、プッシャ８２がアクチュエータ８４により回転されて、被測定基板１２をストッパ８０に押す。これにより、図１８に示すように、被測定基板１２は、アライメントステージ５４に移され、アライメントが行われる。
【００７４】
次いで、昇降ベース５６がエアシリンダ９０により上昇され、それにより、中継機構１００，１０２に対するアライメント機構５０の高さ調整が行われる。
【００７５】
次いで、エアーシリンダ９６が伸張される。これにより、図１９に示すように、リンクステージ６０がシャフト９４の軸線の周りに回転されるから、アライメントステージ５４は被測定基板１２を吸着パッド７０に吸着した状態で傾けられ、被測定基板１２は水平状態から傾斜状態に変更される。この状態で、アライメント機構５０と中継機構１００又は１０２への被測定基板１２の受け渡しが行われる。
【００７６】
被測定基板１２をアライメント機構５０から中継機構１００（又は１０２）に渡すとき、図２０に示すように、第１及び第２の中継機構１００，１０２のいずれか一方の第１の可動体１０６は測定ステージ１５０に対する受け渡しをする第１の位置に移動されており、他方の第１の可動体１０６はアライメント機構５０に対する受け渡しをする第２の位置に移動されている。
【００７７】
図２０は、第１の中継機構１００の第１の可動体１０６を実線で示し、第２の中継機構１０２の第１の可動体１０６を一点差線で示す。以下の説明では、第１の中継機構１００の可動体１０６が第２の位置に移動されている。被測定基板１２を第１の中継機構１００の可動体１０６に渡すものとする。しかし、被測定基板１２を第２の中継機構１０２の可動体１０６に渡す場合も同様に動作する。
【００７８】
先ず、アライメントステージ５４が傾斜された状態において、図２１に示すように、被測定基板１２がこれと直角方向におけるホルダ１４０の位置に達するまで、アライメントステージ５４が電動機７８によりさらに突出され、その状態でホルダ１４０がエアーシリンダ１４４により相寄る方向へ移動される。これにより、ホルダ１４０は、図１２及び図１３に点線で示すように、被測定基板１２の縁部を凹所１４８に受け入れて、被測定基板１２を把持する。
【００７９】
次いで、吸着パッド７０が被測定基板１２を解放した後、アライメントステージ５４が電動機７８により第１の可動体１０６の位置より後退される。
【００８０】
第１の中継機構１００とアライメントステージ５４との間における未測定の被測定基板１２の受け渡しが終了するまでに、対応する測定ステージ１５０は、測定部１４から対応する中継部１６に移動されて、測定済みの被測定基板を第２の中継器１０２に渡し終わっており、従ってその測定ステージ１５０は第１の位置に待機している。
【００８１】
それゆえに、引き続き、第１の中継機構１００の第１の可動体１０６が第１の位置へ移動され、第２の中継器機構１０２の第１の可動体１０６が第２の位置へ移動されて、第２の中継機構１０２とアライメント機構５０との間で測定済みの被測定基板の受け渡しが行われるとともに、第１の中継機構１００と対応する測定ステージ１５０との間で未測定の被測定基板１２の受け渡しが行われる。
【００８２】
第２の中継機構１０２からアライメント機構５０への測定済みの被測定基板の受け渡し及びアライメント機構５０から搬送ロボット３４への測定済みの被測定基板の受け渡しは、上記と逆に行われる。
【００８３】
第１の中継機構１００が第１の位置へ移動されると、第１の位置に待機している測定ステージ１５０は、ワークテーブル１５２をＺステージ１５６により上昇させて、未測定の測定基板をワークテーブル１５２に真空吸着することにより未測定の測定基板を第１の中継機構１００から受け、その状態で再度待機する。
【００８４】
一方の系列において、搬送ロボット３４からアライメント機構５０への未測定の被測定基板の受け渡しが行われている間、及び、アライメント機構５０から測定ステージへの未測定の被測定基板の受け渡しが行われている間、他方の系列の測定ステージ上の被測定基板の測定が行われる。
【００８５】
他方の系列の測定ステージ上の被測定基板の測定が終了すると、その測定ステーキは他方の系列の中継部１６に移動されて、測定済みの被測定基板を他方の系列の中継機構に渡した後、未測定の被測定基板を他方の系列の中継機構１０２または１００から受けて他方の系列の中継部１６に待機する。また、一方の系列の測定ステージ１５０は、未測定の被測定基板を把持した状態で測定部１４に移動される。
【００８６】
測定済みの被測定基板を測定ステージ１５０から中継機構１００又は１０２に渡すときは、測定ステージ１５０から中継機構１００又は１０２は上記と逆の動作をする。
【００８７】
被測定基板１２をアライメント機構５０から中継機構１００（又は１０２）に及びその逆に渡すとき、被測定基板１２は、吸着パッド７０に吸着されているとともに、ストッパ８０とプッシャ８２とに把持されているから、アライメントステージ５４からの落下を防止されるとともに、アライメントステージ５４に対する移動を阻止されて、位置決められる。
【００８８】
プッシャ８２は、被測定基板１２を搬送ロボット３４もしくは中継機構１００（又は１０２）から受けるときに、被測定基板１２をストッパ８０に押圧し、被測定基板１２を搬送ロボット３４もしくは中継機構１００（又は１０２）に渡した後に待機位置に戻る。
【００８９】
搬送ロボット３４は、先ず一方の系列のアライメント機構５０に対する測定済みの被測定基板及び未測定の被測定基板の受け渡しをし、次いでカセット３０に対する測定済みの被測定基板及び未測定の被測定基板の受け渡しをし、次いで他方の系列のアライメント機構５０に対する測定済みの被測定基板及び未測定の被測定基板の受け渡しをし、その後カセット３０に対する測定済みの被測定基板及び未測定の被測定基板の受け渡しを再び行う動作を繰り返す。しかし、搬送ロボット３４は、前記の動作以外の動作をしてもよい。
【００９０】
検査装置１０のように、アライメント機構、中継機構及び検査ステージによる被測定基板の受け渡し経路を２系列設けるとともに、各系列に２つの中継機構を設けると、たとえ搬送ロボット及びプローブユニットを１つずつ設けただけであっても、搬送ロボット、受け渡し装置、測定ステージ及びプローブユニット等の各機器を１つずつ設けた場合及び２つの測定ステージを設けた場合に比べ、各機器の待ち時間が著しく短縮し、単位時間当たりの処理能力が著しく高くなる。
【００９１】
本発明は上記実施例に限定されない。たとえば、アライメント機構を設けなくてもよい。また、搬送ロボットを被測定基板の受け渡し経路の系列毎に設けてもよい。さらに、本発明は、目視検査装置のみならず、自動検査装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る検査装置の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１の検査装置の上部カバーを外した平面図である。
【図３】図１に示す検査装置の断面図である。
【図４】図３における４−４線に沿って得た断面図である。
【図５】アライメント機構の一実施例を示す平面図である。
【図６】図５に示すアライメント機構の正面図である。
【図７】図５に示すアライメント機構の側面図である。
【図８】２つの中継機構の一実施例を示す平面図である。
【図９】図８における９−９線に沿って得た断面図である。
【図１０】１つの中継機構の一実施例を示す拡大平面図である。
【図１１】図１０における１１−１１線に沿って得た断面図である。
【図１２】ホルダの動作を説明するための断面図である。
【図１３】ホルダの動作を説明するための他の断面図である。
【図１４】測定ステージの一実施例を示す平面図である。
【図１５】図１４に示す測定ステージの右側面図である。
【図１６】アライメント機構の動作の最初のステップを説明するための図である。
【図１７】アライメント機構の、図１６のステップに続くステップを説明するための図である。
【図１８】アライメント機構の、図１７のステップに続くステップを説明するための図である。
【図１９】アライメント機構の、図１８のステップに続くステップを説明するための図である。
【図２０】アライメント機構の、図１９のステップに続くステップを説明するための図である。
【図２１】アライメント機構の、図２０のステップに続くステップを説明するための図である。
【図２２】アライメント機構の、図２１のステップに続くステップを説明するための図である。
【符号の説明】
１０ 検査装置
１２ 被測定基板
１４ 測定部
１６ 中継部
１８ カセット設置部
２０ ローダ部
２２ プローブユニット
３４ 搬送ロボット
４４ ロボットアーム
５０ アライメント機構
１００，１０２ 中継機構
１０４ ベース
１０６ 第１の可動体
１１０ リニアシャフト
１１２ リードスクリュー
１１６ リニアブッシュ
１２０ リードナット
１２２ 電動機
１２６ 第２の可動体
１２８ レール
１３０ リンクアーム
１４０ ホルダ
１４４ エアーシリンダ
１５０ 測定ステージ
１７２ リニアガイド（リニアモータの固定子）
１７４ リニアガイド（リニアモータの可動子）
１７６，１８２ スライドレール
１７８，１８４ スライドガイド
１８０ フレーム
Claims (9)
- 被測定基板のための測定部、被測定基板のための少なくとも２つの中継部、被測定基板を有する１以上のカセットを配置するためのカセット設置部、及び、被測定基板を前記中継部と前記カセット設置部との間で搬送するための搬送ロボットが設けられたローダ部を有する本体と、一方の前記中継部と前記測定部とに選択的に移動される第１の測定ステージと、他方の前記中継部と前記測定部とに選択的に移動される第２の測定ステージと、各中継部に配置されて前記測定ステージに対する被測定基板の受け渡しをする第１及び第２の中継機構とを含み、
前記第１及び第２の中継機構は前記測定ステージに対する被測定基板の受け渡しをする可動手段をそれぞれ備え、該両可動手段の移動路は当該中継機構に受けた被測定基板と直交する第１の軸線方向に間隔をおいており、
前記中継機構は、さらに、前記測定ステージに対する被測定基板の受け渡しをする第１の位置と該第１の位置から離れた第２の位置とに前記可動手段を選択的に移動させる第１の駆動手段と、共同して被測定基板を受けるべく被測定基板と平行の面内で直交する第１の方向及び第２の方向のいずれか一方の方向へ間隔をおいて前記可動手段に配置された一対の受け手段と、該受け手段を相寄り相離れる方向へ同時に移動させる第２の駆動手段とを備え、
前記可動手段は、前記第１の駆動手段により前記第１及び第２の位置へ選択的に移動される第１の可動体と、前記第１の方向及び第２の方向のうちの他方の方向へ移動可能に前記第１の可動体に支持され、前記第１の方向及び第２の方向のうちの前記一方の方向へ伸びる一対の第２の可動体と、前記第１の可動体に対する前記第２の可動体の位置を解除可能に維持する維持手段とを備え、各受け手段及び前記第２の駆動手段は前記第２の可動体に配置されている、被測定基板の検査装置。 - 前記測定部は前部中央に、前記中継部は前記測定部の左右に、前記カセット設置部は後方に、前記ローダ部は前後方向中間にそれぞれ配置されている、請求項１に記載の検査装置。
- 前記可動手段は、さらに、前記第２の可動体の他端部側を前記第１の可動体に連結する一対のリンクアームを備え、各リンクアームは、前記第１及び第２の可動体の一方に枢軸的に連結されているとともに、前記第１及び第２の可動体の他方に前記リンクアームの長手方向へ相対的に移動可能に連結されている、請求項１に記載の検査装置。
- 各受け手段は、前記第２の可動体にこれの長手方向へ間隔をおいて配置された一対のホルダであって被測定基板の縁部を受ける凹所を有するホルダを含み、該ホルダは前記第２の駆動手段により前記第２の可動体の移動方向へ移動される、請求項１又は３記載の検査装置。
- さらに、前記中継部及び前記測定部への前記測定ステージの移動を案内する１以上のガイドと、前記測定ステージを移動させる１以上の第３の駆動手段とを含む、請求項１から４のいずれか１項に記載の検査装置。
- 前記測定部は前記本体に傾斜して配置された検査用のプローブユニットを含み、各測定ステージは被測定基板を傾斜した状態に受ける受け部を有する、請求項１から５のいずれか１項に記載の検査装置。
- 前記測定ステージは傾斜した状態に前記本体に配置されており、前記本体は前記測定ステージが前記本体内で転倒することを防止する転倒防止手段を備える、請求項６に記載の検査装置。
- さらに、前記ローダ部と前記中継機構との間で被測定基板の受け渡しをすべく前記各中継部に配置されたアライメント機構を含む、請求項１から７のいずれか１項に記載の検査装置。
- 前記第１および第２の測定ステージは、リニアモータにより移動される、請求項１から８のいずれか１項に記載の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36477297A JP3999863B2 (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | 被測定基板の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36477297A JP3999863B2 (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | 被測定基板の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11183864A JPH11183864A (ja) | 1999-07-09 |
| JP3999863B2 true JP3999863B2 (ja) | 2007-10-31 |
Family
ID=18482629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36477297A Expired - Lifetime JP3999863B2 (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | 被測定基板の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3999863B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3958852B2 (ja) * | 1997-12-22 | 2007-08-15 | 株式会社日本マイクロニクス | 被測定基板の検査装置 |
| JP2001050858A (ja) * | 1999-08-04 | 2001-02-23 | Micronics Japan Co Ltd | 表示用パネル基板の検査装置 |
| KR100685308B1 (ko) * | 1999-12-04 | 2007-02-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자의 검사장치 |
| JP4108263B2 (ja) * | 2000-10-03 | 2008-06-25 | 株式会社日本マイクロニクス | 液晶基板の支持装置 |
| NL1017272C2 (nl) * | 2001-01-16 | 2002-07-17 | Fico Bv | Inrichting en werkwijze voor het testen van elektronische componenten. |
| US6774958B2 (en) * | 2002-02-26 | 2004-08-10 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal panel, apparatus for inspecting the same, and method of fabricating liquid crystal display thereof |
| KR20040045173A (ko) * | 2002-11-22 | 2004-06-01 | 갈란트 프리시젼 머시닝 캄파니, 리미티드 | 교대 팰릿을 갖춘 검사 시스템 |
| JP3745750B2 (ja) | 2003-06-27 | 2006-02-15 | 東芝テリー株式会社 | 表示パネルの検査装置および検査方法 |
| KR20050112231A (ko) * | 2004-05-25 | 2005-11-30 | 삼성전자주식회사 | 평면표시장치의 생산장비 및 제조공정 |
| TWI393875B (zh) * | 2004-09-27 | 2013-04-21 | Olympus Corp | 基板檢測裝置之固持器及基板檢測裝置 |
| KR100741290B1 (ko) | 2005-05-17 | 2007-07-23 | 에버테크노 주식회사 | 패널 검사장치 |
| KR100733276B1 (ko) * | 2005-07-29 | 2007-06-28 | 주식회사 파이컴 | 디스플레이 패널의 검사 장비와 이를 이용한 디스플레이패널 검사 방법 |
| JP2009168601A (ja) * | 2008-01-16 | 2009-07-30 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
| DE102017102700A1 (de) * | 2017-02-10 | 2018-09-13 | Atg Luther & Maelzer Gmbh | Prüfvorrichtung und Verfahren zum Prüfen von Leiterplatten |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08102476A (ja) * | 1994-08-05 | 1996-04-16 | Tokyo Electron Ltd | 板状の被検査体の検査装置 |
| JPH08152587A (ja) * | 1994-11-29 | 1996-06-11 | Nikon Corp | 基板保持装置 |
| JPH0986655A (ja) * | 1995-09-20 | 1997-03-31 | Olympus Optical Co Ltd | 試料搬送装置 |
| JPH09138256A (ja) * | 1995-11-14 | 1997-05-27 | Nippon Maikuronikusu:Kk | 被検査基板のアライメント方法 |
| JPH09281001A (ja) * | 1996-04-08 | 1997-10-31 | Nippon Maikuronikusu:Kk | 液晶表示パネルの検査装置 |
-
1997
- 1997-12-22 JP JP36477297A patent/JP3999863B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11183864A (ja) | 1999-07-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3999863B2 (ja) | 被測定基板の検査装置 | |
| KR101436764B1 (ko) | 판형 부재 이재 설비 | |
| CN113466255B (zh) | 一种芯片检测设备 | |
| KR100909601B1 (ko) | 인라인 자동 검사 장치 및 인라인 자동 검사 시스템 | |
| US20030188997A1 (en) | Semiconductor inspection system and method | |
| JP2000009661A (ja) | フラットパネル検査装置 | |
| JP3958852B2 (ja) | 被測定基板の検査装置 | |
| JP4490066B2 (ja) | 表示用パネルの検査装置 | |
| KR100273837B1 (ko) | 웨이퍼링의공급장치 | |
| JP2006337044A (ja) | Ｉｃハンドラー | |
| TW571082B (en) | Detection device for substrate | |
| JPH10160629A (ja) | 液晶パネルの検査装置 | |
| JP3365781B2 (ja) | 基板外観検査装置 | |
| JP4849744B2 (ja) | 表示用基板の検査装置 | |
| JP3526709B2 (ja) | 液晶パネルのアライメント装置 | |
| KR100354103B1 (ko) | 액정디스플레이패널 검사장치의 패널수평반송장치 | |
| KR100358707B1 (ko) | 액정디스플레이패널 검사장치의 패널수직반송장치 | |
| JP2002261144A (ja) | 基板の受け渡し方法及び装置 | |
| WO2022202405A1 (ja) | 処理装置及び位置決め方法 | |
| JP3619314B2 (ja) | 露光装置 | |
| JP2003004588A (ja) | 表示用基板の検査装置 | |
| JP4768318B2 (ja) | Ｉｃハンドラー | |
| JP2002373925A (ja) | 表示用基板の受け渡し装置 | |
| JP4499483B2 (ja) | 検査装置 | |
| JPH10123193A (ja) | 表示パネル基板の検査装置および検査方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041108 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041108 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061219 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070515 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070523 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070724 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070810 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100817 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100817 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130817 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |