JP4780984B2 - 基板搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）などに用いられる大型ガラス基板やカラーフィルタなどを搬送する基板搬送装置に関するものである。

近年、ＬＣＤやＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）が普及してきており、それらＬＣＤやＰＤＰは、一般にガラス基板が利用されている。このガラス基板は、品質向上のため、製造過程において傷や汚れなどの欠陥部を検査する必要がある。
そこで、それらガラス基板を検査する種々の基板検査装置が周知になっている（例えば、特許文献１参照。）。

特許文献１の基板検査装置には、同一の定盤２上にエア浮上ステージからなる欠陥検査を挟んで上流側と下流側にガラス基板を搬出入する、ころ搬送部が設置されている。検査のために基板が載せられるエア浮上ステージには、ガラス基板を透過照明するスペースが設けられている。そのスペースに沿って対物レンズが移動可能に設けられるとともに、照明光を照射する照明部が、そのスペース内に、対物レンズと対向して移動可能に設けられたものが知られている。さらに、この基板検査装置は、基板の一辺を把持する基板把持部を備えており、基板を把持した状態での基板把持部を、エア浮上ステージに沿って移動させることにより、基板がスペースを跨いで搬送され、その間に、対物レンズと照明部とによって、基板表面の拡大像を得るようになっている。この拡大像を観察することにより、基板表面の傷や欠陥が検出される。
特開２０００−９６６１号公報

しかしながら、このような基板検査装置では、近年のガラス基板が、画面の大型化や機器全体の薄型化の要請に応えるために、より一層大型で薄いものが用いられているため、この基板をエア浮上ステージでエアによって一定の高さに浮上させて搬送するときに、スペースの間で浮上圧が低下し、基板の搬送方向の先端部がスペース上において自重により撓んでしまう。そのため、先端部がスペース内に没してしまい、その結果、先端部が引っ掛かることによって基板のスムーズな搬送が困難になるという問題がある。特に、ガラス基板が、基板の裏面側に反っている場合には、ガラス基板の先端部がスペース内に没しやすくなり、スペースを乗り越えることができず、ガラス基板を安定して搬送することができなくなる。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、スペース上における基板の平面状態を保持しながら、その基板に損傷を与えることなく安定して搬送することができる基板搬送装置を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明の基板搬送装置は、基板の裏面に気体を吹き付けて前記基板を水平状態に支持する第１の浮上ステージと、該第１の浮上ステージの下流側に所定のスペースをおいて配置される第２の浮上ステージと、前記基板を保持して前記第１の浮上ステージから前記第２の浮上ステージに搬送する基板搬送機構と、前記第１の浮上ステージと前記第２の浮上ステージとのスペースの間に設けられ、前記基板の撓みを防止するローラと、を備え、前記ローラは、前記スペースの間に出没可能に設けられていることを特徴とする。

また、本発明の基板搬送装置は、基板の裏面に気体を吹き付けて前記基板を水平状態に支持する第１の浮上ステージと、該第１の浮上ステージの下流側に所定のスペースをおいて配置される第２の浮上ステージと、前記基板を保持して前記第１の浮上ステージから前記第２の浮上ステージに搬送する基板搬送機構と、前記第１の浮上ステージと前記第２の浮上ステージとのスペースの間に設けられ、前記基板の撓みを防止するローラと、前記第１の浮上ステージと前記第２の浮上ステージとのスペースの間に配置され、前記基板を観察するための透過照明と、を備え、前記ローラは、前記基板の観察の際に、前記透過照明に邪魔にならない位置に退避することを特徴とする。

本発明によれば、浮上ステージの搬送路中に設けられた透過照明用間隙上を基板が乗り越える際に、ローラにより基板が下方に撓むことを防止することができる。そのため、透過照明用間隙上において基板の平面状態を保持することができ、浮上ステージ上で基板を安全に搬送することができる。

（実施形態１）
以下、本発明の第１実施形態における基板搬送装置である基板検査装置について、図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施形態としての基板検査装置１を示したものである。
基板検査装置１は、不図示の除振台の上に載せられる矩形状の基台２を備えている。
基台２の上面のうち、その幅方向Ｗの一端側（上流側）２ａには、角柱状に延びる複数の枕木部３が、基台２の奥行方向Ｄに向けられて、幅方向Ｗに所定の間隔をおいて配置されている。そして、基台２の上面の他端側（下流側）２ｂにも、上記と同様に、複数の枕木部３が、基台２の奥行方向Ｄに向けられて、幅方向Ｗに所定の間隔をおいて配置されている。

一端側２ａに配置された複数の枕木部３の上面には、細長い板状の第１ステージ構成部材６が、幅方向Ｗに向けられて、奥行方向Ｄに所定の間隔をおいて複数（図示例では１０本）配置されている。また、他端側２ｂに配置された複数の枕木部３の上面には、上記と同様に、細長い板状の複数の第２ステージ構成部材７が、幅方向Ｗに向けられて、奥行方向Ｄに所定の間隔をおいて複数（図示例では１０本）配置されている。これら第１ステージ構成部材６によって構成される上流側エア浮上ステージと、第２ステージ構成部材７によって構成される下流側エア浮上ステージとの間は、透過照明用のスペース１５が設けられている。

このような構成のもと、複数の第１ステージ構成部材６の天面（表面）６ａおよび複数の第２ステージ構成部材７の天面（表面）７ａに、ガラス基板（被検査基板）１３が水平状態に支持されて一方向に搬送されるようになっている。すなわち、複数の第１ステージ構成部材６は第１のステージ（上流側エア浮上ステージ）１０を構成し、複数の第２ステージ構成部材７は第２のステージ（下流側エア浮上ステージ）１１を構成するものであり、これら第１および第２のステージ１０，１１が、ガラス基板１３の搬送路に沿って、所定のスペース１５をおいて配列されて構成されている。これら第１および第２のステージ構成部材６，７を所定の間隔をおいて配置することにより、この搬送路中にガラス基板１３の搬送方向と直交する方向に、直線上の間隙、すなわち透過照明用のスペース１５が設けられる。

また、第１ステージ構成部材６の天面６ａおよび第２ステージ構成部材７の天面７ａには、その長さ方向、すなわち幅方向Ｗの全長にわたって、エアを噴出するエアノズル孔（浮上手段）２０が均等間隔をおいて複数形成されている。これらエアノズル孔２０は、第１および第２のステージ構成部材６，７のエアタンクを介してエア送風装置（浮上手段）に接続されている。このエア送風装置から送られてくる圧搾エアは、第１および第２のステージ構成部材６，７に供給され、エアノズル孔２０から基台２の高さ方向Ｈの上方に向けられて噴出されるようになっている。

また、基台２の天面には、エアで浮上したガラス基板１３の一辺を支持してを搬送するための基板搬送機構２３が設けられている。基板搬送機構２３は、第１のステージ１０と第２のステージ１１に隣接させて、それら第１および第２のステージ１０，１１にわたって幅方向Ｗに向けられて延びる角柱状の台座２４を備えている。台座２４の上面には、その長さ方向の全長にわたって、ガイドレール２５が配設されており、そのガイドレール２５の上には、ガラス基板１３を支持する支持部２６が設けられている。支持部２６は、台座２４の天面の長さ方向に沿って延びる矩形の基盤部２６ａを備えており、この基盤部２６ａには、奥行方向Ｄの端部を起点として高さ方向Ｈの上方に向けて延びる立ち上がり壁部２６ｂが設けられている。立ち上がり壁部２６ｂの天面には、複数の基板吸着パッド部材２７が所定の間隔をおいて設けられている。これら基板吸着パッド部材２７は、チューブを介して、不図示のエア吸引装置に接続されており、エア吸引装置を駆動することにより、チューブを介して、基板吸着パッド部材２７から空気が吸引されるようになっている。
この支持部２６は、例えばリニアモータによって、ガイドレール２５の上を往復移動するようになっている。

このような構成のもと、エア吸引装置を駆動して基板吸着パッド部材２７から空気を吸引すると、第１のステージ１０上のガラス基板１３の縁部が基板吸着パッド部材２７に吸着され、これにより、ガラス基板１３が片持ち支持されるようになっている。そして、この支持された状態で、リニアモータを駆動することにより、支持部２６が移動し、ガラス基板１３が、第１のステージ１０から第２のステージ１１に、スペース１５を跨いで搬送されるようになっている。

また、スペース１５の近傍には、門型状の顕微鏡フレーム３０が設けられている。顕微鏡フレーム３０は、第１のステージ１０と第２のステージ１１との境界部近傍であって、奥行方向Ｄの両端に設けられた設置部３０ａと、これらそれぞれの設置部３０ａから高さ方向Ｈの上方に向けて延ばされた側柱部３０ｂと、これら側柱部３０ｂの上端同士を結ぶ奥行方向Ｄに延ばされた水平アーム部３０ｃとを備えている。なお、前記両端に設けられた２つの設置部３０ａのうち、一方の設置部３０ａは台座２４に近接して設けられ、他方の設置部３０ａは反対側の端部に設けられているが、その他方の設置部３０ａは、奥行方向Ｄの長さ寸法が長く設定されており、そのため、奥行方向Ｄの外方に所定の寸法だけ突出して設けられている。

また、水平アーム部３０ｃには、例えばリニアモータなどによって、水平アーム部３０ｃの全長にわたって往復移動可能に支持された顕微鏡（観察手段）３３が設けられている。顕微鏡３３は、水平アーム部３０ｃに往復移動可能に取り付けられた顕微鏡支持部３６を備えており、この顕微鏡支持部３６には、倍率の異なる複数種類の対物レンズ３５を交換可能にするレボルバ３４を装着した顕微鏡本体が取り付けられている。この対物レンズ３５は、スペース１５の上方に配されており、顕微鏡支持部３６を移動させると、スペース１５に沿って移動するようになっている。
また、対物レンズ３５に対向する第１および第２のステージ１０，１１の裏側には、高さ方向Ｈの上方に向けて照明光を照射する透過照明部３７が設けられている。透過照明部３７は、スペース１５内において対物レンズ３５とともに移動可能に構成されている。そして透過照明部３７は、対物レンズ３５が設けられている方向と反対方向の水平アーム部３０ｃの端部に移動すると、その対物レンズ３５とともに移動することにより、スペース１５から外れて奥行方向Ｄに退避する退避位置Ｋに配されるようになっている。

さらに、本実施形態における基板検査装置１は、図２に示すように、第１および第２のステージ１０，１１の搬送路面に対して出没可能なローラ（スペーサ）４０がスペース１５内に設けられている。ローラ４０は、第１ステージ構成部材６および第２ステージ構成部材７の設置数に合わせて複数設けられている。これらのローラ４０は、第１ステージ構成部材６側から搬送されるガラス基板１３の端部がスペース１５を乗り越える際に、それぞれの第１ステージ構成部材６と第２ステージ構成部材７との間に出現してスペース１５の開口を埋めるようになっている。また、ローラ４０は、例えば、ガラスより軟らかい、耐磨耗性を有するピーク樹脂（ポリエーテルエーテルケトン）などの樹脂から成る。さらに、これらローラ４０の両端は、略Ｌ字状のＬ字支持部材４１の先端部に不図示のピンを介して取り付けられており、これにより、ローラ４０が奥行方向Ｄに沿った軸線を中心として回転可能に支持されている。

これら複数のＬ字支持部材４１の基端部には、図３に示すように、複数の第１ステージ構成部材６にわたって奥行方向Ｄに向けて延びる一本の回転棒４３が挿通されており、これにより、Ｌ字支持部材４１が支持されている。さらに、回転棒４３は、軸受４２によって回転可能に支持されており、軸受４２は、複数の第１ステージ構成部材６の裏面６ｂにそれぞれ取り付けられている。また、回転棒４３の長さ方向の中央には、回転棒４３を正逆両方向に回転させる両軸モータなどの回転駆動部４４が設けられている。

このような構成のもと、回転駆動部４４を駆動して回転棒４３を回転させることにより、ローラ４０を、スペース１５内に配されてスペース１５を埋める図２に示す閉鎖位置Ｌと、図４に示すようにスペース１５から退避してスペース１５を開放する開放位置Ｍとの間で往復移動させるようになっている。

次に、このように構成された本実施形態における基板検査装置１の作用について説明する。
なお、初期状態においては、支持部２６は第１のステージ１０側に配され、また、透過照明部３７は退避位置Ｋに、顕微鏡３３は水平アーム部３０ｃの退避位置Ｋ側の端部に配され、さらに、ローラ４０は閉鎖位置Ｌに配されているものとする。
まず、不図示の搬送装置によって、ガラス基板１３を第１のステージ１０の天面６ａに載置する。この状態で、エア送風装置を駆動すると、エアノズル孔２０にエアが送られて、これらエアノズル孔２０から上方に向けてエアが噴出する。このエアによってガラス基板１３が上方に押圧されて、これによりガラス基板１３が天面６ａから一定の高さに浮上して、天面６ａと非接触の状態になる。この状態から、エア吸引装置を駆動すると、基板吸着パッド部材２７から空気が吸引されて、ガラス基板１３の縁部が基板吸着パッド部材２７に吸着される。これにより、ガラス基板１３が片持ち支持される。なお、このときエアノズル孔２０からエアが噴出されていることから、ステージ面とガラス基板１３との間のエア層により、ガラス基板１３が水平に浮上し、天面６ａに接触するのが防止される。

このように、ガラス基板１３が支持部２６に支持された状態で、リニアモータを駆動すると、支持部２６が、第１のステージ１０から第２のステージ１１にわたって、ガイドレール２５上を移動する。そのため、ガラス基板１３が、第１のステージ１０から第２のステージ１１に、スペース１５を跨いで搬送される。
ここで、搬送途中において、ガラス基板１３の移動方向の先端部１３ａが第１のステージ１０からスペース１５上に差し掛かったとき、従来であれば、ガラス基板１３の先端部１３ａが撓んでしまい、スペース１５内に没してしまうおそれがあったが、本実施形態においては、以下のようにしてガラス基板１３の端部の撓みが防止される。

すなわち、ガラス基板１３の先端部１３ａがスペース１５を乗り越える際に、スペース１５内からローラ４０が出現してスペース１５の開口を塞ぐと、ガラス基板１３の先端部１３ａが各ローラ４０の外周面に接触し、ガラス基板１３の撓みが防止される。そして、支持部２６の移動に従動し、先端部１３ａがローラ４０の外周面に接触しながら、すなわちローラ４０が回転しながら、ガラス基板１３が第２のステージ１１へと送られていく。第２のステージ１１に送られたガラス基板１３は、エアノズル孔２０から噴出されるエアによって、上方に押圧されて一定の高さに浮上される。このガラス基板１３の先端部１３ａがスペース１５を乗り越えて第２のステージ１１に到達すると、回転駆動部４４が駆動される。この回転駆動部４４により、回転棒４３に取り付けられたＬ字支持部材４１が回転し、ローラ４０がスペース１５の開口から没して開放位置Ｍに退避される。その結果、スペース１５が開放される。なお、このときは、上述のように、先端部１３ａが第２のステージ１１のエアによって上方に押圧されて浮上するため、スペース１５が開放されてもスペース１５の間においてガラス基板１３が撓むことなく、水平な状態に浮上保持される。

この状態で、顕微鏡３３と透過照明部３７とを同期させて移動させる。このとき、ローラ４０が開放位置Ｍに配されていることから、透過照明部３７はスペース１５内を移動する。透過照明部３７は、スペース１５内において、照明光を上方に向けて照射し、その照明光はガラス基板１３を透過して、対物レンズ３５を介して顕微鏡３３に取り込まれる。これによって、ガラス基板１３の拡大像が得られる。このようにして、ガラス基板１３を所望のタイミングで搬送させながら、ガラス基板１３の拡大像を観察することにより、ガラス基板１３表面の検査が行われ、傷や汚れなどの欠陥部が検出される。そして、検査が終わると、不図示の搬出装置によって、ガラス基板１３が第２のステージ１１から搬出される。

そして、支持部２６を第１のステージ１０側に戻し、透過照明部３７を移動させて退避位置Ｋに配してから、再度、回転駆動部４４を駆動して回転棒４３を正方向に回転させる。すると、ローラ４０が閉鎖位置Ｌに配されて、初期状態に戻る。そして、新たなガラス基板１３が搬送されて、上記一連の検査が繰り返される。

以上より、本実施形態における基板検査装置１によれば、ローラ４０を閉鎖位置Ｌと開放位置Ｍとの間で移動させることにより、スペース１５内において透過照明部３７による移動を可能にしつつ、ローラ４０によってスペース１５を埋めることができる。そのため、ガラス基板１３がスペース１５上を乗り越える際にスペース１５上の空間をローラ４０で塞ぐことにより、ガラス基板１３の先端部１３ａがローラ４０に接し、下方に撓むことなく第１のステージ１０から第２のステージ１１にガラス基板１３を安全に搬送することができる。
また、スペーサをローラ４０としたので、ガラス基板１３の搬送途中において、ガラス基板１３の裏面が擦れて傷付けられるのを防止することができる。
さらに、ローラ４０がピーク樹脂からなっているので、搬送途中にガラス基板１３の裏面が傷つけられるのが防止されるとともに、ローラ４０の耐久性を向上させることができる。

なお、本実施形態においては、Ｌ字支持部材４１をＬ字形状としたが、これに限ることはなく、例えば鉤状などのように、回転棒４３からスペース１５内に延ばされて、回転棒４３の回転を邪魔しないような形状であれば、適宜変更可能である。

（実施形態２）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。
図５から図８は、本発明の第２の実施形態を示したものである。
図５から図８において、図１から図４に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
この実施形態と上記第１の実施形態とは基本的構成は同一であり、以下の点において異なるものとなっている。

すなわち、本実施形態においては、図５および図６に示すように、Ｌ字支持部材（スペーサ支持部材）４１が、奥行方向Ｄに向けられて延びる一枚の取付板５０に所定の間隔をおいて取り付けられ、この取付板５０が奥行方向Ｄに向けられて延びる中間部材４７に連結されている。さらに、この中間部材４７は、奥行方向Ｄに向けられて角柱状に延びるベース部材４８に連結されている。
ベース部材４８は、連結板５１を介して、第２のステージ１１の裏面７ｂに設けられた枕木部３に取り付けられている。ベース部材４８の長さ方向の両端には、ベース被係合部４９が設けられている。

また、中間部材４７は、横断面がＬ字形状に形成されており、奥行方向Ｄに向けられて裏面７ｂに沿って延びる基盤板部４７ａと、奥行方向Ｄに向けられて高さ方向Ｈに沿って延びる直交板部４７ｂとが一体的に連結されて構成されたものである。基盤板部４７ａの裏面の長さ方向の両端には、基盤係合部５３が設けられており、これら基盤係合部５３がベース被係合部４９にそれぞれ係合することにより、中間部材４７は、第１のステージ１０と第２のステージ１１との配列方向、すなわち幅方向Ｗに往復移動可能に支持されている。そして、基盤板部４７ａは、ベース部材４８に取り付けられた水平エアシリンダ５８に連結されており、この水平エアシリンダ５８によって幅方向Ｗに往復移動するようになっている。また、直交板部４７ｂの外面のうち、第１のステージ１０側に配された面の長さ方向の両端には、直交被係合部５４が設けられている。

さらに、取付板５０の長さ方向の両端には、取付係合部５６が設けられており、これら取付係合部５６が、直交被係合部５４にそれぞれ係合することにより、取付板５０は、天面７ａの延在する方向に直交する方向、すなわち高さ方向Ｈに往復移動可能に支持されている。そして、取付板５０は、直交板部４７ｂに取り付けられた垂直エアシリンダ５９に連結されており、この垂直エアシリンダ５９によって、高さ方向Ｈに往復移動するようになっている。

このような構成のもと、水平エアシリンダ５８にエアを供給すると、図７に示すように、中間部材４７が第１のステージ１０側に移動し、垂直エアシリンダ５９にエアを供給すると、取付板５０が上方に移動する。これにより、ローラ４０が、スペース１５の開口に出現し、スペース１５の開口を塞ぐ閉鎖位置Ｌに配される。
一方、垂直エアシリンダ５９からエア吸引すると、図８に示すように、取付板５０を介して、ローラ４０が下方に移動し、この状態から、水平エアシリンダ５８からエアを吸引すると、中間部材４７が反対方向に移動し、ローラ４０が、スペース１５の開口から没して透過照明の邪魔にならない開放位置Ｍに退避される。

以上より、上記第１の実施形態と同様の効果を奏することができるだけでなく、閉鎖位置Ｌと開放位置Ｍとの間でローラ４０を確実に移動させることができる。

（実施形態３）
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。
図９および図１０は、本発明の第３の実施形態を示したものである。
この実施形態と上記第２の実施形態とは基本的構成は同一であり、以下の点において異なるものとなっている。

すなわち、本実施形態においては、中間部材４７を、図７の紙面に対して時計回りに９０度回転させたものであり、中間部材４７の向きを変更したものである。ただし、向きの変更に伴って、後述するように種々の変更がなされている。また、枕木部３は、上記第２実施形態におけるベース部材４８としても機能するものであり、両者が兼用されたものである。
枕木部３の長さ方向の両端には、高さ方向Ｈに向けられたベース被係合部４９が設けられている。
また、基盤板部４７ａは、高さ方向Ｈに向けて立てられており、その長さ方向の両端には、基盤係合部５３が設けられている。これら基盤係合部５３が、ベース被係合部４９に係合することにより、中間部材４７は、高さ方向Ｈに往復移動可能に支持されている。

さらに、直交板部４７ｂの上面うち、長さ方向の両端には、幅方向Ｗに向けられた直交被係合部５４が設けられている。
また、取付板５０は、裏面７ｂに沿って寝かされて配置され、その長さ方向の両端には、取付係合部５６が設けられている。これら取付係合部５６が、直交被係合部５４に係合することにより、取付板５０は、幅方向Ｗに往復移動可能に支持されている。この取付板５０の天面に、Ｌ字支持部材４１の基端部の裏面が取り付けられている。

このような構成のもと、スペース１５を閉鎖するには、不図示のエアシリンダを作動させることにより、図９に示すように、取付板５０を介してＬ字支持部材４１を第１のステージ１０側に移動させ、中間部材４７を上方に移動させる。これにより、ローラ４０が、スペース１５の開口に出現し、スペース１５の開口を塞ぐ閉鎖位置Ｌに配される。
一方、スペース１５を開放するには、図１０に示すように、まず、中間部材４７を下方に移動させて、それから取付板５０を介してＬ字支持部材４１を反対方向に移動させる。これにより、ローラ４０が、スペース１５の開口から没して透過照明の邪魔にならない開放位置Ｍに退避される。

以上より、上記第２の実施形態と同様の効果を奏することができるだけでなく、部品点数を減少させることにより、コストを減少させることができる。

なお、上記第２および第３の実施形態において、Ｌ字支持部材４１、中間部材４７およびベース部材４８の形状や向きは適宜変更可能である。
また、上記第１から第３の実施形態において、第１ステージ構成部材６および第２ステージ構成部材７の設置数に応じて、ローラ４０を複数設けるとしたが、これに限ることはなく、その設置数や長さ寸法は適宜変更可能である。例えば、ローラ４０を間引きしてもよい。また、第１および第２のステージ１０，１１の奥行方向Ｄの両端にわたって延びるローラ４０を一本設けるようにしてもよい。
さらに、これらローラ４０のように回転するものでなく、固定されたものであってもよい。但し、ローラ４０のように回転させた方が、ガラス基板１３の損傷防止の観点から好ましいのは上述の通りである。

また、エアを噴出させることによって、ガラス基板１３を浮上させるとしたが、これに限ることはなく、適宜変更可能である。例えば静電気等を利用して浮上させるようにしてもよい。
さらに、ガラス基板１３を片持ち支持するとしたが、これに限ることはなく、支持部２６を第１および第２のステージ１０，１１の両サイドに設け、ガラス基板１３を両持ち支持するようにしてもよい。
また、顕微鏡３３によって、拡大像を得るとしたが、これに限ることはなく、スペース１５に沿って、ＣＣＤカメラ等を走査させて、画像データを処理することにより、検査するようにしてもよい。
なお、本発明の技術範囲は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更を加えることが可能である。

本発明に係る基板搬送装置の第１の実施形態を示す斜視図である。 図１に示すスペース周辺の要部を拡大して上方から見た様子を示す斜視図である。 図２のスペース周辺の要部を下方から見た様子を示す斜視図である。 ローラが開放位置に配されたときの様子を拡大して示す斜視図である。 本発明に係る基板搬送装置の第２の実施形態の要部を示す図であって、上方から見た様子を示す斜視図である。 図５の基板搬送装置を下方から見た様子を示す斜視図である。 図５のローラが高さ方向に移動する様子を示す説明図である。 図５のローラが幅方向に移動する様子を示す説明図である。 本発明に係る基板搬送装置の第３の実施形態の要部を示す図であって、ローラが幅方向に移動する様子を示す説明図である。 同実施形態において、ローラが高さ方向に移動する様子を示す説明図である。

符号の説明

１ 基板検査装置
６ａ 天面（表面）
６ｂ 裏面
７ａ 天面（表面）
７ｂ 裏面
１０ 第１のステージ
１１ 第２のステージ
１３ ガラス基板（基板）
１５ スペース
２０ エアノズル孔（浮上手段）
２３ 基板搬送機構
２６ 支持部
３３ 顕微鏡（観察手段）
３７ 透過照明部
４０ ローラ（スペーサ）
４１ Ｌ字支持部材（スペーサ支持部材）
４２ 軸受
４３ 回転棒
４７ 中間部材
４８ ベース部材
５０ 取付板
５１ 連結板
Ｌ 閉鎖位置
Ｍ 開放位置

Claims (3)

1. 基板の裏面に気体を吹き付けて前記基板を水平状態に支持する第１の浮上ステージと、
   該第１の浮上ステージの下流側に所定のスペースをおいて配置される第２の浮上ステージと、
   前記基板を保持して前記第１の浮上ステージから前記第２の浮上ステージに搬送する基板搬送機構と、
   前記第１の浮上ステージと前記第２の浮上ステージとのスペースの間に設けられ、前記基板の撓みを防止するローラと、
   を備え、
   前記ローラは、前記スペースの間に出没可能に設けられていることを特徴とする基板搬送装置。
2. 基板の裏面に気体を吹き付けて前記基板を水平状態に支持する第１の浮上ステージと、
   該第１の浮上ステージの下流側に所定のスペースをおいて配置される第２の浮上ステージと、
   前記基板を保持して前記第１の浮上ステージから前記第２の浮上ステージに搬送する基板搬送機構と、
   前記第１の浮上ステージと前記第２の浮上ステージとのスペースの間に設けられ、前記基板の撓みを防止するローラと、
   前記第１の浮上ステージと前記第２の浮上ステージとのスペースの間に配置され、前記基板を観察するための透過照明と、
   を備え、
   前記ローラは、前記基板の観察の際に、前記透過照明に邪魔にならない位置に退避することを特徴とする基板搬送装置。
3. 前記ローラは前記基板が前記スペースを跨いで搬送される際に、前記スペースの少なくとも一部を埋めるように出現することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の基板搬送装置。

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