JP4951271B2 - 基板検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、透過照明を用いて基板の検査を行う基板検査装置に関する。

液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの製造工程においては、ガラス基板上の外観を検査して欠陥等の有無を調べる基板検査装置が用いられている。基板検査装置には、ガラス基板を傷付けないように、ガラス基板をエアで浮上させた状態で搬送する浮上ステージを有するものがある。この浮上ステージには、ガラス基板を透過照明するために、上下方向に貫通する隙間が、ガラス基板の搬送方向と直交するように設けられている。基板検査装置は、この隙間を通して下方からガラス基板に照明光を照射してガラス基板を照明し、ガラス基板の上方に配置された顕微鏡を使ってガラス基板を観察する。

ここで、ガラス基板が浮上ステージに設けられた隙間の上方を通過する間は、エアの噴き付けによる浮力が低下するので、ガラス基板が撓んでしまい、顕微鏡の焦点がずれる等の不具合が生じる。また、浮上ステージ上を搬送されてきたガラス基板の先端が隙間の上方を通過する際、この隙間によって浮力が低下するために、ガラス基板の先端が隙間の縁に引っ掛かり、ガラス基板の搬送が困難になる。このような不具合を解消するために隙間の幅を狭くすると、透過照明光源を隙間に配置することができなくなり、透過照明光源がガラス基板から遠く離れ、隙間の幅を狭くすると隙間を通過する照明光の光量が減るので、照明光の開口数が小さくなって、観察像が暗くなってしまう。

そこで、従来の基板検査装置では、隙間にエアベアリングを配設し、隙間の上方を通過するガラス基板に対してエアベアリングによってエアの吹き付けと吸引とを同時に行って、隙間上でのガラス基板が所定の高さとなるように高精度に維持している（例えば、特許文献１参照）。
特開２００２−１８１７１４号公報

しかしながら、従来の基板検査装置のように隙間にエアベアリングを配設すると、エアを噴出するコンプレッサとエアを吸引する真空ポンプとが浮上ステージとは別に必要になるので、装置の構造が複雑になるという問題がある。エアベアリングを設けても、透過照明光が通過する隙間が必要であるが、この透過照明光源を配置する隙間の幅を大きくすると、上記と同様の問題が生じ、隙間を小さくすると、エアベアリングによって照明光の一部がけられてしまい、結果的に光量不足になることがある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、簡単な構造で、かつ浮上ステージの隙間の上方を通過する基板の変形を防止し、基板の検査を精度良く行うことができる基板検査装置を提供することである。

本願発明の基板検査装置は、エアで基板を浮上させる浮上ステージと、前記浮上ステージ上を搬送される前記基板を浮上した状態で観察する観察手段と、浮上している前記基板に対して下面から照明光を照射する透過照明光源と、前記浮上ステージを上下に貫通し、前記照明光が通過可能な隙間からなる照明光通過部と、前記照明光通過部の隙間を塞ぐように嵌め込まれ前記照明光を透過させる透過部材と、前記浮上ステージおよび前記透過部材の少なくとも一方に設けられ、前記透過部材の上面が前記浮上ステージの上面とほぼ同じ高さ、もしくは前記浮上ステージの上面よりも下に位置するように前記透過部材を前記浮上ステージに取り付けるための取付部とを備えることを特徴とする。

本発明の基板検査装置は、浮上ステージによって基板を搬送し、基板に照明光を照射しながら基板の観察を行う。照明光を透過させるために、浮上ステージに形成された隙間の少なくとも一部を覆うように透過部材が挿入されている。これにより、浮上ステージから噴出したエアが、透過部材と基板との間に入り込んで空気層を形成し、この空気層によって照明光通過部においても基板を浮上させた状態が維持される。

本発明の基板検査装置によれば、照明光通過部に透過部材が挿入されているので、浮上ステージから噴出したエアによって透過部材と基板との間に空気層が形成され、この空気層によって照明光通過部においても基板を浮上させることが可能になる。したがって、照明光通過部における基板の高さをほぼ一定に保つことができ、観察手段による基板の検査を精度良く行うことができる。

本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して詳細に説明する。
（第１の実施の形態）
図１に示すように、基板検査装置１はベース部２を有し、ベース部２の上部には、浮上ステージ３と、浮上ステージ３に沿ってガラス基板Ｗを搬送する搬送部４とが配置されている。図１において、搬送部４は、ベース部２の上面に敷設され、Ｘ方向に延びるガイドレール３３に移動自在に設けられている。搬送部４には、ガラス基板Ｗの外縁部に下方から当接して吸着保持する吸着パッド３５が複数設けられている。この搬送部４は、浮上ステージ３上に浮上したガラス基板Ｗの外縁部を吸着パッド３５によって吸着保持し、このガラス基板Ｗを浮上ステージ３の手前側の一端部から他端部に向かう搬送方向（以下、Ｘ方向）に強制搬送する。さらに、ベース部２には、Ｘ方向に沿って一端部から他端部に至るまでの間に、検査部５が固定されている。検査部５は、Ｘ方向に直交するＹ方向に配設されて浮上ステージ３及び搬送部４を跨ぐ門型フレーム６と、門型フレーム６の梁部６Ａに移動自在に設けられた顕微鏡（観察手段）７と、顕微鏡７の下方に設けられて顕微鏡７に連動して移動する透過照明光源８とを備えている。なお、図１においては、透過照明光源８が浮上ステージ３の外側に位置しているが、検査時には顕微鏡７の対物レンズと対向する光軸下に移動する。

浮上ステージ３には、Ｘ方向に平行な凹部１０が複数条平行に形成されている。凹部１０を除く浮上ステージ３の上面３Ａには、エアを噴出する孔１１が等間隔に多数穿設されている。多数の孔１１の下には、１条ごとに空間が形成されており、その空間は不図示のエアコンプレッサに接続されている。さらに、浮上ステージ３の一端側から他端側に至る途中には、透過照明光源８からの照明光を通過させるための隙間である照明光通過部１５が形成されている。この照明光通過部１５は、Ｙ方向に平行に、かつ浮上ステージ３を上下に貫通するように形成されている。図２に示すように、照明光通過部１５を挟んで対向する浮上ステージ３の側部１２には、支持部１６が突設されている。

照明光通過部１５には、照明光を透過させる透過部材である散乱板２０が上方から嵌め込まれており、散乱板２０は、固定部材２１によって浮上ステージ３に固定される。散乱板２０は、透過照明光源８からの照明光を散乱しながら透過させるもので、例えば、すりガラスや白色のアクリル板等から製造されている。散乱板２０のＸ方向の幅は、浮上ステージ３に形成された照明光通過部１５のＸ方向の幅にほぼ等しく、散乱板２０のＹ方向の長さは、浮上ステージ３のＹ方向の長さにほぼ等しい。したがって、散乱板２０は、下流側と上流側とに配置された各浮上ステージ３の側部１２に嵌合され、散乱板２０のＹ方向に沿う縁部が支持部１６上に載置され、散乱板２０の上面が各浮上ステージ３の上面とほぼ同一面となる。散乱板２０は、浮上ステージ３の所定の位置に、固定部材２１（固定手段）によって固定されている。
なお、透過照明光源８に光を散乱透過させる部材が設けられることによって照明光の均一化が行われていれば、散乱板２０は設けず、その代わりにガラスやプラスチック等の透明な材料からなる透明部材を用いても良い。

図３に示すように、固定部材２１は、透過照明光を遮らないように、散乱板２０を下面の外縁部に接着等によって連結されている。固定部材２１どうしの間隔は、凹部１０の間隔に合わせられている。固定部材２１は、浮上ステージ３の凹部１０の幅に挿入可能な形状を有し、その高さは凹部１０の底面から浮上ステージ３の上面３Ａよりも低くなっている。図２に示すように、固定部材２１には、締結部材２２を挿入する挿入孔２３が設けられている。さらに、挿入孔２３を囲むように、３つの高さ調整用ネジ孔２４が形成されている。これら調整用ネジ孔２４と、調整用ネジ孔２４に螺入される高さ調整ビス２５とによって散乱板２０の高さと水平度とを調整する調整手段が構成される。

図４に示すように、散乱板２０を浮上ステージ３に固定する際には、散乱板２０を浮上ステージ３の上方から照明光通過部１５に嵌め込み、さらに固定部材２１を凹部１０に嵌め込んだ状態で、高さ調整用ネジ孔２４に無頭ネジからなる高さ調整ビス２５を螺入する。そして、高さ調整ビス２５の押し込み量を変化させることにより、散乱板２０の上面が浮上ステージ３の上面３Ａよりも低くかつ上面３Ａと平行に、しかも浮上ステージ３の上面３Ａから散乱板２０までの高低差が１ｍｍ以下となるように調整する。望ましくは、ガラス基板Ｗが無理なく通過できるように、上面３Ａとほぼ面一になるように調整する。散乱板２０が上面３Ａよりも高くなると、ガラス基板Ｗと干渉する可能性があり、浮上ステージ３の上面３Ａから散乱板２０までの高低差が１ｍｍよりも大きくなると、ガラス基板Ｗを浮上させるために十分な空気層を形成することが困難になるからである。散乱板２０の高さを調整したら、その位置を保ちながら固定部材２１の挿入孔２３に締結部材２２を挿入し、その締結部材２２を浮上ステージ３の凹部１０に形成されたネジ孔１３に螺入することによって散乱板２０を浮上ステージ３に固定する。なお、締結部材２２及び高さ調整ビス２５には、浮上ステージ３の上面３Ａから突き出さないように、頭頂部が浮上ステージ３の上面３Ａよりも低くなるものが用いられる。

散乱板２０の下方に配置される透過照明光源８は、Ｙ方向に平行に敷設されたガイドレール３１に、移動自在に取り付けられている。散乱板２０の上方に配置される顕微鏡７は、門型フレーム６の梁部６ＡにＹ方向に平行に敷設されたガイドレール３２に、移動自在に取り付けられている。顕微鏡７の対物レンズ及び透過照明光源８は、それぞれの光軸が常に一致するように、不図示の制御装置によって位置制御される。

なお、この基板検査装置１の検査対象となるものは、透過照明によって観察が可能な基板であれば良く、その材質はガラスに限定されず、プラスチック等でも良い。また、検査対象の形状は、板状の他にフィルム状等でも良い。

次に、この実施の形態の作用について説明する。
まず、搬送部４を浮上ステージ３の一端部側（基板搬入領域）で待機させた状態で、浮上ステージ３の孔１１からエアの噴出を開始する。ガラス基板Ｗが、ロボットや別の浮上ステージ（不図示）等によって浮上ステージ３上に搬入されると、ガラス基板Ｗは、浮上ステージ３との間のエア層によって浮上した状態で、図示しない位置決め機構によって基準位置に整列される。この状態で吸着パッド３５を上昇させてガラス基板Ｗに当接させて真空吸着を開始すると、ガラス基板Ｗが搬送部４に保持される。そして、搬送部４を図示しないリニアモータ等の駆動手段によってガイドレール３２に沿って他端部に向かって移動させると、ガラス基板Ｗは、エアによって浮上した状態で浮上ステージ３上を搬送される。

ガラス基板Ｗの端部が照明光通過部１５に差し掛かると、浮上ステージ３から噴き出されたエアがガラス基板Ｗと散乱板２０との間に入り込み、空気層を形成する。従来の基板検査装置では、照明光通過部からエアが抜けてしまい、浮力を発生させることができなかった。しかしながら、散乱板２０とガラス基板Ｗとの間に空気層が形成されることにより、ガラス基板Ｗに作用する浮力が照明光通過部１５においても維持されるので、ガラス基板Ｗが、高さをほぼ一定に保ったままで照明光通過部１５の上方を通過する。また、固定部材２１の上面が、浮上ステージ３の上面３Ａとほぼ面一、もしくは上面３Ａよりも僅かに低くなるように構成されているので、固定部材２１が凹部１０の端部開口を塞いでエアが照明光通過部１５に抜けることを防止している。これにより、浮上ステージ３の各孔１１から噴出したエアの一部は、散乱板２０と固定部材２１の上面に流入し、散乱板２０とガラス基板Ｗとの間のエア層によって、ガラス基板Ｗが散乱板２０の上面から一定の高さに浮上する。ここで、顕微鏡７と透過照明光源８とを同期して移動させると、透過照明光源８からのスポット照明光が、照明光通過部１５に導かれ、散乱板２０によって散乱し、散乱光となってガラス基板Ｗを下方から均一に照明する。顕微鏡７は、散乱光で照明されたガラス基板Ｗの表面の拡大画像をＣＣＤ（Charged Coupled Device）から取り込んで、ＣＣＤに接続されているモニタ（不図示）に表示させる。ガラス基板Ｗ上に異物等の欠陥がある場合には、そのような異物が拡大画像によって発見され、必要な処置が取られる。ガラス基板Ｗ上の観察対象を検査部５で検査し終えたら、搬送部４を一端部側に戻してから真空吸着を解除する。真空吸着を解かれたガラス基板Ｗは、ロボットによって基板検査装置１から搬出され、次工程に送られる。

この実施の形態によれば、透過照明光を通過させる照明光通過部１５として浮上ステージ３に形成される隙間を、照明光を透過する透明または半透明の板材で塞ぐことにより、ガラス基板Ｗと散乱板２０との間に浮上ステージ３から噴出したエアが流入してエア層が形成されるので、このエア層によってガラス基板Ｗが照明光通過部１５上においても一定の高さに維持される。これにより、ガラス基板Ｗの変形等を防止するとともに、ガラス基板Ｗをほぼ一定の高さに保つことができる。したがって、ガラス基板Ｗの検査を正確に行うことが可能になる。ここで、散乱板２０は、固定部材２１によって浮上ステージ３に対して精度良く位置調整することができるので、ガラス基板Ｗと散乱板２０とが接触することはない。さらに、散乱板２０の高さが調整されると共に、散乱板２０は照明光通過部１５の上部に隙間が無くなるように嵌め込まれるので、エアの漏れが防止されてガラス基板Ｗの浮上に必要なエア層を確実に形成することができる。

また、従来の基板検査装置では、透過照明光源の近くに散乱板が配置され、ガラス基板Ｗから離れた位置で散乱光が形成されていたので、視野が暗くなっていたが、この実施の形態によれば、散乱板２０がガラス基板Ｗの近傍に配置されるので、ガラス基板Ｗを明るく、かつムラなく照明することが可能になる。

なお、図５に示すように、ＣＣＤ４０を有する顕微鏡７の側部に、エアブローユニット４２を取り付けても良い。エアブローユニット４２は、不図示のエアコンプレッサ等に接続されており、下向きにエアを噴出する。ガラス基板Ｗの検査開始前に、エアブローユニット４２を駆動して散乱板２０の上面に向けてエアを噴出すると、散乱板２０の表面が傷付けられることなく散乱板２０上に堆積したゴミ等を吹き飛ばすことができ、ガラス基板Ｗの下方の散乱板２０上で発生する擬似欠陥を削減し、検査精度を高めることができる。さらに、エアブローユニット４２による散乱板２０に対するエアブローを行うタイミングは、検査終了後であっても良い。いずれのタイミングでも、エアブローは定期的に行われることが好ましい。また、このエアブローユニット４２は、エアブローの射出方向を顕微鏡７の対物レンズの焦点位置に合わせることにより、顕微鏡７で検出したガラス基板Ｗの欠陥が、このガラス基板Ｗ上に堆積した擬似欠陥と判定された場合、エアブローユニット４２を駆動して擬似欠陥を除去することも可能である。

（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態は、散乱板の固定方法のみが第１の実施の形態と異なる。したがって、第１の実施の形態と重複する説明は省略する。
図６に示すように、散乱板２０を保持する固定部材５１（固定手段）は、浮上ステージ３の凹部１０の間隔に合わせて、散乱板２０の裏面外縁部に固定されている。この固定部材５１の外形は、第１の実施の形態の固定部材２１と同じである。

散乱板２０を固定する際には、浮上ステージ３の凹部１０にワッシャ５２を敷設し、その上から固定部材５１を嵌合に近い状態で挿入する。ワッシャ５２には、締結部材２２との干渉を避けるように切り欠き５２Ａが形成されている。ワッシャ５２は、同じ形状で厚さの異なるものが、複数種類用意されている。散乱板２０を固定する際には、用意された複数種類のワッシャ５２をひとつずつ交換し、散乱板２０の上面が浮上ステージ３の上面３Ａよりも低くかつ上面３Ａと平行に、しかも浮上ステージ３の上面３Ａから散乱板２０までの高低差が１ｍｍ以下となるように調整する。望ましくは、ガラス基板Ｗが無理なく通過できるように、上面３Ａとほぼ面一になるように調整する。

この実施の形態によれば、散乱板２０によって照明光通過部１５の隙間を塞ぐことが可能になり、第１の実施の形態と同様の効果が得られる。また、ワッシャ５２を交換するだけで散乱板２０の高さを調整することができる。

（第３の実施の形態）
本発明の第３の実施の形態は、散乱板の固定方法のみが第１、第２の実施の形態と異なる。したがって、第１、第２の実施の形態と重複する説明は省略する。
図７に示すように、この実施の形態においては、浮上ステージ３側に、散乱板２０をエア吸着によって固定する固定手段が設けられている。すなわち、浮上ステージ３の支持部１６には、上下に貫通する孔６１が複数形成されている。各孔６１は、支持部１６の下方に固定された各継ぎ手６２に連結され、各継ぎ手６２は、配管６３を介して接続されている。配管６３は、不図示の真空ポンプに接続されている。また、孔６１の上側開口の周縁部には、調整手段である吸着部を兼ねるワッシャ６４が配置されている。ワッシャ６４の中央には、孔６１と連通する貫通孔が形成されている。ワッシャ６４は、第２の実施の形態と同様に、厚さの異なるものが複数用意されている。ワッシャ６４は、散乱板２０を傷付けないように、例えば弾性を有するシリコーン等の樹脂から製造されている。散乱板２０を固定する際には、用意された複数種類のワッシャ６４をひとつずつ交換し、散乱板２０の上面が浮上ステージ３の上面３Ａよりも低くかつ上面３Ａと平行に、しかも浮上ステージ３の上面３Ａから散乱板２０までの高低差が１ｍｍ以下となったところで、孔６１を介して真空吸着する。望ましくは、ガラス基板Ｗが無理なく通過できるように、上面３Ａとほぼ面一になったところで真空吸着する。

この実施の形態によれば、散乱板２０を、孔６１を介して支持部１６上に真空吸着することにより、照明光通過部１５の隙間を塞ぐことが可能になり、第１の実施の形態と同様の効果が得られる。また、真空吸着によって散乱板２０の固定をしているので、高さ調整が必要な場合は、真空吸着を一旦停止するだけでワッシャ６４を簡単に交換することができる。そのため、ネジによる固定部材５１の着脱が不要になり、調整作業をより短時間のうちに実施することが可能になる。

本発明は、前記の各実施の形態に限定されずに広く応用することが可能である。
例えば、照明光通過部１５を透明のガラス板で覆い、透過照明光源８に散乱板を固定しても良い。この場合、照明光通過部１５においてガラス基板Ｗとガラス板との間に空気層が形成されるので、ガラス基板Ｗの高さを略一定に保つことができる。しかも、ガラス板なので、透過照明光の減衰がなく、ガラス基板Ｗを明るく照明することができる。このように照明光通過部１５として形成される隙間をガラス板によって塞いだ場合でも、浮上ステージ３の上面３Ａとガラス基板Ｗとの間にエア層が形成されるので、照明光通過部１５におけるガラス基板Ｗの高さをほぼ一定に保つことができる。

また、図８に示すように、透過照明光源７０を用いても良い。この透過照明光源７０は、ケース７１と、蛍光灯やＬＥＤを直線状に配列したライン照明光源７２と、散乱板７３とを備えている。ケース７１の幅は、照明光通過部１５のＸ方向の幅にほぼ等しく、ケース７１の長さは、浮上ステージのＹ方向の長さにほぼ等しい。ライン照明光源７２はＹ方向に延在し、ケース７１内に収容されている。散乱板７３は、ライン照明光源７２からのライン照明光を散乱しながら透過させる透過部材であって、ケース７１の上面を覆うように固定されている。透過照明光源７０は、昇降機構７４を介してベース部２に取り付けられている。昇降機構７４は、例えば、エア駆動のシリンダからなり、一度高さ調整を行ったら、その位置を保持する。透過照明光源７０は、散乱板７３の上面が浮上ステージ３の上面３Ａよりも低くかつ上面３Ａと平行に、しかも浮上ステージ３の上面３Ａから散乱板２０までの高低差が１ｍｍ以下になるように位置決めされる。このライン照明光源７２は、顕微鏡７の対物レンズの移動軌跡上に配置され、検査時に顕微鏡７（図１参照）のみがＹ方向に移動して検査を行う。このような構成によれば、第１の実施の形態と同様の効果が得られる。なお、散乱板２０の代わりに、透明状態または散乱状態に切り換え可能な透過型液晶散乱板を使用しても良い。

照明光通過部１５にロッドレンズを挿入し、このロッドレンズの底面に光源からの照明光を入射させることにより、ガラス基板Ｗにライン照明光を照射しても良い。ロッドレンズには、顕微鏡７の光軸と対向する上面にスリット状の射出透過口が形成されており、同レンズは、入射した照明光を全反射する。照明光通過部１５の隙間を直径とほぼ同一サイズに設定し、このロッドレンズを照明光通過部１５の隙間に嵌め込むことにより、照明光通過部１５の隙間を小さくすることが可能になり、ガラス基板Ｗに作用する浮力を高めることができる。このような構成によっても、第１の実施の形態と同様の効果が得られる。
さらに、浮上ステージ３の孔１１がＸ方向に等間隔に配置されるように、孔１１の穿設間隔、及び照明光通過部１５のＸ方向の幅を設定すれば、散乱板２０がなくてもガラス基板Ｗの高さをほぼ一定に保つことができる。

本発明の実施の形態に係る基板検査装置の構成を示す図である。 浮上ステージの照明光透過部の近傍を拡大した図であって、高さ調整ビスによる散乱板の固定を説明する分解図である。 散乱板を下方からみた斜視図である。 散乱板を照明光透過部に挿入した状態を示す図である。 エアブローユニットを設けた顕微鏡を示す図である。 ワッシャによる散乱板の固定を説明する分解図である。 ワッシャと真空吸着による散乱板の固定を説明する分解図である。 透過照明光源を散乱板と一体に、かつ照明光透過部に設けた場合を示す図である。

符号の説明

１…基板検査装置、３…浮上ステージ、３Ａ…上面、７…顕微鏡（観察手段）、８…透過照明光源、１５…照明光通過部、２０…散乱板（透過部材）、２１，５１…保持固定部材（保持固定手段）、２４…高さ調整用ネジ孔（調整手段）、４２…エアブローユニット、５２，６４…ワッシャ（調整手段）、６１…孔（保持固定手段）、６２…継ぎ手（保持固定手段）、６３…配管（保持固定手段）、Ｗ…ガラス基板（基板）

Claims (10)

1. エアで基板を浮上させる浮上ステージと、
   前記浮上ステージ上を搬送される前記基板を浮上した状態で観察する観察手段と、
   浮上している前記基板に対して下面から照明光を照射する透過照明光源と、
   前記浮上ステージを上下に貫通し、前記照明光が通過可能な隙間からなる照明光通過部と、
   前記照明光通過部の隙間を塞ぐように嵌め込まれ前記照明光を透過させる透過部材と、
   前記浮上ステージおよび前記透過部材の少なくとも一方に設けられ、前記透過部材の上面が前記浮上ステージの上面とほぼ同じ高さ、もしくは前記浮上ステージの上面よりも下に位置するように前記透過部材を前記浮上ステージに取り付けるための取付部と、
   を備えることを特徴とする基板検査装置。
2. 前記透過部材は、前記照明光を透過させる透明なガラス板からなる請求項１に記載の基板検査装置。
3. 前記透過部材は、前記照明光を散乱させる散乱板からなる請求項１に記載の基板検査装置。
4. 前記透過部材は、前記照明光を散乱させる散乱状態、または前記照明光を透過させる透過状態に切り換え可能な透過型液晶散乱板からなる請求項１に記載の基板検査装置。
5. 前記取付部は、前記隙間において前記浮上ステージの側部から突設した支持部を含むことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の基板検査装置。
6. 前記取付部は、搬送方向に対して平行となるように前記浮上ステージに複数条に形成された凹部と、前記透過部材の縁部に沿って複数個所に設けられる固定部材とを含み、前記固定部材を前記凹部に嵌め込むことにより前記透過部材が前記浮上ステージに固定される請求項１から５のいずれか一項に記載の基板検査装置。
7. 前記取付部は、前記浮上ステージに固定する固定部材と、前記固定部材に設けられ、前記浮上ステージに対する前記透過部材の高さを調整する調整手段とを備えることを請求項１から４のいずれか一項に記載の基板検査装置。
8. 前記固定部材は、前記浮上ステージに形成された基板固定用のネジ孔と、前記ネジ孔に締結される締結部材とを備え、前記調整手段は、前記固定部材に形成された基板の高さを調整する高さ調整用のネジ孔と、前記ネジ孔に螺入される高さ調整ビスとを備え、前記高さ調整ビスの前記ネジ孔に対する押し込み量を変化させることにより前記浮上ステージに対する前記透過部材の高さを調整し、前記基板固定用のネジ孔に前記締結部材を締結することにより、前記透過部材が前記固定部材を介して前記浮上ステージに固定される請求項７に記載の基板検査装置。
9. 前記取付部は、搬送方向に対して平行となるように前記浮上ステージに複数条に形成された凹部を有し、前記固定部材は、前記透過部材の縁部に沿って複数個所に設けられ、前記固定部材を前記凹部に嵌め込むことにより前記透過部材が前記浮上ステージに固定される請求項７に記載の基板検査装置。
10. 前記観察手段は、前記透過部材に向けてエアを吹き付けるエアブローユニットを備える請求項１に記載の基板検査装置。

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