JP2002181714A

JP2002181714A - 薄板検査装置

Info

Publication number: JP2002181714A
Application number: JP2000385118A
Authority: JP
Inventors: Tatsuo Fujiwara; 達男藤原; Hiroki Hirose; 宏樹広瀬; Toshio Nakamura; 寿夫中村; Tomohiko Shioda; 朋彦塩田
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2000-12-19
Filing date: 2000-12-19
Publication date: 2002-06-26

Abstract

(57)【要約】【課題】薄板を傷付けることなく搬送でき、角度ずれ
を容易に修正でき、サイズ変化に容易に対応できる薄板
検査装置を提供する。【解決手段】定盤２上の検査ステーション３に、液晶
基板などの薄板４を搬送させて検査するための薄板検査
装置１において、薄板４の前端部５を把持して定盤２上
を移送するための薄板移送手段６と、検査ステーション
３前後の定盤２上に設けられ、移送される薄板４を空気
で浮上させるためのエアスライダ７と、検査ステーショ
ン３に設けられ、薄板４に対してエア吹き付けと吸引と
を同時に行って薄板４の浮上高さを調整するエアベアリ
ング８とを備えたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶基板などの薄
板を検査する薄板検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶基板などの薄板を検査する薄板検査
装置としては、特開２０００−９６６１号（特願平１０
−１３０５５９号）公報記載のものが知られている。

【０００３】図４に示すように、この薄板検査装置３０
は、薄板４をスライド自在に載置するころ搬送部３１
と、薄板４の１辺を把持してスライド移動させる把持テ
ーブル３２と、スライド移動する薄板４を上方から撮像
するためのカメラ３３とを有する。

【０００４】把持テーブル３２は、ころ搬送部３１の一
側に沿って設けられており、薄板４の搬送方向の一側を
合わせて位置合わせするようになっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この薄板検
査装置３０は、ころ３４の上に薄板４を載置するもので
あるため、搬送中に薄板４の表面を傷つけたり、乗り継
ぎ部で薄板４の先端がころ３４に衝突する虞もあるとい
う課題があった。

【０００６】また、把持テーブル３２は、薄板４を把持
してスライド移動させるのみであるため、薄板４を把持
する際に薄板４の角度がずれていた場合、その角度ずれ
を修正できないという課題があった。

【０００７】そして、薄板４の一側で位置合わせをする
ものであるため、薄板４のサイズが変わるたびに搬送ラ
インに対してワークセンタがオフセットしてしまい、セ
ンタ受渡しができないという課題があった。

【０００８】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、薄板を傷付けることなく搬送でき、薄板のサイズ変
化に容易に対応できる薄板検査装置を提供することにあ
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、定盤上の検査ステーションに、液晶基板な
どの薄板を搬送させて検査するための薄板検査装置にお
いて、複数サイズの薄板の前端部を把持して定盤上を移
送するための薄板移送手段と、検査ステーション前後の
定盤上に設けられ、移送される薄板を空気で浮上させる
ためのエアスライダと、検査ステーションに設けられ、
薄板に対してエア吹き付けと吸引とを同時に行って薄板
の浮上高さを調整するエアベアリングとを備えたもので
ある。

【００１０】薄板を空気で浮上させるものであるため、
薄板の表面に傷が付くのを防ぐことができ、薄板に対し
てエア吹き付けと吸引とを同時に行うため、薄板の浮上
高さを容易に調整できる。

【００１１】検査ステーションには、光源が設けられ、
その上方に薄板を透過した光を撮像して薄板を検査する
ためのカメラが設けられ、上記エアベアリングは、光源
に対して移送方向の前後で、かつ薄板の幅方向に複数設
けられるものとするとよい。光源の前後で薄板の高さを
正確に合わせるため、カメラ１２で焦点を結ぶ高さに薄
板４を正確に浮上させることができる。

【００１２】そして、上記エアベアリングは二重の管か
らなり、外側の管でエアを吐出し、内側の管でエアを吸
引するよう形成され、吐出圧と吸引圧を調整して検査ス
テーションでの薄板の浮上高さを一定に調整するとよ
い。リング状の吐出噴流で囲まれる領域に負圧域を良好
に形成することができ、薄板を正確な高さに浮上させる
ことができる。

【００１３】また、上記薄板移送手段は、上記定盤上を
走行する走行部と、該走行部に縦軸周り回動自在に支持
され薄板を把持し、かつ、薄板の角度を調整自在な把持
部とを備えて構成するとよい。

【００１４】そして、上記定盤上には上記エアスライダ
とエアベアリングから吐出されたエアを逃がすための段
差溝を形成するとよい。噴射されるエアを段差溝を通じ
て排出することができ、圧気が薄板と定盤の間に溜まる
のを防ぐことができる。

【００１５】また、上記段差溝の開口上縁部に上記薄板
の衝突を避けるためのテーパを形成するとよい。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の好適実施の形態を添付図
面に基づいて詳述する。

【００１７】図１及び図２に示すように、薄板検査装置
１は、定盤２上の検査ステーション３に、液晶基板など
の薄板４を搬送させて検査するためのものであり、薄板
４の前端部５を把持して定盤２上を移送するための薄板
移送手段６と、検査ステーション３前後の定盤２上に設
けられ、移送される薄板４を空気で浮上させるためのエ
アスライダ７と、検査ステーション３に設けられ、薄板
４に対してエア吹き付けと吸引とを同時に行って薄板４
の浮上高さを調整するエアベアリング８とからなる。

【００１８】定盤２は矩形板状に形成されており、定盤
２上には薄板移送手段６を走行可能に案内するレール９
が設けられている。

【００１９】また、定盤２の中央に位置する検査ステー
ション３には、定盤２上の薄板４に光を照射して透過さ
せるための光源１０が設けられている。光源１０は、定
盤２上に幅方向に延びて設けられている。

【００２０】また、光源１０の上方には、薄板４を透過
した光を撮像して薄板４を検査するためのカメラ１２が
設けられている。カメラ１２は、予め薄板４の浮上高さ
に焦点を合わせて固定されている。

【００２１】薄板移送手段６は、定盤２上を走行するＸ
テーブルたる走行部１４と、走行部１４に縦軸周り回動
自在に設けられたΘテーブルたる旋回部１５と、旋回部
１５に設けられて薄板４を把持する把持部１６とからな
る。

【００２２】把持部１６は、薄板４の前端部５を把持す
るようになっており、旋回部１５を介して走行部１４に
縦軸周り回動自在に支持されている。また、把持部１６
は、旋回部１５に対して昇降自在に設けられると共にロ
ープ１７を介してカウンタウェイト１８に連結されてお
り、ロープ１７に吊られて薄板４と共に所定の高さまで
浮上するようになっている。

【００２３】エアスライダ７は、薄板４の移送方向に長
い矩形板状のテーブル部１９の上面に複数のエア吐出穴
２０を形成してなるものを用いており、薄板４に多数の
エア噴流を当てて多数の点で支えるようになっている。
そして、エアスライダ７は、エアの吹き上げ力と薄板４
の重さとのバランスで薄板４を大凡一定の高さに浮上さ
せるようになっている。

【００２４】検査ステーション３を挟んで前後に設けら
れるエアスライダ７は、それぞれ定盤２上に幅方向に複
数並べられて設けられており、エアスライダ７同士の間
に隙間を形成することで、定盤２上にエアスライダ７か
ら吐出されたエアを逃がすための段差溝２１を形成する
ようになっている。そして、エアスライダ７は、検査ス
テーション３を挟んで前後対照に配置されており、段差
溝２１を前後一直線状に結ぶようになっている。

【００２５】また、エアスライダ７のエアベアリング８
に臨む側の上縁には、把持部１６の昇降動によって薄板
４が衝突するのを防ぎつつ、薄板４を逃がすためのテー
パ２２がそれぞれ形成されている。

【００２６】図１、図２及び図３に示すように、エアベ
アリング８は、エアスライダの一種であり、エアを上方
から吸引する吸引口２３と、エアを上方に吐出する吐出
口２４とを有する。具体的には、エアベアリング８は、
二重の管２５，２６からなり、外側の管２５でリング状
にエアを吐出し、内側の管２６でエアを吸引するよう形
成されている。

【００２７】そして、エアベアリング８は、薄板４にリ
ング状のエア噴流を当てて上向きの力を付与しつつ、そ
のリング内を負圧にして薄板４に下向きの力を付与する
ことでエア剛性を高め、吐出圧と吸引圧を調整すること
で検査ステーション３での薄板４の浮上高さを高い精度
で一定に調整するようになっている。

【００２８】また、エアベアリング８は、光源１０に対
して移送方向の前後で、かつ薄板４の幅方向に複数並べ
て設けられている。

【００２９】具体的には、エアベアリング８は、それぞ
れ外側の管２５の外径をエアスライダ７の幅とほぼ同じ
大きさに形成されており、検査ステーション３を挟んで
前後に並ぶエアベアリング８の間にそれぞれ配置されて
いる。このとき、エアベアリング８同士、又はエアベア
リング８とエアスライダ７は、それぞれ離間されて配置
されており、それぞれの間隙にエアを逃がすための段差
溝２１を形成するようになっている。

【００３０】そして、エアベアリング８のエアスライダ
７に臨む側の上縁には、把持部１６の昇降動によって薄
板４が衝突するのを防ぎつつ、薄板４を逃がすためのテ
ーパ２７がそれぞれ形成されている。

【００３１】エアスライダ７とエアベアリング８は、そ
れぞれ薄板４を均等に浮上させるように分散して配置さ
れている。

【００３２】次に作用を述べる。

【００３３】定盤２上に薄板４が受け渡されると、まず
薄板移送手段６の把持部１６に位置決めされた後、薄板
４の前端を把持する。

【００３４】薄板４の角度ずれ量を検出し、角度ずれ矯
正後、検査を開始する。

【００３５】この間、薄板４の下方に位置されるエアス
ライダ７からは常に一定圧のエアが上方へ向けて噴射さ
れており、薄板４はエアによって大凡一定の高さに浮上
されている。よって、薄板４は、把持部１６に前端を把
持された状態で把持部１６と共に浮上されている。

【００３６】また、薄板４に当たったエアは、エアスラ
イダ７間の段差溝２１を通じて排出されるため、薄板４
の下方に溜まり、薄板４が局部的に膨らむことはない。

【００３７】薄板移送手段６の走行部１４がレール９上
を走行すると、薄板４は検査ステーション３へ向けて引
かれて移動される。

【００３８】薄板４は検査ステーション３に近づくと、
エアスライダ７上のエアからエアベアリング８上のエア
に乗り継がれる。このとき、把持部１６は薄板４と共に
浮上しており、何らかの原因によって微小高さ昇降する
こともあり得るが、エアスライダ７のエアベアリング８
に臨む上端位置と、エアベアリング８のエアスライダ７
に臨む上端位置にはテーパ２２，２７が形成されている
ため、薄板４がエアベアリング８又はエアスライダ７に
衝突するのを防ぐことができ、万一接触するようなこと
があっても薄板４を円滑に逃がすことができる。

【００３９】エアベアリング８では、薄板４にリング状
のエア噴流が当たって薄板４を上方に押しつつ、リング
状のエア噴流に囲まれる負圧域で薄板４を下方に引き、
これらエアによる押し引きのバランスで薄板４の浮上高
さは高い精度で所定の高さに合わされる。

【００４０】薄板４が検査ステーション３に至ると、光
源１０から光が発せられ、カメラ１２によって薄板４を
透過した光の撮像が開始される。このとき、薄板４は、
高い精度で所定の高さに位置合わせされているため、カ
メラ１２の焦点を高い精度で薄板４に合わせることがで
き、薄板４の検査を良好に行うことができる。

【００４１】また、薄板４の前端が検査ステーション３
を通過した後、薄板４の前端側は更にエアベアリング８
上のエアに乗り継がれ、検査ステーション３の移送方向
前後で高さを合わされるため、薄板４は検査ステーショ
ン３において常に所定の高さに合わされながら移送され
る。

【００４２】エアベアリング８から吐出されたエアは、
エアベアリング８同士の間と、エアベアリング８とエア
スライダ７の間とに形成された段差溝２１を通じて円滑
に排出される。

【００４３】このように、薄板４の前端部５を把持して
定盤２上を移送するための薄板移送手段６と、検査ステ
ーション３前後の定盤２上に設けられ、移送される薄板
４を空気で浮上させるためのエアスライダ７と、検査ス
テーション３に設けられ、薄板４に対してエア吹き付け
と吸引とを同時に行って薄板４の浮上高さを調整するエ
アベアリング８とを備えて薄板検査装置１を構成したた
め、薄板４を傷付けることなく搬送でき、薄板４を正確
に位置合わせすることができる。

【００４４】そして、特に薄板４の前端部５のみを把持
するものであるため、容易に薄板４を位置決めすること
ができるので薄板４のサイズが様々に変化しても容易に
対応できる。

【００４５】また、検査ステーション３には、光源１０
が設けられ、その上方に薄板４を透過した光を撮像して
薄板４を検査するためのカメラ１２が設けられ、エアベ
アリング８は、光源１０に対して移送方向の前後で、か
つ薄板４の幅方向に複数設けられるものとしたため、カ
メラ１２で焦点を結ぶ高さに薄板４を正確に浮上させる
ことができ、薄板４を正確に検査することができる。

【００４６】そして、エアベアリング８を二重の管２
５，２６からなるものとし、外側の管２５でエアを吐出
し、内側の管２６でエアを吸引するよう形成し、吐出圧
と吸引圧を調整して検査ステーション３での薄板４の浮
上高さを一定に調整するようにしたため、リング状の吐
出噴流で囲まれる領域に負圧域を良好に形成することが
でき、薄板４を高い精度で正確な高さに、かつ、容易に
浮上させることができる。

【００４７】また、薄板移送手段６を、定盤２上を走行
する走行部１４と、走行部１４に縦軸周り回動自在に支
持され薄板４を把持し、かつ、薄板４の角度を調整自在
な把持部１６とを備えて構成したため、薄板４の角度ず
れを容易に修正でき、かつ、ワークサイズが変わっても
同様の手順で容易に角度ずれを修正できる。

【００４８】そして、定盤２上に上記エアスライダ７と
エアベアリング８から吐出されたエアを逃がすための段
差溝２１を形成したため、エアスライダ７とエアベアリ
ング８から吐出されたエアを円滑に排出することがで
き、薄板４の浮上高さを一定に保持することができる。

【００４９】また、段差溝２１の開口上縁部に薄板４の
衝突を避けるためのテーパ２２，２７を形成したため、
エアスライダ７とエアベアリング８の間や、エアベアリ
ング８間の乗り継ぎ時に薄板４がエアスライダ７やエア
ベアリング８に衝突するのを防ぐことができる。

【００５０】なお、本実施の形態においては、精度をさ
ほど必要としない検査ステーション３前後のエアスライ
ダに、矩形板状のテーブル部１９の上面に複数のエア吐
出穴２０を形成してなる安価なタイプのエアスライダ７
を用いるものとしたが、これに代えて上述のエアベアリ
ング８を用いるものとしてもよい。

【００５１】

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を奏する。（１）薄板を傷付けることなく搬送できる。（２）薄板の角度ずれを容易に修正できる。（３）薄板のサイズ変化に容易に対応できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の好適実施の形態を示す薄板検査装置の
平面図である。

【図２】図１の側面図である。

【図３】図２の要部拡大図である。

【図４】従来の薄板検査装置の概略平面図である。

【符号の説明】

１薄板検査装置２定盤３検査ステーション４薄板５前端部６薄板移送手段７エアスライダ８エアベアリング１０光源１２カメラ１４走行部１６把持部２１段差溝２２テーパ２５管２６管２７テーパ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者中村寿夫東京都江東区豊洲三丁目１番15号石川島播磨重工業株式会社東京エンジニアリングセンター内 (72)発明者塩田朋彦東京都江東区豊洲三丁目１番15号石川島播磨重工業株式会社東京エンジニアリングセンター内Ｆターム(参考） 2G051 AA73 AC12 CA04 CB02 DA07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】定盤上の検査ステーションに、液晶基板
などの薄板を搬送させて検査するための薄板検査装置に
おいて、複数サイズの薄板前端部を把持して定盤上を移
送するための薄板移送手段と、検査ステーション前後の
定盤上に設けられ、移送される薄板を空気で浮上させる
ためのエアスライダと、検査ステーションに設けられ、
薄板に対してエア吹き付けと吸引とを同時に行って薄板
の浮上高さを調整するエアベアリングとを備えたことを
特徴とする薄板検査装置。
【請求項２】検査ステーションには、光源と、その上
方に薄板を透過した光を撮像して薄板を検査するための
カメラとが設けられ、上記エアベアリングは、光源に対
して移送方向の前後で、かつ薄板の幅方向に複数設けら
れる請求項１記載の薄板検査装置。
【請求項３】上記エアベアリングは二重の管からな
り、外側の管でエアを吐出し、内側の管でエアを吸引す
るよう形成され、吐出圧と吸引圧を調整して検査ステー
ションでの薄板の浮上高さを一定に調整する請求項２記
載の薄板検査装置。
【請求項４】上記薄板移送手段は、上記定盤上を走行
する走行部と、該走行部に縦軸周り回動自在に支持され
薄板を把持し、かつ、薄板の角度を調整自在な把持部と
を備えて構成される請求項１〜３いずれかに記載の薄板
検査装置。
【請求項５】上記定盤上には上記エアスライダとエア
ベアリングから吐出されたエアを逃がすための段差溝が
形成される請求項１〜４いずれかに記載の薄板検査装
置。
【請求項６】上記段差溝の開口上縁部に上記薄板の衝
突を避けるためのテーパが形成される請求項５記載の薄
板検査装置。