JP7093630B2 - 離間装置および離間方法 - Google Patents

Description

本発明は、離間装置および離間方法に関する。

従来、接着シートに貼付された複数の片状体の相互間隔を広げる離間装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１６－１２７１２４号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の離間装置では、例えば、接着シートＡＳ（拡張シート）上で相互間隔が広げられたチップＣＰ（片状体）を当該拡張シートと共に搬送するような場合、張力付与手段３０（離間手段）による拡張シートの保持がなくなると、当該拡張シートが、張力が付与される前の状態に戻ろうとするため、片状体の相互間隔が狭くなるという不都合がある。

本発明の目的は、拡張シートに付与されていた張力が解除されても、片状体の相互間隔が極力狭くならないようにすることができる離間装置および離間方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、相互間隔が広げられた片状体の一方の面に間隔維持部材を取り付けるので、拡張シートに付与されていた張力が解除されても、片状体の相互間隔が極力狭くならないようにすることができる。
また、所定のエネルギーが付与されることで硬化可能な拡張シートを採用し、当該拡張シートに所定のエネルギーを付与する構成とすれば、片状体の相互間隔がより狭くならないようにすることができる。

本発明の実施形態に係る離間装置の側面図。 （Ａ）、（Ｂ）は、本発明の実施形態に係る離間装置の動作説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

本発明の離間装置１０は、複数の片状体としての半導体チップ（以下、単に「チップ」ともいう）ＣＰからなる被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦまたは、分割されて複数のチップＣＰとなるウエハＷＦに対し、それら複数のチップＣＰの相互間隔を広げる離間装置であって、ウエハＷＦの一方の面にその外縁からはみ出るように貼付された接着シートＡＳを、ウエハＷＦが貼付されている被着体貼付領域を含む後除去シートＡＳＡと、当該後除去シートＡＳＡ以外の先除去シートＡＳＢとに分断する切断手段３０と、先除去シートＡＳＢを除去する第１除去手段４０と、拡張可能な拡張シートＥＳをウエハＷＦの他方の面に貼付する拡張シート貼付手段５０と、拡張シートＥＳが貼付されたウエハＷＦから後除去シートＡＳＡを除去する第２除去手段６０と、拡張シートＥＳを拡張してチップＣＰの相互間隔を広げる離間手段７０と、離間手段７０で相互間隔が広げられた状態の拡張シートＥＳに所定のエネルギーとしての紫外線を付与するエネルギー付与手段８０と、離間手段７０で相互間隔が広げられた状態のチップＣＰの一方の面に間隔維持部材ＤＭを取り付ける間隔維持部材取付手段９０とを備え、接着シートＡＳを介してフレーム部材としてのリングフレームＲＦにウエハＷＦが支持された一体物ＷＫを支持する一体物支持手段２０の近傍に配置されている。また、拡張シートＥＳは、所定のエネルギーとしての紫外線が付与されることで硬化するものが採用されている。

一体物支持手段２０は、駆動機器としてのリニアモータ２１と、そのスライダ２１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面２２Ａを有する外側テーブル２２と、外側テーブル２２の凹部２２Ｂ内に支持された駆動機器としての直動モータ２３と、その出力軸２３Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面２４Ａを有する内側テーブル２４とを備えている。なお、外側テーブル２２の支持面２２Ａには、拡張シートＥＳが接着しない不接着処理が施されている。

切断手段３０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端のアーム３１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット３１と、第１除去手段４０を介して先端のアーム３１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ３２と、支持アーム３３を介して回動モータ３２の出力軸３２Ａに支持された切断部材としての切断刃３４とを備えている。なお、多関節ロボット３１は、例えば、特開２０１６－８１９７４に例示されている多関節ロボット１１１等が例示できる。

第１除去手段４０は、切断手段３０と共有する多関節ロボット３１と、その先端のアーム３１Ａに支持されたフレーム４１と、フレーム４１に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持手段としての吸着パッド４２と、フレーム４１から離間する方向に吸着パッド４２を付勢する付勢手段としてのダンパー機構４３とを備えている。

拡張シート貼付手段５０は、帯状の剥離シートＲＬ上に拡張シートＥＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ５１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ５２と、剥離シートＲＬを折り返して当該剥離シートＲＬから拡張シートＥＳを剥離する剥離手段としての剥離板５３と、ウエハＷＦに拡張シートＥＳを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ５４と、駆動機器としての回動モータ５５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ５６とで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ５５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、ピンチローラ５６との間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与して回収する回収ローラ５７とを備えている。

第２除去手段６０は、保持手段としての帯状の剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ６１と、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ６２と、駆動機器としての直動モータ６３の出力軸６３Ａに回転可能に支持された剥離ローラ６４と、駆動機器としての回動モータ６５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ６６とで剥離用テープＰＴを挟み込む駆動ローラ６５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、ピンチローラ６６との間に存在する剥離用テープＰＴに常に所定の張力を付与して当該剥離用テープＰＴを回収する回収ローラ６７と、駆動機器としてのリニアモータ６８と、そのスライダ６８Ａに支持された駆動機器としての直動モータ６９Ａと、その出力軸６９Ｂに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面６９Ｃを有するウエハ保持テーブル６９とを備えている。

離間手段７０は、駆動機器としてのリニアモータ７１と、拡張シートＥＳの外縁部を支持する保持手段としての拡張シート保持部材７２とを備え、間隔維持部材取付手段９０の上方の左右両側にそれぞれ複数体ずつ、および、間隔維持部材取付手段９０の上方の前後両側にそれぞれ複数体ずつ（図２参照）配置されている。
拡張シート保持部材７２は、リニアモータ７１のスライダ７１Ａに支持された下保持部材７２Ａと、下保持部材７２Ａに支持された回動モータ７２Ｂと、その出力軸７２Ｃに支持された上保持部材７２Ｄとを備えている。

エネルギー付与手段８０は、駆動機器としてのリニアモータ８１と、ブラケット８２を介してリニアモータ８１のスライダ８１Ａに支持されたランプケース８３と、ランプケース８３内に支持され、所定のエネルギーとしての紫外線を発光可能な発光源８４と、発光源８４が発光した紫外線を集光させる集光板８５とを備えている。

間隔維持部材取付手段９０は、駆動機器としての直動モータ９１と、その出力軸９１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面９２Ａを有する間隔維持部材保持テーブル９２とを備えている。なお、本実施形態の場合、間隔維持部材ＤＭは、硝子板ＧＰの一方の面に両面接着シートＢＡが貼付されたものが使用される。

以上の離間装置１０の動作を説明する。
先ず、各部材が図１中実線で示す初期位置で待機している離間装置１０に対し、当該離間装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、拡張シート貼付手段５０が回動モータ５５Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して先頭の拡張シートＥＳが剥離板５３の剥離縁５３Ａで剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、回動モータ５５Ａの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。次いで、作業者または駆動機器やコンベア等の図示しない搬送手段が、図１中実線で示すように、間隔維持部材ＤＭを間隔維持部材保持テーブル９２上に載置すると、間隔維持部材取付手段９０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面９２Ａでの間隔維持部材ＤＭの吸着保持を開始する。その後、作業者または図示しない搬送手段が、図１中実線で示すように、一体物ＷＫを外側テーブル２２および内側テーブル２４上に載置すると、一体物支持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面２２Ａ、２４Ａでの接着シートＡＳの吸着保持を開始する。

次に、切断手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、吸着パッド４２をリングフレームＲＦの上面に当接させた後、ダンパー機構４３の付勢力に抗してフレーム４１を押し下げて切断刃３４を接着シートＡＳに突き刺す。そして、第１除去手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、吸着パッド４２でのリングフレームＲＦの吸着保持を開始した後、切断手段３０が回動モータ３２を駆動し、切断刃３４をウエハＷＦ周りに１周以上回転させて、接着シートＡＳを後除去シートＡＳＡと先除去シートＡＳＢとに分断する。次いで、一体物支持手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面２２Ａでの先除去シートＡＳＢの吸着保持を解除した後、第１除去手段４０が多関節ロボット３１を駆動し、先除去シートＡＳＢが貼付されたリングフレームＲＦを図示しない所定の回収位置に搬送し、図示しない減圧手段の駆動を停止して吸着パッド４２を初期位置に復帰させる。

その後、一体物支持手段２０が直動モータ２３を駆動し、ウエハＷＦの他方の面（後除去シートＡＳＡが貼付されていない面）を支持面２２Ａと同一平面内に位置させた後、リニアモータ２１を駆動し、スライダ２１Ａを左方へ移動させ、ウエハＷＦが所定の位置に到達すると、拡張シート貼付手段５０が回動モータ５５Ａを駆動し、ウエハＷＦの移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、図１中二点鎖線で示すように、拡張シートＥＳが剥離縁５３Ａで剥離シートＲＬから剥離されつつ、押圧ローラ５４によって支持面２２ＡおよびウエハＷＦの他方の面に押圧されて貼付される。拡張シートＥＳ全体が支持面２２ＡおよびウエハＷＦに貼付され、次の拡張シートＥＳが剥離縁５３Ａで剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、拡張シート貼付手段５０が回動モータ５５Ａの駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。

次に、拡張シートＥＳが貼付されたウエハＷＦがウエハ保持テーブル６９の直下に到達すると、一体物支持手段２０がリニアモータ２１の駆動を停止した後、第２除去手段６０が直動モータ６９Ａを駆動し、ウエハ保持テーブル６９の支持面６９Ｃを拡張シートＥＳの上面に当接させる。そして、第２除去手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面６９Ｃでの拡張シートＥＳの吸着保持を開始した後、一体物支持手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面２４Ａでの後除去シートＡＳＡの吸着保持を解除する。次いで、第２除去手段６０が直動モータ６９Ａを駆動し、ウエハ保持テーブル６９を上昇させ、一方の面と他方の面とに後除去シートＡＳＡと拡張シートＥＳとが貼付されたウエハＷＦを一体物支持手段２０から離間させると、当該一体物支持手段２０がリニアモータ２１および直動モータ２３を駆動し、外側テーブル２２および内側テーブル２４を初期位置に復帰させる。

その後、第２除去手段６０がリニアモータ６８を駆動し、ウエハ保持テーブル６９を左方へ搬送し、図１中二点鎖線で示すように、後除去シートＡＳＡの左端部が剥離ローラ６４の最上端部直上に到達すると、リニアモータ６８の駆動を停止する。次に、第２除去手段６０が直動モータ６３を駆動し、剥離ローラ６４を上昇させて剥離用テープＰＴを後除去シートＡＳＡの左端部に貼付した後、リニアモータ６８および回動モータ６５Ａを駆動し、ウエハ保持テーブル６９を左方へ移動させる移動速度に合わせて剥離用テープＰＴを回収ローラ６７で回収し、図１中二点鎖線で示すように、ウエハＷＦから後除去シートＡＳＡを剥離する。そして、後除去シートＡＳＡ全体がウエハＷＦから剥離されると、第２除去手段６０が直動モータ６３を駆動し、剥離ローラ６４を初期位置に復帰させた後、回動モータ６５Ａの駆動を停止する。

次いで、図１中二点鎖線で示すように、ウエハ保持テーブル６９で吸着保持した拡張シートＥＳの前後左右の各端部が、各下保持部材７２Ａの直上に到達すると、第２除去手段６０がリニアモータ６８の駆動を停止する。その後、第２除去手段６０が直動モータ６９Ａを駆動し、図１中二点鎖線で示すように、ウエハ保持テーブル６９で保持している拡張シートＥＳを下保持部材７２Ａの上面に当接させると、離間手段７０が各回動モータ７２Ｂを駆動し、拡張シートＥＳにおける前後左右の各端部を各下保持部材７２Ａと各上保持部材７２Ｄとで挟み込んで保持する。なお、ウエハ保持テーブル６９の前後左右の各端部には、上保持部材７２Ｄとの干渉を回避する切欠部６９Ｄが形成されている。

次に、第２除去手段６０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面６９Ｃでの拡張シートＥＳの吸着保持を解除した後、直動モータ６９Ａを駆動し、ウエハ保持テーブル６９を上昇させる。そして、離間手段７０が各リニアモータ７１を駆動し、図２（Ａ）に示すように、各拡張シート保持部材７２を相互に離間させ、拡張シートＥＳに前後左右方向への張力を付与し、チップＣＰの相互間隔を広げる。この際、分割されて複数のチップＣＰとなるウエハＷＦは、拡張シートＥＳの張力によって分割されて複数のチップＣＰとなる。また、拡張シートＥＳに張力を付与する際、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の図示しない検知手段によって、各チップＣＰの相互間隔や各チップＣＰの全体的な集合形状等を検知し、その検知結果を基にして、離間手段７０が各リニアモータ７１を個別に駆動し、各チップＣＰの相互間隔や各チップＣＰの全体的な集合形状等が所定間隔、所定の集合形状となるように、拡張シートＥＳに付与する張力を調整してもよい。

次いで、各チップＣＰの相互間隔が所定の間隔に広がると、エネルギー付与手段８０が発光源８４およびリニアモータ８１を駆動し、紫外線を発光しつつランプケース８３を拡張シートＥＳ上で走査させ、当該拡張シートＥＳを硬化させた後、発光源８４の駆動を停止して、ランプケース８３を初期位置に復帰させる。その後、第２除去手段６０が直動モータ６９Ａを駆動し、図２（Ｂ）に示すように、ウエハ保持テーブル６９の支持面６９Ｃを再び拡張シートＥＳの上面に当接させた後、間隔維持部材取付手段９０が直動モータ９１を駆動し、間隔維持部材保持テーブル９２で支持している間隔維持部材ＤＭの両面接着シートＢＡを各チップＣＰの一方の面に押圧して貼付する。

次に、第２除去手段６０が直動モータ６９Ａおよびリニアモータ６８を駆動し、ウエハ保持テーブル６９を初期位置に復帰させるとともに、離間手段７０が各回動モータ７２Ｂを駆動し、各上保持部材７２Ｄを各回動モータ７２Ｂに対する初期位置に復帰させる。そして、間隔維持部材取付手段９０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面９２Ａでの間隔維持部材ＤＭの吸着保持を解除した後、作業者または図示しない搬送手段が、拡張シートＥＳと間隔維持部材ＤＭとの間で相互間隔が広げられたチップＣＰを保持し、それを次の工程に搬送する。次いで、間隔維持部材取付手段９０が直動モータ９１を駆動し、間隔維持部材保持テーブル９２を初期位置に復帰させた後、離間手段７０が各リニアモータ７１を駆動し、各拡張シート保持部材７２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような離間装置１０によれば、相互間隔が広げられたチップＣＰの一方の面に間隔維持部材ＤＭを取り付けるので、拡張シートＥＳに付与されていた張力が解除されても、チップＣＰの相互間隔が極力狭くならないようにすることができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、離間手段は、拡張シートを拡張して片状体の相互間隔を広げることが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

一体物支持手段２０は、ウエハＷＦを移動させることなくまたは移動させつつ、拡張シート貼付手段５０を移動させてウエハＷＦに拡張シートＥＳを貼付する構成でもよいし、内側テーブル２４を昇降させる構成がなくてもよいし、支持面２２Ａに不接着処理が施されていなくてもよいし、外側テーブル２２と内側テーブル２４とが一体物で構成されていてもよいし、本発明の離間装置１０を構成する部材として採用してもよいし、他の装置で一体物ＷＫを支持すれば、本発明の離間装置１０に備わっていなくてもよい。

切断手段３０は、回動モータ３２を設けずに、多関節ロボット３１を駆動し、切断刃３４で接着シートＡＳを切断する構成でもよいし、第１除去手段４０を介すことなく先端のアーム３１Ａで回動モータ３２または切断刃３４を支持してもよいし、ウエハＷＦの外縁と同形状になるように接着シートＡＳを切断してもよいし、ウエハＷＦの外縁よりも外側で接着シートＡＳを切断したり、ウエハＷＦの外縁とは関係なく接着シートＡＳを切断したりしてウエハＷＦの外縁と同じ形状にならないように接着シートＡＳを切断してもよい。

第１除去手段４０は、多関節ロボット３１を切断手段３０と共有することなく、他の駆動機器で吸着パッド４２を移動させる構成でもよいし、付勢手段がなくてもよい。

拡張シート貼付手段５０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の拡張シート基材（帯状の基材シートと帯状の接着剤層）に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が拡張シートＥＳとされた原反ＲＳを繰り出してもよいし、帯状の拡張シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳが採用された場合、切断手段により、拡張シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を形成し、その切込で仕切られた所定の領域を拡張シートＥＳとしてもよいし、拡張シートＥＳを剥離シートＲＬから剥離する際、原反ＲＳに所定の張力が付与されるように回動モータ５５Ａのトルク制御を行ってもよいし、支持ローラ５１やガイドローラ５２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳや剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、剥離シートＲＬを回収しなくてもよい。
拡張シート貼付手段５０は、天地反転して配置したり横置きに配置したりして、被着体の下面や側面等に拡張シートＥＳを貼付するように構成してもよいし、押圧ローラ５４の代わりに、駆動機器であって押圧手段としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で拡張シートＥＳを保持し、当該保持部材で保持した拡張シートＥＳを被着体に押圧して貼付する構成でもよいし、押圧ローラ５４を被着体に離間接近させる押圧部材接離手段としての駆動機器を備え、被着体にストレスがかかったり損傷したりすることを防止するようにしてもよく、このような押圧部材接離手段としては、駆動機器以外に手動で押圧ローラ５４を移動させるものでもよい。

第２除去手段６０は、ウエハ保持テーブル６９を移動させることなくまたは、移動させつつ、剥離ローラ６４等を移動させてウエハＷＦから後除去シートＡＳＡを剥離してもよいし、保持手段として、帯状または枚葉の剥離用テープＰＴを採用してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で後除去シートＡＳＡを保持し、当該保持部材で保持した後除去シートＡＳＡをウエハＷＦから離間させて剥離する構成等どのような構成でもよいし、エネルギー線としての紫外線で接着力が低下する接着シートＡＳを採用し、後除去シートＡＳＡに紫外線を照射する紫外線照手段で紫外線を照射してから、当該後除去シートＡＳＡをウエハＷＦから剥離してもよく、このようなエネルギー線としては、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波でもよい。

離間手段７０は、例えば、右方へ移動する１体と左方へ移動する１体との合計２体で構成されていてもよいし、前方へ移動する１体と後方へ移動する１体との合計２体で構成されていてもよいし、拡張シートＥＳを例えば、Ｘ軸方向のみや、Ｙ軸方向のみ等の１軸方向のみに拡張してチップＣＰの相互間隔を広げる構成としてもよいし、拡張シートＥＳを例えば、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびその他の方向の３軸以上の方向や、Ｘ軸方向やＹ軸方向に関係なく２軸以上の方向等に拡張してチップＣＰの相互間隔を広げる構成としてもよいし、例えば、Ｘ軸方向に移動させた複数の拡張シート保持部材７２をそれぞれＹ軸方向に移動させる構成（Ｙ軸方向に移動させた複数の拡張シート保持部材７２をそれぞれＸ軸方向に移動させる構成）としてチップＣＰの相互間隔を広げてもよいし、拡張シートＥＳの面内を中心とする放射方向に当該拡張シートＥＳ拡張してチップＣＰの相互間隔を広げる構成としてもよいし、図示しない検知手段によって、各チップＣＰの相互間隔や各チップＣＰの全体的な集合形状等を検知しなくてもよいし、作業者がボタンやレバー等の操作手段を操作して、リニアモータ７１を駆動してもよく、この場合、例えば、各チップＣＰの相互間隔や各チップＣＰの全体的な集合形状等を目視しながら、作業者がリニアモータ７１を駆動させてもよい。

エネルギー付与手段８０は、発光源８４で拡張シートＥＳに部分的に紫外線を付与し、当該発光源８４と拡張シートＥＳとを相対移動させて当該拡張シートＥＳ全体に紫外線を付与してもよいし、拡張シートＥＳ全体に一括で紫外線を付与してもよいし、拡張シートＥＳに紫外線を照射する時間は、当該拡張シートＥＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して任意に決定することができるし、所定のエネルギーとして、紫外線以外に、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱を付与するものでもよく、拡張シートＥＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して任意に決定することができるし、発光源８４としてＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何を採用してもよいし、それらを適宜に組み合わせたものを採用してもよいし、ランプケース８３や集光板８５はなくてもよいし、本発明の離間装置１０に備わっていなくてもよい。

間隔維持部材取付手段９０は、Ｘ軸方向に間隔維持部材保持テーブル９２を移動する駆動機器を備えていてもよいし、Ｙ軸方向に間隔維持部材保持テーブル９２を移動する駆動機器を備えていてもよいし、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に間隔維持部材保持テーブル９２を移動する駆動機器を備えていてもよいし、支持面９２Ａの面内で間隔維持部材保持テーブル９２を回転させる駆動機器を備えていてもよいし、相互間隔が広げられた状態のチップＣＰの一方の面に間隔維持部材ＤＭを取り付ける際、間隔維持部材保持テーブル９２で支持している間隔維持部材ＤＭの両面接着シートＢＡを、チップＣＰの下方所定位置（相互に当接していてもよいし、当接していなくてもよい）に配置し、拡張シートＥＳの上方から弾性変形可能または弾性変形不能な押圧部材で押圧してもよい。

離間装置１０は、拡張した拡張シートＥＳの外縁部を切断部材で切断する外縁部切断手段を備えていてもよいし、第２除去手段６０と同等または、その他の構成を有するもので、間隔維持部材ＤＭに支持され相互間隔が広げられたチップＣＰから拡張シートＥＳを剥離する拡張シート除去手段を備えていてもよい。

ウエハＷＦは、当該ウエハＷＦを貫通する切込が連続的に続くことで当該ウエハＷＦが部分的に繋がることのない複数のチップＣＰからなるものでもよいし、分割されて複数のチップＣＰとなるウエハＷＦとして、例えば、ウエハＷＦを貫通する切込が断続的に続くことで当該ウエハＷＦが部分的に繋がった状態の擬似的な切断線や、ウエハＷＦを貫通することのない切込が連続的または断続的に続く擬似的な切断線や、ウエハＷＦにレーザ光、電磁波、熱、薬品、化学物質等を付与して当該ウエハＷＦの特性、特質、性質、材質、組成、構成、寸法等を変更して脆弱化させた脆弱部が連続的または断続的に続く擬似的な切断線および、ウエハＷＦを貫通する切込と当該ウエハＷＦを貫通することのない切込と脆弱部との少なくとも２つが規則的または不規則的に続く擬似的な切断線等によって、ウエハＷＦが部分的に繋がっており、当該ウエハに振動、張力、光、熱等の外力を付与することで、分割されて複数のチップＣＰとなるものでもよい。
間隔維持部材ＤＭは、硝子板ＧＰの代わりに、例えば、金属、樹脂、木材、陶器等どのような部材を採用してもよいし、両面接着シートＢＡの代わりに、接着剤、濡れ性、磁着、吸着、ベルヌーイ吸着等でチップＣＰの一方の面に取り付けるようにしてもよいし、それ自体を接着シートで構成してもよく、拡張シートＥＳが拡張される前の状態に戻ろうとする力に打ち勝つ剛性を備えたものであれば何でもよいし、形状もどのような形状でもよい。
フレーム部材は、閉ループ状でもよいし、閉ループ状でなくてもよく、どのような形状でもよいし、接着シートＡＳに取り付けられていなくてもよい。
拡張シートＥＳは、所定のエネルギーとして、紫外線以外に、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱が付与されることで硬化するものが採用されてもよいし、硬化しないものが採用されてもよい。

本発明における拡張シートＥＳ、接着シートＡＳ、両面接着シートＢＡ、片状体および被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、拡張シートＥＳ、接着シートＡＳ、両面接着シートＢＡ、被着体ＷＫおよび片状体は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、拡張シートＥＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の拡張シートＥＳが採用された場合は、当該拡張シートＥＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような拡張シートＥＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、片状体や被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、拡張シートＥＳまたは接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂等で構成してもよい。

１０…離間装置
３０…切断手段
４０…第１除去手段
５０…拡張シート貼付手段
６０…第２除去手段
７０…離間手段
８０…エネルギー付与手段
９０…間隔維持部材取付手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳＡ…後除去シート
ＡＳＢ…先除去シート
ＣＰ…チップ（片状体）
ＤＭ…間隔維持部材
ＥＳ…拡張シート
ＷＦ…ウエハ（被着体）

Claims (3)

1. 複数の片状体からなる被着体または、分割されて複数の片状体となる被着体に対し、それら複数の片状体の相互間隔を広げる離間装置において、
   前記被着体の一方の面にその外縁からはみ出るように貼付された接着シートを、前記被着体が貼付されている被着体貼付領域を含む後除去シートと、当該後除去シート以外の先除去シートとに分断する切断手段と、
   前記先除去シートを除去する第１除去手段と、
   拡張可能な拡張シートを前記被着体の他方の面に貼付する拡張シート貼付手段と、
   前記拡張シートが貼付された前記被着体から前記後除去シートを除去する第２除去手段と、
   前記拡張シートを拡張して前記片状体の相互間隔を広げる離間手段と、
   前記離間手段で相互間隔が広げられた状態の片状体の一方の面に間隔維持部材を取り付ける間隔維持部材取付手段とを備えていることを特徴とする離間装置。
2. 前記拡張シートは、所定のエネルギーが付与されることで硬化可能とされ、前記離間手段で相互間隔が広げられた状態の前記拡張シートに前記所定のエネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載の離間装置。
3. 複数の片状体からなる被着体または、分割されて複数の片状体となる被着体に対し、それら複数の片状体の相互間隔を広げる離間方法において、
   前記被着体の一方の面にその外縁からはみ出るように貼付された接着シートを、前記被着体が貼付されている被着体貼付領域を含む後除去シートと、当該後除去シート以外の先除去シートとに分断する分断工程と、
   前記先除去シートを除去する第１除去工程と、
   拡張可能な拡張シートを前記被着体の他方の面に貼付する拡張シート貼付工程と、
   前記拡張シートが貼付された前記被着体から前記後除去シートを除去する第２除去工程と、
   前記拡張シートを拡張して前記片状体の相互間隔を広げる離間工程と、
   前記離間手段で相互間隔が広げられた状態の片状体の一方の面に間隔維持部材を取り付ける間隔維持部材取付工程とを備えていることを特徴とする離間方法。

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