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JP3432233B2 - 防湿フィルム及びその製造方法 - Google Patents

防湿フィルム及びその製造方法

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JP3432233B2
JP3432233B2 JP54375198A JP54375198A JP3432233B2 JP 3432233 B2 JP3432233 B2 JP 3432233B2 JP 54375198 A JP54375198 A JP 54375198A JP 54375198 A JP54375198 A JP 54375198A JP 3432233 B2 JP3432233 B2 JP 3432233B2
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resin layer
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thin film
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収二 寺崎
久明 寺島
悟 松永
正道 赤津
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呉羽化学工業株式会社
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 ＜技術分野＞ 本発明は、高度の防湿性能を有する防湿フィルムに関
し、さらに詳しくは、エレクトロルミネセンス素子を封
止するためのパッケージフィルムとして好適な防湿フィ
ルム及びその製造方法に関する。
＜背景技術＞ 蛍光化合物の固体（蛍光体）に電場を印加して、電気
エネルギーを蛍光の発光エネルギーに変換する作用をエ
レクトロルミネセンス（EL）と呼ぶ。ELは、その基本素
子構造から薄膜型と分散型に分類することができる。薄
膜型EL素子は、蛍光体の薄膜からなる発光層を備えたも
のである。分散型EL素子は、粉末蛍光体を有機または無
機のバインダ中に分散させた発光層を備えたものであ
る。EL素子は、発光層を直接または絶縁層を介して一対
の電極により挟んだ素子本体を備えており、一対の電極
の少なくとも一方には透明性を有する電極が用いられて
いる。EL素子は、駆動電圧が直流か交流かによって、直
流駆動型（DC型）と交流駆動型（AC型）とに分けられ
る。
EL素子は、薄膜、軽量の特徴を活かして、例えば、液
晶表示素子用バックライト、常夜灯、道路標識、夜間広
告、装飾などの面発光光源、あるいはコンピュータやワ
ープロの端末ディスプレイ、テレビの画像ディスプレイ
などのフラットディスプレイとして用途が広がりつつあ
る。
発光層を構成する螢光体は、吸湿すると、その発光輝
度が著しく損なわれる。そのため、EL素子は、一般に、
一対の電極間に発光層が配置されたEL素子本体を、透明
な防湿体で封止した構造を有している。従来、EL素子の
防湿体としては、ポリ塩化三フッ化エチレン（PCTFE）
フィルムを主体とする防湿フィルムやガラス基板が用い
られている。これらのうち、ガラス基板は、薄膜化や軽
量化に限度があり、可撓性に欠けるという問題もある。
一方、PCTFEは、フッ素系樹脂であるためコストが高
く、しかもPCTFEフィルムは、雰囲気温度が50℃を越え
るとその防湿性能が著しく低下するため、高温下でのEL
素子の寿命が極端に短くなるという問題があった。加え
て、将来、フッ素系樹脂原料の入手が難しくなることが
予測されるという事情もあり、PCTFEに代わる他の樹脂
材料が求められてきた。
従来、このような他の樹脂材料として、ポリ塩化ビニ
リデンやポリビニルアルコールなどが検討され、さらに
は、ケイ素酸化物の蒸着膜を設けた樹脂フィルムも検討
されてきた。しかしながら、いずれの材料も、PCTFEフ
ィルムを用いた場合に比べて、防湿性能が充分ではな
く、EL素子の寿命を長くすることができないため、実用
化に至っていない。
＜発明の開示＞ 本発明の目的は、ポリ塩化三フッ化エチレンフィルム
を主体とする従来の防湿フィルムと同程度あるいはそれ
を越える高度の防湿性能を有し、かつ、環境温度や湿度
の変化に対して安定した防湿性能を示し、しかも薄膜化
及び軽量化が可能で、EL素子の封止用として好適な防湿
フィルムを提供することにある。
また、本発明の目的は、このような高度の防湿性能を
有する防湿フィルムの製造方法を提供することにある。
本発明者らは、前記従来技術の問題点を克服するため
に鋭意研究を行う過程で、ケイ素酸化物薄膜に代表され
る金属または非金属の酸化物からなる蒸着膜を形成した
ポリビニルアルコールフィルム（以下、PVAフィルムと
略記）に着目した。このような蒸着膜を形成したPVAフ
ィルム（以下、蒸着PVAフィルムと略記）は、透明であ
り、水蒸気バリア性の尺度となる透湿度が極めて小さい
ものである。ところが、蒸着PVAフィルムは、実用上の
防湿性能に劣るため、PCTFEフィルムのようにEL素子の
パッケージ用防湿フィルムとして有効に用いられていな
い。
実際、本発明者らは、蒸着PVAフィルムを含有する多
層フィルムを防湿フィルムとして用い、EL素子の封止を
行ったところ、高湿度条件に曝されると、EL素子の発光
輝度が著しく低下することが判明した。蒸着PVAフィル
ムを含有する多層フィルム自体の透湿度は極めて小さい
にもかかわらず、実用性能に劣る防湿フィルムしか得る
ことができない理由について、さらに検討を行った。そ
の結果、蒸着PVAフィルムまたは蒸着PVAフィルムを含有
する多層フィルムは、通常の製造条件下では、吸湿性樹
脂であるPVAの吸湿が避けられず、PVAフィルムがある程
度の水分を含有しており、それが実用性能に悪影響を及
ぼしているのではないかと推定した。
そして、PVAフィルムの両面に直接または接着剤層を
介してケイ素酸化物薄膜を配置した構造の多層フィルム
を用い、かつ、使用するPVAフィルムまたは蒸着PVAフィ
ルム、あるいは多層フィルムを、実質的に絶乾状態にな
るまで徹底的に乾燥したところ、驚くべきことに、実用
性能上、PCTFEフィルムを主体とする防湿フィルムに匹
敵するか、それを上回る高度の防湿性能を有する新規な
防湿フィルムの得られることを見いだした。
本発明者らは、蒸着PVAフィルムまたは蒸着PVAフィル
ムを含有する多層フィルムの防湿性能は、単に、透湿度
によって評価することができず、透湿量（測定法は、後
記）を加味して評価すべきことを見いだした。実際、PV
Aフィルムの両面に直接または接着剤層を介してケイ素
酸化物薄膜を配置した構造の多層フィルムについて、通
常の製造条件下で作製したものと、本発明の製造方法に
従って徹底的に乾燥したものを、それぞれ防湿フィルム
として使用して作製したEL素子の透湿量を測定したとこ
ろ、両者の間に透湿量に極めて大きな差異があることが
判明した。通常の製造条件下で作製した多層フィルムを
用いたのでは、高湿度環境下に曝されると、EL素子の発
光輝度保持率が大幅に低下し、ひどい場合には、発光輝
度が喪失してしまうことがある。これに対して、徹底的
に乾燥処理した多層フィルムからなる本発明の防湿フィ
ルムを用いると、高湿度環境下に曝された場合であって
も、長期間にわたって、高度の発光輝度保持率を示すEL
素子を得ることができる。
本発明の防湿フィルムが、このような高度の防湿性能
を示す理由または機構は、現段階では必ずしも全面的に
明確ではないが、本発明者らは、次のように考えてい
る。従来の蒸着PVAフィルムは、通常の製造条件下で吸
湿しているため、ある程度の水分を含有している。これ
を初期吸水量と呼ぶ。蒸着PVAフィルムまたは蒸着PVAフ
ィルムを含有する多層フィルムの透湿度は、この初期吸
水量によりあまり影響を受けないが、透湿量について
は、大きく影響を受ける。この透湿量が大きいと、実用
的な防湿性能に劣る防湿フィルムしか得ることができな
い。一方、蒸着PVAフィルムまたは蒸着PVAフィルムを含
有する多層フィルムを徹底的に乾燥すると、初期吸水量
が低下することに加えて、エイジング効果等により、PV
Aフィルム自体の耐透湿性が著しく向上し、さらには、
後述するように、蒸着膜と接着剤層とによる耐透湿性の
向上も寄与するものと推定される。このような乾燥処理
による防湿性能の顕著な向上効果は、従来技術では予期
することができない顕著なものである。
PVAフィルムの両面に直接または接着剤層を介して金
属または非金属の酸化物薄膜を配置した構造の多層フィ
ルムは、優れて小さな透湿度を示すが、両側に存在する
酸化物薄膜の持つ水蒸気バリア性能に妨げられて、間に
存在するPVAフィルム（代表的な吸湿性樹脂層）、ひい
ては多層フィルムの望ましい乾燥状態を簡単に得ること
ができない。しかし、高温で10時間以上、場合によって
は、100時間以上にわたる徹底的な乾燥処理を行うこと
により、一旦望ましい乾燥状態が得られると、その小さ
な透湿度と相まって、優れて小さな透湿量を安定的に保
持し得る防湿フィルムを得ることができる。
本発明の防湿フィルムは、環境温度や湿度の変化によ
っても、その防湿性能に悪影響が出ることはない。ま
た、層構成を適宜選択することにより、可撓性を持たせ
ることが可能である。本発明は、これらの知見に基づい
て、完成するに至ったものである。
かくして、本発明によれば、ポリビニルアルコール、
エチレン−酢酸ビニル共重合体けん化物、またはポリア
ミドからなる吸湿性樹脂層（Ａ）の両面に直接または接
着剤層（Ｂ）を介して金属または非金属の酸化物薄膜
（Ｃ）が配置された層構成を含有する透明な多層フィル
ムからなり、該多層フィルムまたは該多層フィルムを構
成する吸湿性樹脂層（Ａ）を乾燥することによって得ら
れた、 （１）温度60℃、相対湿度90％で測定した透湿度が0.05
g/m2・24hr以下で、かつ、 （２）温度40℃、相対湿度100％で測定した50時間の透
湿量が0.15g/m2以下 であることを特徴とする防湿フィルムが提供される。
また、本発明によれば、ポリビニルアルコール、エチ
レン−酢酸ビニル共重合体けん化物、またはポリアミド
からなる吸湿性樹脂層（Ａ）の両面に直接または接着剤
層（Ｂ）を介して金属または非金属の酸化物薄膜（Ｃ）
が配置された層構成を含有する透明な多層フィルムから
なる防湿フィルムを製造する方法であって、該多層フィ
ルムまたは該多層フィルムを構成する吸湿性樹脂層
（Ａ）を乾燥する工程により、 （１）温度60℃、相対湿度90％で測定した透湿度が0.05
g/m2・24hr以下で、かつ、 （２）温度40℃、相対湿度100％で測定した50時間の透
湿量が0.15g/m2以下 の多層フィルムを形成することを特徴とする防湿フィル
ムの製造方法が提供される。
＜図面の簡単な説明＞ 図１は、防湿フィルムで封止されたEL素子の層構成の
一例を示す断面模式図である。
図２は、防湿フィルムで封止されたEL素子の層構成の
他の例を示す断面模式図である。
図３ないし図８は、本発明の防湿フィルムが含有する
層構成の具体例を示す断面模式図である。
図９は、本発明の実施例で使用しているEL素子の断面
模式図である。
図10は、本発明の実施例１で作成した防湿フィルムの
断面模式図である。
図11は、本発明の実施例２で作成した防湿フィルムの
断面模式図である。
＜発明を実施するための最良の形態＞ 図１は、本発明が対象とするEL素子の一例を示す断面
模式図である。図１に示すEL素子は、電極２を設けた基
板３と、電極４を設けた基板５により、発光層１を挟持
してなるEL素子本体を、一対の防湿体６及び７間に封止
してなる構造を有する。一対の電極２及び４には、それ
ぞれリード電極が接続され、外部電源からの給電によ
り、発光層１に電界を印加する構成となっている。
発光層１は、粉末螢光体を有機または無機のバインダ
中に分散させた分散型でもよいし、螢光体の薄膜からな
る薄膜型でもよい。螢光体は、無機螢光体でも有機螢光
体でもよい。また、発光層は、特開平７−135080号公報
に開示されるような螢光体を有機−無機複合マトリクス
中に分散させたハイブリッド型発光層であってもよい。
基板３及び５は、例えば、プラスチックフィルム、ガラ
ス板、金属板等からなり、その少なくとも一方を透明と
して、発光層からの光が外部に透過するようにする。な
お、本明細書において、「透明」とは、発光層からの光
を透過し得る程度に透明であることを意味する。
各基板上に設けた電極２及び４は、金属やITO（イン
ジウム−すず複合酸化物）等の金属酸化物等から形成さ
れ、その少なくとも一方を透明として、発光層からの光
が外部に透過するようにする。したがって、基板−電極
の複合体の一方は、不透明でもよく、その場合、一方の
基板−電極複合体（例えば、基板５と電極４との複合
体）をアルミニウム箔などの一枚の金属板で構成して、
基板兼電極としてもよい。
このような発光層１、基板３及び５、並びに電極２及
び４からなるEL素子本体は、一つとは限らず、複数個を
平面的に並べたり、あるいは縦に積層し、これら複数個
のEL素子本体をまとめて一対の防湿体６及び７間に封止
することもできる。
一対の防湿体６及び７の少なくとも一方は、本発明の
防湿フィルムにより構成するが、必要に応じて、他方は
ガラス基板または金属板であってもよい。そして、例え
ば、一方の防湿体７がガラス基板である場合、その上の
基板５を省略し、電極４を直接ガラス基板上に設けても
よい。また、一対の防湿体６及び７が、いずれも本発明
の防湿フィルムである場合、それらは、一枚の防湿フィ
ルムの折り返し体であってもよい。このように、防湿体
の一部は、ガラス基板や金属板であってもよい。したが
って、EL素子は、EL素子本体を少なくとも一部が防湿フ
ィルムである防湿体により封止してなるEL素子を包含す
る。
図２は、本発明が対象とするEL素子の他の一例を示す
断面模式図である。図２に示すEL素子は、透明導電フィ
ルム（ITO）23と背面電極（Al箔）26との間に、有機バ
インダで固めた粉末蛍光体からなる発光層24とその片側
に絶縁破壊防止用の誘電体層25を挟んだ構造を有するも
のである。さらに、図２のEL素子では、除湿用の吸湿フ
ィルム22及び27を挿入し、防湿フィルム21及び28で封止
して柔軟性を持たせてある。
本発明では、防湿フィルムとして、吸湿性樹脂層
（Ａ）の両面に直接または接着剤層（Ｂ）を介して金属
または非金属の酸化物薄膜（Ｃ）が配置された層構成を
含有する透明な多層フィルムからなり、特定の透湿度及
び透湿量を有するものを使用する。
酸化物薄膜（Ｃ）は、吸湿性樹脂層（Ａ）の片面また
は両面に形成されていてもよいが、他の透明樹脂層
（Ｄ）の上に形成されていてもよい。ただし、酸化物薄
膜（Ｃ）は、それが蒸着により形成された面とは反対側
の面上には、接着剤層（Ｂ）が配置されており、それに
よって、他の層と接着させると共に、酸化物薄膜（Ｃ）
を保護してクラックの発生を防止し、さらには、防湿性
能を一段と高める役割を果たす。
本発明の防湿フィルムは、代表的には、図３〜図８に
示すような基本的な層構成を含むものであり、これら
に、必要に応じて、さらに同種または異種の付加的な層
を積層することができる。
図３には、吸湿性樹脂層（Ａ）33の両面に酸化物薄膜
（Ｃ）32及び34を形成した複合フィルムＸを用い、その
両面に、それぞれ接着剤層ａを介して、透明樹脂層
（Ｄ）31及び35が積層されている構造の層構成が示され
ている。
図４には、吸湿性樹脂層（Ａ）43の片面に酸化物薄膜
（Ｃ）42を形成した複合フィルムＸの片面に、接着剤層
ａを介して透明樹脂層（Ｄ）41を積層し、他面には、透
明樹脂層（Ｄ）45の片面に酸化物薄膜（Ｃ）44を形成し
た複合フィルムＹを接着剤ａを介して積層した構造の層
構成が示されている。
図５には、透明樹脂層（Ｄ）51の片面に酸化物薄膜
（Ｃ）52を形成した複合フィルムＸと、透明樹脂層
（Ｄ）55の片面に酸化物薄膜（Ｃ）54を形成した複合フ
ィルムＹとを、それぞれ接着剤層ａを介して、吸湿性樹
脂層（Ａ）53の両面に積層した構造の層構成が示されて
いる。
図６には、透明樹脂層（Ｄ）61の片面に酸化物薄膜
（Ｃ）62を形成した複合フィルムＸと、透明樹脂層
（Ｄ）66の片面に酸化物薄膜（Ｃ）65を形成した複合フ
ィルムＺとを、吸湿性樹脂層（Ａ）64の片面に酸化物薄
膜（Ｃ）63を形成した複合フィルムＹの両面に、それぞ
れ接着剤層ａを介して積層した構造の層構成が示されて
いる。
図７には、透明樹脂層（Ｄ）71の片面に酸化物薄膜
（Ｃ）72を形成した複合フィルムＸと、透明樹脂層
（Ｄ）76とを、吸湿性樹脂層（Ａ）74の両面に酸化物薄
膜（Ｃ）73及び75を形成した複合フィルムＹの両面に、
それぞれ接着剤層ａを介して積層した構造の層構成が示
されている。
図８には、透明樹脂層（Ｄ）81の片面に酸化物薄膜
（Ｃ）82を形成した複合フィルムＸと、透明樹脂層
（Ｄ）87の片面に酸化物薄膜（Ｃ）86を形成した複合フ
ィルムＺとを、吸湿性樹脂層（Ａ）84の両面に酸化物薄
膜（Ｃ）83及び85を形成した複合フィルムＹの両面に、
それぞれ接着剤層ａを介して積層した構造の層構成が示
されている。
したがって、本発明の防湿フィルムは、 （ｉ）吸湿性樹脂層（Ａ）の両面に直接または接着剤層
（Ｂ）を介して酸化物薄膜（Ｃ）が配置され、さらに、 （ii）各酸化物薄膜（Ｃ）上に直接または接着剤層
（Ｂ）を介して透明樹脂層（Ｄ）または酸化物薄膜
（Ｃ）が形成された透明樹脂層（Ｄ）が配置された層構
成 を含有する多層フィルムが好ましく、その基本構成の代
表的な例としては、以下のような層構成を挙げることが
できる。
（１）透明樹脂層（D1）／接着剤層（B1）／酸化物薄膜
（C1）／吸湿性樹脂層（Ａ）／酸化物薄膜（C2）／接着
剤層（B2）／透明樹脂層（D2）、 （２）透明樹脂層（D1）／接着剤層（B1）／酸化物薄膜
（C1）／吸湿性樹脂層（Ａ）／接着剤層（B2）／酸化物
薄膜（C2）／透明樹脂層（D2）、 （３）透明樹脂層（D1）／酸化物薄膜（C1）／接着剤層
（B1）／吸湿性樹脂層（Ａ）／接着剤層（B2）／酸化物
薄膜（C2）／透明樹脂層（D2）、 （４）透明樹脂層（D1）／酸化物薄膜（C1）／接着剤層
（B1）／酸化物薄膜（C2）／吸湿性樹脂層（Ａ）／接着
剤層（B2）／酸化物薄膜（C3）／透明樹脂層（D2）、 （５）透明樹脂層（D1）／酸化物薄膜（C1）／接着剤層
（B1）／酸化物薄膜（C2）／吸湿性樹脂層（Ａ）／酸化
物薄膜（C3）／接着剤層（B2）／透明樹脂層（D2）、及
び （６）透明樹脂層（D1）／酸化物薄膜（C1）／接着剤層
（B1）／酸化物薄膜（C2）／吸湿性樹脂層（Ａ）／酸化
物薄膜（C3）／接着剤層（B2）／酸化物薄膜（C4）／透
明樹脂層（D2）。
本発明の多層フィルムは、前記の如き基本構成の多層
フィルムの少なくとも一方の面に、直接または接着剤層
（Ｂ）を介して、透明樹脂層（Ｄ）及び酸化物薄膜
（Ｃ）が形成された透明樹脂層（Ｄ）からなる群より選
ばれる少なくとも一層の付加的な層がさらに配置されて
いてもよい。
吸湿性樹脂層（Ａ）は、それ自体が吸湿性の樹脂を用
いても、吸湿性または非吸湿性の樹脂と塩化カルシウム
のような吸湿性化合物とを混合して得られる吸湿性の樹
脂組成物によって構成してもよい。吸湿性樹脂として
は、例えば、ポリ酢酸ビニル（部分）けん化物であるポ
リビニルアルコール（PVA）、エチレン−酢酸ビニル共
重合体けん化物（EVOH）、ポリアミド等を挙げることが
できる。これらの中でもPVAが好ましい。PVAとしては、
けん化度が通常90％以上、好ましくは95％以上、より好
ましくは99％以上のものが望ましい。PVAフィルムを用
いると、乾燥処理を徹底的に行えば行うほど、初期水分
量を低減できると共に、透湿量を少なくすることがで
き、その結果、実用的な高度の防湿性能を有する防湿フ
ィルムを得ることができ、その防湿性能は、環境温度や
湿度の変化によっても、損なわれることがない。
非吸湿性樹脂の例としては、ポリオレフィン、ポリエ
ステル、ポリ塩化ビニル、塩化ビニリデン共重合体等が
挙げられる。塩化カルシウム等の吸湿性化合物の添加に
より、吸湿性樹脂層（Ａ）の透明性は若干損なわれるこ
とがあるが、発光層からの発光を透過し得るだけの透明
性は充分維持し得る。吸湿性樹脂層（Ａ）の厚さは、通
常５〜400μｍ、好ましくは10〜200μｍである。本発明
の多層フィルムでは、必要に応じて接着剤層を介して、
複数の吸湿性樹脂層を積層してもよい。つまり、透明樹
脂層（Ｄ）として、吸湿性樹脂層を一層以上配置するこ
ともできる。
金属または非金属の酸化物薄膜（Ｃ）を構成する酸化
物としては、透明性を有し適度な屈曲性を有する薄膜を
与えるものであれば特に限定されない。金属酸化物とし
ては、例えば、Al、Zn、Sn、In、Ti、またはこれらのい
ずれかの二種以上の金属の酸化物が挙げられる。非金属
の無機酸化物としては、SiO、SiO2またはこれらの混合
物などのケイ素酸化物が代表的なものであり、本発明に
おいて、特に好ましく用いることができる。ケイ素酸化
物薄膜中には、10重量％以下の少量であれば、不純物と
して、カルシウム、マグネシウム、またはそれらの酸化
物などが混入していてもよい。
酸化物薄膜（Ｃ）の厚さは、通常10〜500nm、好まし
くは20〜200nmである。この厚さが薄すぎると、防湿性
能が不充分となり、厚すぎると、フィルムにカールが発
生したり、酸化物膜自体に亀裂や剥離が生じやすくな
る。
酸化物薄膜は、吸湿性樹脂層（Ａ）や透明樹脂層
（Ｄ）の上に、通常は蒸着法により形成されるが、それ
が形成された面とは反対側の面には接着剤層が設けられ
る。接着剤層を設けることにより、防湿性能が一段と高
められる。接着剤層を構成する接着剤としては、熱硬化
性接着剤、熱可塑性接着剤、エラストマー接着剤のいず
れでもよいが、好適には熱硬化性接着剤が用いられる。
いずれの場合も熱処理することが望ましい。熱処理は、
接着剤をはじめ各層を構成する樹脂成分が分解しない限
り、高温で長時間行うことが好ましい。熱処理時間は、
高温ほど短時間で済み、生産性の観点から好ましい。熱
処理時間は、層構成に依存することはいうまでもない。
本発明の多層フィルムは、透明樹脂層（Ｄ）などの付
加的な層を適宜配置することができる。そこで、以下、
付加的な層について説明する。例えば、図３に示すよう
な一枚の吸湿性樹脂層（Ａ）の両面に酸化物薄膜（Ｃ）
を形成すると、一般に、このような複合フィルムを含有
する多層フィルムの可撓性が低下するので、特に高度の
可撓性が要求される分野では使用が困難となる場合があ
る。また、このような複合フィルムを含有する多層フィ
ルムを防湿フィルムとして使用すると、折り曲げの際
に、特に外側に位置する酸化物薄膜（Ｃ）に亀裂が発生
し、防湿性能が損なわれることがある。したがって、一
般には、一枚のフィルムには、蒸着等によりその片面に
のみ酸化物薄膜（Ｃ）を形成し、このように片面に酸化
物薄膜（Ｃ）を形成した複合フィルムの２枚を、接着剤
層を介して接合することが好ましい。つまり、可撓性の
観点からは、図４〜図６に示す層構成により、吸湿性樹
脂層（Ａ）を一対の酸化物薄膜（Ｃ）により挟持する構
成を採ることが好ましい。
ただし、可撓性がそれほど要求されない用途分野で
は、図３、図７及び図８の層構成を含有する多層フィル
ムを使用することが可能である。これらの場合において
も、吸湿性樹脂層（Ａ）の両面に酸化物薄膜（Ｃ）を形
成した複合フィルムの両面に、他の透明樹脂層（Ｄ）ま
たは酸化物薄膜（Ｃ）を片面に形成した複合フィルム
を、接着剤層（Ｂ）を介して接合することにより、酸化
物薄膜（Ｃ）を保護することができる。接着剤層として
は、例えば、厚みが１〜50μｍ程度のウレタン系、アク
リル系、ポリエステル系等の接着剤からなる層が用いら
れる。
付加的な層としては、透明樹脂層（Ｄ）または酸化物
薄膜（Ｃ）を形成した透明樹脂層（複合フィルム）が代
表的なものである。透明樹脂層を形成する樹脂は、吸湿
性樹脂でも非吸湿性樹脂であってもよい。好ましい非吸
湿性樹脂からなる透明樹脂層（Ｄ）としては、80℃以下
での形態安定性が高く、防湿性能の高いポリエステル
系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニリデン系等の延伸
または未延伸フィルムが例示される。透明性樹脂層を形
成する樹脂材料としては、この他に、例えば、ポリフェ
ニレンスルフィド、ポリサルフォン、ポリアリーレー
ト、ポリイミド等の耐熱性樹脂を挙げることができる。
これら樹脂には、紫外線吸収剤やEL素子の色変換を行う
ための顔料等を混合することもできる。
また、付加的な層として、例えば、PVAとポリ（メ
タ）アクリル酸またはその部分中和物との混合物から形
成した熱処理フィルム（特開平６−220221号公報）、糖
類とポリ（メタ）アクリル酸またはその部分中和物との
混合物から形成した熱処理フィルム（特開平７−165942
号公報）などのガスバリヤー性フィルム、これらのガス
バリヤー性フィルムを熱可塑性樹脂層の少なくとも片面
に形成した複合フィルムなどを使用することができる。
酸化物薄膜（Ｃ）は、吸湿性樹脂または非吸湿性樹脂
からなる基材フィルム上に、真空蒸着法、イオンプレー
ティング法、スパッタリング法、反応蒸着法などにより
形成することができる。このうち反応蒸着法は、金属、
金属酸化物、またはこれらの混合物を蒸着原料とし、酸
素ガスを供給しながら蒸着を行う方法である。このよう
な方法は、ケイ素、ケイ素酸化物、またはこれらの混合
物を用いても行うことができる。
酸化物薄膜（Ｃ）の形成に先立って、酸化物薄膜と基
材フィルムとの間の接着強度を上げるため、アンカーコ
ート剤を使用することができる。好適なアンカーコート
剤としては、イソシアネート系、ポリエチレンイミン
系、有機チタン系などの接着促進剤、及びポリウレタ
ン、ポリエステル系などの接着剤を挙げることができ
る。さらに、アンカーコート剤として、ポリエチレン
系、ポリエステル系、ポリアミド系の無溶剤タイプの接
着剤を使用してもよい。したがって、本発明では、基材
フィルム面上に、これらのアンカーコート剤を介して酸
化物薄膜が形成された複合フィルムを使用する場合を包
含する。
また、透明樹脂層（Ｄ）として、吸湿性樹脂または非
吸湿性樹脂のフィルムを、酸化物薄膜（Ｃ）を形成する
ことなく単独で、接着剤層を介して接合するか、熱融着
させることにより、付加的な層を形成することも好まし
い。これは、酸化物薄膜（Ｃ）を形成した複合フィルム
のみを積層したのでは、得られる多層フィルムの耐折り
曲げ性が低下するので、柔軟性を高めるため、あるいは
外表面の強度を向上させるために有効だからである。
上記したような吸湿性樹脂層（Ａ）以外の個々のフィ
ルム（透明樹脂層）の厚さは、通常５〜400μｍ、好ま
しくは10〜200μｍ程度である。
付加的な層の一部として、多層フィルム全体の水蒸気
バリアー性を向上させるために、吸湿性樹脂層または非
吸湿性樹脂層の少なくとも一方の面に酸化物薄膜（Ｃ）
を形成した複合フィルムを一つ以上積層することができ
る。この場合、各複合フィルムの酸化物薄膜同士を接着
剤層を介して積層してもよいし、酸化物薄膜面と他の透
明樹脂層の面とを積層してもよい。
本発明の多層フィルムには、最内層としてヒートシー
ル可能な透明樹脂層を付加的に配置することができる。
他方の防湿体との接合のために、例えば、厚さ10〜300
μｍのポリオレフィン系、エポキシ系等のホットメルト
型シーラント層が設けられることも好ましい。このよう
なシーラント層は、透明であるため、一種の透明樹脂層
であるということができる。このようなホットメルト型
シーラント層は、本発明の防湿フィルムを用いてEL素子
本体を封入する段階で、防湿フィルムの一方または両方
のEL素子本体を包囲する部位にのみ設けることもでき
る。
本発明の最外層を形成する付加的な層としては、耐熱
性を有する透明樹脂層が好ましい。最外層を耐熱性透明
樹脂層とすることにより、EL素子の耐熱性を上げること
ができるだけではなく、ヒートシールする場合に、ヒー
トシール性を高めることができる。このような耐熱性透
明樹脂層としては、融点またはビカット軟化点が100℃
以上、好ましくは120℃以上、より好ましくは150℃以上
の熱可塑性樹脂フィルムを挙げることができる。より具
体的には、延伸または未延伸ポリプロピレンフィルム、
延伸または未延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム
などを挙げることができる。
上記したような付加的な内層及び外層を含めた多層フ
ィルムの全体の厚さは、透明性を損なわない限り限定さ
れるものではないが、多くの場合、30〜1000μｍ、好ま
しくは50〜500μｍである。
本発明の防湿フィルムを構成する透明多層フィルム
は、（１）温度60℃、相対湿度（RH）90％の条件下での
透湿度（水蒸気バリアー性の一つの尺度）が0.05g/m2・
24hr以下、好ましくは0.04g/m2・24hr以下、より好まし
くは0.03g/m2・24hr以下であって、かつ、（２）40℃、
100％RHの条件下で50時間の透湿量（多層フィルムの初
期吸水量の影響を受ける水蒸気バリアー性の尺度）が0.
15g/m2以下、好ましくは0.13g/m2以下、より好ましくは
0.10g/m2以下のものである。透湿量は、最も好ましくは
0.05g/m2以下とすることができる。
本発明者らの研究結果によれば、通常のフィルムの場
合には、透湿度と透湿量は、測定温度や時間を始めとす
る諸条件が同じであれば、測定法と単位は異なっている
ものの、ほぼ1:1の対応関係を示す。しかしながら、両
面に酸化物薄膜（Ｃ）のような透湿性の低い層を隣接す
る吸湿性樹脂層（Ａ）を含有する多層フィルムにおいて
は、透湿性の低い層が形成される前に、通常の製造条件
下では、吸湿性樹脂層（Ａ）が吸湿によりある程度の水
分量を含有することにある。この吸湿による水分量（初
期吸水量）は、透湿度に対しては本質的な影響を与えな
いが、透湿量を増大させ、EL素子のパッケージフィルム
としての実用的な防湿性能を左右することが判明した。
すなわち、吸湿性樹脂層（Ａ）の初期吸水量が大きい
と、その影響を受けて、透湿量が増大する傾向を示す。
本発明の多層フィルム（防湿フィルム）を規定する透
湿度は、後述の濾紙封入法によるものであり、透湿量
は、モダンコントロール社製水蒸気透過試験機（PERMAT
RAN−W3/31SW）を用い、ASTM F1249（JIS K7129B法に
対応）により求めた累積透湿量である。透湿度と透湿量
の測定法を異にしているのは、EL素子の長時間輝度試験
に相当する過酷試験にふさわしい条件、すなわち、60
℃、90％RHの雰囲気下にEL素子を750時間放置するよう
な条件で、透湿度を測定できる測定方法を求める必要が
あったのに対し、このような条件で、透湿度と透湿量を
同時に測定できる装置がないためである。
本発明では、以下の方法により、透湿量を測定する。
ASTMF1249（JIS K7129B法）に準拠のモダンコントロー
ル社製水蒸気透過試験機のPERMATRAN−W3/31SWにより、
透湿量を測定する。具体的には、測定対象のフラットな
多層フィルム（試験片）を拡散セルに固定し、拡散セル
を試験片によって乾燥室と調湿室に隔てる。拡散セル全
体が40℃に置かれているので、経時により、試験片の温
度も40℃になる。試験片により隔てられる前から、乾燥
室は、乾燥窒素流に曝されており、一方の調湿室は、蒸
留水を含ませたスポンジを用いて100％RHに曝されつ
つ、窒素流下にある。試験片により隔てられていない時
には、両室は、乾燥窒素流と100％RHの混在状態となっ
ている。試験片によって両室が隔てられた後も、しばら
くの間は、乾燥室及び調湿室ともに、それぞれ本来の湿
度であるべき０％RH及び100％RHにはならないが、試験
片で隔てられて１時間程度が経過すれば、それぞれ本来
の湿度に至っているので、この時点から透湿度の測定を
開始する。試験片を通して乾燥室に透過してくる水蒸気
は、乾燥窒素流中に混ざり、赤外センサーまで運ばれ
る。この赤外センサーを用い、水蒸気によって吸収され
る赤外エネルギーの割合を測定して電気信号として取り
出して、これによって、水蒸気透過度を算出する。水蒸
気透過度は、通常、１時間おきに測定する。この水蒸気
透過度の50時間にわたる積分値（累積水蒸気透過量）を
透湿量とする。この測定方法では、40℃、100％RHの条
件で透湿量を測定しているが、一般に、40℃、90％RHの
条件で測定することが求められる場合があるので、前記
方法で得られた透湿量に0.9を掛けることにより、40
℃、90％RHの条件下での透湿量とすることができる。乾
燥した多層フィルム中のPVAの水分量を直接測定するこ
とは困難であるが、透湿量を測定することにより、その
防湿性能の基準とすることができる。
本発明では、濾紙封入法により透湿度を測定する。具
体的には、多層フィルム２枚の間にEL素子代替物の濾紙
を入れて封止する。封止は、EL素子本体を封止するのと
同様な方法でなされる。すなわち、ホットメルト型シー
ラントで封止される面を内側にし、向き合う形で、ある
いはヒートシール性樹脂シーラント層同士を内側にし、
対向させる形でなされる。EL素子代替物としては、100m
m×100mmのワットマン（Whatman）濾紙No.2を３枚、150
℃で２時間乾燥した後、重ねたものを用いる。ヒートシ
ールは、シール可能な温度で２本の加熱ゴムロールの間
を通して多層フィルムの四辺に対して、幅15mm（シール
幅）でなされる。上記のようにして得られた濾紙封入サ
ンプルを、それぞれ５個ずつ60℃、90％RHの雰囲気下に
750時間放置する。この方法で得られた重量増加分をW0
と表示する。W0は、測定時までに多層フィルムの面から
とシール部から透過した合計水分量である。
濾紙と多層フィルムとの間に、大きさが100mm×100mm
で、実質的に透湿度がゼロである厚さが50μｍのアルミ
ニウム箔を濾紙の上下各々に１枚ずつ入れた以外は、上
記方法と同じ方法で測定した重量増加分をW1と表示す
る。W1も、測定時までに多層フィルムの面からとシール
部から透過した合計水分量である。シール部からの水分
の透過量は、W0及びW1との間に差異はない。また、W
1は、アルミニウム箔で水分の浸透を防いで測定した値
である。したがって、両者の差（W0−W1）は、多層フィ
ルムのフィルム面から透過した水分量である。すなわ
ち、この差は、多層フィルムのフィルム面の100mm×100
mmの面積部分を垂直に透過して濾紙に吸収された水分
量、換言すれば、多層フィルムの規格化された面積にお
ける厚さ方向の透湿能の尺度としての透湿量が求められ
る。これから、常法に従って、24時間（24hr）当たりの
透湿度を求めたものが、本発明でいう透湿度である。
上記透湿度も、理論的には、多層フィルムの初期吸水
量の影響を受けないとはいえない。しかし、全体として
測定される吸湿量は、60℃、90％RH、750時間という過
酷な条件で測定されるので、その間にフィルムを透過す
る水分量に比べて、初期吸水量が無視できる程度にな
る。このため、上記透湿度は、初期吸水量（当初吸湿水
分量）の影響を除いた水蒸気バリアー性の重要な尺度と
なり得るものである。
上記の透湿度及び透湿量の要件を満たす透明な多層フ
ィルム（防湿フィルム）を形成するには、乾燥条件に留
意する必要がある。すなわち、吸湿性樹脂層（Ａ）の両
側に透湿度の低い酸化物薄膜（Ｃ）を隣接して有する本
発明の防湿フィルムは、その製造過程で、通常の製造条
件にしたがって、吸湿性樹脂層（Ａ）の吸湿水分量を特
にコントロールしないで製造した後には、吸湿性樹脂層
（Ａ）中に既に存在する吸湿水分量を透湿度の低い酸化
物薄膜（Ｃ）を通して短時間の乾燥により所定の吸湿水
分量を与えるレベルまで減少させることはできない。し
たがって、防湿フィルムの製造過程で、吸湿性樹脂層
（Ａ）に直接または接着剤層を介して、両側に酸化物薄
膜（Ｃ）を配置する前に、吸湿性樹脂層（Ａ）を予め充
分に乾燥させておくか、絶乾状態またはそれに近い状態
で製膜した吸湿性樹脂層（Ａ）を用いて防湿フィルムを
形成するのが効率的である。しかし、一旦、酸化物薄膜
（Ｃ）間に挟持された吸湿性樹脂層（Ａ）を含有する多
層フィルムを形成した後であれば、長時間の乾燥工程を
要する。このような乾燥時間は、既に吸湿した水分量の
多寡、積層樹脂の種類、特に吸湿性樹脂の吸湿能力や、
ガスバリヤー層のバリヤーの程度、各層の厚さ、層構成
（特に何枚積層されているか）、酸化物薄膜（Ｃ）が何
層あるか等、さらには、乾燥条件等によっても異なる。
乾燥条件としては、多層フィルムまたは多層フィルム
を構成する吸湿性樹脂（Ａ）を、常圧下または減圧下
に、35〜150℃の温度で、少なくとも10時間乾燥する方
法が好ましい。特に、多層フィルムを作成した後に乾燥
する場合には、35〜150℃、好ましくは40〜120℃の温度
で、常圧下に10時間以上、好ましくは30時間以上、より
好ましくは50時間以上、特に好ましくは100時間以上乾
燥する。減圧下では、1Torr以下の減圧下に、35〜150
℃、好ましくは40〜70℃で、10時間以上、好ましくは30
時間以上、より好ましくは50時間以上乾燥する。乾燥温
度が低い場合には、できるだけ長時間、例えば、100時
間以上、場合によっては、150時間以上乾燥することが
好ましい。さらに、常圧下での乾燥と減圧下での乾燥を
組み合わせる方法も好ましい。このように、徹底的に乾
燥することにより、多層フィルム、特に吸湿性樹脂層
（Ａ）が実質的に絶乾状態にまで乾燥する。それによっ
て、特に吸湿性樹脂層がPVAフィルムである場合、従来
知られていない顕著な防湿性能を達成することができ
る。この防湿性能は、前記の透湿量を測定することによ
り定量化することができる。
上記のようにして得られた多層フィルムからなる防湿
フィルムを用いて、EL素子本体を封止することにより、
EL素子が得られる。防湿フィルムを用いてEL素子本体を
封止するには、防湿フィルム自体に封止性能をもたせる
手段と、別な封止体を用いる手段のいずれか、あるいは
併用がなされる。
具体的には、（１）防湿フィルムの一方の面にホット
メルト型シーラント層を設け、あるいは設けることな
く、２枚の防湿フィルムあるいは１枚の防湿フィルムと
もう一方の防湿体であるガラス基板（または金属板な
ど）との間に、EL素子本体を置き、その周りをホットメ
ルト型シーラントで封止する、（２）防湿フィルムの一
方の面にポリエチレンのようなヒートシール性を有する
透明樹脂層をシーラント層として設け、２枚の防湿フィ
ルムの間にEL素子本体を置き、その周りを熱圧着により
封止する方法などが採用される。ホットメルト型シーラ
ントとしては、エポキシ樹脂が代表的な例である。
＜実施例＞ 以下、実施例、比較例、及び参考例により、本発明を
より具体的に説明する。物性の測定法は、次のとおりで
ある。
（１）透湿量：前述の通り。
（２）透湿度：前述の通り。
（３）EL素子の発光輝度維持率： EL素子サンプルを、相対湿度90％の条件下で500時間
放置した後、室温で、動作電圧100V、動作周波数400Hz
の電源に接続し、初期発光輝度LOを測定し、次いで、電
圧を印加したまま室温で750時間後の発光輝度L1を測定
し、発光輝度保持率を次式により算出した。
発光輝度保持率＝（L1/L0）×100（％） ［参考例１］ ケイ素酸化物薄膜が蒸着された二軸延伸ポリエチレン
テレフタレートフィルム〔蒸着PETフィルム；厚さ12μ
m;三菱化学興人パックス（株）製「テックバリアー
Ｔ」〕を乾燥処理（熱処理）することなく用いて、透湿
度を測定した。結果を表１に示す。
［参考例２］ 参考例１で用いたのと同じ蒸着PETフィルムを100℃で
100時間熱処理した後、透湿度を測定した。結果を表１
に示す。
［参考例３］ 参考例１で用いたのと同じ蒸着PETフィルムのケイ素
酸化物薄膜面上にポリウレタン系接着剤〔厚さ3.5μm;
東洋モートン（株）製「AD−502/CAT−10」〕を積層
し、さらに、その上に二軸延伸ポリエチレンテレフタレ
ートフィルム〔PETフィルム；厚さ16μm;ユニチカ
（株）製「EMBLET−Ｓ」〕を積層して、多層フィルムを
作製した。この多層フィルムを熱処理することなく用い
て、透湿度を測定した。結果を表１に示す。
［参考例４］ 参考例３で用いたのと同じ多層フィルムを100℃で100
時間熱処理した後、透湿度を測定した。結果を表１に示
す。
表１の結果から明らかなように、熱処理（長時間乾
燥）により透湿度が改善され、特にケイ素酸化物薄膜上
に接着剤層を設けた多層フィルムを熱処理すると透湿度
が大幅に改善される。ただし、基材フィルムが吸湿性樹
脂層ではなくPETフィルムで、かつ、両側にケイ素酸化
物薄膜と接着剤層を設けていないので、透湿度の水準自
体は、充分でない。
［実施例１］ 図９に示す構造のEL素子を、以下のようにして作製し
た。
＜EL素子本体の作製＞ シアノエチルポリビニルアルコール、チタン酸バリウ
ム粉末、及びN,N′−ジメチルホルムアミドを均一に混
合して、絶縁用ペーストを調製した。シアノエチルポリ
ビニルアルコール、ZnSに活性剤としてCuを加えた粉末
螢光体、及びN,N′−ジメチルホルムアミドを均一に混
合して、発光層用ペーストを調製した。
アルミニウム箔からなる背面電極97（厚さ70μｍ）上
に、絶縁用ペーストをスクリーン印刷して、絶縁層96
（厚さ30μｍ）を形成し、その上に、発光層用ペースト
をスクリーン印刷して、発光層95（厚さ40μｍ）を形成
した。
ポリエチレンテレフタレートフィルム93上に、ITO
（インジウム・すず複合酸化物）の透明な蒸着層94を形
成した透明導電性フィルム（厚さ75μｍ）を、前記の発
光層95上に重ね合わせ、ロールラミネーターにより加熱
圧着した。背面電極97と透明導電性フィルム上のITO層9
4からは、電極リード線を導出した。このようにして作
製したEL素子本体の両面に、それぞれ、エチレン−酢酸
ビニル共重合体からなる接着剤層（厚さ30μｍ）ａを介
して、ナイロンからなる吸湿フィルム（厚さ75μｍ）92
及び98を被覆した。以下、これをEL素子本体として使用
した。
＜防湿フィルムの作製＞ 図10に層構成を示す多層フィルムからなる防湿フィル
ムを作製した。この多層フィルムの層構成は、外面から
内面にかけて、次の通りである。
未延伸ポリプロピレンフィルム101〔厚さ50μm;東セ
ロ（株）製「RXC−18」〕、 ポリウレタン系接着剤層a1〔厚さ3.5μm;東洋モート
ン（株）製「AD−502/CAT−10」〕、 透明なケイ素酸化物薄膜103（厚さ127nm）が蒸着され
た二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム102
〔厚さ12μm;三菱化学興人パックス（株）製「テックバ
リアーＴ」〕、 ポリウレタン系接着剤層a2〔厚さ3.5μm;前記と同
じ〕、 透明なケイ素酸化物薄膜104（厚さ51nm）が蒸着され
た二軸延伸ポリビニルアルコールフィルム105〔厚さ12
μm;三菱化学興人パックス（株）製「テックバリアー
Ｓ」〕、 ポリウレタン系接着剤層a3〔厚さ3.5μm;前記と同
じ〕、 透明なケイ素酸化物薄膜（厚さ51nm）106が蒸着され
た二軸延伸ポリビニルアルコールフィルム107〔厚さ12
μm;前記と同じ〕、 ポリウレタン系接着剤層a4〔厚さ3.5μm;前記と同
じ〕、 未延伸ポリプロプレンフィルム108〔厚さ50μm;前記
と同じ〕、 ポリウレタン系接着剤層a5〔厚さ3.5μm;前記と同
じ〕、 未延伸ポリプロプレンフィルム109〔厚さ50μm;前記
と同じ〕、 ポリオレフィン系ホットメルト型シーラント層110
〔厚さ70μm;三井デュポン（株）製のEEA系ホットメル
ト接着剤「A710」〕。
上記の層構成の透明な多層フィルムは、ドライラミネ
ート法により、65℃で上記各ウレタン系接着剤層を介し
て各層を積層して作製した。図10中、Ｘ、Ｙ、及びＺ
は、各蒸着フィルムを示す。
このようにして作製した多層フィルムを、1Torr以下
の減圧下に、45℃で150時間、真空乾燥し、次いで、シ
リカゲル乾燥剤の入った密閉缶に入れて保管した。この
ように乾燥処理して得られた多層フィルムからなる防湿
フィルムについて、透湿度及び透湿量を測定した。結果
を表２に示す。
＜EL素子の作製＞ 前記で作製した防湿フィルム２枚を各ポリオレフィン
系ホットメルト型シーラント層110面で対向させ、その
間に前記で調製したEL素子本体を置き、140℃で加熱圧
着し、周辺をシールすることにより、EL素子本体を防湿
フィルム91及び99で封止した電解発光型EL素子を作製し
た。このEL素子を用いて、発光輝度保持率を測定した。
結果を表２に示す。
［比較例１］ 実施例１と同じ層構成の多層フィルムを、乾燥処理を
施さない他は実施例１と同様にして用いて、透湿度、透
湿量、及びEL素子の発光輝度保持率の測定を行った。結
果を表２に示す。
［実施例２］ ＜防湿フィルムの作製＞ 図11に層構成を示す多層フィルムからなる防湿フィル
ムを作製した。この多層フィルムの層構成は、外面から
内面にかけて、次の通りである。
二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム層111
〔厚さ16μm;ユニチカ（株）製「EMBLET−Ｓ」〕、 ポリウレタン系接着剤層a1〔厚さ3.5μm;東洋モート
ン（株）製「AD−502/CAT−10」〕、 透明なケイ素酸化物薄膜113（厚さ45nm）が蒸着され
た二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム112
〔厚さ12μm;三菱化学興人パックス（株）製「テックバ
リアーＨ」〕、 ポリウレタン系接着剤層a2〔厚さ3.5μm;前記と同
じ〕、 二軸延伸ポリビニルアルコールフィルム114〔厚さ25
μm;日本合成化学工業（株）製「ボブロン」〕、 ポリウレタン系接着剤層a3〔厚さ3.5μm;前記と同
じ〕、 透明なケイ素酸化物薄膜116（厚さ45nm）が蒸着され
た二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム115
〔厚さ12μm;前記と同じ〕、 ポリウレタン系接着剤層a4〔厚さ3.5μm;前記と同
じ〕、 二軸延伸ポリビニルアルコールフィルム117（厚さ25
μm;前記と同じ）、 ポリウレタン系接着剤層a5〔厚さ3.5μm;前記と同
じ〕、 透明なケイ素酸化物薄膜層118（厚さ45nm）が蒸着さ
れた二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム119
（厚さ12μm;前記と同じ）、 ポリウレタン系接着剤層a6〔厚さ3.5μm;前記と同
じ〕、 二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム120
（厚さ16μm;前記と同じ）、 ポリオレフィン系のホットメルト型シーラント層121
〔厚さ50μm;ヒロダイン工業（株）製「ヒロダイン758
9」〕。
前記のポリウレタン系接着剤層a6、二軸延伸ポリエチ
レンテレフタレートフィルム120、及びポリオレフィン
系ホットメルト型シーラント層121を除く各層につい
て、ドライラミネート法により65℃で各ポリウレタン系
接着剤層を介して積層して多層フィルムを作製した後、
常圧下、100℃で100時間乾燥した。
次いで、この多層フィルムの二軸延伸ポリエチレンテ
レフタレートフィルム119面上に、ポリウレタン系接着
剤層a6を介して二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフ
ィルム120を、ポリオレフィン系ホットメルト型シーラ
ント層121と共に、65℃でドライラミネートして透明な
多層フィルムを作製した。この多層フィルムを1Torr以
下の減圧下に50℃で50時間真空乾燥した。このように乾
燥処理して得られた多層フィルムからなる防湿フィルム
について、透湿度及び透湿量を測定した。また、この防
湿フィルムを用いたこと以外は、実施例１と同様にし
て、EL素子を作製し、発光輝度保持率を測定した。結果
を表２に示す。
［比較例２］ 実施例２と同じ層構成の多層フィルムを、乾燥処理を
施さない他は実施例２と同様にして用いて、透湿度、透
湿量、及びEL素子の発光輝度保持率の測定を行った。結
果を表２に示す。
［比較例３］ 実施例１の防湿フィルムの代わりにポリオレフィン系
ホットメルト型シーラント層（厚さ50μｍ）を片面に有
するポリ塩化三フッ化エチレンフィルム（厚さ200μ
ｍ）を用いた他は、実施例１と同様にして、透湿度、透
湿量、及びEL素子の発光輝度保持率を測定した。結果を
表２に示す。
＜産業上の利用可能性＞ 本発明によれば、ポリ塩化三フッ化エチレンフィルム
を主体とする従来の防湿フィルムと同等かそれより低い
透湿度を示し、かつ、ポリ塩化三フッ化エチレンフィル
ムを主体とする従来の防湿フィルムと同等あるいはそれ
以上の防湿性能を示す防湿フィルムが提供される。本発
明の防湿フィルムは、環境温度や湿度の変化に対して安
定した防湿性能を示すことができる。したがって、本発
明の防湿フィルムは、EL素子の防湿用のパッケージフィ
ルムとして特に好適である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松永 悟 茨城県新治郡玉里村大字上玉里18―13 呉羽化学工業株式会社樹脂加工技術セン ター内 (72)発明者 赤津 正道 茨城県新治郡玉里村大字上玉里18―13 呉羽化学工業株式会社樹脂加工技術セン ター内 (56)参考文献 特開 平２−258251（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−220221（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−135080（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−165942（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B32B 1/00 - 35/00 H05B 33/04

Claims (13)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ポリビニルアルコール、エチレン−酢酸ビ
    ニル共重合体けん化物、またはポリアミドからなる吸湿
    性樹脂層（Ａ）の両面に直接または接着剤層（Ｂ）を介
    して金属または非金属の酸化物薄膜（Ｃ）が配置された
    層構成を含有する透明な多層フィルムからなり、該多層
    フィルムまたは該多層フィルムを構成する吸湿性樹脂層
    （Ａ）を乾燥することによって得られた、 （１）温度60℃、相対湿度90％で測定した透湿度が0.05
    g/m2・24hr以下で、かつ、 （２）温度40℃、相対湿度100％で測定した50時間の透
    湿量が0.15g/m2以下 であることを特徴とする防湿フィルム。
  2. 【請求項２】多層フィルムが、 （ｉ）吸湿性樹脂層（Ａ）の両面に直接または接着剤層
    （Ｂ）を介して酸化物薄膜（Ｃ）が配置され、さらに、 （ii）各酸化物薄膜（Ｃ）上に直接または接着剤層
    （Ｂ）を介して透明樹脂層（Ｄ）または酸化物薄膜
    （Ｃ）が形成された透明樹脂層（Ｄ）が配置された層構
    成 を含有するものである請求項１記載の防湿フィルム。
  3. 【請求項３】多層フィルムが、 （１）透明樹脂層（D1）／接着剤層（B1）／酸化物薄膜
    （C1）／吸湿性樹脂層（Ａ）／酸化物薄膜（C2）／接着
    剤層（B2）／透明樹脂層（D2）、 （２）透明樹脂層（D1）／接着剤層（B1）／酸化物薄膜
    （C1）／吸湿性樹脂層（Ａ）／接着剤層（B2）／酸化物
    薄膜（C2）／透明樹脂層（D2）、 （３）透明樹脂層（D1）／酸化物薄膜（C1）／接着剤層
    （B1）／吸湿性樹脂層（Ａ）／接着剤層（B2）／酸化物
    薄膜（C2）／透明樹脂層（D2）、 （４）透明樹脂層（D1）／酸化物薄膜（C1）／接着剤層
    （B1）／酸化物薄膜（C2）／吸湿性樹脂層（Ａ）／接着
    剤層（B2）／酸化物薄膜（C3）／透明樹脂層（D2）、 （５）透明樹脂層（D1）／酸化物薄膜（C1）／接着剤層
    （B1）／酸化物薄膜（C2）／吸湿性樹脂層（Ａ）／酸化
    物薄膜（C3）／接着剤層（B2）／透明樹脂層（D2）、ま
    たは （６）透明樹脂層（D1）／酸化物薄膜（C1）／接着剤層
    （B1）／酸化物薄膜（C2）／吸湿性樹脂層（Ａ）／酸化
    物薄膜（C3）／接着剤層（B2）／酸化物薄膜（C4）／透
    明樹脂層（D2） の層構成を含有するものである請求項２記載の防湿フィ
    ルム。
  4. 【請求項４】多層フィルムが、その少なくとも一方の面
    に、直接または接着剤層（Ｂ）を介して、透明樹脂層
    （Ｄ）及び酸化物薄膜（Ｃ）が形成された透明樹脂層
    （Ｄ）からなる群より選ばれる少なくとも一層の付加的
    な層がさらに配置されている請求項２記載の防湿フィル
    ム。
  5. 【請求項５】多層フィルムが、その少なくとも一方の面
    に、直接または接着剤層（Ｂ）を介して、透明樹脂層
    （Ｄ）及び酸化物薄膜（Ｃ）が形成された透明樹脂層
    （Ｄ）からなる群より選ばれる少なくとも一層の付加的
    な層がさらに配置されている請求項３記載の防湿フィル
    ム。
  6. 【請求項６】多層フィルムが、その最外層に耐熱性の透
    明樹脂層（Ｄ）が配置されているものである請求項２な
    いし５のいずれか１項に記載の防湿フィルム。
  7. 【請求項７】多層フィルムが、その最内層にヒートシー
    ル可能な透明樹脂層が付加的に配置されているものであ
    る請求項２ないし５のいずれか１項に記載の防湿フィル
    ム。
  8. 【請求項８】金属または非金属の酸化物薄膜（Ｃ）が、
    ケイ素酸化物薄膜である請求項１記載の防湿フィルム。
  9. 【請求項９】吸湿性樹脂層（Ａ）が、ポリビニルアルコ
    ール層である請求項１記載の防湿フィルム。
  10. 【請求項１０】エレクトロルミネセンス素子用防湿フィ
    ルムである請求項１記載の防湿フィルム。
  11. 【請求項１１】ポリビニルアルコール、エチレン−酢酸
    ビニル共重合体けん化物、またはポリアミドからなる吸
    湿性樹脂層（Ａ）の両面に直接または接着剤層（Ｂ）を
    介して金属または非金属の酸化物薄膜（Ｃ）が配置され
    た層構成を含有する透明な多層フィルムからなる防湿フ
    ィルムを製造する方法であって、該多層フィルムまたは
    該多層フィルムを構成する吸湿性樹脂層（Ａ）を乾燥す
    る工程により、 （１）温度60℃、相対湿度90％で測定した透湿度が0.05
    g/m2・24hr以下で、かつ、 （２）温度40℃、相対湿度100％で測定した50時間の透
    湿量が0.15g/m2以下 の多層フィルムを形成することを特徴とする防湿フィル
    ムの製造方法。
  12. 【請求項１２】乾燥工程において、該多層フィルムまた
    は該多層フィルムを構成する吸湿性樹脂層（Ａ）を、常
    圧下または減圧下に、35〜150℃の温度で、少なくとも1
    0時間乾燥する請求項11記載の製造方法。
  13. 【請求項１３】吸湿性樹脂層（Ａ）が、ポリビニルアル
    コール層である請求項11記載の製造方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011131395A (ja) * 2009-12-22 2011-07-07 Mitsubishi Plastics Inc 吸湿層を有するガスバリア性積層体

Families Citing this family (60)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6146225A (en) * 1998-07-30 2000-11-14 Agilent Technologies, Inc. Transparent, flexible permeability barrier for organic electroluminescent devices
US6268695B1 (en) * 1998-12-16 2001-07-31 Battelle Memorial Institute Environmental barrier material for organic light emitting device and method of making
US7448258B2 (en) * 1999-10-29 2008-11-11 Avery Dennison Corporation High throughput screening for moisture barrier characteristics of materials
US6633121B2 (en) 2000-01-31 2003-10-14 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Organic electroluminescence display device and method of manufacturing same
JP4531913B2 (ja) * 2000-03-08 2010-08-25 株式会社クレハ 有機ｅｌ素子用透明電極板および有機ｅｌ素子
TWI299419B (en) * 2000-05-31 2008-08-01 Nitto Denko Corp Liquid crystal cell substrate and liquid crystal displays
JP4618862B2 (ja) * 2000-10-30 2011-01-26 大日本印刷株式会社 バリア性積層構造体を用いて封止された封止ｅｌ素子
US7211828B2 (en) 2001-06-20 2007-05-01 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device and electronic apparatus
TW548860B (en) 2001-06-20 2003-08-21 Semiconductor Energy Lab Light emitting device and method of manufacturing the same
TW546857B (en) * 2001-07-03 2003-08-11 Semiconductor Energy Lab Light-emitting device, method of manufacturing a light-emitting device, and electronic equipment
US8415208B2 (en) 2001-07-16 2013-04-09 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and peeling off method and method of manufacturing semiconductor device
US6637906B2 (en) * 2001-09-11 2003-10-28 Recot, Inc. Electroluminescent flexible film for product packaging
JP2003103718A (ja) * 2001-09-28 2003-04-09 Kuraray Co Ltd 多層構造体およびその用途
US7279831B2 (en) * 2002-04-10 2007-10-09 Flexcon Company, Inc. Hydro-insensitive electroluminescent devices and methods of manufacture thereof
JP2003347044A (ja) * 2002-05-30 2003-12-05 Sanyo Electric Co Ltd 有機ｅｌパネル
US20050181212A1 (en) * 2004-02-17 2005-08-18 General Electric Company Composite articles having diffusion barriers and devices incorporating the same
TW582186B (en) 2003-01-29 2004-04-01 Au Optronics Corp Method of fabricating organic light emitting display with passivation structure
DE10306811A1 (de) * 2003-02-18 2004-08-26 Siemens Ag Packaging organischer, Licht emittierender Dioden unter Verwendung von reaktivem Polyurethan
US7052772B2 (en) * 2003-08-14 2006-05-30 3M Innovative Properties Company Material for packaging electronic components
JP4313221B2 (ja) * 2004-02-17 2009-08-12 富士フイルム株式会社 ガスバリアフィルム
US7723627B2 (en) 2004-02-18 2010-05-25 Shin-Etsu Polmyer Co., Ltd. EL sheet and member for lighting push-button switch
US20050228465A1 (en) * 2004-04-09 2005-10-13 Christa Harris Thermal device for activatable thermochemical compositions
US7815854B2 (en) 2004-04-30 2010-10-19 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Electroluminescent illumination source for optical detection systems
US7796266B2 (en) 2004-04-30 2010-09-14 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Optical detection system using electromagnetic radiation to detect presence or quantity of analyte
US20050254227A1 (en) * 2004-05-13 2005-11-17 Bilodeau Wayne L Chemiluminescent light article
KR100683674B1 (ko) 2004-06-29 2007-02-20 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 소자 및 이의 제조 방법
KR100615228B1 (ko) * 2004-06-29 2006-08-25 삼성에스디아이 주식회사 흡습 능력이 개선된 유기 전계 발광 소자 및 그 제조방법
KR100656496B1 (ko) * 2004-09-21 2006-12-11 삼성에스디아이 주식회사 풀 칼라 유기 전계 발광 표시 소자 및 그 제조방법
KR100637201B1 (ko) * 2004-12-20 2006-10-23 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 소자 및 그 제조방법
WO2006088179A1 (ja) * 2005-02-21 2006-08-24 Kyodo Printing Co., Ltd. 吸着フィルム及び有機ｅｌデバイス
JP4573673B2 (ja) * 2005-02-28 2010-11-04 富士フイルム株式会社 水蒸気バリアフィルム
JP4425167B2 (ja) * 2005-03-22 2010-03-03 富士フイルム株式会社 ガスバリア性フィルム、基材フィルムおよび有機エレクトロルミネッセンス素子
JP4624152B2 (ja) * 2005-03-24 2011-02-02 富士フイルム株式会社 プラスチックフィルム、ガスバリアフィルム、およびそれを用いた画像表示素子
JP4663381B2 (ja) * 2005-04-12 2011-04-06 富士フイルム株式会社 ガスバリア性フィルム、基材フィルムおよび有機エレクトロルミネッセンス素子
JP4698310B2 (ja) * 2005-07-11 2011-06-08 富士フイルム株式会社 ガスバリア性フィルム、基材フィルムおよび有機エレクトロルミネッセンス素子
US20070164673A1 (en) * 2006-01-18 2007-07-19 Au Optronics Corporation Organic electro-luminescent display device and method for making same
JP4717674B2 (ja) * 2006-03-27 2011-07-06 富士フイルム株式会社 ガスバリア性フィルム、基材フィルムおよび有機エレクトロルミネッセンス素子
JP5162179B2 (ja) * 2007-07-31 2013-03-13 住友化学株式会社 発光素子およびその製造方法並びに照明装置
WO2012053451A1 (ja) 2010-10-21 2012-04-26 シャープ株式会社 有機ｅｌパネル、およびその製造方法
US8673184B2 (en) 2011-10-13 2014-03-18 Flexcon Company, Inc. Systems and methods for providing overcharge protection in capacitive coupled biomedical electrodes
US9818499B2 (en) 2011-10-13 2017-11-14 Flexcon Company, Inc. Electrically conductive materials formed by electrophoresis
JP2013161023A (ja) * 2012-02-08 2013-08-19 Sony Corp 表示装置および電子機器
KR20150120376A (ko) 2013-02-20 2015-10-27 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 박리 방법, 반도체 장치, 및 박리 장치
WO2014193571A1 (en) 2013-05-30 2014-12-04 3M Innovative Properties Company Poly(vinyl alcohol)-containing and silica nanoparticle multilayer coatings and methods
WO2014193572A1 (en) 2013-05-30 2014-12-04 3M Innovative Properties Company Poly(vinyl alcohol) and silica nanoparticle multilayer coatings and methods
WO2014193573A1 (en) 2013-05-30 2014-12-04 3M Innovative Properties Company Crosslinked poly(vinyl alcohol) and silica nanoparticle multilayer coatings and methods
CN103337595B (zh) * 2013-07-04 2016-04-06 上海和辉光电有限公司 柔性封装衬底及其制造方法和使用该衬底的oled封装方法
US9269914B2 (en) 2013-08-01 2016-02-23 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light-emitting device, electronic device, and lighting device
WO2015087192A1 (en) 2013-12-12 2015-06-18 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Peeling method and peeling apparatus
CN106660343B (zh) * 2014-06-20 2019-02-01 共同印刷株式会社 具备吸湿薄膜的吸湿性层叠体
KR101917543B1 (ko) * 2014-07-14 2018-11-09 후지필름 가부시키가이샤 복합 필름
EP3178647A4 (en) * 2014-08-07 2018-01-24 Toyo Seikan Group Holdings, Ltd. Laminate having moisture barrier properties
CN104699300B (zh) * 2015-03-05 2018-07-06 业成光电（深圳）有限公司 基板结构
JPWO2017164352A1 (ja) * 2016-03-24 2019-01-31 味の素株式会社 フィルムロール梱包体及びその製造方法
JP6714522B2 (ja) * 2017-01-24 2020-06-24 富士フイルム株式会社 波長変換フィルム
JP2019177645A (ja) 2018-03-30 2019-10-17 東洋製罐グループホールディングス株式会社 電子デバイス用バリアフィルム
CN109860413B (zh) * 2018-11-21 2021-06-08 信利半导体有限公司 柔性显示面板、装置及柔性显示面板的制备方法
JP6645562B1 (ja) * 2018-11-30 2020-02-14 株式会社明電舎 分解性樹脂成形体および分解性樹脂成形体の製造方法
US12011911B2 (en) 2020-03-25 2024-06-18 Flexcon Company, Inc. Isotropic non-aqueous electrode sensing material
CN112677586B (zh) * 2020-12-28 2021-11-23 福耀玻璃工业集团股份有限公司 可加热调光玻璃及其制备方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2820469B2 (ja) * 1988-12-05 1998-11-05 三菱化学株式会社 防湿フィルム
CA2004663A1 (en) 1988-12-05 1990-06-05 Tsutomu Sawada Moistureproof film
JP3340780B2 (ja) 1993-01-27 2002-11-05 呉羽化学工業株式会社 ガスバリヤー性フィルム及びその製造方法
JP2811540B2 (ja) 1993-10-20 1998-10-15 呉羽化学工業株式会社 ガスバリヤー性フィルム及びその製造方法
JPH07135080A (ja) 1993-11-11 1995-05-23 Yazaki Corp 有機・無機系ハイブリット型発光素子およびその製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011131395A (ja) * 2009-12-22 2011-07-07 Mitsubishi Plastics Inc 吸湿層を有するガスバリア性積層体

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