KR0137263B1

KR0137263B1 - 화상표시장치 및 화상표시장치의 제조방법

Info

Publication number: KR0137263B1
Application number: KR1019930009968A
Authority: KR
Inventors: 테쯔야 시라토리; 시게오 스즈키; 쯔토무 미타니
Original assignee: 모리시타 요이찌; 마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
Priority date: 1992-06-04
Filing date: 1993-06-03
Publication date: 1998-04-24
Also published as: DE69301005T2; DE69301005D1; EP0573027B1; EP0573027A1; KR940006396A; JP2558993B2; JPH0628987A

Abstract

본 발명은, 특히 전자빔을 사용한 평판형화상표시장치에 관한 것으로써, 전자빔제어전극을 「휘어짐」, 「꾸불꾸불함」과 같은 현상의 문제가 없고, 또한 구조물로서의 강성을 확보한 상태에서 적층, 고정하는 구조 및 그 공법을 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 적어도, 형광체스크린(3)을 형성한 페이스플레이트(1)와 전자빔통과구멍(6-a-1),(6-b-1),(6-c-1),(6-d-1),(6-e-1)을 각각 가진 복수매의 전자빔제어전극(6-a),(6-b),(6-c),(6-d),(6-e)을 적층하여 고정한 전극유닛(6)과, 전자원과, 내부를 진공으로 유지하는 용기로 이루어진 평판형화상표시장치에 있어서, 상기 전극유닛(6)을 구성하는 전자빔제어전극의 적층·고정구성은 제N매째의 전자빔제어전극의 전자빔통과구멍사이에 형성된 절연스페이서(10-a)와, 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 형성된 절연스페이서의 위치에 대응해서 제(N+1)매째의 전자빔제어전극에 형성된 앵커구멍과, 상기 제N매째와 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을, 상기 절연스페이서를 개재해서, 적층한 다음에, 적어도 상기 앵커구멍을 막아씌워서 용사막(10-b),(10-c),(10-d),(10-e)으로 이루어진 것을 특징으로 한 화상표시장치 및 그 제조방법을 제공한다.

Description

화상표시장치 및 화상표시장치의 제조방법

제 1 도는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 전극유닛의 일예의 주요부를 도시한 단면도

제 2 도는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 제조공정중의 전극유닛의 일예의 주요부를 도시한 사시도

제 3 도는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 전극유닛의 일예를 사용한 화상표시 장치의 주요부를 도시한 단면도

제 4 도는 앵커구멍의 주위에만 선택적으로 용사막(thermal spraying film)을 형성하는 제 1 예의 주요부를 도시한 단면도

제 5 도는 앵커구멍의 주위에만 선택적으로 용사막을 형성하는 제 2 예의 주요부를 도시한 단면도

제 6 도는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 전극모듈의 주요부를 도시한 단면도

제 7 도는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 전극유닛의 주요부를 도시한 단면도

제 8 도는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 전극유닛을 사용한 화상표시장치의 주요부를 도시한 단면도

제 9 도는 종래의 전극유닛의 제 1 예의 주요부를 도시한 단면도

제10도는 종래의 전극유닛의 제 1 예의 주요부를 도시한 사시도

제11도는 종래의 전극유닛을 사용한 화상표시장치의 제 2 예의 주요부를 도시한 단면도

제12도는 종래의 전극유닛을 사용한 화상표시장치의 제 1 예의 주요부를 도시한 단면도

제13도는 종래의 전극유닛을 사용한 화상표시장치의 제 2 예의 주요부를 도시한 단면도

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

(6) : 전극유닛

(6-a),(6-b),(6-c),(6-d),(6-e) : 전자빔제어전극

(6-a-1),(6-b-1),(6-c-1),(6-d-1),(6-e-1) : 전자빔통과구멍

(6-a-2),(6-b-2),(6-c-2),(6-d-2),(6-e-2) : 앵커구멍

(10-a) : 절연스페이서

(10-b),(10-c),(10-d),(10-e) : 용사막

본 발명은 특히 전자빔을 사용한 평판형화상표시장치에 관한 것이다.

이하, 도면을 참조하면서, 종래의 화상표시장치의 구성의 일예에 대해서 설명한다.

제 9 도는 종래의 전극유닛의 제 1 예의 주요부의 단면을 표시한다. 또, 제10도는 종래의 전극유닛의 일예의 주요부의 사시도를 표시한다. 또, 제11도는 종래의 전극유닛을 사용한 화상표시장치의 일예의 주요부의 단면도를 표시한다. 제11도에 있어서, (101)은 내면에 R·G·B로 이루어진 형광체스크린(103)을 도포한 표면용기를 겸한 페이스플레이트이고, (102)는 그 내면에 도전막에 의한 배면전극(104)를 형성한 이면용기이고, (105)는 선형상음극이고, (106)은 전자빔제어전극(106a),(106b),(106c)…(본 종래예에서는 (106e)까지 도시함)을 적층해서 이루어진 전극유닛이다. 상기 화상표시장치는 성형상음극(105)으로부터 발생한 전자빔은, 전자빔제어전극(106a),(106b),(106c)…에 형성된 전자빔통과구멍(106-a-1),(106-b-1)…을 통과하는 동안에 접속·편향·변조 등의 제어가 행해지고, 그후, R·G·B의 형광체스크린(103)에 충돌·발광시켜서 화상표시를 행하는 것이다.

여기서, 전극유닛(106)의 전자빔제어전극(106a),(106b),(106c),…상호의 적층·고정방법으로서는 제12도(a)에 도시한 바와 같이, 유리막대(110)를 코어로 사용하고, 그 둘레에 프릿유리(111)를 도포한 것을, 제12도(b)에 도시한 바와 같이, 전자빔통과구멍(106-a-1)사이 및 전자빔통과구멍(106-b-1)사이에 배치하고 제12도(c)에 도시한 바와 같이, 가압·스이온에 의한 프릿을 용해시켜서 접착하고 있다. 여기서, 전자빔제어전극(106a),(106b),(106c),…의 상호간의 유리막대(110)의 직경으로 유지된다.

이상과 같이 해서 만들어진 전극유닛(106)은, 상기 이면용기(102)에 프릿유리(107)에 의해 접착·고정된 포스트(108)에 의해, 주변부에서 지지·고정되어 있다.

또, 제13도는 종래의 전극유닛의 제 2 예의 주요부의 단면도를 표시한다.

전자빔제어전극(106a),(106b),(106c),…(본 종래예에서는 (106e)까지 도시함)의 적층·고정방법은, 전자빔제어전극 (106a),(106b),(106c),…의 상호간에는, 간격을 유지하기 위해서, 예를 들면 세라믹스으로 된 절연스페이서(120a),(120b),(120c),(120d),(120e)가 배치되고, 이 상태에서 전자빔제어전극(106a)에 접합된 체결핀(120)에 의해 체결하고 있다. 구체적으로는 체결핀(121)의 말단은 예를 들면 레이저빔에 의해 용해함으로써 확실하게 조여진다.

여기서, 전자빔제어전극(106a),(106b),(106c),…은 면형상이며, 따라서 체결핀(121)도 2차원으로 적당한 간격으로 배치된다. 그리고, 체결핀부(121)에 의해 전자빔제어전극(106a),(106b),(106c),(106d),(106e)을 이산적으로 적층·고정된다.

그러나 상기와 같은 방법으로는, 이하에 설명하는 바와 같은 문제점을 가지고 있었다.

먼저 제 1 예에서는, 전자빔제어전극을 접합하기 위해서는 프릿유리의 용융온도까지 승온시킬 필요가 있다. 그 때문에, 열팽창한 상태로 접합된 다음, 사온으로 냉각된다. 그러나 이 과정에서 「휘어짐」이 발생하는 경우가 많고, 따라서 완성된 전극유닛은 크게 휘어지는 경우가 많았다. 또 프릿을 용융시키는 공정에서, 온도의 프로필을 엄밀하게 관리할 수 있는 전기로를 사용하여야 하므로, 비용이 상승되고 또한 시스템의 효율이 저하한다고 하는 과제가 있었다.

또 제 2 예에서는 전자빔제어전극은 핀을 사용하는 구조에 의해 체결되기 때문에, 제 1 예와 같은 열팽창에 기인하는 「휘어짐」은 발생하지 않는다. 그러나, 이 구성의 경우에는, 체결핀부를 제외한 부분에서는 전자빔제어전극(106a),(106b),(106c),…의 적층간격을 규제하는 부재가 없기 때문에, 체결핀을 배치한 위치에 대응해서 「꾸불꾸불함」이 발생한다고 하는 과제가 있었다. 또, 전극유닛의 구조물로서의 강성(剛性)은 상당히 낮게 되고, 그 결과, 고정방법으로서 주변만을 고정하는 구성으로는 형상을 유지하여 설치할 수 없었다.

본 발명은 상기 문제점에 비추어, 전자빔제어전극을 「휘어짐」, 「꾸불꾸불함」이라는 과제를 극복하고, 또한 구조물로서의 강성을 확보한 상태에서 적층·고정하는 구조 및 그 공법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 문제점을 해결하기 위해서 본 발명의 전자원은 이하와 같다.

제 1 측면에 따른 본 발명은, 형광체스크린을 형성한 페이스플레이트와 전자빔통과구멍을 가진 복수매의 전자빔제어전극을 적층하여 고정한 전극유닛과, 전자원과, 내부를 진공으로 유지하는 용기를 적어도 구비한 평판형화상표시장치에 있어서, 상기 전극유닛을 구성하는 전자빔제어전극의 적층·고정구성은, 제N매째의 전자빔제어전극의 전자빔통과구멍사이에 형성된 절연스페이서와, 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 형성된 절연스페이서의 위치에 대응해서, 제(N+1)매째의 전자빔제어전극에 형성된 앵커구멍과, 상기 제N매째와 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을, 상기 절연스페이서를 개재해서, 적층한 다음에, 적어도 상기 앵커구멍을 막아씌워서 형성한 용사막(thermal spraying film)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 화상표시장치를 제공한다.

제 2 측면에 따른 본 발명은, 형광체스크린을 형성한 페이스플레이트와, 복수매의 전자빔제어전극을 적층하여 고정한 전극모듈을 소정의 간격으로 배치해서 이루어진 전극유닛과, 전자원과 내부를 진공으로 유지하는 용기를 적어도 구비한 평판형화상표시장치에 있어서, 상기 전극모듈을 구성하는 전자빔제어전극의 적층·고정구성은 제N매째의 전자빔제어전극이 적어도 대략 중앙부에 형성된 절연스페이서와, 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 형성된 절연스페이서의 위치에 대응해서, 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을, 상기 절연스페이서를 개재해서, 적층한 다음에, 적어도 상기 앵커구멍을 막아 씌워서 형성한 용사막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 화상표시장치를 제공한다.

제 3 측면에 따른 본 발명은, 복수매의 전자빔제어전극을 적층하고 고정해서 이루어지는 전극유닛을 제조하는 공정을 적어도 포함하는 화상표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 전극유닛의 제조공정은, 전자빔통과구멍을 가진 제N매째의 전자빔제어전극의 상기 전자빔통과구멍사이에 절연스페이서를 형성하는 공정과, 상기 절연스페이서의 위치에 대응해서 앵커구멍이 형성된 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을, 상기 절연스페이서를 개재해서, 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 적층하는 공정과, 상기 앵커구멍을 막아씌우도록 용사막을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 화상표시장치의 제조방법을 제공한다.

제 4 측면에 따른 본 발명은, 복수매의 전자빔제어전극을 적층하고 고정해서 이루어지는 전극모듈을 제조하는 공정과, 상기 모듈을 소정의 간격으로 배치하는 공정을 적어도 포함하는 화상표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 전극모듈의 제조공정은, 제N매째의 전자빔제어전극의 적어도 대략 중앙부에 절연스페이서를 형성하는 공정과, 상기 절연스페이서의 위치에 대응해서 앵커구멍이 형성된 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을, 상기 절연스페이서를 개재해서, 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 적층하는 공정과, 상기 앵커구멍을 막아씌우도록 용사막(thermal spraying film)을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 화상표시장치의 제조방법을 제공한다.

상기 구성에 의한 작용은 다음과 같이 된다.

제 1 측면에 따른 본 발명은, 평판형화상표시장치에 의한 전자빔의 구동등을 행하는 전극유닛으로서, 복수의 전자빔제어전극이 적층·고정된 구조를 가진다. N매째의 전자빔제어전극과 (N+1)매째의 전자빔제어전극으로 이루어진 전극유닛은, (N+1)매째의 앵커구멍을 씌워막도록 용사막을 형성하고, 이 용사막이 앵커구멍을 통과해서 N매째의 전자빔제어전극에 형성된 절연스페이서와 융착함으로써 적층·고정되는 구성을 가진다. 동시에, (N+1)매째의 전자빔제어전극에 형성된 용사막이 (N+2)매째의 전자빔제어전극의 적층·고정을 위한 절연스페이서가 된다. 그리고, 이 구조의 반복에 의해 복수매의 전자빔제어전극이 적층·고정되어, 전극유닛이 구성된다.

이 구조에 의하면, 전자빔제어전극의 접합수단인 용사막은 프릿유리 등에 비해 상당히 낮은 온도에서 형성할 수 있으며, 따라서 전자빔제어전극의 적층·고정시에, 열팽창에 따른 변형이 발생하지 않는다. 또, 동시에 다음의 전자빔제어전극의 적층·고정의 기준면에서도 겸용할 수 있고, 코스트적으로도 유리하다.

또, 접합면적, 즉, 앵커구멍의 크기를 적당하게 설정함으로써 적절한 구조물로서의 강성도 확보할 수 있다.

제 2 측면에 따른 본 발명은, 평판형화상표시장치에 의한 전자빔의 구동등을 행하는 전극유닛으로서, 복수의 전자빔제어전극이 적층·고정된 구조를 가진 복수의 전극모듈을 소정간격으로 배치한 구성을 가진다.

제 1 측면에 따른 본 발명의 작용에 부가하여, 특히 대화면일 때 문제가 되는 전극의 정밀도(초기가공의 정밀도 및 열변형 등의 경시변화)에 대해서 영향을 작게 하기 위해 모듈화한 것이다.

제 3 측면에 따른 본 발명은, 평판형화상표시장치에 의한 전자빔의 구동등을 행하는 전극유닛으로서, 복수의 전자빔제어전극을 적층하여 고정하는 제조방법이다. N매째의 전자빔제어전극과 (N+1)매째의 전자빔제어전극으로 이루어진 전극유닛은, (N+1)매째의 앵커구멍을 씌워막도록 형성한 용사막에 의해, 앵커구멍을 통과해서 N매째의 전자빔제어전극에 형성된 절연스페이서와 접합시킴으로써 적층·고정이 행해진다. 동시에, (N+1)매째의 전자빔제어전극에 형성된 용사막이 (N+2)매째의 전자빔제어전극의 적층·고정을 위한 절연스페이서가 된다. 그리고, 이 공정을 반복함으로서 복수매의 전자빔제어전극의 적층·고정을 행하여, 전극유닛이 구성된다.

이 방법에 의하면, 전자빔제어전극의 접합수단인 용사막을 프릿유리 등에 비해 상당히 낮은 온도에서 형성할 수 있고, 따라서 전자빔제어전극의 적층·고정시에, 열팽창에 따른 변형이 발생하지 않는다. 또, 동시에 다음의 전자빔제어전극의 적층·고정의 기준면도 형성할 수 있고, 코스트적으로 유리하다.

또, 접합면적, 즉, 앵커구멍의 크기를 적당하게 설정함으로써, 적절한 구조물로서의 강성도 확보할 수 있다.

제 4 측면에 따른 본 발명은, 평판형화상표시장치에 의한 전자빔의 구동등을 행하는 전극유닛으로서, 복수의 전자빔제어전극이 적층·고정된 구조를 가진 복수의 전극모듈을 소정간격으로 배치한 구조에 대한 제조방법이다.

상기 구성에 의한 작용은 제 3 측면에 따른 본 발명의 작용과 마찬가지이다.

이하, 본 발명의 일실시예에 의한 화상표시장치 및 그 제조방법에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다.

제 1 도는 본 발명의 제 1 의 실시예에 의한 전극유닛의 일예의 주요부의 단면도이다. 또, 제 2 도는 본 발명의 제 1 의 실시예에 의한 제조공정중의 전극유닛의 일예의 주요부의 사시도이다. 제 3 도는 본 발명의 제 1 의 실시예에 의한 전극유닛의 일예를 사용한 화상표시장치의 일예의 주요부의 단면도이다. 제 3 도에 있어서, (1)은 내면에 R·G·B로 이루어진 형광체스크린(3)을 도포한 표면용기를 겸한 페이스플레이트이고, (2)는 내면에 도전막에 의한 배면전극(4)을 형성한 이면용기이다. (5)는 선형상 음극이고, (6)은 전자빔제어전극(6-a),(6-b),(6-c),…(본 실시예에서는 (6-e)까지 도시함)을 적층해서 이루어진 전극유닛이다. 상기 화상표시장치는, 선형상의 음극(5)으로부터 발생한 전자빔이 전자빔제어전극(6-a),(6-b),(6-c),…에 형성된 전자빔통과구멍(6-a-1),(6-b-1),…을 통과하는 동시에, 접속·편향·변조 등의 제어가 행해지고, 그후, R·G·B의 형광체스크린(3)에 충돌·발광시켜서 화상표시를 행하는 것이다.

전극유닛(6)은, 상기 이면용기(2)에 프릿유리(7)에 의해 접착·고정된 포스트(8)에 의해 주변부에서 지지·고정되어 있다.

여기서 전극유닛(6)의 전자빔제어전극(6-a),(6-b),(6-c),…의 적층·고정의 구조 및 방법을 설명한다.

먼저, 1매째의 전자빔제어전극(6-a)의 전자빔통과구멍(6-a-1)사이에 소정의 방법에 의해서 형성된 절연막(10-a)에 대하여, 그 위치에 앵커구멍(6-b-2)을 형성한 2매째의 전자빔제어전극(6-b)을 적층하고, 앵커구멍(6-b-2)을 씌워막도록 용사막(10-b)을 형성하고, 그 용사막(10-b)이 앵커구멍(6-b-2)을 통해서 절연막(10-a)과 융착시킴으로써, 1매째의 전자빔제어전극(6-a)과 2매째의 전자빔제어전극(6-b)이 고정된다. 동시에 용사막(10-b)은 3매째의 전자빔제어전극(6-c)의 적층·고정의 기준면이 되는 것이다. 여기서 상기와 같은 접착작용을 행하게 하는 막으로서 용사막을 사용한 이유는, 절연막(10-a)을 형성하기 위해, 용사막에 의한 방법을 사용하는 쪽이 공정의 복잡화를 초래하지 않고 좋으나, 특히 이제 제한되는 것은 아니다.

3매째이후의 전자빔제어전극(6-c),(6-d),(6-e),… (본 실시예에서는 (6-e)까지 도시함)의 적층·고정의 구성 및 제조방법으로서는, 상기의 반복을 행하면 된다.

이 구조에 의하면 전자빔제어전극의 접합수단인 용사막은 프릿유리 등에 비해 상당히 낮은 온도에서 형성할 수 있고, 따라서 전자빔제어전극의 적층·고정시에는, 열팽창에 따른 변형이 발생되지 않는다. 또, 동시에 다음의 전자빔제어전극의 적층·고정의 기준면에도 겸용할 수 있어, 공정수와 코스트면에서 유리하다. 또, 접합면적, 즉, 앵커구멍의 크기를 적당하게 설정함으로써 구조물로서 적절한 강성도 확보할 수 있다. 앵커구멍의 형상으로서는 제 2 도에 표시한 바와 같은 둥근구멍형상에 한하지 않고, 슬릿형상 등 적당한 형상을 사용하면 된다. 다만, 그 크기로서는 적층의 기준이 되는 절연스페이서의 접지면보다 크게 해서는 않된다. 이 이유는, 앵커구멍이 적층의 기준이 되는 절연스페이서의 접지면보다 크면 앵커구멍을 씌워막도록 용사막을 형성하는 일이 곤란하며, 또, 용사막의 형성시에 용사물질이 전극사이에 비산(飛散)하는 문제가 발생하고, 전극유닛으로서의 성능을 손상할 염려가 있기 때문이다.

상기와 마찬가지 이유로, 앵커구멍을 씌워막도록 용사막을 형성할 때에 앵커구멍둘레에만 선택적으로 용사막형성을 행하는 방법으로서는, 하나의 밑바탕의 표면거칠기에 따른 용사막의 형성여부를 이용한다. 즉, 제 4 도에 표시한 바와 같이 용사막을 형성하고자 하는 앵커구멍(6-b-2),(6-c-2),… 둘레에 선택적으로 조면화한 영역(6-a-3),(6-b-3),…을 형성하고, 이 상태에서 전자빔통과구멍(6-a-1),(6-b-1),…을 피해서 용사를 행하여, 적층된 전자빔제어전극사이에 용사입자가 비산하는 것을 방지하는 동시에 조면화된 구멍둘레의 영역에만 용사막을 형성한다고 하는 방법이 있다.

이 방법에 의하면 장치는 간단하나, 용사막에 관한 정밀도 등의 상태가 약간 나빠질 가능성이 있다.

또, 하나의 방법으로서는, 제 5 도에 표시한 바와 같이, 마스크(20)를 사용하는 방법이다. 이 방법에 의하면 앵커구멍(6-b-2),(6-c-2),…에 형성한 용사막(10-b),(10-c),…의 형상은 제 4 도의 방법에 비해 정밀하게 얻어지며, 그 결과, 전자빔제어전극을 고정밀도로 적층할 수 있다.

마스크(20)는 몇회라도 다시 이용할 수 있는 것이 바람직하며, 그렇게 하기 위해서는 마스크자체에는 용사막이 부착하지 않아야 한다. 이와 같은 마스크로서, 예를 들면 표면을 거울면으로 마무리한 마스크가 있다.

또, 앵커구멍(6-b-2),(6-c-2),…을 씌워막는 용사막중에서 전극유닛(6)의 가장바깥쪽에 형성된 용사막(10-e)에 대해서는, 재질로서 절연물을 사용한 경우, 예를 들면 전자빔통과구멍(6-a-1),(6-b-1), …… (6-e-1)을 통과해온 전자빔의 누설전자 등의 영향에 의해 차아지업 등이 발생하여, 전자빔궤도에 영향을 줄 수 있다. 이와 같은 경우에는, 용사막(10-e)의 재질로서는 도전물질을 사용하면 된다. 용사막(10-e)을 도전물질로 형성하여 전자빔제어전극(10-d)과 (10-e)사이의 절연성은 구조상 유지된다.

또 본 발명에 의해, 열팽창에 기인한 과제를 해결하는 효과를 보다 확실하게 하기 위해서는, 전자빔제어전극(6-a),(6-b),(6-c), … (6-e)의 재질을 저령팽창금속재료인 인버재(36Ni합금)로 하는 동시에, 용사막의 제조공정으로서, 적어도 앵커구멍을 씌워막는 동안 전자빔제어전극기판을 냉각하면서 용사하는 공정을 사용하면 된다.

이 방법에 의하면, 열팽창계수가 작은 재료를 사용하는 것과, 냉각에 의해 온도상승을 억제하는 것과의 상승효과에 의해, 전자빔제어전극의 열팽창을 최소한으로 할 수 있고, 용사막의 형성에 의한 접합공정시와 그후에 열팽창의 차이에 의해 휘어지는 것을 한층더 확실하게 방지할 수 있다. 특히, 인버재는 저열팽창특성을 표시하는 것이 실온에서부터 200℃ 전후의 온도영역에서 저열팽창특성을 나타내므로, 기판(앵커구멍을 씌워막는 전자빔제어전극)을 200℃ 이하로 냉각하는 것이 바람직하다.

또, 제 5 도에 도시한 바와 같이 마스크에 의한 앵커구멍둘레에 용사하는 방법에서는, 마스크에 의해 용사토오치로부터 복사열을 차단하는 효과도 겸해서 가지며, 열에 기인한 과제의 해결에 한층더 효과가 있다.

제 6 도는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 전극모듈의 일예의 주요부에 단면도이다. 또, 제 7 도는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 전극유닛의 일예의 주요부의 단면도이다. 제 8 도는 본 발명의 제 2 의 실시예에 의한 전극유닛의 일예를 사용한 화상표시장치의 주요부의 단면도이다. 제 1 실시예에서의 구성과 동일한 작용을 가지는 구성에는 동일번호를 붙이고 있다.

이 구성은, 전자빔의 구동등을 행하는 전극유닛(6)으로서, 복수의 전자빔제어전극(6-a),(6-b),(6-c), … 이 적층·고정된 구조를 가진 복수의 전극모듈(6)을 소정의 간격 P로 배치한 것이다. 그리고, 각 모듈사이의 틈새가 전자빔통과용 틈새로 되고, 제 1 실시예에서의 전자빔통과구멍과 동일한 작용을 행한다.

전극유닛을 모듈화함으로써, 특히 대화면일 때 문제가 되는 전극의 정밀도(초기가공의 정밀도 및 열변형 등의 경시변화)에 대해서 영향을 작게 할 수 있다.

이 구멍에 있어서, 전극모듈의 구성 및 제조방법은 선행의 제 1 실시예와 마찬가지이고, 또한 절연스페이서, 앵커구멍 등에 관한 구체적인 구성·형상·재질 등도 선행을 제 1 실시예와 마찬가지이다.

이상과 같이 본 발명은, 전자빔제어전극의 접합과 다음의 전자빔제어전극의 적층을 위한 스페이서로서 용사막을 사용하고 있고, 프릿유릿 등에 비해 상당히 낮은 온도에서 형성할 수 있고, 전자빔제어전극의 적층·고정시의 열팽창에 따른 변형이 발생하지 않는다.

또, 이와 같이 해서 접합된 전극유닛은 구조물로서의 강성을 확보할 수 있다.

Claims

형광체스크린을 형성한 페이스플레이트와; 전자빔통과구멍을 가진 복수매의 전자빔제어전극을 적층하여 고정한 전극유닛과; 전자원과; 내부를 진공으로 유지하는 용기를 적어도 구비한 평판형화상표시장치에 있어서, 상기 전극유닛을 구성하는 전자빔통과구멍의 적층·고정구성은, 제N매째의 전자빔제어전극의 전자빔통과구멍사이에 형성된 절연스페이서와; 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 형성된 절연스페이서의 위치에 대응해서, 제(N+1)매째의 전자빔제어전극에 형성된 앵커구멍과; 상기 제N매째와 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을, 상기 절연스페이서를 개재해서, 적층한 다음에, 적어도 상기 앵커구멍을 막아씌워서 형성한 용사막(thermal spraying film)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 화상표시장치.
형광체스크린을 형성한 페이스플레이트와; 복수매의 전자빔제어전극을 적층하여 고정한 전극모듈을 소정의 간격으로 배치하여 이루어진 전극유닛과; 전자원과; 내부를 진공으로 유지하는 용기를 적어도 구비한 평판형화상표시장치에 있어서, 상기 전극모듈을 구성하는 전자빔제어전극의 적층·고정구성은, 제N매째의 전자빔제어전극의 적어도 대략 중앙부에 형성된 절연스페이서와; 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 형성된 절연스페이서의 위치에 대응해서, 제(N+1)매째의 전자빔제어전극에 형성된 앵커구멍과; 상기 제N매째와 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을, 상기 절연스페이서를 개재해서, 적층한 다음에, 적어도 상기 앵커구멍을 막아씌워서 형성한 용사막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 화상표시장치.
제 1 항에 있어서, 상기 앵커구멍의 크기는 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 형성된 상기 절연스페이서와의 접지면보다 작은 것을 특징으로 하는 화상표시장치.
복수매의 전자빔제어전극을 적층하고 고정해서 이루어지는 전극유닛을 제조하는 공정을 적어도 포함하는 화상표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 전극유닛의 제조공정은, 전자빔통과구멍을 가진 제N매째의 전자빔제어전극의 상기 전자빔통과구멍사이에 절연스페이서를 형성하는 공정과; 상기 절연스페이서의 위치에 대응해서 앵커구멍이 형성된 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을, 상기 절연스페이서를 개재해서, 상기 제N매째의 전자빔제 어전극에 적층하는 공정과; 상기 앵커구멍을 막아씌우도록 용사막을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 화상표시장치의 제조방법.
복수매의 전자빔제어전극을 적층하고 고정해서 이루어지는 전극모듈을 제조하는 공정과; 상기 전극모듈을 소정의 간격으로 배치하는 공정을 적어도 포함하는 화상표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 전극모듈의 제조공정은, 제N매째의 전자빔제어전극의 적어도 대략 중앙부에 절연스페이서를 형성하는 공정과; 상기 절연스페이서의 위치에 대응해서 앵커구멍이 형성된 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을, 상기 절연스페이서를 개재해서, 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 적층하는 공정과; 상기 앵커구멍을 막아씌우도록 용사막을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 화상표시장치의 제조방법.
제 1 항에 있어서, 전극유닛의 가장바깥쪽을 구성하는 전자빔제어전극에 형성된 앵커구멍을 막아씌우는 용사막은 도전재료로 형성된 것을 특징으로 하는 화상표시장치.
제 1 항에 있어서, 복수매의 전자빔제어전극은 인버재(36Ni합금)를 사용하고, 상기 용사막은, 적어도 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을 냉각하면서 용사함으로써, 형성되는 것을 특징으로 하는 화상표시장치.
제 1 항, 제 6 항, 제 7 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 용사막은, 용사막을 형성할 영역을 제외한 영역에 마스크를 형성한 후에, 형성되는 것을 특징으로 하는 화상표시장치.
제 2 항에 있어서, 상기 앵커구멍의 크기는 상기 제N매째의 전자빔제어전극에 형성된 상기 절연스페이서와의 접지면보다 작은 것을 특징으로 하는 화상표시장치.
제 2 항에 있어서, 전극유닛의 가장바깥쪽을 구성하는 전자빔제어전극에 형성된 앵커구멍을 막아씌우는 용사막은 도전재료로 형성된 것을 특징으로 하는 화상표시장치.
제 2 항에 있어서, 복수매의 전자빔제어전극은 인버재(36Ni합금)를 사용하고, 상기 용사막은, 적어도 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을 냉각하면서 용사함으로써, 형성되는 것을 특징으로 하는 화상표시장치.
제 4 항에 있어서, 전극유닛의 가장바깥쪽을 구성하는 전자빔제어전극에 형성된 앵커구멍을 막아씌우는 용사막은 도전재료로 형성된 것을 특징으로 하는 화상표시장치.
제 4 항에 있어서, 복수매의 전자빔제어전극은 인버재(36Ni합금)를 사용하고, 상기 용사막은, 적어도 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을 냉각하면서 용사함으로써, 형성되는 것을 특징으로 하는 화상표시장치.
제 5 항에 있어서, 복수매의 전자빔제어전극은 인버재(36Ni합금)를 사용하고, 전극유닛의 가장바깥쪽을 구성하는 전자빔제어전극에 형성된 앵커구멍을 막아씌우는 용사막은 도전재료로 형성된 것을 특징으로 하는 화상표시장치.
제 5 항에 있어서, 상기 용사막은, 적어도 제(N+1)매째의 전자빔제어전극을 냉각하면서 용사함으로써, 형성되는 것을 특징으로 하는 화상표시장치.
제 2 항, 제10항, 제11항중 어느 한 항에 있어서, 상기 용사막은, 용사막을 형성할 영역을 제외한 영역에 마스크를 형성한 후에, 형성되는 것을 특징으로 하는 화상표시장치.
제 4 항, 제12항, 제13항중 어느 한 항에 있어서, 상기 용사막은, 용사막을 형성할 영역을 제외한 영역에 마스크를 형성한 후에, 형성되는 것을 특징으로 하는 화상표시장치의 제조방법.
제 5 항, 제14항, 제15항중 어느 한 항에 있어서, 상기 용사막은, 용사막을 형성할 영역을 제외한 영역에 마스크를 형성한 후에, 형성되는 것을 특징으로 하는 화상표시장치의 제조방법.