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JP2558993B2 - 画像表示装置および画像表示装置の製造方法 - Google Patents

画像表示装置および画像表示装置の製造方法

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JP2558993B2
JP2558993B2 JP4143995A JP14399592A JP2558993B2 JP 2558993 B2 JP2558993 B2 JP 2558993B2 JP 4143995 A JP4143995 A JP 4143995A JP 14399592 A JP14399592 A JP 14399592A JP 2558993 B2 JP2558993 B2 JP 2558993B2
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control electrode
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茂夫 鈴木
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    • H01J9/185Assembling together the component parts of electrode systems of flat panel display devices, e.g. by using spacers
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は特に電子ビームを用いた
平板型画像表示装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】以下、図面を参照しながら、従来の画像
表示装置の構成の一例について説明する。
【0003】図9に従来の電極ユニットの第一の例の要
部断面を示す。また、図10に従来の電極ユニットの一
例の要部斜視図を示す。また、図11に従来の電極ユニ
ットを用いた画像表示装置の一例の要部断面図を示す。
101はその内面にR・G・Bからなる蛍光体スクリー
ン103を塗布した表容器を兼ねるフェースプレート、
102はその内面に導電膜による背面電極104を形成
した裏容器である。105は線状カソード、106は電
子ビーム制御電極106−a,b,c,……(本従来例
ではeまで図示)を積層してなる電極ユニットで、線状
カソード105から発生した電子ビームは電子ビーム制
御電極106−a,b,c,……に形成された電子ビー
ム通過孔106−a−1,106−b−1,……を通過
する間に集束・偏向・変調などの制御が行われ、その
後、R・G・Bの蛍光体にスクリーン103に衝突・発
光させて画像表示を行うものである。
【0004】ここで、電極ユニット106の電子ビーム
制御電極106−a,b,c,……相互の積層・固定方
法としては、図12に示すように、ガラス棒110を芯
線とし、その周りにフリットガラス111を塗布したも
の(図12a)を電子ビーム通過孔106−a−1間お
よび106−b−1間に配設し(図12b)、加圧・昇
温 によりフリットを溶融させて接着している(図12
c)。ここで、電子ビーム制御電極106−a,b,
c,……相互の間隔はガラス棒110の径に保たれる。
【0005】以上のようにしてつくられた電極ユニット
106は、前記裏容器102にフリットガラス107に
より接着・固定されたポスト108により周辺部で支持
・固定されている。
【0006】また、図13に従来の電極ユニットの第二
の例の要部断面図を示す。電子ビーム制御電極106−
a,b,c,……(本従来例ではeまで図示)相互の積
層・固定方法は、電子ビーム制御電極106−a,b,
c,……相互間には間隔を保つために例えばセラミック
ス性の絶縁スペーサ120−a,b,c,d,eが配設
され、その状態で電子ビーム制御電極106−eに接合
された締結ピン120により締結している。具体的には
締結ピン121の末端を例えばレーザービームにより溶
融することにより締め付ける。
【0007】ここで、電子ビーム制御電極106−a,
b,c,……は面状であり、したがって締結ピン121
も2次元的に適当な間隔で配設される。そして、締結ピ
ン121部で電子ビーム制御電極106−a,b,c,
d,eは離散的に積層・固定される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな方法では、以下に述べるような問題点を有してい
た。
【0009】まず、第一の例では電子ビーム制御電極を
接合するにはフリットガラス溶融温度にまで昇温させる
必要がある。そのため、熱膨脹した状態で接合されその
後、常温にまで冷却されるわけであるが、その過程にお
いて「反り」が発生する場合が多く、できあがった電極
ユニットは大きく反ったものとなってしまう場合が多か
った。さらにフリットを溶融させる工程においては、温
度プロフィールが厳密に管理できる電気炉を用いること
が必要であり、このことがコストアップ,スループット
低下といった課題の主原因となっていた。
【0010】また、第二の例では、電子ビーム制御電極
はピンを用いた構造により締結されるため、第一の例の
ような熱膨脹にまつわる「反り」の発生はない。しかし
ながらこの構成の場合には、締結ピン部以外では電子ビ
ーム制御電極106−a,b,c,……の積層間隔を規
制する部材がないため、締結ピンの配設位置に対応して
「うねり」が発生するという課題があった。また、電極
ユニットの構造物としての剛性はかなり低いものとな
り、その結果、固定方法として周辺だけ固定する構成で
は形状を維持して設置することができなかった。
【0011】本発明は上記問題点に鑑み、電子ビーム制
御電極を「反り」「うねり」といった課題なしで、しか
も構造物としての剛性を確保した状態で積層・固定する
構造およびその工法を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明の電子源は以下の通りである。
【0013】請求項1の本発明は、少なくとも、蛍光体
スクリーンを形成したフェースプレートと、電子ビーム
通過孔を有する電子ビーム制御電極を複数枚、積層・固
定した電極ユニットと、電子源と、内部を真空に保つ容
器とからなる平板型画像表示装置であって、前記電極ユ
ニットにおける電子ビーム制御電極の積層・固定構成と
しては、第N目の電子ビーム制御電極の電子ビーム通
過孔間には絶縁スペーサが形成され、且つ第(N+1)
枚目の電子ビーム制御電極には前記第N枚目の電子ビー
ム制御電極に形成された絶縁スペーサの位置に対応して
アンカー孔が形成されており、前記第N枚目と第(N+
1)枚目の電子ビーム制御電極とを前記絶縁スペーサを
介して積層した上で、溶射膜を前記アンカー孔を塞ぎ覆
いかつ前記絶縁スペーサと融着させるように形成した構
造であることを特徴とする画像表示装置である。
【0014】請求項2の本発明は、少なくとも、蛍光体
スクリーンを形成したフェースプレートと、電子ビーム
制御電極を複数枚、積層・固定し且つ所定の間隔で分割
した電極ユニットと、電子源と、内部を真空に保つ容器
とからなる平板型画像表示装置であっ間隔で配設してな
る電極ユニットと、電子源と、内部を真空に保つ容器と
からなる平板型画像表示装置であって、前記電極ユニッ
における電子ビーム制御電極の積層・固定構成として
は、第N目の電子ビーム制御電極の少なくとも略中央
部には絶縁スペーサが形成され、且つ第(N+1)枚目
の電子ビーム制御電極には前記第N枚目の電子ビーム制
御電極に形成された絶縁スペーサの位置に対応してアン
カー孔が形成されており、前記第N枚目と第(N+1)
枚目の電子ビーム制御電極とを前記絶縁スペーサを介し
て積層した上で、溶射膜を前記アンカー孔を塞ぎ覆いか
つ前記絶縁スペーサと融着させるように形成した構造で
あることを特徴とする画像表示装置である。
【0015】請求項4の本発明は、少なくとも、電子ビ
ーム通過孔を有する第N枚目の電子ビーム制御電極の前
記電子ビーム通過孔間に絶縁スペーサを形成する工程
と、前記絶縁スペーサの位置に対応してアンカー孔が形
成された第(N+1)の電子ビーム制御電極を前記絶縁
スペーサを介して前記第Nの電子ビーム制御電極に積層
する工程と、溶射膜を前記アンカー孔を塞ぎ覆いかつ前
記絶縁スペーサと融着させるように形成する工程とによ
り複数枚の電子ビーム制御電極を積層・固定してなる電
極ユニットを製造する工程を含むことを特徴とする画像
表示装置の製造方法である。
【0016】請求項5の本発明は、少なくとも、第N枚
目の電子ビーム制御電極の少なくとも略中央部に絶縁ス
ペーサを形成する工程と、前記絶縁スペーサの位置に対
応してアンカー孔が形成された第(N+1)の電子ビー
ム制御電極を前記絶縁スペーサを介して前記第Nの電子
ビーム制御電極に積層する工程と、溶射膜を前記アンカ
ー孔を塞ぎ覆いかつ前記絶縁スペーサと融着させるよう
に形成する工程とにより複数枚の電子ビーム制御電極を
積層・固定してなる電極モジュールを製造する工程と前
記電極モジュールを所定の間隔で配設する工程を含むこ
とを特徴とする画像表示装置の製造方法である。
【0017】
【作用】この技術的手段による作用は次のようになる。
【0018】請求項1の本発明は、平板型画像表示装置
での電子ビームの駆動などを行う電極ユニットとして、
複数の電子ビーム制御電極が積層・固定された構造のも
のに対して、N枚目の電子ビーム制御電極と(N+1)
枚目の電子ビーム制御電極電極ユニットとは、(N+
1)枚目のアンカー孔を覆い塞ぐように溶射膜を形成
し、その溶射膜がアンカー孔を通じてN枚目の電子ビー
ム制御電極に形成された絶縁スペーサと融着することに
より積層・固定される構成であり、同時に(N+1)枚
目の電子ビーム制御電極に形成された溶射膜は(N+
2)枚目の電子ビーム制御電極の積層・固定のための絶
縁スペーサとなるものである。そして、この構造の繰り
返しにより複数枚の電子ビーム制御電極が積層・固定さ
れ、電極ユニットが構成されるものである。
【0019】この構造によれば、電子ビーム制御電極の
接合手段である溶射膜はフリットガラスなどに比べかな
り低い温度での形成が可能であり、したがって電子ビー
ム制御電極の積層・固定の際には、熱膨脹に伴う変形と
いった問題の発生はない。また、同時に次の電子ビーム
制御電極の積層・固定の基準面にも兼用でき、コスト的
にも有利である。
【0020】また、接合面積、つまり、アンカー孔の大
きさを適当に設定することにより適切な構造物としての
剛性も確保できる。
【0021】請求項2の本発明は、平板型画像表示装置
での電子ビームの駆動などを行う電極ユニットとして、
複数の電子ビーム制御電極が積層・固定され、且つ、分
割された構造の電極モジュールを複数個、所定間隔で配
設した構造のものに対する構成である。
【0022】請求項1での作用に加え、特に大画面の
際、問題となる電極精度(初期加工精度および熱変形等
径時変化)に対してモジュール化することによりその影
響を小さくしようとするものである。
【0023】請求項4の本発明は、平板型画像表示装置
での電子ビームの駆動などを行う電極ユニットして、
複数の電子ビーム制御電極が積層・固定された構造のも
のに対する製造方法である。N枚目の電子ビーム制御電
極と(N+1)枚目の電子ビーム制御電極電極ユニット
とは、(N+1)枚目のアンカー孔を覆い塞ぐように形
成した溶射膜により、アンカー孔を通じてN枚目の電子
ビーム制御電極に形成された絶縁スペーサと接合させる
ことにより積層・固定が行われ、同時に(N+1)枚目
の電子ビーム制御電極に形成された溶射膜は(N+2)
枚目の電子ビーム制御電極の積層・固定のための絶縁ス
ペーサとなるものである。そしてこの工程を繰り返すこ
とにより複数枚の電子ビーム制御電極の積層・固定を行
い、電極ユニットが構成されるものである。
【0024】この方法によれば、電子ビーム制御電極の
接合手段である溶射膜はフリットガラスなどに比べかな
り低い温度での形成が可能であり、したがって電子ビー
ム制御電極の積層・固定の際に、熱膨脹に伴う変形とい
った問題の発生はない。また、同時に次の電子ビーム制
御電極の積層・固定の基準面の形成も行うことができ、
コスト的にも有利である。
【0025】また、接合面積、つまり、アンカー孔の大
きさを適当に設定することにより、適切な構造物として
の剛性も確保できる。
【0026】請求項5の本発明は、平板型画像表示装置
での電子ビームの駆動などを行う電極ユニットとして、
複数の電子ビーム制御電極が積層・固定され、且つ、分
割された構造の電極モジュールを複数個、所定間隔で配
設した構造のものに対するその製造方法である。
【0027】作用は請求項4の作用と同じである。
【0028】
【実施例】以下、本発明の一実施例の画像表示装置およ
びその製造方法について、図面を参照しながら説明す
る。
【0029】図1は本発明の第1の実施例における電極
ユニットの一例の要部断面図である。また、図2は本発
明の第1の実施例における電極ユニットの一例の製造途
中での要部斜視図である。図3は本発明の第1の実施例
における電極ユニットの一例を用いた画像表示装置の一
例の要部断面図である。1はその内面にR・G・Bから
なる蛍光体スクリーン3を塗布した表容器を兼ねるフェ
ースプレート、2はその内面に導電膜による背面電極4
を形成した裏容器である。5は線状カソード、6は電子
ビーム制御電極6−a,b,c,……(本従来例ではe
まで図示)を積層してなる電極ユニットで、線状カソー
ド5から発生した電子ビームは電子ビーム制御電極6−
a,b,c,……に形成された電子ビーム通過孔6−a
−1,6−b−1,……を通過する間に集束・偏向・変
調などの制御が行われ、その後、R・G・Bの蛍光体ス
クリーン3に衝突・発行させて画像表示を行うものであ
る。
【0030】電極ユニット6は、前記裏容器2にフリッ
トガラス7により接着・固定されたポスト8により周辺
部で支持・固定されている。
【0031】ここで電極ユニット6の電子ビーム制御電
極6−a,6−b,6−c,……相互の積層・固定の構
造および方法を説明する。
【0032】まず、一枚目の電子ビーム制御電極6−a
の電子ビーム通過孔6−a−1間に何らかの方法で形成
された絶縁膜10−aに対し、その位置にアンカー孔6
−b−2を形成した2枚目の電子ビーム制御電極6−b
を積層し、アンカー孔6−b−2を覆い塞ぐように溶射
膜を10−bを形成し、その溶射膜10−bがアンカー
孔6−b−2を通じて絶縁膜10−aと融着することに
より、一枚目の電子ビーム制御電極6−aと2枚目の電
子ビーム制御電極6−bとが固定される。同時に溶射膜
10−bは3枚目の電子ビーム制御電極6−cの積層・
固定の基準面となるものである。ここで絶縁膜10−a
の形成に関しては、溶射膜による方法を用いる方が工程
上、複雑化を招かずによいが特には制限されない。
【0033】3枚目以降の電子ビーム制御電極6−c,
d,e……(本実施例では6−eまで図示)の積層・固
定の構成および製造方法としては、前述の繰り返しを行
えばよい。
【0034】この構造によれば、電子ビーム制御電極の
接合手段である溶射膜はフリットガラスなどに比べかな
り低い温度での形成が可能であり、したがって電子ビー
ム制御電極の積層・固定の際には、熱膨張に伴う変形と
いった問題の発生はない。また、同時に次の電子ビーム
制御電極の積層・固定の基準面にも兼用でき、工数・コ
スト的にも有利である。また、接合面積、つまり、アン
カー孔の大きさを適当に設定することにより構造物とし
ての適切な剛性も確保できる。アンカー孔の形状として
は図2に示したような丸孔形状に限らず、スリット形状
など適当な形状を用いればよい。ただ、その大きさ
ては、積層基準となる絶縁スペーサからはみ出してはな
らない。この理由は、アンカー孔が積層基準となる絶縁
スペーサからはみ出しておればアンカー孔を覆い塞ぐよ
うに溶射膜を形成することが困難であり、また溶射膜製
膜中に溶射物質の電極間への飛散といった問題が発生
し、電極ユニットとしての性能を損なう恐れがあるから
である。
【0035】上記と同様の理由で、アンカー孔を覆い塞
ぐように溶射膜を形成する際の、アンカー孔周りだけに
選択的に溶射膜形成を行う方法としては、一つは下地の
表面粗さによる溶射膜形成の可・不可を利用し、図4に
示すように溶射膜形成を行いたいアンカー孔6−b−
2,6−c−2,……まわりに選択的に粗面化した領域
6−a−3,6−b−3,…を形成し、その状態で電子
ビーム通過孔6−a−1,6−b−1,……を避けて溶
射を行い、積層された電子ビーム制御電極間に溶射粒子
が飛散するのを防ぐと同時に孔周りの粗面化された領域
にのみ溶射膜を形成するという方法がある。
【0036】この方法だと装置は簡単であるが、溶射膜
に関する精度などの状態が若干、悪くなる可能性があ
る。
【0037】また、もう一つの方法としては図5に示す
ように、マスク20を用いる方法である。この方法によ
ればアンカー孔6−b−2,6−c−2,……に形成し
た溶射膜10−b,10−c,……の形状は図4の方法
に比べ精度よく得られ、その結果、電子ビーム制御電極
を高精度に積層できる。
【0038】マスク20は何回も再利用できることが望
ましく、そのためにはマスク自身には溶射膜が着かない
ということが必要である。そのようなマスクとして、例
えば表面を鏡面仕上げしたマスクが挙げられる。
【0039】また、アンカー孔6−b−2,6−c−
2,……を覆い塞ぐ溶射膜のうち、電極ユニット6の最
外側に形成された溶射膜10−eについては、材質とし
て絶縁物を用いた場合、電子ビーム通過孔6−a−1,
6−b−1,……,6−e−1を通過してきた電子ビー
ムの例えば漏れ電子などの影響によりチャージアップな
どが発生する場合があり、電子ビーム軌道に影響を与え
てしまうことがある。このような場合には、溶射膜10
−eの材質としては導電物質を用いればよい。10−e
を導電物質としても電子ビーム制御電極10−dと10
−eとの間の絶縁性は構造上、保たれる。
【0040】さらに本発明における、熱膨脹にまつわる
課題解決の効果をより確実にするには、電子ビーム制御
電極6−a,b,c,……,eの材質を低熱膨脹金属材
料であるインバー材(36Ni合金)とするとともに、
溶射製膜プロセスとして、少なくともアンカー孔を覆い
塞ごうとしている電子ビーム制御電極基板を冷却しなが
ら溶射するプロセスを用いればよい。
【0041】この方法によれば、熱膨脹係数の小さい材
料の使用と、冷却により温度上昇を抑えることとの相乗
効果により、電子ビーム制御電極の熱膨脹を最小限にす
ることができ、溶射膜製膜による接合工程時とその後と
での熱膨脹差の発生による反りというものをさらに確実
に防ぐことができる。特にインバー材はその特性とし
て、低熱膨脹特性を示すのが室温から200℃前後の温
度領域であり、したがって冷却の目安としては、基板
(アンカー孔を覆い塞ごうとしている電子ビーム制御電
極)を200℃以下にすることが望ましい。
【0042】また、前に図5に示した、マスクによるア
ンカー孔周りへの溶射方法は、同時に溶射トーチからの
輻射熱の遮断効果をも合わせもち、熱にまつわる課題解
決に一層の効果がある。
【0043】図6は本発明の第2の実施例における電極
モジュールの一例の要部断面図である。また、図7は本
発明の第2の実施例における電極ユニットの一例の要部
断面図である。図8は本発明の第2の実施例における電
極ユニットの一例を用いた画像表示装置の要部断面図で
ある。第1の実施例での構成と同じ作用を有するものに
は同じ番号を付している。
【0044】この構成は電子ビームの駆動等を行う電極
ユニット6として、複数の電子ビーム制御電極6−a、
b、c、・・・が積層・固定された構造の電極モジュー
6’を複数個、所定間隔Pで配設したものである。そ
して、各モジュール間の間隙が電子ビーム通過隙間とな
り、第1の実施例での電子ビーム通過孔と同じ作用を行
うというものである。
【0045】電極ユニットをモジュール化することによ
り、特に大画面の際問題となる電極精度(初期加工精度
および熱変形等径時変化)に対してその影響を小さくし
ようとするものである。
【0046】この構成での、電極モジュールの構成およ
び製造方法、また、絶縁スペーサ,アンカー孔などに関
する具体的な構成・形状・材質などは前の第1の実施例
での内容と同様である。
【0047】
【発明の効果】以上のように本発明は、電子ビーム制御
電極の接合とさらに次の電子ビーム制御電極の積層のた
めのスペーサの形成として溶射膜を用いており、フリッ
トガラスなどに比べかなり低い温度での形成が可能であ
り、電子ビーム制御電極の積層・固定の際の、熱膨脹に
伴う変形といった問題の発生はない。
【0048】また、このようにして接合された電極ユニ
ットは構造物としての剛性も確保できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例における電極ユニットの
一例の要部断面図
【図2】本発明の第1の実施例における電極ユニットの
一例の製造途中での要部斜視図
【図3】本発明の第1の実施例における電極ユニットの
一例を用いた画像表示装置の要部断面図
【図4】アンカー孔周りだけに選択的に溶射膜形成を行
う手段の第1の例の要部断面図
【図5】アンカー孔周りだけに選択的に溶射膜形成を行
う手段の第2の例の要部断面図
【図6】本発明の第2の実施例における電極モジュール
の要部断面図
【図7】本発明の第2の実施例における電極ユニットの
要部断面図
【図8】本発明の第2の実施例における電極ユニットを
用いた画像表示装置の要部断面図
【図9】従来の電極ユニットの第1の例の要部断面
【図10】従来の電極ユニットの一例の要部斜視図
【図11】従来の電極ユニットを用いた画像表示装置の
一例の要部断面図
【図12】従来の電極ユニットを用いた画像表示装置の
一例の要部断面図
【図13】従来の電極ユニットを用いた画像表示装置の
一例の要部断面図
【符号の説明】
6 電極ユニット 6−a,6−b,6−c,6−d,6−e N枚目およ
び(N+1)枚目の電子ビーム制御電極 6−a−1,6−b−1,6−c−1,6−d−1,6
−e−1 電子ビーム通過孔 6−a−2,6−b−2,6−c−2,6−d−2,6
−e−2 アンカー孔10−a 絶縁スペーサ 10−b,c,d,e 溶射膜

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも、蛍光体スクリーンを形成し
    たフェースプレートと、電子ビーム通過孔を有する電子
    ビーム制御電極を複数枚、積層・固定した電極ユニット
    と、電子源と、内部を真空に保つ容器とからなる平板型
    画像表示装置であって、前記電極ユニットにおける電子
    ビーム制御電極の積層・固定構成としては、第N目の
    電子ビーム制御電極の電子ビーム通過孔間には絶縁スペ
    ーサが形成され、且つ第(N+1)枚目の電子ビーム制
    御電極には前記第N枚目の電子ビーム制御電極に形成さ
    れた絶縁スペーサの位置に対応してアンカー孔が形成さ
    れており、前記第N枚目と第(N+1)枚目の電子ビー
    ム制御電極とを前記絶縁スペーサを介して積層した上
    で、溶射膜を前記アンカー孔を塞ぎ覆いかつ前記絶縁ス
    ペーサと融着させるように形成した構造であることを特
    徴とする画像表示装置。
  2. 【請求項2】 少なくとも、蛍光体スクリーンを形成し
    たフェースプレートと、電子ビーム制御電極を複数枚、
    積層・固定した電極ユニットと、電子源と、内部を真空
    に保つ容器とからなる平板型画像表示装置であって、
    記電極ユニットは、電子ビーム制御電極を複数枚、積層
    ・固定し、且つ、分割した構造の電極モジュールにより
    構成され、前記電極モジュールにおける電子ビーム制御
    電極の積層・固定構成としては、第N枚目の電子ビーム
    制御電極の少なくとも略中央部には絶縁スペーサが形成
    され、且つ第(N+1)枚目の電子ビーム制御電極には
    前記第N枚目の電子ビーム制御電極に形成された絶縁ス
    ペーサの位置に対応してアンカー孔が形成されており、
    前記第N枚目と第(N+1)枚目の電子ビーム制御電極
    とを前記絶縁スペーサを介して積層した上で、溶射膜を
    前記アンカー孔を塞ぎ覆いかつ前記絶縁スペーサと融着
    させるように形成した構造であることを特徴とする画像
    表示装置。
  3. 【請求項3】 前記アンカー孔部の開口は、前記第N枚
    目の電子ビーム制御電極に形成された前記絶縁スペーサ
    からはみ出さないことを特徴とする請求項1または2記
    載の画像表示装置。
  4. 【請求項4】 少なくとも、電子ビーム通過孔を有する
    第N枚目の電子ビーム制御電極の前記電子ビーム通過孔
    間に絶縁スペーサを形成する工程と、前記絶縁スペーサ
    の位置に対応してアンカー孔が形成された第(N+1)
    の電子ビーム制御電極を前記絶縁スペーサを介して前記
    第Nの電子ビーム制御電極に積層する工程と、溶射膜を
    前記アンカー孔を塞ぎ覆いかつ前記絶縁スペーサと融着
    させるように形成する工程とにより複数枚の電子ビーム
    制御電極を積層・固定してなる電極ユニットを製造する
    工程を含むことを特徴とする画像表示装置の製造方法。
  5. 【請求項5】 電極ユニットを製造する工程は、複数の
    電子ビーム制御電極を積層・固定し、且つ、第N枚目の
    制御電極の少なくとも略中央部に絶縁スペーサが配置さ
    れるように前記複数の電子ビーム制御電極を分割した構
    造の電極モジュールを製造する工程と、前記電極モジュ
    ールを所定の間隔で配置する工程とを含むことを特徴と
    する請求項4記載の画像表示装置の製造方法。
  6. 【請求項6】 電極ユニットの最外側を構成する電子ビ
    ーム制御電極に形成されたアンカー孔を塞ぎ覆う溶射膜
    として、導電材料を用いたことを特徴とする請求項1ま
    たは2記載の画像表示装置。
  7. 【請求項7】 複数枚の電子ビーム制御電極としてイン
    バー材(36Ni合金)を用いたことを特徴とする請求
    項1または2記載の画像表示装置。
  8. 【請求項8】 第(N+1)枚目の電子ビーム制御電極
    のアンカー孔を塞ぎ覆うように溶射膜を形成する方法と
    して、溶射膜形成が必要な領域以外をマスクにより塞い
    だことを特徴とする請求項4または5記載の画像表示装
    置の製造方法。
  9. 【請求項9】 溶射膜の形成方法として、少なくとも第
    (N+1)枚目の電子ビーム制御電極を冷却しながら溶
    射することを特徴とする請求項4または5記載の画像表
    示装置の製造方法。
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