JPH04150911A - Water separating filter and suctorial transfer device - Google Patents
Water separating filter and suctorial transfer deviceInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、空気から水を分離させるための水分離フィル
タ及びそれを有する吸着搬送装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a water separation filter for separating water from air and an adsorption/conveyance device having the same.
[従来の技術]
真空ポンプ、エジェクタ等の真空圧発生装置は、これら
の運転制御に必要な制御機器、特に真空圧スイッチ、圧
力センサ、弁、サイレンサ等に水が接触すると不都合を
生ずることがあるので、真空回路を流れる空気が水を含
まないことが必要である。[Prior Art] Vacuum pressure generating devices such as vacuum pumps and ejectors may cause problems if water comes into contact with the control equipment necessary for controlling their operation, especially vacuum pressure switches, pressure sensors, valves, silencers, etc. Therefore, it is necessary that the air flowing through the vacuum circuit does not contain water.
しかしながら、例えば、真空圧によって吸着パッドがワ
ークを吸着して搬送する吸着搬送装置においては、ワー
クに水滴が付着している等のために真空回路への水の吸
入が避けられないので、何らかの手段によって空気中の
水を分離する必要がある。However, for example, in a suction conveyance device in which a suction pad suctions and conveys a workpiece using vacuum pressure, it is inevitable that water will be sucked into the vacuum circuit due to water droplets adhering to the workpiece. It is necessary to separate water from the air by
従来は、第6図に示すように、吸着パッド2とエジェク
タ3等の真空源とを連通させる真空回路l中に水分離装
置5を設けて空気中の水を分離しているが、この水分離
装置5によって空気中の水を分離するためには一定レベ
ル以上の液面を必要とするので、装置が大形になり、し
かもメンテナンスが面倒である。Conventionally, as shown in FIG. 6, a water separation device 5 is provided in a vacuum circuit l that communicates the suction pad 2 with a vacuum source such as an ejector 3 to separate water in the air. In order to separate water from the air by the separation device 5, a liquid level above a certain level is required, which results in a large device and troublesome maintenance.
[発明が解決しようとする課題]
本発明が解決しようとする課題は、小形でかつメンテナ
ンスが容易な水分離フィルタ、及びそれを有する吸着搬
送装置を提供することにある。[Problems to be Solved by the Invention] The problems to be solved by the present invention are to provide a water separation filter that is small and easy to maintain, and an adsorption/conveyance device having the same.
[課題を解決するための手段]
上記課題を解決するため、本発明の水分離フィルタは、
空気の流入口及び流出口と、これらの開口を連通させる
流路中のフィルタエレメントと、該フィルタエレメント
で分離された水を排出させるドレン口とを備え、上記フ
ィルタエレメントを、通気性を有しかつ水の通過を阻止
する阻水性フィルタエレメントで構成したことを特徴と
している。[Means for Solving the Problems] In order to solve the above problems, the water separation filter of the present invention has the following features:
The filter element includes an air inlet and an air outlet, a filter element in a flow path that communicates these openings, and a drain port that discharges water separated by the filter element, and the filter element has air permeability. It is also characterized by being constructed with a water-blocking filter element that prevents water from passing through.
また、同様の課題を解決するため、フィルタエレメント
の上流に、空気中の水滴を予め分離させる旋回手段を設
けるとよい。Moreover, in order to solve the same problem, it is preferable to provide a swirling means upstream of the filter element to separate water droplets in the air in advance.
さらに、同様の課題を解決するため、ドレン口に外部信
号により開閉する開閉弁を設けるとよい。Furthermore, in order to solve the same problem, it is preferable to provide the drain port with an on-off valve that opens and closes in response to an external signal.
また、同様の課題を解決するため、ドレン口に、真空圧
により閉鎖し真空破壊により開放するチェック弁を設け
るとよい。Further, in order to solve the same problem, it is preferable to provide the drain port with a check valve that is closed by vacuum pressure and opened by vacuum break.
さらに、同様の課題を解決するため、吸着搬送装置が、
ワークを吸着するための吸着パッドと、該吸着パッドが
接続される上記いずれかの構成を有する水分離フィルタ
と、該水分離フィルタにおける空気の流出口とエゼクタ
の吸込側を連通させる流路と、上記エゼクタに圧縮空気
を供給する供給弁と、上記吸着パッドに真空破壊のため
の空気を供給する真空破壊弁とを備えているとよい。Furthermore, in order to solve the same problem, a suction conveyance device is
A suction pad for adsorbing a workpiece, a water separation filter having any of the above configurations to which the suction pad is connected, and a flow path that communicates an air outlet in the water separation filter with a suction side of an ejector. It is preferable that the ejector includes a supply valve that supplies compressed air to the ejector, and a vacuum break valve that supplies air for breaking the vacuum to the suction pad.
[作 用]
流入口からフィルタに流入した空気は、阻水性フィルタ
エレメントによって水分子が分離され、水分子のない空
気となって流出口から流出する。[Function] Air flowing into the filter from the inlet has water molecules separated by the water-blocking filter element, and air without water molecules flows out from the outlet.
また、阻水性フィルタエレメントの上流に設けた旋回手
段で予め水滴を分離させるので、フィルタエレメントに
よる水の分離を一層効果的に行うことができる。Moreover, since water droplets are separated in advance by the swirling means provided upstream of the water-blocking filter element, water can be separated more effectively by the filter element.
さらに、ドレン口に、外部信号により開閉する開閉弁を
設けたので、フィルタに貯留した水を排出させることが
できる。Furthermore, since the drain port is provided with an on-off valve that opens and closes in response to an external signal, water stored in the filter can be discharged.
また、ドレン口に真空圧により閉鎖し、真空破壊により
開放するチェック弁を設けたので、真空圧解除の都度フ
ィルタ内の水を排出させることができる。Furthermore, since the drain port is provided with a check valve that is closed by the vacuum pressure and opened by the vacuum break, the water in the filter can be drained each time the vacuum pressure is released.
さらに、吸着搬送装置が、上記いずれかの構成の水分離
フィルタを備えているので、水分離フィルタの流出側に
水分が流出することを防止することができる。Furthermore, since the adsorption conveyance device includes the water separation filter having any of the above configurations, it is possible to prevent water from flowing out to the outflow side of the water separation filter.
[実施例]
第1図は本発明の第1実施例を示し、この水分離フィル
タlOは、本体11、チューブ継手12、カバー13を
備え、本体ll内に後記するフィルタエレメント14が
装着されている。[Embodiment] Fig. 1 shows a first embodiment of the present invention, and this water separation filter 10 includes a main body 11, a tube joint 12, and a cover 13, and a filter element 14, which will be described later, is installed in the main body 11. There is.
上記本体11は、一端外周にカバー13の取付部11a
を、中間部外周に円筒状の突出部11bを、カバーの取
付側と反対側にドレン口16をそれぞれ備え、取付部1
1aに気密にかつ取外し可能に取付けられた上記カバー
13は、空気の流入口17とフィルタエレメント14の
装着部18を有し、本体11のドレン口16側に、上記
装着部18と対向する装着部19が形設されている。The main body 11 has a mounting portion 11a for the cover 13 on the outer periphery of one end.
, a cylindrical protrusion 11b is provided on the outer periphery of the intermediate portion, and a drain port 16 is provided on the side opposite to the mounting side of the cover.
The cover 13, which is airtightly and removably attached to 1a, has an air inlet 17 and a mounting part 18 for the filter element 14, and has a mounting part opposite to the mounting part 18 on the drain port 16 side of the main body 11. A portion 19 is formed.
突出部11bの外周には、上記チューブ継手12の筒部
12aが気密にかつ回転可能に装着され、本体11にお
けるカバーの取付側と突出部11bとの間に形成された
L字状の空気流路21の先端はプラグ22で気密に閉鎖
され、突出部11bに、周溝23と、該周溝23と流路
21とを連通させる開口24.・・が形成されている。The cylindrical portion 12a of the tube joint 12 is airtightly and rotatably attached to the outer periphery of the protruding portion 11b, and an L-shaped air flow is formed between the cover attachment side of the main body 11 and the protruding portion 11b. The tip of the channel 21 is hermetically closed with a plug 22, and the protrusion 11b has a circumferential groove 23 and an opening 24 that communicates the circumferential groove 23 with the flow channel 21. ... is formed.
上記チューブ継手12は、空気の流出口26、該流出口
26と周溝23とを連通させる通路27を備え、上記流
入口17、流出口26及びドレン口16に、チューブ(
図示省略)の挿入により金属製のチャック31先端の複
数の係止爪がチューブの外壁に食い込んでチューブを係
止し、リリースブツシュ32を押込むと係止爪によるチ
ューブの係止が解除されてチューブを引抜くことができ
る、いわゆるワンタッチ管継手30.・・が、それぞれ
装着されている。The tube joint 12 includes an air outlet 26 and a passage 27 that communicates the air outlet 26 with the circumferential groove 23.
(not shown), the plurality of locking claws at the tip of the metal chuck 31 bite into the outer wall of the tube and lock the tube, and when the release button 32 is pushed in, the locking of the tube by the locking claws is released. The so-called one-touch fitting 30. ... are installed respectively.
フィルタエレメント14は、例えばPTFEのような疎
水性の素材で形成した筒状の不織布またはメンプランに
よって、通気性を有しかつ水分子の通過を阻止する阻水
性のものとして構成され、両端を装着部18.19に嵌
着させることにより空気流路21中に取付けられており
、カバー13における流入口17と装着部18の間に設
置された空気の旋回手段28は、デフレクタ、接線方向
成分を有する孔、バッフル等によって構成されている。The filter element 14 is made of a cylindrical non-woven fabric or membrane made of a hydrophobic material such as PTFE, and is breathable and water-blocking to prevent the passage of water molecules, and is attached at both ends. The air swirling means 28, which are mounted in the air flow path 21 by fitting into the parts 18 and 19 and which are installed between the inlet 17 and the mounting part 18 in the cover 13, serve as deflectors and tangential components. It consists of holes, baffles, etc.
第2図は、上記水分離フィルタlOを、吸着搬送装置3
5に使用した一例を示し、真空ポンプ、エゼクタ等の真
空源36と吸着バッド37とを連通させる真空回路を構
成するチューブ38.38の一端は、流入口17と流出
口26に装着したワンタッチ管継手30、30にそれぞ
れ取付けられ、一端がドレン口16のワンタッチ管継手
30に取付けられたドレン管39の他端に、開閉弁40
が取付けられている。FIG. 2 shows the above-mentioned water separation filter lO
One end of the tube 38 , 38 configuring the vacuum circuit that communicates the vacuum source 36 such as a vacuum pump or ejector with the suction pad 37 is a one-touch tube attached to the inlet 17 and the outlet 26 . An on-off valve 40 is attached to the other end of the drain pipe 39, which is attached to the fittings 30, 30, and one end of which is attached to the one-touch fitting 30 of the drain port 16.
is installed.
上記吸着搬送装置35において、吸着パッド37がワー
ク42を吸着すると、ワーク42に付着している水滴が
空気とともにチューブ38に吸引されるが、この水は水
分離フィルタlOの阻水性フィルタエレメント14で分
離されて、水が分離された空気が真空源36に吸引され
る。したがって、真空源の運転制御に必要な制御機器(
図示省略)の水による不都合を防止することができる。In the suction conveyance device 35, when the suction pad 37 adsorbs the workpiece 42, water droplets adhering to the workpiece 42 are sucked together with air into the tube 38, but this water is absorbed by the water-blocking filter element 14 of the water separation filter IO. The separated, water-free air is drawn into a vacuum source 36 . Therefore, the control equipment (
Inconveniences caused by water (not shown) can be prevented.
フィルタエレメント14によって分離された水は、ドレ
ン口16を通ってドレン管39に流れ、ワーク42の解
放に必要な大気または圧縮空気の供給による真空破壊、
吸着作業の停止等の外部信号によって開閉弁40を開放
すると、フィルタ10内の水がドレン管39を通って外
部に排出される。The water separated by the filter element 14 flows through the drain port 16 into the drain pipe 39 and breaks the vacuum by supplying atmospheric air or compressed air, which is necessary for releasing the workpiece 42.
When the on-off valve 40 is opened by an external signal such as stopping the adsorption operation, water in the filter 10 is discharged to the outside through the drain pipe 39.
上記第1実施例は、水分離のための一部レベルの液面を
設ける必要がなく、かつ分離された水分子が再度空気に
混入しないので、全体を小形にすることができる。また
、フィルタエレメント14の上流に設けた旋回手段28
によって予め空気から水滴の一部を分離させるので、フ
ィルタ10による水の分離効率が向上する。In the first embodiment, there is no need to provide a partial liquid level for water separation, and the separated water molecules do not mix into the air again, so the overall size can be reduced. Further, a turning means 28 provided upstream of the filter element 14
Since some of the water droplets are separated from the air in advance, the efficiency of water separation by the filter 10 is improved.
さらに、外部信号により開閉弁40を開放せせてフィル
タlO内の水を排出できるので、メンテナンスが容易で
ある。Furthermore, maintenance is easy because the on-off valve 40 can be opened by an external signal and the water in the filter IO can be discharged.
なお、上記水分離フィルタ10は、空気圧機器に供給す
る圧縮空気から水を分離する場合にも使用できることは
、勿論である。It goes without saying that the water separation filter 10 can also be used to separate water from compressed air supplied to pneumatic equipment.
第3図は、フィルタエレメントによって分離した水を排
出させる開閉弁を、フィルタに設けた本発明の第2実施
例を示し、この水分離フィルタ50は、空気の流入口5
3を有する本体51と、空気の流出口54を有する蓋5
2a及びドレン口62を有する前蓋52bとを備え、本
体51内にフィルタエレメント55が、気密にかつ取外
し可能に装着されている。FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention in which a filter is provided with an on-off valve for discharging water separated by a filter element.
3 and a lid 5 having an air outlet 54.
2a and a front cover 52b having a drain port 62, and a filter element 55 is airtightly and removably mounted within the main body 51.
上記フィルタエレメント55は、連結部材56で連結さ
れた一対の端板57a、 57b間に取付けられた筒状
の阻水性メンブラン59として構成され、その外周に、
空気中の塵埃を除去するためのダストフィルタ60が間
隔を置いて設置されており、端板57aにフィルタエレ
メント55内に開口する通気孔58a。The filter element 55 is configured as a cylindrical water-blocking membrane 59 attached between a pair of end plates 57a and 57b connected by a connecting member 56.
Dust filters 60 for removing dust in the air are installed at intervals, and a ventilation hole 58a opens into the filter element 55 in the end plate 57a.
・・が、端板57bにおけるフィルタエレメント55と
ダストフィルタ60の間に通水孔58b、・・がそれぞ
れ開設され、上記阻水性メンブラン59は、第1実施例
と同様に、通気性を有しかつ水の通過を阻止するものと
して構成されている。... are respectively opened between the filter element 55 and the dust filter 60 in the end plate 57b, and the water-blocking membrane 59 has air permeability as in the first embodiment. and is configured to prevent water from passing through.
上記本体51の下部は、フィルタエレメント55で分離
された水の貯水室61を構成し、上記ドレン口62に外
部信号によって動作する開閉弁63が組付けられている
。The lower part of the main body 51 constitutes a water storage chamber 61 for water separated by a filter element 55, and an on-off valve 63 operated by an external signal is attached to the drain port 62.
上記第2実施例は、空気中の塵埃がダストフィルタ60
によって除去され、次いでフィルタエレメント55によ
って空気から水が分離され、通水孔58b、 ・を通
って貯水室61に貯留された水は、第1実施例と同様に
、真空破壊、吸着作業の停止等の外部信号によって開閉
弁63を開放することにより、フィルタ50から排出さ
れる。In the second embodiment, dust in the air is removed by the dust filter 60.
water is removed from the air by the filter element 55, and the water is stored in the water storage chamber 61 through the water passage holes 58b and 58b, and the water is stored in the water storage chamber 61 when the vacuum is broken and the adsorption operation is stopped, as in the first embodiment. By opening the on-off valve 63 in response to an external signal such as the like, the water is discharged from the filter 50.
第2実施例の他の作用は第1実施例と同じであるから、
詳細な説明は省略する。Other functions of the second embodiment are the same as those of the first embodiment, so
Detailed explanation will be omitted.
第4図は本発明の第3実施例を示し、この水分離フィル
タ70は、本体71のドレンロア2に、ばね73で閉鎖
方向に付勢されたチェック弁74を備え、このばね73
は、フィルタ70に真空圧が作用するとドレンロア2を
閉鎖し、真空圧が解除されるとドレンロア2を開放する
弱い付勢力を有している。FIG. 4 shows a third embodiment of the present invention, and this water separation filter 70 includes a check valve 74 on the drain lower 2 of a main body 71, which is biased in the closing direction by a spring 73.
has a weak biasing force that closes the drain lower 2 when vacuum pressure is applied to the filter 70 and opens the drain lower 2 when the vacuum pressure is released.
上記第3実施例は、外部信号によることなく、フィルタ
70に作用する真空圧の有無によって空気から分離させ
た水を排出することができる。In the third embodiment, the water separated from the air can be discharged depending on the presence or absence of vacuum pressure acting on the filter 70, without depending on an external signal.
第3実施例の他の構成及び作用は第2実施例と同じであ
るから、詳細な説明は省略する。The other configurations and operations of the third embodiment are the same as those of the second embodiment, so detailed explanations will be omitted.
なお、図示を省略しているが、第2、第3実施例におい
ても、蓋側の開口を空気の流入口に、本体側の開口を空
気の流出口にするとともに、通気孔をフィルタエレメン
ト55の空間内に開口させると、空気の旋回手段を付設
することができる。Although not shown, in the second and third embodiments, the opening on the lid side is used as an air inlet, the opening on the main body side is used as an air outlet, and the ventilation hole is used as a filter element 55. If the opening is made in the space of , an air swirling means can be attached.
第5図は、水分離フィルタ80を組込・んだ吸着搬送装
置90の実施例を示し、この吸着搬送装置90は、真空
源としてのエゼクタ91、該エゼクタ91に圧縮空気を
供給する供給弁92、吸着バッド37に圧縮空気を供給
する真空破壊弁93及びこれらのパイロット弁、真空圧
スイッチ94、並びに上記水分離フィルタ80を一体に
組付けたものとして構成され、水分離フィルタ80の流
入口81はチューブ38によって吸着バッド37に接続
し、流出口82はエゼクタ91に開口する流路96に連
通している。FIG. 5 shows an embodiment of an adsorption conveyance device 90 incorporating a water separation filter 80, and this adsorption conveyance device 90 includes an ejector 91 as a vacuum source and a supply valve that supplies compressed air to the ejector 91. 92, a vacuum break valve 93 for supplying compressed air to the adsorption pad 37, these pilot valves, a vacuum pressure switch 94, and the water separation filter 80 are assembled together, and the inflow port of the water separation filter 80 81 is connected to the suction pad 37 by a tube 38, and the outlet 82 communicates with a flow path 96 that opens to the ejector 91.
上記吸着搬送装置90は、供給ボート97の圧縮空気を
供給弁92によってエゼクタ91に供給すると、流路9
6の空気が吸引されて流路96に負圧が発生して吸着バ
ッド37がワーク42を吸着する。流入口81から水分
離フィルタ80に吸引された空気は、ダストフィルタ6
0によって塵埃が除去され、さらにフィルタエレメント
55によって水が分離され、水分を含まない空気が流出
口82から流路96に流出する。したがって、流路96
に開口している真空圧スイッチ94の圧力センサ9Bが
水によって不都合を生ずることはない。When the adsorption conveyance device 90 supplies compressed air from the supply boat 97 to the ejector 91 through the supply valve 92, the flow path 9
6 is sucked in, negative pressure is generated in the flow path 96, and the suction pad 37 suctions the workpiece 42. The air sucked into the water separation filter 80 from the inlet 81 passes through the dust filter 6
Dust is removed by the filter element 55, water is separated by the filter element 55, and water-free air flows out from the outlet 82 into the flow path 96. Therefore, the flow path 96
The pressure sensor 9B of the vacuum pressure switch 94, which is open to the outside, will not be inconvenienced by water.
供給弁92によるエゼクタ91への圧縮空気の供給を遮
断するとともに、真空破壊弁93を開放すると、圧縮空
気が真空破壊流路93a、流入口81を通って吸着パッ
ド37に供給されるので、吸着パッド37がワーク42
を解放する。また、同時に信号流路93bに供給された
圧縮空気によって開閉弁84が開放するので、貯水室8
5の水がドレン口83から排出され、真空破壊弁93に
よる圧縮空気の供給を遮断すると、ばね86の付勢力に
よって開閉弁84が貯水室85とドレン口83との連通
を遮断する。When the supply of compressed air to the ejector 91 by the supply valve 92 is cut off and the vacuum break valve 93 is opened, the compressed air is supplied to the suction pad 37 through the vacuum break channel 93a and the inlet 81, so that the suction Pad 37 is work 42
to release. At the same time, the on-off valve 84 is opened by the compressed air supplied to the signal flow path 93b, so the water storage chamber 8
5 is discharged from the drain port 83 and the supply of compressed air by the vacuum breaker valve 93 is cut off, the opening/closing valve 84 cuts off communication between the water storage chamber 85 and the drain port 83 due to the biasing force of the spring 86.
[発明の効果]
本発明の水分離フィルタは、阻水性のフィルタエレメン
トによって空気から水分子を分離するので、水分離装置
を小形にすることができる。[Effects of the Invention] Since the water separation filter of the present invention separates water molecules from air using a water-blocking filter element, the water separation device can be made smaller.
また、フィルタエレメントの上流に設けた旋回手段によ
って予め空気中の水滴を分離させるので、フィルタエレ
メントによる水の分離効率を向上させることができる。Further, since water droplets in the air are separated in advance by the swirling means provided upstream of the filter element, the water separation efficiency by the filter element can be improved.
さらに、外部信号により動作する開閉弁によって分離し
た水を排出させるので、メンテナンスが容易である。Furthermore, since the separated water is discharged by an on-off valve operated by an external signal, maintenance is easy.
また、真空圧により閉鎖し真空破壊により開放するチェ
ック弁を設けたので、フィルタの構成が簡単で、かつメ
ンテナンスが一層容易である。Furthermore, since a check valve is provided that closes when vacuum pressure is applied and opens when vacuum breaks, the filter structure is simple and maintenance is easier.
さらに、吸着搬送装置に上記各構成の水分離フィルタを
組込んだので、水分離フィルタの流出側への水分の流出
を防止することができる。Furthermore, since the water separation filter having each of the above configurations is incorporated into the adsorption conveyance device, it is possible to prevent water from flowing out to the outflow side of the water separation filter.
第1図は本発明の第1実施例の縦断面図、第2図は使用
状態の説明図、第3図は第2実施例の縦断面図、第4図
は第3実施例の要部を示す縦断面図、第5図は吸着搬送
装置に組込んだ状態の要部断面図、第6図は公知の水分
離装置の概略図である。
10、50.70.80 ・水分離フィルタ、14
、55 ・・フィルタエレメント、16、62.72
.83 ・・ドレン口、17.53.81・・流入口
、 26,54.82・・流出口、28・
74・
91 ・
93・
・旋回手段、
63.84・・開閉弁、
・チェック弁、
・エゼクタ、
・真空破壊弁、
37・
42・
90・
92・
96・
・吸着パッド、
・ワーク、
・吸着搬送装置、
・供給弁、
・流路。Fig. 1 is a longitudinal sectional view of the first embodiment of the present invention, Fig. 2 is an explanatory diagram of the state of use, Fig. 3 is a longitudinal sectional view of the second embodiment, and Fig. 4 is a main part of the third embodiment. FIG. 5 is a cross-sectional view of a main part of the water separator installed in an adsorption/conveying device, and FIG. 6 is a schematic diagram of a known water separation device. 10, 50.70.80 ・Water separation filter, 14
, 55 ... Filter element, 16, 62.72
.. 83...Drain port, 17.53.81...Inlet, 26,54.82...Outlet, 28, 74, 91, 93...Swivel means, 63.84...On-off valve, -Check valve, - Ejector, - Vacuum break valve, 37, 42, 90, 92, 96, - Suction pad, - Workpiece, - Adsorption conveyance device, - Supply valve, - Channel.
Claims (1)
せる流路中のフィルタエレメントと、該フィルタエレメ
ントで分離された水を排出させるドレン口とを備え、上
記フィルタエレメントを、通気性を有しかつ水の通過を
阻止する阻水性フィルタエレメントで構成した、 ことを特徴とする水分離フィルタ。 2、フィルタエレメントの上流に、空気中の水滴を予め
分離させるための旋回手段を設けた、ことを特徴とする
請求項1に記載した水分離フィルタ。 3、ドレン口に外部信号により開閉する開閉弁を設けた
、 ことを特徴とする請求項1または2に記載した水分離フ
ィルタ。 4、ドレン口に、真空圧により閉鎖し真空破壊により開
放するチェック弁を設けた、 ことを特徴とする請求項1または2に記載した水分離フ
ィルタ。 5、ワークを吸着するための吸着パッドと、該吸着パッ
ドが接続される請求項1、2または3に記載した構成を
有する水分離フィルタと、該水分離フィルタにおける空
気の流出口とエゼクタの吸込側を連通させる流路と、上
記エゼクタに圧縮空気を供給する供給弁と、上記吸着パ
ッドに真空破壊のための空気を供給する真空破壊弁とを
備えている、 ことを特徴とする吸着搬送装置。[Claims] 1. The above-mentioned filter comprises an air inlet and an air outlet, a filter element in a flow path that communicates these openings, and a drain port that discharges water separated by the filter element. A water separation filter characterized in that the element is constituted by a water-blocking filter element that has air permeability and prevents passage of water. 2. The water separation filter according to claim 1, further comprising a swirling means for separating water droplets in the air in advance upstream of the filter element. 3. The water separation filter according to claim 1 or 2, wherein the drain port is provided with an on-off valve that opens and closes in response to an external signal. 4. The water separation filter according to claim 1 or 2, wherein the drain port is provided with a check valve that closes by vacuum pressure and opens by breaking the vacuum. 5. A suction pad for adsorbing a workpiece, a water separation filter having the configuration according to claim 1, 2 or 3 to which the suction pad is connected, and an air outlet and an ejector suction in the water separation filter. A suction conveyance device comprising: a flow path that communicates the two sides; a supply valve that supplies compressed air to the ejector; and a vacuum breaker valve that supplies air for breaking the vacuum to the suction pad. .
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JP02276652A Expired - Fee Related JP3140036B2 (en) | 1990-10-16 | 1990-10-16 | Water separation filter and adsorption transfer device having the same |
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JP2012020242A (en) * | 2010-07-15 | 2012-02-02 | Tlv Co Ltd | Gas-liquid separator |
CN114515488A (en) * | 2022-02-22 | 2022-05-20 | 国家管网集团川气东送天然气管道有限公司 | Coalescence filter |
-
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- 1990-10-16 JP JP02276652A patent/JP3140036B2/en not_active Expired - Fee Related
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CN114515488A (en) * | 2022-02-22 | 2022-05-20 | 国家管网集团川气东送天然气管道有限公司 | Coalescence filter |
CN114515488B (en) * | 2022-02-22 | 2023-11-10 | 国家管网集团川气东送天然气管道有限公司 | Coalescing filter |
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