JPH04150911A - 水分離フィルタ及びそれを有する吸着搬送装置 - Google Patents
水分離フィルタ及びそれを有する吸着搬送装置Info
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- JPH04150911A JPH04150911A JP2276652A JP27665290A JPH04150911A JP H04150911 A JPH04150911 A JP H04150911A JP 2276652 A JP2276652 A JP 2276652A JP 27665290 A JP27665290 A JP 27665290A JP H04150911 A JPH04150911 A JP H04150911A
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- Separating Particles In Gases By Inertia (AREA)
- Drying Of Gases (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、空気から水を分離させるための水分離フィル
タ及びそれを有する吸着搬送装置に関するものである。
タ及びそれを有する吸着搬送装置に関するものである。
[従来の技術]
真空ポンプ、エジェクタ等の真空圧発生装置は、これら
の運転制御に必要な制御機器、特に真空圧スイッチ、圧
力センサ、弁、サイレンサ等に水が接触すると不都合を
生ずることがあるので、真空回路を流れる空気が水を含
まないことが必要である。
の運転制御に必要な制御機器、特に真空圧スイッチ、圧
力センサ、弁、サイレンサ等に水が接触すると不都合を
生ずることがあるので、真空回路を流れる空気が水を含
まないことが必要である。
しかしながら、例えば、真空圧によって吸着パッドがワ
ークを吸着して搬送する吸着搬送装置においては、ワー
クに水滴が付着している等のために真空回路への水の吸
入が避けられないので、何らかの手段によって空気中の
水を分離する必要がある。
ークを吸着して搬送する吸着搬送装置においては、ワー
クに水滴が付着している等のために真空回路への水の吸
入が避けられないので、何らかの手段によって空気中の
水を分離する必要がある。
従来は、第6図に示すように、吸着パッド2とエジェク
タ3等の真空源とを連通させる真空回路l中に水分離装
置5を設けて空気中の水を分離しているが、この水分離
装置5によって空気中の水を分離するためには一定レベ
ル以上の液面を必要とするので、装置が大形になり、し
かもメンテナンスが面倒である。
タ3等の真空源とを連通させる真空回路l中に水分離装
置5を設けて空気中の水を分離しているが、この水分離
装置5によって空気中の水を分離するためには一定レベ
ル以上の液面を必要とするので、装置が大形になり、し
かもメンテナンスが面倒である。
[発明が解決しようとする課題]
本発明が解決しようとする課題は、小形でかつメンテナ
ンスが容易な水分離フィルタ、及びそれを有する吸着搬
送装置を提供することにある。
ンスが容易な水分離フィルタ、及びそれを有する吸着搬
送装置を提供することにある。
[課題を解決するための手段]
上記課題を解決するため、本発明の水分離フィルタは、
空気の流入口及び流出口と、これらの開口を連通させる
流路中のフィルタエレメントと、該フィルタエレメント
で分離された水を排出させるドレン口とを備え、上記フ
ィルタエレメントを、通気性を有しかつ水の通過を阻止
する阻水性フィルタエレメントで構成したことを特徴と
している。
空気の流入口及び流出口と、これらの開口を連通させる
流路中のフィルタエレメントと、該フィルタエレメント
で分離された水を排出させるドレン口とを備え、上記フ
ィルタエレメントを、通気性を有しかつ水の通過を阻止
する阻水性フィルタエレメントで構成したことを特徴と
している。
また、同様の課題を解決するため、フィルタエレメント
の上流に、空気中の水滴を予め分離させる旋回手段を設
けるとよい。
の上流に、空気中の水滴を予め分離させる旋回手段を設
けるとよい。
さらに、同様の課題を解決するため、ドレン口に外部信
号により開閉する開閉弁を設けるとよい。
号により開閉する開閉弁を設けるとよい。
また、同様の課題を解決するため、ドレン口に、真空圧
により閉鎖し真空破壊により開放するチェック弁を設け
るとよい。
により閉鎖し真空破壊により開放するチェック弁を設け
るとよい。
さらに、同様の課題を解決するため、吸着搬送装置が、
ワークを吸着するための吸着パッドと、該吸着パッドが
接続される上記いずれかの構成を有する水分離フィルタ
と、該水分離フィルタにおける空気の流出口とエゼクタ
の吸込側を連通させる流路と、上記エゼクタに圧縮空気
を供給する供給弁と、上記吸着パッドに真空破壊のため
の空気を供給する真空破壊弁とを備えているとよい。
ワークを吸着するための吸着パッドと、該吸着パッドが
接続される上記いずれかの構成を有する水分離フィルタ
と、該水分離フィルタにおける空気の流出口とエゼクタ
の吸込側を連通させる流路と、上記エゼクタに圧縮空気
を供給する供給弁と、上記吸着パッドに真空破壊のため
の空気を供給する真空破壊弁とを備えているとよい。
[作 用]
流入口からフィルタに流入した空気は、阻水性フィルタ
エレメントによって水分子が分離され、水分子のない空
気となって流出口から流出する。
エレメントによって水分子が分離され、水分子のない空
気となって流出口から流出する。
また、阻水性フィルタエレメントの上流に設けた旋回手
段で予め水滴を分離させるので、フィルタエレメントに
よる水の分離を一層効果的に行うことができる。
段で予め水滴を分離させるので、フィルタエレメントに
よる水の分離を一層効果的に行うことができる。
さらに、ドレン口に、外部信号により開閉する開閉弁を
設けたので、フィルタに貯留した水を排出させることが
できる。
設けたので、フィルタに貯留した水を排出させることが
できる。
また、ドレン口に真空圧により閉鎖し、真空破壊により
開放するチェック弁を設けたので、真空圧解除の都度フ
ィルタ内の水を排出させることができる。
開放するチェック弁を設けたので、真空圧解除の都度フ
ィルタ内の水を排出させることができる。
さらに、吸着搬送装置が、上記いずれかの構成の水分離
フィルタを備えているので、水分離フィルタの流出側に
水分が流出することを防止することができる。
フィルタを備えているので、水分離フィルタの流出側に
水分が流出することを防止することができる。
[実施例]
第1図は本発明の第1実施例を示し、この水分離フィル
タlOは、本体11、チューブ継手12、カバー13を
備え、本体ll内に後記するフィルタエレメント14が
装着されている。
タlOは、本体11、チューブ継手12、カバー13を
備え、本体ll内に後記するフィルタエレメント14が
装着されている。
上記本体11は、一端外周にカバー13の取付部11a
を、中間部外周に円筒状の突出部11bを、カバーの取
付側と反対側にドレン口16をそれぞれ備え、取付部1
1aに気密にかつ取外し可能に取付けられた上記カバー
13は、空気の流入口17とフィルタエレメント14の
装着部18を有し、本体11のドレン口16側に、上記
装着部18と対向する装着部19が形設されている。
を、中間部外周に円筒状の突出部11bを、カバーの取
付側と反対側にドレン口16をそれぞれ備え、取付部1
1aに気密にかつ取外し可能に取付けられた上記カバー
13は、空気の流入口17とフィルタエレメント14の
装着部18を有し、本体11のドレン口16側に、上記
装着部18と対向する装着部19が形設されている。
突出部11bの外周には、上記チューブ継手12の筒部
12aが気密にかつ回転可能に装着され、本体11にお
けるカバーの取付側と突出部11bとの間に形成された
L字状の空気流路21の先端はプラグ22で気密に閉鎖
され、突出部11bに、周溝23と、該周溝23と流路
21とを連通させる開口24.・・が形成されている。
12aが気密にかつ回転可能に装着され、本体11にお
けるカバーの取付側と突出部11bとの間に形成された
L字状の空気流路21の先端はプラグ22で気密に閉鎖
され、突出部11bに、周溝23と、該周溝23と流路
21とを連通させる開口24.・・が形成されている。
上記チューブ継手12は、空気の流出口26、該流出口
26と周溝23とを連通させる通路27を備え、上記流
入口17、流出口26及びドレン口16に、チューブ(
図示省略)の挿入により金属製のチャック31先端の複
数の係止爪がチューブの外壁に食い込んでチューブを係
止し、リリースブツシュ32を押込むと係止爪によるチ
ューブの係止が解除されてチューブを引抜くことができ
る、いわゆるワンタッチ管継手30.・・が、それぞれ
装着されている。
26と周溝23とを連通させる通路27を備え、上記流
入口17、流出口26及びドレン口16に、チューブ(
図示省略)の挿入により金属製のチャック31先端の複
数の係止爪がチューブの外壁に食い込んでチューブを係
止し、リリースブツシュ32を押込むと係止爪によるチ
ューブの係止が解除されてチューブを引抜くことができ
る、いわゆるワンタッチ管継手30.・・が、それぞれ
装着されている。
フィルタエレメント14は、例えばPTFEのような疎
水性の素材で形成した筒状の不織布またはメンプランに
よって、通気性を有しかつ水分子の通過を阻止する阻水
性のものとして構成され、両端を装着部18.19に嵌
着させることにより空気流路21中に取付けられており
、カバー13における流入口17と装着部18の間に設
置された空気の旋回手段28は、デフレクタ、接線方向
成分を有する孔、バッフル等によって構成されている。
水性の素材で形成した筒状の不織布またはメンプランに
よって、通気性を有しかつ水分子の通過を阻止する阻水
性のものとして構成され、両端を装着部18.19に嵌
着させることにより空気流路21中に取付けられており
、カバー13における流入口17と装着部18の間に設
置された空気の旋回手段28は、デフレクタ、接線方向
成分を有する孔、バッフル等によって構成されている。
第2図は、上記水分離フィルタlOを、吸着搬送装置3
5に使用した一例を示し、真空ポンプ、エゼクタ等の真
空源36と吸着バッド37とを連通させる真空回路を構
成するチューブ38.38の一端は、流入口17と流出
口26に装着したワンタッチ管継手30、30にそれぞ
れ取付けられ、一端がドレン口16のワンタッチ管継手
30に取付けられたドレン管39の他端に、開閉弁40
が取付けられている。
5に使用した一例を示し、真空ポンプ、エゼクタ等の真
空源36と吸着バッド37とを連通させる真空回路を構
成するチューブ38.38の一端は、流入口17と流出
口26に装着したワンタッチ管継手30、30にそれぞ
れ取付けられ、一端がドレン口16のワンタッチ管継手
30に取付けられたドレン管39の他端に、開閉弁40
が取付けられている。
上記吸着搬送装置35において、吸着パッド37がワー
ク42を吸着すると、ワーク42に付着している水滴が
空気とともにチューブ38に吸引されるが、この水は水
分離フィルタlOの阻水性フィルタエレメント14で分
離されて、水が分離された空気が真空源36に吸引され
る。したがって、真空源の運転制御に必要な制御機器(
図示省略)の水による不都合を防止することができる。
ク42を吸着すると、ワーク42に付着している水滴が
空気とともにチューブ38に吸引されるが、この水は水
分離フィルタlOの阻水性フィルタエレメント14で分
離されて、水が分離された空気が真空源36に吸引され
る。したがって、真空源の運転制御に必要な制御機器(
図示省略)の水による不都合を防止することができる。
フィルタエレメント14によって分離された水は、ドレ
ン口16を通ってドレン管39に流れ、ワーク42の解
放に必要な大気または圧縮空気の供給による真空破壊、
吸着作業の停止等の外部信号によって開閉弁40を開放
すると、フィルタ10内の水がドレン管39を通って外
部に排出される。
ン口16を通ってドレン管39に流れ、ワーク42の解
放に必要な大気または圧縮空気の供給による真空破壊、
吸着作業の停止等の外部信号によって開閉弁40を開放
すると、フィルタ10内の水がドレン管39を通って外
部に排出される。
上記第1実施例は、水分離のための一部レベルの液面を
設ける必要がなく、かつ分離された水分子が再度空気に
混入しないので、全体を小形にすることができる。また
、フィルタエレメント14の上流に設けた旋回手段28
によって予め空気から水滴の一部を分離させるので、フ
ィルタ10による水の分離効率が向上する。
設ける必要がなく、かつ分離された水分子が再度空気に
混入しないので、全体を小形にすることができる。また
、フィルタエレメント14の上流に設けた旋回手段28
によって予め空気から水滴の一部を分離させるので、フ
ィルタ10による水の分離効率が向上する。
さらに、外部信号により開閉弁40を開放せせてフィル
タlO内の水を排出できるので、メンテナンスが容易で
ある。
タlO内の水を排出できるので、メンテナンスが容易で
ある。
なお、上記水分離フィルタ10は、空気圧機器に供給す
る圧縮空気から水を分離する場合にも使用できることは
、勿論である。
る圧縮空気から水を分離する場合にも使用できることは
、勿論である。
第3図は、フィルタエレメントによって分離した水を排
出させる開閉弁を、フィルタに設けた本発明の第2実施
例を示し、この水分離フィルタ50は、空気の流入口5
3を有する本体51と、空気の流出口54を有する蓋5
2a及びドレン口62を有する前蓋52bとを備え、本
体51内にフィルタエレメント55が、気密にかつ取外
し可能に装着されている。
出させる開閉弁を、フィルタに設けた本発明の第2実施
例を示し、この水分離フィルタ50は、空気の流入口5
3を有する本体51と、空気の流出口54を有する蓋5
2a及びドレン口62を有する前蓋52bとを備え、本
体51内にフィルタエレメント55が、気密にかつ取外
し可能に装着されている。
上記フィルタエレメント55は、連結部材56で連結さ
れた一対の端板57a、 57b間に取付けられた筒状
の阻水性メンブラン59として構成され、その外周に、
空気中の塵埃を除去するためのダストフィルタ60が間
隔を置いて設置されており、端板57aにフィルタエレ
メント55内に開口する通気孔58a。
れた一対の端板57a、 57b間に取付けられた筒状
の阻水性メンブラン59として構成され、その外周に、
空気中の塵埃を除去するためのダストフィルタ60が間
隔を置いて設置されており、端板57aにフィルタエレ
メント55内に開口する通気孔58a。
・・が、端板57bにおけるフィルタエレメント55と
ダストフィルタ60の間に通水孔58b、・・がそれぞ
れ開設され、上記阻水性メンブラン59は、第1実施例
と同様に、通気性を有しかつ水の通過を阻止するものと
して構成されている。
ダストフィルタ60の間に通水孔58b、・・がそれぞ
れ開設され、上記阻水性メンブラン59は、第1実施例
と同様に、通気性を有しかつ水の通過を阻止するものと
して構成されている。
上記本体51の下部は、フィルタエレメント55で分離
された水の貯水室61を構成し、上記ドレン口62に外
部信号によって動作する開閉弁63が組付けられている
。
された水の貯水室61を構成し、上記ドレン口62に外
部信号によって動作する開閉弁63が組付けられている
。
上記第2実施例は、空気中の塵埃がダストフィルタ60
によって除去され、次いでフィルタエレメント55によ
って空気から水が分離され、通水孔58b、 ・を通
って貯水室61に貯留された水は、第1実施例と同様に
、真空破壊、吸着作業の停止等の外部信号によって開閉
弁63を開放することにより、フィルタ50から排出さ
れる。
によって除去され、次いでフィルタエレメント55によ
って空気から水が分離され、通水孔58b、 ・を通
って貯水室61に貯留された水は、第1実施例と同様に
、真空破壊、吸着作業の停止等の外部信号によって開閉
弁63を開放することにより、フィルタ50から排出さ
れる。
第2実施例の他の作用は第1実施例と同じであるから、
詳細な説明は省略する。
詳細な説明は省略する。
第4図は本発明の第3実施例を示し、この水分離フィル
タ70は、本体71のドレンロア2に、ばね73で閉鎖
方向に付勢されたチェック弁74を備え、このばね73
は、フィルタ70に真空圧が作用するとドレンロア2を
閉鎖し、真空圧が解除されるとドレンロア2を開放する
弱い付勢力を有している。
タ70は、本体71のドレンロア2に、ばね73で閉鎖
方向に付勢されたチェック弁74を備え、このばね73
は、フィルタ70に真空圧が作用するとドレンロア2を
閉鎖し、真空圧が解除されるとドレンロア2を開放する
弱い付勢力を有している。
上記第3実施例は、外部信号によることなく、フィルタ
70に作用する真空圧の有無によって空気から分離させ
た水を排出することができる。
70に作用する真空圧の有無によって空気から分離させ
た水を排出することができる。
第3実施例の他の構成及び作用は第2実施例と同じであ
るから、詳細な説明は省略する。
るから、詳細な説明は省略する。
なお、図示を省略しているが、第2、第3実施例におい
ても、蓋側の開口を空気の流入口に、本体側の開口を空
気の流出口にするとともに、通気孔をフィルタエレメン
ト55の空間内に開口させると、空気の旋回手段を付設
することができる。
ても、蓋側の開口を空気の流入口に、本体側の開口を空
気の流出口にするとともに、通気孔をフィルタエレメン
ト55の空間内に開口させると、空気の旋回手段を付設
することができる。
第5図は、水分離フィルタ80を組込・んだ吸着搬送装
置90の実施例を示し、この吸着搬送装置90は、真空
源としてのエゼクタ91、該エゼクタ91に圧縮空気を
供給する供給弁92、吸着バッド37に圧縮空気を供給
する真空破壊弁93及びこれらのパイロット弁、真空圧
スイッチ94、並びに上記水分離フィルタ80を一体に
組付けたものとして構成され、水分離フィルタ80の流
入口81はチューブ38によって吸着バッド37に接続
し、流出口82はエゼクタ91に開口する流路96に連
通している。
置90の実施例を示し、この吸着搬送装置90は、真空
源としてのエゼクタ91、該エゼクタ91に圧縮空気を
供給する供給弁92、吸着バッド37に圧縮空気を供給
する真空破壊弁93及びこれらのパイロット弁、真空圧
スイッチ94、並びに上記水分離フィルタ80を一体に
組付けたものとして構成され、水分離フィルタ80の流
入口81はチューブ38によって吸着バッド37に接続
し、流出口82はエゼクタ91に開口する流路96に連
通している。
上記吸着搬送装置90は、供給ボート97の圧縮空気を
供給弁92によってエゼクタ91に供給すると、流路9
6の空気が吸引されて流路96に負圧が発生して吸着バ
ッド37がワーク42を吸着する。流入口81から水分
離フィルタ80に吸引された空気は、ダストフィルタ6
0によって塵埃が除去され、さらにフィルタエレメント
55によって水が分離され、水分を含まない空気が流出
口82から流路96に流出する。したがって、流路96
に開口している真空圧スイッチ94の圧力センサ9Bが
水によって不都合を生ずることはない。
供給弁92によってエゼクタ91に供給すると、流路9
6の空気が吸引されて流路96に負圧が発生して吸着バ
ッド37がワーク42を吸着する。流入口81から水分
離フィルタ80に吸引された空気は、ダストフィルタ6
0によって塵埃が除去され、さらにフィルタエレメント
55によって水が分離され、水分を含まない空気が流出
口82から流路96に流出する。したがって、流路96
に開口している真空圧スイッチ94の圧力センサ9Bが
水によって不都合を生ずることはない。
供給弁92によるエゼクタ91への圧縮空気の供給を遮
断するとともに、真空破壊弁93を開放すると、圧縮空
気が真空破壊流路93a、流入口81を通って吸着パッ
ド37に供給されるので、吸着パッド37がワーク42
を解放する。また、同時に信号流路93bに供給された
圧縮空気によって開閉弁84が開放するので、貯水室8
5の水がドレン口83から排出され、真空破壊弁93に
よる圧縮空気の供給を遮断すると、ばね86の付勢力に
よって開閉弁84が貯水室85とドレン口83との連通
を遮断する。
断するとともに、真空破壊弁93を開放すると、圧縮空
気が真空破壊流路93a、流入口81を通って吸着パッ
ド37に供給されるので、吸着パッド37がワーク42
を解放する。また、同時に信号流路93bに供給された
圧縮空気によって開閉弁84が開放するので、貯水室8
5の水がドレン口83から排出され、真空破壊弁93に
よる圧縮空気の供給を遮断すると、ばね86の付勢力に
よって開閉弁84が貯水室85とドレン口83との連通
を遮断する。
[発明の効果]
本発明の水分離フィルタは、阻水性のフィルタエレメン
トによって空気から水分子を分離するので、水分離装置
を小形にすることができる。
トによって空気から水分子を分離するので、水分離装置
を小形にすることができる。
また、フィルタエレメントの上流に設けた旋回手段によ
って予め空気中の水滴を分離させるので、フィルタエレ
メントによる水の分離効率を向上させることができる。
って予め空気中の水滴を分離させるので、フィルタエレ
メントによる水の分離効率を向上させることができる。
さらに、外部信号により動作する開閉弁によって分離し
た水を排出させるので、メンテナンスが容易である。
た水を排出させるので、メンテナンスが容易である。
また、真空圧により閉鎖し真空破壊により開放するチェ
ック弁を設けたので、フィルタの構成が簡単で、かつメ
ンテナンスが一層容易である。
ック弁を設けたので、フィルタの構成が簡単で、かつメ
ンテナンスが一層容易である。
さらに、吸着搬送装置に上記各構成の水分離フィルタを
組込んだので、水分離フィルタの流出側への水分の流出
を防止することができる。
組込んだので、水分離フィルタの流出側への水分の流出
を防止することができる。
第1図は本発明の第1実施例の縦断面図、第2図は使用
状態の説明図、第3図は第2実施例の縦断面図、第4図
は第3実施例の要部を示す縦断面図、第5図は吸着搬送
装置に組込んだ状態の要部断面図、第6図は公知の水分
離装置の概略図である。 10、50.70.80 ・水分離フィルタ、14
、55 ・・フィルタエレメント、16、62.72
.83 ・・ドレン口、17.53.81・・流入口
、 26,54.82・・流出口、28・ 74・ 91 ・ 93・ ・旋回手段、 63.84・・開閉弁、 ・チェック弁、 ・エゼクタ、 ・真空破壊弁、 37・ 42・ 90・ 92・ 96・ ・吸着パッド、 ・ワーク、 ・吸着搬送装置、 ・供給弁、 ・流路。
状態の説明図、第3図は第2実施例の縦断面図、第4図
は第3実施例の要部を示す縦断面図、第5図は吸着搬送
装置に組込んだ状態の要部断面図、第6図は公知の水分
離装置の概略図である。 10、50.70.80 ・水分離フィルタ、14
、55 ・・フィルタエレメント、16、62.72
.83 ・・ドレン口、17.53.81・・流入口
、 26,54.82・・流出口、28・ 74・ 91 ・ 93・ ・旋回手段、 63.84・・開閉弁、 ・チェック弁、 ・エゼクタ、 ・真空破壊弁、 37・ 42・ 90・ 92・ 96・ ・吸着パッド、 ・ワーク、 ・吸着搬送装置、 ・供給弁、 ・流路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、空気の流入口及び流出口と、これらの開口を連通さ
せる流路中のフィルタエレメントと、該フィルタエレメ
ントで分離された水を排出させるドレン口とを備え、上
記フィルタエレメントを、通気性を有しかつ水の通過を
阻止する阻水性フィルタエレメントで構成した、 ことを特徴とする水分離フィルタ。 2、フィルタエレメントの上流に、空気中の水滴を予め
分離させるための旋回手段を設けた、ことを特徴とする
請求項1に記載した水分離フィルタ。 3、ドレン口に外部信号により開閉する開閉弁を設けた
、 ことを特徴とする請求項1または2に記載した水分離フ
ィルタ。 4、ドレン口に、真空圧により閉鎖し真空破壊により開
放するチェック弁を設けた、 ことを特徴とする請求項1または2に記載した水分離フ
ィルタ。 5、ワークを吸着するための吸着パッドと、該吸着パッ
ドが接続される請求項1、2または3に記載した構成を
有する水分離フィルタと、該水分離フィルタにおける空
気の流出口とエゼクタの吸込側を連通させる流路と、上
記エゼクタに圧縮空気を供給する供給弁と、上記吸着パ
ッドに真空破壊のための空気を供給する真空破壊弁とを
備えている、 ことを特徴とする吸着搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02276652A JP3140036B2 (ja) | 1990-10-16 | 1990-10-16 | 水分離フィルタ及びそれを有する吸着搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02276652A JP3140036B2 (ja) | 1990-10-16 | 1990-10-16 | 水分離フィルタ及びそれを有する吸着搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04150911A true JPH04150911A (ja) | 1992-05-25 |
JP3140036B2 JP3140036B2 (ja) | 2001-03-05 |
Family
ID=17572441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP02276652A Expired - Fee Related JP3140036B2 (ja) | 1990-10-16 | 1990-10-16 | 水分離フィルタ及びそれを有する吸着搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3140036B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010162480A (ja) * | 2009-01-15 | 2010-07-29 | Tlv Co Ltd | 気液分離器 |
JP2010172821A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Ckd Corp | フィルタ装置 |
JP2012020242A (ja) * | 2010-07-15 | 2012-02-02 | Tlv Co Ltd | 気液分離器 |
CN114515488A (zh) * | 2022-02-22 | 2022-05-20 | 国家管网集团川气东送天然气管道有限公司 | 一种聚结过滤器 |
-
1990
- 1990-10-16 JP JP02276652A patent/JP3140036B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010162480A (ja) * | 2009-01-15 | 2010-07-29 | Tlv Co Ltd | 気液分離器 |
JP2010172821A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Ckd Corp | フィルタ装置 |
JP2012020242A (ja) * | 2010-07-15 | 2012-02-02 | Tlv Co Ltd | 気液分離器 |
CN114515488A (zh) * | 2022-02-22 | 2022-05-20 | 国家管网集团川气东送天然气管道有限公司 | 一种聚结过滤器 |
CN114515488B (zh) * | 2022-02-22 | 2023-11-10 | 国家管网集团川气东送天然气管道有限公司 | 一种聚结过滤器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3140036B2 (ja) | 2001-03-05 |
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