JPH0569366A - Vacuum supply device - Google Patents
Vacuum supply deviceInfo
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- JPH0569366A JPH0569366A JP22921291A JP22921291A JPH0569366A JP H0569366 A JPH0569366 A JP H0569366A JP 22921291 A JP22921291 A JP 22921291A JP 22921291 A JP22921291 A JP 22921291A JP H0569366 A JPH0569366 A JP H0569366A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ワークを吸着、搬送す
る吸着用パッド等の機器に負圧を供給するための真空供
給装置に関し、一層詳細には真空供給時に、圧力流体中
に含まれる塵埃等を効率よく除去可能な真空発生装置に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum supply device for supplying a negative pressure to a device such as a suction pad that sucks and conveys a work, and more specifically, it is contained in a pressure fluid during vacuum supply. The present invention relates to a vacuum generator capable of efficiently removing dust and the like.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来から、エゼクタ等により負圧を発生
させ、あるいは真空ポンプから負圧を供給され、前記負
圧を吸着用パッド等の機器に供給する真空供給装置が知
られている。このような真空供給装置は、吸着用パッド
等の機器から該真空供給装置に吸入した圧力流体、例え
ば、空気に含有される塵埃がエゼクタ、あるいは弁体等
の作動不良の原因となるおそれがあるため、真空供給装
置の圧力流体吸い込み口である真空ポート近傍の流路に
断面が円形、もしくは楕円形のフィルタを配設してい
る。このフィルタによって、真空供給装置に流入する圧
力流体中の塵埃が真空供給装置の内部に侵入するのを阻
止している。2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a vacuum supply device for generating a negative pressure by an ejector or the like or supplying a negative pressure from a vacuum pump and supplying the negative pressure to a device such as a suction pad. In such a vacuum supply device, pressure fluid sucked into the vacuum supply device from a device such as a suction pad, for example, dust contained in air, may cause malfunction of an ejector, a valve body, or the like. Therefore, a filter having a circular or elliptical cross section is arranged in the flow path near the vacuum port which is the pressure fluid suction port of the vacuum supply device. The filter prevents dust in the pressure fluid flowing into the vacuum supply device from entering the interior of the vacuum supply device.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】このような真空供給装
置では、フィルタ自身の厚さと流入する圧力流体中の塵
埃によるフィルタの目詰まり等のため、フィルタ部分に
おいて流入する流体の圧力損失を生じている。したがっ
て、エゼクタ等による圧力流体吸引能力の低下を引き起
こし、吸着用パッド等である作業機器の作業能力に影響
を及ぼす。In such a vacuum supply device, pressure loss of the inflowing fluid occurs in the filter portion due to the thickness of the filter itself and clogging of the filter due to dust in the inflowing pressure fluid. There is. Therefore, the pressure fluid suction capability of the ejector or the like is reduced, and the work capability of the work equipment such as the suction pad is affected.
【0004】そこで、前記圧力損失の対策としてフィル
タ自身の厚さを薄くすることも考えられるが、このよう
にすると、圧力流体に対する塵埃の捕捉率が低下すると
いう欠点がある。Therefore, it is conceivable to reduce the thickness of the filter itself as a countermeasure against the pressure loss, but this has a drawback that the rate of capturing dust with respect to the pressure fluid decreases.
【0005】一方、フィルタの目詰まりを阻止するため
には、流路におけるフィルタの断面積を拡大すればよい
という考えもある。このような観点から、真空供給装置
のフィルタ部分における流路を拡大し、流入する圧力流
体に接触するフィルタエレメントの表面積を拡大すると
いう方法(例えば、円筒形のフィルタであれば、円筒の
半径を大きくする)も考えられるが、該真空供給装置は
マニホールドによって多数連設されて使用されるため、
個々の装置の大型化は装置全体の小型化を指向している
という点と矛盾してしまう。On the other hand, there is an idea that the cross-sectional area of the filter in the flow path should be increased in order to prevent the filter from being clogged. From such a viewpoint, a method of expanding the flow path in the filter portion of the vacuum supply device and expanding the surface area of the filter element that comes into contact with the inflowing pressure fluid (for example, in the case of a cylindrical filter, the radius of the cylinder is However, since the vacuum supply device is used by being connected in series by a manifold,
Increasing the size of each device is inconsistent with the aim of reducing the size of the entire device.
【0006】本発明は、この種の問題を解決するために
なされたものであって、真空供給装置においてフィルタ
部分による圧力損失を減少させるとともに、フィルタの
目詰まりを阻止するフィルタを備える真空供給装置を提
供することを目的とする。The present invention has been made in order to solve this kind of problem, and in a vacuum supply device, a vacuum supply device equipped with a filter for reducing pressure loss due to a filter portion and preventing clogging of the filter. The purpose is to provide.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、真空吸引源と圧力流体を導入する真空
ポートとを結ぶ該装置内部に画成された流路に、前記流
路を通る圧力流体の流れ方向に対して断面が波形のフィ
ルタエレメントを配設することを特徴とする。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a flow path defined inside the apparatus that connects a vacuum suction source and a vacuum port for introducing a pressure fluid. It is characterized in that a filter element having a corrugated cross section is arranged in the flow direction of the pressure fluid passing through the passage.
【0008】[0008]
【作用】真空ポートと真空吸引源とを結ぶ流路に、断面
が波形であるフィルタエレメントを配設することによ
り、フィルタ部分を大型化することなく、流路を流れる
圧力流体に対する表面積が増大し、塵埃を確実に捉えら
れるため、フィルタエレメントの厚さを薄くできる。こ
れによって流体の通過中の圧力損失を減少させることが
できるとともに、フィルタエレメントの表面積増大によ
り目詰まりを阻止できる。By arranging a filter element having a corrugated cross section in the flow path connecting the vacuum port and the vacuum suction source, the surface area for the pressure fluid flowing in the flow path is increased without increasing the size of the filter portion. Since the dust can be reliably captured, the thickness of the filter element can be reduced. This makes it possible to reduce the pressure loss during passage of the fluid and to prevent clogging due to the increased surface area of the filter element.
【0009】[0009]
【実施例】本発明に係る真空供給装置について、好適な
実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説
明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A vacuum supply device according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings with reference to preferred embodiments.
【0010】本実施例に係る真空供給装置は、エゼクタ
対応型、真空ポンプ対応型、マニホールド対応型等があ
るが、先ず、エゼクタ対応型について図1乃至図3を参
照して説明し、次いで真空ポンプ対応型について図4お
よび図5を参照して説明し、さらにマニホールド対応型
について図6を参照して説明する。The vacuum supply apparatus according to the present embodiment includes ejector compatible type, vacuum pump compatible type, manifold compatible type and the like. First, the ejector compatible type will be described with reference to FIGS. The pump compatible type will be described with reference to FIGS. 4 and 5, and the manifold compatible type will be described with reference to FIG.
【0011】真空供給装置10aは、図1に示すよう
に、矩形体形状であり、その短手方向の一側面に吸着用
パッド等の機器に接続されるワンタッチ式管継手からな
る真空ポート12および上部に形成されたフィルタ14
の透明なフィルタケース16を脱着するための脱着ボタ
ン18が形成され、他側面にワンタッチ式管継手からな
る圧縮空気供給用ポート20が設けられている。長手方
向の側面には、ベース22に排気口24と取付用ねじ孔
26、26を備えている。上面には、圧力状態等を表示
するLCDからなるデジタル表示部28、前記圧力設定
用ボタン30a乃至30d、圧力スイッチ作動表示灯3
0e、真空破壊弁用パイロット電磁弁作動表示灯30
f、供給弁用パイロット電磁弁作動表示灯30g、供給
弁用マニュアル32、真空破壊弁用マニュアル34、流
量調節弁用の調節ねじ36aが形成されている。As shown in FIG. 1, the vacuum supply device 10a has a rectangular shape, and has a vacuum port 12 consisting of a one-touch type pipe joint connected to a device such as a suction pad on one side surface in a lateral direction thereof. Filter 14 formed on top
A detachable button 18 for detaching the transparent filter case 16 is formed, and a compressed air supply port 20 formed of a one-touch type pipe joint is provided on the other side surface. An exhaust port 24 and mounting screw holes 26, 26 are provided in the base 22 on the side surface in the longitudinal direction. On the upper surface, a digital display unit 28 including an LCD for displaying a pressure state, the pressure setting buttons 30a to 30d, and a pressure switch operation indicator lamp 3 are provided.
0e, pilot solenoid valve operation indicator for vacuum break valve 30
f, a pilot solenoid valve operation indicator light 30g for the supply valve, a manual 32 for the supply valve, a vacuum break valve manual 34, and an adjusting screw 36a for the flow rate adjusting valve are formed.
【0012】真空供給装置10aの内部では、図2に示
すように、ベース22の内部に後述するエゼクタ42か
らの排気を消音して排気口24に排出するサイレンサエ
レメント38が配設されている。Inside the vacuum supply device 10a, as shown in FIG. 2, a silencer element 38 is provided inside the base 22 to muffle exhaust gas from an ejector 42, which will be described later, and discharge it to the exhaust port 24.
【0013】真空供給装置本体40には、エゼクタ4
2、ノルマルクローズ型に形成された供給弁44、真空
破壊弁46並びにそれぞれの前記供給弁44、真空破壊
弁46のパイロット圧を供給する供給弁用パイロット電
磁弁48、真空破壊弁用パイロット電磁弁50、真空破
壊に使用される圧縮空気の流量調節弁36を備えてい
る。また、フィルタ14の下部に爪52、52を係止す
る係止部材54、54を設けている。脱着ボタン18が
ロックされるように溝56を設けるとともに、フィルタ
14からの通路が挿入される段差のついた孔部58を形
成している。The ejector 4 is attached to the main body 40 of the vacuum supply device.
2, a normally closed type supply valve 44, a vacuum break valve 46, and each supply valve 44, a pilot solenoid valve 48 for supplying a pilot pressure of the vacuum break valve 46, a pilot solenoid valve for a vacuum break valve 50, a flow control valve 36 for compressed air used for vacuum breaking is provided. Further, locking members 54, 54 for locking the claws 52, 52 are provided below the filter 14. A groove 56 is provided so that the attachment / detachment button 18 is locked, and a stepped hole portion 58 into which a passage from the filter 14 is inserted is formed.
【0014】フィルタ14は、底部に真空ポート12に
連通する通路59とエゼクタ42に連通する通路60を
有する接続部61を形成している。接続部61は、孔部
58に対応した形状をしているとともに、それぞれの通
路に対応してOリング62、64を装着している。ま
た、真空供給装置本体40の係止部材54、54に係合
する爪52、52を形成している。さらに、通路59に
は、空気流入時のみ開成されるチェック弁66が配設さ
れている。このような接続部61の上部には、通路5
9、60の間に、図において横断面が波形に形成された
フィルタエレメント68(図1参照)が溝70に挿入さ
れている。このフィルタ14は、フィルタエレメント6
8の上部に透明なフィルタケース16を備え、目視確認
ができるように構成されている。The filter 14 has a connection portion 61 formed at the bottom thereof, which has a passage 59 communicating with the vacuum port 12 and a passage 60 communicating with the ejector 42. The connecting portion 61 has a shape corresponding to the hole 58, and O-rings 62 and 64 are attached to correspond to the respective passages. Further, claws 52, 52 that engage with the locking members 54, 54 of the vacuum supply device body 40 are formed. Further, the passage 59 is provided with a check valve 66 that is opened only when air flows in. At the upper part of such a connecting portion 61, the passage 5
A filter element 68 (see FIG. 1) having a corrugated transverse section in the figure is inserted between the grooves 9 and 60 in the groove 70. The filter 14 includes a filter element 6
8 is provided with a transparent filter case 16 on the upper part thereof so that it can be visually confirmed.
【0015】このように構成される真空供給装置10a
は、次のように作動する。The vacuum supply device 10a thus constructed
Operates as follows.
【0016】圧縮空気供給源から供給された圧縮空気
は、真空供給装置の圧縮空気供給用ポート20から供給
弁44、真空破壊弁46に達している。ここで、供給弁
用パイロット電磁弁48を付勢することにより、供給弁
44が開成し、圧縮空気はエゼクタ42に達する。これ
により、真空供給装置10aは負圧を発生させ、前記負
圧により吸着用パッド等から空気を流入する。流入空気
は、真空ポート12からフィルタ14の通路59を経
て、チェック弁66を開成し、フィルタエレメント68
に達する。フィルタエレメント68は、断面が波形状に
形成されているため、流体に接する表面積が増大し確実
に塵埃を捉えるとともに、表面積増大のために目詰まり
が生じにくい。また、断面の厚さが薄くなり、流体の圧
力損失を小さくすることができる。The compressed air supplied from the compressed air supply source reaches the supply valve 44 and the vacuum breaking valve 46 from the compressed air supply port 20 of the vacuum supply device. By energizing the supply valve pilot solenoid valve 48, the supply valve 44 is opened and the compressed air reaches the ejector 42. As a result, the vacuum supply device 10a generates a negative pressure, and the negative pressure causes air to flow in from the suction pad or the like. Incoming air passes from the vacuum port 12 through the passage 59 of the filter 14 to open the check valve 66 and the filter element 68.
Reach Since the filter element 68 has a corrugated cross section, the surface area in contact with the fluid is increased, dust is reliably captured, and clogging is less likely to occur due to the increased surface area. Further, the thickness of the cross section becomes thin, and the pressure loss of the fluid can be reduced.
【0017】このように、フィルタエレメント68を通
過した流入空気は、通路60からエゼクタ42に達し、
サイレンサエレメント38を経て排出口24から排出さ
れる。As described above, the inflowing air that has passed through the filter element 68 reaches the ejector 42 from the passage 60,
It is discharged from the discharge port 24 through the silencer element 38.
【0018】一方、吸着用パッド等の吸着状態解除の場
合は、真空供給装置10aの供給弁用パイロット電磁弁
48を滅勢して供給弁44を閉成し、エゼクタ42にお
ける負圧発生を停止する。その際、フィルタ14におけ
るチェック弁66は速やかに閉成し、フィルタエレメン
ト68に付着した塵埃が真空ポート12から吸着用パッ
ド等の外部機器に侵入するのを阻止する。On the other hand, when the suction state of the suction pad or the like is released, the supply valve pilot electromagnetic valve 48 of the vacuum supply device 10a is deenergized to close the supply valve 44, and the negative pressure generation in the ejector 42 is stopped. To do. At that time, the check valve 66 in the filter 14 is quickly closed to prevent the dust adhering to the filter element 68 from entering from the vacuum port 12 into an external device such as a suction pad.
【0019】この後で、真空破壊弁用パイロット電磁弁
50を付勢し、真空破壊弁46を開成し、圧縮空気供給
用ポート20から圧縮空気を流量調節弁36を介して直
接、真空ポート12に送り、吸着用パッドの吸着状態を
解除する。After that, the pilot solenoid valve 50 for the vacuum breaking valve is energized, the vacuum breaking valve 46 is opened, and the compressed air is supplied from the compressed air supply port 20 directly through the flow rate control valve 36 to the vacuum port 12. To release the suction state of the suction pad.
【0020】このような一連の動作を繰り返す間に目詰
まり等が顕著になった場合は、フィルタ14自体、もし
くはフィルタエレメント68を交換する。その際は、真
空供給装置10aの短手方向の側面に設けてある脱着ボ
タン18を上部(矢印方向)に押し上げ、溝56から該
脱着ボタン18を抜き出し、ロック解除するとともに、
脱着ボタン18を押し込むことにより、係止部材54が
フィルタ14の爪52から外れる。したがって、フィル
タ14が真空供給装置本体40から取り外し可能とな
る。さらに、フィルタエレメント68のみを交換する場
合には、フィルタケース16を外してフィルタエレメン
ト68を交換する。If clogging or the like becomes noticeable while repeating such a series of operations, the filter 14 itself or the filter element 68 is replaced. In that case, the detachment button 18 provided on the lateral side of the vacuum supply device 10a is pushed upward (in the direction of the arrow), and the detachment button 18 is pulled out from the groove 56, and the lock is released.
By pushing the attachment / detachment button 18, the locking member 54 is disengaged from the claw 52 of the filter 14. Therefore, the filter 14 can be removed from the vacuum supply device body 40. Furthermore, when replacing only the filter element 68, the filter case 16 is removed and the filter element 68 is replaced.
【0021】また、真空ポンプ対応型の真空供給装置1
0bは、図4、図5に示すように構成される。該真空供
給装置10bは、エゼクタ対応型の真空供給装置10a
のベース22とエゼクタ42の部分を変更するだけで真
空ポンプ対応型になる。ここで、真空供給装置10aと
同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その説明を
省略する。Further, a vacuum supply device 1 compatible with a vacuum pump.
0b is configured as shown in FIGS. The vacuum supply device 10b is an ejector-compatible vacuum supply device 10a.
It becomes a vacuum pump compatible type only by changing the parts of the base 22 and the ejector 42. Here, the same components as those of the vacuum supply device 10a are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
【0022】真空供給装置10bは、ベース22bに真
空導入ポート74および真空破壊用圧縮空気供給ポート
76を形成している。ここで、真空供給装置10bは、
エゼクタ対応型の真空供給装置10aにおけるエゼクタ
42の代わりに使用される接続ブロック78によって通
路が組み換えられているため、それぞれのポート74、
76に供給弁44、真空破壊弁46が接続される。The vacuum supply device 10b has a vacuum introduction port 74 and a vacuum breaking compressed air supply port 76 formed on the base 22b. Here, the vacuum supply device 10b is
Since the passages are rearranged by the connection block 78 used in place of the ejector 42 in the ejector-compatible vacuum supply device 10a, the respective ports 74,
The supply valve 44 and the vacuum break valve 46 are connected to 76.
【0023】このように構成される真空供給装置10b
は、図示しない真空ポンプを付勢することにより、吸着
用パッドから空気を吸引する。この他の作用は、真空供
給装置10aと同一なので説明を省略する。The vacuum supply device 10b thus constructed
Urges a vacuum pump (not shown) to suck air from the suction pad. The other operations are the same as those of the vacuum supply device 10a, and thus the description thereof is omitted.
【0024】さらに、真空供給装置10aは、マニホー
ルド対応型の真空供給装置10cにすることも可能であ
る。真空供給装置10cは、真空供給装置10aのベー
ス22に設けてある圧縮空気供給用ポート20および排
気口24の代わりに、実質的にマニホールドベースとな
るベースの長手方向の両側面に圧縮空気通路および排気
用通路を形成する。連設された真空供給装置10cの両
端部に排気口80、圧縮空気供給口82、電気接続部8
4を形成しているエンドブロック85を備える。Further, the vacuum supply device 10a may be a manifold-compatible vacuum supply device 10c. Instead of the compressed air supply port 20 and the exhaust port 24 provided in the base 22 of the vacuum supply device 10a, the vacuum supply device 10c has a compressed air passage and a compressed air passage on both side surfaces in the longitudinal direction of the base which is substantially the manifold base. An exhaust passage is formed. An exhaust port 80, a compressed air supply port 82, and an electrical connection part 8 are provided at both ends of the vacuum supply device 10c that is continuously provided.
4 comprises an end block 85 forming part 4.
【0025】さらにまた、真空供給装置10aは、フィ
ルタエレメント68の形状を変えたものも考えられる。
図7、図8に示すように、真空供給装置10dにおいて
は、フィルタ86を図面上、縦方向に配設しているた
め、波の山、谷の部分を深く形成でき、表面積を増大で
きる。Further, the vacuum supply device 10a may be one in which the shape of the filter element 68 is changed.
As shown in FIGS. 7 and 8, in the vacuum supply device 10d, since the filter 86 is arranged in the vertical direction in the drawings, the peaks and troughs of the waves can be formed deep and the surface area can be increased.
【0026】このように形成されている真空供給装置1
0では、フィルタ14において断面波型のフィルタエレ
メント68を使用したために、流入空気に接する表面積
を増大させることができ、確実に塵埃を捕捉するととも
に目詰まりが生じにくくなる。また、フィルタエレメン
ト68の表面積増大による塵埃の捕捉率向上のため断面
の厚さを薄くできるため、流体のフィルタエレメント6
8の通過に伴う圧力損失が減少し、真空供給装置10の
吸引能力を能率良く使用できる。Vacuum supply device 1 formed in this way
At 0, since the filter element 68 having a cross-sectional shape is used in the filter 14, the surface area in contact with the inflow air can be increased, and the dust is reliably captured and clogging is less likely to occur. Further, since the surface area of the filter element 68 is increased, the cross-sectional thickness can be made thinner in order to improve the dust capturing rate, so that the fluid filter element 6 can be used.
The pressure loss accompanying the passage of 8 can be reduced, and the suction capacity of the vacuum supply device 10 can be used efficiently.
【0027】さらに、フィルタ14は、チェック弁66
を設けることにより、空気吸引以外の場合にフィルタエ
レメント68に捕捉された塵埃が真空ポート12から吸
着用パッド等の機器にもたらされるのを阻止する。さら
にまた、フィルタ14は、脱着ボタン18によって簡単
に着脱できるように構成したため、フィルタ14を真空
供給装置本体40から取り外した後、フィルタケース1
6を外してフィルタエレメント68を交換することによ
り、交換時に塵埃がフィルタ14の通路60からエゼク
タ42や供給弁44側に侵入するのを防ぐことができ
る。Further, the filter 14 includes a check valve 66.
By providing the above, it is possible to prevent dust trapped by the filter element 68 from being introduced from the vacuum port 12 to a device such as a suction pad in cases other than air suction. Furthermore, since the filter 14 is configured to be easily attached and detached by the attachment / detachment button 18, after the filter 14 is removed from the vacuum supply device main body 40, the filter case 1
By removing 6 and replacing the filter element 68, it is possible to prevent dust from entering the ejector 42 and the supply valve 44 side from the passage 60 of the filter 14 during replacement.
【0028】これ以外にも、部品の一部(ベース22、
エゼクタ42等)のみを取り替え、他の部分を共用する
ことで、エゼクタ対応型、真空ポンプ対応型、マニホー
ルド型に製造できるため、生産コストが低くなるという
利点もある。Besides this, a part of the parts (base 22,
By exchanging only the ejector 42 etc. and sharing the other part, the ejector compatible type, the vacuum pump compatible type, and the manifold type can be manufactured, which is also advantageous in that the production cost is reduced.
【0029】[0029]
【発明の効果】本発明に係る真空供給装置によれば、以
下の効果が得られる。According to the vacuum supply device of the present invention, the following effects can be obtained.
【0030】すなわち、真空供給装置の真空ポートと真
空吸引源とを結ぶ流路に、断面が波形であるフィルタエ
レメントを配設することにより、フィルタ部分を大型化
することなく流路を流れる流入空気に対する表面積を増
大させている。したがって、塵埃を確実に捉えらること
ができ、またフィルタエレメントの厚さを薄くできる。
さらに、フィルタエレメントの厚さの減少によって流体
の圧力損失を減少させることができるため、真空供給装
置の吸引能力を一層、有効に使用できる。また、フィル
タエレメントの表面積増大により目詰まりを阻止でき
る。That is, by arranging a filter element having a corrugated cross-section in the flow path connecting the vacuum port of the vacuum supply device and the vacuum suction source, the inflowing air flowing through the flow path without increasing the size of the filter portion. To increase the surface area. Therefore, the dust can be reliably captured, and the thickness of the filter element can be reduced.
Furthermore, since the pressure loss of the fluid can be reduced by reducing the thickness of the filter element, the suction capacity of the vacuum supply device can be used more effectively. In addition, clogging can be prevented by increasing the surface area of the filter element.
【図1】本発明に係る真空供給装置の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a vacuum supply device according to the present invention.
【図2】本発明に係るエゼクタ対応型の真空供給装置の
説明断面図である。FIG. 2 is an explanatory sectional view of an ejector-compatible vacuum supply device according to the present invention.
【図3】本発明に係るエゼクタ対応型の真空供給装置の
説明断面図である。FIG. 3 is an explanatory sectional view of an ejector-compatible vacuum supply device according to the present invention.
【図4】本発明に係る真空ポンプ対応型の真空供給装置
の説明断面図である。FIG. 4 is an explanatory cross-sectional view of a vacuum pump-compatible vacuum supply device according to the present invention.
【図5】本発明に係る真空ポンプ対応型の真空供給装置
の説明断面図である。FIG. 5 is an explanatory cross-sectional view of a vacuum pump-compatible vacuum supply device according to the present invention.
【図6】本発明に係るマニホールド対応型の型真空供給
装置の斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of a die vacuum supply device for a manifold according to the present invention.
【図7】本発明に係るエゼクタ対応型の真空供給装置の
説明断面図である。FIG. 7 is an explanatory sectional view of an ejector-compatible vacuum supply device according to the present invention.
【図8】本発明に係るエゼクタ対応型の真空供給装置の
説明断面図である。FIG. 8 is an explanatory sectional view of an ejector-compatible vacuum supply device according to the present invention.
10…真空供給装置 12…真空ポート 14…フィルタ 16…フィルタケース 18…脱着ボタン 42…エゼクタ 52…爪 54…係止部材 66…チェック弁 68…フィルタエレメント DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Vacuum supply device 12 ... Vacuum port 14 ... Filter 16 ... Filter case 18 ... Desorption button 42 ... Ejector 52 ... Claw 54 ... Locking member 66 ... Check valve 68 ... Filter element
Claims (1)
トとを結ぶ該装置内部に画成された流路に、前記流路を
通る圧力流体の流れ方向に対して断面が波形のフィルタ
エレメントを配設することを特徴とする真空供給装置。1. A filter element having a corrugated cross section in a flow direction of a pressure fluid passing through the flow passage, which is defined inside the apparatus and which connects a vacuum suction source and a vacuum port for introducing the pressure fluid. A vacuum supply device comprising:
Priority Applications (1)
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- 1991-09-09 JP JP22921291A patent/JP3349517B2/en not_active Expired - Fee Related
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