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JPH04121500A - Vacuum generating unit - Google Patents

Vacuum generating unit

Info

Publication number
JPH04121500A
JPH04121500A JP23966390A JP23966390A JPH04121500A JP H04121500 A JPH04121500 A JP H04121500A JP 23966390 A JP23966390 A JP 23966390A JP 23966390 A JP23966390 A JP 23966390A JP H04121500 A JPH04121500 A JP H04121500A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
ejector
passage
vacuum
manifold
Prior art date
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Granted
Application number
JP23966390A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3199721B2 (en
Inventor
Shigekazu Nagai
茂和 永井
Hiroshi Matsushima
松島 宏
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SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
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Publication date
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Priority to TW081101960A priority patent/TW293101B/en
Publication of JPH04121500A publication Critical patent/JPH04121500A/en
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Abstract

PURPOSE:To arrest the inflow of an inlet air to a valve system part from an ejector to keep the performance of the valve system part and improve durability by providing a check valve in a passage allowing the compressed air introducing port of the ejector to communicate with the valve system part. CONSTITUTION:A vacuum generating unit 10 is formed of a solenoid valve part 12, a valve system part 14, a manifold 16, an ejector 18, a filter part 20, a detection part 22, and a vacuum port part 24. The valve system part 14 is in contact with one side surface of the manifold 16 consisting of a rectangular body, and the ejector 18 is in contact with the other side surface. In the inside of the manifold 16, an air supply passage 46 and a pilot valve exhaust passage 52 are formed in the direction orthogonal to a paper surface, and a passage 54 allowing an air supply valve 36 to communicate with the ejector 18 and a passage 56 allowing a vacuum break valve 38 to communicate with the vacuum port are formed along the extending direction of the paper surface. In this case, a check valve 57 is inserted between the manifold 16 and the ejector 18 to the passage 54.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野− 本発明は、吸着用パッド等の作業機器に負圧を供給する
真空発生用ユニットに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to a vacuum generation unit that supplies negative pressure to working equipment such as a suction pad.

[従来の技術] 従来より、吸着用パッドや真空パックの動力源として真
空発生用ユニットが利用されている。
[Prior Art] Vacuum generation units have conventionally been used as power sources for suction pads and vacuum packs.

この種の真空発生用ユニットは、−船釣に負圧を発生さ
せるエゼクタと、吸着用パッド等の作業機器に連通して
いる真空ポートと、前記エゼクタや真空ポートに圧縮空
気を送給し、あるいは遮断する弁機構部と、前記作業機
器から吸入される空気の汚れを除去するフィルタ部とを
備える。
This type of vacuum generation unit includes: - an ejector that generates negative pressure for boat fishing; a vacuum port that communicates with work equipment such as a suction pad; and a supply of compressed air to the ejector and the vacuum port; Alternatively, it includes a valve mechanism section that shuts off the air, and a filter section that removes dirt from the air taken in from the working equipment.

以上のように構成された真空発生用ユニットの動作につ
いて説明する。
The operation of the vacuum generating unit configured as above will be explained.

作業機器から空気を吸引する場合、まず、圧縮空気を弁
機構部を介してエゼクタに送給し、負圧を生じさせて行
う。作業機器から吸引される空気は、真空ポートより真
空発生用ユニットに吸入され、フィルタ部で吸入空気の
度芥、油等の汚れを除去され、前記真空発生用ユニット
内部の通路を通り、排出される。
When sucking air from work equipment, compressed air is first fed to the ejector via the valve mechanism to generate negative pressure. Air sucked from the work equipment is drawn into the vacuum generation unit through the vacuum port, dirt, oil, and other contaminants are removed from the intake air by a filter section, and the air is discharged through the passage inside the vacuum generation unit. Ru.

作業機器を負圧状態から解除する場合、圧縮空気を弁機
構部、前記弁機構部から真空ポートに直接連通する通路
を介して作業機器に送給し前記作業機器の負圧状態を解
除する。
When releasing the working equipment from the negative pressure state, compressed air is supplied to the working equipment via the valve mechanism and a passage that directly communicates from the valve mechanism to the vacuum port to release the negative pressure state of the working equipment.

[発明が解決しようとする課題:・ しかしながら、上記の従来の技術では、作業機器の負圧
状態を解除させる場合、圧縮空気は真空ポートから作業
機器に送給されるとともに真空ポートからフィルタ部、
エゼクタを介して弁機構部に流入する。そのため、負圧
状態で作業機器から吸入され、フィルタ部やエゼクタ近
辺に滞留している空気が、圧縮空気によって弁機構部に
流入し、前記弁機構部の弁に吸入空気の塵芥、油等が付
着し、前記弁の性能および耐久性を低下させるという問
題がある。
[Problem to be solved by the invention:- However, in the above-mentioned conventional technology, when the negative pressure state of the working equipment is released, compressed air is supplied to the working equipment from the vacuum port, and the filter section,
It flows into the valve mechanism section via the ejector. Therefore, the air that is sucked in from the work equipment under negative pressure and remains in the vicinity of the filter section and ejector flows into the valve mechanism section by compressed air, and dust, oil, etc. from the intake air enters the valve of the valve mechanism section. There is a problem of fouling and reducing the performance and durability of the valve.

本発明は、この種の問題を解決するものであり、作業機
器の負圧状態を解除させる場合、吸入空気が弁機構部に
流入するのを阻止し、前記弁機構部の性能を維持し、耐
久性を増大させることが可能な真空発生用ユニットを提
供することを目的とする。
The present invention solves this kind of problem, and when releasing the negative pressure state of working equipment, prevents intake air from flowing into the valve mechanism, maintains the performance of the valve mechanism, An object of the present invention is to provide a vacuum generation unit that can increase durability.

二課題を解決するための手段] 上記の課題を解決するために、本発明は、真空発生用ユ
ニットであって、 少なくともエゼクタと、 前記エゼクタに対して圧縮空気を送給し、または遮断す
る弁機構部とを有し、 前記エゼクタの圧縮空気導入用ポートに連通ずる通路に
、前記弁機構部へ空気が流入することを阻止するチェッ
ク弁を設けることを特徴とする。
Means for Solving Two Problems] In order to solve the above problems, the present invention provides a vacuum generation unit, which includes at least an ejector and a valve that supplies compressed air to or shuts off compressed air to the ejector. A mechanism part, and a check valve for preventing air from flowing into the valve mechanism part is provided in a passage communicating with a compressed air introduction port of the ejector.

一作用二 本発明に係る真空発生用ユニットでは、エゼクタの圧縮
空気導入用ポートと弁機構部とを連通する通路にチェッ
ク弁を設けることにより、エゼクタから弁機構部への吸
入空気の流入を阻止できるため、弁機構部の性能の維持
および耐久性の向上を達成することができる。
1. Function 2. In the vacuum generation unit according to the present invention, a check valve is provided in the passage communicating between the compressed air introduction port of the ejector and the valve mechanism to prevent intake air from flowing into the valve mechanism from the ejector. Therefore, the performance of the valve mechanism can be maintained and the durability can be improved.

「実施例コ 本発明に係る真空発生用ユニットについて実施例を挙げ
、添付の図面を参照しながら以下詳細に説胡する。
``Example'' Examples of the vacuum generating unit according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.

第1図において、参照符号1oは、本実施例に係る真空
発生用ユニットを示す。
In FIG. 1, reference numeral 1o indicates a vacuum generation unit according to this embodiment.

真空発生用ユニット10は、基本的に電磁弁部12、弁
機構部14、マニホールド16、エゼクタ18、フィル
タ!20.検出部22、真空ポート部24から構成され
る。
The vacuum generation unit 10 basically includes a solenoid valve section 12, a valve mechanism section 14, a manifold 16, an ejector 18, and a filter! 20. It is composed of a detection section 22 and a vacuum port section 24.

矩形体からなる弁機構部14は、上部に電磁弁部12を
螺子によって装着し、前記弁機構部14の一側面部には
マニホールド16の一側面部が当接するように配設され
ている。前記弁機構部14の他側面部には、下部より空
気供給ポート26、パイロット弁供給ポート28、真空
破壊ポー)30、パイロット弁排気ポート32が形成さ
れている。前記パイロット弁供給ポート28と真空破壊
ポー)30の近傍には螺孔が形成され、この螺孔に実質
的に流量調節弁を構成する弁体34を螺合する。前記弁
機構部14の内部には、軸方向が図面と直交する方向に
延在する2ポ一ト2位置型の空気供給弁36、真空破壊
弁38を配設し、前記弁36.38、ポート26乃至3
2、電磁弁40乃至44、マニホールド16を結ぶ通路
が画成されている。
The valve mechanism section 14, which is a rectangular body, has the electromagnetic valve section 12 attached to the upper part thereof with a screw, and is disposed so that one side surface of the manifold 16 comes into contact with one side surface of the valve mechanism section 14. On the other side of the valve mechanism section 14, an air supply port 26, a pilot valve supply port 28, a vacuum break port 30, and a pilot valve exhaust port 32 are formed from the bottom. A screw hole is formed near the pilot valve supply port 28 and the vacuum break port 30, and a valve body 34, which essentially constitutes a flow control valve, is screwed into the screw hole. Inside the valve mechanism section 14, a two-point, two-position type air supply valve 36 and a vacuum breaker valve 38 whose axial direction extends in a direction perpendicular to the drawing are disposed, and the valves 36, 38, Ports 26 to 3
2. A passage connecting the solenoid valves 40 to 44 and the manifold 16 is defined.

前記弁機構部14部の上部に設置される電磁弁部12は
、前記弁機構B14Bを構成する空気供給弁36、およ
び真空破壊弁38のオン/オフ動作を行う5ポ一ト2位
置弁からなる第1電磁弁40、第2電磁弁42、第3電
磁弁44を有する。
The electromagnetic valve section 12 installed at the upper part of the valve mechanism section 14 includes a 5-point, 2-position valve that turns on/off an air supply valve 36 and a vacuum breaker valve 38 that constitute the valve mechanism B14B. It has a first solenoid valve 40, a second solenoid valve 42, and a third solenoid valve 44.

矩形体からなるマニホールド16は、−側面を弁機構部
14部に当接し、他側面をエゼクタ18に当接している
。前記マニホールド16の内部には、下部から図面と直
交する方向に空気供給通路46、パイロット弁供給通路
48、真空破壊通路50、パイロット弁排気通路52が
形成され、一方、図面の紙面の延在方向に沿って空気供
給弁3Gとエゼクタ18を連通ずる通路54、真空破壊
弁38と真空ポートを連通ずる通路56を有する。前記
通路54に対して前記マニホールド16とエゼクタ18
の間にチェック弁57を挿入している。
The manifold 16, which is a rectangular body, has one side in contact with the valve mechanism section 14, and the other side in contact with the ejector 18. Inside the manifold 16, an air supply passage 46, a pilot valve supply passage 48, a vacuum breaker passage 50, and a pilot valve exhaust passage 52 are formed from the bottom in a direction perpendicular to the drawing, and on the other hand, in the extending direction on the plane of the drawing. Along these lines, there is a passage 54 that communicates between the air supply valve 3G and the ejector 18, and a passage 56 that communicates between the vacuum break valve 38 and the vacuum port. The manifold 16 and the ejector 18 are connected to the passage 54.
A check valve 57 is inserted between them.

チェック弁57は、第3図a並びにbに示すように、マ
ニホールド16側に凹部を画成し、この凹部に該チェッ
ク弁57の膨出する一端部57aをエゼクタ18との間
で挟持するように設けている。チェック弁57の他端部
はマニホールド16側に設けられた別の凹部に着座する
ように構成されている。
As shown in FIGS. 3a and 3b, the check valve 57 has a recess formed on the side of the manifold 16, and a bulging end 57a of the check valve 57 is sandwiched between the ejector 18 and the recess. It is set up in The other end of the check valve 57 is configured to sit in another recess provided on the manifold 16 side.

前記マニホールド16の側面部は、前記エゼクタ18の
一側面部が当接するように配設されている。前記エゼク
タ18は矩形体かみなり、その内部に所定の口径のノズ
ル部58とこのノズル部58に連接されるデイフユーザ
部60を有し、前記デイフユーザ部60は真空発生部6
1に連通している。
A side surface of the manifold 16 is arranged such that one side surface of the ejector 18 comes into contact with it. The ejector 18 is a rectangular body, and has a nozzle portion 58 having a predetermined diameter and a differential user portion 60 connected to the nozzle portion 58. The differential user portion 60 has a vacuum generating portion 6.
It is connected to 1.

前記エゼクタ18の外部壁面にはマニホールド16のパ
イロット弁排気通路52に連通ずる開口部62を形成し
、一方、前記デイフユーザ部60は、−刃側が開口した
円筒形状であり、この開口部は複数の等間隔に形成され
たスリット63を有する蓋部材64で閉塞され、前記開
口部62と蓋部材64の間にはフィルタ66が装着され
ている。
An opening 62 communicating with the pilot valve exhaust passage 52 of the manifold 16 is formed in the external wall surface of the ejector 18, while the diff user section 60 has a cylindrical shape with the -blade side open, and this opening has a plurality of holes. It is closed by a lid member 64 having slits 63 formed at equal intervals, and a filter 66 is installed between the opening 62 and the lid member 64.

前記エゼクタ18の他側面部には、検出部22および真
空ポート部24が装着されて5)る。
A detection section 22 and a vacuum port section 24 are attached to the other side surface of the ejector 18 (5).

前記検出部22は箱型形状を呈し、その内部に真空スイ
ッチ68が設けみれている。この真空スインチロ8は、
好ましくは半導体圧力センサで構成され、真空発生部6
1で発生する負圧を後述する真空ポート70に連通する
通路72を介して検出し、作業機器を制御するための信
号を発する。前記検出部22と真空ポート部24との境
界面にはフィルタ74が装着されている。
The detection section 22 has a box-like shape, and a vacuum switch 68 is provided inside the detection section 22 . This vacuum spin-chiro 8 is
Preferably, the vacuum generating section 6 is composed of a semiconductor pressure sensor.
The negative pressure generated at 1 is detected via a passage 72 communicating with a vacuum port 70, which will be described later, and a signal for controlling the work equipment is generated. A filter 74 is attached to the interface between the detection section 22 and the vacuum port section 24.

真空ポート部24は、矩形体形状で、エゼクタ18側の
一側面部から可撓性部材で形成されたチェック弁76、
フィルタ部20へ連通する通路78と他側面部に設けら
れた真空ポート70とを有し、前記真空ポー)70から
検出部22へ指向する通路72を形成している。
The vacuum port section 24 has a rectangular shape, and a check valve 76 formed of a flexible member is inserted from one side surface on the ejector 18 side.
It has a passage 78 that communicates with the filter section 20 and a vacuum port 70 provided on the other side, forming a passage 72 that extends from the vacuum port 70 to the detection section 22 .

フィルタ部20は、検出部22に隣接して、この検出部
22と真空ポート部24に対して固定される。フィルタ
部20の内部には、フィルタ本体80が配設されるとと
もに、このフィルタ部20は先端部に螺子溝を形成した
スタッド82を有する摘84で真空ポート部24に固着
している。したがって、前記摘84を螺回することによ
り前記フィルタ本体80を交換することが可能である。
The filter section 20 is adjacent to the detection section 22 and is fixed to the detection section 22 and the vacuum port section 24 . A filter main body 80 is disposed inside the filter section 20, and the filter section 20 is fixed to the vacuum port section 24 with a knob 84 having a stud 82 with a threaded groove formed at its tip. Therefore, by screwing the knob 84, the filter main body 80 can be replaced.

次に、上記のように構成される真空発生装置の動作につ
いて第2図乃至第4図を参照して説明する。但し、この
動作の説明は、マニホールド16を用いて真空発生用ユ
ニット10を複数個連設し、弁機構部14のボートを螺
子によって閉塞した場合について行う。したがって、圧
縮空気の供給、パイロット弁を駆動するための供給圧力
、真空破壊用圧力、パイロット弁、およびエゼクタ18
からの排気については、この動作説明ではマニホールド
16を介してのみ行つ。
Next, the operation of the vacuum generator configured as described above will be explained with reference to FIGS. 2 to 4. However, this operation will be described for the case where a plurality of vacuum generating units 10 are arranged in series using the manifold 16 and the boat of the valve mechanism section 14 is closed with a screw. Therefore, the supply of compressed air, the supply pressure for driving the pilot valve, the vacuum breaking pressure, the pilot valve, and the ejector 18
In this operational description, exhaust air is only provided through the manifold 16.

そこで、真空ポート70に連通している作業機器、例え
ば、吸着用パッドに負圧をかける場合について説明する
Therefore, a case will be described in which a negative pressure is applied to a working device that communicates with the vacuum port 70, for example, a suction pad.

最初に、図示しないコンプレッサ等の圧縮空気供給源が
付勢され、圧縮空気はマニホールド16のパイロット弁
供給通路48を通り、第1電磁弁40が付勢されること
により、前記圧縮空気が空気供給弁36を開成する。そ
のため、マニホールド16の空気供給通路46とエゼク
タ18が連通して前記エゼクタ18に圧縮空気が供給さ
れる。こうしてエゼクタ18で負圧が発生し、吸着用パ
ッドの空気を吸引する。この負圧により、可撓性部材で
形成されたチェック弁76が開く。すなわち、前記負圧
によって、真空ポー)70側の空気は、塵芥を除去する
フィルタ部20、通路78、真空発生部61を介して、
デイフユーザ部60に吸引される。その際、通路72に
よって真空ポート70に連通している検出B22の真空
スイッチ68では負圧を測定し、その出力信号で作業機
器を制御する。
First, a compressed air supply source such as a compressor (not shown) is energized, the compressed air passes through the pilot valve supply passage 48 of the manifold 16, and the first solenoid valve 40 is energized, so that the compressed air is supplied as air. Valve 36 is opened. Therefore, the air supply passage 46 of the manifold 16 and the ejector 18 communicate with each other, and compressed air is supplied to the ejector 18. In this way, negative pressure is generated in the ejector 18, and the air from the suction pad is sucked. This negative pressure opens a check valve 76 formed of a flexible member. That is, due to the negative pressure, the air on the vacuum port 70 side passes through the filter section 20 for removing dust, the passage 78, and the vacuum generating section 61.
It is sucked into the differential user section 60. At this time, the vacuum switch 68 of the detection B22, which is connected to the vacuum port 70 through the passage 72, measures the negative pressure, and the working equipment is controlled by the output signal.

一方、デイフユーザ部60に真空ポート70より吸引さ
れた空気、およびノズル部58より噴出された圧縮空気
は、前記デイフユーザ部60から蓋部材64のスlJッ
ト63を経た後、フィルタ66、開口部62を経てマニ
ホールド16のパイロット弁排気通路52より排出され
る。
On the other hand, the air sucked into the differential user section 60 from the vacuum port 70 and the compressed air ejected from the nozzle section 58 pass through the slot 63 of the lid member 64 from the differential user section 60, and then pass through the filter 66 and the opening. 62 and is discharged from the pilot valve exhaust passage 52 of the manifold 16.

なお、作業機器にがかる負圧を解除する場合、第2電磁
弁42が付勢され空気供給弁36を閉塞し、通路54お
よびエゼクタ18に圧縮空気が流入していない状態で、
最初に図示しないコンプレッサ等の圧縮空気供給源が付
勢され、圧縮空気はマニホールド16のパイロット弁供
給通路48を通る。第3電磁弁44が付勢されることに
より、真空破壊弁38を開成する。そのため、マニホー
ルド16の真空破壊通路50は通路56を介して真空ポ
ート70と直接連通し、作業機器の負圧を解除する。こ
の際、圧縮空気は作業機器に向かうと同時にフィルタB
20、通路78を経て、チェック弁76を開成し、エゼ
クタ18に達する。このため、負圧状態で作業機器から
吸入され、フィルタ部20、通路78およびエゼクタ]
8近辺に滞留している空気が、圧縮空気によってエゼク
タ18のノズル部58かる弁機構814に流入しようと
するが、チェック弁57によって阻止される(第3図a
参照)。結果として、空気供給弁36に吸入空気の塵芥
、油等が付着することはない。このため、該吸入空気の
汚れによって空気供給弁36の性能および耐久性の低下
のおそれもない。また、圧縮空気が通路54および弁機
構部14に流入しないため作業機器の負圧解除に一層有
効に利用され、この負圧解除に要する時間を短縮する。
Note that when releasing the negative pressure applied to the work equipment, the second solenoid valve 42 is energized to close the air supply valve 36, and with no compressed air flowing into the passage 54 and the ejector 18,
Initially, a compressed air supply source, such as a compressor (not shown), is energized and compressed air passes through the pilot valve supply passage 48 of the manifold 16. By energizing the third solenoid valve 44, the vacuum breaker valve 38 is opened. As such, the vacuum break passage 50 of the manifold 16 communicates directly with the vacuum port 70 via the passage 56 to release the negative pressure in the work equipment. At this time, the compressed air goes to the work equipment and at the same time filter B
20, opens the check valve 76 through the passage 78, and reaches the ejector 18. Therefore, it is sucked in from the working equipment in a negative pressure state, and the filter part 20, the passage 78 and the ejector]
8, the compressed air tries to flow into the valve mechanism 814 of the nozzle section 58 of the ejector 18, but this is blocked by the check valve 57 (see Fig. 3a).
reference). As a result, dust, oil, etc. from the intake air do not adhere to the air supply valve 36. Therefore, there is no fear that the performance and durability of the air supply valve 36 will deteriorate due to contamination of the intake air. Further, since the compressed air does not flow into the passage 54 and the valve mechanism section 14, it can be used more effectively to release the negative pressure of the working equipment, and the time required to release the negative pressure is shortened.

[発明の効果コ 以上のように、本発明に係る真空発生用ユニットでは、
次のような効果乃至利点を有する。
[Effects of the Invention] As described above, in the vacuum generation unit according to the present invention,
It has the following effects or advantages.

すなわち、空気供給弁とエゼクタを連通ずる通路にチェ
ック弁を設けることにより、作業機器の負圧を解除する
場合に真空発生用ユニット内部に滞留している吸入空気
が真空ポートよりエゼクタを経て空気供給弁に達するこ
とを阻止する。そのために、流入空気の汚れによる空気
供給弁の性能および耐久性の低下のおそれもない。
In other words, by providing a check valve in the passage that communicates the air supply valve and the ejector, when the negative pressure of the work equipment is released, the suction air stagnant inside the vacuum generation unit is supplied from the vacuum port through the ejector. Prevent it from reaching the valve. Therefore, there is no fear that the performance and durability of the air supply valve will deteriorate due to contamination of the incoming air.

また、圧縮空気が通路および弁機構部に流入しないため
、作業機器の負圧解除に一層有効に利用され、負圧解除
に要する時間を短縮するという効果もある。このことは
、例えば、搬送サイクルの短縮化が達成できることを意
味する。
Furthermore, since the compressed air does not flow into the passage and the valve mechanism, it can be used more effectively to release the negative pressure of the working equipment, and the time required to release the negative pressure can also be reduced. This means, for example, that the conveyance cycle can be shortened.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係る真空発生用ユニットの実施例の斜
視図、 第2図は本発明に係る真空発生用ユニットの実施例の縦
断面図、 第3図a、bは本発明のチェック弁の動作状態を示す説
胡図、 第4図は本発明に係る真空発生用ユニットの実施例に形
成される流体用通路を説明するための空気回路図である
。 10・・・真空発生用ユニット 12・・・電磁弁部 14・・・弁機構部 16・・・マニホールド 18・・・エゼクタ 20・・・フィルタ部 22・・・検出部 36・・・空気供給弁 38・・・真空破壊弁 46・・・空°気供給通路 48・・・パイロット弁供給通路 50・・・真空破壊通路 52・・・パイロット弁排気通路 54.56.72.78・・・通路 57.76・・・チェック弁
Fig. 1 is a perspective view of an embodiment of the vacuum generation unit according to the present invention, Fig. 2 is a vertical sectional view of an embodiment of the vacuum generation unit according to the invention, and Fig. 3 a and b are checks of the present invention. FIG. 4 is a pneumatic circuit diagram for explaining the fluid passage formed in the embodiment of the vacuum generating unit according to the present invention. 10... Vacuum generation unit 12... Solenoid valve section 14... Valve mechanism section 16... Manifold 18... Ejector 20... Filter section 22... Detection section 36... Air supply Valve 38...Vacuum break valve 46...Air supply passage 48...Pilot valve supply passage 50...Vacuum break passage 52...Pilot valve exhaust passage 54.56.72.78... Passage 57.76...Check valve

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)真空発生用ユニットであって、 少なくともエゼクタと、 前記エゼクタに対して圧縮空気を送給し、または遮断す
る弁機構部とを有し、 前記エゼクタの圧縮空気導入用ポートに連通する通路に
、前記弁機構部へ空気が流入することを阻止するチェッ
ク弁を設けることを特徴とする真空発生用ユニット。
(1) A vacuum generation unit, which includes at least an ejector and a valve mechanism that supplies or shuts off compressed air to the ejector, and a passage that communicates with a compressed air introduction port of the ejector. A vacuum generating unit characterized in that a check valve is provided to prevent air from flowing into the valve mechanism.
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JP2019127883A (en) * 2018-01-24 2019-08-01 株式会社フジキン Vacuum generator

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