JP2001136000A - 装着装置の装着精度検出治具および装着精度検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】装着装置の装着精度を、その装着装置により容
易に精度よく検出することができる治具を提供する。 【解決手段】被装着基材としてのガラス基板１７０に、
ＣＣＤカメラ８２により撮像される撮像範囲１７６内に
２点の検出用Ｆマーク１７４を形成する。装着装置によ
り、そのガラス基板に検査用チップ１６９を装着し、ガ
ラス基板に設けられた検出用Ｆマークと電気部品とを同
時にＣＣＤカメラにより撮像して装着精度を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、装着装置による装
着部材の被装着基材への装着精度を検出するための治具
およびその治具を用いた装着精度検出方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、電気部品のリード線間隔の短縮
や、装着密度の向上などの要求を満たすために、電気部
品の装着精度の向上が強く求められている。装着精度を
向上させるためには、まず装着位置誤差を検出すること
が必要であり、装着位置誤差検出装置（以下、誤差検出
装置と略称する）が既に知られている。その一例が、特
開平４−３４４４１１号公報に記載されている。この誤
差検出装置は、 (a)検査用チップと、 (b)その検査用チ
ップが装着される被装着基材としての検査用基材と、
(c)その検査用基材に装着装置により装着された検査用
チップを撮像する撮像装置と、 (d)その撮像装置により
撮像された検査用チップの像のデータを基準データと比
較して装着誤差を演算する演算手段とを含むように構成
されている。この誤差検出装置は、単独で誤差検出専用
の装置として構成することも、装着装置の一部として構
成することも可能とされている。

【０００３】この誤差検出装置においては、検査用基材
に装着された複数の検査用チップが順次撮像され、その
画像データと予め設定された基準データとが比較されて
誤差が検出される。撮像装置に対して検査用基材をそれ
の表面に平行な方向に送ることと、その撮像位置にある
検査用チップを撮像することとを繰り返して、画像デー
タが取得されるのである。しかし、このようにして検出
された誤差には、装着誤差のほかに検査用チップを撮像
するために検査用基材を送る際に生じる送り誤差が含ま
れているので、予め別に取得された送り誤差が検出され
た誤差から除かれて、最終的な装着誤差が取得される。
具体的には、送り誤差を検出するために、基準マークの
設けられた送り誤差検出用基材が用意され、誤差検出装
置において、それを検査用チップが撮像される場合と同
様に送りながら、基準マークが撮像されて送り誤差が測
定され、それに基づいて前述の誤差が補正され、最終的
な装着誤差が取得されるのである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題，課題解決手段および発
明の効果】上述のように、従来の誤差検出装置において
は、装着位置誤差検出時の送り誤差が含まれた状態で、
装着位置誤差が検出されることが不可避であるため、送
り誤差が予め測定され、それに基づいて装着位置誤差が
補正されていた。そのため、装着位置誤差を取得するの
に時間がかかるとともに、装着位置誤差の検出精度の向
上が困難であるという問題があった。さらに、装着位置
誤差と送り誤差とが別に測定されるので、それぞれの測
定において、検査用基材と基準板とを測定装置に固定す
る際の固定位置ずれの差である固定誤差を排除すること
ができないという問題もあった。

【０００５】本発明は、以上の事情を背景とし、装着位
置誤差の検出時に、上述の送り誤差および固定誤差の影
響を回避することを課題として為されたものであり、本
発明によって、下記各態様の装着精度検出治具，装着精
度検出方法および装着装置が得られる。各態様は請求項
と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じ
て他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あ
くまでも本発明の理解を容易にするためであり、本明細
書に記載の技術的特徴やそれらの組合せが以下の態様に
限定されると解釈されるべきではない。また、１つの項
に複数の事項が記載されている場合、常にそれら事項を
すべて一緒に採用しなければならないわけではなく、一
部の事項のみを取り出して採用することも可能である。 （１）装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装着
精度を検出するために使用される装着精度検出治具であ
って、前記装着装置に取り付けられ、その装着装置によ
り前記装着部材またはそれに代わる検査用チップが装着
されるとともに、前記装着精度を検出するための基準で
ある少なくとも２つの基準マークが、１つの撮像装置に
より、前記装着された装着部材または検査用チップの少
なくとも一部と同時に撮像可能な位置に形成された装着
精度検出治具〔請求項１〕。装着部材または検査用チッ
プを本項に記載の装着精度検出治具に装着し、その装着
部材と少なくとも２つの基準マークとを１つの撮像装置
により同時に撮像することによって、装着精度検出治具
と装着部材との相対位置を取得し、その情報に基づいて
装着位置誤差を検出することができる。このようにして
検出された装着位置誤差には、前述の装着位置誤差検出
のための送り誤差（撮像装置と装着精度検出治具との相
対送り誤差）が含まれないので、装着精度検出の信頼性
（精度）が向上する。また、予め送り誤差を求めること
と、送り誤差の分を取り除くこととが不要となるので、
その分装着精度の検出能率が向上する。なお、装着部材
または検査用チップが装着された装着精度検出治具を、
専用の装着精度検出装置に取り付け、装着精度を検出す
ることも可能であるが、撮像装置と、その撮像装置と装
着精度検出治具とを相対移動させる相対移動装置とを装
着装置に設ければ、装着装置自体に自身の装着精度を検
出させることが可能となり、装着精度検出専用の装置を
設けることが不要となって、コストを低減させることが
できる。その上、装着部材を装着精度検出治具に装着す
る装着作業に続いて撮像を行えば、装着精度検出治具と
撮像装置とを装着精度検出のために相対移動させること
が不要となり、検出に要する時間を短縮することができ
る。装着部材を装着するために保持する保持具と、装着
精度検出治具とを相対移動させる第一相対移動装置と、
撮像装置と装着精度検出治具とを相対移動させる第二相
対移動装置とを別個に設けることも可能であるが、両者
を兼用とすれば、装置コストの低減を図ることができ
る。 （２）前記装着部材または検査用チップの少なくとも一
部と共に撮像可能な少なくとも２つの基準マークが、互
いに異なる位置に複数組形成された (1)項に記載の装着
精度検出治具。本項に記載の装着精度検出治具において
は、それの複数組の基準マークに対してそれぞれ装着部
材または検査用チップを装着し、それら装着部材の装着
精度をそれぞれ検出すれば、装着装置の複数の場所にお
ける装着精度を検出することが可能となる。 （３）前記装着部材または検査用チップの少なくとも一
部と共に撮像可能な少なくとも２つの基準マークが、互
いに異なる位置に複数組形成され、それら複数組の基準
マークの各組が、前記装着装置の装着可能範囲の少なく
とも４隅に配置された (1)項または (2)項に記載の装着
精度検出治具〔請求項２〕。本項に記載の装着精度検出
治具においては、それに装着部材を装着して、装着精度
を４隅についてそれぞれ検出すれば、それら４隅の装着
精度に基づいて装着可能範囲全体の装着精度の傾向を推
定することが可能となる。 （４）前記複数組の基準マークの各組が、前記装着装置
の装着可能範囲の略全体にわたって等間隔で配置された
(3)項に記載の装着精度検出治具。本項に記載の装着精
度検出治具においては、それに装着部材を装着して、装
着精度をそれぞれ検出すれば、装着可能範囲全体の装着
精度の傾向をさらに詳しく把握することが可能となる。 （５）前記装着装置が、前記装着部材としての電気部品
を前記被装着基材としてのプリント基板に装着する電気
部品装着装置である装着精度検出治具。 （６）線膨張係数が２０×１０^-6以下の材料から成る
(1)項ないし (5)項に記載の装着精度検出治具。線膨張
係数が２０×１０^-6以下の金属から成るものとすること
も可能であるが、１０×１０^-6以下のガラス，セラミッ
クス等から成るものとすることが望ましく、５×１０^-6
以下、さらに２×１０^-6以下のガラス，セラミックス等
から成るものとすることが望ましい。 （７） (1)項に記載の検査用チップであって、前記装着
精度検出治具に装着される際の位置決めの基準となる位
置決め基準部と、装着後に、前記少なくとも２つの基準
マークである第一基準マークと同時に撮像可能な位置に
形成された少なくとも１つの第二基準マークとを備えた
検査用チップ〔請求項３〕。本項に記載の検査用チップ
を、前記 (1)項ないし (6)項に記載の装着精度検出治具
に装着して、第一基準マークと第二基準マークとを同時
に撮像すれば、その画像データに基づいて、装着部材を
装着する場合と同様に、装着位置誤差検出のための送り
誤差の影響を受けずに装着精度を検出することができ
る。電気部品等、装着部材は一般に寸法公差が大きく、
実際の電気部品を装着精度検出治具に装着して装着精度
の検出を行えば、電気部品の寸法誤差が装着精度に含ま
れてしまうので、寸法誤差を無視できるように形成され
た検査用チップを用いることが望ましい。なお、位置決
め基準部と第２基準マークとは、別個に設けられてもよ
いし、兼用とされてもよい。 （８）当該検査用チップが、前記装着位置検出治具に装
着された状態で、当該検査用チップの下になる前記第一
基準マークを透視可能な透視可能部を備えた (7)項に記
載の検査用チップ。本項に記載の検査用チップは、透視
可能部を設けることにより、第一基準マークが検査用チ
ップの下になる場合であっても、第一基準マークと第二
基準マークとを同時に撮像することができる。この透視
可能部は、例えば、装着された際に第一基準マークに対
向する部分のみに形成されてもよいし、検査用チップの
うち、位置決め部および第二基準マーク以外の全ての部
分に形成されてもよい。 （９）前記透視可能部が透明材料から成る (8)項に記載
の検査用チップ。透視可能部を、検査用チップを厚さ方
向に貫通する貫通部とすることも可能であるが、透明材
料から成るものとすることも可能である。後者の場合、
例えば、検査用チップ全体を透明材料から成るものと
し、その表面に、撮像により装着部材と同じ像が得られ
る形象を印刷すれば、検査用チップを容易に精度良く量
産することができる。 （１０）前記位置決め基準部が、前記撮像装置により撮
像された際に、実際に装着されるべき装着部材の位置決
め基準部と同じ像が取得される輪郭を有する (7)項ない
し (9)項のいずれかに記載の検査用チップ〔請求項
４〕。本項に記載の検査用チップを装着精度検出治具に
装着すれば、装着部材を被装着基材に装着する装着作業
を忠実に実行した上で、その装着作業の装着精度を検出
することができる。位置決め基準部は、装着部材の輪郭
のうち少なくとも位置決めに必要な部分が形成されれば
よい。 （１１）前記位置決め基準部が、実際に装着されるべき
装着部材としての電気部品の側面より側方へ突出した複
数のリードと同じ像が取得される形象である(10)項に記
載の検査用チップ。 （１２）前記第二基準マークが、前記透視可能部の範囲
内であって、前記第一基準マークと重ならない部分に設
けられた (7)項ないし(11)項のいずれかに記載の検査用
チップ。本項に記載の検査用チップを、前述の装着精度
検出治具に装着すれば、第一基準マークと第二基準マー
クとがともに透視可能部の範囲内において撮像される。 （１３）前記透視可能部が、前記位置決め基準部の内側
に設けらた(12)項に記載の検査用チップ。位置決め基準
部が、十分に大きい場合は、透視可能部を位置決め基準
部の内側に設けることができる。 （１４）前記透視可能部が、前記位置決め基準部の外側
に設けられた(12)項に記載の検査用チップ。 （１５）前記第二基準マークが、前記位置決め基準部の
範囲内であって、前記第一基準マークと同時に撮像され
る位置に設けられた (7)項ないし(11)項のいずれかに記
載の検査用チップ。本項に記載の検査用チップにおいて
は、第二基準マークは背景である位置決め基準部と異な
る明度，色彩等光学的特性を有する状態で形成されれば
よく、例えば、位置決め基準部が黒色である場合には、
白，黄色または透明とされることが望ましい。これに対
して、位置決め基準部が透視可能部として透明材料によ
り形成され、その位置決め基準部の周囲と第二基準マー
クとが不透明、例えば黒色にされてもよい。 （１６）前記第二基準マークが長方形である (7)項ない
し(15)項のいずれかに記載の検査用チップ。第二基準マ
ークが１個のみ設けられる場合に、それが長方形など長
手形状とされれば、第一基準マークと共同して装着部材
と被装着基材との垂直軸線まわりの回転位置ずれを検出
することができる。第二基準マークは、例えば、装着部
材と同じ像が撮像される形象に形成されてもよい。 （１７）前記第二基準マークが円形である (7)項ないし
(15)項のいずれかに記載の検査用チップ。 （１８）前記円形の第二基準マークが複数形成された(1
7)項に記載の検査用チップ。第二基準マークが円形であ
っても、複数形成されれば、装着精度検出治具に対する
Ｘ軸方向とＹ軸方向とのずれに加えて、垂直軸線まわり
の回転位置ずれを測定することができる。本項に記載の
検査用チップにおいて、それら複数の第二基準マークと
前述の少なくとも２つの第一基準マークとが同時に１つ
の撮像装置により撮像されるようにしてもよいし、第二
基準マークの一部のもの（例えば１個）が、少なくとも
１つの第一基準マークとともに撮像されるようにしても
よい。後者の場合は、少なくとも二組の第一基準マーク
と第二基準マークとが撮像されることが望ましい。 （１９）線膨張係数が２０×１０^-6以下の材料から成る
(7)項ないし(18)項に記載の検査用チップ。線膨張係数
が２０×１０^-6以下の金属から成るものとすることも可
能であるが、１０×１０^-6以下のガラス，セラミックス
等から成るものとすることが望ましく、５×１０^-6以
下、さらに２×１０^-6以下のガラス，セラミックス等か
ら成るものとすることが望ましい。 （２０）装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装
着精度を検出するために使用される装着精度検出治具と
検査用チップとを含む装着精度検出治具セットであっ
て、前記装着精度検出治具が、前記装着装置に取り付け
られ、その装着装置により前記検査用チップが装着され
るとともに、前記装着精度を検出するための基準である
少なくとも２つの基準マークが、装着された検査用チッ
プの少なくとも一部と共に撮像可能な位置に形成された
ものであることを特徴とする装着精度検出治具セット。
本項に記載の装着精度検出治具セットにおいては、例え
ば、検査用チップを黒色、装着精度検出治具を白，黄色
または透明として、検査用チップを撮像する際のコント
ラストを良くする事が望ましい。(2)項ないし (6)項に
記載の装着精度検出治具と (7)項ないし(19)項に記載の
検査用チップとは、適宜の組み合わせで本項の装着精度
検出治具セットの構成要素として採用可能である。 （２１）装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装
着精度を検出する方法であって、前記装着装置により、
前記装着部材を (1)項ないし (6)項のいずれかに記載の
装着精度検出治具に取り付ける装着工程と、その装着工
程において取り付けられた装着部材と、装着精度検出治
具の前記少なくとも２つの基準マークとを、撮像装置に
より、同時に撮像する撮像工程と、その撮像工程におい
て取得された画像のデータを、画像処理装置により処理
することによって、前記装着部材の前記少なくとも２つ
の基準マークに対する相対位置に基づいて、装着部材の
装着位置誤差を取得する画像処理工程とを含むことを特
徴とする装着装置の装着精度検出方法〔請求項５〕。本
項に記載の装着精度検出方法においては、装着精度検出
治具を用いることにより、装着装置の装着精度を容易に
かつ正確に検出することができる。特に、撮像工程を、
装着装置に設けられた撮像装置を用いて行う場合には、
装着装置に装着精度を検出するための構成要素を追加す
ることなく、制御ソフトを変更することにより、装着精
度を検出することが可能となる。 （２２）装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装
着精度を検出する方法であって、前記装着装置により、
(7)項ないし(19)項のいずれかに記載の検査用チップを
(1)項ないし (6)項のいずれかに記載の装着精度検出治
具に取り付ける装着工程と、撮像装置により、装着精度
検出治具の前記少なくとも２つの基準マークである第一
基準マークと、前記装着工程において取り付けられた検
査用チップの前記第二基準マークとを同時に撮像する撮
像工程と、その撮像工程において取得された画像のデー
タを、画像処理装置により処理することによって、前記
第二基準マークの前記第一基準マークに対する相対位置
に基づいて、装着部材の装着位置誤差を取得する画像処
理工程とを含むことを特徴とする装着装置の装着精度検
出方法〔請求項６〕。 （２３）装着部材を被装着基材に装着する装着装置の装
着精度をコンピュータにより検出するためのプログラム
であって、前記装着装置により、前記装着部材またはそ
れに代わる検査用チップを (1)項ないし (6)項のいずれ
かに記載の装着精度検出治具に取り付ける装着ステップ
と、その装着ステップにおいて取り付けられた装着部材
または検査用チップの少なくとも一部と、装着精度検出
治具の前記少なくとも２つの基準マークとを、１つの撮
像装置により、同時に撮像する撮像ステップと、その撮
像ステップにおいて取得された画像のデータを、画像処
理装置により処理することによって、前記装着部材の前
記少なくとも２つの基準マークに対する相対位置に基づ
いて、前記装着装置の装着位置誤差を取得する画像処理
ステップとを含む装着精度検出用プログラムがコンピュ
ータにより読み取り可能な状態で格納された記録媒体
〔請求項７〕。例えば、本項に記載の装着精度検出用プ
ログラムの全部を装着装置に実行させれば、装着装置に
自身の装着精度を検出させることができる。本プログラ
ムを、既存の装着装置に実行させれば、それら既存の装
着装置に自身の装着精度を検出させることが可能となる
のである。検出された装着精度は、装着装置の精度評価
に用いられてもよいし、装着装置の調整に用いられても
よい。 （２４）前記検査用チップが、 (7)項ないし(19)項のい
ずれかに記載の検査用チップであり、前記撮像ステップ
が、前記撮像装置により、前記装着精度検出治具の前記
少なくとも２つの基準マークである第一基準マークと、
前記装着ステップにおいて取り付けられた前記検査用チ
ップの前記第二基準マークとを同時に撮像するステップ
であり、前記画像処理ステップが、前記画像における前
記第二基準マークの前記第一基準マークに対する相対位
置に基づいて、前記装着装置の装着位置誤差を取得する
ステップである(23)項に記載の記録媒体。 （２５）装着部材を保持する保持具と、被装着基材を支
持する基材支持装置と、それら保持具と基材支持装置と
を相対移動させる第一相対移動装置と、予め定められた
制御データによって前記第一相対移動装置を制御するこ
とにより、保持具に保持された装着部材を基材支持装置
に支持された被装着基材に装着させる制御装置とを含む
装着装置において、前記基材支持装置に支持された被装
着基材を局部的に撮像可能な視野を有する撮像装置と、
その撮像装置と前記基材支持装置とを相対移動させる第
二相対移動装置と、前記基材支持装置に取り付けられ、
前記保持具に保持された前記装着部材またはそれに代わ
る検査用チップが装着されるとともに、装着された装着
部材または検査用チップの少なくとも一部と同時に前記
撮像装置により撮像可能な位置に少なくとも２つの基準
マークが形成された装着精度検出治具と、前記撮像装置
により撮像された装着部材または検査用チップの少なく
とも一部と少なくとも２つの基準マークとの画像のデー
タを処理することによって、当該装着装置の装着位置誤
差を取得する画像処理装置と、その画像処理装置により
取得された装着位置誤差、またはその装着位置誤差を補
正するための補正量のデータを記憶する記憶手段と、そ
の記憶手段に記憶された装着位置誤差または補正量のデ
ータに基づいて前記制御データを補正する補正手段とを
設けたことを特徴とする装着装置〔請求項８〕。本項に
記載の装着装置は、検出した装着位置誤差に基づいて制
御データを補正して装着作業を行うため、高い装着精度
が得られる。装着位置誤差は、主として制御データに対
する第一相対移動装置による実際の相対移動量の誤差に
起因して発生するが、補正手段により制御データが補正
されることにより、第一相対移動装置による相対移動量
が本来あるべき大きさに制御されるのである。また、装
着装置が、保持具による装着部材の保持位置誤差を、撮
像装置による撮像等によって検出し、その保持位置誤差
を制御データの補正によって除去する機能を有する場合
に、その機能の一般的特性に起因して発生する装着位置
誤差も、制御データの補正によって軽減することができ
る。なお、この装着装置において、装着位置誤差または
補正量は、予め複数種類の被装着基材に対応する装着位
置誤差検出治具に、装着部材または検査用チップを装着
するテストが行われ、そのテストにおいて求められた値
が用いられるようにすることができる。または、ある種
類の被装着基材に装着する作業を開始する直前に装着位
置誤差検出治具を用いたテストが実行されて求められる
ようにしてもよいし、一定の被装着基材への装着が行わ
れる毎にテストが行われて求められるようにしてもよ
い。また、装着位置誤差検出治具とを用いた装着位置誤
差の検出は、被装着基材の各種類に対してそれぞれ行わ
れるようにしてもよいし、装着装置の一般的な傾向を把
握するように行われて、その傾向に基づいて各種類の被
装着基材に対する制御データの補正が行われるようにし
てもよい。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。図２は本発明を実施可能な電
気部品装着システムの一例を示す正面図である。この電
気部品装着システムは、特願平１１−９５２５６号に記
載されているものと同じである。この電気部品装着シス
テムは、ベース１０を備え、そのベース１０上には複数
本のコラム１２が立設されている。コラム１２上に固定
の固定台１４に操作盤１６等が設けられている。ベース
１０上にはまた、図１に示すように、プリント配線板２
０をＸ軸方向（図１および図２において左右方向）に搬
送する配線板搬送装置である配線板コンベア２２が設け
られている。プリント配線板２０は配線板コンベア２２
により搬送され、配線板支持装置２４により予め定めら
れた位置に水平な姿勢で位置決めされ、支持される。

【０００７】ベース１０の水平面内においてＸ軸方向と
直交するＹ軸方向の両側にはそれぞれ、電気部品供給装
置の一種であるフィーダ型電気部品供給装置２６，２８
（以下、電気部品供給装置２６，２８と略称する）が設
けられている。

【０００８】電気部品供給装置２６，２８においては、
多数の電気部品供給フィーダ３０（以下、フィーダ３０
と略称する）が、各々の部品供給部が一線、本実施形態
においてはＸ軸方向に平行な一直線に沿って並ぶ状態で
設置される。各フィーダ３０には部品保持テープがセッ
トされる。部品保持テープは、キャリヤテープに等間隔
に形成された部品収容凹部の各々に電気部品が収容さ
れ、それら部品収容凹部の開口がキャリヤテープに貼り
付けられたカバーテープによって塞がれることにより、
キャリヤテープ送り時における電気部品の部品収容凹部
からの飛びだしが防止されたものである。各フィーダ３
０はそれぞれ部品保持テープ送り装置およびカバーテー
プ巻取装置を有する。これら部品保持テープ送り装置お
よびカバーテープ巻取装置の駆動源はフィーダ３０に設
けられており、部品保持テープは、部品保持テープ送り
装置によってＹ軸方向に所定ピッチずつ送られ、カバー
テープはカバーテープ巻取装置によってキャリヤテープ
が剥がされるとともに巻取装置に巻き取られ、電気部品
が部品供給位置へ送られる。

【０００９】電気部品供給装置２６，２８により供給さ
れる電気部品３２（図３参照）は、ベース１０上に設け
られた電気部品装着システム３４によってプリント配線
板２０に装着され、プリント回路板が製造される。

【００１０】ベース１０上の配線板コンベア２２のＹ軸
方向における両側にはそれぞれ、図３に示すようにＸ軸
方向に延びるガイドレール４０が設けられ、Ｘ軸スライ
ド４２がガイドブロック４４において移動可能に嵌合さ
れている。Ｘ軸スライド４２は、図１に示すように、一
方の電気部品供給装置２６から配線板コンベア２２を越
えて他方の電気部品供給装置２８にわたる長さを有し、
２個のナット４６（図３には１個のみ示されている）が
それぞれボールねじ４８に螺合され、それらボールねじ
４８がそれぞれＸ軸サーボモータ５０によって同期して
回転させられることにより、水平なＸ軸方向に移動させ
られる。ナット４６，ボールねじ４８およびＸ軸サーボ
モータ５０がＸ軸駆動装置５２を構成し、ガイドレール
４０，ガイドブロック４４がＸ軸スライド４２の移動を
案内する案内装置５４を構成している。

【００１１】Ｘ軸スライド４２上には、Ｙ軸スライド５
６が、水平面内においてＸ軸方向と直交し、水平面に平
行なＹ軸方向に移動可能に設けられている。Ｘ軸スライ
ド４２の垂直な側面５８には、図３に示すように、Ｙ軸
方向に延びるボールねじ６０が取り付けられるととも
に、Ｙ軸スライド５６がナット６２において螺合されて
おり、ボールねじ６０が図１に示すＹ軸サーボモータ６
４によりギヤ６６，６８を介して回転させられることに
より、Ｙ軸スライド５６は一対ずつのガイドブロック７
０，ガイドレール７２に案内されてＹ軸方向に移動させ
られる。ボールねじ６０，ナット６２およびＹ軸サーボ
モータ６４がＹ軸駆動装置７４を構成し、ガイドブロッ
ク７０，ガイドレール７２がＹ軸スライド５６の移動を
案内する案内装置７６を構成している。

【００１２】Ｙ軸スライド５６は、製造の都合上、複数
の部材に分割されているが、それら複数の部材が互いに
組み付けられた状態では一体のＹ軸スライド５６として
機能する。本実施形態においては、Ｙ軸スライド５６が
移動部材として機能し、Ｘ軸駆動装置５２およびＹ軸駆
動装置７４，Ｘ軸スライド４２，Ｙ軸スライド５６の各
移動を案内する案内装置５４，７６が主移動装置７８を
構成している。本実施形態においては、水平面がプリン
ト配線板２０に平行な移動平面であり、Ｙ軸スライド５
６は主移動装置７８により、Ｘ軸スライド４２上におい
て水平面に平行でＸ軸と直交するＹ軸方向に移動させら
れるとともに、配線板支持装置２４によって水平に支持
されたプリント配線板２０に対して、水平面内の任意の
位置へ移動させられる。

【００１３】Ｙ軸スライド５６には、装着ヘッド８０，
プリント配線板２０を撮像する撮像装置としてのＣＣＤ
カメラ８２（図１参照），電気部品を撮像する撮像装置
としてのＣＣＤカメラ８４が設けられている。ＣＣＤカ
メラ８４は、図３に示すように、Ｙ軸スライド５６のＸ
軸方向へ突出した突出端部であって、Ｙ軸方向における
位置が装着ヘッド８０と一致する位置に下向きに設けら
れている。

【００１４】装着ヘッド８０は、回転体９０を備えてい
る。回転体９０は、水平な移動平面に直角な回転軸線で
ある垂直軸線まわりに回転可能に取り付けられている。
回転体９０は水平に支持されたプリント配線板２０に直
角な回転軸線まわりに回転可能に設けられているのであ
り、Ｙ軸スライド５６が主移動装置７８によって移動さ
せられることにより、回転体９０は水平面内の任意の位
置へ移動させられる。本実施形態の電気部品装着システ
ムは、回転体移動式電気部品装着システムである。

【００１５】回転体９０は断面形状が円形を成し、軸線
方向の一端である上端に被駆動歯車９２が同心に固定さ
れるとともに、回転体回転モータ９４により回転させら
れる駆動歯車９６に噛み合わされている。回転体回転モ
ータ９４は、Ｙ軸スライド５６に下向きに設けられてお
り、駆動歯車９６は、回転体回転モータ９４の出力軸に
連結されている。回転体回転モータ９４の回転は、駆動
歯車９６および被駆動歯車９２により回転体９０に伝達
され、回転体９０が垂直軸線である自身の軸線まわりに
正逆両方向へ任意の角度回転させられる。本実施形態に
おいては、被駆動歯車９２，駆動歯車９６および回転体
回転モータ９４が回転体９０を回転させる回転体回転装
置９８を構成している。なお、被駆動歯車９２は、回転
体９０と別体ではなく、一体に設けてもよい。

【００１６】回転体９０には、その回転軸線から偏心し
た位置、本実施形態においては回転軸線を中心とする一
円周上の位置に複数、例えば１６個の吸着ノズル１００
が回転体９０に対して軸方向、すなわち回転体９０の回
転軸線に平行な方向に相対移動可能かつ相対回転不能に
保持されている（図３においては、２個のみ示されてい
る）。これら吸着ノズル１００は、回転体９０の回転に
より回転体９０の回転軸線まわりに旋回させられ、任意
の旋回位置へ移動させられる。また、吸着ノズル１００
は回転体９０に相対回転不能に保持されており、相異な
る旋回位置においては回転位相（各吸着ノズル１００の
軸線を中心とする回転位相）を異にする。これら１６個
の吸着ノズル１００は回転体９０に、間隔を隔てて、例
えば等角度間隔で保持されている。本実施形態において
は、１６個の吸着ノズル１００の種類は同じである。

【００１７】なお、複数個の吸着ノズル１００のうち少
なくとも２個を種類の異なるものとし、形状，寸法等が
異なる電気部品３２を吸着するようにしてもよい。さら
に、吸着ノズル１００は、回転体９０に対して相対移動
可能かつ相対回転可能に設けられてもよい。

【００１８】吸着ノズル１００は、負圧の供給により電
気部品３２を吸着し、負圧の供給が絶たれるとともに、
正圧が供給されて電気部品３２を解放する。そのため、
吸着ノズル１００には、図示しない空気通路形成部材を
通って負圧および正圧が供給され、切換バルブ装置１０
１（図４参照）により吸着ノズル１００への負圧および
正圧の各供給，遮断が行われる。

【００１９】空気通路形成部材の外側には、回転軸１０
８が同心に、かつ空気通路形成部材との間に隙間を隔て
て嵌合されている。回転軸１０８は、Ｙ軸スライド５６
により、回転体９０の回転軸線と同心の軸線まわりに回
転可能かつ軸方向に移動不能に保持されたスリーブ１０
９に相対回転不能かつ軸方向に相対移動可能に嵌合され
ている。回転軸１０８の下端部は、スリーブ１０９から
下方へ突出されられ、回転体９０の上方に位置するとと
もに、係合部材としての当接体１１０が固定されてい
る。当接体１１０は回転軸１０８により、回転体９０に
対して回転体９０の回転軸線まわりに相対回転可能かつ
回転軸線に平行な方向に相対移動可能に設けられている
のである。なお、当接体１１０は、回転軸１０８とは別
体でなく、一体に設けてもよい。

【００２０】スリーブ１０９には、被駆動歯車１１２が
同心かつ一体的に設けられており、当接体回転モータ１
１３（図４参照）により回転させられる図示しない駆動
歯車に噛み合わされている。当接体回転モータ１１３は
Ｙ軸スライド５６に設けられており、当接体回転モータ
１１３の回転は、駆動歯車，被駆動歯車１１２によりス
リーブ１０９に伝達され、回転軸１０８および当接体１
１０が回転体９０に対して、回転体９０の回転軸線まわ
りに正逆両方向に任意の角度回転させられ、任意の回転
位相へ回転させられる。本実施形態においては、当接体
回転モータ１１３，被駆動歯車１１２，駆動歯車，回転
軸１０８が係合部材回転装置たる当接体回転装置１１４
を構成している。

【００２１】回転軸１０８のスリーブ１０９から突出し
た上端部には、係合部材たる係合アームが相対回転可能
かつ軸方向に相対移動不能に嵌合されている。Ｙ軸スラ
イド５６には、図示しないねじ軸が回転体９０の回転軸
線と平行な軸線である垂直軸線まわりに回転可能かつ軸
方向に移動不能に設けられるとともに、ナットが螺合さ
れている。係合アームの回転軸１０８からの突出端部は
ナットに固定されており、回転軸１０８が係合アーム，
ナット，ねじ軸を介して、Ｙ軸スライド５６により回転
体９０の回転軸線に平行な方向に相対移動可能かつ回転
体９０の回転軸線まわりに相対回転可能に保持されてい
る。ねじ軸は、それぞれタイミングプーリである被駆動
プーリ，駆動プーリ，タイミングベルトにより伝達され
る当接体移動モータ１１５の回転により回転させられ、
係合アームが移動させられるとともに、回転軸１０８お
よび当接体１１０が回転体９０に対して回転体９０の回
転軸線と平行な方向、すなわち上下方向に移動させられ
る。本実施形態においては、回転軸１０８，ねじ軸，ナ
ット，被駆動プーリ，駆動プーリ，タイミングベルト，
当接体移動モータ１１５が当接体移動装置１１６を構成
している。

【００２２】当接体１１０は、１６個の吸着ノズル１０
０に共通の部材であり、回転軸１０８から、回転軸１０
８の半径方向において、吸着ノズル１００に対応する位
置へ延び出させられた突部１１７を有しており、突部１
１７が吸着ノズルに当接可能とされている。

【００２３】当接体１１０が当接体回転装置１１４によ
って回転体９０の回転軸線まわりの任意の回転位相へ回
転させられることにより、突部１１７は、回転体９０の
任意の回転位相において１６個の吸着ノズル１００の一
つに当節により係合可能な任意の旋回位置へ旋回させら
れる。また、当接体１１０は当接体移動装置１１６によ
って下降させられることにより、突部１１７が１６個の
吸着ノズル１００の一つに当接により係合し、その吸着
ノズル１００を下降させ、配線板支持装置２４に接近さ
せる。当接体１１０が上昇させられれば、吸着ノズル１
００は配線板支持装置２４から離間させられる。当接体
１１０は、電気部品３２の吸着時にも同様に昇降させら
れ、吸着ノズル１００を電気部品３２に接近させ、フィ
ーダ３０からの離間を許容する。本実施形態において
は、電気部品３２の吸着時，装着時のいずれにおいても
当接体１１０の昇降距離は同じにされている。これら当
接体１１０と、当接体回転装置１１４と、当接体移動装
置１１６とにより各吸着ノズル１００を昇降させてフィ
ーダ３０および配線板支持装置２４へ接近・離間させる
接近離間装置１１８を構成している。

【００２４】前記Ｘ軸スライド４２には、図１および図
３に示すように２個の反射装置としてのプリズム１２０
が固定されている（図３には、プリズム１２０は１個の
み図示されている）。これらプリズム１２０は、Ｘ軸ス
ライド４２の下部のＹ軸方向においてちょうどＸ軸スラ
イド４２を移動させるボールねじ４８に対応する位置で
あって、電気部品供給装置２６と配線板支持装置２４と
の間および電気部品供給装置２８と配線板支持装置２４
との間の位置に設けられている。

【００２５】これらプリズム１２０の構成は同じであ
る。プリズム１２０のケーシング１２２は、図３に示す
ようにＸ軸スライド４２に固定されており、プリズム１
２０は、装着ヘッド８０のＹ軸方向の移動経路の真下に
おいて、回転体９０の中心線を含む垂直面に対して約４
５度傾斜させられ、そのＸ軸スライド４２から遠い側の
端部が下方に位置する反射面１２４と、ＣＣＤカメラ８
４のＹ軸方向の移動経路の真下の位置に、反射面１２４
と垂直面に対して対象に位置する反射面１２６とを有す
る。プリズム１２０はＣＣＤカメラ８４および回転体９
０の移動軌跡に対向する状態で設けられているのであ
る。反射面１２４，１２６の外面にはハーフミラー処理
が施され、下方から照射された光を透過させる一方、装
着ヘッド８０に照射された光の反射光の大半を反射する
ようになっている。

【００２６】Ｘ軸スライド４２にはまた、図３に示すよ
うに、プリズム１２０の反射面１２４の下側にフロント
ライト１２８が図示しない取付部材によって取り付けら
れ、照明装置を構成している。フロントライト１２８
は、プリント配線板１３０に多数の発光ダイオード１３
２が固定されて成り、水平に配設されている。フロント
ライト１２８が照射する光は反射面１２４を透過して電
気部品３２を下方から照らし、電気部品３２の表面像
（正面像）が取得される。

【００２７】また、ケーシング１２２のＸ軸スライド４
２側とは反対の外側面にはシャッタ１３４が固定されて
いる。シャッタ１３４はＹ軸方向の寸法が反射面１２
４，１２６と同じであり、ケーシング１２２から上方へ
突出させられるとともに、突出端部はＸ軸スライド４２
側に水平に曲げられ、反射面１２６とＣＣＤカメラ８４
との間に突出する遮蔽部１３６とされている。また、遮
蔽部１３６のＹ軸方向の中央部には切欠１３８が設けら
れている。したがって、Ｙ軸スライド５６が移動すると
き、ＣＣＤカメラ８４は遮蔽部１３６上を移動し、切欠
１３８を通過するときに反射面１２６からの反射光が得
られるのであり、切欠１３８のＸ軸方向の寸法は、反射
面１２６から反射される像形成光を通過させるのに十分
な大きさとされ、切欠１３８のＹ軸方向の寸法は、ＣＣ
Ｄカメラ８４のＹ軸方向の移動速度ｖに露光時間ｔを掛
けた長さｖｔとされている。

【００２８】本電気部品装着システムは、図４に示す制
御手段としての制御装置１５０によって制御される。制
御装置１５０は、ＣＰＵ１５２，ＲＯＭ１５４，ＲＡＭ
１５６およびそれらを接続するバス１５８を有するコン
ピュータ１６０を主体とするものである。バス１５８に
は画像入力インタフェース１６２が接続され、前記ＣＣ
Ｄカメラ８２，８４が接続されている。バス１５８には
また、サーボインタフェース１６４が接続され、Ｘ軸サ
ーボモータ５０を初めとする各種アクチュエータが接続
されており、制御装置１５０は、主移動装置７８，回転
体回転装置９８および接近離間装置１１８を制御する。
バス１５８にはまた、デジタルインタフェース１６６が
接続され、操作盤１６が接続されている。バス１５８に
はさらに、デジタル出力インタフェース１６８が接続さ
れ、配線板コンベア２２，切換バルブ装置１０１が接続
されている。なお、Ｘ軸サーボモータ５０，Ｙ軸サーボ
モータ６４の他、回転体回転モータ９４，当接体回転モ
ータ１１３，当接体移動モータ１１５は、駆動源の一種
である電動回転モータであって、回転速度および回転角
度の精度のよい制御が可能なモータである。サーボモー
タに代えてステップモータを用いてもよい。

【００２９】本電気部品装着システムにより、電気部品
３２の代わりに検査用チップ１６９が、プリント配線板
２０の代わりに、図５に示す装着精度検出治具としての
ガラス基板１７０に装着されて装着精度が検出される。

【００３０】ガラス基板１７０は、無色透明のガラスか
らなり、本電気部品装着システムにより電気部品を装着
し得る最大のプリント配線板２０以上の寸法（例えば、
同一の寸法）とされている。このガラス基板１７０の表
面に、装着前後に撮像されてガラス基板１７０の位置を
検出するための基準となるフィデューシャルマーク（以
下、Ｆマークと略称する）であって、装着前に撮像され
る位置決め基準点たる２点の装着用Ｆマーク１７２と、
装着後に検査用チップ１６９とともに撮像されて装着精
度が検出される複数の検出用Ｆマーク１７４とが印刷に
より形成されている。本実施形態においては、２つの装
着用Ｆマーク１７２が、ガラス基板１７０の４隅のうち
互いに対向する一対の隅にそれぞれ形成され、複数の検
出用Ｆマーク１７４が、検査用チップ１６９（つまり電
気部品３２）を装着することができる装着可能範囲に規
則的に配列（図示の例ではＸ，Ｙ両方向に千鳥状に配
列）されている。検出用Ｆマーク１７４は、検査用チッ
プ１６９が装着される装着位置を中心として、図５に円
で示す撮像範囲１７６において、直径方向に隔たった２
箇所に位置するように形成されている。なお、検出用Ｆ
マーク１７４は、それらのうち２点が検査用チップ１６
９とともに撮像範囲１７６内に同時に存在するように形
成されればよい。なお、装着用Ｆマーク１７２の代わり
に、検出用Ｆマーク１７４の一部のもの（例えば、互い
に最も離れた２個）を利用することも可能である。

【００３１】次に作動を説明する。作業者により、装着
精度を検出することが指示されると、配線板支持装置２
４にガラス基板１７０がセットされ、検査用チップ１６
９が装着される。ガラス基板１７０に検査用チップ１６
９を装着する場合は、プリント配線板２０に電気部品３
２を装着する場合と同様に、１６個の吸着ノズル１００
は、Ｙ軸スライド５６が主移動装置７８によって移動さ
せられることにより、一方の電気部品供給装置２６へ移
動させられ、回転体９０の回転により順次部品吸着位置
へ移動させられて検査用チップ１６９を吸着する。電気
部品供給装置２６には、検査用チップ１６９を電気部品
３２と同様にして供給可能なフィーダ３０が設置されて
おり、そのフィーダ３０から検査用チップ１６９を吸着
するのである。吸着ノズル１００の旋回位置のうち、Ｙ
軸方向においてフィーダ３０に最も近い位置が部品吸着
位置である。検査用チップ１６９の吸着前には、１６個
の吸着ノズル１００はいずれも上昇位置に位置する。こ
のとき各吸着ノズル１００には、負圧が供給されてい
る。

【００３２】検査用チップ１６９の吸着時には、当接体
１１０は、突部１１７が部品吸着位置へ移動させられた
吸着ノズル１００に対応する旋回位置であって、第１相
対旋回位置に位置する回転位相へ回転させられ、突部１
１７は、吸着ノズル１００の僅かに上方に位置させられ
る。

【００３３】吸着ノズル１００が部品吸着位置へ移動さ
せられるとともに、検査用チップ１６９を供給するフィ
ーダ３０の部品供給位置上へ移動させられた後、当接体
１１０が当接体移動装置１１６により下降させられる。
それにより吸着ノズル１００が検査用チップ１６９に接
近する向きに移動させられる。吸着ノズル１００は、そ
れの先端部が検査用チップ１６９に当接した状態から更
に小距離下降させられ、吸着ノズル１００が確実に検査
用チップ１６９に当接させられる。吸着ノズル１００は
上昇位置に位置する状態においても下降位置に位置する
状態においても負圧が供給され、検査用チップ１６９を
保持し続ける。

【００３４】１６個の吸着ノズル１００は順次部品吸着
位置へ移動させられ、検査用チップ１６９を吸着する。
当接体１１０は、部品吸着位置へ移動させられた吸着ノ
ズル１００に対して、突部１１７が第１相対旋回位置に
位置する回転位相に位置させられたままである。全部の
吸着ノズル１００が検査用チップ１６９を吸着したなら
ば、それらの吸着ノズル１００は主移動装置７８によっ
てガラス基板１７０へ移動させられ、ガラス基板１７０
上の予め定められた部分である部品装着位置に検査用チ
ップ１６９を装着する。１６個の吸着ノズル１００は、
Ｘ軸スライド４２およびＹ軸スライド５６の移動によ
り、ガラス基板１７０の部品装着位置上へ移動させられ
るのであるが、この際、Ｘ軸スライド４２の、フィーダ
３０の部品供給位置とプリント配線板２０の部品装着位
置との間の位置に固定されているプリズム１２０上を通
過する。

【００３５】フロントライト１２８から照射されて検査
用チップ１６９の表面像（正面像）を形成する光は、反
射面１２４により反射された後、反射面１２６により上
方へ反射される。回転体９０および１６個の吸着ノズル
１００を含む装着ヘッド８０がプリズム１２０上を通過
するとき、各々検査用チップ１６９を保持した１６個の
吸着ノズル１００は反射面１２４上を通り、ＣＣＤカメ
ラ８４は反射面１２６上を通過する。反射面１２６は、
１６個の検査用チップ１６９の全部からの反射光をシャ
ッタ１３４の遮蔽部１３６に形成された切欠１３８を通
って撮像面に入光させ、その像形成光により、１６個の
吸着ノズル１００によりそれぞれ保持された１６個の検
査用チップ１６９の全部がＣＣＤカメラ８４により一挙
に撮像される。撮像は、回転体９０の移動中に、ＣＣＤ
カメラ８４を回転体９０と共に移動させつつ行われるの
である。

【００３６】撮像された像のデータに基づいて、コンピ
ュータ１６０において保持位置誤差、即ち検査用チップ
１６９の中心位置誤差ΔＸ，ΔＹおよび保持方位誤差Δ
θが算出される。また、ガラス基板１７０の水平位置誤
差ΔＸ’，ΔＹ’はガラス基板１７０に設けられた装着
用Ｆマーク１７２を予めＣＣＤカメラ８２によって撮像
することにより算出されている。

【００３７】検査用チップ１６９の中心位置誤差ΔＸ，
ΔＹおよびガラス基板１７０の水平位置誤差ΔＸ’，Δ
Ｙ’は、移動部材たるＹ軸スライド５６の移動距離を修
正することにより修正され、保持方位誤差Δθは回転体
９０を回転させることにより修正される。

【００３８】回転体９０が回転させられ、吸着ノズル１
００が旋回させられるのと並行して当接体１１０が当接
体回転装置１１４により回転させられ、突部１１７が旋
回させられて、次に装着されるべき検査用チップ１６９
を保持している吸着ノズル１００に対応する旋回位置で
あって、その吸着ノズル１００に対する第２相対旋回位
置へ移動させられる。当接体１１０は、突部１１７が吸
着ノズル１００に対して第２旋回位置に位置する回転位
相へ回転させられるのであり、それにより、ノズル当接
部が吸着ノズル１００に対応させられる。

【００３９】検査用チップ１６９がプリント配線板２０
の部品装着位置上へ移動させられ、当接体１１０が、そ
れの突部１１７が上記第２相対旋回位置に位置する回転
位相へ回転させられた後、当接体１１０が下降させられ
る。この際、まず、突部１１７が吸着ノズル１００に当
接し、吸着ノズル１００を下降させて配線板支持装置２
４に接近させ、検査用チップ１６９をガラス基板１７０
上に載置する。当接体１１０は、検査用チップ１６９が
ガラス基板１７０に当接した状態からさらに小距離下降
させられ、検査用チップ１６９がガラス基板１７０に確
実に載置される。

【００４０】吸着ノズル１００が下降させられる間は、
吸着ノズル１００に負圧が供給され、検査用チップ１６
９がガラス基板１７０に当接する直前に負圧の供給が遮
断されるとともに、正圧が供給されて検査用チップ１６
９を積極的に解放する。

【００４１】次にガラス基板１７０に装着される検査用
チップ１６９は、同様に、回転体９０の回転とＹ軸スラ
イド５６の移動との組合せにより、保持位置誤差が修正
されるとともに、所定の方位でガラス基板１７０の部品
装着位置上に位置決めされる。また、当接体１１０は当
接体回転装置１１４により回転させられ、突部１１７が
旋回させられて、次に検査用チップ１６９を装着する吸
着ノズル１００に対して第２相対旋回位置へ移動させら
れる。当接体１１０の下降により吸着ノズル１００を下
降させ検査用チップ１６９をガラス基板１７０に載置す
るとともに、電磁方向切換弁１０１が切り換えられて、
負圧の供給が遮断されるとともに、正圧が供給される。

【００４２】全部の吸着ノズル１００が検査用チップ１
６９をガラス基板１７０に装着したならば、装着ヘッド
８０は電気部品供給装置２６へ移動させられ、フィーダ
３０から検査用チップ１６９を取り出す。

【００４３】上記の装着作業が繰り返されて、ガラス基
板１７０の、検査用チップ１６９を装着すべき全ての装
着位置に検査用チップ１６９が装着されれば、装着され
た検査用チップ１６９がＣＣＤカメラ８２により撮像さ
れて、実際に装着された実装着位置が取得され、それに
基づいて装着精度が検出される。この電気部品装着シス
テムにおいては、装着用Ｆマーク１７２と、装着後の検
査用チップ１６９および検出用Ｆマークとが、ともにＣ
ＣＤカメラ８２によって撮像される。本実施形態におい
ては、Ｎ個の検査用チップ１６９がガラス基板１７０
の、検査用チップ１６９を装着することができる装着可
能範囲全体に規則的に装着されて、その装着精度が検出
される（ただし、図５には検査用チップ１６９が３個の
み示されている）。なお、装着精度を検出する際に、検
査用チップ１６９は、ガラス基板１７０に１個だけ装着
されてもよいし、ガラス基板１７０の４隅に１個ずつ装
着されてもよい。

【００４４】次に装着精度検出について説明する。図６
に、装着精度を検出するための装着精度検出プログラム
が、フローチャートで示されている。この装着精度検出
プログラムは、作業者により装着精度検出が指示されて
から装着精度検出が終了するまで繰り返し実行される。

【００４５】まず概略的に説明する。このプログラム
は、検査用チップ１６９の装着が終了するまでは、実質
的に待機させられ、装着終了が検出されると、検査用チ
ップ１６９の装着精度の検出を開始する。検査用チップ
１６９の装着終了は、制御装置１５０により装着終了を
示す装着終了信号が出力されることによって確認され
る。電気部品装着システムにより全ての検査用チップ１
６９を装着し終えた後で、それら装着された検査用チッ
プ１６９のうちの１つとその検査用チップ１６９に対応
する検出用Ｆマーク１７４とがＣＣＤカメラ８２により
同時に撮像される。Ｎ個の検査用チップ１６９全てが順
次撮像され、それら撮像により得られた複数の画像デー
タに基づいて、ガラス基板１７０上の各装着位置におけ
る装着精度が算出されるとともに、記憶手段に記憶され
る。本実施形態においては、装着精度が検査用チップ１
６９の各装着位置と関連付けてコンピュータに記憶され
る。以上で、装着精度の検出が終了する。

【００４６】次に、装着精度検出プログラムをフローチ
ャートに基づいて詳細に説明する。装着精度検出が指示
されると、まずステップＳ１（以下、単にＳ１と称す
る。他のステップについても同じ）において、フラグＦ
が０であるか否かが判定される。フラグＦは、０のとき
装着終了が確認されていないことを示し、１のとき装着
終了が既に確認されていることを示す。今回の実行にお
いては、フラグＦは初期値０のままであるのでＳ１の判
定はＹＥＳとなり、Ｓ２において、装着終了信号が出力
されたか否かが判定される。装着終了信号が出力されて
いなければ、Ｓ２の判定はＮＯとなり、本プログラムの
１回の実行が終了する。これに対して、装着終了信号が
出力されていれば、Ｓ２の判定がＹＥＳとなりＳ３にお
いてフラグＦが１とされる。

【００４７】次に、ガラス基板１７０に装着された検査
用チップ１６９と検出用Ｆマーク１７４とが撮像され
る。Ｓ４において、次に実行される検査用チップ１６９
の撮像の撮像番号ｎが、最後の撮像番号の値であるＮ以
下であるか否かが判定されて、検査用チップ１６９の撮
像が終了したか否かが判断される。現在の撮像番号ｎが
Ｎ以下である場合は、検査用チップ１６９の撮像が終了
していないことを示し、撮像番号ｎがＮより大きい場合
は、全ての検査用チップ１６９について撮像が終了した
ことを示す。なお、撮像番号ｎは、ガラス基板１７０に
装着された検査用チップ１６９を撮像する順番を示し、
１からＮ、即ち、検査用チップ１６９の数と同数、まで
予め定められているものとする。今回の実行において
は、まだ検査用チップ１６９の撮像が行われていないの
で、ｎは初期値ｎ＝１とされており、Ｓ４の判定はＹＥ
ＳとなりＳ５に進む。Ｓ５において、今回撮像すべき撮
像番号ｎ（＝１）の検査用チップ１６９がＣＣＤカメラ
８２により撮像され、Ｓ６において撮像により取得され
た画像データに基づいて各装着位置における装着精度が
検出される。次にＳ７において、検出された装着精度
が、その装着精度が検出された検出位置とともにコンピ
ュータ１６０に記憶され、Ｓ８において、撮像番号ｎに
１が加算されて、改めて撮像番号ｎが設定され、本プロ
グラムの１回の実行が終了する。次に本プログラムが実
行されると、フラグＦが１とされているのでＳ１の判定
がＹＥＳとなり、Ｓ４にスキップしてＳ５ないしＳ８が
実行される。

【００４８】Ｎ個の検査用チップ１６９の撮像および装
着精度の検出，記憶が終了した後で、Ｓ４が実行される
と、撮像番号ｎがＮ＋１であるのでＳ４の判定がＮＯと
なり、Ｓ９において、フラグＦが０とされるとともに撮
像番号ｎが１とされて、本プログラムの１回の実行が終
了する。

【００４９】なお、本実施形態においては、装着精度検
出が作業者の操作に基づいて行われていたが、一定期間
ごとに自動的に行われることとしてもよい。さらに、ガ
ラス基板１７０が配置されたことを関知して、それに基
づいて装着精度検出が行われてもよい。

【００５０】本実施形態の電気部品装着システムにおい
ては、検査用チップ１６９を全て装着し終えた後で、装
着精度を検出する、すなわちガラス基板１７０に装着さ
れた検査用チップ１６９を撮像するので、実際に電気部
品３２をプリント配線板２０に装着する装着作業を忠実
に再現して、装着精度を測定することができる。

【００５１】これに対して、１個の検査用チップ１６９
をガラス基板１７０に装着する毎に、その検査用チップ
１６９の装着位置を撮像して、装着精度を検出すること
もできる。この場合は、装着後すぐに撮像するので、装
着不良等により装着後に検査用チップ１６９の位置がず
れる可能性があっても、検査用チップ１６９の位置がず
れる前に撮像することが可能となり良好なデータを得る
ことができる。

【００５２】さらに、本実施形態の電気部品装着システ
ムにおいては、上述の装着精度の検出が予め実行され、
その検出された装着精度に基づいて、プリント配線板２
０に電気部品３２を装着する際の基礎データが予め補正
され、装着が行われる。

【００５３】一般に、プリント配線板２０に電気部品３
２が装着される際には、位置ずれのないプリント配線板
２０に電気部品３２を装着する装着位置を示す基礎デー
タが予め定められている。その基礎データが、各電気部
品３２およびプリント配線板２０の装着用Ｆマーク１７
２を撮像して取得された保持位置誤差ΔＸ，ΔＹ，Δθ
と、水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’とに基づいて修正さ
れ、電気部品が装着される。本実施形態の電気部品装着
システムにおいては、以下に詳細に説明するように、そ
の基礎データが予め装着精度に基づいて補正されて補正
データが取得され、その補正データが修正されて、プリ
ント配線板２０に電気部品３２が装着される。

【００５４】前述のように、装着精度は、その装着精度
が検出された検出位置に関連付けて記憶されている。今
回装着すべき電気部品の基礎データに含まれるプリント
配線板２０上の装着位置に対して、その装着位置に近い
検出位置の装着精度に基づいて、装着位置における位置
ずれが推定されて基礎データが補正され、補正データが
作成される。

【００５５】具体的には、装着すべき電気部品３２の装
着位置に最も近い少なくとも１つの検出位置が選択さ
れ、選択された検出位置における装着精度に基づいて、
装着位置の基礎データが補正される。なお、その際に
は、装着位置と検出位置との距離等をも考慮して基礎デ
ータが補正されることが望ましい。

【００５６】さらに、互に隣接する３点の検出位置によ
り三角形が描かれ、それら三角形のうち、三角形の範囲
内に今回装着すべき装着位置が含まれるものを選択し、
その三角形の各頂点における位置ずれに基づいて、装着
位置の位置ずれを推定し、基礎データを補正することも
できる。この方法によれば、装着位置に最も近い３つの
検出位置における装着精度に基づいて、補正データを作
成することができる。

【００５７】この方法によれば、基礎データを予め補正
し、作成された補正データを、従来の装着時における修
正と同様に、プリント配線板２０の水平位置誤差Δ
Ｘ’，ΔＹ’と、電気部品３２の中心位置誤差ΔＸ，Δ
Ｙおよび保持方位誤差Δθに基づいて修正することによ
り、装着精度を向上させることができる。予め補正され
た補正データを用いることにより、各プリント配線板２
０に電気部品３２を装着する際には、従来の装着作業と
同様の修正を行えばよいので、制御装置１５０の演算負
荷をそれほど増大させることなく装着精度を向上させる
ことができる。

【００５８】なお、装着精度に基づいた補正は、基礎デ
ータがプリント配線板２０の位置と電気部品３２の保持
位置および姿勢に基づいて修正された後で行われること
としてもよいし、または、基礎データをプリント配線板
２０の水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’に基づいて修正する
際、または、電気部品３２の中心位置誤差ΔＸ，ΔＹお
よび保持方位誤差Δθに基づいて修正する際に、同時に
補正することとしてもよい。さらに、基礎データに対し
て装着精度に基づいた補正と、水平位置誤差ΔＸ’，Δ
Ｙ’および中心位置誤差ΔＸ，ΔＹ，保持方位誤差Δθ
に基づいた補正とが同時に行われてもよい。

【００５９】本実施形態の電気部品装着システムにおい
て、装着精度の検出は、装置の組み立て完了直後に行わ
れてもよいし、さらに、一定期間ごとに検出されてもよ
い。後者の場合は、部品の経年変化等に起因する装着精
度の変化に対応することができる。さらに、連続運転中
に複数回にわたって装着精度の検出が行われれば、部品
の熱膨張等に起因する装着精度の変化にも対応すること
が可能となる。

【００６０】以上の説明から明らかなように、本実施形
態においては、検出用Ｆマーク１７４が「第一基準マー
ク」を構成し、ガラス基板１７０が「装着精度検出治
具」を構成し、主移動装置７８が「第一相対移動装置」
および「第二相対移動装置」を構成している。なお、上
記実施形態においては、検査専用の検査用チップ１６９
がガラス基板１７０に装着されたが、電気部品３２自体
を検査用チップとして利用することも可能である。

【００６１】次に、本発明の第２実施形態の電気部品装
着システムについて説明する。本実施形態においては、
電気部品装着システムの主な構成要素と、装着精度検出
基材たるガラス基板１７０とが先の実施形態と共通し、
電気部品装着システムの構成要素の一部と、ガラス基板
１７０に装着される検査用チップとが異なるので、異な
る部分についてのみ詳細な説明を行い、共通する部分に
ついては同じ符号を用いて説明を省略する。

【００６２】第１の実施形態においては、電気部品装着
システムが、プリント配線板２０を固定的に支持すると
ともに、電気部品３２を保持してプリント配線板２０に
装着する装着ヘッド８０をプリント配線板２０の表面に
平行な方向に移動させることにより、電気部品３２の装
着を行う、所謂回転体移動式電気部品装着システムとさ
れていた。これに対して、本実施形態においては、電気
部品装着システム２００は、図７に示すように、ベース
１０を有し、そのベース１０に図示しないコラムと固定
台とが固定されている。その固定台に、装着ヘッド２０
２が設けられている。装着ヘッド２０２は、断面が円形
である回転体９０を備え、回転体９０は固定台１４に回
転可能にかつ水平方向に移動不能に設けられている。回
転体９０に等角度間隔に、かつ、回転体９０の回転軸線
に平行に複数の吸着ノズル１００（本実施形態において
は１２個）が設けられている。吸着ノズル１００は、回
転体９０に設けられた保持穴に相対回転可能、かつ回転
体９０の回転軸線に平行な方向に相対移動可能に嵌合さ
れている。回転体９０の回転により、各吸着ノズル１０
０が部品吸着位置，部品姿勢撮像位置，部品装着位置等
に位置させられる。吸着ノズル１００には、空気通路形
成部材を通って負圧および正圧が供給され、切換バルブ
装置１０１により吸着ノズル１００への負圧および正圧
の各供給，遮断が行われる。さらに、図示しないＣＣＤ
カメラ８２が装着装置に固定的に設けられ、ＣＣＤカメ
ラ９４が前述の部品姿勢撮像位置の吸着ノズル１００に
対応する位置に上向きに設けられている。

【００６３】吸着ノズル１００の部品吸着位置に対応す
る位置に、電気部品供給装置２０６が配設されている。
電気部品供給装置２０６は、前述の電気部品供給装置２
６，２８と同様に複数のフィーダ３０を備えるが、本実
施形態においては、これらフィーダ３０がＸ軸方向に平
行なＤ軸方向に移動可能なＤ軸テーブル２０８に支持さ
れている。Ｄ軸テーブル２０８に、前記Ｘ軸スライド４
２と同様に図示しないナットとガイドブロックとが固定
的に設けられており、Ｄ軸テーブル２０８は、それらナ
ットとガイドブロックとにおいてボールねじ２１０およ
び２本のガイドレール２１２にそれぞれ嵌合されてい
る。ボールねじ２１０は、それの一方の端部においてＤ
軸サーボモータ２１４に連結され、それにより正逆両方
向に回転可能とされている。ボールねじ２１０の回転に
よりＤ軸テーブル２０８がＤ軸方向の任意の位置へ移動
させられる。ボールねじ２１０と、ガイドレール２１２
と、Ｄ軸サーボモータ２１４とがフィーダ３０を駆動す
るフィーダ駆動装置２１６を構成している。電気部品供
給装置２０６は、今回電気部品に装着すべき電気部品３
２を保持するフィーダ３０が、部品吸着位置の真下に位
置するようにフィーダ駆動装置２１６により移動させら
れる。

【００６４】プリント配線板２０を支持する配線板支持
装置２０４が、水平方向に移動可能に配設されている。
本実施形態においては、プリント配線板２０が主移動装
置７８により、吸着ヘッド１００に対して水平方向に移
動させられて装着が行われる。具体的には、ベース１０
にＸ軸駆動装置５２により駆動されるＸ軸テーブル２１
８が設けられ、そのＸ軸テーブル２１８上にＹ軸駆動装
置７４と、それにより駆動されるＹ軸テーブル２２０と
が設けられる。このＹ軸テーブル２２０により、プリン
ト配線板２０が支持されて、水平方向に移動させられ
る。

【００６５】先の実施形態においては、ガラス基板１７
０に検査用チップ１６９が装着されて装着精度が検出さ
れていたが、本実施形態においては、ガラス基板１７０
に検査用チップ２２２が装着されて装着精度が検出され
る。

【００６６】図８に検査用チップ２２２がガラス基板１
７０に装着された状態で示されている（ただし、ガラス
基板１７０は部分的にのみ示されている）。検査用チッ
プ２２２は、線膨張係数が約０．５×１０^-6であって無
色透明のガラスからなる。本実施形態においては、検査
用チップ２２２は石英ガラスからなる。その検査用チッ
プ２２２の表面に、ＣＣＤカメラ８４により撮像された
際に、実際に装着されるべき電気部品であって、先の実
施形態における電気部品３２より大きいものと同じ像が
取得される位置決め基準部としての形象２２４が印刷さ
れている。本実施形態においては、その形象２２４の大
きさが、図に円で示すＣＣＤカメラ８２により一度に撮
像することができる撮像範囲１７６より大きいものとさ
れている。形象２２４は、装着されるべき電気部品と同
じ像が取得されるように、その電気部品の本体と同じ像
が得られるように印刷された一定の幅を有する四角形の
枠である本体部２２６と、その本体の側面から側方へ突
出した複数のリードと同じ像が取得されるリード部２２
８とにより形成されている。形象２２４は、本体部２２
６の内側の印刷されない無色透明の部分を囲むように形
成されている。その無色透明の部分が、ガラス基板１７
０に装着された際に、その下に位置するガラス基板１７
０を透視することができる透視可能部２３２とされてい
る。

【００６７】検査用チップ２２２は、さらに、透視可能
部２３２の中央において、装着精度を検出する際に基準
とされる第二基準マークとしての第二基準像２３４が印
刷されている。前述の形象２２４と第二基準像２３４と
は、ともに黒色で印刷されている。第二基準像２３４
は、長方形に形成され、装着後にＣＣＤカメラ８２によ
り撮像される際に、先の実施形態における検査用チップ
１６９と同じ像が取得される形状とされている。なお、
第二基準像２３４は、長手形状であればよいが、円形等
に形成することもできる。後者の場合は、１点では保持
方位誤差Δθが検出できない形状であるので、２個以上
の像が同時に撮像されるように形成されることが望まし
い。

【００６８】次に作動について説明する。電気部品装着
システム２００により検査用チップ２２２をガラス基板
１７０に装着する作動は、第１の実施形態とほぼ共通し
ているので、簡単に説明する。

【００６９】部品吸着位置に位置する吸着ノズル１００
により、検査用チップ２２２が保持されると、回転体９
０が回転させられて、検査用チップ２２２を保持してい
る吸着ノズル１００が、部品姿勢撮像位置へ移動させら
れる。部品撮像位置において、ＣＣＤカメラ８４により
形象２２４の一部が撮像されて、それの中心位置誤差Δ
Ｘ，ΔＹと保持方位誤差Δθとが検出される。ガラス基
板１７０の装着用Ｆマーク１７２がＣＣＤカメラ８２に
より予め撮像されて水平位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’が検出
されている。吸着ノズル１００が部品装着位置へ移動さ
せられるとともに、保持方位誤差Δθを解消するように
吸着ノズル１００が回転させられ、その間に、ガラス基
板１７０の装着位置が中心位置誤差ΔＸ，ΔＹと、水平
位置誤差ΔＸ’，ΔＹ’とに基づいて修正され、修正さ
れた装着位置が部品装着位置にある吸着ノズル１００の
下に位置するように、ガラス基板１７０が移動させられ
て、検査用チップ２２２がガラス基板１７０に装着され
る。

【００７０】検査用チップ２２２の装着が終了すれば、
ＣＣＤカメラ８２により、検査用チップ２２２の第二基
準像２３４と検出用Ｆマーク１７４とが同時に撮像され
て装着精度が検出される。検査用チップ２２２が大きい
ために、ガラス基板１７０の検出用Ｆマーク１７４が検
査用チップ２２２の下に位置することとなるが、検査用
チップ２２２の、検出用Ｆマーク１７４と対応する部分
が透視可能部２３２とされているので、検査用チップ２
２２の下の検出用Ｆマーク１７４を撮像することができ
る。したがって、本実施形態においても、検査用チップ
２２２の第二基準像２３４と、ガラス基板１７０の検出
用Ｆマーク１７４とをＣＣＤカメラ８２により同時に撮
像することができるので、先の実施形態と同様に信頼性
の高い装着精度を検出することができる。

【００７１】本実施形態の検査用チップ２２２によれ
ば、第二基準像２３４を長方形とすることにより、装着
位置の水平方向位置ずれだけでなく、回転位置ずれをも
検出することができる。なお、検査用チップ２２２と前
記検査用チップ１６９との両方を使用して装着精度の検
出が行われるようにしてもよく、その場合には、想定さ
れている電気部品は異なるにもかかわらず、検出用Ｆマ
ーク１７４との相対位置が検出される部分（第二基準像
２３４と検査用チップ１６９）の形状，寸法が同じであ
るため、装着精度の検出のために同一のプログラムを使
用することができて好都合である。

【００７２】なお、検査用チップ２２２は、ガラス基板
１７０に対して１個のみ装着されて、その装着位置にお
ける装着精度が検出されてもよいし、複数個装着されて
ガラス基板１７０の装着可能範囲における装着精度の傾
向が検出されてもよい。複数個の検査用チップ２２２が
装着される場合は、先の実施形態におけると同様に、す
べての検査用チップ２２２が装着された後で、撮像され
ることとしてもよいし、検査用チップ２２２が装着され
るごとに検出用Ｆマーク１７４と第２基準像２３４とが
撮像されてもよい。

【００７３】なお、検査用チップ２２２の代わりに、別
の検査用チップ２４０を用いることも可能である。その
検査用チップ２４０が、ガラス基板１７０に装着された
状態で図９に示されている（ただし、ガラス基板１７０
は一部分のみ示されている）。その検査用チップ２４０
は、上述の検査用チップ２２２と同様に線膨張係数が約
０．５×１０^-6であって無色透明の石英ガラスからな
り、電気部品と同じ像が得られるように形象２４２が印
刷されている。この形象２４２は、電気部品の本体と同
じ像が取得されるように内側が塗りつぶされた四辺形
（正方形）の本体部２４４と、本体の側面から側方へ突
出する複数のリードと同じ像が取得されるリード部２４
６とから形成されている。この形象２４２は、それの内
側が塗りつぶされており、したがって、検査用チップ２
４０は、形象２４２の外側部分のみが無色透明の透視可
能部２４８とされている。形象２４２の本体部２４４の
範囲内において、形象２４２の色、例えば黒色と対照的
な色で、装着精度を検出する際に基準とされる第二基準
マーク２５０が形成される。本実施形態においては、第
二基準マーク２５０は無色透明であり、本体部２４４の
４隅のうち一本の対角線上にある２つの隅にそれぞれ一
点ずつ形成されている。

【００７４】この検査用チップ２４０を装着するガラス
基板１７０は、それの検査用チップ２４０を装着すべき
装着位置付近であって、検査用チップ２４０が装着され
た際に形象２４２より外側に位置する部分に、検出用Ｆ
マーク１７４が形成されている。図９に示すガラス基板
１７０においては、検出用Ｆマーク１７４が、形象２４
２の外側であって、２つの第二基準マーク２５０の位置
する２つの隅付近にそれぞれ１つずつ形成されている。

【００７５】この検査用チップ２４０をガラス基板１７
０に装着する装着作業は、検査用チップ２２２をガラス
基板１７０に装着する場合と共通しているので説明を省
略する。

【００７６】さらに、検査用チップ２４０を用いて装着
精度を検出する作動は、検査用チップに形成された前述
の第二基準マーク２５０を撮像する撮像工程のみ異な
り、他の工程については検査用チップ２２２を用いる場
合と共通しているので、共通する工程の説明を省略し、
異なる工程についてのみ説明する。

【００７７】この検査用チップ２４０は、図に円で示す
ＣＣＤカメラ８２の撮像範囲１７６の大きさに対して、
２つの第二基準マーク２５０の間隔が離れているので、
２つの第二基準マーク２５０と２つの検出用Ｆマーク１
７４とをＣＣＤカメラ８２において同時に撮像すること
が不可能である。そこで本実施形態においては、まず、
一方の隅における検出用Ｆマーク１７４と第二基準マー
ク２５０とを同時に撮像し、次に他方の隅における検出
用Ｆマーク１７４と第二基準マーク２５０とを同時に撮
像する。１つの検査用チップ２４０につき、２つの画像
が取得され、それら２つの画像の検出用Ｆマーク１７４
に基づいて、１つの画像が再構築され、検査用チップ２
４０の装着誤差が検出される。

【００７８】このように、検査用チップ２４０を用いて
二か所に分けて検出用Ｆマーク１７４と第二基準マーク
２５０とを撮像すれば、ＣＣＤカメラ８２の視野に入り
きらない大きさの電気部品を装着することを想定した場
合の装着精度を検出することができる。第二基準マーク
２５０は、形象２４２の縁辺部であって、ＣＣＤカメラ
８２の撮像範囲１７６に、その第二基準マーク２５０を
含む状態で透視可能部２４８を撮像することができる位
置であればどこでも作成することが可能である。しか
し、縁辺部のうち辺の中央に設けると仮定すると本体部
２４４の隅におけるよりリード部２４６が多く撮像され
るので、それらリード部２４６の像と検出用Ｆマーク１
７４とを識別することが困難となり、検出用Ｆマーク１
７４を誤認識する可能性が高くなる。これに対して、本
体部２４４の隅に第二基準Ｆマーク２５０を設けて検出
用Ｆマーク１７４とともに撮像すれば、その画像にはリ
ード部２４６の像が少ないので、検出用Ｆマーク１７４
を容易に認識することが可能となる。

【００７９】この検査用チップ２４０によれば、前述の
検査用チップ２２２より大きな形象を有する場合に、二
か所に分けて撮像することにより、それの装着精度を検
出することができる。

【００８０】さらに別の検査用チップ３００を用いるこ
とも可能である。その検査用チップ３００が、ガラス基
板１７０に装着された状態を図１０に示す（ただし、ガ
ラス基板１７０は一部分のみ図示）。検査用チップ３０
０は、上述の検査用チップ２４０と同様に線膨張係数が
約０．５×１０^-6であって無色透明の石英ガラスからな
り、電気部品と同じ像が得られるように形象３０２が印
刷されている。この形象３０２は、電気部品の本体と同
じ像が取得されるように内側が黒色で塗りつぶされた四
辺形（正方形）の本体部３０４と、本体の側面から側方
へ突出する複数のリードと同じ像が取得されるリード部
３０６とから形成されている。本体部３０４の４隅のう
ち一本の対角線上にある２つの隅に無色透明の透視可能
部３０８がそれぞれ形成されている。透視可能部３０８
は円形であって、大きさが、ガラス基板１７０に形成さ
れた検出用Ｆマーク１７４の大きさより十分に大きくさ
れており、透視可能部３０８の下に位置する検出用Ｆマ
ーク１７４を透視して検出することができる。これら透
視可能部３０８と検出用Ｆマーク１７４とが同時に撮像
されることにより、検査用チップ３００のガラス基板１
７０に対する位置が検出される。具体的には、透視可能
部３０８の外形に基づいて検査用チップ３００の位置が
検出され、検出用Ｆマークに基づいてガラス基板の位置
が検出される。本実施形態においては、透視可能部３０
８が「第二基準マーク」を兼ねているのである。

【００８１】この検査用チップ３００を用いて装着精度
が検出される場合は、１個の検査用チップ３０８に形成
された２個の透視可能部３０８が同時に１つのカメラに
より撮像されるようにしてもよいし、透視可能部３０８
が１つずつ撮像されて２つの画像が取得され、それら２
つの画像における２組の検出用Ｆマーク１７４および透
視可能部３０８の相対位置に基づいて検査用チップ３０
０の装着誤差が検出されるようにしてもよい。

【００８２】この態様によれば、形象３０２のうちのリ
ード部３０６を撮像しないか、または撮像しても無視す
ればよく、検査用チップ２４０に比較して単純な形状を
処理して透視可能部３０８と検出用Ｆマーク１７４とを
検出すればよいので計算負荷が小さくて済む。また、本
態様によれば、第二基準マークとしての透視可能部３０
８が前述の第二基準マーク２５０より大きいので、それ
の境界線に基づいてより多くの画像データを取得するこ
とが可能となり、透視可能部３０８の汚れ等に起因する
検査精度の低下を良好に回避することができる。さら
に、本態様によれば、検査用チップ２２２と検査用チッ
プ２４０との間の大きさの電気部品を想定して装着精度
を検査することができる。

【００８３】本実施形態においては、形象２２４，２４
２，３０２がそれぞれ「位置決め基準部」を構成してい
る。

【００８４】以上、本発明のいくつかの実施形態を詳細
に説明したが、これはあくまでも例示であり、本発明
は、前記〔発明が解決しようとする課題，課題解決手段
および発明の効果〕の項に記載された態様を始めとし
て、当業者の知識に基づいて種々の変更，改良を施した
形態で実施することができる。

【００８５】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を実施可能な電気部品装着システムを示
す平面図である。

【図２】上記電気部品装着システムを示す正面図であ
る。

【図３】上記電気部品装着システムの吸着ノズルおよび
回転体を当接体回転装置とともに示す正面図（一部断
面）である。

【図４】上記電気部品装着システムを制御する制御装置
のうち、本発明に関連の深い部分を概念的に示すブロッ
ク図である。

【図５】本実施形態におけるガラス基板を示す平面図で
ある。

【図６】本実施形態における装着精度検出プログラムを
示すフローチャートである。

【図７】本発明を実施可能な別の電気部品装着システム
を示す平面図である。

【図８】上記実施形態における検査用チップを示す平面
図である。

【図９】上記実施形態における別の検査用チップを示す
平面図である。

【図１０】上記実施形態における更に別の検査用チップ
を示す平面図である。

【符号の簡単な説明】 ２０：プリント配線板 ２４：配線板支持装置 ３
２：電気部品 ４２：Ｘ軸スライド ５２：Ｘ軸駆
動装置 ５６：Ｙ軸スライド ７４：Ｙ軸駆動装置
８０：装着ヘッド ８２，８４：ＣＣＤカメラ
１６９：検査用チップ １７０：ガラス基板 １
７２：装着用Ｆマーク １７４：検出用Ｆマーク
１７６：撮像範囲 ２２２，２４０，３００：検査用
チップ ２２４，２４２，３０２：形象 ２３２，２４８，３
０８：透視可能部 ２３４：第二基準像 ２５０：
第二基準マーク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村井 正樹 愛知県知立市山町茶碓山19番地 富士機械 製造株式会社内 Ｆターム(参考） 5E313 AA03 AA11 CC04 DD13 DD41 EE02 EE03 EE24 EE25 EE33 EE50 FF24 FF26 FF28 FF29 FF32 FF40

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】装着部材を被装着基材に装着する装着装置
   の装着精度を検出するために使用される装着精度検出治
   具であって、 前記装着装置に取り付けられ、その装着装置により前記
   装着部材またはそれに代わる検査用チップが装着される
   とともに、前記装着精度を検出するための基準である少
   なくとも２つの基準マークが、１つの撮像装置により、
   前記装着された装着部材または検査用チップの少なくと
   も一部と同時に撮像可能な位置に形成された装着精度検
   出治具。
2. 【請求項２】前記装着部材または検査用チップの少なく
   とも一部と共に撮像可能な少なくとも２つの基準マーク
   が、互いに異なる位置に複数組形成され、それら複数組
   の基準マークの各組が、前記装着装置の装着可能範囲の
   少なくとも４隅に配置された請求項１に記載の装着精度
   検出治具。
3. 【請求項３】請求項１に記載の検査用チップであって、 前記装着精度検出治具に装着される際の位置決めの基準
   となる位置決め基準部と、 装着後に、前記第一基準マークと同時に撮像可能な位置
   に形成された少なくとも１つの第二基準マークとを備え
   た検査用チップ。
4. 【請求項４】前記位置決め基準部が、前記撮像装置によ
   り撮像された際に、実際に装着されるべき装着部材の位
   置決め基準部と同じ像が取得される輪郭を有する請求項
   ３に記載の検査用チップ。
5. 【請求項５】装着部材を被装着基材に装着する装着装置
   の装着精度を検出する方法であって、 前記装着装置により、前記装着部材を請求項１または２
   に記載の装着精度検出治具に取り付ける装着工程と、 その装着工程において取り付けられた装着部材と、装着
   精度検出治具の前記少なくとも２つの基準マークとを、
   撮像装置により、同時に撮像する撮像工程と、 その撮像工程において取得された画像のデータを、画像
   処理装置により処理することによって、前記装着部材の
   前記少なくとも２つの基準マークに対する相対位置に基
   づいて、装着部材の装着位置誤差を取得する画像処理工
   程とを含むことを特徴とする装着装置の装着精度検出方
   法。
6. 【請求項６】装着部材を被装着基材に装着する装着装置
   の装着精度を検出する方法であって、 前記装着装置により、請求項３または４に記載の検査用
   チップを請求項１または２に記載の装着精度検出治具に
   取り付ける装着工程と、 撮像装置により、装着精度検出治具の前記少なくとも２
   つの基準マークである第一基準マークと、前記装着工程
   において取り付けられた検査用チップの前記第二基準マ
   ークとを同時に撮像する撮像工程と、 その撮像工程において取得された画像のデータを、画像
   処理装置により処理することによって、前記第二基準マ
   ークの前記第一基準マークに対する相対位置に基づい
   て、装着部材の装着位置誤差を取得する画像処理工程と
   を含むことを特徴とする装着装置の装着精度検出方法。
7. 【請求項７】装着部材を被装着基材に装着する装着装置
   の装着精度をコンピュータにより検出するためのプログ
   ラムであって、 前記装着装置により、前記装着部材またはそれに代わる
   検査用チップを請求項１または２に記載の装着精度検出
   治具に取り付ける装着ステップと、 その装着ステップにおいて取り付けられた装着部材また
   は検査用チップの少なくとも一部と、装着精度検出治具
   の前記少なくとも２つの基準マークとを、１つの撮像装
   置により、同時に撮像する撮像ステップと、 その撮像ステップにおいて取得された画像のデータを、
   画像処理装置により処理することによって、前記装着部
   材の前記少なくとも２つの基準マークに対する相対位置
   に基づいて、前記装着装置の装着位置誤差を取得する画
   像処理ステップとを含む装着精度検出用プログラムがコ
   ンピュータにより読み取り可能な状態で格納された記録
   媒体。
8. 【請求項８】装着部材を保持する保持具と、 被装着基材を支持する基材支持装置と、 それら保持具と基材支持装置とを相対移動させる第一相
   対移動装置と、 予め定められた制御データによって前記第一相対移動装
   置を制御することにより、保持具に保持された装着部材
   を基材支持装置に支持された被装着基材に装着させる制
   御装置とを含む装着装置において、 前記基材支持装置に支持された被装着基材を局部的に撮
   像可能な視野を有する撮像装置と、 その撮像装置と前記基材支持装置とを相対移動させる第
   二相対移動装置と、 前記基材支持装置に取り付けられ、前記保持具に保持さ
   れた前記装着部材またはそれに代わる検査用チップが装
   着されるとともに、装着された装着部材または検査用チ
   ップの少なくとも一部と同時に前記撮像装置により撮像
   可能な位置に少なくとも２つの基準マークが形成された
   装着精度検出治具と、 前記撮像装置により撮像された装着部材または検査用チ
   ップの少なくとも一部と少なくとも２つの基準マークと
   の画像のデータを処理することによって、当該装着装置
   の装着位置誤差を取得する画像処理装置と、 その画像処理装置により取得された装着位置誤差または
   その装着位置誤差を補正するための補正量のデータを記
   憶する記憶手段と、 その記憶手段に記憶された装着位置誤差または補正量の
   データに基づいて前記制御データを補正する補正手段と
   を設けたことを特徴とする装着装置。