WO2010070850A1

WO2010070850A1 - 流体封入式防振装置

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Publication number: WO2010070850A1
Application number: PCT/JP2009/006774
Authority: WO
Inventors: 山本誠一郎; 長谷川浩一; 濱田真彰
Original assignee: 東海ゴム工業株式会社
Priority date: 2008-12-18
Filing date: 2009-12-10
Publication date: 2010-06-24
Also published as: CN102245927B; US9068625B2; US20110042873A1; JP5568472B2; JPWO2010070850A1; CN102245927A; DE112009001851B4; DE112009001851T5

Abstract

　本発明の課題は、それぞれ非圧縮性流体が封入されて振動入力に際して相対的な圧力変動が及ぼされる第一の液室と第二の液室を備えていると共に、それら第一の液室と第二の液室を相互に連通するオリフィス通路が設けられた流体封入式防振装置において、より優れた信頼性および耐久性をもって、周波数が異なる複数種類の振動に対して有効な防振効果を得ることが出来るようにすることである。　このような課題を解決するために、オリフィス通路６８のチューニング周波数の変更が、内側オリフィス部材３６の外側オリフィス部材４８に対する入り込み量を調節して、オリフィス通路６８の通路長さを変更することで行われるようにした。

Description

流体封入式防振装置

　本発明は、例えばエンジンマウント等の防振装置に係り、特に内部に封入された非圧縮性流体の流動作用を利用して防振効果を得るようにした流体封入式防振装置に関するものである。

　従来から、振動伝達系を構成する部材間に介装されて、それら部材を相互に防振連結乃至は防振支持せしめる防振装置が知られている。例えば、自動車用のパワーユニットを車両ボデーに対して防振支持せしめるエンジンマウント等が、それである。

　ところで、自動車用エンジンマウントでは、乗り心地向上のために高度な防振性能が要求される。かかる要求に対処するために、内部に封入された非圧縮性流体の共振作用等の流動作用を利用した流体封入式防振装置が提案されている。かかる流体封入式防振装置は、振動入力時に相対的な圧力変動が生ぜしめられる第一の液室と第二の液室をオリフィス通路で連通せしめると共に、それら第一の液室と第二の液室に非圧縮性流体を封入した構造とされている。そして、オリフィス通路を流動せしめられる非圧縮性流体の共振作用等によって防振効果を発揮し得るようになっている。

　また、自動車用エンジンマウントにおいては、エンジン回転数や車両の走行状態等に応じて、周波数や振幅等が異なる複数種類の振動に対して防振性能が要求される。しかし、オリフィス通路は、予めチューニングされた周波数域の振動に対して優れた防振性能が得られるものの、チューニング周波数を超えた高周波数域の振動に対しては、反共振作用に起因して著しい高動ばね化を惹起せしめてしまい、防振性能が大幅に低下するという問題があった。

　そこで、従来では、例えば特許文献１（実開平７－１８０４６号公報）等に記載の如きオリフィス通路長さの可変構造が提案されている。具体的には、相対回転可能に組み合わせた二つのオリフィス形成部材によって相対回転方向に延びるオリフィス通路を形成すると共に、かかるオリフィス通路の長さを二つのオリフィス形成部材の相対回転によって変更可能とする構造である。このようなオリフィス通路長さの可変構造によれば、オリフィス通路のチューニング周波数を調節することが出来て、周波数が異なる複数種類の振動に対しても防振効果を得ることが可能となる。

　ところが、特許文献１に記載の如き従来のオリフィス通路長さの可変構造においては、オリフィス形成部材を回転駆動させる電気モータがマウント本体の外部に設けられているから、電気モータの駆動力をマウント本体内に配設されたオリフィス形成部材に伝達する駆動力伝達部材を、第一の液室や第二の液室等の流体室の外から中に貫通させて配設する必要があった。それ故、駆動力伝達部材を流体室を貫通して配設することによって、流体室のシール構造が複雑となり耐久性や信頼性が低下するおそれや、駆動力伝達部材の組み付けに際して流体封入作業等のマウント製造作業も困難となるおそれがあって、実用化には未だ多くの問題を有するものであった。

　なお、特許文献２及び３（特開平５－１７３９号公報，特開平５－２３１４６９号公報）には、二つのオリフィス部材の対向面間に形成された隙間を利用してオリフィス通路を形成すると共に、これら二つのオリフィス部材を対向方向に接近／離隔変位させることで、オリフィス通路の通路断面積を可変とする構造が開示されている。

　しかしながら、特許文献２及び３に記載のオリフィス通路の通路断面積の可変構造においては、隙間が周方向に延びるように形成されていることから、オリフィス通路の通路断面積を小さくするには、隙間を相当に狭くしなければならず、隙間を狭くすることで流体流動抵抗が大きくなり過ぎるという問題がある。即ち、隙間を狭くすることで理論上はオリフィス通路のチューニング周波数を低く設定することは出来るが、実際には、流動抵抗が大きくなって流体流動量が確保し難く、目的とするオリフィス効果が発揮され難くなるという問題があった。

　加えて、隙間寸法を変更するには、隙間を形成する対向面を対向方向に相対変位させる必要がある。そこにおいて、小さな隙間で対向配置された対向面を相対変位させるには、その対向面間への流体の流入又は対向面間からの流体の流出を伴うこととなり、この流体の流入又は流出が大きな抵抗力となることが避けられない。従って、対向面間の隙間の大きさの変更を速やかに行うことが困難であり、対応速度および駆動力の確保に問題があった。

実開平７－１８０４６号公報特開平５－１７３９号公報特開平５－２３１４６９号公報

　ここにおいて、本発明は上述の如き事情を背景として為されたものであって、その解決課題とするところは、より優れた信頼性および耐久性をもって、周波数が異なる複数種類の振動に対して有効な防振効果を得ることが出来る、新規な構造の流体封入式防振装置を提供することにある。

　本発明の第一の態様は、それぞれ非圧縮性流体が封入されて振動入力に際して相対的な圧力変動が及ぼされる第一の液室と第二の液室を備えていると共に、それら第一の液室と第二の液室を相互に連通するオリフィス通路が設けられた流体封入式防振装置において、オリフィス通路の外周壁面を形成する挿通孔を備えた外側オリフィス部材を設けると共に、外側オリフィス部材における挿通孔の一方の開口部からオリフィス通路の内周壁面を形成する内側オリフィス部材を入り込ませて配設し、外側オリフィス部材と内側オリフィス部材の内外周面間に形成された筒状隙間によってオリフィス通路を形成すると共に、外側オリフィス部材に対する内側オリフィス部材の入り込み量を調節するアクチュエータを設けて、アクチュエータで内側オリフィス部材の外側オリフィス部材に対する入り込み量を調節することによって、オリフィス通路の通路長さを変更可能にしたことを、特徴とする。

　第一の態様によれば、オリフィス通路のチューニング周波数の変更が、内側オリフィス部材の外側オリフィス部材に対する入り込み量を調節してオリフィス通路の通路長さを変更することで行われる。これにより、防振すべき振動の周波数に応じてオリフィス通路のチューニング周波数を変更することが出来、オリフィス通路を通じての流体流動作用に基づく防振効果が発揮される周波数域を調節することが可能となる。その結果、複数種類の異なる周波数の振動や広い周波数域の振動等が入力される場合でも、それらの振動に対して受動的な防振効果を得ることが出来る。

　また、外側オリフィス部材と内側オリフィス部材の内外周面間に形成された筒状隙間の大きさを変更することなく、オリフィス通路の通路長さを変更してオリフィス通路のチューニング周波数を変更することが出来る。従って、オリフィス通路の隙間寸法を確保しつつ、オリフィス通路の流路長さを大きくすることで、低周波数域へのチューニングも可能となる。それ故、特許文献２，３に記載の如き隙間を狭くしたり広くしたりして隙間の大きさを変更することでオリフィス通路のチューニング周波数を調節する場合に比して、充分な流体流動量を確保して優れたオリフィス効果を維持した状態でオリフィス通路のチューニング周波数を変更し、特に低周波数域までチューニング変更することが可能となる。

　更にまた、オリフィス通路の通路長さの変更に際して、筒状隙間の隙間寸法（外側オリフィス部材と内側オリフィス部材の内外周面間距離）の変更を伴わないので、筒状隙間への流体の流入や流出に因る抵抗が抑えられる。それ故、オリフィス通路のチューニングの変更を速やかに、小さな駆動力で行うことが可能となる。

　また、オリフィス通路が外側オリフィス部材と内側オリフィス部材の内外周面間に形成されていることから、内側オリフィス部材を外側オリフィス部材に対して摺動させることなく、オリフィス通路のチューニング周波数を変更することが可能となる。これにより、磨耗による損傷を回避することが可能となる。その結果、耐久性を向上させることが出来ると共に、アクチュエータによる内側オリフィス部材の作動に対する信頼性を向上させることが出来る。

　さらに、オリフィス通路を形成する外側オリフィス部材と内側オリフィス部材が隙間をもって組み合わされることから、それらの複数部材を相互に嵌着や圧入等する場合に比して、寸法精度の要求が低くて済む。それ故、部品の寸法等の管理が容易となり、製造も容易となる。

　加えて、筒状隙間を利用してオリフィス通路が形成されていることから、内側オリフィス部材が外側オリフィス部材に対して偏心位置せしめられている場合であっても、オリフィス通路の通路断面積が変化するのを回避することが出来る。これにより、製造作業を容易にすることが可能となる。

　本発明の第二の態様は、第一の態様に記載のものにおいて、振動入力時に圧力変動が生ぜしめられると共に壁部の一部が可動ゴム膜で構成された主液室と、可動ゴム膜を挟んで主液室と反対側に位置せしめられて可動ゴム膜の弾性変形に基づいて主液室の圧力変動が伝達されると共に内側オリフィス部材で壁部の一部が構成された副液室とによって、第一の液室が構成されている一方、容積変化が容易に許容される第二の液室が形成されており、副液室と第二の液室がオリフィス通路で相互に連通されているようにしたものである。

　第二の態様によれば、可動ゴム膜の弾性共振を利用して、オリフィス通路の流体流動量を増大させて、オリフィス通路を流動せしめられる流体の共振作用等の流動作用に基づく防振効果の向上を図ることが可能となる。なお、可動ゴム膜の弾性共振を利用する場合には、可動ゴム膜に金属マス等を固着して可動ゴム膜の固有振動数をチューニングするようにしても良い。或いは、可動ゴム膜の形成材料や厚さ寸法，形状等を変更することで、可動ゴム膜の固有振動数をチューニングするようにしても良い。

　本発明の第三の態様は、第二の態様に記載のものにおいて、外側オリフィス部材の挿通孔における主液室側の開口部を覆蓋するように可動ゴム膜が配設されており、外側オリフィス部材の挿通孔に対して主液室と反対側の開口部から入り込ませた内側オリフィス部材が可動ゴム膜への接近方向で可動ゴム膜に当接するまで変位可能とされているようにしたものである。

　第三の態様によれば、内側オリフィス部材を可動ゴム膜に当接させて、可動ゴム膜を拘束することが可能となる。

　本発明の第四の態様は、第一の態様に記載のものにおいて、内側オリフィス部材を筒状としてその一方の開口部を覆蓋する支持ゴム膜を設け、支持ゴム膜を介して内側オリフィス部材をアクチュエータの出力軸に取り付けると共に、支持ゴム膜で壁部の一部が構成されて、振動入力時に圧力変動が生ぜしめられる第一の液室を設ける一方、容積変化が容易に許容される第二の液室を設けるようにしたものである。

　第四の態様によれば、支持ゴム膜の弾性共振を利用して、オリフィス通路の流体流動量を増大させて、オリフィス通路を流動せしめられる流体の共振作用等の流動作用に基づく防振効果の向上を図ることが可能となる。

　本発明の第五の態様は、第一～第四の何れかの態様に記載のものにおいて、第一の液室と前記第二の液室を相互に連通する低周波オリフィス通路を設けるようにしたものである。

　第五の態様によれば、通路長さが変更可能なオリフィス通路を通じての流体流動作用に基づく防振効果の他にも、低周波オリフィス通路を通じての流体流動作用に基づく防振効果を得ることが出来る。

　本発明の第六の態様は、第五の態様に記載のものにおいて、オリフィス通路のチューニング周波数の変更可能な範囲内に、低周波オリフィス通路のチューニング周波数が設定されているようにしたものである。

　第六の態様によれば、オリフィス通路のチューニング周波数を低周波オリフィス通路のチューニング周波数よりも低周波側に設定することが出来る。これにより、低周波オリフィス通路のチューニング周波数域の振動入力時に、オリフィス通路を通じての流体流動を阻止して、低周波オリフィス通路を流動せしめられる流体の流動量を十分に確保することが可能となる。その結果、低周波オリフィス通路を通じての流体流動作用に基づく防振効果を有効に発揮させることが出来る。

　本発明の第七の態様は、第五又は第六の態様に記載のものにおいて、第二の液室として、前記低周波オリフィス通路を通じて前記第一の液室に接続される第一の平衡室と、前記オリフィス通路を通じて該第一の液室に接続されて該第一の平衡室から独立した第二の平衡室が設けられているようにしたものである。

　第七の態様によれば、第一の平衡室と第二の平衡室のそれぞれの壁ばね剛性を独立して設定することが可能となる。その結果、低周波オリフィス通路とオリフィス通路のそれぞれのチューニング自由度を大きくすることが出来る。

　本発明の第八の態様は、第一の取付部材を筒状の第二の取付部材における一方の開口側に離隔配置して第一の取付部材と第二の取付部材を本体ゴム弾性体で連結する一方、外側オリフィス部材を第二の取付部材に嵌め入れて固定すると共に、内側オリフィス部材を第二の取付部材における他方の開口側から外側オリフィス部材の挿通孔に入り込ませて配設することにより、マウント軸方向に延びるオリフィス通路を設けるようにしたものである。

　本発明の第九の態様は、前記第八の態様に記載のものにおいて、低周波オリフィス通路が外側オリフィス部材に形成されているようにしたものである。

　第九の態様によれば、低周波オリフィス通路の形成スペースを容易に確保することが出来る。

　本発明の第十の態様は、第二又は第三の態様に記載のものにおいて、第一の取付部材を筒状の第二の取付部材における一方の開口側に離隔配置して第一の取付部材と第二の取付部材を本体ゴム弾性体で連結する一方、筒状の外側オリフィス部材を第二の取付部材に嵌め入れて固定すると共に、外側オリフィス部材の一方の開口部を覆蓋するように可動ゴム膜が配設されており、可動ゴム膜を挟んで一方の側に本体ゴム弾性体で壁部の一部が構成されて振動入力時に圧力変動が生ぜしめられる主液室を形成する一方、可動ゴム膜を挟んで他方の側に可動ゴム膜の弾性変形に基づいて主液室の圧力変動が伝達される副液室を形成し、更に、内側オリフィス部材を第二の取付部材における他方の開口側から外側オリフィス部材の挿通孔に入り込ませて配設すると共に、外側オリフィス部材よりも第二の取付部材における他方の開口側に容積変化が容易に許容される第二の液室を形成して、副液室と第二の液室をオリフィス通路で相互に連通するようにしたものである。

　本発明の第十一の態様は、第四の態様に記載のものにおいて、第一の取付部材を筒状の第二の取付部材における一方の開口側に離隔配置して第一の取付部材と第二の取付部材を本体ゴム弾性体で連結する一方、外側オリフィス部材を第二の取付部材に嵌め入れて固定すると共に、筒状の内側オリフィス部材を第二の取付部材における他方の開口側から外側オリフィス部材の挿通孔に入り込ませて配設し、本体ゴム弾性体と内側オリフィス部材の一方の開口を覆蓋するように配設された支持ゴム膜で壁部の一部が構成された第一の液室を設ける一方、外側オリフィス部材よりも第二の取付部材における他方の開口側に容積変化が容易に許容される第二の液室を形成するようにしたものである。

　本発明の第十二の態様は、第七の態様に記載のものにおいて、第一の取付部材を筒状の第二の取付部材における一方の開口側に離隔配置して第一の取付部材と第二の取付部材を本体ゴム弾性体で連結する一方、筒状の外側オリフィス部材を第二の取付部材に嵌め入れて固定すると共に、内側オリフィス部材を外側オリフィス部材の挿通孔における一方の開口側から入り込ませて配設し、更に、外側オリフィス部材よりも第二の取付部材における他方の開口側に容積変化が容易に許容される第一の平衡室を形成して、本体ゴム弾性体で壁部の一部が構成されて振動入力時に圧力変動が生ぜしめられる第一の液室と第一の平衡室を外側オリフィス部材に形成された低周波オリフィス通路で相互に連通すると共に、外側オリフィス部材の挿通孔内に容積変化が容易に許容される第二の平衡室を形成して、第一の液室と第二の平衡室をオリフィス通路で相互に連通するようにしたものである。

　本発明の第十三の態様は、第一～第十二の何れかの態様に記載のものにおいて、筒状隙間がテーパ付の筒形状とされているようにしたものである。

　第十三の態様によれば、オリフィス通路の通路長さだけでなく、通路断面積も変更することが可能となる。その結果、オリフィス通路のチューニング周波数の変更幅を大きくすることが出来る。

　本発明の第十四の態様は、第一～第十三の何れかの態様に記載のものにおいて、アクチュエータが大気中に配設されているようにしたものである。

　第十四の態様によれば、駆動部分のシール性を確保する必要がなくなる。その結果、流体封入式防振装置の信頼性と耐久性の更なる向上を実現することが出来る。

　本発明の第十五の態様は、第一，第二，第四～第七，第九，第十一～第十四の何れかの態様に記載のものにおいて、内側オリフィス部材を加振駆動する加振駆動手段が設けられているようにしたものである。

　第十五の態様によれば、オリフィス通路を流動せしめられる流体の共振作用を利用して、振動入力時に圧力変動が生ぜしめられる液室の内圧を効率的に制御することが出来る。従って、能動的な防振効果を、広い周波数域に亘って、効率的に発揮することが可能となる。

　第二の態様と組み合わせた態様によれば、内側オリフィス部材の加振変位に基づいて副液室に生ぜしめられる圧力変動を可動ゴム膜の弾性変形によって主液室に伝達することが出来る。

　また、第二の態様と組み合わせた態様によれば、可動ゴム膜の弾性共振を利用して、オリフィス通路の流体流動量を増大させることが出来る。その結果、副液室の内圧制御、延いては、主液室の内圧制御を一層効率良く行うことが可能となる。

　第四の態様と組み合わせた態様によれば、加振駆動手段による加振力を支持ゴム膜だけに及ぼすことが可能となる。その結果、加振駆動手段の負荷を軽減することが出来る。

　第五の態様と組み合わせた態様によれば、低周波オリフィス通路を流動せしめられる流体の共振作用等の流動作用に基づく防振効果も得ることが出来る。

　本発明の第十六の態様は、第三の態様に記載のものにおいて、内側オリフィス部材を加振駆動する加振駆動手段が設けられており、内側オリフィス部材を可動ゴム膜に当接させた状態で加振駆動するようにしたものである。

　第十六の態様によれば、内側オリフィス部材の加振変位に基づいて、主液室の圧力変動を直接制御することが出来る。

　本発明の第十七の態様は、第十六の態様に記載のものにおいて、外側オリフィス部材が加振駆動手段による加振方向で変位可能に支持されているようにしたものである。

　第十七の態様によれば、より大きなピストン面積を得ることが出来る。その結果、主液室の圧力変動を制御し易くなる。

　本発明の第十八の態様は、第八の態様に記載のものにおいて、内側オリフィス部材を加振駆動する加振駆動手段が設けられており、内側オリフィス部材をマウント軸方向に加振するようにしたものである。

　本発明の第十九の態様は、第十の態様に記載のものにおいて、内側オリフィス部材を加振駆動する加振駆動手段が設けられており、内側オリフィス部材を加振駆動手段による加振方向で可動ゴム膜に対向位置せしめて、内側オリフィス部材と可動ゴム膜の対向面間に副液室を形成するようにしたものである。

　本発明の第二十の態様は、第十五～第十九の何れかの態様に記載のものにおいて、加振駆動手段が大気中に配設されているようにしたものである。

　第二十の態様によれば、駆動部分のシール性を確保する必要がなくなる。その結果、流体封入式防振装置の信頼性と耐久性の更なる向上を実現することが出来る。

　本発明の第二十一の態様は、第十五～第十九の何れかの態様に記載のものにおいて、加振駆動手段がアクチュエータで構成されているようにしたものである。

　第二十一の態様によれば、必要な部品点数が少なくなる。その結果、構造の簡略化を図ることが可能となる。

　本発明によれば、オリフィス通路のチューニング周波数の変更が、内側オリフィス部材の外側オリフィス部材に対する入り込み量を調節することで行われる。それ故、より優れた信頼性および耐久性をもって、周波数が異なる複数種類の振動に対して有効な防振効果を得ることが出来る。

本発明の第一の実施形態としてのエンジンマウントを示す縦断面図。図１に示したエンジンマウントの防振特性を示すグラフ。図１に示したエンジンマウントの防振特性を示すグラフ。本発明の第二の実施形態としてのエンジンマウントを示す縦断面図。図４に示したエンジンマウントの可動ゴム板が拘束された状態を示す縦断面図。本発明の第三の実施形態としてのエンジンマウントを示す縦断面図。図６に示したエンジンマウントの支持ゴム膜が仕切板金具に当接された状態を示す縦断面図。本発明の第四の実施形態としてのエンジンマウントを示す縦断面図。本発明の第五の実施形態としてのエンジンマウントを示す縦断面図。第五の実施形態で採用可能なオリフィス通路の他の態様を示す縦断面図。本発明の第六の実施形態としてのエンジンマウントを示す縦断面図。本発明の第七の実施形態としてのエンジンマウントを示す縦断面図。本発明の第八の実施形態としてのエンジンマウントを示す縦断面図。

　以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。

　先ず、図１には、本発明に係る流体封入式防振装置の第一の実施形態としての自動車用エンジンマウント１０が示されている。このエンジンマウント１０は、第一の取付部材１２と第二の取付部材１４が、互いに離隔して対向配置されていると共に、それらの間に介装された本体ゴム弾性体１６によって弾性的に連結されたマウント本体１８がブラケット２０に嵌め込まれて構成されている。そして、エンジンマウント１０は、第一の取付部材１２が図示しないパワーユニットに取り付けられる一方、第二の取付部材１４が図示しない自動車ボデーに取り付けられることにより、パワーユニットをボデーに対して防振支持せしめるようになっている。また、そのような装着状態下、かかるエンジンマウント１０には、図１中の上下方向となるマウント中心軸方向で第一の取付部材１２と第二の取付部材１４の間にパワーユニットの分担荷重が及ぼされることにより、第一の取付部材１２と第二の取付部材１４が相互に接近する方向に本体ゴム弾性体１６が弾性変形せしめられるようになっている。更に、それら第一の取付部材１２と第二の取付部材１４の間には、両取付部材１２，１４が相互に接近／離隔する方向に、防振すべき主たる振動が入力されるようになっている。なお、以下の説明中、上下方向とは、原則として図１中の上下方向を言うものとする。

　より詳細には、第一の取付部材１２は、金属材によって形成されており、全体として逆向きの円錐台形状を呈している。また、第一の取付部材１２の大径側端部には、径方向外方に突出する円環板状のストッパ部２２が一体形成されている。更に、第一の取付部材１２には、大径側端部から軸方向上方に向かって固定軸２４が突設されており、この固定軸２４には、上端面に開口する固定用ねじ穴２６が形成されている。

　一方、第二の取付部材１４は、金属材で形成されており、軸方向中間部分に段差部２８が形成された段付円筒形状とされている。第二の取付部材１４において段差部２８よりも軸方向上側は、大径部３０とされている。なお、大径部３０の内周面には、薄肉のシールゴム層３２が被着形成されている。

　また、第二の取付部材１４における軸方向下側の開口部には、可撓性膜としてのダイヤフラム３４が配設されている。そして、ダイヤフラム３４の外周縁部が第二の取付部材１４の軸方向下側開口縁部に加硫接着されることで、第二の取付部材１４の軸方向下側開口部が流体密に覆蓋されている。また、ダイヤフラム３４の中央部分には、内側オリフィス部材３６が固着されている。

　内側オリフィス部材３６は、金属材で形成されており、全体として逆カップ形状を呈している。換言すれば、内側オリフィス部材３６は、筒壁部３８の軸方向上側の開口が上底壁部４０で覆蓋された構造とされている。特に本実施形態では、筒壁部３８が略一定の内外径寸法でストレートに延びる円筒形状とされている。これにより、筒壁部３８が円筒状外周面を備えている。

　このような内側オリフィス部材３６の筒壁部３８の開口端にダイヤフラム３４の内周縁部が加硫接着されている。それによって、ダイヤフラム３４の中央部分に内側オリフィス部材３６が固着されている。

　また、上述の如き第二の取付部材１４の軸方向上方に離隔して、第一の取付部材１２が位置せしめられており、これら第一の取付部材１２と第二の取付部材１４が、本体ゴム弾性体１６で弾性的に連結されている。

　本体ゴム弾性体１６は、全体として略円錐台形状を有しており、その大径側端面には、すり鉢状の凹所４２が形成されている。また、本体ゴム弾性体１６の小径側端面には、第一の取付部材１２が、軸方向に差し入れられた状態で加硫接着されている。なお、第一の取付部材１２のストッパ部２２は、本体ゴム弾性体１６の小径側端面に重ね合わされて加硫接着されており、本体ゴム弾性体１６と一体形成された緩衝ゴム４４がストッパ部２２から上方に突出している。また、本体ゴム弾性体１６の大径側外周面には、連結スリーブ４６が加硫接着されている。

　そして、本体ゴム弾性体１６の大径側外周面に加硫接着された連結スリーブ４６が、第二の取付部材１４の大径部３０に嵌め込まれて、大径部３０が縮径加工されることにより、本体ゴム弾性体１６が第二の取付部材１４に対して流体密に嵌着固定される。これにより、第二の取付部材１４の軸方向上側開口部が、本体ゴム弾性体１６によって流体密に覆蓋されることとなる。その結果、第二の取付部材１４の内部には、本体ゴム弾性体１６とダイヤフラム３４との対向面間において、外部空間から流体密に遮断された領域が形成されて、そこに非圧縮性流体が封入されている。

　なお、封入される非圧縮性流体としては、例えば、水やアルキレングリコール、ポリアルキレングリコール、シリコーン油等が何れも採用可能である。特に、流体の共振作用に基づく防振効果を有効に得るために、粘度が０．１Ｐａ．ｓ以下の低粘性流体が好適に採用される。

　さらに、第二の取付部材１４には、外側オリフィス部材４８が組み込まれており、本体ゴム弾性体１６とダイヤフラム３４との対向面間に配設されている。外側オリフィス部材４８は、金属材で形成されており、軸方向に貫通して延びる挿通孔５０を備えた厚肉円環ブロック形状を呈している。特に本実施形態では、挿通孔５０は、略一定の内径寸法でストレートに延びるように形成されている。また、外側オリフィス部材４８には、外周面に開口して周方向に二周弱の長さで螺旋状に延びる周溝５２が形成されている。更に、外側オリフィス部材４８の軸方向上端部には、径方向外方に広がるフランジ状部５４が設けられている。更にまた、外側オリフィス部材４８の下端内周縁部には、内周面に沿って下方に向かって突出する筒状延出壁部５６が設けられている。

　このような外側オリフィス部材４８は、フランジ状部５４が第二の取付部材１４の段差部２８に重ね合わされて、段差部２８と連結スリーブ４６の間で挟圧固定されている。これにより、外側オリフィス部材４８は、本体ゴム弾性体１６とダイヤフラム３４の対向面間で軸直角方向に広がって配設されており、第二の取付部材１４の内部を軸方向両側に二分している。その結果、外側オリフィス部材４８の上側には、壁部の一部が本体ゴム弾性体１６で構成されて振動入力時に本体ゴム弾性体１６の弾性変形に基づく圧力変動が生ぜしめられる第一の液室５８が形成されている。一方、外側オリフィス部材４８の下側には、壁部の一部がダイヤフラム３４で構成されて容積変化が容易に許容される第二の液室６０が形成されている。

　また、この状態で、外側オリフィス部材４８の外周面に形成されている周溝５２の外周側開口がシールゴム層３２を介して第二の取付部材１４の小径部分（段差部２８よりも下側の部分）で覆蓋されており、かかる周溝５２を利用して周方向に螺旋状に延びる周方向通路６２が形成されている。そして、この周方向通路６２の一方の端部が第一の液室５８に接続されていると共に、他方の端部が第二の液室６０に接続されている。これにより、第一の液室５８と第二の液室６０を相互に連通せしめる低周波オリフィス通路６４が、周方向通路６２を利用して形成されている。なお、低周波オリフィス通路６４は、エンジンシェイク振動の周波数域にチューニングされている。

　さらに、上述の如く配設された外側オリフィス部材４８の挿通孔５０には、内側オリフィス部材３６が軸方向下方から入り込んでいる。なお、本実施形態では、内側オリフィス部材３６が外側オリフィス部材４８の挿通孔５０に最も入り込んだ状態で、内側オリフィス部材３６の上端面が挿通孔５０の軸方向略中央に位置せしめられている。そして、本実施形態では、外側オリフィス部材４８の挿通孔５０内であって、内側オリフィス部材３６の上端面よりも上側の領域も、第一の液室５８に含まれている。

　また、上述の如く、外側オリフィス部材４８の挿通孔５０に内側オリフィス部材３６が入り込むことにより、外側オリフィス部材４８の内周面と内側オリフィス部材３６の外周面の間に筒状隙間６６が形成されている。特に本実施形態では、筒状隙間６６は略一定の隙間寸法で軸方向にストレートに延びている。そして、この筒状隙間６６の一方の端部が第一の液室５８に接続されていると共に、他方の端部が第二の液室６０に接続されている。これにより、第一の液室５８と第二の液室６０を相互に連通せしめるオリフィス通路６８が、筒状隙間６６を利用して形成されている。即ち、オリフィス通路６８は、外周壁面が外側オリフィス部材４８で形成されている一方、内周壁面が内側オリフィス部材３６で形成されている。そこにおいて、本実施形態では、オリフィス通路６８のチューニング周波数の変更可能な範囲内に、低周波オリフィス通路６４のチューニング周波数が存在するように、オリフィス通路６８のチューニング周波数の変更幅が設定されている。換言すれば、本実施形態では、オリフィス通路６８のチューニング可能な周波数の下限が、低周波オリフィス通路６４のチューニング周波数よりも低周波側に設定されている。因みに、本実施形態では、オリフィス通路６８は、アイドリング振動に対して有効な防振効果が発揮されるように、その周波数がチューニング可能とされている。

　上述の如き構造とされたマウント本体１８は、第二の取付部材１４がブラケット２０に嵌め込まれることで、ブラケット２０に固定されるようになっている。ブラケット２０は、厚肉の円筒形状とされており、その内周面は、軸方向中央部分に形成された段差面７０よりも上側が下側よりも大径とされている。そして、ブラケット２０の上端面には、ストッパ金具７２がボルト固定されると共に、下端面には、底金具７４がボルト固定されている。

　ストッパ金具７２は大径円筒形状とされており、その下側開口部には、外方に広がるフランジ部７６が設けられている。そして、フランジ部７６がブラケット２０の上端面に重ね合わされて、ボルト固定されている。一方、ストッパ金具７２の上端開口部には、内方に延び出す当接部７８が形成されている。そして、当接部７８に第一の取付部材１２のストッパ部２２が緩衝ゴム４４を介して当接することで、リバウンド方向のストッパ機能が発揮されるようになっている。なお、第一の取付部材１２の固定軸２４には、ストッパ金具７２の上端開口部を覆うように広がる傘状の庇部材８０が装着されている。

　一方、底金具７４は、ブラケット２０よりも内径寸法が小さい筒状部を備えた有底円筒形状とされており、その開口周縁部には、外方に広がる取付フランジ８２が形成されている。そして、取付フランジ８２が、ブラケット２０の下端面に重ね合わされて、ボルト固定されている。

　また、ブラケット２０に嵌め込まれた第二の取付部材１４は、ストッパ金具７２のフランジ部７６と底金具７４の取付フランジ８２によって軸方向に挟持固定されて、抜け出し不能に固定されている。なお、ブラケット２０には、外周面上に突出して下方に延び出す複数の脚部８４が設けられている。

　さらに、底金具７４には、アクチュエータとしての電動モータ８６が設けられている。電動モータ８６は、既存の電動機であって、回転軸８８を備えている。特に本実施形態では、回転軸８８の回転方向が電動モータ８６への通電方向に応じて変化せしめられるようになっている。また、電動モータ８６の回転軸８８には、外周面にねじ山が形成された雄ねじ部材９０が設けられている。

　そして、電動モータ８６は、底金具７４に収容配置された支持部材９２の中央孔に嵌め入れられて固定されることで、底金具７４に設けられている。この状態で、電動モータ８６の回転軸８８は、支持部材９２の内周縁部に設けられた保持筒部９４の内周側に離隔して位置せしめられている。

　また、電動モータ８６と電源装置９６を電気的に接続する回路上には、制御装置９８が設けられている。制御装置９８は、例えば自動車の走行状態等を検出するセンサと、かかるセンサの検出結果に応じて電動モータ８６への通電方向を変化させる機械的な接点制御装置を含んで構成されている。そして、この制御装置９８によって、電動モータ８６における回転軸８８の回転方向が車両の状態に応じて変化せしめられるようになっている。また、回転軸８８の回転角や電動モータ８６への通電時間等を検出して、その検出結果に応じて電動モータ８６への通電を制御することにより、所定の回転量で回転軸８８の回転が停止されるようになっている。

　なお、上記センサは、公知の加速度センサ等のセンサ単体のほか、ＥＣＵ（エンジン制御ユニット）等の演算処理装置を含んで構成されたものであっても良い。かかるセンサは、エンジンマウント１０に要求される防振特性等に応じて、適宜に選択される。

　更にまた、電動モータ８６の回転軸８８の先端部分には、内側オリフィス部材３６の上底壁部４０から開口側に向かって突出するように設けられた雌ねじ部１００が連結されている。この雌ねじ部１００は円筒形状とされており、その内周面には全長に亘って雄ねじ部材９０のねじ山に対応するねじ山が刻設されている。

　このような雌ねじ部１００に対して、回転軸８８に設けられた雄ねじ部材９０が下方から螺入されることで、雌ねじ部１００が回転軸８８の先端部分に組み付けられている。これにより、内側オリフィス部材３６が大気中で電動モータ８６の回転軸８８に連結されている。

　また、この状態で、雌ねじ部１００は保持筒部９４に挿し入れられている。そこにおいて、雌ねじ部１００の下端には、係合突起１０２，１０２が設けられており、かかる係合突起１０２，１０２が保持筒部９４に形成された係合切欠部１０４，１０４に嵌め込まれている。そして、係合突起１０２，１０２と係合切欠部１０４，１０４の周方向での係合作用によって、雌ねじ部１００が保持筒部９４に対して周方向で係止されて相対回転不能とされている。これにより、通電によって電動モータ８６で発生する回転駆動力が、雄ねじ部材９０と雌ねじ部１００で構成された螺子構造によって往復駆動力に変換されて、内側オリフィス部材３６に伝達される。そして、電動モータ８６における回転軸８８の回転方向を制御することにより、内側オリフィス部材３６を軸方向で所定の位置に駆動変位せしめて、内側オリフィス部材３６の外側オリフィス部材４８に対する入り込み量を調節することが出来る。その結果、オリフィス通路６８の通路長さ：Ｌが変更される。

　このような構造とされた自動車用エンジンマウント１０は、マウント本体１８を構成する第一の取付部材１２が、固定軸２４によって、図示しないパワーユニットに取り付けられると共に、第二の取付部材１４が、ブラケット２０を介して、図示しない車両ボデーに取り付けられる。これにより、エンジンマウント１０が、パワーユニットと車両ボデーの間に介装されて、パワーユニットが車両ボデーに対して防振支持される。

　上述の如き構造とされた自動車用エンジンマウント１０が自動車に装着されて、走行時に問題となるエンジンシェイク振動が入力されると、第一の液室５８に圧力変動が生ぜしめられる。そして、第一の液室５８と第二の液室６０の間に生ぜしめられる相対的な圧力変動の差により、低周波オリフィス通路６４を通じての流体流動が生ぜしめられ、流体の共振作用等の流動作用に基づく防振効果（高減衰効果）が、エンジンシェイク振動に対して発揮される。そこにおいて、自動車の走行時には、オリフィス通路６８のチューニング周波数が低周波オリフィス通路６４のチューニング周波数よりも低周波側に設定されている。これにより、オリフィス通路６８を通じての流体流動が阻止されて、低周波オリフィス通路６４を通じての流体流動量が確保される。その結果、低周波オリフィス通路６４による防振効果が有効に発揮される。

　また、停車時には、オリフィス通路６８による防振効果がアイドリング振動に対して有効に発揮されるように、オリフィス通路６８のチューニング周波数が設定される。そして、この状態で、問題となるアイドリング振動が入力されると、第一の液室５８と第二の液室６０の間に生ぜしめられる相対的な圧力変動の差により、オリフィス通路６８を通じての流体流動が生ぜしめられて、流体の共振作用等の流動作用に基づく防振効果（低動ばね効果）が、アイドリング振動に対して発揮される。

　そこにおいて、アイドリング振動は、その周波数が変化することがある。例えば、ＡＴ車のＮレンジとＤレンジでは、アイドリング振動の周波数が異なるし、エアコンをＯＮにした場合も、エアコンがＯＦＦの状態とは、アイドリング振動の周波数が異なる。このようにアイドリング振動の周波数が変化した場合、制御装置９８からの制御信号に基づいて電動モータ８６の回転軸８８が回転駆動せしめられて、内側オリフィス部材３６の外側オリフィス部材４８への入り込み量が変更される。これにより、オリフィス通路６８の通路長さが変更されて、オリフィス通路６８のチューニング周波数が変更される。なお、本実施形態では、オリフィス通路６８のチューニング周波数は、アイドリング振動を変化させる要因（例えば、エアコンのＯＮ／ＯＦＦやＡＴ車のシフト位置等）に応じて、予め設定されている。

　上述の如き構造とされたエンジンマウント１０においては、オリフィス通路６８の通路長さを変更することで、オリフィス通路６８のチューニング周波数を変更するようになっている。これにより、車両の状態等によって防振すべき振動の周波数が変化した場合であっても、オリフィス通路６８のチューニング周波数を防振すべき振動の周波数の変化に追従させることが可能となる。その結果、オリフィス通路６８を流動せしめられる流体の共振作用等の流動作用に基づく防振効果を、防振すべき振動に対して有効に発揮することが出来る。

　また、オリフィス通路６８のチューニング周波数の変更に際して、筒状隙間６６の隙間寸法である、内側オリフィス部材３６の外周面と外側オリフィス部材４８の内周面との径方向対向面間距離は、略一定に維持される。特に、オリフィス通路６８の低周波数域へのチューニングが、オリフィス通路６８の通路断面積を確保しつつ、オリフィス通路６８の通路長さを大きくすることで実現される。それ故、オリフィス通路６８の通路断面積の狭小化に起因する流通抵抗増大が回避されて、オリフィス通路６８を通じての流体流動量が維持されて、目的とする流体の流動作用に基づく防振効果が安定して発揮され得る。

　また、オリフィス通路６８のチューニング周波数を変更するに際しては、隙間寸法を略一定に維持しつつ通路長さが変更されることから、かかるチューニング周波数の変更作動に際してのオリフィス通路６８内での流体流動量が抑えられる。即ち、オリフィス通路６８の隙間寸法を変更してチューニング周波数を変更する場合には、オリフィス通路６８の全長に亘って隙間寸法（通路断面積）が変更されることから、オリフィス通路６８の全長に亘って流体流動が発生する。一方、オリフィス通路６８の通路長さを変更してチューニング周波数を変更する場合には、オリフィス通路の端部長さだけが変化するに過ぎず、オリフィス通路の端部だけに流体流動が生ずるに過ぎない。それ故、オリフィス通路６８の通路長さを変更してチューニング周波数を変更する本実施形態のエンジンマウント１０においては、オリフィス通路６８のチューニング周波数の変更を小さな駆動力で内側オリフィス部材３６を変位させて、速やかに行うことが可能となる。

　さらに、外側オリフィス部材４８と内側オリフィス部材３６が、それらの内外周面間の全体に所定の隙間をもって組み合わされており、かかる隙間によってオリフィス通路６８が形成されている。そして、オリフィス通路６８のチューニング周波数の変更に際して、内側オリフィス部材３６を外側オリフィス部材４８に対して出入作動させる際にも、両部材３６，４８間の直接の摺動が伴わない。それ故、磨耗による損傷や耐久性の問題が回避される。また、外側オリフィス部材４８や内側オリフィス部材３６の寸法精度も低くてすみ、部品の製造や組み付けの作業が容易となる。

　更にまた、筒状隙間６６を利用してオリフィス通路６８が形成されていることから、寸法誤差等に起因して、内側オリフィス部材３６と外側オリフィス部材４８が同心的に配置されない場合であっても、オリフィス通路６８の通路断面積は同じ大きさにすることが出来る。その結果、エンジンマウント１０の製造に際しての管理や作業が容易となる。

　また、本実施形態では、内側オリフィス部材３６が逆カップ形状とされており、その上底壁部４０から開口側に向かって突設された雌ねじ部１００を利用して、電動モータ８６の回転軸８８に内側オリフィス部材３６が組み付けられている。これにより、内側オリフィス部材３６の筒壁部３８の高さ寸法（軸方向長さ）を確保しつつ、内側オリフィス部材３６と電動モータ８６の回転軸８８との連結部分を電動モータ８６側よりも本体ゴム弾性体１６側に位置せしめることが可能となる。その結果、エンジンマウントの軸方向寸法を小さくすることが出来る。

　さらに、本実施形態では、内側オリフィス部材３６と電動モータ８６の回転軸８８の連結部分が大気中にあることから、駆動部分のシール性を確保する必要がなくなる。その結果、エンジンマウント１０の製造が簡単になると共に、内側オリフィス部材３６の作動に対する信頼性や耐久性の更なる向上を図ることが可能となる。

　因みに、エンジンマウント１０のオリフィス通路６８による防振特性のシミュレーション結果を、図２に示す。図２では、オリフィス通路６８の通路長さが最も長い状態（実施例１）と、オリフィス通路６８の通路長さが最も短い状態（実施例２）と、オリフィス通路６８の通路長さがこれらの間にある状態（実施例３）の絶対ばね定数の周波数特性が示されている。なお、実施例１でのオリフィス通路６８の通路長さは、低周波オリフィス通路６４のチューニング周波数よりも高い周波数にチューニングされたオリフィス通路６８の通路長さのうち最も長いものである。

　図２のシミュレーション結果からも明らかなように、外側オリフィス部材４８に対する内側オリフィス部材３６の入り込み量を変更して、オリフィス通路６８の通路長さを変更すれば、オリフィス通路６８による防振効果が変更され得る。特に、オリフィス通路６８を通じて流動する流体の共振作用に基づいて発揮される低動ばね領域とその程度を、外側オリフィス部材４８に対する内側オリフィス部材３６の入り込み量の変更によって適宜に調節できることが判る。

　また、本実施形態のエンジンマウント１０においては、電動モータ８６への通電方向を適当な周期で切り換えることにより、内側オリフィス部材３６を設定された入り込み位置を中心に往復駆動せしめて、内側オリフィス部材３６を加振駆動することにより、能動的な防振効果が得られるようにすることも出来る。

　この場合、電動モータ８６によって加振駆動手段が構成される。また、内側オリフィス部材３６は、内側オリフィス部材３６の外側オリフィス部材４８への入り込み方向となるマウント軸方向で両側に向かって往復駆動される。

　なお、電動モータ８６への通電方向の切り換えは、例えば、パワーユニットのエンジン点火信号を参照信号とすると共に、防振すべき部材（車両ボデー）の振動検出信号をエラー信号として、適応制御等のフィードバック制御を行うことによって、或いは、予め設定された制御データに基づくマップ制御を利用すること等によって行うことが出来る。

　停車時に問題となるアイドリング振動が入力されると、アイドリング振動に伴って発生する第一の液室５８の圧力変動を利用して低動ばね効果が発揮されるように、内側オリフィス部材３６を加振駆動する。具体的には、アイドリング振動と周波数が略同じとなるように、内側オリフィス部材３６を加振駆動する。これにより、能動的な防振効果が発揮されて、防振対象部材（車両ボデー）における振動を効果的に低減することが出来る。

　オリフィス通路６８がアイドリング振動の周波数域にチューニングされているから、上述の如き内側オリフィス部材３６の加振駆動に際して、オリフィス通路６８を通じての流体流動が積極的に生ぜしめられる。これにより、能動的な防振効果がオリフィス通路６８を通じての流体流動作用に基づく第一の液室５８の圧力制御効果と相俟って発揮されて、防振対象部材（車両ボデー）における振動を一層効果的に低減することが出来る。

　アイドリング振動の周波数が変化した場合には、電動モータ８６の回転軸８８が回転駆動せしめられることにより、オリフィス通路６８の通路長さが変更されて、オリフィス通路６８のチューニング周波数が変更される。そして、この状態で、内側オリフィス部材３６を上述の如く加振すれば、目的とする能動的な防振効果を目的とする各周波数域においても得ることが出来る。

　なお、本実施形態のエンジンマウント１０においては、内側オリフィス部材３６の外側オリフィス部材４８への入り込み位置の調節と内側オリフィス部材３６の加振駆動が、何れも、電動モータ８６の回転駆動力を利用して行われている。従って、エンジンマウント１０に必要な部品点数を少なくすることが出来、エンジンマウント１０の構造の簡略化、延いては、エンジンマウント１０の製造作業の容易化を図ることが可能となる。

　因みに、内側オリフィス部材３６を加振駆動した際に第一の取付部材１２と第二の取付部材１４の間に及ぼされる加振力の伝達力と周波数の関係を、図３に示す。図３では、オリフィス通路６８の通路長さが最も長い状態（実施例１）と、オリフィス通路６８の通路長さが最も短い状態（実施例２）と、オリフィス通路６８の通路長さがこれらの間にある状態（実施例３）における加振力の周波数特性が示されている。なお、実施例１でのオリフィス通路６８の通路長さは、低周波オリフィス通路６４のチューニング周波数よりも高い周波数にチューニングされたオリフィス通路６８の通路長さのうち最も長いものである。

　図３のグラフから明らかなように、領域１では実施例１の態様が最も伝達力が大きくなり、領域２では実施例３の態様が最も伝達力が大きくなり、領域３では実施例２の態様が最も伝達力が大きくなる。従って、防振すべき振動の周波数が存在する領域に応じて、オリフィス通路６８の通路長さを変更すれば、大きな伝達力、延いては、より効率的な能動的防振効果を得られることが判る。

　続いて、本発明に係る流体封入式防振装置の第二の実施形態としてのエンジンマウント１０６について、図４に基づいて、説明する。なお、以下に説明する第二の実施形態や後述する第三乃至第八の実施形態において、第一の実施形態と同様な構造とされた部材及び部位については、図中に、第一の実施形態と同一の符号を付すことにより、それらの詳細な説明を省略する。

　本実施形態のエンジンマウント１０６は、第一の実施形態のエンジンマウント（１０）に比して、外側オリフィス部材４８の軸方向上側（本体ゴム弾性体１６側）の開口部が可動ゴム膜１０８で覆蓋された構造とされている。

　より詳細には、可動ゴム膜１０８は、円板形状を呈しており、その外周縁部には、嵌着リング１１０が加硫接着されている。一方、外側オリフィス部材４８の内周面には、段差面１１２が形成されており、かかる段差面１１２よりも上側が大径とされている。そして、嵌着リング１１０が、外側オリフィス部材４８の軸方向上側開口部から嵌め入れられて、段差面１１２に載置されることにより、可動ゴム膜１０８が軸直角方向に広がって軸方向上側の開口部を覆蓋する状態で外側オリフィス部材４８に組み付けられている。

　また、外側オリフィス部材４８の上面には、円環板形状を呈する押板金具１１４が同一中心軸線上で重ね合わせられており、その外周縁部が本体ゴム弾性体１６と外側オリフィス部材４８で挟持されている。この状態で、押板金具１１４の内周縁部は嵌着リング１１０の上面に重ね合わせられており、それによって、嵌着リング１１０の抜け出しが防止されている。

　さらに、上述の如く可動ゴム膜１０８が配されることで、第一の実施形態の第一の液室（５８）、即ち、外側オリフィス部材４８や内側オリフィス部材３６よりも上方の領域が、可動ゴム膜１０８で仕切られている。これにより、可動ゴム膜１０８よりも上側には、壁部の一部が本体ゴム弾性体１６と可動ゴム膜１０８で構成されて、振動入力時に圧力変動が生ぜしめられる主液室１１６が形成されている。一方、可動ゴム膜１０８よりも下側には、壁部の一部が可動ゴム膜１０８と内側オリフィス部材３６の上底壁部４０で構成されて、可動ゴム膜１０８の弾性変形に基づいて主液室１１６の圧力変動が伝達される副液室１１８が形成されている。即ち、本実施形態では、主液室１１６と副液室１１８によって第一の液室が構成されている。そして、本実施形態では、オリフィス通路６８が、副液室１１８と第二の液室６０を相互に連通するようになっている。また、主液室１１６と第二の液室６０が低周波オリフィス通路６４によって相互に連通されている。

　このような構造とされたエンジンマウント１０６においては、エンジンシェイク振動が入力された際には、低周波オリフィス通路６４を流動せしめられる流体の共振作用等の流動作用に基づく防振効果が発揮される。特に本実施形態では、オリフィス通路６８が副液室１１８と第二の液室６０を繋いでいることから、可動ゴム膜１０８の膜剛性により、低周波オリフィス通路６４の流体流動量を確保して、低周波オリフィス通路６４による防振効果の向上が図られ得る。また、本実施形態では、図５に示されているように、内側オリフィス部材３６を可動ゴム膜１０８の下端面に当接させることも出来る。このようにして可動ゴム膜１０８を拘束すれば、低周波オリフィス通路６４の流体流動量を一層確保することが可能となり、低周波オリフィス通路６４による防振効果の更なる向上を図ることが出来る。なお、本実施形態では、可動ゴム膜１０８が設けられていることにより、内側オリフィス部材３６を可動ゴム膜１０８に当接させていなくても、主液室１１６から副液室１１８への圧力伝達が制限されるようになっている。

　一方、停車時には、オリフィス通路６８による防振効果がアイドリング振動に対して有効に発揮されるように、オリフィス通路６８がチューニングされる。そして、アイドリング振動が入力された際には、可動ゴム膜１０８の弾性変形に基づいて主液室１１６の圧力変動が副液室１１８に伝達されて、副液室１１８と第二の液室６０の間でオリフィス通路６８を通じての流体流動が生ぜしめられる。これにより、オリフィス通路６８を流動せしめられる流体の共振作用等の流動作用に基づく防振効果を得ることが出来る。特に本実施形態では、可動ゴム膜１０８の弾性共振を利用して、オリフィス通路６８の流体流動量を増大させることにより、オリフィス通路６８による防振効果の向上を図ることが出来る。また、アイドリング振動の周波数が変化した場合には、制御装置９８からの制御信号に基づいて電動モータ８６の回転軸８８が回転駆動せしめられることにより、オリフィス通路６８の通路長さを変更して、オリフィス通路６８のチューニング周波数を変更できるようになっている。

　また、本実施形態のエンジンマウント１０６においても、能動的な防振効果を得ることが出来る。具体的には、内側オリフィス部材３６を可動ゴム膜１０８から離隔させた状態で加振駆動して、副液室１１８と可動ゴム膜１０８を介して主液室１１６の圧力制御をすることで、能動的な防振効果を得ることが出来る。

　そこにおいて、アイドリング振動に対して有効な防振効果が発揮されるように、オリフィス通路６８をアイドリング振動の周波数域にチューニングしておけば、上述の如き内側オリフィス部材３６の加振駆動に際して、加振周波数をアイドリング振動の周波数に対応させることにより、オリフィス通路６８を通じての流体流動が積極的に生ぜしめられる。その結果、能動的な防振効果を一層効率的に得ることが出来る。

　さらに、本実施形態では、可動ゴム膜１０８の弾性共振を利用すれば、副液室１１８と主液室１１６の間での圧力伝達効率も大きくなる。従って、能動的な防振効果をより効率的に発揮することが出来る。

　なお、内側オリフィス部材３６を可動ゴム膜１０８に当接させた状態で加振駆動しても、能動的な防振効果を得ることは出来る。

　また、アイドリング振動の周波数が変化した場合には、電動モータ８６の回転軸８８が回転駆動せしめられることにより、オリフィス通路６８の通路長さが変更されて、オリフィス通路６８のチューニング周波数が変更される。そして、この状態で、内側オリフィス部材３６を上述の如く加振駆動すれば、目的とする能動的な防振効果を目的とする各周波数域でも得ることが出来る。

　続いて、本発明に係る流体封入式防振装置の第三の実施形態としてのエンジンマウント１２０について、図６に基づいて、説明する。本実施形態のエンジンマウント１２０は、第一の実施形態のエンジンマウント（１０）に比して、内側オリフィス部材１２２が異なっている。

　より詳細には、本実施形態の内側オリフィス部材１２２は、金属材で形成されており、略一定の内外径寸法でストレートに延びる円筒形状とされている。また、内側オリフィス部材１２２の軸方向上端部には、円板形状を呈する支持ゴム膜１２４の外周縁部が加硫接着されている。それによって、内側オリフィス部材１２２の軸方向上側の開口部が支持ゴム膜１２４で流体密に覆蓋されている。なお、本実施形態では、支持ゴム膜１２４の外周縁部が内側オリフィス部材１２２の上端面に加硫接着されている。これにより、内側オリフィス部材１２２の上端面から軸方向外方に突出する弾性当接突部１２５が形成されている。この弾性当接突部１２５は、図７に示されているように、雌ねじ部材１２６が軸方向上方に変位せしめられた際、仕切板金具１２８の内周縁部に当接するようになっている。また、支持ゴム膜１２４の中央部分には、雌ねじ部材１２６が固着されている。

　雌ねじ部材１２６は、金属材で形成されており、全体として逆向きの有底円筒形状を呈している。また、雌ねじ部材１２６の筒壁部の内周面には、雄ねじ部材９０のねじ山に対応したねじ山が刻設されている。更に、雌ねじ部材１２６の外周面には、係合突起１０２，１０２が設けられている。

　このような雌ねじ部材１２６は、内側オリフィス部材１２２と同心的に配置された状態で、且つ、上底壁部が埋設された状態で、支持ゴム膜１２４に加硫接着されている。この状態で、雌ねじ部材１２６は、内側オリフィス部材１２２内に位置せしめられて、軸方向下方に向かって突出している。

　そして、雄ねじ部材９０が雌ねじ部材１２６に螺入されることで、雌ねじ部材１２６が電動モータ８６の回転軸８８の先端部分に組み付けられている。これにより、内側オリフィス部材１２２が、電動モータ８６の回転軸８８に対して、支持ゴム膜１２４で弾性支持されている。また、内側オリフィス部材１２２は、外側オリフィス部材４８の挿通孔５０の軸方向下側の開口から入り込むように配設される。なお、オリフィス通路６８のチューニング可能な周波数の範囲は、第一の実施形態と同じに設定されている。

　また、外側オリフィス部材４８の上面には、円環板形状を呈する仕切板金具１２８が同一中心軸線上で重ね合わせられており、その外周縁部が本体ゴム弾性体１６と外側オリフィス部材４８で挟持されている。そこにおいて、本実施形態では、仕切板金具１２８の中心孔１３０の内径寸法は、外側オリフィス部材４８の挿通孔５０の内径寸法よりも小さくされている。これにより、第一の実施形態の第一の液室（５８）、即ち、内側オリフィス部材１２２や外側オリフィス部材４８よりも上側の領域が、仕切板金具１２８で上下に仕切られている。その結果、仕切板金具１２８よりも上側には、本体ゴム弾性体１６で壁部の一部が構成されて、振動入力時に圧力変動が生ぜしめられる主液室１３２が形成されている。一方、仕切板金具１２８よりも下側には、支持ゴム膜１２４で壁部の一部が構成された副液室１３４が形成されている。即ち、本実施形態では、主液室１３２と副液室１３４で第一の液室が構成されている。そして、本実施形態では、これら主液室１３２と副液室１３４は、仕切板金具１２８の中心孔１３０で構成された高周波オリフィス通路１３６を通じて、相互に連通されている。なお、本実施形態では、高周波オリフィス通路１３６は走行こもり音等の高周波数域にチューニングされている。また、副液室１３４は、オリフィス通路６８によって、第二の液室としての第二の液室６０と接続されている。更に、主液室１３２は、低周波オリフィス通路６４を通じて、第二の液室６０と接続されている。

　このような構造とされたエンジンマウント１２０においては、走行時において、オリフィス通路６８のチューニング周波数が低周波オリフィス通路６４のチューニング周波数よりも低周波側に設定されている。これにより、オリフィス通路６８を通じての流体流動が生じないようにされて、低周波オリフィス通路６４の流体流動量が確保されている。その結果、エンジンシェイク振動が入力された際には、低周波オリフィス通路６４を流動せしめられる流体の共振作用等の流動作用に基づく防振効果が有効に発揮される。

　一方、停車時には、オリフィス通路６８による防振効果がアイドリング振動に対して有効に発揮されるように、オリフィス通路６８のチューニング周波数がアイドリング振動の周波数に設定されている。そして、アイドリング振動が入力された際には、主液室１３２の圧力変動が、高周波オリフィス通路１３６を通じて、副液室１３４に伝達される。これにより、副液室１３４と第二の液室６０の間で、オリフィス通路６８を通じての流体流動が生ぜしめられる。その結果、オリフィス通路６８を流動せしめられる流体の共振作用等の流動作用に基づいて、アイドリング振動に対して、有効な防振効果が発揮される。特に本実施形態では、支持ゴム膜１２４の弾性共振を利用して、オリフィス通路６８の流体流動量を増大させて、オリフィス通路６８による防振効果の向上を図ることも出来る。また、アイドリング振動の周波数が変化した場合には、制御装置９８からの制御信号に基づいて電動モータ８６の回転軸８８が回転駆動せしめられることにより、オリフィス通路６８の通路長さを変更して、オリフィス通路６８のチューニング周波数を変更できるようになっている。

　更にまた、本実施形態では、走行こもり音等の高周波数域の振動が入力された際には、高周波オリフィス通路１３６を通じて主液室１３２と副液室１３４の間で流体流動が生ぜしめられる。これにより、高周波オリフィス通路１３６を通じての流体の共振作用等の流動作用に基づく防振効果が、走行こもり音等の高周波数域の振動に対して、有効に発揮される。

　また、図７に示されているように、支持ゴム膜１２４の外周縁部を仕切板金具１２８の内周縁部に当接させて、支持ゴム膜１２４の外周縁部を仕切板金具１２８と内側オリフィス部材１２２で挟圧しても良い。この場合、オリフィス通路６８が遮断される。これにより、低周波オリフィス通路６４の流体流動量を確保することが可能となる。その結果、低周波オリフィス通路６４を通じての流体流動作用に基づく防振効果を有効に得ることが出来る。また、走行こもり音等の高周波数域の振動が入力された際には、高周波オリフィス通路１３６を流動せしめられる流体の共振作用等の流動作用に基づく防振効果が発揮される。

　また、本実施形態のエンジンマウント１２０においても、能動的な防振効果を得ることが出来る。具体的には、アイドリング振動が入力された際には、主液室１３２と副液室１３４が第一の液室として作用するので、雌ねじ部材１２６で支持ゴム膜１２４を加振することにより、能動的な防振効果を得ることが出来る。

　特に本実施形態では、停車時において、オリフィス通路６８による防振効果がアイドリング振動に対して有効に発揮されるように、オリフィス通路６８のチューニング周波数がアイドリング振動の周波数に設定されるから、上述の如き支持ゴム膜１２４の加振に際して、第一及び第二の実施形態と同様な効果を得ることが出来る。

　さらに、本実施形態では、支持ゴム膜１２４の弾性共振を利用すれば、支持ゴム膜１２４の加振効率を向上させることが出来る。従って、能動的な防振効果をより一層効率的に発揮することが出来る。

　更にまた、本実施形態では、雌ねじ部材１２６の加振により実質的に支持ゴム膜１２４だけが加振されて、内側オリフィス部材１２２の加振が抑制乃至は防止される。それ故、加振による能動的防振効果を得るに際しての電動モータ８６の負担が軽減される。

　また、アイドリング振動の周波数が変化した場合には、電動モータ８６の回転軸８８が回転駆動せしめられることにより、オリフィス通路６８の通路長さが変更されて、オリフィス通路６８のチューニング周波数が変更される。そして、この状態で、支持ゴム膜１２４を上述の如く加振すれば、目的とする能動的な防振効果を目的とする各周波数域においても得ることが出来る。

　また、支持ゴム膜１２４を走行こもり音等の高周波数域の振動に対応させて加振すれば、副液室１３４に生ぜしめられる内圧変動を、高周波オリフィス通路１３６を流動せしめられる流体の共振作用を利用して、主液室１３２に効率的に伝達して主液室１３２の圧力を制御することが可能となる。その結果、走行こもり音等の高周波数域の振動に対しても、能動的な防振効果を効率的に発揮することが出来る。

　更にまた、図７に示されているように、支持ゴム膜１２４の内周縁部を仕切板金具１２８の内周縁部に当接させて、支持ゴム膜１２４の外周縁部を仕切板金具１２８と内側オリフィス部材１２２で挟圧させることが可能であり、これにより、オリフィス通路６８が遮断される。かかる状態下では、低周波オリフィス通路６４の流体流動量を一層大きく確保することが可能となる。更に、支持ゴム膜１２４を加振すれば、アイドリング振動や走行こもり音等の高周波数域の振動に対して、能動的な防振効果が発揮される。特に、走行こもり音等の高周波数域の振動に対しては、高周波オリフィス通路１３６を流動せしめられる流体の共振作用を利用することにより、能動的な防振効果を効率的に発揮することが出来る。

　続いて、本発明に係る流体封入式防振装置の第四の実施形態としてのエンジンマウント１３８について、図８に基づいて、説明する。本実施形態のエンジンマウント１３８は、第一の実施形態のエンジンマウント（１０）に比して、ダイヤフラム３４の内周縁部が外側オリフィス部材４８の筒状延出壁部５６に加硫接着されている。これにより、外側オリフィス部材４８の下方には、壁部の一部がダイヤフラム３４で構成されて、容積変化が容易に許容される第一の平衡室１４０が形成されている。即ち、本実施形態では、第一の液室５８と第一の平衡室１４０が低周波オリフィス通路６４で接続されているのであり、第一の平衡室１４０によって第二の液室が構成されている。

　また、本実施形態では、内側オリフィス部材１４２の構造が異なっている。本実施形態の内側オリフィス部材１４２は、金属材で形成されており、略一定の内外径寸法でストレートに延びる筒壁部１４４と底壁部１４６を備えた有底円筒形状を呈している。また、内側オリフィス部材１４２の底壁部１４６には、筒壁部１４４よりも小さな内外径寸法で筒壁部１４４とは反対側に突出する連結筒部１４８が設けられている。そして、この連結筒部１４８には、雌ねじ部材１５０が組み付けられている。

　雌ねじ部材１５０は、金属材で形成されており、全体として逆向きの有底円筒形状を呈しており、その筒壁部の内周面には、雄ねじ部材９０のねじ山に対応したねじ山が刻設されている。また、雌ねじ部材１５０の外周面には、軸方向中央部分において、段差面１５２が形成されており、かかる段差面１５２よりも上方が小径部１５４とされている。更にまた、雌ねじ部材１５０の外周面には、係合突起１０２，１０２が設けられている。

　このような雌ねじ部材１５０は、小径部１５４が連結筒部１４８に圧入されて組み付けられる。これにより、内側オリフィス部材１４２と雌ねじ部材１５０が連結されている。また、雌ねじ部材１５０に雄ねじ部材９０が螺入される。これにより、雌ねじ部材１５０が電動モータ８６の回転軸８８の先端部分に組み付けられる。その結果、電動モータ８６の回転駆動力が、内側オリフィス部材１４２に伝達され得るようになっている。また、内側オリフィス部材１４２は、外側オリフィス部材４８の軸方向上側の開口部から入り込むように配設されている。なお、本実施形態では、オリフィス通路６８のチューニング可能な周波数の範囲は、第一の実施形態と同じに設定されている。

　また、外側オリフィス部材４８の挿通孔５０内には、可撓性ゴム膜１５６が配設されている。この可撓性ゴム膜１５６は、円環板形状とされており、その外周縁部には外側リング金具１５８が加硫接着されていると共に、その内周縁部には内側リング金具１６０が加硫接着されている。そして、内側リング金具１６０が雌ねじ部材１５０の小径部１５４に外挿されて雌ねじ部材１５０の段差面１５２と連結筒部１４８の突出端面で挟圧されると共に、外側リング金具１５８が外側オリフィス部材４８の挿通孔５０に圧入されて、外側オリフィス部材４８の内周面に形成された段差面１６２に重ね合わせられることにより、外側オリフィス部材４８の挿通孔５０内が可撓性ゴム膜１５６を挟んで上下に流体密に仕切られている。これにより、外側オリフィス部材４８の挿通孔５０内には、壁部の一部が可撓性ゴム膜１５６で構成されて、容積変化が容易に許容される第二の平衡室１６４が形成されている。即ち、第二の平衡室１６４は、第一の平衡室１４０から独立して形成されているのである。そして、第一の液室５８と第二の平衡室１６４がオリフィス通路６８で相互に連通されている。即ち、本実施形態では、第二の平衡室１６４によっても、第二の液室が構成されている。

　このような構造とされたエンジンマウント１３８においては、走行時において、オリフィス通路６８のチューニング周波数が低周波オリフィス通路６４のチューニング周波数よりも低周波側に設定されている。これにより、オリフィス通路６８を通じての流体流動が生じないようにされて、低周波オリフィス通路６４を通じての流体流動量が確保されている。その結果、エンジンシェイク振動が入力された際には、低周波オリフィス通路６４を流動せしめられる流体の共振作用等の流動作用に基づく防振効果が有効に発揮される。

　一方、停車時においては、オリフィス通路６８による防振効果がアイドリング振動に対して有効に発揮されるように、オリフィス通路６８のチューニング周波数がアイドリング振動の周波数にチューニングされている。そして、アイドリング振動が入力された際には、オリフィス通路６８を通じての流体流動が生ぜしめられる。これにより、オリフィス通路６８を流動せしめられる流体の共振作用等の流動作用に基づいて、アイドリング振動に対して、有効な防振効果が発揮される。また、アイドリング振動の周波数が変化した場合には、制御装置９８からの制御信号に基づいて電動モータ８６の回転軸８８が回転駆動せしめられることにより、オリフィス通路６８の通路長さを変更して、オリフィス通路６８のチューニング周波数を変更できるようになっている。

　そこにおいて、本実施形態では、第一の平衡室１４０と第二の平衡室１６４が互いに独立して形成されていることから、第一の平衡室１４０の壁部を構成するダイヤフラム３４の膜剛性と、第二の平衡室１６４の壁部を構成する可撓性ゴム膜１５６の膜剛性を、独立して設定することが可能となる。これにより、各オリフィス通路６４，６８のチューニング自由度を大きくすることが出来る。

　また、本実施形態のエンジンマウント１３８においても、能動的な防振効果を得ることが出来る。具体的には、停車時に問題となるアイドリング振動が入力された際には、内側オリフィス部材１４２を加振駆動することにより、能動的な防振効果を得ることが出来る。

　オリフィス通路６８がアイドリング振動の周波数域にチューニングされていることから、上述の如き内側オリフィス部材１４２の加振駆動に際して、オリフィス通路６８を通じての流体流動が積極的に生ぜしめられる。これにより、能動的な防振効果を一層効率的に得ることが出来る。

　また、アイドリング振動の周波数が変化した場合には、電動モータ８６の回転軸８８が回転駆動せしめられることにより、オリフィス通路６８の通路長さが変更されて、オリフィス通路６８のチューニング周波数が変更される。そして、この状態で、内側オリフィス部材１４２を上述の如く加振駆動すれば、目的とする能動的な防振効果を目的とする各周波数域でも得ることが出来る。

　続いて、本発明に係る流体封入式防振装置の第五の実施形態としてのエンジンマウント１６６について、図９に基づいて、説明する。本実施形態のエンジンマウント１６６は、第一の実施形態のエンジンマウント（１０）に比して、オリフィス通路１６８の形状が異なっている。

　より詳細には、内側オリフィス部材３６の外周面には、軸方向上側から下側へ行くに従って次第に拡径するテーパ状外周面１７０が形成されている。また、外側オリフィス部材４８の内周面には、軸方向上側から下側へ行くに従って次第に拡径するテーパ状内周面１７２が、テーパ状外周面１７０と対応する傾斜角度で形成されている。即ち、テーパ状外周面１７０とテーパ状内周面１７２の間には、略一定の内外径寸法で軸方向上側から下側へ行くに従って次第に拡径するテーパ筒状の筒状隙間１７４が形成されている。そして、このテーパ筒状の筒状隙間１７４を利用して、第一の液室５８と第二の液室６０を相互に連通するオリフィス通路１６８が形成されているのである。なお、オリフィス通路１６８のチューニング可能な周波数は、第一の実施形態のオリフィス通路（６８）と同じに設定されている。

　このような構造とされたエンジンマウント１６６においては、オリフィス通路１６８がテーパ筒状の筒状隙間１７４を利用して形成されていることから、内側オリフィス部材３６の外側オリフィス部材４８への入り込み量を変更した際に、オリフィス通路１６８の通路長さだけでなく、通路断面積も変更することが出来る。これにより、オリフィス通路１６８のチューニング周波数の変更幅を大きくすることが可能となる。その結果、より広い周波数域の振動に対して、有効な防振効果を得ることが出来る。

　なお、本実施形態では、筒状隙間１７４が軸方向上方に行くに従って次第に縮径するテーパ筒形状とされていたが、例えば、図１０に示されているように、筒状隙間１７４が軸方向下方に行くに従って次第に縮径するテーパ筒形状とされていても良い。

　続いて、本発明に係る流体封入式防振装置の第六の実施形態としてのエンジンマウント１７６について、図１１に基づいて、説明する。本実施形態のエンジンマウント１７６も、第一の実施形態のエンジンマウント（１０）に比して、オリフィス通路１７８の形状が異なっている。

　より詳細には、内側オリフィス部材３６の外周面には、段差面１８０が形成されており、かかる段差面１８０よりも上方が下方よりも小径とされている。また、外側オリフィス部材４８の内周面にも段差面１８２が形成されており、かかる段差面１８２よりも下側が上側よりも大径とされている。即ち、本実施形態のオリフィス通路１７８を構成する筒状隙間１８４は、段付円筒形状とされているのである。なお、本実施形態では、オリフィス通路１７８のチューニング可能な周波数は、第一の実施形態のオリフィス通路（６８）と同じに設定されている。

　このような構造とされたエンジンマウント１７６においては、筒状隙間１８４が段付円筒形状とされていることから、内側オリフィス部材３６の外側オリフィスへの入り込み量を変更することで、筒状隙間１８４の断面積を変更することも出来るようになっている。

　続いて、本発明に係る流体封入式防振装置の第七の実施形態としてのエンジンマウント１８５について、図１２に基づいて、説明する。本実施形態のエンジンマウント１８５は、第二の実施形態のエンジンマウント（１０６）に比して、外側オリフィス部材４８が内側オリフィス部材３６の加振変位方向に変位可能な状態で弾性支持されている。

　具体的には、第二の取付部材１４に嵌め入れられて固定される固定筒金具１８６の内周面に固着された筒状支持ゴム１８８によって、外側オリフィス部材４８が内側オリフィス部材３６の加振方向に弾性支持されることになる。かかる状態下、外側オリフィス部材４８の外周面は筒状支持ゴム１８８の内周面に密着されている。これにより、低周波オリフィス通路６４のシール性が確保されている。

　このような構造とされたエンジンマウント１８５においては、外側オリフィス部材４８も加振駆動することが出来るので、ピストン面積を大きく確保することが出来る。その結果、第一の液室５８の圧力制御を効率良くすることが可能となる。

　なお、理解を容易にするために、図１２において、第二の実施形態で採用されていた部材等と同様な構造とされた部材等については、第二の実施形態と同一の符号を付してある。

　続いて、本発明に係る流体封入式防振装置の第八の実施形態としてのエンジンマウント１８９について、図１３に基づいて、説明する。本実施形態のエンジンマウント１８９は、第一の実施形態のエンジンマウント（１０）に比して、電動モータ８６を加振駆動手段としてのソレノイド型加振器１９０で上下方向に加振駆動するようになっている。

　より詳細には、ソレノイド型加振器１９０は、固定子としての磁極形成部材１９２と、磁極形成部材１９２に対して軸方向相対変位可能に配設された可動子としてのアーマチャ１９４から構成されている。

　磁極形成部材１９２は、コイル１９６と、コイル１９６の周囲に組み付けられた上側ヨーク１９８と下側ヨーク２００から構成されている。上側ヨーク１９８は、強磁性材で形成されており、透孔を備えた円環板形状とされている。一方、下側ヨーク２００は、強磁性材で形成されており、有底円筒形状を呈している。また、下側ヨーク２００の底壁の中央には、透孔が形成されている。そして、これら上側ヨーク１９８と下側ヨーク２００によって、コイル１９６への通電時に生じる磁束が流れる固定側磁路が構成されており、上下の透孔の内周側端縁部が、それぞれ、コイル１９６への通電時に磁極が形成される磁極部２０２，２０４とされている。このような構造とされた磁極形成部材１９２は、底金具７４の底壁に組み付けられた有底筒状支持部材２０６の底壁に載置されて、底金具７４に固定されている。

　一方、アーマチャ１９４は、強磁性材で形成されており、有底円筒形状を呈している。また、アーマチャ１９４の底壁部分には、開口穴が形成されている。このようなアーマチャ１９４は、有底円筒形状を呈する支持部材９２の底側から外挿されて、支持部材９２に固定されている。また、かかる状態下、アーマチャ１９４は、磁極形成部材１９２の中央孔に対して上側から挿し入れられて、磁極形成部材１９２と同一中心軸線上で軸方向に相対変位可能に組み付けられている。そして、アーマチャ１９４における軸方向上端部２０８と下端面２１０が磁力作用部位とされており、アーマチャ１９４の軸方向上端部２０８と上側ヨーク１９８の磁極部２０２との間、およびアーマチャ１９４の下端面２１０と下側ヨーク２００の磁極部２０４との間に、それぞれ有効な磁気吸引力が作用せしめられる磁気ギャップが形成されている。

　なお、本実施形態では、このようにアーマチャ１９４と磁極形成部材１９２が組み付けられた状態で、支持部材９２と有底筒状支持部材２０６の間には、コイルスプリング２１２が配設されている。また、有底筒状支持部材２０６の底壁に突設された筒状部２１４の外周面に形成されたガイド突起２１６が、支持部材９２の底壁から軸方向外方（下方）に向かって突設された筒状部２１８の内周面に形成されたガイド溝２２０内に位置せしめられている。これにより、支持部材９２の有底筒状支持部材２０６や底金具７４に対する回転が阻止されている。

　このような構造とされたエンジンマウントにおいては、コイル１９６への通電に基づいて、アーマチャ１９４の軸方向上端部２０８と上側ヨーク１９８の磁極部２０２との間、およびアーマチャ１９４の下端面２１０と下側ヨーク２００の磁極部２０４との間に、それぞれ発生する磁気吸引力の作用により、アーマチャ１９４を軸方向下方に駆動せしめると共に、コイル１９６への通電を停止して、コイルスプリング２１２の復元力を、支持部材９２に作用させることで、内側オリフィス部材３６に対して、防振すべき振動に対応した駆動力を作用せしめることにより、第一の液室５８の内圧制御による能動的防振効果を得ることが出来るのである。

　そこにおいて、コイル１９６への通電制御は、例えば、パワーユニットのエンジン点火信号を参照信号とすると共に、防振すべき部材（車両ボデー）の振動検出信号をエラー信号として、適応制御等のフィードバック制御を行うことによって、或いは、予め設定された制御データに基づくマップ制御を利用すること等によって行うことが出来る。また、オリフィス通路６８の通路長さの変更は、第一の実施形態と同様に、電動モータ８６を駆動制御することで行うことが出来る。

　以上、本発明の幾つかの実施形態について詳述してきたが、これらはあくまでも例示であって、本発明は、かかる実施形態における具体的な記載によって、何等、限定的に解釈されるものではない。

　例えば、前記第一乃至第八の実施形態において、低周波オリフィス通路６４は必ずしも必要ではない。また、前記第三の実施形態において、高周波オリフィス通路１３６は必ずしも必要ではない。更に、各オリフィス通路のチューニング周波数は、前記第一乃至第八の実施形態の設定に限定されるものではない。例えば、前記第一乃至第八の実施形態において、オリフィス通路６８，１６８，１７８を、定常走行時こもり音や加速走行時騒音等のアイドリング振動の周波数域とは異なる周波数域で変更出来るようにしても良い。

　さらに、本発明は、特開２００６－１７１３４号公報等に開示されている平衡室が本体ゴム弾性体の上方に設けられた構造の流体封入式防振装置に対しても、勿論、適用出来る。具体的には、第一の取付部材を外側オリフィス部材とし、かかる外側オリフィス部材に対して、外側から内側オリフィス部材を入り込ませて配設する構成が採用できる。

　また、前記第二の実施形態において、可動ゴム膜１０８に金属マス等を固着して、可動ゴム膜１０８の弾性共振が発揮される周波数（可動ゴム膜１０８の固有振動数）をチューニングするようにしても良い。

　さらに、前記第二の実施形態において、第二の液室６０の代わりに、低周波オリフィス通路６４を通じて主液室１１６と接続される第一の平衡室と、オリフィス通路６８を通じて副液室１１８と接続される第二の平衡室を設けるようにしても良い。

　更にまた、前記第三の実施形態において、第二の液室６０の代わりに、低周波オリフィス通路６４を通じて主液室１３２と接続される第一の平衡室と、オリフィス通路６８を通じて副液室１３４と接続される第二の平衡室を設けるようにしてもよい。

　また、本発明において、アクチュエータは電動モータに限定されるものではない。例えば、ソレノイドでアクチュエータが構成されていても良いし、或いは、カム機構とかかるカム機構を構成するカム部材を駆動するための電動モータでアクチュエータが構成されていても良い。

　さらに、前記第一乃至第八の実施形態において、電動モータ８６の回転駆動力が減速歯車列を介して雄ねじ部材９０に伝達されるようになっていても良い。

　加えて、前記第一乃至第八の実施形態では、自動車用のエンジンマウントに対して本発明を適用した具体例が示されていたが、本発明は、自動車用のボデーマウントやメンバマウント、更には、自動車以外の各種装置における防振装置に対して、適用可能である。

１０：エンジンマウント（流体封入式防振装置），１２：第一の取付部材，１４：第二の取付部材，１６：本体ゴム弾性体，３６：内側オリフィス部材，４８：外側オリフィス部材，５０：挿通孔，５８：第一の液室，６０：第二の液室，６４：低周波オリフィス通路、６６：筒状隙間、６８：オリフィス通路、８６：電動モータ（アクチュエータ），８８：回転軸，１０８：可動ゴム膜，１１６：主液室，１１８：副液室，１２４：支持ゴム膜，１４０：第一の平衡室，１６４：第二の平衡室

Claims

　それぞれ非圧縮性流体が封入されて振動入力に際して相対的な圧力変動が及ぼされる第一の液室と第二の液室を備えていると共に、それら第一の液室と第二の液室を相互に連通するオリフィス通路が設けられた流体封入式防振装置において、
　前記オリフィス通路の外周壁面を形成する挿通孔を備えた外側オリフィス部材を設けると共に、該外側オリフィス部材における該挿通孔の一方の開口部から該オリフィス通路の内周壁面を形成する内側オリフィス部材を入り込ませて配設し、該外側オリフィス部材と該内側オリフィス部材の内外周面間に形成された筒状隙間によって該オリフィス通路を形成すると共に、該外側オリフィス部材に対する該内側オリフィス部材の入り込み量を調節するアクチュエータを設けて、該アクチュエータで該内側オリフィス部材の該外側オリフィス部材に対する入り込み量を調節することによって、該オリフィス通路の通路長さを変更可能にしたことを特徴とする流体封入式防振装置。
　振動入力時に圧力変動が生ぜしめられると共に壁部の一部が可動ゴム膜で構成された主液室と、該可動ゴム膜を挟んで該主液室と反対側に位置せしめられて該可動ゴム膜の弾性変形に基づいて該主液室の圧力変動が伝達されると共に前記内側オリフィス部材で壁部の一部が構成された副液室とによって、前記第一の液室が構成されている一方、容積変化が容易に許容される前記第二の液室が形成されており、該副液室と該第二の液室が前記オリフィス通路で相互に連通されている請求項１に記載の流体封入式防振装置。
　前記外側オリフィス部材の前記挿通孔における前記主液室側の開口部を覆蓋するように前記可動ゴム膜が配設されており、該外側オリフィス部材の該挿通孔に対して該主液室と反対側の開口部から入り込ませた前記内側オリフィス部材が該可動ゴム膜への接近方向で該可動ゴム膜に当接するまで変位可能とされている請求項２に記載の流体封入式防振装置。
　前記内側オリフィス部材を筒状としてその一方の開口部を覆蓋する支持ゴム膜を設け、該支持ゴム膜を介して該内側オリフィス部材を前記アクチュエータの出力軸に取り付けると共に、該支持ゴム膜で壁部の一部が構成されて、振動入力時に圧力変動が生ぜしめられる前記第一の液室を設ける一方、容積変化が容易に許容される前記第二の液室を設けた請求項１に記載の流体封入式防振装置。
　前記第一の液室と前記第二の液室を相互に連通する低周波オリフィス通路を設けた請求項１乃至４の何れか１項に記載の流体封入式防振装置。
　前記オリフィス通路のチューニング周波数の変更可能な範囲内に、前記低周波オリフィス通路のチューニング周波数が設定されている請求項５に記載の流体封入式防振装置。
　前記第二の液室として、前記低周波オリフィス通路を通じて前記第一の液室に接続される第一の平衡室と、前記オリフィス通路を通じて該第一の液室に接続されて該第一の平衡室から独立した第二の平衡室が設けられている請求項６又は７に記載の流体封入式防振装置。
　第一の取付部材を筒状の第二の取付部材における一方の開口側に離隔配置して該第一の取付部材と該第二の取付部材を本体ゴム弾性体で連結する一方、前記外側オリフィス部材を該第二の取付部材に嵌め入れて固定すると共に、前記内側オリフィス部材を該第二の取付部材における他方の開口側から該外側オリフィス部材の前記挿通孔に入り込ませて配設することにより、マウント軸方向に延びる前記オリフィス通路を設けた請求項１乃至７の何れか１項に記載の流体封入式防振装置。
　前記低周波オリフィス通路が前記外側オリフィス部材に形成されている請求項８に記載の流体封入式防振装置。
　第一の取付部材を筒状の第二の取付部材における一方の開口側に離隔配置して該第一の取付部材と該第二の取付部材を本体ゴム弾性体で連結する一方、筒状の前記外側オリフィス部材を該第二の取付部材に嵌め入れて固定すると共に、該外側オリフィス部材の一方の開口部を覆蓋するように前記可動ゴム膜が配設されており、該可動ゴム膜を挟んで一方の側に該本体ゴム弾性体で壁部の一部が構成されて振動入力時に圧力変動が生ぜしめられる前記主液室を形成する一方、該可動ゴム膜を挟んで他方の側に該可動ゴム膜の弾性変形に基づいて該主液室の圧力変動が伝達される前記副液室を形成し、更に、前記内側オリフィス部材を該第二の取付部材における他方の開口側から該外側オリフィス部材の前記挿通孔に入り込ませて配設すると共に、該外側オリフィス部材よりも該第二の取付部材における該他方の開口側に容積変化が容易に許容される前記第二の液室を形成して、該副液室と該第二の液室を前記オリフィス通路で相互に連通した請求項２又は３に記載の流体封入式防振装置。
　第一の取付部材を筒状の第二の取付部材における一方の開口側に離隔配置して該第一の取付部材と該第二の取付部材を本体ゴム弾性体で連結する一方、前記外側オリフィス部材を該第二の取付部材に嵌め入れて固定すると共に、筒状の前記内側オリフィス部材を該第二の取付部材における他方の開口側から該外側オリフィス部材の前記挿通孔に入り込ませて配設し、該本体ゴム弾性体と該内側オリフィス部材の一方の開口を覆蓋するように配設された前記支持ゴム膜で壁部の一部が構成された前記第一の液室を設ける一方、該外側オリフィス部材よりも該第二の取付部材における他方の開口側に容積変化が容易に許容される前記第二の液室を形成した請求項４に記載の流体封入式防振装置。
　第一の取付部材を筒状の第二の取付部材における一方の開口側に離隔配置して該第一の取付部材と該第二の取付部材を本体ゴム弾性体で連結する一方、筒状の前記外側オリフィス部材を該第二の取付部材に嵌め入れて固定すると共に、前記内側オリフィス部材を該外側オリフィス部材の前記挿通孔における一方の開口側から入り込ませて配設し、更に、該外側オリフィス部材よりも該第二の取付部材における他方の開口側に容積変化が容易に許容される前記第一の平衡室を形成して、該本体ゴム弾性体で壁部の一部が構成されて振動入力時に圧力変動が生ぜしめられる前記第一の液室と該第一の平衡室を該外側オリフィス部材に形成された前記低周波オリフィス通路で相互に連通すると共に、該外側オリフィス部材の該挿通孔内に容積変化が容易に許容される前記第二の平衡室を形成して、該第一の液室と該第二の平衡室を前記オリフィス通路で相互に連通した請求項７に記載の流体封入式防振装置。
　前記筒状隙間がテーパ付の筒形状とされている請求項１乃至１２の何れか１項に記載の流体封入式防振装置。
　前記アクチュエータが大気中に配設されている請求項１乃至１３の何れか１項に記載の流体封入式防振装置。
　前記内側オリフィス部材を加振駆動する加振駆動手段が設けられている請求項１，２，４～７，９，１１～１４の何れか１項に記載の流体封入式防振装置。
　前記内側オリフィス部材を加振駆動する加振駆動手段が設けられており、該内側オリフィス部材を前記可動ゴム膜に当接させた状態で加振駆動するようにした請求項３に記載の流体封入式防振装置。
　前記外側オリフィス部材が前記加振駆動手段による加振方向で変位可能に支持されている請求項１６に記載の流体封入式防振装置。
　前記内側オリフィス部材を加振駆動する加振駆動手段が設けられており、該内側オリフィス部材を前記マウント軸方向に加振するようにした請求項８に記載の流体封入式防振装置。
　前記内側オリフィス部材を加振駆動する加振駆動手段が設けられており、該内側オリフィス部材を該加振駆動手段による加振方向で前記可動ゴム膜に対向位置せしめて、該内側オリフィス部材と該可動ゴム膜の対向面間に前記副液室を形成した請求項１０に記載の流体封入式防振装置。
　前記加振駆動手段が大気中に配設されている請求項１５～１９の何れか１項に記載の流体封入式防振装置。
　前記加振駆動手段が前記アクチュエータで構成されている請求項１５～２０の何れか１項に記載の流体封入式防振装置。