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JP2002046039A - 電動アクチュエーター - Google Patents

電動アクチュエーター

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Publication number
JP2002046039A
JP2002046039A JP2000233324A JP2000233324A JP2002046039A JP 2002046039 A JP2002046039 A JP 2002046039A JP 2000233324 A JP2000233324 A JP 2000233324A JP 2000233324 A JP2000233324 A JP 2000233324A JP 2002046039 A JP2002046039 A JP 2002046039A
Authority
JP
Japan
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nut member
feed screw
transfer table
stepping motor
work
Prior art date
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Pending
Application number
JP2000233324A
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English (en)
Inventor
Toshio Sato
藤 俊 夫 佐
Shogo Miyazaki
崎 省 吾 宮
Akira Tadano
野 晃 唯
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by SMC Corp filed Critical SMC Corp
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Priority to TW090113696A priority patent/TW558619B/zh
Priority to US09/880,112 priority patent/US6807877B2/en
Priority to KR10-2001-0036653A priority patent/KR100405261B1/ko
Priority to DE10131306A priority patent/DE10131306B4/de
Priority to CNB011228741A priority patent/CN1215270C/zh
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ステッピングモータを駆動源とする電動アク
チュエーターにおいて、ワーク搬送端における前記ステ
ッピングモータの脱調を防止すると共に、停止状態でワ
ークに推力を作用させることができるようにする。 【解決手段】 ステッピングモータ２８で送りねじ４を
回転させることにより前後進するナット部材５と、ワー
クＷを搬送するための搬送テーブル７とを、ワークの搬
送時にばね手段２４で弾力的に結合することにより、前
記搬送テーブル７がワークの搬送端に到達したあとに、
前記ばね手段２４の撓みによってナット部材５のオーバ
ーランを可能にして前記ステッピングモータ２８を緩衝
的にオーバー回転させると共に、ワークを対象物に押し
付けるための推力を得る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電動モータで駆動
される搬送テーブルによってワークを作業位置まで搬送
する電動アクチュエーターに関するものであり、さらに
詳しくは、パルスで駆動されるステッピングモータを駆
動源とする電動アクチュエーターに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】各種ワークを加工や組み付け等のために
搬送するこの種の電動アクチュエーターには、駆動源と
して、パルスで駆動されるステッピングモータが用いら
れる場合がある。このステッピングモータは、駆動パル
スのパルス数に応じて回転量を段階的に制御することが
できるため、ワークの搬送ストロークを正確に設定した
り、ワークを定位置に精度良く停止させるといったよう
な使い方をする場合には勝れた機能を発揮する。
【０００３】しかしながら前記ステッピングモータに
は、オーバーロードになると、駆動パルスとの間の同期
が保たれなくなっていわゆる脱調現象を生じ易い。この
ため、ワークを対象物に一定の圧力で押し付けるとか、
孔内に一定の力で圧入するといったような、停止状態で
一定の推力を必要とする使い方には適さない。
【０００４】ステッピングモータの回転量やワークの搬
送位置等を検出して該ステッピングモータをオーバーロ
ードになる直前に停止させるように制御することによ
り、脱調を防止し得ると同時に、停止状態でワークに推
力を作用させることも可能ではあるが、非常に複雑で高
価な制御回路を必要とする。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、ステ
ッピングモータを駆動源としてワークを搬送する電動ア
クチュエーターを、ばね手段を付設することによって前
記ステッピングモータの脱調を防止すると共に、停止状
態でワークに推力を作用させることができるように構成
することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
本発明の電動アクチュエーターは、ベース上の軸受部材
に回転自在に支持された直棒状の送りねじと、前記送り
ねじにねじ結合されて該送りねじの正逆回転によりその
軸線方向に往復移動するナット部材と、前記ナット部材
に送りねじの軸線方向への自由度を持って結合され、該
ナット部材に追随して変移することによってワークを搬
送する搬送テーブルと、駆動パルスのパルス数に応じて
回転量が制御されるステッピングモータと、前記ステッ
ピングモータの回転力を前記送りねじに伝える伝動機構
と、前記ナット部材と搬送テーブルとの間に介設され、
該搬送テーブルによるワークの搬送時にこれらの搬送テ
ーブルとナット部材とを弾力的に結合することにより、
前記搬送テーブルがワークの搬送端に到達したあとに前
記ナット部材のオーバーランを可能にして前記ステッピ
ングモータを緩衝的にオーバー回転させると共に、該搬
送テーブルに必要な推力を作用させるばね手段とを備え
ている。
【０００７】前記構成を有する電動アクチュエーター
は、搬送テーブルがワークの搬送端に到達したあと、ナ
ット部材がばね手段を撓ませてオーバーランすることに
より、ステッピングモータも緩衝的にオーバー回転する
ことになる。そこで、該ステッピングモータを駆動する
パルス数を前記オーバー回転の範囲内に設定しておくこ
とにより、該ステッピングモータと駆動パルスと間の脱
調による同期不良を防止することができる。また、前記
ばね手段の撓みによって搬送テーブルに、搬送端におい
て必要な推力を作用させることができる。
【０００８】本発明の一つの具体的な実施形態によれ
ば、前記ベースが上面開放の溝形断面を有していて、該
溝の中央部を前記送りねじが軸線方向に延びており、ま
た、前記ナット部材が短柱形をしていて、前記ベースの
溝内を移動するように送りねじに結合され、さらに、前
記搬送テーブルが溝形断面を有していて、前記ベースの
上面に、ナット部材を覆うと共に該ベースをガイドとし
て移動自在なるように配設され、該搬送テーブルと前記
ナット部材との間に両者を結合する連結部材が、搬送テ
ーブル及びナット部材の何れか一方には送りねじの軸線
方向への自由度を持って係合すると共に、他方には送り
ねじの軸線と直行する方向への自由度を持って係合する
ように介設されている。
【０００９】本発明において好ましくは、前記搬送テー
ブルの両側壁とベースの両溝壁との間に、複数の転動自
在のボールからなるリニアガイド機構が介設されている
ことである。
【００１０】本発明の他の具体的な実施形態によれば、
前記搬送テーブルが、軸線方向の少なくとも一端側に送
りねじが貫通するばね受けを有し、このばね受けと前記
ナット部材との間に前記ばね手段が介設されている。
【００１１】また、本発明においては、前記搬送テーブ
ルに、ワーク搬送端における該搬送テーブルとナット部
材との相対的変移を測定するための測定手段を付設する
ことができる。これにより例えば、ばね手段の弾発力が
ステッピングモータが脱調する推力より弱く設定されて
いるような場合に、脱調する直前にセンサーからの信号
によって前記ステッピングモータを停止させるといった
制御を行うことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１〜図８は本発明に係る電動ア
クチュエーターの第１実施例を示すもので、この電動ア
クチュエーター１Ａは、上面が開口する断面溝形のベー
ス２を有している。このベース２は溝方向に細長く形成
されていて、その軸線方向の両端部にそれぞれ軸受部材
３ａ，３ｂが取り付けられ、これらの軸受部材３ａ，３
ｂに、溝の中央部をベース２の軸線方向に延びる直棒状
の送りねじ４の両端部がそれぞれ回転自在に支持されて
いる。この送りねじ４は、ボールねじや滑りねじ等から
なるものである。
【００１３】前記送りねじ４には、略円柱状をしたナッ
ト部材５がねじ結合されていて、このナット部材５が、
前記送りねじ４の正逆回転によって該送りねじ４の軸線
方向に往復移動するようになっている。また、このナッ
ト部材５には、ワークＷを保持して搬送するための搬送
テーブル７が、それらの間に介在する連結部材８によっ
て、送りねじ４の軸線に沿う方向と該軸線に直行する上
下方向との２方向へそれぞれ自由度を持った状態に結合
されている。この点の構成について以下に詳細に説明す
る。
【００１４】前記搬送テーブル７は、下面が開放する溝
形断面形状を有していて、前記ベース２の上面に、前記
ナット部材５を上から覆うと共に、その左右両側壁７
ａ，７ａをベース２の左右両溝壁２ａ，２ａの外側に嵌
合させた状態に配置され、これらの溝壁２ａ，２ａに沿
ってリニアガイド機構１０の案内により移動自在となっ
ている。このリニアガイド機構１０は、図４及び図８か
ら分かるように、搬送テーブル７の両側壁７ａ，７ａの
内部に形成したボール孔１１と、搬送テーブル７の両側
壁７ａ，７ａの外面とベース２の両溝壁２ａ，２ａの外
面との間に形成したボール溝１２とに、多数のボール１
３を無端列状で転動自在なるように収容したもので、搬
送テーブル７の移動時に、これらのボール１３が転動し
ながら前記ボール孔１１とボール溝１２との間を循環す
るようになっている。この搬送テーブル７の左右両側壁
７ａ，７ａにはさらに、送りねじ４の軸線方向に長い長
孔１４がそれぞれ２つずつ設けられている。
【００１５】一方、前記連結部材８は、図６及び図７か
ら分かるように、ナット部材５に連結するための下向き
に延びる左右一対の連結壁１７，１７と、搬送テーブル
７に連結するための連結用ねじ孔１８，１８とを有して
いて、この連結用ねじ孔１８は、連結部材８の左右両側
面にそれぞれ２つずつ形成されている。そして、前記一
対の連結壁１７，１７の間にナット部材５を嵌め込ん
で、各連結壁１７，１７の内側面に形成した突部１７ａ
をナット部材５の両外側面に形成した平面状の切欠部５
ａに、上下方向には相対的に変移自在であるが軸線方向
には相互に係止し合うように嵌合させることにより、こ
れらの連結部材８とナット部材５とが上下方向の自由度
を持って連結されている。また搬送テーブル７に対して
は、該搬送テーブル７の長孔１４を通じて前記ねじ孔１
８，１８にそれぞれスタッド１９，１９をねじ付けるこ
とにより、これらのスタッド１９，１９を介してこれら
の搬送テーブル７と連結部材８とが、前記長孔１４，１
４の長さの範囲内で送りねじ４の軸線方向に相対的に変
移自在なるように連結されている。
【００１６】前記搬送テーブル７の前端部には、送りね
じ４が貫通するばね受け２２がねじ２７で連結され、こ
れに対して前記ナット部材５の前端部には、円環状をし
たばね座２３が当接され、これらのばね受け２２とばね
座２３との間にばね手段２４が介設されている。このば
ね手段２４としてコイルばねが示されているが、板ばね
であっても、スポンジ体のような弾性体であっても、気
体の圧縮性を利用するものであっても良い。
【００１７】図中２５ａ，２５ｂは、前記搬送テーブル
７の前進端を規定するために該搬送テーブル７の前端面
と前方の軸受部材３ａとに取り付けたストッパ、２６
ａ，２６ｂは、該搬送テーブル７の後進端を規定するた
めに該搬送テーブル７の後端面と後方の軸受部材３ｂと
に取り付けたストッパである。
【００１８】前記ベース２の後端部には、前記送りねじ
４を駆動回転するための駆動源として、駆動パルスによ
り回転量を制御可能なステッピングモータ２８が取り付
けられ、このステッピングモータ２８と前記送りねじ４
とが伝動機構２９を介して相互に接続されている。この
伝動機構２９は、前記ステッピングモータ２８の出力軸
２８ａと送りねじ４の端部とにそれぞれ取り付けられた
プーリー３０ａ，３０ｂを、タイミングベルト３１で相
互に連結するものである。
【００１９】前記構成を有する電動アクチュエーター１
Ａにおいて、搬送テーブル７が図１〜３の場合とは反対
側の後退端か又は中間部に設定された初期位置に移動し
ている状態で、その上にワークＷが載置されると、ステ
ッピングモータ２８が正回転し、送りねじ４の正回転に
よりナット部材５が前進すると共に、このナット部材５
にばね手段２４を介して係合する前記搬送テーブル７も
前進し、ワークＷが搬送される。そして、前記搬送テー
ブル７がワーク搬送端まで前進すると、前記ワークＷが
対象物に当接するため、前記搬送テーブル７はその位置
に停止するが、ナット部材５はばね手段２４を撓ませな
がらオーバーランし、それに伴ってステッピングモータ
２８も緩衝的にオーバー回転して停止する。そこでこの
とき、駆動パルスのパルス数をステッピングモータ２８
がオーバー回転できる範囲内に設定しておくと共に、そ
の範囲内で前記ばね手段２４が撓んでもステッピングモ
ータ２８がオーバーロードにならないように該ばね手段
２４の弾発力を設定しておくことにより、該ステッピン
グモータ２８と駆動パルスと間の脱調による同期不良を
防止することができる。また、前記ばね手段２４の撓み
により蓄積される弾発力によって搬送テーブル７に、搬
送端においてワークＷを対象物に押し付けるのに必要な
推力を作用させることができる。
【００２０】ワークＷの組み付けや加工等の処理が終了
して該ワークＷが搬送テーブル７から取り除かれると、
ステッピングモータ２８の逆回転により送りねじ４が逆
回転し、ナット部材５及び搬送テーブル７が初期位置ま
で後退する。このときこれらのナット部材５と搬送テー
ブル７とは、連結部材８とスタッド１９及び長孔１４を
介して直接係合する。
【００２１】図９及び図１０は本発明の第２実施例を示
すもので、この第２実施例の電動アクチュエーター１Ｂ
は、ワーク搬送端における搬送テーブル７とナット部材
５との相対的な変移を測定手段３５で測定することによ
ってばね手段２４の撓み量を測定し、その測定信号か
ら、ばね手段２４の撓み量が限界値を越える直前、換言
すればステッピングモータ２８がオーバーロードにより
脱調する直前に、このステッピングモータ２８を停止さ
せ得るようにしている点で前記第１実施例と相違してい
る。
【００２２】すなわち、この電動アクチュエーター１Ｂ
には、搬送テーブル７の一方の側面にセンサー取付用の
金具３６が取り付けられ、この金具３６に形成されてい
る取付溝３７内にオートスイッチ等の磁気センサー３８
が嵌め付けられている。これに対してナット部材５側に
は、２つのスタッド１９，１９に永久磁石３９が取り付
けられ、この永久磁石３９と前記磁気センサー３８とが
互いに近接する位置に配置され、これらの永久磁石３９
と磁気センサー３８とによって前記測定手段３５が形成
されている。
【００２３】ここで、前記スタッド１９，１９は連結部
材８に固定されていて、この連結部材８が、送りねじ４
の軸線方向にはナット部材５と固定的な関係にあるが搬
送テーブル７とは相対的に移動自在な関係にあるため、
前記の如く搬送テーブル７とスタッド１９，１９との相
対的な変移を検出することによって、搬送テーブル７と
ナット部材５との相対的な位置変移すなわちばね手段２
４の撓み量を測定することができる。このような測定手
段３５を用いる場合に、前記ばね手段２４の弾発力をス
テッピングモータ２８が脱調する推力より弱く設定する
こともできる。
【００２４】この第２実施例の前記以外の構成及び作用
については実質的に第１実施例と同じであるから、重複
した説明を避けるため、それらの主要な同一構成部分に
同一符号を付して説明は省略する。
【００２５】なお、前記測定手段３５は、上述したよう
な永久磁石３９と磁気センサー３８とからなるものに限
らず、磁性部と非磁性部とを一定間隔に並べて配置した
磁気スケールと、この磁気スケールの目盛を読み取る磁
気センサーとからなるものであっても良い。この場合、
磁気スケール及び磁気センサーの何れを搬送テーブル７
側又はナット部材５側に取り付けるかは任意である。
【００２６】図１１〜図１５は本発明の第３実施例を示
すもので、この第３実施例の電動アクチュエーター１Ｃ
が前記第１実施例と相違する点は、第１実施例ではナッ
ト部材５の前端部と搬送テーブル７の前端部との間に１
つのばね手段２４を設けることにより、これらのナット
部材５と搬送テーブル７とを、前進ストローク時にのみ
前記ばね手段２４で弾力的に連結させるように構成して
いるのに対し、この第３実施例では、ナット部材５と搬
送テーブル７との前端部間及び後端部間にそれぞればね
手段２４ａ，２４ｂを設けることにより、これらのナッ
ト部材５と搬送テーブル７とを、前後進の両方のストロ
ーク時にそれぞればね手段２４ａ，２４ｂで弾力的に連
結されるように構成していることである。
【００２７】すなわち、図１１及び図１２に示すよう
に、搬送テーブル７の前後両端部にそれぞれ送りねじ４
が貫通するばね受け２２ａ，２２ｂが連結されると共
に、ナット部材５の前後両端部に円環状をしたばね座２
３ａ，２３ｂが該ナット部材５に接離自在なるように配
置され、これらの各ばね受け２２ａ，２２ｂとばね座２
３ａ，２３ｂとの間にそれぞれ前記ばね手段２４ａ，２
４ｂが介設されている。このうち前側のばね座２３ａに
は、該ばね座２３ａとばね受け２２ａとの間の離間距離
（従ってばね手段２４ａの伸長長さ）を規制するための
スリーブ４１の基端部がねじ付けにより固定され、この
スリーブ４１の先端はばね受け２２ａの内部のねじ挿通
孔４２内に摺動自在に嵌入し、その先端にフランジ状の
係止部４１ａが形成されると共に、ねじ挿通孔４２の端
部にこの係止部４１ａが係止する小径部４２ａが設けら
れている。そして、図１５に示すように、前記ばね座２
３ａがばね受け２２ａから最大距離離間したとき、前記
スリーブ４１の先端の係止部４１ａがねじ挿通孔４２の
小径部４２ａに係止してそれ以上の離間が規制されるよ
うになっている。また、前記２つのばね手段２４ａ，２
４ｂは、前側のばね手段２４ａが後ろ側のばね手段２４
ｂより大きい弾発力を有するように関係付けられてい
る。
【００２８】なお、この第３実施例における前記以外の
構成については実質的に第１実施例と同じであるから、
それらの主要な同一構成部分に同一符号を付して説明は
省略する。
【００２９】前記構成を有する第３実施例の電動アクチ
ュエーター１Ｃにおいて、非動作状態で搬送テーブル７
は、図１３に示す中間の初期位置にある。このとき、ス
リーブ４１の先端の係止部４１ａがねじ挿通孔４２の小
径部４２ａに係止することにより、前側のばね座２３ａ
とばね受け２２ａとは最大距離離間した状態にある。一
方、後ろ側のばね手段２４ｂは、やや圧縮された状態に
ある。
【００３０】この状態で前記搬送テーブル７上にワーク
Ｗが搭載され、ステッピングモータ２８が正回転する
と、送りねじ４が正回転することによりナット部材５が
前進すると共に、このナット部材５に前側のばね手段２
４ａを介して係合することにより前記搬送テーブル７も
前進し、ワークＷが搬送される。そして、図１４に示す
ように、前記搬送テーブル７がワークＷの搬送端まで前
進すると、前記ワークＷが対象物に当接するため、前記
搬送テーブル７はその位置に停止するが、ナット部材５
は前側のばね手段２４ａを撓ませながらオーバーラン
し、それに伴ってステッピングモータ２８も緩衝的にオ
ーバー回転して停止する。そこで、前記第１実施例の場
合と同様に、駆動パルスのパルス数をステッピングモー
タ２８がオーバー回転ができる範囲内に設定しておくと
共に、その範囲内で前記ばね手段２４ａが撓んでもステ
ッピングモータ２８がオーバーロードにならないように
該ばね手段２４ａの弾発力を設定しておくことにより、
該ステッピングモータ２８と駆動パルスと間の脱調によ
る同期不良を防止することができる。また、前記ばね手
段２４ａの撓みにより蓄積される弾発力によって搬送テ
ーブル７に、ワークＷのの搬送端において該ワークＷを
対象物に押し付けるのに必要な推力を作用させることが
できる。
【００３１】ワークＷの組み付けや加工等の処理が終了
して該ワークＷが搬送テーブル７から取り除かれると、
ステッピングモータ２８の逆回転により送りねじ４が逆
回転し、ナット部材５及び搬送テーブル７が初期位置ま
で後退する。
【００３２】また、前記初期位置にある搬送テーブル７
上にワークＷが搭載されたあとステッピングモータ２８
が逆回転すると、送りねじ４が逆回転することによりナ
ット部材５が後退すると共に、前記搬送テーブル７もこ
のナット部材５に後ろ側のばね手段２４ｂを介して係合
することにより後退し、ワークＷが逆向きに搬送され
る。そして、図１５に示すように、前記搬送テーブル７
が後退方向の搬送端まで移動すると、前記ワークＷが対
象物に当接するため、前記搬送テーブル７はその位置に
停止するが、ナット部材５は後ろ側のばね手段２４ｂを
撓ませながらオーバーランし、それに伴ってステッピン
グモータ２８も緩衝的にオーバー回転して停止する。こ
のとき、前側のばね手段２４ａは、スリーブ４１によっ
てばね座２３ａの移動が規制されるため、初期状態以上
に伸長することはなく、従って、後進ストローク時に前
側のばね手段２４ａが影響を及ぼさない。かくして後退
ストローク端においても、前記前進ストローク端の場合
と同様にしてステッピングモータ２８の脱調による同期
不良を防止することができると共に、ばね手段２４ｂの
撓みによってワークＷを対象物に押し付けるのに必要な
推力を得ることができる。
【００３３】なお、前記第３実施例においても、少なく
とも前後何れか一方の搬送ストローク端において、前記
第２実施例と同様に、搬送テーブル７とナット部材５と
の相対的変移を測定手段で測定することによって、ステ
ッピングモータ２８がオーバーロードにより脱調する直
前にこのステッピングモータ２８を停止させるように構
成することができる。
【００３４】また、前記各実施例では、搬送テーブル７
とナット部材５とを結合する連結部材８が、搬送テーブ
ル７に対しては送りねじ４の軸線方向への自由度を持っ
て係合し、かつナット部材５に対しては送りねじ４の軸
線と直行する方向への自由度を持って係合しているが、
その逆に、ナット部材５に対しては送りねじ４の軸線方
向への自由度を持って係合し、搬送テーブル７に対して
は送りねじ４の軸線と直行する方向への自由度を持って
係合していても良い。
【００３５】
【発明の効果】このように本発明によれば、ステッピン
グモータを駆動源としてワークを搬送する電動アクチュ
エーターを、ばね手段を付設することによって前記ステ
ッピングモータの脱調を防止すると共に、停止状態でワ
ークＷに推力を作用させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る電動アクチュエーターの第１実施
例の正面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線での断面図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ線での断面図である。
【図５】図３のＣ−Ｃ線での断面図である。
【図６】図３における要部を分解して示す部分破断正面
図である。
【図７】図６の各部材を断面にして示す右側面図であ
る。
【図８】図２における要部を破断して示す平面図であ
る。
【図９】本発明に係る電動アクチュエーターの第２実施
例の正面図である。
【図１０】図９におけるＤ−Ｄ線での断面図である。
【図１１】本発明に係る電動アクチュエーターの第３実
施例の断面図である。
【図１２】図１１における要部を分解して示す部分破断
正面図である。
【図１３】第３実施例の動作を説明する初期状態の要部
断面図である。
【図１４】第３実施例の動作を説明する前進側のワーク
搬送端での断面図である。
【図１５】第３実施例の動作を説明する後退側のワーク
搬送端での断面図である。
【符号の説明】
Ｗ ワーク １Ａ，１Ｂ，１Ｃ 電動アクチュエーター ２ ベース ２ａ 溝壁 ３ａ，３ｂ 軸受部材 ４ 送りねじ ５ ナット部材 ７ 搬送テーブル ７ａ 側壁 ８ 連結部材 １０ リニアガイド機構 １３ ボール ２２，２２ａ，２２ｂ ばね受け ２３，２３ａ，２３ｂ ばね座 ２４，２４ａ，２４ｂ ばね手段 ２８ ステッピングモータ ２９ 伝動機構 ３５ 測定手段

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ベース上の軸受部材に回転自在に支持され
    た直棒状の送りねじと、 前記送りねじにねじ結合されて該送りねじの正逆回転に
    よりその軸線方向に往復移動するナット部材と、 前記ナット部材に送りねじの軸線方向への自由度を持っ
    て結合され、該ナット部材に追随して変移することによ
    ってワークを搬送する搬送テーブルと、 駆動パルスのパルス数に応じて回転量を制御可能なステ
    ッピングモータと、 前記ステッピングモータの回転力を前記送りねじに伝え
    る伝動機構と、 前記ナット部材と搬送テーブルとの間に介設され、該搬
    送テーブルによるワークの搬送時にこれらの搬送テーブ
    ルとナット部材とを弾力的に結合することにより、前記
    搬送テーブルがワークの搬送端に到達したあとに前記ナ
    ット部材のオーバーランを可能にして前記ステッピング
    モータを緩衝的にオーバー回転させると共に、該搬送テ
    ーブルに必要な推力を作用させるばね手段と、を備えて
    いることを特徴とする電動アクチュエーター。
  2. 【請求項２】請求項１に記載の電動アクチュエーターに
    おいて、前記ベースが上面開放の溝形断面を有してい
    て、該溝の中央部を前記送りねじが軸線方向に延びてお
    り、また、前記ナット部材が短柱形をしていて、前記ベ
    ースの溝内を移動するように送りねじに結合され、さら
    に、前記搬送テーブルが溝形断面を有していて、前記ベ
    ースの上面に、ナット部材を覆うと共に該ベースをガイ
    ドとして移動自在なるように配設され、該搬送テーブル
    と前記ナット部材との間に両者を結合する連結部材が、
    搬送テーブル及びナット部材の何れか一方には送りねじ
    の軸線方向への自由度を持って係合すると共に、他方に
    は送りねじの軸線と直行する方向への自由度を持って係
    合するように介設されていることを特徴とするもの。
  3. 【請求項３】請求項２に記載の電動アクチュエーターに
    おいて、前記搬送テーブルの両側壁とベースの両溝壁と
    の間に、複数の転動自在のボールからなるリニアガイド
    機構が介設されていることを特徴とするもの。
  4. 【請求項４】請求項１から３までの何れかに記載の電動
    アクチュエーターにおいて、前記搬送テーブルが、軸線
    方向の少なくとも一端側に送りねじが貫通するばね受け
    を有し、このばね受けと前記ナット部材との間に前記ば
    ね手段が介設されていることを特徴とするもの。
  5. 【請求項５】請求項１から４までの何れかに記載の電動
    アクチュエーターにおいて、前記搬送テーブルに、ワー
    ク搬送端における該搬送テーブルとナット部材との相対
    的変移を測定するための測定手段が付設されていること
    を特徴とするもの。
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