KR20200078438A - 광학 부재의 검사 방법, 광학 제품의 제조 방법 및 광학 부재의 검사 장치 - Google Patents
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Abstract
광학 부재를 피검사물로 하여 광원부와 촬상부를 갖는 검사 장치에 공급하고, 특정한 배치를 한 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 상기 광학 부재를 통과시켜 당해 광학 부재의 검사를 행한다.
Description
본 발명은 광학 부재의 검사 방법, 광학 제품의 제조 방법 및 광학 부재의 검사 장치에 관한 것이며, 보다 상세하게는 피검사물에 광을 조사하는 광원부와 상기 광원부에 의해 광이 조사된 부분을 반대측으로부터 촬상하는 촬상부를 갖는 검사 장치, 상기 검사 장치로 광학 부재를 검사하는 방법, 및 상기 검사된 광학 부재를 사용한 광학 제품의 제조 방법에 관한 것이다.
종래, 화상 표시 장치 등의 광학 제품에 적용되는 광학 필름으로서 편광 필름(편광판)이 사용되고 있다.
이 편광 필름은, 광학 필름 메이커에 있어서, 예를 들어 그 적어도 한쪽 면 위에 점착층을 개재하여 보호 필름이 적층된 필름 적층체의 상태로 제품화되어 있다.
그리고, 편광 필름은, 광학 제품 메이커에 있어서, 상기 보호 필름이 박리되어 화상 표시 장치 등에 조립되어 있다.
그런데, 편광 필름은 통상 연속적으로 제작되어 긴 띠 형상으로 되어 있다.
그리고, 편광 필름은 점착층을 개재하여 적어도 한쪽 면에 상기 보호 필름이 적층된 필름 적층체로 되고, 또한 이 필름 적층체가 롤 형상으로 권취된 원재료 롤이라고 불리는 형태로 일단 보관된다.
그 후, 편광 필름은 펀칭 등에 의해 상기 원재료 롤로부터 소정 형상을 갖는 시트편으로 가공되고, 상기 시트편이 광학 제품에 조립되기 위한 제품이 된다.
또한, 상기 원재료 롤은 반드시 전체면에 걸쳐 양품으로 되어 있다고는 할 수 없으며, 통상, 상기 펀칭 전에 검사 장치를 거치면서 결함 부분의 검출이 행해진다.
이 원재료 롤과 같은 시트 형상의 광학 부재를 검사하는 검사 장치로서는 광원부와 촬상부를 갖는 것이 알려져 있으며, 상하로 대향 배치된 촬상부와 광원부 사이에서 피검사물인 광학 부재를 수평 방향으로 통과시키면서 상기 광학 부재에 하면측으로부터 상기 광원부에 의해 광 조사하고, 상기 광 조사 부분을 광학 부재의 상측으로부터 상기 촬상부에서 촬상하여 결함을 검출하는 타입의 것이 알려져 있다(하기 특허문헌 1 참조).
또한, 광학 부재를 수평으로 하여 검사를 행하는 것이 아니라, 광학 부재의 이동 방향이 수직 방향이 되는 검사 방법도 알려져 있다(하기 특허문헌 2 참조).
즉, 종래의 광학 제품의 제조 방법에 있어서는, 시트 형상의 광학 부재의 결함을 검출하는 공정, 및 상기 공정 후의 광학 부재로부터 상기 광학 부재보다 소형의 시트편을 잘라내는 공정이 실시되고, 상기 시트편을 사용하여 광학 제품이 제조되고 있다.
그리고, 상기 광학 부재의 결함을 검출하는 공정은, 통상, 상기 광학 부재에 대한 상기 광원부로부터의 광 조사 부분을 고정함과 함께, 상기 광 조사 부분을 상기 촬상부에 의한 촬상 부분으로 하고, 상기 촬상부와 상기 광원부 사이를 광학 부재를 통과시킴으로써 상기 광학 부재의 길이 방향을 따라 순서대로 결함을 검출하는 방법으로 행해지고 있다.
상기와 같은 검사 장치를 사용한 검사 방법에 있어서는, 당연히 촬상부에 의한 촬상 후에 광학 부재에 부착된 부착물은 당해 검사 장치에 의해 검지할 수 없다.
따라서, 부착물이 최종적인 광학 제품에 혼입되어 광학 제품의 수율이 저하하는 것을 방지하는 측면에서, 상기 촬상 부분을 통과한 후에 부착물을 발생시키지 않을 것이 요구된다.
특히, 광학 부재가 최표면에 점착층을 갖고, 또한 상기 점착층의 배면측에 상기 편광 필름이 적층된 적층체이며, 상기 광원부와 상기 촬상부 사이에서 상기 점착층을 상면측으로 하여 통과시키는 형태에 있어서는, 점착층의 표면 점착력에 의해 부착물이 탈락하기 어려워, 촬상 후에 부착된 부착물이 자연스럽게 광학 부재로부터 탈락하는 것을 기대하기가 곤란하다.
따라서, 이러한 형태에 있어서는, 상기 촬상 후에 부착물을 발생시키지 않는 것이 특히 강하게 요구된다.
이러한 요망에 대하여, 상기 특허문헌 2(일본 특허 공개 제2009-069142)에 개시되어 있는 바와 같이, 점착층과 편광 필름의 적층체의 이동 방향을 수직 방향으로 하여 검사를 행하여, 촬상 후의 부착물의 발생을 방지하는 것을 고려할 수 있다.
그러나, 그러한 검사 방법은, 적층체의 이동 방향이 수직이 되기 때문에 장치 높이가 높아져, 작업성을 저하시킬 우려가 있기 때문에 채용하기가 어렵다.
또한, 촬상 후에 부착물을 발생시키지 않는 것이 요구되는 것은, 점착층을 갖는 것에서 사용되는 편광 필름에 한정되는 것이 아니라, 그 밖의 광학 필름에 대해서도 마찬가지이다.
그러나, 종래의 광학 부재의 검사 방법에 있어서는, 상기와 같은 요망이 충분히 충족되지 않아, 광학 제품의 제조에 있어서 종래 이상으로 수율을 향상시키기가 곤란하게 되어 있다.
본 발명은 이러한 문제를 해결하는 것을 과제로 하고 있으며, 검사 장치 자체, 혹은 상기 검사 장치를 포함하는 광학 부재의 제조 라인의 설비 높이가 높아지는 것을 억제하면서도, 상기 촬상 후에 광학 부재에 부착물이 발생하는 것을 억제시킬 수 있는 광학 부재의 검사 방법을 제공하고, 나아가 광학 제품의 제조에서의 수율을 향상시키는 것을 과제로 하고 있다.
본 발명자는 상기 과제를 해결하기 위하여 예의 검토한바, 촬상부나 광원부로부터 미소한 이물이 발생되는 일이 있어, 이것이 촬상부에 의한 촬상 부분을 통과한 후의 광학 부재에의 부착물의 원인이 되는 경우가 있다는 것, 및 광학 부재의 상측에 위치하는 촬상부 또는 광원부를 상기 촬상 부분의 바로 위보다 상류측에 위치시키는 것이 상기 부착물의 억제에 유효하다는 것을 알아내어, 본 발명을 완성시키기에 이른 것이다.
즉, 상기 과제를 해결하기 위한 광학 부재의 검사 방법에 관한 본 발명은, 시트 형상의 광학 부재를 피검사물로 하여 광원부와 촬상부를 갖는 검사 장치에 공급하고, 상기 광학 부재를 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과시키면서 상기 광학 부재의 일면측에 상기 광원부로부터 광을 조사하고, 또한 상기 광이 조사된 부분을 상기 광학 부재의 타면측으로부터 상기 촬상부에서 촬상하여 상기 광학 부재의 결함을 검출하는 광학 부재의 검사 방법이며, 상기 광학 부재를 수평 상태 또는 수평 방향에 대하여 경사지게 한 상태로 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과시키고, 또한 상기 광원부 및 상기 촬상부 중 상기 광학 부재의 상측에 위치하는 것을 상기 촬상부에 의한 광학 부재의 촬상 부분의 바로 위보다 상기 광학 부재의 이동 방향 상류측에 위치시켜 상기 결함의 검출을 실시하는 것을 특징으로 하고 있다.
또한, 상기 과제를 해결하기 위한 광학 제품의 제조 방법에 관한 본 발명은, 시트 형상의 광학 부재를 피검사물로 하여 광원부와 촬상부를 갖는 검사 장치에 공급하고, 상기 광학 부재를 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과시키면서 상기 광학 부재의 일면측에 상기 광원부로부터 광을 조사하고, 또한 상기 광이 조사된 부분을 상기 광학 부재의 타면측으로부터 상기 촬상부에서 촬상하여 상기 광학 부재의 결함을 검출하는 공정, 및 상기 공정 후의 광학 부재로부터 상기 광학 부재보다 소형인 시트편을 잘라내는 공정을 실시하고, 상기 시트편을 사용하여 광학 제품을 제조하는 광학 제품의 제조 방법이며, 상기 광학 부재의 결함을 검출하는 상기 공정에서는, 상기 광학 부재를 수평 상태 또는 수평 방향에 대하여 경사지게 한 상태로 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과시키고, 또한 상기 광원부 및 상기 촬상부 중 상기 광학 부재의 상측에 위치하는 것을 상기 촬상부에 의한 광학 부재의 촬상 부분의 바로 위보다 상기 광학 부재의 이동 방향 상류측에 위치시켜 상기 결함의 검출을 실시하여, 시트편을 잘라내는 상기 공정에서는, 광학 부재의 결함이 발견되지 않은 부분으로부터 상기 시트편을 잘라내는 것을 특징으로 하고 있다.
또한, 상기 과제를 해결하기 위한 검사 장치에 관한 본 발명은, 시트 형상의 광학 부재를 검사하기 위하여 사용되고, 광원부와 촬상부를 갖고, 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과하는 상기 광학 부재의 일면측에 상기 광원부로부터 광이 조사되고, 상기 광이 조사된 부분이 상기 광학 부재의 타면측으로부터 상기 촬상부에서 촬상되어 결함이 검출되는 광학 부재의 검사 장치이며, 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과하는 광학 부재가 수평 상태 또는 수평 방향에 대하여 경사진 상태가 되도록 상기 광학 부재의 이동 경로가 형성되어 있고, 또한 상기 광원부 및 상기 촬상부 중 상기 광학 부재의 상측에 위치하는 것이 상기 촬상부에 의한 광학 부재의 촬상 부분의 바로 위보다 상기 광학 부재의 이동 방향 상류측에 위치하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명에 따르면, 검사 장치의 촬상부 및 광원부 중, 광학 부재의 상측에 위치하는 것이 상기 촬상부에 의한 광학 부재의 촬상 부분의 바로 위보다 광학 부재의 이동 방향 상류측에 위치된다.
따라서, 본 발명에 따르면 촬상부에서 검지되지 않은 부착물이 최종적인 광학 제품에 혼입되는 것을 억제할 수 있다.
그리고, 본 발명은 그에 의해 광학 제품의 수율이 저하되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 촬상부와 광원부 사이에 있어서 광학 부재를 수직 방향으로 이동시키지 않기 위하여 검사 장치 자체나 광학 부재의 제조 설비의 높이가 높아져 버리는 것을 억제할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서는, 상기와 같은 효과를 보다 현저하게 발휘시키는 측면에서, 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과하는 상기 광학 부재를 이동 방향을 향하여 끝이 올라가는 경사 상태로 하여 상기 결함의 검출을 실시하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 있어서는, 상기 광원부나 상기 촬상부를 광학 부재에 접근시킨 배치로 하기 쉬워 공간 절약화에 유효해지는 측면에서, 상기 광원부와 상기 촬상부를 연결하는 선분이, 상기 광학 부재의 이동 방향에 대하여 직교하는 방향이 되도록 상기 광원부와 상기 촬상부를 배치하여 상기 결함의 검출을 실시하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 있어서는, 상기 광학 부재가 최표면에 점착층을 갖고, 또한 상기 점착층의 배면측에 편광 필름이 적층된 적층체이며, 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 상기 점착층을 상면측으로 하여 상기 광학 부재를 통과시키는 경우에, 촬상부에서 검지되지 않은 부착물이 최종적인 광학 제품에 혼입되는 것을 억제하는 효과를 보다 현저하게 발휘시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 검사 방법이 적용되는 광학 부재의 구성을 도시한 개략 사시도.
도 2는 본 발명의 검사 방법이 실시되는 설비의 개략을 도시한 개략 설비도.
도 3은 도 2의 주요부를 확대하여 도시한 주요부 확대도.
도 2는 본 발명의 검사 방법이 실시되는 설비의 개략을 도시한 개략 설비도.
도 3은 도 2의 주요부를 확대하여 도시한 주요부 확대도.
이하에, 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대하여 설명한다.
우선, 본 발명의 검사 방법이 적용되는 광학 부재의 구성을 도시한 도 1을 참조하면서 당해 광학 부재에 대하여 설명한다.
본 발명의 실시 형태에 관한 상기 광학 부재는, 적어도 광학 필름을 구비한 시트 형상의 광학 부재이며, 상기 광학 필름을 포함하는 복수의 필름을 포함하는 필름 적층체이다.
상기 필름 적층체는, 도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 긴 띠 형상의 광학 필름(fx)과, 상기 광학 필름(fx)의 양면을 보호하기 위한 2매의 보호 필름(fy, fz)을 갖는다.
상기 필름 적층체(f0)에서의 2매의 상기 보호 필름(fy, fz)은, 광학 필름(fx)과 동일 형상을 갖고, 각각 점착층(a1, a2)을 개재하여 광학 필름(fx)에 접착되어 있다.
따라서, 본 실시 형태에서의 필름 적층체(f0)는, 평면 형상이 광학 필름(fx)과 동일 형상이고, 두께가 광학 필름(fx)보다 두껍고, 도 1의 위에서부터 보호 필름(fy), 점착층(a1), 광학 필름(fx), 점착층(a2) 및 보호 필름(fz)의 순서가 되는 층 구성을 갖고 있다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는, 2매의 상기 보호 필름(fy, fz)은 양쪽 모두 검사 장치에서의 검사 전에 광학 필름(fx)으로부터 박리된다.
보다 상세하게 설명하면, 상기 보호 필름(fy, fz) 중, 상측의 보호 필름(fy)은 광학 필름(fx)과의 사이의 점착층(a1)(이하, 「제1 점착층(a1)」이라고도 함)의 표면으로부터 검사 전에 박리된다.
한편, 하측의 보호 필름(fz)은, 광학 필름(fx)과의 사이의 점착층(a2)(이하, 「제2 점착층(a2)」이라고도 함)을 수반하여 점착층을 갖는 보호 필름(fb)이 되어 검사 전에 광학 필름(f0)의 표면으로부터 박리된다.
또한, 이하에 있어서, 단순히 「보호 필름」이라고 칭하는 경우에는, 특별히 언급이 없는 한 점착층을 갖는 보호 필름(fb)이 되어 광학 필름(fx)으로부터 박리되는 하측의 보호 필름(fz)을 의미하는 것으로 하고, 제1 점착층(a1)의 표면으로부터 박리되는 상측의 보호 필름(fy)은, 「제1 보호 필름(fy)」 또는 「세퍼레이터(fy)」라고 칭하여 하측의 보호 필름(fz)과 구별하기로 한다.
또한, 이하에 있어서는, 보다 구별이 명확해지도록 하측의 보호 필름(fz)을 「제2 보호 필름(fz)」이라고 칭하는 경우가 있다.
상기와 같이 본 실시 형태에 있어서는, 검사 장치에서의 검사는 점착층을 갖는 보호 필름(fb)과 세퍼레이터(fy)가 광학 필름(fx)으로부터 제거되어 실시된다.
따라서, 본 실시 형태에 있어서 검사 장치로 검사되는 피검사물은, 상기 제1 점착층을 최표면에 구비하고, 상기 제1 점착층(a1)의 배면측에 상기 광학 필름(fx)이 적층된 적층체(fa)가 된다.
본 실시 형태의 검사 방법을 실시하는 적층체(fa)를 구성하는 상기 광학 필름(fx)은, 예를 들어 중합체 필름간에 편광자가 끼워져 이루어지는 편광 필름으로 할 수 있다.
계속해서, 이 광학 필름(fx)과 점착층이 적층되어 이루어지는 적층체(fa)의 결함 부분을 검사하기 위한 설비에 대하여 도 2, 3을 참조하면서 설명한다.
도 2는 상기 적층체(fa)의 이동 방향에 대하여 측방으로부터 설비를 본 모습을 도시하는 것이다.
이 도 2에도 도시되어 있는 바와 같이, 상기 설비에는 필름 적층체(f0)가 롤 형상으로 권취되어 이루어지는 원재료 롤이 장착되고, 상기 원재료 롤의 외측으로부터 상기 필름 적층체(f0)가 풀어내어지는 송출기(1)가 구비되어 있다.
또한, 당해 설비에는, 상기 제2 보호 필름(fz)과 상기 제2 점착층(a2)의 적층체인 점착층을 갖는 보호 필름(fb)을 상기 송출기(1)로부터 풀어내어진 필름 적층체(f0)로부터 박리하여 권취하는 보호 필름 권취기(2)가 구비되어 있다.
또한, 당해 설비에는, 상기 필름 적층체(f0)로부터 세퍼레이터(fy)를 더 박리하여 권취하기 위한 세퍼레이터 권취기(3), 및 점착층을 갖는 보호 필름(fb)과 세퍼레이터(fy)가 필름 적층체(f0)로부터 박리 제거되어 얻어진 적층체(fa)를 피검사물로 하여 검사를 행하는 검사 장치(10)가 구비되어 있다.
또한, 도시하지 않았지만, 상기 설비는, 상기 검사 장치(10)에 의해 찾아낸 결함 부분을 마킹하여 명시하기 위한 마킹 장치를 상기 검사 장치(10)의 하류측에 구비하고 있다.
상기 검사 장치(10)는, 적층체(fa)의 결함 부분을 찾아내기 위한 촬상부(11)와, 상기 촬상부(11)에 의한 촬상 부분에 배면측으로부터 광을 조사하기 위한 광원부(12)를 갖고 있다.
상기 검사 장치(10)는, 본 실시 형태에 있어서는 흠집 부분, 박육 부분, 핀 홀 부분, 이물 부착 부분, 이들 이외를 원인으로 하여 허용 범위를 초과하여 편광 특성이 주위와 상이한 부분 등을 결함 부분으로서 검지할 수 있도록 구성되어 있다.
상기 검사 장치(10)의 상기 촬상부(11)는, 예를 들어 라인 센서 카메라나 에어리어 센서 카메라 등에 의해 구성시킬 수 있다.
상기 라인 센서 카메라나 에어리어 센서 카메라는 단독으로 사용될 필요는 없고, 복수대를 적층체(fa)의 폭 방향(대략 수평 방향)으로 배열 배치하여 촬상부(11)를 형성시키도록 하여도 된다.
또한, 요컨대 상기 촬상부(11)는 다른 기능을 갖는 복수대의 기기에 따라 구성되어도 된다.
상기 광원부(12)는 형광등, 할로겐 램프, 메탈 할라이드 램프, LED 등을 사용하여 형성시킬 수 있다.
상기 광원부(12)도, 상기 촬상부(11)와 마찬가지로 형광등, 할로겐 램프, 메탈 할라이드 램프, LED 등이 적층체(fa)의 폭 방향으로 복수 배열되어 형성되어도 되며, 그 경우에 동일한 광원을 배열하여 배치할 필요가 없는 점에 대해서도 촬상부(11)와 동일하다.
본 실시 형태의 검사 장치(10)는, 상기 촬상부(11)와 상기 광원부(12)가 수직 방향으로 고저차를 두고 설치되며, 보다 상세하게는 상기 촬상부(11)가 상기 광원부(12)보다 상위에 배치되어 있다.
그리고, 본 실시 형태의 검사 장치(10)는, 상기 촬상부(11)와 상기 광원부(12)가 수평 방향으로 위치 어긋나 설치되어 있다.
즉, 상기 촬상부(11)는, 상기 광원부(12)의 바로 위에 배치되어 있는 것이 아니라, 상기 광원부(12)의 비스듬하게 상측에 배치되어 있다.
그리고, 본 실시 형태의 검사 장치(10)에는, 피검사물인 상기 적층체(fa)가 상기 촬상부(11)와 상기 광원부(12) 사이를 통과하도록 상기 적층체(fa)의 이동 경로가 형성되어 있고, 상기 이동 경로는 촬상부(11)와 광원부(12) 사이를 상기 통과하는 적층체(fa)를 이동 방향을 향하여 끝이 올라가는 경사 상태로 할 수 있도록 구성되어 있다.
그리고, 상기 촬상부(11)와 상기 광원부(12)는, 이들을 연결하는 선분이 촬상부(11)와 상기 광원부(12) 사이를 통과하는 상기 적층체(fa)와 직교하도록 배치되어 있다.
즉, 상기 촬상부(11)에 의한 상기 적층체(fa)의 촬상 부분은, 상기 촬상부(11)로부터 적층체 표면에 대하여 수선이 되도록 그린 가상선(도 2의 X1)과 당해 적층체(fa)와의 교점을 통과하여, 적층체(fa)의 폭 방향에 평행한 직선 형상의 영역(도 3의 A)이 된다.
또한, 여기에서는 촬상 부분을 가는 직선 형상의 것으로서 예시하고 있지만, 본 실시 형태에서의 촬상 부분은 이러한 형상에 한정되는 것은 아니다.
즉, 촬상되는 영역은, 당연히 상기 촬상부(11)를 구성하는 기기에 따라 넓이나 형상 등이 상이하며, 예를 들어 상기 라인 센서 카메라로 상기 촬상부(11)를 구성한 경우에는 도 3에 도시한 바와 같은 세선 형상의 영역이 되고, 상기 에어리어 센서 카메라로 촬상부(11)를 구성한 경우에는 라인 센서 카메라를 사용한 경우보다 폭 넓게 형성되게 되지만, 본 실시 형태에 있어서는 당해 영역의 형상이 특별히 한정되는 것은 아니다.
상기 광원부(12)는, 그 광 조사가 적어도 이 촬상 부분(A)의 이측에 대하여 충분한 조도로 실시되도록 검사 장치(10)에 배치되어 있다.
이 검사 장치(10)를 사용한 적층체(fa)의 검사 방법에 있어서는, 상기 적층체(fa)는 피검사물로 하여 상기 검사 장치(10)에 공급되고, 상기 광원부(12)와 상기 촬상부(11) 사이를 통과할 때, 그 하면측에 상기 광원부(12)로부터 광이 조사되고, 또한 상기 광이 조사된 부분이 반대측으로부터 상기 촬상부(11)에서 촬상되어 결함이 검출된다.
나아가, 광원부(12)와 촬상부(11) 사이를 상기 통과하는 적층체(fa)를 이동 방향을 향하여 끝이 올라가는 경사 상태로 함으로써, 상기 적층체(fa)는, 그 상측에 위치하는 상기 촬상부(11)를 촬상 부분(A)의 바로 위보다 상기 이동 방향(D)의 상류측에 위치시켜 상기 결함이 검출된다.
여기에서는, 상기 촬상부(11)는, 그 전체가 상기 촬상 부분(A)의 바로 위(도 3의 가상선(X2))보다 상기 적층체(fa)의 이동 방향 상류측(BW)에 위치되어 있고, 하류측(FW)에는 일부분도 존재하고 있지 않다.
이에 의해, 가령 촬상부(11)를 구성하고 있는 라인 센서 카메라의 외부에 부착되어 있던 진애 등이 적층체(fa) 상에 낙하하거나, 상기 라인 센서 카메라의 내부로부터 미소 이물이 발생하여 이것이 적층체(fa) 상에 낙하하는 일이 있어도, 이것들은 촬상 부분(A)보다 상류측에 낙하할 가능성이 높아진다.
그리고, 상기 미소 이물은 촬상부(11)에서 촬상되어 결함으로서 인식될 수 있다.
따라서, 본 실시 형태의 검사 방법은, 종래의 적층체를 수평으로 이동시키면서 상기 적층체를 바로 위에서 촬상하는 검사 방법에 비하여, 검지되지 않는 결함이 최종 제품의 광학 제품에 혼입될 우려를 저감할 수 있다.
또한, 이러한 효과의 발휘는, 촬상부(11)와 광원부(12)가 바뀌는 경우에 있어서도 동일하게 발휘될 수 있다.
즉, 상기 효과는 광원부와 촬상부 사이에서 상기 통과하는 적층체를 이동 방향을 향하여 끝이 올라가는 경사 상태로 하고, 상기 적층체의 상측에 위치하는 광원부를 상기 촬상부에 의한 적층체의 촬상 부분의 바로 위보다 상기 이동 방향의 상류측에 위치시켜 상기 결함을 검출시킨 경우에도 마찬가지로 발휘될 수 있다.
또한, 상기 효과를 얻는 측면에서, 적층체의 상측에 위치하는 촬상부 또는 광원부를 상기 촬상부에 의한 적층체의 촬상 부분의 바로 위보다 상기 적층체의 이동 방향 상류측에 위치시킴과 함께 상기 적층체를 끝이 올라가는 경사로 하는 것이 특히 유효하게 된다.
이에 대하여 설명하면, 촬상부와 광원부 사이를 통과하는 적층체의 이동 경로를, 이동 방향을 향하여 끝이 내려가는 경사 상태나 수평 상태로 하여도 적층체의 상측에 위치하는 촬상부 또는 광원부를 상기 촬상부에 의한 적층체의 촬상 부분의 바로 위보다 상기 적층체의 이동 방향 상류측에 위치시킴으로써 검지되지 않는 결함이 최종 제품의 광학 제품에 혼입될 우려를 저감시킬 수 있다.
한편, 상기 적층체를 끝이 올라가는 경사로 하는 경우에는, 촬상부와 광원 부를 적층체에 대하여 직교하는 방향에 있어서 대향하도록 배치함으로써, 상기 적층체의 상측에 위치하는 촬상부 또는 광원부는, 촬상 부분의 바로 위보다 상기 적층체의 이동 방향의 상류측에 배치되게 된다.
따라서, 상기 적층체를 끝이 올라가는 경사로 하는 경우에는, 촬상부나 광원부를 적층체에 대하여 접근한 배치로 하면서 촬상 부분의 바로 위보다 상기 적층체의 이동 방향의 상류측에 촬상부나 광원부를 배치시키기 쉽다.
즉, 적층체를 끝이 올라가는 경사로 함으로써, 검사를 위한 공간을 절약화시킬 수 있다.
또한, 적층체의 이동 방향을 수직 방향으로 한 경우에도, 촬상부에 의한 촬상 부분의 바로 위에 당해 촬상부나 상기 광원부를 위치시키지 않고, 촬상부와 광원부를 적층체에 대하여 접근한 배치로 할 수 있다.
그러나, 보호 필름이나 세퍼레이터가 제거된 후의 상기 적층체에 대하여 롤러 등을 접촉시켜 이동 방향의 전환을 행하는 것은 바람직한 것이 아니며, 특히 점착층의 표면에 대해서는 어떠한 부재이든 접촉시키는 것이 극히 곤란하다.
따라서, 적층체의 이동 방향을 수직 방향으로 한 경우, 검사 장치 전후에 배치되는 장치류를 수직 방향으로 배치할 필요성이 높아지는 결과로서 설비의 높이가 높아져 버릴 우려가 있다.
설비 높이가 높아지면, 검사 장치에 피검사물을 세트하거나, 이 검사 장치의 설정을 행하거나 할 때의 작업성을 저하시켜 버릴 우려를 갖는다.
이에 반하여, 적층체를 수평 상태 또는 수평 방향에 대하여 경사지게 한 상태로 하여 촬상부와 광원부 사이를 통과시키도록 하면 설비의 높이가 높아져 버릴 우려를 억제할 수 있다.
즉, 적층체의 각도(앙각)가 0°(수평 상태), -90° 초과 0° 미만(끝이 내려가는 경사), 또는 0° 초과 90° 미만(끝이 올라가는 경사)이 되도록 촬상부와 광원부 사이에서의 적층체의 이동 경로를 설정함으로써, 설비는 그 높이가 필요 이상으로 높아지는 것을 방지할 수 있다.
이렇게 상기 촬상부와 상기 광원부 사이를 통과할 때의 적층체의 각도(앙각)는, 설비의 높이를 억제하는 측면에서 -90° 초과 90° 미만이 된다.
상기 촬상부와 상기 광원부 사이를 통과할 때의 적층체의 각도(앙각)는, 장치 높이를 억제하는 효과를 보다 현저하게 발휘시키는 측면에서, 0° 초과 70° 이하로 하는 것이 바람직하고, 0° 초과 60° 이하로 하는 것이 특히 바람직하다.
또한, 이러한 검사 방법이 실시된 후에는, 다시 상기 점착층을 갖는 보호 필름과 세퍼레이터를 검사 후의 적층체(fa)에 접합하여, 원래와 동일한 필름 적층체를 형성시킨 후에 상기 마킹 장치에 의해 결함 부분을 명시시켜 외형 가공을 행하여 광학 제품에의 조립에 사용하면 된다.
즉, 본 실시 형태에 있어서는, 상기 광학 부재의 결함을 검출하는 공정을 실시한 후에, 상기 광학 부재에 대하여 외형 가공을 행하는 공정을 실시하여 광학 제품을 제작할 수 있다.
보다 구체적으로는, 광학 제품의 제조 방법에 있어서는, 본 실시 형태의 광학 부재의 검사 방법이 실시된 후의 필름 적층체로부터, 상기 필름 적층체보다 소형의 시트편을 잘라내는 공정을 실시하여 편광판으로 하고, 나아가 검사에 의해 찾아낸 결함 부분 이외로부터 상기 시트편을 잘라낸 편광판을 그 밖의 부재와 함께 조립하여 광학 제품을 제조할 수 있다.
상기 편광판의 절단은 톰슨 칼날형이나 펀칭 프레스 등에 의한 펀칭 방법을 비롯하여 종래 공지된 방법을 적용할 수 있다.
또한, 광학 제품의 제조 방법에 있어서는, 잘라낸 상기 편광판은, 또한 위상차층을 형성시키거나, 방현 처리를 실시하거나, 반사 필름과 조합하는 등으로 하여 화상 표시 장치의 구성 부재로 할 수 있다.
또한, 상기 편광판이 조립되는 광학 제품으로서는, 예를 들어 액정 표시 장치, 유기 EL(일렉트로루미네센스) 표시 장치, 플라즈마 디스플레이 패널 등의 화상 표시 장치나 터치 패널 등의 입력 장치를 들 수 있다.
상기 광학 제품의 제조 방법에 있어서는, 상기와 같이 시트 형상의 광학 부재를 피검사물로 하여 광원부와 촬상부를 갖는 검사 장치에 공급하고, 상기 광학 부재를 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과시키면서 상기 광학 부재의 일면측에 상기 광원부로부터 광을 조사하고, 또한 상기 광이 조사된 부분을 상기 광학 부재의 타면측으로부터 상기 촬상부에서 촬상하여 상기 광학 부재의 결함을 검출하는 공정, 및 상기 공정 후의 광학 부재로부터 상기 광학 부재보다 소형의 시트편을 잘라내는 공정이 실시된다.
나아가, 상기 제조 방법에 있어서 상기 광학 부재의 결함을 검출하는 상기 공정에서는, 상기 광학 부재를 수평 상태 또는 수평 방향에 대하여 경사지게 한 상태로 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과시키고, 또한 상기 광원부 및 상기 촬상부 중, 상기 광학 부재의 상측에 위치하는 것을 상기 촬상부에 의한 광학 부재의 촬상 부분의 바로 위보다 상기 광학 부재의 이동 방향 상류측에 위치시켜 상기 결함의 검출이 실시된다.
또한, 상기 제조 방법에 있어서, 상기 시트편을 잘라내는 상기 공정에서는 광학 부재의 결함을 찾지 못한 부분으로부터 상기 시트편이 잘라내어진다.
이와 같이 하여 제작되는 광학 제품은, 편광판의 원재료가 되는 필름 적층체의 결함 부분이 적어지기 때문에, 당해 필름 적층체의 제품으로의 이용률이 높아져 비용면에 있어서도 유리하게 된다.
또한, 본 실시 형태에 있어서 제조되는 광학 제품은, 검사로 인식되지 않은 결함을 갖는 편광판이 조립될 우려가 억제되기 때문에, 종래에 비하여 수율 향상을 기대할 수 있음과 함께 상기 편광판과 함께 조립한 위상차 필름이나 반사 필름이 낭비되어 버리거나, 조립을 위한 수고가 낭비되어 버리는 것을 방지할 수 있다.
따라서, 광학 제품의 제조 효율을 종래보다 향상시킬 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는, 편광 필름에 점착층을 적층한 적층체에 대하여 검사를 행하는 경우를 예로 들고 있다.
그리고, 촬상 부분을 통과한 후에 부착된 부착물이 자연스럽게 탈락하는 것을 기대하기가 곤란하여, 본 발명의 효과를 보다 현저하게 발휘시킬 수 있는 점에서, 광학 부재가 상기와 같은 적층체이고, 또한 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 상기 점착층을 상면측으로 하여 통과시키는 형태를 예시하고 있지만, 상기 점착층을 하면측으로 하여 검사를 실시하는 경우도 본 발명의 광학 부재의 검사 방법으로서 의도하는 범위의 것이다.
또한, 본 발명의 검사 방법은, 그 대상을 편광 필름과 점착층의 2층 구조의 것에 한정하는 것도 아니며, 편광 필름 단층의 경우나, 또한 다른 광학 필름이 적층된 것 등에 대하여 실시되는 검사 방법도 본 발명이 의도하는 범위의 것이다.
즉, 본 실시 형태에 있어서는, 세퍼레이터(fy)와 보호 필름(fz)의 양쪽을 박리하여 편광 필름의 검사를 행하는 경우를 예시하고 있지만, 예를 들어 보호 필름(fz)을 박리하지 않고 검사를 행하는 경우도 본 발명이 의도하는 범위의 것이다.
나아가, 본 발명의 검사 방법은, 광학 부재가 구비하는 광학 필름을 편광 필름에 한정하는 것은 아니다.
예를 들어, 위상차 필름, 휘도 향상 필름 등에 대하여 본 실시 형태에 있어서 나타낸 바와 같은 검사가 실시되는 경우도 본 발명이 의도하는 범위의 것이다.
또한, 편광 필름, 위상차 필름, 휘도 향상 필름 등 중의 복수의 것을 적층한 적층 필름에 대하여 본 실시 형태에 있어서 나타낸 바와 같은 검사가 실시되는 경우도 본 발명이 의도하는 범위의 것이다.
또한, 상기 예시에 있어서는, 촬상부와 광학부의 배치를 광학 부재의 통과 방향과 직교하도록 배치하고 있지만, 촬상부와 광학부를 연결하는 선분이 광학 부재의 통과 방향에 대하여 직각 이외가 되도록 실시하여도 된다.
즉, 본 발명은, 그 효과가 현저하게 손상되지 않는 범위에 있어서는, 상기 예시에 대하여 적절하게 변경을 가하는 것이 가능한 것이다.
10: 검사 장치
11: 촬상부
12: 광학부
fa: 적층체(피검사물)
fx: 광학 필름
fy: 보호 필름(세퍼레이터)
fz: 보호 필름
11: 촬상부
12: 광학부
fa: 적층체(피검사물)
fx: 광학 필름
fy: 보호 필름(세퍼레이터)
fz: 보호 필름
Claims (4)
- 시트 형상의 광학 부재를 피검사물로 하여 광원부와 촬상부를 갖는 검사 장치에 공급하고, 상기 광학 부재를 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과시키면서 상기 광학 부재의 일면측에 상기 광원부로부터 광을 조사하고, 또한 상기 광이 조사된 부분을 상기 광학 부재의 타면측으로부터 상기 촬상부에서 촬상하여 상기 광학 부재의 결함을 검출하는 광학 부재의 검사 방법이며,
상기 광학 부재를 수평 방향에 대하여 경사지게 한 상태로 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과시키고,
상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과하는 상기 광학 부재를 이동 방향을 향하여 끝이 올라가는 경사 상태로 하고,
상기 광원부 및 상기 촬상부 중 상기 광학 부재의 상측에 위치하는 것을 상기 촬상부에 의한 광학 부재의 촬상 부분의 바로 위보다 상기 광학 부재의 이동 방향 상류측에 위치시키고, 또한 상기 광원부와 상기 촬상부를 연결하는 선분이, 상기 광학 부재의 이동 방향에 대하여 직교하는 방향이 되도록 상기 광원부와 상기 촬상부를 배치하여,
상기 촬상 부분의 바로 위에는 상기 광원부 및 상기 촬상부 중 어느 것도 존재하지 않는 상태로, 상기 결함의 검출을 실시하고,
상기 결함의 검출에는 상기 광학 부재에의 부착물의 검출이 포함되는 것을 특징으로 하는 광학 부재의 검사 방법. - 제1항에 있어서, 상기 광학 부재가, 최표면에 점착층을 갖고 또한 상기 점착층의 배면측에 편광 필름이 적층된 적층체이며, 상기 광학 부재를, 상기 점착층을 상면측으로 하여 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과시키는 광학 부재의 검사 방법.
- 시트 형상의 광학 부재로부터 상기 광학 부재보다 소형인 시트편을 잘라내고, 상기 시트편을 사용하여 광학 제품을 제조하는 광학 제품의 제조 방법이며,
제1항 또는 제2항에 기재된 광학 부재의 검사 방법이 실시된 광학 부재를 사용하여, 상기 검사 방법으로 결함을 찾지 못한 부분으로부터 상기 시트편을 잘라내는 광학 제품의 제조 방법. - 시트 형상의 광학 부재를 검사하기 위하여 사용되고, 광원부와 촬상부를 가지며, 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과하는 상기 광학 부재의 일면측에 상기 광원부로부터 광이 조사되고, 상기 광이 조사된 부분이 상기 광학 부재의 타면측으로부터 상기 촬상부에서 촬상되어 결함이 검출되는 광학 부재의 검사 장치이며,
상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과하는 광학 부재가 수평 방향에 대하여 경사진 상태가 되고, 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 상기 통과하는 상기 광학 부재가 이동 방향을 향하여 끝이 올라가는 경사 상태가 되도록 상기 광학 부재의 이동 경로가 형성되어 있고, 상기 광원부 및 상기 촬상부 중 상기 광학 부재의 상측에 위치하는 것이 상기 촬상부에 의한 광학 부재의 촬상 부분의 바로 위보다 상기 광학 부재의 이동 방향 상류측에 위치하고, 또한 상기 광원부와 상기 촬상부를 연결하는 선분이, 상기 이동 경로에 대하여 직교하는 방향이 되도록 상기 광원부와 상기 촬상부가 배치되어 있고, 상기 촬상 부분의 바로 위에는 상기 광원부 및 상기 촬상부 중 어느 것도 존재하지 않고,
상기 결함의 검출에는 상기 광학 부재에의 부착물의 검출이 포함되는 것을 특징으로 하는 광학 부재의 검사 장치.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013164481A JP6255186B2 (ja) | 2013-08-07 | 2013-08-07 | 光学部材の検査方法、光学製品の製造方法、及び、光学部材の検査装置 |
JPJP-P-2013-164481 | 2013-08-07 | ||
KR1020140090810A KR102270956B1 (ko) | 2013-08-07 | 2014-07-18 | 광학 부재의 검사 방법, 광학 제품의 제조 방법 및 광학 부재의 검사 장치 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020140090810A Division KR102270956B1 (ko) | 2013-08-07 | 2014-07-18 | 광학 부재의 검사 방법, 광학 제품의 제조 방법 및 광학 부재의 검사 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20200078438A true KR20200078438A (ko) | 2020-07-01 |
KR102373254B1 KR102373254B1 (ko) | 2022-03-10 |
Family
ID=52501126
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020140090810A KR102270956B1 (ko) | 2013-08-07 | 2014-07-18 | 광학 부재의 검사 방법, 광학 제품의 제조 방법 및 광학 부재의 검사 장치 |
KR1020200073511A KR102373254B1 (ko) | 2013-08-07 | 2020-06-17 | 광학 부재의 검사 방법, 광학 제품의 제조 방법 및 광학 부재의 검사 장치 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020140090810A KR102270956B1 (ko) | 2013-08-07 | 2014-07-18 | 광학 부재의 검사 방법, 광학 제품의 제조 방법 및 광학 부재의 검사 장치 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6255186B2 (ko) |
KR (2) | KR102270956B1 (ko) |
CN (1) | CN104345062B (ko) |
TW (2) | TWI649555B (ko) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6255186B2 (ja) * | 2013-08-07 | 2017-12-27 | 日東電工株式会社 | 光学部材の検査方法、光学製品の製造方法、及び、光学部材の検査装置 |
JP6898492B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2021-07-07 | 日東電工株式会社 | 偏光子の検査方法および偏光板の製造方法 |
JP6807637B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2021-01-06 | 日東電工株式会社 | 偏光子の検査方法および偏光板の製造方法 |
JP6986614B2 (ja) * | 2015-10-05 | 2021-12-22 | 日東電工株式会社 | 偏光子の製造方法 |
JP6795883B2 (ja) * | 2015-10-05 | 2020-12-02 | 日東電工株式会社 | 偏光子の製造方法 |
KR102286356B1 (ko) * | 2016-10-26 | 2021-08-04 | 보드 오브 리전츠, 더 유니버시티 오브 텍사스 시스템 | 반사 및 투과형 나노포톤 디바이스를 위한 고 처리량, 고 해상도 광학 기법 |
CN113702382A (zh) * | 2021-09-28 | 2021-11-26 | 浙江辛帝亚自动化科技有限公司 | 一种芯片检测机 |
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JP6255186B2 (ja) * | 2013-08-07 | 2017-12-27 | 日東電工株式会社 | 光学部材の検査方法、光学製品の製造方法、及び、光学部材の検査装置 |
-
2013
- 2013-08-07 JP JP2013164481A patent/JP6255186B2/ja active Active
-
2014
- 2014-05-27 TW TW106143987A patent/TWI649555B/zh active
- 2014-05-27 TW TW103118410A patent/TWI630380B/zh active
- 2014-07-18 KR KR1020140090810A patent/KR102270956B1/ko active IP Right Grant
- 2014-08-06 CN CN201410384065.0A patent/CN104345062B/zh active Active
-
2020
- 2020-06-17 KR KR1020200073511A patent/KR102373254B1/ko active IP Right Grant
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI649555B (zh) | 2019-02-01 |
TWI630380B (zh) | 2018-07-21 |
CN104345062B (zh) | 2018-09-28 |
KR102270956B1 (ko) | 2021-07-01 |
JP6255186B2 (ja) | 2017-12-27 |
KR20150017663A (ko) | 2015-02-17 |
KR102373254B1 (ko) | 2022-03-10 |
TW201809641A (zh) | 2018-03-16 |
CN104345062A (zh) | 2015-02-11 |
JP2015034710A (ja) | 2015-02-19 |
TW201506384A (zh) | 2015-02-16 |
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Date | Code | Title | Description |
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A107 | Divisional application of patent | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
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J201 | Request for trial against refusal decision | ||
J301 | Trial decision |
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GRNO | Decision to grant (after opposition) | ||
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