KR101515806B1

KR101515806B1 - 시트 제조방법 및 제조장치

Info

Publication number: KR101515806B1
Application number: KR1020130133102A
Authority: KR
Inventors: 조동영; 김기남; 김신; 설문환
Original assignee: 코닝정밀소재 주식회사
Priority date: 2013-11-04
Filing date: 2013-11-04
Publication date: 2015-05-04
Also published as: TWI562952B; WO2015065065A1; US20160272456A1; US10106361B2; CN105683073B; JP6330915B2; TW201524882A; CN105683073A; JP2017502897A

Abstract

본 발명은 대상물이 권취된 롤로부터 대상물을 공급하는 권출단계와; 공급된 상기 대상물을 이송하는 이송단계와, 이송되어 온 상기 대상물을 커팅하되, 상기 커팅은 대상물의 폭 방향으로 상기 대상물을 커팅하는 시트 커팅을 포함하는 커팅단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 시트 제조방법을 제공한다. 또한, 본 발명은 대상물이 권취된 롤로부터 대상물을 공급하는 권출부와, 공급된 상기 대상물을 이송하는 이송부와, 이송되어 온 상기 대상물을 커팅하는 커팅부를 포함하고, 상기 커팅은, 상기 대상물의 폭 방향으로 상기 대상물을 커팅하는 시트커팅을 포함하는 것을 특징으로 하는 시트 제조장치를 제공한다.

Description

시트 제조방법 및 제조장치{METHOD AND APPARATUS OF MANUFACTURING A SHEET}

본 발명은 시트 제조방법 및 제조장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 롤-투-시트 공정으로 수행되는 시트 제조방법 및 제조장치에 관한 것이다.

디스플레이 시장의 슬림화/경량화가 진행되면서 기판으로 사용되는 유리의 박형화 역시 가속되고 있다. 또한 디스플레이가 종래의 평면을 벗어나 곡면형태를 가진 제품이 제작되고 있으며, 플렉서블 디스플레이에 대한 연구 역시 활발히 진행되고 있다. 이에 기판 유리에는 한층 더 높은 박판화와 유연성이 요구된다.

이러한 초박판 유리(0.5mm 이하)를 종래의 시트 형태로 이송/가공하는 경우, 유연성으로 인해 유리를 가공 라인에 투입/이송하는 과정에서 취급이 난해하고 이송이 어렵다는 단점이 있다. 또한 개별 시트를 일일히 로딩해야 하므로 생산성 저하 이슈가 잔존한다. 이에, 생산성의 한계를 극복하고 이송을 용이하게 하기 위하여 박판 롤로부터 권출하여 웹(web) 형태로 이송하여 시트를 제작하는 방안을 모색하고자 한다. 박판 글라스 웹 또는 이로부터 얻어지는 박판 글라스 시트는, 디스플레이, 전자소재(태양전지, 터치센서, 웨이퍼 등), 건축, 가전 등 다양한 분야에서 사용될 수 있다.

금속 호일(Foil) 및 수지 필름의 롤투롤 공정에서, 웹의 이송은 일반적으로 접촉식으로 이루어진다. 그러나, 해당 분야에서는 접촉식 이송으로 인한 표면품질 저하 이슈가 발생하지 않는다. 반면 기판 유리 분야의 경우 높은 표면품질이 요구되어, 접촉 이송 시 기판 표면 스크래치 발생, 표면 파티클/유기물 오염, 깨짐 발생 등 심각한 품질 문제가 발생한다.

표면 보호를 위하여 별도의 보호필름, 혹은 코팅제를 도포하여 코팅하는 방법을 사용할 수 있으나, 이는 별도의 소모품비가 지속적으로 소요되는 단점이 있다. 기판 유리에 상처를 줄 수 있는 원인을 원천 차단하고자, 에어 플로팅에 의한 비접촉 이송 방안이 제안되고 있으나, 에어 사용에 의한 유틸리티(Utility) 비용이 발생한다. 또한, 제어 불가능한 난류가 웹의 불안정한 이송을 유발하여, 시트 커팅 시 치수 불량 등이 야기되는 문제점이 있다.

더욱이 웹 형태로 이송하는 필름의 경우 재질 특성상 연신율이 높아 연신을 이용한 웹 이송 컨트롤이 가능하지만 유리는 연신이 작아 연신을 이용하여 웹을 컨트롤 할 경우 제품이 깨지는 문제가 발생하여 기존 이송 장치를 사용하는 것이 불가능하다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명은 대상물과장치의 표면 접촉을 제거함으로써 대상물의 불량 유발 가능성을 제거하고, 초음파의 안정적인 부상력을 바탕으로 대상물의 이송 품질을 향상시키는데 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 대상물이 권취된 롤로부터 대상물을 공급하는 권출단계와; 공급된 상기 대상물을 이송하는 이송단계와, 이송되어 온 상기 대상물을 커팅하되, 상기 커팅은 대상물의 폭 방향으로 상기 대상물을 커팅하는 시트 커팅을 포함하는 커팅단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 시트 제조방법을 제공한다.

또한, 본 발명은 대상물이 권취된 롤로부터 대상물을 공급하는 권출부와, 공급된 상기 대상물을 이송하는 이송부와, 이송되어 온 상기 대상물을 커팅하는 커팅부를 포함하고, 상기 커팅은, 상기 대상물의 폭 방향으로 상기 대상물을 커팅하는 시트커팅을 포함하는 것을 특징으로 하는 시트 제조장치를 제공한다.

상기한 구성에 따르면, 본 발명은, 대상물의 커팅 시 대상물의 표면과 장치의 접촉을 차단함으로써 대상물의 표면 불량 유발 가능성을 제거할 수 있고, 초음파의 안정적인 부상력을 바탕으로 대상물의 이송 품질을 향상할 수 있다.

본 발명을 통해 제조되는 시트는 유효 영역이 장치와 접촉되지 않으므로 높은 표면 품질을 유지할 수 있으며, 대상물이 롤로부터 권출되어 웹의 형태로 공급되므로 개별 시트의 로딩 공정을 생략할 수 있어 프로세스 시간 면에서 유리하다.

특히, 유리 성형 공정(예컨대, Fusion Draw 공정)과 접목하여, 성형되어 나오는 기판 유리를 바로 권취한 뒤, 본 발명의 시트 제조방법에 따라 시트를 제조함으로써, 원가를 절감하고, 시트 적재된 기판 유리에 비해 취급 및 운반이 용이하여 운송비 절감 효과를 기대할 수 있다.

또한, 트림 커팅 시 비접촉 진동 억제부를 이용하여 트림 부위를 타고 역류하여 오는 진동이 대상물에 영향을 미치지 못하게 하여 에지 품질을 높일 수 있다. 또한, 시트 커팅 시 비접촉 진동 억제부를 이용하여, 외란에 의한 대상물의 진동을 막아 시트 치수 정확도를 확보할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 제조장치를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1의 시트 제조장치의 일부 사시도이다.
도 3은 도 1의 이송부를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 4 및 도 5는 도 1의 진동 억제부를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 6 및 도 7은 도 1의 시트 커팅 진동 억제부를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 8은 장력 조절부를 개략적으로 보여주는 도면이다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

본 발명은 롤로부터 권출되어 웹(W) 형태로 공급되는 대상물(O)을 시트(S)로 커팅하여 제조하는 방법에 관한 것이다.

이를 위하여, 본 발명은 대상물(O)을 웹(W) 형태로 공급받아 이송/가공하며, 초음파를 이용하여 웹/시트 비접촉 이송을 수행한다. 공개특허 KR 2010-0057530에 개시된 초음파 비접촉 기술을 활용하여 대상물(O)의 유효 영역을 비접촉으로 이송한다. 비접촉으로 장치 하류로 이송된 대상물(O)은 비접촉 레이저 커팅부(502)에 의해 풀 커팅되어 시트(S)로 커팅되고, 커팅된 시트(S)는 이후 공정으로 비접촉 이송된다.

대상물(O)의 이송 경로 상에 비접촉 진동 억제부(200)를 두어 대상물(O)의 진동을 억제한다. 특히, 트림 커팅 및 시트 커팅 공정에 비접촉 진동 억제부(200)를 두어, 커팅 정밀도를 높인다.

비접촉 진동 억제부(200)는, 제1초음파진동부(221) 및 제2초음파진동부(222)를 포함한다. 제1초음파진동부(221)와 제2초음파진동부(222)는 대상물(O)이 그 사이를 통과하여 이송될 수 있도록 상호 이격되게 대향하여 설치된다. 제1초음파진동부(221)와 제2초음파진동부(222)는 각각 초음파 진동되고, 그 초음파 진동에 의하여 발생된 반발력을 대상물(O)에 가하여 대상물(O)을 제1초음파진동부(221)와 제2초음파진동부(222)의 사이에서 비접촉되게 구속함으로써 대상물(O)의 진동을 억제한다.

본 발명의 대상물(O)은 전형적으로는 박판 유리이나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니고 대상물(O)은 기타 다양한 재질로 이루어질 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 제조장치를 개략적으로 보여주는 도면이고, 도 2는 도 1의 시트 제조장치의 일부 사시도이다.

도 1의 시트 제조장치는 권출부(711), 이송부(100) 및 커팅부(500)를 포함한다.

권출부(711)는 대상물(O)이 권취된 롤로부터 대상물(O)을 권출하여 대상물(O)을 공급한다. 대상물(O)에 보호필름이 코팅되어 있는 경우, 권출부(711)는 보호필름릴을 포함하여, 대상물(O)을 장치에 투입하기 전에 보호필름을 벗겨내 보호필름릴에 권취한다.

보호필름이 제거된 대상물(O)은 이송부(100)에 의하여 하류로 이송된다.

커팅부(500)는 이송되어 온 대상물(O)을 커팅한다. 커팅부(500)는 대상물(O)과 비접촉되게 커팅하는 것이 바람직하다. 예컨대, 레이저를 이용하여 대상물(O)을 커팅한다. 커팅부(500)는 트림 커팅부(501)와 시트 커팅부(502)를 포함한다. 시트 커팅부(502)는 대상물(O)의 폭 방향으로 대상물(O)을 커팅한다. 웹(W)의 폭 방향 시트 커팅에 앞서, 트림 커팅부(501)는 웹(W)의 길이 방향으로 웹(W)의 변을 트림 커팅할 수 있다. 트림 부위는 웹(W)의 두께보다 두꺼워 트림 부위가 잔존할 시 웹(W)의 시트 커팅에 문제를 유발할 수 있다. 트림 커팅은 레이저 소스에 의해 풀 커팅되며, 분리된 트림 부위는 웹(W)과 다른 방향으로 배출되어 파쇄된다.

이때 트림 부의의 파쇄에 따른 진동이 역류하여, 웹(W)의 이송 정밀도에 영향을 미칠 수 있기 때문에 트림커팅에 의하여 대상물(O)로부터 분리 배출되는 트림 부위의 배출 경로 상에 비접촉 진동 억제부(200)를 사용하여 트림 부의의 진동을 억제함으로써 진동의 역류를 막는다. 진동 억제부(200)는 초음파 진동부를 이용한 비접촉 방식으로 구성하거나, 트림 부위의 양면에 직접 접촉하는 롤러를 이용한 접촉 방식으로 구성할 수도 있을 것이다.

비접촉 진동 억제부(200)는, 제1초음파진동부(221) 및 제2초음파진동부(222)를 포함한다. 제1초음파진동부(221)와 제2초음파진동부(222)는 트림 부위가 그 사이를 통과하여 배출될 수 있도록 상호 이격되게 대향하여 설치된다. 제1초음파진동부(221)와 제2초음파진동부(222)는 각각 초음파 진동되고, 그 초음파 진동에 의하여 발생된 반발력을 트림 부위에 가하여 트림 부위를 제1초음파진동부(221)와 제2초음파진동부(222)의 사이에서 비접촉되게 구속함으로써 트림 부위의 진동을 억제한다.

필요에 따라 시트 커팅부(502) 하류에 세정부 및 적재부를 둘 수 있다. 시트(S) 적재 시, 대상물(O)의 보호를 위하여, 시트(S)에 보호필름을 코팅 할 수 있고, 시트(S) 사이에 간지를 삽입할 수 있다.

도 3은 도 1의 이송부(100)를 개략적으로 보여주는 도면이다.?

이송부(100)는 비접촉 이송부로서 초음파 진동부(101)를 포함한다. 또한, 이송부(100)는, 초음파 진동부(101)를 진동시키기 위한 여러 개의 초음파 가진기와 초음파 진동부(101)를 고정하기 위한 프레임을 포함할 수 있다. 초음파 진동부(101)는 대상물(O)과 대향하도록 설치된다. 초음파 진동부(101)는 웹(W)에 대응되게 진동판 형태를 가질 수 있다. 초음파 진동부(101)는 초음파 진동에 의하여 발생된 고압 공기층에 의한 반발력을 대상물(O)에 가하여, 대상물(O)을 초음파 진동부(101)와는 비접촉되게 부상시킨다.

이송부(100)는 접촉 이송부(102)를 포함할 수 있다. 접촉 이송부(102)는 대상물(O)의 일 지점과 접촉된 상태로 대상물(O)을 이송시킨다. 접촉 이송부(102)는 도시한 바와 같이, 대상물(O)의 양변에 접촉할 수도 있고, 혹은 양변 중 일변에만 접촉할 수도 있다. 접촉 이송부(102)는 대상물(O)과 같은 속도로 움직여야 한다. 접촉 이송부(102)는 대상물(O)과 접촉하는 컨베이어벨트, 롤러 또는 클램프를 포하할 수 있다.

초음파진동부는 품질 유효 부위인 대상물(O)의 유효 영역에 반발력을 가하여 부상시켜 초음파 비접촉으로 이송한다. 품질 비유효 부위인 대상물(O)의 비유효 영역은 비접촉 이송부(벨트, 롤러 혹은 클램프)가 접촉하도록 하여, 대상물(O)의 이송 정밀도를 높인다. 예컨대, 디스플레이용 기판은 가운데 영역은 디스플레이 영역으로 사용되고, 그 주위의 영역은 비디스플레이 영역으로 사용되는데, 디스플레이 영역이 유효 영역이 되고, 비디스플레이 영역이 비유효 영역이 된다.

대상물(O)의 이송을 수행하는 이송부(100)는 웹 이송부와 시트 이송부를 포함한다. 웹 이송부는 시트 커팅 되기까지 대상물(O)의 웹(W)을 이송한다. 시트 이송부는 시트 커팅 되어 대상물(O)의 웹(W)으로부터 분리된 대상물(O)의 시트(S)를 이송한다.

도 4 및 도 5는 도 1의 진동 억제부(200)를 개략적으로 보여주는 도면이다.

비접촉 진동 억제부(200)는 제1초음파진동부(221) 및 제2초음파진동부(222)를 포함한다. 제1초음파진동부(221)와 제2초음파진동부(222)는 웹(W)(또는 트림 부위)이 그 사이를 통과하여 이송될 수 있도록 상호 이격되게 대향하여 설치된다. 제1초음파진동부(221)와 제2초음파진동부(222)는 각각 초음파 진동되고, 그 초음파 진동에 의하여 발생된 반발력을 웹(W)(또는 트림 부위)에 가하여 웹(W)(또는 트림 부위)를 제1초음파진동부(221)와 제2초음파진동부(222)의 사이에서 비접촉되게 구속함으로써 웹(W)(또는 트림 부위)의 진동을 억제한다.

초음파 가진기(231)은 초음파 진동부(221, 222)를 초음파 가진 시킨다. 진동 흡수부(241, 242)는 초음파 진동부(221, 222)의 진동이 대상물(O) 이외에 전달되는 것을 방지한다. 고정 프레임(251, 252)는 초음파 진동부를 고정 위치에 지지하는 프레임이다. 커버(271)은 진동 억제부(200)의 구성부들을 수용한다. 높이 조절부(261, 262)는 초음파 진동부(221, 222) 사이의 이격 거리를 조절할 수 있도록 한다.

도 6 및 도 7은 도 1의 커팅부(500) 및 진동 억제부(200)를 개략적으로 보여주는 도면이다.

시트 커팅부(502)는 레이저 소스를 사용하여 유리 웹(W)을 폭 방향으로 풀 커팅한다. 레이저는 진동 억제부(200)의 슬릿 사이로 조사되어 커팅 부위의 유리 진동을 원천 차단한다. 적어도 시트 커팅 직후, 시트(S)의 이송 속도는 웹(W)의 이송속도보다 큰 것이 바람직하다. 예컨대, 커팅 직후, 이송 속도가 가속되어 시트(S)를 웹(W)에서 이격시켜 시트 커팅 이후 시트(S)와 웹 커팅면이 맞닿아 에지 불량이 발생하는 것을 방지한다. 또는 시트 커팅 시 이송을 중지하는 타입의 장치에서는, 시트 커팅 직후 웹(W)의 이송은 잠시 동안 이송 중지 상태를 유지하고 시트(S)만을 먼저 이송 개시한 뒤, 잠시 후 웹(W)의 이송을 개시할 수도 있을 것이다.

커팅이 수행되기 직전 및/또는 직후의 대상물(O)을 비접촉되게 구속함으로써 커팅 정밀도를 높인다. 제1초음파진동부(221)는 관통공 또는 관통슬릿을 구비한다. 관통공 또는 관통슬릿을 통하여 레이저를 대상물(O)에 조사하여 대상물(O)을 커팅한다.

도 8은 장력 조절부를 개략적으로 보여주는 도면이다.

장력 조절부는 대상물(O)의 이송 경로 상에 설치되는 댄서(320), 지지부(341, 342) 및 링크(331)를 포함한다. 댄서(320)는 대상물(O)에 힘을 가하여 상기 대상물(O)의 장력을 조절한다. 댄서(320)는 초음파 진동부를 포함한다. 초음파 진동부는 초음파 진동되고, 그 초음파 진동에 의한 반발력을 대상물(O)에 가하여 비접촉 상태로 대상물(O)에 상기 힘을 가한다.

Claims

대상물이 권취된 롤로부터 대상물을 공급하는 권출단계와;
공급된 상기 대상물을 이송하는 이송단계와,
이송되어 온 상기 대상물을 커팅하되, 상기 커팅은 대상물의 폭 방향으로 상기 대상물을 커팅하는 시트 커팅을 포함하는 커팅단계를 포함하고,
상기 이송단계에서는, 상기 대상물에 초음파 진동부를 대향시켜, 상기 초음파 진동부의 초음파 진동에 의하여 발생된 반발력을 상기 대상물에 가하여 상기 대상물을 상기 초음파 진동부와는 비접촉되게 부상시키며,
상기 대상물의 이송 경로 상에 비접촉 진동 억제부를 두어, 상기 대상물의 진동을 억제하고,
상기 비접촉 진동 억제부는, 제1초음파진동부 및 제2초음파진동부를 포함하되,
상기 제1초음파진동부와 상기 제2초음파진동부는 상기 대상물이 그 사이를 통과하여 이송될 수 있도록 상호 이격되게 대향하여 설치되고, 상기 제1초음파진동부와 상기 제2초음파진동부는 각각 초음파 진동되고, 그 초음파 진동에 의하여 발생된 반발력을 상기 대상물에 가하여 상기 대상물을 상기 제1초음파진동부와 상기 제2초음파진동부의 사이에서 비접촉되게 구속함으로써 상기 대상물의 진동을 억제하는 것을 특징으로 하는 시트 제조방법.
제1항에 있어서,
상기 이송단계에서는,
상기 대상물의 적어도 일지점을 접촉 이송부가 접촉된 상태로 이송시키는 것을 특징으로 하는 시트 제조방법.
제2항에 있어서,
상기 대상물은 유효영역과 그 주위의 비유효영역을 포함하고,
상기 초음파진동부는 상기 유효영역에 반발력을 가하여 부상시키고, 상기 접촉 이송부는 상기 비유효영역과 접촉하는 것을 특징으로 하는 시트 제조방법.
제2항에 있어서,
상기 접촉 이송부는, 상기 대상물과 접촉하는 컨베이어벨트, 롤러 또는 클램부를 포함하는 것을 특징으로 하는 시트 제조방법.
제1항에 있어서,
상기 대상물의 이송을 수행하는 이송부는, 상기 시트 커팅 되기까지 상기 대상물의 웹을 이송하는 웹 이송부와, 상기 시트 커팅 되어 상기 대상물의 웹으로부터 분리된 상기 대상물의 시트를 이송하는 시트 이송부를 포함하고,
적어도 상기 시트커팅 직후, 상기 시트의 이송속도는 상기 웹의 이송속도보다 큰 것을 특징으로 하는 시트 제조방법.
제1항에 있어서,
상기 커팅단계는, 상기 대상물과 비접촉되게 커팅하는 것을 특징으로 하는 시트 제조방법.
제6항에 있어서,
레이저를 이용하여 상기 대상물과 비접촉되게 커팅하는 것을 특징으로 하는 시트 제조방법.
제1항에 있어서,
상기 커팅단계는, 상기 대상물의 길이 방향으로 상기 대상물의 변을 커팅하는 트림커팅을 포함하는 것을 특징으로 하는 시트 제조방법.
제6항에 있어서, 상기 트림커팅에 의하여 상기 대상물로부터 분리 배출되는 트림 부위의 배출 경로 상에 비접촉 진동 억제부를 두어 상기 트림 부위의 진동을 억제하는 것을 특징으로 하는 시트 제조방법.
제9항에 있어서,
상기 비접촉 진동 억제부는, 제1초음파진동부 및 제2초음파진동부를 포함하되,
상기 제1초음파진동부와 상기 제2초음파진동부는 상기 트림 부위가 그 사이를 통과하여 배출될 수 있도록 상호 이격되게 대향하여 설치되고, 상기 제1초음파진동부와 상기 제2초음파진동부는 각각 초음파 진동되고, 그 초음파 진동에 의하여 발생된 반발력을 상기 트림 부위에 가하여 상기 트림 부위를 상기 제1초음파진동부와 상기 제2초음파진동부의 사이에서 비접촉되게 구속함으로써 상기 트림 부위의 진동을 억제하는 것을 특징으로 하는 시트 제조방법.
제1항에 있어서,
상기 대상물은 박판인 것을 특징으로 하는 시트 제조방법.
제11항에 있어서,
상기 대상물은 박판 글라스인 것을 특징으로 하는 시트 제조방법.
삭제
제1항에 있어서,
상기 비접촉 진동 억제부는, 상기 커팅이 수행되기 직전 및/또는 직후의 상기 대상물을 비접촉되게 구속하는 것을 특징으로 하는 시트 제조방법.
제14항에 있어서,
상기 제1초음파진동부는 관통공 또는 관통슬릿을 구비하고,
상기 커팅단계에서는 상기 관통공 또는 관통슬릿을 통하여 레이저를 상기 대상물에 조사하여 상기 대상물을 커팅하는 것을 특징으로 하는 시트 제조방법.
제1항에 있어서,
상기 대상물의 이송 경로 상에 댄서를 두어, 상기 대상물에 힘을 가하여 상기 대상물의 장력을 조절하고,
상기 댄서는 초음파 진동부를 포함하고,
상기 초음파 진동부는 초음파 진동되고, 그 초음파 진동에 의한 반발력을 상기 대상물에 가하여 비접촉 상태로 상기 대상물에 상기 힘을 가하는 것을 특징으로 하는 시트 제조방법.
대상물이 권취된 롤로부터 대상물을 공급하는 권출부와;
공급된 상기 대상물을 이송하는 이송부와,
이송되어 온 상기 대상물을 커팅하는 커팅부를 포함하고,
상기 커팅은, 상기 대상물의 폭 방향으로 상기 대상물을 커팅하는 시트커팅을 포함하고,
상기 이송부는, 상기 대상물에 초음파 진동부를 대향시켜, 상기 초음파 진동부의 초음파 진동에 의하여 발생된 반발력을 상기 대상물에 가하여 상기 대상물을 상기 초음파 진동부와는 비접촉되게 부상시키며,
상기 대상물의 이송 경로 상에 비접촉 진동 억제부를 두어, 상기 대상물의 진동을 억제하고,
상기 비접촉 진동 억제부는, 제1초음파진동부 및 제2초음파진동부를 포함하되,
상기 제1초음파진동부와 상기 제2초음파진동부는 상기 대상물이 그 사이를 통과하여 이송될 수 있도록 상호 이격되게 대향하여 설치되고, 상기 제1초음파진동부와 상기 제2초음파진동부는 각각 초음파 진동되고, 그 초음파 진동에 의하여 발생된 반발력을 상기 대상물에 가하여 상기 대상물을 상기 제1초음파진동부와 상기 제2초음파진동부의 사이에서 비접촉되게 구속함으로써 상기 대상물의 진동을 억제하는 것을 특징으로 하는 시트 제조장치.