JPH11311806A - 液晶パネル及びその製造方法 - Google Patents
液晶パネル及びその製造方法Info
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- JPH11311806A JPH11311806A JP10119301A JP11930198A JPH11311806A JP H11311806 A JPH11311806 A JP H11311806A JP 10119301 A JP10119301 A JP 10119301A JP 11930198 A JP11930198 A JP 11930198A JP H11311806 A JPH11311806 A JP H11311806A
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- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 輝点欠陥を黒点処理することによって歩留の
向上を図ることのできる液晶パネルを提供する。 【解決手段】 パネル組立工程後又は実装工程終了後の
画像検査において輝点欠陥を検出する。欠陥に対応した
基板9の位置に不透明膜30を形成して黒点化する。こ
の場合、レーザCVDによる金属薄膜の選択的形成によ
って不透明膜30を形成する。
向上を図ることのできる液晶パネルを提供する。 【解決手段】 パネル組立工程後又は実装工程終了後の
画像検査において輝点欠陥を検出する。欠陥に対応した
基板9の位置に不透明膜30を形成して黒点化する。こ
の場合、レーザCVDによる金属薄膜の選択的形成によ
って不透明膜30を形成する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、画像表示機能を有
する液晶パネル及びその製造方法に関する。
する液晶パネル及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年の微細加工技術、液晶材料技術及び
実装技術等の進歩により、5〜50cm対角の液晶パネ
ルで実用上支障の無いテレビジョン画像や各種の画像表
示が商用ベースで提供されている。また、液晶パネルを
構成する2枚のガラス基板の一方にR、G、Bの着色層
を形成しておくことにより、カラー表示も容易に実現さ
れている。特に、スイッチング素子を絵素ごとに内蔵さ
せた、いわゆるアクティブ型の液晶パネルにおいては、
クロストークも少なくかつ高速応答で高いコントラスト
比を有する画像が保証されている。
実装技術等の進歩により、5〜50cm対角の液晶パネ
ルで実用上支障の無いテレビジョン画像や各種の画像表
示が商用ベースで提供されている。また、液晶パネルを
構成する2枚のガラス基板の一方にR、G、Bの着色層
を形成しておくことにより、カラー表示も容易に実現さ
れている。特に、スイッチング素子を絵素ごとに内蔵さ
せた、いわゆるアクティブ型の液晶パネルにおいては、
クロストークも少なくかつ高速応答で高いコントラスト
比を有する画像が保証されている。
【0003】これらの液晶パネルは、走査線としては1
00〜1000本、信号線としては200〜2000本
程度のマトリクス編成が一般的であるが、最近は大画面
化と高精細化が同時に進行している。
00〜1000本、信号線としては200〜2000本
程度のマトリクス編成が一般的であるが、最近は大画面
化と高精細化が同時に進行している。
【0004】図8に、液晶パネルへの実装状態を示す。
液晶パネル1を構成する一方の透明絶縁基板、例えばガ
ラス基板2上に形成された走査線の電極端子群6に駆動
信号を供給する半導体集積回路チップ3を直接接続する
COG(Chip−On−Glass)方式や、例えば
ポリイミド系樹脂薄膜をベースとし、金メッキされた銅
箔の端子(図示せず)を有するTCPフィルム4を信号
線の端子群5に導電性媒体を含む適当な接着剤で圧接し
て固定するTCP方式などの実装手段により、電気信号
が画像表示部に供給される。ここでは、便宜上、2つの
実装方式を同時に図示しているが、実際には、いずれか
の方式が適宜選択される。
液晶パネル1を構成する一方の透明絶縁基板、例えばガ
ラス基板2上に形成された走査線の電極端子群6に駆動
信号を供給する半導体集積回路チップ3を直接接続する
COG(Chip−On−Glass)方式や、例えば
ポリイミド系樹脂薄膜をベースとし、金メッキされた銅
箔の端子(図示せず)を有するTCPフィルム4を信号
線の端子群5に導電性媒体を含む適当な接着剤で圧接し
て固定するTCP方式などの実装手段により、電気信号
が画像表示部に供給される。ここでは、便宜上、2つの
実装方式を同時に図示しているが、実際には、いずれか
の方式が適宜選択される。
【0005】7、8は液晶パネル1の画像表示部と信号
線及び走査線の電極端子群5、6との間を接続する配線
路であり、必ずしも電極端子群5、6と同一の導電材で
構成する必要はない。
線及び走査線の電極端子群5、6との間を接続する配線
路であり、必ずしも電極端子群5、6と同一の導電材で
構成する必要はない。
【0006】9は、全ての液晶セルに共通の透明導電性
の対向電極を有する他方の透明絶縁基板、例えばガラス
基板である。液晶パネル1を構成する2枚のガラス基板
2、9は、樹脂性のファイバーやビーズ等のスペーサー
材によって数μm程度の所定の間隙(ギャップ)を置い
て配置されている。そして、その間隙は、ガラス基板
2、9の周縁部において有機性樹脂からなるシール材と
封口材とによって封止されて閉空間となっており、この
閉空間に液晶が充填されている。
の対向電極を有する他方の透明絶縁基板、例えばガラス
基板である。液晶パネル1を構成する2枚のガラス基板
2、9は、樹脂性のファイバーやビーズ等のスペーサー
材によって数μm程度の所定の間隙(ギャップ)を置い
て配置されている。そして、その間隙は、ガラス基板
2、9の周縁部において有機性樹脂からなるシール材と
封口材とによって封止されて閉空間となっており、この
閉空間に液晶が充填されている。
【0007】カラー表示を実現する場合には、一般的に
は、ガラス基板9の閉空間側に着色層と呼ばれる染料又
は顔料のいずれか一方もしくは両方を含む厚さ1〜2μ
m程度の有機薄膜が被着されて、色表示機能が与えられ
るので、その場合にはガラス基板9は別名『カラーフィ
ルタ』と呼ばれる。そして、液晶材料の性質によっては
ガラス基板9の上面又はガラス基板2の下面のいずれか
一方もしくは両面上に偏光板が貼付され、液晶パネル1
は電気光学素子として機能する。一般的に用いられるツ
イスト・ネマチック(TN)型の液晶においては、2枚
の偏光板が必要である。
は、ガラス基板9の閉空間側に着色層と呼ばれる染料又
は顔料のいずれか一方もしくは両方を含む厚さ1〜2μ
m程度の有機薄膜が被着されて、色表示機能が与えられ
るので、その場合にはガラス基板9は別名『カラーフィ
ルタ』と呼ばれる。そして、液晶材料の性質によっては
ガラス基板9の上面又はガラス基板2の下面のいずれか
一方もしくは両面上に偏光板が貼付され、液晶パネル1
は電気光学素子として機能する。一般的に用いられるツ
イスト・ネマチック(TN)型の液晶においては、2枚
の偏光板が必要である。
【0008】図9はスイッチング素子として例えば薄膜
の絶縁ゲート型トランジスタを絵素ごとに配置したアク
ティブ型液晶パネルの等価回路図である。実線で描かれ
た素子は一方のガラス基板であるアクティブ基板2上に
形成され、破線で描かれた素子は他方のガラス基板9上
に形成されている。走査線11(8)と信号線12
(7)は、例えば非晶質シリコンを半導体層とし、シリ
コン窒化層をゲート絶縁層とするTFT(薄膜トランジ
スタ)10の形成と同時にアクティブ基板2上に形成さ
れる。
の絶縁ゲート型トランジスタを絵素ごとに配置したアク
ティブ型液晶パネルの等価回路図である。実線で描かれ
た素子は一方のガラス基板であるアクティブ基板2上に
形成され、破線で描かれた素子は他方のガラス基板9上
に形成されている。走査線11(8)と信号線12
(7)は、例えば非晶質シリコンを半導体層とし、シリ
コン窒化層をゲート絶縁層とするTFT(薄膜トランジ
スタ)10の形成と同時にアクティブ基板2上に形成さ
れる。
【0009】液晶セル13は、アクティブ基板2上に形
成された透明導電性の絵素電極14(図10参照)と、
カラーフィルタ(ガラス基板)9上に形成された同じく
透明導電性の対向電極15と、2枚のガラス基板2、9
によって形成された閉空間に充填された液晶16(図1
0参照)とにより構成され、電気的にはコンデンサと同
じ扱いである。液晶セル13の時定数を大きくするため
の蓄積容量の構成に関しては幾つかの選択が可能であ
る。例えば図9において、すべての絵素電極14に共通
の共通電極18と絵素電極14との間にTFT10のゲ
ート絶縁層等の絶縁層を介在させることによって蓄積容
量17が構成されている。
成された透明導電性の絵素電極14(図10参照)と、
カラーフィルタ(ガラス基板)9上に形成された同じく
透明導電性の対向電極15と、2枚のガラス基板2、9
によって形成された閉空間に充填された液晶16(図1
0参照)とにより構成され、電気的にはコンデンサと同
じ扱いである。液晶セル13の時定数を大きくするため
の蓄積容量の構成に関しては幾つかの選択が可能であ
る。例えば図9において、すべての絵素電極14に共通
の共通電極18と絵素電極14との間にTFT10のゲ
ート絶縁層等の絶縁層を介在させることによって蓄積容
量17が構成されている。
【0010】図10はアクティブ型のカラー液晶パネル
の要部を示す断面図である。染色された感光性ゼラチン
又は着色性感光性樹脂等からなる着色層19は、上記し
たように、カラーフィルタ9の閉空間側に絵素電極14
に対応してR、G、Bの三原色で所定の配列にしたがっ
て配置されている。全ての絵素電極14に共通の対向電
極15は、着色層19の介在による液晶セル内での電圧
配分損失を回避するために、着色層19の上に形成され
る。液晶16に接して2枚のガラス基板2、9の上に被
着された、例えば0.1μm程度の膜厚のポリイミド系
樹脂薄膜層20は、液晶分子を決められた方向に揃える
ための配向膜である。上記したように、液晶16として
ツイスト・ネマチック(TN)型のものを用いる場合に
は、上下2枚の偏光板21が必要である。
の要部を示す断面図である。染色された感光性ゼラチン
又は着色性感光性樹脂等からなる着色層19は、上記し
たように、カラーフィルタ9の閉空間側に絵素電極14
に対応してR、G、Bの三原色で所定の配列にしたがっ
て配置されている。全ての絵素電極14に共通の対向電
極15は、着色層19の介在による液晶セル内での電圧
配分損失を回避するために、着色層19の上に形成され
る。液晶16に接して2枚のガラス基板2、9の上に被
着された、例えば0.1μm程度の膜厚のポリイミド系
樹脂薄膜層20は、液晶分子を決められた方向に揃える
ための配向膜である。上記したように、液晶16として
ツイスト・ネマチック(TN)型のものを用いる場合に
は、上下2枚の偏光板21が必要である。
【0011】R、G、Bの着色層19の境界に低反射性
の不透明膜22を配置すると、アクティブ基板2上の信
号線12等の配線層からの反射光を防止することがで
き、これにより画像のコントラスト比が向上する。ま
た、スイッチング素子であるTFT10の外部光照射に
よるOFF動作時のリーク電流の増大を防止することが
でき、これにより強い外光の下でも液晶パネルを動作さ
せることが可能となる。これは、既にブラックマトリク
ス(BM)として実用化されている。
の不透明膜22を配置すると、アクティブ基板2上の信
号線12等の配線層からの反射光を防止することがで
き、これにより画像のコントラスト比が向上する。ま
た、スイッチング素子であるTFT10の外部光照射に
よるOFF動作時のリーク電流の増大を防止することが
でき、これにより強い外光の下でも液晶パネルを動作さ
せることが可能となる。これは、既にブラックマトリク
ス(BM)として実用化されている。
【0012】ブラックマトリクス(BM)の構成も多数
考えられる。隣り合った着色層19の境界における段差
の発生や光の透過率等を考慮すると、コスト的には不利
であるが、不透明膜22としては0.1μm程度の膜厚
の金属薄膜、例えばCr薄膜を用いるのが簡便でかつ合
理的である。
考えられる。隣り合った着色層19の境界における段差
の発生や光の透過率等を考慮すると、コスト的には不利
であるが、不透明膜22としては0.1μm程度の膜厚
の金属薄膜、例えばCr薄膜を用いるのが簡便でかつ合
理的である。
【0013】尚、図10においては、理解を簡単にする
ため、TFT10、走査線11及び蓄積容量17に加え
て裏面光源やスペーサ等の構成要素も省略している。2
3は絵素電極14とTFT10のドレインとを接続する
ための導電性薄膜である。この導電性薄膜23は、一般
的には、信号線12と同一の部材で同時に形成され、ド
レイン配線(電極)と呼ばれる。ここでは図示していな
いが、対向電極15は画像表示部よりも僅かに外寄りの
外周部で適当な導電性ペースト等を介してTFT10を
有するアクティブ基板2上の適当な導電性パターンに接
続され、電極端子群5、6(図8参照)の一部に組み込
まれて電気的接続が与えられている。
ため、TFT10、走査線11及び蓄積容量17に加え
て裏面光源やスペーサ等の構成要素も省略している。2
3は絵素電極14とTFT10のドレインとを接続する
ための導電性薄膜である。この導電性薄膜23は、一般
的には、信号線12と同一の部材で同時に形成され、ド
レイン配線(電極)と呼ばれる。ここでは図示していな
いが、対向電極15は画像表示部よりも僅かに外寄りの
外周部で適当な導電性ペースト等を介してTFT10を
有するアクティブ基板2上の適当な導電性パターンに接
続され、電極端子群5、6(図8参照)の一部に組み込
まれて電気的接続が与えられている。
【0014】上記の液晶パネルにおける液晶セルは、一
方の基板上に形成された透明導電性の絵素電極と、カラ
ーフィルタ上の同じく対向電極と、2枚のガラス基板の
間に充填された液晶とにより構成されている。最近商品
化された視野角を拡大することが可能なIPS型の液晶
パネルにおける液晶セルは、一方のガラス基板上に形成
された一対の櫛形電極と、2枚のガラス基板間に充填さ
れた液晶とにより構成されるので、カラーフィルタ上に
も透明電極は不要となるが、ここでは詳細は省略する。
方の基板上に形成された透明導電性の絵素電極と、カラ
ーフィルタ上の同じく対向電極と、2枚のガラス基板の
間に充填された液晶とにより構成されている。最近商品
化された視野角を拡大することが可能なIPS型の液晶
パネルにおける液晶セルは、一方のガラス基板上に形成
された一対の櫛形電極と、2枚のガラス基板間に充填さ
れた液晶とにより構成されるので、カラーフィルタ上に
も透明電極は不要となるが、ここでは詳細は省略する。
【0015】以上述べたように、アクティブ型液晶パネ
ルは、スイッチング素子と絵素電極とからなる単位絵素
が数〜数百万個配置され、単位絵素間を結ぶ走査線や信
号線等の電極線と電極線の端部に形成され実装に対応し
た電極端子群とを有するガラス基板のような透明絶縁基
板と、もう一枚のガラス基板又はカラーフィルタとの精
密組立技術によって得られる。
ルは、スイッチング素子と絵素電極とからなる単位絵素
が数〜数百万個配置され、単位絵素間を結ぶ走査線や信
号線等の電極線と電極線の端部に形成され実装に対応し
た電極端子群とを有するガラス基板のような透明絶縁基
板と、もう一枚のガラス基板又はカラーフィルタとの精
密組立技術によって得られる。
【0016】従って、半導体集積回路を作製するのと殆
ど類似の材料、生産設備、環境や手法が必要であり、実
際、μmオーダーのパターン形成、各種の薄膜形成、液
晶セル厚等を対象とした製作技術が駆使されている。
ど類似の材料、生産設備、環境や手法が必要であり、実
際、μmオーダーのパターン形成、各種の薄膜形成、液
晶セル厚等を対象とした製作技術が駆使されている。
【0017】換言すれば、アクティブ型液晶パネルは、
歩留が上がりにくいデバイスとも言える。画像を表示す
るのであるから、線欠陥は一本たりとも許されないこと
は自明であるが、点欠陥や染み、斑のまったくない良品
作りは極めて困難である。現時点での製作技術の完成度
からはある程度の妥協が現実的であり、例えば点欠陥に
関しては、画面中央部に輝点欠陥が3個以下、黒点欠陥
が総数で20個以下といったようなきめ細かな規格がパ
ネルサイズや解像度等を勘案して認定されている。
歩留が上がりにくいデバイスとも言える。画像を表示す
るのであるから、線欠陥は一本たりとも許されないこと
は自明であるが、点欠陥や染み、斑のまったくない良品
作りは極めて困難である。現時点での製作技術の完成度
からはある程度の妥協が現実的であり、例えば点欠陥に
関しては、画面中央部に輝点欠陥が3個以下、黒点欠陥
が総数で20個以下といったようなきめ細かな規格がパ
ネルサイズや解像度等を勘案して認定されている。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】輝点(白点)欠陥と
は、常時点灯している欠陥のことであり、非常に目立つ
ために特に規格が厳しくなっている。そこで、アクティ
ブ基板の製作が完了した時点で各単位絵素の電気的な特
性を検査し、輝点欠陥が発見された場合には、それをレ
ーザで修正して黒点欠陥に転化する救済技術も既に実用
化されている。
は、常時点灯している欠陥のことであり、非常に目立つ
ために特に規格が厳しくなっている。そこで、アクティ
ブ基板の製作が完了した時点で各単位絵素の電気的な特
性を検査し、輝点欠陥が発見された場合には、それをレ
ーザで修正して黒点欠陥に転化する救済技術も既に実用
化されている。
【0019】図11に、例えばTFT10が何らかの原
因で動作しない場合に実施される救済例を示す。これ
は、適当な絶縁層を介して絶縁されている信号線12の
突起部12′と絵素電極14とをレーザを用いて融合さ
せて24として電気的に接続するものである。このた
め、絵素電極14は走査線12の制御によらず常に信号
線12と等電位となるので、液晶パネルの表示モードが
ノーマリー・ホワイトであれば、少なくとも輝点欠陥で
はあり得なくなることが分かる。
因で動作しない場合に実施される救済例を示す。これ
は、適当な絶縁層を介して絶縁されている信号線12の
突起部12′と絵素電極14とをレーザを用いて融合さ
せて24として電気的に接続するものである。このた
め、絵素電極14は走査線12の制御によらず常に信号
線12と等電位となるので、液晶パネルの表示モードが
ノーマリー・ホワイトであれば、少なくとも輝点欠陥で
はあり得なくなることが分かる。
【0020】しかし、輝点欠陥は、必ずしもアクティブ
基板2の作製時だけでなく、パネル組立時にも発生し得
るため、アクティブ基板2の作製時だけの修正では限界
がある。例えば、配向膜のピンホールや非配向等の不良
は、電気的な処理では黒点処理することはできないから
である。また、液晶パネルにレーザを照射する修正で
は、気泡が発生したり、ブラックマトリクスに穴が開い
たりするという不具合があり、必ずしも成功率が高くな
いのが現状である。
基板2の作製時だけでなく、パネル組立時にも発生し得
るため、アクティブ基板2の作製時だけの修正では限界
がある。例えば、配向膜のピンホールや非配向等の不良
は、電気的な処理では黒点処理することはできないから
である。また、液晶パネルにレーザを照射する修正で
は、気泡が発生したり、ブラックマトリクスに穴が開い
たりするという不具合があり、必ずしも成功率が高くな
いのが現状である。
【0021】本発明は、従来技術における前記課題を解
決するためになされたものであり、輝点欠陥を黒点処理
することによって歩留の向上を図ることのできる液晶パ
ネル及びその製造方法を提供することを目的とする。
決するためになされたものであり、輝点欠陥を黒点処理
することによって歩留の向上を図ることのできる液晶パ
ネル及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0022】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る液晶パネルの第1の構成は、第1の透
明絶縁基板の一主面上に複数本の走査線と、少なくとも
一層の絶縁層と、前記走査線と略直交する複数の信号線
とが順次形成され、前記走査線と前記信号線との交点ご
とに少なくとも1つのスイッチング素子と絵素電極とが
設けられたアクティブ基板と、前記アクティブ基板と対
向して配置された第2の透明絶縁基板又はカラーフィル
タと、前記アクティブ基板と前記第2の透明絶縁基板又
はカラーフィルタとの間に充填された液晶とを備えた液
晶パネルであって、前記第1の透明絶縁基板の他の主面
上又は前記第2の透明絶縁基板もしくはカラーフィルタ
の非対向面上の特定の単位絵素に対応した位置に不透明
膜が形成されたことを特徴とする。この液晶パネルの第
1の構成によれば、液晶パネルを構成する第1及び第2
の透明絶縁基板上の任意の位置に不透明膜を形成するも
のであるため、輝点欠陥の単位絵素に対応した位置の透
明絶縁基板上に不透明膜を形成することによって輝点欠
陥を黒点欠陥に転換することが可能となり、輝点欠陥の
無いアクティブ型の液晶パネルを実現することができ
る。
め、本発明に係る液晶パネルの第1の構成は、第1の透
明絶縁基板の一主面上に複数本の走査線と、少なくとも
一層の絶縁層と、前記走査線と略直交する複数の信号線
とが順次形成され、前記走査線と前記信号線との交点ご
とに少なくとも1つのスイッチング素子と絵素電極とが
設けられたアクティブ基板と、前記アクティブ基板と対
向して配置された第2の透明絶縁基板又はカラーフィル
タと、前記アクティブ基板と前記第2の透明絶縁基板又
はカラーフィルタとの間に充填された液晶とを備えた液
晶パネルであって、前記第1の透明絶縁基板の他の主面
上又は前記第2の透明絶縁基板もしくはカラーフィルタ
の非対向面上の特定の単位絵素に対応した位置に不透明
膜が形成されたことを特徴とする。この液晶パネルの第
1の構成によれば、液晶パネルを構成する第1及び第2
の透明絶縁基板上の任意の位置に不透明膜を形成するも
のであるため、輝点欠陥の単位絵素に対応した位置の透
明絶縁基板上に不透明膜を形成することによって輝点欠
陥を黒点欠陥に転換することが可能となり、輝点欠陥の
無いアクティブ型の液晶パネルを実現することができ
る。
【0023】また、本発明に係る液晶パネルの第1の製
造方法は、第1の透明絶縁基板の一主面上に複数本の走
査線と、少なくとも一層の絶縁層と、前記走査線と略直
交する複数の信号線とが順次形成され、前記走査線と前
記信号線との交点ごとに少なくとも1つのスイッチング
素子と絵素電極とが設けられたアクティブ基板と、前記
アクティブ基板と対向して配置された第2の透明絶縁基
板又はカラーフィルタと、前記アクティブ基板と前記第
2の透明絶縁基板又はカラーフィルタとの間に充填され
た液晶とを備えた液晶パネルの製造方法であって、パネ
ル組立工程後又は実装工程終了後の画像検査において輝
点欠陥を検出する工程と、前記透明絶縁基板の他の主面
上又は前記第2の透明絶縁基板もしくはカラーフィルタ
の非対向面上の前記輝点欠陥に対応した位置に不透明膜
を形成する工程と、前記透明絶縁基板の他の主面上又は
前記カラーフィルタの非対向面上のいずれかもしくは両
方に偏光板を貼付する工程とを備えたことを特徴とす
る。この液晶パネルの第1の製造方法によれば、パネル
組立工程後又は実装工程終了後の画像検査において輝点
欠陥を検出し、液晶パネルを構成する第1及び第2の透
明絶縁基板上の輝点欠陥の位置に不透明膜を形成した
後、液晶パネルを構成する第1及び第2の透明絶縁基板
のいずれかもしくは両方に偏光板を貼付するようにした
ので、輝点欠陥を黒点欠陥に転換することが可能とな
り、輝点欠陥の無いアクティブ型の液晶パネルを得るこ
とができる。
造方法は、第1の透明絶縁基板の一主面上に複数本の走
査線と、少なくとも一層の絶縁層と、前記走査線と略直
交する複数の信号線とが順次形成され、前記走査線と前
記信号線との交点ごとに少なくとも1つのスイッチング
素子と絵素電極とが設けられたアクティブ基板と、前記
アクティブ基板と対向して配置された第2の透明絶縁基
板又はカラーフィルタと、前記アクティブ基板と前記第
2の透明絶縁基板又はカラーフィルタとの間に充填され
た液晶とを備えた液晶パネルの製造方法であって、パネ
ル組立工程後又は実装工程終了後の画像検査において輝
点欠陥を検出する工程と、前記透明絶縁基板の他の主面
上又は前記第2の透明絶縁基板もしくはカラーフィルタ
の非対向面上の前記輝点欠陥に対応した位置に不透明膜
を形成する工程と、前記透明絶縁基板の他の主面上又は
前記カラーフィルタの非対向面上のいずれかもしくは両
方に偏光板を貼付する工程とを備えたことを特徴とす
る。この液晶パネルの第1の製造方法によれば、パネル
組立工程後又は実装工程終了後の画像検査において輝点
欠陥を検出し、液晶パネルを構成する第1及び第2の透
明絶縁基板上の輝点欠陥の位置に不透明膜を形成した
後、液晶パネルを構成する第1及び第2の透明絶縁基板
のいずれかもしくは両方に偏光板を貼付するようにした
ので、輝点欠陥を黒点欠陥に転換することが可能とな
り、輝点欠陥の無いアクティブ型の液晶パネルを得るこ
とができる。
【0024】また、前記本発明の液晶パネルの第1の製
造方法においては、レーザCVDによる金属薄膜の選択
的形成によって不透明膜を形成するのが好ましい。この
好ましい例によれば、精度の高い不透明膜の形成が可能
となり、しかも不透明膜の膜厚を容易に0.3μm以下
に抑えることができるので、偏光板の貼付けの支障とは
ならない。また、このように不透明膜が薄い金属薄膜で
形成されるため、偏光板を貼付する直前のパネルを洗浄
するのに、従来と同様の薬液を併用した化学的な洗浄方
法や超音波を重畳した物理的な洗浄方法を用いることが
可能であり、偏光板貼付不良が増大することはない。
造方法においては、レーザCVDによる金属薄膜の選択
的形成によって不透明膜を形成するのが好ましい。この
好ましい例によれば、精度の高い不透明膜の形成が可能
となり、しかも不透明膜の膜厚を容易に0.3μm以下
に抑えることができるので、偏光板の貼付けの支障とは
ならない。また、このように不透明膜が薄い金属薄膜で
形成されるため、偏光板を貼付する直前のパネルを洗浄
するのに、従来と同様の薬液を併用した化学的な洗浄方
法や超音波を重畳した物理的な洗浄方法を用いることが
可能であり、偏光板貼付不良が増大することはない。
【0025】また、前記本発明の液晶パネルの第1の製
造方法においては、黒色顔料又は染料のいずれかもしく
は両方を含む有機樹脂のマイクロジェットを用いた選択
的塗布によって不透明膜を形成するのが好ましい。この
好ましい例によれば、簡便に不透明膜を形成することが
できるので、輝点不良の低減に大きく貢献することがで
きる。また、不透明膜の膜厚を1〜2μmに抑えること
ができるので、偏光板の貼付けの支障とはならない。
造方法においては、黒色顔料又は染料のいずれかもしく
は両方を含む有機樹脂のマイクロジェットを用いた選択
的塗布によって不透明膜を形成するのが好ましい。この
好ましい例によれば、簡便に不透明膜を形成することが
できるので、輝点不良の低減に大きく貢献することがで
きる。また、不透明膜の膜厚を1〜2μmに抑えること
ができるので、偏光板の貼付けの支障とはならない。
【0026】また、本発明に係る液晶パネルの第2の構
成は、一主面上に透明導電性の複数本の走査線が形成さ
れた第1の透明絶縁基板と、前記第1の透明絶縁基板と
対向して配置され、一主面上に少なくとも縞状の着色層
と透明導電性の複数本の信号線とが順次形成さた第2の
透明絶縁基板と、前記第1の透明絶縁基板と前記第2の
透明絶縁基板との間に充填された液晶とを備えた液晶パ
ネルであって、前記第1の透明絶縁基板又は前記第2の
透明絶縁基板の他の主面上の特定の単位絵素に対応した
位置に不透明膜が形成されたことを特徴とする。この液
晶パネルの第2の構成によれば、液晶パネルを構成する
第1及び第2の透明絶縁基板上の任意の位置に不透明膜
を形成するものであるため、輝点欠陥の単位絵素に対応
した位置の透明絶縁基板上に不透明膜を形成することに
よって輝点欠陥を黒点欠陥に転換することが可能とな
り、輝点欠陥の無い単純型の液晶パネルを実現すること
ができる。
成は、一主面上に透明導電性の複数本の走査線が形成さ
れた第1の透明絶縁基板と、前記第1の透明絶縁基板と
対向して配置され、一主面上に少なくとも縞状の着色層
と透明導電性の複数本の信号線とが順次形成さた第2の
透明絶縁基板と、前記第1の透明絶縁基板と前記第2の
透明絶縁基板との間に充填された液晶とを備えた液晶パ
ネルであって、前記第1の透明絶縁基板又は前記第2の
透明絶縁基板の他の主面上の特定の単位絵素に対応した
位置に不透明膜が形成されたことを特徴とする。この液
晶パネルの第2の構成によれば、液晶パネルを構成する
第1及び第2の透明絶縁基板上の任意の位置に不透明膜
を形成するものであるため、輝点欠陥の単位絵素に対応
した位置の透明絶縁基板上に不透明膜を形成することに
よって輝点欠陥を黒点欠陥に転換することが可能とな
り、輝点欠陥の無い単純型の液晶パネルを実現すること
ができる。
【0027】また、本発明に係る液晶パネルの第2の製
造方法は、一主面上に透明導電性の複数本の走査線が形
成された第1の透明絶縁基板と、前記第1の透明絶縁基
板と対向して配置され、一主面上に少なくとも縞状の着
色層と透明導電性の複数本の信号線とが順次形成さた第
2の透明絶縁基板と、前記第1の透明絶縁基板と前記第
2の透明絶縁基板との間に充填された液晶とを備えた液
晶パネルの製造方法であって、パネル組立工程後又は実
装工程終了後の画像検査において輝点欠陥を検出する工
程と、前記第1の透明絶縁基板又は前記第2の透明絶縁
基板の他の主面上の前記輝点欠陥に対応した位置に不透
明膜を形成する工程と、前記第1の透明絶縁基板又は第
2の透明絶縁基板の他の主面上のいずれかもしくは両方
に偏光板を貼付する工程とを備えたことを特徴とする。
この液晶パネルの第2の製造方法によれば、パネル組立
工程後又は実装工程終了後の画像検査において輝点欠陥
を検出し、液晶パネルを構成する第1及び第2の透明絶
縁基板上の輝点欠陥の位置に不透明膜を形成した後、液
晶パネルを構成する第1及び第2の透明絶縁基板のいず
れかもしくは両方に偏光板を貼付するようにしたので、
輝点欠陥を黒点欠陥に転換することが可能となり、輝点
欠陥の無い単純型の液晶パネルを得ることができる。
造方法は、一主面上に透明導電性の複数本の走査線が形
成された第1の透明絶縁基板と、前記第1の透明絶縁基
板と対向して配置され、一主面上に少なくとも縞状の着
色層と透明導電性の複数本の信号線とが順次形成さた第
2の透明絶縁基板と、前記第1の透明絶縁基板と前記第
2の透明絶縁基板との間に充填された液晶とを備えた液
晶パネルの製造方法であって、パネル組立工程後又は実
装工程終了後の画像検査において輝点欠陥を検出する工
程と、前記第1の透明絶縁基板又は前記第2の透明絶縁
基板の他の主面上の前記輝点欠陥に対応した位置に不透
明膜を形成する工程と、前記第1の透明絶縁基板又は第
2の透明絶縁基板の他の主面上のいずれかもしくは両方
に偏光板を貼付する工程とを備えたことを特徴とする。
この液晶パネルの第2の製造方法によれば、パネル組立
工程後又は実装工程終了後の画像検査において輝点欠陥
を検出し、液晶パネルを構成する第1及び第2の透明絶
縁基板上の輝点欠陥の位置に不透明膜を形成した後、液
晶パネルを構成する第1及び第2の透明絶縁基板のいず
れかもしくは両方に偏光板を貼付するようにしたので、
輝点欠陥を黒点欠陥に転換することが可能となり、輝点
欠陥の無い単純型の液晶パネルを得ることができる。
【0028】また、前記本発明の液晶パネルの第2の製
造方法においては、レーザCVDによる金属薄膜の選択
的形成によって不透明膜を形成するのが好ましい。ま
た、前記本発明の液晶パネルの第2の製造方法において
は、黒色顔料又は染料のいずれかもしくは両方を含む有
機樹脂のマイクロジェットを用いた選択的塗布によって
不透明膜を形成するのが好ましい。
造方法においては、レーザCVDによる金属薄膜の選択
的形成によって不透明膜を形成するのが好ましい。ま
た、前記本発明の液晶パネルの第2の製造方法において
は、黒色顔料又は染料のいずれかもしくは両方を含む有
機樹脂のマイクロジェットを用いた選択的塗布によって
不透明膜を形成するのが好ましい。
【0029】また、本発明に係る液晶パネルの第3の構
成は、絶縁基板の一主面上に複数本の走査線と、少なく
とも一層の絶縁層と、前記走査線と概ね直交する複数の
信号線とが順次形成され、前記走査線と前記信号線との
交点ごとに少なくとも1つのスイッチング素子と反射電
極とを有するアクティブ基板と、前記アクティブ基板と
対向して配置された透明絶縁基板又はカラーフィルタ
と、前記アクティブ基板と前記透明絶縁基板又はカラー
フィルタとの間に充填された液晶とを備えた液晶パネル
であって、前記透明絶縁基板又はカラーフィルタの非対
向面上の特定の単位絵素に対応した位置に不透明膜が形
成されたことを特徴とする。この液晶パネルの第3の構
成によれば、液晶パネルを構成するアクティブ基板と対
向する透明絶縁基板又はカラーフィルタ上の任意の単位
絵素に対応した位置に不透明膜を形成するものであるた
め、輝点欠陥の単位絵素に対応した位置の透明絶縁基板
又はカラーフィルタ上に不透明膜を形成することによっ
て輝点欠陥を黒点欠陥に転換することが可能となり、輝
点欠陥の無いアクティブ型の反射型液晶パネルを得るこ
とができる。
成は、絶縁基板の一主面上に複数本の走査線と、少なく
とも一層の絶縁層と、前記走査線と概ね直交する複数の
信号線とが順次形成され、前記走査線と前記信号線との
交点ごとに少なくとも1つのスイッチング素子と反射電
極とを有するアクティブ基板と、前記アクティブ基板と
対向して配置された透明絶縁基板又はカラーフィルタ
と、前記アクティブ基板と前記透明絶縁基板又はカラー
フィルタとの間に充填された液晶とを備えた液晶パネル
であって、前記透明絶縁基板又はカラーフィルタの非対
向面上の特定の単位絵素に対応した位置に不透明膜が形
成されたことを特徴とする。この液晶パネルの第3の構
成によれば、液晶パネルを構成するアクティブ基板と対
向する透明絶縁基板又はカラーフィルタ上の任意の単位
絵素に対応した位置に不透明膜を形成するものであるた
め、輝点欠陥の単位絵素に対応した位置の透明絶縁基板
又はカラーフィルタ上に不透明膜を形成することによっ
て輝点欠陥を黒点欠陥に転換することが可能となり、輝
点欠陥の無いアクティブ型の反射型液晶パネルを得るこ
とができる。
【0030】また、本発明に係る液晶パネルの第3の製
造方法は、絶縁基板の一主面上に複数本の走査線と、少
なくとも一層の絶縁層と、前記走査線と概ね直交する複
数の信号線とが順次形成され、前記走査線と前記信号線
との交点ごとに少なくとも1つのスイッチング素子と反
射電極とを有するアクティブ基板と、前記アクティブ基
板と対向して配置された透明絶縁基板又はカラーフィル
タと、前記アクティブ基板と前記透明絶縁基板又はカラ
ーフィルタとの間に充填された液晶とを備えた液晶パネ
ルの製造方法であって、パネル組立工程後又は実装工程
終了後の画像検査において輝点欠陥を検出する工程と、
前記透明絶縁基板又はカラーフィルタの非対向面上の前
記輝点欠陥に対応した位置に不透明膜を形成する工程
と、前記透明絶縁基板又はカラーフィルタの非対向面上
に偏光板を貼付する工程とを備えたことを特徴とする。
この液晶パネルの第3の製造方法によれば、パネル組立
工程後又は実装工程終了後の画像検査において輝点欠陥
を検出し、液晶パネルを構成する透明絶縁基板又はカラ
ーフィルタの非対向面上の輝点欠陥に対応した位置に不
透明膜を形成した後、液晶パネルを構成する透明絶縁基
板又はカラーフィルタのいずれかに偏光板を貼付するよ
うにしたので、輝点欠陥を黒点欠陥に転換することが可
能となり、輝点欠陥の無いアクティブ型の反射型液晶パ
ネルを得ることができる。
造方法は、絶縁基板の一主面上に複数本の走査線と、少
なくとも一層の絶縁層と、前記走査線と概ね直交する複
数の信号線とが順次形成され、前記走査線と前記信号線
との交点ごとに少なくとも1つのスイッチング素子と反
射電極とを有するアクティブ基板と、前記アクティブ基
板と対向して配置された透明絶縁基板又はカラーフィル
タと、前記アクティブ基板と前記透明絶縁基板又はカラ
ーフィルタとの間に充填された液晶とを備えた液晶パネ
ルの製造方法であって、パネル組立工程後又は実装工程
終了後の画像検査において輝点欠陥を検出する工程と、
前記透明絶縁基板又はカラーフィルタの非対向面上の前
記輝点欠陥に対応した位置に不透明膜を形成する工程
と、前記透明絶縁基板又はカラーフィルタの非対向面上
に偏光板を貼付する工程とを備えたことを特徴とする。
この液晶パネルの第3の製造方法によれば、パネル組立
工程後又は実装工程終了後の画像検査において輝点欠陥
を検出し、液晶パネルを構成する透明絶縁基板又はカラ
ーフィルタの非対向面上の輝点欠陥に対応した位置に不
透明膜を形成した後、液晶パネルを構成する透明絶縁基
板又はカラーフィルタのいずれかに偏光板を貼付するよ
うにしたので、輝点欠陥を黒点欠陥に転換することが可
能となり、輝点欠陥の無いアクティブ型の反射型液晶パ
ネルを得ることができる。
【0031】また、前記本発明の液晶パネルの第3の製
造方法においては、レーザCVDによる金属薄膜の選択
的形成によって不透明膜を形成するのが好ましい。ま
た、前記本発明の液晶パネルの第3の製造方法において
は、黒色顔料又は染料のいずれかもしくは両方を含む有
機樹脂のマイクロジェットを用いた選択的塗布によって
不透明膜を形成するのが好ましい。
造方法においては、レーザCVDによる金属薄膜の選択
的形成によって不透明膜を形成するのが好ましい。ま
た、前記本発明の液晶パネルの第3の製造方法において
は、黒色顔料又は染料のいずれかもしくは両方を含む有
機樹脂のマイクロジェットを用いた選択的塗布によって
不透明膜を形成するのが好ましい。
【0032】また、本発明に係る液晶パネルの第4の構
成は、一主面上に縞状の着色層と複数本の透明導電性の
走査線とが順次形成された透明絶縁基板と、前記透明絶
縁基板に対向して配置され、一主面上に複数本の金属性
の信号線が形成された絶縁基板と、前記透明絶縁基板と
前記絶縁基板との間に充填された液晶とを備えた液晶パ
ネルであって、前記透明絶縁基板の他の主面上の特定の
単位絵素に対応した位置に不透明膜が形成されたことを
特徴とする。この液晶パネルの第4の構成によれば、液
晶パネルを構成する透明絶縁基板の他の主面上の任意の
単位絵素に対応した位置に不透明膜を形成するものであ
るため、輝点欠陥の単位絵素に対応した位置の透明絶縁
基板の他の主面上に不透明膜を形成することによって輝
点欠陥を黒点欠陥に転換することが可能となり、輝点欠
陥の無い単純型の反射型液晶パネルを実現することがで
きる。
成は、一主面上に縞状の着色層と複数本の透明導電性の
走査線とが順次形成された透明絶縁基板と、前記透明絶
縁基板に対向して配置され、一主面上に複数本の金属性
の信号線が形成された絶縁基板と、前記透明絶縁基板と
前記絶縁基板との間に充填された液晶とを備えた液晶パ
ネルであって、前記透明絶縁基板の他の主面上の特定の
単位絵素に対応した位置に不透明膜が形成されたことを
特徴とする。この液晶パネルの第4の構成によれば、液
晶パネルを構成する透明絶縁基板の他の主面上の任意の
単位絵素に対応した位置に不透明膜を形成するものであ
るため、輝点欠陥の単位絵素に対応した位置の透明絶縁
基板の他の主面上に不透明膜を形成することによって輝
点欠陥を黒点欠陥に転換することが可能となり、輝点欠
陥の無い単純型の反射型液晶パネルを実現することがで
きる。
【0033】また、本発明に係る液晶パネルの第4の製
造方法は、一主面上に縞状の着色層と複数本の透明導電
性の走査線とが順次形成された透明絶縁基板と、前記透
明絶縁基板に対向して配置され、一主面上に複数本の金
属性の信号線が形成された絶縁基板と、前記透明絶縁基
板と前記絶縁基板との間に充填された液晶とを備えた液
晶パネルの製造方法であって、パネル組立工程後又は実
装工程終了後の画像検査において輝点欠陥を検出する工
程と、前記透明絶縁基板の他の主面上の前記輝点欠陥に
対応した位置に不透明膜を形成する工程と、前記透明絶
縁基板の他の主面上に偏光板を貼付する工程とを備えた
ことを特徴とする。この液晶パネルの第4の製造方法に
よれば、パネル組立工程後又は実装工程終了後の画像検
査において輝点欠陥を検出し、液晶パネルを構成する透
明絶縁基板の他の主面上の輝点欠陥に対応した位置に不
透明膜を形成した後、液晶パネルを構成する透明絶縁基
板に偏光板を貼付するようにしたので、輝点欠陥を黒点
欠陥に転換することが可能となり、輝点欠陥の無い単純
型の反射型液晶パネルを得ることができる。
造方法は、一主面上に縞状の着色層と複数本の透明導電
性の走査線とが順次形成された透明絶縁基板と、前記透
明絶縁基板に対向して配置され、一主面上に複数本の金
属性の信号線が形成された絶縁基板と、前記透明絶縁基
板と前記絶縁基板との間に充填された液晶とを備えた液
晶パネルの製造方法であって、パネル組立工程後又は実
装工程終了後の画像検査において輝点欠陥を検出する工
程と、前記透明絶縁基板の他の主面上の前記輝点欠陥に
対応した位置に不透明膜を形成する工程と、前記透明絶
縁基板の他の主面上に偏光板を貼付する工程とを備えた
ことを特徴とする。この液晶パネルの第4の製造方法に
よれば、パネル組立工程後又は実装工程終了後の画像検
査において輝点欠陥を検出し、液晶パネルを構成する透
明絶縁基板の他の主面上の輝点欠陥に対応した位置に不
透明膜を形成した後、液晶パネルを構成する透明絶縁基
板に偏光板を貼付するようにしたので、輝点欠陥を黒点
欠陥に転換することが可能となり、輝点欠陥の無い単純
型の反射型液晶パネルを得ることができる。
【0034】また、前記本発明の液晶パネルの第4の製
造方法においては、レーザCVDによる金属薄膜の選択
的形成によって不透明膜を形成するのが好ましい。ま
た、前記本発明の液晶パネルの第4の製造方法において
は、黒色顔料又は染料のいずれかもしくは両方を含む有
機樹脂のマイクロジェットを用いた選択的塗布によって
不透明膜を形成するのが好ましい。
造方法においては、レーザCVDによる金属薄膜の選択
的形成によって不透明膜を形成するのが好ましい。ま
た、前記本発明の液晶パネルの第4の製造方法において
は、黒色顔料又は染料のいずれかもしくは両方を含む有
機樹脂のマイクロジェットを用いた選択的塗布によって
不透明膜を形成するのが好ましい。
【0035】
【発明の実施の形態】以下、実施の形態を用いて本発明
をさらに詳細に説明する。 〈第1の実施の形態〉図1は本発明の第1の実施の形態
における液晶パネルにレーザCVDによって不透明膜を
形成する方法を示す工程断面図である。
をさらに詳細に説明する。 〈第1の実施の形態〉図1は本発明の第1の実施の形態
における液晶パネルにレーザCVDによって不透明膜を
形成する方法を示す工程断面図である。
【0036】図1に示すように、第1の透明絶縁基板の
一主面上には、複数本の走査線と、少なくとも一層の絶
縁層を介して前記走査線と略直交して配置された複数の
信号線12とが設けられている。また、第1の透明絶縁
基板2の一主面上には、前記走査線と信号線12との交
点ごとに少なくとも1つのスイッチング素子と絵素電極
14とが設けられている。以上により、アクティブ基板
2が構成されている。尚、図1中、23は絵素電極14
とTFTのドレインとを接続するための導電性薄膜であ
る。
一主面上には、複数本の走査線と、少なくとも一層の絶
縁層を介して前記走査線と略直交して配置された複数の
信号線12とが設けられている。また、第1の透明絶縁
基板2の一主面上には、前記走査線と信号線12との交
点ごとに少なくとも1つのスイッチング素子と絵素電極
14とが設けられている。以上により、アクティブ基板
2が構成されている。尚、図1中、23は絵素電極14
とTFTのドレインとを接続するための導電性薄膜であ
る。
【0037】第2の透明絶縁基板の一主面上には、絵素
電極14に対応して所定の配列にしたがってR、G、B
の三原色からなる着色層19(R)、19(G)、19
(B)が設けられている。また、着色層19の上には、
着色層19の介在による液晶セル内での電圧配分損失を
回避するために全ての絵素電極14に共通の対向電極1
5が設けられている。以上により、カラーフィルタ9が
構成されている。
電極14に対応して所定の配列にしたがってR、G、B
の三原色からなる着色層19(R)、19(G)、19
(B)が設けられている。また、着色層19の上には、
着色層19の介在による液晶セル内での電圧配分損失を
回避するために全ての絵素電極14に共通の対向電極1
5が設けられている。以上により、カラーフィルタ9が
構成されている。
【0038】アクティブ基板2とカラーフィルタ9は、
絵素電極14と対向電極15とを対向させた状態で平行
に配置されており、その対向面にはそれぞれポリイミド
系樹脂薄膜層20が設けられている。そして、両ポリイ
ミド系樹脂薄膜層20間には液晶16が充填されてい
る。
絵素電極14と対向電極15とを対向させた状態で平行
に配置されており、その対向面にはそれぞれポリイミド
系樹脂薄膜層20が設けられている。そして、両ポリイ
ミド系樹脂薄膜層20間には液晶16が充填されてい
る。
【0039】液晶材料としては、TNモードに一般的に
使用されるネマティック液晶を用いた。以上により、液
晶パネルが構成されている。液晶パネルの製作工程に
は、大きく分けてアクティブ基板形成工程、液晶パネル
化(パネル組立)工程、実装工程の3つの工程がある。
尚、液晶パネル化工程の最終段階においては、端子電極
に電気信号を与えることによって画像を表示することが
できる。また、実装工程の最終段階においては、駆動用
のLSIに電源、クロック信号、映像信号等の高々20
種類程度の電気信号を与えることによって画像を表示す
ることができる。
使用されるネマティック液晶を用いた。以上により、液
晶パネルが構成されている。液晶パネルの製作工程に
は、大きく分けてアクティブ基板形成工程、液晶パネル
化(パネル組立)工程、実装工程の3つの工程がある。
尚、液晶パネル化工程の最終段階においては、端子電極
に電気信号を与えることによって画像を表示することが
できる。また、実装工程の最終段階においては、駆動用
のLSIに電源、クロック信号、映像信号等の高々20
種類程度の電気信号を与えることによって画像を表示す
ることができる。
【0040】本発明の趣旨から言えば、液晶モジュール
として最終段階にある実装工程の終わりで輝点欠陥の修
正を行うべきであるが、液晶パネル化工程以降の工程で
点欠陥が新たに発生することは希であるので、現実的に
は液晶パネル化工程終了後の画像検査において輝点欠陥
を検出するのが最適である。輝点欠陥は、液晶パネルの
全端子に電気信号を印加することによって簡単に検出す
ることができるが、その位置の同定にはある程度の工夫
が必要である。従来の検査員の目視によって画像検査を
行う検査ラインでは、特開昭63−174095号公報
に開示されているように、表示画像上の点欠陥に擬似信
号からのカーソル線を重ねて表示し、点欠陥の発生して
いる場所(番地又はアドレス)を例えば走査線(ある決
められた原点からのチャネル番号である102本目)と
信号線(同じく357本目)との交点によって記録する
必要がある。一方、最近では、高精細のCCDカメラを
用いて検査画像を取り込み、電気的な画像処理によって
点欠陥の位置を同定することも可能となっている。すな
わち、表示画像上の点欠陥を認識可能な分解能を持つC
CDカメラと画像処理技術とにより、点欠陥の座標を自
動的に測定することが可能となり、データ転送等のミス
なく簡単に点欠陥の位置を同定することが可能となって
いる。
として最終段階にある実装工程の終わりで輝点欠陥の修
正を行うべきであるが、液晶パネル化工程以降の工程で
点欠陥が新たに発生することは希であるので、現実的に
は液晶パネル化工程終了後の画像検査において輝点欠陥
を検出するのが最適である。輝点欠陥は、液晶パネルの
全端子に電気信号を印加することによって簡単に検出す
ることができるが、その位置の同定にはある程度の工夫
が必要である。従来の検査員の目視によって画像検査を
行う検査ラインでは、特開昭63−174095号公報
に開示されているように、表示画像上の点欠陥に擬似信
号からのカーソル線を重ねて表示し、点欠陥の発生して
いる場所(番地又はアドレス)を例えば走査線(ある決
められた原点からのチャネル番号である102本目)と
信号線(同じく357本目)との交点によって記録する
必要がある。一方、最近では、高精細のCCDカメラを
用いて検査画像を取り込み、電気的な画像処理によって
点欠陥の位置を同定することも可能となっている。すな
わち、表示画像上の点欠陥を認識可能な分解能を持つC
CDカメラと画像処理技術とにより、点欠陥の座標を自
動的に測定することが可能となり、データ転送等のミス
なく簡単に点欠陥の位置を同定することが可能となって
いる。
【0041】尚、上記画像検査時には、液晶パネルに偏
光板を貼付しておく必要はなく、裏面光源との間、及び
液晶パネルと検査員又は画像取り込み用電子カメラとの
間に偏光板を配置しておけばよい。
光板を貼付しておく必要はなく、裏面光源との間、及び
液晶パネルと検査員又は画像取り込み用電子カメラとの
間に偏光板を配置しておけばよい。
【0042】輝点欠陥の座標を検出した後、図1に示す
ように、レーザCVD技術によって当該単位絵素に対応
したカラーフィルタ9の上面又はアクティブ基板2の下
面に不透明膜30を選択的に形成する。
ように、レーザCVD技術によって当該単位絵素に対応
したカラーフィルタ9の上面又はアクティブ基板2の下
面に不透明膜30を選択的に形成する。
【0043】レーザCVD技術は、金属カルボニルにレ
ーザ光を照射して金属薄膜を析出させる技術であり、従
来はホトマスクのCrのピンホールを埋めるために用い
られていた。最近になって、TFT液晶パネルを構成す
るアクティブ基板2の電極線の断線を修復する技術とし
て導入が始まったばかりである。
ーザ光を照射して金属薄膜を析出させる技術であり、従
来はホトマスクのCrのピンホールを埋めるために用い
られていた。最近になって、TFT液晶パネルを構成す
るアクティブ基板2の電極線の断線を修復する技術とし
て導入が始まったばかりである。
【0044】ここで、レーザCVDの照射条件について
簡単に説明する。レーザ媒質としてはNdを添加したY
AGが用いられる。第2高調波仕様で発振波長0.53
2μm、連続出力1W程度のQスイッチレーザを高エネ
ルギー光31とし、繰り返し周波数10kHz、パルス
幅70n秒、ビーム幅4μm、ビーム走査速度1〜2μ
m/秒でタングステン・カルボニルガス[W(C
O6 )]雰囲気32の下で、高エネルギー光31を矢印
33の方向に移動させながら、カラーフィルタ9の上面
に幅4μm、長さ50μm、厚み0.3μmの縞状パタ
ーンを形成した場合、そのパターンの抵抗値は17Ωと
なる(NEC技報Vol. 42, No.8/1989参照)。本発明で
は、形成される不透明膜30の電気的な特性は問われな
いので、不透明膜パターンの形成速度を上げて輝点欠陥
の修正の生産性を向上させることが大切である。
簡単に説明する。レーザ媒質としてはNdを添加したY
AGが用いられる。第2高調波仕様で発振波長0.53
2μm、連続出力1W程度のQスイッチレーザを高エネ
ルギー光31とし、繰り返し周波数10kHz、パルス
幅70n秒、ビーム幅4μm、ビーム走査速度1〜2μ
m/秒でタングステン・カルボニルガス[W(C
O6 )]雰囲気32の下で、高エネルギー光31を矢印
33の方向に移動させながら、カラーフィルタ9の上面
に幅4μm、長さ50μm、厚み0.3μmの縞状パタ
ーンを形成した場合、そのパターンの抵抗値は17Ωと
なる(NEC技報Vol. 42, No.8/1989参照)。本発明で
は、形成される不透明膜30の電気的な特性は問われな
いので、不透明膜パターンの形成速度を上げて輝点欠陥
の修正の生産性を向上させることが大切である。
【0045】具体的には、不透明膜30の膜厚はブラッ
クマトリクスと同程度の0.1μmで十分である。単位
絵素の大きさはパネルサイズと精細度とによって異なる
が、例えば対角25cmのVGHAパネルでは0.11
mm×0.33mmであるので、上記の条件では不透明
膜30の形成にかなり時間がかかる。
クマトリクスと同程度の0.1μmで十分である。単位
絵素の大きさはパネルサイズと精細度とによって異なる
が、例えば対角25cmのVGHAパネルでは0.11
mm×0.33mmであるので、上記の条件では不透明
膜30の形成にかなり時間がかかる。
【0046】図2に、上記したレーザCVD技術によ
り、輝点欠陥の単位絵素が位置するカラーフィルタ9の
上面に単位絵素とほぼ同じ大きさの不透明膜30を形成
し終わった状態を示す。不透明膜30を形成し終わった
ら、液晶材料の性質に応じて、カラーフィルタ9の上面
又はアクティブ基板2の下面のいずれか一方もしくは両
面に偏光板を貼り付けることにより、液晶パネルを光学
素子として完成させることができる。
り、輝点欠陥の単位絵素が位置するカラーフィルタ9の
上面に単位絵素とほぼ同じ大きさの不透明膜30を形成
し終わった状態を示す。不透明膜30を形成し終わった
ら、液晶材料の性質に応じて、カラーフィルタ9の上面
又はアクティブ基板2の下面のいずれか一方もしくは両
面に偏光板を貼り付けることにより、液晶パネルを光学
素子として完成させることができる。
【0047】本実施の形態によれば、液晶パネルを構成
するアクティブ基板(透明絶縁基板)2の下面又はカラ
ーフィルタ(透明絶縁基板)9の上面の任意の位置に不
透明膜30を形成するようにしたので、輝点欠陥の単位
絵素に対応した位置の透明絶縁基板上に不透明膜30を
形成して輝点欠陥を黒点欠陥に転換することが可能とな
り、輝点欠陥の無いアクティブ型の液晶パネルを実現す
ることができる。
するアクティブ基板(透明絶縁基板)2の下面又はカラ
ーフィルタ(透明絶縁基板)9の上面の任意の位置に不
透明膜30を形成するようにしたので、輝点欠陥の単位
絵素に対応した位置の透明絶縁基板上に不透明膜30を
形成して輝点欠陥を黒点欠陥に転換することが可能とな
り、輝点欠陥の無いアクティブ型の液晶パネルを実現す
ることができる。
【0048】〈第2の実施の形態〉図3は本発明の第2
の実施の形態における液晶パネルに不透明膜を形成する
方法を示す工程断面図である。
の実施の形態における液晶パネルに不透明膜を形成する
方法を示す工程断面図である。
【0049】図3に示すように、本実施の形態において
は、黒色顔料又は染料のいずれか一方もしくは両方を含
む有機樹脂のマイクロジェットを用いた選択的塗布によ
り、単位絵素に対応したカラーフィルタ9の上面又はア
クティブ基板2の下面に不透明膜30を選択的に形成す
る。
は、黒色顔料又は染料のいずれか一方もしくは両方を含
む有機樹脂のマイクロジェットを用いた選択的塗布によ
り、単位絵素に対応したカラーフィルタ9の上面又はア
クティブ基板2の下面に不透明膜30を選択的に形成す
る。
【0050】具体的には、先端に直径数μm程度の吐出
孔41を有する高圧ノズル40を矢印42の方向に移動
させながら、高圧ノズル40の吐出孔41からカラーフ
ィルタ9の上面に、黒色顔料又は染料のいずれか一方も
しくは両方を含む有機樹脂液を吹き付ける。これによ
り、単位絵素の大きさに相当する不透明膜30が描画さ
れる。もちろん、不透明膜30を正確な大きさに描画す
るためには、有機樹脂液の粘度と溶剤の含有量に細心の
注意を払う必要がある。また、レーザCVD技術と比較
すると、マイクロジェット技術は簡便でかつ設備費のコ
ストも圧倒的に廉価であるが、不透明膜30の形成後に
溶剤を蒸散させて有機樹脂液を固化させるために加熱処
理が必要となる。また、不透明膜30を0.5μm以下
の膜厚で形成すると、不透明度が低下するが、それでも
0.1mm以上の厚みを有する偏光板の貼付には何ら支
障とならない。
孔41を有する高圧ノズル40を矢印42の方向に移動
させながら、高圧ノズル40の吐出孔41からカラーフ
ィルタ9の上面に、黒色顔料又は染料のいずれか一方も
しくは両方を含む有機樹脂液を吹き付ける。これによ
り、単位絵素の大きさに相当する不透明膜30が描画さ
れる。もちろん、不透明膜30を正確な大きさに描画す
るためには、有機樹脂液の粘度と溶剤の含有量に細心の
注意を払う必要がある。また、レーザCVD技術と比較
すると、マイクロジェット技術は簡便でかつ設備費のコ
ストも圧倒的に廉価であるが、不透明膜30の形成後に
溶剤を蒸散させて有機樹脂液を固化させるために加熱処
理が必要となる。また、不透明膜30を0.5μm以下
の膜厚で形成すると、不透明度が低下するが、それでも
0.1mm以上の厚みを有する偏光板の貼付には何ら支
障とならない。
【0051】図4に、上記したマイクロジェット技術に
より、輝点欠陥の位置する単位絵素上のカラーフィルタ
9の上面に単位絵素とほぼ同じ大きさの不透明膜30を
形成し終わった状態を示す。不透明膜30を形成し終わ
ったら、液晶材料の性質に応じて、カラーフィルタ9の
上面又はアクティブ基板2の下面のいずれか一方もしく
は両面に偏光板を貼り付けることにより、液晶パネルを
光学素子として完成させることができる。
より、輝点欠陥の位置する単位絵素上のカラーフィルタ
9の上面に単位絵素とほぼ同じ大きさの不透明膜30を
形成し終わった状態を示す。不透明膜30を形成し終わ
ったら、液晶材料の性質に応じて、カラーフィルタ9の
上面又はアクティブ基板2の下面のいずれか一方もしく
は両面に偏光板を貼り付けることにより、液晶パネルを
光学素子として完成させることができる。
【0052】本発明による輝点欠陥の修正方法は、上記
したアクティブ型の液晶パネルだけでなく、その他の液
晶パネルでも同様に有効である。その他の液晶パネルと
しては、例えば、一主面上に透明導電性の複数本の走査
線が形成された第1の透明絶縁基板と、前記第1の透明
絶縁基板と対向して配置され、少なくとも一主面上に縞
状の着色層と透明導電性の複数本の信号線とが順次形成
された第2の透明絶縁基板と、前記第1の透明絶縁基板
と前記第2の透明絶縁基板との間に充填された液晶とを
備えた、いわゆる単純型の液晶パネルがある。また、一
主面上に複数本の走査線と少なくとも一層の絶縁層と前
記走査線と略直交する複数の信号線とが順次形成され、
前記走査線と前記信号線との交点ごとに少なくとも1つ
のスイッチング素子と反射電極とを有するアクティブ基
板と、前記アクティブ基板と対向して配置された透明絶
縁基板又はカラーフィルタと、前記アクティブ基板と前
記透明絶縁基板又はカラーフィルタとの間に充填された
液晶とを備えた、いわゆるアクティブ型の反射型液晶パ
ネルがある。さらに、一主面上に縞状の着色層と少なく
とも前記着色層上に形成された複数本の透明導電性の走
査線とを有する透明絶縁基板と、前記透明絶縁基板と対
向して配置され、一主面上に複数本の金属性の信号線を
有する絶縁基板と、前記透明絶縁基板と前記絶縁基板と
の間に充填された液晶とを備えた、いわゆる単純型の反
射型液晶パネルがある。
したアクティブ型の液晶パネルだけでなく、その他の液
晶パネルでも同様に有効である。その他の液晶パネルと
しては、例えば、一主面上に透明導電性の複数本の走査
線が形成された第1の透明絶縁基板と、前記第1の透明
絶縁基板と対向して配置され、少なくとも一主面上に縞
状の着色層と透明導電性の複数本の信号線とが順次形成
された第2の透明絶縁基板と、前記第1の透明絶縁基板
と前記第2の透明絶縁基板との間に充填された液晶とを
備えた、いわゆる単純型の液晶パネルがある。また、一
主面上に複数本の走査線と少なくとも一層の絶縁層と前
記走査線と略直交する複数の信号線とが順次形成され、
前記走査線と前記信号線との交点ごとに少なくとも1つ
のスイッチング素子と反射電極とを有するアクティブ基
板と、前記アクティブ基板と対向して配置された透明絶
縁基板又はカラーフィルタと、前記アクティブ基板と前
記透明絶縁基板又はカラーフィルタとの間に充填された
液晶とを備えた、いわゆるアクティブ型の反射型液晶パ
ネルがある。さらに、一主面上に縞状の着色層と少なく
とも前記着色層上に形成された複数本の透明導電性の走
査線とを有する透明絶縁基板と、前記透明絶縁基板と対
向して配置され、一主面上に複数本の金属性の信号線を
有する絶縁基板と、前記透明絶縁基板と前記絶縁基板と
の間に充填された液晶とを備えた、いわゆる単純型の反
射型液晶パネルがある。
【0053】以上の液晶パネルと上記実施の形態の液晶
パネルとは、内部構成のみ相違し、輝点欠陥の修正に関
する技術的な内容は同一であるので、特に留意する点に
ついてのみ説明する。図5に、単純型の液晶パネルの輝
点欠陥に対応した一方の透明絶縁基板上に金属薄膜、あ
るいは黒色顔料又は染料のいずれかもしくは両方を含む
有機樹脂からなる不透明膜を形成し終わった状態を示
す。図5に示すように、第1の透明絶縁基板(ガラス基
板)9′には、その主面上に透明導電性の複数本の走査
線11′が形成されている。一方、第1の透明絶縁基板
9′と対向して配置された第2の透明絶縁基板(ガラス
基板)2′には、その主面上に縞状の着色層19と透明
導電性の複数本の信号線12′とが順次形成されてい
る。第1の透明絶縁基板9′と第2の透明絶縁基板2′
との対向面には、それぞれポリイミド系樹脂薄膜層20
が形成されており、ポリイミド系樹脂薄膜層20間には
液晶16が充填されている。そして、この単純型の液晶
パネルの輝点欠陥に対応した第1の透明絶縁基板9′の
上面には、金属薄膜、あるいは黒色顔料又は染料のいず
れかもしくは両方を含む有機樹脂からなる不透明膜30
が形成されている。尚、図5中、50は着色層19が有
する段差を吸収すめための透明な平坦化絶縁層であり、
透明なアクリル樹脂等が用いられる。
パネルとは、内部構成のみ相違し、輝点欠陥の修正に関
する技術的な内容は同一であるので、特に留意する点に
ついてのみ説明する。図5に、単純型の液晶パネルの輝
点欠陥に対応した一方の透明絶縁基板上に金属薄膜、あ
るいは黒色顔料又は染料のいずれかもしくは両方を含む
有機樹脂からなる不透明膜を形成し終わった状態を示
す。図5に示すように、第1の透明絶縁基板(ガラス基
板)9′には、その主面上に透明導電性の複数本の走査
線11′が形成されている。一方、第1の透明絶縁基板
9′と対向して配置された第2の透明絶縁基板(ガラス
基板)2′には、その主面上に縞状の着色層19と透明
導電性の複数本の信号線12′とが順次形成されてい
る。第1の透明絶縁基板9′と第2の透明絶縁基板2′
との対向面には、それぞれポリイミド系樹脂薄膜層20
が形成されており、ポリイミド系樹脂薄膜層20間には
液晶16が充填されている。そして、この単純型の液晶
パネルの輝点欠陥に対応した第1の透明絶縁基板9′の
上面には、金属薄膜、あるいは黒色顔料又は染料のいず
れかもしくは両方を含む有機樹脂からなる不透明膜30
が形成されている。尚、図5中、50は着色層19が有
する段差を吸収すめための透明な平坦化絶縁層であり、
透明なアクリル樹脂等が用いられる。
【0054】この単純型の液晶パネルは裏面光源からの
光で点灯表示されるので、上記第1の実施の形態と同様
に、不透明膜30は第1の透明絶縁基板9′の上面又は
第2の透明絶縁基板2′の下面のいずれかに形成されれ
ば、目的は達成される。
光で点灯表示されるので、上記第1の実施の形態と同様
に、不透明膜30は第1の透明絶縁基板9′の上面又は
第2の透明絶縁基板2′の下面のいずれかに形成されれ
ば、目的は達成される。
【0055】図6に、アクティブ型の反射型液晶パネル
の輝点欠陥に対応した一方の透明絶縁基板上に金属薄
膜、あるいは黒色顔料又は染料のいずれかもしくは両方
を含む有機樹脂からなる不透明膜を形成し終わった状態
を示す。図6に示すように、アクティブ基板2には、そ
の一主面上に複数本の走査線と少なくとも一層の絶縁層
と前記走査線と概ね直交する複数の信号線12とが順次
形成され、前記走査線と信号線12との交点ごとに少な
くとも1つのスイッチング素子と反射電極51とが設け
られている。一方、アクティブ基板2と対向して配置さ
れた透明絶縁基板9には、その一主面上に縞状の着色層
19が形成されている。アクティブ基板2と透明絶縁基
板9との対向面には、それぞれポリイミド系樹脂薄膜層
20が形成されており、ポリイミド系樹脂薄膜層20間
には液晶16が充填されている。そして、このアクティ
ブ型の反射型液晶パネルの輝点欠陥に対応した透明絶縁
基板9の上面には、金属薄膜、あるいは黒色顔料又は染
料のいずれかもしくは両方を含む有機樹脂からなる不透
明膜30が形成されている。
の輝点欠陥に対応した一方の透明絶縁基板上に金属薄
膜、あるいは黒色顔料又は染料のいずれかもしくは両方
を含む有機樹脂からなる不透明膜を形成し終わった状態
を示す。図6に示すように、アクティブ基板2には、そ
の一主面上に複数本の走査線と少なくとも一層の絶縁層
と前記走査線と概ね直交する複数の信号線12とが順次
形成され、前記走査線と信号線12との交点ごとに少な
くとも1つのスイッチング素子と反射電極51とが設け
られている。一方、アクティブ基板2と対向して配置さ
れた透明絶縁基板9には、その一主面上に縞状の着色層
19が形成されている。アクティブ基板2と透明絶縁基
板9との対向面には、それぞれポリイミド系樹脂薄膜層
20が形成されており、ポリイミド系樹脂薄膜層20間
には液晶16が充填されている。そして、このアクティ
ブ型の反射型液晶パネルの輝点欠陥に対応した透明絶縁
基板9の上面には、金属薄膜、あるいは黒色顔料又は染
料のいずれかもしくは両方を含む有機樹脂からなる不透
明膜30が形成されている。
【0056】このアクティブ型の反射型液晶パネルは外
部(上方)からの光を反射して画像を表示するので、上
記第1及び第2の実施の形態とは異なり、不透明膜30
は透明絶縁基板9の上面にのみ形成されなければ目的は
達成されない。同様に、反射型であるから、アクティブ
基板2は絶縁基板でよく、透明性は必要とされない。
部(上方)からの光を反射して画像を表示するので、上
記第1及び第2の実施の形態とは異なり、不透明膜30
は透明絶縁基板9の上面にのみ形成されなければ目的は
達成されない。同様に、反射型であるから、アクティブ
基板2は絶縁基板でよく、透明性は必要とされない。
【0057】図6に示したデバイスを補足説明する。反
射電極51は開口率を高めるためには図示したようにあ
る程度厚く、例えば2〜3μmの厚さの有機樹脂50で
アクティブ基板2上を覆って平坦化してから反射電極5
1を形成するとよい。この場合、反射電極51と薄膜ト
ランジスタの位置を透過型とは違ってずらすことによ
り、反射電極51に薄膜トランジスタの光シールドの機
能を持たせることもできる。反射電極51の表面が鏡面
の場合には、偏光板とカラーフィルタとの間に拡散板を
介在させて、又は反射電極51の表面を拡散面(凹凸又
は梨地状)に形成して、視野角の拡大を図る設計的な選
択が与えられる。
射電極51は開口率を高めるためには図示したようにあ
る程度厚く、例えば2〜3μmの厚さの有機樹脂50で
アクティブ基板2上を覆って平坦化してから反射電極5
1を形成するとよい。この場合、反射電極51と薄膜ト
ランジスタの位置を透過型とは違ってずらすことによ
り、反射電極51に薄膜トランジスタの光シールドの機
能を持たせることもできる。反射電極51の表面が鏡面
の場合には、偏光板とカラーフィルタとの間に拡散板を
介在させて、又は反射電極51の表面を拡散面(凹凸又
は梨地状)に形成して、視野角の拡大を図る設計的な選
択が与えられる。
【0058】図7に、単純型の反射型液晶パネルの輝点
欠陥に対応した透明絶縁基板上に金属薄膜、あるいは黒
色顔料又は染料のいずれかもしくは両方を含む有機樹脂
からなる不透明膜を形成し終わった状態を示す。図7に
示すように、透明絶縁基板9′は、その一主面上に縞状
の着色層19と少なくとも着色層19上に形成された複
数本の透明導電性の走査線11′とを有している。透明
絶縁基板9′と対向して配置された絶縁基板2′には、
その主面上に複数本の金属性の信号線12′が形成され
ている。透明絶縁基板9′と絶縁基板2′との対向面に
は、それぞれポリイミド系樹脂薄膜層20が形成されて
おり、ポリイミド系樹脂薄膜層20間には液晶16が充
填されている。そして、この単純型の反射型液晶パネル
の輝点欠陥に対応した透明絶縁基板9′上に金属薄膜、
あるいは黒色顔料又は染料のいずれかもしくは両方を含
む有機樹脂からなる不透明膜30が形成されている。
欠陥に対応した透明絶縁基板上に金属薄膜、あるいは黒
色顔料又は染料のいずれかもしくは両方を含む有機樹脂
からなる不透明膜を形成し終わった状態を示す。図7に
示すように、透明絶縁基板9′は、その一主面上に縞状
の着色層19と少なくとも着色層19上に形成された複
数本の透明導電性の走査線11′とを有している。透明
絶縁基板9′と対向して配置された絶縁基板2′には、
その主面上に複数本の金属性の信号線12′が形成され
ている。透明絶縁基板9′と絶縁基板2′との対向面に
は、それぞれポリイミド系樹脂薄膜層20が形成されて
おり、ポリイミド系樹脂薄膜層20間には液晶16が充
填されている。そして、この単純型の反射型液晶パネル
の輝点欠陥に対応した透明絶縁基板9′上に金属薄膜、
あるいは黒色顔料又は染料のいずれかもしくは両方を含
む有機樹脂からなる不透明膜30が形成されている。
【0059】この単純型の反射型液晶パネルは外部から
の光を反射して画像が表示されるので、上記第1及び第
2の実施の形態とは異なり、不透明膜30は透明絶縁基
板9′の上面にのみ形成されなければ目的は達成されな
い。同様に、反射型であるから、反射電極である信号線
12′が形成される基板2′は、絶縁基板でよく、透明
性は必要とされない。
の光を反射して画像が表示されるので、上記第1及び第
2の実施の形態とは異なり、不透明膜30は透明絶縁基
板9′の上面にのみ形成されなければ目的は達成されな
い。同様に、反射型であるから、反射電極である信号線
12′が形成される基板2′は、絶縁基板でよく、透明
性は必要とされない。
【0060】以上説明したように、本発明は、輝点欠陥
を検出し、輝点欠陥の存在する液晶パネルの光学路に不
透明膜を形成して輝点欠陥を黒点欠陥とし、品質基準を
緩和させるものであるから、上記したアクティブ型の液
晶パネル、アクティブ素子が内蔵されていない単純型の
液晶パネル、アクティブ型の反射型液晶パネル、アクテ
ィブ素子が内蔵されていない単純型の反射型液晶パネル
等において用いられる配線材料の構成や膜厚等の差違は
すべて本発明に含まれる。このことは、着色層をアクテ
ィブ基板上に形成した場合や透明電極を使用しないIP
S型の液晶パネルにおいても全く同様である。
を検出し、輝点欠陥の存在する液晶パネルの光学路に不
透明膜を形成して輝点欠陥を黒点欠陥とし、品質基準を
緩和させるものであるから、上記したアクティブ型の液
晶パネル、アクティブ素子が内蔵されていない単純型の
液晶パネル、アクティブ型の反射型液晶パネル、アクテ
ィブ素子が内蔵されていない単純型の反射型液晶パネル
等において用いられる配線材料の構成や膜厚等の差違は
すべて本発明に含まれる。このことは、着色層をアクテ
ィブ基板上に形成した場合や透明電極を使用しないIP
S型の液晶パネルにおいても全く同様である。
【0061】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
輝点欠陥の無い、アクティブ型の液晶パネル、単純型の
液晶パネル、アクティブ型の反射型液晶パネル、単純型
の反射型液晶パネルを提供することが可能となり、見掛
けの歩留まりが大きく向上し、工業的な価値が大きい。
輝点欠陥の無い、アクティブ型の液晶パネル、単純型の
液晶パネル、アクティブ型の反射型液晶パネル、単純型
の反射型液晶パネルを提供することが可能となり、見掛
けの歩留まりが大きく向上し、工業的な価値が大きい。
【図1】本発明の第1の実施の形態における液晶パネル
に不透明膜を形成する方法を示す工程断面図である。
に不透明膜を形成する方法を示す工程断面図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態における液晶パネル
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図3】本発明の第2の実施の形態における液晶パネル
に不透明膜を形成する方法を示す工程断面図である。
に不透明膜を形成する方法を示す工程断面図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態における液晶パネル
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図5】本発明の実施の形態における単純型の液晶パネ
ルを示す断面図である。
ルを示す断面図である。
【図6】本発明の実施の形態におけるアクティブ型の反
射型液晶パネルを示す断面図である。
射型液晶パネルを示す断面図である。
【図7】本発明の実施の形態における単純型の反射型液
晶パネルを示す断面図である
晶パネルを示す断面図である
【図8】液晶パネルの実装状態を示す斜視図である。
【図9】アクティブ型液晶パネルの等価回路図である。
【図10】従来技術におけるアクティブ型の液晶パネル
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図11】従来技術における輝点欠陥の修正を行うため
の単位絵素内のパターン配置図である。
の単位絵素内のパターン配置図である。
1 液晶パネル 2、2′ アクティブ基板(ガラス基板、下方基板) 5、6 端子電極 9、9′ 対向基板(カラーフィルタ、ガラス基板、上
方基板) 10 薄膜トランジスタ 11、11′ 走査線 12、12′ 信号線 14 絵素電極 15 対向電極 16 液晶 19 着色層 20 配向膜 24 レーザ溶融痕 30 不透明膜 31 レーザ光 32 カルボニルガス 40 ジェットノズル 41 吐出口 50 (平坦化)絶縁層 51 金属反射電極
方基板) 10 薄膜トランジスタ 11、11′ 走査線 12、12′ 信号線 14 絵素電極 15 対向電極 16 液晶 19 着色層 20 配向膜 24 レーザ溶融痕 30 不透明膜 31 レーザ光 32 カルボニルガス 40 ジェットノズル 41 吐出口 50 (平坦化)絶縁層 51 金属反射電極
Claims (16)
- 【請求項1】 第1の透明絶縁基板の一主面上に複数本
の走査線と、少なくとも一層の絶縁層と、前記走査線と
略直交する複数の信号線とが順次形成され、前記走査線
と前記信号線との交点ごとに少なくとも1つのスイッチ
ング素子と絵素電極とが設けられたアクティブ基板と、
前記アクティブ基板と対向して配置された第2の透明絶
縁基板又はカラーフィルタと、前記アクティブ基板と前
記第2の透明絶縁基板又はカラーフィルタとの間に充填
された液晶とを備えた液晶パネルであって、前記第1の
透明絶縁基板の他の主面上又は前記第2の透明絶縁基板
もしくはカラーフィルタの非対向面上の特定の単位絵素
に対応した位置に不透明膜が形成されたことを特徴とす
る液晶パネル。 - 【請求項2】 第1の透明絶縁基板の一主面上に複数本
の走査線と、少なくとも一層の絶縁層と、前記走査線と
略直交する複数の信号線とが順次形成され、前記走査線
と前記信号線との交点ごとに少なくとも1つのスイッチ
ング素子と絵素電極とが設けられたアクティブ基板と、
前記アクティブ基板と対向して配置された第2の透明絶
縁基板又はカラーフィルタと、前記アクティブ基板と前
記第2の透明絶縁基板又はカラーフィルタとの間に充填
された液晶とを備えた液晶パネルの製造方法であって、
パネル組立工程後又は実装工程終了後の画像検査におい
て輝点欠陥を検出する工程と、前記透明絶縁基板の他の
主面上又は前記第2の透明絶縁基板もしくはカラーフィ
ルタの非対向面上の前記輝点欠陥に対応した位置に不透
明膜を形成する工程と、前記透明絶縁基板の他の主面上
又は前記カラーフィルタの非対向面上のいずれかもしく
は両方に偏光板を貼付する工程とを備えたことを特徴と
する液晶パネルの製造方法。 - 【請求項3】 レーザCVDによる金属薄膜の選択的形
成によって不透明膜を形成する請求項2に記載の液晶パ
ネルの製造方法。 - 【請求項4】 黒色顔料又は染料のいずれかもしくは両
方を含む有機樹脂のマイクロジェットを用いた選択的塗
布によって不透明膜を形成する請求項2に記載の液晶パ
ネルの製造方法。 - 【請求項5】 一主面上に透明導電性の複数本の走査線
が形成された第1の透明絶縁基板と、前記第1の透明絶
縁基板と対向して配置され、一主面上に少なくとも縞状
の着色層と透明導電性の複数本の信号線とが順次形成さ
た第2の透明絶縁基板と、前記第1の透明絶縁基板と前
記第2の透明絶縁基板との間に充填された液晶とを備え
た液晶パネルであって、前記第1の透明絶縁基板又は前
記第2の透明絶縁基板の他の主面上の特定の単位絵素に
対応した位置に不透明膜が形成されたことを特徴とする
液晶パネル。 - 【請求項6】 一主面上に透明導電性の複数本の走査線
が形成された第1の透明絶縁基板と、前記第1の透明絶
縁基板と対向して配置され、一主面上に少なくとも縞状
の着色層と透明導電性の複数本の信号線とが順次形成さ
た第2の透明絶縁基板と、前記第1の透明絶縁基板と前
記第2の透明絶縁基板との間に充填された液晶とを備え
た液晶パネルの製造方法であって、パネル組立工程後又
は実装工程終了後の画像検査において輝点欠陥を検出す
る工程と、前記第1の透明絶縁基板又は前記第2の透明
絶縁基板の他の主面上の前記輝点欠陥に対応した位置に
不透明膜を形成する工程と、前記第1の透明絶縁基板又
は第2の透明絶縁基板の他の主面上のいずれかもしくは
両方に偏光板を貼付する工程とを備えたことを特徴とす
る液晶パネルの製造方法。 - 【請求項7】 レーザCVDによる金属薄膜の選択的形
成によって不透明膜を形成する請求項6に記載の液晶パ
ネルの製造方法。 - 【請求項8】 黒色顔料又は染料のいずれかもしくは両
方を含む有機樹脂のマイクロジェットを用いた選択的塗
布によって不透明膜を形成する請求項6に記載の液晶パ
ネルの製造方法。 - 【請求項9】 絶縁基板の一主面上に複数本の走査線
と、少なくとも一層の絶縁層と、前記走査線と概ね直交
する複数の信号線とが順次形成され、前記走査線と前記
信号線との交点ごとに少なくとも1つのスイッチング素
子と反射電極とを有するアクティブ基板と、前記アクテ
ィブ基板と対向して配置された透明絶縁基板又はカラー
フィルタと、前記アクティブ基板と前記透明絶縁基板又
はカラーフィルタとの間に充填された液晶とを備えた液
晶パネルであって、前記透明絶縁基板又はカラーフィル
タの非対向面上の特定の単位絵素に対応した位置に不透
明膜が形成されたことを特徴とする液晶パネル。 - 【請求項10】 絶縁基板の一主面上に複数本の走査線
と、少なくとも一層の絶縁層と、前記走査線と概ね直交
する複数の信号線とが順次形成され、前記走査線と前記
信号線との交点ごとに少なくとも1つのスイッチング素
子と反射電極とを有するアクティブ基板と、前記アクテ
ィブ基板と対向して配置された透明絶縁基板又はカラー
フィルタと、前記アクティブ基板と前記透明絶縁基板又
はカラーフィルタとの間に充填された液晶とを備えた液
晶パネルの製造方法であって、パネル組立工程後又は実
装工程終了後の画像検査において輝点欠陥を検出する工
程と、前記透明絶縁基板又はカラーフィルタの非対向面
上の前記輝点欠陥に対応した位置に不透明膜を形成する
工程と、前記透明絶縁基板又はカラーフィルタの非対向
面上に偏光板を貼付する工程とを備えたことを特徴とす
る液晶パネルの製造方法。 - 【請求項11】 レーザCVDによる金属薄膜の選択的
形成によって不透明膜を形成する請求項10に記載の液
晶パネルの製造方法。 - 【請求項12】 黒色顔料又は染料のいずれかもしくは
両方を含む有機樹脂のマイクロジェットを用いた選択的
塗布によって不透明膜を形成する請求項10に記載の液
晶パネルの製造方法。 - 【請求項13】 一主面上に縞状の着色層と複数本の透
明導電性の走査線とが順次形成された透明絶縁基板と、
前記透明絶縁基板に対向して配置され、一主面上に複数
本の金属性の信号線が形成された絶縁基板と、前記透明
絶縁基板と前記絶縁基板との間に充填された液晶とを備
えた液晶パネルであって、前記透明絶縁基板の他の主面
上の特定の単位絵素に対応した位置に不透明膜が形成さ
れたことを特徴とする液晶パネル。 - 【請求項14】 一主面上に縞状の着色層と複数本の透
明導電性の走査線とが順次形成された透明絶縁基板と、
前記透明絶縁基板に対向して配置され、一主面上に複数
本の金属性の信号線が形成された絶縁基板と、前記透明
絶縁基板と前記絶縁基板との間に充填された液晶とを備
えた液晶パネルの製造方法であって、パネル組立工程後
又は実装工程終了後の画像検査において輝点欠陥を検出
する工程と、前記透明絶縁基板の他の主面上の前記輝点
欠陥に対応した位置に不透明膜を形成する工程と、前記
透明絶縁基板の他の主面上に偏光板を貼付する工程とを
備えたことを特徴とする液晶パネルの製造方法。 - 【請求項15】 レーザCVDによる金属薄膜の選択的
形成によって不透明膜を形成する請求項14に記載の液
晶パネルの製造方法。 - 【請求項16】 黒色顔料又は染料のいずれかもしくは
両方を含む有機樹脂のマイクロジェットを用いた選択的
塗布によって不透明膜を形成する請求項14に記載の液
晶パネルの製造方法。
Priority Applications (5)
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JP10119301A JPH11311806A (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 液晶パネル及びその製造方法 |
TW088106772A TW493097B (en) | 1998-04-28 | 1999-04-27 | Liquid crystal display and manufacturing method |
KR1019990015318A KR19990083581A (ko) | 1998-04-28 | 1999-04-28 | 액정패널및그제조방법 |
US09/300,426 US6239856B1 (en) | 1998-04-28 | 1999-04-28 | Liquid crystal panel and its manufacturing method |
CN99106516A CN1234523A (zh) | 1998-04-28 | 1999-04-28 | 液晶面板及其制造方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10119301A JPH11311806A (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 液晶パネル及びその製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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---|---|---|---|
JP10119301A Pending JPH11311806A (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 液晶パネル及びその製造方法 |
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---|---|
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- 1999-04-28 KR KR1019990015318A patent/KR19990083581A/ko active IP Right Grant
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