Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JPH0295272A - 集積回路チップ内信号観測装置 - Google Patents

集積回路チップ内信号観測装置

Info

Publication number
JPH0295272A
JPH0295272A JP63248006A JP24800688A JPH0295272A JP H0295272 A JPH0295272 A JP H0295272A JP 63248006 A JP63248006 A JP 63248006A JP 24800688 A JP24800688 A JP 24800688A JP H0295272 A JPH0295272 A JP H0295272A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
integrated circuit
circuit chip
chip
crt
image data
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63248006A
Other languages
English (en)
Inventor
Ikutaro Wakao
若生 育太郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP63248006A priority Critical patent/JPH0295272A/ja
Publication of JPH0295272A publication Critical patent/JPH0295272A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は集積回路チップ内信号観測装置に関し特に集積
回路チップ開発におけるチップ内部の信号測定を実現す
る集積回路チップ内信号観測装置に関する。
〔従来の技術〕
従来、この種の観測装置としては、光学顕微鏡と手動位
置合わせ機構とを組み合わせた接触タイーバを有する検
査装置などが知られている淫最近では観測を簡単に行え
る等の理由から非接触タイプのプローバを用いた検査装
置が主流となっている。ここでは、以下後者の例を取り
上げ、第3図を用いて説明する。
第3図はかかる従来の一例を示す集積回路チップ内信号
観測装置の10ツク構成図である〇第3図に示すように
、かかる観測装置は、電源端子1.入力端子2.出力端
子3およびグローブ出力端子4が接続された入出力・電
源接続機構5と、この接続機構5に接続され被測定用集
積回路テラ古載せるための台座7と、被測定用チップ8
に対する非接触プローバとなるレーザービーム源9およ
びチップ撮像用のテレビカメラ10と、集積回路チップ
拡大表示用のC1(T13.制御命令などを入力するキ
ーボード15.撮像結果の演算処理などを行う′1子計
算機17を内部バス18で接続され且つ人出力・・1源
接続機構5を制御する制御装置6′と、台座7に対する
手動式台座移動機構22とを備えている0 かかる観測装置の使用にあたっては、テレビカメラ10
で撮像された被測定チップ8の像を制御装置6′内のC
RT13で目視しながら、手動式台座移動機構22によ
〕被測定チップ8を載せた台座7を移動させる。次に、
レーザービーム源9よシレーザービームを照射し、照射
の有無で現われる電源電流の変化を制御装置6′内の電
子計算機17で検出・処理する。この処理された信号は
3およびグローブ出力端子4は、本観測装置外部にあシ
且つ期待出力値との照合機能を有する別途の検査装置又
は波形観測装置に接続されておシ、この外部装置はよシ
測定信号の適e不適の判定を行っている。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来の集積回路チップ内15号観測装置は、非
接触プロー1の位置合わせが手動で行われることおよび
実体チップの拡大像のみで前記グローブ位置を検索する
こと等によシ、観測のだめの位置合わせが不正確になシ
、またチップ構成上の上層金属層のデータのみによる位
置検索の不便さがあるという欠点がある0 本発明の目的は、かかる被測定チップの位置合わせを正
確に行い、且つグローブ位置の判別を簡単に行うことの
できる集積回路チップ内信号観測装置を提供することに
ある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の集積回路チップ内信号観測装置は、被測定用の
集積回路チップを載せX−Y方向の移動および回転移動
の制御が可能な台座と、前記集積回路チップに接続され
る入出力および・電源接続機構と、前記集積回路チップ
内の信号を観測するための非接触プローバと、前記集積
回路チップを撮像する撮像機構と、前記集積回路チップ
の製造に用イたマスク原画データの読み込み装置と、前
記各装置等を制御するための電子計算機、集積回路チッ
プ拡大表示用CRT、マスク原画データ拡大表示用CR
T、座標や制御命令を入力するキーボードおよび座標指
示や位置合わせを行うマウスを有する制御装置とを備え
、前記マスク原画データと前記集積回路チップとの位置
対応をとり、且つ前記マスク原画データによる測定位置
の指示を行うことによシ、自動的に前記集積回路チップ
を検索して前記非接触プローバーの位置決めを実現する
ように構成される。
〔実施例〕
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
第1図は本発明の第一の実施例を示す集積回路チップ内
観測装置のブロック構成図である。
第1図に示すように、本実施例は被測定集積回路テップ
8の位置合せについて従来装置に改良を加えたものであ
る。すなわち、本実施例の観測装置は、電源端子1.入
力端子2.出力端子3およびグローブ出力端子4に接続
される入出力・電源接続機構5と、この接続機構5に接
続される被測定チップ8を搭載する台座7と、非接触プ
ローバとなるレーザービーム源9と、被測定チップ8の
撮像用テレビカメラ10と、被測定集積回路テップ8の
製造用マスクの原画データを読み込むマスク原画データ
ー読み込み装置11と、前記接続機構5やマスク原画デ
ータ11等に接続され且つ台座7に対する台座制御信号
12を送出する観測装置全体の制御装置6とを有してい
る。また、この制御装置6Fi、集積回路チップ8の拡
大表示用CB、T13と、マスク原画データ拡大表示用
CRT14と、座標や制御命令を入力するためのキーボ
ード15と、座標指示や位置合わせを行うマウス16と
、各装置等の制御および演算処理を行う電子計算機17
とを内部バス18によシ接続して構成される〇 次に、本実施例における被測定テップ8のグローブ位置
の合わせ込みについて説明する。
まず、マスク原画データ読み込み装置11からマスク原
画データーを制御装置6に読み込み、そのCRT14に
表示させる。また、CRT13にはテレビカメラ10で
撮像した被測定集積回路チップ8の映像を表示させる・
次に、各々の像の方向をそろえ、チップ8のコーナ一部
をCRT14およびC几T13に拡大表示させるととも
に、C几T14およびCRT13の対応する1点を指定
する・さらに、同様の手順を前記コーナ部の対角側のコ
ーナに対しても行う。
これまでの手順から、制御装置6内の電子計算機17に
よシ被測定チップ8とマスク原画データのすべての点の
対応がとれる0次に、マスク原画データを表示するC几
’I”14上でグローブ位置を指定すると、制御装置6
内の電子計算機17にょ)台座制御信号12が生成され
、台座7を移動させる◎尚、上述の位置合わせにあたっ
ての各種制御命令は制御装置6内のキーボード15およ
びマウス16によシ行う。
かかる位置合わせ以降の測定は、従来例と同様にレーザ
ービーム源9よシレーザービームを照射することによシ
行う。すなわち、照射の有無で現れる被測定テップ8の
4源電流の変化を制御装置6内の電子計算allで演算
処理することによシブロープ信号とし、入出力・it源
接続磯構5およびプローブ出力端子4を経由して外部に
出力する。
第2図は本発明の第二の実施例を示す集積回路チップ内
信号観測装置のプロ、り構成図である◇第2図に示すよ
うに、本実施例に前述した第一の実施例と比較し、チッ
プ撮像用テレビカメラ10が2次電子捕獲器20に、ま
た非接触70−バーをなすレーザービーム源9が′電子
ビーム源19に置き替えたものであシ、′電子ビーム源
19と2次電子捕獲器20および被測定チップ8を搭載
する台座7とは真空チェンバー21内に設置されている
。この実施例の場合はチップ撮像を従来と同じ電子顕微
鏡方式で検査するものである。すなわら電子ビーム源1
9よシミ子ビームを照射し、被測定チップ8よシ反射さ
れる2次電子を2次電子捕獲器20でとらえると、これ
を制御装置6内の電子計算機で処理して同装置6内のC
RT13に表示するものである。グローブすべき位置合
わせの方法は前述した第一の実施例と同様であシ、また
位置合わせ終了後は1子ビーム源19よジグローブ位置
合わせで決定された位置にスポット照射で電子ビームを
あて、電子ビーム照射による2次電子の変化を制御装置
6内の電子計算機で処理してグローブ出力端子4に出力
する。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明の集積回路チップ内信号観
測装置は被測定チップとマスク原画データの対応をとり
、そのマスク原画データー上で非接触グローブ位置を指
定することによ)、自動的に且つ正確に被測定チップの
位置合わせを実現できると―う効果がある。また、従来
の被測定テップの映像では、チップ上層の金塊工程以外
の工程が明確に判別しにくいため、目視でのプローブ位
置合わせにかなシの時間がかかったが、本発明の観測装
置によれば、マスク原画データにおけるチップ下層のデ
ーターも上層に重ね合わせて描画できるため、プローブ
位置の判別を簡単に行えるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第一の実施例を示す集積回路チップ内
信号観測装置のプロ、り構成図、第2図は本発明の第二
の実施例を示す同様な観測装置の10ツク構成図、第3
図は従来の一例を示す集積回路チップ内信号観測装置の
10ツク構成図である・ l・・・・・・電源端子、2・・・・・・入力端子、3
・・・・・・出力端子、4・・・・・・プロー1出力端
子、5・・・・・・人出力・電源接続機構、6・・・・
・・制御装置、7・・・・・・台座、8・・・・・・被
測定集積回路チップ、9・・・・・・レーザービーム源
、10・・・・・・テレビカメラ、11・・・・・・マ
スク原画データ読み込み装置、12・・・・・・台座制
御信号、13.14・・・・・・CR,T、15・・・
・・・キーボード、16・・・・・・マウス、17・・
・・・・電子計算機、18・・・・・・接続バス、19
・・・・・・電子ビーム源、20・・・・・・2次電子
捕獲器、21・・・・・・真空チェンバー。 代理人 弁理士  内 原   晋 1231食

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  被測定用の集積回路チップを載せX−Y方向の移動お
    よび回転移動の制御が可能な台座と、前記集積回路チッ
    プに接続される入出力および電源接続機構と、前記集積
    回路チップ内の信号を観測するための非接触プローバと
    、前記集積回路チップを撮像する撮像機構と、前記集積
    回路チップの製造に用いたマスク原画データの読み込み
    装置と、前記各装置等を制御するための電子計算機、集
    積回路チップ拡大表示用CRT、マスク原画データ拡大
    表示用CRT、座標や制御命令を入力するキーボードお
    よび座標指示や位置合わせを行うマウスを有する制御装
    置とを備え、前記マスク原画データと前記集積回路チッ
    プとの位置対応をとり、且つ前記マスク原画データによ
    る測定位置の指示を行うことにより、自動的に前記集積
    回路チップを検索して前記非接触プローバーの位置決め
    を実現することを特徴とする集積回路チップ内信号観測
    装置。
JP63248006A 1988-09-30 1988-09-30 集積回路チップ内信号観測装置 Pending JPH0295272A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63248006A JPH0295272A (ja) 1988-09-30 1988-09-30 集積回路チップ内信号観測装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63248006A JPH0295272A (ja) 1988-09-30 1988-09-30 集積回路チップ内信号観測装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0295272A true JPH0295272A (ja) 1990-04-06

Family

ID=17171792

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63248006A Pending JPH0295272A (ja) 1988-09-30 1988-09-30 集積回路チップ内信号観測装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0295272A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5663809A (en) * 1993-04-19 1997-09-02 Sharp Kabushiki Kaisha Image processing apparatus

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62276848A (ja) * 1985-11-15 1987-12-01 フエアチヤイルド セミコンダクタコ−ポレ−シヨン 電子ビームテストプローブ方法及び装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62276848A (ja) * 1985-11-15 1987-12-01 フエアチヤイルド セミコンダクタコ−ポレ−シヨン 電子ビームテストプローブ方法及び装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5663809A (en) * 1993-04-19 1997-09-02 Sharp Kabushiki Kaisha Image processing apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4733959B2 (ja) プローブ接触方法及び荷電粒子線装置
JP4740405B2 (ja) 位置合わせ方法及びプログラム記録媒体
JPH10213422A (ja) パタ−ン検査装置
WO2000003413A1 (fr) Procede et dispositif d'observation d'un objet
JP3619132B2 (ja) 電子顕微鏡
JPH1027833A (ja) 異物分析方法
JP3836735B2 (ja) 回路パターンの検査装置
JPH0295272A (ja) 集積回路チップ内信号観測装置
JP4795146B2 (ja) 電子ビーム装置,プローブ制御方法及びプログラム
JP2611260B2 (ja) 試料像表示装置
JP3384504B2 (ja) 荷電粒子ビームを利用したicテスタ
JP2000251824A (ja) 電子ビーム装置及びそのステージ移動位置合せ方法
JP2003316441A (ja) 精密位置制御装置及びそれによる精密位置制御方法
JPH0821722A (ja) 形状測定方法および装置
JP2539530B2 (ja) 試料像表示装置
JPS61278708A (ja) 微細幅計測装置
JP2932741B2 (ja) 半導体検査装置
JPS63200448A (ja) 走査型電子顕微鏡用の位置決め装置
JP2978971B2 (ja) 荷電粒子ビーム装置及び荷電粒子ビーム位置決め方法
JPH0479140A (ja) 荷電粒子ビーム装置及びその画像処理方法
JPH09266238A (ja) 電子回路の欠陥検査装置
JPH0417250A (ja) 電子ビーム装置
JPH05251526A (ja) 電子ビーム試験装置
JPH07325051A (ja) 画像のアライメント補正方法
JPS63108737A (ja) ウエハプロ−バ装置