JP6840866B2 - ワーク作業装置 - Google Patents

Description

この発明は、ワーク作業装置に関し、特に、立体的な形状を有するワークが載置される載置部材を備えるワーク作業装置に関する。

従来、立体的な形状を有するワークが載置される載置部材を備えるワーク作業装置が知られている。ワーク作業装置は、たとえば、特開２０１６−１２７１８７号公報に開示されている。

上記特開２０１６−１２７１８７号公報には、チップ部品（部品）が実装される実装面となる側面を有するワークと、基台上に配置され、ワークを保持するステージとを備えるチップ部品実装装置（ワーク作業装置）が開示されている。チップ部品実装装置は、ワークに対して導電性ペーストを塗布するディスペンサー（ヘッド）と、導電性ペーストが塗布されたワークに対してチップ部品を実装する吸着ノズル（ヘッド）とを備えている。

上記特開２０１６−１２７１８７号公報に記載のチップ部品実装装置では、ワークの実装面となる側面の水平方向に対する傾斜に合わせて、ディスペンサーおよび吸着ノズルを傾斜させることにより、ワークの側面への導電性ペーストの塗布およびチップ部品の実装の作業が行なわれている。

特開２０１６−１２７１８７号公報

しかしながら、上記特開２０１６−１２７１８７号公報に記載のチップ部品実装装置では、ワークの側面におけるステージ側の端部に導電性ペーストの塗布およびチップ部品の実装を行う場合、ワークを保持するステージと作業位置（実装または塗布位置）とが近いときなどに、ディスペンサーおよび吸着ノズルがステージに干渉してしまう場合があるという不都合がある。ここで、ディスペンサーおよび吸着ノズルのステージに対する干渉を回避するために、ワークとワークを保持するステージとの間に隙間を設けることが考えられる。しかしながら、ステージからのワークの高さ位置が隙間の分だけ高くなるので、たとえば、吸着ノズルによりステージを吸着保持した状態で、吸着ノズルを移動させることによりステージとともにワークを移動させるような場合に、ディスペンサーおよび他の吸着ノズルがワークに干渉してしまうおそれがあるという不都合があると考えられる。これらのため、ワークにおける作業位置が制限され、かつ、ステージ上のワークの高さが制限されるという問題点があると考えられる。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、立体的な形状を有するワークにおける部品の作業位置および載置部材上のワークの高さが制限されるのを抑制することが可能なワーク作業装置を提供することである。

この発明の第１の局面によるワーク作業装置は、立体的な形状を有するワークが載置される載置部材と、載置部材を介してワークを保持する保持ユニットと、保持ユニットにワークを移載し、ワークに対して液剤の塗布または部品の実装の少なくともいずれかの作業を行うヘッドを有するヘッドユニットとを備え、保持ユニットにワークがヘッドにより移載される際に、載置部材上にワークが載置され、保持ユニットにワークが移載された後ヘッドによりワークに対して作業が行われる際に、ワークと載置部材とが離間する方向に相対的に移動可能に構成されており、ワークまたは載置部材は、ワークが保持ユニットに移載された後の保持ユニットの載置部材の保持により、ワークと載置部材との間隔が大きくなる方向に相対的に移動するように構成されており、載置部材は、保持ユニットが保持することにより第１移動方向に移動するスライド部を含み、ワークと載置部材との間隔は、スライド部の第１移動方向への移動に伴って大きくなるように構成されており、載置部材は、第１移動方向とは逆方向の第２移動方向にスライド部を付勢する付勢部材をさらに含み、ワークと載置部材との間隔は、付勢部材の付勢によるスライド部の第２移動方向への移動に伴って小さくなるように構成されている。

この発明の第１の局面によるワーク作業装置では、上記のように、ワークの移載の際には載置部材上にワークが載置されることにより、ワークの移載の際に、ワークと載置部材とが離間されることがないので、ワークを移載するヘッド以外のヘッドと載置部材との干渉を抑制することができる。また、ワークにヘッドによる作業が行なわれる際には、ワークと載置部材とが離間することにより、作業位置と載置部材とを離間させることができるので、ワークの載置部材側の端部に作業を行うことによるヘッドと載置部材との干渉を抑制することができる。これらにより、ワークの作業位置および載置部材上のワークの高さが制限されるのを抑制することができる。その結果、ワークの広範囲において作業を行うことができるとともに、作業対象のワークの形状（高さ）の自由度を向上させることができる。
また、ワークと載置部材との間隔を大きくするための追加の部材を設けずに、保持ユニットによる載置部材の保持を利用してワークと載置部材との間隔を大きくすることができるので、ワーク作業装置の大型化および部品点数の増大を抑制することができる。
また、スライド部の第１移動方向への移動量だけワークと載置部材との間隔を大きくすることができるので、ワークと載置部材との間に必要な間隔を容易に設けることができる。
また、スライド部が第１移動方向へ移動した状態では、付勢部材により自動でスライド部を第２移動方向へ移動させることができる。その結果、センサおよびモータを用いてスライド部を第１移動方向および第２移動方向に移動させる場合よりも、載置部材の構成の複雑化をより抑制することができる。なお、「ワークと載置部材との間隔が、小さくなる」とは、ワークと載置部との隙間を小さくした状態だけでなく、ワークと載置部とが接触した状態（間隔が０の状態）を含む広い概念である。

この発明の第２の局面によるワーク作業装置は、立体的な形状を有するワークが載置される載置部材と、載置部材を介してワークを保持する保持ユニットと、保持ユニットにワークを移載し、ワークに対して液剤の塗布または部品の実装の少なくともいずれかの作業を行うヘッドを有するヘッドユニットとを備え、保持ユニットにワークがヘッドにより移載される際に、載置部材上にワークが載置され、保持ユニットにワークが移載された後ヘッドによりワークに対して作業が行われる際に、ワークと載置部材とが離間する方向に相対的に移動可能に構成されており、ワークまたは載置部材は、ワークが保持ユニットに移載された後の保持ユニットの載置部材の保持により、ワークと載置部材との間隔が大きくなる方向に相対的に移動するように構成されており、載置部材は、保持ユニットが保持することにより第１移動方向に移動するスライド部を含み、ワークと載置部材との間隔は、スライド部の第１移動方向への移動に伴って大きくなるように構成されており、載置部材は、スライド部を一体的に有し、ワークが載置される載置部材本体と、ワークが取り付けられる固定部とをさらに含み、ワークと載置部材との間隔は、スライド部の第１移動方向への移動とともに載置部材本体が第１移動方向へ移動することに伴って、ワークと載置部材本体との間の隙間が大きくなることにより大きくなるように構成されている。
この発明の第２の局面によるワーク作業装置では、上記のように構成することにより、ワークではなく載置部材の載置部材本体を第１移動方向へ移動させているので、ワークを第１移動方向へ移動させる場合よりも載置部材上のワークの位置ずれを抑制することができる。
上記第１の局面による作業装置において、好ましくは、載置部材は、スライド部を一体的に有し、ワークが載置される載置部材本体と、ワークが取り付けられる固定部とをさらに含み、ワークと載置部材との間隔は、スライド部の第１移動方向への移動とともに載置部材本体が第１移動方向へ移動することに伴って、ワークと載置部材本体との間の隙間が大きくなることにより大きくなるように構成されている。

この発明の第３の局面によるワーク作業装置は、立体的な形状を有するワークが載置される載置部材と、載置部材を介してワークを保持する保持ユニットと、保持ユニットにワークを移載し、ワークに対して液剤の塗布または部品の実装の少なくともいずれかの作業を行うヘッドを有するヘッドユニットとを備え、保持ユニットにワークがヘッドにより移載される際に、載置部材上にワークが載置され、保持ユニットにワークが移載された後ヘッドによりワークに対して作業が行われる際に、ワークと載置部材とが離間する方向に相対的に移動可能に構成されており、ワークまたは載置部材は、ワークが保持ユニットに移載された後の保持ユニットの載置部材の保持により、ワークと載置部材との間隔が大きくなる方向に相対的に移動するように構成されており、載置部材は、保持ユニットが保持することにより第１移動方向に移動するスライド部を含み、ワークと載置部材との間隔は、スライド部の第１移動方向への移動に伴って大きくなるように構成されており、載置部材は、ワークが載置される載置部材本体を一体的に有する固定部をさらに含み、スライド部には、ワークが取り付けられ、ワークと載置部材との間隔は、スライド部の第１移動方向への移動とともにワークが第１移動方向へ移動することに伴い、ワークと載置部材本体との間の隙間が大きくなることにより大きくなるように構成されている。
この発明の第３の局面によるワーク作業装置では、上記のように構成することにより、載置部材の載置部材本体ではなくワークを第１移動方向へ移動させているので、載置部材の載置部材本体を第１移動方向へ移動させる場合と異なり、載置部材がスライド部の移動に伴い移動しないので載置部材が傾いてしまうことを抑制することができる。
上記第１の局面によるワーク装置において、好ましくは、載置部材は、ワークが載置される載置部材本体を一体的に有する固定部をさらに含み、スライド部には、ワークが取り付けられ、ワークと載置部材との間隔は、スライド部の第１移動方向への移動とともにワークが第１移動方向へ移動することに伴い、ワークと載置部材本体との間の隙間が大きくなることにより大きくなるように構成されている。

この発明の第４の局面によるワーク作業装置は、立体的な形状を有するワークが載置される載置部材と、載置部材を介してワークを保持する保持ユニットと、保持ユニットにワークを移載し、ワークに対して液剤の塗布または部品の実装の少なくともいずれかの作業を行うヘッドを有するヘッドユニットとを備え、保持ユニットにワークがヘッドにより移載される際に、載置部材上にワークが載置され、保持ユニットにワークが移載された後ヘッドによりワークに対して作業が行われる際に、ワークと載置部材とが離間する方向に相対的に移動可能に構成されており、ワークまたは載置部材は、ワークが保持ユニットに移載された後の保持ユニットの載置部材の保持により、ワークと載置部材との間隔が大きくなる方向に相対的に移動するように構成されており、載置部材は、保持ユニットが保持することにより第１移動方向に移動するスライド部を含み、ワークと載置部材との間隔は、スライド部の第１移動方向への移動に伴って大きくなるように構成されており、保持ユニットは、ワークを載置部材を介して保持する保持部と、上下方向に直交するチルト軸回りに保持部を傾斜させる傾斜移動部とを含み、保持部がワークを保持するとともに、傾斜移動部により保持部が傾斜した状態において、保持ユニットの保持部の保持により、ワークと載置部材との間隔は大きくなるように構成されている。
この発明の第４の局面によるワーク作業装置では、上記のように構成することにより、たとえ傾斜移動部によりワークを傾斜させた状態でも、ワークと載置部材との間の間隔を大きくすることができるので、傾斜移動部により載置部材を傾斜させてワークの側面部の載置部材側の端部に部品を実装する際においても、ヘッドと載置部材との干渉を抑制することができる。
上記第１の局面によるワーク装置において、好ましくは、保持ユニットは、ワークを載置部材を介して保持する保持部と、上下方向に直交するチルト軸回りに保持部を傾斜させる傾斜移動部とを含み、保持部がワークを保持するとともに、傾斜移動部により保持部が傾斜した状態において、保持ユニットの保持部の保持により、ワークと載置部材との間隔は大きくなるように構成されている。

上記第４の局面によるワーク装置において、好ましくは、ヘッドユニットは、部品を吸着することによりワークに実装するヘッドとしての複数の実装ヘッドを有し、複数の実装ヘッドのうち所定の実装ヘッドが載置部材を吸着し保持ユニットに移載している状態では、ワークは載置部材上に接触するように載置されている。このように構成すれば、保持ユニットにワークを移載している状態では、ワークは載置部材から離間した位置に配置されずに互いに接触しているので、ワークと載置部材との間に隙間が発生するのをより確実に抑制することができる。これにより、所定の実装ヘッド以外の実装ヘッドとワークとの干渉を確実に抑制することができる。

上記第４の局面によるワーク作業装置において、好ましくは、スライド部は、第１移動方向に向かうにしたがって保持ユニットの保持部側に傾斜する傾斜部を有し、保持ユニットの保持部がスライド部の傾斜部に当接して保持することにより、スライド部が傾斜部の傾斜に沿って第１移動方向へ移動するとともに、載置部材本体またはワークが第１移動方向へ移動するように構成されている。このように構成すれば、スライド部に設けられた傾斜部という簡略な構成を利用して載置部材本体またはワークの第１移動方向への移動を実現することができるので、載置部材の構成が複雑化することをより一層抑制することができる。

上記第２または第３の局面によるワーク作業装置において、好ましくは、載置部材本体のワーク側の表面またはワークの表面の高さ位置を計測する高さ計測部をさらに備える。このように構成すれば、載置部材本体のワーク側の表面またはワークの表面の高さ位置が、基準となる高さ位置よりも低い位置か高い位置かを判断可能になるので、保持ユニットの保持により載置部材本体およびワークが離間方向に相対的に移動したか否かを確実に認識することができる。

本発明によれば、上記のように、立体的な形状を有するワークにおける部品の作業位置および載置部材上のワークの高さが制限されるのを抑制することが可能なワーク作業装置を提供できる。

本発明の第１および第２実施形態による部品実装装置の全体構成を示した平面図である。 本発明の第１および第２実施形態による部品実装装置の全体構成を示した側面図である。 本発明の第１および第２実施形態による部品実装装置の保持ユニットを示した斜視図である。 本発明の第１および第２実施形態による部品実装装置の制御装置および制御的な構成を示したブロック図である。 本発明の第１および第２実施形態による部品実装装置の搬送部材を示した斜視図である。 本発明の第１および第２実施形態による部品実装装置の載置部材上に立体基板が配置された状態を示した斜視図である。 図７（Ａ）は比較例における立体基板の側面部の載置部材側の端部に電子部品を実装する状態を示した模式図である。図７（Ｂ）は比較例における立体基板を移載する状態を示した模式図である。 図８（Ａ）は第１実施形態における立体基板の側面部の載置部材側の端部に電子部品を実装する状態を示した模式図である。図８（Ｂ）は第１実施形態における立体基板を移載する状態を示した模式図である。 本発明の第１実施形態による部品実装装置の載置部材上に立体基板を配置した状態を示した斜視図である。 本発明の第１実施形態による部品実装装置の載置部材および立体基板の分解斜視図である。 図１１（Ａ）は載置部材が保持ユニットの保持部により保持されていない非保持状態を示した断面図である。図１１（Ｂ）は載置部材が保持ユニットの保持部により保持された保持状態を示した断面図である。 本発明の第１実施形態による部品実装装置の制御装置において実行される立体基板移載処理フローのフローチャートである。 図１３（Ａ）は載置部材を移載する際の実装ヘッドおよび載置部材を示した模式図である。図１３（Ｂ）は載置部材を保持ユニットが保持した際の載置部材を示した模式図である。図１３（Ｃ）は保持ユニットが載置部材を保持した状態で載置体の高さ位置を計測するレーザー計測部を示した模式図である。 本発明の第１実施形態による部品実装装置において、傾斜機構部により立体基板を傾斜させた状態で立体基板の載置部材側の端部に電子部品を実装する状態を示した模式図である。 本発明の第２実施形態による部品実装装置の載置部材上に立体基板を配置した状態を示した斜視図である。 本発明の第２実施形態による部品実装装置の載置部材および立体基板の分解斜視図である。 図１７（Ａ）は載置部材が保持ユニットの保持部により保持されていない非保持状態を示した断面図である。図１７（Ｂ）は載置部材が保持ユニットの保持部により保持した保持状態を示した断面図である。 本発明の第２実施形態による部品実装装置の制御装置において実行される立体基板移載処理フローのフローチャートである。 図１９（Ａ）は載置部材を移載する際の実装ヘッドおよび載置部材を示した模式図である。図１９（Ｂ）は載置部材を保持ユニットが保持した際の載置部材を示した模式図である。図１９（Ｃ）は保持ユニットが載置部材を保持した状態で載置体の高さ位置を計測するレーザー計測部を示した模式図である。 図２０（Ａ）は本発明の第１〜第２実施形態による第１変形例の載置部材上に立体基板が配置された状態を示した断面図である。図２０（Ｂ）は本発明の第１〜第２実施形態による第１変形例の載置部材と立体基板とが離れた状態を示した断面図である。 本発明の第１〜第２実施形態による第２変形例の部品実装装置の部分的な構成を示した模式図である。

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

［第１実施形態］
図１〜図１３を参照して、本発明の第１実施形態による部品実装装置１について説明する。ここで、立体基板Ｐが載置された搬送部材７１の搬送方向およびその逆方向をＸ方向とし、水平方向においてＸ方向に直交する方向をＹ方向とする。また、Ｘ方向およびＹ方向に直交する方向をＺ方向とする。なお、部品実装装置１は、特許請求の範囲の「ワーク作業装置」の一例である。また、立体基板Ｐは、特許請求の範囲の「ワーク」の一例である。

（部品実装装置の構成）
図１〜図３を参照して、本発明の第１実施形態による部品実装装置１の構成について説明する。

図１および図２に示すように、部品実装装置１は、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサおよび抵抗などの電子部品Ｅを、立体基板Ｐに実装する部品実装装置１である。なお、電子部品Ｅは、特許請求の範囲の「部品」の一例である。

部品実装装置１は、搬送部２と、ヘッドユニット３と、テープフィーダ４と、ヘッド水平移動機構部５と、保持ユニット６と、部品撮像部７と、マーク撮像部８と、レーザー計測部９と、制御装置１０とを備えている。なお、レーザー計測部９は、特許請求の範囲の「高さ計測部」の一例である。

搬送部２は、立体基板Ｐが載置された載置部材８０が複数配置された搬送部材７１（図５参照）を搬入、搬送および搬出する搬送装置である。具体的には、搬送部２は、互いにＹ方向に離間した位置に配置される一対のコンベア部２１を有しており、一対のコンベア部２１により、搬送部材７１の両端部を下方から支持しながら、Ｘ方向に搬送部材７１を搬送する。また、搬送部２は、搬入された搬送部材７１を停止位置ＳＴまで搬送するとともに、停止位置ＳＴにおいて停止させる。

ヘッドユニット３は、電子部品Ｅを保持するとともに、保持された電子部品Ｅを立体基板Ｐに実装する複数（６つ）の実装ヘッド３１を含み、水平面内（ＸＹ平面内）で移動可能に構成されている。部品実装装置１では、Ｙ方向の両側（Ｙ１側およびＹ２側）に、立体基板Ｐに実装される電子部品Ｅを供給する複数のテープフィーダ４が配置されている。ヘッドユニット３の実装ヘッド３１は、テープフィーダ４から供給される電子部品Ｅを保持する。なお、実装ヘッド３１は、特許請求の範囲の「ヘッド」の一例である。

複数の実装ヘッド３１は、図２に示すように、Ｘ方向に沿って、等間隔で一列に配列されている。なお、複数の実装ヘッド３１は、同様の構成を有している。実装ヘッド３１の先端には、電子部品Ｅを保持するための吸着ノズル３１ａが着脱可能に装着されている。また、実装ヘッド３１は、部品実装装置１に設けられた真空源（図示せず）に接続されている。実装ヘッド３１は、真空源から供給される負圧によって、吸着ノズル３１ａに電子部品Ｅを吸着することにより電子部品Ｅを保持する。また、実装ヘッド３１は、真空源からの負圧の供給が停止されることにより電子部品Ｅの保持（吸着）を解除する。これにより、立体基板Ｐに電子部品Ｅを実装するように構成されている。

また、ヘッドユニット３は、実装ヘッド３１毎に設けられた複数のＺ軸移動機構部３２を含んでいる。なお、複数のＺ軸移動機構部３２は、それぞれ、同様の構成を有している。Ｚ軸移動機構部３２は、ボールねじ軸機構により、実装ヘッド３１を上下方向（Ｚ方向）に移動させるように構成されている。

ヘッド水平移動機構部５は、図１および図２に示すように、立体基板Ｐ（搬送部材７１）よりも上方において、ヘッドユニット３を水平面内（ＸＹ平面内）で移動させるように構成されている。具体的には、ヘッド水平移動機構部５は、Ｘ軸移動機構部５１と、一対のＹ軸移動機構部５２とを含んでいる。

Ｘ軸移動機構部５１は、ヘッドユニット３が取り付けられており、ボールねじ軸機構により、ヘッドユニット３をＸ方向に移動させるように構成されている。一対のＹ軸移動機構部５２は、Ｘ軸移動機構部５１が取り付けられており、ボールねじ軸機構により、Ｘ軸移動機構部５１およびヘッドユニット３をＹ方向に移動させるように構成されている。

保持ユニット６は、ヘッドユニット３により立体基板Ｐに電子部品Ｅの実装を行う際に、載置部材８０（図９参照）を介して立体基板Ｐを保持するように構成されている。また、保持ユニット６は、保持した立体基板ＰをＺ方向（上下方向）に沿って移動させるか、回転させるかまたは傾斜させるように構成されている。

具体的には、図３に示すように、保持ユニット６は、昇降機構部６１と、傾斜機構部６２と、回転機構部６３と、保持部６４とを含んでいる。保持ユニット６では、保持部６４が回転機構部６３に取り付けられており、回転機構部６３が傾斜機構部６２に取り付けられており、傾斜機構部６２が昇降機構部６１に取り付けられている。なお、傾斜機構部６２は、特許請求の範囲の「傾斜移動部」の一例である。

昇降機構部６１は、駆動モータ６１ａを有し、駆動モータ６１ａの駆動力およびボールねじ軸機構により、保持部６４により保持された立体基板Ｐを上下方向（Ｚ方向）に沿って移動させるように構成されている。傾斜機構部６２は、駆動モータ６２ａを有し、駆動モータ６２ａの駆動力により、水平方向に沿って延びる回転軸線Ａ１周りに、保持部６４により保持された立体基板Ｐを回転させるように構成されている。これにより、傾斜機構部６２は、保持部６４により保持された立体基板Ｐを傾斜させるように構成されている。回転機構部６３は、駆動モータ６３ａを有し、駆動モータ６３ａの駆動力により、回転軸線Ａ１に略直交する方向に延びる回転軸線Ａ２周りに、保持部６４により保持された立体基板Ｐを回転させるように構成されている。

保持部６４は、載置部材８０を介して立体基板Ｐを保持するように構成されている。具体的には、保持部６４は、複数（３個）の爪部６４ａを有し、複数の爪部６４ａにより、載置部材８０を保持して固定するように構成されている。

部品撮像部７は、図１に示すように、電子部品Ｅの実装作業に先立って実装ヘッド３１に吸着された電子部品Ｅを撮像する部品認識用のカメラである。マーク撮像部８は、電子部品Ｅの実装作業に先立って立体基板Ｐに付された位置認識マーク（図示せず）を撮像するマーク認識用のカメラである。位置認識マークは、立体基板Ｐの位置を認識するためのマークである。

レーザー計測部９は、立体基板Ｐの高さ位置および載置部材８０の高さ位置を計測するように構成されている。具体的には、レーザー計測部９は、立体基板Ｐまたは載置部材８０にレーザー光を照射して、立体基板Ｐ（図１３（Ｃ）参照）または載置部材８０（図１９（Ｃ）参照）から反射された反射光を受光することにより、レーザー計測部９の下端位置から立体基板Ｐの上面または載置部材８０の上面の計測位置までの距離を計測する。ここで、高さ位置は、レーザー計測部９により計測された、レーザー計測部９の下端位置から立体基板Ｐの上面または載置部材８０の上面の計測位置までの距離に基づいて算出される。

レーザー計測部９は、ヘッドユニット３の背面側（Ｙ１方向）に複数（２個）取り付けられている。また、複数のレーザー計測部９は、それぞれ、Ｘ１側およびＸ２側に配置されている。レーザー計測部９は、ヘッドユニット３とともに、基台の上方を水平方向（Ｘ方向およびＹ方向）に移動可能となっている。

図４に示すように、制御装置１０は、ＣＰＵ１０ａ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、およびＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）などを有するメモリ１０ｂを含み、部品実装装置１の動作を制御するように構成されている。具体的には、制御装置１０は、搬送部２、ヘッドユニット３、テープフィーダ４、Ｘ軸移動機構部５１、Ｙ軸移動機構部５２、保持ユニット６、部品撮像部７、マーク撮像部８およびレーザー計測部９などを、予め記憶されたプログラムにしたがって制御する。

〈搬送部材〉
部品実装装置１では、図５に示すように、立体基板Ｐは、搬送部材７１上に載置された状態で、装置内に搬入されて、搬送される。搬送部材７１は、複数の載置部材８０と、搬送部２に載置される搬送体７２とを含んでいる。複数の載置部材８０の各々には、立体基板Ｐが載置されている。搬送体７２には、複数の載置部材８０が載置されている。部品実装装置１では、単一の搬送体７２に複数の載置部材８０を載置することにより、一度に複数の立体基板Ｐを部品実装装置１に搬入することが可能である。また、複数の載置部材８０は、搬送体７２から分離可能に載置されている。部品実装装置１では、搬送部材７１の搬送体７２から単一の載置部材８０を分離するとともに、分離された載置部材８０とともに立体基板Ｐを移動させることが可能である。

すなわち、搬送部材７１では、複数（２個）の実装ヘッド３１が載置部材８０の立体基板Ｐ以外の部分を吸着することにより、搬送部材７１の搬送体７２から単一の載置部材８０が分離される。そして、分離された載置部材８０は、複数の実装ヘッド３１に吸着された状態で、Ｘ軸移動機構部５１およびＹ軸移動機構部５２によりヘッドユニット３とともに移動することが可能である。これにより、分離された立体基板Ｐは、搬送部材７１の停止位置ＳＴ（図１参照）から保持ユニット６に保持部６４に載置部材８０を移載する移載位置Ｌ（図１参照）まで移動することが可能である。

〈立体基板〉
図６に示すように、立体基板Ｐは、平板形状に比べて立体的な形状を有している。立体基板Ｐは、平板形状に比べて立体的な形状を有していれば、どのような形状を有していてもよく、実装ヘッド３１により電子部品Ｅが実装される被実装面を複数有していてもよい。また、立体基板ＰのＺ２側（下側）の面部には、立体基板Ｐを載置部材８０に取り付けるための複数（２個）の係合孔７３が設けられている。

〈載置部材〉
ここで、図７（Ａ）に示す比較例の部品実装装置では、保持ユニットの傾斜機構部により立体基板Ｐをたとえば９０度傾斜させた状態で、立体基板Ｐの載置部材側の端部に電子部品Ｅを実装しようとすると、実装ヘッド３１と載置部材とが干渉してしまう。この干渉を回避するために、図７（Ｂ）に示す比較例の部品実装装置のように、立体基板Ｐと載置部材とのスペーサＳＰを配置することが考えられる。しかし、立体基板Ｐの載置部材からの高さ位置が高くなるので、停止位置から移載位置まで載置部材を移動させるために載置部材を所定の実装ヘッド３１により吸着する際に、所定の実装ヘッド３１以外の実装ヘッド３１（もしくは、マーク撮像部８など）と立体基板Ｐとが干渉してしまうおそれがある。そのため、部品実装装置では、電子部品Ｅの実装時において実装ヘッド３１と載置部材とが干渉せず、かつ、載置部材の移載時において実装ヘッド３１と立体基板Ｐとが干渉しない構成が必要となる。

そこで、第１実施形態の部品実装装置１は、図８（Ａ）に示すように、電子部品Ｅの実装時において実装ヘッド３１と載置部材８０との干渉を回避可能であり、かつ、図８（Ｂ）に示すように、載置部材８０の移載時において実装ヘッド３１と立体基板Ｐとの干渉を回避可能な載置部材８０を備えている。以下、図９〜図１３を参照して載置部材８０に関する説明を行う。ここで、載置部材８０は、立体基板Ｐを保持ユニット６の保持部６４により保持するための治具である。

載置部材８０は、立体基板Ｐが実装ヘッド３１により保持ユニット６に移載される際に、載置部材８０上に立体基板Ｐが接触するように載置されるように構成されている。さらに、載置部材８０は、保持ユニット６の保持部６４に立体基板Ｐが移載された後、実装ヘッド３１により立体基板Ｐに対して電子部品Ｅの実装作業が行なわれる際に、立体基板Ｐと載置部材８０とが離間する方向に相対的に移動可能に構成されている、具体的には、図９および図１０に示すように、載置部材８０は、載置部材本体８１と、付勢部材８２と、固定部８３とを含んでいる。

載置部材本体８１は、立体基板Ｐが載置されるとともに、立体基板Ｐに対して相対的に移動可能に構成されている。具体的には、載置部材本体８１は、載置体９１と、載置体９１に一体的に設けられているスライド部９２とを有している。載置体９１は、立体基板Ｐの載置部材本体８１側の面部よりも大きい平板形状に形成されている。載置体９１は、平面視において、矩形形状に形成されている。また、載置体９１は、略中心部分に固定部８３が挿通する挿通孔９３が形成されている。挿通孔９３は、載置体９１を貫通している。

ここで、載置部材本体８１は、立体基板Ｐと載置部材８０との間隔が大きくなる方向に立体基板Ｐに対して相対的に移動するように構成されている。すなわち、載置部材本体８１は、保持ユニット６の保持によるスライド部９２の第１移動方向Ｍ１への移動に伴い、スライド部９２の移動方向と同じ第１移動方向Ｍ１へと移動する。このとき、載置部材本体８１が第１移動方向Ｍ１へ移動する際に、固定部８３に固定されていることによって、立体基板Ｐの高さ位置は維持される。なお、第１移動方向Ｍ１は、立体基板Ｐと載置部材８０とが離間する方向である。

スライド部９２は、載置体９１の立体基板Ｐとは反対側の面部から突出している第１突出部９２ａと、第１突出部９２ａの先端部から挿通孔９３とは反対側に突出する第２突出部９２ｂと、第２突出部９２ｂの先端部に設けられた傾斜部９２ｃとを有している。第１突出部９２ａは、第１移動方向Ｍ１に沿った方向に延びる四角柱形状に形成されている。第２突出部９２ｂは、第１移動方向Ｍ１に直交する方向のうち挿通孔９３側とは反対方向に沿って延びる四角柱形状に形成されている。傾斜部９２ｃは、第１移動方向Ｍ１に向かうにしたがって挿通孔９３とは反対側に傾斜している。また、図１１に示すように、傾斜部９２ｃは、保持部６４と対向する位置に配置されているので、第１移動方向Ｍ１に向かうにしたがって保持部６４側に傾斜している。このように、スライド部９２は、Ｌ字形状に形成されている。

スライド部９２は、図１０に示すように、載置体９１に複数（３個）配置されている。複数のスライド部９２は、挿通孔９３の周方向に沿って等間隔に配置されている。ここで、複数のスライド部９２は、それぞれ、図１１に示すように、保持ユニット６の保持部６４に設けられた複数の爪部６４ａに対応する位置に配置されている。そして、複数のスライド部９２は、それぞれ、複数の爪部６４ａに対向している。なお、複数の爪部６４ａは、それぞれ同様の構成を有している。

付勢部材８２は、第１移動方向Ｍ１とは逆方向の第２移動方向Ｍ２にスライド部９２を付勢するように構成されている。具体的には、図１１（Ａ）に示すように、付勢部材８２は、一端部が載置体９１の立体基板Ｐとは反対側の面部に取り付けられ、他端部が固定部８３に取り付けられている。これにより、付勢部材８２は、固定部８３に取り付けられている他端部を基準として第２移動方向Ｍ２に伸びる。そして、付勢部材８２は、図１１（Ｂ）に示すように、スライド部９２の第１移動方向Ｍ１への移動に伴い第１移動方向Ｍ１へと移動する載置体９１により、第１移動方向Ｍ１に圧縮される。ここで、付勢部材８２は、コイルバネにより構成されている。また、第２移動方向Ｍ２は、立体基板Ｐと載置部材８０とが近付く方向である。

固定部８３は、載置部材８０上に載置された立体基板Ｐの保持部６４に対する相対的な位置関係を固定するように構成されている。具体的には、固定部８３は、図１０に示すように、ベース部９５と、突出部９６とを有している。

ベース部９５は、円柱形状に形成されている。そして、ベース部９５は、平面視において、付勢部材８２よりも大きく形成されている。また、ベース部９５には、スライド部９２が挿入され、スライド部９２の第１移動方向Ｍ１および第２移動方向Ｍ２の各々の移動をガイドするガイド溝９５ａが形成されている。ガイド溝９５ａは、ベース部９５の外周部が径方向内側に窪んだ凹状に形成されている。ガイド溝９５ａは、ベース部９５を第１移動方向Ｍ１に貫通している。

突出部９６は、図１１（Ａ）に示すように、ベース部９５から第２移動方向Ｍ２に突出している。突出部９６は、載置体９１の挿通孔９３に挿通可能な直径を有する円柱形状（図１０参照）に形成されている。突出部９６は、立体基板Ｐが着脱可能に取り付けられるように、第２移動方向Ｍ２側の端部に設けられる係合部９６ａを有している。係合部９６ａは、立体基板Ｐの係合孔７３に係合するように構成されている。これにより、載置部材８０上に載置された立体基板Ｐの保持部６４に対する相対的な位置関係を変化させないようにすることが可能である。

〈載置部材本体の立体基板に対する相対的な移動〉
以下に、載置部材本体８１の立体基板Ｐに対する相対的な移動について図１１を参照して説明する。

図１１（Ａ）に示すように、保持ユニット６の保持部６４により載置部材８０が保持されていない非保持状態では、付勢部材８２が固定部８３のベース部９５を基準として第２移動方向Ｍ２へ伸びることにより、載置部材本体８１の載置体９１が第２移動方向Ｍ２へと押されることに伴いスライド部９２が第２移動方向Ｍ２へと移動する。このように、非保持状態では、立体基板Ｐと載置部材８０との間隔は、付勢部材８２の付勢によるスライド部９２の第２移動方向Ｍ２への移動に伴って小さくなる。すなわち、立体基板Ｐは、載置部材８０上に接触して載置されている。このとき、立体基板Ｐと保持部６４との相対的な位置関係は変化しないとともに、載置部材８０の載置体９１と保持部６４との相対的な位置関係は離間する。

図１１（Ｂ）に示すように、保持ユニット６の保持部６４により載置部材８０が保持された保持状態では、保持部６４の爪部６４ａがスライド部９２の傾斜部９２ｃに当接して保持することにより、スライド部９２が傾斜部９２ｃの傾斜に沿って第１移動方向Ｍ１へと移動する。スライド部９２の第１移動方向Ｍ１への移動に伴い載置体９１も第１移動方向Ｍ１へと移動する。これにより、付勢部材８２が固定部８３のベース部９５を基準として第１移動方向Ｍ１へ圧縮される。このように、保持状態では、立体基板Ｐと載置部材８０との間隔は、スライド部９２の第１移動方向Ｍ１への移動に伴って大きくなる。このとき、立体基板Ｐと保持部６４との相対的な位置関係は変化しないとともに、載置部材８０の載置体９１と保持部６４との相対的な位置関係は近くなる。

（立体基板移載処理フローのフローチャート）
以下に、立体基板移載処理フローについて図１２および図１３を参照して説明する。立体基板移載処理フローは、載置部材８０に載置された状態の立体基板Ｐを停止位置ＳＴから移載位置Ｌまで移動させ、移載位置Ｌにおいて保持ユニット６の保持部６４に立体基板Ｐを載置部材８０を介して保持させる処理である。

図１２に示すように、ステップＳ１では、制御装置１０は、搬送部２により、停止位置ＳＴまで搬送部材７１を搬送する。ステップＳ２では、制御装置１０は、Ｘ軸移動機構部５１およびＹ軸移動機構部５２により、停止位置ＳＴにヘッドユニット３を移動させる。ステップＳ３では、制御装置１０は、Ｚ軸移動機構部３２により、実装ヘッド３１を下降させ載置部材８０の載置体９１を吸着させる。すなわち、図１３（Ａ）に示すように、複数の実装ヘッド３１のうち所定の実装ヘッド３１が載置部材８０の載置体９１を吸着し保持ユニット６に移載する状態では、立体基板Ｐは載置部材８０の載置体９１上に接触するように載置されている。これにより、所定の実装ヘッド３１以外の実装ヘッド３１が立体基板Ｐに干渉することが回避される。

図１２に示すように、ステップＳ４では、制御装置１０は、Ｚ軸移動機構部３２、Ｘ軸移動機構部５１およびＹ軸移動機構部５２により、実装ヘッド３１を上昇させ移載位置Ｌまで移動させる。制御装置１０は、ステップＳ５では、制御装置１０は、Ｚ軸移動機構部３２により、実装ヘッド３１を下降させ載置部材８０の載置体９１の吸着を解除する。ステップＳ６では、制御装置１０は、保持ユニット６の保持部６４により載置部材８０を保持させる。すなわち、図１３（Ｂ）に示すように、実装ヘッド３１による載置体９１の吸着を解除した後、保持ユニット６の保持部６４が矢印にて示した方向に移動し、保持部６４により載置部材８０を保持した保持状態では、載置部材８０が立体基板Ｐに対して相対的に移動し、立体基板Ｐと載置部材８０とが非接触の状態となる。このとき、立体基板Ｐと載置部材８０の載置体９１との間隔は、スライド部９２の第１移動方向Ｍ１への移動とともに載置部材本体８１の載置体９１が第１移動方向Ｍ１へ移動することに伴って、立体基板Ｐと載置部材本体８１の載置体９１との間の隙間Ｓが大きくなることにより大きくなる。

ステップＳ７では、制御装置１０は、Ｚ軸移動機構部３２により、実装ヘッド３１を上昇させる。ステップＳ８では、制御装置１０は、２つのレーザー計測部９により、載置部材８０の載置体９１の立体基板Ｐ側の面の高さ位置を計測する。すなわち、図１３（Ｃ）に示すように、制御装置１０は、一方のレーザー計測部９により、任意の第１位置の載置体９１の立体基板Ｐ側の面の高さ位置を計測する。さらに、制御装置１０は、他方のレーザー計測部９により、第１位置とは立体基板Ｐを介して反対に位置する第２位置の載置体９１の立体基板Ｐ側の面の高さ位置を計測する。このとき、制御装置１０は、載置体９１の立体基板Ｐ側の面の高さ位置を取得する。

ステップＳ９では、制御装置１０は、基準位置より載置体９１の立体基板Ｐ側の面が下方に配置されているか否かを判断する。制御装置１０は、基準位置（図１３（Ｃ）参照）より載置体９１の立体基板Ｐ側の面が下方に配置されていない場合には、保持ユニット６の保持部６４による載置部材８０の保持が適切に行なわれていないと判断し、部品実装装置１の作業を停止させる。制御装置１０は、基準位置より載置体９１の立体基板Ｐ側の面が下方に配置されている場合には、立体基板移載処理フローを終了する。なお、好ましくは、基準位置より閾値以下に、載置体９１の立体基板Ｐ側の面が下方に位置するのがよい。

（立体基板を傾斜させた状態での電子部品の実装）
このような立体基板移載処理フローを行なった後、立体基板Ｐの側面部のうち載置部材８０側の部分に電子部品Ｅを実装する場合について説明する。

図１４に示すように、保持ユニット６の保持部６４が載置部材８０を介して立体基板Ｐを保持するとともに、傾斜機構部６２により立体基板Ｐを傾斜させた状態においても、保持ユニット６の保持部６４により、立体基板Ｐと載置部材本体８１の載置体９１との間に隙間Ｓが設けられた状態が保持されている。これにより、立体基板Ｐの側面部のうち載置部材８０側の部分に電子部品Ｅを実装する実装ヘッド３１と、載置部材本体８１との干渉を回避することが可能となる。

（第１実施形態の効果）
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

第１実施形態では、上記のように、部品実装装置１では、保持ユニット６に載置部材８０が実装ヘッド３１により移載される際に、載置部材８０上に立体基板Ｐが載置される。また、部品実装装置１では、保持ユニット６に立体基板Ｐが移載された後実装ヘッド３１により立体基板Ｐに対して電子部品Ｅの実装が行われる際に、立体基板Ｐと載置部材８０とが離間する方向に相対的に移動可能に構成されている。これにより、立体基板Ｐの移載の際には載置部材８０上に立体基板Ｐが載置されることにより、立体基板Ｐの移載の際に、立体基板Ｐと載置部材８０とが離間せず、載置部材本体８１の載置体９１に対する立体基板Ｐの高さ位置が変化しないので、立体基板Ｐを移載する実装ヘッド３１以外の実装ヘッド３１と載置部材８０との干渉を抑制することができる。また、立体基板Ｐに実装ヘッド３１による実装作業が行なわれる際には、立体基板Ｐと載置部材８０とが離間しているので、実装位置と載置部材８０とを離間させることができるので、立体基板Ｐの載置部材８０側の端部に実装作業を行うことによる実装ヘッド３１と載置部材８０との干渉を抑制することができる。これらにより、立体基板Ｐの実装位置および載置部材８０上の立体基板Ｐの高さが制限されるのを抑制することができる。この結果、立体基板Ｐの広範囲において実装を行うことができるとともに、立体基板Ｐの形状（高さ）の自由度を向上させることができる。

また、第１実施形態では、上記のように、載置部材８０は、立体基板Ｐが保持ユニット６に移載された後の保持ユニット６の載置部材８０の保持により、立体基板Ｐと載置部材８０との間隔が大きくなる方向に相対的に移動するように構成されている。これにより、立体基板Ｐと載置部材８０との間隔を大きくする新たな構成を設けずに、保持ユニット６による載置部材８０の保持を利用して立体基板Ｐと載置部材８０との間隔を大きくすることができるので、部品実装装置１の構成の大型化および部品点数の増大を抑制することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、載置部材８０は、保持ユニット６が保持することにより第１移動方向Ｍ１に移動するスライド部９２を含んでいる。立体基板Ｐと載置部材８０との間隔は、スライド部９２の第１移動方向Ｍ１への移動に伴って大きくなるように構成されている。これにより、スライド部９２の第１移動方向Ｍ１への移動量だけ立体基板Ｐと載置部材８０との間隔を大きくすることができるので、立体基板Ｐと載置部材８０との間に必要な間隔を容易に設けることができる。

また、第１実施形態では、上記のように、載置部材８０は、第１移動方向Ｍ１とは逆方向の第２移動方向Ｍ２にスライド部９２を付勢する付勢部材８２を含んでいる。立体基板Ｐと載置部材８０との間隔は、付勢部材８２の付勢によるスライド部９２の第２移動方向Ｍ２への移動に伴って小さくなるように構成されている。これにより、スライド部９２が第１移動方向Ｍ１へ移動した状態では、付勢部材８２により自動でスライド部９２を第２移動方向Ｍ２へ移動させることができる。この結果、センサおよびモータを用いてスライド部９２を第１移動方向Ｍ１および第２移動方向Ｍ２に移動させる場合よりも、載置部材８０の構成の複雑化をより抑制することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、載置部材８０は、スライド部９２を一体的に有し、立体基板Ｐが載置される載置部材本体８１と、立体基板Ｐが取り付けられる固定部８３とを含んでいる。立体基板Ｐと載置部材８０との間隔は、スライド部９２の第１移動方向Ｍ１への移動とともに載置部材本体８１が第１移動方向Ｍ１へ移動することに伴って、立体基板Ｐと載置部材本体８１との間の隙間Ｓが大きくなることにより大きくなるように構成されている。これにより、立体基板Ｐではなく載置部材８０の載置部材本体８１を第１移動方向Ｍ１へ移動させているので、立体基板Ｐを第１移動方向Ｍ１へ移動させる場合よりも載置部材８０上の立体基板Ｐの位置ずれを抑制することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、保持ユニット６は、立体基板Ｐを載置部材８０を介して保持する保持部６４と、上下方向に直交するチルト軸回りに保持部６４を傾斜させる傾斜機構部６２とを含んでいる。保持部６４が立体基板Ｐを保持するとともに、傾斜機構部６２により保持部６４が傾斜した状態において、保持ユニット６の保持部６４の保持により、立体基板Ｐと載置部材８０との間隔は大きくなるように構成されている。これにより、たとえ傾斜機構部６２により立体基板Ｐを傾斜させた状態でも、立体基板Ｐと載置部材８０との間の間隔を大きくすることができるので、傾斜機構部６２により載置部材８０を傾斜させて立体基板Ｐの側面部の載置部材８０側の端部に部品を実装する際においても、実装ヘッド３１と載置部材８０との干渉を抑制することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、ヘッドユニット３は、電子部品Ｅを吸着することにより立体基板Ｐに実装する実装ヘッド３１を有している。そして、複数の実装ヘッド３１のうち所定の実装ヘッド３１が載置部材８０を吸着し保持ユニット６に移載している状態では、立体基板Ｐは載置部材８０上に接触するように載置されている。これにより、保持ユニット６に立体基板Ｐを移載している状態では、立体基板Ｐは載置部材８０から離間した位置に配置されずに互いに接触してるので、立体基板Ｐと載置部材８０との間に隙間Ｓが発生するのをより確実に抑制することができる。この結果、載置部材本体８１の載置体９１に対する立体基板Ｐの高さ位置が変化しないので、所定の実装ヘッド３１以外の実装ヘッド３１と立体基板Ｐとの干渉を確実に抑制することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、スライド部９２は、第１移動方向Ｍ１に向かうにしたがって保持ユニット６の保持部６４側に傾斜する傾斜部９２ｃを有している。保持ユニット６の保持部６４がスライド部９２の傾斜部９２ｃに当接して保持することにより、スライド部９２が傾斜部９２ｃの傾斜に沿って第１移動方向Ｍ１へ移動するとともに、載置部材本体８１または立体基板Ｐが第１移動方向Ｍ１へ移動するように構成されている。これにより、スライド部９２に設けられた傾斜部９２ｃという簡略な構成を利用して載置部材本体８１または立体基板Ｐの第１移動方向Ｍ１への移動を実現することができるので、載置部材８０の構成が複雑化することをより一層抑制することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、部品実装装置１は、載置部材本体８１の立体基板Ｐ側の表面または立体基板Ｐの表面の高さ位置を計測するレーザー計測部９を備えている。これにより、載置部材本体８１の立体基板Ｐ側の表面または立体基板Ｐの表面の高さ位置が、基準となる高さ位置よりも低い位置か高い位置かを判断可能になるので、保持ユニット６の保持により載置部材本体８１および立体基板Ｐが離間方向に相対的に移動したか否かを確実に認識することができる。

［第２実施形態］
次に、図１５〜図１９を参照して、本発明の第２実施形態による部品実装装置２０１の構成について説明する。第２実施形態では、載置部材８０が立体基板Ｐから離れる方向に移動した上記第１実施形態とは異なり、立体基板Ｐが載置部材２８０の載置体２９１から離れる方向に移動する例について説明する。なお、第２実施形態において、第１実施形態と同様の構成に関しては、同じ符号を付して説明を省略する。

〈載置部材〉
載置部材２８０は、図１５および図１６に示すように、載置部材２８０は、載置部材本体２８１と、付勢部材８２と、スライド部２８３とを含んでいる。

載置部材本体２８１は、立体基板Ｐが載置されるように構成されている。具体的には、載置部材本体２８１は、載置体２９１と、載置体２９１に一体的に設けられている固定部２９２とを有している。

固定部２９２は、載置部材２８０の載置体２９１の保持部６４に対する相対的な位置関係が変化しないように構成されている。具体的には、固定部２９２は、図１５に示すように、ベース部２９５と、受け部２９６とを有している。

ベース部２９５は、円筒形状に形成されている。ベース部２９５には、スライド部２８３が挿入される挿入孔２９５ａが形成されている。そして、ベース部２９５は、平面視において、付勢部材８２よりも大きく形成されている。

受け部２９６は、ベース部２９５から第２移動方向Ｍ２に複数（３個）突出している。複数の受け部２９６は、ベース部２９５の挿入孔２９５ａの周方向に等間隔に所定の隙間を空けて配置されている。所定の隙間は、スライド部２８３が挿入され、スライド部２８３の第１移動方向Ｍ１および第２移動方向Ｍ２の各々の移動をガイドする機能を有する。また、複数の受け部２９６により囲まれた空間には、スライド部２８３が挿入される挿入空間が形成されている。複数の受け部２９６は、底面視において扇形状に形成されている。

ここで、立体基板Ｐは、立体基板Ｐと載置部材２８０との間隔が大きくなる方向に載置部材本体２８１に対して相対的に移動するように構成されている。すなわち、立体基板Ｐは、保持ユニット６の保持によるスライド部２８３の第１移動方向Ｍ１への移動に伴い、スライド部２８３の移動方向と同じ第１移動方向Ｍ１へと移動する。このとき、立体基板Ｐが第１移動方向Ｍ１へ移動する際に、載置部材本体２８１の高さ位置は保持される。

具体的には、図１６に示すように、スライド部２８３は、円柱形状の芯部２８３ａと、四角柱形状の突出部２８３ｂとを有している。芯部２８３ａの立体基板Ｐ側の端面部には、立体基板Ｐが着脱可能に取り付けられるように係合部９６ａが設けられている。芯部２８３ａの第１移動方向Ｍ１の長さは、挿入空間、挿入孔２９５ａおよび挿通孔９３を通過して、立体基板Ｐの係合孔７３に係合部９６ａが係合可能な程度の長さを有している。

突出部２８３ｂは、芯部２８３ａから径方向外側に突出している。また、突出部２８３ｂは、芯部２８３ａとは反対側の端部に設けられた傾斜部２８３ｃを有している。傾斜部２８３ｃは、第１移動方向Ｍ１に向かうにしたがって芯部２８３ａとは反対側に傾斜している。すなわち、図１７（Ａ）に示すように、傾斜部２８３ｃは、保持部６４の爪部６４ａと対向する位置に配置されているので、第１移動方向Ｍ１に向かうにしたがって保持部６４側に傾斜している。

突出部２８３ｂは、図１６に示すように、芯部２８３ａに複数（３個）配置されている。複数の突出部２８３ｂは、芯部２８３ａの周方向に沿って等間隔に配置されている。ここで、複数の突出部２８３ｂは、それぞれ、図１７に示すように、保持ユニット６の保持部６４に設けられた複数の爪部６４ａに対応する位置に配置されている。そして、複数の突出部２８３ｂは、それぞれ、複数の爪部６４ａに対向している。

付勢部材８２は、図１７（Ａ）に示すように、一端部が固定部２９２のベース部２９５に取り付けられ、他端部がスライド部２８３の突出部２８３ｂに取り付けられている。これにより、付勢部材８２は、固定部２９２に取り付けられている他端部を基準として第２移動方向Ｍ２に伸びる。そして、付勢部材８２は、図１７（Ｂ）に示すように、スライド部２８３の第１移動方向Ｍ１への移動に伴い第１移動方向Ｍ１に圧縮される。なお、第２実施形態のその他の構成は、第１実施形態と同様である。

〈載置部材本体の立体基板に対する相対的な移動〉
以下に、載置部材本体２８１の立体基板Ｐに対する相対的な移動について図１７を参照して説明する。

図１７（Ａ）に示すように、保持ユニット６の保持部６４により載置部材２８０が保持されていない非保持状態では、付勢部材８２が固定部２９２のベース部２９５を基準として第２移動方向Ｍ２へ伸びることにより、スライド部２８３の突出部２８３ｂが第２移動方向Ｍ２へと押されて、立体基板Ｐが第２移動方向Ｍ２へと移動する。このように、非保持状態では、立体基板Ｐと載置部材２８０との間隔は、付勢部材８２の付勢によるスライド部２８３の第２移動方向Ｍ２への移動に伴って小さくなる。すなわち、立体基板Ｐは、載置部材８０上に接触して載置される。また、立体基板Ｐと保持部６４との相対的な位置関係は変化しないとともに、載置部材２８０の載置体２９１と保持部６４との相対的な位置関係は近接する。

図１７（Ｂ）に示すように、保持ユニット６の保持部６４により載置部材２８０が保持された保持状態では、保持部６４の爪部６４ａがスライド部２８３の傾斜部２８３ｃに当接して保持することにより、スライド部２８３が傾斜部２８３ｃの傾斜に沿って第１移動方向Ｍ１へと移動する。ここで、保持部６４は、複数の受け部２９６における周方向の両端部の面部に爪部６４ａが当接することにより、載置部材本体２８１の第１移動方向Ｍ１への移動を抑制している。そして、スライド部２８３の第１移動方向Ｍ１への移動に伴い立体基板Ｐも第１移動方向Ｍ１へと移動する。このとき、付勢部材８２が固定部２９２のベース部２９５を基準として第１移動方向Ｍ１へ圧縮される。このように、保持状態では、立体基板Ｐと載置部材２８０との間隔は、スライド部２８３の第１移動方向Ｍ１への移動に伴って大きくなる。すなわち、立体基板Ｐと保持部６４との相対的な位置関係は近くなり、載置部材２８０の載置体２９１と保持部６４との相対的な位置関係は変化しない。

（立体基板移載処理フローのフローチャート）
以下に、立体基板移載処理フローについて図１８および図１９を参照して説明する。

図１８に示すように、ステップＳ１〜Ｓ３は、第１実施形態の立体基板移載処理フローと同様の処理であるので説明を省略する。ここで、ステップＳ３の処理において、図１９（Ａ）に示すように、複数の実装ヘッド３１のうち所定の実装ヘッド３１が載置部材２８０の載置体２９１を吸着し保持ユニット６に移載する状態では、立体基板Ｐは載置部材２８０の載置体２９１上に接触するように載置されている。これにより、所定の実装ヘッド３１以外の実装ヘッド３１が立体基板Ｐに干渉することが回避される。

図１８に示すように、ステップＳ４〜Ｓ６は、第１実施形態の立体基板移載処理フローと同様の処理であるので説明を省略する。ここで、ステップＳ６の処理において、図１９（Ｂ）に示すように、実装ヘッド３１による載置体２９１の吸着を解除した後、保持ユニット６の保持部６４により載置部材２８０を保持した保持状態では、立体基板Ｐが載置部材２８０に対して相対的に移動し、立体基板Ｐと載置部材２８０とが非接触の状態となる。このとき、立体基板Ｐと載置部材２８０の載置体２９１との間隔は、スライド部２８３の第１移動方向Ｍ１への移動とともに立体基板Ｐが第１移動方向Ｍ１へ移動することに伴って、立体基板Ｐと載置部材本体２８１の載置体２９１との間の隙間Ｓが大きくなることにより大きくなる。

ステップＳ７は、第１実施形態の立体基板移載処理フローと同様の処理であるので説明を省略する。ステップＳ２１では、制御装置１０は、レーザー計測部９により、立体基板Ｐの載置部材２８０側とは反対側の面の高さ位置を計測（図１９（Ｃ）参照）する。

ステップＳ２２では、制御装置１０は、基準位置（図１９（Ｃ）参照）より立体基板Ｐの載置部材２８０側とは反対側の面が上方に配置されているか否かを判断する。制御装置１０は、基準位置より立体基板Ｐの載置部材２８０側とは反対側の面が上方に配置されていない場合には、保持ユニット６の保持部６４による載置部材２８０の保持が適切に行なわれていないと判断し、部品実装装置２０１の作業を停止させる。制御装置１０は、基準位置より立体基板Ｐの載置部材２８０側とは反対側の面が上方に配置されている場合には、立体基板移載処理フローを終了する。

（第２実施形態の効果）
第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

第２実施形態では、上記のように、載置部材２８０は、立体基板Ｐが載置される載置部材本体２８１を一体的に有する固定部２９２をさらに含んでいる。スライド部２８３には、立体基板Ｐが取り付けられている。立体基板Ｐと載置部材２８０との間隔は、スライド部２８３の第１移動方向Ｍ１への移動とともに立体基板Ｐが第１移動方向Ｍ１へ移動することに伴い、立体基板Ｐと載置部材本体２８１との間の隙間Ｓが大きくなることにより大きくなるように構成されている。これにより、載置部材本体２８１ではなく立体基板Ｐを第１移動方向Ｍ１へ移動させているので、載置部材本体２８１を第１移動方向Ｍ１へ移動させる場合と異なり、載置部材２８０がスライド部２８３の移動に伴い移動しないので載置部材２８０が傾いてしまうことを抑制することができる。なお、第２実施形態のその他の効果は、第１実施形態と同様である。

（変形例）
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく請求の範囲によって示され、さらに請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

たとえば、上記第１および第２実施形態では、保持部６４によりスライド部９２（２８３）を第１移動方向Ｍ１に移動させて、立体基板Ｐと載置部材８０（２８０）との間隔を大きくする例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、第１および第２実施形態の第１変形例として図２０に示すように、保持部６４が第１移動方向Ｍ１および第２移動方向Ｍ２に移動可能なシリンダ３０１を有していてもよい。この場合では、図２０（Ａ）に示すように、シリンダ３０１を第１移動方向Ｍ１に移動させることにより、スライド部３９２が第１移動方向Ｍ１へ移動する。そして、図２０（Ｂ）に示すように、シリンダ３０１を第２移動方向Ｍ２に移動させることにより、付勢部材８２の付勢力によりスライド部３９２が第２移動方向Ｍ２へ移動する。

また、上記第１および第２実施形態では、所定の実装ヘッド３１が載置部材８０（２８０）の載置体９１（２９１）を吸着することにより、移載位置Ｌまで載置部材８０（２８０）上の立体基板Ｐを移動させる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、第１および第２実施形態の第２変形例として図２１に示すように、搬送部２が直接載置部材８０（２８０）を搬送し、停止位置ＳＴにおいて直接保持ユニット６の保持部６４が載置部材８０（２８０）を保持する態様であってもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、部品実装装置１（２０１）は、電子部品Ｅを立体基板Ｐに実装する実装ヘッド３１をヘッドとして有しているヘッドユニット３を備えている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、部品実装装置は、ヘッドとして実装ヘッドだけでなく接着剤などの液剤を塗布するディスペンスヘッドを有するヘッドユニットを備える複合型の部品実装装置であってもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、部品実装装置１（２０１）が、載置部材８０（２８０）を備えている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、塗布装置が、載置部材を備えていてもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、搬送部材７１において、複数（２個）の実装ヘッド３１が載置部材８０（２８０）の立体基板Ｐ以外の部分を吸着することにより、搬送部材７１の搬送体７２から単一の載置部材８０（２８０）を分離する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、１個または３個以上の実装ヘッドにより、搬送部材の搬送体から単一の載置部材を分離してもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、説明の便宜上、制御装置１０の処理動作を処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローチャートを用いて説明したが、本発明はこれに限られない。本発明では、制御装置の処理動作を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型（イベントドリブン型）の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、特許請求の範囲の「ワーク」の一例として立体基板Ｐを示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、特許請求の範囲の「ワーク」は、立体基板以外の被実装物であってもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、特許請求の範囲の「ワーク作業装置」の一例として部品実装装置１を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、特許請求の範囲の「ワーク作業装置」は、実装ヘッドにより電子部品が実装される立体形状の被実装物に対して作業を行う被実装物作業装置であってもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、レーザー計測部９は、ヘッドユニット３の背面側（Ｙ１方向）に複数（２個）取り付けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、レーザー計測部は、ヘッドユニットの背面側（Ｙ１方向）に１または３個以上取り付けられてもよい。

１、２０１ 部品実装装置（ワーク作業装置）
３ ヘッドユニット
６ 保持ユニット
９ レーザー計測部（高さ計測部）
３１ 実装ヘッド（ヘッド）
６２ 傾斜機構部（傾斜移動部）
６４ 保持部
８０、２８０ 載置部材
８１、２８１ 載置部材本体
８２ 付勢部材
８３、２９２ 固定部
９２、２８３ スライド部
９２ｃ、２８３ｃ 傾斜部
Ｍ１ 第１移動方向
Ｍ２ 第２移動方向
Ｐ 立体基板（ワーク）
Ｓ 隙間

Claims (10)

1. 立体的な形状を有するワークが載置される載置部材と、
   前記載置部材を介して前記ワークを保持する保持ユニットと、
   前記保持ユニットに前記ワークを移載し、前記ワークに対して液剤の塗布または部品の実装の少なくともいずれかの作業を行うヘッドを有するヘッドユニットとを備え、
   前記保持ユニットに前記ワークが前記ヘッドにより移載される際に、前記載置部材上に前記ワークが載置され、前記保持ユニットに前記ワークが移載された後前記ヘッドにより前記ワークに対して前記作業が行われる際に、前記ワークと前記載置部材とが離間する方向に相対的に移動可能に構成されており、
   前記ワークまたは前記載置部材は、前記ワークが前記保持ユニットに移載された後の前記保持ユニットの前記載置部材の保持により、前記ワークと前記載置部材との間隔が大きくなる方向に相対的に移動するように構成されており、
   前記載置部材は、前記保持ユニットが保持することにより第１移動方向に移動するスライド部を含み、
   前記ワークと前記載置部材との間隔は、前記スライド部の前記第１移動方向への移動に伴って大きくなるように構成されており、
   前記載置部材は、前記第１移動方向とは逆方向の第２移動方向に前記スライド部を付勢する付勢部材をさらに含み、
   前記ワークと前記載置部材との間隔は、前記付勢部材の付勢による前記スライド部の前記第２移動方向への移動に伴って小さくなるように構成されている、ワーク作業装置。
2. 立体的な形状を有するワークが載置される載置部材と、
   前記載置部材を介して前記ワークを保持する保持ユニットと、
   前記保持ユニットに前記ワークを移載し、前記ワークに対して液剤の塗布または部品の実装の少なくともいずれかの作業を行うヘッドを有するヘッドユニットとを備え、
   前記保持ユニットに前記ワークが前記ヘッドにより移載される際に、前記載置部材上に前記ワークが載置され、前記保持ユニットに前記ワークが移載された後前記ヘッドにより前記ワークに対して前記作業が行われる際に、前記ワークと前記載置部材とが離間する方向に相対的に移動可能に構成されており、
   前記ワークまたは前記載置部材は、前記ワークが前記保持ユニットに移載された後の前記保持ユニットの前記載置部材の保持により、前記ワークと前記載置部材との間隔が大きくなる方向に相対的に移動するように構成されており、
   前記載置部材は、前記保持ユニットが保持することにより第１移動方向に移動するスライド部を含み、
   前記ワークと前記載置部材との間隔は、前記スライド部の前記第１移動方向への移動に伴って大きくなるように構成されており、
   前記載置部材は、前記スライド部を一体的に有し、前記ワークが載置される載置部材本体と、前記ワークが取り付けられる固定部とをさらに含み、
   前記ワークと前記載置部材との間隔は、前記スライド部の前記第１移動方向への移動とともに前記載置部材本体が前記第１移動方向へ移動することに伴って、前記ワークと前記載置部材本体との間の隙間が大きくなることにより大きくなるように構成されている、ワーク作業装置。
3. 前記載置部材は、前記スライド部を一体的に有し、前記ワークが載置される載置部材本体と、前記ワークが取り付けられる固定部とをさらに含み、
   前記ワークと前記載置部材との間隔は、前記スライド部の前記第１移動方向への移動とともに前記載置部材本体が前記第１移動方向へ移動することに伴って、前記ワークと前記載置部材本体との間の隙間が大きくなることにより大きくなるように構成されている、請求項１に記載のワーク作業装置。
4. 立体的な形状を有するワークが載置される載置部材と、
   前記載置部材を介して前記ワークを保持する保持ユニットと、
   前記保持ユニットに前記ワークを移載し、前記ワークに対して液剤の塗布または部品の実装の少なくともいずれかの作業を行うヘッドを有するヘッドユニットとを備え、
   前記保持ユニットに前記ワークが前記ヘッドにより移載される際に、前記載置部材上に前記ワークが載置され、前記保持ユニットに前記ワークが移載された後前記ヘッドにより前記ワークに対して前記作業が行われる際に、前記ワークと前記載置部材とが離間する方向に相対的に移動可能に構成されており、
   前記ワークまたは前記載置部材は、前記ワークが前記保持ユニットに移載された後の前記保持ユニットの前記載置部材の保持により、前記ワークと前記載置部材との間隔が大きくなる方向に相対的に移動するように構成されており、
   前記載置部材は、前記保持ユニットが保持することにより第１移動方向に移動するスライド部を含み、
   前記ワークと前記載置部材との間隔は、前記スライド部の前記第１移動方向への移動に伴って大きくなるように構成されており、
   前記載置部材は、前記ワークが載置される載置部材本体を一体的に有する固定部をさらに含み、
   前記スライド部には、前記ワークが取り付けられ、
   前記ワークと前記載置部材との間隔は、前記スライド部の前記第１移動方向への移動とともに前記ワークが前記第１移動方向へ移動することに伴い、前記ワークと前記載置部材本体との間の隙間が大きくなることにより大きくなるように構成されている、ワーク作業装置。
5. 前記載置部材は、前記ワークが載置される載置部材本体を一体的に有する固定部をさらに含み、
   前記スライド部には、前記ワークが取り付けられ、
   前記ワークと前記載置部材との間隔は、前記スライド部の前記第１移動方向への移動とともに前記ワークが前記第１移動方向へ移動することに伴い、前記ワークと前記載置部材本体との間の隙間が大きくなることにより大きくなるように構成されている、請求項１に記載のワーク作業装置。
6. 立体的な形状を有するワークが載置される載置部材と、
   前記載置部材を介して前記ワークを保持する保持ユニットと、
   前記保持ユニットに前記ワークを移載し、前記ワークに対して液剤の塗布または部品の実装の少なくともいずれかの作業を行うヘッドを有するヘッドユニットとを備え、
   前記保持ユニットに前記ワークが前記ヘッドにより移載される際に、前記載置部材上に前記ワークが載置され、前記保持ユニットに前記ワークが移載された後前記ヘッドにより前記ワークに対して前記作業が行われる際に、前記ワークと前記載置部材とが離間する方向に相対的に移動可能に構成されており、
   前記ワークまたは前記載置部材は、前記ワークが前記保持ユニットに移載された後の前記保持ユニットの前記載置部材の保持により、前記ワークと前記載置部材との間隔が大きくなる方向に相対的に移動するように構成されており、
   前記載置部材は、前記保持ユニットが保持することにより第１移動方向に移動するスライド部を含み、
   前記ワークと前記載置部材との間隔は、前記スライド部の前記第１移動方向への移動に伴って大きくなるように構成されており、
   前記保持ユニットは、前記ワークを前記載置部材を介して保持する保持部と、上下方向に直交するチルト軸回りに前記保持部を傾斜させる傾斜移動部とを含み、
   前記保持部が前記ワークを保持するとともに、前記傾斜移動部により前記保持部が傾斜した状態において、前記保持ユニットの前記保持部の保持により、前記ワークと前記載置部材との間隔は大きくなるように構成されている、ワーク作業装置。
7. 前記保持ユニットは、前記ワークを前記載置部材を介して保持する保持部と、上下方向に直交するチルト軸回りに前記保持部を傾斜させる傾斜移動部とを含み、
   前記保持部が前記ワークを保持するとともに、前記傾斜移動部により前記保持部が傾斜した状態において、前記保持ユニットの前記保持部の保持により、前記ワークと前記載置部材との間隔は大きくなるように構成されている、請求項１に記載のワーク作業装置。
8. 前記ヘッドユニットは、前記部品を吸着することにより前記ワークに実装する前記ヘッドとしての複数の実装ヘッドを有し、
   前記複数の実装ヘッドのうち所定の実装ヘッドが前記載置部材を吸着し前記保持ユニットに移載している状態では、前記ワークは前記載置部材上に接触するように載置されている、請求項６または７に記載のワーク作業装置。
9. 前記スライド部は、前記第１移動方向に向かうにしたがって前記保持ユニットの前記保持部側に傾斜する傾斜部を有し、
   前記保持ユニットの前記保持部が前記スライド部の前記傾斜部に当接して保持することにより、前記スライド部が前記傾斜部の傾斜に沿って前記第１移動方向へ移動するとともに、前記載置部材本体または前記ワークが前記第１移動方向へ移動するように構成されている、請求項６〜８のいずれか１項に記載のワーク作業装置。
10. 前記載置部材本体の前記ワーク側の表面または前記ワークの表面の高さ位置を計測する高さ計測部をさらに備える、請求項２〜５のいずれか１項に記載のワーク作業装置。

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