JP2007015789A - インラインバッファ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】一時保管作業の効率がよく、コンパクトで低コストのインラインバッファ装置を提供する。
【解決手段】コンベア装置11の搬送経路上に配設されて上記搬送経路にその下側からせり出して被検査基板12を上方へ持ち上げて一時的に保管する一時保管機構22と、この一時保管機構22を上下に昇降させる昇降機構23と、被検査基板12を一時保管機構22に装着させる位置決め機構とを備えた。一時保管機構22は、コンベア装置11の搬送経路にその下側から上昇してせり出す支柱27と、この支柱27に複数設けられて上記支柱の上昇によって上記搬送物を支持して持ち上げる基板受け部28と、被検査基板12の位置決めをするストッパー30とから構成されている。位置決め機構には被検査基板12の位置を検知するセンサーを備え、一時保管機構22にはその幅を被検査基板12の幅に合わせて調整する幅調整部を備えた。
【選択図】図1
【解決手段】コンベア装置11の搬送経路上に配設されて上記搬送経路にその下側からせり出して被検査基板12を上方へ持ち上げて一時的に保管する一時保管機構22と、この一時保管機構22を上下に昇降させる昇降機構23と、被検査基板12を一時保管機構22に装着させる位置決め機構とを備えた。一時保管機構22は、コンベア装置11の搬送経路にその下側から上昇してせり出す支柱27と、この支柱27に複数設けられて上記支柱の上昇によって上記搬送物を支持して持ち上げる基板受け部28と、被検査基板12の位置決めをするストッパー30とから構成されている。位置決め機構には被検査基板12の位置を検知するセンサーを備え、一時保管機構22にはその幅を被検査基板12の幅に合わせて調整する幅調整部を備えた。
【選択図】図1
Description
本発明は、搬送物が滞ったときに当該搬送物を一時的に保管するインラインバッファ装置に関する。
コンベア搬送設備においてバッファ装置は一般に知られている。このバッファ装置の概略を図2に示す。図中の1はコンベアである。このコンベア1に面してバッファ装置2と検査装置3とが設けられている。これらコンベア1とバッファ装置2との間及びコンベア1と検査装置3との間には、移動機構4、5が設けられ、被検査板を適宜移し替える。
この構成により、コンベア1で被検査板が搬送され、移動機構5で検査装置3に移されて検査される。検査が終われば、再びコンベア1に戻されて搬送される。
このとき、検査装置3で障害が発生する等によって検査が滞ったときは、コンベア1で搬送されてくる被検査板を移動機構4でバッファ装置2に移して一時的に保管する。
このバッファ装置2としては、種々のものがある。例えば、特許文献1のように、バッファ装置2をコンベア1の横に積み上げるものがある。
特開平11−322024号公報
しかし、このように、コンベア1の横にバッファ装置2を配設すると、バッファ装置2のためのスペースが必要になる。さらに、コンベア1とバッファ装置2との間で被検査板を移動させる移動機構4を設ける必要もある。移動機構4のためのスペースも必要である。
このため、装置が大がかりなものとなって嵩張る。
また、移動機構4が必要なため、製造コストが嵩む。
さらに、移動機構4で被検査板を、コンベア1とバッファ装置2との間で移し替えると作業効率が悪い。
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたもので、省スペース化を実現し、作業効率がよく、コンパクトで低コストのインラインバッファ装置を提供するものである。
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたもので、本発明のインラインバッファ装置は、コンベア装置の搬送経路上に配設され、上記搬送経路にその下側からせり出して搬送物を上方へ持ち上げて一時的に保管する一時保管機構と、当該一時保管機構を上下に昇降させる昇降機構とを備えて構成されたことを特徴とする。
上記一時保管機構は、上記コンベア装置の搬送経路にその下側から上昇してせり出す支柱と、当該支柱に1又は複数設けられて上記支柱の上昇によって上記搬送物を支持して持ち上げる受け部とを備えて構成することが望ましい。
また、上記コンベア装置を搬送されてきた上記搬送物を一時保管機構に装着させるための位置決め機構を備えることが望ましい。
上記位置決め機構は、通過する上記搬送物を検知して、所定の位置で上記コンベア装置を停止させるセンサーを備えることが望ましい。
上記一時保管機構の幅を、上記搬送物の幅に合わせて調整する幅調整部を備えることが望ましい。
インラインバッファ装置は、搬送物が滞ったとき、一時保管機構がコンベア装置の搬送経路にその下側からせり出して搬送物を上方へ持ち上げて一時的に保管すると共に一時保管機構を降下させるだけでコンベア装置へ戻すことができるため、一時保管処理が容易になると共に、一時保管した搬送物を容易にコンベア装置へ戻すことができる。
上記一時保管機構を、上記コンベア装置の搬送経路にその下側から上昇してせり出す支柱と、当該支柱に1又は複数設けられて上記支柱の上昇によって上記搬送物を支持して持ち上げる受け部とを備えて構成したので、上記支柱を上昇させるだけで、搬送物を容易に一時保管状態にすることができると共に、上記支柱を下降させるだけで、搬送物を容易にコンベア装置に戻すことができる。
上記位置決め機構で、上記搬送物を一時保管機構に装着させるときに上記搬送物を位置決めするため、受け部が上記搬送物を正確に支持して持ち上げることができる。
上記センサーが搬送物の位置を検知して、上記搬送物が上記一時保管機構に近傍に移動したときにコンベア装置を停止させることで、上記搬送物を上記一時保管機構に容易に装着することができる。
上記幅調整部で上記一時保管機構の幅を上記搬送物の幅に合わせて調整するため、種々の幅の搬送物に対してインラインバッファ装置を使用することができる。
以下、本発明の実施形態に係るインラインバッファ装置について、添付図面を参照しながら説明する。図1は本発明の実施形態に係るインラインバッファ装置をコンベア装置に組み込んだ状態を示す斜視図、図3は本発明の実施形態に係るインラインバッファ装置、コンベア装置及び検査装置の全体構成を示す概略平面図、図4は本発明の実施形態に係るインラインバッファ装置を示す正面図、図5は本発明の実施形態に係るインラインバッファ装置を示す左側面図、図6は本発明の実施形態に係るインラインバッファ装置を示す平面図、図7は本発明の実施形態に係るパネルクランプの動作を示す平面図、図8は本発明の実施形態に係るインラインバッファ装置をコンベア装置に組み込んだ状態を示す正面図、図9は本発明の実施形態に係るインラインバッファ装置をコンベア装置に組み込んだ状態を示す平面図である。
まず、全体構成を図3に基づいて説明する。
図中の11はコンベア装置である。コンベア装置11は所定長さに配設され、被検査基板12(図1参照)が搬送される。コンベア装置11の横には検査装置13が設けられている。検査装置13とコンベア装置11との間には移動装置14が配置されている。この移動装置14がコンベア装置11で搬送された被検査基板12を検査装置13に移し替えて検査装置13で検査が行われる。検査装置13での検査が終了すると、移動装置14で被検査基板12がコンベア装置11に戻されて、搬送される。そして、インラインバッファ装置15がコンベア装置11の搬送経路上に配設されている。
コンベア装置11は、図1に示すように、被検査基板12の下側面に直接的に接触して被検査基板12を移動させる搬送ローラ17と、この搬送ローラ17を複数個一体的に支持する駆動軸18と、この駆動軸18の両端部を回転可能に支持すると共に、全ての駆動軸18を回転駆動する側面板部19,20とから構成されている。さらに、コンベア装置11には、上記駆動軸18を回転駆動する駆動モータ、全体の動作を制御する制御装置等が設けられている。
インラインバッファ装置15は、図1、4〜6に示すように主に、一時保管機構22と、昇降機構23と、位置決め機構24とから構成されている。
一時保管機構22は、コンベア装置11の搬送経路上にその下側からせり出して被検査基板12を上方へ持ち上げて一時的に保管するための機構(カセット)である。この一時保管機構22は、支柱27と、基板受け部28と、ストッパー30と、幅調整部29とから構成されている。
支柱27は、両側に4本ずつ対向して配設され、被検査基板12を片側4箇所で支持するための柱である。各支柱27はその基端部が固定され、上端側は固定されていない。各支柱27は、コンベア装置11の各駆動軸18と同じ間隔で4本並べて配設されている。これにより、支柱27は、その基端部が固定された状態で、上端側がコンベア装置11の各駆動軸18の間から上方へ自由にせり出すことができるようになっている。
基板受け部28は、各支柱27に取り付けられて、被検査基板12をその下側から直接的に支持するための支持片である。基板受け部28は、支柱27から水平にせり出した板片で構成されている。各基板受け部28は、4本の支柱27にそれぞれ同じ高さ位置に合わせて取り付けられている。対向する側の4本の支柱27も同様に、各基板受け部28が同じ高さ位置に合わせて取り付けられている。これにより、被検査基板12を水平に保った状態で支持する。4本の支柱27に取り付けられる基板受け部28のうち、最後尾の基板受け部28(図6中の右端の基板受け部28)には、ストッパー30が設けられている。このストッパー30は、被検査基板12の位置決めをするためのものである。位置決め機構24によって一端部を押圧して移動される被検査基板12の他端部がストッパー30に当接して位置決めされる。
基板受け部28は、複数段に設定される。ここでは、上下6段に積層して配設されている。このため、各支柱27に6個の基板受け部28が一定間隔を空けて配設されている。この基板受け部28の設定段数は、コンベア装置11を流れる被検査基板12の単位時間あたりの枚数等の諸条件に応じて決められる。このため、基板受け部28、7段以上であったり、5段以下であったりする。通常、10段程度に設定される。
幅調整部29は、左右に4本ずつ配設される支柱27の幅(図5中の左右方向の幅)を調整するための装置である。幅調整部29は主に、基端支持部31と、ガイド32と、レール33とから構成されている。基端支持部31は、4本の支柱27を一体的に支持するための部材である。基端支持部31は、水平に配設された板材で構成され、各支柱27を設定間隔に保ってその基端部を固定して垂直に支持している。ガイド32は、基端支持部31の両端部に取り付けられて、基端支持部31に固定された4本の支柱27をレール33に沿って一体的に移動可能に支持している。レール33は、ガイド32及び基端支持部31を介して4本の支柱27を対向する4本の支柱27との間で近接離間するための部材である。レール33は、コンベア装置11の搬送経路に直交する方向に配設されている。ガイド32は、レール33をスライドして所定位置で固定されるようになっている。このガイド32のスライド及び固定は、各支柱27の幅を被検査基板12の幅に合わせる調整であり、駆動モータ(図示せず)を装着して自動的に行う。被検査基板12のサイズに応じて自動的に支柱27の幅を調整する。なお、手動で行ってもよい。この幅調整は、検査開始前に、被検査基板12の大きさに合わせて1回だけ行う。
昇降機構23は、一時保管機構22を上下に昇降させるための機構である。この昇降機構23は、昇降板35と、ガイド棒36と、駆動棒37と、ベース板38と、駆動モータ39とから構成されている。
昇降板35は、一時保管機構22のレール33を固定支持するための板材である。昇降板35は、レール33を介して一時保管機構22を支持して、昇降させる。
ガイド棒36は、昇降板35の昇降移動を支持するための棒材である。ガイド棒36は昇降板35の下側面の四隅近傍に下方へ向けて4本配設されている。このガイド棒36がベース板38のガイド穴(図示せず)にスライド可能に挿入されて上下に移動し、昇降板35の昇降移動を支持している。
駆動棒37は、駆動モータ39によって上下に移動される棒材である。この駆動棒37は昇降板35の裏面中央部に取り付けられている。駆動棒37が駆動モータ39で上下に移動されることで、昇降板35を介して一時保管機構22を昇降させる。
ベース板38は、フレーム40等を介してコンベア装置11側と一体的に固定された板材である。このベース板38で一時保管機構22及び昇降機構23が支持されている。ベース板38の四隅近傍には、ガイド穴(図示せず)が設けられている。このガイド穴は、ガイド棒36をスライド可能に支持するための穴である。各ガイド穴にガイド棒36がそれぞれ挿入されて、昇降板35が水平を保った状態でスムーズに昇降するようになっている。
駆動モータ39は、駆動棒37を上下に移動させるためのモータである。駆動モータ39は、一時保管機構22の基板受け部28を被検査基板12に合わせて正確に高さ調整する必要があるため、精密な位置調整ができるものを使用する。駆動方式としては種々のものが可能である。例えば、駆動棒37の外周面にネジ山(図示せず)を設け、このネジ山にねじ込まれたナット部(図示せず)を正確に回転制御して駆動棒37を正確に上下動させる。
位置決め機構24は、コンベア装置11を搬送されてきた被検査基板12を一時保管機構22に装着させるための装置である。
位置決め機構24は主に、パネルクランプ41と、シリンダ42と、ガイド43と、レール44と、センサー45とから構成されている。
パネルクランプ41は、被検査基板12の周縁部に当接して被検査基板12を移動させるための部材である。パネルクランプ41は、低い円柱状に形成した弾性を有する合成樹脂で構成され、被検査基板12の周縁部に弾性的に当接するようになっている。このパネルクランプ41は、被検査基板12の周縁部に当接し被検査基板12を移動させることで、位置調整を行う。パネルクランプ41は、支持板部47上に2個設けられ、2個のパネルクランプ41で被検査基板12の周縁部を押すようになっている。
シリンダ42は、パネルクランプ41を上下動させるためのものである。シリンダ42は、そのピストン軸(図示せず)が支持板部47に取り付けられ、ピストン軸が出没動することで、パネルクランプ41を上下動させるようになっている。
ガイド43は、パネルクランプ41を搬送経路方向(図4の左右方向)に移動させるための部材である。ガイド43は、シリンダ42の基端部に一体的に取り付けられており、シリンダ42を支持してパネルクランプ41を搬送経路方向に移動させる。
レール44は、ガイド43を支持して搬送経路方向の移動を案内するための部材である。レール44は、支持基盤48上に搬送経路方向に向けて取り付けられている。支持基盤48側には、ガイド43を移動させるための駆動部(図示せず)が設けられる。この駆動部によってガイド43が搬送経路方向に移動されて、パネルクランプ41で被検査基板12が位置調整される。
センサー45は、被検査基板12の位置を検出し、所定の位置で停止させるためのセンサーである。センサー45としては、種々のものを用いることができる。例えば、センサー45として発光素子と受光素子とからなる光学センサーを用いることができる。このセンサー45によって、直上を被検査基板12が通過しているときの反射光を検出し、この反射光がとぎれた時点を被検査基板12の周縁部として検出する。このセンサー45は、コンベア装置11の制御部(図示せず)に接続されており、検査が滞って被検査基板12を一時保管する際にコンベア装置11の停止センサーとして機能する。
上述したインラインバッファ装置15の各駆動部分は、コンベア装置11の制御装置にそれぞれ接続されている。当該制御装置は、通常の搬送処理と一時保管処理の機能を備えており、検査が滞ったときに一時保管処理に切り換えられるようになっている。
[動作]
以上のように構成されたインラインバッファ装置15は、次のように動作する。
以上のように構成されたインラインバッファ装置15は、次のように動作する。
通常の検査作業においては、上記制御装置は通常の搬送処理を行う。これにより、インラインバッファ装置15の一時保管機構22は昇降機構23によって下方へ降下されて待機状態になっている。被検査基板12は、コンベア装置11の搬送ローラ17上を移動して一時保管機構22を通過し、検査装置13に運ばれる。
検査装置13で障害が発生する等によって被検査基板12の搬送が滞ったときは、上記処理装置が一時保管処理に切り替わる。これにより、インラインバッファ装置15が作動して、次の一時保管処理を行う。
センサー45による被検査基板12の周縁部の検出を受けて、コンベア装置11を停止させる。これにより、被検査基板12はセンサー45を通過したあたりに位置する。
次いで、昇降機構23の駆動モータ39を作動させて昇降板35に支持された一時保管機構22を僅かに上昇させる。具体的には、基板受け部28のストッパー30が被検査基板12の移動経路を遮り、基板受け部28が被検査基板12の移動経路を遮らない高さに設定する。
次いで、位置決め機構24のシリンダ42を伸張させてパネルクランプ41を上方へ延出させる。次いで、ガイド43をレール44に沿ってスライドさせてパネルクランプ41を被検査基板12の周縁部に当接させる。さらに、ガイド43をスライドさせて被検査基板12を上記ストッパー30に当接するまで(図7の実線の状態から2点鎖線の状態まで)移動させる。
次いで、一時保管機構22をさらに上昇させて基板受け部28で被検査基板12をその下側から支持して持ち上げる。
次いで、2枚目の被検査基板12を一時保管する場合は、二段目の基板受け部28のストッパー30が被検査基板12の移動経路を遮り、基板受け部28が被検査基板12の移動経路を遮らない高さに一時保管機構22を上昇させる。
次いで、コンベア装置11を作動させてセンサー45で被検査基板12の周縁部を検出した時点でコンベア装置11を停止させ、位置決め機構24で被検査基板12の位置を調整して一時保管機構22を上昇させて、上記処理を繰り返す。
コンベア装置11を流れてきた被検査基板12を一時保管せずに通過させる場合は、被検査基板12を支持した基板受け部28の直下の基板受け部28のストッパー30が被検査基板12の移動経路を遮らない位置に調整するか、一時保管機構22を上昇させて最下段の基板受け部28が搬送ローラ17よりも上方に位置するようにする。
次いで、一時保管した被検査基板12をコンベア装置11に戻すときは、昇降機構23で一時保管機構22を降下させる。具体的には、基板受け部28で支持した被検査基板12がコンベア装置11の搬送ローラ17に載置されて、ストッパー30がその被検査基板12の搬送経路を遮らない位置まで降下させる。
次いで、コンベア装置11を作動させて被検査基板12を搬送する。
以上のように、インラインバッファ装置15は、被検査基板12の流れが滞ったときに、一時保管機構22がコンベア装置11の搬送経路にその下側からせり出して被検査基板12を上方へ持ち上げて一時的に保管し、さらに必要に応じて被検査基板12を複数段に積層して持ち上げて一時的に保管すると共に、滞りが解消した時点で一時保管機構22を降下させて一時保管した被検査基板12を順次コンベア装置11へ戻すため、一時保管処理が容易になると共に、一時保管した被検査基板12を容易にコンベア装置11へ戻すことができる。この結果、一時保管作業の効率が向上する。
インラインバッファ装置15はコンベア装置11上に重ねて配置したので、インラインバッファ装置15をコンパクトに設置することができ、省スペース化を実現することができる。
従来のような移動機構4を必要とせず、その分のコストを低減することができる。
一時保管機構22が、コンベア装置11の搬送経路にその下側から上昇してせり出す支柱27と、この支柱27に複数設けられて被検査基板12を支持して持ち上げる基板受け部28とを備えて構成したので、支柱27を上昇させるだけで、被検査基板12を容易に一時保管状態にすることができると共に、支柱27を下降させるだけで、被検査基板12を容易にコンベア装置11に戻すことができ、一時保管作業の効率化を図ることができる。
位置決め機構24で、被検査基板12を一時保管機構22に装着させるときに被検査基板12を位置決めするため、基板受け部28が被検査基板12を正確に支持して持ち上げることができ、安定して保管することができる。
センサー45が被検査基板12の位置を検知して、被検査基板12が一時保管機構22に近傍に移動したときにコンベア装置11を停止させるため、被検査基板12を一時保管機構22に容易に装着することができる。
また、幅調整部29で一時保管機構22の幅を被検査基板12の幅に合わせて調整するため、種々の幅の被検査基板12に対してインラインバッファ装置15を使用することができる。
11:コンベア装置、12:被検査基板、13:検査装置、14:移動装置、15:インラインバッファ装置、17:搬送ローラ、18:駆動軸、19,20:側面板部、22:一時保管機構、23:昇降機構、24:位置決め機構、27:支柱、28:基板受け部、29:幅調整部、30:ストッパー、31:基端支持部、32:ガイド、33:レール、35:昇降板、36:ガイド棒、37:駆動棒、38:ベース板、39:駆動モータ、40:フレーム、41:パネルクランプ、42:シリンダ、43:ガイド、44:レール、45:センサー、47:支持板部、48:支持基盤。
Claims (5)
- コンベア装置の搬送経路上に配設され、上記搬送経路にその下側からせり出して搬送物を上方へ持ち上げて一時的に保管する一時保管機構と、
当該一時保管機構を上下に昇降させる昇降機構とを備えて構成されたことを特徴とするインラインバッファ装置。 - 請求項1に記載のインラインバッファ装置において、
上記一時保管機構が、上記コンベア装置の搬送経路にその下側から上昇してせり出す支柱と、当該支柱に1又は複数設けられて上記支柱の上昇によって上記搬送物を支持して持ち上げる受け部とを備えて構成されたことを特徴とするインラインバッファ装置。 - 請求項2に記載のインラインバッファ装置において、
上記コンベア装置を搬送されてきた上記搬送物を一時保管機構に装着させるための位置決め機構を備えたことを特徴とするインラインバッファ装置。 - 請求項3に記載のインラインバッファ装置において、
上記位置決め機構が、通過する上記搬送物を検知して、所定の位置で上記コンベア装置を停止させるセンサーを備えたことを特徴とするインラインバッファ装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載のインラインバッファ装置において、
上記一時保管機構の幅を、上記搬送物の幅に合わせて調整する幅調整部を備えたことを特徴とするインラインバッファ装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005196429A JP2007015789A (ja) | 2005-07-05 | 2005-07-05 | インラインバッファ装置 |
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---|---|---|---|---|
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CN101857126A (zh) * | 2009-04-06 | 2010-10-13 | 株式会社Ihi | 基板分类装置 |
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CN108357929A (zh) * | 2018-04-18 | 2018-08-03 | 昆山精讯电子技术有限公司 | 一种面板移载装置 |
CN109205222A (zh) * | 2017-07-07 | 2019-01-15 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 一种物料传输装置及方法 |
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57131377A (en) * | 1981-02-05 | 1982-08-14 | Asahi Glass Co Ltd | Manufacture of caustic alkali |
JPS5836824A (ja) * | 1981-08-27 | 1983-03-03 | Nikkei:Kk | タイル素地移送方法および装置 |
JPH01268198A (ja) * | 1988-04-20 | 1989-10-25 | Hitachi Ltd | マガジン供給装置 |
JP2001122430A (ja) * | 1999-10-26 | 2001-05-08 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 搬送中の薄板の表裏を反転させる装置 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57131377A (en) * | 1981-02-05 | 1982-08-14 | Asahi Glass Co Ltd | Manufacture of caustic alkali |
JPS5836824A (ja) * | 1981-08-27 | 1983-03-03 | Nikkei:Kk | タイル素地移送方法および装置 |
JPH01268198A (ja) * | 1988-04-20 | 1989-10-25 | Hitachi Ltd | マガジン供給装置 |
JP2001122430A (ja) * | 1999-10-26 | 2001-05-08 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 搬送中の薄板の表裏を反転させる装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100813291B1 (ko) | 2007-02-23 | 2008-03-13 | 주식회사 코윈디에스티 | 기판의 검사 및 수리 장치 |
CN101857126A (zh) * | 2009-04-06 | 2010-10-13 | 株式会社Ihi | 基板分类装置 |
CN101857126B (zh) * | 2009-04-06 | 2012-07-11 | 株式会社Ihi | 基板分类装置 |
CN102602695A (zh) * | 2011-01-25 | 2012-07-25 | 佶新科技股份有限公司 | 基板输送分类装置 |
CN109205222A (zh) * | 2017-07-07 | 2019-01-15 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 一种物料传输装置及方法 |
CN108357929A (zh) * | 2018-04-18 | 2018-08-03 | 昆山精讯电子技术有限公司 | 一种面板移载装置 |
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