JP2003004588A

JP2003004588A - 表示用基板の検査装置

Info

Publication number: JP2003004588A
Application number: JP2001183147A
Authority: JP
Inventors: Yutaka Kosaka; 裕小坂; Shinji Fujiwara; 慎治藤原; Isao Ueki; 勲植木
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 2001-06-18
Filing date: 2001-06-18
Publication date: 2003-01-08

Abstract

(57)【要約】【課題】検査すべき基板の種類が変更されても、
アライメントマークをそれぞれ読み取り可能及び撮影可
能にすることにある。【解決手段】検査装置は、アライメントマーク撮影用
のビデオカメラを、検査ステーションにおいてカメラス
テージ、検査ステージに受けられた基板と平行の面内で
互いに交差する第１及び第２の方向に二次元的に移動さ
せる。移載ステーションに配置された識別コード読み取
りヘッドも、移載ステーションにおいてヘッドステージ
により二次元的に移動させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
ような表示用基板の検査をする装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示用パネルのような表示用基板
は、一般に、点灯検査のような通電試験をされる。その
ような試験すなわち検査は、検査すべき基板を受け渡し
装置に載せ、受け渡し装置において基板の粗アライメン
トをし、その基板を測定ステージすなわち検査ステージ
に渡し、その検査ステージにおいて検査装置に対し基板
の精密アライメントをし、その後基板に通電することに
より行われる。測定済みすなわち検査済みの基板は、検
査ステージから同じ又は他の受け渡し装置に渡され、そ
の受け渡し装置から除去される。

【０００３】上記のような表示用基板の検査において
は、検査すべき基板を特定する識別子と、プローブユニ
ットに対する精密アライメントをするためのアライメン
トマークを予め基板に形成しておき、実際の検査に先立
って識別子を読み取って検査後にその基板の良否をその
識別子と共に記録又は記憶し、またアライメントマーク
を読み取って検査装置に対する基板の精密アライメント
をすることが行われる。

【０００４】基板は、粗アライメントによりアライメン
トマークがこれを撮影するビデオカメラの視野内に入る
ように検査装置に対して位置決められ、精密アライメン
トにより基板の電極がプローブユニットの接触子に確実
に接触するように検査装置特にプローブユニットに対し
て位置決められる。

【０００５】

【解決しようとする課題】しかし、従来の検査装置で
は、識別子用の読み取りヘッドと、アライメントマーク
用のビデオカメラとを、受け渡し装置や検査ステージが
配置された本体又は該本体に装着されたプローブユニッ
トに組み付けているため、読み取りヘッド及びビデオカ
メラを、同じ種類の基板、特に大きさが同じ基板に用い
ることはできるが、異なる種類の基板、特に大きさが異
なる基板に共通に用いることができない。

【０００６】すなわち、読み取りヘッド及びビデオカメ
ラに対する基板の識別子及びアライメントマークの位置
が基板の種類によって異なるにもかかわらず、従来の検
査装置では、読み取りヘッド及びビデオカメラの位置が
固定であるから、検査すべき基板の種類が変更される
と、識別子及びアライメントマークがそれぞれ読み取り
ヘッド及びビデオカメラの視野から外れてしまい、その
結果識別子を読み取ることができないし、アライメント
マークを撮影することができない。

【０００７】このため、従来では、検査装置に対するア
ライメントマーク及び識別子の位置が異なる基板に変更
されるたびに、新たな基板上のアライメントマーク及び
識別子に対するビデオカメラ及び読み取りヘッドの設定
を手作業で行っており、それらを正確に設定することが
難しかった。特に、アライメントマークに対するビデオ
カメラの設定が不正確であると、基板の電極がプローブ
ユニットの接触子に正確に接触しない、という不都合を
きたす。

【０００８】本発明の目的は、検査すべき基板の種類が
変更されても、アライメントマークをそれぞれ読み取り
可能及び撮影可能にすることにある。

【０００９】

【解決手段、作用、効果】本発明に係る検査装置は、検
査ステーション及び移載ステーションを備える本体と、
表示用基板を受けるべく前記検査ステーションに配置さ
れた検査ステージと、該検査ステージに受けられた基板
のアライメントマークを撮影する１以上のビデオカメラ
と、該ビデオカメラを前記検査ステージに受けられた基
板と平行の面内で互いに交差する第１及び第２の方向に
二次元的に移動させるカメラステージとを含む。

【００１０】検査すべき基板の種類が変更されると、ビ
デオカメラは、新たな基板のアライメントマークがビデ
オカメラの視野に入るように、受けられた基板と平行の
面内でカメラステージにより二次元的に移動される。そ
の結果、検査すべき基板の種類が変更されても、識別子
を読み取ることができるし、アライメントマークを撮影
することができる。

【００１１】前記カメラステージは、前記第２の方向に
間隔をおいて前記第１の方向へ平行に伸びる一対の第１
のガイドと、前記第１の方向に間隔をおいて前記第２の
方向へ伸びると共に前記第１の方向へ移動可能に前記第
１のガイドに結合された一対の第２のガイドであってそ
れぞれが複数の前記ビデオカメラを前記第２の方向に間
隔をおいて及び前記第２の方向へ移動可能に支持する一
対の第２のガイドと、該両第２のガイドをそれらが前記
第１の方向において相寄り相離れる方向へ移動させる第
１の駆動機構と、前記ビデオカメラを前記第２の方向に
おいて相寄り相離れる方向へ移動させる第２の駆動機構
とを含むことができる。そのようにすれば、簡単な機構
でビデオカメラを二次元的に移動させることができる
し、基板に形成された複数のアライメントマークを複数
のビデオカメラにより個々に撮影することができる。

【００１２】検査装置は、さらに、表示用基板の受け渡
しをすべく前記移載ステーションに配置された受け渡し
装置と、該受け渡し装置に受けられた基板に形成されて
いる識別子を読み取る読み取りヘッドと、該読み取りヘ
ッドを前記受け渡し装置に受けられた基板と平行の面内
で互いに交差する第３及び第４の方向に二次元的に移動
させるヘッドステージとを含むことができる。そのよう
にすれば、検査すべき基板の種類が変更されると、読み
取りヘッドは、新たな基板の識別子が読み取りヘッドの
視野に入るように、受けられた基板と平行の面内でヘッ
ドステージにより二次元的に移動される。その結果、検
査すべき基板の種類が変更されても、識別子を読み取る
ことができる。

【００１３】前記ヘッドステージは、前記第４の方向に
間隔をおいて前記第３の方向へ平行に伸びる一対の第３
のガイドと、前記第４方向へ伸びると共に前記第３ガイ
ドに前記第３の方向へ移動可能に結合された第４のガイ
ドであって前記読み取りヘッドを前記第４の方向へ移動
可能に支持する第４のガイドと、前記第４のガイドを前
記第３の方向へ移動させる第３の駆動機構と、前記読み
取りヘッドを前記第４の方向へ移動させる第４の駆動機
構とを含むことができる。そのようにすれば、簡単な機
構で読み取りヘッドを二次元的に移動させることができ
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１から図９を参照するに、検査
装置１０は、液晶を封入した長方形の液晶表示パネルを
測定すべき基板１２とする目視点灯検査装置として用い
られる。基板１２は、図示の例では、長方形の隣り合う
辺のそれぞれに複数の電極を備えている。

【００１５】検査装置１０は、前面上部が上向きの傾斜
面とされた本体１４を含む。本体１４は、複数のチャン
ネル部材を組み立てた本体フレームと、該本体フレーム
に取り外し可能に取り付けられた複数のパネルとにより
筐体の形に形成されている。

【００１６】本体１４の傾斜面の左右方向（図１におい
て左右方向であり、以下「Ｙ方向」という。）における
一方側の領域は基板１２の測定ステーションすなわち検
査ステーションとされており、検査ステーションのＹ方
向における他方の領域は未検査及び測定済みの基板のた
めの中継ステーションとされている。

【００１７】図示してはいないが、未検査の基板及び検
査済みの基板を水平の状態に収納するための複数のカセ
ットは、中継ステーションの後方（前後方向は、図１に
おいて、紙面に垂直の方向であり、以下「Ｘ方向」とい
う。）に間隔をおいたカセットステーションに設置され
ている。

【００１８】未検査の基板用カセットと空のカセットと
はカセットステーションにＹ方向に間隔をおいて配置さ
れている。基板１２を中継ステーションからカセットス
テーションに又はその逆に移す移載用のロボットは、Ｘ
方向における中継ステーションとカセットステーション
との間の移載ステーションに配置されている。

【００１９】測定用のプローブユニット１６と測定ステ
ージすなわち検査ジ１８とは検査ステーションに配置さ
れており、受け渡し装置２０は中継ステーションに配置
されている。本体１４は、矩形をした第１及び第２の開
口をそれぞれ検査ステーション及び中継ステーションに
あって前面上部の上向き傾斜面に有している。

【００２０】以下の説明においては、検査ステージ１８
に受けられた基板と垂直の軸線及び受け渡し装置２０に
受けられた基板と垂直の軸線のいずれも「Ｚ軸線」とい
い、Ｚ軸線の方向を「Ｚ方向」といい、検査ステージ１
８に受けられた基板と平行の面内でＹ方向と直角の方向
及び受け渡し装置２０に受けられた基板との面内でＹ方
向と直角の方向いずれも、「Ｘ‘方向」という。

【００２１】図示の例では、基板１２が矩形の隣り合う
辺のそれぞれに複数の電極を備えることから、プローブ
ユニット１６は矩形の隣り合う辺に個々に対応された２
つのプローブ組立体を備えている。各プローブ組立体
は、基板１２の電極に押圧される複数の接触子を備える
複数のプローブブロック２２を矩形の板状ベース２４に
一方向に間隔をおいて組み付けている。

【００２２】各プローブ組立体は、プローブブロック２
２の配置方向が対応する辺の方向となるように、本体１
４の第１の開口を形成する縁部に板状ベース２４におい
て組み付けられている。プローブ組立体は、基板の電極
が配置された辺と同数備えられる。しかし、プローブブ
ロック２２を本体１４に直接組み付けてもよい。

【００２３】移載用のロボットは、移載ステーションを
Ｙ方向へ平行に伸びる一対のガイドレールに移動可能に
支持させており、またモータ及び該モータにより回転さ
れるリードスクリューを備えるロボット移動機構により
Ｙ方向の適宜な位置へ移動されて、カセット及び受け渡
し装置２０に対し基板１２を水平の状態で受け渡しかつ
搬送する。

【００２４】各ロボットは、二股状の一対のハンドをハ
ンド駆動機構により変位させて基板の受け渡しをする公
知の装置である。基板１２は、ロボットにより長手方向
をハンドの長手方向と一致させた状態及び水平の状態で
搬送及び移載される。

【００２５】ロボットによるカセット及び受け渡し装置
２０に対する基板の受け渡しは、表示用基板を一方のア
ームに受け取るとともに、他方のアームに受けている表
示用基板をカセット又は受け渡し装置２０に渡すよう
に、ロボット及び受け渡し装置２０を制御することによ
り、行われる。

【００２６】測定ステージ１８は、図２に示すように、
基板１２を解放可能に吸着するチャックトップ２６と、
チャックトップ２６を移動させる駆動ステージ２８とを
含む。駆動ステージ２８によるチャックトップ２６の移
動は、チャックトップ２６に受けた基板１２と直交する
Ｚ軸線の周りの角度的な回転と、受けた基板１２と平行
の面内におけるＸ‘方向及びＹ方向への二次元的な移動
と、Ｚ方向への移動とを含む。

【００２７】検査ステージ１８と受け渡し装置２０との
間の基板１２に搬送は、図６に示す搬送装置３０により
行われる。搬送装置３０は、受け渡し装置２０と検査ス
テージ１８との間を往復移動される複数対の挟持部材３
２を一対のアーム３４にＹ方向に間隔をおいて支持させ
ている。挟持部材３２は、アーム３４に配置された挟持
部材移動機構３６により相寄り相離れる方向へ同期して
移動される。

【００２８】搬送装置３０は、挟持部材３２を相寄る方
向へ移動させて基板１２を挟持部材３２で傾斜した状態
に挟持してその状態で搬送し、また挟持部材３２を相離
れる方向へ移動させて基板を解放する。これにより、搬
送装置３０は検査ステージ１８及び受け渡し装置２０に
対する基板１２の受け渡しをする。

【００２９】受け渡し装置２０は、図６から図８に示す
ように、ワークテーブル４０と、未検査又は測定済みの
基板１２をロボットに対し水平の状態に挟むようにワー
クテーブル４０に配置された複数の芯出し具４２と、ワ
ークテーブル４０を芯出し具４２に挟まれた基板１２に
垂直のＺ軸線の方向へ移動させる移動機構４４と、ワー
クテーブル４０をＹ方向へ伸びる枢軸線の周りに角度的
に回転させる駆動機構４６とを含む。

【００３０】ワークテーブル４０は、芯出し具４２に挟
まれた基板１２と平行な面内を仮想的な円の半径方向へ
伸びる複数のアーム４８を支持機構５０に支持させ、ロ
ボット及び搬送装置３０に対し芯出し具４２と共同して
基板１２の受け渡しをする昇降テーブル５２をこれがア
ーム４８の中央に位置するように支持機構５０に配置し
ている。

【００３１】図示の例では、４つのアーム４８が十字状
に組み合わされており、各アーム４８に芯出し具４２が
配置されており、アーム４８の交差部に昇降テーブル５
２が配置されている。

【００３２】図示してはいないが、支持機構５０は、ア
ーム４８を基板１２に垂直のＺ軸線の周りに角度的に回
転させる回転機構と、昇降テーブル５２をＺ軸線の方向
に移動させる昇降機構すなわち変位機構とを備えてい
る。昇降テーブル５２は、円板状に形成されており、ま
た基板１２を解放可能に吸着する複数の吸着パッド５４
を上面に有している。

【００３３】アーム４８は支持機構５０の回転機構の出
力軸５６（図６参照）に組み付けられており、支持機構
５０は移動機構４４に支持されている。昇降テーブル５
２は、支持機構５０の変位機構に支持されており、その
変位機構により、芯出し具４２よりもＺ方向に進出する
位置と、Ｚ方向において芯出し具４２とほぼ同じになる
後退する位置とに選択的に変位される。

【００３４】各芯出し具４２は、図示しない駆動機構に
より相寄り相離れる方向（仮想的な円の半径方向）へ同
期して移動されて、基板１２の把持及びその解放をす
る。そのような芯出し具４２は、例えば、板状のブロッ
ク５８をアーム４８に配置されたガイドレール６０にア
ーム４８の長手方向へ移動可能に結合させ、基板１２の
端面に当接される一対のローラ６２をブロックにＺ軸線
の周りに回転可能に支持させたものを用いることができ
る。

【００３５】移動機構４４は、支持機構５０を平面コ字
状の受け部材６４の内側に、Ｚ方向へ伸びる相対的移動
可能に嵌合されたガイドレール６６及びガイド６８によ
りＺ方向へ移動可能に組み付けている。受け部材６４に
は、Ｙ方向へ同軸的に伸びる一対の枢軸７０が組み付け
られており、枢軸７０により駆動機構４６に支持されて
いる。枢軸７０は受け部材６４から互いに反対方向へ伸
びている。

【００３６】受け部材６４は、受け部材６４にＺ方向へ
伸びる状態に組み付けられたリードスクリュー７２と、
リードスクリュー７２に螺合されかつ支持機構５０に組
み付けられた１以上のリードナット７４と、リードスク
リュー７２をその軸線の周りに回転させる電動機７６と
を含むＺ軸駆動機構により、Ｚ方向へ移動される。

【００３７】上記のような移動機構４４において、リー
ドスクリュー７２が電動機７６によりＺ軸線の周りに回
転されると、リードナット７４がＺ方向に移動されるか
ら、支持機構５０がＺ方向へ移動される。これにより、
ワークテーブル４０はＺ方向へ移動される。

【００３８】駆動機構４６は、移動機構４４の枢軸７０
をＹ方向に間隔をおいた一対のブラケットすなわちベー
ス７８に、移動機構４４が両ベース７８の間となるよう
に、枢軸運動可能に個々に支持している。両ベース７８
は、検査装置１０のフレームに据え付けられて、受け渡
し装置２０全体を支持している。一方のベース７８は上
方に開放するコ字状の形状を有しており、図示していな
い他方のベース７８はＬ字状の形状を有している。

【００３９】駆動機構４６は、また、回転可能に一方の
ベース７８に配置されてＸ方向へ伸びるリードスクリュ
ー８０と、リードスクリュー８０をこれの軸線の周りに
回転させる電動機８２と、リードスクリュー８０に螺合
されたリードナット８４と、リードナット８４にＹ方向
へ伸びる軸線の周りに枢軸運動可能に連結された第１の
リンク８６と、移動機構４４の一方の枢軸７０に組み付
けられた第２のリンク８８とを含む。

【００４０】リードナット８４は、第１のリンク８６を
枢軸９０により組み付けている組み付け部９２を有して
いる。第１及び第２のリンク８６及び８８は、互いに滑
動可能に結合されたガイドレール９４及びガイド９６に
より、相対的に移動可能に連結されている。リードナッ
ト８４の移動方向は、ベース７８に取り付けられた一対
のガイドレール９８により、Ｘ方向に規制されている。

【００４１】駆動機構４６において、リードスクリュー
８０が電動機８２により回転されて、リードナット８４
がＸ方向へ移動されると、第１のリンク８６が枢軸９０
の軸線の周りに角度的に回転され、第１のリンク９６に
滑動可能に結合された第２のリンク８８が枢軸７０の軸
線の周りに角度的に回転される。これにより、移動機構
４４が枢軸７０の軸線の周りに角度的に回転されるか
ら、移動機構４４に支持されているワークテーブル４０
がＹ方向へ伸びる軸線（実際には、枢軸７０の軸線）の
周りに角度的に回転される。

【００４２】検査装置１０は、また、基板１２に形成さ
れているアライメントマークを撮影する複数のビデオカ
メラ１００と、基板に形成されている識別子を読み取る
読み取りヘッド１０２と、ビデオカメラ１００を検査ス
テージ１８に受けられた基板１２と平行の面内で互いに
直交するＸ‘方向及びＹ方向へ二次元的に移動させるカ
メラステージ１０４と、読み取りヘッド１０２を受け渡
し装置２０に受けられた基板１２と平行の面内でＸ‘方
向及びＹ方向へ二次元的に移動させるヘッドステージ１
０６とを含む。

【００４３】アライメントマークは、基板１２の電極か
ら所定の位置に形成されている。図示の例では、十字状
のアライメントマークが基板の複数の隅角部の各々に形
成されている。使用に際しては、基板上におけるアライ
メントマークの位置に対応するビデオカメラ１００が用
いられて、対応するアライメントマークを撮影する。

【００４４】識別子は、算用数字のような文字であり、
基板１２の所定の箇所に目視可能に形成されている。読
み取りヘッド１０２は、目視可能の識別子を撮影するビ
デオカメラである。

【００４５】カメラステージ１０４は、Ｘ‘方向に間隔
をおいてＹ方向へ平行に伸びるようにベース板１０８に
配置された一対の第１のガイド１１０と、Ｙ方向に間隔
をおいてＸ’方向へ伸びていると共にＹ方向へ移動可能
に第１のガイド１１０に結合された一対の第２のガイド
１１２と、両第２のガイド１１２をこれらが相寄り相離
れるようにＹ方向へ移動させる一対の第１の駆動機構１
１４と、各ビデオカメラ１００をこれらが相寄り相離れ
るようにＸ‘方向へ移動させる第２の駆動機構１１６と
を含む。

【００４６】ベース板１０８は、本体１４の第１の開口
に一致する矩形の開口１１８を有する。各第２のガイド
１１２は、２つのビデオカメラ１００をＹ方向に間隔を
おいて及びＸ‘方向へ移動可能に支持している。

【００４７】各第１の駆動機構１１４は、ジャッキのよ
うに、第２のガイド１１２をＹ方向における任意な位置
に移動させてその位置に解除可能に維持することができ
る機構である。

【００４８】各第２の駆動機構１１６は、第２のガイド
１１２に組み付けられた一対のプーリ１２０に無端ベル
ト１２２を巻掛け、無端ベルト１２２にビデオビカメラ
１００を組み付け具１２６により結合し、一方のプーリ
１２２を電動機１２４により回転させることにより無端
ベルト１２２を移動させてビデオカメラ１００をＸ‘方
向へ移動させる。

【００４９】ヘッドステージ１０６は、Ｘ‘方向に間隔
をおいてＹ方向へ平行に伸びるようにベース板１３０に
配置された一対の第３のガイド１３２と、Ｘ’方向へ伸
びていると共に第３のガイド１３２にＹ方向へ移動可能
に結合された第４のガイド１３４と、第４のガイド１３
４をＹ方向へ移動させる第３の駆動機構１３６と、読み
取りヘッド１０２をＸ‘方向へ移動させる第４の駆動機
構１３８とを含む。第４の駆動機構１３８は、第４のガ
イド１３４内に収納されており、したがって図示されて
いない。

【００５０】ベース板１３０は、本体１４の第２の開口
に一致する矩形の開口１４０を有する。各第４のガイド
１３４は、読み取りヘッド１０２をＸ‘方向へ移動可能
に支持している。第１及び第２の駆動機構による移動方
向と、第３及び第４の駆動機構１３６及び１３８とは、
一致していなくてもよい。

【００５１】第３及び第４の駆動機構１３６及び１３８
は、ぞれぞれ、ジャッキのように、第４のガイド１３４
及び読み取りヘッド１０２をＸ‘方向及びＹ方向におけ
る任意な位置に移動させてその位置に解除可能に維持す
ることができる機構である。Ｚ方向における読み取りヘ
ッド１０２の高さ調整は、Ｚ調整機構１４２により調整
することができる。

【００５２】次に、検査装置１０の動作を説明する。

【００５３】先ず、ロボットが、一方のハンドを空のカ
セットに向けて一方のハンドに受けている検査済みの基
板を空のカセットに渡し、他方のハンドを未測定の基板
を収納しているカセットに向けてそのカセット内の未測
定の基板１２を他方のハンドにより水平に取り出す。こ
の時点において、未測定の基板１２はその長手方向をハ
ンドの長手方向（Ｘ方向）とされており、また受け渡し
装置２０はワークテーブル４０及び検査済みの基板を水
平所状態に維持している。

【００５４】次いで、受け渡し装置２０の昇降テーブル
５２がロボットのハンド上方となる位置まで上昇され
る。この状態でロボットの一方のハンドが昇降テーブル
５２の下方に突き出され、昇降テーブル５２が二股状の
ハンドの間を通っての一方のハンドに下方となる位置ま
で下降される。これにより、検査済みの基板１２が受け
渡し装置２０からロボットの一方のハンドに渡される。

【００５５】次いで、ロボットの一方のハンドが後退さ
れ、ロボットの他方のハンドが昇降テーブル５２の上方
に突き出され、昇降テーブル５２が二股状のハンドの間
を通って他方のハンドの上方となる位置まで上昇され
る。これにより、基板１２は、その長手方向をＸ方向と
された水平の状態で、他方のハンドから昇降テーブル５
２に渡されて吸着パッド５４に吸着される。

【００５６】次いで、ロボットは、他方のハンド４０を
後退させると共に、一方のハンドを空のカセット側に移
動させて、検査済みの基板を空のカセットに渡す。

【００５７】次いで、昇降テーブル５２が芯出し具４２
とほぼ同じ高さ位置に下げられる。しかし、芯出し具４
２は、昇降テーブル５２の下降開始までの間に、基板１
２をローラ６２により形成される空間内に受け入れるこ
とができる位置に移動されている。

【００５８】次いで、芯出し具４２が相寄る方向へ同期
して移動される。これにより、芯出し具４２は、ローラ
６２を基板１２の端面に当接させ、基板１２を相手の芯
出し具４２に向けて押す。これにより、基板１２は、こ
れと平行の面内で二次元的に移動されて、受け渡し装置
２０に対する粗アライメントをされると共に、芯出し具
４２の相互作用により水平の姿勢に挟まれる。粗アライ
メントは、基板１２の中央をワークテーブル４０やアー
ム４８の中央と一致させる、いわゆる芯出しである。

【００５９】粗アライメント時、基板１２は、昇降テー
ブル５２による吸着から解放されて、昇降テーブル５２
から噴射される圧縮空気により昇降テーブル５２からわ
ずかに浮上された状態で、昇降テーブル５２に対して移
動される。このため、粗アライメント時、基板１２が受
け渡し装置２０に対し二次元的に移動されても、基板１
２の損傷が防止される。

【００６０】また、粗アライメント時、基板１２はその
端面をローラ６２に当接させてそのローラ６２を回転さ
せつつ、ブロック６６に対し変位されるから、たとえ基
板１２が二次元的に移動されても、基板１２の移動が円
滑になる。

【００６１】粗アライメントが終了すると、基板１２が
再度昇降テーブル５２に吸着された状態で、受け渡し装
置２０のアーム４８がＺ軸線の周りに９０度回転され
る。これにより、受けられている基板１２は、その長手
方向が搬送装置３０による基板１２の搬送方向（Ｙ方
向）となるように、方向を変更される。このとき、基板
１２は芯出し具４２に挟まれかつ昇降テーブル５２に吸
着されているから、芯出し具４２や昇降テーブル５２に
対して変位しない。

【００６２】次いで、ワークテーブル４０及び移動機構
４４が駆動機構４６により枢軸７０の軸線の周りに６０
度回転される。これにより、芯出し具４２に挟まれかつ
昇降テーブル５２に吸着されている基板１２は水平線に
対し６０度傾斜した斜めの姿勢に変更される。このと
き、ガイドレール９４及びガイド９６は、結合された状
態で、相対的に滑動する。

【００６３】この状態において、基板１２の上面に形成
されている識別子が、図６に示すように、本体１４に組
み付けられた読み取りヘッド１０２により撮影される。
この時点においては、基板１２が受け渡し装置２０に対
して芯出しをされているから、識別子は、正確に撮影さ
れ、読み取りヘッド１０２の出力信号を処理する回路に
おいて正確に読み取られ、メモリに記憶される。識別子
は、その基板の検査結果の記録及び記憶の際に利用され
る。しかし、識別子をモニタに表示し、作業者がモニタ
の画面を確認して、識別子を記録してもよい。

【００６４】次いで、挟持部材３２が中継ステーション
に移動され、Ｚ方向における基板１２の位置が同方向に
おける挟持部材３２の位置と一致するように、ワークテ
ーブル４０が移動機構４４により搬送装置３０に向けて
Ｚ方向へ突出される。

【００６５】次いで、挟持部材３２が相寄る方向へ移動
されて基板１２を挟持し、アーム４８が移動機構４４に
より元の位置に戻される。これにより、基板１２は受け
渡し装置２０から挟持部材３２に斜めの姿勢で渡され
る。

【００６６】上記の後、受け渡し装置２０は、検査済み
基板を搬送装置４０から斜めに受けるべく待機する。ま
た、搬送装置３０は、未測定の基板を検査ステーション
に搬送し、その基板を検査ステージ１８に斜めの状態で
渡す。

【００６７】未測定の基板が検査ステーションに搬送さ
れると、検査ステージ１８は、チャックトップ２６を駆
動ステージ２８によりＺ方向に突出させて、未測定の基
板をチャックトップ２６に吸着し、挟持部材３２が離れ
る方向へ移動された後にチャックトップ２６を所定の位
置に戻す。

【００６８】次いで、挟持部材３２が検査ステーション
から他の箇所へ移動されると、基板に形成されている各
アライメントマークが対応するビデオカメラ１００によ
り撮影される。

【００６９】テレビカメラ１００の出力信号は、処理回
路に供給されて、画像処理をされる。検査装置１０は、
画像処理の結果を基に、各アライメントマークが対応す
るビデオカメラ１００の視野内の所定に位置となるよう
に、検査ステージ１８の駆動ステージ２８を駆動させ
る。これにより、未検査の基板の精密アライメントが行
われる。

【００７０】しかし、精密アライメントは、ビデオカメ
ラ１００の出力信号をモニタに再生し、作業者がそのモ
ニタの画面を監視しつつ、各アライメントマークが対応
するビデオカメラ１００の視野内の所定に位置となるよ
うに、検査ステージ１８の駆動ステージ２８を駆動させ
てもよい。

【００７１】精密アライメントが終了すると、検査装置
１０は、チャックトップ２６を再度Ｚ方向に突出させ
て、基板の電極をプローブユニットの接触子に押圧し、
その状態で基板に通電して検査を開始する。

【００７２】検査が終了すると、搬送装置３０の挟持部
材３２がチャックトップ２６の上方へ移動され、チャッ
クトップ２６が挟持部材３２の高さ位置に斜めに上昇さ
れ、挟持部材３２が検査済みの基板を挟み、チャックト
ップ２６が検査済みの基板を解放すると共に所定の高さ
位置に斜めに下降される。これにより、検査済みの基板
がチャックトップ２６から挟持部材３２に斜めの姿勢で
渡される。

【００７３】次いで、挟持部材３２が検査ステーション
から中継ステーションに移動される。中継ステーション
においては、受け渡し装置４６のワークテーブル４０が
挟持部材３２の高さ位置に斜めに上昇されて、昇降テー
ブル５２で基板を吸着すると共に、芯出し具４２が相寄
る方向へ移動されて基板を挟み、挟持部材３２が基板を
解放する。これにより、検査済みの基板が挟持部材３２
から受け渡し装置２０に渡される。

【００７４】次いで、挟持部材３２がワークテーブル４
０と対応する位置から離され、ワークテーブル４０が所
定の高さ位置まで斜めに下降され、ワークテーブルが６
０度逆転される。これにより、検査済みの基板が水平の
姿勢に変更される。

【００７５】次いで、ロボットと受け渡し装置２０との
間で、既に述べてステップにより、検査済みの基板と未
検査の基板との受け渡しが行われる。

【００７６】検査装置１０において、検査すべき基板の
種類が変更されると、ビデオカメラ１００及び読み取り
ヘッド１０２は、新たな基板のアライメントマーク及び
識別子がそれぞれビデオカメラ及１００び読み取りヘッ
ド１０２の視野に入るように、カメラステージ１０４及
びヘッドステージ１０６により二次元的に移動される。
その結果、検査すべき基板の種類が変更されても、アラ
イメントマークを撮影することができるし、識別子を読
み取ることができる。

【００７７】図４及び図５は、駆動機構１１４，１１６
によりビデオカメラ１００を相寄る方向へ移動させる状
態を示す。読み取りヘッド１０２は駆動機構１３６，１
３８により同様に移動させることができる。

【００７８】上記の実施例では、共通の移載ステーショ
ンにおいて未検査の基板と検査済みの基板の移載を行っ
ているが、ローダ用の移載ステーションとアンローダ用
の移載ステーションを設けて、各移載ステーションに受
け渡し装置を配置し、それらの受け渡し装置に対し、受
け渡し装置毎のロボット又は共通のロボットにより基板
の受け渡しをしてもよい。

【００７９】識別子は、算用数字のような文字の代わり
に、バーコードであってもよい。この場合、読み取りヘ
ッドとして、ビデオカメラのようなセンサヘッドを用い
てもよいし、バーコード読み取りヘッドを用いてもよ
い。後者の場合、読み取りヘッドとして、ビデオカメラ
を用いてもよい。この場合のビデオカメラ及びアライメ
ントマーク用のビデオカメラ１００として、ＣＣＤライ
ンセンサのように複数の検出素子を一列に配置したライ
ンセンサを用いてもよく、この場合ラインセンサは検出
素子の配列方向と直角の方向へ移動される。

【００８０】本発明は上記実施例に限定されない。たと
えば、本発明は、目視検査装置用の受け渡し装置のみな
らず、自動検査装置、ＥＬ表示基板の検査装置、表示パ
ネル用のガラス基板の検査装置等、他の検査装置用の受
け渡し装置にも適用することができる。

【００８１】本発明は、上記実施例に限定されず、その
趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る検査装置の一実施例を示す図であ
る。

【図２】図１における２−２線に沿って得た断面図であ
る。

【図３】図１の検査装置におけるカメラステージの断面
図である。

【図４】図１の検査装置におけるカメラステージの拡大
図である。

【図５】カメラステージの動作を説明するための図であ
る。

【図６】図１における６−６線に沿って得た断面図であ
る。

【図７】図１の検査装置で用いる受け渡し装置の一実施
例を示す平面図である。

【図８】図７に示す受け渡し装置の正面図である。

【図９】図１の検査装置で用いるヘッドステージの一実
施例を示す図である。

【符号の説明】

１０検査装置１２表示用基板１４本体１６プローブユニット１８検査ステージ２０受け渡し装置３０搬送装置１００ビデオカメラ１０２読み取りヘッド１０４カメラステージ１０６ヘッドステージ１０８ベース板１１０，１１２第１及び第２のガイド１１４，１１６第１及び第２の駆動機構１３０ベース板１３２，１３４第３及び第４のガイド１３６，１３８第３及び第４の駆動機構

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０９Ｆ 9/00 ３５２Ｇ０９Ｆ 9/00 ３５２５Ｇ４３５ (72)発明者植木勲東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号株式会社日本マイクロニクス内Ｆターム(参考） 2F069 AA03 AA17 AA93 BB13 CC06 DD12 GG04 GG07 GG12 GG45 GG58 GG62 HH30 JJ07 JJ13 JJ22 MM04 MM24 MM32 2G014 AA13 AB21 AB59 AC09 AC15 2G051 AA90 AB20 AC15 CA03 CA04 CD04 2G086 EE10 2H088 FA11 FA30 MA20 5G435 AA17 AA19 BB12 KK05 KK09 KK10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】検査ステーション及び移載ステーション
を備える本体と、表示用基板を受けるべく前記検査ステ
ーションに配置された検査ステージと、該検査ステージ
に受けられた基板のアライメントマークを撮影する１以
上のビデオカメラと、該ビデオカメラを前記検査ステー
ジに受けられた基板と平行の面内で互いに交差する第１
及び第２の方向に二次元的に移動させるカメラステージ
とを含む、表示用基板の検査装置。
【請求項２】前記カメラステージは、前記第２の方向
に間隔をおいて前記第１の方向へ平行に伸びる一対の第
１のガイドと、前記第１の方向に間隔をおいて前記第２
の方向へ伸びると共に前記第１の方向へ移動可能に前記
第１のガイドに結合された一対の第２のガイドであって
それぞれが複数の前記ビデオカメラを前記第２の方向に
間隔をおいて及び前記第２の方向へ移動可能に支持する
一対の第２のガイドと、該両第２のガイドをそれらが前
記第１の方向において相寄り相離れる方向へ移動させる
第１の駆動機構と、前記ビデオカメラを前記第２の方向
において相寄り相離れる方向へ移動させる第２の駆動機
構とを含む、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】さらに、表示用基板の受け渡しをすべく
前記移載ステーションに配置された受け渡し装置と、該
受け渡し装置に受けられた基板に形成されている識別子
を読み取る読み取りヘッドと、該読み取りヘッドを前記
受け渡し装置に受けられた基板と平行の面内で互いに交
差する第３及び第４の方向に二次元的に移動させるヘッ
ドステージとを含む、請求項１又は２に記載の検査装
置。
【請求項４】前記ヘッドステージは、前記第４の方向
に間隔をおいて前記第３の方向へ平行に伸びる一対の第
３のガイドと、前記第４方向へ伸びると共に前記第１３
ガイドに前記第３の方向へ移動可能に結合された第４の
ガイドであって前記読み取りヘッドを前記第４の方向へ
移動可能に支持する第４のガイドと、前記第４のガイド
を前記第３の方向へ移動させる第３の駆動機構と、前記
読み取りヘッドを前記第４の方向へ移動させる第４の駆
動機構とを含む、請求項３に記載の検査装置。