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JP3083666B2 - 搬送媒体によって制御可能な弁を備えたポンプ - Google Patents

搬送媒体によって制御可能な弁を備えたポンプ

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JP3083666B2
JP3083666B2 JP05004775A JP477593A JP3083666B2 JP 3083666 B2 JP3083666 B2 JP 3083666B2 JP 05004775 A JP05004775 A JP 05004775A JP 477593 A JP477593 A JP 477593A JP 3083666 B2 JP3083666 B2 JP 3083666B2
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pump
valve plate
plate
support surface
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ベッカー エーリッヒ
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KNF Neuberger GmbH
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ポンプ、特にダイヤフ
ラムポンプであって、ポンプヘッド内に配置されていて
搬送媒体によって制御可能な弁を備えており、少なくと
も１つの弁が別体のほぼ円板状のたわみ変形可能な弁プ
レートを有しており、弁プレートの中央範囲がほぼ円形
の支持面に固定されており、弁プレートの縁部範囲がポ
ンプヘッド内の弁シール面に接触していて、開放位置へ
弁開放運動のための所属の切欠き内に変位するようにな
っている形式のものに関する。
【０００２】
【従来の技術】搬送媒体によって制御可能な弁を備えた
コンプレッサーはすでに公知であり、この場合、少なく
とも１つの弁がほぼ円板状のたわみ可能なセパレートの
弁プレートを有しており、弁プレートの中央範囲がほぼ
円形の支持面上に取り付けられており、弁プレートの縁
部範囲が閉鎖位置でポンプヘッドの弁シール面に接触し
て、開放位置で弁通路を開くように変位している（フラ
ンス国特許第６２７５７３号公報）。
【０００３】冷却媒体・圧縮機においても、前記形式の
弁が知られている。このような弁はほぼ円形の支持面上
に堅く緊定して取り付けられている（フランス国特許第
１３４６４０９号公報）。
【０００４】冒頭に述べた形式のポンプ、有利にはダイ
ヤフラムポンプにおいては、入口弁及び出口弁が搬送媒
体によってガス交換などの際の異なる圧力の作用下で制
御される。この場合、弁のばね力が搬送媒体の相応に小
さい圧力差の際の迅速な閉鎖のために用いられる。
【０００５】このようなポンプは、特にダイヤフラムポ
ンプとして構成された場合、搬送媒体が潤滑されねばな
らない弁・制御機構と関連していないという利点を有し
ている。
【０００６】しかしながら、前記形式のポンプは高速運
転の場合にはいくつかの欠点を有している。特に容積率
はさらに改善の余地がある。高い容積率の達成は、相反
する２つの目的の追求によって、すなわち、一方では弁
にできるだけ長い開放時間を与え、他方では弁を迅速に
閉じるようにすることによって可能である。
【０００７】
【発明の課題】本発明の課題は、冒頭に述べた形式のポ
ンプを改善して、ポンプができるだけ高い容積率を有し
ていて、広い範囲で良好に使用されるようにすることで
ある。さらに、騒音の発生を小さくかつ摩滅を少なくし
たい。
【０００８】
【発明の構成】前記課題を解決するために本発明の構成
では、弁プレートの弾性、厚さ及び外径を考慮して、弁
プレートの支持面の半径方向の距離を、弁プレートがポ
ンプ運転に設定された回転数で共鳴周波数範囲になるよ
うに規定してある。弁プレートの外径は弁範囲の搬送媒
体の流入面若しくは流出面の形成のために規定され、弁
行程は運転速度並びにポンプの貫流容積によって規定さ
れ、弁プレートの厚さはポンプ構造、例えばそこに作用
する圧力状態によって規定され；このことはそれぞれ特
定のポンプ構造範囲若しくは運転範囲で当てはまり、弁
プレートの厚さは弁材料、例えば材料のショア硬さにも
関連している。このようなことを、本発明は弁プレート
の支持面の半径方向の種々の距離によって開口広さ及び
閉鎖速度を最適化することによって可能にする。従っ
て、本発明はポンプの弁の作業形式に対する付加的に任
意の構成寸法を設定するものである。
【０００９】前述の構成はピストンポンプにも、特にダ
イヤフラムポンプにも用いられる。ポンプは真空形成の
ためにも圧力形成のためにも使用される。
【００１０】ポンプの有利な構成では、弁プレートのた
めの支持面が半径方向の距離を適合せしめられた交換可
能な支持プレートの上面若しくは下面によって形成され
ている。このような構成によりいくつかの利点が得られ
る：交換可能な支持プレートの半径方向の距離が容易に
変えられ、それぞれの要求に適合せしめられる。特に実
験して最適な距離を得るためにも、交換可能な支持プレ
ートが有利である。さらに、このようなセパレートな支
持プレートは弁材料と異なる材料から形成できる。例え
ば腐食の理由からネオプレン(Neopren)・弁プレートの
代わりにビトン(Viton)から成るプレートを選んだ場合
には、変えられた弁プレート・材料においても、支持プ
レートの相応の選択によって異なる直径及び又は戻しば
ね力で所望の閉鎖力が得られる。
【００１１】請求項３に記載の構成により、それぞれの
弁プレートが縁部で容易に開かれ、閉鎖過程においても
助成される。場合によっては、弁プレートの弁開放運動
に際して変位する縁部を例えば弁運動のための切欠きの
平面側に当接させる必要がなく、これによって弁騒音、
並びに摩耗が避けられ、閉鎖時間が短くなる。請求項５
に記載の構成により、比較的簡単な構造が得られる。
【００１２】請求項６に記載の構成により、弁プレート
が弁開放運動に際して中央範囲から出発して実質的に、
弁に所属する切欠きの湾曲せしめられた面上を転動する
（転がる）ように変形（変位）する。従って、生じる搬
送媒体容積において必要な流過横断面積に対して比較的
小さい質量のみを運動させるだけでよい。弁運動のため
の切欠きの底部に対する弁部分の当接による振動が少な
くとも部分的に避けられる。このような弁は静かに作動
し、わずかにしか機械的な負荷を受けず、場合によって
は極めて短い開放距離若しくは閉鎖距離で十分である。
このことは、支持面若しくは支持プレートの上面が請求
項２に記載の構成に基づき所属の弁プレートのたわみ面
にほぼ適合可能である場合に特に当てはまる。実質的に
は、運動可能な弁プレートのたわみ特性にほぼ適合せし
められた転動するような変形が開放運動に際して生じ
る。
【００１３】支持プレートの直径がポンプヘッドの切欠
きの範囲で支持プレートのための支持面の直径よりもい
くらか大きくなっていると、支持プレートも相応に弾性
的な構成によって弁開放の方向でいくらかたわむ。この
こともある程度、弁プレート・支持面上での弁プレート
の開放縁部の転動変形を助成する。従って、すでに述べ
た利点が、特に低い騒音発生及び少ない摩耗と関連して
強められる。
【００１４】本発明に基づくポンプは高い精度で作動す
ることがわかった。従ってポンプは調量ポンプ、有利に
は流体・調量ポンプとして作動できる。従来のポンプに
おいては弁の運動質量に基づき開放時間と閉鎖時間との
大きな隔たりがある。これに対して本発明では、すでに
述べたように弁が開放行程ではできるだけ長く開いてお
り、かつ迅速に閉鎖する。弁の開放幅及び閉鎖速度が弁
プレートの支持面の半径方向の距離を変えることによっ
て容易に適合される。弁開放運動及び閉鎖運動がガス交
換状態を考慮してポンプ回転数に対して共振させられ
る。このことは液体の搬送においては液体流過状態を考
慮して行われる。
【００１５】
【実施例】図面に示すように、ダイヤフラムポンプ、こ
こでは短くポンプ１と呼ぶ、はクランクケーシング２、
ダイヤフラム３、中間カバー４、並びに閉鎖カバー６を
有している。ダイヤフラム３が縁部で以て中間カバー４
とポンプケーシング２の上縁部２ａとによって密接に緊
定されている。中間カバー４はポンプケーシング２に向
いた側でダイヤフラム３の範囲にほぼ球欠形の切欠き８
を有しており、この切欠きは公知の形式でダイヤフラム
３と一緒にポンプ室１３を形成している。閉鎖カバー６
には（図１で右側に）入口孔２０を配置してあり、入口
孔は吸込接続部１０を有している。入口孔２０から入口
通路２１が入口弁２２へ延びている。入口弁は単数若し
くは複数の供給管路２３を介してポンプ室１３に接続し
ている。入口弁２２に１つの弁プレート２４を配設して
あり、弁プレートが閉鎖位置では公知の形式で弁シール
面に接触している。この場合、同じく公知の形式で弁シ
ール面２５が閉鎖カバー６の下面２６によって形成され
ていて−弁範囲を除いて−中間カバー４の隣接の上面２
７に接触している。中間カバー及び閉鎖カバー６はここ
では一緒に短くポンプヘッド５と呼ばれる。符号７で連
接棒が示し、符号１０８で偏心駆動部が示してある。弁
プレート２４は図２から図４に側面をかつ図６に平面を
示してある。
【００１６】特に図１〜図３から明らかなように、弁プ
レートが所属の弁シール面２５に対してほぼ中央に取り
付けられている。弁プレートは開放に際して縁部範囲３
４で以て弁開放運動のためのそれ自体公知の切欠き１１
内へ変位する（図３、及び図４参照）。弁プレート２４
の中央範囲はほぼ円形リング状の支持面４０を用いてほ
ぼ弁開放及び閉鎖運動の方向で保持されている（図２、
図３、及び図５参照）。図２の実施例では支持面４０は
ポンプヘッド５によって形成されている。
【００１７】前述の形式の公知のポンプの弁２２におい
ては、（入口）弁プレート２４の直径Ｄは通常は構成的
に、例えば搬送媒体の流入面を受容するために入口通路
２１を越えて規定されている。さらに、弁プレート２４
の縁部範囲３４の開放運動が、図２では旋回角度ｈとし
て示してあって、ポンプ１の運転速度、通過する容積及
び弁プレート２４の厚さによってポンプ構造に基づき、
例えば圧力比に基づき規定される。このような基準にと
って、弁プレート２４の材料（例えば弁プレートのショ
ア硬度）にも関連している所定の範囲がある。
【００１８】図１から明らかであるように、ポンプ１は
さらに、全体を符号１２２で示す出口弁を有しており、
出口弁は−開放方向で見て−前述の入口弁２２に類似し
ている。有利には１つのダイヤフラム３を備えたポンプ
１は、ガス交換若しくは類似のものに関連して搬送媒体
によって制御可能な弁２２，１２２を有しており、この
弁はポンプヘッド５内に受容されている。この場合、少
なくとも１つの弁２２，１２２はほぼ円板状のたわみ可
能なセパレートの弁プレート２４（図６参照）、若しく
は２４ａを有しており、弁プレートの中央範囲３９（図
２、図３、及び図５参照）がほぼ円形の支持面４０に取
り付けられていて、そこに堅く緊定されている。この場
合、弁プレート２４（２４ａ）は縁部範囲３４で以て閉
鎖位置（例えば図１から図３）ではポンプヘッド５の一
方の弁シール面２５，２５ａに接している。開放位置で
は弁プレート２４の縁部範囲３４が弁開放運動のための
所属の切欠き１１，１１ａ内に変位している。
【００１９】本発明に基づき、弁プレート２４の支持面
４０の半径方向の距離ｒが弁プレートの弾性、厚さａ、
及び外径Ｄを考慮して規定され、弁プレート２４がポン
プ運転のポンプ回転数で固有振動範囲内にあるようにさ
れる。支持面４０の半径方向の距離ｒ若しくは所属の直
径ｄ（図２及び図３参照）が本発明に基づき変えられ、
弁プレート２４若しくは入口弁２２のできるだけ長い開
放時間、及びそれにもかかわらず迅速な閉鎖が得られ
る。これによってポンプ１の容量的な効率が改善され
る。この場合、次のような関係がある。閉鎖力は支持面
４０の直径ｄの関数である。直径ｄが大きいほど、閉鎖
力は−そのほか弁プレート・外径Ｄ、弁開放・旋回角
ｈ、弁プレート厚さａ、及び弁プレートのショア硬度の
同じ条件下で−大きくなる。
【００２０】図３には本発明の有利な変化実施例が示し
てあり、この場合には、ポンプヘッド５ａの弁プレート
２４のための支持面４０が支持プレート４６の隣接の
（上側の）面４５によって形成されており、支持プレー
トの半径方向の距離ｒ１が弁２２の所望の長さの開放時
間、所望の閉鎖速度、若しくは弁プレート２４の所望の
運動速度に適合させられるようになっている。図３の実
施例では、支持プレート４６が所属の中間カバー４ａの
支持面４７と同じように例えば円形の輪郭を有してい
る。例えば楕円形も使用できるが、円形の輪郭が製作の
容易性に基づき有利である。さらに図３から明らかなよ
うに、支持プレートの直径ｄが有利には中間カバー４ａ
の支持面４７の直径ｄ２よりもいくらか大きくなってい
る。支持プレート４６の直径ｄは中間カバーに配設され
た支持面４０（図２参照）の直径よりも簡単に変えられ
る。支持プレート４６を使用する場合の別の利点が、必
要に応じて種々の直径の支持プレートを容易に交換して
実験によって試して、最適な直径ｄを見つけ出し得るこ
とにある。
【００２１】本発明の有利な別の構成では、支持プレー
ト４６がばね弾性的な材料から成っていて、ポンプヘッ
ド５ａ内に取り付けられており、縁部範囲が所属の弁プ
レートの開放運動に際していくらか弾性的にたわむよう
になっている。図３と図４との比較によって相応の作業
形式が明らかである。図４には、支持プレート４６の外
側の縁部の、中間カバー４ａの切欠き１１内への弾性的
なたわみ状態が破線で示してある。適当な材料選択及び
適当な寸法比に基づき、ばね弾性的な支持プレート４６
が弁プレート２４の閉鎖運動の速度を助成する。
【００２２】図１乃至図５から明らかなように、少なく
とも１つの弁プレート２４及び若しくは所属の支持プレ
ート４６の中央範囲３９がポンプヘッド５の所属の弁シ
ール面２５に対してほぼ中央に固定されている。この場
合、半径方向の固定がピン３５を用いて行われている。
ピン３５の機能はリベットによって生ぜしめることもで
きる。図３から明らかなように、ピン３５は同時に支持
プレート４６の半径方向の位置をも規定している。
【００２３】弁２２，１２２の開放及び閉鎖状態は、少
なくとも１つの弁において所属の弁プレート２４の縁部
範囲３４が−弁プレートの中央範囲３９から縁部範囲３
４の方向に見て−半径方向外側に向かって増大して変位
及び開放できることによって助成される。半径方向外側
に向かって増大する変位及び開放は、中央を実施例では
ほぼ円錐形に形成された切欠き１１によって、かつ弁プ
レートのための旋回角ｈに基づき簡単な形式で達成され
ている。
【００２４】前述のポンプ１は真空ポンプとしても、圧
縮ポンプとしても構成され、かつ作動できる。図５の実
施例においては、弁プレート２４のための支持プレート
４０が半径方向に切欠き１１内へ延びていて、開放位置
で湾曲させられる鎖線で示された弁プレート２４′のた
めの断面で湾曲せしめられた支持面２８′として構成さ
れている。すなわち弁プレート２４′のための、切欠き
１１に所属する支持面２８′が、幾何学的に簡単な円錐
台として構成されているだけでなく、開かれた弁プレー
ト２４′のたわみ経過に少なくともほぼ適合させられて
いる。このことは、支持プレート４６を備えたポンプ１
においても、図５に示してあるように、支持プレートな
しのポンプ１においても行われ得る。支持面２８′の、
弁開放位置に相応して湾曲せしめられた、少なくとも弁
プレート２４′のたわみ経過にほぼ適合せしめられた構
成に基づき、弁開放及び閉鎖距離、若しくは開閉の際に
運動する弁質量がほかの同じ条件下で小さくできる。こ
のことが、図５には支持プレートを有するのではなく、
すでに図２で述べたように、支持面４０を中間カバー４
ｂによって形成してあるポンプ１の実施例で示してあ
る。
【００２５】断面を湾曲せしめられた支持面２８′は、
支持プレート４６がいくらか弾性的にたわみ可能な材料
から成っている場合には、弁２２の開放の際の支持プレ
ート４６のたわみに基づいて形成される。この場合、有
利には弁・支持面２８，２８′の表面４５の曲率が所属
の弁プレート２４，２４′のたわみ面に適合させられて
いる（図４、参照）。弁プレート２４の開きつつある縁
部範囲３４が支持面２８′上にいわば転動するようにた
わみ接触する。前述の利点（弁質量体のわずかな運動）
に加えて、さらに騒音発生及び弁摩耗が比較的わずかで
ある。
【００２６】弁プレート２４，２４′は変形の際の固有
応力を有するばね弾性的な材料から成っている。このよ
うな材料は、例えば商品名「ネオプレン:Neopren」で知
られたプラスチックである。腐食の理由から前記プラス
チックの代わりに商品名「ビトン:Viton」で知られたプ
ラスチックが使用されてよい。この場合、所望の有利に
は高い閉鎖力がショア硬度の変化にもかかわらず支持プ
レート４６の助けによって、場合によっては弁プレート
の外径Ｄ及び又は支持プレート４６の外径ｄの適合に基
づき得られる。
【００２７】図６は、図５の矢印Ａの方向で見て中央の
孔４２を備えた弁プレート２４の平面をほぼ閉鎖位置で
示しており、この場合、ポンプヘッド５ｂの対応する部
分は省略してある。
【００２８】弁の長い開放時間及び迅速な閉鎖、ひいて
はこれと関連した良好な容積率に基づき、ポンプ１が調
量ポンプとして、場合によっては流体・調量ポンプとし
て投入できる。
【００２９】さらに図面に示した実施例の詳細について
述べる。図５の実施例においては、切欠き１１の、弁プ
レート２４に向いた支持面２８′と弁プレートとの間の
間隔ｂが、弁プレート２４の閉鎖位置での締め付け区分
をも成す中央の支持面４０から出発して半径方向外側に
向かって増大している。そのように成形された支持面２
８，２８′に対して、弁プレート２４が弁開口の完全な
開放に際して接触する（図５で弁プレート２４′の鎖線
で示した位置、参照）。湾曲せしめられた支持面２８′
が弁プレート２４の開放位置での変位せしめられた形に
適合せしめられており、これによって（短い）開放及び
閉鎖運動が助成されることになる（図５の二重矢印３
０、参照）。支持面２８′の前述の構成により、支持面
２８′への弁プレート２４の衝撃のない接触が特に部分
的な弁開放に際しても達成される。ピン３５若しくはリ
ベットを用いて中央で固定される形式の円板状の弁プレ
ート（２４：図６、参照）においては、図５の湾曲せし
められた支持面２８′はほぼ球表面の一部分に相当する
ものである。弁プレート２４の円板状の構造は、不必要
に運動せしめられる質量を避けるために役立っている。
【００３０】図１の左側の出口弁１２２は、前述の入口
弁に類似して出口弁１２２の閉鎖位置で出口弁プレート
２４ａがポンプ室１３から出口弁１２２への管路２３ａ
を対応する弁面２５ａで覆っている状態で示してある。
出口弁１２２においては、弁開放運動のための切欠き１
１ａが同じく閉鎖カバー６内に形成されている。切欠き
から出口弁通路２１ａが出口孔２０ａに通じている。出
口弁１２２、及び所属の弁プレート２４ａ、並びに場合
によっては支持プレート４６の作動形式は、前述の入口
弁２２の作動形式と類似している。
【００３１】ポンプ１において特に有利には、弁プレー
ト２４，２４ａのための支持面４０の適合、場合によっ
ては支持面２８′の湾曲、及びばね弾性的な材料からの
支持プレート４６の構成などの手段が個別に若しくは組
み合わせて用いられる。これによって本発明の利点が増
大せしめられる。弁プレート２４，２４ａの質量をポン
プ１の回転数に合わせることも可能である。前述の手段
は個別に、若しくは任意に組み合わせて実施でき、これ
によってポンプ１の容積率が改善され、弁２２，２２ａ
の摩耗若しくは騒音発生が避けられる。
【００３２】中間カバー４内を入口弁２２からポンプ室
１３へ延びる管路２３、及びポンプ室１３から出口弁１
２２へ延びる管路２３ａが、例えば複数の孔によって構
成されていてよく、孔の縦軸線が−中間カバー４の平面
で見て−それぞれ１つの円上に位置している。さらに、
管路２３，２３ａはそれぞれ１つのリング通路によって
構成されていてもよく、リング通路の内側部分３９，３
９′（図５、参照）は半径方向のウエブを介して中間カ
バー４に結合されている。このことは入口弁２２の入口
通路２１及び出口弁の出口通路２１ａの構成にとっても
当てはまる。図５の符号３６は弁の中心線である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に基づくポンプの拡大断面図。
【図２】図１の部分断面図。
【図３】図１に対する別の実施例の部分断面図。
【図４】図３の実施例の部分拡大図。
【図５】図１に対するさらに別の実施例の部分断面図。
【図６】図５の弁プレートの平面図。
【符号の説明】
１ ポンプ、 ２ クランクケーシング、 ３ ダ
イヤフラム、 ４中間カバー、 ５ ポンプヘッ
ド、 ６ 閉鎖カバー、 ７ 連接棒、１０ 吸込
接続部、 １３ ポンプ室、 ２０ 入口孔、
２１ 入口通路、 ２２ 入口弁、 ２３ 供給管
路、 ２４ 弁プレート、 ２５ 弁シール面、
２６ 下面、 ２７ 上面、 ３４ 縁部範囲、
３５ ピン、 ３９ 中央範囲、 ４０ 支持面、
４５ 面、 ４６支持プレート、 ４７ 支持
面、 １０８ 偏心駆動部、 １２２ 出口弁
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−129789（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−79972（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭48−40166（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F04B 21/02 F04B 39/10 F04B 43/02

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ポンプであって、ポンプヘッド（５）内
    に配置されていて搬送媒体によって制御可能な弁（２
    ２，１２２）を備えており、少なくとも１つの弁（２
    ２，１２２，２２ａ）が別体のほぼ円板状のたわみ変形
    可能な弁プレート（２４）を有しており、弁プレートの
    中央範囲（３９）がほぼ円形の支持面（４０）に固定さ
    れており、弁プレートの縁部範囲（３４）がポンプヘッ
    ド（５）内の弁シール面（２５，２５ａ）に接触してい
    て、開放位置へ弁開放運動のための所属の切欠き（１
    １，１１ａ）内に変位するようになっている形式のもの
    において、弁プレートの弾性、厚さ（ａ）及び外径
    （Ｄ）を考慮して、弁プレート（２４）の支持面（４
    ０）の半径方向の距離（ｒ，ｒ１）を、弁プレート（２
    ４）がポンプ運転に設定された回転数で共鳴周波数範囲
    になるように規定してあることを特徴とする、搬送媒体
    によって制御可能な弁を備えたポンプ。
  2. 【請求項２】 弁プレート（２４）のための支持面（４
    ０）が半径方向の距離（ｒ１）を適合せしめられた交換
    可能な支持プレート（４６）の上面（４５）若しくは下
    面によって形成されている請求項１記載のポンプ。
  3. 【請求項３】 支持プレート（４６）がばね弾性的な材
    料から成っていて、有利にはポンプヘッド（５ａ）内に
    取り付けられており、支持プレート（４６）の縁部範囲
    （４６ａ）が所属の弁プレート（２４）の開放運動に際
    していくらか弾性的にたわむようになっている請求項２
    記載のポンプ。
  4. 【請求項４】 少なくとも１つの弁（２２，１２２）の
    弁プレート（２４）の縁部範囲（３４）が半径方向外側
    に向かってより大きく変位するようになっている請求項
    １から３のいずれか１項記載のポンプ。
  5. 【請求項５】 弁プレート(２４)の支持面(４０)が少な
    くとも中央範囲（３９）で平らに構成されている請求項
    １から４のいずれか１項記載のポンプ。
  6. 【請求項６】 少なくとも１つの弁プレート（２４）の
    支持面（４０）の半径方向外側で、切欠き（１１）内の
    支持面（４０）の半径方向の延長部（２８′）が、弁開
    放位置で湾曲せしめられている弁プレート（２４′）に
    対する断面で湾曲せしめられた支持面（２８′）として
    構成されており、有利には弁支持面（２８，２８′）の
    曲率が所属の弁プレート（２４，２４′）のたわみ面に
    開放位置で適合せしめられている請求項１から５のいず
    れか１項記載のポンプ。
  7. 【請求項７】 支持プレート（４６）の直径（ｄ）がポ
    ンプヘッド（５，５ａ）の切欠き（１１）の範囲の支持
    プレートのための支持面（４７）の直径（ｄ２）よりも
    いくらか大きくなっている請求項１から６のいずれか１
    項記載のポンプ。
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