JP4440798B2 - ダイアフラムバルブ - Google Patents

Description

本発明は、ハウジングに形成された流路をダイアフラムにより開閉するようにしたダイアフラムバルブに関する。

ダイアフラムバルブはハウジングに形成された流路をダイアフラムにより開閉するようにしたバルブであり、ダイアフラムを開閉動作させる駆動軸などの部材を液体から隔離することができるので、たとえば半導体ウエハや液晶基板の製造プロセスなどで使用されるフォトレジスト液、アルカリ性あるいは酸性の処理液など金属に対する腐食性の高い液体の流れを制御する際に有用である。

このようなダイアフラムバルブとしては、従来、たとえば特許文献１に記載されるようなものがある。これに記載されたダイアフラムバルブでは、ハウジングには流入側流路と流出側流路とが形成され、ダイアフラムはその外周部においてハウジングに固定されている。ハウジングとダイアフラムとの間には流入側と流出側の流路を連通させる連通室が区画形成され、この連通室に開口する流入側流路の開口部には弁座が形成される。そして、ダイアフラムの中央部に設けられた弁体部を弁座に当接・離反させることにより開口部が開閉される。

ハウジングにはシリンダとにより圧力室を区画形成するピストンが収容され、弁体部はピストンに固定された駆動軸の先端に固定されている。シリンダ内にはピストンを開口部側へ付勢するスプリングが収容され、これにより弁体部はスプリングのばね力により弁座に押し付けられて開口部を閉塞する。また、圧力室にたとえば圧縮空気などの流体を供給することによりピストンはスプリングのばね力に抗して開口部から離れる方向に移動し、これにより弁体部が弁座から離れて流路が開かれる。

このようなダイアフラムバルブでは、弁体部に雄ねじを備えた固定軸部を設け、固定軸部を駆動軸の先端に形成されたねじ孔にねじ結合させることにより弁体部を駆動軸に取り付けるようにしている。これにより、弁体部は駆動軸の先端面に接触した状態で固定され、駆動軸とともに作動する。
特開平８−１７０７５５号公報

このようなダイアフラムバルブでは、シリンダとピストンとの間に生じる寸法公差上のガタやハウジングを構成するブロックの組付け位置のずれなどに起因して駆動軸が開口部の軸方向に対して微妙に傾斜する場合がある。従来のダイアフラムバルブでは、弁体部は駆動軸の先端に固定されているので、駆動軸が傾斜すると弁体部も駆動軸とともに傾斜して弁座に片当たりすることになる。弁体部が弁座に片当たりすると弁体部の弁座に対するシート性が低下し、場合によっては弁体部と弁座との間から流体の漏れが生じる恐れがある。

このような漏れを防止するためには、弁体部を軸方向に厚く形成し、スプリングの押し付け力により弁体部を大きく弾性変形させて弁座に密着させる必要がある。しかしながら、不使用時には常に流路が閉じられるタイプのダイアフラムバルブにあっては、バルブが製品として組み立てられてからユーザにより実際に使用が開始されるまでの間、弁体部は長時間に渡ってスプリングのばね力により弁座に押し付けられた状態とされるので、厚く形成された弁体部には弁座に押し付けられることによる大きな凹状の歪が生じることになる。特に、弁体部がフッ素樹脂などで形成されている場合には、荷重が除かれても歪みは瞬時には回復せず、ある程度時間をかけて徐々に回復することになる。そのため、ユーザによるバルブの使用開始当初では流路を開いたときの弁体部と弁座との隙間は弁体部の歪みの分だけ規定値より大きくなっており、その後、繰り返し開閉動作するに連れて弁体部の歪みが徐々に回復し、これにより、弁体部と弁座との隙間が徐々に狭くなって流路を流れる流体の流量が徐々に減少することになる。特に、設定流量が小さい場合には、弁座との隙間に対する弁体部の歪みの影響が大きくなって、設定流量に対して実際の流量が大きく減少することになる。

一方、弁体部を強制的に弁座に密着させるには、ばね力の大きなスプリングを用いて弁体部を強く弁座へ押し付ける必要があるが、スプリングのばね力を大きくするとばね力に抗して弁体部を開動作させるためにシリンダやピストン径を大きくする必要があり、バルブ全体が大型化することになる。また、弁体部は面圧が不均一な状態で強く弁座に押し付けられるので、部分的に大きな荷重が加えられてその耐久性が低下することになる。

本発明の目的は、弁座に対するダイアフラムのシート性を向上させることにある。

本発明のダイアフラムバルブは、流入側流路と流出側流路とが形成されたハウジングと、当該ハウジングに固定される外周部、前記流入側流路と前記流出側流路のいずれか一方の開口部に設けられる弁座に対向する弁体部、および前記外周部と前記弁体部との間の膜部とを有し、前記流入側流路と前記流出側流路とを連通させる連通室を前記ハウジングとの間で形成するダイアフラムと、前記ハウジングに設けられ前記ダイアフラムを駆動する駆動軸とを備え、前記弁座に前記ダイアフラムの前記弁体部を当接・離反させて前記開口部を開閉するダイアフラムバルブであって、前記駆動軸の先端に開口して形成される取付孔に装着される固定軸部を前記ダイアフラムに設け、前記取付孔の開口部側に前記固定軸部の外径より大径の大径部を設け、前記固定軸部の前記弁体部側が前記固定軸部の前記取付孔に結合される結合部分を支点として前記駆動軸に対して傾斜する方向に弾性変形自在な隙間を前記固定軸部と前記大径部との間で形成し、前記駆動軸の先端に形成された球面状の摺動面に接触し、前記固定軸部の前記弁体部側が弾性変形したときに前記弁体部とともに前記摺動面に沿って移動する摺動リングを前記摺動面と前記弁体部との間に装着することを特徴とする。

本発明のダイアフラムバルブは、前記弁体部の前記弁座に当接する部分における厚みを前記膜部と同程度の厚みとすることを特徴とする。

本発明のダイアフラムバルブは、前記取付孔をねじ孔とし、前記固定軸部に雄ねじを形成し、前記固定軸部を前記取付孔にねじ結合させることを特徴とする。

本発明によれば、ダイアフラムに設けられる固定軸部は駆動軸の先端に傾動自在に取り付けられるので、駆動軸が傾斜してもダイアフラムは弁座に対して均一に接触し、そのシート性が向上する。

また、本発明によれば、ダイアフラムの大きな弾性変形によらずに僅かな弾性変形で確実にダイアフラムを弁座に接触させることができるので、ダイアフラムの厚みを薄く形成することができる。したがって、ダイアフラムが長時間に渡って弁座に押し付けられた場合であっても、ダイアフラムに生じる歪みは小さくなり、作動時にダイアフラムの歪みが回復することにより生じる流量変化が抑制され、このダイアフラムバルブの流量特性が向上する。

さらに、本発明によれば、ダイアフラムの大きな弾性変形によらずに僅かな弾性変形で確実にダイアフラムを弁座に接触させることができるので、ダイアフラムを弁座に押し付ける押し付け力を小さくすることができる。したがって、駆動軸を開動作させるための流体圧アクチュエータやソレノイドユニットなどの駆動手段として出力の小さなものを用いることができ、このダイアフラムバルブを小型・軽量化することができる。

さらに、本発明によれば、ダイアフラムを弁座に対して均一な面圧で接触させることができ、また、ダイアフラムに加えられる押し付け力も小さくすることができるので、ダイアフラムの耐久性を向上させることができる。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。

図１は本発明の一実施の形態であるダイアフラムバルブの流路が閉じた状態を示す断面図であり、図２は図１に示すダイアフラムバルブの流路が開いた状態を示す断面図である。

図１、図２に示すように、このダイアフラムバルブ１１のハウジング１２は一端から他端に向けて順次配置される流路ブロック１２ａ、シリンダブロック１２ｂおよび流量調整ブロック１２ｃと、一端部に位置する取付けプレート１２ｄとにより形成されており、これらは図示しない締結部材により組み付けられている。

流路ブロック１２ａはポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などのフッ素樹脂製となっており、それぞれ接続ポート１３ａ，１３ｂを介して図示しない配管に接続される流入側流路１４と流出側流路１５とが形成されている。流入側流路１４には、たとえばフォトレジスト液などの液体が接続ポート１３ａを介して流入し、流入側流路１４に流入した液体は流出側流路１５から配管に向けて流出する。

流路ブロック１２ａとシリンダブロック１２ｂとの間にはダイアフラム１６が設けられている。このダイアフラム１６は流路ブロック１２ａと同様にフッ素樹脂により形成され、その外周部１６ａは流路ブロック１２ａとシリンダブロック１２ｂとの間に挟み付けられてハウジング１２に固定されている。ダイアフラム１６と流路ブロック１２ａとの間には連通室１７が区画形成され、流入側流路１４と流出側流路１５は互いに連通室１７を介して連通している。

流入側流路１４の連通室１７への開口部１４ａには連通室１７の中央に位置して弁座１８が設けられ、この弁座１８に対向するようにダイアフラム１６の中央部には弁体部１６ｂが設けられている。弁体部１６ｂと外周部１６ａとの間は膜部１６ｃとなっており、この膜部１６ｃが弾性変形することにより弁体部１６ｂは弁座１８に対して進退移動自在となっている。

ハウジング１２の内部にはシリンダブロック１２ｂに設けられたスリーブ１９に案内されて軸方向に往復動自在に駆動軸２１が設けられ、弁体部１６ｂはこの駆動軸２１の先端に取り付けられている。

駆動軸２１はシリンダブロック１２ｂに形成されたシリンダ２２に摺動自在に接触するピストン部２３を有し、このピストン部２３の前端面側つまり開口部１４ａ側にはシリンダ２２とにより圧力室２４が区画形成されている。また、シリンダブロック１２ｂには圧力室２４に連通する制御ポート２５が形成され、この制御ポート２５から圧力室２４の内部に圧縮空気が供給されると駆動軸２１は後退する方向つまり弁座１８から離れる方向に押圧されて後退限位置まで移動する。これにより、弁体部１６ｂは駆動軸２１に駆動されて弁座１８から離れる開位置にまで作動される。

流量調整ブロック１２ｃにはピストン部２３の後端面に対向するストッパ部２６ａを備えた流量調整ねじ部材２６が設けられ、駆動軸２１の後退限位置はピストン部２３がストッパ部２６ａに当接することにより設定される。流量調整ねじ部材２６は流量調整ブロック１２ｃの天壁に設けられるねじ孔２７にねじ結合され、２つの固定用ナット２８ａ，２８ｂによりその位置が固定されている。したがって、２つの固定用ナット２８ａ，２８ｂを弛めて流量調整ねじ部材２６を回転させることにより、ピストン部２３に対するストッパ部２６ａの位置が調整される。

また、流量調整ブロック１２ｃにはピストン部２３の後端面側に位置してばね室３１が形成され、このばね室３１には駆動軸２１を前進させる方向つまり開口部１４ａに近づく方向に付勢する圧縮コイルばね３２が収容されている。

したがって、制御ポート２５から圧力室２４の内部に圧縮空気を供給すると、図２に示すように、弁体部１６ｂが弁座１８から離れて流路が開かれ、流入側流路１４から流出側流路１５に向けて流体が流れる。また、流量調整ねじ部材２６を回転させてストッパ部２６ａの位置を変えることにより弁体部１６ｂと弁座１８の隙間の寸法Ｑを調整することができ、これにより流入側流路１４から流出側流路１５に流れる液体の流量を設定することができる。一方、圧力室２４への圧縮空気の供給を停止して圧力室２４内の空気を外部に排出させると、図１に示すように、圧縮コイルばね３２のばね力により弁体部１６ｂが弁座１８に押し付けられて流路は閉じられる。このように、ダイアフラム１６の弁体部１６ｂを駆動軸２１により駆動して弁座１８に当接・離反させることにより、流入側流路１４の開口部１４ａが開閉される。

なお、駆動軸２１の往復動に際してこれを円滑に行わせるために、ばね室３１などのスペースと外部とを連通させてスペース内の空気を外部に流出入させるブリード孔３３ａ，３３ｂがハウジング１２に形成されている。また、相互に摺動関係となる部材相互間にはＯリングなどのシール部材３４ａ〜３４ｃが設けられている。

図３は弁体部の駆動軸への取付け部分の詳細を示す断面図であり、図４は弁体部を駆動軸へ取り付ける前の分解斜視図である。また、図５は駆動軸が傾斜したときの弁体部の状態を示す断面図である。以下に、図３〜図５に基づいて、弁体部１６ｂの駆動軸２１への取付け構造について説明する。

図３に示すように、ダイアフラム１６には駆動軸２１側に向けて突出する固定軸部３５が弁体部１６ｂと一体に設けられ、この固定軸部３５の外周面には雄ねじ３５ａが形成されている。一方、駆動軸２１にはその先端に開口する取付孔３６が形成され、この取付孔３６の内周面には固定軸部３５の雄ねじ３５ａにねじ結合可能な雌ねじ３６ａが形成されている。つまり、取付孔３６はねじ孔とされており、固定軸部３５はねじ孔にねじ結合することにより取付孔３６に装着される。

取付孔３６の開口部１４ａ側には所定の範囲で固定軸部３５の外径より大径の大径部３６ｂが形成され、この大径部３６ｂと固定軸部３５との間には隙間が形成されている。この大径部３６ｂには雌ねじ３６ａは形成されておらず、固定軸部３５はねじ結合された部分を支点としてこの隙間の範囲内で駆動軸２１に対して傾斜する方向に弾性変形自在となっている。

駆動軸２１の先端には取付孔３６の開口部に連なるように開口部１４ａ側に突出する球面状の摺動面３７が形成され、この摺動面３７と弁体部１６ｂとの間には摺動リング３８が挟み込まれている。図４に示すように、この摺動リング３８はダイアフラム１６や弁体部１６ｂよりも圧縮変形率の小さい材料、たとえば金属や樹脂などにより、挿通孔３８ａを備えた円環状に形成され、その挿通孔３８ａに固定軸部３５が挿通されるとともにその一端面が弁体部１６ｂに接触した状態で固定軸部３５に装着されている。また、摺動リング３８の駆動軸２１と対向する側の端面には駆動軸２１に近づくに連れて徐々に大径となる方向に傾斜するテーパ面３８ｂが形成され、摺動リング３８はこのテーパ面３８ｂにおいて摺動面３７に線接触している。摺動リング３８は摺動面３７に対して摺動自在となっており、これにより弁体部１６ｂは摺動リング３８とともに摺動面３７に沿って移動して駆動軸２１に対して傾動自在となっている。このように、摺動リング３８は固定軸部３５と弁体部１６ｂとの間に装着され、これにより弁体部１６ｂは固定軸部３５が駆動軸２１に対して傾斜可能な範囲で駆動軸２１に対して傾動自在となっている。

したがって、シリンダ２２とピストン部２３との間に生じる寸法公差上のガタや流路ブロック１２ａとシリンダブロック１２ｂとの組付け位置のずれなどに起因して、図５に示すように、弁座１８の軸方向に対して駆動軸２１が傾斜角αだけ傾斜した場合であっても、弁体部１６ｂはその全周に亘って均一に弁座１８に接触するように駆動軸２１に対して傾斜して開口部１４ａを閉塞することができる。

つまり、駆動軸２１が傾斜して弁体部１６ｂが弁座１８に対して片当たりした状態で圧縮コイルばね３２による押し付け力が加えられると弁体部１６ｂは径方向に押される。このとき、弁体部１６ｂや摺動リング３８は固定軸部３５がねじ結合される部分を支点としたほぼ円弧状の軌跡で移動するので、これに対して摺動リング３８に摺接する摺動面３７が球面状に形成されていることにより、その移動は容易に行われる。このように、駆動軸２１が傾斜しても弁体部１６ｂは摺動リング３８とともに摺動面に沿って移動して弁座１８に均一に接触するように駆動軸２１に対して傾斜する。これにより、弁体部１６ｂの弁座１８に対するシート性が高められて、開口部１４ａは弁体部１６ｂにより確実に閉塞される。

このように、このダイアフラムバルブ１１では、弁体部１６ｂは駆動軸２１の先端に傾動自在に取り付けられるので、駆動軸２１が傾斜しても弁体部１６ｂは全体に亘って均一に弁座１８に接触することになり、そのシート性が高められる。

図６は比較例として弁体部の厚みが厚く形成されたダイアフラムバルブの要部を示す断面図であり、図７は図１に示すダイアフラムバルブと図６に示すダイアフラムバルブの流量特性を比較する特性線図である。なお、図６においては、前述した部材に対応する部材には同一の符号が付されている。

図６に示すダイアフラムバルブ４１は、図１に示すダイアフラムバルブ１１と相違して、駆動軸４２の先端には軸方向に垂直な平坦面４３が形成され、ダイアフラム４４に設けられる弁体部４４ａはこの平坦面４３に接するように駆動軸４２に固定されている。また、このダイアフラムバルブ４１では、弁体部４４ａの厚さＴ１は図５に示す弁体部１６ｂの厚さＴ２より厚く形成され、駆動軸４２が傾斜したときには弁体部４４ａを大きく弾性変形させて弁座１８に密着させるようにしている。

しかしながら、このダイアフラムバルブ４１では弁体部４４ａの厚さは図５に示す弁体部１６ｂよりも厚く形成されているので、たとえばバルブが製品として組み立てられてからユーザにより実際に使用が開始されるまでの間など、弁体部４４ａが長時間に渡って圧縮コイルばね３２により弁座１８に押し付けられたときには、この弁体部４４ａに生じる厚さＴ１を狭める方向の歪みは弁体部１６ｂに比して大きくなる。そして、この状態から弁体部４４ａの開閉動作が開始されると、荷重が除かれた期間において弁体部４４ａの歪みが徐々に回復するので、開閉動作するに連れて弁体部４４ａが開いたときの弁座１８との隙間（図２に示す寸法Ｑに相当する）が徐々に狭くなる。したがって、図７に一点鎖線で示すように、このダイアフラムバルブ４１により制御される液体の流量は、開閉作動を繰り返すに連れて設定流量に対して徐々に減少する。

これに対して、本願発明のダイアフラムバルブ１１では、弁体部１６ｂは駆動軸２１に対して傾動自在に取り付けられており、弁体部１６ｂの大きな弾性変形によらずとも開口部１４ａを確実に閉塞することができるので、弁体部１６ｂの厚さＴ２を図６に示す弁体部４４ａの厚さＴ１より薄く形成することができる。図示する場合では、弁体部１６ｂの弁座１８に当接する部分における厚さＴ２は膜部１６ｃと同程度の厚みに形成され、弁体部４４ａの厚さＴ１に対してはＴ１：Ｔ２が３：１の比率になるように設定されている。

したがって、弁体部１６ｂが長時間に渡って弁座１８に押し付けられた場合であっても、その弁体部１６ｂに生じる歪みは小さくなり、これにより停止状態から開閉動作が繰り返し行われる際の弁体部１６ｂの歪みの変化を小さくして、図７に実線で示すように、このダイアフラムバルブ１１により制御される液体の流量の設定流量に対する変化を小さくすることができる。

このように、このダイアフラムバルブ１１では、弁体部１６ｂの大きな弾性変形によらずに弁体部１６ｂを均一に弁座１８に接触させることができるので、弁体部１６ｂの厚さＴ２を薄く形成することができる。したがって、弁体部１６ｂが長時間に渡って圧縮コイルばね３２により弁座１８に押し付けられた場合であっても、弁体部１６ｂに生じる歪みは小さくなり、これにより作動持における弁体部１６ｂの歪みの回復による流量変化を抑制して、このダイアフラムバルブ１１の流量特性を向上させることができる。

また、このダイアフラムバルブ１１では、駆動軸２１が傾斜した場合であっても弁体部１６ｂは駆動軸２１に対して傾斜して弁座１８に均一に接触するので、弁体部１６ｂを弁座１８に押し付ける押し付け力つまり圧縮コイルばね３２のばね力を小さくすることができる。したがって、圧縮コイルばね３２のばね力に抗して駆動軸２１を開動作させるための作動力を発生するシリンダ２２やピストン部２３の外径を小さくすることができ、これによりダイアフラムバルブ１１は小型・軽量化される。

このように、このダイアフラムバルブ１１は、弁体部１６ｂを弁座１８に押し付ける押し付け力を小さくすることができるので、駆動軸２１を開動作させるシリンダ２２とピストン部２３の外径を小さくして、このダイアフラムバルブ１１を小型・軽量化することができる。

さらに、このダイアフラムバルブ１１では、弁体部１６ｂは駆動軸２１に対して傾斜することにより弁座１８に均一な面圧で接触し、また、弁体部１６ｂに加えられる圧縮コイルばね３２のばね力も小さいので、弁体部１６ｂに局所的に大きな荷重が加えられることがなく、この弁体部１６ｂの耐久性を向上させることができる。

さらに、このダイアフラムバルブ１１では、弁体部１６ｂの厚さＴ２を薄くすることができるので、たとえば圧力室２４と圧縮コイルばね３２とを逆に配置して圧縮コイルばね３２により弁体部１６ｂを常に開いた状態に保持するようにした場合では、弁体部１６ｂが閉じられたときに生じる歪みを抑制することができる。したがって、この場合、弁体部１６ｂが開かれたときに生じる歪みの回復も早くなり、このダイアフラムバルブ１１の流量特性を向上させることができる。

本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、前記実施の形態においては、弁体部１６ｂは流入側流路１４の開口部１４ａを開閉するようになっているが、これに限らず、流出側流路１５の開口部を開閉するようにしてもよい。

また、前記実施の形態においては、弁体部１６ｂは圧縮コイルばね３２のばね力により弁座１８に押し付けられているが、これに限らず、ばね室３１に圧縮空気を供給することにより弁体部１６ｂに押し付け力を加えるようにしてもよい。

さらに、前記実施の形態においては、駆動軸２１はシリンダ２２とにより圧力室２４を形成するピストン部２３を備えて圧縮空気などの流体圧により開作動するようになっているが、これに限らず、電磁弁と同様にソレノイドにより駆動軸２１を作動させるようにしてもよい。

さらに、前記実施の形態においては、固定軸部３５は取付孔３６にねじ結合により装着されているが、これに限らず、たとえば取付孔３６に嵌合固定により装着するなど他の方法で装着するようにしてもよい。

本発明の一実施の形態であるダイアフラムバルブの流路が閉じた状態を示す断面図である。 図１に示すダイアフラムバルブの流路が開いた状態を示す断面図である。 弁体部の駆動軸への取付け部分の詳細を示す断面図である。 弁体部を駆動軸へ取り付ける前の分解斜視図である。 駆動軸が傾斜したときの弁体部の状態を示す断面図である。 比較例として弁体部の厚みが厚く形成されたダイアフラムバルブの要部を示す断面図である。 図１に示すダイアフラムバルブと図６に示すダイアフラムバルブの流量特性を比較する特性線図である。

符号の説明

１１ ダイアフラムバルブ
１２ ハウジング
１２ａ 流路ブロック
１２ｂ シリンダブロック
１２ｃ 流量調整ブロック
１２ｄ 取付けプレート
１３ａ，１３ｂ 接続ポート
１４ 流入側流路
１４ａ 開口部
１５ 流出側流路
１６ ダイアフラム
１６ａ 外周部
１６ｂ 弁体部
１６ｃ 膜部
１７ 連通室
１８ 弁座
１９ スリーブ
２１ 駆動軸
２２ シリンダ
２３ ピストン部
２４ 圧力室
２５ 制御ポート
２６ 流量調整ねじ部材
２６ａ ストッパ部
２７ ねじ孔
２８ａ，２８ｂ 固定用ナット
３１ ばね室
３２ 圧縮コイルばね
３３ａ，３３ｂ ブリード孔
３４ａ〜３４ｃ シール部材
３５ 固定軸部
３５ａ 雄ねじ
３６ 取付孔
３６ａ 雌ねじ
３６ｂ 大径部
３７ 摺動面
３８ 摺動リング
３８ａ 挿通孔
３８ｂ テーパ面
４１ ダイアフラムバルブ
４２ 駆動軸
４３ 平坦面
４４ ダイアフラム
４４ａ 弁体部
α 傾斜角
Ｔ１，Ｔ２ 厚さ

Claims (3)

1. 流入側流路と流出側流路とが形成されたハウジングと、当該ハウジングに固定される外周部、前記流入側流路と前記流出側流路のいずれか一方の開口部に設けられる弁座に対向する弁体部、および前記外周部と前記弁体部との間の膜部とを有し、前記流入側流路と前記流出側流路とを連通させる連通室を前記ハウジングとの間で形成するダイアフラムと、前記ハウジングに設けられ前記ダイアフラムを駆動する駆動軸とを備え、前記弁座に前記ダイアフラムの前記弁体部を当接・離反させて前記開口部を開閉するダイアフラムバルブであって、
   前記駆動軸の先端に開口して形成される取付孔に装着される固定軸部を前記ダイアフラムに設け、
   前記取付孔の開口部側に前記固定軸部の外径より大径の大径部を設け、前記固定軸部の前記弁体部側が前記固定軸部の前記取付孔に結合される結合部分を支点として前記駆動軸に対して傾斜する方向に弾性変形自在な隙間を前記固定軸部と前記大径部との間で形成し、
   前記駆動軸の先端に形成された球面状の摺動面に接触し、前記固定軸部の前記弁体部側が弾性変形したときに前記弁体部とともに前記摺動面に沿って移動する摺動リングを前記摺動面と前記弁体部との間に装着することを特徴とするダイアフラムバルブ。
2. 請求項１記載のダイアフラムバルブにおいて、前記弁体部の前記弁座に当接する部分における厚みを前記膜部と同程度の厚みとすることを特徴とするダイアフラムバルブ。
3. 請求項１または２記載のダイアフラムバルブにおいて、前記取付孔をねじ孔とし、前記固定軸部に雄ねじを形成し、前記固定軸部を前記取付孔にねじ結合させることを特徴とするダイアフラムバルブ。
   

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