JP2019079961A5 - - Google Patents
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Description
これらの半導体加工用シートは、ロールプロテクタで保持された状態で保管されることがある。そのような場合、低温で長期間保管されると、半導体加工用シートに皺が発生したり、積層部材同士で、剥離し易くなるという問題がある。
従来の半導体加工用シート１０２と比較すると、本発明の半導体加工用シート１０１の場合、治具固定用テープ１４の厚さが、従来の半導体加工用シート１０２の治具固定用テープ１４’の厚さよりも薄くできているので、治具固定用テープ１４の内側の側面１４ｃが剥離フィルム１５としっかり接触しているか又は非接触部分は小さくなっており、そのためロール状態での長期低温保管時においても、当該非接触部分から剥離が進行することがなく、層間剥離を抑制することができる。
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