JP2015129257A - 光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、ならびに光半導体装置 - Google Patents
光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、ならびに光半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015129257A JP2015129257A JP2014227951A JP2014227951A JP2015129257A JP 2015129257 A JP2015129257 A JP 2015129257A JP 2014227951 A JP2014227951 A JP 2014227951A JP 2014227951 A JP2014227951 A JP 2014227951A JP 2015129257 A JP2015129257 A JP 2015129257A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical semiconductor
- semiconductor device
- thermosetting resin
- lead frame
- reflector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 123
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 121
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 title claims abstract description 83
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 title claims abstract description 56
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title abstract description 6
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 46
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 46
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 37
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 37
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 claims abstract description 25
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 54
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 claims description 42
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 claims description 13
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 claims description 11
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims description 5
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 28
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 28
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 abstract description 10
- 230000007774 longterm Effects 0.000 abstract description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 35
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 32
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 32
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 24
- -1 1-carboxymethyl Chemical group 0.000 description 18
- 238000007259 addition reaction Methods 0.000 description 17
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 14
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 13
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000006459 hydrosilylation reaction Methods 0.000 description 12
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 10
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 10
- 229930195735 unsaturated hydrocarbon Natural products 0.000 description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 9
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 9
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 8
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 7
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 7
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 7
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 6
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 6
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 5
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- OUPZKGBUJRBPGC-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-tris(oxiran-2-ylmethyl)-1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound O=C1N(CC2OC2)C(=O)N(CC2OC2)C(=O)N1CC1CO1 OUPZKGBUJRBPGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 4
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 150000007973 cyanuric acids Chemical class 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 229920006136 organohydrogenpolysiloxane Polymers 0.000 description 4
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 4
- MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,5,6,7,7a-hexahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1CCC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N 0.000 description 3
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FKBMTBAXDISZGN-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-3a,4,5,6,7,7a-hexahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C(C)CCC2C(=O)OC(=O)C12 FKBMTBAXDISZGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 3
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 3
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 3
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 3
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 3
- 239000012463 white pigment Substances 0.000 description 3
- KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,7,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C=CC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N 0.000 description 2
- KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 1-Octanol Chemical compound CCCCCCCCO KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 4,4'-sulfonyldiphenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(O)C=C1 VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QXBYUPMEYVDXIQ-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-3a,4,5,6,7,7a-hexahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound CC1CCCC2C(=O)OC(=O)C12 QXBYUPMEYVDXIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LWMIDUUVMLBKQF-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-3a,4,5,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound CC1CC=CC2C(=O)OC(=O)C12 LWMIDUUVMLBKQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JDBDDNFATWXGQZ-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-3a,4,5,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=CC(C)CC2C(=O)OC(=O)C12 JDBDDNFATWXGQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KFSLWBXXFJQRDL-UHFFFAOYSA-N Peracetic acid Chemical compound CC(=O)OO KFSLWBXXFJQRDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N Phthalic anhydride Natural products C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 2
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 2
- ADCOVFLJGNWWNZ-UHFFFAOYSA-N antimony trioxide Chemical compound O=[Sb]O[Sb]=O ADCOVFLJGNWWNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 2
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 2
- DSVRVHYFPPQFTI-UHFFFAOYSA-N bis(ethenyl)-methyl-trimethylsilyloxysilane;platinum Chemical compound [Pt].C[Si](C)(C)O[Si](C)(C=C)C=C DSVRVHYFPPQFTI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N butyl 2,2-difluorocyclopropane-1-carboxylate Chemical compound CCCCOC(=O)C1CC1(F)F JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical compound C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LSDYBCGXPCFFNM-UHFFFAOYSA-M dimethyl phosphate;tributyl(methyl)phosphanium Chemical compound COP([O-])(=O)OC.CCCC[P+](C)(CCCC)CCCC LSDYBCGXPCFFNM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 2
- 238000000445 field-emission scanning electron microscopy Methods 0.000 description 2
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 2
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 2
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HIFJCPQKFCZDDL-ACWOEMLNSA-N iloprost Chemical compound C1\C(=C/CCCC(O)=O)C[C@@H]2[C@@H](/C=C/[C@@H](O)C(C)CC#CC)[C@H](O)C[C@@H]21 HIFJCPQKFCZDDL-ACWOEMLNSA-N 0.000 description 2
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 2
- 150000003057 platinum Chemical class 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- IMNIMPAHZVJRPE-UHFFFAOYSA-N triethylenediamine Chemical compound C1CN2CCN1CC2 IMNIMPAHZVJRPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LTVUCOSIZFEASK-MPXCPUAZSA-N (3ar,4s,7r,7as)-3a-methyl-3a,4,7,7a-tetrahydro-4,7-methano-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C([C@H]1C=C2)[C@H]2[C@H]2[C@]1(C)C(=O)OC2=O LTVUCOSIZFEASK-MPXCPUAZSA-N 0.000 description 1
- KNDQHSIWLOJIGP-UMRXKNAASA-N (3ar,4s,7r,7as)-rel-3a,4,7,7a-tetrahydro-4,7-methanoisobenzofuran-1,3-dione Chemical compound O=C1OC(=O)[C@@H]2[C@H]1[C@]1([H])C=C[C@@]2([H])C1 KNDQHSIWLOJIGP-UMRXKNAASA-N 0.000 description 1
- QIKSEZYONUMDRR-UHFFFAOYSA-N 1,3-dioxo-3a,4,5,6,7,7a-hexahydro-2-benzofuran-4,5-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1C(C(=O)O)CCC2C(=O)OC(=O)C12 QIKSEZYONUMDRR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YYRQGUCZNDDATE-UHFFFAOYSA-N 1,3-dioxo-3a,4,5,6,7,7a-hexahydro-2-benzofuran-4-carboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCCC2C(=O)OC(=O)C12 YYRQGUCZNDDATE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQHTUMJGOHRCHB-UHFFFAOYSA-N 2,3,4,6,7,8,9,10-octahydropyrimido[1,2-a]azepine Chemical compound C1CCCCN2CCCN=C21 GQHTUMJGOHRCHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 2-(chloromethyl)pyridine-3-carbonitrile Chemical compound ClCC1=NC=CC=C1C#N FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODGCZQFTJDEYNI-UHFFFAOYSA-N 2-methylcyclohex-3-ene-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1(C)C=CCCC1C(O)=O ODGCZQFTJDEYNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PAVNZLVXYJDFNR-UHFFFAOYSA-N 3,3-dimethyloxane-2,6-dione Chemical compound CC1(C)CCC(=O)OC1=O PAVNZLVXYJDFNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IKYAJDOSWUATPI-UHFFFAOYSA-N 3-[dimethoxy(methyl)silyl]propane-1-thiol Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCS IKYAJDOSWUATPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCS UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UVYLEXYRTBDZNM-UHFFFAOYSA-N 4,4-diethyloxane-2,6-dione Chemical compound CCC1(CC)CC(=O)OC(=O)C1 UVYLEXYRTBDZNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 5K8XI641G3 Chemical compound CCC1=NC=C(C)N1 ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MWSKJDNQKGCKPA-UHFFFAOYSA-N 6-methyl-3a,4,5,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1CC(C)=CC2C(=O)OC(=O)C12 MWSKJDNQKGCKPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GLDDVZPZOFCMTE-UHFFFAOYSA-N CCO[SiH](C)CCCOCC1CO1 Chemical compound CCO[SiH](C)CCCOCC1CO1 GLDDVZPZOFCMTE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100201838 Caenorhabditis elegans rsp-6 gene Proteins 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLTDJTHDQAWBAV-UHFFFAOYSA-N N,N-dimethylaniline Chemical compound CN(C)C1=CC=CC=C1 JLTDJTHDQAWBAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVYKKECYCPFKGB-UHFFFAOYSA-N N,N-dimethylcyclohexylamine Chemical compound CN(C)C1CCCCC1 SVYKKECYCPFKGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- STJJPRRQKJUYMP-UHFFFAOYSA-N P.C(CCC)[P+](C)(CCCC)CCCC Chemical class P.C(CCC)[P+](C)(CCCC)CCCC STJJPRRQKJUYMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001361 White metal Inorganic materials 0.000 description 1
- VYGUBTIWNBFFMQ-UHFFFAOYSA-N [N+](#[C-])N1C(=O)NC=2NC(=O)NC2C1=O Chemical group [N+](#[C-])N1C(=O)NC=2NC(=O)NC2C1=O VYGUBTIWNBFFMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 125000004018 acid anhydride group Chemical group 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 239000004844 aliphatic epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- NIDNOXCRFUCAKQ-UHFFFAOYSA-N bicyclo[2.2.1]hept-5-ene-2,3-dicarboxylic acid Chemical compound C1C2C=CC1C(C(=O)O)C2C(O)=O NIDNOXCRFUCAKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- 150000001639 boron compounds Chemical class 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 1
- 229910002026 crystalline silica Inorganic materials 0.000 description 1
- IFDVQVHZEKPUSC-UHFFFAOYSA-N cyclohex-3-ene-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCC=CC1C(O)=O IFDVQVHZEKPUSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QSAWQNUELGIYBC-UHFFFAOYSA-N cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCCCC1C(O)=O QSAWQNUELGIYBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001991 dicarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- OTARVPUIYXHRRB-UHFFFAOYSA-N diethoxy-methyl-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)CCCOCC1CO1 OTARVPUIYXHRRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FJWRGPWPIXAPBJ-UHFFFAOYSA-N diethyl(dimethyl)silane Chemical compound CC[Si](C)(C)CC FJWRGPWPIXAPBJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JJQZDUKDJDQPMQ-UHFFFAOYSA-N dimethoxy(dimethyl)silane Chemical compound CO[Si](C)(C)OC JJQZDUKDJDQPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHGNXNCOTZPEEK-UHFFFAOYSA-N dimethoxy-methyl-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCOCC1CO1 WHGNXNCOTZPEEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N dimethylbenzylamine Chemical compound CN(C)CC1=CC=CC=C1 XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZZTCPWRAHWXWCH-UHFFFAOYSA-N diphenylmethanediamine Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(N)(N)C1=CC=CC=C1 ZZTCPWRAHWXWCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C=C NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- FPVGTPBMTFTMRT-NSKUCRDLSA-L fast yellow Chemical compound [Na+].[Na+].C1=C(S([O-])(=O)=O)C(N)=CC=C1\N=N\C1=CC=C(S([O-])(=O)=O)C=C1 FPVGTPBMTFTMRT-NSKUCRDLSA-L 0.000 description 1
- ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-f][2]benzofuran-1,3,5,7-tetrone Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC2=C1C(=O)OC2=O ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001879 gelation Methods 0.000 description 1
- VANNPISTIUFMLH-UHFFFAOYSA-N glutaric anhydride Chemical compound O=C1CCCC(=O)O1 VANNPISTIUFMLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 1
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 1
- CZWLNMOIEMTDJY-UHFFFAOYSA-N hexyl(trimethoxy)silane Chemical compound CCCCCC[Si](OC)(OC)OC CZWLNMOIEMTDJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WJRBRSLFGCUECM-UHFFFAOYSA-N hydantoin Chemical compound O=C1CNC(=O)N1 WJRBRSLFGCUECM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940091173 hydantoin Drugs 0.000 description 1
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L magnesium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Mg+2] VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000347 magnesium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 229910001862 magnesium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000000 metal hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004692 metal hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- CAAULPUQFIIOTL-UHFFFAOYSA-N methyl dihydrogen phosphate Chemical compound COP(O)(O)=O CAAULPUQFIIOTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N methyltrimethoxysilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)OC BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012778 molding material Substances 0.000 description 1
- YTVNOVQHSGMMOV-UHFFFAOYSA-N naphthalenetetracarboxylic dianhydride Chemical compound C1=CC(C(=O)OC2=O)=C3C2=CC=C2C(=O)OC(=O)C1=C32 YTVNOVQHSGMMOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005580 one pot reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 150000002898 organic sulfur compounds Chemical class 0.000 description 1
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N oxiran-2-ylmethanamine Chemical compound NCC1CO1 AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004965 peroxy acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 1
- 150000003003 phosphines Chemical class 0.000 description 1
- 150000003018 phosphorus compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- CLSUSRZJUQMOHH-UHFFFAOYSA-L platinum dichloride Chemical compound Cl[Pt]Cl CLSUSRZJUQMOHH-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 description 1
- 238000011417 postcuring Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- CYIDZMCFTVVTJO-UHFFFAOYSA-N pyromellitic acid Chemical class OC(=O)C1=CC(C(O)=O)=C(C(O)=O)C=C1C(O)=O CYIDZMCFTVVTJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- JIYNFFGKZCOPKN-UHFFFAOYSA-N sbb061129 Chemical compound O=C1OC(=O)C2C1C1C=C(C)C2C1 JIYNFFGKZCOPKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 description 1
- SCPYDCQAZCOKTP-UHFFFAOYSA-N silanol Chemical compound [SiH3]O SCPYDCQAZCOKTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005372 silanol group Chemical group 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 229940014800 succinic anhydride Drugs 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- RKHXQBLJXBGEKF-UHFFFAOYSA-M tetrabutylphosphanium;bromide Chemical compound [Br-].CCCC[P+](CCCC)(CCCC)CCCC RKHXQBLJXBGEKF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- UFDHBDMSHIXOKF-UHFFFAOYSA-N tetrahydrophthalic acid Natural products OC(=O)C1=C(C(O)=O)CCCC1 UFDHBDMSHIXOKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BRKFQVAOMSWFDU-UHFFFAOYSA-M tetraphenylphosphanium;bromide Chemical compound [Br-].C1=CC=CC=C1[P+](C=1C=CC=CC=1)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 BRKFQVAOMSWFDU-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
- WUMSTCDLAYQDNO-UHFFFAOYSA-N triethoxy(hexyl)silane Chemical compound CCCCCC[Si](OCC)(OCC)OCC WUMSTCDLAYQDNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N triethoxy(methyl)silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)OCC CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCVQKRGIASEUKR-UHFFFAOYSA-N triethoxy(phenyl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C1=CC=CC=C1 JCVQKRGIASEUKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARCGXLSVLAOJQL-UHFFFAOYSA-N trimellitic acid Chemical class OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 ARCGXLSVLAOJQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SRPWOOOHEPICQU-UHFFFAOYSA-N trimellitic anhydride Chemical compound OC(=O)C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 SRPWOOOHEPICQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLGNHOJUQFHYEZ-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(3,3,3-trifluoropropyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCC(F)(F)F JLGNHOJUQFHYEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNOCGWVLWPVKAO-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(phenyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=CC=C1 ZNOCGWVLWPVKAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[2-(7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-yl)ethyl]silane Chemical compound C1C(CC[Si](OC)(OC)OC)CCC2OC21 DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006097 ultraviolet radiation absorber Substances 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000010969 white metal Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/52—Encapsulations
- H01L33/56—Materials, e.g. epoxy or silicone resin
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
- C08K3/18—Oxygen-containing compounds, e.g. metal carbonyls
- C08K3/20—Oxides; Hydroxides
- C08K3/22—Oxides; Hydroxides of metals
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L101/00—Compositions of unspecified macromolecular compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/58—Optical field-shaping elements
- H01L33/60—Reflective elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/62—Arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body, e.g. lead-frames, wire-bonds or solder balls
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
- C08K3/18—Oxygen-containing compounds, e.g. metal carbonyls
- C08K3/20—Oxides; Hydroxides
- C08K3/22—Oxides; Hydroxides of metals
- C08K2003/2244—Oxides; Hydroxides of metals of zirconium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K2201/00—Specific properties of additives
- C08K2201/002—Physical properties
- C08K2201/005—Additives being defined by their particle size in general
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48257—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a die pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12041—LED
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
【課題】厚みが薄くなるよう成形しても高い初期光反射率を示し、さらに長期耐光性および耐加熱変色性に優れた光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、ならびに光半導体装置を提供する。【解決手段】第1のプレート部1と第2のプレート部2とからなる金属リードフレームと、その金属リードフレームに搭載された光半導体素子3の周囲を囲うように形成される、最薄箇所の厚みが0.2mm以下のリフレクタ4を備えた光半導体装置において、上記リフレクタ4の形成材料が、下記の(A)および(B)成分を含有する光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物からなる。(A)熱硬化性樹脂。(B)熱硬化性樹脂硬化体中での、累積粒度分布における累積度95%粒度(D95)と累積度5%粒度(D5)との比(D95/D5)が1〜100の、酸化ジルコニウム。【選択図】図1
Description
本発明は、例えば、光半導体素子から発する光を反射させる、リフレクタ(反射部)の形成材料となる光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、ならびに光半導体装置に関するものである。
従来、光半導体素子を搭載してなる光半導体装置は、例えば、図1に示すように、第1のプレート部1と第2のプレート部2とからなる金属リードフレーム上に光半導体素子3が搭載され、上記光半導体素子3の周囲を囲むように、さらに第1のプレート部1と第2のプレート部2の間を埋めるように、樹脂材料からなる光反射用のリフレクタ4が形成されているという構成をとる。そして、上記金属リードフレームとリフレクタ4の内周面として形成される凹部5に搭載された光半導体素子3を、必要に応じて蛍光体を含有するシリコーン樹脂等の透明樹脂を用いて樹脂封止することにより封止樹脂層6が形成されている。図1において、7,8は金属リードフレームと光半導体素子3とを電気的に接続するボンディングワイヤーであり、必要に応じて設けられるものである。
このような光半導体装置では、近年、上記リフレクタ4を、エポキシ樹脂等に代表される熱硬化性樹脂を用いて、例えば、トランスファー成形等により成形し製造している。リフレクタの材料としては、従来ではセラミックスを使用していたため、薄く成形すると割れが生じる問題があったが、上記熱硬化性樹脂製のリフレクタにより、この問題が解消されている。そして、上記熱硬化性樹脂には、従来から白色顔料として酸化チタンを配合し、上記光半導体素子3から発する光を反射させている(特許文献1参照)。
しかしながら、上記のように白色顔料として酸化チタンを用いてリフレクタを形成した場合、初期の光反射率に関しては問題無く高い光反射率を実現しているが、経時的使用によりその光反射率が低下してしまうという問題がある。また、リフレクタには、その厚みが薄くなるよう成形した場合であっても、高い初期光反射率を得ることが求められており、同時に、優れた耐加熱変色性を実現することが求められている。
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、厚みが薄くなるよう成形しても高い初期光反射率を示し、さらに長期耐光性および耐加熱変色性に優れた光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、ならびに光半導体装置の提供をその目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は、最薄箇所の厚みが0.2mm以下である、光半導体装置のリフレクタの形成材料であって、下記の(A)および(B)成分を含有する光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物を第1の要旨とする。
(A)熱硬化性樹脂。
(B)熱硬化性樹脂硬化体中での、累積粒度分布における累積度95%粒度(D95)と累積度5%粒度(D5)との比(D95/D5)が1〜100の、酸化ジルコニウム。
(A)熱硬化性樹脂。
(B)熱硬化性樹脂硬化体中での、累積粒度分布における累積度95%粒度(D95)と累積度5%粒度(D5)との比(D95/D5)が1〜100の、酸化ジルコニウム。
そして、本発明は、厚み方向の片面のみに光半導体素子を搭載するための板状の光半導体装置用リードフレームであって、互いに隙間を隔てて配置される複数のプレート部を備えるとともに、上記隙間に、上記第1の要旨の光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物を用いて充填し、硬化してなるリフレクタが形成されてなる光半導体装置用リードフレームを第2の要旨とする。また、本発明は、光半導体素子搭載領域を備え、それ自体の少なくとも一部で素子搭載領域の周囲を囲んだ状態でリフレクタが形成されてなる立体状の光半導体装置用リードフレームであって、上記リフレクタが、上記第1の要旨の光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物を用いて形成されてなる光半導体装置用リードフレームを第3の要旨とする。
さらに、本発明は、その片面に光半導体素子を搭載するための素子搭載領域を有するプレート部が、互いに隙間を隔てて配置され、上記素子搭載領域の所定位置に光半導体素子が搭載されてなる光半導体装置であって、上記隙間に、上記第1の要旨の光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物を用いて充填し、硬化してなるリフレクタが形成されてなる光半導体装置を第4の要旨とする。また、本発明は、光半導体素子搭載領域を備え、それ自体の少なくとも一部で素子搭載領域の周囲を囲んだ状態でリフレクタが形成されてなる光半導体装置用リードフレームの所定位置に光半導体素子が搭載されてなる光半導体装置であって、上記リフレクタが、上記第1の要旨の光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物を用いて形成されてなる光半導体装置を第5の要旨とする。
本発明者らは、前記課題を解決するため鋭意研究を重ね、その過程で、光半導体装置のリフレクタの形成材料において、白色顔料として従来使用されてきた酸化チタンに代えて、酸化ジルコニウムを用いることを想起した。そして、リフレクタの最薄箇所の厚みが0.2mm以下であっても高い初期光反射率等を示すには、リフレクタ内での酸化ジルコニウムの粒度分布が大きく関与することに着目し、本発明者らは各種実験を重ねた。その結果、リフレクタ材料である熱硬化性樹脂組成物の硬化体中での、酸化ジルコニウムの累積度95%粒度(D95)と累積度5%粒度(D5)との比(D95/D5)が1〜100のときに、所期の目的が達成できることを見いだし、本発明に到達した。
このように、本発明は、前記熱硬化性樹脂(A)と、特定の累積粒度分布を示す酸化ジルコニウム(B)とを含有する光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物である。このため、厚みが薄くなるよう成形しても高い初期光反射率を示し、さらに長期耐光性および耐加熱変色性をも備えるようになる。したがって、上記光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物を用いてリフレクタを形成してなる光半導体装置では、信頼性の高い光半導体装置が得られる。
そして、熱硬化性樹脂硬化体中での、上記(B)成分の酸化ジルコニウムの平均粒子径(D50)が特定範囲であると、より一層高い初期光反射率等を備えるようになる。
本発明の光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物(以下、「熱硬化性樹脂組成物」ともいう)は、例えば、先に述べたように、図1に示す光半導体装置あるいは後述の図2および図3に示す光半導体装置の、リフレクタ4,11形成材料として用いられるものであって、上記リフレクタ4,11における最薄箇所の厚みが0.2mm以下となる箇所に適用されるものである。このような本発明の熱硬化性樹脂組成物は、熱硬化性樹脂(A成分)と、特定の累積粒度分布を示す酸化ジルコニウム(B成分)を用いて得られるものであり、通常、液状、あるいはシート状、粉末状、もしくはその粉末を打錠したタブレット状にしてリフレクタ4,11形成材料に供される。
〈A:熱硬化性樹脂〉
上記熱硬化性樹脂(A成分)としては、例えば、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等があげられる。これらは単独でもしくは併せて用いられる。
上記熱硬化性樹脂(A成分)としては、例えば、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等があげられる。これらは単独でもしくは併せて用いられる。
上記エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂やクレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、モノグリシジルイソシアヌレート、ジグリシジルイソシアヌレート、トリグリシジルイソシアヌレート、ヒダントインエポキシ樹脂等の含窒素環エポキシ樹脂、水素添加ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水素添加ビスフェノールF型エポキシ樹脂、脂肪族系エポキシ樹脂、シリコーン変性エポキシ樹脂、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、アルキル置換ビスフェノール等のジグリシジルエーテル、ジアミノジフェニルメタンおよびイソシアヌル酸等のポリアミンとエピクロルヒドリンとの反応により得られるグリシジルアミン型エポキシ樹脂、オレフィン結合を過酢酸等の過酸で酸化して得られる線状脂肪族および脂環式エポキシ樹脂、低吸水率硬化体タイプの主流であるビフェニル型エポキシ樹脂、ジシクロ環型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いることができる。これらエポキシ樹脂の中でも、透明性および耐変色性に優れるという点から、脂環式エポキシ樹脂や、トリグリシジルイソシアヌレート等のイソシアヌル環構造を有するものを単独でもしくは併せて用いることが好ましい。同様の理由から、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸、ナジック酸、メチルナジック酸等のジカルボン酸のジグリシジルエステルも好適である。また、芳香環が水素化された脂環式構造を有する核水素化トリメリット酸、核水素化ピロメリット酸等のグリシジルエステル等もあげられる。
上記エポキシ樹脂としては、常温で固形であっても液状であってもよいが、一般に、使用するエポキシ樹脂の平均エポキシ当量が90〜1000のものが好ましく、また、固形の場合には、取り扱い性の利便性の観点から、軟化点が50〜160℃のものが好ましい。すなわち、エポキシ当量が小さすぎると、熱硬化性樹脂組成物硬化物が脆くなる場合がある。また、エポキシ当量が大きすぎると、熱硬化性樹脂組成物硬化物のガラス転移温度(Tg)が低くなる傾向がみられるからである。
熱硬化性樹脂(A成分)として上記エポキシ樹脂を用いる際には、通常、硬化剤が用いられる。上記硬化剤としては、例えば、酸無水物系硬化剤、イソシアヌル酸誘導体系硬化剤等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いることができる。これらのなかでも、耐熱性および耐光性の観点から、酸無水物系硬化剤を用いることが好ましい。
上記酸無水物系硬化剤としては、例えば、無水フタル酸、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ナフタレン−1,4,5,8−テトラカルボン酸二無水物、およびその核水素化物、ヘキサヒドロ無水フタル酸、3−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、3−メチルテトラヒドロ無水フタル酸、4−メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水メチルナジック酸、シクロヘキサン−1,2,3−トリカルボン酸−2,3−無水物、およびその位置異性体、シクロヘキサン−1,2,3,4−テトラカルボン酸−3,4−無水物、およびその位置異性体、無水ナジック酸、無水グルタル酸、無水ジメチルグルタル酸、無水ジエチルグルタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いることができる。また、飽和脂肪鎖骨格、不飽和脂肪鎖骨格、またはシリコーン骨格の末端基、ないし、側鎖としてこれら酸無水物を有するオリゴマーも単独で、もしくは2種以上併せて、および、上記酸無水物と併せて用いることができる。これら酸無水物系硬化剤の中でも、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、3−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、3−メチルテトラヒドロ無水フタル酸、4−メチルテトラヒドロ無水フタル酸を用いることが好ましい。さらに、酸無水物系硬化剤としては、無色ないし淡黄色の酸無水物系硬化剤が好ましい。また、上記酸無水物の加水分解物であるカルボン酸を併用してもよい。
また、上記イソシアヌル酸誘導体系硬化剤としては、例えば、1,3,5−トリス(1−カルボキシメチル)イソシアヌレート、1,3,5−トリス(2−カルボキシエチル)イソシアヌレート、1,3,5−トリス(3−カルボキシプロピル)イソシアヌレート、1,3−ビス(2−カルボキシエチル)イソシアヌレート等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いることができる。さらに、イソシアヌル酸誘導体系硬化剤としては、無色ないし淡黄色の硬化剤が好ましい。
ここで、上記エポキシ樹脂と上記硬化剤との配合割合は、エポキシ樹脂中のエポキシ基1当量に対して、硬化剤中におけるエポキシ基と反応可能な活性基(酸無水基あるいはカルボキシ基)が0.3〜1.3当量となるよう設定することが好ましく、より好ましくは0.5〜1.1当量である。すなわち、活性基が少なすぎると、熱硬化性樹脂組成物の硬化速度が遅くなるとともに、その硬化物のガラス転移温度(Tg)が低くなる傾向がみられ、活性基が多すぎると耐湿性が低下する傾向がみられるからである。
また、その目的および用途に応じて、上述の上記酸無水物系硬化剤およびイソシアヌル酸誘導体系硬化剤以外の他のエポキシ樹脂用硬化剤、例えば、フェノール系硬化剤、アミン系硬化剤、上記酸無水物系硬化剤をアルコールで部分エステル化したもの等の硬化剤を、単独でもしくは2種以上併せて用いることができる。なお、これら硬化剤を用いる場合においても、その配合割合は、上述のエポキシ樹脂と硬化剤との配合割合(当量比)に準じればよい。
つぎに、上記熱硬化性樹脂(A成分)として上記シリコーン樹脂を用いる場合について述べる。上記シリコーン樹脂としては、少なくとも触媒を含有し、具体的には、触媒およびシリコーン樹脂を含有する。上記触媒は、例えば、シリコーン樹脂の反応を促進させてシリコーン樹脂を硬化させる硬化触媒であって、好ましくは、後述するシリコーン樹脂のヒドロシリル化反応を促進させてシリコーン樹脂をヒドロシリル付加により硬化させるヒドロシリル化触媒である。そして、上記触媒は、遷移金属を含有し、上記遷移金属としては、例えば、白金、パラジウム、ロジウム等の白金属元素、好ましくは、白金があげられる。具体的には、触媒としては、触媒が白金を含有する場合には、例えば、白金黒、塩化白金、塩化白金酸等の無機白金、例えば、白金−オレフィン錯体、白金−カルボニル錯体、白金−アセチルアセテート等の白金錯体等があげられ、好ましくは、白金錯体があげられる。より具体的には、白金錯体としては、例えば、白金−ビニルシロキサン錯体、白金−テトラメチルジビニルジシロキサン錯体、白金−カルボニルシクロビニルメチルシロキサン錯体、白金−ジビニルテトラメチルジシロキサン錯体、白金−シクロビニルメチルシロキサン錯体、白金−オクタナル/オクタノール錯体等があげられる。なお、上記触媒は、後述のシリコーン樹脂と区別して配合される態様や、シリコーン樹脂を構成する成分としてシリコーン樹脂に含有される態様がある。
上記触媒中の遷移金属の含有割合(濃度)は、シリコーン樹脂全体に対して、質量基準で、好ましくは0.1〜500ppm、より好ましくは0.15〜100ppm、さらに好ましくは0.2〜50ppm、特に好ましくは0.3〜10ppmである。
上記シリコーン樹脂は、触媒によって反応が促進されて硬化する硬化性シリコーン樹脂であって、例えば、1段階硬化型シリコーン樹脂、2段階硬化型シリコーン樹脂等の熱硬化性シリコーン樹脂等があげられる。
上記2段階硬化型シリコーン樹脂は、2段階の反応機構を有しており、1段階目の反応でBステージ化(半硬化)し、2段階目の反応でCステージ化(完全硬化)する熱硬化性シリコーン樹脂である。なお、上記Bステージとは、熱硬化性シリコーン樹脂が、溶剤に可溶なAステージと、完全硬化したCステージとの間の状態であって、硬化およびゲル化がわずかに進行し、溶剤に膨潤するが完全に溶解せず、加熱によって軟化するが溶融しない状態である。
上記1段階硬化型シリコーン樹脂は、1段階の反応機構を有しており、1段階目の反応で完全硬化する熱硬化性シリコーン樹脂である。上記1段階硬化型シリコーン樹脂としては、例えば、特開2012−124428号公報に開示される付加反応硬化型ポリオルガノポリシロキサンがあげられる。具体的には、付加反応硬化型ポリオルガノポリシロキサンは、例えば、エチレン系不飽和炭化水素基含有ケイ素化合物およびヒドロシリル基含有ケイ素化合物を含有する。
上記エチレン系不飽和炭化水素基含有ケイ素化合物として、例えば、分子内に2個以上のビニル基を有するビニル基含有ポリオルガノシロキサン、好ましくは、両末端ビニルポリジメチルシロキサンがあげられる。
上記ヒドロシリル基含有ケイ素化合物として、例えば、分子内に2個以上のヒドロシリル基を有するヒドロシリル基含有ポリオルガノシロキサン、好ましくは、両末端ヒドロシリルポリジメチルシロキサン、両末端トリメチルシリル封鎖メチルヒドロシロキサン−ジメチルシロキサンコポリマー等があげられる。
上記2段階硬化型シリコーン樹脂としては、例えば、縮合反応と付加反応との2つの反応系を有する縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂等があげられる。このような縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂は、触媒を含有しており、例えば、シラノール両末端ポリシロキサン、アルケニル基含有トリアルコキシシラン、オルガノハイドロジェンポリシロキサン、縮合触媒およびヒドロシリル化触媒を含有する第1の縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂、
例えば、シラノール基両末端ポリシロキサン、エチレン系不飽和炭化水素基含有ケイ素化合物、エチレン系不飽和炭化水素基含有ケイ素化合物、オルガノハイドロジェンポリシロキサン、縮合触媒およびヒドロシリル化触媒を含有する第2の縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂、
例えば、両末端シラノール型シリコーンオイル、アルケニル基含有ジアルコキシアルキルシラン、オルガノハイドロジェンポリシロキサン、縮合触媒およびヒドロシリル化触媒を含有する第3の縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂、
例えば、1分子中に少なくとも2個のアルケニルシリル基を有するオルガノポリシロキサン、1分子中に少なくとも2個のヒドロシリル基を有するオルガノポリシロキサン、ヒドロシリル化触媒および硬化遅延剤を含有する第4の縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂、
例えば、少なくとも2つのエチレン系不飽和炭化水素基と少なくとも2つのヒドロシリル基とを1分子中に併有する第1オルガノポリシロキサン、エチレン系不飽和炭化水素基を含まず、少なくとも2つのヒドロシリル基を1分子中に有する第2オルガノポリシロキサン、ヒドロシリル化触媒およびヒドロシリル化抑制剤を含有する第5の縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂、
例えば、少なくとも2つのエチレン系不飽和炭化水素基と少なくとも2つのシラノール基とを1分子中に併有する第1オルガノポリシロキサン、エチレン系不飽和炭化水素基を含まず、少なくとも2つのヒドロシリル基を1分子中に有する第2オルガノポリシロキサン、ヒドロシリル化抑制剤、および、ヒドロシリル化触媒を含有する第6の縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂、
例えば、ケイ素化合物、および、ホウ素化合物またはアルミニウム化合物を含有する第7の縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂、
例えば、ポリアルミノシロキサンおよびシランカップリング剤を含有する第8の縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂等があげられる。
これら縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂は、単独でもしくは2種以上併せて用いられる。
例えば、シラノール基両末端ポリシロキサン、エチレン系不飽和炭化水素基含有ケイ素化合物、エチレン系不飽和炭化水素基含有ケイ素化合物、オルガノハイドロジェンポリシロキサン、縮合触媒およびヒドロシリル化触媒を含有する第2の縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂、
例えば、両末端シラノール型シリコーンオイル、アルケニル基含有ジアルコキシアルキルシラン、オルガノハイドロジェンポリシロキサン、縮合触媒およびヒドロシリル化触媒を含有する第3の縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂、
例えば、1分子中に少なくとも2個のアルケニルシリル基を有するオルガノポリシロキサン、1分子中に少なくとも2個のヒドロシリル基を有するオルガノポリシロキサン、ヒドロシリル化触媒および硬化遅延剤を含有する第4の縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂、
例えば、少なくとも2つのエチレン系不飽和炭化水素基と少なくとも2つのヒドロシリル基とを1分子中に併有する第1オルガノポリシロキサン、エチレン系不飽和炭化水素基を含まず、少なくとも2つのヒドロシリル基を1分子中に有する第2オルガノポリシロキサン、ヒドロシリル化触媒およびヒドロシリル化抑制剤を含有する第5の縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂、
例えば、少なくとも2つのエチレン系不飽和炭化水素基と少なくとも2つのシラノール基とを1分子中に併有する第1オルガノポリシロキサン、エチレン系不飽和炭化水素基を含まず、少なくとも2つのヒドロシリル基を1分子中に有する第2オルガノポリシロキサン、ヒドロシリル化抑制剤、および、ヒドロシリル化触媒を含有する第6の縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂、
例えば、ケイ素化合物、および、ホウ素化合物またはアルミニウム化合物を含有する第7の縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂、
例えば、ポリアルミノシロキサンおよびシランカップリング剤を含有する第8の縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂等があげられる。
これら縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂は、単独でもしくは2種以上併せて用いられる。
上記縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂として、好ましくは、上記第2の縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂があげられ、具体的には、特開2010−265436号公報等に詳細に記載されており、例えば、シラノール基両末端ポリジメチルシロキサン、ビニルトリメトキシシラン、(3−グリシドキシプロピル)トリメトキシシラン、ジメチルポリシロキサン−co−メチルハイドロジェンポリシロキサン、水酸化テトラメチルアンモニウムおよび白金−カルボニル錯体を含有する。具体的には、上記第2の縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂を調製するには、例えば、まず、縮合原料であるエチレン系不飽和炭化水素基含有ケイ素化合物およびエチレン系不飽和炭化水素基含有ケイ素化合物と、縮合触媒とを一度に加え、ついで、付加原料であるオルガノハイドロジェンポリシロキサンを加え、その後、ヒドロシリル化触媒(付加触媒)を加えることにより調製することができる。
〈B:特定の酸化ジルコニウム〉
上記A成分とともに用いられる特定の酸化ジルコニウム(B成分)としては、熱硬化性樹脂硬化体中での、累積粒度分布における累積度95%粒度(D95)と累積度5%粒度(D5)との比(D95/D5)が1〜100の酸化ジルコニウムが用いられる。好ましくは、D95/D5が9〜30の酸化ジルコニウムであり、さらに好ましくは、D95/D5が10〜25の酸化ジルコニウムである。すなわち、D95/D5を上記範囲に設定することにより、本発明の作用効果である「最薄箇所の厚みが0.2mm以下となるようリフレクタを成形しても高い初期光反射率を示し、さらに長期耐光性および耐加熱変色性に優れるようになる」といった効果が得られるようになるからである。ここで、上記累積粒度分布を「熱硬化性樹脂硬化体中での」としているのは、酸化ジルコニウム粒子が、凝集性が高く二次粒子化しやすい性質のものだからであり、より正確な粒度分布を測定するため、本発明では、熱硬化性樹脂硬化体中に分散させて一次粒子化させてから、その累積粒度分布を測定している。上記累積粒度分布の具体的な測定方法としては、例えば、熱硬化性樹脂組成物中に酸化ジルコニウムを加え、混練機等を用いて溶融混合した後、これを冷却し固化して、粉砕することにより粉末状の熱硬化性樹脂組成物を得、それを材料とし、180℃×90秒で成形後、175℃×3時間キュアする。このようにして、1mm厚の樹脂成形板を得、これを試料とし、樹脂包埋して機械研磨した後、試料台に固定し、導電性処理(15mA×10secの条件で白金パラジウムをスパッタ(スパッタ装置:日立社製E−1030))する。つぎに、FE−SEM(日立社製、S−4700)を用い、反射電子像を5kVの加速電圧条件で観察する。そして、そのSEM画像(1万倍画像)を、画像処理ソフト(MITANI CORPORATION社製、Winroof)により二値化処理し、酸化ジルコニウム粒子の粒径を測定(楕円球状(断面が楕円の球)等のように一律に粒径が定まらない場合には、楕円長軸の値を粒径として測定)する。そして、その粒径の個数頻度のヒストグラムを作成し、5%、95%の個数頻度累積値の粒径、つまり、累積度95%粒度(D95)、累積度5%粒度(D5)を読み取る。その値をもとに、D95/D5を算出する。
上記A成分とともに用いられる特定の酸化ジルコニウム(B成分)としては、熱硬化性樹脂硬化体中での、累積粒度分布における累積度95%粒度(D95)と累積度5%粒度(D5)との比(D95/D5)が1〜100の酸化ジルコニウムが用いられる。好ましくは、D95/D5が9〜30の酸化ジルコニウムであり、さらに好ましくは、D95/D5が10〜25の酸化ジルコニウムである。すなわち、D95/D5を上記範囲に設定することにより、本発明の作用効果である「最薄箇所の厚みが0.2mm以下となるようリフレクタを成形しても高い初期光反射率を示し、さらに長期耐光性および耐加熱変色性に優れるようになる」といった効果が得られるようになるからである。ここで、上記累積粒度分布を「熱硬化性樹脂硬化体中での」としているのは、酸化ジルコニウム粒子が、凝集性が高く二次粒子化しやすい性質のものだからであり、より正確な粒度分布を測定するため、本発明では、熱硬化性樹脂硬化体中に分散させて一次粒子化させてから、その累積粒度分布を測定している。上記累積粒度分布の具体的な測定方法としては、例えば、熱硬化性樹脂組成物中に酸化ジルコニウムを加え、混練機等を用いて溶融混合した後、これを冷却し固化して、粉砕することにより粉末状の熱硬化性樹脂組成物を得、それを材料とし、180℃×90秒で成形後、175℃×3時間キュアする。このようにして、1mm厚の樹脂成形板を得、これを試料とし、樹脂包埋して機械研磨した後、試料台に固定し、導電性処理(15mA×10secの条件で白金パラジウムをスパッタ(スパッタ装置:日立社製E−1030))する。つぎに、FE−SEM(日立社製、S−4700)を用い、反射電子像を5kVの加速電圧条件で観察する。そして、そのSEM画像(1万倍画像)を、画像処理ソフト(MITANI CORPORATION社製、Winroof)により二値化処理し、酸化ジルコニウム粒子の粒径を測定(楕円球状(断面が楕円の球)等のように一律に粒径が定まらない場合には、楕円長軸の値を粒径として測定)する。そして、その粒径の個数頻度のヒストグラムを作成し、5%、95%の個数頻度累積値の粒径、つまり、累積度95%粒度(D95)、累積度5%粒度(D5)を読み取る。その値をもとに、D95/D5を算出する。
そして、特に、上記熱硬化性樹脂硬化体中での、上記(B)成分の酸化ジルコニウムの平均粒子径(D50)は、0.01〜1μmであることが好ましく、より好ましくはD50が0.1〜0.5μmの酸化ジルコニウムであり、さらに好ましくは、D50が0.19〜0.30μmの酸化ジルコニウムである。すなわち、D50が上記特定範囲であると、より一層高い初期光反射率等を備えるようになるからである。なお、上記平均粒子径(D50)は、先に述べた、累積度95%粒度(D95)、累積度5%粒度(D5)と同様にして測定した、累積度50%粒度のことであり、メディアン径ともいう。
粒度の調整は、公知の方法で行ってもよいが、粉砕効率の点で湿式粉砕が好ましい。また、湿式粉砕する際の媒体としては、水、有機溶媒(アルコール等)が好ましく、粉砕に用いる粉砕機としては、例えば、ボールミル、振動ミル、媒体撹拌ミル等を用いることができる。
粒度の調整は、公知の方法で行ってもよいが、粉砕効率の点で湿式粉砕が好ましい。また、湿式粉砕する際の媒体としては、水、有機溶媒(アルコール等)が好ましく、粉砕に用いる粉砕機としては、例えば、ボールミル、振動ミル、媒体撹拌ミル等を用いることができる。
上記特定の酸化ジルコニウム(B成分)の配合割合は、熱硬化性樹脂組成物全体に対して、好ましくは3〜50体積%であり、より好ましくは5〜30体積%である。すなわち、B成分の含有割合が少なすぎると、充分な光反射性、特に優れた初期光反射率が得られ難くなる傾向がみられる。B成分の含有割合が多すぎると、著しい増粘により混練等での熱硬化性樹脂組成物の作製に関して困難が生じる可能性がみられるからである。
〈他の添加剤〉
そして、本発明の熱硬化性樹脂組成物には、上記AおよびB成分以外に、必要に応じて、無機質充填剤(但し、酸化ジルコニウムを除く。)、硬化促進剤、離型剤、シラン化合物を配合することができる。さらには、変性剤(可塑剤)、酸化防止剤、難燃剤、脱泡剤、レベリング剤、紫外線吸収剤等の各種添加剤を適宜配合することができる。
そして、本発明の熱硬化性樹脂組成物には、上記AおよびB成分以外に、必要に応じて、無機質充填剤(但し、酸化ジルコニウムを除く。)、硬化促進剤、離型剤、シラン化合物を配合することができる。さらには、変性剤(可塑剤)、酸化防止剤、難燃剤、脱泡剤、レベリング剤、紫外線吸収剤等の各種添加剤を適宜配合することができる。
上記無機質充填剤としては、例えば、石英ガラス粉末、タルク、溶融シリカ粉末や結晶性シリカ粉末等のシリカ粉末、アルミナ粉末、窒化アルミニウム粉末、窒化ケイ素粉末等があげられる。中でも、線膨張係数の低減等の観点から、溶融シリカ粉末を用いることが好ましく、特に高充填性および高流動性という観点から、溶融球状シリカ粉末を用いることが好ましい。なお、上記無機質充填剤は、先に述べたように、酸化ジルコニウムを除く。上記無機質充填剤の粒径およびその分布に関しては、上記特定の酸化ジルコニウム(B成分)の粒径およびその分布との組み合わせを、熱硬化性樹脂組成物をトランスファー成形等により成形する際のバリ等が最も低減するように配慮することが好ましい。具体的には、無機質充填剤の平均粒子径は、5〜100μmであることが好ましく、特に好ましくは10〜80μmである。なお、上記平均粒子径は、例えば、レーザー回折散乱式粒度分布計を用いて測定することができる。また、上記無機質充填剤を含有させて、前記特定の酸化ジルコニウム(B成分)と併用する際、場合によっては混練に支障が出ることもあることから、その場合、酸化ジルコニウム(B成分)の平均粒子径(D50)を0.15〜1μmとすることが好ましい。
そして、上記無機質充填剤の含有割合においては、上記特定の酸化ジルコニウム(B成分)と無機質充填剤の合計の含有割合が、熱硬化性樹脂組成物全体の10〜90体積%となるように設定することが好ましい。より好ましくは60〜90体積%であり、特に好ましくは65〜85体積%である。すなわち、上記合計の含有割合が少なすぎると、成形時に反りが発生する等の問題が生じる傾向がみられる。また、合計の含有割合が多すぎると、配合成分を混練する際、混練機に多大な負荷がかかり、混練が不可能となる傾向がみられ、結果、成形材料である熱硬化性樹脂組成物を作製することが困難となる傾向がみられる。
さらに、上記特定の酸化ジルコニウム(B成分)と無機質充填剤との混合割合は、初期光反射率の観点から、体積比で、(B成分)/無機質充填剤=0.028〜1.0であることが好ましい。すなわち、B成分と無機質充填剤との混合割合が、上記範囲を外れ、体積比が小さすぎると、熱硬化性樹脂組成物の初期光反射率が低下する傾向がみられ、体積比が大きすぎると、熱硬化性樹脂組成物の溶融粘度が上昇して混練が困難になる傾向がみられる。
上記硬化促進剤は、前記熱硬化性樹脂(A成分)がエポキシ樹脂の場合に用いることができ、硬化促進剤としては、例えば、1,8−ジアザ−ビシクロ[5.4.0]ウンデセン−7、トリエチレンジアミン、トリ−2,4,6−ジメチルアミノメチルフェノール、N,N−ジメチルベンジルアミン、N,N−ジメチルアミノベンゼン、N,N−ジメチルアミノシクロヘキサン等の3級アミン類、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−メチルイミダゾール等のイミダゾール類、トリフェニルホスフィン、テトラフェニルホスホニウムテトラフルオロボレート、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラ−n−ブチルホスホニウムブロマイド、テトラフェニルホスホニウムブロマイド、メチルトリブチルホスホニウムジメチルホスフェート、テトラフェニルホスホニウム−o,o−ジエチルホスホロジチオエート、テトラ−n−ブチルホスホニウム−o,o−ジエチルホスホロジチオエート等のリン化合物、1,8−ジアザ−ビシクロ[5.4.0]ウンデセン−7、トリエチレンジアンモニウム・オクチルカルボキシレート等の4級アンモニウム塩、有機金属塩類、およびこれらの誘導体等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。これら硬化促進剤の中では、3級アミン類、イミダゾール類、リン化合物を用いることが好ましい。その中でも、着色が少ない硬化物を得るためには、リン化合物を用いることが特に好ましい。
上記硬化促進剤の含有量は、上記熱硬化性樹脂(A成分)に対して0.001〜8重量%に設定することが好ましく、より好ましくは0.01〜5重量%である。すなわち、硬化促進剤の含有量が少なすぎると、充分な硬化促進効果を得られない場合があり、また硬化促進剤の含有量が多すぎると、得られる硬化物に変色が生じる傾向がみられるからである。
上記離型剤としては、各種離型剤が用いられるが、中でもエーテル結合を有する離型剤を用いることが好ましく、例えば、下記の一般式(1)で表される構造式を備えた離型剤があげられる。
CH3・(CH3)k・CH2O(CHRm・CHRn・O)x・H ・・・(1)
[式(1)中、Rm,Rnは水素原子または一価のアルキル基であり、両者は互いに同じであっても異なっていてもよい。また、kは1〜100の正数であり、xは1〜100の正数である。]
[式(1)中、Rm,Rnは水素原子または一価のアルキル基であり、両者は互いに同じであっても異なっていてもよい。また、kは1〜100の正数であり、xは1〜100の正数である。]
上記式(1)において、Rm,Rnは水素原子または一価のアルキル基であり、好ましくは、kは10〜50の正数、xは3〜30の正数である。より好ましくはRmおよびRnは水素原子であり、kは28〜48の正数、xは5〜20の正数である。すなわち、繰り返し数kの値が小さすぎると、離型性が低下し、また繰り返し数xの値が小さすぎると、分散性が低下するため、安定した強度と離型性が得られなくなる傾向がみられる。一方、繰り返し数kの値が大きすぎると、融点が高くなるため混練が困難となり、熱硬化性樹脂組成物の製造工程において困難を生じる傾向がみられ、繰り返し数xの値が大きすぎると、離型性が低下する傾向がみられるからである。
上記離型剤の含有量は、熱硬化性樹脂組成物体全体の0.001〜3重量%の範囲に設定することが好ましく、0.01〜2重量%の範囲に設定することがより好ましい。すなわち、離型剤の含有量が少なすぎたり、多すぎたりすると、硬化体の強度不足を招いたり、離型性の低下を引き起こす傾向がみられるからである。
上記シラン化合物としては、シランカップリング剤やシランがあげられる。上記シランカップリング剤としては、例えば、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等があげられる。また、上記シランとしては、例えば、メチルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルジエチルシラン、フェニルトリエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、ヘキシルトリエトキシシラン、デジルトリメトキシシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、ヘキサメチルジシラザン、加水分解性基を含むシロキサン等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。
上記変性剤(可塑剤)としては、例えば、グリコール類、シリコーン類、アルコール類等があげられる。
上記酸化防止剤としては、例えば、フェノール系化合物、アミン系化合物、有機硫黄系化合物、ホスフィン系化合物等があげられる。
上記難燃剤としては、例えば、水酸化マグネシウム等の金属水酸化物、臭素系難燃剤、窒素系難燃剤、リン系難燃剤等があげられ、さらに三酸化アンチモン等の難燃助剤を用いることもできる。
上記脱泡剤としては、例えば、シリコーン系等の従来公知の脱泡剤があげられる。
〈熱硬化性樹脂組成物〉
本発明の熱硬化性樹脂組成物は、例えば、つぎのようにして製造することができる。すなわち、前記AおよびB成分、さらに無機質充填剤、さらには硬化促進剤および離型剤、ならびに必要に応じて用いられる各種添加剤を適宜配合した後、混練機等を用いて溶融混合し、ついで、これを冷却し固化して粉砕することにより粉末状の熱硬化性樹脂組成物を製造することができる。
本発明の熱硬化性樹脂組成物は、例えば、つぎのようにして製造することができる。すなわち、前記AおよびB成分、さらに無機質充填剤、さらには硬化促進剤および離型剤、ならびに必要に応じて用いられる各種添加剤を適宜配合した後、混練機等を用いて溶融混合し、ついで、これを冷却し固化して粉砕することにより粉末状の熱硬化性樹脂組成物を製造することができる。
そして、上記得られた熱硬化性樹脂組成物を、例えば、トランスファー成形または射出成形することで得られる硬化物としては、その光反射率が、波長450〜800nmにおいて80%以上であることが好ましく、より好ましくは90%以上である。なお、上限は、通常100%である。具体的には、上記硬化物の波長450nmにおける光反射率が85〜98%であることが好ましい。上記光反射率は、例えば、つぎのようにして測定される。すなわち、厚み0.2mmの熱硬化性樹脂組成物の硬化物を、所定の硬化条件、例えば、175℃×2分間の成形後、175℃×3時間の後硬化にて作製し、室温(25±10℃)にて上記範囲内の波長での上記硬化物の光反射率を分光光度計(例えば、日本分光社製の分光光度計V−670)を用いることにより測定することができる。
本発明の熱硬化性樹脂組成物を用いてなる光半導体装置は、例えば、つぎのようにして製造される。すなわち、金属リードフレームをトランスファー成形機の金型内に設置して上記熱硬化性樹脂組成物を用いてトランスファー成形によりリフレクタを形成する。このようにして、光半導体素子搭載領域の周囲を囲うように環状のリフレクタが形成されてなる光半導体装置用の金属リードフレームを作製する。ついで、上記リフレクタの内部の、金属リードフレーム上の光半導体素子搭載領域に光半導体素子を搭載し、光半導体素子と金属リードフレームとをボンディングワイヤーを用いて電気的に接続する。そして、上記光半導体素子を含むリフレクタの内側領域を、シリコーン樹脂等を用いて樹脂封止することにより封止樹脂層が形成される。このようにして、例えば、図1に示す立体状(カップ型)の光半導体装置が作製される。この光半導体装置は、前述のとおり、第1のプレート部1と第2のプレート部2とからなる金属リードフレームの第2のプレート部2上に光半導体素子3が搭載され、上記光半導体素子3の周囲を囲むように、本発明の熱硬化性樹脂組成物からなる光反射用のリフレクタ4が形成されているという構成をとる。そして、上記金属リードフレームとリフレクタ4の内周面とで形成される凹部5には、光半導体素子3を封止する透明性を有する封止樹脂層6が形成されている。この封止樹脂層6には必要に応じて蛍光体が含有されている。図1において、7,8は金属リードフレームと光半導体素子3とを電気的に接続するボンディングワイヤーである。そして、本発明においては、光半導体装置の上記リフレクタ4における最薄箇所の厚みが0.2mm以下となる構造を対象とする。
なお、本発明において、上記図1の金属リードフレームに代えて各種基板を用いてもよい。上記各種基板としては、例えば、有機基板、無機基板、フレキシブルプリント基板等があげられる。また、上記トランスファー成形に変えて、射出成形によりリフレクタを形成してもよい。
また、上記構成と異なる光半導体装置として、板状の光半導体装置用リードフレームを用いた、例えば、図2および図3(図2のX−X′矢視断面図)に示す光半導体装置があげられる。すなわち、この光半導体装置は、互いに間隔を設けて配置された金属リードフレーム10の厚み方向の片面の所定位置に光半導体素子3がそれぞれ搭載され、上記金属リードフレーム10間の隙間に本発明の熱硬化性樹脂組成物からなる光反射用のリフレクタ11が形成されているという構成をとる。また、図3に示すように、金属リードフレーム10の隙間に本発明の熱硬化性樹脂組成物を充填し硬化してなるリフレクタ11が複数箇所形成されている。なお、図2および図3において、12は、上記光半導体素子3と金属リードフレーム10とを電気的に接続するボンディングワイヤーである。このような光半導体装置は、上記金属リードフレーム10をトランスファー成形機の金型内に設置してトランスファー成形により、間隔を設けて配置された金属リードフレーム10の隙間および金属リードフレーム10の光半導体素子3搭載面とは反対面に形成された凹部に、熱硬化性樹脂組成物を充填し、硬化させることによりリフレクタ11をそれぞれ形成する。ついで、上記金属リードフレーム10の所定位置となる光半導体素子搭載領域に光半導体素子3を搭載した後、光半導体素子3と金属リードフレーム10とをボンディングワイヤー12を用いて電気的に接続する。このようにして、図2および図3に示す光半導体装置が作製される。そして、本発明においては、光半導体装置の上記リフレクタ11における最薄箇所の厚みが0.2mm以下となる構造を対象とする。
つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。ただし、本発明は、これら実施例に限定されるものではない。
まず、熱硬化性樹脂組成物の作製に先立って下記に示す各成分を準備した。
[エポキシ樹脂]
トリグリシジルイソシアヌレート(TEPIC)(エポキシ当量100)
トリグリシジルイソシアヌレート(TEPIC)(エポキシ当量100)
[硬化剤]
4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸とヘキサヒドロ無水フタル酸の混合物(酸無水物当量164)(新日本理化社製、リカシッドMH−700)
4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸とヘキサヒドロ無水フタル酸の混合物(酸無水物当量164)(新日本理化社製、リカシッドMH−700)
[硬化促進剤]
メチルトリブチルホスホニウムジメチルホスフェート(日本化学工業社製、ヒシコーリンPX−4MP)
メチルトリブチルホスホニウムジメチルホスフェート(日本化学工業社製、ヒシコーリンPX−4MP)
[酸化ジルコニウムb1]
第一稀元素化学工業社製、UEP酸化ジルコニウム
第一稀元素化学工業社製、UEP酸化ジルコニウム
[酸化ジルコニウムb2]
第一稀元素化学工業社製、SRP−1酸化ジルコニウム
第一稀元素化学工業社製、SRP−1酸化ジルコニウム
[酸化ジルコニウムb3]
第一稀元素化学工業製、SPZ酸化ジルコニウム
第一稀元素化学工業製、SPZ酸化ジルコニウム
[酸化ジルコニウムb4]
第一稀元素化学工業製のSPZ酸化ジルコニウムを一般的な湿式ボールミルで粉砕したもの。
第一稀元素化学工業製のSPZ酸化ジルコニウムを一般的な湿式ボールミルで粉砕したもの。
[酸化ジルコニウムb5]
第一稀元素化学工業社製、SG酸化ジルコニウム
第一稀元素化学工業社製、SG酸化ジルコニウム
[酸化ジルコニウムb6]
第一稀元素化学工業社製、DK−3CH酸化ジルコニウム
第一稀元素化学工業社製、DK−3CH酸化ジルコニウム
[シリカ]
溶融球状シリカ粉末(平均粒子径20μm)(電気化学工業社製、FB−9454)
溶融球状シリカ粉末(平均粒子径20μm)(電気化学工業社製、FB−9454)
[実施例1〜9、比較例1〜3]
まず、熱硬化性樹脂硬化体中での、上記酸化ジルコニウムb1〜b6の累積粒度分布をみるため、次のような測定を行った。すなわち、まず、上記の、エポキシ樹脂100重量部と、硬化剤132重量部と、硬化促進剤1重量部とともに、酸化ジルコニウムb1〜b6のいずれかを181重量部加え、混練機で溶融混練(温度100〜130℃)を行ない、室温(25℃)まで冷却して粉砕することにより粉末状の熱硬化性樹脂組成物を得、それを材料とし、180℃×90秒で成形後、175℃×3時間キュアした。このようにして、1mm厚の樹脂成形板を得、これを試料とし、樹脂包埋して機械研磨した後、試料台に固定し、導電性処理(15mA×10secの条件で白金パラジウムをスパッタ(スパッタ装置:日立社製E−1030))した。つぎに、FE−SEM(日立社製、S−4700)を用い、反射電子像を5kVの加速電圧条件で観察した。そして、そのSEM画像(1万倍画像)を、画像処理ソフト(MITANI CORPORATION社製、Winroof)により二値化処理し、酸化ジルコニウム粒子の粒径を測定(楕円球状(断面が楕円の球)等のように一律に粒径が定まらない場合には、楕円長軸の値を粒径として測定)した。そして、その粒径の個数頻度のヒストグラムを作成し、5%、50%、95%の個数頻度累積値の粒径、つまり、累積度95%粒度(D95)、累積度50%粒度(D50(平均粒子径))、累積度5%粒度(D5)を読み取った。さらに、その値をもとに、D95/D5を算出した。その結果を、下記の表1に示す。
まず、熱硬化性樹脂硬化体中での、上記酸化ジルコニウムb1〜b6の累積粒度分布をみるため、次のような測定を行った。すなわち、まず、上記の、エポキシ樹脂100重量部と、硬化剤132重量部と、硬化促進剤1重量部とともに、酸化ジルコニウムb1〜b6のいずれかを181重量部加え、混練機で溶融混練(温度100〜130℃)を行ない、室温(25℃)まで冷却して粉砕することにより粉末状の熱硬化性樹脂組成物を得、それを材料とし、180℃×90秒で成形後、175℃×3時間キュアした。このようにして、1mm厚の樹脂成形板を得、これを試料とし、樹脂包埋して機械研磨した後、試料台に固定し、導電性処理(15mA×10secの条件で白金パラジウムをスパッタ(スパッタ装置:日立社製E−1030))した。つぎに、FE−SEM(日立社製、S−4700)を用い、反射電子像を5kVの加速電圧条件で観察した。そして、そのSEM画像(1万倍画像)を、画像処理ソフト(MITANI CORPORATION社製、Winroof)により二値化処理し、酸化ジルコニウム粒子の粒径を測定(楕円球状(断面が楕円の球)等のように一律に粒径が定まらない場合には、楕円長軸の値を粒径として測定)した。そして、その粒径の個数頻度のヒストグラムを作成し、5%、50%、95%の個数頻度累積値の粒径、つまり、累積度95%粒度(D95)、累積度50%粒度(D50(平均粒子径))、累積度5%粒度(D5)を読み取った。さらに、その値をもとに、D95/D5を算出した。その結果を、下記の表1に示す。
つぎに、前記各成分を、後記の表2および表3に示す割合で配合し、ニーダーで溶融混練(温度100〜130℃)を行ない、熟成した後、室温(25℃)まで冷却して粉砕することにより目的とする粉末状の熱硬化性樹脂組成物を作製した。
このようにして得られた実施例および比較例の熱硬化性樹脂組成物を用い、下記の方法に従って各種評価[初期光反射率、長期耐光性、耐加熱変色性]の測定を行なった。その結果を後記の表2および表3に示す。
[初期光反射率]
上記各熱硬化性樹脂組成物を用い、厚み0.2mmの試験片を所定の硬化条件(条件:175℃×2分間の成形+175℃×3時間キュア)にて作製し、この試験片(硬化物)を用いて、室温(25℃)での光反射率を測定した。なお、測定装置として日本分光社製の分光光度計V−670を使用して、波長450nmの光反射率を室温(25℃)にて測定した。なお、判定では、光反射率が90%以上のものを「○」、95%以上のものを「◎」と評価し、90%未満のものを「×」と評価した。
上記各熱硬化性樹脂組成物を用い、厚み0.2mmの試験片を所定の硬化条件(条件:175℃×2分間の成形+175℃×3時間キュア)にて作製し、この試験片(硬化物)を用いて、室温(25℃)での光反射率を測定した。なお、測定装置として日本分光社製の分光光度計V−670を使用して、波長450nmの光反射率を室温(25℃)にて測定した。なお、判定では、光反射率が90%以上のものを「○」、95%以上のものを「◎」と評価し、90%未満のものを「×」と評価した。
[長期耐光性]
上記と同様にして作製した各試験片を用い、波長600nmの光反射率を室温(25℃)にて測定した。その後、その試験片を110℃のホットプレートで加熱した状態で、強度1W/cm2の高圧水銀灯の光を、g線(436nm)バンドパスフィルターを通して15分間照射した後に、上記と同様にして波長600nmの光反射率を測定した(加速試験)。そして、上記加速試験前後での光反射率の低下度(光照射後の光反射率−光照射前の光反射率)を算出した。なお、測定には、上記と同様、日本分光社製の分光光度計V−670を使用した。
上記と同様にして作製した各試験片を用い、波長600nmの光反射率を室温(25℃)にて測定した。その後、その試験片を110℃のホットプレートで加熱した状態で、強度1W/cm2の高圧水銀灯の光を、g線(436nm)バンドパスフィルターを通して15分間照射した後に、上記と同様にして波長600nmの光反射率を測定した(加速試験)。そして、上記加速試験前後での光反射率の低下度(光照射後の光反射率−光照射前の光反射率)を算出した。なお、測定には、上記と同様、日本分光社製の分光光度計V−670を使用した。
[耐加熱変色性]
上記と同様にして作製した各試験片を用い、200℃×20時間加熱し、波長450nmの光反射率を測定した。なお、測定には、上記と同様、日本分光社製の分光光度計V−670を使用した。
上記と同様にして作製した各試験片を用い、200℃×20時間加熱し、波長450nmの光反射率を測定した。なお、測定には、上記と同様、日本分光社製の分光光度計V−670を使用した。
上記結果から、本発明に規定の、特定の粒度分布を示す酸化ジルコニウムを配合してなる実施例品は、成形物が薄くても、高い初期光反射率が得られ、さらに、長期耐光性、耐加熱変色性に関しても優れた結果が得られた。
これに対して、本発明の規定から外れる粒度分布を示す酸化ジルコニウムb6を用いた比較例品は、特に、初期光反射率に関し、実施例品に比べ、非常に劣る結果となった。
[光半導体(発光)装置の作製]
つぎに、上記実施例品である粉末を打錠したタブレット状の熱硬化性樹脂組成物を用いて、図1に示す構成の光半導体(発光)装置を製造した。すなわち、銅(銀メッキ)製の複数の対となった第1のプレート部1と第2のプレート部2を有する金属リードフレームをトランスファー成形機の金型内に設置し、上記熱硬化性樹脂組成物を用いてトランスファー成形(条件:175℃×2分間の成形+175℃×3時間キュア)を行なうことにより、図1に示す、金属リードフレームの所定位置にリフレクタ4(最薄厚み0.2mm)を形成した。ついで、光半導体(発光)素子(大きさ:0.5mm×0.5mm)3を搭載し、この光半導体素子3と上記金属リードフレームをボンディングワイヤー7,8にて電気的に接続することにより、リフレクタ4と、金属リードフレームと、光半導体素子3とを備えたユニットを製造した。
つぎに、上記実施例品である粉末を打錠したタブレット状の熱硬化性樹脂組成物を用いて、図1に示す構成の光半導体(発光)装置を製造した。すなわち、銅(銀メッキ)製の複数の対となった第1のプレート部1と第2のプレート部2を有する金属リードフレームをトランスファー成形機の金型内に設置し、上記熱硬化性樹脂組成物を用いてトランスファー成形(条件:175℃×2分間の成形+175℃×3時間キュア)を行なうことにより、図1に示す、金属リードフレームの所定位置にリフレクタ4(最薄厚み0.2mm)を形成した。ついで、光半導体(発光)素子(大きさ:0.5mm×0.5mm)3を搭載し、この光半導体素子3と上記金属リードフレームをボンディングワイヤー7,8にて電気的に接続することにより、リフレクタ4と、金属リードフレームと、光半導体素子3とを備えたユニットを製造した。
続いて、上記金属リードフレームとリフレクタ4の内周面とで形成される凹部5に、シリコーン樹脂(信越シリコーン社製、KER−2500)を充填して上記光半導体素子3を樹脂封止(成形条件:150℃×4時間)することにより透明な封止樹脂層6を形成し、リフレクタごとにダイシングにより個片化し、図1に示す光半導体(発光)装置を作製した。得られた光半導体(発光)装置は、高い初期光反射率とともに、長期耐光性、耐加熱変色性に優れたリフレクタ4を備えており、高信頼性を備えた良好なものが得られた。
本発明の光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物は、光半導体装置に内蔵された光半導体素子から発する光を反射させるリフレクタの形成材料として有用である。
1 第1のプレート部
2 第2のプレート部
3 光半導体素子
4,11 リフレクタ
5 凹部
6 封止樹脂層
7,8,12 ボンディングワイヤー
10 金属リードフレーム
2 第2のプレート部
3 光半導体素子
4,11 リフレクタ
5 凹部
6 封止樹脂層
7,8,12 ボンディングワイヤー
10 金属リードフレーム
Claims (10)
- 最薄箇所の厚みが0.2mm以下である、光半導体装置のリフレクタの形成材料であって、下記の(A)および(B)成分を含有することを特徴とする光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物。
(A)熱硬化性樹脂。
(B)熱硬化性樹脂硬化体中での、累積粒度分布における累積度95%粒度(D95)と累積度5%粒度(D5)との比(D95/D5)が1〜100の、酸化ジルコニウム。 - 熱硬化性樹脂硬化体中での、上記(B)成分の酸化ジルコニウムの平均粒子径(D50)が0.01〜1μmである、請求項1記載の光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物。
- さらに無機質充填剤を含有する、請求項1または2記載の光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物。
- 厚み方向の片面のみに光半導体素子を搭載するための板状の光半導体装置用リードフレームであって、互いに隙間を隔てて配置される複数のプレート部を備えるとともに、上記隙間に、請求項1〜3のいずれか一項に記載の光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物を用いて充填し、硬化してなるリフレクタが形成されてなることを特徴とする光半導体装置用リードフレーム。
- 光半導体素子搭載領域を備え、それ自体の少なくとも一部で素子搭載領域の周囲を囲んだ状態でリフレクタが形成されてなる立体状の光半導体装置用リードフレームであって、上記リフレクタが、請求項1〜3のいずれか一項に記載の光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物を用いて形成されてなることを特徴とする光半導体装置用リードフレーム。
- 上記リフレクタが、リードフレームの片面にのみ形成されている請求項5記載の光半導体装置用リードフレーム。
- 上記リフレクタがトランスファー成形または射出成形により光半導体装置用リードフレームに形成されてなる請求項4〜6のいずれか一項に記載の光半導体装置用リードフレーム。
- その片面に光半導体素子を搭載するための素子搭載領域を有するプレート部が、互いに隙間を隔てて配置され、上記素子搭載領域の所定位置に光半導体素子が搭載されてなる光半導体装置であって、上記隙間に、請求項1〜3のいずれか一項に記載の光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物を用いて充填し、硬化してなるリフレクタが形成されてなることを特徴とする光半導体装置。
- 光半導体素子搭載領域を備え、それ自体の少なくとも一部で素子搭載領域の周囲を囲んだ状態でリフレクタが形成されてなる光半導体装置用リードフレームの所定位置に光半導体素子が搭載されてなる光半導体装置であって、上記リフレクタが、請求項1〜3のいずれか一項に記載の光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物を用いて形成されてなることを特徴とする光半導体装置。
- リフレクタで囲まれた光半導体素子を含む領域をシリコーン樹脂にて樹脂封止されてなる請求項9記載の光半導体装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014227951A JP2015129257A (ja) | 2013-12-04 | 2014-11-10 | 光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、ならびに光半導体装置 |
PCT/JP2014/081497 WO2015083629A1 (ja) | 2013-12-04 | 2014-11-28 | 光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、ならびに光半導体装置 |
TW103141431A TW201529666A (zh) | 2013-12-04 | 2014-11-28 | 光半導體裝置用熱硬化性樹脂組成物及使用其製得之光半導體裝置用引線框、以及光半導體裝置 |
CN201480052989.9A CN105580148A (zh) | 2013-12-04 | 2014-11-28 | 光半导体装置用热固化性树脂组合物及使用其得到的光半导体装置用引线框以及光半导体装置 |
KR1020167007909A KR20160094367A (ko) | 2013-12-04 | 2014-11-28 | 광반도체 장치용 열경화성 수지 조성물 및 그것을 이용하여 얻어지는 광반도체 장치용 리드 프레임, 및 광반도체 장치 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013251259 | 2013-12-04 | ||
JP2013251259 | 2013-12-04 | ||
JP2014227951A JP2015129257A (ja) | 2013-12-04 | 2014-11-10 | 光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、ならびに光半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015129257A true JP2015129257A (ja) | 2015-07-16 |
Family
ID=53273392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014227951A Withdrawn JP2015129257A (ja) | 2013-12-04 | 2014-11-10 | 光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、ならびに光半導体装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015129257A (ja) |
KR (1) | KR20160094367A (ja) |
CN (1) | CN105580148A (ja) |
TW (1) | TW201529666A (ja) |
WO (1) | WO2015083629A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109282169B (zh) * | 2017-07-21 | 2021-10-26 | 深圳光峰科技股份有限公司 | 波长转换装置、包含其的光源及投影装置 |
CN109424942A (zh) * | 2017-07-21 | 2019-03-05 | 深圳光峰科技股份有限公司 | 波长转换装置、包含其的光源及投影装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3284244B2 (ja) * | 1991-05-31 | 2002-05-20 | 東ソー株式会社 | 酸化ジルコニウム粉末及びその製造方法 |
JP3733599B2 (ja) * | 1993-08-11 | 2006-01-11 | 住友化学株式会社 | 金属酸化物粉末およびその製造方法 |
JP2004035403A (ja) * | 2003-09-08 | 2004-02-05 | Nippon Shokubai Co Ltd | ジルコニア系粉体およびジルコニア系成形体 |
JP5256716B2 (ja) * | 2006-12-08 | 2013-08-07 | 東レ株式会社 | 樹脂組成物およびそれから得られる成形品 |
JP5721969B2 (ja) | 2010-06-11 | 2015-05-20 | 日東電工株式会社 | 光半導体装置のリフレクタ用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、ならびに光半導体装置 |
JP5760379B2 (ja) * | 2010-10-25 | 2015-08-12 | 日立化成株式会社 | 光半導体装置の製造方法及び光半導体装置 |
JP5919903B2 (ja) * | 2011-03-31 | 2016-05-18 | 三菱化学株式会社 | 半導体発光装置用パッケージ及び該パッケージを有してなる半導体発光装置並びにそれらの製造方法 |
JP5756054B2 (ja) * | 2012-04-16 | 2015-07-29 | 信越化学工業株式会社 | Ledのリフレクター用熱硬化性樹脂組成物並びにこれを用いたled用リフレクター及び光半導体装置 |
-
2014
- 2014-11-10 JP JP2014227951A patent/JP2015129257A/ja not_active Withdrawn
- 2014-11-28 KR KR1020167007909A patent/KR20160094367A/ko not_active Application Discontinuation
- 2014-11-28 TW TW103141431A patent/TW201529666A/zh unknown
- 2014-11-28 CN CN201480052989.9A patent/CN105580148A/zh active Pending
- 2014-11-28 WO PCT/JP2014/081497 patent/WO2015083629A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201529666A (zh) | 2015-08-01 |
CN105580148A (zh) | 2016-05-11 |
KR20160094367A (ko) | 2016-08-09 |
WO2015083629A1 (ja) | 2015-06-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101308173B1 (ko) | 열경화성 광반사용 수지 조성물 및 그 제조방법, 및 그 수지 조성물을 이용한 광반도체 소자 탑재용 기판 및 광반도체 장치 | |
JP2020023699A (ja) | 熱硬化性光反射用樹脂組成物およびその製造方法 | |
JP2011060819A (ja) | 光半導体素子収納用実装パッケージ用樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体発光装置 | |
JP2011074355A (ja) | 光半導体装置用樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、ならびに光半導体装置 | |
WO2014192707A1 (ja) | 光半導体装置用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、封止型光半導体素子ならびに光半導体装置 | |
TW201728610A (zh) | 光學半導體裝置用環氧樹脂組合物及使用其之光學半導體裝置 | |
JP5721969B2 (ja) | 光半導体装置のリフレクタ用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、ならびに光半導体装置 | |
WO2015083576A1 (ja) | 光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、ならびに光半導体装置 | |
KR101452981B1 (ko) | 광 반도체 소자 탑재용 기판, 이의 제조방법 및 이로부터 제조된 광반도체 장치 | |
JP5825650B2 (ja) | 光半導体リフレクタ用エポキシ樹脂組成物、光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、封止型光半導体素子ならびに光半導体装置 | |
WO2015083532A1 (ja) | 光半導体装置用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、封止型光半導体素子ならびに光半導体装置 | |
JP2017103470A (ja) | 光半導体素子搭載用基板及びその製造方法、並びに光半導体装置 | |
WO2015083629A1 (ja) | 光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、ならびに光半導体装置 | |
JP6883185B2 (ja) | 光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、光半導体装置、光半導体素子 | |
JP2005120230A (ja) | 光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた光半導体装置 | |
WO2017051838A1 (ja) | 光半導体装置用熱硬化性樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、光半導体装置、光半導体素子 | |
JP2005120229A (ja) | 光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた光半導体装置 | |
JP2015044903A (ja) | 光反射用熱硬化性樹脂組成物、光半導体素子搭載用基板及びその製造方法、並びに光半導体装置 | |
JP2015000885A (ja) | 光半導体装置用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いて得られる光半導体装置用リードフレーム、ならびに光半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170920 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20180315 |