EP0383972B1 - Ultraschall-Array mit trapezförmigen Schwingerelementen sowie Verfahren und Vorrichtung zu seiner Herstellung - Google Patents

Description

• Die Erfindung betrifft ein Ultraschall-Array mit einer Anzahl nebeneinander liegender Schwingerelemente, die an einer ersten und zweiten Elektrodenfläche, die einander gegenüberliegen, mit einem Elektrodenmaterial belegt sind, wobei alle Schwingerelemente mit ihrer zweiten Elektrodenfläche in einer Grundfläche angeordnet sind, welche Schwingerelemente eine erste und eine zweite Berandungsfläche aufweisen, die einander gegenüberliegen und nicht-parallel zueinander ausgerichtet sind, und welche Schwingerelemente so ausgerichtet sind, daß sich ihr Querschnitt von der ersten Elektrodenfläche zur zweiten Elektrodenfläche in gleicher Weise ändert. Die Erfindung bezieht sich auch auf ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Arrays.
• Ein Ultraschall-Array der eingangs genannten Art ist aus PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, Vol. 6, No. 132 (E-119) (1010), 17 Juli 1982 & JP-A-57-58 498 bekannt. Die ein Array bildenden Schwingerelementen sind trapezförmig ausgebildet und mit wechselnder Polaritätsrichtung so aneinandergereiht, daß sie einen Kreisbogen bilden. Durch die gleiche Form, aber verschiedene Polarisierungsrichtung der Schwingerelemente wird die Empfangsempfindlichkeit erhöht. Die bogenförmige Anordnung der Schwingerelemente erlaubt eine Sektorabtastung über eine fortlaufende Aktivierung der Schwingerelemente, wobei die Empfangsfläche an der äußeren Bogenseite angeordnet ist. Die Wandlerelemente können jedoch bei diesen Arraytyp nicht so angeordnet werden, daß sie einen maximal möglichen Öffnungswinkel oder Akzeptanzwinkel aufweisen, der eine Voraussetzung zum Aufbau eines Phased-Array ist.
• Ein weiteres Ultraschall-Array ist aus FIG 5 der DE-C-28 29 570 bekannt. Hierbei handelt es sich um ein Ultraschall-Array, das auf einem Träger oder Dämpfungskörper eine Anzahl nebeneinander liegender Ultraschall-Wandler- oder Schwingerelemente von trapezförmigem Querschnitt aufweist. Die mit Elektrodenmaterial belegten, einander parallel gegenüberliegenden ersten und zweiten Elektrodenflächen sind jeweils rechteckig ausgebildet. Zwei ebene Berandungsflächen laufen jeweils keilförmig aufeinander zu. Bei diesem Ultraschall-Array werden zwei Typen von Schwingerelementen abwechselnd nebeneinander eingesetzt: solche, bei denen die als Abstrahlfläche dienende erste Elektrodenfläche größer ist als die dem Dämpfungskörper zugewandte oder in einer Grundfläche angeordnete zweite Elektrodenfläche, und solche, bei denen umgekehrt die als Abstrahlfläche dienende erste Elektrodenfläche kleiner ist als die dazu parallele zweite Elektrodenfläche. In dieser DE-C-28 29 570 ist weiter angegeben, daß sich ein Ultraschall-Array, insbesondere ein solches mit Feinunterteilung der einzelnen Wandlerelemente, in einer Sägetechnik, z. B. mittels eines Laser-Schneidstrahls, herstellen läßt.
• Ein solches Ultraschall-Array ist nicht als Phased-Array-Applikator geeignet, da die beiden jeweils nebeneinanderliegenden Schwingerelement-Typen unterschiedliche Abstrahlcharakteristiken besitzen. Die Breite der Abstrahlfläche eines jeden Schwingerelementes muß kleiner oder gleich λ/2 sein, wobei λ die Wellenlänge des ausgesandten Ultraschalls im Ausbreitungsmedium ist. Diese Bedingung läßt sich in einem Ultraschall-Array mit zwei verschiedenen Schwingerelement-Typen nicht oder nur unvollkommen einhalten. Die Erfindung basiert daher auf der Forderung, daß in einem Ultraschall-Array mit Anwendung als Phased- Array-Applikator nur gleich ausgebildete Schwingerelemente eingesetzt werden sollten.
• Die ältere deutsche Patentanmeldung P DE-A-37 39 226 gibt an, daß akustische Querkopplungen zwischen den einzelnen Ultraschallwandlern eines Ultraschallwandler-Arrays verringert werden können, wenn die dem Tragkörper zugewandten zweiten Elektrodengrundflächen größer sind als ihre vom Tragkörper abgewandten Stirnflächen oder ersten Elektrodenflächen. Bei einem linearen Array entstehen so Ultraschallwandler, deren parallel zur Längsrichtung des Arrays verlaufende Querschnittsfläche die Gestalt eines gleichschenkligen Trapezes hat. Die gegenüberliegenden Seitenflächen der zwischen den Ultraschallwandlern befindlichen Trennfugen sind dann nicht mehr parallel und die Querschnittsfläche der Trennfuge hat dann eine trapezförmige Gestalt. Die Herstellung derartiger Trennfugen mit trapezförmigem Querschnitt kann beispielsweise mittels zweier zueinander in einem spitzen Winkel geneigter Sägeschnitte durchgeführt werden. Bei größeren Ultraschallwandler-Arrays ist jedoch der Anstellwinkel des Sägeblatts relativ zur Stirnfläche des Arrays begrenzt. Außerdem sind exakte Schrägschnitte nur mit größerem technischen Aufwand zu realisieren.
• Die Erfindung hat sich zum Ziel gesetzt, ein aus einzelnen Schwingerelementen aufgebautes Ultraschall-Array anzugeben, das die Erzeugung von kurzen Ultraschallimpulsen mit einer Mittenfrequenz im Bereich von 1 bis 50 MHz mit hoher Bandbreite ermöglicht. Die Schwingerelemente, die aus einem beidseitig mit Elektrodenmaterial belegten piezoelektrischen Keramikmaterial bestehen, sollen dabei als Dickenschwinger arbeiten. Die Richtdiagramme der einzelnen Schwingerelemente, und zwar aller Schwingerelemente, sollen einen möglichst großen Öffnungswinkel besitzen, damit das Ultraschall-Array als lineare Phased-Array-Antenne eingesetzt werden kann, die dem Abtasten (Scannen) akustisch transparenter Medien mit Hilfe von Ultraschall-Impulsen dient, vorzugsweise zur Ultraschall-Untersuchung von Patienten. Natürlich sollen die einzelnen Schwingerelemente hohe Sende- und Empfangsübertragungsfaktoren aufweisen.
• Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, ein Ultraschall-Array der eingangs genannten Art anzugeben, das als Phased-Array-Antenne zum Abtasten akustisch transparenter Medien eingesetzt werden kann. Weiterhin sollen ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Ultraschall-Arrays sowie eine Vorrichtung für die Herstellung angegeben werden.
• Die erstgenannte Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 für AT, CH, GB, FR, LI und NL.
• Es werden somit alles gleichartige Schwingerelemente mit nicht- parallelen Berandungsflächen eingesetzt. Alle Schwingerelemente haben somit dieselbe Richtcharakteristik und - bei geeignet gewählter Dimensionierung - alle denselben Öffnungswinkel geeigneter Größe.
• Die Anordnung ist so getroffen, daß die der Abstrahlfläche der Schwingerelemente zugewandte erste Elektrodenfläche jeweils kleiner ist als die dem Dämpfungskörper zugewandte zweite Elektrodenfläche.
• Das Verfahren zur Herstellung eines solchen Ultraschall-Arrays geht aus von einer Methode, bei der ein piezoelektrisches Material mit einem Laser-Schneidstrahl an parallel beabstandeten Linien bestrahlt wird. Die zweitgenannte Aufgabe wird unter Zugrundelegung dieser Methode erfindungsgemäß dadurch gelöst (Anspruch 1 für DE und Anspruch 7 für AT, CH, GB, FR, LI und NL.), daß eine piezoelektrische Keramik nur an einer Seite mit konvergierendem Laserlicht an den parallel beabstandeten Linien bestrahlt wird derart, daß in der Keramik nebeneinanderliegende Einschnitte mit nicht-parallelen Wänden entstehen.
• Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens enthält einen Laser, dessen Laserstrahl auf ein piezoelektrisches Material lenkbar ist. Zwischen dem piezoelektrischen Material und dem Laser ist eine Fokussiereinrichtung angeordnet, die auf dem piezoelektrischen Material einen konvergierenden Laserlicht-Schneidstrahl erzeugt.
• Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im folgenden anhand von sechs Figuren näher erläutert. Es zeigen:

FIG 1

einen Ausschnitt eines Ultraschall-Arrays in perspektivischer Ansicht;

FIG 2

einen zentralen Schnitt in Längsrichtung der Schwingerelemente des Ultraschall-Arrays nach FIG 1 zur Illustration der Elektrodenanschlüsse;

FIG 3

einen seitlichen Blick auf die Schwingerelemente des Ultraschall-Arrays nach FIG 1 zur Illustration der Elektrodenanschlüsse;

Fig. 4

eine Vorrichtung mit einer Sammellinse zur Herstellung eines Arrays,

Fig. 5

eine Vorrichtung mit einer Zylinderlinse zur Herstellung eines Ultraschall-Arrays; und

Fig. 6

eine Vorrichtung mit einer Maske und einem Abbildungssystem zur Herstellung eines Ultraschall-Arrays.

• Bisher wurden in der Praxis vorwiegend Schwingerelemente mit gleicher quaderförmiger Geometrie in phasengesteuerten Ultraschall-Antennen (Phased Arrays) eingesetzt. Die parallelen geometrischen Begrenzungsflächen der Schwingerelemente führen nachteiligerweise zu sehr definierten und ausgeprägten Resonanzen der Querschwingungsmoden. Die Resonanzstellen solcher Wandler-oder Schwingerelemente ergeben sich unmittelbar aus der Schallausbreitungsgeschwindigkeit und der geometrischen Länge oder Breite nach folgender Gleichung (1):
  
  $${\text{f}}_{\text{res}}\text{=}\frac{\text{c}}{\text{2w}}\text{(2n+1) (1)}$$

  

  
  
  mit
     n = 0,1,2,3,... und

f_res:

Resonanzfrequenz der Schwingerelemente,

c:

Schallausbreitungsgeschwindigkeit,

w:

Breite (bzw. Länge) des Schwingers.

• Diese ausgeprägten Resonanzen sind zwar in Dickenrichtung z durchaus erwünscht. In Querrichtung (x und/oder y) jedoch haben solche Moden parasitären Charakter. Sie deformieren das Ultraschallfeld und reduzieren den Wirkungsgrad. Die Unterdrückung dieser parasitären Schwingungsmoden ist daher wesentlich.
• Nach Fig. 1 enthält ein als Phased-Array für medizinische Zwecke geeignetes Ultraschall-Array 2 eine Anzahl nebeneinanderliegender Schwingerelemente 4. Kern jedes Schwingerelementes 4 ist ein piezoelektrisches Material 6, insbesondere eine Piezokeramik wie z. B. vom PZT-5 Typ, das an einander parallel gegenüberliegenden ersten und zweiten Elektrodenflächen mit einem Elektrodenmaterial 8 bzw. 10 belegt ist. Alle (nicht quaderförmigen) Schwingerelemente 4 sind gleich und sind so ausgerichtet, daß sich ihr Querschnitt in Richtung von der ersten zur zweiten Elektrodenfläche 8 bzw. 10 in derselben Weise kontinuierlich ändert, hier ist die erste Elektrodenfläche 8 kleiner als die zweite Elektrodenfläche 10. Alle Schwingerelemente sind mit ihrer zweiten Elektrodenfläche 10 in einer Grundfläche angeordnet. Zur Vermeidung definierter Querresonanzen werden Schwingerelemente 4 mit einander gegenüberliegenden, nicht parallelen ersten und zweiten Berandungsflächen 12 bzw. 14 in Querrichtung x verwendet. Auch die dritten und vierten Berandungsflächen in Längsrichtung y jedes Schwingerelementes 4, die in Fig. 1 mit 16 und 18 bezeichnet sind, sind vorzugsweise nicht-parallel zueinander. Dies hat zur Folge, daß obige Resonanzbedingung (1) für diese Raumrichtungen x, y nicht mehr erfüllt ist.
• Beispielsweise eignet sich dazu jeweils ein Schwingerelement 4 mit trapezförmigem Querschnitt, wie in Fig. 1 gezeigt. Die seitlichen Berandungslinien des Trapezes kann man sich zur Veranschaulichung durch eine Treppenfunktion approximiert denken. Für jede dieser Treppenstufen gilt die obige Resonanzbedingung (1). Man erreicht durch den trapezförmigen Schwingerquerschnitt also die Verschmierung einer definierten Querresonanz, die bei parallelen Wänden aufträte, auf das Frequenzband, das durch f_resu und f_reso gegeben ist:

  

  
  wobei

w_u:

Länge der unteren Trapezkante und

w_o:

Länge der oberen Trapezkante bedeutet.

• Auch/oder der jeweilige Längsschnitt kann trapezförmig ausgebildet sein.
• Durch Schwingerelementgeometrien mit nicht-parallelen Berandungsflächen 12, 14 und/oder 16, 18 werden die parasitären Schwingungsmoden unterdrückt, während der Nutzmode (= Dickenmode) angehoben wird.
• Die einzelnen Schwingerelemente 4 befinden sich auf einem gemeinsamen Dämpfungskörper 20, dessen Oberfläche die Grundfläche darstellt, in der die zweiten Elektrodenflächen 10 der Schwingerelemente 4 angeordnet sind. Dieser kann bekanntermaßen aus einem mit Teilchen gefüllten Kunststoff, der z. B. auf Epoxid-oder Polyurethan basiert, bestehen. Die einzelnen Schwingerelemente 4 mit im wesentlichen glatten Berandungsflächen 12, 14 sind dabei durch V-förmige Spalte oder Einschnitte 22 voneinander getrennt. Es ist bemerkenswert, daß sich die V-förmigen Einschnitte 22 bei der vorliegenden Ausführung jeweils bis in den Dämpfungskörper 20 hinein erstrecken. Jedes Schwingerelement 4 ist abstrahlseitig mit einer Ankoppelschicht 24 versehen. Es ist also hervorzuheben, daß bei der vorliegenden Ausführung nicht eine gemeinsame, alle Schwingerelemente 4 überdeckende Ankoppelschicht eingesetzt wird. Vielmehr sind vorliegend die einzelnen Ankoppelschichten 24 ebenfalls durch den V-förmigen Spalt 22 voneinander getrennt. Dies gewährleistet eine gute akustische Entkopplung. Der für alle Schichten 24, 8, 6, 10 und 20 gemeinsame Einschnitt 22 wird bei der Herstellung des Ultraschall-Arrays 2 jeweils in einem Arbeitsgang hergestellt. Die Ultraschall-Abstrahlfläche auf jeder Ankoppelschicht 24 ist jeweils mit 26 bezeichnet.
• Es hat sich gezeigt, daß ein Keilwinkel von 2° bis 3° des Einschnitts 22 für die Verhinderung von Quermoden ausreichend ist. Dieser Keilwinkel ist durch die Nichtparallelität der Berandungsflächen 12, 14 bestimmt.
• Vorliegend ist also die der Abstrahlfläche der Schwingerelemente 4 zugewandte erste Elektrodenfläche 8 kleiner als die der Dämpfungsschicht 20 zugewandte wirksame zweite Elektrodenfläche 10.
• In einem realisierten Ausführungsbeispiel betrug der Keilwinkel 2,5°, die Dicke t des einzelnen Schwingerelements 4 t = 0,4 mm, die Länge l = 12 mm und die Breite w_u = 0,2 mm. Anzumerken ist, daß die zu verwendende Dicke t vom Piezomaterial und die Breite w_u vom Medium, in dem sich nach der Ankopplung der Ultraschall ausbreitet, abhängig ist. Die Breite w_u sollte kleiner oder gleich λ/2 sein, wobei λ die Wellenlänge ist. Die Dicke t und die Breite w_u sollten sich um einen Faktor 2 oder größer unterscheiden. Vorliegend wurde bei der Dimensionierung ein Faktor von ziemlich genau 2 gewählt.
• In der verkleinerten Seitenansicht von Fig. 2 ist schematisch dargestellt, daß die abstrahlseitige erste Elektrode 8 seitwärts an beiden Rändern umgebogen und von den Rändern über eine Masseleitung 28 elektrisch zu einem gemeinsamen Punkt 30, z. B. zu einem geerdeten Anschluß 32, geführt ist. Die rückseitige zweite Elektrode 10 hat einen Mittelabgriff, der über eine Leitung 34 mit einem weiteren Anschluß 36 verbunden ist.
• Aus Fig. 3 ergibt sich, daß seitwärts eine Anzahl von nach unten geführten Leitungen 34 aus dem Ultraschall-Array 2 herausragen.
• Schwingerelemente 4 mit nicht-parallelen Berandungsflächen 12, 14 und/oder 16, 18 sind mit den üblichen Bearbeitungsverfahren (mechanisches Sägen oder Trennschleifen) nur unter großen Schwierigkeiten herzustellen. Deshalb wird dieses Problem vorliegend durch den Einsatz einer Einrichtung mit Laser-Sägetechnik ("Laser-Säge") gelöst. Prinzipiell können hierfür verschiedene Arten von Lasern verwendet werden, wie z. B. Argon-Ionen- und Nd-YAG-Laser. Dabei ist allerdings Voraussetzung, daß die Energie zum Schneiden in sehr kurzen energiereichen Impulsen dem vorbereiteten Schichtenpaket 40 (bestehend aus den Schichten 24, 8, 6, 10, 20 mit Piezokeramik 6) zugeführt wird, so daß in der Umgebung der Schnittkante oder Rille keine größere Erhitzung des Materials eintritt. Diese wurde eine hohe Bleiverarmung in der PZT-Keramik 6 hervorrufen, so daß die Keramik 6 in der entsprechenden Umgebung des jeweiligen Schnittes, z. B. des Einschnitts 22, inaktiv würde.
• Da die Keramik 6 für das Licht der obengenannten Laser prinzipiell durchsichtig ist, erfolgt die Absorption der Laserstrahlung nur aufgrund nichtlinearer Effekte. Dies bedingt, daß die Schnittoberflächen nicht sehr glatt werden und an den Kanten 22 Wülste entstehen.
• Nach den Vorrichtungen von Fig. 4 bis 6 kommt deshalb zur Vermeidung von Überhitzungen und zur Erzielung glatter Flächen ein Excimer-Laser 42 zum Einsatz, dessen im ultravioletten Bereich liegendes Licht direkt von der Piezokeramik 6 im Schichtenpaket 40 absorbiert wird.
• Nach Fig. 4 wird die aus dem Laser 42 austretende Strahlung 44 mit einer Fokussiereinrichtung 46, die einen Punktfokus 48 erzeugt, also vorzugsweise mit einer Sammellinse, fokussiert und auf die abzutragende Stelle der Keramik 6 im Paket 40 eingestrahlt. Durch die Fokussiereinrichtung 46 kann die gewünschte V-Form der Einschnitte 22 und damit die Trapezform der Schwingerelemente 4 gewählt werden. Die Einschnitte 22 entstehen nun durch eine relative Bewegung der piezoelektrischen Keramik 6 und des Laserlichts mit dem Punktfokus 48 während der Bestrahlung zueinander. Vorzugsweise wird nur das Schichtenpaket 40 zur Erzeugung der Einschnitte 22 bewegt. Dazu ist das Schichtenpaket 40 auf einen Halter 50 montiert, der in Pfeilrichtung 52 bewegt wird.
• Die Vorrichtung nach Fig. 5 ist ähnlich aufgebaut wie die Vorrichtung nach Fig. 4. Die Fokussiereinrichtung 46 besteht hier aus einer Zylinderlinse, die das Laserlicht 44 zu einem Strichfokus 54 konvergiert, der die Länge des Einschnittes 22 aufweist. Durch die Verwendung des Strichfokus 54 zur Erzeugung der Einschnitte 22 kann die Relativbewegung, die durch den Pfeil 52 in Fig. 4 angedeutet ist, vermieden werden.
• Der Abstand der Einschnitte (22, d. h. die Breite w der Schwingerelemente 4, wird in Fig. 4 und 5 durch entsprechenden mechanischen (schrittweisen) Vorschub des Pakets 40 quer zur Hauptstrahlrichtung s des Laserstrahls eingestellt. Dazu wird dieses Paket 40 mit dem Halter 50 schrittweise in Pfeilrichtung 56 bewegt.
• Eine weitere Vorrichtung zur Herstellung von V-förmigen Einschnitten zeigt Fig. 6. Die aus dem Laser 42 austretende Strahlung 44 wird über die Strahlaufweitungseinrichtung 58 verbreitert, so daß der aufgeweitete Laserstrahl 59 die gesamte Array-Fläche bestrahlt. Der Laserstrahl 59 passiert dann eine Maske 60, die mit Schlitzen 62 versehen ist. Die Anordnung der Schlitze 62 stellt ein Abbild der nebeneinanderliegenden Einschnitte 22 in der Keramik 6 dar. Diese Maske 60 wird mit der Fokussiereinrichtung 46, die nun ein abbildendes System darstellt, auf der Oberfläche des Schichtenpakets 40 abgebildet, so daß aus dem aufgeweiteten Laserstrahl 59 ebenso viele Linienfokusse gleichzeitig erzeugt werden, wie Einschnitte 22 in die Keramik 6 einzubringen sind. Die Vorrichtung nach Fig. 6 erlaubt somit die Herstellung aller parallel beabstandeten Einschnitte 22 im Ultraschall-Array 2 in einem Arbeitsgang.
• Bei den Herstellverfahren nach Fig. 4 bis 6 wird durch die Anzahl der Laserimpulse die Schnittiefe der Einschnitte 22 eingestellt. Dies ist mit sehr hoher Wiederholgenauigkeit möglich.

Claims (15)

1. Verfahren zur Herstellung eines Ultraschall-Arrays mit einer Anzahl nebeneinanderliegender Schwingerelemente (4), bei dem ein piezoelektrisches Material mit einem Laser-Schneidstrahl an parallel beabstandeten Linien bestrahlt wird, dadurch gekennzeichnet, daß eine piezoelektrische Keramik (6) nur an einer Seite mit konvergierendem Laserlicht (44) an den parallel beabstandeten Linien bestrahlt wird derart, daß in der Keramik (6) nebeneinanderliegende Einschnitte (22) mit nicht-parallelen Wänden (12, 14; 16, 18) entstehen und die Schwingerelemente gebildet werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Laserlicht (44) in einem Punktfokus (48) konvergiert und daß der Einschnitt (22) durch eine relative Bewegung der piezoelektrischen Keramik (6) und des Laserlichts während der Bestrahlung zueinander entsteht.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Laserlicht (44) in einem Strichfokus (54) konvergiert, der die Länge des Einschnittes (22) aufweist.
4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß nach jedem Bestrahlen die Keramik (6) um einen Schritt quer zur Hauptstrahlungsrichtung (s) verschoben wird.
5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung des in dem Strichfokus (47) konvergierenden Laserlichts ein Laser (42) vorgesehen ist, dessen Laserstrahl (44) auf eine Zylinderlinse gelenkt ist.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Laserlicht (44) über eine Maske (60) gelenkt wird, die mit Schlitzen (62) versehen ist, wobei die Anordnung der Schlitze (62) ein Abbild der nebeneinanderliegenden Einschnitte (22) in der Keramik (6) ist und daß diese Maske (60) während des Bestrahlens auf der Keramik (6) so abgebildet wird, daß nebeneinanderliegende Einschnitte (22) entstehen.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß an jeder der parallel beabstandeten Linien mehrere Laserlichtimpulse in die Keramik (6) eingestrahlt werden.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung des Laserlichts ein Laser (42) vorgesehen ist, dessen Laserlicht (44) im ultravioletten Bereich liegt.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Laser (42) ein Excimer-Laser ist, dessen Laserlicht (44) von der piezoelektrischen Keramik (6) absorbiert wird.

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