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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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1. Gebiet der Erfindung
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Die
Erfindung betrifft allgemein eine Vorrichtung zur Durchführung von
Nachweisen wie bspw. chemischen Nachweisen und biochemischen Reaktionen
oder dergl. an Reaktionsstellen auf einem Substrat. Insbesondere
betrifft sie eine Vorrichtung zur Durchführung von Nachweisen wie bspw.
chemischen Nachweisen und biochemischen Reaktionen durch Abgabe
eines oder mehrerer gewählter
Aliquots (Proben) an eine oder mehrere Reaktionsstellen auf einem
Substrat, bei dem es sich um eine Vielzahl von Schichten eines Halbleitermaterials
handeln kann.
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2. Beschreibung verwandter
Technik
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Vor
der verhältnismäßig jungen
kombinatorischen Chemie und genetischen Forschung und dem dadurch
erzeugten Bedarf an Analyse- und Auswahlprüftechniken mit hohen Durchsatz
hat man derartige Nachweise mit Phiolen, Reagenzgläsern und
Bechern durchgeführt.
Seit jedoch durch die Synthese oder kombinatorische Techniken immer
mehr Substanzen zur Prüfung
vorliegen, muss man die Rolle von Tausenden oder gar Millionen von
Substanzen in einer vergleichbaren Anzahl von möglichen Reaktionen prüfen können. Die
Miniaturisierung hat sich als viel versprechender Weg zu einer wirksameren – bspw.
weniger teuren – Analyse
und Auswahlprüfung von
Chemikalien und insbesondere Drogen erwiesen. Diskussionen verschiedener
Aspekte solcher Techniken finden sich in J.D. Devlin (Hrsg.), High
Throughput Screening: The Discovery of Bioactive Substances (Marcel
Dekker, Inc., New York, 1997), wo der Stand der Technik, der der
vorliegenden Erfindung zugrunde liegt, ausführlicher beschrieben ist.
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Die
Miniaturisierungsvorrichtungen lassen sich allgemein in mindestens
zwei Kategorien einteilen. Bei einer ersten Kategorie geht es darum,
chemische Substanzen in kleinen Mengen an bestimmten Stellen auf
einem Glas- oder dergl. Substrat aufzubringen. In der Mikrochemie
gibt es Prozesse, die in kleinen Volumen bspw. zwischen Nanoliter-
und Mikroliter-Aliquots ausgeführt
werden, so dass die Reaktionszeiten erheblich kurzer sein können als
die in Reaktionsgefäßen, die
größenordnungsmäßig einen Bruchteil
eines Milliliters enthalten, wie es derzeit bei einem "von Hand" arbeitenden Labortechniker
der Fall ist. Zusätzlich
zu mikrochemischen Prüfung
lassen sich Niveaus des Genausdrucks großmaßstäblich untersuchen.
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Ein
Beispiel dieser ersten Kategorie ist die Entwicklung der Mikroplättchen-Technologie mit Glassubstraten
mit Reaktionsstellendichten von etwa 10.000. Diese Technologie kann
die Anwendung komplexer Mikrorobotik oder der Tintenstrahl-Technik beinhalten,
um chemische und biochemische Substanzen auf ausgewählte Stellen
auf den Substraten aufzubringen. Häufig wird mindestens einer
der Recktanten in einer auszuführenden
chemischen Prüfung
chemisch an die Reaktionsstelle gebunden oder dort sonstwie immobilisiert.
Dies geschieht, um Fluide der Reaktionsstelle hinzuzufügen oder
von ihr zu entfernen, ohne mindestens ein Zwischen- oder Endprodukt
mitzuentfernen, das/die an der Reaktionsstelle verbleiben sollte,
um das Ergebnis der chemischen Prüfung erfassbar zu machen.
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Die
Fa. Orchid Biocomputer ("Orchid"), Princeton, New
Jersey, USA, hat einen kreditkartengroßen Glas-Chip mit 10.366 Reaktionsstellen
angekündigt.
Vergl. M. Leach, Update: Discovery on a Credit Card?, DRUG DISCOVERY
TODAY, 253-4 (Vol. 2, No. 7 (Juli 1997)). Bspw. kann jede Reaktionsstelle eine
Fläche
von 100 m bedecken und weniger als 1 l Volumen enthalten. Der Chip
ist ein Glas-Sandwich aus einzelnen Chip-Schichten, die verklebt
werden und Kanäle
bilden, um Substanzen zwischen den Reaktionsstellen zu bewegen.
Derartige Kanäle
werden in dieser Vorrichtung ausgebildet, indem man in eine erste
Schicht Rillen einbringt (bspw. einätzt) und sie dann mit einer
zweiten Schicht sandwichartig abdeckt.
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Eine
zweite Kategorie von Miniaturisierungsvorrichtungen arbeitet mit
Silicium in irgendeiner funktionellen – bspw. elektrischen oder mechanischen – Modalität als Substrat;
das Prüfen
von Chemikalien erfolgt dann auf dem Substrat. In einigen Fällen lassen
sich bei solchen Substraten die Mikrorobotik oder die Mikrochemie
oder beide anwenden. Bspw. kann der Orchid-Chip zum Transport von
Substanzen zwischen den Reaktionsstellen mit Mikrofluidik-Pumpen
arbeiten, bspw. elektronischen Pumpen ohne sich bewegende Teile.
Die Fa. Nanogen, Inc. hat ebenfalls eine mikroelektronische Vorrichtung
zur Handhabung niedriger Verdünnungen
von geladenen Molekülen
entwickelt. Im Gegensatz zur Orchid-Vorrichtung, bei der man mit
elektrokinetischem Druckpumpen kann, arbeitet die Nanogen-Vorrichtung
mit Elektrophorese als Antrieb zur Analyse chemischer Reaktionen,
die an etwa 25 über
die Oberfläche
des Silicium-Substrats verteilten Reaktionsstellen stattfinden.
Das elektrokinetische Pumpen ist als Kombination der Elektrophorese
mit der Elektroosmose beschrieben worden.
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Bei
andere Entwicklungen geht es um Produkte, die Silicium-Substrate
oder -Vorrichtungen für chemische
Prüfungen
einsetzen, die mit elektrischer oder mikromechanischer Technologie
oder beiden arbeiten. Bspw. hat die Fa. Syn teni, Inc. ein Verfahren
entwickelt, das den Ausdruck Tausender von Genen mit mikroskopischen
cDNS-Abschnitten auf einem Substrat gleichzeitig misst. Auch die
Fa. Genometrix, Inc. setzt eine Fluoroszenz-Analysetechnik ein,
die im Ansatz dem Synteni-Verfahren zu ähneln scheint, aber die Reaktionen
in einem Miniaturmaßstab
ausführt,
d.h. auf einer Folie, die schließlich auf einen Reaktionsleser
aufgesetzt wird. Ein solcher Leser wird aus einem Silicium-Chip
oder -Wafer hergestellt, der modifiziert ist, um als Fotodetektor
(bspw. als ladungsgekoppelte Anordnung (CCD)) zu arbeiten.
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Die
auf der Schicht erzeugte Fluoreszenz erzeugt einen Fotostrom, der
einer CCD-Stelle eine elektrische Ladung zuführt und zur Analyse abnehmbar
ist – analog
zur Funktion eines CCD-Detektors in einer digitalen Kamera. So lässt sich
bekannte Digitalisierungstechnik mit dem gruppierten Aufbringen von
Chemikalien auf eine Kunststofffolie kombinieren. Die Kunststofffolie
mit der Reaktionsanordnung lässt
sich auf einen Silicium-Chip oder -Wafer aufbringen, der als der
Leser arbeitet. Beleuchtet man die Folie mit UV-Licht, geben die
Reaktionsstellen Fluoreszenz ab. Jede Reaktionsstelle auf der Folie
ist mit einer Analysestelle auf dem Leser ausgerichtet, so dass
eine Koordinate auf dem Leser einer Reaktionsstelle in der chemischen
Gruppierung entspricht.
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Nichtsdestoweniger
haben frühere
Versuche, mit hohem Durchsatz arbeitende Analyse- und Prüftechniken
für chemische
Reaktionen zu erreichen, komplexe Arbeitsvorgänge unter Einsatz von Folien
und Substraten oder komplexe Robotik für das präzise Platzieren der chemische
Verbindungen führenden
Fluide – oder
beides – erfordert.
Bei derartig komplexen Systemen kann der Ausfall einer einzelnen
Systemkomponente zum Ausfall des gesamten Systems führen. Weiterhin
sind solche komplexen Systeme – insbesondere
die mit Robotik arbeitenden – in
der Herstellung und Wartung kostenaufwendig.
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Die
WO-A-97/21090 offenbart eine Vorrichtung zur Durchführung einer
Vielzahl von Nachweisen mit einem Substrat mit konzentrisch angeordneten
Reaktionsstellen, einer Einrichtung zum Drehen des Substrats, einer
Fluid-Ausgabeeinrichtung
und einer Leseeinrichtung sowie mit Mitteln zum Ausrichten der Ausgabe-
und der Leseeinrichtung mit den Reaktionsstellen.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Es
hat sich also ein Bedarf ergeben für eine wirkungsvolle, einfach
zu betreibende, verhältnismäßig kostengünstig zu
erstellende und mit hohem Durchsatz arbeitende Vorrichtung zum Durchführen chemischer
Nachweise und biologischer Reaktionen an Reaktionsstellen auf einem
Substrat.
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Weiterer
Bedarf hat sich ergeben für
eine mit hohem Durchsatz arbeitende Vorrichtung, die es ermöglicht,
Analyse- und Auswahlprüftechniken
für die chemische
Analyse biochemischer Reaktionen in einem oder zwischen Aliquots
an diskreten Reaktionsstellen durchzuführen. Nach einer weiteren Besonderheit
der vorliegenden Erfindung lässt
die Ausgabe des bzw. der Aliquots sich selbsttätig und präzise steuern und kontrollieren – bspw.
durch ein drehbares Substrat und eine bewegliche Fluid-Ausgabeeinrichtung.
Es ist ein technischer Vorteil der Erfindung, dass sich unter Anwendung
einer Ätzgeometrie
Reaktionsstellen ausbilden lassen, die dahingehend zusätzlich vorteilhaft
sind, dass sie die Verdunstung abschwächen und das Ruckhalten eines
Teils des Fluids unterstützen.
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Ein
noch anderer Bedarf hat sich ergeben für eine leicht aufzubauende
sowie einfach und genau zu steuernde Vorrichtung zur Ausgabe eines
oder mehrerer Aliquots an Reaktionsstellen zur Durchführung chemischer
oder biochemischer Tests oder beider. Es ist eine Besonderheit der
Erfindung, dass die Vorrichtung eine hohe Genauigkeit bei der Ausgabe von
Fluiden an Reaktionsstellen erzielt. Es ist ein technischer Vorteil
der Vorrichtung, dass sie zum Bewegen und Plat zieren mindestens
eines Fluid-Ausgabeauslasses über
eine Reaktionsstelle vorverpackte Motore wie Linear- oder Rotations-Schrittschaltmotore
verwenden kann. Derartige Schrittschaltmotore bieten eine hohe Genauigkeit
und Reproduzierbarkeit der Bewegungen. Weiterhin erlauben solche
Schrittschaltmotore die Anwendung einer integrierten Steuerung mit
elektronischer Dämpfung sowie
einem integrierten Schrittschaltsystem. Darüber hinaus lassen die Steuerungen
für solche
Schrittschaltmotore sich leicht an die Forderung nach einem Betrieb
mit variabler und stetiger Geschwindigkeit anpassen.
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Ein
weiterer Bedarf hat sich ergeben für eine Vorrichtung, die auch
ohne komplexe Robotik mindestens einen Fluid-Ausgabeauslass auf
mindestens eine Reaktionsstelle ausrichtet. Es ist ein technischer Vorteil,
dass der/die Linear-Schrittschaltmotor/e den/die
Fluid-Ausgabeauslass/-auslässe
in einer Dimension entlang mindestens einer Schiene bewegt/en und
dass der/die Rotations-Schrittschaltmotor/e
das Substrat um eine Achse dreht/en. Es ist ein weiterer technischer
Vorteil der Verwendung von Linear- und Rotations-Schrittschaltmotoren,
dass sie in der Herstellung, Wartung und im Austausch weniger teuer
sind als komplexe Robotik.
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Ein
noch anderer Bedarf hat sich ergeben für eine Vorrichtung mit einem
Multifunktionskopf mit mindestens einer Fluid-Ausgabeeinrichtung
zur Ausgabe eines oder mehrerer Fluide an eine bzw. mindestens eine
einer Vielzahl von Reaktionsstellen sowie mit mindestens einer Leseeinrichtung.
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Die
Leseeinrichtung/en kann/können
mehrere Funktionen ausüben – einschl.
des Überwachens des
Fortschritts der Prüfungen,
des Abtastens der Reaktionsstelle/n, um die Ergebnisse von Prüfungen zu
bestimmen, das Auffinden einer oder mehrerer Reaktionsstellen durch
Lesen einer Ortsmarke und Heranführen
mindestens eines Ausgabeauslasses an eine oder mehrere Reaktionsstellen
mittels einer Spurmarkierung. Es ist ein technischer Vorteil des Multifunktionskop fes,
dass die Arbeitsweise und der Aufbau der Vorrichtung sich durch
das Zusammenfassen mehrerer Funktionen auf einem einzigen bewegbaren
Kopf vereinfachen. Es ist ein weiterer technischer Vorteil des Multifunktionskopfes,
dass eine einzige Steuerung sowohl die mindestens eine Fluid-Ausgabevorrichtung
als auch die mindestens eine Leseeinrichtung so positionieren kann,
dass Ausrichtfehler zwischen ihnen entfallen. Es ist noch ein anderer
technischer Vorteil des Multifunktionskopfes, dass sich schnell
oder augenblicklich auftretende Nachweise sofort nach der Einleitung
und bis zum vollständigen
Abschluss überwachen
lassen. Ein noch anderer technischer Vorteil der Vorrichtung ist, dass
ein Mikropositionierer wie bspw. ein 3-Achsen-Mikropositionierer
sich zur Durchführung
von Einstellungen ansteuern lässt,
wobei bspw. das Nachstellen in einem Bereich von weniger etwa 15 mm
mit etwa 1 μm
Genauigkeit entlang kartesischer Achsen an den Ort des mindestens
einen Fluid-Ausgabeauslasses und der Leseeinrichtung erfolgt.
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Die
Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Durchführung einer Vielzahl von Probenanalysen
wie bspw. einer Vielzahl von chemischer Probenanalysen oder einer
Vielzahl biochemischer Reaktionen mit einem axial drehbaren Substrat
mit einer Vielzahl radial gruppierter Reaktionsorte. Andere Probenanalysen sind
u.a. Zell- sowie physikalische und biophysikalische Analysen – bspw.
Chemolumineszenz, dielektrische Feldstärke, spezifischer Widerstand,
Impedanz, zirkularer Dichroismus, Brechungsfaktor, Oberflächen-Plasmonresonanz,
optische Absorption, Magnetresonanz und dergl. Die Probenkomponenten können u.a.
synthetische organische Verbindungen (bspw. Verbindungen mit einem
Molekulargewicht kleiner als 100.000, vorzugsweise kleiner als 10.000 und
am besten kleiner als 1000), Proteine (bspw. Enzyme, Amyloidproteine,
Rezeptoren, Cytokine und Antikörper),
Peptide, Oligopeptide, Nucleinsäuren (einschl.
modifizierter synthetischer Derivate derselben, DNS, RNS, Oligonucleotide
und monomere Nucleotide, Nucleoside, modifizierte synthetische Varianten
derselben und dergl.), Zellen (bspw. Bakterienzellen, Hefen oder
andere Pilzzellen, einzellige Organismen wie Protozoen, Tierzellen
einschl. Insekten-, Vogel- und Säugetierzellen
sowie Pflanzenzellen), Zellmembranen und andere Zellkomponenten,
Puffer, Salze, Ionen wie Metallionen, Lipide, Carbohydrate, Vitamine,
außerzelluläre Matrizen
oder Komponenten derselben sowie Blutserum oder andere Körperflüssigkeiten
sein.
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Das
Substrat kann aus Glas, Keramik, Halbleitermaterial, Kunststoff,
Verbundstoff und Kombinationen derselben hergestellt sein. Halbleitermaterialien
sind kristalline Feststoffe, deren elektrische Leitfähigkeit
zwischen der eines Leiter und der eines Isolators im Bereich von
105 S/m und 10–7 S/m
liegt und gewöhnlich
stark temperaturabhängig
ist. Halbleitermaterialien sind u.a. Silicium, Germanium und graues
Zinn. Bspw. kann das Substrat eine Vielzahl von Schichten aus Halbleitermaterial
aufweisen, die die Substratoberfläche teilweise oder vollständig bedecken.
Alternativ können
die Schichten sich über
einen Teil des oder das gesamte Substrat unter der Substratoberfläche erstrecken.
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Die
Vorrichtung weist weiterhin Einrichtungen zum Drehen und Steuern
der Drehung des Substrats sowie mindestens eine Fluid-Ausgabeeinrichtung
auf, mit der mindestens ein Fluid mindestens einer der Reaktionsstellen
zuführbar
ist. Die Dreheinrichtung kann einen Antrieb wie eine Druckluftturbine oder
einen Motor aufweisen. Die Fluid-Ausgabevorrichtungen weisen jeweils
einen Fluid Ausgabeauslass auf. Zusätzlich weist die Vorrichtung
Einrichtungen zum Identifizieren der mindestens eine Reaktionsstelle
sowie Einrichtungen auf, mit denen der mindestens eine Fluid-Ausgabeauslass
auf die mindestens eine Reaktionsstelle ausrichtbar ist.
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Insbesondere
kann die Vorrichtung mindestens einen Multifunktionskopf wie bspw.
einen 2-Funktionskopf mit mindestens einer Fluid-Ausgabeeinrichtung
auf, mit der mindestens ein Fluid mindestens einer der Reaktionsstellen
und mindestens einer Leseeinrichtung zuführbar ist. Die Leseeinrichtung
kann Mittel zum Auffinden einer Reaktionsstelle – bspw. die Einrichtung zum
Identifizieren einer Ortsmarke – und
zum Überwachen
der chemischen oder biochemischen Reaktionen an den Reaktionsorten aufweisen.
Die Fluid-Ausgabevorrichtungen weisen jeweils einen Fluid-Ausgabeauslass
auf. So lassen die Fluidik sowie die Ortsfinde- und Überwachungsfunktionen
der Vorrichtung sich in einem Multifunktionskopf zusammenfassen.
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Die
Arbeitsweise von Schrittschaltmotoren ist aus dem Stand der Technik
bekannt. Sie werden bspw. in Computer-Platten- und Diskettenlaufwerken benutzt.
Die Schrittbewegungen erhält
man durch elektromagnetische Steuerelemente. Obgleich die Vorrichtung
einen Rotations-Schrittschaltmotor aufweisen kann, kann die Dreheinrichtung
das Substrat auch mit einstellbarer oder im wesentlicher konstanter
Geschwindigkeit oder beiden drehen und die Drehung des Substrats
durch Einstellen der Geschwindigkeit und Richtung der Drehung steuern.
Weiterhin ist die Dreheinrichtung so steuerbar, dass sie das Substrat
mit einer solchen Geschwindigkeit dreht, dass ein Teil des mindestens
einen Fluids von der mindestens einen Reaktionsstelle durch eine
durch die Substratdrehung erzeugte Zentrifugalkraft entfernbar ist.
Darüber
hinaus kann mindestens ein Kanal die mindestens eine Reaktionsstelle
mit mindestens einer anderen Reaktionsstelle verbinden und die Dreheinrichtung
kann weiterhin so steuerbar sein, dass sie das Substrat mit einer
solchen Geschwindigkeit dreht, dass das mindestens eine Fluid durch
eine von der Substratdrehung erzeugte Zentrifugalkraft aus der mindestens
einen Reaktionsstelle durch den mindestens einen Kanal an die mindestens
eine andere Reaktionsstelle geschleudert wird.
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Das
der Reaktionsstelle zugeführte
mindestens eine Fluid kann mindestens eine erste Menge mindestens
eines Fluid-Aliquots und mindestens eine zweite Menge mindestens
eines Trennfluids aufweisen – bspw.
eines Lösungsmittels, Öls, Luft,
eines nicht mischbaren Fluids oder dergl. So kann die erste Menge
mindestens eines Fluid-Aliquots im wesentlichen identisch mit der
zweiten Menge mindestens eines Trennfluids sein. In einer anderen
Ausführungsform
können
die ersten Mengen des mindestens einen Fluid-Aliquots im wesentlichen
identisch sein, während
die zweiten Mengen des mindestens einen Trennfluids unterschiedlich
und im wesentlichen identisch sind. Bspw. kann für wasserbasierte Aliquots ein Öl oder Luft
ein bevorzugtes Trennfluid sein. Weiterhin kann die mindestens eine
Fluidausgabeeinrichtung eine oder mehr Pumpen, Saugeinrichtungen
sowie Zeitgeber zur Ansteuerung der Pumpen oder Saugeinrichtungen
oder beider aufweisen. Die eine oder mehreren Pumpen können Leitungen
und Ventile aufweisen, mit denen sie abwechselnd mindestens eine
der ersten Mengen – bspw.
in einem Bereich von etwa 0,0001 μl
bis 5 μl
und vorzugsweise etwa 3 μl
bis 5 μl
des ersten Aliquots – und mindestens
eine zweite Menge des mindestens einen Trennfluids in das Ausgaberöhrchen einsaugen und
das mindestens eine Aliquot und das mindestens eine Trennfluid abwechselnd
an den mindestens einen Fluidausgabeauslass unter einer kontrollierten Differenz
zum Umgebungsdruck um den mindestens einen Flud-Ausgabeauslass ausgeben.
Der oder die Zeitgeber können
dann die eine oder mehreren Saugeinrichtungen so ansteuern, dass
diese das Fluid von dem mindestens einen Fluid-Ausgabeauslass absaugen.
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Insbesondere
kann der mindestens eine Zeitgeber eine Strömungsrate der Strömung im
Ausgaberöhrchen
messen und die mindestens eine Saugeinrichtung de- und danach reaktivieren
derart, dass mindestens eine erste Menge des mindestens einen Aliquots
an die Reaktionsstelle ausgegeben wird. Die mindestens eine Saugeinrichtung
kann einen niedrigeren Saugzug als den den mindestens einen Ausgabeeinlass
umgebenden Umweltdruck erzeugen, bspw. einen Unterdruck, der ausreicht,
um Fluid von dem mindestens einen Ausgabeauslass abzusaugen. Alternativ
kann eine Vielzahl von Saugeinrichtungen unterschiedliche hohe Druckdifferenzen über die
Mündungen
der Saugeinrichtun gen erzeugen, bspw. unterschiedliche Unterdrücke bezüglich des
Umweltdrucks an den Ausgabeauslässen.
In einer noch anderen Alternative kann ein Katalog von Röhrchen jeweils
mit einer vorbestimmten Menge einer Chemikalie oder Lösung zur
Verwendung bei der Durchführung
eines chemischen Analyse oder einer biologischen Reaktion angelegt
werden. Eine Sollmenge der Chemikalie oder Lösung kann dann aus dem Röhrchen gesaugt
oder gepumpt und an einer oder mehreren Reaktionsstellen abgelegt
werden. Der unbenutzte Teil der Chemikalie oder Lösung kann
entsorgt oder zur Aufbereitung oder erneuten Benutzung aufgefangen
werden oder das Röhrchen kann
ebenfalls entsorgt oder aufgefüllt,
verschlossen und erneut benutzt werden. Erfindungsgemäß sind auch
andere Einrichtungen zum Ausgeben oder Entfernen von Fluiden von
Reaktionsstellen anwendbar. Vergl. bspw. D. W. Brandt, Multi plexed
Nanoliter Transfers für
High Throughput Drug Screening Using the BIOMEK 2000 and the High
Density Replicating Tool, J. BIOMOLECULAR SCREENING 2:111-116 (1997),
dessen Inhalt durch die Bezugnahme als Teil der vorliegenden Anmeldung
gelten soll, um den der vorliegenden Erfindung zu Grunde liegenden
Stand der Technik ausführlicher
zu beschreiben.
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Der
mindestens eine Ausgabeauslass kann bewegbar auf einer Schiene angeordnet
sein, die gradlinig über
das Substrat verläuft
und im wesentlichen parallel zur Substratoberfläche gerichtet – bspw. über dem
Substrat aufgehängt – ist; ein
erster Motor kann dazu dienen, das Substrat zu drehen. Die Ausrichteinrichtung
weist einen zweiten Motor auf, mit dem der mindestens ein Fluid-Ausgabeauslass entlang
der Schiene positionierbar ist. Wie bereits festgestellt, können der
erste Motor ein Rotations- und der zweite Motor ein Linear-Schrittschaltmotor sein.
Zusätzlich
kann die Ausrichteinrichtung einen Computer (u.a. ein Mikroprozessor
oder andere elektronische Einrichtung) sein, der Daten empfängt, verarbeitet
und ausgibt und für
den Ausgabeauslass einen Anfangsort auf der Substratoberfläche speichert. Der
Computer sowie andere, funktional mit ihm verknüpfte Elektronik einschl. bspw.
eines Signalgenerators wie bspw. eine elektromagnetische Energieguelle
sowie ein Abgleichsensor wie ein elektromagnetischer Energiesensor
können
Bewegungssignale an den ersten und den zweiten Motor liefern. So
erzeugen der Computer und die zusätzliche Elektronik Signale,
mit denen der Ausgabeauslass über
der Reaktionsstelle auf diese ausrichtbar ist. Alternativ kann der
mindestens eine Ausgabeauslass auf einem Schwenkarm gehaltert sein,
der über
die Oberfläche bspw.
des drehenden Substrats schwenkbar ist. In diese Ausführungsform
kann auch der zweite Motor ein Rotations-Schrittschaltmotor sein.
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Zusätzlich kann
die Vorrichtung den Multifunktionskopf in einem 2-Schritt-Vorgang positionieren.
Zuerst kann die Vorrichtung den Kopf in die Nähe einer gewählten Reaktionsstelle
bringen. Zweitens kann der Multifunktionskopf dann mittels der Identifizierungseinrichtung
die Positionierungsmarken abfragen bzw. lesen, um die gewählte Reaktionsstelle zu
identifizieren und die Ausgabevorrichtung auf sie auszurichten.
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Die
Identifizierungseinrichtung kann mindestens einen Sensor aufweisen.
Dieser Sensor kann auf diese gleiche Weise wie der Fluid-Ausgabeauslass
positioniert werden, d.h. er kann bspw. an einen Linear-Schrittschaltmotor
angesetzt sein, der auf einer Schiene über dem Substrat läuft. Vorzugsweise ist
der Sensor im Kopf enthalten. Dieser mindestens eine Sensor empfängt ein
vom Substrat ausgehendes Signal oder er sendet ein Abfragesignal
aus und empfängt
ansprechend auf dieses ein Ortssignal. Weiterhin kann der mindestens
eine Sensor mindestens eine Ortsmarke – bspw. ein Index- oder Spurmarke,
oder einen Stabcode einzeln oder in Kombination – auf der Substratoberfläche lesen.
Beispiele der Ortsmarkierung sind unten diskutiert – vergl.
die 7. Wie jedoch oben
festgestellt, kann die Ortsmarke eine Indexmarke, die die jeweilige
Reaktionsstelle identifiziert, sowie mindestens eine Spurmarke sein,
die die Ausrichteinrichtung dabei unterstützt, den Multifunktionskopf
und die ihm zugeordneten Fluid-Ausgabe- und Leseeinrichtungen über die
Reaktionsstelle zu führen.
Insbesondere kann das Erkennen der Spurmarke das Einführen des
Kopfes in die Reaktionsstelle durch ihre Größe oder Gestalt oder durch
ihre körperliche
Zuordnung zu dieser – d.h.
Entfernung von oder Richtung zu ihr – unterstützen.
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Die
Erfindung weist Vorrichtungen nach den beigefügten Nebenansprüchen 1 und
46 auf.
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Andere
Besonderheiten und technische Vorteile ergeben sich für den Fachmann
aus der folgenden ausführlichen
Beschreibung und den beigefügten
Zeichnungen.
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KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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Zum
vollständigeren
Verständnis
der vorliegenden Erfindung und deren technischer Vorteile wird nun
Bezug auf die folgende Beschreibung sowie die beigefügten Zeichnungen
genommen, in denen gleiche Bezugszeichen gleiche Teile bezeichnen.
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1 zeigt eine die vorliegende
Erfindung betreffende Vorrichtung in einer Perspektivdarstellung;
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2A zeigt als Perspektive
eine Fluid-Ausgabeeinrichtung mit einem Fluid-Ausgabeauslass auf einem
Linear-Schrittschaltmotor, die 2B, 2C zwei Ausführungsformen
einer Ausgabemechanik zum Steuern der Fluidausgabe durch den Fluid-Ausgabeauslass
an die Reaktionsstellen;
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3 zeigt als Perspektive
die die erfindung betreffende Vorrichtung mit einem Fluid-Ausgabevorrichtung
auf einem Schwenkarm und einer Abgleicheinrichtung;
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4A zeigt schaubildlich eine
andere Ausführungsform
der Fluid-Ausgabevorrichtung, die 4B vergrößert ein
Fluid-Zulaufröhrchen 20' mit einem Fluid
aus abwechselnden Mengen einer aliquoten Probe und eines Trennfluids
und die 4Cv ergrößert eine
Probe in einem Fluid-Zulaufröhrchen 20';
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5 zeigt als Perspektive
die die vorliegende Erfindung betreffende Vorrichtung mit einem
Multifunktionskopf mit einer Fluid-Ausgabe- und einer Leseeinrichtung;
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6 zeigt die Konfiguration
der Leseeinrichtung mit der Anordnung aus Lese- und Spur-LWLn von
unten;
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7 zeigt eine Ortsmarkierung
aus Spur- und Schaltmarken zum Heranführen des Multifunktionskopfes
an die Reaktionsstelle;
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8A zeigt als Perspektive
eine Reaktionsstelle auf einem Substrat und die 8B diese von oben;
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9A zeigt ein Substrat als
Perspektive, die 9B–9D Substratsektoren mit Ausführungsformen
von Reaktionsstellen von oben;
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10 zeigt von oben ein Paar
Reaktionsstellen von einem Kanal und einer mikrofluidische Einrichtung
verbunden;
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11 zeigt als Graph die Laserabtastung eines
Tröpfchens
Rhodamin-610-Lösung auf
einem Siliciumsubstrat;
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12A ist ein Graph der Vorwärts-Laserabtastung
eines Tröpfchens
Rhodamin-610-Lösung
auf einem Siliciumsubstrat, die 12B ein
Graph der Rückwärts-Laserabtastung
auf einem Siliciumsubstrat;
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13 zeigt als Graph das erfassbare
Tröpfchenvolumen
einer Rhodamin-610-Lösung
auf einem Siliciumsubstrat und die Auswirkung der Verdunstung auf
das Tröpfchenvolumen
mit der Zeit;
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14 zeigt als Graph die Fähigkeit
der Laser-Leseeinrichtung beim Lesen eines 3-Bit-Codes; und
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15 zeigt die Vorrichtung
als Blockschaltbild.
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AUSFÜHRLICHE
BESCHREIBUNG BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Die 1 zeigt nun als Perspektive
die die vorliegende Erfindung betreffende Vorrichtung. Eine Vorrichtung 1 zur
Ausgabe von Fluid an eine Reaktionsstelle weist ein Substrat 10 wie
bspw. einen Silicium-Wafer auf einer Plattform 12 mit einem
Rotations-Schrittschaltmotor (nicht gezeigt) bspw. des Typs Zeta
57-51-10 und einem
Treiber des Typs Zeta 4 der Fa. Parker Compumotor Company, Rohnert Park,
Kalifornien, V. St. A., auf. Der Rotations-Schrittschaltmotor dreht
das Substrat 10 in einer Richtung des Pfeils A. Eine Schiene 14 ist über dem
Substrat 10 aufgehängt
und verläuft
gradlinig über
es (halbiert es beispielsweise). Ein Linear-Schrittschaltmotor 16 bspw.
des Typs L20 der genannten Fa. Parker Compumotor Company ist auf
der Schiene 14 in einer Dimension entlang dieser in Richtung
des Pfeils B bewegbar gelagert.
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Der
Rotations-Schrittschaltmotor ist so steuerbar, dass er das Substrat 10 mit
einer Vielzahl variabler und konstanter Geschwindigkeiten in beiden Richtungen
A drehen kann. Bspw. kann hierzu ein Controller des Typs AT6200
der genannten Fa. Parker Compumotor Company eingesetzt werden. Weiterhin
kann der Rotations-Schrittschaltmotor so betrieben werden, dass
er das Substrat 10 stetig wie den Aufzeichnungsträger in einem
CD-Laufwerk, so dass eine Zentrifugalkraft entsteht, oder schrittweise dreht,
wobei das Substrat 10 weniger als eine volle Umdrehung
relativ zur Position des Linear-Schrittschaltmotors 16 bewegt
wird.
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Das
Substrat 10, die Plattform 12, die Schiene 14 und
der Linear-Schrittschaltmotor 16 lassen sich in einem Behälter 18 unterbringen.
Der Behälter 18 erlaubt
eine strenge Überwachung
und Kontrolle der Atmosphäre
um die Reaktionsstellen herum während
der Tests. Der Behälter 18 kann
luftdicht ausgeführt
sein, damit sich Staub und Feuchtigkeit nicht auf dem Linear- oder
dem Rotationsschrittmotor absetzen und dessen Arbeiten beeinträchtigen
können und sich
ein Über-
oder Unterdruck im Behälter 18 aufrecht
erhalten lässt.
Weiterhin können
Staub und Feuchtigkeit die chemischen oder biochemischen Reaktionen
oder beide an den Reaktionsstellen beeinträchtigen und deren Resultate
verfälschen.
So kann der Behälter 18 mit
einem Feuchtigkeits- und Temperatursensor 19 versehen sein,
so dass sich das Niveau sowie Änderungen
der Feuchtigkeit und der Temperatur erfassen lassen. Werden hohe
oder niedrige relative Werte der Feuchtigkeit oder Temperatur oder
beider festgestellt, kann man die Tests beenden oder die atmosphärischen
Bedingungen im Behälter 18 korrigieren.
Zusätzlich
lässt sich
die Umwelt im Behälter
konstrollieren, indem man einen Unterdruck erzeugt, den Luftdruck
erhöht,
die Umgebungstemperatur regelt oder eine vorbewstimmte Behälteratmosphäre erzeugt – bspw.
eine Stickstoff-, eine sauerstoffreiche, eine Edelgas- bzw. Inert-Atmosphäre einzeln
oder in Kombination. Wegen der Wichtigkeit, die Fluide in präzisen Mengen
an kleine Reaktionsstellen abzugeben, dient der Behälter 18 auch
dazu, Luftstörungen
an der Oberfläche
des Substrats 10 abzuschwächen oder zu beseitigen.
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Die 2A zeigt als Perspektive
eine Fluid-Ausgabeeinrichtung 2, die einen Linear-Schrittschaltmotor 16 aufweisen
und auf der Schiene 14 gelagert sein kann. Eine Fluidströmung aus
einer Folge dosierter Mengen mindestens eines Aliquots und mindestens
eines Trennfluids wird durch eine Fluid-Zu-/Rücklaufleitung 20 der
Fluidausgabeeinrichtung 2 zugeführt. Die Fluidausgabevorrichtung 2 weist
eine Plattform 15 auf, die an vier Plattformstützen 17 vom
Linear-Schrittschaltmotor 16 abgehängt ist.
Auf der Plattform 15 können
auch Komponenten zum Ausrichten eines Ausgabeauslasses 21 mit
einer Reaktionsstelle auf dem Substrat 10 angeordnet und
stabilisiert sein. Vorzugsweise ist der Fluid-Ausgabeauslass 21 so kurz wie
möglich,
um möglichst wenig
oder keinen toten Raum zu belassen.
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Von
der Fluid-Zu-/Rücklaufleitung 20 wird das
Fluid von einer Zulaufleitung 20' übernommen und an den Fluid-Ausgabeauslass 21 ausgegeben. Nicht
an den Ausgabeauslass 21 gegebenes Fluid wird über eine
Ruckleitung 20" zur
Fluid-Zu-/Rücklaufleitung 20 zurückgeführt. Weiterhin
kann Fluid, das an den Ausgabeauslass 21 weiter-, aber
nicht auf das Substrat 10 ausgegeben wird, durch eine Rückleitung 22 zurück gesaugt
werden. Eine Saugeinrichtung (nicht gezeigt) saugt nicht ausgegebenes Fluid
vom Ausgabeauslass 21 ab. Die Saugeinrichtung erzeugt über der
Mündung
der Rücklaufleitung 22 eine
Druckdifferenz derart, dass der Druck in der Saugleitung 22 niedriger
als der den mindestens einen Ausgabeauslass umgebende Druck ist – bspw. einen
Unterdruck, der ausreicht, um aus dem Ausgabeauslass 21 austretendes
Fluid zu entfernen.
-
Der
Linear-Schrittschaltmotor 16 erhält Bewegungssignale von einem
externen Rechner (nicht gezeigt) über eine Rechner-Verbindungsleitung (nicht
gezeigt). Entsprechend kann eine Zeitgabeeinrichtung 23 – bspw.
ein elektronischer Zeitgeber – die Strömungsrate
messen und die aus dem Ausgabeauslass 21 ausgegebene Fluidmenge
bestimmen; hierzu ist mindestens ein Strömungssensor 25 am Ausgabeauslass 21 angeordnet.
Bspw. können
Strömungssensoren 25 die
Unterbrechung oder Schwächung
eines elektromagnetischen Energiestrahls – bspw. eines Laser- oder hochenergetischen
Lichtstrahls – erfassen,
der über
die Öffnung
des Ausgabeauslasses 21 gerichtet ist. Die Strömungssensoren 25 können über eine
Zeitgabeleitung 24 mit der Zeitgabeeinrichtung 23 verbunden
sein. Weiterhin kann die Zeitgabeeinrichtung 23 auf einer
Zeitgabesignal-Rückleitung – bspw. 24' – und eine
Signalübertragungsleitung 120 an
einen Rechner (nicht gezeigt) gekoppelt sein, der die Saugeinrichtung
(nicht gezeigt) aktiviert und deaktiviert und so die Fluidmenge steuert,
die durch den Ausgabeauslass 21 auf das Substrat 10 ausgegeben
wird.
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Zusätzlich kann
eine Fluid-Ausgabevorrichtung 2 eine Erfassungsmechanik – bspw.
mit einem Multifunktionskopf – aufweisen,
um zu bestimmen, ob und wie weit an einer Reaktionsstelle eine chemische
Reaktion stattgefunden hat. Eine Lichtquelle (nicht gezeigt) kann über einen
Lichtqelleneingang 27 hoch intensives Licht an einen Lichteingabe-Lichtwellenleiter
(LWL) 27' der
Fluid-Ausgabevorrichtung 2 ausgeben.
Der Lichteingabe-LWL 27' ist
am Ausgabeauslass 21 so befestigt, dass hoch intensives
Licht sich auf mindestens eine Reaktionsstelle des Substrats 10 richten
lässt.
Die Menge und das Wesen des von der Reaktionsstelle reflektierten
Lichts kann das Auftreten und den Fortschritt der Reaktion ausweisen.
Das reflektierte Licht lässt
sich mit einem LWL 28 aufnehmen, der mit dem Empfangsende
ebenfalls am Ausgabeauslass 21 angeordnet ist. Weiterhin kann
Licht aus dem Zulauf-LWL 27' an
der mindestens einen Reaktionsstelle Fluoreszenz anregen, die dann
mit dem Empfangs-LWL 28 erfasst
wird. Vom Empfangs-LWL 28 aufgenommenes Licht wird an eine
Fotovervielfacher-Röhre 29 mit
einem Bandpassfilter geleitet, die ein elektrisches Signal erzeugt, das
das Wesen und die Stärke
des an der mindestens einen Reaktionsstelle reflektierten Lichts
beschreibt. Die Fotovervielfacher-Röhre kann auch ein Fotodioden-Array
sein. Fotodioden-Arrays sind bekannte Lichterfassungselemente einer
ladungsgekoppelten Anordnung (CCD). Alternativ kann der Erfassungsmechanik
elektromagnetische Energie zugeführt
und auf mindestens eine Reaktionsstelle des Substrats 10 gerichtet
werden. Auch hier können
die Stärke
und das Wesen der reflektierten elektromagnetischen Energie das
Auftreten und den Fortschritt der Reaktion ausweisen. Dieses Signal
wird dann auf der Signalübertragungsleitung 120 zur
Analyse an einen Rechner (nicht gezeigt) zurück geführt.
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Zusätzlich lässt sich
auf der Fluid-Ausgabevorrichtun 2 mindestens ein Sensor
anordnen, um Reaktionsstellen zu identifizieren, das Bestimmen eines
Anfangsorts für
den Ausgabeauslass 21 bezüglich der Oberfläche des
Substrats zu unterstützen oder
beides. Insbesondere kann der mindestens eine Sensor ein Signal
aus einem auf dem Substrat 10 platzierten Sender (vergl.
die 6C und die diesbezügliche Beschreibung
unten) aufnehmen oder der mindestens eine Sensor kann ein Abfragesignal
an das Substrat 10 (bspw. an einen Transponder an einer
Reaktionsstelle oder einer Gruppe von Reaktionsstellen) abgeben
und ansprechend hierauf ein Ortssignal aufnehmen. Weiterhin kann
der mindestens eine Sensor mindestens eine Ortsmarke – bspw. eine
Indexmarke oder einen Stabcode – auf
der Substratoberfläche
lesen bzw. diese abtasten. Eine solche Ortsmarke kann auch eine
Spurmarke beinhalten, mit der die Fluid-Ausgabevorrichtung 2 einer
Reaktionsstelle zufahrbar ist. Stabcodes, mikroskalierte Stabcodes
sowie Stabcode-Leser sind aus dem Stand der Technik bekannt.
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Die 2B und 2C zeigen zwei Ausführungsformen einer Ausgabemechanik 200 bzw. 200' zum Steuern
der Fluidausgabe durch einen Ausgabeauslass an die Reaktionsstellen.
In der 2B weist die
Ausgabemechanik 200 einen Teil des Fluid-Zulaufleitung 20' und einen Teil
der Fluid-Rücklaufleitung 20" auf, die eine
U-förmige
Verbindung bilden. Der Pfeil F zeigt den Strömungsweg des serialisierten
Fluids durch die U-förmige
Verbindung. Der Ausgabeauslass 21 erstreckt sich im wesentlichen rechtwinklig
zum Fluid-Strömungsweg,
wobei Fluid von der Fluid-Zulaufleitung 20' in die Fluid-Rücklaufleitung 20" fließt. Eine
erste elektromechanische Steuereinrichtung 202 wie bspw.
ein Elektromagnet steuert ein rücklaufseitiges
Ventil 204; sie erhält
Ansteuersignale 206 aus dem Zeitgeber 23. Vorzugsweise
sind die erste Steuereinrichtung 202 und das rücklaufseitige
Ventil 204 weit genug vom Ausgabeauslass 21 angeordnet,
dass Schwingungen, Bewegungen oder beides aus dem Arbeiten der ersten Steuereinrichtung 202 oder
des Ventils 204 oder beider die Ausrichtung des Ausgabeauslasses 21 auf die
mindestens eine Reaktionsstelle auf dem Substrat 10 nicht
stören.
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Fluid
lässt sich
der Fluid-Zulaufleitung 20' unter
eine Druckdifferenz zuführen,
die relativ zum Umluftdruck im Behälter 18 bestimmt wird,
aber hoch genug ist, um den größten Teil
des Fluids in der Fluid-Zulaufleitung 20' über die Ausgabeöffnung 208 und
in die Fluid-Rücklaufleitung 20" zu drücken; in den
Ausgabeauslass 21 eintretendes Fluid kann dann von der
Saugeinrichtung (nicht gezeigt) durch die Saug-Rücklaufleitung 22 aufgenommen
werden. Bei geschlossenem Ventil 204 fließt Fluid
aus der Fluid-Zulaufleitung 20' direkt zum Ausgabeauslass 21.
Da weiterhin der Ausgabeauslass 21 sich zur Spitze 210 hin
verjüngen
kann, kann die Strömungsgeschwindigkeit
des Fluids aus dem Ausgabeauslass 21 hinaus höher sein
als in der Fluid-Zulaufleitung 20'.
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Bspw.
kann die Auslassöffnung 210 einen Durchmesser
von weniger als etwa 10 μm,
vorzugsweise weniger als etwa 4 μm
haben. Bei einer Strömung
von etwa 2 μl/s
entsteht über
der Auslassöffnung 210 eine
Druckdifferenz in einem Bereich von etwa 0.01 bis 2000 psi [0,0007
bar bis 136 bar], vorzugsweise ein Überdruck im Bereich von etwa
50 bis 500 psi [3,45 bar bis 34,5 bar]. Werden Teile der serialisierten
Fluid von der Auslassöffnung 210 abgesaugt,
entsteht ein entsprechender, aber umgekehrter Druck über der Öffnung der
Saugrücklaufleitung 22 an
der Auslassöffnung 210.
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Die
in der 2C gezeigte Ausgabemechanik 200" weist ebenfalls
einen Teil der Fluid-Zulaufleitung 20' und einen Teil der Fluid-Rücklaufleitung 20" auf, die eine
U-förmige
Verbindung bilden. Der Pfeil F zeigt wieder den Strömungsweg
des serialisierten Fluids durch die U-förmige Verbindung. Der Ausgabeauslass 21 verläuft im wesentlichen
rechtwinklig zum Strömungsweg
des Fluids von der Zulaufleitung 20' zur Rücklaufleitung 20". Die erste
Steuereinrichtung 202 steuert das rücklaufseitige Ventil 204 und ein
erster Elektromagnet 206 kann vom Zeitgeber 23 angesteuert
werden. Weiterhin steuert eine zweite elektromechanische Steuereinrichtung 212 wie bspw.
ein Elektromagnet ein zulaufseitiges Ventil 214 und eine
zweite Steuereinrichtung 212 ist mit Signalen 206 aus
dem Zeitgeber 23 ansteuerbar. Zusätzlich weist die Ausgabemechanik 200' eine 4-Weg-Verbindung 216 mit
einer Ausgabeöffnung 208 zum
Ausgabeauslass 21 sowie einer Fluidpumpöffnung 218 mit Zugang
zu Fluiden (nicht gezeigt) auf, die eine Fluidpumpe 220 zuführt. Diese
Fluide können
die gleichen sein wie das bzw. die Trennfluide im serialisierten
Fluid. Vorzugsweise sind die erste und die zweite Steuereinrichtung 202, 212,
das rücklaufseitige Ventil 204,
das zulaufseitige Ventil 214 und die Fluidpumpe 220 weit
genug vom Ausgabeauslass 21 angeordnet, dass Schwingungen,
Bewegungen oder beide aus dem Arbeiten eines, mehrerer oder aller
der genannten Anlagenteile die Ausrichtung des Ausgabeauslasses 21 auf
mindestens eine Reaktionsstelle auf dem Substrat 10 nicht
stören.
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Wie
oben festgestellt, lässt
sich Fluid der Fluidausgabeleitung 20' unter einer geringen Druckdifferenz
von bspw. weniger als etwa 10 psi [0,7 bar] und vorzugsweise weniger
als etwa 2.5 psi [0,17 bar] relativ zum Umluftdruck im Behälter 18 zuführen. Dennoch
reicht dieser Druck aus, um den größten Teil des Fluids in der
Zulaufleitung 20' über die
Auslassverbindung 208 und die Pumpenverbindung 218 in die
Rücklaufleitung 20" zu drücken. Wird
bei geschlossenem rück-
und zulaufseitigem Ventil 204, 214 von der Pumpe 220 Fluid – wie bspw.
ein Trennfluid – in
die Pumpöffnung 218 gedrückt, fließt Fluid aus
der Zulaufleitung 20' direkt
in den Ausgabeauslass 21. Da weiterhin der Ausgabeauslass 21 zur Auslassöffnung 21 sich
verjüngen
kann, kann die Strömungsgeschwindigkeit
aus der Ausgabeöffnung 21 hinaus
höher sein
als in der Zulaufleitung 20'.
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Im
wesentlichen lenken die Ausgabemechaniken 200, 200' den Fluidzufluss
zur Zulaufleitung 20' zum
Ausgabeauslass 21 um. In der Ausgabemechanik 200 kann
die Steuerung der Fluidmenge sowie der Anzahl und Art des oder der
Aliquots zu den verschiedenen Reaktionsstellen auf dem Substrat 10 durch
Ansteuern des rücklaufseitigen
Ventils 204 erfolgen. Entsprechend kann bei der Ausgabemechanik 200' die Steuerung
der Fluidmenge sowie der Anzahl und Art der den verschiedenen Reaktionsstellen auf
dem Substrat 10 zugeführten
Aliquots durch Ansteuern des rück-
und des zulaufseitigen Ventils 204, 214 sowie
der Fluidpumpe 220 erfolgen. Alternativ oder zusätzlich zur
Fluidausgabesteuerung durch Ansteuern der Ventile 204, 214 und
der Pumpe 220 kann die Saugeinrichtung (nicht gezeigt)
dazu dienen, Fluid durch die Saug-Rücklauf leitung 22 abzusaugen
und so die aus dem Ausgabeauslass 21 zum Substrat 10 ausgegebenen
Fluidmenge zu steuern.
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Die
Ausgabemechaniken 200, 200' kann Kanäle und mikromechanische Einrichtungen
aufweisen, die in einem Materialblock ausgebildet sind – bspw.
in einer Vielzahl von Schichten eines Halbleiterwerkstoffs (HL-Werkstoffs).
Bspw. lassen sich in einen Block aus HL-Werkstoff Nuten oder Furchen einätzen, während mikromechanische
Einrichtungen wie die Ventile 204, 214 sich einteilig
mit den Nuten oder Furchen ausbilden lassen. Auf einen geätzten Block
lässt sich
ein zweiter Block aus HL-Material aufsetzen, um die Nuten oder Furchen
abzudecken und so leitungsartige Kanäle auszubilden.
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Alternativ
kann die Fluid-Ausgabeeinrichtung mit Tintenstrahltechnik arbeiten,
um den Reaktionsstellen auf dem Substrat die Proben dosiert zuzuführen. In
einer anderen Ausführungsform
kann eine Fluid-Ausgabevorrichtung aus dem Ausgabeauslass Mikrotröpfchen des
mindestens einen Fluids als Strahl ausstoßen, den eine elektrostatische
Beschleuniger- und Ablenkeinheit der mindestens einen Reaktionsstelle
zulenkt. Darüber
hinaus kann eine Fluid-Ausgabevorrichtung eine Mikrofluidik-Einrichtung
mit einem schwingenden Elektromagneten, die Fluid aus einer Kapillare
zupumpt, oder eine piezoelektrische Einrichtung mit einem piezoelektrischen Kanal
aufweisen, mit dem von Luft getrennte Aliquots aus einer Kapillare
od. dergl. dosiert ausgebbar sind. Da die Aliquots von Luft getrennt
sind, ist ein übermäßiges Verdünnen derselben
vermieden.
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Derartige
Vorrichtungen können
auch die Fluid-Ausgabevorrichtung des Typs BioJet Quanti3000TM der Fa. BioDot, Inc., Irvine, Kalifornien, V.St.A.
aufweisen. diese Vorrichtung arbeitet mit einem Tintenpunkt-Fluidausgabesystem
bei Strömungen
bis 50 μl/s
eines Fluids mit einer Viscosität
im Bereich von 1 cP bis 20 cP. Dieser Strömungsbereich kann aber – abhängig von
der Fluid-Rheologie – erweitert
werden. Die genannte Vorrichtung kann auch Fluidlinien mit Volumen
bis hinab zu 20 nl/cm und Breiten im Bereich von 0,25 mm bis 5 mm
ausgeben. Die Werte wurden durch Ausgabe von entionisiertem Wasser
mit einer Zugabe von 0,5 % grenzflächenaktiver Substanz bestimmt.
Die genannte Vorrichtung kann auch Fluidtröpfchen mit Volumen bis hinab
zu 4 nl/Tröpfchen
und Durchmessern im Bereich von 0,25 mm bis 5 mm ausgeben. Die erreichbaren
Tröpfchenvolumen
und -durchmesser hängen
von den Eigenschaften der Fluide und Fluidmembranen ab. Mit der Vorrichtung
BioJet Quanti3000TM ist für ausgegebene Linien
eine Reproduzierbarkeit von weniger als 1% kumulative Volumenabweichung
und weniger als 5 % Variation zwischen Tröpfchen erreichbar.
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Die
Fluid-Ausgabevorrichtung BioJet Quanti3000TM trägt ein bestrichenes
Volumen ("swept
volume") von weniger
als 40 μl
und wird von einer Leitung von 5 μl/cm
gespeist. Zusätzlich
lässt dieser
Fluid-Asgabevorrichtung sich mit einem Filter ausrüsten, um
die Reagenzien vor der Ausgabe an eine Reaktionsstelle zu filtern – bspw.
zum Entfernen von Teilchen mit weniger als 10 um Durchmesser. Weiterhin
lässt diese
Fluid-Ausgabevorrichtung sich mit einer Einrichtung zum Entlüften der
Fluidströmung
ausrüsten.
Diese Einrichtungen können
bspw. mit einem – bspw.
mit etwa 100 Hz – schwingenden Elektromagneten,
der Fluid aus einer Kapillare pumpt, oder einem piezoelektrischen
Kanal versehen sein, der eine Kapillare umgibt und mit Frequenzen bis
zu 1000 Hz erregbar ist. Mit derartigen Einrichtungen lassen sich
Durchsätze
unter etwa 10 μl/s
bis 500 μl/s,
vorzugsweise unter etwa 200 μl/s
erreichen, wobei die Kapillarenöffnungen
dieser Einrichtungen einen Durchmesser in einem Bereich von etwa
50 um bis 175 um haben.
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Die 3 zeigt als Perspektive
eine die vorliegende Erfindung betreffende Vorrichtung. Eine Vorrichtung 3 zur
Ausgabe von Fluid auf eine Reaktionsstelle weist ein Substrat 10 wie
bspw. einen Silicium-Wafer auf einer Plattform 12 mit einem
ersten Rotations-Schrittschaltmotor (nicht gezeigt; bspw. Typ Zeta
57-51-10 mit Treiber
Zeta 4) auf. Der erste Rotations-Schrittschaltmotor dreht das Substrat 10 in Richtung
des Pfeils A. An einen zweiten Rotations-Schrittschaltmotor 30 (bspw.
Zeta 57-51-10 oder Treiber Zeta 4) auf der Plattform 12 ist
ein Schwenkarm 32 angesetzt. An den Schwenkarm 32 ist
eine Fluid-Ausgabevorrichtung 34 angesetzt; der Schwenkarm 32 ist
so lang, dass sich mit der Ausgabevorrichtung 34 durch
Drehen des zweiten Rotations-Schrittschaltmotors 30 in
den Richtungen des Pfeils B die gesamte Oberfläche des drehenden Substrats 10 erreichen
lässt.
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Zum
Drehen des Substrats 10 ist der erste Rotations-Schrittschaltmotor
in beiden Richtungen A mit einer Vielzahl von Geschwindigkeiten
drehbar. Bspw. lässt
er sich mit einem Controller des Typs AT6200 ansteuern. Weiterhin
kann der erste Rotations-Schrittschaltmotor auch stetig drehen,
wobei eine Zentrifugalkraft auf das Substrat 10 wirkt,
oder schrittweise drehen, so dass sich das Substrat 10 weniger
als eine Umdrehung bewegt und dann in einer neuen Ausrichtung bezüglich der
Position der Fluid-Ausgabevorrichtung stoppt. Bspw. lässt der Schwenkarm 32 sich ähnlich dem
Abtastarm einer Rechner-Speicherfestplatte betätigen. Ein erster Rotations-Schrittschaltmotor
kann das Substrat 10 drehen, während die Fluid-Ausgabevorrichtung 34 mit der
Drehbewegung des zweiten Rotations-Schrittschaltmotors 30,
die den Arm 32 schwenkt, über dem Substrat 10 positioniert
wird.
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Das
Substrat 10, die Plattform 12, der Schrittschaltmotor 30,
der Schwenkarm 32 und die Fluid-Ausgabevorrichtung 34 lassen
sich in einen Behälter 18 einschließen. Der
Behälter 18 ermöglicht es,
beim Testen die die Reaktionsstellen umgebende Atmosphäre streng
zu überwachen
und zu kontrollieren. Der Behälter 18 kann
luftdicht ausgeführt
sein, damit Staub und Feuchtigkeit sich nicht auf den Rotations-Schrittschaltmotoren
absetzen und deren Arbeiten beeinträchtigen können und sich ein Unter- oder Überdruck
im Behälter 18 aufrecht
erhalten lässt.
Staub und Feuchtigkeit können
auch die chemischen und biochemischen Reaktionen an den Reaktionsstellen
sowie die Ergebnisse chemischer und biochemischer Tests beeinträchtigen.
Bspw. kann der Behälter 18 mit
einem Feuchtigkeits- und Temperatursensor 19 versehen sein,
so dass sich das Niveau der Feuchtigkeit und Temperatur sowie deren Änderungen
erfassen lassen. Beim Erfassen einer niedrigen oder hohen relativen
Feuchtigkeit oder beider kann man die Probentests beenden oder die
atmosphärischen
Bedingungen im Behälter
18 nachregeln. Wegen der Wichtigkeit, die Fluide den Reaktionsstellen
genau dosiert zuzuführen,
dient der Behälter 18 auch
dazu, Luftstörungen
an der Oberfläche
des Substrats abzuschwächen
bzw. zu beseitigen.
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Weiterhin
kann das Substrat 10 mit einer Vielzahl von Abgleichlöchern 36 ausgeführt sein. Derartige
Abgleichlöcher 36 lassen
sich in Kombination mit oder an Stelle der oben beschriebenen Ortsmarken
anwenden. Bspw. kann das Substrat 10 vier Abgleichlöcher 36 enthalten,
die in 90°-Abständen entlang
des Außenrands
des Substrats 10 angeordnet sind. Unter jedem Abgleichlocher 36 kann
ein auf elektromagnetische Energie ansprechender Sensor (nicht gezeigt)
angeordnet sein, so dass, wenn sich eine auf der Ausgabevorrichtung 34 angeordnete Quelle
elektromagnetischer Energie (nicht gezeigt) direkt über einem
der Abgleichlöcher 36 befindet,
der entsprechende Sensor die von der Quelle abgegebene Energie erfassen
kann. Diese Kombination einer elektromagnetischen Energiequelle
mit entsprechenden Sensoren kann dazu dienen, die Fluid-Ausgabevorrichtung 34 über dem
Substrat 10 in die Solllage zu bringen und deren Stelleinrichtung
abzugleichen. Weiterhin können
die Reaktionsstellen in präzisen Schrittabständen des
Schrittschaltmotors voneinander und von mindestens einem der Abgleichlöcher 36 angeordnet
sein. Sobald daher die Fluid-Ausgabevorrichtung 34 eines
der Abgleichlöcher 36 erfasst und
identifiziert, ist sie schnell und präzise zwischen den Reaktionsstellen
und über
die Oberfläche
des Substrats 10 bewegbar.
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Die 4A zeigt schaubildlich eine
andere Ausführungsform
der Fluid-Ausgabevorrichtung. Eine oder mehrere chemische oder biochemische Proben
werden aus einem Fluid-Serialisierer 40 gezogen, der auf
eine Proben- und eine Trennfluidquelle (nicht gezeigt) zugreift.
Bspw. kann in einer Ausführungsform
eines Serialisierers 40 eine Pumpe eine oder mehrere Proben
aus einer Probenquelle durch eine Probenleitung sowie Trennfluid – Bspw. ein
Lösungsmittel, Öl, Luft,
nicht mischbare Flüssigkeit,
Edelgas od. dergl. – aus
einer Trennfluidquelle durch eine Trennfluidleitung ansaugen, so
dass sich eine serialisierte Fluidströmung, d.h. eine Fluidströmung mit
abwechselnden Proben- und Trennfluidmengen ergibt. Alternativ lassen
sich serialisierte Proben als Teil einer serialisierten Bibliothek
vorbereiten, die zum späteren
Einsatz in der Vorrichtung vorformatiert und gespeichert werden.
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In
einer anderen Ausführungsform
kann eine Drucksteuereinrichtung 42 mit einer Pumpe und
einem Luftmanometer im Behälter
einen Unterdruck erzeugen, mit dem Probenfluid bzw. -fluide sowie Trennfluid
in die Ausgabe-Zulaufleitung 20' eingezogen werden. Bspw. kann
man mit einem Ventil abwechselnd die Ausgabe-Zulaufleitung 20' in Strömungsverbindung
mit einer oder mehreren Quellen von Proben- und Trennfluid schalten.
Der Unterdruck im Behälter 16 bewirkt
dann, dass Proben- und Trennfluide in das Ausgabe-Zulaufleitung 20' gesaugt werden.
Alternativ lassen die Proben- und Trennfluide in Tröpfchenform
ausbilden und ein offenes Ende der Ausgabe-Zulaufleitung 20' so positionieren,
dass gewählte
Tröpfchen
in sie eingesaugt werden.
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Die 4B zeigt vergrößert die
Ausgabe-Zulaufleitung 20' mit
einer serialisierten Strömung aus
zwei miteinander abwechselnden Proben bzw. Aliquots und Trennfluid – bspw.
ein nicht mischbares Fluid oder Lösungsmittel. Als Trennfluid
lässt sich
ein Lösungsmittel
verwenden, so dass Aliquot-Reste vom Lösungsmittel beseitigt werden,
während
das serialisierte Fluid die Ausgabe-Zulaufleitung 20' durchläuft.
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Wie
wiederum die 4A zeigt,
weist ein Zeitgeber 23 eine Strömungssensor 25 auf,
mit dem die Strömung
des serialisierten Fluids bestimmbar ist, so dass Aktivierungs-
und Deaktivierungssignale sich auf einer Zeitsignalverbindung 46 an
die Saugeinrichtung 44 schicken lassen. Bspw. können das Proben-
und Trennfluid eine Komponente enthalten, die vom Strömungssensor 25 erfassbar
ist. Von der Saugeinrichtung 44 vom Ausgabe-Auslass 21 abgesaugtes
Fluid wird mit der Saug-Rücklaufleitung 22 aus
der Vorrichtung abgeführt.
Wie die 4A zeigt, können der
Auslass 21 sowie die Fluid-Ausgabevorrichtung und das Substrat
in Behälter 18 eingeschlossen
sein. Mit dem Druckregler 42 lässt sich im Behälter 18 ein Über- oder
Unterdruck aufrecht erhalten.
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Die 4B zeigt vergrößert eine
Fluid-Zulaufleitung 20' mit
einem Fluid 400 aus miteinander abwechselnden Proben- und
Trennfluiden. Insbesondere weist das Fluid 400 ein Trennfluid 402,
eine erste Probe 404 und eine zweite Probe 406 auf.
Das zweite Probenfluid 406 enthält eine Vielzahl von Strömungssensorkomponenten 408.
Bspw. kann es sich bei den Komponenten 408 um magnetische
Perlen handeln, die beim Durchlaufen der Zulaufleitung 20' in großer Nähe zu einer
Spule oder einem anderen Magnetsensor erfassbar sind. Sind der Durchmesser der
Zulaufleitung 20',
die Reihenfolge der Serialisierung sowie die Proben- und Trennfluidmengen
bekannt, lässt
sich die Strömungsrate
des serialisierten Fluidstroms ermitteln. Weiterhin lässt jedes
Proben- und Trennfluid sich aus einem Signal identifizieren, das
von Strömungssensorkomponenten 408 im
Strömungssensor 24 erzeugt
wird – bspw.
durch Verändern
der Feldstärke
oder der Dichte der magnetischen Perlen in einem Proben- oder Trennfluid
oder beiden. Auch andersartige Sensorkomponenten können erfassbare
Signale erzeugen – bspw.
Fluoreszenz, Strahlung, elektrische Ladung od. dergl. Bspw. kann
jede Probe ein Volumen im Bereich von etwa 3 μl bis 5 μl, vorzugsweise im Bereich von
etwa 4 μl
bis 5 μl
aufweisen. Die an eine bestimmte Reaktionsstelle abgegebene Menge
kann im einem Bereich von etwa 50 nl bis (und vorzugsweise) 4 nl
bis 5 nl liegen. Angesichts dieser Volumen kann der Zeitgeber 23 die Saugeinrichtung 44 aktivieren
und reaktivieren oder den ersten Controller 202 oder die
Controller 202, 212 er- und entregen, um eine
Probe dosiert an eine bestimmte Reaktionsstelle auszugeben.
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Um
die an eine Reaktionsstelle auszugebende Probenmenge zu steuern,
sind auch die Reibungseffekte des Kontakts der Probe mit der Innenwandfläche der
Ausgabe-Zulaufleitung 20' zu
berücksichtigen.
Die 4C zeigt hierzu
vergrößert einen
weiteren Teil der Zulaufleitung 20', durch die ein erstes Probenfluid 404 gepumpt
wird. Die Reibung zwischen der Probe 404 und der Wandung
des Zulaufleitung 20' bewirkt,
dass sich die äußeren vor- und
nachlaufenden Kanten der Probe mit dem Trennfluid 402 mischen
und Mischzonen 414 entstehen. Um zu gewährleisten, dass reine Probenanteile
an die Reaktionsstellen auf dem Substrat 10 ausgegeben
werden, werden ausgegebene Teile der ersten Probe 404 aus
dem Bereich innerhalb der Probengrenzen 416 abgesaugt.
Eine Vorder- und eine Hinterkante 410, 412 der
ersten Probe 404 bilden sich in Richtung der Fluidströmung. Die
Probengrenzen 416 kennzeichnen denjenigen Probenteil, der
von den Reibungskräften
unbeeinflusst bleibt und sich nicht mit Trennfluid 402 mischt.
Die Lage der Probengrenzen 416 hängt auch von dem Druck, mit
dem das Fluid 400 gepumpt wird, der Zusammensetzung der
ersten Probe 404 und dem Werkstoff der Zulaufleitung 20' ab.
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Wie
die 5 zeigt, kann eine
dritte Ausführungsform
der Vorrichtung 1 einen Multifunktionskopf 4 mit
mindestens einer Fluid-Ausgabevorrichtung 1' zur Zufuhr mindestens eines Fluids
von einer Fluidleitung 51 an mindestens eine der Reaktionsstellen
sowie einer Leseeinrichtung 5 aufweisen. Die Leseeinrichtung 5 kann
Einrichtungen zum Lokalisieren einer Reaktionsstelle – bspw.
die Einrichtung zum Lesen einer Ortsmarke an dieser – und zum Überwachen der
chemischen oder biochemischen Proben und Reaktionen an den Reaktionsstellen
aufweisen. Jede dieser Fluid-Ausgabevorrichtungen 50' hat einen Ausgabeauslass
(nicht gezeigt). Die Fluidik- und Erfassungsfunktionen der Vorrichtungen
lassen sich also zu einem Multifunktionskopf 4 zusammenfassen.
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In
der 5, einer Perspektivdarstellung
einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,
weist die Vorrichtung 1' ein
Substrat 10 auf einem Dreh-Einspannfutter 110 mit
einer Spindel 111 auf. Ein Rotations-Schrittschaltmotor
(nicht gezeigt) kann das Substrat 10 in beiden Richtungen
des Pfeils A' drehen. Eine
Schiene 14' ist über dem
Substrat 10 angeordnet und teilt – bspw. halbiert – es. Auf
der Schiene 14' ist
ein Linear-Schrittschaltmotor 16' gelagert, so dass dieser entlang
der Schiene 14' in
einer Dimension in den Richtungen des Pfeils B' über
das Substrat 10 bewegbar ist. Da Schrittschaltmotore Einsatz
finden, lässt
ein Multifunktionskopf sich an eine bestimmte Reaktionsstelle fahren,
dort stoppen und in der Solllage arretieren, bis eine Reaktion abgeschlossen oder
eine vorbestimmte, bspw. zum Erfassen von Reaktionsergebnissen ausreichende
Zeitspanne abgelaufen ist.
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Die
Schiene 14' ist
auf einer Stütze 13 gelagert.
Die Stütze 13 kann
auf einem Stellmotor (nicht gezeigt) sitzen, so dass sich der Multifunktionskopf 4 bezüglich des
Substrats 10 heben und senken lässt.
-
Die
Vorrichtung 1' kann
eine im wesentlichen U-förmige
Plattform 15' aufweisen,
die an vier Plattformstützen 17' vom Linear-Schrittschaltmotor 16' abgehängt ist.
Eine Ausgabe-/Leser-Halterung 115 ist in der Öffnung der
U-förmigen
Plattform 15' angeordnet.
Auf der Halterung sind die Ausgabevorrichtung 50 mit der
Fluid-Speiseleitung 51 und der Leseeinrichtung 5 mit
drei LWL-Anschlüssen 52, 54a, 54b sowie
den zugeordneten Lese-LWLn 53 und Spur-LWLn 55a, 55b angeordnet.
-
Obgleich
die Ausgabevorrichtung 50 und die Leseeinrichtung 5 zunächst im
Zusammenwirken der Bewegung des Substrats 10 durch den
Rotations-Schrittschaltmotor (nicht gezeigt) und der der U-förmigen Plattform 15' durch den Linear-Schrittschaltmotor 16' positioniert
wird, ist ein Nachstellen auf die Position der Fluid-Ausgabevorrichtung 50 und der
Leseeinrichtung 5 mittels eines 3-Achsen-Mikropositionierers 56 möglich. Die
Ausgabe-/Lesestütze 115 kann
auf dem 3-Achsen-Mikropositionierer 56 und dieser seinerseits auf
der U-förmigen
Plattform 15' angeordnet
sein. So kann der Mikropositionierer 56 die Ausgabe-/ Leseeinrichtung 115 in
drei Achsen bewegen, um die Position des Fluid-Ausgabeauslasses
(nicht gezeigt) und der LWL 53, 55a, 55b zu
justieren.
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Die
Leseeinrichtung 5 lässt
sich mit einem Spursystem wie bei einem CD-Aufnehmer zusammenfassen – bspw.
dem optischen Aufnahmekopf des Typs KSS361A de Fa. Sony Corporation,
Tokio, Japan; ebenso kann die Leseeinrichtung 5 physisch vom
Spursystem getrennt werden. Bei bekannten optischen Aufnahmeköpfen, wie
man sie in CD-Laufwerken findet, wird Licht aus einem Laser zu drei, d.h.
einen mutigen und zwei flankierende Strahlen aufgeteilt und mittels
eines Umlenkspiegels und einer Linse auf die CD-Oberfläche gerichtet.
Der mutige Strahl trifft auf die CD-Oberfläche, um die binär kodierten
Informationen zu lesen und ein Rückkoppelsignal
zum Fokussieren des mittigen Strahls auf die CD-Oberfläche abzuleiten;
die beiden flankierenden Strahlen liefern Rückkoppelsignale zur Führungs des Aufnehmerkopfes über die
CD-Oberfläche.
Das von der CD-Oberfläche
reflektierte Licht wird durch die Linse und vom Umlenkspiegel durch
den Strahlteiler geführt
und fällt
auf ein Fotodioden-Array. In Folge des Fotodioden-Arrays werden
Rückkoppelsignale erzeugt.
Die Arbeitsweise einer solchen Regelung ist ausführlich in G. Thomas und W.
Ophey, "Optical
Recording", PHYSICS
WORLD, 36-41 (Dezember 1990) beschrieben.
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Die
Spurteilung einer CD beträgt
etwa 1,6 μm,
die Code-Pits auf der CD-Oberfläche
sind etwa 0,5 μm
breit. Die oben beschriebenen flankierenden Strahlen fallen mit
einem Abstand von etwa 2,1 μm auf
die CD-Oberfläche,
also der Summe aus Spurteilung und Pit-Breite. Während ein Spurführungssystem
im wesentlichen gleich dem oben für CDs beschrieben für die vorliegende
Erfindung geeignet sein kann, können
abhängig
von der genauen Konfiguration des Multifunktionskopfes und des Substrats
bestimmte Modifikationen erforderlich sein. In der vorliegenden
Erfindung kann es bspw. erforderlich sein, den Trennungswinkel der
flankierenden Strahlen so zu ändern,
dass sie weiter voneinander entfernt oder näher beieinander auf die CD-Oberfläche fallen,
um unterschiedlich großen
Reaktionsstellen zu entsprechen. Dies kann durch Ändern oder
Auswechseln der Linse erfolgen.
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Wie
festgestellt, kann die CD-Spurführung mit
einer Laserdiode arbeiten, die primär Infrarotlicht aussendet.
Die in CD-Spielern zu findende Laserdiode strahlt typischerweise
einen Bruchteil eines Milliwatts ab. In Folge der mit der vorliegenden
Erfindung durchgeführten
Tests kann man die Laserdiode durch einen LWL-Anschluss ersetzen,
der es erlaubt, eine Quelle elektromagnetischer Energie vorbestimmter Leistung
und Wellenlänge
optisch an die Vorrichtung anzuschließen. Weiterhin lässt sich
im Weg der reflektierten Strahlen ein Beugungsgitter (nicht gezeigt) anordnen.
Fallen so gebeugte Strahlen auf einen lineares Fotodioden-Array,
entsteht ein Spektrometer, mit dem sich der Fortschritt oder das
Auftreten einer biologischen oder chemischen Reaktion an einer Reaktionsstelle
erfassen lässt.
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In
einer bevorzugten Ausführungsform
lassen die Optik und die Laser-Eingabe der CD-Spurführung sich
so modifizieren, dass es nicht nur zur Spurerfassung der Reaktionsstellen,
sondern auch als Erregerquelle und zum Überwachen und Lesen der Testergebnisse
an der Reaktionsstelle dienen kann. Wie oben festgestellt, wird
die Optik der CD-Spurführung
so geändert,
dass die Trennung zwischen den drei projizierten Lichtstrahlen sich
vergrößert; die
beiden äußersten
Strahlen sollen dann die Mulde an der Reaktionsstelle übergreifen.
Die Laser-Diode der CD-Spurführung
lässt sich
dann von einem LWL-Anschluss ersetzen, über den sich Licht aus irgendeinem
Laser einkoppeln lässt.
Schließlich kann
man die Fotodioden in der CD-Spurführung entsprechend der Wellenlänge und
den niedrigen Lichtstärken
austauschen, die aus den Reaktionsstellen zu erwarten sind. Alternativ
ersetzt man einige oder alle Fotodioden durch eine geeignete Fotovervielfacher-Röhre.
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Als
Alternative zu dieser CD-Spurführung kann
die Leseeinrichtung 5 drei Lichtwellenleiter wie bspw.
drei 50μm-LWL
aufweisen, die im Multifunktionskopf 4 zu einem Dreieck
angeordnet sind. Wie die 5 zeigt,
nimmt ein erster LWL-Anschluss 52 einen ersten LWL 53 auf.
Der erste LWL 53 kann so gespalten – bspw. gegabelt – sein,
dass der erste LWL 53 der Substratoberfläche Licht
zuführt
und an dieser reflektiertes Licht aufnimmt. Folglich kann in Folge des
ersten LWL 53 die Vorrichtung chemische und biochemische Änderungen
an den Reaktionsstellen erfassen und Indexmarken lesen. Der Laser
bzw. die Lichtquelle wird auf Grund der auszuführenden Tests und Nachweise
ausgewählt
und mit einem LWL-Koppler wie dem Typ KT210 de Fa.Thor Labs, Inc.,
Newton New Jersey, V. St. A., an den ersten LWL 53 angeschlossen.
Bspw. lässt
sich der erste LWL 53 an eine Fotovervielfacher-Röhre (bspw.
ein Fotodioden-Array) oder ein Spektrometer ankoppeln. Der zweite
und der dritte LWL-Anschluss 54a, 54b nehmen einen
zweiten LWL 55a bzw. 55b auf. Diese beiden LWL 55a, 55b laufen
dem ersten LWL 53 nach und lassen sich mit individuell
zugeordneten Fotodioden koppeln, die reflektierte elektromagnetische
Energie aufnehmen und Spursignale erzeugen.
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Die 6 zeigt die Leseeinrichtung 5 von unten.
Die Figur stellt die Anordnung des Lese-LWLs 53 und der
Spur-LWL 55a, 55b relativ zum Ausgabeauslass 60 dar.
Bei dieser alternativen Spurführung
wird auf bestimmte Bereiche des Substrats – vergl. bspw. die 7 – ein Antireflex-Belag aufgebracht.
Elektromagnetische Energie kann auf dem ersten oder Lese-LWL 53 sowie
dem zweiten und dritten bzw. den Spur-LWLn 55a, 55b oder
ausschließlich über den
Lese-LWL zugeführt
werden. Die Modulation der reflektierten Lichtstärke durch den Antireflex-Belag
macht die Index- und Spursignale lesbar.
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Wie
in der 7 gezeigt, kann
eine Ortsmarke 70 sowohl ein Start-Bit 72, eine
Indexmarke 74, ein Ausgabe-/Stopp-Bit 76 sowie
ein Spur-Bit 78 aufweisen. Das Start-Bit 72 weist
die Leseeinrichtung an, mit dem Lesen der Ortsmarke zu beginnen.
Die Indexmarke 74 identifiziert die jeweilige Reaktionsstelle
und kann aus einer oder mehreren Unter-Marken – bspw. 74a, 74b – bestehen.
Das Ausgabe-/Stopp-Bit 76 kann den Multifunktionskopf 4 anweisen,
in dieser Stellung zu stoppen oder die Ausgabe einer oder mehrerer
Proben zur Durchführung eines
chemischen Nachweises oder zum Auslösen einer biochemischen Reaktion
einzuleiten. Die Spurmarke 78 führt dann den Ausgabeauslass
(nicht gezeigt) über
eine Reaktionsstelle 80. Wie sich aus einem Vergleich der 6 und 7 ergibt, nehmen bei über einer Ortsmarke 70 richtig
zentriertem Multifunktionskopf 4 die Spur-LWL 55a, 55b von
der Substratoberfläche
reflektierte elektromagnetische Energie in gleicher Stärke auf.
Durch Analyse einer Signaldifferenz lassen Verschiebungen des Multfunktionskopfes 4 oder
eine Links/ Rechts-Fehlausrichtung des Multifunktionskopfes 5 erfassen
und ggf. korrigieren. Wie bspw. in der 5 gezeigt, lassen die Fluid-Ausgabevorrichtung 50 und
die Leseeinrichttng 5 sich mit dem ersten, zweiten und
dritten LWL-Anschluss 52, 54a, 54b gemeinsam
auf der U-förmigen Plattform 15' anordnen, die
bewegbar an einen 3-Achsen-Mikropositionierer 56 angesetzt
ist. Der Mikropositionierer 56 kann weitere Nachstellungen – bspw.
in einem Bereich kleiner als etwa 15 mm mit etwa 1 μm Genauigkeit – in der
Position der Ausgabevorrichtung 50 und des ersten, zweiten
und dritten LWL-Anschlusses 52, 54a, 54b in
drei Dimensionen ermöglichen, um
die Ausrichtung des Ausgabeauslasses 60 oder der Lese-
und Spur-LWL zu verbessern oder die Fokussierung der von der Substratoberfläche reflektierten
elektromagnetischen Energie zu justieren. Zusätzlich kann zum Bestimmen des
Auftretens und Fortschritts der Reaktion an der Reaktionsstelle
der Lese-LWL 53 die Indexmarke abtasten. Der Lese-LWL 53 kann
auch als Näherungssensor
eingesetzt werden, um eine Bewegung des Multifunktionskopfes 4 vom
Substrat weg oder zu ihm hin zu korrigieren. Dies lässt sich
erreichen, indem man die Intensität des reflektierten Lichts
in Bereichen ohne Antireflex-Belag überwacht.
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Ein
Grobabgleich kann erforderlich sein; folglich kann man den gesamten
Multifunktionskopf mit der Positionsregelung zusammen auf einer XYZ-Verschiebungsbühne montieren,
deren Bewegungsbereich signifikant größer ist als der der ebenfalls
auf der XYZ-Verschiebungsbühne
sitztenden Positions-Feinregelung.
Durch Rückkopplung
lässt sich
eine Fein-Positionierung der Fluid-Ausgabevorrichtung und der Leseeinrichtung
erreichen; man erreicht sie bspw. durch piezoelektrische Blöcke, Spulen,
Schneckentriebe und dergl. Die Vorrichtung lässt sich zur Feineinstellung
modifizieren, indem man einen zweiten 3-Achsen-Mikropositionierer
zwischen den ersten Mikropositionierer und die Ausgabe/ Lese-Halterung
einfügt.
Dieser zweite Mikropositionierer hat einen kleineren Bewegungsbereich
und eine höhere
Genaugkeit als der erste – bspw.
einen Einstellbereich kleiner als etwa 100 μm bei etwa 0,1 μm Genauigkeit.
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Die
Abschirmstruktur kann auch eine Kappe über dem Hohlraum jeder Reaktionsstelle
aufweisen. Eine solche Kappe kann eine Öffnung enthalten, die groß genug,
dass ein Fluidstrom durch sie geleitet werden kann, aber klein genug
ist, dass das Fluid in der Kammer gehalten und ein Verdunsten des
Fluids aus der Kammer reduziert oder beseitigt wird. Bspw. lassen
sich Ströme
aus Nanoliter-Volumen
von Reagenzien, Reinigungsfluiden, Puffern und dergl. durch die Öffnung in
der Kappe richten. Ein Tröpfchen
mit großem
Volumen bspw. im Bereich von etwa 0,1 μl bis 0,5 μl wird dann auf die Kappenöffnung ausgegeben.
Hat das Tröpfchen
eine ausreichend hohe Oberflächenspannung
und wird es langsam genug ausgegeben, verschließt es die Kappenöffnung,
ohne in den Hohlraum darunter einzudringen. Dieses Verschlusströpfchen kann
als entfernbare Abdeckung wirken, die sich mittels der Zentrifugalkraft
aus eine Drehung des Substrats abschleudern lässt.
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Zusätzlich lässt das
Verschlusströpfchen sich
elektrisch schalten. Indem man mittels geeigneter Elektroden und
Spannungen das elektrische Potential des Tröpfchens ändert, lassen dessen Netzeigenschaften
sich ändern,
um seine Haftung an der Kappe zu verstärken oder abzuschwächen. Weiterhin
lassen sich im Hohlraum elektronische Bauteile zum Steuern des elektrischen
Schalten der Abdecktröpfchen
unterbringen.
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Die 8A und 8B zeigen eine Reaktionsstelle 80 als
geometrisch geschnittenen oder geätzten Hohlraum, der in der
Oberfläche
des Substrats 10 ausgebildet ist. Die Reaktionsstellen 80 lassen
sich durch chemisches oder ionisches Ätzen oder dergl. herstellen.
Weiterhin kann die Gestalt der Reaktionsstelle 80 teilweise
von der Kristallstruktur des Substrats 10 abhängen. Obgleich
die in den 8A, 8B gezeigte Reaktionsstelle
mit einfacher Rechteckgestalt dargestellt ist, weist sie eine Ortsmarke 82 auf und
ist sie mit einer Abschirmstruktur 84 versehen, die Verdunstungsverluste
und Fluidverluste aus der Reaktionsstelle 80 sowie verhindert,
dass Fluid die Ortsmarke 82 abdeckt. Die Oberflächen-Mikrobearbeitung
ist in K. Gabriel, Engineering Microscopic Machines, SCIENTIFIC
AMERICAN, 150-53 (September 1995) beschrieben. Das Substrat 10 kann mindestens
etwa 20.000 und vorzugsweise mindestens 100.000 Reaktionsstellen
enthalten.
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Bspw.
kann man in einer Oxidschicht, die man auf ein Silicium-Wafer aufwachsen
lässt,
ein radiales Muster aus im wesentlichen quadratischen Mulden mit
etwa 110 μm
Kantenlänge
ausbilden. Ein Fotoresist (bspw. Microposit der Fa. Shipley Company,
Marlborough, Massachusetts, V. St. A.) lässt sich zentrifugal auf der
Oberfläche
des Silicium-Wafers verteilen, durch eine Maske hindurch mit dem
Sollmuster belichten, entwickeln und trocknen. Dann bringt man den
Wafer in ein Flusssäurebad,
um die frei liegende Oxidschicht zu entfernen, und dann in ein Kaliumoxidbad
ein, um das abgedeckte Silicium zu ätzen. Fotoresistreste lassen
sich mit Aceton, Oxidreste mit einem zweiten Flusssäurebad entfernen.
Diese Prozedur ergibt anisotrop geätzte Mulden in der Gestalt
einer umgekehrten Pyramide.
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In
den Reaktionsstellen 80 lassen sich feste Halterungssubstrate
(nicht gezeigt) ausbilden. Diese Strukturen bieten einen Ort, an
dem sich biochemische Sonden an den Reaktionsstellen 80 befestigen lassen.
Mit diesen Sonden lassen sich bestimmte Targets wie Polymere binden – bspw.
Polynucleotide, DNS, RNS, PNS sowie Antikörper, Antikörper-Fragmente oder deren Mischungen.
Zusätzlich
können die
Sonden Targets wie einzelne Nucleotide und Nucleoside, wie Adenosin,
Guanosin, Cytosin, Thymidin, Uracil oder deren Kombinationen sowie
Molekularstrukturen wie Enzyme, Proteine, Plasmide, Chromosomen
und Chromatide sowie Zellstrukturen wie Mitochondrien, Ribosome
und dergl. binden, desgl. auch Mikroorganismen wie prokaryotische
oder eukaryotische Zellen einschl. Säugetierzellen, Bakterien, Hefen
und Protozoen, Viren, Phagen und Kombinationen derselben.
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Diese
Strukturen lassen sich fotolithografisch ausbilden oder es lassen
sich Stoffe in das Substrat 10 aufnehmen, um die festen
Halterungsstrukturen auszubilden. Bspw. sind geeignete Stoffe, mit
denen sich Punkte zum direkten Ansetzen von Sonden darstellen lassen – Elektrometalle
wie Gold, Nioboxid, Iridi umoxid, Platin, Titan, Zink und andere
Metalle. Feste Halterungssubstrate und Sonden können eingesetzt werden, um
zu gewährleisten,
dass bestimmte Targets zum Testen an bestimmten Reaktionsstellen
festgehalten werden. Die Verwendung solchen Strukturen und Sonden
ist in der US-PS 5.532.128 (Eggers u.a.) beschrieben.
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Die
Ortsmarken 82 sind anhand der 7 diskutiert und können mehreren Funktionen dienen. Zunächst erlauben
sie der Vorrichtung, die Startposition zu bestimmen. Zweitens erlauben
sie der Vorrichtung, Fluid präzise
einer vorbestimmten Reaktionsstelle zuzuführen, indem man die Ortsmarken einfach
abtastet, bis die gewünschte
gefunden ist. Obgleich drittens die mit den Schrittschaltmotoren
erreichbare Präzision
der Vorrichtung ermöglichen kann,
ihre Bewegungen über
die Oberfläche
des Substrats 10 durch eine Art direkt ansteuernde Besteck-
oder Koppelrechnung ("dead
reckoning") zu bestimmen,
kann sie Positionierfehler ermitteln, indem sie die jeweilige Position
der Vorrichtung mit einem bekannten Abgleichpunkt oder einer Reaktionsstelle
vergleicht. Da sich viertens Positionierfehler ermitteln lassen,
kann die Vorrichtung sich selbst abgleichen, indem sie ihre berechnete
mit der Ist-Position bezüglich
des Abgleichpunkts bzw. der Reaktionsstellen auf dem Substrat 10 vergleicht.
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Die 9A zeigt als Perspektive
das Substrat 10 mit einer Spindel 90. Die Spindel 90 haltert
das Substrat 10 und erlaubt den Rotations-Schrittschaltmotor,
an ihm anzugreifen. Weiterhin kann die Spindel 90 elektrische
Verbindungen zwischen elektronischen und elektromechanischen Element – bspw.
mikroelektromechanischen Systemen – auf dem Substrat 10 und
vom Substrat 10 getrennten Strom- und Steuersignalguellen
ermöglichen.
Die 9B–9D zeigt von oben Raumwinkelsektoren
des Substrats 10 mit beispielhafte Ausführungsformen desselben.
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Die 9B zeigt einen Raumwinkelsektor 92 mit
einer Vielzahl von Reaktionsstellen 80, die radial von
der Spindel 60 ausgerichtet sind. Jede Reaktionsstelle 80 hat
eine Ortsmarke 82, die als zwei Stäbe aufweisend dargestellt ist.
Diese identifizierende Marke soll nur beispielhaft gelten; andere
solche Marken wie Indexmarken, Stab-, Zahlen-, Farbcodes und dergl.
lassen sich ebenfalls einsetzen. Weiterhin kann eine Identifizierung
aus einer Kombination von Zeichen oder Markenkombination oder beiden
sowie der Lage der Marke bezüglich
des Mittelpunkts des Substrats 10 oder der Spindel 90 bestehen.
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Die 9c zeigt einen Raumwinkelsektor 92' mit einer Vielzahl
kreisrunder Reaktionsstellen 80' sowie elektronischen oder elektromechanischen Elementen 93,
die integral mit oder an den Reaktionsstellen 80' ausgebildet
oder mit ihnen verbunden sind. Beispiele solcher elektronischen
Elemente sind Transponder (Antwortsender) zur Aufnahme und Beantwortung
von Abfragesignalen, Heizspulen zur Temperaturerhöhung an
einer Reaktionsstelle, Temperatursensoren zum Messen oder Überwachen
von Temperaturen oder Temperaturänderungen
an einer Reaktionsstelle, Elemente zur Erzeugung eines elektrischen
Feldes zur Änderung
des elektromagnetischen Feldes an einer Reaktionsstelle – bspw.
zur Erzeugung von Elektrophorese oder zum Denaturieren von Substanzen,
Fotosensoren zum Erfassen der Lichtemission aus chemischen oder
biochemischen Reaktionen an einer Reaktionsstelle oder zum Erfassen
von Änderungen
der Substanzen durchtretenden Lichtmenge aus chemischen oder biochemischen Wechselwirkungen
sowie chemisch empfindliche Schalter wie bspw. ChemFETs und ionensensitive Schalter
wie ISFETs oder deren Kombinationen. Weiterhin lassen sich mit einer
Widerstandsschlange Proteine bis zur Denaturierung erwärmen.
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Generell
sind chemisch und ionenempfindliche Schalter Transistoren, deren
Gate-Elektrode durch eine ionenselektive permeable Membran ersetzt
ist. Sie lassen sich einsetzen, um pH-Änderungen sowie Änderungen
einer chemischen oder ionischen Zusammensetzung zu erfassen. Weiterhin kann
das Substrat 10 mit verkämmten Finger-Arrays (IDAs)
versehen sein. Ein IDA kann zwei Gruppen rechteckiger, miteinander
verkämmter
Elektroden aufweisen, die einander nicht berühren. Zwischen diesen Arrays
ablaufende chemische Reaktionen, bei denen elektrische Ladungen
entstehen, bewirken einen Stromfluss in den Arrays. Der resultierende Strom
lässt sich überwachen,
um den Reaktionsfortschritt an der Reaktionsstelle zu überwachen.
Elektromechanische Elemente 93 können an der Reaktionsstelle
Vibrationen erzeugen, mit denen sich eine Vielzahl von Substanzen
rühren
bzw. durchmischen lässt,
um die chemische bzw. biochemische Wechselwirkung zu erleichtern
oder zu beschleunigen.
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Zusätzlich kann
das Substrat 10 Elemente wie bspw. Elektroden aufweisen,
die die elektrostatische Ladung auf dem Substrat 10 lokal ändern. Eine solche
elektrostatische Ladung kann Fluid-Mikrovolumen abstoßen oder
anziehen. Folglich lassen solche Elektroden sich verwenden, um die
Abgabe präzise
Mengen mindestens eines Fluids an die mindestens eine Reaktionsstelle
zu unterstützen.
Mit einer Vielzahl gesteuerter Elektroden lässt sich ein elektrostatisches
Feld aus "Bergen" und "Tälern" über
die gesamte Oberfläche
des Substrats 10 und so eine Vielzahl "virtueller" Reaktionsstellen anlegen. Generell
lassen die elektrostatischen Felder sich verwenden, um vertikale
und horizontale Einschlussfelder zu erzeugen. Diese virtuellen Reaktionsstellen
können eine
gegenseitige Kontamination der Reaktionsstellen verhindern. Auch
lässt die
Oberflächenladung sich
durch Ablagern einer Substanz mit einer Sollladung auf der Oberfläche des
Substrats 10 manipulieren. Diese Technik lässt sich
zusammen mit den oben beschriebenen Elementen einsetzen.
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Die
Reaktionsstellen 80' lassen
sich mit Elementen 93 durch eine Reaktionsstellenverbindung 64 zusammenfügen. Wie
mit den oben beschriebenen elektronischen oder elektromechanischen
Elementen 93 demonstriert, können die Verbindungen 64 Informationen über die
Reaktionsstelle übertragen oder
sie können
zur Energieübertragung
zwecks Änderung
der chemischen oder biochemischen Wechselwirkungen an den Reaktionsstellen
oder zwecks beidem dienen. Weiterhin können die Elemente 93 miteinander
verbunden werden – bspw.
durch Axialverbindungen oder Radialverbindungen 96 oder
eine Kombination beider. Weiterhin lassen sich Elemente 93 radial
durch die Spindel 90 hindurch verbinden, so dass Signale
aus einem Rechner (nicht gezeigt) oder einen anderen Signalguelle
an die Elemente 93 übertragen
und Daten von den Reaktionsstellen zur Speicherung und Analyse an
einen Rechner oder eine andere Datenspeicher- und Analyseeinrichtung
gesendet oder auf einem Monitor oder Drucker oder dergl. dargestellt
bzw. ausgegeben werden können.
Alternativ lassen Elemente sich über
eine Einrichtung zum Verknüpfen
zweier oder mehrerer Signale, d.h. einen Multiplexer (nicht gezeigt)
verbinden. Indem man bspw. eine Vielzahl von Multiplexern mit jeweils
zwischen 10 bis 100 Anschlüssen
einsetzt, lassen sich alle Reaktionsstellen auf dem Substrat untereinander verbinden.
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Die 9D zeigt einen Raumwinkelsektor 92" mit einer Vielzahl
kreisrunder Reaktionsstellen 80', einem Verteilpunkt 97 und
einer Vielzahl im wesentlichen radialer Kanäle 98, die den Verteilpunkt 97 mit
den Reaktionsstellen 60' verbinden.
Im Betrieb kann der Ausgabeauslass 21 mit dem Rotations-
und dem Linear-Schrittschaltmotor 12, 16 auf den
Verteilpunkt 97 ausgerichtet und an letzteren dann eine
Fluidmenge ausgegeben werden. Mit dem Rotations-Schrittschaltmotor
lässt das
Substrat 10 sich dann so schnell drehen, dass eine Zentrifugalkraft entsteht,
die einen Teil des Fluids vom Verteilpunkt 97 durch die
Kanäle 98 zu
den Reaktionsstellen 80' zieht.
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Wie
oben festgestellt, zeigt die 9D eine Ausführungsform
mit Kanälen 98,
die die Zentrifugalkraft aus der Drehung des Substrats 10 ausnutzt. Derartige
Kanäle
sind jedoch zum Transport von Fluiden an die verschiedenen Reaktionsstellen
nicht nötig.
Bringt man genug Fluid in einen oder mehrere Verteil punkte 97 ein, überträgt die beim
Drehen des Substrats 10 erzeugte Zentrifugalkraft ein Fluid über die
gesamte Oberfläche
des Substrats 10 und an alle Reaktionsstellen 80'. Die erforderliche
Fluidmenge hängt
ab von der Größe des Substrats,
der Anzahl der Reaktionsstellen, der in jeder Reaktionsstellen benötigten Fluidmenge
und der Lage des bzw. der Verteilpunkte.
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Die 10 zeigt von oben zwei Reaktionsstellen 80,
die ein Kanal 100 und eine Mikrofluidik-Einrichtung 102 wie
bspw. eine Mikrofluidik-Pumpe oder ein solches Ventil miteinander
verbinden. Ein stufenweises chemische oder biochemisches Testen lässt sich
erreichen, indem man eine Reaktionsstelle ein oder rmehrere Fluide
für eine
erste Teststufe und dann das oder die Produkte dieser ersten Stufe
mittels der Vorrichtung 102 in den Kanälen 100 einer oder
mehreren anderen Reaktionsstellen für die nachfolgenden Teststufen
zuführt.
Die Kanüäle lassen
sich in die Oberfläche
des Substrats einätzen oder
sonstwie einbringen. Alternativ kann man die Kanäle 100 als röhrchenartige
Leitungen ausführen, die
unter der Oberfläche
des Substrats 10 verlaufen und ein Überführen von Fluiden oder von Produkten chemischer
oder biochemischer Reaktionen auf mehreren Ebenen zwischen den Reaktionsstellen
ermöglichen.
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Die
Erfindung lässt
sich vollständiger
anhand der folgenden Beispielen und Testergebnissen verstehen, die
für die
Erfindung sowie deren Arbeitsweise und Einsatzfälle jedoch nur als beispielhaft
gelten sollen.
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Beispiele und Testergebnisse
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In
einem ersten Beispiel wurden die Proben über ein Ausgabe-Zulaufröhrchen dem
Ausgabeauslass zugeführt
werden. Proben und Trennfluide, d.h. ein nicht mischbares Fluid
oder ein Lösungsmittel, würden als
serialisiertes Fluid das Zulaufröhrchen durchlaufen.
Luftspalte würden
sich zwischen den Proben und jedem Trennfluidpfropf bilden. Das
serialisierte Fluid würde
dann an den Ausgabeauslass weiter gegeben, und zwar mit einer Druckdifferenz relativ
zum Umluftdruck im Behälter 18 – bspw.
mit einem Überdruck
im einem Bereich von etwa 0.01 bis 2000 psi [0,0007 bar bis 138
bar] und vorzugsweise einem Überdruck
in einem Bereich kleiner als etwa 500 psi [34,5 bar], so dass die
Luftspalte nicht wesentlich komprimiert werden. Die Bewegung der
Proben lässt
sich mit einer Fotodiode und einem Fotoemitter überwachen, die die Änderung
des Brechungsindex beim Vorbeilauf der Luftspalte am Sensor erfassen.
Die Zeitspanne zwischen dem Erfassung und der Ausgabe würde dann
auf Grund der Strömungsgeschwindigkeit
berechnet werden.
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Die
Fluidströmung
kann kontinuierlich ausgegeben werden. Am Ausgabeauslass würde jedoch ein
Saug-Rücklaufleitung
vorgesehen werden derart, dass diese den Trennfluidanteil der Fluidströmung sowie
die vor- und nachlaufenden Probenanteile absaugt. Vergl. die 4C. Der nicht abgesaugte
Fluidanteil würde
zeitgesteuert vom Ausgabeauslass direkt auf die Oberfläche eines
Silicium-Wafers fließen. Die
mit einer Saug-Rücklaufleitung
verbundene Saugeinrichtung wäre
ein Hochvakuumsystem, das über Hochleistungs-Elektromagneten
gesteuert wird, die in ausreichender Entfernung vom Ausgabeauslass angeordnet
sind, so dass die Kräfte
kein Schütteln des
Ausgabeauslasses an der Nähe
des Siliciumsubstrats verursachen.
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Es
kann also ein kontinuierlicher Fluidstrom aufgebracht werden, der
alles – Reaktionsstellen
und Bereiche ohne Reaktionsstellen – abdeckt; es lassen sich auch
individuelle Proben individuellen Reaktionsstellen zuführen.
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Sobald
die Reaktionen stattgefunden haben, lassen die Reaktionsergebnisse
sich Lesen. Dies erfolgt unter Verwendung eines Lichtwellenleiters,
das am Ausgabeauslass angeordnet ist. Die gesamte Substratoberfläche würde dann
mit UV-Licht bestrahlt
werden. Reaktionsstellen, in denen eine blockierende Reaktion erfolgte,
würden
keinerlei Fluoreszenz eines Fluorophor in der bzw. den Proben – bspw.
in Folge von dort konjugierten Proteinen – zeigen. Andere Reak tionsstellen
würden
fluoreszieren. Vorzugsweise wendet man jedoch das umgekehrte Verhalten
an, bei dem ein Forscher das Auftreten einer Reaktion anhand des
Vorliegens – nicht
des Fehlens – von
Fluoreszenz bestimmt.
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An
den Reaktionsstellen lassen sich identifizierende Markierungen – bspw.
Indexmarken und Stabcodes – vorsehen;
ein Leser erfasst Änderungen des
Reflexionsverhaltens derselben. Mit UV- oder anderem Licht lässt sich
das Auftreten einer Reaktion bestimmen, desgl. die Identität einer
Reaktionsstelle. Im allgemeinen lassen sich Reaktionsstellen direkt ansteuern;
ein solches System erfordert jedoch einen periodischen Neuabgleich.
Ein Rückkoppelsystem – bspw.
unter Verwendung von identifizierenden Markierungen – kann die
Genauigkeit eines solchen Positionierungssystems bestätigen und
es ggf. neu abgleichen.
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Die
folgenden Tests wurden mit Proben aus Rhodamin-610-Perchlorat in
Butanol in etwa 2E-4-molarer Konzentration (im Folgenden als "Rhodamin-Lösung" bezeichnet) durchgeführt. In
einer Anordnung der in 5 und 6 gezeigten Art wurde ein
grüner
He-Ne-Laser einer Wellenlänge
von etwa 543,5 mm verwendet, um Licht entlang eines ersten Teils
eines gegabelten LWL – bspw.
des LWL 53 zu senden. Das gemeinsame Ende des gegabelten
LWL wird rechtwinklig auf einen Silicium-Wafer (das Substrat) auf
einem Drehfutter (bspw. dem Drehfutter 110 in 5) gerichtet. Der gegabelte
LWL ließ etwa
53 μW Laserlicht
auf Tröpfchen
von Rhodamin-Lösung fallen,
die von einem Fluid-Ausgabevorrichtung des Typs Biojet Quanti3000TM ausgegeben wurde. Der an der Substratoberfläche reflektierte
Laserlichtanteil wird mit dem gemeinsamen Ende des gegabelten LWL
aufgefangen und entlang eines zweiten Teils des gegabelten LWL weitergegeben.
Das vom zweiten LWL-Teil empfangene Signal wird in einem Hochpassfilter
mit etwa 565 nm Grenzwellenlänge
von dem Laser zuzuordnendem Rauschen und Rückkoppelanteile befreit. Das
gefilterte Signal wurde dann zur Analyse auf eine Fotovervielfacher-Röhre (PMT) bspw.
des Typs 5784-01 der Fa. Hamamatsu Corporation, Bridgewater,
New Jersey, V. St. A. gegeben.
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Test 1
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Der
Zweck dieses ersten Tests ist (1) die Bestimmung, ob die Leseeinrichtungen
der für
die vorliegende Vorrichtung gedachten Art die kleinen Volumen der
Rhodamin-Lösung
aus den für
die genannten Ausführungsformen
diskutierten Fluid-Ausgabevorrichtungen überhaupt erfassen können, sowie
(2) die Bestimmung des Signalmaximums und des Rauschabstands (SNR).
Bei diesem Test wurden folgende Schritte ausgeführt: Ausgeben eines Tröpfchens Rhodamin-Lösung mit einem Volumen von
etwa 10,4 nl auf einen Silicium-Wafer und schrittweises Fahren der
Leseeinrichtung über
das Tröpfchen
mit etwa 1 mm/s Geschwindigkeit und dabei Abtasten des PMT-Ausgangssignals
mit etwa 1000 Hz.
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In
der 11 ist das 10,4nl-Tröpfchen deutlich
erkennbar. Es wurde ein Signalmaximum von etwa 3,5 V bei etwa 250
mV Rauschen gemessen. Für
die verfügbaren
Fluid-Ausgabe- und Leseeinrichtungen ergab sich also rechnerisch
ein SNR von etwa 14:1. Ein wesentlicher Anteil des Signalrauschens hätte sich
mit einem Bandpassfilter mit etwa 580 nm Mittenfrequenz, dem Emissionsmaximum
der Rhodamin-Lösung – anstelle
eines Hochpassfilters – beseitigen
lassen. Da weiterhin das Licht aus dem LWL nicht gebündelt wurde,
ergab sich eine weitere Beeinträchtigung
des Signals.
-
Der
Tröpfchendurchmesser
auf dem Silicium-Wafer lässt
sich aus den Abtastdaten näherungsweise
zu etwa 650 μm
bestimmen. Ein 10,4nl-Fluidkugel hat rechnerisch jedoch einen Durchmesser
von etwa 270 μm.
In Folge von Wechselwirkungen der Oberflächenenergie zwischen dem Tröpfchen und dem
Silicium-Wafer kann das Tröpfchen
Rhodamin-Lösung
sich auf der Oberfläche
ausbreiten und sie bedecken. Dieses Ausbreiten erfolgte teilweise, weil
die Tröpfchen
in einem flachen Oberflächenbereich
des Silicium-Wafers, nicht in einer geätzen Mulde aufgetragen wurden.
Daher wich die effektive Weglänge
des Lichts in der Probe ab, was das resultierende Signal abschwächte. Mit
einer geeigneten Geometrie – d.h.
Mulden – und
geeigneten Oberflächenbelägen ließe sich
die Weglänge
sicherlich um einen Faktor von min. 2 verlängern.
-
Test 2
-
Der
Zweck dieses zweiten Tests war die Herstellung eines Intensität/Dicke-Profils eines 0,4nl-Tröpfchens,
um unter Verwendung verfügbarer Leseeinrichtungen
die unteren Grenzen des verfügbaren
dynamischen Erfassungsbereichs sowie die Ursache der Hysterese im
Intensitätssignal
zu bestimmen. Bei diesem Test wurden folgende Schritte durchgeführt: Ausgeben
eines Tröpfchens
Rhodamin-Lösung
mit etwa 10,4 nl Volumen auf einen Silicium-Wafer und schrittweises
Hin- und Herfahren der Leseeinrichtung über dem Tröpfchen mit etwa 0,5 mm/s Geschwindigkeit
und dabei Abtasten des PMT-Ausgangssignals mit etwa 500 Hz Abtastrate.
-
Die
Intensitätskurve
eines Tröpfchens
ist primär
eine Funktion von zwei Variablen, d.h. der Erregungspfadlänge, d.h.
im wesentlichen der Tröpfchendicke,
und des Fokussiereffekts, der sich beim Lichtdurchgang durch das
Tröpfchen
ergibt. Da die getesteten Tröpfchen
relativ flach waren, war die Modulation des Intensitätssignals
größtenteils
der Dickenmodulation über
das Tröpfchen – nicht
einem Fokussiereffekt – zuschreibbar.
Folglich zeigen die Daten der Vorwärtsabtastung in 12A, dass – wie zu
erwarten – die
(dickenproportionale) Erregungsweglänge des Tröpfchens in der Tröpfchenmitte
am größten und
am Tröpfchenrand
am kleinsten ist. Der linke Rand des Intensitätsprofils zeigte, dass ein
messbares Signal über
eine Distanz von etwa 85 μm
erzeugt wurde. Der rechte Profilrand zeigte jedoch, dass über eine
entsprechende Distanz das erzeugte Signal etwa das 1,5-fache des
Signals am linken Rand betrug. Die Differenz weist darauf hin, dass
sich bei größeren Weglängen auch
kleinere Tröpfchenbereiche auflösen lassen.
-
Die
Intensitätskurve
der Vorwärtsabtastung zeigte
eine ausgeprägte
Asymmetrie. Wie aus 12B und
der Intensitätskurve
der Rückwärtsabtastung
ersichtlich, war die Ursache der Hysterese das Tröpfchen selbst.
Das Rückwärts-Intensitätsprofil
war ein spiegelbildliches Abbild der Vorwärtsintensitätsprofils. Dies weist darauf
hin, dass das Tröpfchen
auf dem Silicium-Wafer leicht nach rechts "geschoben" wurde. Dieser Versatz kann an der Fluiddynamik
der Fluid-Ausgabevorrichtung,
elektrostatischen Effekten oder einer Kombination beider liegen. Der
Signalverlust von etwa einem halben Volt in der Rückwärts-Intensitätskurve
war durch die Verdunstung aus dem Tröpfchen beim Testen bedingt.
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Test 3
-
Der
Zweck des dritten Tests war, die Genauigkeit des Rückkopplungs-Schrittschaltmotors
bei offenem Ansteuerkreis zu zeigen und das erfassbare Mindestvolumen
grob abzuschätzen.
Bei diesem Test wurde ein einzelnes Tröpfchen mit etwa 10,4 nl Volumen
an einer bekannten Stelle aufgetragen, die Leseeinrichtung durch
direkte Ansteuerung an das Tröpfchen
heran gefahren und das PMT-Ausgangssignal mit etwa 1000 Hz Abtastrate
bis zum völligen Verdunsten
des Tröpfchens überwacht.
-
In
der 13 sind die Arbeits-
und die Ansteuergenauigkeit des Schrittschaltmotors dargestellt.
Das Maximum von etwa 3,25 V entspricht den Maxima des Tests 1 beim
Abtasten eines Tröpfchens. Dies
weist darauf hin, dass der Schrittschaltmotor und seine Ansteuerung
in der Lage sind, einen Multifunktionskopf im wesentlichen in die
Mitte eines Tröpfchens
zu bringen. Weiterhin lässt
sich, wie oben diskutiert, der 3-Achsen-Mikropositionierer einsetzen,
um einen über
eine Reaktionsstelle gefahrenen Multifunktionskopf bspw. im Bereich
von weniger als etwa 15 mm bei etwa 1 μm Genauigkeit in jeder der drei
kartesischen Achsen nachzustellen.
-
Während das
Tröpfchenvolumen
durch Verdunsten abnimmt, nimmt auch die Signalstärke ab und
gibt dabei den Verlust an Tröpfchenvolumen
wieder. Bei einem bestimmten kritischen Volumen, das teilweise vom
Anfangsvolumen des Tröpfchens,
seiner Zusammensetzung und seiner Lage – bspw. auf der flachen Substratoberflächbe oder
in einer Mulde – abhängt, wird
sich der Verdunstungsvorgang signifikant beschleunigen. Es sei angenommen,
dass das Volumen in linearem Zusammenhang mit der Intensität steht
und das Tröpfchen
beim anfänglichen
Erfassen ein Volumen von 10,4 nl hat; durch Extrapolation lässt sich
dann ein 1V-Signal einem Volumen von etwa 3 nl zuordnen. Folglich
kann ein Volumen von etwa 3 nl eine untere Grenze für das Erfassen
eines Tröpfchens – mit der
in diesem Test eingesetzten Ausrüstung – sein.
-
Dennoch
können
andere Konfigurationen das Erfassen noch kleinerer Volumen zulassen.
Dabei kann es sich um Modifikationen an dem Übertragungsverhalten der Leseeinrichtung
und an der Analyse des Abfragelichts handeln – bspw. ein Verlängern der
Weglänge
des Laser-Erfassungsstrahls, die Verwendung eines Bandpassfilters
zur Rauschminderung oder -beseitigung, das Bündeln des Lichts aus dem ersten
Teil des gegabelten LWL, eine höhere
Leistung der Erregungsguelle – bspw.
des Lasers – sowie
Kombinationen dieser Maßnahmen.
Weiterhin lässt
sich die Substratstruktur modifizieren, um die Erfassungsfähigkeiten
zu verbessern – bspw. durch
die Ausbildung von Mulden, die in Folge ihrer Geometrie das Licht
in den zweiten Teil des gegabelten LWL zurück reflektieren, das Anbringen
von Fotodioden am Boden der Mulden und dergl. Schließlich lassen
die Erfassungsfähigkeiten
sich durch systemische Änderungen
verbessern – bspw.
ein Reduzieren der Kopplungsverluste in der gesamten Vorrichtung.
-
Test 4
-
Dieser
vierte Test sollte zeigen, dass sich ein Binärcode erfolgreich auf das Substrat
aufbringen und von der Leseeinrichtung lesen lässt. Dabei wurden folgende
Schritte durchgeführt:
Aufbringen eines 3-Bit-Codes mit einem Start- und einem Stopp-Bit auf einen Silicium-Wafer
entlang eines Rings und nachfolgendes Schrittschalten des Rotations-Schrittschaltmotors
derart, dass der abzutastende Ringaußenrand unter dem gegabelten
LWL durchläuft.
Das resultierende Intensitätssignal
wurde mit 1000 Hz abgetastet. Der Binärcode wurde aus 0,1 μl-Tröpfchen Rhodamin-Lösung gebildet,
wobei das Vorliegen eines Tröpfchens
eine "1" und dessen Fehlen
eine "0" darstellen sollte.
Das Start- und das Stopp-Bit wurden jeweils mit einem einzigen Tröpfchen bezeichnet.
-
Wie
die 14 zeigt, wurde
der 3-Bit-Code erfolgreich abgelegt und ausgelesen. Die Schwankungen
der Impulsamplitude und -dauer lagen primär an der Verdunstung der Tröpfchen über die
Dauer des Lesevorgangs. Generell erzeugten später im Lesevorgang ausgelesene
Bits niedrigere Signalamplituden. Das zeigt, dass beim Prüfen eine
erhebliche Verdunstung stattfand. Dennoch blieb der Bitcode auch
bei reduziertem Tröpfchenvolumen
lesbar.
-
Anhand
der 15 wird nun ein
zweites Beispiel beschrieben, das die Schnittstelle der Bauelemente
einer Ausführungsform
der Vorrichtung mit einem Multifunktionskopf beschreibt. In dieser
Ausführungsform
lässt die
Funktionskontrolle der Vorrichtung insgesamt sich mit einem Allzweck-Rechner 150 – bspw.
mit einem Pentium-II-Mikroprozessor der Fa. Intel Corporation, Santa
Clara, Kalifornien, V. St. A. oder dergl. – durchführen, der mit mindestens 300 MHz
arbeitet. Vorzugsweise ist der Rechner 150 mit geeigneter
Software ausgerüstet,
die eine Codierumgebung zum Zugriff auf periphere Komponenten schafft.
Eine geeignete Software ist bspw. das Produkt LabVIEW®, Teile-Nr.
776670-03, sowie das Steuerungs-Toolkit LabVIEW®PID,
Teile-Nr. 7766634-11, die von der Fa. National Instruments, Inc.,
Austin, Texas, V. St. A., im Handel erhältlich sind.
-
Der
Rechner 150 ist mit einem Motor-Controller 151 verbunden – bspw.
einem Controller des Typs AT6200 der Fa. Parker Compumotor Company, Rohnert
Park, Kalifornien, V. St. A. Der Motor-Controller 151 gibt
Anweisungen aus dem Rechner 150 an einen Linear-Schrittschaltmotor 152a (bspw.
des Typs L20 der Fa. Parker Compumotor Company, Rohnert Park, Kalifornien,
V. St. A.) und einen Rotations-Schrittschaltmotor 152b (bspw.
des Typs Zeta 57-51-10 mit Treiber Zeta 4 der Fa. Parker Compumotor
Company, Rohnert Park, Kalifornien, V. St. A.).
-
Weiterhin
kann der Rechner 150 an eine Multifunktionssteuerung 153 bspw.
eine DAQ-Platine Modell AT-MIO-16DE der Fa. National Instruments, Inc.,
Austin, Texas, V. St. A., angeschlossen sein. Mit einem flach aufgebauten
Mikropositionierer 155 (bspw. ein 3-Achsen-Positionierer
des Typs CR 4000 der Fa. Daedal Division, Parker Compumotor, Rohnert
Park, Kalifornien, V. St. A.) lassen sich Nachstellungen einer Fluid-Ausgabe-
und Leseeinrichtung entlang kartesischer Achsen im Bereich von weniger als
etwa 15 mm mit etwa 1 m vornehmen. Die Multifunktionssteuerung 153 gibt
Betriebsbefehle aus dem Rechner 150 an mindestens eine
Fluid-Ausgabevorrichtung 154 (bspw. des Typs Biojet Quanti3000TM der Fa. BioDot, Inc., Irvin, Kalifornien, V.
St. A.) und einen Laser 156 weiter. Der Laser 156 gibt
einen Lichtstrahl über
ein erstes Bandpassfilter auf die Oberfläche eines Substrats 10.
Der Laser 156 und das erste Bandpassfilter 157 werden
nach den durchzuführenden
Nachweisen ausgewählt.
An der Substratoberfläche
reflektiertes Licht kann über
ein zweites Bandpassfiler 158 auf eine Fotovervielfacher-Röhre 159 (bspw.
Typ 5784-01 der Fa. Hamamatsu Corporation, Bridgewater, New Jersey,
V. St. A.) gehen.
-
In
dieser Ausführungsform
sind die Fluid-Ausgabevorrichtung 154, der Mikropositionierer 155 und
die Leseeinrichtung auf einem Multifunktionskopf zusammengefasst.
Licht aus dem Laser 156 wird über einen LWL auf die Leseeinrichtung
gegeben und vom Ende des LWL auf das Substrat 10 geworfen.
Ein geeigneter LWL zum Übertragen
des Laserlichts ist ein gegabelter LWL – bspw. der gegabelte 50 μm-LWL mit
der Teile-Nr. BIF50 UV/VIS der Fa. Ocean Optics, Inc., Dunedin,
Florida, V. St. A. Hiermit ist es möglich, mit einem einzigen LWL-Kabel
Laserlicht auf das Substrat 10 aufzubringen und es zur
Fotovervielfacher-Röhre 159 zurück zu führen.
-
Wie
oben anhand der 5 und 6 beschrieben, lassen sich
Spur-LWL verwenden, um das Heranführen des Multifunktionskopfes
and die Reaktionsstelle und das Ausrichten desselben auf sie zu unterstützen. Derartige
LWL können
so ausgeführt sein,
dass sie nur an der Oberfläche
des Substrats 10 reflektiertes Licht, aufnehmen, das vom
Laser 156 erzeugt und mit dem oben beschriebenen gegabeleten LWL
zugeführt
wurde. Alternativ kann es sich auch bei den Spur-LWLn um gegabelte solche handeln, die
zur Spurführung
ihr eigenes Licht abgeben. Das den Spur-LWLn zugeführte Licht
lässt sich
mit dem Laser 156 oder mit einem oder mehreren separaten Lasern
erzeugen.
-
In
einer Ausführungsform
sind die Spur-LWL gegabelt und können
sie vom Laser 156 erzeugtes Licht auf die Oberfläche des
Substrats bringen. Vor dem Abstrahlen des Lichts aus diesen Spur-LWLn auf
die Oberfläche
des Substrats 10 kann das von jedem LWL übertragene
Licht ein separates Bandpassfilter durchlaufen, so dass das vom
Spur-LWL jeweils abgegebene Licht von dem von dem anderen Spur-LWLn
und dem vom Lese-LWL abgegeben Licht unterscheidbar ist. Wie oben
hinsichtlich des Lese-LWL beschrieben, kann das von den Spur-LWLn aufgenommene
reflektierte Licht ebenfalls wieder gefiltert werden, bevor es zur
Analyse auf einen Fotovervielfacher oder ein Fotodioden-Array gegeben
wird.
-
Andere
Ausführungsformen
der Erfindung liegen für
den Fachmann, der die vorliegende Beschreibung gelesen oder die
hier offenbarte Erfindung durchgeführt hat, auf der Hand. Diese
Beschreibung und die Beispiele sind nur als beispielhaft zu betrachten.
Während
die Erfindung in Verbindung mit bevorzugten Ausführungsformen beschrieben worden
ist, ist für
den Fachmann einzusehen, dass an diesen Varianten und Modifikationen
möglich
sind, ohne den Umfang der Erfindung zu verlassen. FIGURENBESCHRIFTUNGEN Fig.
11
Scan
of a ... | Abtastung
eines 1,4nl-Tröpchens |
Volts | Amplitude
(V) |
Microns | Abtastweg
(μm) |
Fig.
12A
Forward
scan ... | Vorwärtsabtastung
eines 1,4nl-Tröpchens |
Voltage | Amplitude
(V) |
Microns | Abtastweg
(μm) |
Fig.
12B
Reverse
scan ... | Rückwärtsabtastung
eines 1,4nl-Tröpchens |
Voltage | Amplitude
(V) |
Microns | Abtastweg
(μm) |
Fig.
13
Evaporation
... | Verdunstungsdauer
eines 1,4nl-Tröpchens |
Volts | Amplitude
(V) |
Time
... | Zeit
(s) |
Fig.
14
3-Bit-code
... | 3-Bit-codeAbzählung |
Volts | Amplitude
(V) |
Sample
number | Probennummer |
-
Fig. 15
- 10
- Substrat
- 150
- Allzweck-Rechner
- 151
- Motorsteuerung
- 152a
- Linear-Schrittschaltmotor
- 152b
- Rotations-Schrittschaltmotor
- 153
- Multifunktionssteuerung
- 154
- Fluid-Ausgabevorrichtung
- 155
- Mikropositionierer
- 156
- Laser
- 157
- Bandpassfilter
- 158
- Bandpassfilter
- 159
- Fotovervielfacher-Röhre