KR960006309B1 - 액체수위를 모니터하기 위한 방법 및 그 장치 - Google Patents
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Abstract
내용 없음.
Description
제 1 도는 본 발명 장치의 개략도.
제 2 도는 본 발명 장치의 또다른 실시예를 개략적으로 도시한 도면.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
14 : 횡단기구 16 : 버팀부분
22, 24 : 감지수단(전극) 26 : 공통접지전극
28 : 해독 및 스위칭장치 34 : 제어유닛.
본 발명은 접촉감지수단을 사용하여 액면수위를 모니터하기 위한 장치 및 그 방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 용융금속주조시스템에서 특히 유용한 액면수위를 모니터하기 위한 두개의 이동가능전극을 사용하는 방법에 관한 것이다.
일반적인 접촉 비접촉 방법에 의해 계속하여 액면수위를 감지 및 측정하기 위한 공지된 여러 방법이 있다. 이같은 시스템은 용기내 액면수위(액위) 특히 용기, 턴디시(tundish), 또는 주형에서의 용융금속의 액위를 측정할 것을 목적으로 하고 있다.
다양한 비접촉 방법 및 장치는 와류전류, 레이저광선반사, 그리고 초음파에 기초하고 있다. 와전류를 사용하는 때 용기 또는 주형자체 주 동체에 일체로 되거나 액체위에 매달린 감지 헤드(sensing head)의 코일내 유도된 변화의 양이 사용된다. 일반적으로 사용되는 또다른 방법은 레이저광선을 사용하는 것으로 레이저광선이 액체표면으로부터 검파기로 반사되어 레이저와 검파기 사이의 상대각을 측정한다. 그러나 용융된 강철에 사용하는 때에는 고온의 가스체, 용융된 강철표면의 불규칙상태 그리고 용융금속의 노출된 표면에 통상 가해지는 융제(融劑)분말로 인하여 반사된 광선이 방해를 받는다.
제한된 바의 또다른 방법은 용융된 금속표면 위의 변환기(transducer)에 의해 발생되는 초음파 또는 음파측정을 기초로 한다. 그러나 용융된 강철에 포함된 가스체 때문에 레이저 방법과 초음파 방법 모두는 측정에 큰 오차를 가지며 믿고 사용될 수가 없다.
여러 접촉(contacting) 방법 및 장치가 또한 제외되어온 바, 예를들어 액체금속의 수위를 측정하기 위해 선회류 또는 기포관을 사용하는 것이 알려져 있다. 또한 용융금속의 수위를 탐지하기 위해 단일전극을 사용함이 제안되어온 바, 이때 전극의 위치는 전극과 용융금속 사이의 전기적 저항에 달리게 된다.
1985년 12월 25일 공개된 일본특허공고 제6059513호에서 공개된 바, 액체표면의 위치를 탐지하기 위한 방법이 액체표면에 접촉하여 시간에 대하여 용융금속 표면위치의 변화를 측정하기 위해 규칙적인 간격을 두고 단일전극을 올리고 내리고 하므로써 수행된다.
주조 턴디시에서 액체금속 저장소의 톱(top)을 감지하기 위해 고정된 두 전극(two-electrode) 탐침 시스템을 사용함이 시도된 바 있으나 이같은 방법은 액체금속의 표면위치를 동적으로 추적, 탐지할 수 없으며, 액체금속의 표면을 모니터하기 위한 피드백에 의해 조절되는 전극시스템을 포함하지 않는다.
이같은 방법 및 장치가 다소 성공적이기는 하였으나 이들은 비쌀뿐 아니라 정확도가 부족하고 용융금속 또는 용융금속 연속주조작업에도 실용적이지 못하다.
필요한 것은 액체, 용융된 금속 특히 용재(鎔滓)층이 거의 없거나 전무한 용융된 금속의 표면수위를 모니터하기 위한 방법 및 장치이다. 이같은 방법 및 장치는 용융된 금속주조시스템의 거친 환경에서 사용하기에 적합하여야 하여 실용적이어야 하고 비싸지 않아야 한다. 이같은 방법 및 장치는 액체표면을 동적으로 탐지할 수 있어야 하고 액체표면을 모니터하기 위해 귀환 응답가능하여야 한다.
본 발명에 따라, 액면수위를 모니터하기 위한 방법이 제공되는데 이같은 방법은 액면수위에 대하여 수직으로 제 1 및 제 2 감지수단을 이동시키며, 제 2 감지수단의 하측부를 제 1 감지수단의 하측부에 대하여 수직상향하여 위치시키고, 각 감지수단위치의 기능으로 출력신호를 발생시키며, 각 감지수단 위치에 상응하는 출력신호에 응답하여 액면수위에 대하여 수직으로 제 1 및 제 2 감지수단을 이동시키고, 다음으로 제 1 감지수단이 액체와 접촉하여 있고 제 2 감지수단이 액체위에 접촉하여 있지 않는데 액면수위를 결정함을 포함한다. 제 1 및 제 2 감지수단의 수직이동량은 액면수위 결정의 정확도에 직접 관계한다.
또한 본 발명 장치는 제 1 감지수단, 제 2 감지수단, 이들 감지수단을 액면수위에 대하여 수직으로 이동시키기 위한 수단, 제 2 감지수단의 하측부가 제 1 감지수단의 하측부에 대해 수직 상향하여 위치하도록 제1 및 제 2 감지수단을 위치시키기 위한 수단, 감지수단 전극위치의 기능으로 출력신호를 발생시키기 위한 수단, 그리고 각 감지수단위치에 상응하는 출력신호에 응답하여 표면수위에 대하여 수직으로 감지수단을 이동시키고 제 1 감지수단이 액체와 접촉하고 제 2 감지수단이 액체위에서 액체와 접촉하지 않은 때 액면수위를 결정하기 위한 수단을 포함한다.
제 1 도는 본 발명을 개략하여 도시한 것으로, 용기(8)내의 액체(11)표면에 대해 수직하여 감지수단을 이동시키기 위한 장치(14)상에 제1 및 제 2 감지수단 또는 탐침(22)(24)이 상호 관계하여 이들을 위치시키기 위한 수단(16)내에 각각 장착된다. 탐침(22)(24)으로부터 위치를 정하는 기능으로 출력신호를 발생시키기 위한 수단(29) 그리고 출력신호에 응답하여 탐침을 이동시키기 위한 수단(36)이 또한 도시되어 있다.
감지수단(22)(24)은 공압식, 전기식 또는 기계식의 어떤 종류의 감지장치일 수 있다.그러나 본 명세서에서 주장되는 바 발명에 있어서, 두개의 감지수단 또는 장치가 준비되고 각각의 하측 감지부가 다른 감지부에 관계하여 수직상향이동 되어야 함이 중요하다. 각 감지수단 하측부 사이의 수직 이동 차이 또는 크기는 요구되는 수위를 측정하고 유지시키는 정확도에 대해 그리고 액면수위에 대해 결정력이 있다.
출력신호를 발생시키며, 이에 응답하여 감지수단(22)(24)의 위치를 정하고, 재위치시키기 위한 수단(29)이 프로그램가능 논리 컴퓨터(PLC)와 같은 단일의 장치일 수 있으며, 그같은 기능을 수행하기 위한 여러장치의 결합을 포함할 수도 있다. 이들 장치의 결함은 개전기 조절모듈(realy control module), 고체상태 스위칭회로, 트랜지스터 그리고 스테핑 전동기(stepping motor)를 포함한다.
제 2 도는 이동기질(12)위로 용융금속액체(11)를 보내기 위한 턴디시(10)를 포함하는 주조장치를 도시한 것이다. 본 발명은 액면수위에 대하여 수직으로 전극의 위치를 정하기 위해 횡단기구(14)의 버팀부분(16)내에 장착된 전극인 감지수단(22)(24)을 포함한 것으로 도시되어 있다. 전극은 용융금속액체 및 전기적 해독 및 스위칭장치(28)에 접촉된 공동접지전극(26)에 전기적으로 연결되어 있다. 전극의 위치에 의해 발생된 전기신호에 응답하여 해독 및 스위칭장치(28)는 개전기(34)를 통하여 모터(18)로 출력신호를 발생시키어 전극(22)(24)을 들어올리고 낮추고 하기 위한 횡단기구(14)를 구동시키도록 한다.
본 발명은 제 2 전극(24)의 하측부 또는 선단이 제 1 전극(22)의 하측부 또는 선단에 대하여 수직상향위치하여 지도록 그 위치가 정해지는 두개의 전극(22)(24)을 포함한다.
본 발명의 모니터동작을 통하여 같은 수직이동이 각 전극의 하측부 사이에서 유지된다. 전극은 고온에 저항할 수 있으며 용융금속에 지배되어 부식되지 않아야 한다. 탐침은 같은 재료로 만들어질 필요는 없다. 각 전극은 도성(陶性)금속 합금재 또는 철, 알루미나-흑연 또는 알루미나-몰리브덴 합금을 포함하는 여러 다른 재료중 어느것으로부터 선택된다. 이같은 재료는 액체금속 및 용재에 의한 부식에 저항할 수 있어야 하며 충분한 전기적 흐름을 허용하여야 한다. 탐침의 재질 또는 크기는 동결된 금속 및 산화물의 형성을 최소화하도록 선택된다.
횡단기구(14)는 나사식 기구(screw-type mechanism) 또는 앤드리스 체인(endless chain) 또는 이음매 없는 밸트를 포함하는 통상형태를 가질 수 있다. 중요한 것은 횡단기구가 매우 적은 오차로 전극을 정확히 위치시키기 위해 유연하고 균일한 이동을 제공할 수 있어야 한다는 것이다. 횡단기구(14)는 전극(22)(24)이 장착되어 있는 버팀아암(16)을 포함한다. 버팀아암(16)은 전극이 상호간에 절연되도록 하기 위해 전기 절연재로 만들어져야 하며, 용융금속 주조시스템에 사용되는 때 고온과 용융된 금속에서 버틸 수 있기에 적합하여야 한다. 횡단기계(14)는 직류전류 또는 교류전류 전동기 또는 스테핑 전동기와 같은 통상의 전동기(18)에 의해 구동될 수 있다. 특히 전동기는 전동기에 가해진 전압의 극성에 띠라 필요한 때에 적합하여 버팀아암(16)과 전극(22)(24)이 액체표면에 대하여 수직상하로 이동될 수 있어야 한다.
전기회로(20)는 도선(22)(25)을 통하여 해독 및 스위칭장치(28)에 각각 전기적 연결된 전극(22)(24)을 포함한다. 양 전극은 저항기와 도선(27)을 통하여 공통접지전극(26)으로 전기적 연결된다. 공통전극(26)은 액체내에서 고정된 위치로 유지되어야 한다. 전극(22)(24)은 공통전극(26)에 대하여 뿐 아니라 액체에 대하여도 수직으로 이동가능하다. 전압신호는 액체표면에 대한 전극(22)(24)의 위치결정기능으로 발생된다. 전극의 위치에 따라 세가지 상이한 전기신호가 발생될 수 있다. 예를들어, 한 신호가 두 전극이 모두 액체표면위에 있음을 나타내고, 다른 한 신호는 두 전극이 모두 액체에 접촉하여 있음을 나타낼때 발생될 수 있을 것이다. 제 3 신호는 제 1 전극(22)의 하측부가 액체와 접촉하여 있고 제 2 전극(24)의 하측부가 액체표면 위에 있게되는 때 발생될 수 있을 것이다. 이같은 신호들은 액체의 수위를 결정하도록 사용된다. 제 1 전극이 접촉하여 있고 제 2 전극이 액체위에서 접촉하지 않고 있는 때 각 전극 낮은 선단 사이의 수직이동의 크기는 액체수위결정 정확도에 직접 관계한다. 이같은 신호는 액체수위를 결정하기 위해 또는 적절한 피드백 신호에 의해 예정된 위치로 액면수위가 변경되도록 함에 있어 전극의 위치에 대한 어떠한 조절에도 결정력을 갖는다.
해독기 및 스위칭장치(28)는 전압신호를 수신하기 위해 전극(22)(24)에 전기적으로 연결된다. 스위칭장치(28)는 접점회로, 알고리즘이 있는 컴퓨터, 또는 표준논리 회로일 수 있다. 전극이 액체표면에 접하는 때 그 도선에서의 전압은 5볼트와 같은 정상의 고전압으로 간다. 해독 및 스위칭장치(28)로 이어지는 두 도선(23)(25)은 장치내에서 해독기 회로로의 이진 디지탈 신호수준을 형성시킨다. 해독기 회로는 약 5볼트인 저전압에서 동작할 수 있기 위한 공통된 특징의 설계를 갖는 트랜지스터-트랜지스터(TTL)를 포함한다. 해독기 회로는 이진 입력을 번역하며 그것을 여러 출력중 하나로 변환한다. 해독 및 스위칭장치(28)는 전극을 상하로 이동시키기 위해 전동기(18)를 구동시키기 위하여 전동기(18)를 구동시키기 위한 신호 또는 전동기를 구동시키지 않기 위한 널(NULL)신호에 상응하는 여러 다른 전기출력을 제공할 수 있다. 두 전극(22)(24) 모두가 액체내에 있는 때 [MOTOR UP] 신호가 주어지며, 두 전극(22)(24) 모두가 액체위에 그리고 액체로부터 벗어나 있게되는 때 [MOTOR DOWN] 신호가 주어진다. 제 1 전극(22)이 액체내에 있고 제 2 전극(24)이 액체위에 있는 때 전동기를 구동시키지 않는 신호가 주어진다.
해독 및 스위칭장치(28)는 전극(22)(24)으로부터 도선(23)(25) 각각을 통하여 INPUT 신호에 의해 활동되는 한 세트의 스위치를 포함한다. 이같은 스위치는 전극이 액체와 접촉하여 있거나 또는 접촉하지 않은 상태로 있는데에 따라 입력전압이 높거나 낮아지고 이에따라 트랜지스터 타입이 "ON" 또는 "OFF" 조건을 갖게 된다. 이같은 스위치는 통상의 형태를 가지며 적절한 스위치로는 금속 산화막 전계와 트랜지스터인 모스 FET 타입 트랜지스터 소자로 되어 있다.
제어기(34)는 도선(31)(32)에 의해 해독 및 스위칭장치(28)에 전기적으로 연결된다. 제어기(34)는 액체표면에 대하여 전극(22)(24)을 수직상하로 이동시키기 위해 횡단기구(14)를 구동하도록 전동기(18)에 신호를 보내기 위해 해독 및 스위칭장치(28)로부터 OUTPUT 신호에 의해 활동되는 한 세트인 4개의 고체상태 개진기를 포함한다. 개진기 제어모듈대신에 제어기(34)가 고체상태 스위칭회로 또는 스테핑 전동기 제어기와 같은 다른 적절한 장치를 포함할 수도 있다.
본 발명의 동작시에 전극(22)(24)은 횡단기구(14) 및 버팀아암(16)의 활동을 통하여 제 2 도에 도시된 용기(10)내 용융된 금속과 같은 액면수위에 대하여 수직으로 이동된다. 전극(22)(24)의 선단 하측부는 액면수위가 결정되도록 서로서로 수직하여 이동된다. 전기회로(20)가 동작중인때 전기신호는 전극위치의 결정가능으로 발생된다. 전극(22)(24)중 어느 한 전극도 액체금속에 접하고 있지 않은 때 해독 및 스위칭장치(28)로의 전압신호가 고속의 한 트랜지스터 스위치를 활동시키며 전기도선(32)을 따라 제어기(34)로 OUTPUT신호를 보내며, 제어기에서 횡단기구를 하향으로 구동시키기 위한 신호를 전동기(18)로 보낸다. 전극(2)이 액체와 접촉하여 있고 전극(24)이 액체위에서 액체와 접촉하지 않고 있는 때 해독 및 스위칭장치(28)로의 전압신호가 어떤 전기적 신호도 전동기(18)를 활동시키기 위해 개전기(34)로 보내어지지 않은 채 상태 표시기만을 구동시킬 수 있다. 액체수위가 올라가고 두 전극(22)(24)과 접촉하게 되는 때 트랜지스터 스위치를 통하여 해독 및 스위칭장치(18)로 보내어진 전기신호가 한 고체상태 개진기를 활동시키기 위해 제어기(34)로 OUTPUT 신호를 보내므로써 전극(24)이 액체위에서 액체와 접촉하지 않게되는 위치에 있을 때까지 액체의 표면수위에 대하여 수직으로 전극(22)(24)을 계속하여 들어올리기 위하여 횡단기구(14)로 신호를 보낼 것이다. 이때 해독 및 스위칭장치(28)로의 신호는 액체수위를 표시하기 위해 어떤 진동기 응답도 필요하지 않음을 지시한다. 피드백 응답은 액체수위가 요구되는 수위로 떨어질 때까지 용융금속 공급기가 보다 적은 금속을 제공하도록 사용될 수 있다. 전기신호는 상기 설명된 바와 같이 탐침을 이동시키도록 사용될 수 있다.
본 발명을 보다 잘 이해하기 위해 다음의 예가 제시된다.
제 2 도에 도시된 유닛(unit)을 포함하는 장치가 설치되고, 강철을 주조하기 위한 턴디시(10)와 회전의 주조기질바퀴(12)를 사용하여 얇은 스트립(strip)재를 주조하는 계속되는 주조작업중에 용융금속의 수위를 측정 및 모니터하기 위해 사용된다. 직경이 l/4인치이고 길이가 약 3인치의 두 도성(陶性)합금전극이 강철로 만들어진 버팀아암을 갖는 나사식 횡단기구에 전기적으로는 절연된 상태로 장착된다. 5볼트의 전원장치가 내부의 모스 전계효과 트랜지스터(Mosfet) 타입 스위치를 구동하기 위해 해독 및 스위칭장치(28)에 전기적으로 연결된다. 제어유닛(34)은 두쌍의 고체상태 개전기를 포함하는 개전기 유닛이다. 각 쌍의 개전기는 OUTPUT 신호를 수신하기 위해 전압소스 뿐 아니라 해독 및 스위칭장치(28)에 연결된다. 해독 및 스위칭장치(28)내의 트랜지스터형 스위치는 고체상태 개전기쌍의 제어입력축을 위한 회로를 완성한다. 다른 방향으로 전동기를 구동시키기 위해 전동기(18)에 가해진 전압의 극성은 전기도선(31)(32)를 따라 보내진 해독 및 스위칭장치(28)로부터의 OUTPUT 신호에 의해 결정된다.
사용시에 본 발명의 전장치는 턴디시에서의 용융된 금속의 수위를 모니터함에 있어 그 속도와 정확성 모두에서 홀륭히 수행됨이 밝혀졌다. 액체금속 저장과의 접촉 또는 비접촉에 관계한 두 전극 각각의 상태가 전동기로 구동지시를 귀환시키는 논리회로에 의해 모니터되어 횡단기구를 상하로 이동시키므로써 평형상태에서 한 전극이 금속저장내에 남아있는 동안 다른 한 전극을 금속저장위에서 이에 접촉되지 않은 상태로 남아있도록 한다. 평형상태가 도달된 때 횡단기구위치의 측정은 바로 금속저장표면의 상대적인 위치를 제공한다. 이같은 측정은 20분간의 지속기간 동안에 행해지며 ±0.5인치 오차의 정확도를 갖는다.
본 발명 장치는 시스템 응답을 최적으로 하기 위해 통상 사용되는 적절한 신호조건 및 신호분리를 나타내도록 함이 적합하다.
본 발명의 목적인 바에 따라 실시간에 액체표면의 위치에 대한 정보를 제공하기 위해 액체표면의 위치를 동적으로 추적, 탐지할 방법 및 장치가 제공된다. 더우기 본 발명에 따른 방법 및 장치는 고온의 환경과 용융된 금속부식에 대한 저항이 요구되는 용융된 금속에서의 측정을 위해 비교적 낮은 단가의 시스템을 제공한다.
비록 본 명세서에서는 선택된 실시예가 설명된 바와 같으나 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 기술을 가진자라면 본 발명의 사상을 벗아나지 않는 한도에서 여러 변경이 가해질 수 있음을 알 것이다.
Claims (14)
- 액체표면수위를 모니터하는 방법에 있어서, a) 제 1 감지수단(22)과 제 2 감지수단(24)을 액체(11)표면수위에 대하여 수직으로 이동시키며, b) 제 2 감지수단(24)의 하측부를 제 1 감지수단(22)의 하측부에 대하여 수직상향하여 위치시키되 그 수직이동크기가 액체수위를 결정함에 있어 정확도에 직접 관계하도록 하고, c) 각 감지수단의 위치결정의 기능으로 출력신호를 발생시키며, 다음으로 d) 각 감지수단의 위치에 상응하는 출력신호에 응답하여 액체(11)의 수위에 대하여 수직으로 제 1 및 제 2 감지수단(22)(24)을 이동시키고, 그리고 e) 제 1 감지수단(22)이 액체(11)와 접촉하여 있고 제 2 감지수단(24)이 액체(11)위에서 접촉하지 않은 위치에 있는 때 액체의 수위를 결정함을 특징으로 하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 감지수단 사이의 상대적 수직이동 거리를 유지하면서 제 1 및 제 2 감지수단을 함께 이동시킴을 더욱 포함함을 특징으로 하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 각 감지수단이 액체(11)와 접촉 또는 비접촉인 관계에 있음을 알리는 기능으로 출력신호를 발생시킴을 더욱 포함함을 특징으로 하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 액체(11)의 표면수위에 대하여 수직으로 제1 및 제 2 감지수단(22)(24)을 새로운 위치에 다시 이동시키고, 제 1 감지수단(22)이 액체(11)와 접촉하여 있고 제 2 감지수단(24)은 액체(11)위에서 액체와 접촉하지 않은 위치에 있는 때까지 액체수위가 변경되도록 함을 더욱 특징으로 하는 방법.
- 제 4 항에 있어서, 제 1 감지수단(22)과 제 2 감지수단(24)으로부터의 출력신호에 응답하여 액체수위가 변경되어지도록 함을 포함함을 특징으로 하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 제 1 감지수단(22)의 하측부에 대한 제 2 감지수단(24) 하측부의 수직이동거리를 조절함을 포함함을 특징으로 하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 제 1 및 제 2 감지수단(22)(24)이 각 전극의 위치를 결정하는 기능으로서 전압출력신호를 발생시키기 위한 전극임을 특징으로 하는 방법.
- 액체의 표면수위를 모니터하기 위한 장치에 있어서, a) 제 1 감지수단(22), b) 제 2 감지수단(24), c) 액체의 표면수위에 대하여 수직하여 제 1 및 제 2 감지수단(22)(24)을 이동시키기 위한 수단, d) 제 2 감지수단(24)의 하측부가 제 1 감지수단(22)의 하측부에 대하여 수직상향하여 있도록 제 1 및 제 2 감지수단(22)(24)의 위치를 결정하기 위한 수단, e) 각 감지수단의 위치를 결정하는 기능으로서의 출력신호를 발생시키기 위한 수단(29), 그리고 f) 각 감지수단의 위치에 상응하는 출력신호에 응답하여 액체(11)의 표면수위에 대하여 수직으로 제 1 및 제 2 감지수단(22)(24)을 이동시키어 제 1 감지수단(22)이 액체(11)와 접촉하여 있고 제 2 감지수단(24)이 액체위에서 액체와 접촉하여 있지 않은 위치에 있는 때 액체의 수위를 결정하기 위한 수단(36)을 포함함을 특징으로 하는 장치.
- 제 8 항에 있어서, 감지수단 사이의 상대적 수직이동거리를 유지하면서 감지수단을 함께 이동시키기 위한 수단(14)(16)을 더욱 포함함을 특징으로 하는 장치.
- 제 8 항에 있어서, 각 감지수단이 액체(11)와 접촉하고 있거나 액체와 접촉하고 있지 않은 위치를 결정하는 기능으로서의 출력신호를 발생시키기 위한 수단(28)(29)을 더욱 포함함을 특징으로 하는 장치.
- 제 8 항에 있어서, 제 1 감지수단(11)이 액체와 접촉하여 있고 제 2 감지수단(24)은 액체위에서 액체와 접촉하고 있지 않게 되는 때까지 액체수위가 변경되도록 하기 위해 액체의 표면수위에 대하여 수직으로 제1 및 제 2 감지수단(22)(24)을 새로운 위치로 이동시키기 위한 수단(34)을 더욱 포함함을 특징으로 하는 장치.
- 제 8 항에 있어서, 제1 및 제 2 감지수단으로부터의 출력신호에 응답하여 액체수위가 변경되도록 하기 위한 수단(28)을 더욱 포함함을 특징으로 하는 장치.
- 제 8 항에 있어서, 감지수단 하측부 사이의 수직이동 거리를 조절하기 위한 수단을 더욱 포함함을 특징으로 하는 장치.
- 제 8 항에 있어서, 제 1 및 제 2 감지수단(22)(24)이 각 전극의 위치결정기능으로서의 전압출력신호를 발생시키기 위한 전극임을 특징으로 하는 장치
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