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KR20230117524A - Electrical inspection equipment and electrical inspection method - Google Patents

Electrical inspection equipment and electrical inspection method Download PDF

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KR20230117524A
KR20230117524A KR1020230009920A KR20230009920A KR20230117524A KR 20230117524 A KR20230117524 A KR 20230117524A KR 1020230009920 A KR1020230009920 A KR 1020230009920A KR 20230009920 A KR20230009920 A KR 20230009920A KR 20230117524 A KR20230117524 A KR 20230117524A
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KR
South Korea
Prior art keywords
inspection head
electrical inspection
imaging unit
circuit board
printed circuit
Prior art date
Application number
KR1020230009920A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
도루 이시이
히로타카 다케야마
Original Assignee
야마하 파인 테크 가부시키가이샤
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Filing date
Publication date
Application filed by 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 filed Critical 야마하 파인 테크 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 전기 검사 헤드를 프린트 기판에 대하여 빠르고 또한 용이하게 위치 정렬하는 것이 가능한 전기 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 형태에 따른 전기 검사 장치(1)는, 프린트 기판(W)에 법선 방향측으로부터 접촉 가능한 전기 검사 헤드(10)와, 전기 검사 헤드(10)를, 프린트 기판(W)의 법선 방향과 평행한 회전축(R)을 중심으로 해서 회전시키는 회전 기구(11)와, 프린트 기판(W)에 대하여 법선 방향으로부터 정면으로 대향하는 광학 소자(22a)를 갖고, 프린트 기판(W)을 촬상 가능한 촬상부(12)와, 촬상부(12)를 근접 위치 P1과 회피 위치 P2 사이에서 이동시키는 이동 기구(13)를 구비하고, 근접 위치 P1은, 전기 검사 헤드(10)가 회전했을 때에 촬상부(12)가 전기 검사 헤드(10)와 접촉할 수 있는 위치이며, 회피 위치 P2는, 전기 검사 헤드(10)가 회전했을 때에 촬상부(12)가 전기 검사 헤드(10)와 접촉하지 않는 위치이다.
An object of the present invention is to provide an electric inspection apparatus capable of quickly and easily aligning an electric inspection head with respect to a printed circuit board.
An electric inspection apparatus 1 according to one embodiment of the present invention includes an electric inspection head 10 contactable to a printed circuit board W from the normal direction side, and an electric inspection head 10 connected to the normal line of the printed circuit board W. A rotation mechanism 11 for rotating around a rotational axis R parallel to the direction, and an optical element 22a facing the printed board W from the normal direction to the front, the printed board W is imaged. A possible imaging unit 12 and a moving mechanism 13 for moving the imaging unit 12 between the proximity position P1 and the avoidance position P2 are provided, and the proximity position P1 captures an image when the electrical inspection head 10 rotates. It is a position where the part 12 can come into contact with the electrical inspection head 10, and the avoidance position P2 is such that the imaging unit 12 does not come into contact with the electrical inspection head 10 when the electrical inspection head 10 rotates. It is a location.

Description

전기 검사 장치 및 전기 검사 방법{ELECTRICAL INSPECTION EQUIPMENT AND ELECTRICAL INSPECTION METHOD}Electrical inspection device and electrical inspection method {ELECTRICAL INSPECTION EQUIPMENT AND ELECTRICAL INSPECTION METHOD}

본 발명은 전기 검사 장치 및 전기 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an electrical inspection device and an electrical inspection method.

프린트 기판의 전기적인 특성을 검사하기 위해서 전기 검사 장치가 사용되고 있다. 이 전기 검사 장치는, 복수의 프로브(전기 접촉자)가 배치된 전기 검사 헤드와, 프린트 기판을 법선 방향으로부터 촬상 가능한 촬상부를 구비하고 있다. 이 전기 검사 장치는, 촬상부에 의해 프린트 기판을 촬상하고, 전기 검사 헤드를 프린트 기판의 피검사 영역에 대하여 위치 정렬한 다음, 전기 검사 헤드를 프린트 기판에 법선 방향으로부터 접촉시킴으로써, 프린트 기판의 전기적인 특성을 검사한다(특허문헌 1 참조).An electrical inspection device is used to inspect the electrical characteristics of a printed circuit board. This electric inspection device includes an electric inspection head on which a plurality of probes (electrical contacts) are disposed, and an imaging unit capable of imaging a printed circuit board from a normal direction. This electrical inspection device captures an image of a printed circuit board with an imaging unit, aligns an electrical inspection head with respect to an area to be inspected on the printed board, and then contacts the electrical inspection head to the printed circuit board from a normal direction, so that the electrical inspection of the printed circuit board is performed. Inspection of specific characteristics (see Patent Document 1).

일본 특허공개 제2015-52511호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-52511

특허문헌 1에는, 제4 실시 형태에 있어서, 전기 검사 지그(50a)의 베이스 플레이트(51)에 연결되는 위치 결정 기구(57)를 갖고 있고, 이 위치 결정 기구(57)에 화상 인식용 카메라(56)가 배치된 구성이 기재되어 있다.Patent Literature 1, in the fourth embodiment, has a positioning mechanism 57 connected to the base plate 51 of the electric inspection jig 50a, and to this positioning mechanism 57 a camera for image recognition ( 56) is described.

특허문헌 1에 기재되어 있는 전기 검사 장치는, 위치 결정 기구(57)에 의해 화상 인식용 카메라(56)의 위치 조절을 할 수 있기 때문에, 화상 인식용 카메라(56)를 미리 정확한 위치에 고정해 두는 것을 요하지 않는다.Since the electrical inspection device described in Patent Literature 1 can adjust the position of the camera 56 for image recognition by the positioning mechanism 57, the camera 56 for image recognition is fixed to an accurate position in advance. does not require putting

반면에, 이러한 전기 검사 장치에서는, 전기 검사 헤드를 프린트 기판의 피검사 영역에 위치 정렬할 때에, 전기 검사 헤드를 프린트 기판의 법선 방향과 평행한 축의 둘레로 회전시키는 경우가 있다. 그러나, 특허문헌 1에 기재되어 있는 구성에 따르면, 전기 검사 헤드를 회전시킨 경우에, 화상 인식용 카메라가 전기 검사 헤드와 함께 회전한다. 그 때문에, 특허문헌 1에 기재되어 있는 전기 검사 장치는, 화상 인식용 카메라에 의한 촬상과 전기 검사 헤드의 피검사 영역에 대한 위치 정렬을 연속해서 빠르게 행하는 점에서, 가일층의 개량의 여지가 있다.On the other hand, in such an electric inspection apparatus, when aligning the electric inspection head with the area to be inspected of the printed circuit board, there are cases where the electric inspection head is rotated around an axis parallel to the normal direction of the printed circuit board. However, according to the configuration described in Patent Literature 1, when the electric inspection head is rotated, the camera for image recognition rotates together with the electric inspection head. Therefore, the electric inspection apparatus described in Patent Literature 1 has room for further improvement in that it continuously and quickly performs image pickup by an image recognition camera and alignment of the electric inspection head with respect to the area to be inspected.

본 발명은 이러한 사정에 기초해서 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 전기 검사 헤드를 프린트 기판에 대하여 빠르고 또한 용이하게 위치 정렬하는 것이 가능한 전기 검사 장치를 제공하는 데 있다.The present invention has been made based on these circumstances, and an object of the present invention is to provide an electric inspection apparatus capable of quickly and easily aligning an electric inspection head with respect to a printed circuit board.

본 발명의 일 형태에 따른 전기 검사 장치는, 프린트 기판에 법선 방향측으로부터 접촉 가능한 전기 검사 헤드와, 상기 전기 검사 헤드를, 상기 법선 방향과 평행한 회전축을 중심으로 해서 회전시키는 회전 기구와, 상기 프린트 기판에 대하여 법선 방향으로부터 정면으로 대향하는 광학 소자를 갖고, 상기 프린트 기판을 촬상 가능한 촬상부와, 상기 촬상부를 근접 위치와 회피 위치 사이에서 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 근접 위치는, 상기 전기 검사 헤드가 회전했을 때에 상기 촬상부가 상기 전기 검사 헤드와 접촉할 수 있는 위치이며, 상기 회피 위치는, 상기 전기 검사 헤드가 회전했을 때에 상기 촬상부가 상기 전기 검사 헤드와 접촉하지 않는 위치이다.An electrical inspection apparatus according to one aspect of the present invention includes an electrical inspection head contactable to a printed circuit board from a normal direction side, a rotation mechanism for rotating the electrical inspection head around a rotational axis parallel to the normal direction, and the above. An imaging unit having an optical element that faces the printed circuit board in a frontal direction from a normal line, and capable of capturing an image of the printed circuit board; and a moving mechanism for moving the imaging unit between a proximity position and an avoidance position, the proximity position comprising: A position where the imaging section can come into contact with the electric inspection head when the electric inspection head rotates, and the avoidance position is a position where the imaging section does not contact the electric inspection head when the electric inspection head rotates.

상기 이동 기구가 상기 전기 검사 헤드와는 독립적으로 상기 촬상부를 이동시키면 된다.It is only necessary for the moving mechanism to move the imaging unit independently of the electric inspection head.

상기 회피 위치가, 상기 근접 위치로부터 상기 프린트 기판의 법선 방향으로 멀어지는 위치이면 된다.The avoidance position may be a position away from the proximity position in the normal direction of the printed circuit board.

상기 프린트 기판의 법선 방향으로 보았을 때, 상기 근접 위치에 있어서의 상기 촬상부와 상기 회전축의 간격이, 상기 회피 위치에 있어서의 상기 촬상부와 상기 회전축의 간격과 동일하면 된다.When viewed in the normal direction of the printed circuit board, the interval between the imaging unit and the rotating shaft at the proximity position may be the same as the interval between the imaging unit and the rotation shaft at the avoidance position.

당해 전기 검사 장치는, 상기 전기 검사 헤드를, 상기 프린트 기판의 평면 방향으로 위치 결정 가능한 위치 결정 기구를 더 구비하면 된다.The electrical inspection device may further include a positioning mechanism capable of positioning the electrical inspection head in the plane direction of the printed circuit board.

상기 위치 결정 기구가, 상기 전기 검사 헤드와 상기 촬상부를 동시에 상기 평면 방향으로 위치 결정하면 된다.The positioning mechanism may position the electric inspection head and the imaging unit simultaneously in the direction of the plane.

본 발명의 다른 일 형태에 따른 전기 검사 방법은, 프린트 기판에 법선 방향측으로부터 접촉 가능한 전기 검사 헤드와, 상기 전기 검사 헤드를, 상기 법선 방향과 평행한 회전축을 중심으로 해서 회전시키는 회전 기구와, 상기 프린트 기판에 대하여 법선 방향으로부터 정면으로 대향하는 광학 소자를 갖고, 상기 프린트 기판을 촬상 가능한 촬상부와, 상기 촬상부를 근접 위치와 회피 위치 사이에서 이동시키는 이동 기구를 구비하는 전기 검사 장치를 사용하여, 상기 근접 위치가, 상기 전기 검사 헤드를 회전했을 때에 상기 촬상부가 상기 전기 검사 헤드와 접촉할 수 있는 위치이며, 상기 회피 위치가, 상기 전기 검사 헤드를 회전했을 때에 상기 촬상부가 상기 전기 검사 헤드와 접촉하지 않는 위치이도록 상기 촬상부를 이동시킨다.An electrical inspection method according to another aspect of the present invention includes: an electrical inspection head contactable to a printed circuit board from a normal direction side; a rotating mechanism for rotating the electrical inspection head around a rotation axis parallel to the normal direction; Using an electrical inspection apparatus having optical elements frontally opposed to the printed board in a direction normal to the printed circuit board, including an imaging unit capable of capturing an image of the printed circuit board, and a moving mechanism for moving the imaging unit between a proximity position and an avoidance position. , The proximity position is a position at which the imaging unit can come into contact with the electrical inspection head when the electrical inspection head is rotated, and the avoidance position is a position where the imaging unit is in contact with the electrical inspection head when the electrical inspection head is rotated. The imaging unit is moved to a non-contact position.

본 발명의 일 형태에 따른 전기 검사 장치는, 상기 촬상부를 근접 위치에 배치한 상태에서, 이 촬상부에 의해 상기 프린트 기판을 법선 방향으로부터 촬상한 후에, 상기 촬상부를 상기 전기 검사 헤드가 회전했을 때에 상기 전기 검사 헤드와 접촉하지 않는 회피 위치로 이동할 수 있다. 그 때문에, 당해 전기 검사 장치는, 상기 전기 검사 헤드의 근방으로부터 상기 촬상부에 의해 상기 프린트 기판을 촬상한 다음, 상기 전기 검사 헤드를 상기 촬상부와는 독립적으로 회전시킬 수 있다. 그 결과, 당해 전기 검사 장치는, 상기 전기 검사 헤드를 상기 프린트 기판에 대하여 빠르고 또한 용이하게 위치 정렬할 수 있다.In an electrical inspection apparatus according to one embodiment of the present invention, in a state in which the image pickup unit is disposed at a proximate position, after the image pickup unit captures an image of the printed circuit board from a normal direction, the image capture unit is captured when the electric inspection head rotates. It can be moved to an avoidance position where it does not contact the electrical inspection head. Therefore, the electrical inspection apparatus can rotate the electrical inspection head independently of the image pickup unit after capturing an image of the printed circuit board with the imaging unit from the vicinity of the electrical inspection head. As a result, the electrical inspection apparatus can quickly and easily align the electrical inspection head with respect to the printed circuit board.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 전기 검사 장치를, 프린트 기판의 법선 방향에 대하여 수직인 방향으로부터 본 모식적 측면도이다.
도 2는 도 1의 전기 검사 장치의 모식적 평면도이다.
도 3은 도 1의 전기 검사 장치에 있어서의 촬상부를 회피 위치로 이동한 상태를 나타내는 모식적 측면도이다.
도 4는 도 1의 전기 검사 장치를 사용한 전기 검사 방법을 나타내는 흐름도이다.
도 5는 도 4의 전기 검사 방법에 있어서의 전기 검사 헤드의 회전 도중의 상태를 나타내는 모식적 평면도이다.
도 6은 도 4의 전기 검사 방법에 있어서의 전기 검사 헤드의 회전 후에 촬상부를 근접 위치로 이동한 상태를 나타내는 모식적 측면도이다.
도 7은 도 4의 전기 검사 방법에 있어서의 전기 검사 헤드를 프린트 기판에 접촉시킨 상태를 나타내는 모식적 측면도이다.
1 is a schematic side view of an electrical inspection apparatus according to an embodiment of the present invention viewed from a direction perpendicular to a normal direction of a printed circuit board.
Fig. 2 is a schematic plan view of the electrical inspection device of Fig. 1;
FIG. 3 is a schematic side view showing a state in which the imaging unit in the electrical inspection device of FIG. 1 has been moved to an avoiding position.
4 is a flowchart illustrating an electrical inspection method using the electrical inspection apparatus of FIG. 1 .
Fig. 5 is a schematic plan view showing a state during rotation of the electric test head in the electric test method of Fig. 4;
FIG. 6 is a schematic side view showing a state in which the imaging unit is moved to a proximal position after rotation of the electric inspection head in the electric inspection method of FIG. 4 .
Fig. 7 is a schematic side view showing a state in which an electric test head in the electric test method of Fig. 4 is brought into contact with a printed circuit board.

이하, 적절히 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 상세히 설명한다. 또한, 본 명세서에 기재된 수치에 대해서는, 기재된 상한값과 하한값 중 한쪽만을 채용하는 것, 혹은 상한값과 하한값을 임의로 조합하는 것이 가능하다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail, referring drawings suitably. In addition, about the numerical value described in this specification, it is possible to employ only one of the upper limit value and the lower limit value described, or to combine the upper limit value and the lower limit value arbitrarily.

[전기 검사 장치][Electrical Inspection Device]

도 1 및 도 2의 전기 검사 장치(1)는, 프린트 기판(W)에 법선 방향(도 1의 Z 방향)측으로부터 접촉 가능한 전기 검사 헤드(10)와, 전기 검사 헤드(10)를, 상기 법선 방향과 평행한 회전축(R)을 중심으로 해서 회전시키는 회전 기구(11)와, 프린트 기판(W)에 대하여 법선 방향으로부터 정면으로 대향하는 광학 소자(22a)를 갖고, 프린트 기판(W)을 촬상 가능한 촬상부(12)와, 촬상부(12)를 근접 위치와 회피 위치 사이에서 이동시키는 이동 기구(13)를 구비한다. 또한, 당해 전기 검사 장치(1)는, 전기 검사 헤드(10)를, 프린트 기판(W)의 평면 방향(도 1의 XY 평면 방향)으로 위치 결정 가능한 위치 결정 기구(14)와, 전기 검사 헤드(10)를 프린트 기판(W)의 법선 방향으로 승강시키는 승강 기구(15)와, 위치 결정 기구(14)에 접속되는 하우징(16)과, 회전 기구(11), 이동 기구(13), 위치 결정 기구(14) 및 승강 기구(15)의 동작을 제어하는 제어부(17)를 구비한다. 또한, 도 1에서는, 프린트 기판(W)의 양면측에 각각 전기 검사 헤드(10) 및 촬상부(12)가 배치되어 있다. 단, 당해 전기 검사 장치(1)에 있어서, 전기 검사 헤드(10) 및 촬상부(12)의 한쪽 또는 양쪽은, 프린트 기판(W)의 편면측에만 배치되어 있어도 된다. 또한, 도 1에서는, 전기 검사 헤드(10)와 제어부(17)가 일대일 대응으로 마련된 구성을 도시하고 있다. 단, 당해 전기 검사 장치(1)는, 한 쌍의 전기 검사 헤드(10)에 공통의 제어부(17)를 갖고 있어도 된다.The electrical inspection apparatus 1 of FIGS. 1 and 2 includes an electrical inspection head 10 contactable to the printed circuit board W from the normal direction (Z direction in FIG. 1 ), and the electrical inspection head 10 as described above. A rotation mechanism (11) for rotating around a rotational axis (R) parallel to the normal direction, and an optical element (22a) facing the printed board (W) in the normal direction from the front, the printed board (W) An imaging unit 12 capable of capturing an image and a moving mechanism 13 for moving the imaging unit 12 between a proximity position and an avoidance position are provided. Further, the electric inspection apparatus 1 includes a positioning mechanism 14 capable of positioning the electric inspection head 10 in the plane direction of the printed board W (XY plane direction in FIG. 1), and the electric inspection head A lifting mechanism 15 for lifting 10 in the normal direction of the printed circuit board W, a housing 16 connected to the positioning mechanism 14, a rotating mechanism 11, a moving mechanism 13, a positioning mechanism A control unit 17 for controlling the operation of the determining mechanism 14 and the lifting mechanism 15 is provided. In addition, in FIG. 1, the electrical inspection head 10 and the imaging part 12 are arrange|positioned on both sides of the printed board W, respectively. However, in the said electric inspection apparatus 1, one or both of the electric inspection head 10 and the imaging part 12 may be arrange|positioned only on the one side side of the printed circuit board W. 1 shows a configuration in which the electric inspection head 10 and the control unit 17 are provided in a one-to-one correspondence. However, the said electric inspection apparatus 1 may have the control part 17 common to a pair of electric inspection heads 10.

〔프린트 기판〕[printed board]

프린트 기판(W)은 판상 또는 시트상이다. 프린트 기판(W)으로서는, 박막상의 기재에 회로 패턴이 배치된 것을 사용할 수 있다. 프린트 기판(W)에는, 복수의 피검사 영역이 존재하고 있다. 당해 전기 검사 장치(1)는, 각 피검사 영역에 대하여 전기 검사 헤드(10)를 접촉시킴으로써, 피검사 영역마다 전기 검사를 행하도록 구성되어 있다. 당해 전기 검사 장치(1)는, 프린트 기판(W)에 배치되어 있는 복수의 피검사 영역에 대하여 연속적으로 전기 검사하도록 구성되어 있다. 또한, 본 발명에 있어서 「판상」과 「시트상」 사이에 명확한 구별은 없지만, 자중에 의한 휨을 실질적으로 발생시키지 않는 것을 「판상」이라고 하고, 가요성을 갖고 있어, 자중에 의해 휨을 발생시키는 것을 「시트상」이라고 할 수 있다. 또한, 「시트상」은 「필름상」을 포함하는 개념이다.The printed board W is plate-shaped or sheet-shaped. As the printed board W, one in which a circuit pattern is arranged on a thin film substrate can be used. A plurality of inspection target areas exist on the printed board W. The electrical inspection apparatus 1 is configured to perform an electrical inspection for each area to be inspected by bringing the electrical inspection head 10 into contact with each area to be inspected. The electrical inspection apparatus 1 is configured to continuously electrically inspect a plurality of areas to be inspected disposed on the printed board W. In the present invention, there is no clear distinction between "plate-like" and "sheet-like", but "plate-like" refers to those that do not substantially bend due to their own weight, and those that have flexibility and cause bending due to their own weight It can be said to be "sheet-like". In addition, "sheet shape" is a concept including "film shape".

프린트 기판(W)은 예를 들어 평면으로 볼 때 직사각 형상이다. 프린트 기판(W)은, 파지구(31)에 의해 네개의 모서리부를 파지한 상태에서 수평하게 보유 지지되어 있다. 프린트 기판(W)은 그 주연부가 파지구(31)에 의해 부분적으로 파지됨으로써 공중에 보유 지지되어 있다.The printed board W has, for example, a rectangular shape in plan view. The printed board W is held horizontally by the gripper 31 in a state where the four corners are gripped. The printed board W is held in the air by being partially gripped by the gripper 31 at its periphery.

프린트 기판(W)에는, 촬상부(12)에 의한 촬상 대상이 되는 기준 위치 마커(도시하지 않음)가 마련되어 있다. 이 기준 위치 마커는, 프린트 기판(W)의 피검사 영역과 전기 검사 헤드(10)의 상대적인 위치 관계를 구하기 위해서 사용된다. 상기 기준 위치 마커는, 예를 들어 회로 패턴 그 자체여도 되고, 회로 패턴과는 별개로 마련된 위치 결정용 마크여도 된다.On the printed circuit board W, a reference position marker (not shown) to be imaged by the imaging unit 12 is provided. This reference position marker is used to obtain the relative positional relationship between the area to be inspected on the printed circuit board W and the electrical inspection head 10 . The reference position marker may be, for example, the circuit pattern itself or a positioning mark provided separately from the circuit pattern.

(전기 검사 헤드)(Electrical Inspection Head)

전기 검사 헤드(10)는 복수의 프로브(21a)와, 복수의 프로브(21a)가 통과 가능한 관통 구멍을 갖는 한 쌍의 지지판(프린트 기판(W)에 법선 방향으로부터 접촉 가능한 저판(21b), 및 프린트 기판(W)으로부터 법선 방향으로 이격되는 방향에 있어서 저판(21b)과 대향해서 배치되는 천판(21c))과, 천판(21c)에 고정되는 기대(21d)를 갖는다. 복수의 프로브(21a)는 프린트 기판(W)의 회로 패턴에 접촉 가능하게 마련되어 있다.The electric inspection head 10 includes a plurality of probes 21a and a pair of support plates having through holes through which the plurality of probes 21a can pass (a base plate 21b contactable from the normal direction to the printed board W), and It has a top plate 21c disposed facing the bottom plate 21b in a direction away from the printed board W in a normal direction, and a base 21d fixed to the top plate 21c. The plurality of probes 21a are provided so as to be able to contact the circuit pattern of the printed board W.

프린트 기판(W)의 법선 방향으로 보았을 때(이하, 「평면으로 볼 때」라고도 한다), 전기 검사 헤드(10)는 모서리부를 갖고 있다. 보다 상세하게는, 전기 검사 헤드(10)는, 네개의 모서리부를 갖는 평면으로 볼 때 직사각 형상이다. 또한, 기대(21d)는, 평면으로 볼 때 모서리부를 갖고 있다. 기대(21d)의 평면 형상은 전기 검사 헤드(10)의 평면 형상과 동등하다. 기대(21d)의 구체적인 형상으로서는, 프린트 기판(W)의 법선 방향을 두께 방향으로 하는 직육면체를 들 수 있다. 또한, 「직육면체」란, 완전한 직육면체로 한정되지 않고, 부분적으로 요철을 갖는 형상이나, 모서리부가 둥글게 되어 있는 형상 등을 포함한다.When viewed in the normal direction of the printed circuit board W (hereinafter also referred to as "planar view"), the electric inspection head 10 has a corner portion. More specifically, the electrical inspection head 10 has a rectangular shape in plan view with four corners. Also, the base 21d has a corner portion in plan view. The planar shape of the base 21d is equivalent to that of the electrical inspection head 10 . As a specific shape of the base 21d, a rectangular parallelepiped whose thickness direction is the normal direction of the printed board W is exemplified. In addition, a "rectangular parallelepiped" is not limited to a perfect rectangular parallelepiped, and includes a shape partially having irregularities, a shape with rounded corners, and the like.

기대(21d)의 두께 T1은, 필요한 강도를 유지하면서 복수의 프로브(21a)를 적절하게 보유 지지할 수 있는 범위에서 설정 가능하다. 이러한 관점에서, 기대(21d)의 두께 T1의 하한으로서는 30㎜가 바람직하고, 40㎜가 보다 바람직하다. 한편, 기대(21d)의 두께 T1의 상한으로서는 100㎜가 바람직하고, 80㎜가 보다 바람직하고, 60㎜가 더욱 바람직하다. 상기 두께 T1이 상기 상한을 초과하면, 이동 기구(13)에 의한 촬상부(12)의 이동 거리를 충분히 작게 하기 어려워질 우려가 있다.The thickness T1 of the base 21d can be set within a range that can appropriately hold the plurality of probes 21a while maintaining necessary strength. From this point of view, the lower limit of the thickness T1 of the base 21d is preferably 30 mm, more preferably 40 mm. On the other hand, as an upper limit of the thickness T1 of base 21d, 100 mm is preferable, 80 mm is more preferable, and 60 mm is still more preferable. When the said thickness T1 exceeds the said upper limit, there exists a possibility that it may become difficult to make the moving distance of the imaging part 12 by the moving mechanism 13 sufficiently small.

전기 검사 헤드(10)의 두께 T2(저판(21b)의 저면과 기대(21d)의 천장면에 의해 획정되는 두께)는, 필요한 강도를 유지하면서, 복수의 프로브(21a)에 의해 프린트 기판(W)의 전기 검사를 적절하게 행할 수 있는 범위로 설정 가능하다. 전기 검사 헤드(10)의 두께 T2의 하한으로서는 예를 들어 50㎜가 바람직하고, 60㎜가 보다 바람직하다. 한편, 전기 검사 헤드(10)의 두께 T2의 상한으로서는 예를 들어 150㎜가 바람직하고, 120㎜가 보다 바람직하고, 90㎜가 더욱 바람직하다.The thickness T2 (thickness defined by the bottom surface of the base plate 21b and the top surface of the base 21d) of the electric inspection head 10 is maintained by the plurality of probes 21a while maintaining the required strength. ) can be set to a range where electrical inspection can be performed appropriately. As a lower limit of the thickness T2 of the electrical inspection head 10, 50 mm is preferable and 60 mm is more preferable, for example. On the other hand, as an upper limit of thickness T2 of the electrical inspection head 10, 150 mm is preferable, for example, 120 mm is more preferable, and 90 mm is still more preferable.

(회전 기구)(Rotating Mechanism)

회전 기구(11)는 촬상부(12)(보다 상세하게는, 후술하는 촬상 단말기(22))와는 독립적으로, 전기 검사 헤드(10)를 회전 가능하게 구성되어 있다. 회전 기구(11)는 전기 검사 헤드(10)에 직교하는 회전축(R)을 회전 중심으로 해서 전기 검사 헤드(10)를 회전시킨다. 회전축(R)은 평면으로 볼 때 전기 검사 헤드(10)의 중심 부분에 배치되어 있다. 회전 기구(11)의 구체적인 구성으로서는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 하우징(16)에 배치된 베어링(도시하지 않음)에 의해 전기 검사 헤드(10)를 직접적 또는 간접적으로 회전 가능하게 보유 지지하는 구성을 들 수 있다.The rotating mechanism 11 is configured to be able to rotate the electrical inspection head 10 independently of the imaging unit 12 (more specifically, the imaging terminal 22 described later). The rotating mechanism 11 rotates the electric inspection head 10 with the rotating shaft R orthogonal to the electric inspection head 10 as a rotation center. The rotating shaft R is disposed at the center of the electric inspection head 10 when viewed in plan. The specific configuration of the rotating mechanism 11 is not particularly limited, but a configuration in which the electric test head 10 is directly or indirectly rotatably held by a bearing (not shown) arranged in the housing 16 is employed. can be heard

(촬상부)(imaging unit)

촬상부(12)는, 프린트 기판(W)에 법선 방향으로부터 정면으로 대향하는 전술한 광학 소자(22a)를 포함하는 촬상 단말기(22)와, 화상 처리부를 갖는다. 촬상 단말기(22)는 디지털 화상을 촬상 가능하게 마련되어 있다. 촬상 단말기(22)는, 프린트 기판(W)에 마련되어 있는 전술한 기준 위치 마커를 상기 법선 방향으로부터 촬상한다. 광학 소자(22a)로서는, 예를 들어 렌즈를 들 수 있다. 상기 화상 처리부는, 촬상 단말기(22)가 촬상한 디지털 화상을 처리한다.The imaging unit 12 has an imaging terminal 22 including the above-described optical element 22a facing the printed board W from the normal direction to the front, and an image processing unit. The imaging terminal 22 is provided so that imaging of digital images is possible. The imaging terminal 22 captures an image of the reference position marker provided on the printed board W from the normal direction. As an optical element 22a, a lens is mentioned, for example. The image processing unit processes a digital image captured by the imaging terminal 22 .

촬상 단말기(22)는, 전기 검사 헤드(10)의 측방으로부터 상기 기준 위치 마커를 촬상 가능하게 마련되어 있다. 이와 같이 구성됨으로써, 촬상 시에 있어서의 촬상 단말기(22)와 프린트 기판(W)의 간격을 작게 할 수 있다. 그 결과, 촬상 단말기(22)에 도입하는 광량을 크게 하고, 촬상 단말기(22)에서 촬상되는 화상의 인식 정밀도를 높일 수 있다.The imaging terminal 22 is provided so that imaging of the reference position marker is possible from the side of the electrical inspection head 10 . With this structure, it is possible to reduce the distance between the imaging terminal 22 and the printed circuit board W during imaging. As a result, the amount of light introduced into the imaging terminal 22 can be increased, and the recognition accuracy of an image captured by the imaging terminal 22 can be increased.

촬상 단말기(22)는, 전기 검사 헤드(10)에 근접하는 위치(근접 위치 P1)로부터 상기 기준 위치 마커를 촬상한다. 보다 상세하게는, 촬상 단말기(22)는 전기 검사 헤드(10)를 회전시켰을 때에 전기 검사 헤드(10)의 모서리부와 접촉할 수 있는 위치로부터 상기 기준 위치 마커를 촬상한다. 이와 같이 촬상 단말기(22)를 전기 검사 헤드(10)에 근접해서 배치함으로써, 상기 기준 위치 마커의 촬영 후에, 전기 검사 헤드(10)를 프린트 기판(W)의 피검사 영역에 위치 정렬할 때의 전기 검사 헤드(10)의 이동 거리를 작게 할 수 있다. 그 결과, 전기 검사 처리의 효율화를 도모하면서, 전기 검사 헤드(10)의 이동에 기인하는 오차를 억제할 수 있다.The imaging terminal 22 captures an image of the reference position marker from a position close to the electrical inspection head 10 (proximity position P1). More specifically, the imaging terminal 22 captures an image of the reference position marker from a position where it can come into contact with a corner portion of the electric inspection head 10 when the electric inspection head 10 is rotated. By arranging the imaging terminal 22 close to the electrical inspection head 10 in this way, after capturing the reference position marker, the electrical inspection head 10 is positioned in the area to be inspected on the printed circuit board W. The movement distance of the electric inspection head 10 can be made small. As a result, the error caused by the movement of the electric inspection head 10 can be suppressed while improving the efficiency of the electric inspection process.

상기 화상 처리부는, 제어부(17)에 포함되어 있어도 되고, 제어부(17)와는 별개로 마련되어 있어도 된다. 상기 화상 처리부가 제어부(17)에 포함되는 경우, 상기 화상 처리부는 제어부(17)에 의해 처리되는 프로그램이 일부여도 된다.The image processing unit may be included in the control unit 17 or provided separately from the control unit 17 . When the image processing unit is included in the control unit 17, a program processed by the control unit 17 may be part of the image processing unit.

(이동 기구)(mobile device)

이동 기구(13)는 촬상 단말기(22)를 보유 지지하고 있다. 도 1 및 도 3에 도시한 바와 같이, 이동 기구(13)는 촬상 단말기(22)를 근접 위치 P1과 회피 위치 P2 사이에서 이동시킨다. 근접 위치 P1은 전기 검사 헤드(10)가 회전했을 때에 촬상부(12)(보다 상세하게는 촬상 단말기(22))가 전기 검사 헤드(10)와 접촉할 수 있는 위치이다. 또한, 회피 위치 P2는, 전기 검사 헤드(10)가 회전했을 때에 촬상부(12)(보다 상세하게는 촬상 단말기(22))가 전기 검사 헤드(10)와 접촉하지 않는 위치이다.The moving mechanism 13 holds the imaging terminal 22 . As shown in Figs. 1 and 3, the moving mechanism 13 moves the imaging terminal 22 between the proximity position P1 and the avoidance position P2. The proximity position P1 is a position where the imaging unit 12 (more specifically, the imaging terminal 22) can come into contact with the electrical inspection head 10 when the electrical inspection head 10 rotates. In addition, the avoidance position P2 is a position where the imaging unit 12 (more specifically, the imaging terminal 22) does not come into contact with the electrical inspection head 10 when the electrical inspection head 10 rotates.

전술한 바와 같이, 당해 전기 검사 장치(1)는, 근접 위치 P1로부터 촬상 단말기(22)에 의해 상기 기준 위치 마커를 촬상함으로써 전기 검사 처리의 효율화 등을 도모할 수 있다. 반면에, 촬상 단말기(22)가 근접 위치 P1에 배치되어 있으면, 전기 검사 헤드(10)의 회전이 제한됨으로써, 전기 검사 헤드(10)를 피검사 영역에 위치 정렬하기 어려워지는 경우가 있다. 그 때문에, 당해 전기 검사 장치(1)에서는, 이동 기구(13)에 의해 촬상 단말기(22)를 회피 위치 P2로 이동할 수 있도록 구성하고 있다.As described above, the electrical inspection apparatus 1 can achieve efficiency improvement of the electrical inspection process and the like by capturing an image of the reference position marker with the imaging terminal 22 from the proximate position P1. On the other hand, when the imaging terminal 22 is disposed at the proximal position P1, the rotation of the electric inspection head 10 is restricted, so that it may become difficult to align the electric inspection head 10 to the area to be inspected. Therefore, in the said electric inspection apparatus 1, it is comprised so that the imaging terminal 22 can be moved to the avoidance position P2 by the moving mechanism 13.

이동 기구(13)는 전기 검사 헤드(10)와는 독립적으로 촬상부(12)를 이동시키는 것이 바람직하다. 환언하면, 이동 기구(13)는 전기 검사 헤드(10)가 회전 및 승강했을 때, 촬상 단말기(22)가 전기 검사 헤드(10)에 추종해서 이동하지 않도록 마련되어 있는 것이 바람직하다. 이 구성에 따르면, 프린트 기판(W)에 대한 광학 소자(22a)의 초점 거리를 유지하면서, 프린트 기판(W)에 대하여 전기 검사 헤드(10)를 위치 정렬하고, 또한 이 위치 정렬 후에 전기 검사 헤드(10)에 의해 전기 검사를 행할 수 있다. 그 결과, 전기 검사를 보다 효율적이고 또한 안정적으로 행할 수 있다.The moving mechanism 13 preferably moves the imaging unit 12 independently of the electrical inspection head 10 . In other words, the moving mechanism 13 is preferably provided so that the imaging terminal 22 does not follow the electric inspection head 10 and move when the electric inspection head 10 rotates and moves up and down. According to this configuration, the electrical inspection head 10 is aligned with respect to the printed circuit board W while maintaining the focal distance of the optical element 22a with respect to the printed circuit board W, and after this alignment, the electrical inspection head Electrical inspection can be performed by (10). As a result, electrical inspection can be performed more efficiently and stably.

도 3에 도시한 바와 같이, 회피 위치 P2는, 근접 위치 P1로부터 프린트 기판(W)의 법선 방향으로 멀어지는 위치인 것이 바람직하다. 이와 같이 구성됨으로써, 당해 전기 검사 장치(1)는, 촬상 단말기(22)를 전기 검사 헤드(10)의 측방에서, 또한 전기 검사 헤드(10)와 근접해서 배치한 경우에도, 촬상 단말기(22)의 이동 거리가 증가하는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 전기 검사 처리의 효율화를 촉진하면서, 전기 검사 헤드(10)의 이동에 기인하는 오차를 보다 용이하게 억제할 수 있다.As shown in Fig. 3, the avoidance position P2 is preferably a position away from the proximity position P1 in the normal direction of the printed circuit board W. By being configured in this way, the electrical inspection device 1 concerned is capable of maintaining the image pickup terminal 22 even when the imaging terminal 22 is disposed on the side of the electrical inspection head 10 and close to the electrical inspection head 10. It is possible to prevent an increase in the moving distance of As a result, the error due to the movement of the electrical inspection head 10 can be more easily suppressed while promoting the efficiency of the electrical inspection process.

프린트 기판(W)의 법선 방향으로 보았을 때, 근접 위치 P1에 있어서의 촬상부(12)(보다 상세하게는 촬상 단말기(22))와 회전축(R)의 간격은, 회피 위치 P2에 있어서의 촬상부(12)(보다 상세하게는 촬상 단말기(22))와 회전축(R)의 간격과 동일한 것이 바람직하다. 이와 같이 구성됨으로써, 촬상 단말기(22)의 이동 거리를 용이하게 작게 할 수 있다.When viewed in the normal direction of the printed circuit board W, the distance between the imaging unit 12 (more specifically, the imaging terminal 22) and the rotating shaft R at the proximate position P1 is the image pickup at the avoidance position P2 It is preferable that the distance between the part 12 (more specifically, the imaging terminal 22) and the rotational shaft R is the same. With this configuration, the moving distance of the imaging terminal 22 can be easily reduced.

이동 기구(13)는 촬상 단말기(22)를 직선 이동시키도록 마련되어 있는 것이 바람직하다. 이 구성에 따르면, 촬상 단말기(22)의 이동 거리를 보다 용이하게 작게 할 수 있다.It is preferable that the moving mechanism 13 is provided so as to linearly move the imaging terminal 22 . According to this structure, the moving distance of the imaging terminal 22 can be made smaller more easily.

근접 위치 P1과 회피 위치 P2 사이에 있어서의 촬상부(12)의 이동 거리로서는, 전기 검사 헤드(10)의 두께 T2 이하가 바람직하고, 기대(21d)의 두께 T1 이하가 보다 바람직하다. 당해 전기 검사 장치(1)는, 예를 들어 기대(21d)의 측방으로부터 촬상 단말기(22)에 의해 상기 기준 위치 마커를 촬상하도록 구성함으로써, 촬상부(12)의 이동 거리를 기대(21d)의 두께 T1 이하로 제어할 수 있다. 이 구성에 따르면, 근접 위치 P1에 있어서의 프린트 기판(W)에 대한 광학 소자(22a)의 초점 거리를 적절하게 유지하면서, 촬상 단말기(22)의 이동 거리를 용이하게 작게 할 수 있다.As the moving distance of the imaging unit 12 between the proximity position P1 and the avoidance position P2, the thickness T2 or less of the electric inspection head 10 is preferable, and the thickness T1 or less of the base 21d is more preferable. The electrical inspection apparatus 1 is configured so that the reference position marker is imaged by the imaging terminal 22 from the side of the base 21d, for example, so that the moving distance of the imaging section 12 of the base 21d It can be controlled to the thickness T1 or less. According to this configuration, the moving distance of the imaging terminal 22 can be easily reduced while maintaining the focal distance of the optical element 22a with respect to the printed circuit board W in the proximity position P1 appropriately.

이동 기구(13)는 하우징(16)에 연결된 상태에서 촬상 단말기(22)를 보유 지지하고 있다. 이동 기구(13)는 촬상 단말기(22)를 하우징(16)에 대하여 프린트 기판(W)의 법선 방향으로 슬라이드 가능하게 마련되어 있다. 이와 같이 구성됨으로써, 이동 기구(13)는 전기 검사 헤드(10)와는 독립적으로, 촬상 단말기(22)를 프린트 기판(W)의 법선 방향으로 이동할 수 있다. 이동 기구(13)의 구체적인 구성으로서는, 예를 들어 하우징(16)에 배치되는 레일 부재와, 이 레일 부재에 슬라이드 가능하게 배치되고, 촬상 단말기(22)를 고정 가능한 가동 부재를 갖는 구성을 들 수 있다.The moving mechanism 13 holds the imaging terminal 22 in a state connected to the housing 16 . The moving mechanism 13 is provided so as to be able to slide the imaging terminal 22 relative to the housing 16 in the normal direction of the printed circuit board W. By being configured in this way, the moving mechanism 13 can move the imaging terminal 22 in the normal direction of the printed board W independently of the electric inspection head 10 . As a specific configuration of the moving mechanism 13, for example, a configuration including a rail member disposed on the housing 16 and a movable member disposed slidably on the rail member and capable of fixing the imaging terminal 22 can be cited. there is.

(위치 결정 기구)(positioning mechanism)

위치 결정 기구(14)는 전기 검사 헤드(10)의 방향을 유지한 상태에서, 이 전기 검사 헤드(10)를 프린트 기판(W)의 평면 방향으로 위치 결정한다. 당해 전기 검사 장치(1)는, 위치 결정 기구(14)를 구비함으로써, 상기 기준 위치 마커를 촬상부(12)에 의해 촬상한 후에, 전기 검사 헤드(10)를 피검사 영역에 용이하게 위치 정렬할 수 있다.The positioning mechanism 14 positions the electric inspection head 10 in the direction of the plane of the printed board W while maintaining the orientation of the electric inspection head 10 . The electrical inspection apparatus 1 includes the positioning mechanism 14, so that after the reference position marker is imaged by the imaging unit 12, the electrical inspection head 10 is easily positioned in the area to be inspected. can do.

위치 결정 기구(14)의 구체적인 구성으로서는, 전기 검사 헤드(10)를 프린트 기판(W)의 평면 방향으로 위치 결정할 수 있는 한, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어 도 1 및 도 2에 도시한 직교 좌표형 시스템을 들 수 있다. 위치 결정 기구(14)는, 프린트 기판(W)의 평면 방향과 평행한 일방향(도 1 및 도 2의 Y 방향)으로 병행하게 연장되는 한 쌍의 고정 레일(14a)과, 프린트 기판(W)의 평면 방향과 평행하게 연장되고, 한 쌍의 고정 레일(14a)간에 걸쳐지는 가동 레일(14b)과, 가동 레일(14b)에 배치되는 이동체(14c)를 갖는다. 이동체(14c)에는, 하우징(16)이 고정되어 있다.The specific configuration of the positioning mechanism 14 is not particularly limited as long as the electrical inspection head 10 can be positioned in the plane direction of the printed circuit board W, but is not particularly limited. For example, as shown in FIGS. 1 and 2 An orthogonal coordinate system may be used. The positioning mechanism 14 includes a pair of fixed rails 14a extending in parallel in one direction (Y direction in FIGS. 1 and 2) parallel to the plane direction of the printed board W, and a printed board W It has a movable rail 14b extending parallel to the direction of the plane of the pair and spanning between the pair of fixed rails 14a, and a movable body 14c disposed on the movable rail 14b. The housing 16 is fixed to the moving body 14c.

위치 결정 기구(14)는, 한 쌍의 고정 레일(14a)의 연장 방향(도 1 및 도 2의 Y 방향)을 따라 가동 레일(14b)이 이동하고, 또한 가동 레일(14b)의 연장 방향(도 1 및 도 2의 X 방향)을 따라 이동체(14c)가 이동하도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성되어 있음으로써, 하우징(16)은 프린트 기판(W)의 평면 방향에 있어서의 방향을 유지하면서, 이 평면 방향으로 이동 가능하게 마련된다. 그 결과, 전기 검사 헤드(10)도, 하우징(16)과 함께, 프린트 기판(W)의 평면 방향에 있어서의 방향을 유지하면서, 이 평면 방향으로 이동한다.In the positioning mechanism 14, the movable rail 14b moves along the extension direction of the pair of fixed rails 14a (Y direction in Figs. 1 and 2), and the extension direction of the movable rail 14b ( The movable body 14c is configured to move along the X direction in FIGS. 1 and 2). By being configured in this way, the housing 16 is provided so as to be movable in the plane direction of the printed circuit board W while maintaining its orientation in the plane direction. As a result, the electric inspection head 10 also moves in this plane direction, maintaining the direction in the plane direction of the printed circuit board W together with the housing 16 .

또한, 위치 결정 기구(14)는 전기 검사 헤드(10)와 촬상부(12)를 동시에 프린트 기판(W)의 평면 방향으로 위치 결정 가능하게 마련되어 있다. 더 자세히 설명하면, 촬상 단말기(22)는 이동 기구(13)를 통해서 하우징(16)에 연결되어 있음으로써, 하우징(16)과 함께, 프린트 기판(W)의 평면 방향으로 이동하도록 구성되어 있다. 그 결과, 전기 검사 헤드(10)와 촬상 단말기(22)는, 하우징(16)을 통해서, 위치 결정 기구(14)에 의해 동시에 프린트 기판(W)의 평면 방향으로 위치 결정되도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성되어 있음으로써, 당해 전기 검사 장치(1)는, 전기 검사 처리의 효율화를 촉진하면서, 전기 검사 헤드(10)의 이동에 기인하는 오차를 보다 용이하게 억제할 수 있다.Moreover, the positioning mechanism 14 is provided so that positioning of the electric test head 10 and the imaging part 12 simultaneously in the plane direction of the printed board W is possible. More specifically, the imaging terminal 22 is configured to move along with the housing 16 in the direction of the plane of the printed circuit board W by being connected to the housing 16 via the moving mechanism 13 . As a result, the electrical inspection head 10 and the imaging terminal 22 are configured to be simultaneously positioned in the plane direction of the printed board W by the positioning mechanism 14 through the housing 16 . By being constituted in this way, the electrical inspection device 1 can more easily suppress the error caused by the movement of the electrical inspection head 10 while promoting the efficiency improvement of the electrical inspection process.

(승강 기구)(elevating mechanism)

승강 기구(15)는 전기 검사 헤드(10)의 기대(21d)에 고정되는 고정 부재(18)를 승강 가능하게 마련되어 있다. 승강 기구(15)는 고정 부재(18)를 승강시킴으로써, 전기 검사 헤드(10)를 프린트 기판(W)의 법선 방향으로 이동시킨다.The lifting mechanism 15 is provided so that the fixing member 18 fixed to the base 21d of the electric inspection head 10 can be moved up and down. The lifting mechanism 15 moves the electric inspection head 10 in the normal direction of the printed board W by lifting the fixing member 18 .

고정 부재(18)는 하우징(16)에 대하여 슬라이드 가능하게 배치되어 있다. 고정 부재(18)는 하우징(16)과는 독립적으로 승강하도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성됨으로써, 승강 기구(15)는 이동 기구(13)에 의한 촬상부(12)의 이동과는 독립적으로 전기 검사 헤드(10)를 승강시키도록 마련되어 있다.The fixing member 18 is slidably disposed relative to the housing 16 . The fixing member 18 is configured to move up and down independently of the housing 16 . By being constituted in this way, the elevating mechanism 15 is provided so as to elevate the electric inspection head 10 independently of the movement of the imaging unit 12 by the moving mechanism 13 .

(하우징)(housing)

하우징(16)은, 전술한 바와 같이 이동체(14c)에 고정되어 있다. 이에 의해, 하우징(16)은, 프린트 기판(W)의 평면 방향에 있어서의 방향을 유지하면서, 프린트 기판(W)의 평면 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다.The housing 16 is fixed to the moving body 14c as described above. As a result, the housing 16 is configured to be movable in the plane direction of the printed board W while maintaining its orientation in the plane direction of the printed board W.

(제어부)(control part)

제어부(17)는, 예를 들어 데이터 처리를 행하는 CPU(Central Processing Unit)나 각종 정보를 일시적 혹은 항구적으로 기억하는 반도체 메모리 등의 기억부를 갖는 컴퓨터를 포함하여 구성된다.The control unit 17 includes, for example, a computer having a storage unit such as a CPU (Central Processing Unit) that performs data processing and a semiconductor memory that temporarily or permanently stores various types of information.

제어부(17)에 의한 제어 수순의 일례에 대해서 설명한다. 제어부(17)는, 먼저, 촬상 단말기(22)에 의해 근접 위치 P1로부터 프린트 기판(W)의 상기 기준 위치 마커를 촬상시킨다. 이어서, 제어부(17)는 촬상 단말기(22)를 회피 위치 P2로 이동시키고, 이 상태에서 전기 검사 헤드(10)를 회전축(R)을 회전 중심으로 해서 90° 회전시킴과 함께, 전기 검사 헤드(10)를 프린트 기판(W)의 피검사 영역에 위치 정렬한다. 또한, 제어부(17)는 전기 검사 헤드(10)의 회전 후에, 촬상 단말기(22)를 근접 위치 P1로 이동시킨다. 또한, 제어부(17)는 촬상 단말기(22)를 근접 위치 P1에 유지하면서, 전기 검사 헤드(10)를 프린트 기판(W)에 법선 방향측으로부터 접촉시키고, 프린트 기판(W)의 피검사 영역에 있어서의 전기 검사를 행한다. 제어부(17)는 전기 검사 헤드(10)에 의한 전기 검사가 끝난 후에, 전기 검사 헤드(10)를 프린트 기판(W)으로부터 이격시킨다. 제어부(17)는, 프린트 기판(W)의 각 피검사 영역에 대하여, 필요에 따라 일부 수순을 변경하면서 전술한 수순을 행하도록, 회전 기구(11), 이동 기구(13), 위치 결정 기구(14) 및 승강 기구(15)의 동작을 제어한다. 당해 전기 검사 장치(1)는, 제어부(17)가 전술한 제어를 행함으로써, 전기 검사 헤드(10)를 프린트 기판(W)에 대하여 빠르고 또한 용이하게 위치 정렬하면서, 프린트 기판(W)의 전기 검사를 적절하게 행할 수 있다.An example of a control procedure by the control unit 17 will be described. The control unit 17 first captures an image of the reference position marker on the printed circuit board W from the proximate position P1 using the imaging terminal 22 . Next, the control unit 17 moves the imaging terminal 22 to the avoidance position P2, and in this state rotates the electric inspection head 10 by 90° with the rotating shaft R as the rotation center, and the electric inspection head ( 10) is aligned in the area to be inspected on the printed circuit board (W). Further, the control unit 17 moves the imaging terminal 22 to the proximity position P1 after rotation of the electric test head 10 . Further, the controller 17 brings the electrical inspection head 10 into contact with the printed board W from the normal direction side while holding the image pickup terminal 22 at the proximity position P1, and Conduct an electrical inspection in The control unit 17 separates the electrical inspection head 10 from the printed board W after the electrical inspection by the electrical inspection head 10 is finished. The control unit 17 uses the rotating mechanism 11, the moving mechanism 13, the positioning mechanism ( 14) and the operation of the elevating mechanism 15 are controlled. In the electrical inspection device 1, when the control unit 17 performs the above-described control, the electrical inspection head 10 is positioned quickly and easily with respect to the printed board W while the electrical inspection head 10 Inspection can be done appropriately.

[전기 검사 방법][Electrical inspection method]

이어서, 각 도면을 참조하여, 도 1 및 도 2의 전기 검사 장치(1)를 사용한 전기 검사 방법에 대해서 설명한다.Next, with reference to each figure, the electrical inspection method using the electrical inspection apparatus 1 of FIGS. 1 and 2 is demonstrated.

당해 전기 검사 방법은, 프린트 기판(W)에 법선 방향측으로부터 접촉 가능한 전기 검사 헤드(10)와, 전기 검사 헤드(10)를, 상기 법선 방향과 평행한 회전축(R)을 중심으로 해서 회전시키는 회전 기구(11)와, 프린트 기판(W)에 대하여 법선 방향으로부터 정면으로 대향하는 광학 소자(22a)를 갖고, 프린트 기판(W)을 촬상 가능한 촬상부(12)와, 촬상부(12)를 근접 위치 P1과 회피 위치 P2 사이에서 이동시키는 이동 기구(13)를 구비하는 전기 검사 장치(1)를 사용해서 행한다. 도 4에 도시한 바와 같이, 당해 전기 검사 방법은, 근접 위치 P1에서 촬상부(12)에 의해 프린트 기판(W)을 촬상하고(S1), 촬상부(12)를 회피 위치 P2로 이동하고(S2), 전기 검사 헤드(10)를 회전하고(S3), 촬상부(12)를 근접 위치 P1로 이동하고(S4), 전기 검사 헤드(10)를 프린트 기판(W)에 접촉시킨다(S5). 또한, 당해 전기 검사 방법은, S5 후에, 전기 검사 헤드(10)를 프린트 기판(W)으로부터 이격하는 수순을 구비한다. 당해 전기 검사 방법은, 프린트 기판(W)의 각 피검사 영역에 대하여, 필요에 따라 일부 수순을 변경하면서 전술한 수순을 반복해서 행함으로써, 전기 검사 헤드(10)를 프린트 기판(W)에 대하여 빠르고 또한 용이하게 위치 정렬하면서, 프린트 기판(W)의 전기 검사를 적절하게 행할 수 있다.The electrical inspection method includes an electrical inspection head 10 capable of contacting a printed circuit board W from a normal direction side, and rotating the electrical inspection head 10 around a rotation axis R parallel to the normal direction. An imaging unit 12 having a rotation mechanism 11 and an optical element 22a facing the printed circuit board W in the normal direction from the front and capable of capturing an image of the printed circuit board W, and the imaging unit 12 It is performed using the electrical inspection apparatus 1 provided with the moving mechanism 13 which moves between the proximity position P1 and the avoidance position P2. As shown in FIG. 4 , the electrical inspection method involves imaging the printed circuit board W with the imaging unit 12 at the proximity position P1 (S1), moving the imaging unit 12 to the avoidance position P2 ( S2), rotating the electrical inspection head 10 (S3), moving the imaging unit 12 to the proximity position P1 (S4), and bringing the electrical inspection head 10 into contact with the printed circuit board W (S5) . Further, the electrical inspection method includes a procedure of separating the electrical inspection head 10 from the printed board W after S5. In the electrical inspection method, the electrical inspection head 10 is moved to the printed circuit board W by repeating the above-described procedure while changing some of the procedures as necessary for each area to be inspected of the printed circuit board W. Electrical inspection of the printed circuit board W can be appropriately performed while aligning the position quickly and easily.

(S1)(S1)

S1에서는, 도 1에 도시한 바와 같이, 촬상 단말기(22)가 근접 위치 P1에 배치되어 있는 상태에서, 촬상 단말기(22)에 의해 프린트 기판(W)의 기준 위치 마커를 촬상한다.In S1, as shown in FIG. 1, the reference position marker of the printed circuit board W is imaged by the imaging terminal 22 in a state where the imaging terminal 22 is disposed at the proximal position P1.

(S2)(S2)

S2에서는, 도 3에 도시한 바와 같이, 촬상 단말기(22)를 회피 위치 P2로 이동한다. S2에서는, 근접 위치 P1이, 전기 검사 헤드(10)를 회전했을 때에 촬상부(12)(보다 상세하게는 촬상 단말기(22))가 전기 검사 헤드(10)에 접촉할 수 있는 위치이며, 회피 위치 P2가, 전기 검사 헤드(10)를 회전했을 때에 촬상부(12)(보다 상세하게는 촬상 단말기(22))가 전기 검사 헤드(10)와 접촉하지 않는 위치이도록 촬상부(12)를 이동시킨다.In S2, as shown in FIG. 3, the imaging terminal 22 is moved to the avoidance position P2. In S2, the proximal position P1 is a position where the imaging unit 12 (more specifically, the imaging terminal 22) can come into contact with the electrical inspection head 10 when the electrical inspection head 10 is rotated. Move the imaging unit 12 so that the position P2 is at a position where the imaging unit 12 (more specifically, the imaging terminal 22) does not come into contact with the electrical inspection head 10 when the electrical inspection head 10 is rotated let it

(S3)(S3)

S3에서는, 도 5에 도시한 바와 같이, 촬상 단말기(22)가 회피 위치 P2에 있는 상태에서, 회전축(R)을 회전 중심으로 해서 전기 검사 헤드(10)를 회전시킨다. 보다 상세하게는, S3에서는, 프린트 기판(W)의 법선 방향으로 보았을 때, 촬상 단말기(22)가 전기 검사 헤드(10)와 중첩되지 않는 위치까지 전기 검사 헤드(10)를 회전시킨다. 전기 검사 헤드(10)의 회전 각도로서는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 전형적으로는 90°로 할 수 있다.In S3, as shown in FIG. 5, in the state where the imaging terminal 22 exists in the avoidance position P2, the electrical inspection head 10 is rotated with rotation axis R as a rotation center. More specifically, in S3, the imaging terminal 22 rotates the electric inspection head 10 to a position where it does not overlap with the electric inspection head 10 when viewed in the normal direction of the printed circuit board W. The angle of rotation of the electrical inspection head 10 is not particularly limited, but is typically 90°.

(S4)(S4)

S4에서는, 도 6에 도시한 바와 같이, S3에서 전기 검사 헤드(10)를 회전한 후에, 촬상 단말기(22)를 근접 위치 P1로 이동한다. 보다 상세하게는, S4에서는, S2에서 촬상 단말기(22)를 근접 위치 P1로부터 회피 위치 P2로 이동시킨 것과 동일한 경로를 통해 촬상 단말기(22)를 회피 위치 P2로부터 근접 위치 P1로 이동한다. 또한, 당해 전기 검사 방법에서는, S1의 종료로부터 S5의 개시까지의 임의의 타이밍에, 위치 결정 기구(14)에 의해 전기 검사 헤드(10)를 프린트 기판(W)의 피검사 영역에 위치 정렬하면 된다.In S4, as shown in FIG. 6, after rotating the electrical inspection head 10 in S3, the imaging terminal 22 is moved to the proximity position P1. More specifically, in S4, the imaging terminal 22 is moved from the avoiding position P2 to the avoiding position P1 through the same route as the one in which the imaging terminal 22 was moved from the proximate position P1 to the avoiding position P2 in S2. Further, in the electrical inspection method, if the electrical inspection head 10 is aligned in the area to be inspected of the printed circuit board W by the positioning mechanism 14 at any timing from the end of S1 to the start of S5, do.

(S5)(S5)

S5에서는, 도 7에 도시한 바와 같이, 전기 검사 헤드(10)를 프린트 기판(W)에 법선 방향측으로부터 접촉시키고, 복수의 프로브(21a)에 의해 피검사 영역의 전기 검사를 행한다.In S5, as shown in FIG. 7, the electrical inspection head 10 is brought into contact with the printed circuit board W from the normal direction side, and electrical inspection of the area to be inspected is performed by the plurality of probes 21a.

<이점><Advantages>

당해 전기 검사 장치(1)는, 촬상부(12)를 근접 위치 P1에 배치한 상태에서, 이 촬상부(12)에 의해 프린트 기판(W)을 법선 방향으로부터 촬상한 후에, 촬상부(12)를 전기 검사 헤드(10)가 회전했을 때에 전기 검사 헤드(10)와 접촉하지 않는 회피 위치 P2로 이동할 수 있다. 그 때문에, 당해 전기 검사 장치(1)는, 전기 검사 헤드(10)의 근방으로부터 촬상부(12)에 의해 프린트 기판(W)을 촬상한 다음, 전기 검사 헤드(10)를 촬상부(12)와는 독립적으로 회전시킬 수 있다. 그 결과, 당해 전기 검사 장치(1)는, 전기 검사 헤드(10)를 상기 프린트 기판(W)에 대하여 빠르고 또한 용이하게 위치 정렬할 수 있다. 이 때문에, 당해 전기 검사 장치(1)는, 프린트 기판(W)의 전기 검사를 빠르고 또한 안정적으로 행할 수 있다.In the electrical inspection apparatus 1, in a state where the imaging unit 12 is disposed at the proximal position P1, after imaging the printed circuit board W from the normal direction by the imaging unit 12, the imaging unit 12 When the electric inspection head 10 rotates, it can move to the avoidance position P2 which does not contact the electric inspection head 10. Therefore, the electrical inspection apparatus 1 captures an image of the printed circuit board W with the imaging unit 12 from the vicinity of the electrical inspection head 10, and then moves the electrical inspection head 10 to the imaging unit 12. can be rotated independently of As a result, the electric inspection apparatus 1 can align the electric inspection head 10 with respect to the printed circuit board W quickly and easily. For this reason, the electrical inspection apparatus 1 can quickly and stably perform an electrical inspection of the printed circuit board W.

당해 전기 검사 방법은, 촬상부(12)를 근접 위치 P1에 배치한 상태에서, 이 촬상부(12)에 의해 프린트 기판(W)을 법선 방향으로부터 촬상한 후에, 촬상부(12)를 전기 검사 헤드(10)가 회전했을 때에 전기 검사 헤드(10)와 접촉하지 않는 회피 위치 P2로 이동할 수 있다. 그 때문에, 당해 전기 검사 방법은, 전기 검사 헤드(10)의 근방으로부터 촬상부(12)에 의해 프린트 기판(W)을 촬상한 다음, 전기 검사 헤드(10)를 촬상부(12)와는 독립적으로 회전시킬 수 있다. 그 결과, 당해 전기 검사 방법은, 전기 검사 헤드(10)를 상기 프린트 기판(W)에 대하여 빠르고 또한 용이하게 위치 정렬할 수 있다. 이 때문에, 당해 전기 검사 방법은, 프린트 기판(W)의 전기 검사를 빠르고 또한 안정적으로 행할 수 있다.In the electrical inspection method, in a state in which the imaging unit 12 is disposed at the proximate position P1, the printed circuit board W is imaged from the normal direction by the imaging unit 12, and then the imaging unit 12 is electrically inspected. When the head 10 rotates, it can move to the avoidance position P2 which does not contact the electrical inspection head 10. Therefore, in the electrical inspection method, the printed circuit board W is imaged by the imaging unit 12 from the vicinity of the electrical inspection head 10, and then the electrical inspection head 10 is independently operated from the imaging unit 12. can be rotated As a result, in the electrical inspection method, the electrical inspection head 10 can be positioned quickly and easily with respect to the printed circuit board W. For this reason, the said electrical inspection method can perform electrical inspection of the printed circuit board W rapidly and stably.

[기타 실시 형태][Other embodiments]

상기 실시 형태는, 본 발명의 구성을 한정하는 것은 아니다. 따라서, 상기 실시 형태는, 본 명세서의 기재 및 기술 상식에 기초하여 상기 실시 형태 각 부의 구성 요소의 생략, 치환 또는 추가가 가능하고, 그들은 모두 본 발명의 범위에 속하는 것이라고 해석되어야 한다.The above embodiment does not limit the configuration of the present invention. Therefore, in the above embodiment, omission, substitution or addition of components of each part of the above embodiment is possible based on the description and common knowledge of the present specification, and they should all be interpreted as belonging to the scope of the present invention.

상기 실시 형태에서는, 이동 기구가 촬상부를 프린트 기판의 법선 방향으로 이동시키는 구성에 대해서 설명했다. 단, 당해 전기 검사 장치에 있어서, 상기 촬상부의 이동 방향은 상기 프린트 기판의 법선 방향에 한정되지 않는다. 예를 들어 상기 이동 기구는, 상기 촬상부를 상기 프린트 기판의 평면 방향으로 이동시켜도 된다. 또한, 상기 이동 기구는, 상기 촬상부를 직선 이동시키지 않아도 된다. 예를 들어 상기 이동 기구는, 상기 촬상부를 상기 프린트 기판의 평면 방향으로 선회 이동시켜도 된다.In the above embodiment, the configuration in which the moving mechanism moves the imaging unit in the normal direction of the printed board has been described. However, in the electric inspection apparatus, the moving direction of the imaging unit is not limited to the normal direction of the printed circuit board. For example, the moving mechanism may move the imaging unit in a plane direction of the printed board. Further, the moving mechanism does not have to linearly move the imaging unit. For example, the moving mechanism may pivot and move the imaging unit in the plane direction of the printed circuit board.

상기 실시 형태에서는, 상기 프린트 기판이 수평 방향으로 보유 지지되는 구성에 대해서 설명했다. 단, 상기 프린트 기판의 보유 지지 방향은, 장치의 사양에 따라서 변경 가능하다. 또한, 상기 실시 형태에서는, 파지구에 의해 상기 프린트 기판의 모서리부를 파지하는 구성에 대해서 설명했지만, 당해 전기 검사 장치에 있어서의 프린트 기판의 파지 방법은 상기 구성에 한정되는 것은 아니다.In the above embodiment, the configuration in which the printed circuit board is held in the horizontal direction has been described. However, the holding direction of the printed circuit board can be changed according to the specifications of the device. Further, in the above embodiment, the configuration of gripping the corner portion of the printed circuit board with the gripping tool has been described, but the method of holding the printed circuit board in the electric inspection apparatus is not limited to the above configuration.

상기 전기 검사 헤드의 구체적인 구성은, 전술한 실시 형태의 구성에 한정되지 않는다. 예를 들어 상기 전기 검사 헤드는, 전술한 지지판을 갖지 않는 구성을 채용하는 것도 가능하다. 상기 지지판을 갖지 않는 구성으로서는, 상기 저판 및 상기 천판의 한쪽 또는 양쪽을 갖지 않는 구성을 들 수 있다. 예를 들어 상기 전기 검사 헤드가 상기 저판을 갖지 않는 경우, 상기 전기 검사 헤드의 두께는, 상기 기대와 상기 프로브의 합계 두께에 의해 구할 수 있다. 또한, 여기에서 말하는 프로브의 두께란, 전기 검사전의 상태에 있어서의 프로브의 돌출 길이를 의미한다.A specific configuration of the electrical inspection head is not limited to that of the above-described embodiment. For example, it is also possible for the electrical inspection head to adopt a structure not having the aforementioned supporting plate. As a structure not having the said support plate, the structure which does not have one or both of the said bottom plate and the said top plate is mentioned. For example, when the electric inspection head does not have the base plate, the thickness of the electric inspection head can be obtained from the total thickness of the base and the probe. In addition, the thickness of a probe here means the protruding length of a probe in the state before an electric test.

전술한 바와 같이, 상기 이동 기구는, 상기 전기 검사 헤드와는 독립적으로 상기 촬상부를 이동할 수 있는 것이 바람직하다. 단, 당해 전기 검사 장치는, 상기 촬상부를 상기 전기 검사 헤드의 회전에 맞춰서 회전하지 않도록 보유 지지할 수 있는 경우이면, 상기 촬상부가 상기 전기 검사 헤드에 맞춰서 승강하는 구성을 채용하는 것도 가능하다.As described above, it is preferable that the moving mechanism can move the imaging unit independently of the electric inspection head. However, in the electrical inspection device, if the imaging unit can be held so as not to rotate in accordance with the rotation of the electrical inspection head, a configuration in which the imaging unit moves up and down in accordance with the electrical inspection head can be employed.

상기 실시 형태에서는, 상기 전기 검사 헤드와 상기 촬상부가, 상기 위치 결정 기구에 의해 상기 프린트 기판의 평면 방향에 동시에 위치 결정되는 구성에 대해서 설명했다. 단, 당해 전기 검사 장치는, 상기 전기 검사 헤드와 상기 촬상부가, 상기 프린트 기판의 평면 방향으로 별도로 위치 결정되는 구성을 채용하는 것도 가능하다.In the above embodiment, a configuration in which the electrical inspection head and the imaging unit are simultaneously positioned in the plane direction of the printed circuit board by the positioning mechanism has been described. However, it is also possible for the electric inspection apparatus to adopt a structure in which the electric inspection head and the imaging section are separately positioned in the plane direction of the printed circuit board.

상기 실시 형태에서는, 상기 전기 검사 헤드가, 상기 위치 결정 기구에 의해 상기 프린트 기판의 평면 방향으로 위치 결정되는 구성에 대해서 설명했다. 단, 당해 전기 검사 장치는, 상기 프린트 기판이 평면 방향으로 이동함으로써, 상기 전기 검사 헤드가 상기 프린트 기판의 평면 방향으로 위치 결정되도록 구성되어 있어도 된다.In the above embodiment, a configuration in which the electrical inspection head is positioned in the plane direction of the printed circuit board by the positioning mechanism has been described. However, the electrical inspection device may be configured so that the electrical inspection head is positioned in the plane direction of the printed circuit board when the printed circuit board moves in the plane direction.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 형태에 따른 전기 검사 장치는, 전기 검사 헤드를 프린트 기판에 대하여 빠르고 또한 용이하게 위치 정렬하는데 적합하다.As described above, the electric inspection apparatus according to one embodiment of the present invention is suitable for quickly and easily positioning the electric inspection head with respect to the printed circuit board.

1 : 전기 검사 장치
10 : 전기 검사 헤드
11 : 회전 기구
12 : 촬상부
13 : 이동 기구
14 : 위치 결정 기구
14a : 고정 레일
14b : 가동 레일
14c : 이동체
15 : 승강 기구
16 : 하우징
17 : 제어부
18 : 고정 부재
21a : 프로브
21b : 저판
21c : 천판
21d : 기대
22 : 촬상 단말기
22a : 광학 소자
31 : 파지구
R : 회전축
W : 프린트 기판
P1 : 근접 위치
P2 : 회피 위치
T1 : 기대의 두께
T2 : 전기 검사 헤드의 두께
1: Electrical inspection device
10: electric inspection head
11: rotation mechanism
12: imaging unit
13: moving mechanism
14: positioning mechanism
14a: fixed rail
14b: movable rail
14c: mobile body
15: lifting mechanism
16: housing
17: control unit
18: fixed member
21a: probe
21b: bottom plate
21c: top plate
21d: Expect
22: imaging terminal
22a: optical element
31: gripper
R: axis of rotation
W: printed circuit board
P1: Proximity position
P2: avoidance position
T1: thickness of expectation
T2: thickness of electric inspection head

Claims (7)

프린트 기판에 법선 방향측으로부터 접촉 가능한 전기 검사 헤드와,
상기 전기 검사 헤드를, 상기 법선 방향과 평행한 회전축을 중심으로 해서 회전시키는 회전 기구와,
상기 프린트 기판에 대하여 법선 방향으로부터 정면으로 대향하는 광학 소자를 갖고, 상기 프린트 기판을 촬상 가능한 촬상부와,
상기 촬상부를 근접 위치와 회피 위치 사이에서 이동시키는 이동 기구
를 구비하고,
상기 근접 위치는, 상기 전기 검사 헤드가 회전했을 때에 상기 촬상부가 상기 전기 검사 헤드와 접촉할 수 있는 위치이고,
상기 회피 위치는, 상기 전기 검사 헤드가 회전했을 때에 상기 촬상부가 상기 전기 검사 헤드와 접촉하지 않는 위치인,
전기 검사 장치.
an electrical inspection head capable of contacting the printed circuit board from a normal direction side;
a rotating mechanism for rotating the electrical inspection head about a rotational axis parallel to the normal direction;
an imaging unit having an optical element frontally opposed to the printed board in a direction normal to the printed board and capable of capturing an image of the printed board;
A moving mechanism for moving the imaging unit between a proximity position and an avoidance position
to provide,
The proximate position is a position where the imaging unit can come into contact with the electric inspection head when the electric inspection head rotates;
The avoidance position is a position in which the imaging section does not come into contact with the electric inspection head when the electric inspection head rotates.
electrical inspection device.
제1항에 있어서,
상기 이동 기구가, 상기 전기 검사 헤드와는 독립적으로 상기 촬상부를 이동시키는, 전기 검사 장치.
According to claim 1,
The electric inspection apparatus, wherein the moving mechanism moves the imaging unit independently of the electric inspection head.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 회피 위치가, 상기 근접 위치로부터 상기 프린트 기판의 법선 방향으로 멀어지는 위치인, 전기 검사 장치.
According to claim 1 or 2,
The electrical inspection apparatus according to claim 1 , wherein the avoidance position is a position away from the proximity position in a direction normal to the printed circuit board.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 프린트 기판의 법선 방향으로 보았을 때, 상기 근접 위치에 있어서의 상기 촬상부와 상기 회전축의 간격이, 상기 회피 위치에 있어서의 상기 촬상부와 상기 회전축의 간격과 동일한, 전기 검사 장치.
According to claim 1 or 2,
When viewed in a direction normal to the printed circuit board, an interval between the imaging unit and the rotating shaft at the proximity position is equal to an interval between the imaging unit and the rotation shaft at the avoidance position.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 전기 검사 헤드를, 상기 프린트 기판의 평면 방향으로 위치 결정 가능한 위치 결정 기구를 더 구비하는, 전기 검사 장치.
According to claim 1 or 2,
The electric inspection apparatus further includes a positioning mechanism capable of positioning the electric inspection head in a planar direction of the printed circuit board.
제5항에 있어서,
상기 위치 결정 기구가, 상기 전기 검사 헤드와 상기 촬상부를 동시에 상기 평면 방향으로 위치 결정하는, 전기 검사 장치.
According to claim 5,
The electric inspection apparatus, wherein the positioning mechanism simultaneously positions the electric inspection head and the imaging section in the direction of the plane.
프린트 기판에 법선 방향측으로부터 접촉 가능한 전기 검사 헤드와,
상기 전기 검사 헤드를, 상기 법선 방향과 평행한 회전축을 중심으로 해서 회전시키는 회전 기구와,
상기 프린트 기판에 대하여 법선 방향으로부터 정면으로 대향하는 광학 소자를 갖고, 상기 프린트 기판을 촬상 가능한 촬상부와,
상기 촬상부를 근접 위치와 회피 위치 사이에서 이동시키는 이동 기구
를 구비하는 전기 검사 장치를 사용하고,
상기 근접 위치가, 상기 전기 검사 헤드를 회전했을 때에 상기 촬상부가 상기 전기 검사 헤드와 접촉할 수 있는 위치이며, 상기 회피 위치가, 상기 전기 검사 헤드를 회전했을 때에 상기 촬상부가 상기 전기 검사 헤드와 접촉하지 않는 위치이도록 상기 촬상부를 이동시키는,
전기 검사 방법.
an electrical inspection head capable of contacting the printed circuit board from a normal direction side;
a rotating mechanism for rotating the electrical inspection head about a rotational axis parallel to the normal direction;
an imaging unit having an optical element facing the printed board in a normal direction and frontally facing the printed board, and capable of capturing an image of the printed board;
A moving mechanism for moving the imaging unit between a proximity position and an avoidance position
Using an electrical inspection device having a,
The proximity position is a position at which the imaging unit can come into contact with the electric inspection head when the electric inspection head is rotated, and the avoidance position is a position where the imaging unit contacts the electric inspection head when the electric inspection head is rotated. Moving the imaging unit to a position where it does not
electrical inspection method.
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