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KR20230096788A - Stocker and article transport facility - Google Patents

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KR20230096788A
KR20230096788A KR1020220020816A KR20220020816A KR20230096788A KR 20230096788 A KR20230096788 A KR 20230096788A KR 1020220020816 A KR1020220020816 A KR 1020220020816A KR 20220020816 A KR20220020816 A KR 20220020816A KR 20230096788 A KR20230096788 A KR 20230096788A
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article
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shuttle
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transfer
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KR1020220020816A
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박민재
방명진
권우상
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세메스 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a stocker storing an article (FOUP) and an article transport facility including the same. The stocker includes: an article storing unit having multiple shelves; a port from which an article transport vehicle stopped in an article transfer area of an article transport route loads or unloads an article; and an article transfer robot transferring the article between shelves and the port. The port is positioned in the lower part of the article transfer area and includes a shuttle elevating the article in the article transfer area. The stocker can raise the shuttle in advance and locate the shuttle to be adjacent to the article transfer area when the article to be stored or the stored article is transferred from the article transport vehicle or received by the article transport vehicle. Therefore, the stocker according to the present invention can omit the process of elevating a hand unit of the article transport vehicle about the shuttle and reduce time required for the process.

Description

스토커 및 물품 이송 설비 {STOCKER AND ARTICLE TRANSPORT FACILITY}Stocker and goods transport facility {STOCKER AND ARTICLE TRANSPORT FACILITY}

본 발명의 실시예는 반도체 제조 공장 등에서 웨이퍼가 수납되는 FOUP(front opening unified pod) 등의 물품을 보관하는 스토커 및 이를 포함하는 물품 이송 설비에 관한 것이다.An embodiment of the present invention relates to a stocker for storing articles such as a front opening unified pod (FOUP) in which wafers are accommodated in a semiconductor manufacturing plant and the like, and an article transfer facility including the same.

반도체 제조 효율의 향상 등을 위하여, 반도체 제조 공장에서 공정 설비들에 의하여 수행되는 노광, 증착, 식각, 이온 주입, 세정과 같은 공정을 개선하기 위한 기술뿐만 아니라, 공정에 요구되는 물품을 공정 설비들 간에 신속하고 정확하게 이송하기 위한 설비가 널리 보급되어 사용되고 있다. 그 중에서 하나가, 반도체 제조 공장의 천장 측의 물품 이송 경로를 따라 이동하면서 물품을 이송하도록 구성된 오버헤드 호이스트 트랜스포트(overhead hoist transport, OHT), 물품 이송 경로의 측방에서 오버헤드 호이스트 트랜스포트(이하, OHT라고도 칭하기로 함)에 의하여 이송되는 물품을 보관하는 적어도 하나 이상의 스토커 등으로 이루어지는 물품 이송 설비이다.In order to improve semiconductor manufacturing efficiency, etc., not only technologies for improving processes such as exposure, deposition, etching, ion implantation, and cleaning performed by process facilities in semiconductor manufacturing plants, but also products required for the process are provided to process facilities Equipment for rapid and accurate transfer to the liver is widely used. One of them is an overhead hoist transport (OHT) configured to transport items while moving along an item transfer path on the ceiling side of a semiconductor manufacturing plant, and an overhead hoist transport on the side of the item transfer path (hereinafter .

일반적으로, OHT는 주행 레일 및 물품 이송 차량들을 포함한다. 주행 레일은 물품 이송 경로를 제공하도록 구성된다. 물품 이송 차량 각각은, 주행 레일을 따라 주행하는 비히클(vehicle) 및 비히클의 하부에 연결된 호이스트 장치를 가지며, 호이스트 장치가 이송할 물품을 지지한다. 물품 이송 차량들과 스토커는 물품을 상호 간에 제공받거나 제공할 수 있다. 스토커는 보관할 물품을 물품 이송 차량으로부터 전달받거나 이송할 물품(즉, 보관된 물품)을 물품 이송 차량으로 전달하기 위한 포트(port)를 포함한다.Generally, OHTs include running rails and goods transfer vehicles. The running rail is configured to provide an article transport path. Each article transfer vehicle has a vehicle that travels along a running rail and a hoist device connected to a lower portion of the vehicle, and the hoist device supports an article to be transferred. The article transport vehicles and the stocker may receive or provide articles to each other. The stocker includes a port for receiving goods to be stored from the goods transport vehicle or delivering goods to be transported (ie, stored goods) to the article transport vehicle.

물품 이송 차량이 물품을 전달하거나 전달받기 위하여 스토커의 포트에 대한 물품의 로딩(loading), 언로딩(unloading)을 수행하려면, 비히클을 물품 이송 경로에서 스토커와 인접한 물품 전달 영역에 정지시키고, 호이스트 장치에서 물품에 대한 그립(grip), 언그립(ungrip)을 수행하는 핸드 유닛을 스토커의 포트로 하강시킨 후 상승시켜야 한다. 이러한 방식은 물품 이송 차량에 의한 물품의 로딩/언로딩 시간이 핸드 유닛의 승강 거리에 비례하여 증가되는 문제(물류 지체)가 있다. 또, 물품 이송 차량이 물품을 로딩하거나 언로딩하는 동안에 다른 물품 이송 차량의 이동을 방해하기 때문에, 물류 정체가 유발될 수 있다.To perform loading and unloading of goods to the port of the stocker in order for the goods transport vehicle to deliver or receive goods, the vehicle is stopped in the goods delivery area adjacent to the stocker in the goods transport path, and the hoist device After lowering the hand unit that grips and ungrips the item to the stocker port, it must be raised. This method has a problem (logistics delay) in that the loading/unloading time of the article by the article transport vehicle increases in proportion to the lifting distance of the hand unit. In addition, logistics congestion may be caused because an article transport vehicle obstructs the movement of other article transport vehicles while loading or unloading products.

대한민국 공개특허공보 제10-2019-0047900호(2019.05.09)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2019-0047900 (2019.05.09) 대한민국 공개특허공보 제10-2020-0100982호(2020.08.27)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2020-0100982 (2020.08.27)

본 발명의 실시예는, OHT를 이용하는 물류의 흐름을 보다 효율적으로 개선할 수 있는 스토커, 그리고 이를 포함하는 물품 이송 설비를 제공하고자 한다.An embodiment of the present invention is to provide a stocker that can more efficiently improve the flow of logistics using OHT, and an article transport facility including the same.

해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.The problem to be solved is not limited thereto, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 실시예에 따르면, 물품이 적재되는 선반을 복수로 가진 물품 보관 유닛과; 천장 측 물품 이송 경로의 물품 전달 영역 측에 배치되며, 상기 물품을 상기 물품 전달 영역에 정지된 물품 이송 차량으로부터 전달받거나 정지된 상기 물품 이송 차량에 전달하는 전달 포트와; 상기 물품을 상기 선반들과 상기 전달 포트 간에 반송하는 물품 반송 로봇을 포함하고, 상기 전달 포트는, 상기 물품 보관 유닛 측에 상기 물품 전달 영역의 하방으로 위치하도록 제공되고, 상기 물품 전달 영역에 정지된 상기 물품 이송 차량이 상기 물품을 로딩하거나 언로딩하는 셔틀(shuttle)을 구비하며, 상기 셔틀은 상기 물품 전달 영역에 대하여 승강 가능한 것을 특징으로 하는, 스토커가 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, an article storage unit having a plurality of shelves on which articles are loaded; a delivery port disposed on the product delivery area side of the ceiling-side article transfer path, and receiving the product from the product transport vehicle stopped in the product delivery area or transferring the product to the stopped product transport vehicle; and an article transport robot that transports the article between the shelves and the delivery port, wherein the delivery port is provided to be positioned below the article delivery area on a side of the article storage unit, and is stationary in the article delivery region. A stocker may be provided, characterized in that the article transfer vehicle has a shuttle for loading or unloading the article, and the shuttle is capable of being lifted with respect to the article delivery area.

상기 전달 포트는, 상기 물품을 제1 위치 및 상기 제1 위치로부터 수평 방향으로 이격된 제2 위치 간에 반송하는 스테이지(stage)를 구비한 수평 반송 유닛과; 상기 물품을 상기 제2 위치 및 상기 제2 위치로부터 상측으로 이격된 제3 위치 간에 반송하는 상기 셔틀을 구비한 수직 반송 유닛을 포함할 수 있다. 상기 스테이지와 상기 셔틀은 상기 물품을 상기 제2 위치에서 상호 간에 전달할 수 있다. 상기 제1 위치는 상기 물품 반송 로봇이 상기 물품을 로딩하거나 언로딩하는 위치이고, 상기 제2 위치는 상기 물품 전달 영역의 직하일 수 있다.The delivery port may include: a horizontal conveying unit having a stage for conveying the article between a first position and a second position horizontally spaced apart from the first position; and a vertical conveying unit having the shuttle for conveying the article between the second location and a third location upwardly spaced apart from the second location. The stage and the shuttle may transfer the article to each other at the second location. The first location may be a location where the product transport robot loads or unloads the product, and the second location may be directly below the product delivery area.

상기 수평 반송 유닛은 상기 스테이지가 수평 가이드의 안내에 따라 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 간을 이동하도록 구성되고, 상기 스테이지는 상기 물품의 하부의 중앙 영역을 하측에서 지지할 수 있다. 상기 수직 반송 유닛은 상기 셔틀이 수직 가이드의 안내에 따라 상기 제2 위치와 상기 제3 위치 간을 이동하도록 구성되고, 상기 셔틀은 상기 물품의 하부의 주변 영역을 상기 스테이지의 이동 방향 기준으로 양옆에서 지지할 수 있다. 상기 스테이지 및 상기 셔틀이 상기 물품을 상호 간에 전달하기 위하여 상기 제2 위치로 이동된 때, 상기 셔틀은 상기 스테이지와의 간섭 방지를 위하여 상기 스테이지에 비하여 낮은 높이에 위치될 수 있다.The horizontal conveying unit is configured so that the stage moves between the first position and the second position according to the guidance of the horizontal guide, and the stage may support a lower central region of the article from a lower side. The vertical conveying unit is configured such that the shuttle moves between the second position and the third position according to the guidance of the vertical guide, and the shuttle moves the peripheral area of the lower part of the article from both sides based on the moving direction of the stage. can support When the stage and the shuttle are moved to the second position to transfer the goods to each other, the shuttle may be positioned at a lower height than the stage to prevent interference with the stage.

상기 스테이지는, 상기 수평 가이드를 따라 수평 방향으로 이동되는 무빙 블록(moving block)과; 상기 무빙 블록의 상측에서 상기 물품을 지지하는 서포트 헤드(support head)를 포함할 수 있다. 상기 서포트 헤드는 헤드 구동 모듈에 의하여 수직 방향의 축을 중심으로 회전될 수 있다.The stage includes a moving block that moves in a horizontal direction along the horizontal guide; A support head for supporting the article may be included on the upper side of the moving block. The support head may be rotated about an axis in a vertical direction by a head driving module.

상기 제3 위치는 상기 물품 전달 영역과 중첩하는 위치일 수 있다.The third location may be a location overlapping the product delivery area.

본 발명의 실시예에 따르면, 적어도 하나 이상의 물품 전달 영역을 가진 물품 이송 경로를 제공하는 천장 측 주행 레일과; 물품의 이송을 위하여 상기 주행 레일을 따라 주행하는 적어도 하나 이상의 물품 이송 차량과; 상기 물품 전달 영역 측에 배치되며, 상기 물품을 상기 물품 전달 영역에 정지된 상기 물품 이송 차량으로부터 제공받아 보관하거나 정지된 상기 물품 이송 차량에 제공하는 스토커를 포함하고, 상기 스토커는, 상기 물품이 적재되는 선반을 복수로 가진 물품 보관 유닛과; 상기 물품 보관 유닛 측에 상기 물품 전달 영역의 하방으로 위치하도록 제공되고, 상기 물품 전달 영역에 정지된 상기 물품 이송 차량이 상기 물품을 로딩하거나 언로딩하는 셔틀을 구비한 전달 포트와; 상기 물품을 상기 선반들과 상기 전달 포트 간에 반송하는 물품 반송 로봇을 포함하며, 상기 셔틀은 상기 물품 전달 영역에 대하여 승강 가능한 것을 특징으로 하는, 물품 이송 설비가 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a ceiling-side running rail providing an article transport path having at least one article delivery area; at least one article transport vehicle that travels along the travel rail to transport the article; and a stocker disposed at a side of the product delivery area, receiving and storing the product from the product transport vehicle stopped in the product delivery area, or supplying the product to the stopped product transport vehicle, wherein the stocker includes: an article storage unit having a plurality of shelves; a transfer port provided on the side of the product storage unit and located below the product delivery area, and having a shuttle for loading or unloading the product by the product transfer vehicle stopped in the product delivery area; An article transfer facility may be provided, including an article transport robot for conveying the article between the shelves and the delivery port, wherein the shuttle is capable of moving up and down relative to the article delivery area.

본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비에 있어서, 상기 물품 이송 차량은, 상기 물품을 그립하거나 언그립하기 위한 핸드 유닛과; 상기 핸드 유닛을 승강시키는 수직 구동 유닛을 포함할 수 있다. 그리고, 상기 셔틀은 상승된 때 상기 물품 전달 영역에 정지된 상기 물품 이송 차량의 상기 핸드 유닛이 상승 상태에서 하강됨이 없이 상기 물품을 전달받거나 전달할 수 있는 높이에 위치될 수 있다.In the article transport facility according to an embodiment of the present invention, the article transport vehicle includes: a hand unit for gripping or ungripping the article; A vertical drive unit for elevating the hand unit may be included. Also, when the shuttle is raised, the hand unit of the product transfer vehicle stopped in the product delivery area may be positioned at a height capable of receiving or delivering the product without being lowered in an elevated state.

과제의 해결 수단은 이하에서 설명하는 실시예, 도면 등을 통하여 보다 구체적이고 명확하게 될 것이다. 또한, 이하에서는 언급한 해결 수단 이외의 다양한 해결 수단이 추가로 제시될 수 있다.The means for solving the problems will be more specific and clear through embodiments, drawings, etc. described below. In addition, various solutions other than the aforementioned solutions may be additionally presented below.

본 발명의 실시예에 의하면, 스토커를 구성하는 전달 포트는 물품 이송 경로의 물품 전달 영역에 정지된 물품 이송 차량이 물품을 로딩하거나 언로딩하는 셔틀을 포함할 수 있다. 셔틀은 물품 전달 영역에 정지된 물품 이송 차량과 상대적으로 인접한 위치(높이)에서 물품을 물품 이송 차량으로부터 전달받거나 물품 이송 차량에 전달하기 위하여 물품 전달 영역 측으로 상승될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the delivery port constituting the stocker may include a shuttle for loading or unloading goods by an article transport vehicle stopped in the article delivery area of the article transport route. The shuttle may be raised toward the article delivery area to receive or deliver goods from or to the article delivery vehicle at a position (height) relatively adjacent to the article delivery vehicle stopped in the article delivery region.

그러므로, 본 발명의 실시예는, 스토커의 물품 보관 유닛에 보관할 물품이나 보관된 물품(이송할 물품)을 물품 이송 차량으로부터 제공받거나 물품 이송 차량에 제공하려는 때, 셔틀을 미리 상승시켜 물품 전달 영역에 인접시킬 수 있는바, 물품 이송 차량의 핸드 유닛을 승강시키는 과정을 생략하거나 이 과정을 위한 소요 시간을 크게 단축할 수 있다. 결과적으로, 본 발명의 실시예는 택트 타임(tact time)을 줄일 수 있는 등 물류 흐름을 효율적으로 개선할 수 있다.Therefore, in an embodiment of the present invention, when an item to be stored or stored in a stocker's item storage unit (item to be transported) is provided from an item transfer vehicle or is to be provided to an item transfer vehicle, the shuttle is raised in advance to the item delivery area. Since it can be adjacent, the process of elevating the hand unit of the article transport vehicle can be omitted or the time required for this process can be greatly reduced. As a result, embodiments of the present invention can efficiently improve logistics flow, such as reducing tact time.

발명의 효과는 이에 한정되지 않고, 언급되지 않은 기타 효과는 통상의 기술자라면 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.Effects of the invention are not limited thereto, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from this specification and the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 전체 구성을 나타내는 개념도이다.
도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 OHT의 구성 및 작동을 나타내는 정면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 스토커의 구성을 나타내는 정면도이다.
도 5 및 도 6은 도 4에 도시된 전달 포트의 구성 및 작동을 나타내는 정면도이다.
도 7은 도 4에 도시된 전달 포트의 구성 및 작동을 나타내는 평면도이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비에서 물품 이송 차량과 스토커 간 물품 전달 과정의 일례를 나타내는 정면도이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비에서 물품 이송 차량과 스토커 간 물품 전달 과정의 다른 예를 나타내는 정면도이다.1 is a conceptual diagram showing the overall configuration of an article transfer facility according to an embodiment of the present invention.
2 and 3 are front views showing the configuration and operation of the OHT shown in FIG.
Figure 4 is a front view showing the configuration of the stocker shown in Figure 1;
5 and 6 are front views illustrating the configuration and operation of the transfer port shown in FIG. 4 .
7 is a plan view showing the configuration and operation of the transfer port shown in FIG. 4;
8 and 9 are front views illustrating an example of a product delivery process between an article transport vehicle and a stocker in an article transport facility according to an embodiment of the present invention.
10 is a front view showing another example of a product transfer process between an article transport vehicle and a stocker in an article transport facility according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 사람이 쉽게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 여러 가지 다른 형태로 구현될 수 있고 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. However, the present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명의 실시예를 설명하는 데 있어서, 관련된 공지 기능이나 구성에 대한 구체적 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 구체적 설명을 생략하고, 유사 기능 및 작용을 하는 부분은 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용하기로 한다.In describing the embodiments of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted, and parts with similar functions and actions will be omitted. The same reference numerals will be used throughout the drawings.

명세서에서 사용되는 용어들 중 적어도 일부는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이기에 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 그 용어에 대해서는 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석되어야 한다. 또한, 명세서에서, 어떤 구성 요소를 포함한다고 하는 때, 이것은 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다. 그리고, 어떤 부분이 다른 부분과 연결(또는, 결합)된다고 하는 때, 이것은, 직접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우뿐만 아니라, 다른 부분을 사이에 두고 간접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우도 포함한다.Since at least some of the terms used in the specification are defined in consideration of functions in the present invention, they may vary according to user, operator intention, custom, and the like. Therefore, the term should be interpreted based on the contents throughout the specification. In addition, in the specification, when it is said to include a certain component, this means that it may further include other components without excluding other components unless otherwise stated. And, when a part is said to be connected (or combined) with another part, this is not only directly connected (or combined), but also indirectly connected (or combined) through another part. include

한편, 도면에서 구성 요소의 크기나 형상, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다.On the other hand, in the drawing, the size or shape of the component, the thickness of the line, etc. may be expressed somewhat exaggerated for convenience of understanding.

본 발명은 반도체, 디스플레이(display) 등에 대한 제조를 수행하기 위한 공장에서 물품을 임의의 위치로부터 목적하는 위치로 이송하는 데 주로 사용될 수 있다. 예를 들면, 본 발명은 물품을 반도체, 디스플레이 등의 제조에 필요한 공정 설비들 간에 이송할 수 있다. 이때, 물품은 웨이퍼(wafer) 등의 기판을 포함할 수 있다. 일례로, 물품은 복수의 기판이 수납되는 컨테이너(container)일 수 있다. 나아가, 컨테이너는 수납된 기판들을 외부로부터 보호할 수 있는 밀폐형 컨테이너일 수 있다. 구체적으로, 밀폐형 컨테이너는 FOUP일 수 있다.The present invention can be mainly used to transfer an article from an arbitrary position to a desired position in a factory for manufacturing semiconductors, displays, and the like. For example, the present invention can transfer articles between process facilities required for the manufacture of semiconductors, displays, and the like. In this case, the article may include a substrate such as a wafer. As an example, the article may be a container in which a plurality of substrates are accommodated. Furthermore, the container may be an airtight container capable of protecting the stored substrates from the outside. Specifically, the hermetically sealed container may be a FOUP.

본 발명은 다양한 기술 분야에서 물품을 이송하는 데 사용될 수 있는 것이지만, 본 발명의 실시예는 반도체 제조 공장에서 물품으로서 FOUP을 반도체 제조용의 공정 설비들 간에 이송하는 경우를 중심으로 살펴보기로 한다.Although the present invention can be used to transfer articles in various technical fields, an embodiment of the present invention will focus on the case of transferring a FOUP as an article between semiconductor manufacturing process facilities in a semiconductor manufacturing plant.

반도체 제조 공장은 적어도 하나 이상의 클린 룸(clean room)으로 구성될 수 있고, 반도체의 제조를 위한 공정으로서 노광, 증착, 식각, 세정 등을 수행하는 공정 설비들은 클린 룸에 설치될 수 있다. 반도체는 웨이퍼에 반도체 제조 공정을 반복적으로 수행함으로써 완성될 수 있다. 특정 공정 설비에서 해당의 공정이 완료된 웨이퍼는 후속 공정을 위하여 다음의 공정 설비로 이송될 수 있다. 이때, 웨이퍼의 이송은 FOUP에 수납된 상태에서 OHT를 포함하는 물품 이송 설비에 의하여 이루어질 수 있다.A semiconductor manufacturing plant may be composed of at least one clean room, and process facilities for performing exposure, deposition, etching, cleaning, and the like as processes for manufacturing semiconductors may be installed in the clean room. A semiconductor can be completed by repeatedly performing a semiconductor manufacturing process on a wafer. A wafer whose corresponding process has been completed in a specific process facility may be transferred to a next process facility for a subsequent process. At this time, the transfer of the wafer may be performed by a product transfer facility including an OHT in a state accommodated in the FOUP.

본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 전체 구성 등이 도 1에 개념적으로 도시되어 있다. 도 1에서, 도면 부호 1은 반도체 제조 공장에 설치된 복수의 공정 설비를 나타낸다. 또, 도면 부호 10은 물품인 FOUP을 공정 설비(1)들 간에 이송하기 위한 물품 이송 경로(11)를 제공하는 주행 레일이고, 도면 부호 20은 물품 이송 경로(11)를 따라 각각 이동하면서 물품을 이송하는 복수의 물품 이송 차량이다. 또한, 도면 부호 30은 물품의 일시적 보관 공간을 제공하는 버퍼(buffer)를 나타낸다. 그리고, 도면 부호 35는 물품 보관을 위한 창고 구조의 스토커를 나타낸다. 주행 레일(10)은 물품 이송 경로(11)를 반도체 제조 공장의 천장과 인접한 위치에 제공할 수 있다. 물품 이송 차량(20) 각각은, 물품을 공정 설비(1)들 중 특정 설비로부터 다른 설비로 이송할 수 있도 있고, 또 물품을 공정 설비(1)들 중 특정 설비로부터 버퍼(30)나 스토커(35)로 이송할 수도 있으며, 또 물품을 버퍼(30) 또는 스토커(35)로부터 특정 공정 설비(1)로 이송할 수도 있다. 버퍼(30)와 스토커(25)는 각각 적어도 하나 이상이 구비될 수 있다.The overall configuration of an article transfer facility according to an embodiment of the present invention is conceptually shown in FIG. 1 . In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a plurality of process equipment installed in a semiconductor manufacturing plant. In addition, reference numeral 10 is a running rail that provides an article transfer path 11 for transferring a FOUP, which is an item, between process facilities 1, and reference numeral 20 denotes an item while moving along the item transfer path 11, respectively. It is a transport vehicle for transporting a plurality of articles. Also, reference numeral 30 denotes a buffer providing a temporary storage space for articles. And, reference numeral 35 denotes a stocker of a warehouse structure for storing goods. The running rail 10 may provide an article transfer path 11 at a location adjacent to a ceiling of a semiconductor manufacturing plant. Each of the article transport vehicles 20 may transfer articles from a specific facility among the process facilities 1 to another facility, and also transfer the product from a specific facility among the process facilities 1 to a buffer 30 or a stocker ( 35), or the goods can be transferred from the buffer 30 or stocker 35 to a specific process facility 1. At least one buffer 30 and at least one stocker 25 may be provided.

본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는, OHT를 포함하고, OHT가 주행 레일(10) 및 물품 이송 차량(20)들을 포함할 수 있다. 이러한 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는, 물품 이송 차량(20)들이 급전 유닛과 수전 유닛을 통하여 전원 공급 장치로부터 구동 전력을 제공받아 독립적으로 작동하도록 구성될 수 있고, 소위 OCS(OHT control system)라고 칭하는 통합 제어 장치를 이용하여 물품 이송 차량(20)들을 자동으로 운영할 수 있다.An article transport facility according to an embodiment of the present invention includes an OHT, and the OHT may include a running rail 10 and article transport vehicles 20 . In the article transport facility according to the embodiment of the present invention, the article transport vehicles 20 may be configured to operate independently by receiving driving power from a power supply device through a power supply unit and a power receiving unit, and so-called OCS (OHT control) The product transport vehicles 20 may be automatically operated using an integrated control device called a system).

OHT의 구성, 작동 등이 도 2 및 도 3에 도시되어 있다. 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 주행 레일(10)은, 물품 이송 경로(11)를 따라 연장되고 좌우 방향으로 이격되며 서로 짝을 이루는 한 쌍의 레일을 포함하고, 복수의 레일 서포트(rail support, 15)에 의하여 반도체 제조 공장의 천장 측에 설치될 수 있다. 또, 물품 이송 차량(20) 각각은, 주행 레일(10)을 따라 주행 가능한 비히클(100), 그리고 비히클(100)의 하부에서 물품(FOUP)을 지지하는 호이스트 장치(200)를 포함할 수 있다. 레일 서포트(15)들은 각각 하단 부분이 한 쌍의 레일을 지지한 상태로 상단 부분이 반도체 제조 공장의 천장에 정착될 수 있다. 한 쌍의 레일은 주행 상면을 제공하도록 형성될 수 있다. 호이스트 장치(200)는 비히클(100)의 하측에 비히클(100)과 함께 이동하도록 제공될 수 있다.The configuration and operation of the OHT are shown in FIGS. 2 and 3 . As shown in FIGS. 2 and 3, the travel rail 10 includes a pair of rails extending along the article transport path 11, spaced apart in the left and right directions, and paired with each other, and a plurality of rail supports ( It can be installed on the ceiling side of the semiconductor manufacturing plant by rail support, 15). In addition, each of the article transport vehicles 20 may include a vehicle 100 capable of traveling along the running rail 10 and a hoist device 200 supporting the article FOUP under the vehicle 100. . Upper portions of the rail supports 15 may be fixed to a ceiling of a semiconductor manufacturing plant with lower portions supporting a pair of rails. A pair of rails may be formed to provide a running top surface. The hoist device 200 may be provided on the lower side of the vehicle 100 to move together with the vehicle 100 .

비히클(100)은 차체(110) 및 휠(wheel, 120)들을 포함할 수 있다. 좌우 방향으로 연장된 차축이 차체(110)에 장착될 수 있다. 차축은 복수로 제공되고 전후 방향으로 서로 이격될 수 있다. 휠(120)들은 차체(110)가 주행 레일(10)의 안내에 따라 주행 가능하도록 차체(110)에 이동성을 부여하는 주행 휠이다. 휠(120)들은, 차축의 양단 부분에 각각 장착되고, 한 쌍의 레일의 주행 상면에 각각 접촉되어 구름 운동을 할 수 있다. 비히클(100)은 휠(120)들을 회전시키는 데 요구되는 동력을 제공하는 휠 구동 유닛(130)을 더 포함할 수 있다. 휠 구동 유닛(130)은 차축을 회전시키도록 구성될 수 있다.The vehicle 100 may include a body 110 and wheels 120. An axle extending left and right may be mounted on the vehicle body 110 . A plurality of axles may be provided and may be spaced apart from each other in the fore-and-aft direction. The wheels 120 are driving wheels that impart mobility to the vehicle body 110 so that the vehicle body 110 can travel according to the guidance of the travel rail 10 . The wheels 120 are mounted on both ends of the axle, respectively, and are in contact with the running upper surfaces of a pair of rails, respectively, to perform a rolling motion. The vehicle 100 may further include a wheel driving unit 130 providing power required to rotate the wheels 120 . The wheel drive unit 130 may be configured to rotate an axle.

호이스트 장치(200)는 호이스트 하우징(210)을 포함할 수 있다. 호이스트 하우징(210)은 주행 레일(10)의 하방에서 상부가 연결 모듈에 의하여 차체(110)에 연결될 수 있다. 호이스트 하우징(210)은, 물품이 수용되는 수용 공간(212)을 제공하는바, 물품을 수용 공간(212)으로부터 좌우 방향 및 하방으로 이동시킬 수 있게 좌우 양옆 및 하측이 모두 개방된 구조를 가지도록 형성될 수 있다. 이에, 물품은 수용 공간(212)에 대하여 출입될 수 있다.The hoist device 200 may include a hoist housing 210 . The hoist housing 210 may be connected to the vehicle body 110 by means of a connection module at an upper portion below the travel rail 10 . The hoist housing 210 provides an accommodating space 212 in which articles are accommodated, so that the hoist housing 210 has a structure in which both left and right sides and lower sides are open so that the articles can be moved left and right and downward from the accommodating space 212. can be formed Accordingly, articles may be taken in and out of the accommodation space 212 .

호이스트 장치(200)는, 물품을 그립하거나 언그립하는 핸드 유닛(220), 그리고 핸드 유닛(220)을 수용 공간(212)의 내부와 외부 간에 이동시키는 핸드 이동 유닛을 더 포함할 수 있다. 이러한 호이스트 장치(200)는 핸드 이동 유닛으로서 수직 구동 유닛(230), 회전 구동 유닛(240) 및 수평 구동 유닛(250)을 포함할 수 있다.The hoist device 200 may further include a hand unit 220 that grips or ungrips an item, and a hand moving unit that moves the hand unit 220 between the inside and outside of the accommodation space 212 . The hoist device 200 may include a vertical drive unit 230, a rotation drive unit 240, and a horizontal drive unit 250 as hand moving units.

핸드 유닛(220)은, 물품에 대한 그립 및 언그립을 수행하는 핸드, 그리고 핸드를 지지하는 핸드 서포트를 포함할 수 있다. 이러한 핸드 유닛(220)은 수직 구동 유닛(230)에 의하여 승강될 수 있다. 예를 들어, 수직 구동 유닛(230)은 회전 가능한 드럼(drum)을 이용하여 복수의 벨트(belt, 232)를 와인딩(winding)하거나 언와인딩(unwinding)하는 방식으로 핸드 유닛(220)을 승강시키도록 구성될 수 있다. 회전 구동 유닛(240)은 핸드 유닛(220)을 수직 방향의 축을 중심으로 회전시킬 수 있다. 수평 구동 유닛(250)은 핸드 유닛(220)을 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다.The hand unit 220 may include a hand that grips and ungrips an object, and a hand support that supports the hand. The hand unit 220 may be moved up and down by the vertical driving unit 230 . For example, the vertical driving unit 230 raises and lowers the hand unit 220 by winding or unwinding a plurality of belts 232 using a rotatable drum. It can be configured as a list. The rotation driving unit 240 may rotate the hand unit 220 about an axis in a vertical direction. The horizontal driving unit 250 may move the hand unit 220 in the left and right directions.

이와 같은 호이스트 장치(200)는, 핸드 유닛(220)을 수직 구동 유닛(230)에 의하여 승강시키고, 수직 구동 유닛(230)을 회전 구동 유닛(240)에 의하여 수직 방향의 축을 중심으로 회전시키며, 회전 구동 유닛(240)을 수평 구동 유닛(250)에 의하여 좌우 방향으로 이동시킴으로써, 핸드 유닛(220)에 의하여 그립된 물품을 승강시키거나 회전시키거나 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다.In such a hoist device 200, the hand unit 220 is moved up and down by the vertical drive unit 230, and the vertical drive unit 230 is rotated about a vertical axis by the rotation drive unit 240, By moving the rotary driving unit 240 in the left and right directions by the horizontal driving unit 250, the article gripped by the hand unit 220 can be raised, rotated, or moved in the left and right directions.

도 2는 핸드 유닛(220)에 의하여 그립된 물품이 수용 공간(212)의 내부에 수용된 상태를 나타낸다. 도 2에서와 같이, 물품 이송 차량(20)들은 물품을 목적하는 위치로 이송하기 위하여 물품 이송 경로(11)를 따라 이동하는 동안 물품을 수용 공간(212)에 수용하여 물품을 보호할 수 있다. 도 3은 핸드 유닛(220)에 의하여 그립된 물품이 수용 공간(212)으로부터 외부로 이동된 상태를 나타낸다. 도 3에서와 같이, 물품 이송 차량(20)들은 물품을 공정 설비(1), 버퍼(30), 스토커(35) 등으로부터 전달받거나 공정 설비(1), 버퍼(30), 스토커(35) 등에 전달하는 때에 물품을 수용 공간(212)의 내부와 외부 간에 이동시킬 수 있다.FIG. 2 shows a state in which an article gripped by the hand unit 220 is accommodated in the accommodation space 212 . As shown in FIG. 2 , while the article transport vehicles 20 move along the article transport path 11 to transport the article to a desired location, the article may be accommodated in the accommodation space 212 to protect the article. 3 shows a state in which an article gripped by the hand unit 220 is moved out of the accommodating space 212 . As shown in FIG. 3, the article transport vehicles 20 receive goods from the process facility 1, buffer 30, stocker 35, etc., or transfer articles to the process facility 1, buffer 30, stocker 35, etc. When transferring, an item may be moved between the interior and exterior of the receiving space 212 .

스토커(35)의 구성이 도 4에 도시되어 있다. 도 1 및 도 4를 참조하면, 도면 부호 15는 물품 전달 영역(15)이다. 물품 이송 경로(11)는 물품 이송 차량(20)들이 물품을 스토커(35)로부터 전달받거나 스토커(35)에 전달하기 위하여 정지되는 영역인 물품 전달 영역(15)을 적어도 하나 이상 가질 수 있다. 스토커(35)는 물품 전달 영역(15) 측에 배치될 수 있다. 구체적으로, 스토커(35)는 주행 레일(10)의 측방에서 물품 전달 영역(15)과 인접하게 배치될 수 있다. 물품 이송 차량(20)들은, 물품 전달 영역(15)으로 이동되어 물품 전달 영역(15)에 정지될 수 있고, 이렇게 정지된 상태에서 물품을 물품 전달 영역(15) 측의 스토커(35)와 주고받을 수 있다.The construction of the stocker 35 is shown in FIG. 4 . Referring to FIGS. 1 and 4 , reference numeral 15 denotes an article delivery area 15 . The article transport path 11 may have at least one article delivery region 15, which is an area where the article transport vehicles 20 stop to receive or deliver goods from the stocker 35 or to the stocker 35. The stocker 35 may be disposed on the side of the article delivery area 15 . Specifically, the stocker 35 may be disposed adjacent to the article delivery area 15 on the side of the running rail 10 . The article transport vehicles 20 can be moved to the article delivery area 15 and stopped at the article delivery region 15, and in this stopped state, deliver the goods to the stocker 35 on the article delivery area 15 side. can receive

스토커(35)는 반도체 제조 공장의 바닥에 설치될 수 있다. 스토커(35)는, 선반(310)들을 가진 물품 보관 유닛(300), 물품 보관 유닛(300) 측에 제공된 전달 포트(500), 그리고 물품을 선반(310)들과 전달 포트(500) 간에 반송하도록 구성된 물품 반송 로봇(400)을 포함할 수 있다.The stocker 35 may be installed on the floor of a semiconductor manufacturing plant. The stocker 35 includes an article storage unit 300 having shelves 310, a delivery port 500 provided on the side of the article storage unit 300, and transporting articles between the shelves 310 and the delivery port 500 It may include an article carrying robot 400 configured to.

선반(310)들은 수직 방향 및/또는 수평 방향으로 배열될 수 있다. 수직 방향과 수평 방향으로 배열된 선반(310)들이 2열로 구비될 수 있고, 2열의 선반(310)들이 서로 나란하되 좌우 방향으로 서로 이격되도록 간격을 두고 배치될 수 있다. 선반(310)들에는 각각 보관할 물품이 적재될 수 있다.Shelves 310 may be arranged vertically and/or horizontally. The shelves 310 arranged in the vertical and horizontal directions may be provided in two rows, and the two rows of shelves 310 may be arranged at intervals so that they are parallel to each other but spaced apart from each other in the left and right directions. Items to be stored may be loaded on each of the shelves 310 .

물품 반송 로봇(400)은 2열로 배치된 선반(310)들 사이의 공간에 위치하도록 제공될 수 있다. 물품 반송 로봇(400)은, 핸드를 가진 로봇 암(robot arm, 410), 로봇 암(410)의 수평 방향 이동을 안내하는 제1 가이드(420), 그리고 로봇 암(410)의 수직 방향 이동을 안내하는 제2 가이드(430)를 포함할 수 있다.The product transport robot 400 may be provided to be located in a space between the shelves 310 arranged in two rows. The product carrying robot 400 includes a robot arm 410 having a hand, a first guide 420 for guiding horizontal movement of the robot arm 410, and vertical movement of the robot arm 410. A second guide 430 for guiding may be included.

제1 가이드(420)는 2열로 배치된 선반(310)들 사이의 바닥 측에 제공되고 전후 방향을 따라 연장될 수 있다. 물품 반송 로봇(400)은 로봇 베이스(robot base)가 제1 가이드(420)를 따라 이동할 수 있다. 제2 가이드(430)는 로봇 베이스에 제공되며 수직 방향으로 연장될 수 있다. 로봇 암(410)은 제2 가이드(430)를 따라 이동할 수 있다. 로봇 암(410)은 그것의 핸드가 선반(310)들을 향하여 이동 가능하게 구성됨으로써, 물품을 선반(310)들에 로딩하거나 선반(310)들로부터 언로딩할 수 있다. 예를 들어, 로봇 암(410)은, 제2 가이드(430)를 따라 이동 가능한 암 서포트 및 암 서포트에 수직 방향의 축을 중심으로 회전 가능하도록 제공된 암을 포함하고, 암이 수평 방향으로 길이 신축 가능하게 구성되며, 핸드가 암의 선단에 제공될 수 있다. 로봇 암(410)의 핸드는 물품을 그립하거나 언그립할 수 있다.The first guide 420 may be provided on the bottom side between the shelves 310 arranged in two rows and may extend in the front-rear direction. A robot base of the product transport robot 400 may move along the first guide 420 . The second guide 430 is provided on the robot base and may extend in a vertical direction. The robot arm 410 may move along the second guide 430 . The robot arm 410 is configured such that its hand is movable toward the shelves 310, so that it can load or unload items from the shelves 310. For example, the robot arm 410 includes an arm support movable along the second guide 430 and an arm provided to the arm support to be rotatable about an axis in a vertical direction, and the arm can extend in a horizontal direction. It is configured to do so, and a hand may be provided at the front end of the arm. The hand of the robot arm 410 may grip or ungrip an item.

전달 포트(500)는, 서로 나란한 2열의 선반(310)들 중 물품 전달 영역(15)과 더 인접한 열 측에 물품 전달 영역(15)의 하방으로 위치하도록 마련될 수 있다. 전달 포트(500)는 보관할 물품을 물품 전달 영역(15)에 정지된 물품 이송 차량(20)으로부터 전달받거나 이송할 물품(보관된 물품)을 정지된 물품 이송 차량(20)에 전달할 수 있다. 전달 포트(500)는, 물품의 입고를 위한 입고 포트 또는 물품의 출고를 위한 출고 포트일 수도 있고, 물품의 입고와 출고가 모두 가능한 타입인 입출고 포트일 수도 있다.The transfer port 500 may be provided to be positioned below the product transfer area 15 at a row closer to the product transfer area 15 among the two rows of shelves 310 parallel to each other. The delivery port 500 may receive an article to be stored from the article transport vehicle 20 stopped in the article delivery area 15 or deliver an article to be transported (stored article) to the stationary article transport vehicle 20 . The delivery port 500 may be a warehousing port for warehousing or a warehousing port for warehousing of goods, or a warehousing and warehousing port capable of both warehousing and warehousing of goods.

전달 포트(500)의 구성 및 작용이 도 5 내지 도 7에 도시되어 있고, 물품 이송 차량(20)과 스토커(35) 간 물품 전달 과정이 도 8 내지 도 10에 도시되어 있다. 도 8과 도 9는 물품 전달 과정의 일례를 나타내고, 도 10은 물품 전달 과정의 다른 예를 나타낸다.The configuration and operation of the transfer port 500 are shown in FIGS. 5 to 7 , and the process of transferring the product between the product transfer vehicle 20 and the stocker 35 is shown in FIGS. 8 to 10 . 8 and 9 show an example of an article delivery process, and FIG. 10 shows another example of an article delivery process.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 전달 포트(500)는, 물품의 수평 방향 반송을 위한 수평 반송 유닛(500A)과 물품의 수직 방향 반송을 위한 수직 반송 유닛(500B)을 포함하고, 수평 반송 유닛(500A)과 수직 반송 유닛(500B)이 물품을 주고받을 수 있도록 서로 연결될 수 있다. 수평 반송 유닛(500A)은 물품을 수평 방향으로 서로 이격된 제1 위치(P1)와 제2 위치(P2) 간에 반송하고, 수직 반송 유닛(500B)은 물품을 수직 방향으로 서로 이격된 제2 위치(P2)와 제3 위치(P3) 간에 반송할 수 있다. 제1 위치(P1)는 물품 반송 로봇(400)이 물품 출고를 위하여 물품(즉, 보관된 물품)을 전달 포트(500)에 로딩하거나 물품 입고를 위하여 물품을 전달 포트(500)로부터 언로딩하는 위치일 수 있다. 제2 위치(P2)는 물품 전달 영역(15)의 직하이고, 제3 위치(P3)는 제2 위치(P2)로부터 상측인 물품 전달 영역(15) 측으로 이격된 위치일 수 있다.5 to 7 , the delivery port 500 includes a horizontal conveying unit 500A for horizontal conveying of articles and a vertical conveying unit 500B for vertical conveying of articles, the horizontal conveying unit 500A and the vertical conveyance unit 500B may be connected to each other so that goods can be exchanged. The horizontal conveying unit 500A conveys the article between a first position P1 and a second position P2 spaced apart from each other in the horizontal direction, and the vertical conveyance unit 500B conveys the article to a second position spaced apart from each other in the vertical direction. It can be conveyed between (P2) and the 3rd position (P3). The first position (P1) is where the product transport robot 400 loads the product (ie, stored product) into the delivery port 500 for product release or unloads the product from the delivery port 500 for product storage. may be a location. The second location P2 may be directly below the product delivery area 15, and the third location P3 may be a location spaced apart from the second location P2 toward the upper side of the product delivery area 15.

수평 반송 유닛(500A)은, 물품의 수평 방향 반송을 위하여 반송할 물품을 지지하는 스테이지(510), 스테이지(510)의 수평 방향 이동을 정확하게 안내하기 위한 수평 가이드(520), 그리고 수평 가이드(520)를 지지하는 프레임(frame, 530)을 포함할 수 있다. 수평 가이드(520)는, 좌우 방향으로 연장되고, 제1 위치(P1)와 제2 위치(P2) 간에 수평 방향으로 제공될 수 있다. 스테이지(510)는 수평 구동 모듈의 동력에 의하여 수평 가이드(520)를 따라 이동되는 무빙 블록(512)을 포함할 수 있다. 또, 스테이지(510)는 무빙 블록(512) 상에서 제1 위치(P1)와 제2 위치(P2) 간에 반송할 물품을 지지하는 서포트 헤드(514)를 더 포함할 수 있다. 스테이지(510)의 서포트 헤드(514)는, 무빙 블록(512)의 상측에 수직 방향의 축을 중심으로 회전 가능하도록 제공되고, 헤드 구동 모듈에 의하여 회전될 수 있다. 반송할 물품이 서포트 헤드(514)에 의하여 지지된 상태에서 서포트 헤드(514)를 헤드 구동 모듈에 의하여 회전시키면, 서포트 헤드(514)에 의하여 지지된 물품의 방향을 요구 방향으로 전환할 수 있다. 수평 구동 모듈은, 회전력을 제공하는 모터(motor), 그리고 모터의 회전력을 무빙 블록(512)에 전달하여 무빙 블록(512)을 직선으로 왕복시키는 동력 전달 기구를 포함할 수 있다. 동력 전달 기구는 벨트(belt) 또는 체인(chain)을 포함하는 전동 기구일 수 있다. 헤드 구동 모듈은 회전력을 서포트 헤드(514)에 제공하는 모터를 포함할 수 있다. 프레임(530)은 물품 보관 유닛(300)과 연결될 수 있다.The horizontal conveying unit 500A includes a stage 510 for supporting articles to be conveyed for horizontal conveying of articles, a horizontal guide 520 for accurately guiding horizontal movement of the stage 510, and a horizontal guide 520 ) It may include a frame (frame, 530) supporting the. The horizontal guide 520 may extend in left and right directions and may be provided in a horizontal direction between the first position P1 and the second position P2. The stage 510 may include a moving block 512 moved along the horizontal guide 520 by power of the horizontal driving module. In addition, the stage 510 may further include a support head 514 for supporting an article to be transported between the first position P1 and the second position P2 on the moving block 512 . The support head 514 of the stage 510 is provided on the upper side of the moving block 512 to be rotatable about an axis in a vertical direction, and can be rotated by a head driving module. When the support head 514 is rotated by the head driving module in a state where an article to be transported is supported by the support head 514, the direction of the article supported by the support head 514 can be changed to a requested direction. The horizontal drive module may include a motor that provides rotational force, and a power transmission mechanism that transfers the rotational force of the motor to the moving block 512 and reciprocates the moving block 512 in a straight line. The power transmission mechanism may be a transmission mechanism including a belt or chain. The head driving module may include a motor that provides rotational force to the support head 514 . The frame 530 may be connected to the article storage unit 300 .

수직 반송 유닛(500B)은, 물품의 수직 방향 반송을 위하여 반송할 물품을 지지하는 셔틀(540), 셔틀(540)의 수직 방향 이동을 정확하게 안내하기 위한 수직 가이드(550), 그리고 수직 가이드(550)를 안정적으로 지지하는 프레임(560)을 포함할 수 있다. 수직 가이드(550)는 제2 위치(P2)와 제3 위치(P3) 간에 수직 방향으로 제공될 수 있다. 셔틀(540)은, 수직 구동 모듈에 의하여 수직 가이드(550)를 따라 요구 위치로 이동되고, 요구 위치에 정지 상태로 유지될 수 있다. 수직 구동 모듈은, 회전력을 제공하는 회전 모터, 그리고 회전 모터의 회전력을 셔틀(540)에 전달하여 셔틀(540)을 제2 위치(P2)와 제3 위치(P3) 간에 수직 방향으로 왕복시키는 동력 전달 기구를 포함할 수 있다. 동력 전달 기구는 벨트 전동 기구 또는 체인 전동 기구일 수 있다. 수직 구동 모듈은, 회전 모터 및 동력 전달 기구 대신, 리니어 액추에이터(linear actuator)를 포함할 수도 있다. 수직 반송 유닛(500B)의 프레임(560)은 수평 반송 유닛(500A)의 프레임(530)과 견고히 연결될 수 있다. 이 같은 구성의 수직 반송 유닛(500B)에 의하면, 셔틀(540)은 제2 위치(P2)에서 제3 위치(P3)로 상승될 수 있고, 물품 전달 영역(15)에 정지된 물품 이송 차량(20)은 물품을 상승된 셔틀(540)에 로딩하거나 상승된 셔틀(540)로부터 언로딩할 수 있다.The vertical conveying unit 500B includes a shuttle 540 supporting articles to be conveyed for vertical conveying of articles, a vertical guide 550 for accurately guiding vertical movement of the shuttle 540, and a vertical guide 550 ) may include a frame 560 that stably supports. The vertical guide 550 may be provided in a vertical direction between the second position P2 and the third position P3. The shuttle 540 may be moved to a desired position along the vertical guide 550 by the vertical driving module and remain stationary at the required position. The vertical driving module includes a rotational motor that provides rotational force, and power for transmitting the rotational force of the rotational motor to the shuttle 540 to vertically reciprocate the shuttle 540 between the second position P2 and the third position P3. A delivery mechanism may be included. The power transmission mechanism may be a belt transmission mechanism or a chain transmission mechanism. The vertical drive module may include a linear actuator instead of a rotary motor and power transmission mechanism. The frame 560 of the vertical transfer unit 500B may be firmly connected to the frame 530 of the horizontal transfer unit 500A. According to the vertical conveying unit 500B having such a configuration, the shuttle 540 can be raised from the second position P2 to the third position P3, and the goods transport vehicle stopped in the goods delivery area 15 ( 20 ) may load or unload items to or from the elevated shuttle 540 .

스테이지(510)와 셔틀(540)은 반송할 물품을 제2 위치(P2)에서 상호 간에 전달할 수 있다. 스테이지(510)와 셔틀(540)이 물품을 상호 간에 전달하는 때에 상호 간섭을 방지하기 위하여, 스테이지(510)는 물품의 하부 중앙 영역을 하측에서 지지하도록 구성되고, 셔틀(540)은 물품의 하부 주변 영역을 하측에서 지지하도록 구성될 수 있다. 또한, 도 7에 도시된 바와 같이, 셔틀(540)은 스테이지의(510)의 이동 방향을 기준으로 양옆(즉, 전후)에서 물품을 지지하도록 분할된 구조를 가질 수 있다. 또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 스테이지(510)와 셔틀(540)이 상호 간의 물품 전달을 위하여 제2 위치(P2)로 이동된 때, 셔틀(540)이 스테이지(510)보다 낮은 높이에 위치하도록 구성될 수 있다. 스테이지(510)와 셔틀(540)이 제2 위치(P2)로 이동된 때, 스테이지(510)는 분할된 셔틀(540) 사이로 진입될 수 있다. 이때, 서포트 헤드(514)는 셔틀(540)에 비하여 높은 높이에 위치될 수 있다. 분할된 셔틀(540)은 두 수직 구동 모듈에 사실상 동시에 이동될 수 있다.The stage 510 and the shuttle 540 may transfer the goods to be conveyed to each other at the second location P2. In order to prevent mutual interference when the stage 510 and the shuttle 540 transfer articles to each other, the stage 510 is configured to support the lower central region of the article from the lower side, and the shuttle 540 is configured to support the lower central region of the article from the lower side. It may be configured to support the peripheral area from the lower side. Also, as shown in FIG. 7 , the shuttle 540 may have a divided structure to support articles on both sides (ie, front and back) based on the movement direction of the stage 510 . In addition, as shown in FIG. 5, when the stage 510 and the shuttle 540 are moved to the second position P2 for mutually transferring goods, the shuttle 540 is at a height lower than that of the stage 510. It can be configured to be positioned. When the stage 510 and the shuttle 540 are moved to the second position P2 , the stage 510 may enter between the divided shuttles 540 . At this time, the support head 514 may be located at a higher height than the shuttle 540 . The segmented shuttle 540 can be moved substantially simultaneously on both vertical drive modules.

한편, 제3 위치(P3)는 물품 전달 영역(15)과 중첩하는 위치일 수 있다. 자세히는, 제3 위치(P3)는 물품 전달 영역(15)에 정지된 물품 이송 차량(20)의 핸드 유닛(220)이 상승된 상태에서 별도의 하강됨이 없이 물품을 셔틀(540)과 주고받을 수 있는 높이일 수 있다.Meanwhile, the third location P3 may be a location overlapping the product delivery area 15 . In detail, in the third position P3, the hand unit 220 of the article transport vehicle 20 stopped in the article delivery area 15 is raised and the hand unit 220 transfers the article to the shuttle 540 without being separately lowered. It may be as high as you can get it.

물품 이송 차량(20)과 스토커(35) 간 물품 전달 과정을 살펴본다.An article delivery process between the article transport vehicle 20 and the stocker 35 will be described.

물품을 스토커(35)에 보관하기 위하여, 물품을 보유한 물품 이송 차량(20)은 물품 전달 영역(15)으로 이동될 수 있다. 또, 물품을 수평 방향으로 반송할 스테이지(510)는 제2 위치(P2)에 대기하고, 물품을 수직 방향으로 반송할 셔틀(540)은 제2 위치(P2)와 제3 위치(P3) 사이 중 물품 전달 영역(15)과 인접하는 높이에 대기할 수 있다(도 8 참조). 이때, 물품 이송 차량(20)은 핸드 유닛(220)이 상승된 상태일 수 있다. 그리고, 핸드 유닛(220)에 의하여 그립된 물품은 호이스트 하우징(210)의 수용 공간(212)에 수용된 상태일 수 있다.To store the goods in the stocker 35, the goods transfer vehicle 20 holding the goods may be moved to the goods delivery area 15. In addition, the stage 510 to transport the product in the horizontal direction stands by at the second position P2, and the shuttle 540 to transport the product in the vertical direction is located between the second position P2 and the third position P3. It can stand by at a height adjacent to the heavy article delivery area 15 (see Fig. 8). At this time, the article transport vehicle 20 may be in a state in which the hand unit 220 is raised. Also, the article gripped by the hand unit 220 may be accommodated in the accommodation space 212 of the hoist housing 210 .

다음으로, 물품 이송 차량(20)이 물품 전달 영역(15)에 정지되면, 대기 중인 셔틀(540)은 제3 위치(P3)로 상승될 수 있다. 이때, 상승된 셔틀(540)은, 호이스트 하우징(210)의 수용 공간(212)으로 진입될 수 있고, 아울러 핸드 유닛(220)에 의하여 그립된 물품의 하부 주변 영역에 접촉될 수 있다. 또는, 제3 위치(P3)로 상승된 셔틀(540)은 물품의 하부 주변 영역에 접촉되지 않으며 간극을 두고 근접하도록 위치될 수 있다.Next, when the product transfer vehicle 20 is stopped in the product delivery area 15, the waiting shuttle 540 may be elevated to the third position P3. At this time, the lifted shuttle 540 may enter the accommodation space 212 of the hoist housing 210, and may also come into contact with the lower peripheral area of the article gripped by the hand unit 220. Alternatively, the shuttle 540 raised to the third position P3 may be positioned close to the lower peripheral area of the article with a gap therebetween.

다음, 셔틀(540)이 제3 위치(P3)에 도착되면, 물품 이송 차량(20)의 핸드 유닛(220)은 하강 없이 언그립에 의하여 물품에 대한 그립을 해제할 수 있다.Next, when the shuttle 540 arrives at the third position P3, the hand unit 220 of the article transfer vehicle 20 can release the grip on the article by ungrip without descending.

이와 같이, 물품이 셔틀(540)에 로딩되면(도 9 참조), 셔틀(540)은 하강되어 제2 위치(P2)로 이동, 제2 위치(P2)에 위치된 스테이지(510)보다 낮은 높이에 위치될 수 있다. 물품 이송 차량(20)은 물품 이송을 위하여 이동될 수 있다. 물품은 하강되는 셔틀(540)이 제2 위치(P2) 상의 스테이지(510)와 교차하는 과정에서 스테이지(510)로 전달되고, 스테이지(510)는 전달받은 물품의 하부 중앙 영역을 하측에서 지지할 수 있다.In this way, when an article is loaded onto the shuttle 540 (see FIG. 9), the shuttle 540 is lowered and moved to the second position P2, which is lower than the stage 510 located at the second position P2. can be located in The article transport vehicle 20 may be moved for article transport. The article is transferred to the stage 510 while the descending shuttle 540 crosses the stage 510 at the second position P2, and the stage 510 supports the lower center area of the delivered article from the lower side. can

다음으로, 스테이지(510)는 제1 위치(P1)로 이동되어 물품을 제1 위치(P1)로 반송하고, 물품 반송 로봇(400)은 제1 위치(P1)의 물품에 대하여 입고를 위하여 스테이지(510)로부터 언로딩한 후 빈 선반(310)에 로딩할 수 있다.Next, the stage 510 is moved to the first position P1 to transport the goods to the first position P1, and the goods transport robot 400 is placed on the stage for storage of the goods at the first position P1. After unloading from 510, it can be loaded into an empty shelf 310.

살펴본 바와 같은 물품 보관 과정은, 물품을 셔틀(540)에 로딩하는 때에, 셔틀(540)이 제3 위치(P3)에 위치되기 때문에, 핸드 유닛(220)을 하강시킬 필요가 없어 물품을 물품 이송 차량(20)으로부터 전달 포트(500)로 전달하는 데 소요되는 시간을 대폭적으로 단축할 수 있다. 관련하여, 위에서는 셔틀(540)이 제2 위치(P2)와 제3 위치(P3) 사이에서 대기하고 있고 물품 이송 차량(20)이 물품 전달 영역(15)에 정지되면 셔틀(540)이 제3 위치(P3)로 상승되는 것으로 설명하였으나, 셔틀(540)은 제2 위치(P2)에서 대기하고 있다가 물품 이송 차량(20)이 물품 전달 영역(15)에 정지되면 제3 위치(P3)로 상승될 수도 있다.As described above, in the article storage process, when goods are loaded into the shuttle 540, since the shuttle 540 is located at the third position (P3), there is no need to lower the hand unit 220 to transport the goods. The time required for delivery from the vehicle 20 to the delivery port 500 can be significantly reduced. In relation to the above, when the shuttle 540 is waiting between the second position P2 and the third position P3 and the article transfer vehicle 20 is stopped in the article delivery area 15, the shuttle 540 Although it has been described that the shuttle 540 is raised to the third position P3, the shuttle 540 waits at the second position P2 and then returns to the third position P3 when the article transfer vehicle 20 is stopped in the article delivery area 15. may be raised to

스토커(35)에 보관된 물품을 목적하는 위치로 이송하기 위하여, 물품을 보유하고 있지 않은 물품 이송 차량(20)은 물품 전달 영역(15)으로 이동될 수 있다. 또한, 물품을 수평 방향으로 반송할 스테이지(510)는 제1 위치(P2)에 대기하고, 물품을 수직 방향으로 반송할 셔틀(540)은 제2 위치(P2)에 대기할 수 있다. 이때, 물품 이송 차량(20)은 핸드 유닛(220)이 상승된 상태일 수 있다.In order to transfer the goods stored in the stocker 35 to a target location, the goods transport vehicle 20 not holding goods may be moved to the goods delivery area 15 . Also, the stage 510 to transport products in the horizontal direction may stand by at the first position P2 , and the shuttle 540 to transport products in the vertical direction may stand by at the second position P2 . At this time, the article transport vehicle 20 may be in a state in which the hand unit 220 is raised.

다음으로, 물품 반송 로봇(400)은 선반(310)에 적재된 물품을 출고하기 위하여 물품을 선반(310)으로부터 언로딩한 후 제1 위치(P1)의 스테이지(510)에 로딩할 수 있다. 이후, 스테이지(510)는 제2 위치(P2)로 이동, 서포트 헤드(514)에 의하여 지지된 물품을 제2 위치(P2)로 반송할 수 있다. 이때, 제2 위치(P2)로 이동된 스테이지(510)는, 분할된 셔틀(540) 사이로 진입될 수 있고, 또 셔틀(540)보다 높게 위치될 수 있다.Next, the product transport robot 400 may unload the product from the shelf 310 and then load the product onto the stage 510 at the first position P1 in order to release the product loaded on the shelf 310 . Thereafter, the stage 510 may move to the second position P2 and transport the article supported by the support head 514 to the second position P2. At this time, the stage 510 moved to the second position P2 may enter between the divided shuttles 540 and may be positioned higher than the shuttle 540 .

물품이 스테이지(510)에 의하여 제2 위치(P2)로 반송되면, 셔틀(540)은 상승되어 제2 위치(P2)와 제3 위치(P3) 사이 중 물품 전달 영역(15)과 인접하는 높이에 대기할 수 있다(도 8 참조). 물품은 상승되는 셔틀(540)이 제2 위치(P2) 상의 스테이지(510)와 교차하는 과정에서 스테이지(510)로부터 셔틀(540)로 전달될 수 있다.When the goods are transferred to the second position P2 by the stage 510, the shuttle 540 is raised to a height adjacent to the goods delivery area 15 between the second position P2 and the third position P3. can wait (see FIG. 8). The article may be transferred from the stage 510 to the shuttle 540 while the shuttle 540 being raised crosses the stage 510 at the second position P2 .

다음, 물품 이송 차량(20)이 물품 전달 영역(15)에 정지되면, 물품을 지지한 상태로 대기 중인 셔틀(540)은 제3 위치(P3)로 상승되어 물품을 제3 위치(P3)로 반송할 수 있다. 이때, 정지된 물품 이송 차량(20)은 그 핸드 유닛(220)이 언그립 상태일 수 있고, 상승된 셔틀(540)은 호이스트 하우징(210)의 수용 공간(212)으로 진입될 수 있으며, 셔틀(540)에 의하여 지지된 물품은 핸드 유닛(220)에 의하여 그립되는 부분이 수용 공간(212)에서 핸드 유닛(220) 사이에 위치될 수 있다.Next, when the article transfer vehicle 20 is stopped in the article delivery area 15, the shuttle 540 waiting while supporting the article is raised to the third position P3 and transports the article to the third position P3. can be returned At this time, the hand unit 220 of the stopped article transport vehicle 20 may be in an ungrip state, and the lifted shuttle 540 may enter the accommodation space 212 of the hoist housing 210, The part of the article supported by 540 that is gripped by the hand unit 220 may be positioned between the hand units 220 in the accommodation space 212 .

그 다음, 물품 이송 차량(20)의 핸드 유닛(220)은 별도로 하강됨이 없이 제3 위치(P3)의 물품을 그립할 수 있다(도 9 참조). 이후, 셔틀(540)은 하강되고, 물품 이송 차량(20)은 그립된 물품을 이송하기 위하여 이동될 수 있다.Then, the hand unit 220 of the article transfer vehicle 20 can grip the article at the third position P3 without being separately lowered (see FIG. 9 ). Thereafter, the shuttle 540 is lowered, and the article transport vehicle 20 may be moved to transport the gripped article.

이와 같이, 스토커(35)에 보관된 물품을 출고하고 목적하는 위치로 이송하는 과정은, 물품을 셔틀(540)로부터 언로딩하는 때에, 셔틀(540)이 제3 위치(P3)에 위치되기 때문에, 핸드 유닛(220)을 별도로 하강시킬 필요가 없는바, 물품을 전달 포트(500)로부터 물품 이송 차량(20)으로 전달하는 시간을 대폭으로 단축할 수 있다. 관련하여, 위에서는 물품 이송 차량(20)이 물품 전달 영역(15)에 정지되면 제2 위치(P2)와 제3 위치(P3) 사이의 위치에서 대기 중인 셔틀(540)이 제3 위치(P3)로 상승되어 셔틀(540)에 의하여 지지된 물품이 제3 위치(P3)로 반송되는 것을 설명하였으나, 셔틀(540)은 제2 위치(P2)에서 대기하고 있다가 물품 이송 차량(20)이 물품 전달 영역(15)에 정지되면 제3 위치(P3)로 상승될 수도 있다.In this way, the process of releasing the goods stored in the stocker 35 and transferring them to the target location is because the shuttle 540 is located at the third position P3 when the goods are unloaded from the shuttle 540 , Since the hand unit 220 does not need to be lowered separately, the time required to transfer the article from the delivery port 500 to the article transfer vehicle 20 can be significantly reduced. In relation to this, when the article transfer vehicle 20 is stopped in the article delivery area 15, the shuttle 540 waiting at a position between the second position P2 and the third position P3 moves to the third position P3. ), and the goods supported by the shuttle 540 are transported to the third position P3, but the shuttle 540 waits at the second position P2 and then the goods transport vehicle 20 When stopped in the product delivery area 15, it may be raised to the third position (P3).

한편, 도 10을 참조하면, 제3 위치(P3)는 물품 전달 영역(15)과 중첩하는 높이가 아니라 제2 위치(P2)와 물품 전달 영역(15) 사이일 수 있고, 셔틀(540)은 제2 위치(P2)와 물품 전달 영역(15) 사이의 제3 위치(P3)로 상승될 수 있으며, 물품 전달 영역(15)에 정지된 물품 이송 차량(20)은 핸드 유닛(220)이 제2 위치(P2)와 물품 전달 영역(15) 사이의 제3 위치(P3)로 하강되어 물품을 제3 위치(P3)로 상승된 셔틀(540)에 로딩하거나 제3 위치(P3)로 상승된 셔틀(540)로부터 언로딩할 수 있다. 이에 의하면, 물품 이송 차량(20)과 전달 포트(500)가 물품을 주고받는 데 요구되는 핸드 유닛(220)의 승강 거리를 줄일 수 있고, 이로써 물품 이송 차량(20)과 전달 포트(500)가 물품을 주고받는 데 소요되는 시간을 단축할 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 10 , the third position P3 may be between the second position P2 and the article delivery region 15 rather than the height overlapping the article delivery region 15, and the shuttle 540 may It can be raised to a third position P3 between the second position P2 and the article delivery area 15, and the article transport vehicle 20 stopped in the article delivery region 15 is controlled by the hand unit 220. It is lowered to the third position (P3) between the second position (P2) and the article transfer area 15 to load the goods on the shuttle 540 raised to the third position (P3) or to the third position (P3). It can be unloaded from the shuttle 540. According to this, it is possible to reduce the lifting distance of the hand unit 220 required for exchanging goods between the article transport vehicle 20 and the delivery port 500, thereby reducing the distance between the article transport vehicle 20 and the delivery port 500. The time required to send and receive goods can be shortened.

이상에서는 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상은, 각각 독립적으로 실시될 수도 있고, 둘 이상이 서로 조합되어 실시될 수도 있다.Although the present invention has been described above, the present invention is not limited by the disclosed embodiments and the accompanying drawings, and may be variously modified by a person skilled in the art without departing from the technical spirit of the present invention. In addition, the technical ideas described in the embodiments of the present invention may be implemented independently, or two or more may be combined with each other.

10: 주행 레일
15: 물품 전달 영역
20: 물품 이송 차량
100: 비히클
200: 호이스트 장치
210: 호이스트 하우징
220: 핸드 유닛
300: 물품 보관 유닛
400: 물품 반송 로봇
500: 전달 포트
500A: 수평 반송 유닛
500B: 수직 반송 유닛
510: 스테이지
520: 수평 가이드
530: 수평 반송 유닛의 프레임
540: 셔틀
550: 수직 가이드
560: 수직 반송 유닛의 프레임
P1: 제1 위치
P2: 제2 위치
P3: 제3 위치10: running rail
15: Goods delivery area
20: goods transfer vehicle
100: vehicle
200: hoist device
210: hoist housing
220: hand unit
300: article storage unit
400: goods transport robot
500: forwarding port
500A: horizontal transfer unit
500B: vertical transfer unit
510: stage
520: horizontal guide
530: frame of horizontal conveying unit
540: shuttle
550: vertical guide
560: frame of vertical conveying unit
P1: first position
P2: second position
P3: third position

Claims (7)

물품이 적재되는 선반을 복수로 가진 물품 보관 유닛과;
천장 측 물품 이송 경로의 물품 전달 영역 측에 배치되며, 상기 물품을 상기 물품 전달 영역에 정지된 물품 이송 차량으로부터 전달받거나 정지된 상기 물품 이송 차량에 전달하는 전달 포트와;
상기 물품을 상기 선반들과 상기 전달 포트 간에 반송하는 물품 반송 로봇을 포함하고,
상기 전달 포트는, 상기 물품 보관 유닛 측에 상기 물품 전달 영역의 하방으로 위치하도록 제공되고, 상기 물품 전달 영역에 정지된 상기 물품 이송 차량이 상기 물품을 로딩하거나 언로딩하는 셔틀을 구비하며,
상기 셔틀은 상기 물품 전달 영역에 대하여 승강 가능한,
스토커.an article storage unit having a plurality of shelves on which articles are loaded;
a delivery port disposed on the product delivery area side of the ceiling-side article transfer path, and receiving the product from the product transport vehicle stopped in the product delivery area or transferring the product to the stopped product transport vehicle;
an article transport robot that transports the article between the shelves and the transfer port;
The delivery port is provided on the article storage unit side and positioned below the article delivery area, and the article transport vehicle stopped in the article delivery region has a shuttle for loading or unloading the article,
The shuttle is movable relative to the article delivery area,
stalker. 청구항 1에 있어서,
상기 전달 포트는,
상기 물품을 제1 위치 및 상기 제1 위치로부터 수평 방향으로 이격된 제2 위치 간에 반송하는 스테이지를 구비한 수평 반송 유닛과;
상기 물품을 상기 제2 위치 및 상기 제2 위치로부터 상측으로 이격된 제3 위치 간에 반송하는 상기 셔틀을 구비한 수직 반송 유닛을 포함하고,
상기 스테이지 및 상기 셔틀은 상기 물품을 상기 제2 위치에서 상호 간에 전달하며,
상기 제1 위치는 상기 물품 반송 로봇이 상기 물품을 로딩하거나 언로딩하는 위치이고, 상기 제2 위치는 상기 물품 전달 영역의 직하인 것을 특징으로 하는,
스토커.The method of claim 1,
The forwarding port is
a horizontal conveying unit having a stage for conveying the article between a first position and a second position spaced apart in a horizontal direction from the first position;
a vertical conveying unit having the shuttle for conveying the article between the second location and a third location upwardly spaced apart from the second location;
the stage and the shuttle transfer the article to each other at the second location;
Characterized in that the first position is a position where the article carrying robot loads or unloads the article, and the second position is directly below the article delivery area.
stalker. 청구항 2에 있어서,
상기 수평 반송 유닛은 상기 스테이지가 수평 가이드의 안내에 따라 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 간을 이동하도록 구성되고,
상기 스테이지는 상기 물품의 하부의 중앙 영역을 하측에서 지지하며,
상기 수직 반송 유닛은 상기 셔틀이 수직 가이드의 안내에 따라 상기 제2 위치와 상기 제3 위치 간을 이동하도록 구성되고,
상기 셔틀은 상기 물품의 하부의 주변 영역을 상기 스테이지의 이동 방향 기준으로 양옆에서 지지하며,
상기 스테이지 및 상기 셔틀이 상기 물품을 상호 간에 전달하기 위하여 상기 제2 위치로 이동된 때, 상기 셔틀은 상기 스테이지에 비하여 낮은 높이에 위치되는 것을 특징으로 하는,
스토커.The method of claim 2,
The horizontal conveying unit is configured such that the stage moves between the first position and the second position according to the guidance of the horizontal guide,
the stage supports from the lower side a central region of the lower part of the article;
The vertical conveying unit is configured such that the shuttle moves between the second position and the third position according to the guidance of the vertical guide,
The shuttle supports the peripheral area of the lower part of the article from both sides based on the moving direction of the stage,
Characterized in that, when the stage and the shuttle are moved to the second position to transfer the article to each other, the shuttle is located at a lower height than the stage.
stalker. 청구항 3에 있어서,
상기 스테이지는,
상기 수평 가이드를 따라 이동되는 무빙 블록과; 상기 무빙 블록의 상측에서 상기 물품을 지지하는 서포트 헤드를 포함하고,
상기 서포트 헤드가 헤드 구동 모듈에 의하여 수직 방향의 축을 중심으로 회전되는 것을 특징으로 하는,
스토커.The method of claim 3,
The stage is
a moving block moving along the horizontal guide; A support head for supporting the article on the upper side of the moving block,
Characterized in that the support head is rotated about an axis in the vertical direction by the head driving module,
stalker. 청구항 2에 있어서,
상기 제3 위치는 상기 물품 전달 영역과 중첩하는 것을 특징으로 하는,
스토커.The method of claim 2,
Characterized in that the third position overlaps the article delivery area,
stalker. 적어도 하나 이상의 물품 전달 영역을 가진 물품 이송 경로를 제공하는 천장 측 주행 레일과; 물품의 이송을 위하여 상기 주행 레일을 따라 주행하는 적어도 하나 이상의 물품 이송 차량과; 상기 물품 전달 영역 측에 배치되며, 상기 물품을 상기 물품 전달 영역에 정지된 상기 물품 이송 차량으로부터 제공받아 보관하거나 정지된 상기 물품 이송 차량에 제공하는 스토커를 포함하고,
상기 스토커는,
상기 물품이 적재되는 선반을 복수로 가진 물품 보관 유닛과;
상기 물품 보관 유닛 측에 상기 물품 전달 영역의 하방으로 위치하도록 제공되고, 상기 물품 전달 영역에 정지된 상기 물품 이송 차량이 상기 물품을 로딩하거나 언로딩하는 셔틀을 구비한 전달 포트와;
상기 물품을 상기 선반들과 상기 전달 포트 간에 반송하는 물품 반송 로봇을 포함하며,
상기 셔틀은 상기 물품 전달 영역에 대하여 승강 가능한,
물품 이송 설비.a ceiling-side running rail providing an article transport path having at least one article delivery area; at least one article transport vehicle that travels along the travel rail to transport the article; A stocker disposed on the side of the product delivery area, receiving and storing the product from the product transport vehicle stopped in the product delivery area, or supplying the product to the stopped product transport vehicle;
The stalker,
an article storage unit having a plurality of shelves on which the articles are loaded;
a transfer port provided on the side of the product storage unit and located below the product delivery area, and having a shuttle for loading or unloading the product by the product transfer vehicle stopped in the product delivery area;
an article transport robot that transports the article between the shelves and the transfer port;
The shuttle is movable relative to the article delivery area,
Goods transfer facility. 청구항 6에 있어서,
상기 물품 이송 차량은, 상기 물품을 그립하거나 언그립하기 위한 핸드 유닛과; 상기 핸드 유닛을 승강시키는 수직 구동 유닛을 포함하고,
상기 셔틀은 상승된 때 상기 물품 전달 영역에 정지된 상기 물품 이송 차량의 상기 핸드 유닛이 상승 상태에서 하강됨이 없이 상기 물품을 전달받거나 전달할 수 있는 높이에 위치 가능한 것을 특징으로 하는,
물품 이송 설비.The method of claim 6,
The article transfer vehicle includes a hand unit for gripping or ungripping the article; a vertical drive unit for elevating the hand unit;
Characterized in that, when the shuttle is raised, the hand unit of the product transport vehicle stopped in the product delivery area can be positioned at a height capable of receiving or delivering the product without being lowered in an elevated state.
Goods transfer facility.
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130018110A (en) * 2011-08-11 2013-02-20 가부시키가이샤 다이후쿠 Article transport facility
KR20190047900A (en) 2017-10-30 2019-05-09 세메스 주식회사 Stoker
KR20190081815A (en) * 2017-12-29 2019-07-09 세메스 주식회사 Apparatus for supplying materials
KR20200005447A (en) * 2018-07-05 2020-01-15 가부시키가이샤 다이후쿠 Article transport device
KR20200100982A (en) 2019-02-19 2020-08-27 세메스 주식회사 Stockr unit and apparatus for transferring articles having the same
KR20210041345A (en) * 2019-10-07 2021-04-15 세메스 주식회사 Apparatus for transferring articles

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130018110A (en) * 2011-08-11 2013-02-20 가부시키가이샤 다이후쿠 Article transport facility
KR20190047900A (en) 2017-10-30 2019-05-09 세메스 주식회사 Stoker
KR20190081815A (en) * 2017-12-29 2019-07-09 세메스 주식회사 Apparatus for supplying materials
KR20200005447A (en) * 2018-07-05 2020-01-15 가부시키가이샤 다이후쿠 Article transport device
KR20200100982A (en) 2019-02-19 2020-08-27 세메스 주식회사 Stockr unit and apparatus for transferring articles having the same
KR20210041345A (en) * 2019-10-07 2021-04-15 세메스 주식회사 Apparatus for transferring articles

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