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KR102628404B1 - Stocker and article transport facility - Google Patents

Stocker and article transport facility Download PDF

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KR102628404B1
KR102628404B1 KR1020220020816A KR20220020816A KR102628404B1 KR 102628404 B1 KR102628404 B1 KR 102628404B1 KR 1020220020816 A KR1020220020816 A KR 1020220020816A KR 20220020816 A KR20220020816 A KR 20220020816A KR 102628404 B1 KR102628404 B1 KR 102628404B1
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shuttle
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박민재
방명진
권우상
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은, 물품(FOUP)을 보관하는 스토커, 그리고 이를 포함하는 물품 이송 설비에 관한 것이다. 스토커는, 선반을 복수로 가진 물품 보관 유닛, 물품 이송 경로의 물품 전달 영역에 정지된 물품 이송 차량이 물품을 로딩하거나 언로딩하는 포트, 그리고 물품을 선반들과 포트 간에 반송하는 물품 반송 로봇을 포함한다. 포트는, 물품 전달 영역의 하방으로 위치되고, 물품을 물품 전달 영역에 대하여 승강시키는 셔틀을 포함한다. 이러한 본 발명은, 보관할 물품이나 보관된 물품을 물품 이송 차량으로부터 전달받거나 물품 이송 차량에 전달하려는 때, 셔틀을 미리 상승시켜 셔틀을 물품 전달 영역에 인접시킬 수 있다. 이에, 본 발명은 물품 이송 차량의 핸드 유닛을 셔틀에 대하여 승강시키는 과정을 생략하거나 이 과정을 위한 소요 시간을 단축할 수 있다.The present invention relates to a stocker that stores goods (FOUP), and a goods transfer facility including the same. The stocker includes a goods storage unit with a plurality of shelves, a port where a goods transport vehicle stopped in the goods delivery area of the goods transfer path loads or unloads goods, and a goods transfer robot that transfers goods between the shelves and the port. do. The port is located below the article transfer area and includes a shuttle that elevates and lowers the article relative to the article transfer area. According to the present invention, when storing or storing goods are to be delivered from or delivered to a goods transport vehicle, the shuttle can be raised in advance to be adjacent to the goods delivery area. Accordingly, the present invention can omit the process of raising and lowering the hand unit of the goods transport vehicle with respect to the shuttle or shorten the time required for this process.

Description

스토커 및 물품 이송 설비 {STOCKER AND ARTICLE TRANSPORT FACILITY}STOCKER AND ARTICLE TRANSPORT FACILITY}

본 발명의 실시예는 반도체 제조 공장 등에서 웨이퍼가 수납되는 FOUP(front opening unified pod) 등의 물품을 보관하는 스토커 및 이를 포함하는 물품 이송 설비에 관한 것이다.An embodiment of the present invention relates to a stocker that stores items such as a front opening unified pod (FOUP) in which wafers are stored in a semiconductor manufacturing plant, and a product transfer facility including the same.

반도체 제조 효율의 향상 등을 위하여, 반도체 제조 공장에서 공정 설비들에 의하여 수행되는 노광, 증착, 식각, 이온 주입, 세정과 같은 공정을 개선하기 위한 기술뿐만 아니라, 공정에 요구되는 물품을 공정 설비들 간에 신속하고 정확하게 이송하기 위한 설비가 널리 보급되어 사용되고 있다. 그 중에서 하나가, 반도체 제조 공장의 천장 측의 물품 이송 경로를 따라 이동하면서 물품을 이송하도록 구성된 오버헤드 호이스트 트랜스포트(overhead hoist transport, OHT), 물품 이송 경로의 측방에서 오버헤드 호이스트 트랜스포트(이하, OHT라고도 칭하기로 함)에 의하여 이송되는 물품을 보관하는 적어도 하나 이상의 스토커 등으로 이루어지는 물품 이송 설비이다.In order to improve semiconductor manufacturing efficiency, we provide technology to improve processes such as exposure, deposition, etching, ion implantation, and cleaning performed by process equipment in semiconductor manufacturing plants, as well as supplies required for the process to process equipment. Equipment for rapid and accurate transfer to the liver is widely distributed and used. One of them is an overhead hoist transport (OHT), which is configured to transport goods while moving along the goods transport path on the ceiling side of the semiconductor manufacturing plant, and an overhead hoist transport (hereinafter referred to as , (also referred to as OHT) is a goods transfer facility consisting of at least one stocker, etc., that stores goods transported by the OHT.

일반적으로, OHT는 주행 레일 및 물품 이송 차량들을 포함한다. 주행 레일은 물품 이송 경로를 제공하도록 구성된다. 물품 이송 차량 각각은, 주행 레일을 따라 주행하는 비히클(vehicle) 및 비히클의 하부에 연결된 호이스트 장치를 가지며, 호이스트 장치가 이송할 물품을 지지한다. 물품 이송 차량들과 스토커는 물품을 상호 간에 제공받거나 제공할 수 있다. 스토커는 보관할 물품을 물품 이송 차량으로부터 전달받거나 이송할 물품(즉, 보관된 물품)을 물품 이송 차량으로 전달하기 위한 포트(port)를 포함한다.Typically, OHT includes running rails and goods transport vehicles. The running rail is configured to provide an article transport path. Each of the goods transport vehicles has a vehicle running along a traveling rail and a hoist device connected to the lower part of the vehicle, and the hoist device supports the goods to be transported. Goods transport vehicles and stockers can receive or provide goods to each other. The stocker includes a port for receiving goods to be stored from the goods transport vehicle or delivering goods to be transferred (i.e., stored goods) to the goods transport vehicle.

물품 이송 차량이 물품을 전달하거나 전달받기 위하여 스토커의 포트에 대한 물품의 로딩(loading), 언로딩(unloading)을 수행하려면, 비히클을 물품 이송 경로에서 스토커와 인접한 물품 전달 영역에 정지시키고, 호이스트 장치에서 물품에 대한 그립(grip), 언그립(ungrip)을 수행하는 핸드 유닛을 스토커의 포트로 하강시킨 후 상승시켜야 한다. 이러한 방식은 물품 이송 차량에 의한 물품의 로딩/언로딩 시간이 핸드 유닛의 승강 거리에 비례하여 증가되는 문제(물류 지체)가 있다. 또, 물품 이송 차량이 물품을 로딩하거나 언로딩하는 동안에 다른 물품 이송 차량의 이동을 방해하기 때문에, 물류 정체가 유발될 수 있다.In order for the goods transport vehicle to perform loading and unloading of goods to the port of the stocker in order to deliver or receive goods, the vehicle is stopped in the goods delivery area adjacent to the stocker in the goods transfer path, and a hoist device is installed. The hand unit that grips and ungrips the item must be lowered to the port of the stocker and then raised. This method has a problem (logistics delay) in that the loading/unloading time of goods by the goods transport vehicle increases in proportion to the lifting distance of the hand unit. Additionally, because a product transport vehicle interferes with the movement of other product transport vehicles while loading or unloading products, logistics congestion may be caused.

대한민국 공개특허공보 제10-2019-0047900호(2019.05.09)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2019-0047900 (2019.05.09) 대한민국 공개특허공보 제10-2020-0100982호(2020.08.27)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2020-0100982 (2020.08.27)

본 발명의 실시예는, OHT를 이용하는 물류의 흐름을 보다 효율적으로 개선할 수 있는 스토커, 그리고 이를 포함하는 물품 이송 설비를 제공하고자 한다.Embodiments of the present invention seek to provide a stocker that can more efficiently improve the flow of logistics using OHT, and a goods transfer facility including the same.

해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.The problem to be solved is not limited to this, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 실시예에 따르면, 물품이 적재되는 선반을 복수로 가진 물품 보관 유닛과; 천장 측 물품 이송 경로의 물품 전달 영역 측에 배치되며, 상기 물품을 상기 물품 전달 영역에 정지된 물품 이송 차량으로부터 전달받거나 정지된 상기 물품 이송 차량에 전달하는 전달 포트와; 상기 물품을 상기 선반들과 상기 전달 포트 간에 반송하는 물품 반송 로봇을 포함하고, 상기 전달 포트는, 상기 물품 보관 유닛 측에 상기 물품 전달 영역의 하방으로 위치하도록 제공되고, 상기 물품 전달 영역에 정지된 상기 물품 이송 차량이 상기 물품을 로딩하거나 언로딩하는 셔틀(shuttle)을 구비하며, 상기 셔틀은 상기 물품 전달 영역에 대하여 승강 가능한 것을 특징으로 하는, 스토커가 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, an article storage unit having a plurality of shelves on which articles are loaded; a transfer port disposed on the side of the goods delivery area of the goods transfer path on the ceiling, and configured to receive the goods from a goods transfer vehicle stopped in the goods delivery area or to deliver the goods to the goods transfer vehicle stopped; and a product transport robot that transports the product between the shelves and the transfer port, wherein the transfer port is provided on the product storage unit side below the product delivery area, and is stationary in the product delivery area. A stocker may be provided, wherein the goods transport vehicle has a shuttle for loading or unloading the goods, and the shuttle is capable of being raised and lowered relative to the goods delivery area.

상기 전달 포트는, 상기 물품을 제1 위치 및 상기 제1 위치로부터 수평 방향으로 이격된 제2 위치 간에 반송하는 스테이지(stage)를 구비한 수평 반송 유닛과; 상기 물품을 상기 제2 위치 및 상기 제2 위치로부터 상측으로 이격된 제3 위치 간에 반송하는 상기 셔틀을 구비한 수직 반송 유닛을 포함할 수 있다. 상기 스테이지와 상기 셔틀은 상기 물품을 상기 제2 위치에서 상호 간에 전달할 수 있다. 상기 제1 위치는 상기 물품 반송 로봇이 상기 물품을 로딩하거나 언로딩하는 위치이고, 상기 제2 위치는 상기 물품 전달 영역의 직하일 수 있다.The transfer port includes a horizontal transfer unit having a stage for transferring the article between a first location and a second location spaced horizontally from the first location; and a vertical transfer unit having the shuttle to transfer the article between the second location and a third location spaced upwardly from the second location. The stage and the shuttle may transfer the items to each other at the second location. The first position is a position where the product transport robot loads or unloads the product, and the second location may be directly below the product delivery area.

상기 수평 반송 유닛은 상기 스테이지가 수평 가이드의 안내에 따라 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 간을 이동하도록 구성되고, 상기 스테이지는 상기 물품의 하부의 중앙 영역을 하측에서 지지할 수 있다. 상기 수직 반송 유닛은 상기 셔틀이 수직 가이드의 안내에 따라 상기 제2 위치와 상기 제3 위치 간을 이동하도록 구성되고, 상기 셔틀은 상기 물품의 하부의 주변 영역을 상기 스테이지의 이동 방향 기준으로 양옆에서 지지할 수 있다. 상기 스테이지 및 상기 셔틀이 상기 물품을 상호 간에 전달하기 위하여 상기 제2 위치로 이동된 때, 상기 셔틀은 상기 스테이지와의 간섭 방지를 위하여 상기 스테이지에 비하여 낮은 높이에 위치될 수 있다.The horizontal transport unit is configured so that the stage moves between the first position and the second position according to the guidance of a horizontal guide, and the stage may support a central region of the lower part of the article from the lower side. The vertical transfer unit is configured so that the shuttle moves between the second position and the third position according to the guidance of a vertical guide, and the shuttle moves the peripheral area of the lower part of the article on both sides based on the moving direction of the stage. I can support it. When the stage and the shuttle are moved to the second position to transfer the goods to each other, the shuttle may be positioned at a lower height compared to the stage to prevent interference with the stage.

상기 스테이지는, 상기 수평 가이드를 따라 수평 방향으로 이동되는 무빙 블록(moving block)과; 상기 무빙 블록의 상측에서 상기 물품을 지지하는 서포트 헤드(support head)를 포함할 수 있다. 상기 서포트 헤드는 헤드 구동 모듈에 의하여 수직 방향의 축을 중심으로 회전될 수 있다.The stage includes a moving block that moves in a horizontal direction along the horizontal guide; It may include a support head supporting the article on the upper side of the moving block. The support head may be rotated about a vertical axis by a head driving module.

상기 제3 위치는 상기 물품 전달 영역과 중첩하는 위치일 수 있다.The third location may be a location that overlaps the product delivery area.

본 발명의 실시예에 따르면, 적어도 하나 이상의 물품 전달 영역을 가진 물품 이송 경로를 제공하는 천장 측 주행 레일과; 물품의 이송을 위하여 상기 주행 레일을 따라 주행하는 적어도 하나 이상의 물품 이송 차량과; 상기 물품 전달 영역 측에 배치되며, 상기 물품을 상기 물품 전달 영역에 정지된 상기 물품 이송 차량으로부터 제공받아 보관하거나 정지된 상기 물품 이송 차량에 제공하는 스토커를 포함하고, 상기 스토커는, 상기 물품이 적재되는 선반을 복수로 가진 물품 보관 유닛과; 상기 물품 보관 유닛 측에 상기 물품 전달 영역의 하방으로 위치하도록 제공되고, 상기 물품 전달 영역에 정지된 상기 물품 이송 차량이 상기 물품을 로딩하거나 언로딩하는 셔틀을 구비한 전달 포트와; 상기 물품을 상기 선반들과 상기 전달 포트 간에 반송하는 물품 반송 로봇을 포함하며, 상기 셔틀은 상기 물품 전달 영역에 대하여 승강 가능한 것을 특징으로 하는, 물품 이송 설비가 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a ceiling-side running rail providing a product transfer path with at least one product transfer area; At least one goods transport vehicle traveling along the travel rail to transport goods; It is disposed on the side of the goods delivery area and includes a stocker that receives the goods from the goods transport vehicle stopped in the goods delivery area and stores them or provides them to the goods transport vehicle stopped, and the stocker is configured to load the goods. an article storage unit having a plurality of shelves; a transfer port provided on a side of the goods storage unit and located below the goods delivery area, and having a shuttle for loading or unloading the goods by the goods transport vehicle stopped in the goods delivery area; A product transfer facility may be provided, including a product transport robot that transports the product between the shelves and the transfer port, wherein the shuttle is capable of lifting and lowering with respect to the product delivery area.

본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비에 있어서, 상기 물품 이송 차량은, 상기 물품을 그립하거나 언그립하기 위한 핸드 유닛과; 상기 핸드 유닛을 승강시키는 수직 구동 유닛을 포함할 수 있다. 그리고, 상기 셔틀은 상승된 때 상기 물품 전달 영역에 정지된 상기 물품 이송 차량의 상기 핸드 유닛이 상승 상태에서 하강됨이 없이 상기 물품을 전달받거나 전달할 수 있는 높이에 위치될 수 있다.In the product transport facility according to an embodiment of the present invention, the product transport vehicle includes a hand unit for gripping or ungripping the product; It may include a vertical drive unit that elevates the hand unit. And, when the shuttle is raised, it can be positioned at a height where the hand unit of the goods transport vehicle stopped in the goods delivery area can receive or deliver the goods without being lowered from the raised state.

과제의 해결 수단은 이하에서 설명하는 실시예, 도면 등을 통하여 보다 구체적이고 명확하게 될 것이다. 또한, 이하에서는 언급한 해결 수단 이외의 다양한 해결 수단이 추가로 제시될 수 있다.The means of solving the problem will become more specific and clear through the examples and drawings described below. In addition, various solution methods other than those mentioned below may be additionally presented.

본 발명의 실시예에 의하면, 스토커를 구성하는 전달 포트는 물품 이송 경로의 물품 전달 영역에 정지된 물품 이송 차량이 물품을 로딩하거나 언로딩하는 셔틀을 포함할 수 있다. 셔틀은 물품 전달 영역에 정지된 물품 이송 차량과 상대적으로 인접한 위치(높이)에서 물품을 물품 이송 차량으로부터 전달받거나 물품 이송 차량에 전달하기 위하여 물품 전달 영역 측으로 상승될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the transfer port constituting the stocker may include a shuttle for loading or unloading goods by a goods transport vehicle stopped in the goods delivery area of the goods transfer path. The shuttle may be raised toward the goods delivery area to receive goods from or deliver goods to the goods transfer vehicle at a position (height) relatively adjacent to the goods transfer vehicle stopped in the goods delivery area.

그러므로, 본 발명의 실시예는, 스토커의 물품 보관 유닛에 보관할 물품이나 보관된 물품(이송할 물품)을 물품 이송 차량으로부터 제공받거나 물품 이송 차량에 제공하려는 때, 셔틀을 미리 상승시켜 물품 전달 영역에 인접시킬 수 있는바, 물품 이송 차량의 핸드 유닛을 승강시키는 과정을 생략하거나 이 과정을 위한 소요 시간을 크게 단축할 수 있다. 결과적으로, 본 발명의 실시예는 택트 타임(tact time)을 줄일 수 있는 등 물류 흐름을 효율적으로 개선할 수 있다.Therefore, in an embodiment of the present invention, when receiving goods to be stored or stored in the goods storage unit of the stocker (goods to be transferred) from the goods transport vehicle or providing them to the goods transport vehicle, the shuttle is raised in advance and placed in the goods delivery area. Since they can be adjacent, the process of raising and lowering the hand unit of the goods transport vehicle can be omitted or the time required for this process can be greatly shortened. As a result, embodiments of the present invention can efficiently improve logistics flow, such as reducing tact time.

발명의 효과는 이에 한정되지 않고, 언급되지 않은 기타 효과는 통상의 기술자라면 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.The effect of the invention is not limited to this, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from this specification and the attached drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 전체 구성을 나타내는 개념도이다.
도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 OHT의 구성 및 작동을 나타내는 정면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 스토커의 구성을 나타내는 정면도이다.
도 5 및 도 6은 도 4에 도시된 전달 포트의 구성 및 작동을 나타내는 정면도이다.
도 7은 도 4에 도시된 전달 포트의 구성 및 작동을 나타내는 평면도이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비에서 물품 이송 차량과 스토커 간 물품 전달 과정의 일례를 나타내는 정면도이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비에서 물품 이송 차량과 스토커 간 물품 전달 과정의 다른 예를 나타내는 정면도이다.1 is a conceptual diagram showing the overall configuration of a product transport facility according to an embodiment of the present invention.
Figures 2 and 3 are front views showing the configuration and operation of the OHT shown in Figure 1.
FIG. 4 is a front view showing the configuration of the stocker shown in FIG. 1.
Figures 5 and 6 are front views showing the configuration and operation of the transfer port shown in Figure 4.
FIG. 7 is a plan view showing the configuration and operation of the transfer port shown in FIG. 4.
Figures 8 and 9 are front views showing an example of a goods transfer process between a goods transport vehicle and a stocker in a goods transfer facility according to an embodiment of the present invention.
Figure 10 is a front view showing another example of a goods transfer process between a goods transport vehicle and a stocker in a goods transfer facility according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 사람이 쉽게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 여러 가지 다른 형태로 구현될 수 있고 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, with reference to the attached drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily implement the present invention. However, the present invention may be implemented in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명의 실시예를 설명하는 데 있어서, 관련된 공지 기능이나 구성에 대한 구체적 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 구체적 설명을 생략하고, 유사 기능 및 작용을 하는 부분은 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용하기로 한다.In describing embodiments of the present invention, if it is judged that specific descriptions of related known functions or configurations may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed descriptions will be omitted, and parts that perform similar functions and actions will be omitted. The same symbols will be used throughout the drawings.

명세서에서 사용되는 용어들 중 적어도 일부는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이기에 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 그 용어에 대해서는 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석되어야 한다. 또한, 명세서에서, 어떤 구성 요소를 포함한다고 하는 때, 이것은 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다. 그리고, 어떤 부분이 다른 부분과 연결(또는, 결합)된다고 하는 때, 이것은, 직접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우뿐만 아니라, 다른 부분을 사이에 두고 간접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우도 포함한다.At least some of the terms used in the specification are defined in consideration of the functions in the present invention and may vary depending on the user, operator intention, custom, etc. Therefore, the term should be interpreted based on the content throughout the specification. In addition, in the specification, when it is said that a certain component is included, this does not mean that other components are excluded, but that other components may be further included, unless specifically stated to the contrary. And, when a part is said to be connected (or combined) with another part, this refers not only to the case where it is connected (or combined) directly, but also to the case where it is indirectly connected (or combined) with another part in between. Includes.

한편, 도면에서 구성 요소의 크기나 형상, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다.Meanwhile, in drawings, the size, shape, and thickness of lines of components may be somewhat exaggerated for ease of understanding.

본 발명은 반도체, 디스플레이(display) 등에 대한 제조를 수행하기 위한 공장에서 물품을 임의의 위치로부터 목적하는 위치로 이송하는 데 주로 사용될 수 있다. 예를 들면, 본 발명은 물품을 반도체, 디스플레이 등의 제조에 필요한 공정 설비들 간에 이송할 수 있다. 이때, 물품은 웨이퍼(wafer) 등의 기판을 포함할 수 있다. 일례로, 물품은 복수의 기판이 수납되는 컨테이너(container)일 수 있다. 나아가, 컨테이너는 수납된 기판들을 외부로부터 보호할 수 있는 밀폐형 컨테이너일 수 있다. 구체적으로, 밀폐형 컨테이너는 FOUP일 수 있다.The present invention can be mainly used to transport goods from an arbitrary location to a desired location in a factory for manufacturing semiconductors, displays, etc. For example, the present invention can transport goods between process facilities required for manufacturing semiconductors, displays, etc. At this time, the product may include a substrate such as a wafer. For example, the article may be a container in which a plurality of substrates are stored. Furthermore, the container may be a sealed container that can protect the stored substrates from the outside. Specifically, the sealed container may be a FOUP.

본 발명은 다양한 기술 분야에서 물품을 이송하는 데 사용될 수 있는 것이지만, 본 발명의 실시예는 반도체 제조 공장에서 물품으로서 FOUP을 반도체 제조용의 공정 설비들 간에 이송하는 경우를 중심으로 살펴보기로 한다.Although the present invention can be used to transport articles in various technical fields, an embodiment of the present invention will focus on the case of transferring FOUP as an article between semiconductor manufacturing process facilities in a semiconductor manufacturing plant.

반도체 제조 공장은 적어도 하나 이상의 클린 룸(clean room)으로 구성될 수 있고, 반도체의 제조를 위한 공정으로서 노광, 증착, 식각, 세정 등을 수행하는 공정 설비들은 클린 룸에 설치될 수 있다. 반도체는 웨이퍼에 반도체 제조 공정을 반복적으로 수행함으로써 완성될 수 있다. 특정 공정 설비에서 해당의 공정이 완료된 웨이퍼는 후속 공정을 위하여 다음의 공정 설비로 이송될 수 있다. 이때, 웨이퍼의 이송은 FOUP에 수납된 상태에서 OHT를 포함하는 물품 이송 설비에 의하여 이루어질 수 있다.A semiconductor manufacturing plant may consist of at least one clean room, and process equipment that performs exposure, deposition, etching, cleaning, etc. as processes for manufacturing semiconductors may be installed in the clean room. Semiconductors can be completed by repeatedly performing semiconductor manufacturing processes on wafers. Wafers that have completed the process in a specific process facility can be transferred to the next process facility for subsequent processing. At this time, the wafer can be transferred using an article transfer facility including OHT while stored in the FOUP.

본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 전체 구성 등이 도 1에 개념적으로 도시되어 있다. 도 1에서, 도면 부호 1은 반도체 제조 공장에 설치된 복수의 공정 설비를 나타낸다. 또, 도면 부호 10은 물품인 FOUP을 공정 설비(1)들 간에 이송하기 위한 물품 이송 경로(11)를 제공하는 주행 레일이고, 도면 부호 20은 물품 이송 경로(11)를 따라 각각 이동하면서 물품을 이송하는 복수의 물품 이송 차량이다. 또한, 도면 부호 30은 물품의 일시적 보관 공간을 제공하는 버퍼(buffer)를 나타낸다. 그리고, 도면 부호 35는 물품 보관을 위한 창고 구조의 스토커를 나타낸다. 주행 레일(10)은 물품 이송 경로(11)를 반도체 제조 공장의 천장과 인접한 위치에 제공할 수 있다. 물품 이송 차량(20) 각각은, 물품을 공정 설비(1)들 중 특정 설비로부터 다른 설비로 이송할 수 있도 있고, 또 물품을 공정 설비(1)들 중 특정 설비로부터 버퍼(30)나 스토커(35)로 이송할 수도 있으며, 또 물품을 버퍼(30) 또는 스토커(35)로부터 특정 공정 설비(1)로 이송할 수도 있다. 버퍼(30)와 스토커(25)는 각각 적어도 하나 이상이 구비될 수 있다.The overall configuration of a product transport facility according to an embodiment of the present invention is conceptually shown in FIG. 1. In FIG. 1, reference numeral 1 represents a plurality of process facilities installed in a semiconductor manufacturing plant. In addition, reference numeral 10 is a running rail that provides a product transfer path 11 for transferring the FOUP product between process facilities 1, and reference numeral 20 is a travel rail that moves the product along the product transfer path 11. It is a vehicle that transports multiple goods. Additionally, reference numeral 30 denotes a buffer that provides temporary storage space for items. And, reference numeral 35 represents a warehouse structure for storing goods. The traveling rail 10 may provide an article transport path 11 at a location adjacent to the ceiling of a semiconductor manufacturing plant. Each of the product transport vehicles 20 can transport products from a specific facility among the process facilities 1 to another facility, and also transport products from a specific facility among the process facilities 1 to a buffer 30 or a stocker ( 35), or goods can also be transferred from the buffer 30 or stocker 35 to a specific processing facility 1. At least one buffer 30 and one stocker 25 may be provided.

본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는, OHT를 포함하고, OHT가 주행 레일(10) 및 물품 이송 차량(20)들을 포함할 수 있다. 이러한 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는, 물품 이송 차량(20)들이 급전 유닛과 수전 유닛을 통하여 전원 공급 장치로부터 구동 전력을 제공받아 독립적으로 작동하도록 구성될 수 있고, 소위 OCS(OHT control system)라고 칭하는 통합 제어 장치를 이용하여 물품 이송 차량(20)들을 자동으로 운영할 수 있다.The product transport facility according to an embodiment of the present invention includes an OHT, and the OHT may include a traveling rail 10 and product transport vehicles 20. In the product transport facility according to this embodiment of the present invention, the product transport vehicles 20 may be configured to operate independently by receiving driving power from a power supply device through a power supply unit and a power reception unit, and the so-called OCS (OHT control) The product transport vehicles 20 can be automatically operated using an integrated control device called a system.

OHT의 구성, 작동 등이 도 2 및 도 3에 도시되어 있다. 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 주행 레일(10)은, 물품 이송 경로(11)를 따라 연장되고 좌우 방향으로 이격되며 서로 짝을 이루는 한 쌍의 레일을 포함하고, 복수의 레일 서포트(rail support, 15)에 의하여 반도체 제조 공장의 천장 측에 설치될 수 있다. 또, 물품 이송 차량(20) 각각은, 주행 레일(10)을 따라 주행 가능한 비히클(100), 그리고 비히클(100)의 하부에서 물품(FOUP)을 지지하는 호이스트 장치(200)를 포함할 수 있다. 레일 서포트(15)들은 각각 하단 부분이 한 쌍의 레일을 지지한 상태로 상단 부분이 반도체 제조 공장의 천장에 정착될 수 있다. 한 쌍의 레일은 주행 상면을 제공하도록 형성될 수 있다. 호이스트 장치(200)는 비히클(100)의 하측에 비히클(100)과 함께 이동하도록 제공될 수 있다.The configuration, operation, etc. of the OHT are shown in Figures 2 and 3. As shown in FIGS. 2 and 3, the running rail 10 includes a pair of rails that extend along the article transport path 11 and are spaced apart in the left and right directions and are paired with each other, and a plurality of rail supports ( It can be installed on the ceiling of a semiconductor manufacturing plant using rail support, 15). In addition, each of the product transport vehicles 20 may include a vehicle 100 capable of traveling along the travel rail 10, and a hoist device 200 that supports the product FOUP at the lower part of the vehicle 100. . The upper portions of the rail supports 15 may be fixed to the ceiling of a semiconductor manufacturing plant, with the lower portions supporting a pair of rails. A pair of rails may be formed to provide a running surface. The hoist device 200 may be provided below the vehicle 100 to move together with the vehicle 100 .

비히클(100)은 차체(110) 및 휠(wheel, 120)들을 포함할 수 있다. 좌우 방향으로 연장된 차축이 차체(110)에 장착될 수 있다. 차축은 복수로 제공되고 전후 방향으로 서로 이격될 수 있다. 휠(120)들은 차체(110)가 주행 레일(10)의 안내에 따라 주행 가능하도록 차체(110)에 이동성을 부여하는 주행 휠이다. 휠(120)들은, 차축의 양단 부분에 각각 장착되고, 한 쌍의 레일의 주행 상면에 각각 접촉되어 구름 운동을 할 수 있다. 비히클(100)은 휠(120)들을 회전시키는 데 요구되는 동력을 제공하는 휠 구동 유닛(130)을 더 포함할 수 있다. 휠 구동 유닛(130)은 차축을 회전시키도록 구성될 수 있다.Vehicle 100 may include a body 110 and wheels 120. An axle extending in the left and right directions may be mounted on the car body 110. The axles may be provided in plural numbers and spaced apart from each other in the front-to-back direction. The wheels 120 are traveling wheels that provide mobility to the vehicle body 110 so that the vehicle body 110 can travel according to the guidance of the traveling rail 10. The wheels 120 are respectively mounted on both ends of the axle and can make rolling movements by contacting the running upper surfaces of a pair of rails. The vehicle 100 may further include a wheel drive unit 130 that provides power required to rotate the wheels 120. The wheel drive unit 130 may be configured to rotate the axle.

호이스트 장치(200)는 호이스트 하우징(210)을 포함할 수 있다. 호이스트 하우징(210)은 주행 레일(10)의 하방에서 상부가 연결 모듈에 의하여 차체(110)에 연결될 수 있다. 호이스트 하우징(210)은, 물품이 수용되는 수용 공간(212)을 제공하는바, 물품을 수용 공간(212)으로부터 좌우 방향 및 하방으로 이동시킬 수 있게 좌우 양옆 및 하측이 모두 개방된 구조를 가지도록 형성될 수 있다. 이에, 물품은 수용 공간(212)에 대하여 출입될 수 있다.Hoist device 200 may include a hoist housing 210 . The upper portion of the hoist housing 210 below the traveling rail 10 may be connected to the vehicle body 110 by a connection module. The hoist housing 210 provides a receiving space 212 in which goods are accommodated, and has a structure in which both the left and right sides and the bottom are open so that the goods can be moved left and right and downward from the receiving space 212. can be formed. Accordingly, goods can be entered and left into the receiving space 212 .

호이스트 장치(200)는, 물품을 그립하거나 언그립하는 핸드 유닛(220), 그리고 핸드 유닛(220)을 수용 공간(212)의 내부와 외부 간에 이동시키는 핸드 이동 유닛을 더 포함할 수 있다. 이러한 호이스트 장치(200)는 핸드 이동 유닛으로서 수직 구동 유닛(230), 회전 구동 유닛(240) 및 수평 구동 유닛(250)을 포함할 수 있다.The hoist device 200 may further include a hand unit 220 for gripping or ungripping an item, and a hand moving unit for moving the hand unit 220 between the inside and outside of the receiving space 212. This hoist device 200 may include a vertical drive unit 230, a rotation drive unit 240, and a horizontal drive unit 250 as hand movement units.

핸드 유닛(220)은, 물품에 대한 그립 및 언그립을 수행하는 핸드, 그리고 핸드를 지지하는 핸드 서포트를 포함할 수 있다. 이러한 핸드 유닛(220)은 수직 구동 유닛(230)에 의하여 승강될 수 있다. 예를 들어, 수직 구동 유닛(230)은 회전 가능한 드럼(drum)을 이용하여 복수의 벨트(belt, 232)를 와인딩(winding)하거나 언와인딩(unwinding)하는 방식으로 핸드 유닛(220)을 승강시키도록 구성될 수 있다. 회전 구동 유닛(240)은 핸드 유닛(220)을 수직 방향의 축을 중심으로 회전시킬 수 있다. 수평 구동 유닛(250)은 핸드 유닛(220)을 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다.The hand unit 220 may include a hand that grips and ungrips an item, and a hand support that supports the hand. This hand unit 220 can be lifted and lowered by the vertical drive unit 230. For example, the vertical drive unit 230 lifts and lowers the hand unit 220 by winding or unwinding a plurality of belts 232 using a rotatable drum. It can be configured as follows. The rotation drive unit 240 may rotate the hand unit 220 about a vertical axis. The horizontal driving unit 250 can move the hand unit 220 in the left and right directions.

이와 같은 호이스트 장치(200)는, 핸드 유닛(220)을 수직 구동 유닛(230)에 의하여 승강시키고, 수직 구동 유닛(230)을 회전 구동 유닛(240)에 의하여 수직 방향의 축을 중심으로 회전시키며, 회전 구동 유닛(240)을 수평 구동 유닛(250)에 의하여 좌우 방향으로 이동시킴으로써, 핸드 유닛(220)에 의하여 그립된 물품을 승강시키거나 회전시키거나 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다.Such a hoist device 200 lifts and lowers the hand unit 220 by the vertical drive unit 230, and rotates the vertical drive unit 230 about a vertical axis by the rotation drive unit 240, By moving the rotation drive unit 240 in the left and right directions by the horizontal drive unit 250, the article gripped by the hand unit 220 can be lifted, rotated, or moved in the left and right directions.

도 2는 핸드 유닛(220)에 의하여 그립된 물품이 수용 공간(212)의 내부에 수용된 상태를 나타낸다. 도 2에서와 같이, 물품 이송 차량(20)들은 물품을 목적하는 위치로 이송하기 위하여 물품 이송 경로(11)를 따라 이동하는 동안 물품을 수용 공간(212)에 수용하여 물품을 보호할 수 있다. 도 3은 핸드 유닛(220)에 의하여 그립된 물품이 수용 공간(212)으로부터 외부로 이동된 상태를 나타낸다. 도 3에서와 같이, 물품 이송 차량(20)들은 물품을 공정 설비(1), 버퍼(30), 스토커(35) 등으로부터 전달받거나 공정 설비(1), 버퍼(30), 스토커(35) 등에 전달하는 때에 물품을 수용 공간(212)의 내부와 외부 간에 이동시킬 수 있다.Figure 2 shows a state in which an article gripped by the hand unit 220 is accommodated inside the receiving space 212. As shown in FIG. 2 , the product transport vehicles 20 may protect the product by accommodating the product in the receiving space 212 while moving along the product transfer path 11 to transport the product to the desired location. Figure 3 shows a state in which an article gripped by the hand unit 220 is moved out of the receiving space 212. As shown in FIG. 3, the goods transport vehicles 20 receive goods from the process equipment 1, buffer 30, stocker 35, etc. or deliver goods to the process equipment 1, buffer 30, stocker 35, etc. When delivering, the goods can be moved between the inside and outside of the receiving space 212.

스토커(35)의 구성이 도 4에 도시되어 있다. 도 1 및 도 4를 참조하면, 도면 부호 15는 물품 전달 영역(15)이다. 물품 이송 경로(11)는 물품 이송 차량(20)들이 물품을 스토커(35)로부터 전달받거나 스토커(35)에 전달하기 위하여 정지되는 영역인 물품 전달 영역(15)을 적어도 하나 이상 가질 수 있다. 스토커(35)는 물품 전달 영역(15) 측에 배치될 수 있다. 구체적으로, 스토커(35)는 주행 레일(10)의 측방에서 물품 전달 영역(15)과 인접하게 배치될 수 있다. 물품 이송 차량(20)들은, 물품 전달 영역(15)으로 이동되어 물품 전달 영역(15)에 정지될 수 있고, 이렇게 정지된 상태에서 물품을 물품 전달 영역(15) 측의 스토커(35)와 주고받을 수 있다.The configuration of the stocker 35 is shown in Figure 4. 1 and 4, reference numeral 15 denotes an article transfer area 15. The goods transfer path 11 may have at least one goods delivery area 15 where the goods transport vehicles 20 stop to receive goods from the stocker 35 or deliver goods to the stocker 35 . The stocker 35 may be placed on the side of the product delivery area 15. Specifically, the stocker 35 may be disposed adjacent to the article delivery area 15 on the side of the running rail 10. The goods transport vehicles 20 may be moved to the goods delivery area 15 and stopped in the goods delivery area 15, and in this stopped state, transfer goods to the stocker 35 on the goods delivery area 15. You can receive it.

스토커(35)는 반도체 제조 공장의 바닥에 설치될 수 있다. 스토커(35)는, 선반(310)들을 가진 물품 보관 유닛(300), 물품 보관 유닛(300) 측에 제공된 전달 포트(500), 그리고 물품을 선반(310)들과 전달 포트(500) 간에 반송하도록 구성된 물품 반송 로봇(400)을 포함할 수 있다.The stocker 35 may be installed on the floor of a semiconductor manufacturing plant. The stocker 35 has an article storage unit 300 having shelves 310, a transfer port 500 provided on the article storage unit 300 side, and transports articles between the shelves 310 and the transfer port 500. It may include a product transport robot 400 configured to do so.

선반(310)들은 수직 방향 및/또는 수평 방향으로 배열될 수 있다. 수직 방향과 수평 방향으로 배열된 선반(310)들이 2열로 구비될 수 있고, 2열의 선반(310)들이 서로 나란하되 좌우 방향으로 서로 이격되도록 간격을 두고 배치될 수 있다. 선반(310)들에는 각각 보관할 물품이 적재될 수 있다.Shelves 310 may be arranged vertically and/or horizontally. The shelves 310 arranged in the vertical and horizontal directions may be provided in two rows, and the two rows of shelves 310 may be arranged side by side but spaced apart from each other in the left and right directions. Items to be stored may be loaded on each shelf 310.

물품 반송 로봇(400)은 2열로 배치된 선반(310)들 사이의 공간에 위치하도록 제공될 수 있다. 물품 반송 로봇(400)은, 핸드를 가진 로봇 암(robot arm, 410), 로봇 암(410)의 수평 방향 이동을 안내하는 제1 가이드(420), 그리고 로봇 암(410)의 수직 방향 이동을 안내하는 제2 가이드(430)를 포함할 수 있다.The product transport robot 400 may be provided to be located in the space between shelves 310 arranged in two rows. The product transport robot 400 includes a robot arm 410 with a hand, a first guide 420 that guides the horizontal movement of the robot arm 410, and a vertical movement of the robot arm 410. It may include a second guide 430 for guidance.

제1 가이드(420)는 2열로 배치된 선반(310)들 사이의 바닥 측에 제공되고 전후 방향을 따라 연장될 수 있다. 물품 반송 로봇(400)은 로봇 베이스(robot base)가 제1 가이드(420)를 따라 이동할 수 있다. 제2 가이드(430)는 로봇 베이스에 제공되며 수직 방향으로 연장될 수 있다. 로봇 암(410)은 제2 가이드(430)를 따라 이동할 수 있다. 로봇 암(410)은 그것의 핸드가 선반(310)들을 향하여 이동 가능하게 구성됨으로써, 물품을 선반(310)들에 로딩하거나 선반(310)들로부터 언로딩할 수 있다. 예를 들어, 로봇 암(410)은, 제2 가이드(430)를 따라 이동 가능한 암 서포트 및 암 서포트에 수직 방향의 축을 중심으로 회전 가능하도록 제공된 암을 포함하고, 암이 수평 방향으로 길이 신축 가능하게 구성되며, 핸드가 암의 선단에 제공될 수 있다. 로봇 암(410)의 핸드는 물품을 그립하거나 언그립할 수 있다.The first guide 420 is provided on the bottom side between the shelves 310 arranged in two rows and may extend along the front-back direction. The product transport robot 400 has a robot base that can move along the first guide 420. The second guide 430 is provided on the robot base and may extend in the vertical direction. The robot arm 410 can move along the second guide 430. The robot arm 410 is configured so that its hand can move toward the shelves 310 , so that it can load or unload items onto or from the shelves 310 . For example, the robot arm 410 includes an arm support movable along the second guide 430 and an arm rotatable about an axis perpendicular to the arm support, and the arm can be stretched and expanded in the horizontal direction. It is configured so that a hand can be provided at the tip of the arm. The hand of the robot arm 410 can grip or ungrip an item.

전달 포트(500)는, 서로 나란한 2열의 선반(310)들 중 물품 전달 영역(15)과 더 인접한 열 측에 물품 전달 영역(15)의 하방으로 위치하도록 마련될 수 있다. 전달 포트(500)는 보관할 물품을 물품 전달 영역(15)에 정지된 물품 이송 차량(20)으로부터 전달받거나 이송할 물품(보관된 물품)을 정지된 물품 이송 차량(20)에 전달할 수 있다. 전달 포트(500)는, 물품의 입고를 위한 입고 포트 또는 물품의 출고를 위한 출고 포트일 수도 있고, 물품의 입고와 출고가 모두 가능한 타입인 입출고 포트일 수도 있다.The delivery port 500 may be positioned below the product delivery area 15 on the row closer to the product delivery area 15 among the two rows of shelves 310 parallel to each other. The transfer port 500 can receive goods to be stored from the goods transport vehicle 20 stopped in the goods delivery area 15 or deliver goods to be transferred (stored goods) to the stopped goods transfer vehicle 20. The transfer port 500 may be a warehousing port for warehousing goods or a shipping port for shipping goods, or it may be a warehousing port of a type that allows both warehousing and shipping of goods.

전달 포트(500)의 구성 및 작용이 도 5 내지 도 7에 도시되어 있고, 물품 이송 차량(20)과 스토커(35) 간 물품 전달 과정이 도 8 내지 도 10에 도시되어 있다. 도 8과 도 9는 물품 전달 과정의 일례를 나타내고, 도 10은 물품 전달 과정의 다른 예를 나타낸다.The configuration and operation of the transfer port 500 are shown in Figures 5 to 7, and the process of transferring goods between the goods transport vehicle 20 and the stocker 35 is shown in Figures 8 to 10. Figures 8 and 9 show an example of the goods delivery process, and Figure 10 shows another example of the goods delivery process.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 전달 포트(500)는, 물품의 수평 방향 반송을 위한 수평 반송 유닛(500A)과 물품의 수직 방향 반송을 위한 수직 반송 유닛(500B)을 포함하고, 수평 반송 유닛(500A)과 수직 반송 유닛(500B)이 물품을 주고받을 수 있도록 서로 연결될 수 있다. 수평 반송 유닛(500A)은 물품을 수평 방향으로 서로 이격된 제1 위치(P1)와 제2 위치(P2) 간에 반송하고, 수직 반송 유닛(500B)은 물품을 수직 방향으로 서로 이격된 제2 위치(P2)와 제3 위치(P3) 간에 반송할 수 있다. 제1 위치(P1)는 물품 반송 로봇(400)이 물품 출고를 위하여 물품(즉, 보관된 물품)을 전달 포트(500)에 로딩하거나 물품 입고를 위하여 물품을 전달 포트(500)로부터 언로딩하는 위치일 수 있다. 제2 위치(P2)는 물품 전달 영역(15)의 직하이고, 제3 위치(P3)는 제2 위치(P2)로부터 상측인 물품 전달 영역(15) 측으로 이격된 위치일 수 있다.5 to 7, the transfer port 500 includes a horizontal transfer unit 500A for horizontal transfer of the product and a vertical transfer unit 500B for vertical transfer of the product, and the horizontal transfer unit (500A) and the vertical transfer unit (500B) may be connected to each other to exchange goods. The horizontal transport unit 500A transports the goods between a first position (P1) and a second position (P2) spaced apart from each other in the horizontal direction, and the vertical transport unit 500B transports the items to a second position spaced apart from each other in the vertical direction. It can be transported between (P2) and a third location (P3). The first position (P1) is where the product transfer robot 400 loads products (i.e., stored products) into the transfer port 500 for product shipment or unloads products from the transfer port 500 for product receipt. It could be location. The second position P2 may be directly below the product delivery area 15, and the third position P3 may be a position spaced from the second position P2 toward the upper product delivery area 15.

수평 반송 유닛(500A)은, 물품의 수평 방향 반송을 위하여 반송할 물품을 지지하는 스테이지(510), 스테이지(510)의 수평 방향 이동을 정확하게 안내하기 위한 수평 가이드(520), 그리고 수평 가이드(520)를 지지하는 프레임(frame, 530)을 포함할 수 있다. 수평 가이드(520)는, 좌우 방향으로 연장되고, 제1 위치(P1)와 제2 위치(P2) 간에 수평 방향으로 제공될 수 있다. 스테이지(510)는 수평 구동 모듈의 동력에 의하여 수평 가이드(520)를 따라 이동되는 무빙 블록(512)을 포함할 수 있다. 또, 스테이지(510)는 무빙 블록(512) 상에서 제1 위치(P1)와 제2 위치(P2) 간에 반송할 물품을 지지하는 서포트 헤드(514)를 더 포함할 수 있다. 스테이지(510)의 서포트 헤드(514)는, 무빙 블록(512)의 상측에 수직 방향의 축을 중심으로 회전 가능하도록 제공되고, 헤드 구동 모듈에 의하여 회전될 수 있다. 반송할 물품이 서포트 헤드(514)에 의하여 지지된 상태에서 서포트 헤드(514)를 헤드 구동 모듈에 의하여 회전시키면, 서포트 헤드(514)에 의하여 지지된 물품의 방향을 요구 방향으로 전환할 수 있다. 수평 구동 모듈은, 회전력을 제공하는 모터(motor), 그리고 모터의 회전력을 무빙 블록(512)에 전달하여 무빙 블록(512)을 직선으로 왕복시키는 동력 전달 기구를 포함할 수 있다. 동력 전달 기구는 벨트(belt) 또는 체인(chain)을 포함하는 전동 기구일 수 있다. 헤드 구동 모듈은 회전력을 서포트 헤드(514)에 제공하는 모터를 포함할 수 있다. 프레임(530)은 물품 보관 유닛(300)과 연결될 수 있다.The horizontal transport unit 500A includes a stage 510 for supporting the product to be transported for horizontal transport of the product, a horizontal guide 520 for accurately guiding the horizontal movement of the stage 510, and a horizontal guide 520 ) may include a frame (530) supporting the frame. The horizontal guide 520 extends in the left and right directions and may be provided in the horizontal direction between the first position (P1) and the second position (P2). The stage 510 may include a moving block 512 that moves along the horizontal guide 520 by the power of the horizontal drive module. In addition, the stage 510 may further include a support head 514 that supports the goods to be transported between the first position P1 and the second position P2 on the moving block 512. The support head 514 of the stage 510 is provided on the upper side of the moving block 512 to be rotatable about a vertical axis, and can be rotated by a head driving module. When the support head 514 is rotated by the head driving module while the article to be transported is supported by the support head 514, the direction of the article supported by the support head 514 can be changed to a desired direction. The horizontal drive module may include a motor that provides rotational force, and a power transmission mechanism that transmits the rotational force of the motor to the moving block 512 to reciprocate the moving block 512 in a straight line. The power transmission mechanism may be a power transmission mechanism including a belt or chain. The head driving module may include a motor that provides rotational force to the support head 514. The frame 530 may be connected to the item storage unit 300.

수직 반송 유닛(500B)은, 물품의 수직 방향 반송을 위하여 반송할 물품을 지지하는 셔틀(540), 셔틀(540)의 수직 방향 이동을 정확하게 안내하기 위한 수직 가이드(550), 그리고 수직 가이드(550)를 안정적으로 지지하는 프레임(560)을 포함할 수 있다. 수직 가이드(550)는 제2 위치(P2)와 제3 위치(P3) 간에 수직 방향으로 제공될 수 있다. 셔틀(540)은, 수직 구동 모듈에 의하여 수직 가이드(550)를 따라 요구 위치로 이동되고, 요구 위치에 정지 상태로 유지될 수 있다. 수직 구동 모듈은, 회전력을 제공하는 회전 모터, 그리고 회전 모터의 회전력을 셔틀(540)에 전달하여 셔틀(540)을 제2 위치(P2)와 제3 위치(P3) 간에 수직 방향으로 왕복시키는 동력 전달 기구를 포함할 수 있다. 동력 전달 기구는 벨트 전동 기구 또는 체인 전동 기구일 수 있다. 수직 구동 모듈은, 회전 모터 및 동력 전달 기구 대신, 리니어 액추에이터(linear actuator)를 포함할 수도 있다. 수직 반송 유닛(500B)의 프레임(560)은 수평 반송 유닛(500A)의 프레임(530)과 견고히 연결될 수 있다. 이 같은 구성의 수직 반송 유닛(500B)에 의하면, 셔틀(540)은 제2 위치(P2)에서 제3 위치(P3)로 상승될 수 있고, 물품 전달 영역(15)에 정지된 물품 이송 차량(20)은 물품을 상승된 셔틀(540)에 로딩하거나 상승된 셔틀(540)로부터 언로딩할 수 있다.The vertical transport unit 500B includes a shuttle 540 for supporting the product to be transported for vertical transport of the product, a vertical guide 550 for accurately guiding the vertical movement of the shuttle 540, and a vertical guide 550 ) may include a frame 560 that stably supports the frame 560. The vertical guide 550 may be provided in a vertical direction between the second position (P2) and the third position (P3). The shuttle 540 may be moved to a required position along the vertical guide 550 by a vertical drive module and may be maintained in a stationary state at the required position. The vertical drive module includes a rotation motor that provides rotational force, and power to transmit the rotational force of the rotation motor to the shuttle 540 to reciprocate the shuttle 540 in the vertical direction between the second position (P2) and the third position (P3). May include a delivery mechanism. The power transmission mechanism may be a belt transmission mechanism or a chain transmission mechanism. The vertical drive module may include a linear actuator instead of a rotary motor and power transmission mechanism. The frame 560 of the vertical transfer unit 500B may be firmly connected to the frame 530 of the horizontal transfer unit 500A. According to the vertical transfer unit 500B of this configuration, the shuttle 540 can be raised from the second position (P2) to the third position (P3), and the product transport vehicle ( 20) can load items into or unload items from the raised shuttle 540.

스테이지(510)와 셔틀(540)은 반송할 물품을 제2 위치(P2)에서 상호 간에 전달할 수 있다. 스테이지(510)와 셔틀(540)이 물품을 상호 간에 전달하는 때에 상호 간섭을 방지하기 위하여, 스테이지(510)는 물품의 하부 중앙 영역을 하측에서 지지하도록 구성되고, 셔틀(540)은 물품의 하부 주변 영역을 하측에서 지지하도록 구성될 수 있다. 또한, 도 7에 도시된 바와 같이, 셔틀(540)은 스테이지의(510)의 이동 방향을 기준으로 양옆(즉, 전후)에서 물품을 지지하도록 분할된 구조를 가질 수 있다. 또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 스테이지(510)와 셔틀(540)이 상호 간의 물품 전달을 위하여 제2 위치(P2)로 이동된 때, 셔틀(540)이 스테이지(510)보다 낮은 높이에 위치하도록 구성될 수 있다. 스테이지(510)와 셔틀(540)이 제2 위치(P2)로 이동된 때, 스테이지(510)는 분할된 셔틀(540) 사이로 진입될 수 있다. 이때, 서포트 헤드(514)는 셔틀(540)에 비하여 높은 높이에 위치될 수 있다. 분할된 셔틀(540)은 두 수직 구동 모듈에 사실상 동시에 이동될 수 있다.The stage 510 and the shuttle 540 can transfer goods to be transported to each other at the second location (P2). In order to prevent mutual interference when the stage 510 and the shuttle 540 transfer goods to each other, the stage 510 is configured to support the lower central region of the goods from the lower side, and the shuttle 540 is positioned at the lower part of the goods. It may be configured to support the surrounding area from the lower side. Additionally, as shown in FIG. 7, the shuttle 540 may have a divided structure to support items on both sides (i.e., front and back) based on the moving direction of the stage 510. In addition, as shown in FIG. 5, when the stage 510 and the shuttle 540 are moved to the second position (P2) to transfer goods to each other, the shuttle 540 is at a lower height than the stage 510. It can be configured to be located. When the stage 510 and the shuttle 540 are moved to the second position P2, the stage 510 may enter between the divided shuttles 540. At this time, the support head 514 may be located at a higher height than the shuttle 540. The split shuttle 540 can be moved substantially simultaneously on both vertical drive modules.

한편, 제3 위치(P3)는 물품 전달 영역(15)과 중첩하는 위치일 수 있다. 자세히는, 제3 위치(P3)는 물품 전달 영역(15)에 정지된 물품 이송 차량(20)의 핸드 유닛(220)이 상승된 상태에서 별도의 하강됨이 없이 물품을 셔틀(540)과 주고받을 수 있는 높이일 수 있다.Meanwhile, the third position P3 may be a position that overlaps the product delivery area 15. In detail, the third position P3 is for transferring goods to the shuttle 540 without lowering the hand unit 220 of the goods transport vehicle 20 stopped in the goods delivery area 15 in a raised state. It may be an acceptable height.

물품 이송 차량(20)과 스토커(35) 간 물품 전달 과정을 살펴본다.Let's look at the goods transfer process between the goods transport vehicle 20 and the stocker 35.

물품을 스토커(35)에 보관하기 위하여, 물품을 보유한 물품 이송 차량(20)은 물품 전달 영역(15)으로 이동될 수 있다. 또, 물품을 수평 방향으로 반송할 스테이지(510)는 제2 위치(P2)에 대기하고, 물품을 수직 방향으로 반송할 셔틀(540)은 제2 위치(P2)와 제3 위치(P3) 사이 중 물품 전달 영역(15)과 인접하는 높이에 대기할 수 있다(도 8 참조). 이때, 물품 이송 차량(20)은 핸드 유닛(220)이 상승된 상태일 수 있다. 그리고, 핸드 유닛(220)에 의하여 그립된 물품은 호이스트 하우징(210)의 수용 공간(212)에 수용된 상태일 수 있다.In order to store goods in the stocker 35 , the goods transport vehicle 20 holding the goods can be moved to the goods delivery area 15 . In addition, the stage 510, which will transport the goods in the horizontal direction, stands by at the second position (P2), and the shuttle 540, which will transport the goods in the vertical direction, is between the second position (P2) and the third position (P3). It is possible to wait at a height adjacent to the heavy goods delivery area 15 (see Figure 8). At this time, the hand unit 220 of the product transport vehicle 20 may be in a raised state. And, the article gripped by the hand unit 220 may be accommodated in the receiving space 212 of the hoist housing 210.

다음으로, 물품 이송 차량(20)이 물품 전달 영역(15)에 정지되면, 대기 중인 셔틀(540)은 제3 위치(P3)로 상승될 수 있다. 이때, 상승된 셔틀(540)은, 호이스트 하우징(210)의 수용 공간(212)으로 진입될 수 있고, 아울러 핸드 유닛(220)에 의하여 그립된 물품의 하부 주변 영역에 접촉될 수 있다. 또는, 제3 위치(P3)로 상승된 셔틀(540)은 물품의 하부 주변 영역에 접촉되지 않으며 간극을 두고 근접하도록 위치될 수 있다.Next, when the goods transport vehicle 20 is stopped in the goods delivery area 15, the waiting shuttle 540 can be raised to the third position P3. At this time, the raised shuttle 540 may enter the receiving space 212 of the hoist housing 210 and may contact the lower peripheral area of the article gripped by the hand unit 220. Alternatively, the shuttle 540 raised to the third position P3 may be positioned close to the lower peripheral area of the article with a gap without contacting it.

다음, 셔틀(540)이 제3 위치(P3)에 도착되면, 물품 이송 차량(20)의 핸드 유닛(220)은 하강 없이 언그립에 의하여 물품에 대한 그립을 해제할 수 있다.Next, when the shuttle 540 arrives at the third position P3, the hand unit 220 of the product transport vehicle 20 can release the grip on the product by ungrip without lowering.

이와 같이, 물품이 셔틀(540)에 로딩되면(도 9 참조), 셔틀(540)은 하강되어 제2 위치(P2)로 이동, 제2 위치(P2)에 위치된 스테이지(510)보다 낮은 높이에 위치될 수 있다. 물품 이송 차량(20)은 물품 이송을 위하여 이동될 수 있다. 물품은 하강되는 셔틀(540)이 제2 위치(P2) 상의 스테이지(510)와 교차하는 과정에서 스테이지(510)로 전달되고, 스테이지(510)는 전달받은 물품의 하부 중앙 영역을 하측에서 지지할 수 있다.In this way, when an article is loaded into the shuttle 540 (see FIG. 9), the shuttle 540 is lowered and moved to the second position (P2), at a lower height than the stage 510 located at the second position (P2). It can be located in . The goods transport vehicle 20 can be moved to transport goods. The goods are delivered to the stage 510 in the process where the descending shuttle 540 intersects the stage 510 at the second position (P2), and the stage 510 supports the lower central area of the delivered goods from the lower side. You can.

다음으로, 스테이지(510)는 제1 위치(P1)로 이동되어 물품을 제1 위치(P1)로 반송하고, 물품 반송 로봇(400)은 제1 위치(P1)의 물품에 대하여 입고를 위하여 스테이지(510)로부터 언로딩한 후 빈 선반(310)에 로딩할 수 있다.Next, the stage 510 is moved to the first position (P1) to transport the goods to the first position (P1), and the goods transport robot 400 moves to the stage for warehousing the goods at the first position (P1). After unloading from 510, it can be loaded onto the empty shelf 310.

살펴본 바와 같은 물품 보관 과정은, 물품을 셔틀(540)에 로딩하는 때에, 셔틀(540)이 제3 위치(P3)에 위치되기 때문에, 핸드 유닛(220)을 하강시킬 필요가 없어 물품을 물품 이송 차량(20)으로부터 전달 포트(500)로 전달하는 데 소요되는 시간을 대폭적으로 단축할 수 있다. 관련하여, 위에서는 셔틀(540)이 제2 위치(P2)와 제3 위치(P3) 사이에서 대기하고 있고 물품 이송 차량(20)이 물품 전달 영역(15)에 정지되면 셔틀(540)이 제3 위치(P3)로 상승되는 것으로 설명하였으나, 셔틀(540)은 제2 위치(P2)에서 대기하고 있다가 물품 이송 차량(20)이 물품 전달 영역(15)에 정지되면 제3 위치(P3)로 상승될 수도 있다.In the article storage process as discussed, when loading articles into the shuttle 540, the shuttle 540 is located at the third position (P3), so there is no need to lower the hand unit 220, thereby transporting the articles. The time required to transfer from the vehicle 20 to the transfer port 500 can be significantly shortened. Relatedly, in the above, shuttle 540 is waiting between the second position (P2) and the third position (P3) and when the goods transport vehicle 20 is stopped in the goods delivery area 15, the shuttle 540 is Although it has been described as being raised to position 3 (P3), the shuttle 540 is waiting at the second position (P2) and then moves to the third position (P3) when the product transport vehicle 20 stops in the product delivery area 15. It may rise to .

스토커(35)에 보관된 물품을 목적하는 위치로 이송하기 위하여, 물품을 보유하고 있지 않은 물품 이송 차량(20)은 물품 전달 영역(15)으로 이동될 수 있다. 또한, 물품을 수평 방향으로 반송할 스테이지(510)는 제1 위치(P2)에 대기하고, 물품을 수직 방향으로 반송할 셔틀(540)은 제2 위치(P2)에 대기할 수 있다. 이때, 물품 이송 차량(20)은 핸드 유닛(220)이 상승된 상태일 수 있다.In order to transport the goods stored in the stocker 35 to a desired location, the goods transport vehicle 20 that does not hold the goods may be moved to the goods delivery area 15. Additionally, the stage 510, which will transport the product in the horizontal direction, may stand by at the first position (P2), and the shuttle 540, which will transport the product in the vertical direction, may stand by at the second position (P2). At this time, the hand unit 220 of the product transport vehicle 20 may be in a raised state.

다음으로, 물품 반송 로봇(400)은 선반(310)에 적재된 물품을 출고하기 위하여 물품을 선반(310)으로부터 언로딩한 후 제1 위치(P1)의 스테이지(510)에 로딩할 수 있다. 이후, 스테이지(510)는 제2 위치(P2)로 이동, 서포트 헤드(514)에 의하여 지지된 물품을 제2 위치(P2)로 반송할 수 있다. 이때, 제2 위치(P2)로 이동된 스테이지(510)는, 분할된 셔틀(540) 사이로 진입될 수 있고, 또 셔틀(540)보다 높게 위치될 수 있다.Next, in order to ship the goods loaded on the shelf 310, the goods transport robot 400 may unload the goods from the shelf 310 and then load them on the stage 510 at the first position P1. Thereafter, the stage 510 can move to the second position (P2) and transport the article supported by the support head 514 to the second position (P2). At this time, the stage 510 moved to the second position P2 can enter between the divided shuttles 540 and can be positioned higher than the shuttles 540.

물품이 스테이지(510)에 의하여 제2 위치(P2)로 반송되면, 셔틀(540)은 상승되어 제2 위치(P2)와 제3 위치(P3) 사이 중 물품 전달 영역(15)과 인접하는 높이에 대기할 수 있다(도 8 참조). 물품은 상승되는 셔틀(540)이 제2 위치(P2) 상의 스테이지(510)와 교차하는 과정에서 스테이지(510)로부터 셔틀(540)로 전달될 수 있다.When the goods are transported to the second position (P2) by the stage 510, the shuttle 540 is raised to a height adjacent to the goods delivery area 15 between the second position (P2) and the third position (P3). You can wait for (see Figure 8). Goods may be transferred from the stage 510 to the shuttle 540 as the lifted shuttle 540 intersects the stage 510 at the second position P2.

다음, 물품 이송 차량(20)이 물품 전달 영역(15)에 정지되면, 물품을 지지한 상태로 대기 중인 셔틀(540)은 제3 위치(P3)로 상승되어 물품을 제3 위치(P3)로 반송할 수 있다. 이때, 정지된 물품 이송 차량(20)은 그 핸드 유닛(220)이 언그립 상태일 수 있고, 상승된 셔틀(540)은 호이스트 하우징(210)의 수용 공간(212)으로 진입될 수 있으며, 셔틀(540)에 의하여 지지된 물품은 핸드 유닛(220)에 의하여 그립되는 부분이 수용 공간(212)에서 핸드 유닛(220) 사이에 위치될 수 있다.Next, when the goods transport vehicle 20 is stopped in the goods delivery area 15, the shuttle 540, which is waiting while supporting the goods, is raised to the third position (P3) and moves the goods to the third position (P3). You can return it. At this time, the hand unit 220 of the stopped product transport vehicle 20 may be in an ungrip state, and the lifted shuttle 540 may enter the receiving space 212 of the hoist housing 210, and the shuttle The part of the article supported by 540 that is gripped by the hand unit 220 may be located between the hand unit 220 in the receiving space 212 .

그 다음, 물품 이송 차량(20)의 핸드 유닛(220)은 별도로 하강됨이 없이 제3 위치(P3)의 물품을 그립할 수 있다(도 9 참조). 이후, 셔틀(540)은 하강되고, 물품 이송 차량(20)은 그립된 물품을 이송하기 위하여 이동될 수 있다.Next, the hand unit 220 of the article transport vehicle 20 can grip the article in the third position P3 without being lowered (see FIG. 9). The shuttle 540 is then lowered, and the article transport vehicle 20 can be moved to transfer the gripped article.

이와 같이, 스토커(35)에 보관된 물품을 출고하고 목적하는 위치로 이송하는 과정은, 물품을 셔틀(540)로부터 언로딩하는 때에, 셔틀(540)이 제3 위치(P3)에 위치되기 때문에, 핸드 유닛(220)을 별도로 하강시킬 필요가 없는바, 물품을 전달 포트(500)로부터 물품 이송 차량(20)으로 전달하는 시간을 대폭으로 단축할 수 있다. 관련하여, 위에서는 물품 이송 차량(20)이 물품 전달 영역(15)에 정지되면 제2 위치(P2)와 제3 위치(P3) 사이의 위치에서 대기 중인 셔틀(540)이 제3 위치(P3)로 상승되어 셔틀(540)에 의하여 지지된 물품이 제3 위치(P3)로 반송되는 것을 설명하였으나, 셔틀(540)은 제2 위치(P2)에서 대기하고 있다가 물품 이송 차량(20)이 물품 전달 영역(15)에 정지되면 제3 위치(P3)로 상승될 수도 있다.In this way, the process of shipping the goods stored in the stocker 35 and transporting them to the desired location is because the shuttle 540 is located at the third position (P3) when the goods are unloaded from the shuttle 540. , Since there is no need to separately lower the hand unit 220, the time for transferring goods from the delivery port 500 to the goods transport vehicle 20 can be significantly shortened. In relation to this, when the goods transport vehicle 20 is stopped in the goods delivery area 15, the shuttle 540 waiting at a position between the second position (P2) and the third position (P3) is moved to the third position (P3). ) and that the goods supported by the shuttle 540 are returned to the third position (P3), but the shuttle 540 is waiting at the second position (P2) and then the goods transport vehicle 20 When stopped in the product delivery area 15, it may be raised to the third position P3.

한편, 도 10을 참조하면, 제3 위치(P3)는 물품 전달 영역(15)과 중첩하는 높이가 아니라 제2 위치(P2)와 물품 전달 영역(15) 사이일 수 있고, 셔틀(540)은 제2 위치(P2)와 물품 전달 영역(15) 사이의 제3 위치(P3)로 상승될 수 있으며, 물품 전달 영역(15)에 정지된 물품 이송 차량(20)은 핸드 유닛(220)이 제2 위치(P2)와 물품 전달 영역(15) 사이의 제3 위치(P3)로 하강되어 물품을 제3 위치(P3)로 상승된 셔틀(540)에 로딩하거나 제3 위치(P3)로 상승된 셔틀(540)로부터 언로딩할 수 있다. 이에 의하면, 물품 이송 차량(20)과 전달 포트(500)가 물품을 주고받는 데 요구되는 핸드 유닛(220)의 승강 거리를 줄일 수 있고, 이로써 물품 이송 차량(20)과 전달 포트(500)가 물품을 주고받는 데 소요되는 시간을 단축할 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 10, the third position P3 may not be at a height overlapping with the product delivery area 15, but may be between the second position P2 and the product delivery area 15, and the shuttle 540 may be It can be raised to the third position (P3) between the second position (P2) and the product delivery area 15, and the product transfer vehicle 20 stopped in the product delivery area 15 is operated by the hand unit 220. It is lowered to a third position (P3) between the second position (P2) and the goods transfer area (15) to load goods into the shuttle (540) raised to the third position (P3) or lifted to the third position (P3). It can be unloaded from shuttle 540. According to this, the lifting distance of the hand unit 220 required for the product transfer vehicle 20 and the transfer port 500 to exchange goods can be reduced, and this allows the product transfer vehicle 20 and the transfer port 500 to The time required to exchange goods can be shortened.

이상에서는 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상은, 각각 독립적으로 실시될 수도 있고, 둘 이상이 서로 조합되어 실시될 수도 있다.Although the present invention has been described above, the present invention is not limited to the disclosed embodiments and the accompanying drawings, and various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the technical spirit of the present invention. Additionally, the technical ideas described in the embodiments of the present invention may be implemented independently, or two or more may be implemented in combination.

10: 주행 레일
15: 물품 전달 영역
20: 물품 이송 차량
100: 비히클
200: 호이스트 장치
210: 호이스트 하우징
220: 핸드 유닛
300: 물품 보관 유닛
400: 물품 반송 로봇
500: 전달 포트
500A: 수평 반송 유닛
500B: 수직 반송 유닛
510: 스테이지
520: 수평 가이드
530: 수평 반송 유닛의 프레임
540: 셔틀
550: 수직 가이드
560: 수직 반송 유닛의 프레임
P1: 제1 위치
P2: 제2 위치
P3: 제3 위치10: Running rail
15: Goods delivery area
20: Goods transport vehicle
100: vehicle
200: Hoist device
210: Hoist housing
220: hand unit
300: Item storage unit
400: Goods transport robot
500: forwarding port
500A: Horizontal transfer unit
500B: Vertical transfer unit
510: stage
520: horizontal guide
530: Frame of horizontal transport unit
540: Shuttle
550: vertical guide
560: Frame of vertical transport unit
P1: first position
P2: second position
P3: Third position

Claims (7)

물품이 적재되는 선반을 복수로 가진 물품 보관 유닛과; 천장 측 물품 이송 경로의 물품 전달 영역 측에 배치되며, 상기 물품을 상기 물품 전달 영역에 정지된 물품 이송 차량으로부터 전달받거나 정지된 상기 물품 이송 차량에 전달하는 전달 포트와; 상기 물품을 상기 선반들과 상기 전달 포트 간에 반송하는 물품 반송 로봇을 포함하고,
상기 전달 포트는, 상기 물품 보관 유닛 측에 상기 물품 전달 영역의 하방으로 위치하도록 제공되고, 상기 물품 전달 영역에 정지된 상기 물품 이송 차량이 상기 물품을 로딩하거나 언로딩하는 셔틀을 구비하며,
상기 셔틀은 상기 물품 전달 영역에 대하여 승강 가능하고,
상기 전달 포트는, 상기 물품을 제1 위치 및 상기 제1 위치로부터 수평 방향으로 이격된 제2 위치 간에 반송하는 스테이지를 구비한 수평 반송 유닛과; 상기 물품을 상기 제2 위치 및 상기 제2 위치로부터 상측으로 이격된 제3 위치 간에 반송하는 상기 셔틀을 구비한 수직 반송 유닛을 포함하고,
상기 스테이지 및 상기 셔틀은 상기 물품을 상기 제2 위치에서 상호 간에 전달하며,
상기 제1 위치는 상기 물품 반송 로봇이 상기 물품을 로딩하거나 언로딩하는 위치이고, 상기 제2 위치는 상기 물품 전달 영역의 직하인,
스토커.an article storage unit having a plurality of shelves on which articles are loaded; a transfer port disposed on the side of the goods delivery area of the goods transfer path on the ceiling, and configured to receive the goods from a goods transfer vehicle stopped in the goods delivery area or to deliver the goods to the goods transfer vehicle stopped; and an article transport robot that transfers the article between the shelves and the transfer port,
The transfer port is provided to be located below the goods delivery area on the side of the goods storage unit, and the goods transfer vehicle stopped in the goods delivery area has a shuttle for loading or unloading the goods,
The shuttle is capable of raising and lowering relative to the goods delivery area,
The transfer port includes a horizontal transfer unit having a stage for transferring the article between a first location and a second location spaced horizontally from the first location; a vertical conveying unit with the shuttle to convey the article between the second location and a third location spaced upwardly from the second location;
the stage and the shuttle transfer the articles to each other at the second location,
The first position is a position where the product transport robot loads or unloads the product, and the second position is directly below the product delivery area,
stalker. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 수평 반송 유닛은 상기 스테이지가 수평 가이드의 안내에 따라 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 간을 이동하도록 구성되고,
상기 스테이지는 상기 물품의 하부의 중앙 영역을 하측에서 지지하며,
상기 수직 반송 유닛은 상기 셔틀이 수직 가이드의 안내에 따라 상기 제2 위치와 상기 제3 위치 간을 이동하도록 구성되고,
상기 셔틀은 상기 물품의 하부의 주변 영역을 상기 스테이지의 이동 방향 기준으로 양옆에서 지지하며,
상기 스테이지 및 상기 셔틀이 상기 물품을 상호 간에 전달하기 위하여 상기 제2 위치로 이동된 때, 상기 셔틀은 상기 스테이지에 비하여 낮은 높이에 위치되는 것을 특징으로 하는,
스토커.In claim 1,
The horizontal transfer unit is configured so that the stage moves between the first position and the second position according to the guidance of a horizontal guide,
The stage supports a central region of the lower part of the article from the bottom,
The vertical transfer unit is configured to cause the shuttle to move between the second position and the third position according to the guidance of a vertical guide,
The shuttle supports the surrounding area of the lower part of the article on both sides based on the moving direction of the stage,
When the stage and the shuttle are moved to the second position to transfer the goods to each other, the shuttle is positioned at a lower height relative to the stage.
stalker. 청구항 3에 있어서,
상기 스테이지는,
상기 수평 가이드를 따라 이동되는 무빙 블록과; 상기 무빙 블록의 상측에서 상기 물품을 지지하는 서포트 헤드를 포함하고,
상기 서포트 헤드가 헤드 구동 모듈에 의하여 수직 방향의 축을 중심으로 회전되는 것을 특징으로 하는,
스토커.In claim 3,
The stage is,
a moving block moving along the horizontal guide; Includes a support head for supporting the article on the upper side of the moving block,
Characterized in that the support head is rotated around a vertical axis by a head driving module.
stalker. 청구항 1에 있어서,
상기 제3 위치는 상기 물품 전달 영역과 중첩하는 것을 특징으로 하는,
스토커.In claim 1,
Characterized in that the third position overlaps the article delivery area,
stalker. 적어도 하나 이상의 물품 전달 영역을 가진 물품 이송 경로를 제공하는 천장 측 주행 레일과; 물품의 이송을 위하여 상기 주행 레일을 따라 주행하는 적어도 하나 이상의 물품 이송 차량과; 상기 물품 전달 영역 측에 배치되며, 상기 물품을 상기 물품 전달 영역에 정지된 상기 물품 이송 차량으로부터 제공받아 보관하거나 정지된 상기 물품 이송 차량에 제공하는 스토커를 포함하고,
상기 스토커는, 상기 물품이 적재되는 선반을 복수로 가진 물품 보관 유닛과; 상기 물품 보관 유닛 측에 상기 물품 전달 영역의 하방으로 위치하도록 제공되고, 상기 물품 전달 영역에 정지된 상기 물품 이송 차량이 상기 물품을 로딩하거나 언로딩하는 셔틀을 구비한 전달 포트와; 상기 물품을 상기 선반들과 상기 전달 포트 간에 반송하는 물품 반송 로봇을 포함하며,
상기 셔틀은 상기 물품 전달 영역에 대하여 승강 가능하고,
상기 전달 포트는, 상기 물품을 제1 위치 및 상기 제1 위치로부터 수평 방향으로 이격된 제2 위치 간에 반송하는 스테이지를 구비한 수평 반송 유닛과; 상기 물품을 상기 제2 위치 및 상기 제2 위치로부터 상측으로 이격된 제3 위치 간에 반송하는 상기 셔틀을 구비한 수직 반송 유닛을 포함하고,
상기 스테이지 및 상기 셔틀은 상기 물품을 상기 제2 위치에서 상호 간에 전달하며,
상기 제1 위치는 상기 물품 반송 로봇이 상기 물품을 로딩하거나 언로딩하는 위치이고, 상기 제2 위치는 상기 물품 전달 영역의 직하인,
물품 이송 설비.a ceiling-side running rail providing a goods transport path with at least one goods transfer area; At least one goods transport vehicle traveling along the travel rail to transport goods; It is disposed on the side of the goods delivery area, and includes a stocker that receives and stores the goods from the goods transport vehicle stopped in the goods delivery area or provides them to the goods transport vehicle stopped,
The stocker includes an article storage unit having a plurality of shelves on which the articles are loaded; a transfer port provided on a side of the goods storage unit and located below the goods delivery area, and having a shuttle for loading or unloading the goods by the goods transport vehicle stopped in the goods delivery area; and an article transport robot that transfers the article between the shelves and the transfer port,
The shuttle is capable of raising and lowering relative to the goods delivery area,
The transfer port includes a horizontal transfer unit having a stage for transferring the article between a first location and a second location spaced horizontally from the first location; a vertical conveying unit with the shuttle to convey the article between the second location and a third location spaced upwardly from the second location;
the stage and the shuttle transfer the articles to each other at the second location,
The first position is a position where the product transport robot loads or unloads the product, and the second position is directly below the product delivery area,
Goods transfer equipment. 청구항 6에 있어서,
상기 물품 이송 차량은, 상기 물품을 그립하거나 언그립하기 위한 핸드 유닛과; 상기 핸드 유닛을 승강시키는 수직 구동 유닛을 포함하고,
상기 셔틀은 상승된 때 상기 물품 전달 영역에 정지된 상기 물품 이송 차량의 상기 핸드 유닛이 상승 상태에서 하강됨이 없이 상기 물품을 전달받거나 전달할 수 있는 높이에 위치 가능한 것을 특징으로 하는,
물품 이송 설비.In claim 6,
The article transport vehicle includes a hand unit for gripping or ungripping the article; Comprising a vertical drive unit that raises and lowers the hand unit,
Characterized in that the shuttle, when raised, can be positioned at a height such that the hand unit of the goods transport vehicle stopped in the goods delivery area can receive or deliver the goods without being lowered from the raised state.
Goods transfer equipment.
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