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KR20180038513A - 반송차 시스템 - Google Patents

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KR20180038513A
KR20180038513A KR1020187006653A KR20187006653A KR20180038513A KR 20180038513 A KR20180038513 A KR 20180038513A KR 1020187006653 A KR1020187006653 A KR 1020187006653A KR 20187006653 A KR20187006653 A KR 20187006653A KR 20180038513 A KR20180038513 A KR 20180038513A
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KR
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conveyance
conveying
trajectory
receiving portion
carriage
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KR1020187006653A
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KR102069778B1 (ko
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요이치 모토오리
Original Assignee
무라다기카이가부시끼가이샤
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Publication date
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Abstract

반송차 시스템(1)은 하단 궤도(20)를 일방향으로 주행하는 제 1 반송차(40A), 상단 궤도를 일방향으로 주행하는 제 2 반송차(40B), 제 2 반송차로부터 피반송물(F)이 전달되고 또한 제 1 반송차에 의해 피반송물이 수취되는 제 1 수수부(13), 및 제 1 반송차로부터 피반송물이 전달되고, 또한 제 2 반송차에 의해 피반송물이 수취되는 제 2 수수부(15)를 구비한다. 에어리어(10)는 각각 제 1 영역(10A)과 제 2 영역(10B)을 가지고, 하단 궤도는 제 1 영역과 제 2 영역에 걸쳐 배치되며, 제 1 영역 내에는 제 1 수수부 및 제 2 수수부가 배치되고, 제 2 영역 내에는 제 1 반송차와의 사이에서 피반송물을 수수 가능한 제 3 수수부(11A)가 배치되고, 제 1 영역 내의 하단 궤도는 일방향으로 제 2 수수부, 제 1 수수부의 순서대로 각각 배치되고, 제 1 영역 내의 상단 궤도는 제 1 수수부, 제 2 수수부의 순서대로 각각 배치된다.

Description

반송차 시스템
본 발명은 반송차 시스템에 관한 것이다.
천장에 마련된 궤도를 따라 반송차를 주행시켜 물품을 반송하는 반송차 시스템이 알려져 있다. 예를 들면, 반도체 공장 등에서의 물품의 반송에 이용되는 반송차 시스템에서는, 동일 또는 근사의 처리를 행하는 처리 장치가 배치된 복수의 에어리어(인트라베이)를 각각 주회하는 궤도(인트라베이 루트)와, 상기 복수의 에어리어 사이를 접속하는 제 2 궤도(인터베이 루트)가 배치되어 있다. 반송차는, 물품을 하나의 에어리어로부터 다른 에어리어로 반송할 때에는, 하나의 에어리어의 인트라베이 루트로부터 인터베이 루트를 거쳐 목적으로 하는 다른 에어리어의 인트라베이 루트에 진입한다.
근래, 반도체 공장의 대규모화에 수반되어, 인트라베이 루트 및 인터베이 루트의 쌍방에 있어서 반송량의 증가, 즉, 반송차 대수가 증가하는 경향에 있다. 상기와 같은 구성의 반송차 시스템에 있어서는, 각 에어리어 내에 있어서의 처리 장치의 처리 능력(스루풋)에 차이가 있는 점 등으로부터, 반송차 대수가 증가하면 스루풋이 높은 에어리어 내에 있어서의 반송차의 밀도가 증대하여, 인터베이 루트로부터 인트라베이 루트로의 입구 또는 인트라베이 루트 내에서의 반송차의 정체가 만성화될 우려가 있었다.
에어리어 내에서의 반송 능력 향상을 도모한 반송차 시스템으로서, 예를 들면 특허 문헌 1의 반송차 시스템에서는, 인트라베이 루트 및 인터베이 루트의 쌍방을 주행하는 제 1 반송차의 주행 궤도와는 별도로, 스루풋이 높은 처리 장치의 근방에 국소적으로 제 2 반송차의 주행 궤도를 배치하여, 제 1 반송차와 제 2 반송차의 사이에서는 버퍼를 통하여 물품을 전달하고, 제 2 반송차는 버퍼와 설비의 사이에서 물품을 전달하록 하고 있다. 이와 같이, 상기 반송차 시스템은 스루풋이 높은 처리 장치에 대하여 제 2 반송차를 국소적으로 배치함으로써, 국소적으로 반송 능력을 향상시킬 수 있다.
일본특허공개공보 2006-224944호
그러나, 상기 종래의 시스템에서는, 제 1 반송차로부터 제 2 반송차에 물품을 전달하기 위해서는, 제 1 반송차는 인터베이 루트로부터 인트라베이 루트 내로 들어오지 않으면 안된다. 그 때문에, 반송량이 증가하면 에어리어 내에 있어서의 반송차의 밀도가 증대하여 정체가 발생할 우려가 있어, 에어리어 내 전체에 있어서의 반송 능력의 향상에 충분히 기여할 수 없었다.
그래서, 본 발명의 일측면은 반송 능력의 향상 및 반송차의 정체 완화를 도모할 수 있는 반송차 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일측면에 따른 반송차 시스템은, 복수의 에어리어 내를 각각 주회하는 주회 궤도를 이루는 제 1 궤도와, 제 1 궤도를 일방향으로 주행하는 제 1 반송차와, 복수의 에어리어 사이를 접속하는 제 2 궤도와, 제 2 궤도를 일방향으로 주행하는 제 2 반송차와, 제 2 반송차로부터 피반송물이 전달되고 또한 제 1 반송차에 의해 당해 피반송물이 수취되는 제 1 수수부와, 제 1 반송차로부터 피반송물이 전달되고 또한 제 2 반송차에 의해 당해 피반송물이 수취되는 제 2 수수부를 구비하고, 에어리어는 각각 제 1 영역과 제 2 영역을 가지고, 제 1 궤도는 제 1 영역과 제 2 영역에 걸쳐 배치되며, 제 1 영역 내에는 제 1 수수부 및 제 2 수수부가 배치되고, 제 2 영역 내에는 제 1 반송차와의 사이에서 피반송물을 수수 가능한 제 3 수수부가 배치되고, 제 1 영역 내의 제 1 궤도는, 제 1 반송차의 주행 방향에 있어서, 제 2 수수부, 제 1 수수부의 순서대로 통과하도록 배치되고, 제 1 영역 내의 제 2 궤도는, 제 2 반송차의 주행 방향에 있어서, 제 1 수수부, 제 2 수수부의 순서대로 통과하도록 배치되어 있다.
이 구성의 반송차 시스템에 따르면, 제 1 반송차를 에어리어 내 반송용으로서, 제 2 반송차를 에어리어 사이 반송용으로서 각각 이용할 수 있으므로, 제 1 반송차가 에어리어 사이를 주행하는 경우 및 제 2 반송차가 에어리어 내를 주행하는 경우가 없어진다. 즉, 제 1 반송차와 제 2 반송차로 각각 역할 분담을 할 수 있어, 에어리어 내를 주행하는 제 1 반송차의 대차수를 증감없이 상시 일정하게 할 수 있다. 이에 의해, 반송차를 효율 좋게 주행시킬 수 있어, 정체를 완화할 수 있다. 그리고, 제 1 반송차는, 제 1 궤도를 일방향으로 주행하는 중에, 제 1 수수부에 있어서 제 2 반송차로부터 피반송물을 수취하여 제 3 수수부에 있어서 당해 피반송물을 전달하고, 또한, 제 3 수수부에 있어서 피반송물을 수취하여 제 2 수수부에 있어서 제 2 반송차에 당해 피반송물을 전달한다. 또한, 마찬가지로 제 2 반송차는, 제 2 궤도를 일방향으로 주행하는 중에, 제 1 수수부에 있어서 제 1 반송차에 피반송물을 전달하고 또한 제 2 수수부에 있어서 제 1 반송차로부터 당해 피반송물을 수취한다. 이와 같이, 제 1 반송차 및 제 2 반송차는 일련의 주행 중에 피반송물을 수취하여 피반송물을 전달한다는 동작을 반복하므로, 제 1 반송차 및 제 2 반송차에 있어서 효율적인 반송이 가능해진다. 이 결과, 반송 능력의 향상 및 반송차의 정체 완화를 도모할 수 있다.
일실시 형태에 있어서, 제 3 수수부는, 제 1 궤도를 따르는 방향에 있어서, 제 1 수수부와 제 2 수수부의 사이에 배치되어 있어도 된다.
이 구성의 반송차 시스템에서는, 제 1 반송차는, 제 1 궤도를 일방향으로 주행하는 중에, 제 1 수수부에 있어서 제 2 반송차로부터 피반송물을 수취하여 제 3 수수부에 있어서 당해 피반송물을 전달하고, 또한, 제 3 수수부에 있어서 피반송물을 수취하여 제 2 수수부에 있어서 제 2 반송차에 당해 피반송물을 전달한다. 이와 같이, 제 1 반송차는 일련의 주행 중에 피반송물을 수취하여 피반송물을 전달한다는 동작을 반복할 수 있어, 제 1 반송차에 있어서 효율적인 반송이 가능해진다.
일실시 형태에 있어서, 제 1 수수부 및/또는 제 2 수수부는 서로 평행하게 배치된 제 1 궤도 및 제 2 궤도를 각각 주행하는 제 1 반송차 및 제 2 반송차와의 사이에서 피반송물이 수수되어도 된다. 또한, 여기서 말하는 '평행'에는 대략 평행도 포함한다.
이 구성의 반송차 시스템에 따르면, 제 1 반송차 및 제 2 반송차로부터 피반송물을 수수할 수 있는 제 1 수수부 및/또는 제 2 수수부를 용이하게 배치할 수 있다.
일실시 형태에 있어서, 제 1 반송차 및 제 2 반송차는 서로 평행하게 배치된 제 1 궤도 및 제 2 궤도를 동일한 방향으로 주행해도 된다. 또한, 여기서 말하는 '평행'에는 대략 평행도 포함한다.
일실시 형태에 있어서, 제 1 수수부 및/또는 제 2 수수부는 제 1 궤도 및 제 2 궤도의 일방의 하방으로서 제 1 궤도 및 제 2 궤도의 타방의 측방에 배치되어 있어도 된다.
이 구성의 반송차 시스템에 따르면, 반송차 시스템의 설비 면적의 스페이스를 절약할 수 있다. 또한, 제 1 수수부 및/또는 제 2 수수부에 피반송물을 수수하는 제 1 반송차 및/또는 제 2 반송차는, 승강대의 승강 및 승강대의 가로 이송의 일방을 행하는 것뿐인 간이한 제어에 의해 피반송물을 수수할 수 있다. 이에 의해, 피반송물의 수수에 필요한 시간을 짧게 할 수 있다. 또한, 제 1 반송차 또는 제 2 반송차로서 가로 이송 기구가 없는 반송차를 채용할 수 있다.
일실시 형태에 있어서, 제 1 수수부 및/또는 제 2 수수부는, 제 2 궤도의 하방으로서 제 1 궤도의 측방에 배치되어 있어도 된다.
일실시 형태에 있어서, 제 1 수수부에는 복수의 제 1 재치부(載置部)가 배치되어 있고, 제 2 반송차는, 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 제 1 재치부부터 우선적으로 피반송물을 전달하고, 제 1 반송차는, 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 제 1 재치부부터 우선적으로 피반송물을 수취해도 된다.
이 구성의 반송차 시스템에 따르면, 제 2 반송차는 빠른 단계에서 피반송물을 제 1 수수부에 전달하고, 제 1 반송차는 빠른 단계에서 제 1 수수부로부터 피반송물을 수취할 수 있다. 이에 의해, 제 2 반송차는 피반송물을 전달할 기회가 증가하고, 제 1 반송차는 피반송물을 수취할 기회가 증가하므로, 제 2 반송차로부터 제 1 반송차로 효율적인 피반송물의 수수가 가능해진다.
일실시 형태에 있어서, 제 2 수수부에는 복수의 제 2 재치부가 배치되어 있고, 제 1 반송차는 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 제 2 재치부부터 우선적으로 피반송물을 전달하고, 제 2 반송차는 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 제 2 재치부부터 우선적으로 피반송물을 수취해도 된다.
이 구성의 반송차 시스템에 따르면, 제 1 반송차는 빠른 단계에서 피반송물을 제 2 수수부에 전달하고, 제 2 반송차는 빠른 단계에서 제 2 수수부로부터 피반송물을 수취할 수 있다. 이에 의해, 제 1 반송차는 피반송물을 전달할 기회가 증가하고, 제 2 반송차는 피반송물을 수취할 기회가 증가하므로, 제 1 반송차로부터 제 2 반송차로 효율적인 피반송물의 수수가 가능해진다.
일실시 형태에 있어서, 제 2 영역에는 제 1 궤도를 따라 동일 또는 근사의 처리를 행하는 처리 장치가 배치되어 있고, 제 3 수수부를 통하여 제 1 반송차와 처리 장치의 사이에서 피반송물의 수수가 행해져도 된다.
이 구성의 반송차 시스템에 따르면, 베이 방식에 대응할 수 있는 반송차 시스템을 제공할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따르면, 반송 능력의 향상 및 반송차의 정체 완화를 도모할 수 있다.
도 1은 일실시 형태에 따른 반송차 시스템의 구성을 나타내는 구성도이다.
도 2는 도 1의 반송차 시스템의 일부 구성을 확대하여 나타낸 평면도이다.
도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선으로부터 본 정면도이다.
도 4의 (a)는 제 2 반송차의 제 1 수수부에 있어서의 피반송물의 수수 방법을 나타낸 정면도이고, 도 4의 (b)는 제 1 반송차의 제 1 수수부에 있어서의 피반송물의 수수 방법을 나타낸 정면도이다.
도 5의 (a)는 제 2 반송차의 제 2 수수부에 있어서의 피반송물의 수수 방법을 나타낸 정면도이고, 도 5의 (b)는 제 1 반송차의 제 2 수수부에 있어서의 피반송물의 수수 방법을 나타낸 정면도이다.
도 6은 도 1의 제 1 반송차 및 제 2 반송차의 구성의 일례를 나타낸 측면도이다.
도 7은 변형예 2에 따른 반송차 시스템을 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선으로부터 본 정면도이다.
도 8은 변형예 3에 따른 반송차 시스템을 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선으로부터 본 정면도이다.
이하, 도면을 참조하여 일실시 형태에 대하여 설명한다. 도면의 설명에 있어서 동일 요소에는 동일한 부호를 부여하고, 중복되는 설명을 생략한다.
도 1에 나타내어지는 바와 같이, 반송차 시스템(1)은, 동일 또는 근사의 처리를 행하는 복수의 처리 장치(11)가 배치된 에어리어(10) 사이를, 궤도를 따라 이동 가능한 제 1 반송차(40A) 및 제 2 반송차(40B)를 이용하여 피반송물(F)(예를 들면 도 3 참조)을 반송하기 위한 시스템이다. 피반송물(F)의 예는 FOUP(Front Opening Unified Pod)이다. 여기서는, 예를 들면 반도체 공장 등에 있어서, 제 1 반송차(40A) 및 제 2 반송차(40B)가 공장의 천장 등에 부설된 일방 통행의 궤도를 따라 주행하는 반송차 시스템(1)을 예로 들어 설명한다.
도 1에 나타내어지는 바와 같이, 반송차 시스템(1)은 주로 하단 궤도(제 1 궤도)(20)와, 하단 궤도(20)를 일방향으로 주행하는 제 1 반송차(40A)와, 제 3 수수부(11A)와, 하단 궤도(20)보다 상방에 설치된 상단 궤도(제 2 궤도)(30)와, 상단 궤도(30)를 일방향으로 주행하는 제 2 반송차(40B)와, 제 1 수수부(13)와, 제 2 수수부(15)와, 시스템 컨트롤러(80)를 구비하고 있다. 에어리어(10)는, 제 1 수수부(13) 및 제 2 수수부(15)가 배치되는 제 1 영역(10A)과, 처리 장치(11) 및 제 3 수수부(11A)가 배치되는 제 2 영역(10B)을 가지고 있다.
하단 궤도(20)는 하단 인트라베이 루트(20A)와, 하단 인터베이 루트(20B)와, 연락 루트(20C)를 가지고 있다. 하단 인트라베이 루트(20A)는 에어리어(10) 내에 배치되고, 일방향으로 주회하는 궤도이다. 에어리어(10) 내에 배치되는 복수의 처리 장치(11)는, 하단 인트라베이 루트(20A)를 따라 배치되어 있다. 하단 인터베이 루트(20B)는, 서로 상이한 에어리어(10) 내에 배치되는 하단 인트라베이 루트(20A)끼리를 접속하는 궤도이다. 연락 루트(20C)는 하단 인트라베이 루트(20A)와 하단 인터베이 루트(20B)를 접속하는 궤도이다. 하단 궤도(20)에는 복수의 제 1 반송차(40A)가 주행한다. 하단 인트라베이 루트(20A)는 제 1 영역(10A)과 제 2 영역(10B)에 걸쳐 배치되어 있다. 하단 인트라베이 루트(20A)를 주행하는 제 1 반송차(40A) 주행 방향에 있어서, 제 2 수수부(15)가 제 1 수수부(13)의 상류측에 배치되어 있다. 즉, 제 1 영역(10A) 내의 하단 인트라베이 루트(20A)는, 제 1 반송차(40A)의 주행 방향에 있어서 제 2 수수부(15), 제 1 수수부(13)의 순서대로 통과하도록 배치되어 있다.
제 3 수수부(11A)는 처리 장치(11)와 제 1 반송차(40A)의 사이에서 피반송물(F)을 수수하는 포트이다. 제 3 수수부(11A)는 복수의 처리 장치(11)의 각각의 전방에 배치되어 있다.
상단 궤도(30)는 하단 궤도(20)의 상방에 배치된 궤도이고, 상단 인터베이 루트(30A)와 진입부(30B)를 가지고 있다. 상단 인터베이 루트(30A)는 에어리어(10) 사이를 접속하는 궤도이다. 진입부(30B)는 상단 인터베이 루트(30A)로부터 분기하여 에어리어(10) 내의 제 1 영역(10A)의 일부에 진입하고, 다시 상단 인터베이 루트(30A)로 되돌아가는 궤도이다. 상단 궤도(30)에는 복수의 제 2 반송차(40B)가 주행한다. 진입부(30B)를 주행하는 제 2 반송차(40B)의 주행 방향에 있어서, 제 1 수수부(13)가 제 2 수수부(15)의 상류측에 배치되어 있다. 즉, 제 1 영역(10A) 내의 진입부(30B)는, 제 2 반송차(40B)의 주행 방향에 있어서 제 1 수수부(13), 제 2 수수부(15)의 순서대로 통과하도록 배치되어 있다.
또한, 상세는 후술하지만, 에어리어 사이에서 피반송물(F)을 반송할 때에는, 원칙적으로 상단 인터베이 루트(30A)를 주행하는 제 2 반송차(40B)에 의해 행한다. 하단 인터베이 루트(20B)는 원칙적으로 통상 반송 시에는 사용하지 않고, 예를 들면 상단 인터베이 루트(30A)가 사용 불가능이 된 경우 등의 비상시에 있어서 사용하도록 한다. 이와 같이 통상 반송 시에는, 하단 궤도(20)를 인트라베이 반송용으로서, 상단 궤도(30)를 인터베이 반송용으로서 각각 이용하도록 하고 있으므로, 인트라베이 루트에 있어서의 정체를 완화할 수 있다.
또한, 상단 인터베이 루트(30A)는 하단 인터베이 루트(20B)의 상방에 배치되어 있지만, 도 1 및 도 2에서는 설명의 편의 상, 하단 인터베이 루트(20B) 및 상단 인터베이 루트(30A)를 좌우로 나열하여 기재(도 1 및 도 2의 우측)하고 있다.
제 1 수수부(13)는, 제 2 반송차(40B)로부터 피반송물(F)이 전달되고 또한 제 1 반송차(40A)에 의해 피반송물(F)이 수취되는 포트이다. 제 1 수수부(13)는, 도시하지 않은 천장으로부터의 현수 부재에 의해 현수되어 있다. 즉, 도 3에 나타내어지는 바와 같이, 제 1 수수부(13)는 바닥면(14)으로부터 떨어진 위치에 마련되어 있다. 제 1 수수부(13)는, 평면에서 본 경우에 서로 평행하게 배치된 하단 인트라베이 루트(20A) 및 진입부(30B)를 각각 주행하는 제 1 반송차(40A) 및 제 2 반송차(40B)와의 사이에서 피반송물(F)이 수수된다.
도 2에 나타내어지는 바와 같이, 제 1 수수부(13)는 일방향(제 2 반송차(40B)의 주행 방향)을 따라 복수(본 실시 형태에서는 5 개)의 제 1 재치부(13A ~ 13E)가 배치되어 있다. 진입부(30B)를 주행하여 에어리어(10)에 진입한 제 2 반송차(40B)는, 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 제 1 재치부(13A)부터 우선적으로 피반송물(F)을 전달한다. 또한, 제 1 반송차(40A)는, 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 제 1 재치부(13A)부터 우선적으로 피반송물(F)을 수취한다.
또한, 도 3에 나타내어지는 바와 같이, 제 1 수수부(13)는, 진입부(30B)를 주행하는 제 2 반송차(40B)의 하방에 배치되고, 하단 인트라베이 루트(20A)를 주행하는 제 1 반송차(40A)의 측방에 배치되어 있다. 또한, 제 1 반송차(40A) 및 제 2 반송차(40B)는, 평면에서 본 경우에, 서로 평행하게 배치된 하단 인트라베이 루트(20A) 및 진입부(30B)를 동일한 방향으로 주행한다.
제 2 반송차(40B)로부터 제 1 반송차(40A)로의 피반송물(F)의 수수 방법은 하기와 같다. 즉, 도 4의 (a)에 나타내어지는 바와 같이, 진입부(30B)를 주행하는 제 2 반송차(40B)는 제 1 수수부(13)(예를 들면, 제 1 재치부(13A))의 상방에서 정지한다. 제 2 반송차(40B)는, 후단에서 상술(詳述)하는 승강 구동부(43)를 구동하여, 제 1 재치부(13A)에 피반송물(F)을 재치한다. 이에 의해, 제 2 반송차(40B)로부터 제 1 수수부(13)로의 피반송물의 전달이 완료된다.
다음에, 하단 인트라베이 루트(20A)를 주행하는 제 1 반송차(40A)는, 도 4의 (b)에 나타내어지는 바와 같이, 제 1 수수부(13)(예를 들면, 제 1 재치부(13A))의 측방에서 정지한다. 제 1 반송차(40A)는, 후단에서 상술하는 래터럴 드라이브(41) 및 승강 구동부(43)(도 6 참조)를 구동하여, 제 1 재치부(13A)로부터 피반송물(F)을 수취한다. 이에 의해, 제 1 수수부(13)로부터 제 1 반송차(40A)로의 피반송물(F)의 전달이 완료된다. 즉, 제 2 반송차(40B)로부터 제 1 반송차(40A)로의 피반송물(F)의 전달이 완료된다.
도 1로 되돌아가서, 제 2 수수부(15)는, 제 1 반송차(40A)로부터 피반송물(F)이 전달되고, 또한 제 2 반송차(40B)에 의해 피반송물(F)이 수취되는 포트이다. 제 2 수수부(15)는, 도시하지 않은 천장으로부터의 현수 부재에 의해 현수되어 있다. 즉, 도 3에 나타내어지는 바와 같이, 제 2 수수부(15)는 바닥면(14)으로부터 떨어진 위치에 마련되어 있다. 제 2 수수부(15)는, 평면에서 본 경우에 서로 평행하게 배치된 하단 인트라베이 루트(20A) 및 진입부(30B)를 각각 주행하는 제 1 반송차(40A) 및 제 2 반송차(40B)와의 사이에서 피반송물(F)이 수수된다.
도 2에 나타내어지는 바와 같이, 제 2 수수부(15)는 일방향을 따라 복수(본 실시 형태에서는 5 개)의 제 2 재치부(15A ~ 15E)가 배치되어 있다. 예를 들면, 처리 장치(11)에 의해 처리된 피반송물(F)을 제 3 수수부(11A)로부터 수취한 제 1 반송차(40A)는, 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 제 2 재치부(15A)부터 우선적으로 피반송물(F)을 전달한다. 또한, 제 2 반송차(40B)는, 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 제 2 재치부(15A)부터 우선적으로 피반송물(F)을 수취한다.
또한, 도 3에 나타내어지는 바와 같이, 제 2 수수부(15)는, 진입부(30B)를 주행하는 제 2 반송차(40B)의 하방에 배치되고, 하단 인트라베이 루트(20A)를 주행하는 제 1 반송차(40A)의 측방에 배치되어 있다. 또한, 제 1 반송차(40A) 및 제 2 반송차(40B)는, 평면에서 본 경우에 서로 평행하게 배치된 하단 인트라베이 루트(20A) 및 진입부(30B)를 동일한 방향으로 주행한다.
제 1 반송차(40A)로부터 제 2 반송차(40B)로의 피반송물(F)의 수수 방법은 하기와 같다. 즉, 도 5의 (a)에 나타내어지는 바와 같이, 하단 인트라베이 루트(20A)를 주행하는 제 1 반송차(40A)는 제 2 수수부(15)(예를 들면, 제 2 재치부(15A))의 측방에서 정지한다. 제 1 반송차(40A)는, 후단에서 상술하는 래터럴 드라이브(41) 및 승강 구동부(43)(도 6 참조)를 구동하여, 제 2 재치부(15A)에 피반송물(F)을 전달한다. 이에 의해, 제 1 반송차(40A)로부터 제 2 수수부(15)로의 피반송물(F)의 전달이 완료된다.
다음에, 진입부(30B)를 주행하는 제 2 반송차(40B)는, 도 5의 (b)에 나타내어지는 바와 같이, 제 2 수수부(15)(예를 들면, 제 2 재치부(15A))의 상방에서 정지한다. 제 2 반송차(40B)는, 후단에서 상술하는 승강 구동부(43)를 구동하여, 제 2 재치부(15A)로부터 피반송물(F)을 수취한다. 이에 의해, 제 2 수수부(15)로부터 제 2 반송차(40B)로의 피반송물(F)의 전달이 완료된다. 즉, 제 1 반송차(40A)로부터 제 2 반송차(40B)로의 피반송물(F)의 전달이 완료된다.
다음에, 하단 궤도(20) 및 상단 궤도(30)를 각각 주행하는 제 1 반송차(40A) 및 제 2 반송차(40B)의 구성에 대하여 설명한다. 제 1 반송차(40A) 및 제 2 반송차(40B)는, 피반송물(F)을 현수한 상태로 파지하여 반송하는 OHT(Overhead Hoist Transport)이다. 도 6에 나타내어지는 바와 같이, 제 1 반송차(40A) 및 제 2 반송차(40B)는 래터럴 드라이브(41)와, θ 드라이브(42)와, 승강 구동부(43)와, 승강대(44)를 가지고 있다.
래터럴 드라이브(41)는, 수평면 내에서 주행 레일(하단 궤도(20) 및 상단 궤도(30))에 직교하는 방향으로 θ 드라이브(42), 승강 구동부(43) 및 승강대(44)를 이동시키는 부분이다. θ 드라이브(42)는, 수평면 내에서 승강 구동부(43) 및 승강대(44)를 회동(回動)시키는 부분이다.
승강 구동부(43)는, 벨트(45)의 감기 및 풀기에 의해 승강대(44)를 승강시키는 부분이다. 또한, 승강 구동부(43)에 있어서의 벨트(45)는 와이어 및 로프 등, 적당한 현수 부재를 이용해도 된다. 승강대(44)의 하부에는 피반송물(F)을 파지하기 위한 척(46)이 마련되어 있다. 제 1 반송차(40A) 및 제 2 반송차(40B)의 전후에 각각 마련된 프런트 프레임(47A) 및 리어 프레임(47B)은, 도시하지 않은 낙하 방지편을 피반송물(F)의 하측으로 진퇴시킴으로써, 피반송물(F)의 낙하를 방지한다.
도 1에 나타내어지는 바와 같이, 시스템 컨트롤러(80)는 반송차 시스템(1) 전체에 있어서의 각종 제어 처리를 실행하는 부분이며, 예를 들면, CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory) 및 RAM(Random Access Memory) 등으로 이루어지는 전자 제어 유닛이다.
본 실시 형태에서는, 시스템 컨트롤러(80)는, 예를 들면, 제 2 반송차(40B)에 대하여, 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 제 1 재치부(13A)부터 우선적으로 피반송물(F)을 전달하도록 제어하거나, 제 1 반송차(40A)에 대하여, 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 제 1 재치부(13A)부터 우선적으로 피반송물(F)을 수취하도록 제어한다. 또한, 시스템 컨트롤러(80)는, 예를 들면, 제 1 반송차(40A)에 대하여, 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 제 2 재치부(15A)부터 우선적으로 피반송물(F)을 전달하도록 제어하거나, 제 2 반송차(40B)에 대하여, 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 제 2 재치부(15A)부터 우선적으로 피반송물(F)을 수취하도록 제어한다.
다음에, 상기 실시 형태의 반송차 시스템(1)의 작용 효과에 대하여 설명한다. 상기 실시 형태의 반송차 시스템(1)에 따르면, 제 1 반송차(40A)를 에어리어 내 반송 전용으로서, 제 2 반송차(40B)를 에어리어 사이 반송 전용으로서 각각 이용할 수 있으므로, 제 1 반송차(40A)가 에어리어 사이를 주행하는 경우 및 제 2 반송차(40B)가 에어리어 내를 주행하는 경우는 없다. 즉, 제 1 반송차(40A)와 제 2 반송차(40B)로 각각 역할 분담을 할 수 있어, 에어리어 내를 주행하는 제 1 반송차(40A)의 대차수를 증감없이 상시 일정하게 할 수 있다. 이에 의해, 제 1 반송차(40A) 및 제 2 반송차(40B)를 효율 좋게 주행시킬 수 있어, 정체를 완화할 수 있다. 상기 실시 형태의 반송차 시스템(1)에 따르면, 제 1 반송차(40A)는, 하단 인트라베이 루트(20A)를 일방향으로 주행하는 중에, 제 1 수수부(13)에 있어서 제 2 반송차(40B)로부터 피반송물(F)을 수취하여, 제 3 수수부(11A)에 있어서 당해 피반송물(F)을 전달하고, 또한, 제 3 수수부(11A)에 있어서 피반송물(F)을 수취하여, 제 2 수수부(15)에 있어서 제 2 반송차(40B)에 당해 피반송물(F)을 전달한다. 또한, 마찬가지로 제 2 반송차(40B)는, 진입부(30B)를 일방향으로 주행하는 중에, 제 1 수수부(13)에 있어서 제 1 반송차(40A)에 피반송물(F)을 전달하고, 또한, 제 2 수수부(15)에 있어서 제 1 반송차(40A)로부터 당해 피반송물(F)을 수취한다. 이와 같이, 제 1 반송차(40A) 및 제 2 반송차(40B)는 일련의 주행 중에 피반송물(F)을 수취하여 피반송물(F)을 전달한다는 동작을 반복하므로, 제 1 반송차(40A) 및 제 2 반송차(40B)에 있어서 효율적인 반송이 가능해진다. 이 결과, 반송 능력의 향상 및 반송차의 정체 완화를 도모할 수 있다.
상기 실시 형태의 반송차 시스템(1)에서는, 제 1 수수부(13) 및 제 2 수수부(15)는, 서로 평행하게 배치된 하단 인트라베이 루트(20A) 및 진입부(30B)를 각각 주행하는 제 1 반송차(40A) 및 제 2 반송차(40B)와의 사이에서 피반송물(F)이 수수된다. 이에 의해, 제 1 반송차(40A) 및 제 2 반송차(40B)로부터 피반송물(F)을 수수할 수 있는 제 1 수수부(13) 및 제 2 수수부(15)를 용이하게 배치할 수 있다.
상기 실시 형태의 반송차 시스템(1)에서는, 제 1 수수부(13) 및 제 2 수수부(15)는, 진입부(30B)를 주행하는 제 2 반송차(40B)의 하방에 배치되고, 하단 인트라베이 루트(20A)를 주행하는 제 1 반송차(40A)의 측방에 배치되어 있으므로, 반송차 시스템(1) 전체의 설비 면적의 스페이스를 절약할 수 있다. 또한, 제 1 반송차(40A)는 승강대의 가로 이송을 행하는 것뿐인 간이한 제어에 의해 제 1 수수부(13) 및 제 2 수수부(15)에 대하여 피반송물(F)의 수수를 행할 수 있고, 또한, 제 2 반송차(40B)는 승강대의 승강만을 행하는 간이한 제어에 의해 제 1 수수부(13) 및 제 2 수수부(15)에 대하여 피반송물(F)의 수수를 행할 수 있으므로, 피반송물(F)의 수수에 필요한 시간을 짧게 할 수 있다.
상기 실시 형태의 반송차 시스템(1)에서는, 제 1 수수부(13)에는 복수의 제 1 재치부(13A, 13B, 13C, 13D, 13E)가 배치되어 있고, 제 2 반송차(40B)는 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 제 1 재치부(13A)부터 우선적으로 피반송물(F)을 전달하고, 제 1 반송차(40A)는 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 제 1 재치부(13A)부터 우선적으로 피반송물을 수취하고 있다. 이에 의해, 제 2 반송차(40B)는 빠른 단계에서 피반송물(F)을 제 1 수수부(13)에 전달하고, 제 1 반송차(40A)는 빠른 단계에서 제 1 수수부(13)로부터 피반송물(F)을 수취할 수 있다. 이 결과, 제 2 반송차(40B)는 피반송물(F)을 전달할 기회가 증가하고, 제 1 반송차(40A)는 피반송물(F)을 수취할 기회가 증가하므로, 제 2 반송차(40B)로부터 제 1 반송차(40A)로 효율적인 피반송물(F)의 수수가 가능해진다.
상기 실시 형태의 반송차 시스템(1)에서는, 제 2 수수부(15)에는 복수의 제 2 재치부(15A, 15B, 15C, 15D, 15E)가 배치되어 있고, 제 1 반송차(40A)는 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 제 2 재치부(15A)부터 우선적으로 피반송물(F)을 전달하고, 제 2 반송차(40B)는 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 제 2 재치부(15A)부터 우선적으로 피반송물을 수취하고 있다. 이에 의해, 제 1 반송차(40A)는 빠른 단계에서 피반송물(F)을 제 2 수수부(15)에 전달하고, 제 2 반송차(40B)는 빠른 단계에서 제 2 수수부(15)로부터 피반송물(F)을 수취할 수 있다. 이 결과, 제 1 반송차(40A)는 피반송물(F)을 전달할 기회가 증가하고, 제 2 반송차(40B)는 피반송물(F)을 수취할 기회가 증가하므로, 제 1 반송차(40A)로부터 제 2 반송차(40B)로 효율적인 피반송물(F)의 수수가 가능해진다.
이상, 본 발명의 일실시 형태에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다.
<변형예 1>
상기 실시 형태의 반송차 시스템(1)에서는, 하단 궤도(20)를 주행하는 제 1 반송차(40A) 및 상단 궤도(30)를 주행하는 제 2 반송차(40B)의 양방이 래터럴 드라이브(41)를 구비하고 있는 예, 즉, 피반송물(F)을 궤도와 직교하는 방향으로 가로 이송하는 기구를 구비하고 있는 예를 들어 설명하였다. 그러나, 제 1 수수부(13) 및 제 2 수수부(15)가 상단 궤도(30)를 주행하는 제 2 반송차(40B)의 하방에 배치되어 있는 본 실시 형태에 있어서는, 제 2 반송차(40B)는 래터럴 드라이브(41)를 구비하지 않는 구성으로 해도 된다. 이 경우에는 반송차 시스템(1)을 저렴하게 구성할 수 있다.
<변형예 2>
또한, 상기 실시 형태 또는 변형예의 구성 대신에, 예를 들면, 도 7에 나타내어지는 바와 같이, 제 1 수수부(13) 및 제 2 수수부(15)를 복수의 에어리어(10) 사이를 접속하는 제 2 궤도(130)를 주행하는 제 2 반송차(40B)의 측방에 배치하고, 에어리어(10)를 주회하는 제 1 궤도(120)를 주행하는 제 1 반송차(40A)의 하방에 배치해도 된다. 이 경우, 제 3 수수부(11A)를, 제 1 궤도(120)를 주행하는 제 1 반송차(40A)의 하방에 배치하면, 제 1 반송차(40A)는 래터럴 드라이브(41)를 구비하지 않는 구성으로 해도 된다. 이 경우에는 반송차 시스템(1)을 저렴하게 구성할 수 있다.
<변형례 3>
또한, 상기 실시 형태 또는 변형예의 구성 대신에, 예를 들면, 도 8에 나타내어지는 바와 같이, 제 1 수수부(13) 및 제 2 수수부(15)의 각각을, 복수의 에어리어(10) 사이를 접속하는 제 2 궤도(230)를 주행하는 제 2 반송차(40B) 및 에어리어(10)를 주회하는 제 1 궤도(220)를 주행하는 제 1 반송차(40A)의 측방에 배치해도 된다.
1 : 반송차 시스템
10 : 에어리어
10A : 제 1 영역
10B : 제 2 영역
11 : 처리 장치
11A : 제 3 수수부
13 : 제 1 수수부
13A ~ 13E : 제 1 재치부
15 : 제 2 수수부
15A ~ 15E : 제 2 재치부
20 : 하단 궤도(제 1 궤도)
20A : 하단 인트라베이 루트
20B : 하단 인터베이 루트
20C : 연락 루트
30 : 상단 궤도(제 2 궤도)
30A : 상단 인터베이 루트
30B : 진입부
40A : 제 1 반송차
40B : 제 2 반송차
80 : 시스템 컨트롤러
120, 220 : 제 1 궤도
130, 230 : 제 2 궤도
F : 피반송물

Claims (9)

  1. 복수의 에어리어 내를 각각 주회하는 주회 궤도를 이루는 제 1 궤도와,
    상기 제 1 궤도를 일방향으로 주행하는 제 1 반송차와,
    복수의 상기 에어리어 사이를 접속하는 제 2 궤도와,
    상기 제 2 궤도를 일방향으로 주행하는 제 2 반송차와,
    상기 제 2 반송차로부터 피반송물이 전달되고 또한 상기 제 1 반송차에 의해 상기 피반송물이 수취되는 제 1 수수부와,
    상기 제 1 반송차로부터 상기 피반송물이 전달되고 또한 상기 제 2 반송차에 의해 상기 피반송물이 수취되는 제 2 수수부를 구비하고,
    상기 에어리어는 각각 제 1 영역과 제 2 영역을 가지고,
    상기 제 1 궤도는 상기 제 1 영역과 상기 제 2 영역에 걸쳐 배치되며,
    상기 제 1 영역 내에는 상기 제 1 수수부 및 상기 제 2 수수부가 배치되고, 상기 제 2 영역 내에는 상기 제 1 반송차와의 사이에서 상기 피반송물을 수수 가능한 제 3 수수부가 배치되고,
    상기 제 1 영역 내의 상기 제 1 궤도는, 상기 제 1 반송차의 주행 방향에 있어서, 상기 제 2 수수부, 상기 제 1 수수부의 순서대로 통과하도록 배치되고,
    상기 제 1 영역 내의 상기 제 2 궤도는, 상기 제 2 반송차의 주행 방향에 있어서, 상기 제 1 수수부, 상기 제 2 수수부의 순서대로 통과하도록 배치되어 있는, 반송차 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 3 수수부는, 상기 제 1 궤도를 따르는 방향에 있어서, 상기 제 1 수수부와 상기 제 2 수수부의 사이에 배치되어 있는, 반송차 시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 수수부 및/또는 상기 제 2 수수부는 서로 평행하게 배치된 상기 제 1 궤도 및 상기 제 2 궤도를 각각 주행하는 상기 제 1 반송차 및 상기 제 2 반송차와의 사이에서 상기 피반송물이 수수되는, 반송차 시스템.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 반송차 및 상기 제 2 반송차는 서로 평행하게 배치된 상기 제 1 궤도 및 상기 제 2 궤도를 동일한 방향으로 주행하는, 반송차 시스템.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 수수부 및/또는 상기 제 2 수수부는 상기 제 1 궤도 및 상기 제 2 궤도의 일방의 하방으로서 상기 제 1 궤도 및 상기 제 2 궤도의 타방의 측방에 배치되어 있는, 반송차 시스템.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 수수부 및/또는 상기 제 2 수수부는 상기 제 2 궤도의 하방으로서 상기 제 1 궤도의 측방에 배치되어 있는, 반송차 시스템.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 수수부에는 복수의 제 1 재치부가 배치되어 있고,
    상기 제 2 반송차는, 상기 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 상기 제 1 재치부부터 우선적으로 상기 피반송물을 전달하고,
    상기 제 1 반송차는 상기 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 상기 제 1 재치부부터 우선적으로 상기 피반송물을 수취하는, 반송차 시스템.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 2 수수부에는 복수의 제 2 재치부가 배치되어 있고,
    상기 제 1 반송차는 상기 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 상기 제 2 재치부부터 우선적으로 상기 피반송물을 전달하고,
    상기 제 2 반송차는 상기 일방향에 있어서 상류측에 배치되는 상기 제 2 재치부부터 우선적으로 상기 피반송물을 수취하는, 반송차 시스템.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 2 영역에는 상기 제 1 궤도를 따라 동일 또는 근사의 처리를 행하는 처리 장치가 배치되어 있고, 상기 제 3 수수부를 통하여 상기 제 1 반송차와 상기 처리 장치의 사이에서 상기 피반송물의 수수가 행해지는, 반송차 시스템.
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