JP6690497B2 - 物品搬送設備 - Google Patents

Description

本発明は、走行経路に沿って走行して物品を搬送する搬送車と、物品を保管する保管装置と、を備えた物品搬送設備に関する。

上記のような物品搬送設備として、特開２０１０−２２８６７３号公報（特許文献１）に記載された物品搬送設備が知られている。具体的には、特許文献１に記載の物品搬送設備では、搬送車（３）の走行経路（Ｓ）が、物品を保管する保管部（２４）を経由するメイン経路（２０）と、メイン経路（２０）の互いに異なる位置においてメイン経路（２０）に連結される複数のサブ経路（２１）とを備え、複数のサブ経路（２１）のそれぞれが、物品の処理を行う物品処理部（１）を経由するように設定されている。そして、搬送車（３）が、メイン経路（２０）からサブ経路（２１）への分岐走行や、サブ経路（２１）からメイン経路（２０）への合流走行を行いながら、複数の物品処理部（１）の間で物品を搬送するように構成されている。

特開２０１０−２２８６７３号公報

ところで、特許文献１に記載されているような物品搬送設備では、一般に、保管部（２４）のような保管装置には、物品処理部（１）のような処理装置にて処理が行われた後の物品が搬入され、別の処理装置（例えば、次の工程の処理を行う処理装置）への搬送のために搬出されるまでの間、当該物品が保管装置にて一時的に保管される。そのため、処理装置による物品の処理効率の向上の観点から、保管装置と処理装置との間での物品の搬送に要する時間をできるだけ短く抑えることが望ましい。また、設備全体での物品の搬送効率の向上の観点から、保管装置と処理装置との間で物品を搬送する搬送車が、他の搬送車の走行の妨げとなることを、できるだけ回避できることも望まれる。

しかしながら、特許文献１に記載の構成では、保管部（２４）から物品処理部（１）に物品を搬送する際には、搬送車（３）が、メイン経路（２０）、連結経路（分岐経路）、及びサブ経路（２１）を順に走行しなければならず、物品処理部（１）から保管部（２）に物品を搬送する際には、搬送車（３）が、サブ経路（２１）、連結経路（合流経路）、及びメイン経路（２０）を順に走行しなければならない。そのため、走行経路（Ｓ）のレイアウトによっては保管部（２４）と物品処理部（１）との間で物品を搬送する際の搬送車（３）の走行距離が長くなると共に、他の経路への合流走行の際等に他の搬送車（３）の存在により円滑な走行を妨げられる可能性もあり、保管部（２４）と物品処理部（１）との間での物品の搬送に要する時間が長くなるおそれがある。また、保管部（２４）と物品処理部（１）との間で物品を搬送する際に搬送車（３）が複数の経路を順に走行する必要があるため、当該搬送車（３）の存在により円滑な走行を直接的に又は間接的に妨げられる搬送車（３）の数が多くなりやすく、その分だけ設備全体での物品の搬送効率が低下するおそれもある。

そこで、保管装置と処理装置との間での物品の搬送に要する時間の短縮を図りつつ、設備全体での物品の搬送効率の低下を抑制することが可能な物品搬送設備の実現が望まれる。

上記に鑑みた物品搬送設備の特徴構成は、１つの態様として、走行経路に沿って走行して物品を搬送する搬送車と、物品を保管する保管装置と、を備え、前記走行経路が、前記保管装置を経由する第一経路と、前記第一経路の互いに異なる位置において前記第一経路に連結される複数の第二経路と、を備え、前記複数の第二経路のそれぞれは、物品の処理を行う少なくとも１つの処理装置を経由するように設定される物品搬送設備であって、前記第一経路は、平面視で前記保管装置を内部に含む環状に形成され、前記第二経路は、平面視で環状の前記第一経路の外側に配置され、前記保管装置との連結部を有すると共に、前記保管装置に搬入する物品又は前記保管装置から搬出する物品を搬送する搬送装置を前記搬送車とは別に備え、前記第一経路に対して当該経路の幅方向の一方側及び他方側をそれぞれ第一側及び第二側として、前記第一経路に対して前記第一側に前記連結部が配置されると共に、前記第一経路に対して前記第二側に、前記複数の第二経路の内の１つである対象経路が配置され、前記搬送装置による物品の搬送経路は、前記第一経路に対して平面視で交差して、前記連結部から前記第一経路に対して前記第二側まで延びるように配置され、前記搬送経路における前記第一経路に対して前記第二側に配置される部分に、前記対象経路を走行する前記搬送車によって物品が移載される第一移載部が設定されている点にある。

上記の特徴構成によれば、保管装置と、対象経路が経由する処理装置（以下、単に「処理装置」という。）との間で物品を搬送する際に、搬送装置によって保管装置との連結部と第一移載部との間で物品を搬送することができるため、搬送車による物品の搬送を、対象経路内での搬送に限定することができる。よって、保管装置と処理装置との間の物品の搬送距離を短く抑えることや、当該物品を搬送する搬送車の円滑な走行を確保することが可能となり、この結果、保管装置と処理装置との間での物品の搬送に要する時間の短縮を図ることができる。また、保管装置と処理装置との間で物品を搬送するための搬送車による物品の搬送が、対象経路内での搬送に限定されるため、当該搬送車の存在により円滑な走行を妨げられる他の搬送車の数を少なく抑えて、設備全体での物品の搬送効率の低下を抑制することもできる。
以上のように、上記の特徴構成によれば、保管装置と処理装置との間での物品の搬送に要する時間の短縮を図りつつ、設備全体での物品の搬送効率の低下を抑制することが可能な物品処理設備を実現することができる。

また、上記に鑑みた物品搬送設備の特徴構成は、別の態様として、走行経路に沿って走行して物品を搬送する搬送車と、物品を保管する保管装置と、を備え、前記走行経路が、前記保管装置を経由する第一経路と、前記第一経路の互いに異なる位置において前記第一経路に連結される複数の第二経路と、を備え、前記複数の第二経路のそれぞれは、物品の処理を行う少なくとも１つの処理装置を経由するように設定される物品搬送設備であって、前記保管装置との連結部を有すると共に、前記保管装置に搬入する物品又は前記保管装置から搬出する物品を搬送する搬送装置を前記搬送車とは別に備え、前記第一経路に対して当該経路の幅方向の一方側及び他方側をそれぞれ第一側及び第二側として、前記第一経路に対して前記第一側に前記連結部が配置されると共に、前記第一経路に対して前記第二側に、前記複数の第二経路の内の１つである対象経路が配置され、前記搬送装置による物品の搬送経路は、前記第一経路に対して平面視で交差して、前記連結部から前記第一経路に対して前記第二側まで延びるように配置され、前記搬送経路における前記第一経路に対して前記第二側に配置される部分に、前記対象経路を走行する前記搬送車によって物品が移載される第一移載部が設定され、前記搬送経路における平面視で前記第一経路と重複する位置に、前記第一経路を走行する前記搬送車によって物品が移載される第二移載部が設定されている点にある。

上記の特徴構成によれば、保管装置と、対象経路が経由する処理装置（以下、単に「処理装置」という。）との間で物品を搬送する際に、搬送装置によって保管装置との連結部と第一移載部との間で物品を搬送することができるため、搬送車による物品の搬送を、対象経路内での搬送に限定することができる。よって、保管装置と処理装置との間の物品の搬送距離を短く抑えることや、当該物品を搬送する搬送車の円滑な走行を確保することが可能となり、この結果、保管装置と処理装置との間での物品の搬送に要する時間の短縮を図ることができる。また、保管装置と処理装置との間で物品を搬送するための搬送車による物品の搬送が、対象経路内での搬送に限定されるため、当該搬送車の存在により円滑な走行を妨げられる他の搬送車の数を少なく抑えて、設備全体での物品の搬送効率の低下を抑制することもできる。
さらに、この構成によれば、第一経路を走行する搬送車と対象経路を走行する搬送車との間で、搬送装置を介して物品を受け渡すことができる。よって、処理装置を物品の搬送元又は搬送先とする搬送指令を受けて第一経路を走行する搬送車を対象経路に進入させることなく、搬送装置と対象経路を走行する搬送車とを利用して、第一経路を走行する搬送車と処理装置との間で物品を受け渡すことが可能となる。この結果、対象経路における搬送車の渋滞の発生を抑制しつつ、第一経路を走行する搬送車と処理装置との間で物品を受け渡すことが可能となる。
以上のように、上記の特徴構成によれば、保管装置と処理装置との間での物品の搬送に要する時間の短縮を図りつつ、設備全体での物品の搬送効率の低下を抑制することが可能な物品処理設備を実現することができる。

ここで、物品搬送設備が、前記保管装置との連結部を有すると共に、前記保管装置に搬入する物品又は前記保管装置から搬出する物品を搬送する搬送装置を前記搬送車とは別に備え、前記第一経路に対して当該経路の幅方向の一方側及び他方側をそれぞれ第一側及び第二側として、前記第一経路に対して前記第一側に前記連結部が配置されると共に、前記第一経路に対して前記第二側に、前記複数の第二経路の内の１つである対象経路が配置され、前記搬送装置による物品の搬送経路は、前記第一経路に対して平面視で交差して、前記連結部から前記第一経路に対して前記第二側まで延びるように配置され、前記搬送経路における前記第一経路に対して前記第二側に配置される部分に、前記対象経路を走行する前記搬送車によって物品が移載される第一移載部が設定され、前記搬送経路における平面視で前記第一経路と重複する位置に、前記第一経路を走行する前記搬送車によって物品が移載される第二移載部が設定されている場合、さらに、前記搬送経路に、前記第一移載部に加えて、前記第一経路を走行する前記搬送車によって物品が移載される第二移載部が設定されていると好適である。
この構成によれば、第一経路を走行する搬送車と対象経路を走行する搬送車との間で、搬送装置を介して物品を受け渡すことができる。よって、処理装置を物品の搬送元又は搬送先とする搬送指令を受けて第一経路を走行する搬送車を対象経路に進入させることなく、搬送装置と対象経路を走行する搬送車とを利用して、第一経路を走行する搬送車と処理装置との間で物品を受け渡すことが可能となる。この結果、対象経路における搬送車の渋滞の発生を抑制しつつ、第一経路を走行する搬送車と処理装置との間で物品を受け渡すことが可能となる。

上記のように、前記搬送経路に前記第一移載部に加えて前記第二移載部が設定される構成において、設備全体における物品の搬送を制御する第一制御装置と、前記保管装置において物品を搬送する保管用搬送装置の作動を前記第一制御装置からの指令に応じて制御する第二制御装置と、前記搬送装置の作動を制御する第三制御装置と、を備え、前記第三制御装置は、第一制御モード及び第二制御モードで前記搬送装置の作動を制御し、前記第一制御モードは、前記保管装置に搬入する物品又は前記保管装置から搬出する物品を搬送するために、前記第二制御装置からの指令に応じて前記搬送装置の作動を制御する制御モードであり、前記第二制御モードは、前記第一移載部と前記第二移載部との間で物品を搬送するために、前記第一制御装置からの指令に応じて前記搬送装置の作動を制御する制御モードであると好適である。
この構成によれば、第二制御装置の異常や保管装置の異常（例えば、保管用搬送装置の異常）により保管装置に対する物品の搬入や保管装置からの物品の搬出が行えない事態が発生した場合であっても、搬送装置の制御モードを第一制御モードから第二制御モードに切り替えることで、第一経路を走行する搬送車と対象経路を走行する搬送車との間で、搬送装置を介して物品を受け渡すことができる。よって、上記のような事態が発生した場合であっても、上述したように、対象経路における搬送車の渋滞の発生を抑制しつつ、第一経路を走行する搬送車と処理装置との間で物品を受け渡すことが可能となる。

ここで、前記搬送装置は、前記保管装置から搬出する物品を前記連結部から前記第一移載部まで搬送すると好適である。
この構成によれば、保管装置に保管されている物品を処理装置に搬送する際に、搬送装置と対象経路を走行する搬送車によって、当該物品を速やかに処理装置に搬送することができる。よって、処理装置による物品の処理効率の向上を図ることができる。

また、前記対象経路は、平面視で環状に形成される環状経路と、前記第一経路と前記環状経路とを連結する経路であって、前記搬送車を前記第一経路から前記対象経路に分岐走行させる分岐経路と、前記第一経路と前記環状経路とを連結する経路であって、前記搬送車を前記対象経路から前記第一経路に合流走行させる合流経路と、を備え、前記環状経路における前記分岐経路と前記合流経路とを連結する２つの区間の一方及び他方をそれぞれ第一区間及び第二区間として、前記第一区間及び前記第二区間のうちの前記第一区間のみが、少なくとも１つの前記処理装置を経由するように配置され、前記第一移載部において物品の移載を行うための前記搬送車の停止位置が、前記第二区間内に設定されていると好適である。
対象経路が上記のように形成される構成では、第一区間が経由する処理装置を物品の搬送元又は搬送先とする搬送車が、分岐経路を通って第一区間に進入し、或いは、合流経路を通って第一区間から退出する場合がある。この点に関し、上記の構成によれば、第一移載部において物品の移載を行うための搬送車の停止位置を、分岐経路を通って第一区間に進入する搬送車や合流経路を通って第一区間から退出する搬送車の走行の妨げとならない第二区間内の位置に設定することができる。この結果、設備全体での物品の搬送効率の低下を抑制しつつ、搬送装置と対象経路を走行する搬送車との間で物品を移載することができる。

また、上記に鑑みた物品搬送設備の特徴構成は、さらに別の態様として、走行経路に沿って走行して物品を搬送する搬送車と、物品を保管する保管装置と、を備え、前記走行経路が、前記保管装置を経由する第一経路と、前記第一経路の互いに異なる位置において前記第一経路に連結される複数の第二経路と、を備え、前記複数の第二経路のそれぞれは、物品の処理を行う少なくとも１つの処理装置を経由するように設定される物品搬送設備であって、前記保管装置との連結部を有すると共に、前記保管装置に搬入する物品又は前記保管装置から搬出する物品を搬送する搬送装置を備え、前記第一経路に対して当該経路の幅方向の一方側及び他方側をそれぞれ第一側及び第二側として、前記第一経路に対して前記第一側に前記連結部が配置されると共に、前記第一経路に対して前記第二側に、前記複数の第二経路の内の１つである対象経路が配置され、前記搬送装置による物品の搬送経路は、前記第一経路に対して平面視で交差して、前記連結部から前記第一経路に対して前記第二側まで延びるように配置され、前記搬送経路における前記第一経路に対して前記第二側に配置される部分に、前記対象経路を走行する前記搬送車によって物品が移載される第一移載部が設定され、前記搬送経路に、前記第一移載部に加えて、前記第一経路を走行する前記搬送車によって物品が移載される第二移載部が設定され、設備全体における物品の搬送を制御する第一制御装置と、前記保管装置において物品を搬送する保管用搬送装置の作動を前記第一制御装置からの指令に応じて制御する第二制御装置と、前記搬送装置の作動を制御する第三制御装置と、を備え、前記第三制御装置は、第一制御モード及び第二制御モードで前記搬送装置の作動を制御し、前記第一制御モードは、前記保管装置に搬入する物品又は前記保管装置から搬出する物品を搬送するために、前記第二制御装置からの指令に応じて前記搬送装置の作動を制御する制御モードであり、前記第二制御モードは、前記第一移載部と前記第二移載部との間で物品を搬送するために、前記第一制御装置からの指令に応じて前記搬送装置の作動を制御する制御モードである点にある。

上記の特徴構成によれば、保管装置と、対象経路が経由する処理装置（以下、単に「処理装置」という。）との間で物品を搬送する際に、搬送装置によって保管装置との連結部と第一移載部との間で物品を搬送することができるため、搬送車による物品の搬送を、対象経路内での搬送に限定することができる。よって、保管装置と処理装置との間の物品の搬送距離を短く抑えることや、当該物品を搬送する搬送車の円滑な走行を確保することが可能となり、この結果、保管装置と処理装置との間での物品の搬送に要する時間の短縮を図ることができる。また、保管装置と処理装置との間で物品を搬送するための搬送車による物品の搬送が、対象経路内での搬送に限定されるため、当該搬送車の存在により円滑な走行を妨げられる他の搬送車の数を少なく抑えて、設備全体での物品の搬送効率の低下を抑制することもできる。
さらに、この構成によれば、第一経路を走行する搬送車と対象経路を走行する搬送車との間で、搬送装置を介して物品を受け渡すことができる。よって、処理装置を物品の搬送元又は搬送先とする搬送指令を受けて第一経路を走行する搬送車を対象経路に進入させることなく、搬送装置と対象経路を走行する搬送車とを利用して、第一経路を走行する搬送車と処理装置との間で物品を受け渡すことが可能となる。この結果、対象経路における搬送車の渋滞の発生を抑制しつつ、第一経路を走行する搬送車と処理装置との間で物品を受け渡すことが可能となる。
さらに、この構成によれば、第二制御装置の異常や保管装置の異常（例えば、保管用搬送装置の異常）により保管装置に対する物品の搬入や保管装置からの物品の搬出が行えない事態が発生した場合であっても、搬送装置の制御モードを第一制御モードから第二制御モードに切り替えることで、第一経路を走行する搬送車と対象経路を走行する搬送車との間で、搬送装置を介して物品を受け渡すことができる。よって、上記のような事態が発生した場合であっても、上述したように、対象経路における搬送車の渋滞の発生を抑制しつつ、第一経路を走行する搬送車と処理装置との間で物品を受け渡すことが可能となる。
以上のように、上記の特徴構成によれば、保管装置と処理装置との間での物品の搬送に要する時間の短縮を図りつつ、設備全体での物品の搬送効率の低下を抑制することが可能な物品処理設備を実現することができる。

実施形態に係る物品搬送設備の平面図 実施形態に係る搬送装置の側面図 実施形態に係る搬送装置の平面図 実施形態に係る搬送車の側面図 搬送装置を用いずに保管装置から処理装置に物品を搬送する際の物品の搬送経路の一例を示す図 搬送装置を用いて保管装置から処理装置に物品を搬送する際の物品の搬送経路の一例を示す図 実施形態に係る制御ブロック図 その他の実施形態に係る物品搬送設備の一部の平面図

物品搬送設備の実施形態について、図面を参照して説明する。

図１に示すように、物品搬送設備１は、走行経路３０に沿って走行して物品９（図２等参照）を搬送する搬送車１０と、物品９を保管する保管装置２０と、を備えている。本実施形態では、走行経路３０に沿ってレール３（図２及び図４参照）が設けられており、搬送車１０は、レール３に案内されて走行経路３０に沿って走行するように構成されている。すなわち、レール３によって、搬送車１０の走行経路３０が形成されている。本実施形態では、レール３は床面よりも上方に設けられ、具体的には、図２及び図４に示すように、天井から吊り下げ支持される状態で天井に固定されている。すなわち、本実施形態では、搬送車１０は、天井側に設けられたレール３に沿って走行する天井搬送車である。なお、本実施形態では、走行経路３０に沿って一対のレール３が設けられており、搬送車１０は、一対のレール３に案内されて走行経路３０に沿って走行する。図１に示すように、本実施形態では、物品搬送設備１は、複数の搬送車１０を備えている。そして、複数の搬送車１０は、走行経路３０の各部を互いに同一の方向（図１において矢印で示す方向）に走行するように制御される。すなわち、本実施形態では、走行経路３０は一方通行の経路である。

図示は省略するが、保管装置２０の内部には、物品９を収納する収納部が複数設けられており、物品９は、収納部に収納された状態で、保管装置２０に保管される。複数の収納部は、例えば、鉛直方向Ｚ及び水平方向に並ぶ状態で設けられる。そして、保管装置２０は、物品９を搬送する保管用搬送装置２１（図７参照）を備えている。保管用搬送装置２１は、保管装置２０の内部の収納部と、搬送車１０による物品９の移載（すなわち、搬入（供給）又は搬出（受け取り））が行われる物品移載部との間で、物品９を搬送する。すなわち、保管装置２０に入庫される物品９は、搬送車１０により物品移載部に搬入された後、保管用搬送装置２１により物品移載部から収納部に搬送される。また、保管装置２０から出庫される物品９は、保管用搬送装置２１により収納部から物品移載部に搬送された後、搬送車１０により物品移載部から搬出される。

図７に示すように、本実施形態では、保管装置２０は、保管用搬送装置２１として、内部搬送装置２４と中継搬送装置２５とを備えている。本実施形態では、上記の物品移載部は、保管装置２０の外部に設けられており、中継搬送装置２５は、この物品移載部と、保管装置２０の内部に位置する中継部との間で、物品９を搬送する。内部搬送装置２４は、保管装置２０の内部で物品９を搬送する装置であり、上記の中継部と収納部との間で物品９を搬送する。内部搬送装置２４として、例えばスタッカークレーンを用いることができる。保管装置２０は、複数の収納部が配置される保管空間の外周部を覆う壁体を備えており、保管装置２０の内部とは、当該壁体の内部（上記保管空間の内部）を意味し、保管装置２０の外部とは、当該壁体の外部（上記保管空間の外部）を意味する。中継搬送装置２５は、保管装置２０の壁体を貫通するように設けられており、中継搬送装置２５における保管装置２０の外部に位置する部分が物品移載部として機能し、中継搬送装置２５における保管装置２０の内部に位置する部分が中継部として機能する。

図１に示すように、本実施形態では、保管装置２０は複数の中継搬送装置２５を備え、一部の中継搬送装置２５を搬入部２２として用い、残りの中継搬送装置２５を搬出部２３として用いている。搬入部２２は、保管装置２０に入庫される物品９が搬送車１０により搬入される箇所であり、搬出部２３は、保管装置２０から出庫される物品９が搬送車１０により搬出される箇所である。すなわち、搬送車１０は、保管装置２０に入庫する物品９を、搬入部２２として用いられる中継搬送装置２５の物品移載部に搬入し、保管装置２０から出庫する物品９を、搬出部２３として用いられる中継搬送装置２５の物品移載部から搬出する。

上述したように、本実施形態では、搬送車１０は、天井側に設けられたレール３に沿って走行する天井搬送車である。具体的には、図４に示すように、搬送車１０は、レール３上を転動する車輪１１ａを備えてレール３に沿って走行する走行部１１と、走行部１１に吊り下げ状態で支持されてレール３よりも下側に位置する本体部１２と、を備えている。本体部１２は、物品９を支持可能な昇降体１２ｂと、昇降体１２ｂを昇降させる昇降機構１２ｃとを備えている。昇降機構１２ｃは、昇降体１２ｂを吊り下げ支持する索状体１２ａが巻回された巻回体を、正方向又は逆方向に回転させて索状体１２ａを巻き取り又は繰り出すことで、昇降体１２ｂを走行部１１に対して昇降させるように構成されている。具体的には、昇降機構１２ｃは、搬送車１０の走行時の高さ（本実施形態では、昇降体１２ｂが本体部１２のカバー内に位置する高さ）である第一高さと、第一高さよりも低い高さであって昇降体１２ｂと物品９の移載対象箇所との間で物品９を受け渡す（授受する）高さである第二高さとの間で、昇降体１２ｂを昇降させる。本実施形態では、昇降体１２ｂには、物品９の上部に設けられたフランジ部を把持する把持部が備えられている。そして、本実施形態では、搬送車１０は、物品９の移載対象箇所の真上（直上）に位置する状態で昇降体１２ｂを昇降させることで、当該移載対象箇所に対して物品９を移載する。

図１に示すように、走行経路３０は、保管装置２０を経由する第一経路３１と、第一経路３１の互いに異なる位置において第一経路３１に連結される複数の第二経路３２と、を備えている。第一経路３１は、保管装置２０の上述した物品移載部を経由するように設定される。本実施形態では、物品搬送設備１は複数の保管装置２０（図２に示す例では２つの保管装置２０）を備えており、第一経路３１は、当該複数の保管装置２０のそれぞれの物品移載部を経由するように設定されている。

複数の第二経路３２のそれぞれは、物品９の処理を行う複数の処理装置２に含まれる少なくとも１つの処理装置２を経由するように設定されている。すなわち、物品搬送設備１には複数の処理装置２が設けられており、複数の第二経路３２のそれぞれは、当該複数の処理装置２に含まれる少なくとも１つの処理装置２を経由するように設定されている。第二経路３２は、処理装置２のロードポート２ａ（図４参照）を経由するように設定される。すなわち、処理装置２のロードポート２ａに対して物品９を移載するための搬送車１０の停止位置を通るように、第二経路３２が設定されている。本実施形態では、この停止位置はロードポート２ａの真上に設定されており、第二経路３２は、ロードポート２ａの真上を通るように設定されている。本実施形態では、第二経路３２のそれぞれが、複数の処理装置２のロードポート２ａを経由するように設定されている。

本実施形態では、物品９は、処理装置２による直接の処理対象物を収容する容器であり、処理装置２は、物品９に収容された処理対象物に対して処理を行う。具体的には、物品９は、ウェハを収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）であり、処理装置２は、物品９に収容されたウェハに対して処理（例えば、洗浄処理やエッチング処理等）を行う。

詳細は後述するが、図１に示すように、物品搬送設備１は、保管装置２０との連結部５１を有すると共に、保管装置２０に搬入する物品９又は保管装置２０から搬出する物品９を搬送する搬送装置５０を備えている。搬送装置５０は、連結部５１から、１つの第二経路３２の配置領域まで延びるように配置されている。この１つの第二経路３２を、以下、対象経路３３という。本実施形態では、２つの保管装置２０のそれぞれに搬送装置５０が設けられており、２つの搬送装置５０のそれぞれに対応して対象経路３３が定義される。

ここで、図１に示すように、第一経路３１における第一経路３１と第二経路３２との分岐・合流部を通る部分を第一部分３１ａとし、第一経路３１における保管装置２０を経由する部分（保管装置２０の物品移載部の真上を通る部分）を第二部分３１ｂとする。第一部分３１ａ及び第二部分３１ｂは、第一経路３１における互いに異なる部分を構成している。図１に示すように、本実施形態では、保管装置２０と対象経路３３との間の領域において、第一部分３１ａと第二部分３１ｂとが平面視で（鉛直方向Ｚに見て）第一経路３１の幅方向に並ぶように配置されている。第一経路３１の幅方向に並ぶ第一部分３１ａと第二部分３１ｂとは、搬送車１０が互いに逆方向に走行する。本実施形態では、第一部分３１ａ及び第二部分３１ｂの双方が、平面視で保管装置２０を内部に含む環状（具体的には、長方形の角部を円弧状とした形状）に形成されており、第二部分３１ｂは、第一部分３１ａに対して内側（保管装置２０に近づく側）に配置されている。

更に、本実施形態では、保管装置２０と対象経路３３との間の領域において、第一経路３１の一部を構成する第三部分３１ｃが、平面視で第一部分３１ａと第二部分３１ｂとの間に配置されている。すなわち、対象経路３３の側から順に、第一部分３１ａ、第三部分３１ｃ、及び第二部分３１ｂが、平面視で第一経路３１の幅方向に並ぶように配置されている。第一経路３１の幅方向に並ぶ第二部分３１ｂと第三部分３１ｃとは、搬送車１０が同一の方向に走行する。第三部分３１ｃは、第二部分３１ｂに対して外側（保管装置２０から離れる側）を第二部分３１ｂと並行するように配置されている。第三部分３１ｃは、保管装置２０を経由しないように設定されており、保管装置２０の物品移載部に対して物品９を移載するために停止している搬送車１０を、他の搬送車１０が追い越すことを可能としている。第一経路３１は、更に、第一部分３１ａと第三部分３１ｃとを連結する連結経路や、第二部分３１ｂと第三部分３１ｃとを連結する連結経路を備えており、第一部分３１ａ、第二部分３１ｂ、及び第三部分３１ｃの各部分は、直接或いは第一経路３１の他の部分を介して互いに連結されている。

図１に示すように、本実施形態では、対象経路３３は、環状経路４０と、分岐経路４３と、合流経路４４と、を備えている。本実施形態では、対象経路３３以外の第二経路３２も、環状経路４０と、分岐経路４３と、合流経路４４と、を備えている。環状経路４０は、平面視で環状に形成される経路である。分岐経路４３は、第一経路３１と環状経路４０とを連結する経路であって、搬送車１０を第一経路３１から対象経路３３（環状経路４０）に分岐走行させる経路である。合流経路４４は、第一経路３１と環状経路４０とを連結する経路であって、搬送車１０を対象経路３３（環状経路４０）から第一経路３１に合流走行させる経路である。

ここで、環状経路４０における分岐経路４３と合流経路４４とを連結する２つの区間の一方及び他方をそれぞれ第一区間４１及び第二区間４２とする。図１に示すように、第一区間４１及び第二区間４２のうちの第一区間４１のみが、複数の処理装置２に含まれる少なくとも１つの処理装置２（本実施形態では、複数の処理装置２）を経由するように配置されている。

ところで、保管装置２０と処理装置２との間での物品９の搬送を搬送車１０のみにて行う場合、図５に一例を示すように、保管装置２０と処理装置２との直線距離に比べて、保管装置２０と処理装置２との間の物品の搬送経路が長くなりやすく、保管装置２０と処理装置２との間での物品９の搬送に要する時間が長くなるおそれがある。なお、図５では、搬送車１０にて保管装置２０から処理装置２に物品９を搬送する場合の物品９の移動軌跡の一例を、太実線で示している。

また、保管装置２０から処理装置２に物品９を搬送する場合、搬送車１０は、保管装置２０の物品移載部（搬出部２３）から第一経路３１に沿って走行した後、分岐経路４３を通って環状経路４０に合流走行する必要がある。一方、処理装置２から保管装置２０に物品９を搬送する場合、搬送車１０は、処理装置２のロードポート２ａから環状経路４０に沿って走行した後、合流経路４４を通って第一経路３１（本実施形態では、第一部分３１ａ）に合流走行する必要がある。そのため、特に他の経路へ合流走行する際や同一の経路の他の部分へ合流走行する際等に、保管装置２０と処理装置２との間で物品９を搬送する搬送車１０の円滑な走行が、他の搬送車１０の存在により妨げられる可能性があり、この点からも、保管装置２０と処理装置２との間での物品９の搬送に要する時間が長くなるおそれがある。また、保管装置２０と処理装置２との間で物品９を搬送する搬送車１０が、複数の経路や複数の経路部分を順に走行する必要があるため、当該搬送車１０の存在により円滑な走行を直接的に又は間接的に妨げられる搬送車１０の数が多くなりやすく、その分だけ物品搬送設備１全体での物品９の搬送効率が低下するおそれもある。

上記の点に鑑みて、本実施形態に係る物品搬送設備１は、図１〜図３に示すように、保管装置２０に搬入する物品９又は保管装置２０から搬出する物品９を搬送する搬送装置５０を備えている。図２及び図３に示すように、搬送装置５０は、保管装置２０との連結部５１を有している。そして、図６に示すように、搬送装置５０は、連結部５１から対象経路３３の配置領域まで延びるように配置されている。このような搬送装置５０を備えることで、保管装置２０と対象経路３３が経由する処理装置２（以下、単に「処理装置２」という。）との間で物品９を搬送する際に、図６に一例を示すように、搬送車１０による物品９の搬送を、対象経路３３内での搬送に限定することができる。なお、図６では、搬送装置５０及び対象経路３３を走行する搬送車１０によって保管装置２０から処理装置２に物品９を搬送する場合の物品９の移動軌跡の一例を、太実線で示している。

図６を図５と比較すると明らかなように、搬送装置５０及び対象経路３３を走行する搬送車１０によって保管装置２０から処理装置２に物品９を搬送する場合には、保管装置２０と処理装置２との間の物品９の搬送距離を短く抑えることや、当該物品９を搬送する搬送車１０の円滑な走行を確保することが可能となり、この結果、保管装置２０と処理装置２との間での物品９の搬送に要する時間の短縮を図ることができる。また、保管装置２０と処理装置２との間で物品９を搬送するための搬送車１０による物品９の搬送が、対象経路３３内での搬送に限定されるため、当該搬送車１０の存在により円滑な走行を妨げられる他の搬送車１０の数を少なく抑えて、物品搬送設備１全体での物品９の搬送効率の低下を抑制することもできる。

以下、搬送装置５０の構成について具体的に説明する。図６に示すように、第一経路３１に対して当該経路の幅方向の一方側及び他方側をそれぞれ第一側Ａ１及び第二側Ａ２として、第一経路３１に対して第一側Ａ１に連結部５１が配置されると共に、第一経路３１に対して第二側Ａ２に、対象経路３３が配置されている。本実施形態では、保管装置２０の全体（保管空間の全体）が、第一経路３１に対して第一側Ａ１に配置されている。なお、本実施形態に係る物品搬送設備１のように、保管装置２０と対象経路３３との間に複数本の第一経路３１（具体的には、第一経路３１における互いに異なる複数の部分である第一部分３１ａ、第二部分３１ｂ、及び第三部分３１ｃ）が配置される場合には、例えば、最も対象経路３３側に配置される第一経路３１（図６に示す例では、第一部分３１ａ）を基準に、上記の第一側Ａ１や第二側Ａ２を定義することができる。そして、搬送装置５０による物品９の搬送経路は、第一経路３１に対して平面視で交差して、連結部５１から第一経路３１に対して第二側Ａ２まで延びるように配置されている。本実施形態では、搬送装置５０による物品９の搬送経路は、第一経路３１に対して平面視で直交している。図２に示すように、搬送装置５０による物品９の搬送経路は、第一経路３１よりも鉛直方向Ｚの下側に位置する。

そして、図２、図３、及び図６に示すように、搬送装置５０による物品９の搬送経路における第一経路３１に対して第二側Ａ２に配置される部分に、対象経路３３を走行する搬送車１０によって物品９が移載される第一移載部６１が設定されている。本実施形態では、第一移載部６１において物品９の移載を行うための搬送車１０の停止位置Ｐは、第一移載部６１の真上に設定されている。よって、搬送車１０は、第一移載部６１の真上に位置する状態で昇降体１２ｂを昇降させることで（図２参照）、第一移載部６１に対して物品９を移載する。

本実施形態では、図３に示すように、搬送装置５０による物品９の搬送経路は、平面視で、搬送装置５０の延在方向と一致する。本実施形態では、搬送装置５０は、平面視で連結部５１から第一移載部６１まで一直線状に延びており、これに応じて、搬送装置５０による物品９の搬送経路も平面視で一直線状に形成されている。また、本実施形態では、図２に示すように、搬送装置５０は水平面に沿う方向（以下、「第一水平方向Ｘ」とする。）に平行に延びるように形成されており、これに応じて、搬送装置５０による物品９の搬送経路も第一水平方向Ｘに平行に延びるように形成されている。本実施形態では、図６に示すように、第一水平方向Ｘは、保管装置２０と対象経路３３との間に配置される第一経路３１の延在方向に対して平面視で直交する方向である。以下では、第一水平方向Ｘに直交する水平方向を、第二水平方向Ｙとする。本実施形態では、図６に示すように、連結部５１は、第二水平方向Ｙで分岐経路４３と合流経路４４との間に配置されている。本実施形態では、図２に示すように、搬送装置５０は、天井から吊り下げ支持される状態で天井に固定されている。また、本実施形態では、搬送装置５０は、中継搬送装置２５と同じ高さに配置されている。図２に示すように、搬送装置５０によって搬送される物品９の全体が、昇降体１２ｂが上記第一高さに位置する状態の搬送車１０の全体よりも鉛直方向Ｚの下側に位置するように、搬送装置５０の高さが設定されている。

本実施形態では、搬送装置５０は、中継搬送装置２５と同様に、保管装置２０の壁体を貫通するように設けられている（図２、図３参照）。そして、搬送装置５０は、保管装置２０の内部に位置する内部移載箇所と、第一移載部６１との間で、物品９を搬送する。搬送装置５０を搬入部２２として用いる場合、搬送装置５０は、保管装置２０に搬入する物品９を第一移載部６１から連結部５１まで搬送すると共に、当該物品９を引き続き連結部５１から内部移載箇所まで搬送する。この際、第一移載部６１に対しては、対象経路３３を走行する搬送車１０から物品９が渡され、内部移載箇所まで搬送された物品９は、内部搬送装置２４によって当該内部移載箇所から収納部に搬送される。また、搬送装置５０を搬出部２３として用いる場合、搬送装置５０は、保管装置２０から搬出する物品９を内部移載箇所から連結部５１まで搬送すると共に、当該物品９を引き続き連結部５１から第一移載部６１まで搬送する。この際、内部移載箇所に対しては、収納部に収納されていた物品９が内部搬送装置２４から渡され、第一移載部６１まで搬送された物品９は、対象経路３３を走行する搬送車１０によって第一移載部６１から降ろされる。

処理装置２から物品９の搬入要求があった場合に保管装置２０に保管されている物品９を迅速に処理装置２に供給するために、本実施形態では、搬送装置５０を、搬出部２３として用いている。すなわち、搬送装置５０は、保管装置２０から搬出する物品９を、連結部５１から第一移載部６１まで搬送するように、後述する第三制御装置９３（図７参照）によって制御される。

図６に示すように、本実施形態では、第一移載部６１において物品９の移載を行うための搬送車１０の停止位置Ｐが、第二区間４２内に設定されている。具体的には、停止位置Ｐは、第二区間４２における最も第一経路３１に近い部分（本実施形態では、最も第一部分３１ａに近い部分）に設定されている。このように停止位置Ｐを第二区間４２内に設定することで、分岐経路４３を通って第一区間４１に進入する搬送車１０や合流経路４４を通って第一区間４１から退出する搬送車１０の走行の妨げとならない位置に、停止位置Ｐを設定することができる。この結果、物品搬送設備１全体での物品９の搬送効率の低下を抑制しつつ、搬送装置５０と対象経路３３を走行する搬送車１０との間で物品９を移載することが可能となっている。

本実施形態では、図２及び図３に示すように、搬送装置５０は、搬送装置５０による物品９の搬送経路に沿って往復移動する台車５２を備えている。台車５２は、物品９を下側から支持する支持体５２ａを昇降自在に備えており、支持体５２ａの上面には、物品９の底面に形成された位置決め用の３つの凹部９ａ（図３参照）に係合して物品９を位置決めする突出部（位置決めピン）が形成されている。また、搬送装置５０は、支持体５２ａに対して第二水平方向Ｙの両側を第一水平方向Ｘに延びる一対の支持部材５３を備えている。一対の支持部材５３は、搬送装置５０による物品９の搬送経路の全域に亘って第一水平方向Ｘに延びるように形成されており、一対の支持部材５３のそれぞれの上面には、物品９の底面に形成された上記３つの凹部９ａの１つと係合する突出部５３ａ（位置決めピン）が形成されている。

支持体５２ａは、支持体５２ａに設けられた突出部の上端が一対の支持部材５３の上面よりも低い位置となる下降高さと、支持体５２ａの上面が一対の支持部材５３に形成された突出部５３ａの上端よりも高い位置となる上昇高さとの間で昇降可能に、台車５２に支持されている。よって、物品９を支持した状態の支持体５２ａを上昇高さに維持した状態で台車５２を移動させることで、物品９が台車５２の移動方向と同方向に搬送される。そして、突出部５３ａの形成箇所において物品９を支持した状態の支持体５２ａを上昇高さから下降高さまで下降させることで、当該物品９を一対の支持部材５３に支持させることができる。この際、物品９は、突出部５３ａと凹部９ａとの係合により一対の支持部材５３に対して位置決めされた状態で、一対の支持部材５３に支持される。

図３に示すように、突出部５３ａは、一対の支持部材５３における少なくとも第一移載部６１に対応する箇所に形成される。本実施形態では、突出部５３ａを、一対の支持部材５３における第一移載部６１と連結部５１との間の複数箇所にも形成している。すなわち、一対の支持部材５３には、突出部５３ａが第一水平方向Ｘに分散して複数形成されており、各突出部５３ａに対応する位置に、物品９を仮置きすることが可能な物品支持部６０が形成されている。これにより、搬送装置５０を、一時保管部（いわゆるバッファ）としても利用することが可能となっている。

本実施形態では、複数の物品支持部６０のうちの最も連結部５１から離れた物品支持部６０が第一移載部６１とされている。また、本実施形態では、複数の物品支持部６０には、第一経路３１を走行する搬送車１０によって物品９が移載される第二移載部６２が含まれている。すなわち、本実施形態では、搬送装置５０による物品９の搬送経路に、第一移載部６１に加えて、第一経路３１を走行する搬送車１０によって物品９が移載される第二移載部６２が設定されている。本実施形態では、第二移載部６２において物品９の移載を行うための搬送車１０の停止位置は、第二移載部６２の真上に設定されている。よって、搬送車１０は、第二移載部６２の真上に位置する状態で昇降体１２ｂを昇降させることで、第二移載部６２に対して物品９を移載する。図２及び図３に示す例では、第二部分３１ｂを走行する搬送車１０によって物品９が移載される第二移載部６２と、第三部分３１ｃを走行する搬送車１０によって物品９が移載される第二移載部６２との、２つの第二移載部６２が設定されている。

上記のように、搬送装置５０による物品９の搬送経路に、第一移載部６１に加えて第二移載部６２を設定することで、第一経路３１を走行する搬送車１０と対象経路３３を走行する搬送車１０との間で、搬送装置５０を介して物品９を受け渡すことができる。よって、処理装置２を物品９の搬送元又は搬送先とする搬送指令を受けて第一経路３１を走行する搬送車１０を対象経路３３に進入させることなく、搬送装置５０と対象経路３３を走行する搬送車１０とを利用して、第一経路３１を走行する搬送車１０と処理装置２との間で物品９を受け渡すことが可能となっている。

図７に示すように、本実施形態に係る物品搬送設備１は、設備全体における物品９の搬送を制御する第一制御装置９１と、保管装置２０において物品９を搬送する保管用搬送装置２１の作動を第一制御装置９１からの指令に応じて制御する第二制御装置９２と、搬送装置５０の作動を制御する第三制御装置９３と、を備えている。また、物品搬送設備１は、搬送車１０の作動を第一制御装置９１からの指令に応じて制御する第四制御装置９４を備えている。第一制御装置９１は、第二制御装置９２及び第四制御装置９４のそれぞれと相互に通信可能に接続されている。本実施形態では、第一制御装置９１は、更に、第三制御装置９３とも相互に通信可能に接続されている。

第二制御装置９２は、搬送装置５０を用いて保管装置２０に保管されている物品９を処理装置２に搬送する指令を、第一制御装置９１から受けた場合、内部搬送装置２４の作動を制御して、搬送対象の物品９が収納されている収納部から搬送装置５０の内部移載箇所まで、搬送対象の物品９を搬送させる。そして、第二制御装置９２は、内部移載箇所に搬送された物品９を第一移載部６１まで搬送する指令を、第三制御装置９３に出力する。第三制御装置９３は、第二制御装置９２からの指令に応じて搬送装置５０の作動（本実施形態では、台車５２の走行作動及び支持体５２ａの昇降作動）を制御して、内部移載箇所から第一移載部６１まで物品９を搬送させる。なお、搬送装置５０上に複数の物品９が存在する場合には、第一移載部６１側に詰めた状態で複数の物品９を複数の物品支持部６０に支持させる。また、第四制御装置９４は、第一制御装置９１の指令に応じて搬送車１０の作動（本実施形態では、走行部１１の走行作動、昇降体１２ｂの昇降作動、及び昇降体１２ｂに備えられた把持部の切り換え作動）を制御して、第一移載部６１から処理装置２のロードポート２ａに物品９を搬送させる。

以上のように、第三制御装置９３は、保管装置２０に搬入する物品又は保管装置２０から搬出する物品９（本実施形態では、保管装置２０から搬出する物品９）を搬送するために、第二制御装置９２からの指令に応じて搬送装置５０の作動を制御する制御モードである第一制御モードで、搬送装置５０の作動を制御可能に構成されている。本実施形態に係る第三制御装置９３は、第一制御モードに加えて第二制御モードでも、搬送装置５０の作動を制御可能に構成されている。すなわち、第三制御装置９３は、第一制御モード及び第二制御モードで搬送装置５０の作動を制御する。

第二制御モードは、第一移載部６１と第二移載部６２との間で物品９を搬送するために、第一制御装置９１からの指令に応じて搬送装置５０の作動を制御する制御モードである。第三制御装置９３は、例えば、第二制御装置９２に異常が生じた場合や、保管装置２０に異常（保管用搬送装置２１の異常等）が生じた場合に、第二制御モードで搬送装置５０の作動を制御する。この場合、第三制御装置９３は、第二制御装置９２を介することなく第一制御装置９１から直接（図７における破線で示す通信経路を参照）、第一移載部６１と第二移載部６２との間で物品９を搬送する指令を受ける。第一経路３１を走行する搬送車１０から対象経路３３を走行する搬送車１０に物品９を渡す場合を例に説明すると、第四制御装置９４が、第一制御装置９１の指令に応じて、物品９を支持した状態の搬送車１０の作動を制御して、当該物品９を第二移載部６２に渡す。次に、第三制御装置９３が、第一制御装置９１の指令に応じて搬送装置５０の作動を制御して、第二移載部６２から第一移載部６１まで物品９を搬送する。なお、搬送装置５０上に複数の物品９が存在する場合には、第一移載部６１側に詰めた状態で複数の物品９を複数の物品支持部６０に支持させる。そして、第四制御装置９４が、第一制御装置９１の指令に応じて搬送車１０の作動を制御して、第一移載部６１から処理装置２のロードポート２ａに物品９を搬送させる。

以上のように、第三制御装置９３が第二制御モードで搬送装置５０の作動を制御可能な構成とすることで、以下のような利点がある。すなわち、第二制御装置９２の異常や保管装置２０の異常により保管装置２０に対する物品９の搬入や保管装置２０からの物品９の搬出が行えない事態が発生した場合であっても、搬送装置５０の制御モードを第一制御モードから第二制御モードに切り替えることで、第一経路３１を走行する搬送車１０を対象経路３３に進入させることなく、搬送装置５０と対象経路３３を走行する搬送車１０とを利用して、第一経路３１を走行する搬送車１０と処理装置２との間で物品９を受け渡すことが可能となる。また、複数の物品支持部６０上に存在する物品９を、第一移載部６１や第二移載部６２を介して搬送車１０により、別の正常な保管装置２０や処理装置２へ搬送することができる。

〔その他の実施形態〕
物品搬送設備のその他の実施形態について説明する。なお、以下のそれぞれの実施形態で開示される構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示される構成と組み合わせて適用することも可能である。

（１）上記の実施形態では、搬送装置５０が、平面視で連結部５１から第一移載部６１まで一直線状に延びており、これに応じて、搬送装置５０による物品９の搬送経路も平面視で一直線状に形成される構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、図８に示す例のように、搬送装置５０の延在方向が平面視で屈曲した形状となり、これに応じて、搬送装置５０による物品９の搬送経路も平面視で屈曲した形状に形成される構成とすることもできる。図８に示す例では、搬送装置５０或いは搬送装置５０による物品９の搬送経路は、連結部５１から第二水平方向Ｙ（保管装置２０と対象経路３３との間に配置される第一経路３１の延在方向に平行な方向）に延びた後、平面視で９０度屈曲して、第一経路３１に対して第二側Ａ２まで第一水平方向Ｘに平行に延びるように形成されている。

（２）上記の実施形態では、第一移載部６１において物品９の移載を行うための搬送車１０の停止位置Ｐが、第二区間４２内に設定される構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、停止位置Ｐが、対象経路３３における第二区間４２とは異なる位置に設定される構成とすることもできる。図８に示す停止位置Ｐは、このような構成の一例であり、図８に示す例では、対象経路３３が、環状経路４０よりも内側に配置される別の環状経路（第二環状経路４５）を備えている。図示は省略するが、対象経路３３は、環状経路４０と第二環状経路４５とを連結する連結経路を備えている。そして、図８に示す例では、停止位置Ｐが、第二環状経路４５に設定されている。

なお、上記の実施形態では、第二区間４２がカーブ区間のみにより構成され、停止位置Ｐがカーブ区間内に設定されているが（図６参照）、第二区間４２が直線区間とその両側のカーブ区間により構成される場合に、停止位置Ｐを、第二区間４２における直線区間内に設定することもできる。例えば、搬送車１０への給電システムが、カーブ区間では直線区間に比べて給電効率（搬送車１０による受電効率）が低下するようなシステムである場合には、このように停止位置Ｐを直線区間内に設定することで、第一移載部６１において物品９の移載を行う際の搬送車１０の電力を適切に確保しやすいという利点がある。

（３）上記の実施形態では、搬送装置５０による物品９の搬送経路に、第一移載部６１に加えて複数の第二移載部６２が設定される構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、搬送装置５０による物品９の搬送経路に第二移載部６２が１つのみ設定される構成や、搬送装置５０による物品９の搬送経路に第二移載部６２が設定されない構成とすることもできる。

（４）上記の実施形態では、搬送装置５０が搬出部２３として用いられ、搬送装置５０が、保管装置２０から搬出する物品９を連結部５１から第一移載部６１まで搬送するように制御される構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、搬送装置５０が搬入部２２として用いられ、搬送装置５０が、保管装置２０に搬入する物品９を第一移載部６１から連結部５１まで搬送するように制御される構成とすることもできる。また、搬送装置５０が、その時々の物品搬送設備１の状態に応じて、搬入部２２及び搬出部２３のいずれとしても用いられる構成とすることもできる。

（５）上記の実施形態では、搬送装置５０が、物品９を搬送する台車５２を備える構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、搬送装置５０として、複数の駆動ローラを搬送経路に沿って並べたローラコンベアや、搬送経路に沿って移動する搬送ベルトを備えたベルトコンベア等を用いることもできる。

（６）上記の実施形態では、搬送車１０が、物品９の移載対象箇所の真上に位置した状態で昇降体１２ｂを昇降させることで、移載対象箇所に対して物品９を移載する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、搬送車１０が、昇降機構１２ｃを走行経路３０の幅方向にスライド移動させるスライド機構を備え、移載対象箇所が搬送車１０に対して走行経路３０の幅方向にずれた位置に位置する場合であっても、昇降機構１２ｃを当該移載対象箇所の真上に位置するまで当該幅方向に移動させた状態で昇降体１２ｂを昇降させることで、当該移載対象箇所に対して物品９を移載可能な構成とすることもできる。この場合、上記の実施形態とは異なり、走行経路３０が、搬送車１０による物品９の移載対象箇所に対して走行経路３０の幅方向にずれた位置を通るように設定される構成とすることもできる。

例えば、保管装置２０（保管装置２０の物品移載部）に対して物品９を移載するための搬送車１０の停止位置が、当該物品移載部に対して第一経路３１の幅方向にずれた位置となる構成、すなわち、第一経路３１が、保管装置２０の物品移載部に対して第一経路３１の幅方向にずれた位置を通るように設定される構成とすることができる。この場合、保管装置２０の物品移載部が、保管装置２０の内部に設けられる構成とすることもできる。この場合、上記の実施形態とは異なり、保管装置２０が保管用搬送装置２１として中継搬送装置２５を備えない構成（すなわち、内部搬送装置２４のみを備える構成）とすることもできる。

また、例えば、第一移載部６１に対して物品９を移載するための搬送車１０の停止位置Ｐが、第一移載部６１に対して第一水平方向Ｘで第一経路３１とは反対側（連結部５１とは反対側）となる構成とすることもできる。すなわち、搬送装置５０の第二側Ａ２の端部（搬送装置５０による物品９の搬送経路の第二側Ａ２の端部）が、停止位置Ｐよりも第一水平方向Ｘで第一経路３１側に配置される構成（すなわち、当該端部が停止位置Ｐまで達していない構成）とすることもできる。

（７）上記の実施形態では、搬送車１０が、天井側に設けられたレール３に沿って走行する天井搬送車である構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、搬送車１０が、床面に設けられたレールに沿って走行する床面走行式の搬送車である構成とすることもできる。この場合、上記の実施形態とは異なり、搬送装置５０による物品９の搬送経路は、第一経路３１よりも鉛直方向Ｚの上側に位置する。

（８）上記の実施形態では、物品９が半導体基板を収容するＦＯＵＰである構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、物品９を、レチクルを収容する容器や、食品を収容する容器等とすることもできる。また、物品９が、容器以外の物品であっても良い。

（９）その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎないと理解されるべきである。従って、当業者は、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

１：物品搬送設備
２：処理装置
９：物品
１０：搬送車
２０：保管装置
２１：保管用搬送装置
３０：走行経路
３１：第一経路
３２：第二経路
３３：対象経路
４０：環状経路
４１：第一区間
４２：第二区間
４３：分岐経路
４４：合流経路
５０：搬送装置
５１：連結部
６１：第一移載部
６２：第二移載部
９１：第一制御装置
９２：第二制御装置
９３：第三制御装置
Ａ１：第一側
Ａ２：第二側
Ｐ：停止位置

Claims (7)

1. 走行経路に沿って走行して物品を搬送する搬送車と、物品を保管する保管装置と、を備え、
   前記走行経路が、前記保管装置を経由する第一経路と、前記第一経路の互いに異なる位置において前記第一経路に連結される複数の第二経路と、を備え、
   前記複数の第二経路のそれぞれは、物品の処理を行う少なくとも１つの処理装置を経由するように設定される物品搬送設備であって、
   前記第一経路は、平面視で前記保管装置を内部に含む環状に形成され、前記第二経路は、平面視で環状の前記第一経路の外側に配置され、
   前記保管装置との連結部を有すると共に、前記保管装置に搬入する物品又は前記保管装置から搬出する物品を搬送する搬送装置を前記搬送車とは別に備え、
   前記第一経路に対して当該経路の幅方向の一方側及び他方側をそれぞれ第一側及び第二側として、前記第一経路に対して前記第一側に前記連結部が配置されると共に、前記第一経路に対して前記第二側に、前記複数の第二経路の内の１つである対象経路が配置され、
   前記搬送装置による物品の搬送経路は、前記第一経路に対して平面視で交差して、前記連結部から前記第一経路に対して前記第二側まで延びるように配置され、
   前記搬送経路における前記第一経路に対して前記第二側に配置される部分に、前記対象経路を走行する前記搬送車によって物品が移載される第一移載部が設定されている物品搬送設備。
2. 走行経路に沿って走行して物品を搬送する搬送車と、物品を保管する保管装置と、を備え、
   前記走行経路が、前記保管装置を経由する第一経路と、前記第一経路の互いに異なる位置において前記第一経路に連結される複数の第二経路と、を備え、
   前記複数の第二経路のそれぞれは、物品の処理を行う少なくとも１つの処理装置を経由するように設定される物品搬送設備であって、
   前記保管装置との連結部を有すると共に、前記保管装置に搬入する物品又は前記保管装置から搬出する物品を搬送する搬送装置を前記搬送車とは別に備え、
   前記第一経路に対して当該経路の幅方向の一方側及び他方側をそれぞれ第一側及び第二側として、前記第一経路に対して前記第一側に前記連結部が配置されると共に、前記第一経路に対して前記第二側に、前記複数の第二経路の内の１つである対象経路が配置され、
   前記搬送装置による物品の搬送経路は、前記第一経路に対して平面視で交差して、前記連結部から前記第一経路に対して前記第二側まで延びるように配置され、
   前記搬送経路における前記第一経路に対して前記第二側に配置される部分に、前記対象経路を走行する前記搬送車によって物品が移載される第一移載部が設定され、
   前記搬送経路における平面視で前記第一経路と重複する位置に、前記第一経路を走行する前記搬送車によって物品が移載される第二移載部が設定されている物品搬送設備。
3. 前記搬送経路に、前記第一移載部に加えて、前記第一経路を走行する前記搬送車によって物品が移載される第二移載部が設定されている請求項１に記載の物品搬送設備。
4. 設備全体における物品の搬送を制御する第一制御装置と、前記保管装置において物品を搬送する保管用搬送装置の作動を前記第一制御装置からの指令に応じて制御する第二制御装置と、前記搬送装置の作動を制御する第三制御装置と、を備え、
   前記第三制御装置は、第一制御モード及び第二制御モードで前記搬送装置の作動を制御し、
   前記第一制御モードは、前記保管装置に搬入する物品又は前記保管装置から搬出する物品を搬送するために、前記第二制御装置からの指令に応じて前記搬送装置の作動を制御する制御モードであり、
   前記第二制御モードは、前記第一移載部と前記第二移載部との間で物品を搬送するために、前記第一制御装置からの指令に応じて前記搬送装置の作動を制御する制御モードである請求項２又は３に記載の物品搬送設備。
5. 前記搬送装置は、前記保管装置から搬出する物品を前記連結部から前記第一移載部まで搬送する請求項１から４の何れか一項に記載の物品搬送設備。
6. 前記対象経路は、平面視で環状に形成される環状経路と、前記第一経路と前記環状経路とを連結する経路であって、前記搬送車を前記第一経路から前記対象経路に分岐走行させる分岐経路と、前記第一経路と前記環状経路とを連結する経路であって、前記搬送車を前記対象経路から前記第一経路に合流走行させる合流経路と、を備え、
   前記環状経路における前記分岐経路と前記合流経路とを連結する２つの区間の一方及び他方をそれぞれ第一区間及び第二区間として、前記第一区間及び前記第二区間のうちの前記第一区間のみが、少なくとも１つの前記処理装置を経由するように配置され、
   前記第一移載部において物品の移載を行うための前記搬送車の停止位置が、前記第二区間内に設定されている請求項１から５の何れか一項に記載の物品搬送設備。
7. 走行経路に沿って走行して物品を搬送する搬送車と、物品を保管する保管装置と、を備え、
   前記走行経路が、前記保管装置を経由する第一経路と、前記第一経路の互いに異なる位置において前記第一経路に連結される複数の第二経路と、を備え、
   前記複数の第二経路のそれぞれは、物品の処理を行う少なくとも１つの処理装置を経由するように設定される物品搬送設備であって、
   前記保管装置との連結部を有すると共に、前記保管装置に搬入する物品又は前記保管装置から搬出する物品を搬送する搬送装置を備え、
   前記第一経路に対して当該経路の幅方向の一方側及び他方側をそれぞれ第一側及び第二側として、前記第一経路に対して前記第一側に前記連結部が配置されると共に、前記第一経路に対して前記第二側に、前記複数の第二経路の内の１つである対象経路が配置され、
   前記搬送装置による物品の搬送経路は、前記第一経路に対して平面視で交差して、前記連結部から前記第一経路に対して前記第二側まで延びるように配置され、
   前記搬送経路における前記第一経路に対して前記第二側に配置される部分に、前記対象経路を走行する前記搬送車によって物品が移載される第一移載部が設定され、
   前記搬送経路に、前記第一移載部に加えて、前記第一経路を走行する前記搬送車によって物品が移載される第二移載部が設定され、
   設備全体における物品の搬送を制御する第一制御装置と、前記保管装置において物品を搬送する保管用搬送装置の作動を前記第一制御装置からの指令に応じて制御する第二制御装置と、前記搬送装置の作動を制御する第三制御装置と、を備え、
   前記第三制御装置は、第一制御モード及び第二制御モードで前記搬送装置の作動を制御し、
   前記第一制御モードは、前記保管装置に搬入する物品又は前記保管装置から搬出する物品を搬送するために、前記第二制御装置からの指令に応じて前記搬送装置の作動を制御する制御モードであり、
   前記第二制御モードは、前記第一移載部と前記第二移載部との間で物品を搬送するために、前記第一制御装置からの指令に応じて前記搬送装置の作動を制御する制御モードである物品搬送設備。

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