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KR20160100247A - 전기 영동 표시 장치, 전기 영동 표시 장치의 제조 방법 및 전자 기기 - Google Patents

전기 영동 표시 장치, 전기 영동 표시 장치의 제조 방법 및 전자 기기 Download PDF

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KR20160100247A
KR20160100247A KR1020160014960A KR20160014960A KR20160100247A KR 20160100247 A KR20160100247 A KR 20160100247A KR 1020160014960 A KR1020160014960 A KR 1020160014960A KR 20160014960 A KR20160014960 A KR 20160014960A KR 20160100247 A KR20160100247 A KR 20160100247A
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KR
South Korea
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substrate
partition wall
film
display device
light
Prior art date
Application number
KR1020160014960A
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English (en)
Inventor
요시끼 나까시마
Original Assignee
세이코 엡슨 가부시키가이샤
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Filing date
Publication date
Application filed by 세이코 엡슨 가부시키가이샤 filed Critical 세이코 엡슨 가부시키가이샤
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Abstract

격벽부에서 광이 반사되기 어려워서 콘트라스트가 높은 전기 영동 표시 장치를 제공한다.
전기 영동 표시 장치(1)는, 반도체 소자(9c)가 설치된 제1 기재(8)와, 제1 기재(8)와 대향하는 제2 기재(16)와, 제1 기재(8)와 제2 기재(16) 사이에 위치하고 화소 영역(6)을 구획하는 격벽(5)을 구비하고, 제2 기재(16)측으로부터 보아 격벽(5)과 대향하는 장소에는 광의 반사를 저감시키는 반사 저감막(7)을 갖는다.

Description

전기 영동 표시 장치, 전기 영동 표시 장치의 제조 방법 및 전자 기기{ELECTROPHORESIS DISPLAY APPARATUS, MANUFACTURING METHOD OF ELECTROPHORESIS DISPLAY APPARATUS, AND ELECTRONIC DEVICE}
본 발명은, 전기 영동 표시 장치, 전기 영동 표시 장치의 제조 방법 및 전자 기기에 관한 것이다.
전하를 갖는 입자가 분산매 중을 이동하는 전기 영동 표시 장치가 널리 알려져 있다. 전기 영동 표시 장치는 화면의 깜박거림이 적으므로, 전자 서적을 열람하는 표시 장치 등에 사용된다. 이 전기 영동 표시 장치가 특허 문헌 1에 개시되어 있다. 그에 의하면, 전기 영동 표시 장치는 전극이 설치된 한 쌍의 기판을 갖추고 있다. 그리고, 전극 간에 백색 대전 입자 및 흑색 대전 입자를 포함하는 분산매가 설치되어 있다.
이 전기 영동 표시 장치에서는 백색 대전 입자를 (-)에 대전시키고, 흑색 대전 입자를 (+)에 대전시키고 있다. 그리고, 대향하는 기판에 설치된 전극에 전압을 인가함으로써, 한쪽 전극에 흑색 대전 입자가 유인되고, 다른 쪽 전극에 백색 대전 입자가 유인된다. 이어서, 전극의 전압을 교체하는 것에 의해, 흑색 대전 입자의 위치와 백색 대전 입자의 위치가 교체된다.
기판 사이에는 격벽부가 설치되고, 격벽부는 분산매를 격자 형상으로 분할한다. 격벽부에 의해 둘러싸인 부분이 1개의 화소로 되어 있다. 그리고, 화소마다 흑색 대전 입자 및 백색 대전 입자의 위치를 제어함으로써 소정의 도형을 표시하는 것이 가능하게 되어 있다.
일본 특허 공개 제2008-51932호 공보
전기 영동 표시 장치를 조사하는 광은 격벽부 및 화소 영역을 조사한다. 특허 문헌 1의 전기 영동 표시 장치에서는 격벽부를 조사하는 광이 반사된다. 이에 의해, 화소 영역을 흑색 표시로 할 때 격벽부에서 광이 반사되므로 휘도가 떨어지지 않는다. 이 때문에, 전기 영동 표시 장치는 콘트라스트가 높아지지 않았다. 따라서, 격벽부에서 광이 반사되기 어려워서 콘트라스트가 높은 전기 영동 표시 장치가 요망되고 있다.
본 발명은, 상술한 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 이하의 형태 또는 적용예로서 실현하는 것이 가능하다.
[적용예 1]
본 적용예에 관한 전기 영동 표시 장치로서, 반도체 소자가 설치되는 제1 기판과, 상기 제1 기판과 대향하는 제2 기판과, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 위치하고 화소 영역을 구획하는 격벽부를 구비하고, 상기 제2 기판의 법선 방향에서 보았을 때에, 상기 격벽부에 의해 구획된 각각의 영역 내에 하전 입자를 포함하는 전기 영동 분산액이 유지되고, 상기 격벽부와 겹치는 영역에는 광의 반사를 저감시키는 반사 저감부를 갖는 것을 특징으로 한다.
본 적용예에 의하면, 전기 영동 표시 장치는 제1 기판과 제2 기판 사이에 격벽부를 끼우고 있다. 그리고, 격벽부는 화소 영역을 구획한다. 화소 영역은 하전 입자가 이동해서 관찰자로부터 보이는 표시가 변화하는 장소이다. 전기 영동 표시 장치를 조사하는 광은 반사 저감부 및 화소 영역을 조사한다. 반사 저감부는 광의 반사를 저감시킨다. 따라서, 화소 영역 이외로부터 관찰자를 향해서 진행하는 광을 저감시킬 수 있다. 그 결과, 격벽부를 조사하는 광의 반사를 반사 저감부가 저감시키기 때문에, 콘트라스트를 높게 할 수 있다.
[적용예 2]
상기 적용예에 관한 전기 영동 표시 장치에 있어서, 상기 반사 저감부는 상기 제2 기판과 상기 격벽부 사이에 위치하는 것이 바람직하다.
본 적용예에 의하면, 반사 저감부는 제2 기판과 격벽부 사이에 위치한다. 제2 기판을 조사하는 광은 반사 저감부 및 화소 영역을 조사한다. 반사 저감부는 조사되는 광의 반사를 저감시킨다. 화소 영역을 조사하는 광의 일부는 제2 기판의 두께 방향에 대하여 비스듬히 진행한다. 이 광의 일부는 화소 영역을 통과해서 격벽부 내로 진행한다. 그리고, 화소 영역을 통하지 않고 격벽부에서 관찰자를 향하는 광은 반사 저감부를 통과하기 때문에 광의 강도가 저감된다. 따라서, 화소 영역 이외로부터 관찰자를 향해서 진행하는 광을 저감시킬 수 있다.
[적용예 3]
상기 적용예에 관한 전기 영동 표시 장치에 있어서, 상기 제1 기판과 상기 격벽부 사이에 상기 반사 저감부를 갖는 것이 바람직하다.
본 적용예에 의하면, 제1 기판과 격벽부 사이에 반사 저감부가 설치되어 있다. 제2 기판 및 격벽부를 통과해서 제1 기판을 향해서 진행하는 광은 반사 저감부를 조사한다. 반사 저감부는 광의 반사를 저감시키기 때문에, 격벽부를 통과해서 반사 저감부에서 반사하는 광의 강도는 저감된다. 따라서, 격벽부를 조사하는 광의 반사 강도를 저감시킬 수 있다.
[적용예 4]
상기 적용예에 관한 전기 영동 표시 장치에 있어서, 상기 격벽부가 상기 반사 저감부를 겸하는 것이 바람직하다.
본 적용예에 의하면, 격벽부가 반사 저감부를 겸하고 있어, 격벽부를 조사하는 광은 광의 반사를 저감시킨다. 화소 영역을 조사하는 광의 일부는 제2 기판의 두께 방향에 대하여 비스듬히 진행한다. 이 광의 일부는 화소 영역을 통과해서 격벽부로 진행한다. 그리고, 격벽부를 조사하는 광은 광의 강도가 저감된다. 따라서, 화소 영역 이외로부터 관찰자를 향해서 진행하는 광을 저감시킬 수 있다.
[적용예 5]
상기 적용예에 관한 전기 영동 표시 장치에 있어서, 상기 제1 기판 위에 위치하고 상기 반도체 소자가 설치된 소자층과, 상기 소자층 위에 위치하는 절연층을 구비하고, 상기 절연층이 상기 반사 저감부를 겸하는 것이 바람직하다.
본 적용예에 의하면, 소자층 위에 절연층이 설치되고, 절연층이 반사 저감부로 되어 있다. 반사 저감부 위에는 격벽부가 위치하고, 격벽부 위에는 제2 기판이 위치하고 있다. 제2 기판 및 격벽부를 통과하는 광은 절연층을 조사한다. 절연층은 광의 반사를 저감시키기 때문에, 격벽부에서 반사하는 광의 강도는 저감된다. 따라서, 격벽부를 조사하는 광의 반사 강도를 저감시킬 수 있다.
[적용예 6]
상기 적용예에 관한 전기 영동 표시 장치에 있어서, 상기 제1 기판에는 제1 전극이 설치되고, 상기 제2 기판에는 제2 전극이 설치되며, 상기 격벽부는 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 절연시키는 것이 바람직하다.
본 적용예에 의하면, 제1 기판에는 제1 전극이 설치되고, 제2 기판에는 제2 전극이 설치되어 있다. 그리고, 격벽부는 제1 기판과 제2 기판 사이에 끼워져 있다. 격벽부는 제1 전극과 제2 전극을 절연시키기 때문에, 제1 전극과 제2 전극이 도통하는 것을 방지할 수 있다.
[적용예 7]
상기 적용예에 관한 전기 영동 표시 장치에 있어서, 인접하는 2개의 상기 화소 영역을 이격시키는 상기 격벽부의 저항값이 1×108Ω 이상인 것이 바람직하다.
본 적용예에 의하면, 인접하는 2개의 화소 영역을 이격하는 격벽부의 저항은 1×108Ω 이상으로 되어 있다. 이에 의해, 격벽부를 통과해서 제1 기판과 제2 기판 사이를 흐르는 전류를 억제할 수 있다.
[적용예 8]
본 적용예에 관한 전자 기기로서, 표시부와, 상기 표시부를 구동하는 구동부를 구비하고, 상기 표시부는 상기에 기재된 전기 영동 표시 장치인 것을 특징으로 한다.
본 적용예에 의하면, 전자 기기는 표시부와 표시체를 구동하는 구동부를 구비하고 있다. 그리고, 구동부가 표시부를 구동시킨다. 표시부에는 상기 전기 영동 표시 장치가 사용되고 있다. 따라서, 전자 기기는 콘트라스트가 높은 전기 영동 표시 장치를 표시부에 사용한 장치로 할 수 있다.
[적용예 9]
본 적용예에 관한 전기 영동 표시 장치의 제조 방법으로서, 제1 기판 위에 탄소를 포함하는 수지 재료를 성형해서 격벽부를 설치하고, 상기 격벽부로 구획된 화소 영역에 분산매 및 하전 입자를 포함하는 전기 영동 분산액을 충전하며, 상기 격벽부에 겹쳐서 제2 기판을 설치하는 것을 특징으로 한다.
본 적용예에 의하면, 제1 기판 위에 탄소를 포함하는 격벽부가 설치된다. 이어서, 격벽부로 구획된 화소 영역에 분산매 및 하전 입자를 포함하는 전기 영동 분산액이 충전된다. 이어서, 격벽부에 겹쳐서 제2 기판이 설치된다. 그리고, 제1 기판측과 제2 기판측 사이에 있어서의 하전 입자의 이동을 제어할 수 있다. 격벽부에는 탄소가 포함되어 있기 때문에, 격벽부에 진입하는 광은 탄소에 흡수된다. 따라서, 격벽부를 조사하는 광의 반사 강도를 저감시킬 수 있다.
[적용예 10]
상기 적용예에 관한 전기 영동 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 인접하는 2개의 상기 화소 영역을 이격시키는 상기 격벽부의 저항값이 1×108Ω 이상인 것이 바람직하다.
본 적용예에 의하면, 인접하는 2개의 화소 영역을 이격하는 격벽부의 저항은 1×108Ω 이상으로 되어 있다. 이에 의해, 격벽부를 통과해서 제1 기판과 제2 기판 사이를 흐르는 전류를 억제할 수 있다.
도 1은, 제1 실시 형태에 관한 것으로, (a)는 전기 영동 표시 장치의 구조를 도시하는 개략 사시도, (b)는 전기 영동 표시 장치의 구조를 나타내는 모식 평면도.
도 2는, 전기 영동 표시 장치의 구조를 나타내는 부분 개략 분해 사시도.
도 3은, 전기 영동 표시 장치의 전기 제어 블록도.
도 4는, 전기 영동 표시 장치의 구조를 나타내는 모식 측단면도.
도 5는, 전기 영동 표시 장치에 입사되는 광의 궤적을 설명하기 위한 모식도.
도 6은, 전기 영동 표시 장치의 제조 방법 흐름도.
도 7은, 전기 영동 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 모식도.
도 8은, 전기 영동 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 모식도.
도 9는, 제2 실시 형태에 관한 전기 영동 표시 장치의 구조를 나타내는 모식 측단면도.
도 10은, 제3 실시 형태에 관한 전기 영동 표시 장치의 구조를 나타내는 모식 측단면도.
도 11은, 격벽의 제조 방법을 설명하기 위한 모식도.
도 12는, 제4 실시 형태에 관한 전기 영동 표시 장치의 구조를 나타내는 모식 측단면도.
도 13은, 제5 실시 형태에 관한 것으로, (a)는 전자 북의 구조를 도시하는 개략 사시도, (b)는 손목 시계의 구조를 도시하는 개략 사시도.
본 실시 형태에서는, 전기 영동 표시 장치와, 이 전기 영동 표시 장치를 제조하는 특징적인 예에 대해서 도면에 따라 설명한다. 또한, 각 도면에 있어서의 각 부재는, 각 도면 상에서 인식 가능한 정도의 크기로 하기 위해서, 각 부재마다 축척을 상이하게 해서 도시하고 있다.
(제1 실시 형태)
제1 실시 형태에 관한 전기 영동 표시 장치에 대해서 도 1 내지 도 8에 따라서 설명한다. 도 1의 (a)는, 전기 영동 표시 장치의 구조를 도시하는 개략 사시도이고, 도 1의 (b)는 전기 영동 표시 장치의 구조를 나타내는 모식 평면도이다.
도 1의 (a)에 도시한 바와 같이, 전기 영동 표시 장치(1)는 하부 기판(2)과 상부 기판(3)이 겹친 구조로 되어 있다. 하부 기판(2) 및 상부 기판(3)의 법선 방향을 Z 방향이라 하고, +Z 방향측에 상부 기판(3)이 위치한다. 관찰자가 전기 영동 표시 장치(1)를 볼 때에는 +Z 방향측에서 보는 것으로 한다. 상부 기판(3)의 +Z 방향측의 면이 화상 표시면(3a)이다. 하부 기판(2) 및 상부 기판(3)은 X 방향 및 Y 방향으로 연장된다. 하부 기판(2)은 상부 기판(3)보다 -Y 방향으로 긴 형상으로 되어 있다. 하부 기판(2)의 -Y 방향측에서는 +Z 방향측의 면에 플렉시블 케이블(4)이 설치되어 있다. 플렉시블 케이블(4)은 도시하지 않은 구동 회로에 접속되고, 플렉시블 케이블(4)을 통해서 전원과 구동 신호가 공급된다.
도 1의 (b)에 도시한 바와 같이, 전기 영동 표시 장치(1)는 하부 기판(2)과 상부 기판(3) 사이에 격벽부로서의 격벽(5)이 설치되어 있다. 격벽(5)은 격자 형상을 갖고 화소 영역(6)을 구획한다. 도면 중 화소 영역(6)은 도면을 보기 쉽게 하기 위해서 X 방향으로 14개, Y 방향으로 10개 배열해서 배치되어 있다. 화소 영역(6)의 개수는 특별히 한정되지 않지만, 본 실시 형태에서는, 예를 들어 X 방향으로 300개, Y 방향으로 200개 배열해서 배치되어 있다. 화소 영역(6)의 크기는 특별히 한정되지 않지만, 본 실시 형태에서는, 예를 들어 X 방향의 길이가 80㎛, Y 방향의 길이가 80㎛로 되어 있다. 전기 영동 표시 장치(1)의 크기도 특별히 한정되지 않지만, 본 실시 형태에서는, 예를 들어 하부 기판(2)은 X 방향의 길이가 30mm이며, Y 방향의 길이가 25mm로 되어 있다.
격벽(5)의 +Z 방향측에는 격벽(5)과 대향하는 장소에 반사 저감부로서의 반사 저감막(7)이 설치되어 있다. 반사 저감막(7)은 +Z 방향측에서 격벽(5)을 향해 진행하는 광을 흡수해서 반사를 저감시킨다. Z 방향으로부터 평면에서 볼 때 반사 저감막(7)은 격벽(5)과 대략 동일한 형상으로 되어 있다.
도 2는, 전기 영동 표시 장치의 구조를 나타내는 부분 개략 분해 사시도이며, 전기 영동 표시 장치(1)의 일부분을 Z 방향으로 분해한 도면이다. 도 2에 도시한 바와 같이, 하부 기판(2)은 제1 기판으로서의 제1 기재(8)를 구비하고 있다. 제1 기재(8)는, 유리, 플라스틱, 세라믹, 실리콘 등을 포함하는 절연성이 있는 기판이다. 제1 기재(8)는 +Z 방향에서 보이는 화상 표시면(3a)과는 반대측에 배치되기 때문에 불투명한 재질로도 된다.
제1 기재(8) 위에는 소자층(9)이 설치되어 있다. 소자층(9)에는 전압 공급선(9a), 제어 신호선(9b), 반도체 소자(9c) 및 관통 전극(9d) 등이 설치되어 있다. 반도체 소자(9c)는 TFT(Thin Film Transistor)소자이고, 스위칭을 행하는 소자이다. 소자층(9) 위에는 절연층(10)이 설치되고, 절연층(10) 위에는 제1 전극으로서의 화소 전극(11)이 설치되어 있다. 절연층(10)은 소자층(9)과 화소 전극(11)을 절연하는 층이다. 소자층(9)에는 관통 전극(9d)이 설치되고, 관통 전극(9d)은 화소 전극(11)과 접속되어 있다. 화소 전극(11)은 화소 영역(6)마다 분리되어 있다. 제1 기재(8), 소자층(9), 절연층(10) 및 화소 전극(11) 등에 의해 하부 기판(2)이 구성되어 있다.
소자층(9)의 재질은 반도체를 형성할 수 있는 재질이면 되고, 특별히 한정되지 않으며, 실리콘, 게르마늄, 갈륨비소, 갈륨 비소 인, 질화갈륨, 탄화 규소, 등을 사용할 수 있다. 절연층(10)의 재질은 절연성이 있고 성형하기 쉬운 재질이면 되고, 특별히 한정되지 않으며, 유리, 수지, 산화 실리콘이나 질화 실리콘 등을 사용할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 예를 들어 절연층(10)의 재질에는 아크릴 수지를 사용하고 있다.
화소 전극(11)의 재질은 도전성이 있는 재질이면 되고, 특별히 한정되지 않으며, 구리, 알루미늄, 니켈, 금, 은, ITO(인듐 주석 산화물) 외에, 구리박 위에 니켈막이나 금막을 적층한 것, 알루미늄박 위에 니켈막이나 금막을 적층한 것을 사용할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 예를 들어 화소 전극(11)은 알루미늄박 위에 금막을 설치한 구조로 되어 있다.
화소 전극(11) 위의 격벽(5)이 격자 형상으로 설치되고, 격벽(5)에 의해 구획된 화소 영역(6)에는 전기 영동 분산액(12)이 충전되어 있다. 격벽(5)의 재질은 절연성과 강도가 있고, 형성하기 쉬운 재질이면 되고, 특별히 한정되지 않으며, 아크릴 수지나 에폭시 수지 등의 수지를 사용할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 예를 들어 감광성 수지를 사용하고 있다. 이에 의해, 화소 영역(6)을 이격하는 격벽(5)의 저항값이 1×108Ω 이상으로 되어 있다. 그리고, 격벽(5)은 화소 전극(11)과 공통 전극(17)을 절연시킨다. 전기 영동 분산액(12)은 하전 입자로서의 백색 하전 입자(13) 및 하전 입자로서의 흑색 하전 입자(14)를 갖고, 백색 하전 입자(13) 및 흑색 하전 입자(14)가 분산매(15)에 분산되어 있다.
백색 하전 입자(13)의 재료는 백색으로 대전 가능하고, 미세한 입자로 형성 가능하면 되고, 특별히 한정되지 않는다. 백색 하전 입자(13)의 재료는, 예를 들어 이산화티타늄, 산화아연, 삼산화안티몬 등의 백색 안료를 포함하는 입자, 고분자, 콜로이드를 사용할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 예를 들어 백색 하전 입자(13)는 이산화티타늄 입자를 정극에 대전해서 사용하고 있다.
흑색 하전 입자(14)는 흑색으로 대전 가능하고, 미세한 입자로 형성 가능하면 되고, 특별히 한정되지 않는다. 흑색 하전 입자(14)의 재료는, 예를 들어 아닐린 블랙, 카본 블랙, 산질화 티타늄 등의 흑색 안료를 포함하는 입자, 고분자, 콜로이드를 사용할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 예를 들어 흑색 하전 입자(14)는 산질화 티타늄을 부극에 대전해서 사용하고 있다. 백색 하전 입자(13) 및 흑색 하전 입자(14)에는 이 입자의 필요에 따라 전해질, 계면 활성제, 금속 비누, 수지, 고무, 오일, 바니시, 컴파운드 등의 대전 제어제를 사용할 수 있다. 그 밖에도, 백색 하전 입자(13) 및 흑색 하전 입자(14)에는 티타늄계 커플링제, 알루미늄계 커플링제, 실란계 커플링제 등의 분산제, 윤활제, 안정화제 등을 첨가할 수 있다.
분산매(15)는 유동성이 있고, 변질되기 어려운 재질이면 되고, 특별히 한정되지 않는다. 분산매(15)의 재질로는 물, 메탄올, 에탄올, 이소프로판올, 부탄올, 옥탄올, 메틸셀로솔브 등의 알코올계 용매, 아세트산에틸, 아세트산 부틸 등의 에스테르류, 아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤 등의 케톤류, 펜탄, 헥산, 옥탄 등의 지방족 탄화수소, 시클로 헥산, 메틸 시클로 헥산 등의 지환식 탄화수소를 사용할 수 있다. 그 밖에도 분산매(15)의 재질로는 벤젠, 톨루엔, 크실렌, 장쇄 알킬기를 갖는 벤젠류 등의 방향족 탄화수소를 사용할 수 있다. 장쇄 알킬기를 갖는 벤젠류로서는 헥실 벤젠, 헵틸 벤젠, 옥틸 벤젠, 노닐 벤젠, 데실 벤젠, 운데실 벤젠, 도데실 벤젠, 트리데실 벤젠, 테트라데실 벤젠 등을 사용할 수 있다. 그 밖에도 분산매(15)로서는, 염화메틸렌, 클로로포름, 사염화탄소, 1,2-디클로로에탄 등의 할로겐화 탄화수소를 사용할 수 있다. 그 밖에도, 분산매(15)의 재질로는 유류나 실리콘 오일을 사용할 수 있다. 이 물질은 단독 또는 혼합물로서 사용할 수 있고, 또한, 카르복실산염과 같은 계면 활성제 등을 배합해도 된다.
격벽(5) 및 전기 영동 분산액(12) 위에는 상부 기판(3)이 설치되어 있다. 상부 기판(3)은 제2 기판으로서의 제2 기재(16)를 구비하고 있다. 제2 기재(16) 위에는 반사 저감막(7)이 설치되어 있다. 반사 저감막(7)은 격벽(5)과 마찬가지로 격자 형상이며, 격벽(5)과 대향하는 장소에 위치하고 있다. 반사 저감막(7)은 얇은 막의 형태로 되어 있다. 제2 기재(16) 및 반사 저감막(7)을 덮어 제2 전극으로서의 공통 전극(17)이 설치되고, 공통 전극(17) 위에는 접착층(18)이 설치되어 있다. 공통 전극(17)은 복수의 화소 영역(6)에 걸쳐 설치된 공통 전극으로 되어 있다. 따라서, 공통 전극(17)은 복수의 화소 전극(11)과 대향한다. 접착층(18)은 격벽(5)과 상부 기판(3)을 접착하는 기능을 구비하고 있다.
제2 기재(16)의 재질은 광 투과성, 강도 및 절연성이 있으면 되고, 특별히 한정되지 않는다. 제2 기재(16)의 재질로 유리나 수지 재료를 사용할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 예를 들어 제2 기재(16)의 재질에 유리판을 사용하고 있다. 반사 저감막(7)은 광을 흡수해 박막 형태로 설치되기 쉬운 재료이면 되고, 특별히 한정되지 않으며, 크롬이나 몰리브덴 등의 금속을 사용할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 예를 들어 반사 저감막(7)의 재질로 몰리브덴을 사용하고 있다.
공통 전극(17)은 투명 도전막이면 되고, 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 공통 전극(17)에는 MgAg, IGO(Indium-gallium oxide), ITO(Indium Tin Oxide), ICO(Indium-cerium oxide), IZO(인듐·아연 산화물) 등을 사용할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 예를 들어 공통 전극(17)에 ITO를 사용하고 있다.
접착층(18)의 재질은 격벽(5)과 상부 기판(3)을 접착 가능하고, 전기 영동 분산액(12)을 변질시키지 않는 재질이면 되고, 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 접착층(18)의 재질로는 폴리우레탄, 폴리요소, 폴리요소-폴리우레탄, 요소-포름알데히드 수지, 멜라민-포름알데히드 수지, 폴리아미드, 폴리에스테르, 폴리술폰아미드, 폴리카르보네이트, 폴리술피네이트, 에폭시 수지, 폴리아크릴산에스테르 등의 아크릴 수지, 폴리메타크릴산에스테르, 폴리아세트산 비닐, 젤라틴, 페놀 수지, 비닐 수지 등을 사용할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 예를 들어 자외성 경화형 아크릴 수지나 에폭시 수지를 사용하고 있다.
도 3은, 전기 영동 표시 장치의 전기 제어 블록도이다. 도 3에 도시한 바와 같이, 전기 영동 표시 장치(1)는 구동 장치(21)와 접속해서 사용된다. 구동 장치(21)는 입력부(22)를 구비하고, 입력부(22)는 전기 영동 표시 장치(1)에 표시하는 화상을 나타내는 화상 신호를 출력하는 장치에 접속되어 화상 신호를 입력한다. 입력부(22)는 제어부(23)와 접속되어 있다. 그리고, 제어부(23)는 기억부(24), 제1 파형 형성부(25) 및 제2 파형 형성부(26)와 접속되어 있다.
기억부(24)는 화상 신호 외에, 화상 신호로부터 전기 영동 표시 장치(1)를 구동하는 신호를 형성할 때에 사용하는 정보를 기억한다. 제어부(23)는 제1 파형 형성부(25) 및 제2 파형 형성부(26)를 제어하는 부위이다. 제어부(23)는 입력부(22)로부터 입력된 화상 신호를 제1 파형 형성부(25) 및 제2 파형 형성부(26)에 송신한다. 또한, 제1 파형 형성부(25) 및 제2 파형 형성부(26)가 파형을 형성할 때에 사용하는 정보를 송신한다.
제1 파형 형성부(25)는 반도체 소자(9c)를 구동하는 구동 신호를 형성한다. 그리고, 제2 파형 형성부(26)는 공통 전극(17)을 구동하는 전압 파형을 형성한다. 제1 파형 형성부(25)는 플렉시블 케이블(4) 및 제어 신호선(9b)을 통해서 반도체 소자(9c)와 접속되고, 반도체 소자(9c)에 화소마다의 구동 신호를 출력한다. 반도체 소자(9c)는 화소 전극(11)과 접속되고, 구동 신호에 대응하는 전압을 화소 전극(11)에 출력한다. 제2 파형 형성부(26)는 플렉시블 케이블(4)을 통해서 공통 전극(17)과 접속되고, 공통 전극(17)에 전압 파형을 출력한다.
도 4는, 전기 영동 표시 장치의 구조를 나타내는 모식 측단면도이며, 도 2의 A-A 선을 따른 단면도이다. 도4의 (a)에 도시한 바와 같이, 전기 영동 표시 장치(1)는 화소 전극(11)과 공통 전극(17) 사이에 전압을 인가해서 사용된다. 그리고, 화소 전극(11)과 공통 전극(17) 사이의 상대 전압을 전환하는 것에 의해 표시를 변경할 수 있다.
화소 전극(11)에 비해 공통 전극(17)을 낮은 전압으로 한다. 이때 흑색 하전 입자(14)는 부극 전압에 대전하고 있으므로, 흑색 하전 입자(14)는 화소 전극(11)에 유인된다. 백색 하전 입자(13)는 정극 전압에 대전하고 있으므로, 백색 하전 입자(13)는 공통 전극(17)에 유인된다. 그 결과, 하부 기판(2)에는 흑색 하전 입자(14)가 집합하고, 상부 기판(3)에는 백색 하전 입자(13)가 집합한다. 상부 기판(3) 측으로부터 전기 영동 표시 장치(1)를 볼 때, 관찰자는 상부 기판(3)을 통해서 백색 하전 입자(13)를 볼 수 있다. 따라서, 화소 영역(6)은 백색 표시가 된다.
반도체 소자(9c)와 접속해서 드레인 전극(9p)이 설치되고, 드레인 전극(9p)과 접속해서 관통 전극(9d)이 설치되어 있다. 이에 의해, 반도체 소자(9c)는 화소 전극(11)과 전기적으로 접속되어 있다.
도4의 (b)에 도시한 바와 같이, 화소 전극(11)에 비해 공통 전극(17)을 높은 전압으로 한다. 이때 흑색 하전 입자(14)는 부극 전압에 대전하고 있으므로, 흑색 하전 입자(14)는 공통 전극(17)에 유인된다. 백색 하전 입자(13)는 정극 전압에 대전하고 있으므로, 백색 하전 입자(13)는 화소 전극(11)에 유인된다. 그 결과, 하부 기판(2)에는 백색 하전 입자(13)가 집합하고, 상부 기판(3)에는 흑색 하전 입자(14)가 집합한다. 상부 기판(3) 측으로부터 전기 영동 표시 장치(1)를 볼 때, 관찰자는 상부 기판(3)을 통해서 흑색 하전 입자(14)를 볼 수 있다. 따라서, 화소 영역(6)은 흑색 표시가 된다.
도 5는, 전기 영동 표시 장치에 입사되는 광의 궤적을 설명하기 위한 모식도이다. 도 5에 도시한 바와 같이, 백색 하전 입자(13)가 공통 전극(17)에 유인되고, 흑색 하전 입자(14)가 화소 전극(11)에 유인되어 있다. 따라서, 도면 중의 화소 영역(6)은 백색 표시로 되어 있다. +Z 방향에서 전기 영동 표시 장치(1)를 보았을 때, 화소 영역(6)은 백색이며, 화소 영역(6)을 둘러싸는 영역은 비화소 영역(27)으로 되어 있다.
전기 영동 표시 장치(1)를 조사하는 광(28)은 비화소 영역(27) 및 화소 영역(6)을 조사한다. 화소 영역(6)을 조사하는 광(28)의 대부분은 백색 하전 입자(13)를 조사하고, 백색 하전 입자(13)에서 난반사해 +Z 방향으로 진행한다. 이에 의해, 관찰자는 화소 영역(6)에서 반사하는 광(28)을 하얗게 느낀다. 화소 영역(6)을 조사하는 광(28)의 일부는 분산매(15)를 통과해서 흑색 하전 입자(14) 및 하부 기판(2)을 조사한다. 흑색 하전 입자(14)는 광(28)을 흡수하므로, 관찰자는 흑색 하전 입자(14)에서 반사하는 광(28)을 느끼기 어렵다. 흑색 하전 입자(14) 및 하부 기판(2)에서 반사된 광(28) 중, 반사 저감막(7)을 조사하는 광(28)은 반사 저감막(7)에서 흡수된다. 따라서, 화소 영역(6) 이외로부터 관찰자를 향해서 진행하는 광(28)을 저감시킬 수 있다.
비화소 영역(27)을 조사하는 광(28)은 반사 저감막(7)으로 진입한다. 반사 저감막(7)은 광(28)을 흡수하므로 비화소 영역(27)에서는 광(28)의 반사가 저감된다. 따라서, 화소 영역(6) 이외로부터 관찰자를 향해서 진행하는 광(28)을 저감시킬 수 있다.
화소 영역(6)의 표시를 흑색 표시로 할 때에도 마찬가지로, 비화소 영역(27)을 조사하는 광(28)은 반사 저감막(7)으로 진입한다. 반사 저감막(7)은 광(28)을 흡수하므로, 비화소 영역(27)에서는 광(28)의 반사가 저감된다. 전기 영동 표시 장치(1)의 콘트라스트는 흑색 표시에 있어서의 휘도와 백색 표시에 있어서의 휘도의 비율이다. 흑색 표시에 있어서의 비화소 영역(27)의 반사광의 휘도를 낮게 함으로써, 전기 영동 표시 장치(1)의 콘트라스트를 올릴 수 있다. 본 실시 형태에서는 반사 저감막(7)이 광(28)을 흡수하기 때문에, 흑색 표시에 있어서 관찰자를 향해서 진행하는 광(28)을 저감시킬 수 있다. 그 결과, 전기 영동 표시 장치(1)의 콘트라스트를 높게 할 수 있다.
흑색 표시에 있어서의 화소 영역(6)의 반사율은 5%정도이다. 파장이 380nm 내지 750nm인 파장의 광(28)에 대하여 비화소 영역(27)에 형성된 반사 저감막(7)의 반사율은 10% 이하가 바람직하고, 5% 이하이면 더욱 바람직하다. 반사 저감막(7)을 설치하지 않을 때의 비화소 영역(27)의 반사율은 15%이다. 반사 저감막(7)을 설치하지 않을 때에 비하여 비화소 영역(27)의 반사를 저감시킴으로써 전기 영동 표시 장치(1)의 콘트라스트를 높게 해서 보기 쉬운 화면으로 할 수 있다.
다음에 상술한 전기 영동 표시 장치(1)의 제조 방법에 대해서 도 6 내지 도 8에서 설명한다. 도 6은, 전기 영동 표시 장치의 제조 방법의 흐름도이며, 도 7 및 도 8은 전기 영동 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 모식도이다. 도 6의 흐름도에 있어서, 스텝 S1은 상부 전극 설치 공정에 상당한다. 이 공정은, 상부 기판(3) 위에 반사 저감막(7), 공통 전극(17) 및 접착층(18)을 설치하는 공정이다. 다음에 스텝 S2로 이행한다. 스텝 S2는 소자 설치 공정이다. 이 공정은, 제1 기재(8) 위에 소자층(9)을 설치하는 공정이다. 다음에 스텝 S3으로 이행한다. 스텝 S3은 하부 전극 설치 공정이다. 이 공정은, 소자층(9) 위에 절연층(10), 관통 전극(9d) 및 화소 전극(11)을 설치하는 공정이다. 다음에 스텝 S4로 이행한다.
스텝 S4는 격벽 설치 공정이다. 이 공정은, 하부 기판(2) 위에 격벽(5)을 설치하는 공정이다. 다음에 스텝 S5로 이행한다. 스텝 S5는 분산액 충전 공정이다. 이 공정은, 화소 영역(6)에 전기 영동 분산액(12)을 충전하는 공정이다. 다음에 스텝 S6으로 이행한다. 스텝 S6은 기판 조립 공정이다. 이 공정은, 격벽(5)과 상부 기판(3)을 접착하는 공정이다. 이상의 공정에 의해 전기 영동 표시 장치(1)를 제조하는 공정을 종료한다.
이어서, 도 7 및 도 8을 이용해서, 도 6에 나타낸 스텝과 대응시켜서 제조 방법을 상세하게 설명한다.
먼저, 상부 기판(3)을 제조한다. 도 7의 (a) 및 도 7의 (b)는 스텝 S1의 상부 전극 설치 공정에 대응하는 도면이다. 도 7의 (a)에 도시한 바와 같이, 제2 기재(16)를 준비한다. 제2 기재(16)에는 유리판을 소정의 두께로 연삭 및 연마해서 표면 거칠기를 작게 한 판을 사용한다. 이어서, 제2 기재(16) 위에 반사 저감막(7)을 설치한다. 스퍼터링법 등의 성막법을 사용해서 몰리브덴의 막을 제2 기재(16) 위에 형성한다. 이어서, 포토리소그래피법에 의해 몰리브덴의 막을 패터닝해서 반사 저감막(7)을 형성한다. 반사 저감막(7)의 평면 형상은 격자 형상으로 한다. 계속해서, 도 7의 (b)에 도시한 바와 같이, 제2 기재(16) 및 반사 저감막(7) 위에 공통 전극(17)을 설치한다. 스퍼터링법 등의 성막법을 사용해서 막 두께 100nm 정도의 ITO막을 제2 기재(16) 및 반사 저감막(7) 위에 형성한다. 이어서, 포토리소그래피법 및 에칭법을 사용해서 ITO막을 패터닝하여 공통 전극(17)을 형성한다.
이어서, 공통 전극(17) 위에 접착층(18)을 설치한다. 접착층(18)은 잉크젯법, 오프셋 인쇄, 스크린 인쇄, 플렉소 인쇄 등의 볼록판 인쇄, 그라비아 인쇄 등의 오목판 인쇄 등의 각종 인쇄법을 사용해서 설치할 수 있다. 그 밖에도, 스핀 코트법, 롤 코트법, 다이 코트법, 슬릿 코트법, 커튼 코트법, 스프레이 코트법, 다이 코트법, 딥 코트법 등을 사용해도 된다.
계속해서, 하부 기판(2)을 제조한다. 도 7의 (c)는 스텝 S2의 소자 설치 공정에 대응하는 도면이다. 도 7의 (c)에 도시한 바와 같이, 스텝 S2에 있어서, 제1 기재(8)를 준비한다. 제1 기재(8)도 유리판을 소정의 두께로 연삭 및 연마해서 표면 거칠기를 작게 한 판을 사용한다. 제1 기재(8) 위에 소자층(9)을 형성한다. 소자층(9)의 형성 방법은 공지이므로 상세한 설명은 생략하고, 개략의 제조 방법을 설명한다. 소자층(9)의 형성 방법은 복수 존재하고 특별히 한정되지 않는다.
먼저, CVD법(chemical vapor deposition)에 의해 제1 기재(8) 위에 도시하지 않은 SiO2의 하지 절연막을 형성한다. 이어서, 하지 절연막 상에, CVD법 등에 의해 막 두께 50nm 정도의 비정질 실리콘막을 형성한다. 그 비정질 실리콘막을 레이저 결정화법 등에 의해 결정화하여 다결정 실리콘 막을 형성한다. 그 후, 포토리소그래피법 및 에칭법 등을 사용해서 섬 형상의 다결정 실리콘 막인 반도체막(9e)을 형성한다.
이어서, 반도체막(9e) 및 하지 절연막을 덮도록 게이트 절연막(9f)를 설치한다. 게이트 절연막(9f)은 막 두께 100nm 정도의 SiO2막이다. 게이트 절연막(9f)은 CVD법 등을 사용해서 형성된다. 이어서, 스퍼터링법 등을 사용해서 게이트 절연막(9f) 위에 막 두께 500nm 정도의 Mo막을 형성한다. 계속해서, 포토리소그래피법 및 에칭법에 의해 Mo막을 패터닝해서 섬 형상의 게이트 전극(9g)을 형성한다. 이어서, 이온 주입법에 의해 반도체막(9e)에 불순물 이온을 주입하고, 소스 영역(9h), 드레인 영역(9j), 채널 형성 영역(9k)을 형성한다. 계속해서, 게이트 절연막(9f)과 게이트 전극(9g)을 덮도록 제1 층간 절연막(9m)을 설치한다. 제1 층간 절연막(9m)은 막 두께 800nm 정도의 SiO2막이다. 이 제1 층간 절연막(9m)은 스퍼터링법 등을 사용해서 형성된다.
이어서, 제1 층간 절연막(9m)에 소스 영역(9h)에 달하는 콘택트 홀과 드레인 영역(9j)에 달하는 콘택트 홀을 형성한다. 그 후, 제1 층간 절연막(9m) 위와 콘택트 홀 및 콘택트 홀 내에, 스퍼터링법 등에 의해 막 두께 500nm 정도의 Mo막을 형성하고, 포토리소그래피법 및 에칭법을 사용해서 패터닝하여 소스 전극(9n), 드레인 전극(9p) 및 배선을 형성한다.
제1 층간 절연막(9m)과 소스 전극(9n)과 드레인 전극(9p)과 배선을 덮도록, 막 두께 800nm 정도의 Si3N4막을 형성하고, 제2 층간 절연막(9r)으로 한다. 포토리소그래피법 및 에칭법을 사용해서 패터닝하여 제2 층간 절연막(9r)에 콘택트 홀을 형성한다.
도 7의 (d) 내지 도 7의 (e)는 스텝 S3의 하부 전극 설치 공정에 대응하는 도면이다. 도 7의 (d)에 도시한 바와 같이, 스텝 S3에 있어서, 소자층(9) 위에 절연층(10)을 설치한다. 먼저 소자층(9) 위에 아크릴 수지를 용해한 용액을 도포해 건조시켜서 고화시킨다. 이어서, 절연층(10)을 포토리소그래피법에 의해 패터닝한다. 절연층(10)의 외형 형상 및 관통 구멍(29)의 형상을 패터닝한다. 계속해서, 에칭액을 사용해서 절연층(10)을 에칭해서 관통 구멍(29)을 형성한다.
도 7의 (e)에 도시한 바와 같이, 절연층(10) 위와 관통 구멍(29) 내에, 스퍼터링법 또는 증착 등의 성막법을 사용해서 막 두께 500nm 정도의 Al막을 형성한다. 또한, 스퍼터링법 또는 증착 등에 의해 Al막 위에 Au막을 적층한다. 계속해서, Al막 및 Au막을 포토리소그래피법에 의해 패터닝하고, 에칭해서 화소 전극(11) 및 도전막(30)을 형성한다. 에칭에는 건식 에칭법을 사용할 수 있다. 도전막(30)은 드레인 전극(9p)과 화소 전극(11)을 도통시킨다.
도 8의 (a)는 스텝 S4의 격벽 설치 공정에 대응하는 도면이다. 도 8의 (a)에 도시한 바와 같이, 스텝 S4에 있어서, 화소 전극(11) 위에 격벽(5)을 설치한다. 먼저, 화소 전극(11)에 격벽(5)의 재료가 되는 감광성 수지 재료를 도포한다. 도포 방법은 오프셋 인쇄, 스크린 인쇄, 볼록판 인쇄 등의 각종 인쇄법을 사용해서 설치할 수 있다. 그 밖에도, 스핀 코트법이나 롤 코트법 등의 코트법을 사용해도 된다. 계속해서, 감광성 수지 재료를 가열 건조해서 고화시킨다. 이어서, 감광성 수지 재료를 포토리소그래피법에 의해 패터닝하고 에칭해서 격벽(5)을 형성한다.
도 8의 (b)는, 스텝 S5의 분산액 충전 공정에 대응하는 도면이다. 도 8의 (b)에 도시한 바와 같이, 스텝 S5에 있어서, 격벽(5)이 설치된 제1 기재(8)를 도시하지 않은 용기 내에 설치한다. 그리고, 분산매(15)에 백색 하전 입자(13) 및 흑색 하전 입자(14)를 더해서 교반하여 전기 영동 분산액(12)을 준비한다. 이어서, 시린지 등의 공급 기구를 사용해서 화소 영역(6)에 전기 영동 분산액(12)을 공급한다. 전기 영동 분산액(12)의 공급 방법은 각종 인쇄법이나 잉크젯법을 사용해도 된다. 전기 영동 분산액(12)은 화소 영역(6)으로부터 넘칠 정도로 공급된다.
도 8의 (c)는 스텝 S6의 기판 조립 공정에 대응하는 도면이다. 도 8의 (c)에 도시한 바와 같이, 스텝 S6에 있어서, 격벽(5) 위에 상부 기판(3)을 설치한다. 먼저, 전기 영동 분산액(12)이 공급된 하부 기판(2)을 감압 챔버 내에 설치한다. 이어서, 격벽(5) 위에 상부 기판(3)을 탑재한다. 계속해서, 감압 챔버 내를 감압해 접착층(18)에 자외선을 조사한다. 접착층(18)은 자외선 경화형 접착제이며, 격벽(5)과 상부 기판(3)이 임시 고정된다. 이어서, 상부 기판(3)이 설치된 하부 기판(2)을 가열해 접착층(18)을 고화시킴으로써 상부 기판(3)이 격벽(5)에 고정된다. 이상의 공정에 의해 전기 영동 표시 장치(1)가 완성된다.
상술한 바와 같이, 본 실시 형태에 따르면, 이하의 효과를 갖는다.
(1) 본 실시 형태에 따르면, 전기 영동 표시 장치(1)를 조사하는 광(28)은 반사 저감막(7) 및 화소 영역(6)을 조사한다. 반사 저감막(7)은 광(28)의 반사를 저감시킨다. 따라서, 반사 저감막(7)으로부터 관찰자를 향해서 진행하는 광(28)을 저감시킬 수 있다. 그 결과, 비화소 영역(27)의 반사를 저감시키기 때문에, 콘트라스트를 높게 할 수 있다.
(2) 본 실시 형태에 따르면, 반사 저감막(7)은 제2 기재(16)와 격벽(5) 사이에 위치한다. 제2 기재(16)를 조사하는 광(28)은 반사 저감막(7) 및 화소 영역(6)을 조사한다. 반사 저감막(7)은 조사하는 광(28)의 반사를 저감시킨다. 화소 영역(6)을 조사하는 광(28)의 일부는 제2 기재(16)의 두께 방향에 대하여 비스듬히 진행한다. 이 광(28)의 일부는 반사 저감막(7)을 통과하지 않고 격벽(5) 내로 진행한다. 그리고, 화소 영역(6)을 통과하지 않고 격벽(5)으로부터 관찰자를 향하는 광(28)은 반사 저감막(7)을 통과하기 때문에 광(28)의 강도가 저감된다. 따라서, 화소 영역(6) 이외로부터 관찰자를 향해서 진행하는 광(28)을 저감시킬 수 있다.
(3) 본 실시 형태에 따르면, 반사 저감막(7)이 제2 기재(16)에 가까운 장소에 위치하고 있다. 따라서, 제2 기재(16)의 -Z 방향측 면에서 반사하는 반사광을 확실하게 저감시킬 수 있다.
(제2 실시 형태)
이어서, 전기 영동 표시 장치의 일 실시 형태에 대해서 도 9을 이용해서 설명한다. 도 9는 전기 영동 표시 장치의 구조를 나타내는 모식 측단면도이다. 본 실시 형태가 제1 실시 형태와 다른 것은, 반사 저감막(7)이 하부 기판(2)에 설치되어 있는 점에 있다. 또한, 제1 실시 형태와 같은 점에 대해서는 설명을 생략한다.
즉, 본 실시 형태에서는, 도 9에 도시한 바와 같이 전기 영동 표시 장치(33)는 하부 기판(34) 및 상부 기판(35)을 구비하고, 하부 기판(34)과 상부 기판(35) 사이에 전기 영동 분산액(12) 및 격벽(5)을 끼우는 구조로 되어 있다. 하부 기판(34)은 제1 기재(8) 위에 소자층(9), 제1 절연층(36), 반사 저감부로서의 반사 저감막(37), 제2 절연층(38) 및 화소 전극(11)이 이 순서대로 적층된 구조로 되어 있다.
제1 절연층(36) 및 제2 절연층(38)의 재질은 제1 실시 형태에 있어서의 절연층(10)과 같은 재질을 사용할 수 있다. 반사 저감막(37)의 재질은 제1 실시 형태에 있어서의 반사 저감막(7)과 같은 재질을 사용할 수 있다. 반사 저감막(37)은 광(28)을 흡수해 광(28)의 반사를 저감시킨다.
상부 기판(35)은 제2 기재(16) 위에 공통 전극(17) 및 접착층(18)이 이 순서대로 적층되어 있다. 상부 기판(35)에는 반사 저감막(7)이 설치되어 있지 않다. 따라서, 비화소 영역(27)을 조사하는 광(28)은 상부 기판(35)을 통과해서 격벽(5)을 조사한다. 또한, 격벽(5)을 조사하는 광(28)은 반사 저감막(37)에 도달해 반사 저감막(37)에 흡수된다. 따라서, 비화소 영역(27)을 조사하는 광(28)은 반사 저감막(37)에 흡수되기 때문에, 비화소 영역(27)에서는 반사광을 저감시킬 수 있다.
하부 기판(34)의 제조 공정의 개략을 설명한다. 스텝 S1의 상부 전극 설치 공정에서는 제1 실시 형태의 공정으로부터 반사 저감막(7)을 형성하는 공정이 삭제된다. 스텝 S2의 소자 설치 공정은 제1 실시 형태의 공정의 경우와 동일한 공정이다. 스텝 S3의 하부 전극 설치 공정에서는 소자층(9) 위에 제1 절연층(36)을 설치한다. 먼저, 소자층(9) 위에 아크릴 수지를 용해한 용액을 도포해 건조시켜서 고화시킨다. 이어서, 아크릴 수지의 막을 포토리소그래피법에 의해 제1 절연층(36)의 외형 형상 및 관통 구멍(36a) 형상을 패터닝한다. 계속해서, 에칭액을 사용해서 아크릴 수지의 막을 에칭해서 제1 절연층(36)의 외형 형상 및 관통 구멍(36a)를 형성한다.
이어서, 제1 절연층(36) 위에 반사 저감막(37)을 설치하는 공정을 행한다. 스퍼터링법 또는 증착법 등의 성막법을 사용해서 몰리브덴의 막을 제1 절연층(36) 위에 형성한다. 이어서, 포토리소그래피법 및 에칭법을 사용해서 몰리브덴의 막을 패터닝해서 반사 저감막(37)을 형성한다. 반사 저감막(37)의 평면 형상은 격자 형상으로 한다.
계속해서, 제1 절연층(36) 위에 제2 절연층(38)을 설치한다. 제1 절연층(36) 및 반사 저감막(37) 위에 아크릴 수지를 용해한 용액을 도포해 건조시켜서 고화시킨다. 이어서, 아크릴 수지의 막을 포토리소그래피법에 의해 제2 절연층(38)의 외형 형상 및 관통 구멍(38a) 형상을 패터닝한다. 계속해서, 에칭법을 사용해서 아크릴 수지의 막을 에칭해서 제2 절연층(38)의 외형 형상 및 관통 구멍(38a)를 형성한다.
이어서, 제2 절연층(38) 위와 관통 구멍(38a) 내에, 스퍼터링법 등의 성막법을 사용해서 Al막을 형성한다. 또한, 스퍼터링법 또는 증착 등에 의해 Al막 위에 Au막을 적층한다. 계속해서, Al막 및 Au막을 포토리소그래피법 및 에칭법을 사용해서 화소 전극(11) 및 도전막(30)을 형성한다. 에칭으로는 건식 에칭법을 사용할 수 있다. 도전막(30)은 드레인 전극(9p)과 화소 전극(11)을 도통시키는 막이다. 이상의 공정에 의해 하부 기판(34)이 형성된다.
상술한 바와 같이, 본 실시 형태에 따르면, 이하의 효과를 갖는다.
(1) 본 실시 형태에 따르면, 비화소 영역(27)을 조사하는 광(28)은 반사 저감막(37)에 흡수된다. 따라서, 비화소 영역(27)에서는 반사광을 저감시킬 수 있기 때문에, 콘트라스트 양호하게 화면을 표시할 수 있다.
(2) 본 실시 형태에 따르면, 반사 저감막(37)은 격벽(5)보다 제1 기재(8)측에 위치하고 있다. 따라서, 반사 저감막(37)을 격벽(5)보다 크게 해도 화소 영역(6)의 면적이 작아지는 경우가 없다. 그 결과, 반사 저감막(37)을 설치해도 개구율을 낮추지 않도록 할 수 있다. 또한, 개구율은, 화소 영역(6)을 합계한 면적을 화소 영역(6)과 비화소 영역(27)을 합계한 면적으로 제산한 값이다. 개구율이 클수록, 백색 표시를 밝게 할 수 있다.
(제3 실시 형태)
이어서, 전기 영동 표시 장치의 일 실시 형태에 대해서 도 10 및 도 11을 이용해서 설명한다. 도 10은 전기 영동 표시 장치의 구조를 나타내는 모식 측단면도이다. 본 실시 형태가 제1 실시 형태와 다른 것은, 반사 저감막(7) 대신 격벽(5)이 광(28)을 흡수하는 점에 있다. 또한, 제1 실시 형태와 같은 점에 대해서는 설명을 생략한다.
즉, 본 실시 형태에서는, 도 10에 도시한 바와 같이 전기 영동 표시 장치(41)는 하부 기판(2) 및 상부 기판(35)을 구비하고, 하부 기판(2)과 상부 기판(35) 사이에 전기 영동 분산액(12) 및 격벽부 및 반사 저감부로서의 격벽(42)을 끼우는 구조로 되어 있다. 제2 실시 형태와 마찬가지로 상부 기판(35)은 제2 기재(16) 위에 공통 전극(17) 및 접착층(18)이 이 순서대로 적층되어 있다. 상부 기판(35)에는 반사 저감막(7)이 설치되어 있지 않다. 따라서, 비화소 영역(27)을 조사하는 광(28)은 상부 기판(35)을 통과해서 격벽(42)을 조사한다.
격벽(42)의 재질은 광(28)의 반사율이 낮고 절연성이 있으며 가공성이 좋은 재질이면 되고, 특별히 한정되지 않으며, 예를 들어, 격벽(42)의 재질로는 카본 필러를 함유하는 아크릴 수지나 에폭시 수지 등의 수지를 사용할 수 있다. 카본 필러는 탄소를 주원료로 하는 충전제이다. 수지 중의 필러 농도가 높을수록 광(28)의 반사율을 낮게 할 수 있다. 한편, 수지 중의 필러 농도가 높을수록, 수지의 체적 저항률이 저하되어 절연성이 저하된다. 본 실시 형태에서는, 예를 들어 카본 필러를 함유하는 아크릴 수지를 채용했다.
비화소 영역(27)의 상부 기판(35)으로부터 진입하는 광(28)은 격벽(42)을 조사한다. 격벽(42)을 조사하는 광(28)은 격벽(42)에 흡수되기 때문에, 격벽(42)에서 반사하는 광의 강도가 저감된다. 따라서, 비화소 영역(27)으로부터 진입해서 비화소 영역(27)으로부터 관찰자를 향해서 진행하는 광(28)을 저감시킬 수 있다.
본 실시 형태에서는, 격벽(42)의 폭을 5㎛로 하고, 격벽(42)의 높이를 30㎛로 했다. 그리고, 사각형의 화소 영역(6)에 있어서의 1변의 격벽(42)의 길이를 80㎛로 했다. 그리고, 격벽(42)의 체적 저항률을 2.81×105Ωcm로 했다. 이때, 하부 기판(2)과 상부 기판(35) 사이의 격벽(42)의 저항은 1.5×109Ω이 된다. 그리고, 화소 전극(11)과 공통 전극(17) 사이에 15V의 전압을 인가했을 때, 격벽(42)을 통과하는 전류는 1×10-8A가 된다. 이 전류값일 때, 전기 영동 표시 장치(41)를 안정되게 구동 가능한 것을 확인했다. 따라서, 화소 영역(6)에 있어서의 1변의 격벽(42)의 저항을 1.5×109Ω 이상으로 함으로써 전기 영동 표시 장치(41)를 안정되게 구동할 수 있다.
본 실시 형태에서는, 수지 중의 필러 농도를 조정함으로써, 흑색 표시에서 비화소 영역(27)의 반사율을 5% 이하로 했다. 그리고, 격벽(42)의 저항은 1.5×109Ω 이상으로 할 수 있었다. 따라서, 전기 영동 표시 장치(41)는 콘트라스트가 양호한 표시를 안정되게 행할 수 있었다.
도 11은 격벽의 제조 방법을 설명하기 위한 모식도이다. 도 11을 이용해서 하부 기판(2)의 제조 공정 개략을 설명한다. 도 11의 (a)에 도시한 바와 같이, 스텝 S4의 격벽 설치 공정에서는 하부 기판(2) 위에 카본 필러를 함유하는 아크릴 수지의 수지막(43)을 설치한다. 아크릴 수지의 수지막(43)은 수지 중의 필러 농도를 조정해서 체적 저항률을 2.81×105Ωcm로 한다. 하부 기판(2) 위에 카본 필러를 함유하는 아크릴 수지를 용해한 용액을 도포해 건조시켜서 고화시킨다. 그 결과, 하부 기판(2) 위에 수지막(43)이 설치된다. 수지막(43)은 변형 가능한 경도로 한다.
도 11의 (b)에 도시한 바와 같이, 이어서, 수지막(43)에 성형형(型)(44)을 가압한다. 성형형(44)에는 격벽(42)의 형상으로 오목부(44a)가 형성되어 있다. 수지막(43)은 성형형(44)에 가압되어 오목부(44a)로 유동한다. 성형형(44)에는 성형형(44)을 가열하는 도시하지 않은 히터가 설치되어 있다. 이어서, 히터를 가열해 성형형(44)을 통해서 수지막(43)을 가열한다. 이에 의해, 수지막(43)이 경화되어 격벽(42)이 된다. 그리고, 수지 중의 필러 농도를 조정하고, 격벽(42)의 저항은 1.5×109Ω 이상으로 한다.
하부 기판(2)의 표면은 얇은 수지막(43)으로 덮여 있다. 이어서, 하부 기판(2)을 도시하지 않은 애싱 장치 내에 설치한다. 도 11의 (c)에 도시한 바와 같이, 산소 가스를 비전리 방사선으로 플라즈마화하고, 하부 기판(2)의 표면에 플라즈마화한 산소 가스를 유동시킨다. 격벽(42) 이외의 수지막(43)은 플라즈마 중의 산소 라디칼과 결합하고, 이산화탄소와 물이 되어 증발해서 박리된다. 이상의 공정에 의해 격벽(42)이 형성된다. 계속해서, 스텝 S5의 분산액 충전 공정 및 스텝 S6의 기판 조립 공정을 행해서 전기 영동 표시 장치(41)를 완성시킨다.
상술한 바와 같이, 본 실시 형태에 따르면, 이하의 효과를 갖는다.
(1) 본 실시 형태에 따르면, 비화소 영역(27)의 상부 기판(35)으로부터 진입하는 광(28)은 격벽(42)을 조사한다. 격벽(42)을 조사하는 광(28)은 광의 강도가 저감된다. 따라서, 비화소 영역(27)으로부터 진입해서 비화소 영역(27)으로부터 관찰자를 향해서 진행하는 광(28)을 저감시킬 수 있다.
(2) 본 실시 형태에 따르면, 화소 영역(6)을 조사하는 광(28)의 일부는 상부 기판(35)의 두께 방향에 대하여 비스듬히 진행한다. 이 광(28)의 일부는 화소 영역(6)의 상부 기판(35)을 통과해서 격벽(42)을 조사한다. 격벽(42)을 조사하는 광(28)은 광의 강도가 저감된다. 따라서, 화소 영역(6)으로부터 진입해서 비화소 영역(27)으로부터 관찰자를 향해서 진행하는 광(28)을 저감시킬 수 있다.
(3) 본 실시 형태에 따르면, 격벽(42)은 화소 전극(11)과 공통 전극(17)을 절연시키기 때문에, 화소 전극(11)과 공통 전극(17)이 도통하는 것을 방지할 수 있다.
(4) 본 실시 형태에 따르면, 격벽(42)이 광(28)을 흡수한다. 따라서, 화소 영역(6)의 면적이 작아지는 경우가 없기 때문에, 개구율을 낮추지 않도록 할 수 있다.
(5) 본 실시 형태에 따르면, 반사 저감막(7)이나 반사 저감막(37)을 설치하는 공정이 추가되지 않는다. 따라서, 생산성 좋게 전기 영동 표시 장치(41)를 제조할 수 있다.
(제4 실시 형태)
이어서, 전기 영동 표시 장치의 일 실시 형태에 대해서 도 12를 이용해서 설명한다. 도 12는 전기 영동 표시 장치의 구조를 나타내는 모식 측단면도이다. 본 실시 형태가 제1 실시 형태와 다른 것은, 반사 저감막(7) 대신 하부 기판(2)의 절연층(10)이 광(28)을 흡수하는 점에 있다. 또한, 제1 실시 형태와 같은 점에 대해서는 설명을 생략한다.
즉, 본 실시 형태에서는, 도 12에 도시한 바와 같이 전기 영동 표시 장치(47)는 제1 기판(48) 및 상부 기판(35)을 구비하고, 제1 기판(48)과 상부 기판(35) 사이에 전기 영동 분산액(12) 및 격벽(5)을 끼우는 구조로 되어 있다. 제2 실시 형태와 마찬가지로 상부 기판(35)은 제2 기재(16) 위에 공통 전극(17) 및 접착층(18)이 이 순서대로 적층되어 있다. 상부 기판(35)에는 반사 저감막(7)이 설치되어 있지 않다. 따라서, 비화소 영역(27)을 조사하는 광(28)은 상부 기판(35)을 통과해서 격벽(5)을 조사한다.
제1 기판(48)은 제1 기재(8) 위에 소자층(9), 반사 저감부로서의 절연층(49) 및 화소 전극(11)이 이 순서대로 적층되어 있다. 그리고, 절연층(49)은 광(28)을 흡수하는 기능을 갖고 있다. 절연층(49)의 재질은 광(28)의 반사율이 낮고 절연성이 있으며, 가공성이 좋은 재질이면 되고, 특별히 한정되지 않으며, 절연층(49)의 재질로는 제3 실시 형태에 있어서의 격벽(42)과 마찬가지 재질을 사용할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 예를 들어 절연층(49)의 재질로 카본 필러를 함유하는 아크릴 수지를 채용했다.
본 실시 형태에서는, 절연층(49)의 체적 저항률을 2.81×105Ωcm로 했다. 이때, 전기 영동 표시 장치(47)를 안정되게 구동 가능한 것을 확인했다. 따라서, 절연층(49)의 체적 저항률을 2.81×105Ωcm 이상으로 함으로써 전기 영동 표시 장치(47)를 안정되게 구동할 수 있다.
본 실시 형태에서는, 수지 중의 필러 농도를 조정함으로써, 흑색 표시에서 비화소 영역(27)의 반사율을 5% 이하로 했다. 그리고, 절연층(49)의 체적 저항률은 2.81×105Ωcm 이상으로 할 수 있었다. 따라서, 전기 영동 표시 장치(47)는 콘트라스트가 양호한 표시를 안정되게 행할 수 있었다.
상술한 바와 같이, 본 실시 형태에 따르면, 이하의 효과를 갖는다.
(1) 본 실시 형태에 따르면, 절연층(49)이 광(28)의 반사를 저감시킨다. 비화소 영역(27)의 상부 기판(35)으로부터 진입하는 광(28)은 격벽(5)을 통과해서 절연층(49)을 조사한다. 절연층(49)을 조사하는 광(28)은 광의 강도가 저감된다. 따라서, 비화소 영역(27)으로부터 진입해서 비화소 영역(27)으로부터 관찰자를 향해서 진행하는 광(28)을 저감시킬 수 있다.
(2) 본 실시 형태에 따르면, 화소 영역(6)의 상부 기판(35)으로부터 진입하는 광(28)의 일부는 전기 영동 분산액(12)을 통과해서 절연층(49)을 조사한다. 절연층(49)을 조사하는 광(28)은 광의 강도가 저감된다. 따라서, 화소 영역(6)으로부터 진입해서 절연층(49)에서 반사하고, 비화소 영역(27)을 통과해서 관찰자를 향해서 진행하는 광(28)을 저감시킬 수 있다.
(3) 본 실시 형태에 따르면, 절연층(49)은 화소 전극(11)과 전압 공급선(9a)를 절연시키기 때문에, 화소 전극(11)과 전압 공급선(9a)이 도통하는 것을 방지할 수 있다.
(4) 본 실시 형태에 따르면, 절연층(49)이 광(28)을 흡수한다. 따라서, 화소 영역(6)의 면적이 작아지는 경우가 없기 때문에, 개구율을 낮추지 않도록 할 수 있다.
(5) 본 실시 형태에 따르면, 반사 저감막(7)이나 반사 저감막(37)을 설치하는 공정이 추가되지 않는다. 따라서, 생산성 양호하게 전기 영동 표시 장치(47)를 제조할 수 있다.
(제5 실시 형태)
이어서, 전기 영동 표시 장치를 탑재한 전자 기기의 일 실시 형태에 대해서 도 13을 이용해서 설명한다. 도 13의 (a)는 전자 북의 구조를 도시하는 개략 사시도이며, 도 13의 (b)는 손목 시계의 구조를 도시하는 개략 사시도면이다. 도 13의 (a)에 도시한 바와 같이, 전자 기기로서의 전자 북(52)은 판상의 케이스(53)를 구비하고 있다. 케이스(53)에는 경첩(54)을 통해서 덮개부(55)가 설치되어 있다. 또한, 케이스(53)에는 조작 버튼(56)과 표시부(57)가 설치되어 있다. 조작자는 조작 버튼(56)을 조작해서 표시부(57)에 표시하는 내용을 조작할 수 있다.
케이스(53)의 내부에는 전자 북(52)을 제어하는 제어부(58)와 표시부(57)를 구동하는 구동부(59)가 설치되어 있다. 제어부(58)는 구동부(59)에 표시 데이터를 출력한다. 구동부(59)는 표시 데이터를 입력해서 표시부(57)를 구동시킨다. 그리고, 구동부(59)는 표시부(57)에 표시 데이터에 대응하는 내용을 표시시킨다. 표시부(57)에는 전기 영동 표시 장치(1), 전기 영동 표시 장치(33), 전기 영동 표시 장치(41) 및 전기 영동 표시 장치(47) 중 어느 하나가 사용되고 있다. 따라서, 전자 북(52)은 콘트라스트 양호하게 표시할 수 있는 전기 영동 표시 장치를 표시부(57)에 구비한 장치로 할 수 있다.
도 13의 (b)에 도시한 바와 같이, 전자 기기로서의 손목 시계(62)는 판상의 케이스(63)를 구비하고 있다. 케이스(63)에는 밴드(64)가 설치되고, 조작자는 밴드(64)를 팔에 감아 손목 시계(62)를 팔에 고정할 수 있다. 또한, 케이스(63)에는 조작 버튼(65)과 표시부(66)가 설치되어 있다. 조작자는 조작 버튼(65)을 조작해서 표시부(66)에 표시하는 내용을 조작할 수 있다.
케이스(63)의 내부에는 손목 시계(62)를 제어하는 제어부(67)와 표시부(66)를 구동하는 구동부(68)가 설치되어 있다. 제어부(67)는 구동부(68)에 표시 데이터를 출력한다. 구동부(68)는 표시 데이터를 입력해서 표시부(66)를 구동한다. 그리고, 구동부(68)는 표시부(66)에 표시 데이터에 대응하는 내용을 표시시킨다. 그리고, 표시부(66)에는 전기 영동 표시 장치(1), 전기 영동 표시 장치(33), 전기 영동 표시 장치(41) 및 전기 영동 표시 장치(47) 중 어느 하나가 사용되고 있다. 따라서, 손목 시계(62)는 콘트라스트 양호하게 표시할 수 있는 전기 영동 표시 장치를 표시부(66)에 구비한 장치로 할 수 있다.
또한, 본 실시 형태는 상술한 실시 형태에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당분야에 있어서 통상의 지식을 갖는 사람에 의해 다양한 변경이나 개량을 부가하는 것도 가능하다. 변형예를 이하에 설명한다.
(변형예 1)
상기 제1 실시 형태에서는, 전기 영동 분산액(12)에 백색 하전 입자(13) 및 흑색 하전 입자(14)를 설치했다. 백색 하전 입자(13) 및 흑색 하전 입자(14) 대신에, 적색, 녹색, 청색 등의 하전 입자를 사용해도 된다. 이 구성에 의하면, 적색, 녹색, 청색 등을 표시함으로써 컬러 표시를 행할 수 있다.
(변형예 2)
상기 제1 실시 형태에서는, 1개의 화소 영역(6)에 1개의 화소 전극(11)이 설치되었다. 1개의 화소 영역(6)에 복수의 화소 전극(11)을 설치해도 된다. 표시를 세분화할 수 있다.
(변형예 3)
상기 제1 실시 형태에서는 백색 하전 입자(13)를 정극에 대전시키고, 흑색 하전 입자(14)를 부극에 대전시켰다. 백색 하전 입자(13)를 부극에 대전시키고, 흑색 하전 입자(14)를 정극에 대전시켜도 된다. 제어하기 쉬운 대전 상태로 해도 된다.
(변형예 4)
상기 제1 실시 형태에서는, 상부 기판(3)에 반사 저감막(7)이 설치되어 있다. 그리고, 상기 제2 실시 형태에서는, 하부 기판(34)에 반사 저감막(37)이 설치되어 있다. 반사 저감막(7)을 구비하는 상부 기판(3)과 반사 저감막(37)을 구비하는 하부 기판(34) 사이에 전기 영동 분산액(12)을 끼우는 구조로 해도 된다. 반사 저감막(7) 및 반사 저감막(37)에 의해 더욱 콘트라스트 양호하게 화면을 표시할 수 있다.
상기 제3 실시 형태에서는, 격벽(42)이 광(28)을 흡수했다. 반사 저감막(7)을 구비하는 상부 기판(3)과 반사 저감막(37)을 구비하는 하부 기판(34) 사이에 전기 영동 분산액(12) 및 격벽(42)을 끼우는 구조로 해도 된다. 반사 저감막(7), 반사 저감막(37) 및 격벽(42)에 의해 더욱 콘트라스트 양호하게 화면을 표시할 수 있다.
그 밖에도, 반사 저감막(7)을 구비하는 상부 기판(3)과 반사 저감막(37)을 구비하지 않는 하부 기판(2) 사이에 전기 영동 분산액(12) 및 격벽(42)을 끼우는 구조로 해도 된다. 그 밖에도, 반사 저감막(7)을 구비하지 않는 상부 기판(35)과 반사 저감막(37)을 구비하는 하부 기판(34) 사이에 전기 영동 분산액(12) 및 격벽(42)을 끼우는 구조로 해도 된다.
상기 제4 실시 형태에서는, 절연층(49)이 광(28)을 흡수했다. 반사 저감막(7)을 구비하는 상부 기판(3)과 절연층(49)을 구비하는 제1 기판(48) 사이에 전기 영동 분산액(12)을 끼우는 구조로 해도 된다. 반사 저감막(7), 절연층(49)에 의해 더욱 콘트라스트 양호하게 화면을 표시할 수 있다. 또한, 반사 저감막(7)을 구비하는 상부 기판(3)과 절연층(49)을 구비하는 제1 기판(48) 사이에 전기 영동 분산액(12) 및 격벽(42)을 끼우는 구조로 해도 된다. 반사 저감막(7), 절연층(49) 및 격벽(42)에 의해 더욱 콘트라스트 양호하게 화면을 표시할 수 있다.
그 밖에도, 반사 저감막(7)을 구비하지 않는 상부 기판(35)과 절연층(49)을 구비하는 제1 기판(48) 사이에 전기 영동 분산액(12) 및 격벽(42)을 끼우는 구조로 해도 된다.
1, 33, 41, 47: 전기 영동 표시 장치
5: 격벽부로서의 격벽
7, 37: 반사 저감부로서의 반사 저감막
8: 제1 기판으로서의 제1 기재
9c: 반도체 소자
11: 제1 전극으로서의 화소 전극
13: 하전 입자로서의 백색 하전 입자
14: 하전 입자로서의 흑색 하전 입자
15: 분산매
16: 제2 기판으로서의 제2 기재
17: 제2 전극으로서의 공통 전극
42: 격벽부 및 반사 저감부로서의 격벽
49: 반사 저감부로서의 절연층
52: 전자 기기로서의 전자 북
57, 66: 표시부
62: 전자 기기로서의 손목 시계

Claims (10)

  1. 반도체 소자가 설치되는 제1 기판과,
    상기 제1 기판과 대향하는 제2 기판과,
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 위치하고 화소 영역을 구획하는 격벽부를 구비하고,
    상기 제2 기판의 법선 방향에서 보았을 때에, 상기 격벽부에 의해 구획된 각각의 영역 내에 하전 입자를 포함하는 전기 영동 분산액이 유지되고, 상기 격벽부와 겹치는 영역에는 광의 반사를 저감시키는 반사 저감부를 갖는 것을 특징으로 하는, 전기 영동 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 반사 저감부는 상기 제2 기판과 상기 격벽부 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는, 전기 영동 표시 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 기판과 상기 격벽부 사이에 상기 반사 저감부를 갖는 것을 특징으로 하는, 전기 영동 표시 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 격벽부가 상기 반사 저감부를 겸하는 것을 특징으로 하는, 전기 영동 표시 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 기판 위에 위치하고 상기 반도체 소자가 설치된 소자층과,
    상기 소자층 위에 위치하는 절연층을 구비하고,
    상기 절연층이 상기 반사 저감부를 겸하는 것을 특징으로 하는, 전기 영동 표시 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 기판에는 제1 전극이 설치되고, 상기 제2 기판에는 제2 전극이 설치되며, 상기 격벽부는 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 절연시키는 것을 특징으로 하는, 전기 영동 표시 장치.
  7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    인접하는 2개의 상기 화소 영역을 이격시키는 상기 격벽부의 저항값이 1×108Ω 이상인 것을 특징으로 하는, 전기 영동 표시 장치.
  8. 표시부와, 상기 표시부를 구동하는 구동부를 구비하고,
    상기 표시부는 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 전기 영동 표시 장치인 것을 특징으로 하는, 전자 기기.
  9. 제1 기판 위에 탄소를 포함하는 수지 재료를 성형해서 격벽부를 설치하고,
    상기 격벽부로 구획된 화소 영역에 분산매 및 하전 입자를 포함하는 전기 영동 분산액을 충전하며,
    상기 격벽부에 겹쳐서 제2 기판을 설치하는 것을 특징으로 하는, 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    인접하는 2개의 상기 화소 영역을 이격시키는 상기 격벽부의 저항값이 1×108Ω 이상인 것을 특징으로 하는, 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
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