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KR101257685B1 - 전기영동 표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents

전기영동 표시장치 및 그 제조방법 Download PDF

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KR101257685B1
KR101257685B1 KR1020070107466A KR20070107466A KR101257685B1 KR 101257685 B1 KR101257685 B1 KR 101257685B1 KR 1020070107466 A KR1020070107466 A KR 1020070107466A KR 20070107466 A KR20070107466 A KR 20070107466A KR 101257685 B1 KR101257685 B1 KR 101257685B1
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thin film
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박재수
이창훈
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은 씰런트 씰링(sealant sealing)전에 미리 댐패턴(dam pattern)을 형성하여 씰런트의 흘러내림을 지연 또는 방지할 수 있는 전기영동표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 그 구성은 하부기판상부에 형성되며, 서로 교차하여 화소영역을 정의하는 게이트라인과 데이터라인; 상기 게이트라인 및 상기 데이터라인과 전기적으로 연결된 박막트랜지스터; 상기 박막트랜지스터를 덮고 있는 보호막; 상기 박막트랜지스터와 전기적으로 연결된 화소전극; 상기 화소전극과 보호막상에 형성되며, 전기영동체를 구비한 표시층; 상기 표시층상에 전면적으로 형성된 공통전극; 상기 공통전극상부에 형성된 상부기판; 상기 하부기판과, 상부기판과 표시층의 외주면에 형성된 씰패턴; 및 상기 씰패턴과 인접하는 상기 하부기판상부에 형성된 댐패턴;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
씰런트, 댐패턴, 전기영동체, 씰패턴, 라미네이션(lamination)

Description

전기영동 표시장치 및 그 제조방법{Electrophoretic Display Device and method for fabricating the same}
본 발명은 전기영동표시장치(Eelctrophoretic Display Device: EPD)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 씰런트 씰링(sealant sealing)전에 미리 댐패턴(dam pattern)을 형성하여 씰런트의 흘러내림을 지연 또는 방지할 수 있는 전기영동 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
전기영동표시장치는 전압이 인가되는 한쌍의 전극을 콜로이드 용액에 담그면 콜로이드 입자가 어느 한쪽의 극성으로 이동하는 현상을 이용한 화상표시장치로서, 백라이트를 사용하지 않으며 넓은 시야각, 높은 반사율, 읽기 쉬움 및 저소비전력 등의 특성을 갖는바, 전기종이(electric paper)로서 각광받을 것으로 기대된다.
이와 같은 전기영동장치는 2개의 전극사이에 전기 영동체가 개재된 구조를 가지며, 2개의 전극중 하나 이상은 투명하여야 이미지를 표시할 수 있다.
이들 전극에 걸쳐 전위를 인가할 경우, 전기 영동체내의 대전입자가 한 전극 또는 다른 하나의 전극으로 이동하는데, 이것에 의해 뷰잉 시트(viewing sheet) 또는 대향전극을 통하여 이미지를 볼 수 있다.
이러한 전기영동 표시장치 구조에 대해 도 1을 참조하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래기술에 따른 전기영동 표시장치의 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 단면도로서, 종래기술에 따른 전기영동 표시장치의 개략적인 단면도이다.
도 1 및 2에 도시된 바와같이, 종래기술에 따른 전기영동 표시장치는, 서로 교차하는 다수의 게이트라인과 데이터라인(미도시), 화소전극(67) 및 게이트라인(미도시)과 화소전극(67)을 전기적으로 연결하는 박막트랜지스터가 형성되어 있는 하부기판(51); 전계(-,+)를 생성하기 위한 화소전극(67)과 마주하여 전계를 발생시키는 공통전극(73)이 형성되어 있는 상부기판(75); 상기 하부기판(51)과 상부기판 (75)사이에 형성되어 있는 표시층(71) 및; 하부기판(51), 상부기판(75) 및 표시층 (71)의 외주면을 도포하는 씰패턴(77)을 포함하여 구성된다.
여기서, 도 2에 도시된 바와같이, 상기 하부기판(51)에는 가로방향으로 복수개의 게이트라인(미도시)과 이 게이트라인(미도시)에 연장되어진 게이트전극(53)이 형성되어 있다.
그리고, 상기 게이트전극(53)과 게이트라인(미도시)을 포함한 하부기판(51)상에는 게이트절연막(55)과 반도체층(57)이 차례로 형성되어 있다.
또한, 상기 반도체층(57)에는 n 형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 저항성 접촉부재, 즉 오믹콘택층(ohmic contact)(59)이 형성되어 있다. 이때, 상기 오믹콘택층(59)은 게이트전극(53)을 중심으로 반도체층(57)의 상부 양측에 형성되어 있다.
그리고, 상기 오믹콘택층(59) 및 게이트절연막(55) 위에는 복수의 데이터라인(미도시)과 이 데이터라인(미도시)에서 연장된 소스전극(61)과 박막트랜지스터의 복수의 드레인전극(63)이 형성되어 있다.
또한, 상기 소스전극(61)과 드레인전극(63) 및 반도체층(57) 그리고 게이트절연막(55)상부에는 평탄화특성이 우수한 저유전율 절연물질로 이루어진 보호막 (65)이 형성되어 있다.
그리고, 상기 보호막(65)에는 상기 드레인전극(63)을 노출시키는 콘택홀(67)이 형성되어 있으며, 상기 보호막(65)에는 상기 드레인전극(63)과 전기적으로 접촉하는 화소전극(69)이 형성되어 있다.
한편, 상기 표시층(71)에는 각각 검은색과 흰색을 띠고 있으며, 양성 (positive) 및 음성(negative)으로 대전된 안료 입자를 가지는 전자잉크(electric ink)를 포함하는 복수개의 전기영동체(71a)가 포함되어 있다.
또한, 상기 표시층(71)상부에는 투명도전물질로 이루어진 공통전극(73)이 전면적으로 형성되어, 화소전극(69)과 마주하여 양성(positive) 및 음성 (negative)으로 대전된 안료 입자를 구동하기 위한 전계를 형성한다.
그리고, 상기 공통전극(73)위에는 글래스 또는 플래스틱 등으로 된 상부기판 (75)이 라미네이션(lamination)되어 있다. 이때, 상기 상부기판(75)과 하부기판 (51)을 부착하기 위해 상부기판(75)이 라미네이터(laminator)를 통해 하부기판 (51)상부에 라미네이션(lamination)되며, 접착제에 의해 하부기판(51)에 부착된다.
더우기, 상기 하부기판(51)과 상부기판(75) 및 이들 기판사이에 개재된 표시층(71)의 외주면에는 씰런트(sealant)에 의한 씰링(sealing) 공정에 의해 씰패턴 (77)이 형성된다. 이때, 씰런트(sealant)를 도포한 후 상부기판(75)과 표시층(71)사이에 씰런트가 장력에 의해 채워지는 효과를 이용하여 씰런트를 상기 상부기판 (71)과 표시층(71)사이에 도포하므로써 씰패턴(77)이 형성된다.
따라서, 이러한 구성으로 이루어진 종래기술에 따른 전기영동 표시장치는, 서로 마주하는 두 전극(67, 73)에 전압을 인가하여 전극 양단에 전위차를 형성하면, 검은색과 흰색을 띤 대전된 안료 입자들이 각각 반대 극성의 전극으로 이동하며, 이를 통하여 관찰자(미도시)는 검은색 또는 흰색으로 이루어진 화상을 보게 된다.
그런데, 상기 구성으로 이루어진 종래기술에 따른 전기영동 표시장치 제조시에 적용하는 씰런트 도포 공정시에 다음과 같은 문제점이 있다.
종래기술에 따른 전기영동 표시장치는 상기 하부기판과 상부기판 및 이들 기판사이에 개재된 표시층의 외주면에는 씰런트(sealant)에 의한 씰링 (sealing) 공정에 의해 씰패턴을 형성하게 되는데, 도 1에서와 같이, 씰런트를 도포한후 일정 시간이 경과하면서 불필요한 영역에 까지 씰런트(77a)가 흘러가게 되므로 인해 후속공정 진행시 불필요한 공정 마진이 요구된다.
특히, 씰런트(sealant) 일부가 구동회로부의 부착 영역의 일부를 차지하게 되어 구동회로부를 부착하는 공정 진행이 어렵게 되므로 인해 패널을 폐기해야 되는 문제점이 있다.
또한, 패널의 일부분에 씰런트를 도포한후 상부기판과 표시층사이에 씰런트가 장력에 의해 채워지는 동안에 패널의 상부기판과 표시층사이의 반대편 씰런트가 지속적으로 패널바깥쪽, 즉 구동회로부 부착영역쪽으로도 흘러가게 된다.
그리고, 도 1에서와 같이, 씰런트의 일부(77a)가 역방향으로의 흐름 (즉, 전기영동 표시장치의 모서리부 및 각 변에서 씰런트의 일부(77a)가 씰패턴영역을 이탈하는 사례)이 발생할 경우, FPC(Flexible Printed Circuit) 부품의 간섭으로 인해 씰런트 불량이 발생하게 된다. 특히, 이렇게 씰런트가 불필요한 영역으로 흐르게 되므로써 전기영동 표시장치의 씰패턴 형성시에 전체 씰런트 소요량이 증가하게 된다.
따라서, 씰런트 공정 마진을 확보하기 위해서는 패널 사이즈가 증가하거나 또는 액티브 영역이 감소해야 하므로, 액티브 영역의 축소로 인해 디자인 마진이 감소하게 된다.
그리고, 씰런트 도포공정시에 많은 씰런트가 소요되기 때문에 씰런트 토출시간 증가로 인해 공정시간이 증가하게 되므로써 설비 생산성이 떨어져서 추가 설비 투자가 필요하게 된다.
이에 본 발명은 상기 종래기술에 따른 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 전기영동 표시장치의 외주면 씰링(side sealing)공정을 진행함에 있어 불필요한 씰런트(sealant)의 흘러내림을 지연 또는 방지할 수 있는 전기영동 표시장치 및 그 제조방법을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전기영동 표시장치는, 하부기판상부에 형성되며, 서로 교차하여 화소영역을 정의하는 게이트라인과 데이터라인; 상기 게이트라인 및 상기 데이터라인과 전기적으로 연결된 박막트랜지스터; 상기 박막트랜지스터를 덮고 있는 보호막; 상기 박막트랜지스터와 전기적으로 연결된 화소전극; 상기 화소전극과 보호막상에 형성되며, 전기영동체를 구비한 표시층; 상기 표시층상에 전면적으로 형성된 공통전극; 상기 공통전극상부에 형성된 상부기판; 상기 하부기판과, 상부기판과 표시층의 외주면에 형성된 씰패턴; 및 상기 씰패턴과 인접하는 상기 하부기판상부에 형성된 댐패턴;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전기영동 표시장치 제조방법은, 하부기판상부에 게이트라인, 반도체층 및 데이터라인으로 이루어지는 박막트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 박막트랜지스터상부에 보호막을 형성하는 단계; 상기 박막트랜지스터와 전기적으로 연결되는 화소전극을 형성하는 단계; 상기 화소전극과 보호막상에 전기영동체를 구비한 표시층을 형성하는 단계; 상기 표시층상에 전면적으로 공통전극을 형성하는 단계; 상기 공통전극상부에 상부기판을 형성하는 단계; 상기 하부기판과, 상부기판과 표시층의 외주면에 씰패턴을 형성하는 단계; 및 상기 씰패턴과 인접한 상기 하부기판상부에 댐패턴을 형성하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 전기영동 표시장치 및 그 제조방법에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명에 따른 전기영동 표시장치 및 그 제조방법은, 전기영동 표시장치의 외주면, 즉 상부기판과 표시층 및 하부기판의 측면전체에 씰런트(sealant)를 도포한후 상부기판과 표시층사이에 씰런트가 채워지는 동안에 역방향으로 씰런트의 불필요한 흐름이 댐패턴(dam pattern)에 지연 또는 방지된다.
또한, 본 발명은 씰링공정시의 마진 감소만큼 패널사이즈의 감소 또는 액티브 사이즈가 증가하게 되므로 씰런트 자재의 필요 소요량이 감소하게 된다.
따라서, 본 발명은 이렇게 씰런트 자재의 필요 소요량이 감소하게 되어, 상부기판과 표시층사이에 씰런트가 장력에 의해 쉽게 빨려 들어 가는 효과가 향상되므로 인하여 장비의 생산공정시간이 단축되어 생산성이 향상된다.
더우기, 본 발명은 박막트랜지스터를 형성하는 공정중에 댐패턴을 형성하므로 인해 추가적인 비용이나 공정을 추가하지 않아도 된다.
그리고, 본 발명은 댐패턴 형성물질로써 박막트랜지스터 패턴(즉, 보호막)뿐 만 아니라 합착용 씰런트 등 다른 물질을 수십 μm 단위로 디스펜싱(dispensing)하거나 인쇄(printing)해도 동일한 효과를 가질 수 있다.
한편, 본 발명은 박막트랜지스터 형성시에 댐패턴과 인접된 부분을 주변영역(박막트랜지스터지역)보다 낮게 형성하여 단차를 크게 하므로써 씰런트의 흐름을 지연 또는 방지해 주는 효과가 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전기영동 표시장치 및 그 제조방법에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 전기영동 표시장치의 개략적인 평면도이고, 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선에 따른 단면도로서, 본 발명의 일실시예에 따른 전기영동 표시장치의 개략적인 단면도이다.
본 발명의 일실시예에 따른 전기영동표시장치는, 도 3에 도시된 바와같이, 하부기판(101)과; 상기 하부기판(101)상부에 형성되고 화상이 표현되는 표시층(미도시)과 상부기판(125) 및 이들 상,하부기판(101,125)과 표시층(미도시)의 외주면에 형성된 씰패턴(127a) 및 이 씰패턴(127a)의 외측에 인접되게 형성된 댐패턴 (dam)(115a)를 포함하여 구성된다.
특히, 본 발명의 일실시예에 따른 전기영동 표시장치는, 도 4에 도시된 바와같이, 서로 교차하는 다수의 게이트라인과 데이터라인(미도시), 화소전극(119) 및 게이트라인(미도시)과 화소전극(119)을 전기적으로 연결하는 박막트랜지스터가 형성되어 있는 하부기판(101); 전계(-,+)를 생성하기 위한 화소전극(119)과 마주하여 전계를 발생시키는 공통전극(123)이 형성되어 있는 상부기판(125); 상기 하부기판 (101)과 상부기판(125)사이에 형성되어 있는 표시층(121); 하부기판(101), 상부기판 (125) 및 표시층(121)의 외주면에 형성된 씰패턴(127a) 및 상기 씰패턴(127a) 일부가 구동회로부 부착영역쪽으로 흘러가는 것을 방지하기 위한 마련된 댐패턴 (115a)을 포함하여 구성된다.
이러한 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 전기영동 표시장치는, 서로 마주하는 두 전극(119, 123)에 전압을 인가하여 전극 양단에 전위차를 형성하면, 검은색과 흰색을 띤 대전된 안료 입자들이 각각 반대 극성의 전극으로 이동하며, 이를 통하여 관찰자(미도시)는 검은색 또는 흰색으로 이루어진 화상을 보게 된다.
여기서, 도 4에 도시된 바와같이, 상기 하부기판(101)에는 복수개의 게이트라인(미도시)과 이 게이트라인(미도시)에 연장되어진 게이트전극 (103)이 형성되어 있다.
그리고, 상기 게이트전극(103)과 게이트라인(미도시)을 포함한 하부기판 (101)상에는 게이트절연막(105)과 반도체층(107)이 차례로 형성되어 있다.
또한, 상기 반도체층(107)에는 n 형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 저항성 접촉부재, 즉 오믹콘택층(ohmic contact)(109)이 형성되어 있다. 이때, 상기 오믹콘택층(109)은 게이트전극(103)을 중심으로 반도체층(107)의 상부양측에 형성되어 있다.
그리고, 상기 오믹콘택층(109) 및 게이트절연막(105) 위에는 복수의 데이터라인(미도시)과 이 데이터라인(미도시)에서 연장된 박막트랜지스터의 소스전극 (111)과 드레인전극(113)이 형성되어 있다.
또한, 상기 소스전극(111)과 드레인전극(113) 및 반도체층(107) 그리고 게이트절연막(105)상부에는 평탄화특성이 우수한 저유전율 절연물질로 이루어진 보호막 (115)이 형성되어 있다.
그리고, 상기 보호막(115)에는 상기 드레인전극(113)을 노출시키는 콘택홀 (117)이 형성되어 있으며, 상기 보호막(115)에는 상기 드레인전극(113)과 전기적으로 연결되는 화소전극(119)이 형성되어 있다.
한편, 상기 표시층(121)에는 각각 검은색과 흰색을 띠고 있으며, 양성 (positive) 및 음성(negative)으로 대전된 안료 입자를 가지는 전자잉크(electric ink)를 포함하는 복수개의 전기영동체(121a)가 포함되어 있다.
또한, 표시층(121)상부에는 투명도전물질로 이루어진 공통전극(123)이 전면적으로 형성되어, 화소전극(119)과 마주하여 양성(positive) 및 음성 (negative)으로 대전된 안료 입자를 구동하기 위한 전계를 형성한다.
그리고, 상기 공통전극(123)위에는 글래스(glass), 플라스틱(plastic) 또는 스틸포일(steel foil) 등으로 된 상부기판(125)이 라미네이션(lamination)되어 있다. 이때, 상기 상부기판(125)과 하부기판(101)을 부착하기 위해 상부기판(125)이 라미네이터(laminator)를 통해 하부기판 (101)상부에 라미네이션(lamination)되며, 접착제에 의해 하부기판(101)에 부착된다.
또한, 상기 하부기판(101)과 상부기판(125) 및 이들 기판사이에 개재된 표시층(121)의 외주면에는 씰런트(sealant)에 의한 씰링(sealing) 공정에 의해 씰패턴 (127a)이 형성되어 있다. 이때, 상기 씰런트(sealant)를 도포한 후 상부기판 (125)과 표시층(121)사이에 씰런트가 장력에 의해 채워지는 효과를 이용하여 씰런트를 상기 상부기판(101)과 표시층(121)의 외주면에 도포하므로써 씰패턴(127a)이 형성된다.
더우기, 상기 씰패턴(127a)과 인접된 하부기판(101)상에는 상기 씰패턴 (127a)을 형성하기 위한 씰런트에 의한 씰링공정시에 씰런트 일부가 구동회로부 부착영역쪽으로 흘러가는 것을 지연 또는 방지해 주는 댐패턴(115a)이 형성되어 있다.
이러한 구성으로 이루어진 본 발명의 일실시예에 따른 전기영동 표시장치의 제조방법에 대해 도 5a 내지 도 5e를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 5a 내지 도 5e는 본 발명의 일시예에 따른 전기영동 표시장치의 제조공정 단면도이다.
도 5a에 도시된 바와 같이, 먼저 글라스, 플라스틱 또는 스틸 포일로 이루어진 하부기판(101)상에 은(Ag), 은 합금(Ag alloy), 알루미늄(Al) 주석(Sn), 몰리브덴(Mo), 또는 알루미늄 합금(Al alloy), 크롬(Cr), 티타늄 (Ti), 탄탈륨(Ta), 몰리브덴-텅스텐(MoW) 등의 저저항 도전물질을 스퍼터링방법으로 증착하고 이를 패터닝하여 복수의 게이트라인(미도시)과 스토리지 하부전극(미도시)을 형성한다. 이때, 상기 각 게이트라인(미도시)의 일부는 복수의 가지가 뻗어 나와 박막트랜지스터의 게이트전극(103)을 이룬다.
그다음, 상기 게이트라인(미도시)과 게이트전극(103)을 포함한 하부기판 (101)상부에는 질화규소(SiNx) 또는 규소산화물 등의 절연물질로 이루어진 게이트절연막(105)을 형성한다.
이어서, 상기 게이트절연막(105)상부에는 수소화 비정질규소(hydrogenated amorphous silicon) 등으로 이루어진 선형 반도체층(107)을 형성한다. 이때, 상기 선형 반도체층(107)은 박막트랜지스터의 채널을 이룬다.
그다음, 상기 반도체층(107)의 상부에는 실리사이드(silicide) 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 등으로 이루어진 저항성 접촉부재인 오믹콘택층(ohmic contact) (109)을 형성한다. 이때, 상기 오믹콘택층 (109)은 게이트전극(103)을 중심으로 반도체층(107)의 상부 양측에 분리되어 위치하고 있다. 또한, 상기 오믹콘택층(109)은 반도체층(107)과 데이터라인(미도시) 및 드레인전극(113)사이에 위치하여 이들사이의 접촉저항을 낮추어 준다.
이어서, 상기 오믹콘택층(109), 반도체층(107) 및 게이트절연막(105)상에는 은(Ag), 은 합금(Ag alloy), 알루미늄 (Al), 주석(Sn), 몰리브덴(Mo), 또는 알루미늄 합금(Al alloy), 크롬(Cr), 티타늄 (Ti), 탄탈륨(Ta), 몰리브덴-텅스텐(MoW) 등의 저저항 도전물질을 스퍼터링방법으로 증착하고 이를 패터닝하여 데이터라인(미도시)과 박막트랜지스터의 드레인전극(113) 및 상기 스토리지하부전극(미도시)과 오버랩되는 스토리지상부전극(미도시)을 형성한다. 이때, 상기 데이터라인(미도시)은 게이트라인(미도시)과 교차하며, 각 데이터라인(미도시)에서 뻗은 복수의 가지는 소스전극(111)을 이룬다. 또한, 상기 한쌍의 소스전극 (111)과 드레인전극(113)은 각각 해당 오믹코택층(109)의 상부에 적어도 일부분이 위치하고 있으며 서로 분 리되어 있다.
따라서, 이렇게 차례로 적층된 게이트전극(103), 게이트절연막(105), 반도체층(107) 및 소스/드레인전극(111, 113)은 단위화소영역에 인가되는 전압의 극성을 제어하는 박막트랜지스터를 이루고, 상기 스토리지하부전극(미도시), 게이트절연막 (105) 및 스토리지상부전극(미도시)은 스토리지 커패시턴스를 구성한다.
그다음, 상기 데이터라인(미도시), 드레인전극(113), 이들로 부터 덮여 있지 않은 반도체층(107) 및 게이트절연막(105) 상부에는 평탄화 특성이 우수하며 유전율이 낮은 아크릴계의 유기절연물질 또는 SiOC 또는 SiOF 등과 같은 절연물질을 이용하여 화학기상증착(CVD; Chemical Vapor Deposition)방법으로 보호막(115)을 형성한다. 이때, 상기 보호막(115)의 하부에는 이미 드러난 반도체층(107a)의 일부를 덮는 산화규소 또는 질화규소 등의 절연물질로 이루어진 층간절연막(미도시)을 추가로 형성할 수도 있다.
이어서, 상기 보호막(115)상부에는 포토레지스트(미도시)를 도포한후 이를 포토리소그라피 공정기술을 이용한 노광 및 현상공정을 진행하고 이어 포토레지스트를 패터닝하여 포토레지스트막패턴(미도시)을 형성한다. 이때, 상기 포토레지스트(미도시)는 포지티브(positive) 감광성물질이지만, 네거티브(negative) 감광성 물질을 사용할 수도 있다. 또한, 상기 포토레지스트막패턴(미도시)은 상기 드레인전극(113) 일부를 노출시키는 콘택홀 형성지역을 제외한 보호막(115)상에 위치한다.
그다음, 상기 포토레지스트막패턴(미도시)을 차단막으로 상기 보호막(115) 을 선택적으로 제거하여 상기 드레인전극(113) 일부를 노출시키는 콘택홀(117)과 함께 하부기판(101)의 외곽부에 댐패턴(115a)을 형성한다.
이어서, 상기 포토레지스트막패턴(미도시)을 제거한후 댐패턴(115a)과 콘택홀(117)을 포함한 보호막(115)과 이미 드러난 게이트절연막(105)상부에 고반사율 특성을 갖는 금속을 증착하고 이를 선택적으로 패터닝하여 상기 드레인전극(113)과 전기적으로 연결되는 화소전극(119)을 형성한다. 이때, 상기 화소전극(119)은 저저항 금속으로 형성하지 않고 투명한 도전물질로 형성할 수도 있으나, 이 경우 전기영동체에 의해 반사되지 못한 빛을 외부로 반사시키지 못하므로 반사율을 향상시키기 위해서는 저저항 금속으로 화소전극을 형성하는 것이 바람직하다.
그다음, 상기 화소전극(119)을 포함한 보호막(115)상에는 전기영동체(121a)를 포함하는 표시층(121)을 형성하는데, 상기 표시층(121)은 베이스필름(미도시), 전기영동체(121a) 및 접착필름(미도시)으로 구성되며, 상기 보호막(115)상에 부착하여 형성하거나 또는 전기영동체 및 바인더로 구성되는 물질을 보호막(115)상에 도포하고 경화하여 형성할 수도 있다. 이때, 상기 표시층(121)은 접착 이면지가 부착되어 필름형태로 제작된 것을 보호막상에 접착하거나 또는 전기영동체와 바인더로 이루어진 물질을 스핀코팅(spin coating)방법, 디핑(dipping)방법, 디스펜서 (dispense)방법, 프린팅 (printing)방법, 잉크젯(ink jet)방법 또는 스크린 도포법 등으로 도포한후 경화하여 형성할 수도 있다.
이를 구체적으로 설명하면, 상기 전기영동체(121a)는 직경이 약 100μm 이하 정도의 크기를 가지는 마이크로 캡슐로서, 전기영동체(121a)내부에는 대전된 안료 입자 이외에도 용매역할을 하는 고분자 물질이 더 첨가된다. 상기 전기영동체 (121a)의 개수는 단위픽셀 크기에 따라 달라질 수 있다.
이러한 전기 영동체(121a)는 흑색 및 백색의 색상을 띄는 이온성 물질의 안료입자를 서로 섞어 캡슐화시켜 형성된 것으로, 정(+)으로 대전된 흑색 안료입자들과 부(-)로 대전된 백색 안료입자들을 반반씩 썩어서 캡슐화하거나 또는 그 반대로 대전시켜 캡슐화한다. 즉, 하나의 전기 영동체(121a)내부에 구비되는 서로 다른 색상의 안료입자는 서로 다른 전극으로 대전된다.
이와 같은 구성으로 이루어진 전기영동체(121a)에 전계를 인가하면, 색상이 상이한 안료입자가 서로 반대방향으로 이동하여 하나의 전기영동체(121a)내부가 서로 다른 색상의 2영역으로 나뉜다. 즉, 화소전극(119)에 정(+)의 전계를 걸어 주면, 정(+)의 흑색 안료입자는 상승하고 부(-)의 백색 안료입자는 하강하여 외부광이 흑색 안료입자에 의해 반사되어 관찰자가 흑색의 이미지를 보게 된다. 또한, 화소전극 (119)에 부(-)의 전계를 걸어 주면, 정(+)의 흑색 안료입자는 하강하고 부(-)의 백색 안료입자는 상승하여 외부광이 백색 안료입자에 의해 반사되어 관찰자가 백색의 이미지를 보게 된다. 이때, 상기 화소전극(119)에 임의의 전계를 걸어 주면, 그에 따라 흑색 안료입자와 백색 안료입자가 상하로 배치되어 그 분포에 따라 그레이 색상이 관찰된다.
이와 같이, 백색 및 흑색으로만 착색된 안료입자를 사용하게 되면 흑백의 이미지만 표현되므로, 컬러 이미지를 표현하기 위해 상기 전기영동체를 구비한 표시층(121)상부에 R,G,B의 컬러필터층을 더 형성할 수도 있다.
그다음, 상기 전기영동체(121a)가 포함된 표시층(121)상부에는 상기 화소전극(119)과 대향하는 투명도전물질, 즉 ITO 또는 IZO 등으로 이루어진 공통전극 (123)을 전면적으로 형성한다. 이때, 상기 공통전극(121)은 화소전극(119)과 마주하여 양성(positive) 또는 음성(negative)으로 대전된 안료 입자를 구동하기 위한 전계를 형성한다.
이어서, 상기 공통전극(123)상에는 글래스(glass), 플라스틱(plastic) 또는 스틸 포일(steel foil) 등으로 된 상부기판(125)을 라미네이션(lamination)하여 부착한다.
최종적으로, 상기 하부기판(101)과, 상기 하부기판(101)에 형성된 표시층 (121) 및 상부기판의 외주면에 열경화성 또는 UV(Ultra Violet) 경화성 수지로 이루어진 씰런트(sealant)(127)를 니들(needle)(131)을 통해 공급하고, 이어 일정시간동안 경화처리하여 씰패턴(127a)을 형성한다. 이때, 상기 씰패턴(127a)을 형성하는 방법으로는 스크린인쇄법(screen printing), 디스펜싱법(dispensing) 또는 기타 다른 방법이 이용된다.
이러한 씰패턴을 형성하는 방법중 디스펜싱방법을 이용하는 경우에 대해 개략적으로 설명하면 다음과 같다.
도면에는 도시하지 않았지만, 씰패턴 형성방법은 씰패턴의 직진성을 유지하기 위해, 디스펜서를 기판의 소정의 변에 대응시킨후 상기 소정의 변을 직선형으로 드로잉(drawing)한후, 상기 디스펜서를 상기 하부기판(101)으로부터 이격한후, 기판 또는 디스펜서를 이동하여 기판의 다음 변에 대해 상기 디스펜서를 대응시킨후 다음 변에 대해 직선형으로 드로잉(drawing)하는 것이다. 즉, 상기 하부기판(101)은 일반적인 전기영동 표시장치를 이루는 일 기판으로, 4변을 갖는 직사각형의 형상이므로, 상기 씰패턴(121)의 드로잉(drawing)을 위한 디스펜싱은 각 기판의 4변마다 각각 4번 디스펜싱이 이루어지거나, 한번에 디스펜싱이 이루어진다.
이렇게 씰런트(127)가 상부기판(125)과 표시층(121)외주면에 도포되면, 상기 씰런트(sealant)(127)는 상부기판(125)과 표시층(121)외주면 및 그 반대편쪽, 즉 하부기판(101)의 외곽부쪽으로 장력에 의해 쉽게 빨려 들어가게 되므로써 상기 상부기판(125)과 표시층(121)외주면에 완전히 도포되면서 일정시간이 지나면서 경화되어 씰패턴(121a)으로 남게 된다.
더우기, 씰런트(sealant)(127)는 상부기판(125)과 표시층(121)의 외주면전체에 채워지는 동안에 역방향, 즉 하부기판(101)의 외곽부쪽으로도 흘러가게 되는데, 하부기판(101)의 외곽부쪽에 형성된 댐패턴(127a)에 의해 씰런트(127)의 흐름이 지연 또는 방지된다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기영동장치에 대해 도 6을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
여기서, 본 발명의 다른 실시예는 전술한 본 발명의 일실시예와 거의 동일하고, 단지 댐패턴과 단차를 갖도록 댐패턴과 인접된 하부기판의 박막트랜지스터 형성지역에서 연장된 보호막에 단차부를 형성한 구조에 차이가 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기영동 표시장치의 개략적인 단면도이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 전기영동 표시장치는, 도 6에 도시된 바와같이, 서로 교차하는 다수의 게이트라인과 데이터라인(미도시), 화소전극(219) 및 게이트라인(미도시)과 화소전극(219)을 전기적으로 연결하는 박막트랜지스터가 형성되어 있는 하부기판(201); 전계(-,+)를 생성하기 위한 화소전극(219)과 마주하여 전계를 발생시키는 공통전극(223)이 형성되어 있는 상부기판(225); 상기 하부기판 (201)과 상부기판(225)사이에 형성되어 있는 표시층(221); 하부기판(201), 상부기판 (225) 및 표시층(221)의 외주면에 형성된 씰패턴(227a) 및 상기 씰패턴(227a) 일부가 구동회로부 부착영역쪽으로 흘러가는 것을 방지하기 위한 마련된 댐패턴 (215a)을 포함하여 구성된다.
이러한 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 전기영동 표시장치는, 서로 마주하는 두 전극(219, 223)에 전압을 인가하여 전극 양단에 전위차를 형성하면, 검은색과 흰색을 띤 대전된 안료 입자들을 각각 반대 극성의 전극으로 이동하며, 이를 통하여 관찰자(미도시)는 검은색 또는 흰색으로 이루어진 화상을 보게 된다.
여기서, 도 6에 도시된 바와같이, 상기 하부기판(201)에는 가로방향으로 복수개의 게이트라인(미도시)과 이 게이트라인(미도시)에 연장되어진 게이트전극 (203)이 형성되어 있다.
그리고, 상기 게이트전극(203)과 게이트라인(미도시)을 포함한 하부기판 (201)상에는 게이트절연막(205)과 반도체층(207)이 차례로 형성되어 있다.
또한, 상기 반도체층(207)에는 n 형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 저항성 접촉부재, 즉 오믹콘택층(ohmic contact)(209)이 형성되어 있다. 이때, 상기 오 믹콘택층(209)은 게이트전극(203)을 중심으로 반도체층(207)의 상부양측에 형성되어 있다.
그리고, 상기 오믹콘택층(209) 및 게이트절연막(205) 위에는 복수의 데이터라인(미도시)과 이 데이터라인(미도시)에서 연장된 박막트랜지스터의 소스전극 (211)과 드레인전극(213)이 형성되어 있다.
또한, 상기 소스전극(211)과 드레인전극(213) 및 반도체층(207) 그리고 게이트절연막(205)상부에는 평탄화특성이 우수한 저유전율 절연물질로 이루어진 보호막 (215)이 형성되어 있다.
그리고, 상기 보호막(215)에는 상기 드레인전극(213)을 노출시키는 콘택홀 (217)이 형성되어 있으며, 상기 보호막(215)에는 상기 드레인전극(213)과 전기적으로 접촉하는 화소전극(219)이 형성되어 있다.
한편, 상기 표시층(221)에는 각각 검은색과 흰색을 띠고 있으며, 양성 (positive) 및 음성(negative)으로 대전된 안료 입자를 가지는 전자잉크(electric ink)를 포함하는 복수개의 전기영동체(221a)가 포함되어 있다.
또한, 상기 표시층(221)상부에는 투명도전물질로 이루어진 공통전극(223)이 전면적으로 형성되어, 화소전극(219)과 마주하여 양성(positive) 및 음성 (negative)으로 대전된 안료 입자를 구동하기 위한 전계를 형성한다.
그리고, 상기 공통전극(223)위에는 글래스, 플래스틱 또는 스틸 포일(steel foil) 등으로 된 상부기판(225)이 라미네이션(lamination)되어 있다. 이때, 상기 상부기판(225)과 하부기판(201)을 부착하기 위해 상부기판(225)이 라미네이터 (laminator)를 통해 하부기판(201)상부에 라미네이션(lamination)되며, 접착제에 의해 하부기판(201)에 부착된다.
또한, 상기 하부기판(201)과 상부기판(225) 및 이들 기판사이에 개재된 표시층(221)의 외주면에는 씰런트(sealant)에 의한 씰링(sealing) 공정에 의해 씰패턴 (227a)이 형성되어 있다. 이때, 상기 씰런트(sealant)를 도포한 후 상부기판(225)과 표시층(221)사이에 씰런트가 장력에 의해 채워지는 효과를 이용하여 씰런트를 상기 상부기판(225)과 표시층(221)의 외주면사이에 도포하므로써 씰패턴(227a)이 형성된다.
더우기, 상기 씰패턴(227a)과 인접된 하부기판(201)상에는 상기 씰패턴 (227a)을 형성하기 위한 씰런트에 의한 씰링공정시에 씰런트 일부가 구동회로부 부착영역쪽으로 흘러가는 것을 지연 또는 방지해 주는 댐패턴(215a)이 형성되어 있다. 이때, 상기 댐패턴(215a)은 상기 박막트랜지스터지역에서 연장되어진 보호막(215)과 인접되어 있으며, 이 보호막(215)과의 사이에 일정한 단차를 갖는 단차부(218)가 형성되어 있다.
이러한 구성으로 이루어진 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기영동 표시장치의 제조방법에 대해 도 7a 내지 도 7e를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 7a 내지 도 7e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기영동 표시장치의 제조공정 단면도이다.
도 7a에 도시된 바와 같이, 먼저 글라스(glass), 플라스틱(plastic) 또는 스틸 포일(steel foil)로 이루어진 하부기판(201)상에 은(Ag), 은 합금(Ag alloy), 알루미늄(Al) 주석(Sn), 몰리브덴(Mo), 또는 알루미늄 합금(Al alloy), 크롬(Cr), 티타늄 (Ti), 탄탈륨(Ta), 몰리브덴-텅스텐(MoW) 등의 저저항 도전물질을 스퍼터링방법으로 증착하고 이를 패터닝하여 복수의 게이트라인(미도시)과 스토리지 하부전극(미도시)을 형성한다. 이때, 상기 하부기판(201)은 글라스(glass), 플라스틱 (plastic) 또는 스틸 포일(steel foil) 등이 바람직하다.
그리고, 상기 각 게이트라인(미도시)의 일부는 복수의 가지가 뻗어 나와 박막트랜지스터의 게이트전극(203)을 이룬다.
그다음, 상기 게이트라인(미도시)과 게이트전극(203)을 포함한 하부기판 (101)상부에는 질화규소(SiNx) 또는 규소산화물 등의 절연물질로 이루어진 게이트절연막(105)을 형성한다.
이어서, 상기 게이트절연막(205)상부에는 수소화 비정질규소(hydrogenated amorphous silicon) 등으로 이루어진 선형 반도체층(207)을 형성한다. 이때, 상기 선형 반도체층(207)은 박막트랜지스터의 채널을 이룬다.
그다음, 상기 반도체층(207)의 상부에는 실리사이드(silicide) 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 등으로 이루어진 저항성 접촉부재인 오믹콘택층(ohmic contact) (209)을 형성한다. 이때, 상기 오믹콘택층 (109)은 게이트전극(103)을 중심으로 반도체층(207)의 상부양측에 분리되어 위치하고 있다. 또한, 상기 오믹콘택층(209)은 반도체층(207)과 데이터라인(미도시) 및 드레인전극(113)사이에 위치하여 이들사이의 접촉저항을 낮추어 준다.
이어서, 상기 오믹콘택층(209), 반도체층(207) 및 게이트절연막(205)상에는 은(Ag), 은 합금(Ag alloy), 알루미늄 (Al), 주석(Sn), 몰리브덴(Mo), 또는 알루미늄 합금(Al alloy), 크롬(Cr), 티타늄 (Ti), 탄탈륨(Ta), 몰리브덴-텅스텐(MoW) 등의 저저항 도전물질을 스퍼터링방법으로 증착하고 이를 패터닝하여 데이터라인(미도시)과 박막트랜지스터의 드레인전극(213) 및 상기 스토리지하부전극(미도시)과 오버랩되는 스토리지상부전극(미도시)을 형성한다. 이때, 상기 데이터라인(미도시)은 게이트라인(미도시)과 교차하며, 각 데이터라인(미도시)에서 뻗은 복수의 가지는 소스전극(211)을 이룬다. 또한, 상기 한쌍의 소스전극 (211)과 드레인전극(213)은 각각 해당 오믹코택층(209)의 상부에 적어도 일부분이 위치하고 있으며 서로 분리되어 있다.
따라서, 이렇게 차례로 적층된 게이트전극(203), 게이트절연막(205), 반도체층(207) 및 소스/드레인전극(211, 213)은 단위화소영역에 인가되는 전압의 극성을 제어하는 박막트랜지스터를 이루고, 상기 스토리지하부전극(미도시), 게이트절연막 (205) 및 스토리지상부전극(미도시)은 스토리지 커패시턴스를 구성한다.
그다음, 상기 데이트라인(미도시), 드레인전극(213), 이들로 부터 덮여 있지 않은 반도체층(207) 및 게이트절연막(205) 상부에는 평탄화 특성이 우수하며 유전율이 낮은 아크릴계의 유기절연물질 또는 SiOC 또는 SiOF 등과 같은 절연물질을 이용하여 화학기상증착(CVD; Chemical Vapor Deposition)방법으로 보호막(215)을 형성한다. 이때, 상기 보호막(215)의 하부에는 드러난 반도체층(207a)의 일부를 덮는 산화규소 또는 질화규소 등의 절연물질로 이루어진 층간절연막(미도시)을 추가로 형성할 수도 있다.
이어서, 상기 보호막(215)상부에는 포토레지스트(미도시)를 도포한후 이를 포토리소그라피 공정기술을 이용한 노광 및 현상공정을 진행하고 이어 포토레지스트를 패터닝하여 포토레지스트막패턴(미도시)을 형성한다. 이때, 상기 포토레지스트(미도시)는 포지티브(positive) 감광성물질을 사용하는데, 네거티브(negative) 감광성 물질을 사용할 수도 있다. 또한, 상기 포토레지스트막패턴(미도시)은 상기 드레인전극(213) 상부 및 단차부(미도시; 도 7a의 218) 형성지역을 제외한 보호막 (215)상에 위치한다.
그다음, 상기 포토레지스트막패턴(미도시)을 차단막으로 상기 보호막(215) 을 선택적으로 제거하여 상기 드레인전극(213) 일부를 노출시키는 콘택홀(217)과 함께 하부기판(201)의 외곽부에 단차부(218) 및 댐패턴(215a)을 형성한다. 이때, 상기 댐패턴(215a)과 보호막(215)은 상기 단차부(218)에 의해 일정한 단차를 갖게 된다.
이어서, 상기 포토레지스트막패턴(미도시)을 제거한후 댐패턴(215a)과 콘택홀(217)을 포함한 보호막(215)과 드러난 게이트절연막(205)상부에 고반사율 특성을 갖는 금속을 증착하고 이를 선택적으로 패터닝하여 상기 드레인전극(213)과 전기적으로 연결되는 화소전극(219)을 형성한다. 이때, 상기 화소전극(219)은 저저항 금속으로 형성하지 않고 투명한 도전물질로 형성할 수도 있으나, 이 경우 전기영동체에 의해 반사되지 못한 빛을 외부로 반사시키지 못하므로 반사율을 향상시키기 위해서는 저저항 금속으로 화소전극을 형성하는 것이 바람직하다.
그다음, 상기 화소전극(219)을 포함한 보호막(215)상에는 전기영동체(221a) 를 포함하는 표시층(221)을 형성하는데, 상기 표시층(221)은 베이스필름(미도시), 전기영동체(221a) 및 접착필름(미도시)으로 구성되며, 상기 보호막(215)상에 부착하여 형성하거나 또는 전기영동체 및 바인더로 구성되는 물질을 보호막상에 도포하고 경화하여 형성할 수도 있다. 이때, 상기 표시층(221)은 접착 이면지가 부착되어 필름형태로 제작된 것을 보호막상에 접착하거나 또는 전기영동체와 바인더로 이루어진 물질을 스핀코팅(spin coating)방법, 디핑(dipping)방법, 디스펜서(dispense)방법, 프린팅 (printing)방법, 잉크젯(ink jet)방법 또는 스크린 도포법 등으로 도포한후 경화하여 형성할 수도 있다.
이를 구체적으로 설명하면, 상기 전기영동체(221a)는 직경이 약 100μm 이하 정도의 크기를 가지는 마이크로 캡슐로서, 전기영동체(221a)내부에는 대전된 안료입자 이외에도 용매역할을 하는 고분자 물질이 더 첨가된다. 상기 전기영동체 (221a)의 개수는 단위픽셀 크기에 따라 달라질 수 있다.
이러한 전기 영동체(221a)는 흑색 및 백색의 색상을 띄는 이온성 물질의 안료입자를 서로 섞어 캡슐화시켜 형성된 것으로, 정(+)으로 대전된 흑색 안료입자들과 부(-)로 대전된 백색 안료입자들을 반반씩 썩어서 캡슐화하거나 또는 그 반대로 대전시켜 캡슐화한다. 즉, 하나의 전기 영동체(221a)내부에 구비되는 서로 다른 색상의 안료입자는 서로 다른 전극으로 대전된다.
이와 같은 구성의 전기영동체(221a)에 전계를 인가하면, 색상이 상이한 안료입자가 서로 반대의 방향으로 이동하여 하나의 전기영동체(221a)내부가 서로 다른 색상의 2영역으로 나뉜다. 즉, 화소전극(219)에 정(+)의 전계를 걸어 주면, 정(+) 의 흑색 안료입자는 상승하고 부(-)의 백색 안료입자는 하강하여 외부광이 흑색 안료입자에 의해 반사되어 관찰자가 흑색의 이미지를 보게 된다. 또한, 화소전극 (219)에 부(-)의 전계를 걸어 주면, 정(+)의 흑색 안료입자는 하강하고 부(-)의 백색 안료입자는 상승하여 외부광이 백색 안료입자에 의해 반사되어 관찰자가 백색의 이미지를 보게 된다. 이때, 화소전극(219)에 임의의 전계를 걸어 주면, 그에 따라 흑색 안료입자와 백색 안료입자가 상하로 배치되어 그 분포에 따라 그레이 색상이 관찰된다.
이와 같이, 백색 및 흑색으로만 착색된 안료입자를 사용하게 되면 흑백의 이미지만 표현되므로, 컬러 이미지를 표현하기 위해 상기 전기영동체를 구비한 표시층(221)상부에 R,G,B의 컬러필터층을 더 형성할 수도 있다.
그다음, 상기 전기영동체(221a)가 포함된 표시층(221)상부에는 상기 화소전극(219)과 대향하는 투명도전물질, 즉 ITO 또는 IZO 등으로 이루어진 공통전극 (223)을 전면적으로 형성한다. 이때, 상기 공통전극(223)은 화소전극(219)과 마주하여 양성(positive) 또는 음성(negative)으로 대전된 안료 입자를 구동하기 위한 전계를 형성한다.
이어서, 상기 공통전극(223)상에는 글래스(glass), 플라스틱(plastic) 또는 스틸 포일(steel foil) 등으로 된 상부기판(225)을 라미네이션(lamination)하여 부착한다.
최종적으로, 상기 하부기판(201)의 단차부(218)과, 상기 하부기판(201)에 형성된 표시층(221) 및 상부기판(201)의 외주면에 열경화성 또는 UV(Ultra Violet) 경화성 수지로 이루어진 씰런트(sealant)(227)을 니들(needle)(231)을 통해 공급하고, 이어 일정시간동안 경화처리하여 씰패턴(227a)을 형성한다. 이때, 상기 씰패턴 (227a)을 형성하는 방법으로는 스크린인쇄법(screen printing), 디스펜싱법 (dispensing) 또는 기타 다른 방법이 이용된다.
이렇게 씰런트(227)가 하부기판(201)의 단차부(218)와, 상부기판(225)과 표시층(221)외주면에 도포되면, 상기 씰런트(sealant)(227)는 상부기판(225)과 표시층(221)외주면 및 그 반대편쪽, 즉 하부기판(201)의 외곽부쪽으로 장력에 의해 쉽게 빨려 들어가게 되므로써 상기 상부기판(225)과 표시층(221)외주면에 완전히 도포되면서 일정시간이 지나면서 경화되어 씰패턴(121a)으로 남게 된다.
하지만, 씰런트(sealant)(227) 일부는 상부기판(225)과 표시층(221)의 외주면전체에 채워지는 동안에 역방향, 즉 하부기판(201)의 외곽부쪽으로도 흘러가게 되는데, 하부기판(201)의 외곽부쪽에 형성된 댐패턴(227a)에 의해 씰런트(227)의 흐름이 지연 또는 방지된다. 특히, 박막트랜지스터 형성시에 댐패턴(215a)과 인접된 부분을 주변영역(박막트랜지스터지역)보다 낮게 형성한 단차부(218)에 의해 단차를 크게 하므로써 씰런트의 흐름을 지연 또는 방지해 주는 효과가 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것이 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형 태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
도 1은 종래기술에 따른 전기영동 표시장치의 개략적인 평면도.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 단면도로서, 종래기술에 따른 전기영동 표시장치의 개략적인 단면도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 전기영동 표시장치의 개략적인 평면도.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선에 따른 단면도로서, 본 발명의 일실시예에 따른 전기영동 표시장치의 개략적인 단면도,
도 5a 내지 도 5e는 본 발명의 일실시예에 따른 전기영동 표시장치의 제조공정단면도.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기영동 표시장치의 개략적인 단면도.
도 7a 내지 도 7e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기영동 표시장치의 제조공정 단면도.
*** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ***
101 : 하부기판 103 : 게이트전극
105 : 게이트절연막 107 : 반도체층
109 : 오믹콘택층 111 : 소스전극
113 : 드레인전극 115 : 보호막
115a : 댐패턴 117 : 콘택홀
119 : 화소전극 121 : 표시층
121a : 전기영동체 123 : 공통전극
125 : 상부기판 127 : 씰런트
127a : 씰패턴 131 : 니들

Claims (8)

  1. 하부기판상부에 형성되며, 서로 교차하여 화소영역을 정의하는 게이트라인과 데이터라인;
    상기 게이트라인 및 상기 데이터라인과 전기적으로 연결된 박막트랜지스터;
    상기 박막트랜지스터를 덮고 있는 보호막;
    상기 박막트랜지스터와 전기적으로 연결된 화소전극;
    상기 화소전극과 보호막상에 형성되며, 전기영동체를 구비한 표시층;
    상기 표시층상에 전면적으로 형성된 공통전극;
    상기 공통전극 상부에 형성된 상부기판;
    상기 하부기판과, 상부기판 및 표시층의 외주면에 형성된 씰패턴; 및
    상기 하부기판상의 상기 씰패턴의 외측에 이 씰패턴과 인접하게 형성된 댐패턴;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 하부기판과 상부기판은 글라스, 플라스틱 또는 스틸 포일중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 댐패턴은 상기 보호막과 동일한 재질로 구성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 보호막은 상기 댐패턴과의 사이에 일정한 단차를 갖는 단차부가 마련된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치.
  5. 하부기판과 상부기판을 제공하는 단계;
    상기 하부기판 상부에 게이트라인, 반도체층 및 데이터라인으로 이루어지는 박막트랜지스터를 형성하는 단계;
    상기 박막트랜지스터상부에 보호막을 형성하는 단계;
    상기 하부기판의 외곽부에 댐패턴을 형성하는 단계;
    상기 보호막 상에 상기 박막트랜지스터와 전기적으로 연결되는 화소전극을 형성하는 단계;
    상기 화소전극과 보호막 상에 전기영동체를 구비한 표시층을 형성하는 단계;
    상기 표시층 상에 전면적으로 공통전극을 형성하는 단계;
    상기 공통전극 상부에 상기 상부기판을 라미네이션하는 단계; 및
    상기 하부기판과 상부기판 및 표시층의 외주면과 상기 댐패턴 사이에 씰패턴을 형성하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치 제조방법.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 하부기판과 상부기판은 글라스, 플라스틱 또는 스틸 포일중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치 제조방법.
  7. 제 5항에 있어서, 상기 댐패턴은 상기 화소전극을 형성하기 전단계에 보호막을 선택적으로 패터닝하여 형성하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치 제조방 법.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 화소전극을 형성하기 전단계 보호막을 선택적으로 패터닝하여 댐패턴과 함께 상기 댐패턴과 일정한 단차를 갖는 단차부를 형성하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치 제조방법.
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