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KR20070084562A - 전자기적으로 제어가능한 조절 장치, 및 그 제조 및/또는조정 방법 - Google Patents

전자기적으로 제어가능한 조절 장치, 및 그 제조 및/또는조정 방법 Download PDF

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KR20070084562A
KR20070084562A KR1020077011874A KR20077011874A KR20070084562A KR 20070084562 A KR20070084562 A KR 20070084562A KR 1020077011874 A KR1020077011874 A KR 1020077011874A KR 20077011874 A KR20077011874 A KR 20077011874A KR 20070084562 A KR20070084562 A KR 20070084562A
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KR
South Korea
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actuator
valve
closing
adjusting
electromagnetically actuated
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Application number
KR1020077011874A
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English (en)
Inventor
요아힘 본
홀거 콜만
Original Assignee
콘티넨탈 테베스 아게 운트 코. 오하게
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Publication date
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Abstract

본 발명은, 유체의 유동을 제어하는데 사용될 수 있는 전자기적으로 제어가능한 제어 장치, 구체적으로 유압식 또는 공압식 아날로그 밸브 도는 아날로그화된 제어 밸브 (10) 의 제조 및/또는 조절 방법에 관한 것이다. 본 방법에 따르면, 밸브의 특성이 스페이서 (1) 의 삽입에 의해 조절된다. 스페이서 (1) 는 전기자의 이동에 대응하는 축방향으로 회귀 소자의 정지부를 적어도 변위가 가능하게 한다. 유익하게도, 조절 장치의 하나의 전자기 특성이 측정되고, 측정된 특성 그 자체 또는 그로부터 유도된 변수는 조절 변수의 제어를 위한 실제값으로 사용된다. 조절 변수는 조절 장치를 제조 또는 조절하는데 직접적으로 사용된다. 본 발명은 또한 상술한 조절 장치에 관한 것이고, 조절 장치는 상기 발명이 실행될 수 있게 한다.

Description

전자기적으로 제어가능한 조절 장치, 및 그 제조 및/또는 조정 방법{ELECTROMAGNETICALLY CONTROLLABLE ADJUSTING DEVICE AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF AND/OR RECTIFICATION}
본 발명은 청구항 1 의 전제부에 따른 방법 및 청구항 8 항의 전제부에 따른 액츄에이터에 관한 것이다. 특히, 통상의 액츄에이터는 적어도 ABS 기능을 갖는 자동차용 브레이크 제어 시스템에서의 아날로그화된 디지털 제어 밸브 (A/D 밸브) 에 관계한다.
자동차 브레이크 시스템용 ABS 제어 유닛에서 전자기적으로 제어가능한 아날로그화된 밸브뿐만 아니라, 개선된 제어의 목적 또는 소음 감소를 위해서 ESP 등과 같은 추가적인 기능을 갖는 동역학적 주행 제어기가 사용되는 것이 당해 분야에 공지되어 있다.
최신형 유압식 제어 장치에서, 아날로그화된 스위치 밸브가 사용된다. 아날로그화된 스위치 밸브는 PWM 전류 제어에 의해 대부분이 구동되는 솔레노이드 밸브이고, 그 자체가 완전히 개방되거나 폐쇄하도록 설계되지만, 아날로그 제어 특성을 가지는 중요한 전류 제어에 의해 작동된다.
EP 0 813 481 B1 (P 7565) 는, 특히 밸브 작동 전류의 전류 변화로부터 압력 조건을 판정하기 위해서 아날로그 작동 스위치 밸브의 스위치 포인트를 검출하는 방법을 개시한다.
원리적으로, 밸브의 자석 코일을 통한 전류의 변화에 의해 압력차에 따라 결과적으로 대응하는 아날로그화된 스위치 밸브의 압력 구배 또는 유동 (G) 을 조절하는 것이 가능하다. 제어 범위의 체적 유동 (Q) 이 매우 정확하게 조절될 수 있다. 영향을 미치는 필수적인 계수는, 압력차 (ΔP), 밸브의 자석 코일에 흐르는 전류 (I), 다양한 밸브 파라미터이고, 이들은 기계적으로 미리 결정되며 통상적으로 공차를 포함하고 있다. 소망하는 유동을 정하기 위해서 특성 필드 (characteristic field) 를 사용하는 것이 가능하지만, 한번 정해진 특성 필드에 상기 양의 의존성을 저장하는 것은 용이하지 않다. 이는, 제조에 의한 밸브 성분의 공차가 필요한 구동 전류에 비교적 큰 영향을 미치기 때문이다. 따라서, 밸브 제조시 각각의 개별 밸브를 위한 특성 필드를 판정하고, 제어 유닛의 전자 기기의 메모리에 저장하는 것이 필요하다. 하지만, 개별적인 밸브를 위한 특성 커브를 수립하기 위해서, 측정 방법은 공급자의 사이트 또는 자동차 제조 공장에서 조립 라인의 최종 단계에서 제어 유닛의 정해진 가압이 필요하여 복잡해진다. WO 01/98124 A1 (P 9896) 호에 설명된 바와 같이, 이 방법을 판정할 수 있는 특성 필드는 소망하는 압력 구배를 조절하는데 사용될 수 있다.
2004년 7월 28일 자의 사전 미공개 출원 PCT/EP 2004/051635 (P 10989) 에서는, 밸브 시트가 개선된 밸브 제어를 달성하도록 변위될 수 있는, 밸브의 조절 방법이 설명되어 있다. 그 방법에는 의도된 아날로그 제어를 위해서 더욱 잘 사 용될 수 있도록, 언급된 액츄에이터의 특성을 개선하는 목적이 여전히 존재한다.
본 발명에 따르면, 본 목적은 청구항 1 에 의한 방법 및 청구항 8 에 의한 액츄에이터에 의해 달성된다.
특성 커브, 또는 특히 그 구배의 편차가 잔류하는 상술한 원인은 주로 기구의 공차 (예컨대 변하는 스프링 힘) 및 자기장 회로의 공차 (예컨대, 에어 슬롯의 자기 저항 등) 로부터 기인한다는 점이 발견되었다. 정해진 에어 슬롯 범위 (예를 들어, 거리 (d), 전기자와 하우징 (7) 사이의 슬롯) 가 액추에이터의 균일한 거동을 유지한다는 것이 추가로 발견되었다. 따라서, 연속 제조시 전자기적 특성 및 기계적 특성에서 가능한 한 미소한 편차를 나타내는 균일한 밸브가 필요하다. 특히, 액츄에이터를 위한 균일한 전류 특성 커브가 소정의 에어 슬롯 범위를 유지함으로써, 특히 정해진 자속에서 스프링 힘의 동시 조절에 의해서 달성될 수 있다. 결과적으로, 바람직하게는 본 발명은 특히 적절한 에어 슬롯을 조절할 수 있는 방법에 관한 것이다.
명백하게도, 밸브의 설계시 가능한 한 큰 에어 슬롯 (d) 을 요구하는 이유가 존재한다. 하지만, 이 과정은 전자 구동시의 문제점이며, 전류에 따라 자기력을 감소시킨다. 따라서, 에어 슬롯 (d) 을 위한 최적의 범위 또는 값이 있으며, 그 범위 또는 값은 반복 시험 (routine test) 에 의해 용이하게 발견될 수 있다.
본 발명의 방법은, 정해진 에어 슬롯 범위가 밸브의 작동점에서 유지되도록 액츄에이터에 삽입된 스페이서 소자에 의해 리셋팅 소자의 특성 (힘/이동 특성 커브) 을 조작하게 한다. 밸브 시트의 변위에 의한 나머지 에어 슬롯의 조절과 비교하면, 밸브 제어가 개선된 품질로 실행될 수 있기 때문에 더욱 유리하다. 결과적으로, 리셋팅 소자를 위한 설비 공간, 및 리셋팅 소자의 예비 하중이 스페이서 소자의 삽입에 의해서 목표로 설정된 방식으로 조절된다.
본 방법의 바람직한 실시형태에 따르면, 액츄에이터의 하나 이상의 전자기 특성이 측정되고, 측정된 전자기 특성 자체 또는 그로부터 유도된 양은, 리셋팅 소자의 이동 방향으로 전기자 접합면 (17 ; 도 2 참조) 에 대하여 스페이서 소자의 삽입 깊이 (l) 를 판정하기 위해서 명령 변수로 사용된다. 이는, 작동점에서 리셋팅 소자의 스프링 예비 하중을 정해진 값으로 조절하게 한다.
"액츄에이터" 라는 용어는 유체 유동의 조절을 위한 밸브 및 슬라이드에 관한 것이다. 가장 바람직하게는, 사용된 액츄에이터는 밸브이다. 바람직한 유체는 공기 또는 임의의 적절한 유압식 유체이고, 특히 브레이크용의 통상의 브레이크 유체이다. 액츄에이터는 전자기계적 설비 및 폐쇄 소자를 갖는 밸브 작동 장치를 포함한다. 적절하게는 전자기계적 설비은 전기자에 기계적으로 연결되거나 그와 함께 작동하는 폐쇄 소자를 포함한다. 적절하게는, 폐쇄 소자는 태핏이다. 폐쇄 소자는 여자기 코일을 통해서 흐르는 전류가 없이 리셋팅 소자에 의해 후방으로 이동된다. 바람직하게는 리셋팅 소자는 리셋팅 스프링이다.
적절하게는, 액츄에이터는 완전히 개방된 위치 및 완전히 폐쇄된 위치를 가진다. 액츄에이터의 유형에 따라, 정상 개방 (NO-V) 또는 정상 폐쇄 (NC-V) 액츄에이터는 리셋팅 소자의 작동에 반응하여 이들 위치 중의 하나를 채택한다. 적절한 리셋팅 소자는 가능한 가장 큰 크기로 미리 정해진 힘/이동 특성 커브를 가지는 스프링이 바람직하다.
유익하게도 본 발명의 방법은 ABS/ESP 브레이크 제어 유닛과 같은 자동차의 브레이크 제어용 전자 유압 장치를 위한 밸브를 제조하는데 사용된다.
상술한 바와 같이, 액츄에이터 특성 커브, 또는 그 구배의 예기치 못한 편차의 원인은 기구의 공차 (예컨대 변하는 스프링 힘 (Fspring)) 및 자기장 회로의 공차 (예컨대, 에어 슬롯의 자기 저항 등) 로부터 기인한다는 점이 발견되었다.
조절하는데 사용되는 측정된 전자기 특성은,
- 전자기계적 설비의 자기 저항 (RM),
- 전자기계적 설비의 인덕턴스 (L)
- 밸브 작동 장치에 작용하는 전자적으로 측정된 자기력 (Fmagn)
- 개방 또는 폐쇄에 필요한 홀딩 전류 (Ihold), 또는
- 개방 또는 폐쇄에 필요한 개방 전류 (Iopen) 중에서 액츄에이터의 하나 이상의 특성이다.
선택적으로 또는 추가로, 스프링 예비 하중은 특히 거리 (l) 또는 스프링 접합부의 삽입 깊이를 판정함으로써 조절될 수 있다. 삽입 깊이의 측정 장소에서, 예컨대 힘 센서에 의한 스프링 힘의 측정이 특히 적절하다.
본 발명의 방법에 따르면, 바람직하게는 제어기는 개방 전류, 홀딩 전류, 자기 저항, 또는 인덕턴스를 조절한다. 예를 들어, 액츄에이터가 완전히 폐쇄되는 경우에, 또는 액츄에이터가 정해진 방식으로 작동되는 조건에서 실행될 수 있다. 특히 밸브의 경우에, 자속이 소망하는 값에 대응할 때까지, 기계적 설비의 스프링 예비 하중은 스페이서 소자를 변위시킴으로써 그러한 크기로 감소된다.
제조 공정시, 조절되는 압력량에 대하여 전자 특성 커브의 균일한 기능 또는 최소의 가능한 편차를 얻는 것이 본 발명의 다른 목적이다. 바람직하게는, 이는 개방 전류와 압력차 사이의 관계를 정하는 특성 커브이다. 따라서, 액츄에이터는, 본 방법의 다른 바람직한 실시형태에 따른 제조 또는 조절시 정확하게 정해진 소정의 압력차 및/또는 정확하게 정해진 소정의 유동에 영향을 받는다.
본 방법의 바람직한 실시형태에 따르면, 전자기 설비에서 자기 회로의 총 자기 저항 (RM) 이 측정된다. 통상적으로 자기 저항 대신 적용하고, 또한 본 발명의 방법을 실행하기 위해서 코일의 감은 수 (N) 에 대하여 대응하는 자기 회로의 인덕턴스 (L) 를 등가의 물리량으로 사용하는 것도 가능하다.
하나 이상의 추가 측정 소자, 특히 하나 이상의 측정 코일이 자기 회로에 제공되고, 인덕턴스, 자속, 또는 자기 저항을 각각 측정할 수 있다. 코일 이외에도, 유효 자속을 감지하는데 적합하게 제공된 측정 소자로서 Hall 센서, MR 센서 등과 같은 공지의 다른 자기장 반응 센서를 사용하는 것도 원리적으로 가능하다. 하지만, 저비용 제조가 가능하기 때문에 코일의 사용이 특히 적절하다.
상술한 측정 코일이 여자기 코일과 전자적으로 독립될 수 있다. 하지만, 바람직한 실시형태에 따르면, 측정 코일을 여자기 코일과 전자적으로 직렬 연결하는 것도 가능하다. 이는 3 개의 구동 전선관 (conduit) 만이 요구되기 때문에 유익하다.
압력차 및 기하학적 유동 특성 이외에도, 액츄에이터 또는 밸브의 유동 (G) 은 원리적으로 각 액츄에이터의 태핏에 작용하는 힘 (태핏 힘) 에 의해 판정된다. 자기력 (Fmagn), 유체에 의해 발생한 압력 감응력 (pressure responsive force ; Fhydr)(예컨대, 공압식 또는 유압식 힘), 및 리셋팅 소자에 의해 가해진 힘 (Fspring) 이 동시에 밸브의 태핏에 작용한다. 이러한 공동으로 작용하는 힘은 서로 힘 평형을 이룬다 (태핏은 여전히 기립). 이러한 조건에서, 홀딩 전류 (Ihold) 는 자기력이 여자기 코일에 의해 발생하는 경우에 흐른다.
그 중에서 본 발명의 바람직한 방법의 하나의 특이한 특징은 바람직하게는 자속이 측정되고 특히 제어가 그에 따라 실행되는 것이다. 이는, 스프링 힘과 평형을 이루는 자기력이 자속에 직접적으로 따르기 때문에 적절하다.
한편으로, 본 발명의 바람직한 실시형태는 스페이서 소자용 재료로서 특히 오스테나이트 강과 같이 거의 자화하지 않는 금속의 사용을 제안하고, 상기 재료는 원리적으로 액츄에이터의 다른 부품의 제조에 적합할 수 있다. 따라서 요구되는 스위칭 에너지 감소의 장점이 달성된다. 따라서, 태핏 가이드의 영역 및 하우징에서 자기 단락 회로를 피하거나 감소시키는 것이 특히 가능하다.
정상 개방 밸브 또는 액츄에이터에만 사용하는 상술한 설명은 정상 폐쇄 밸브 또는 액츄에이터에도 각각 아날로그 방법으로 사용될 수 있다.
다른 바람직한 실시형태는 종속항 및 도면에 의한 실시형태의 이하 설명에 의해 주어질 수 있다.
도 1 은 종래의 PCT 특허 출원에 따른 아날로그 밸브의 단면도이다.
도 2 는 본 발명에 따른 아날로그 밸브의 단면도이다.
도 1 은 ABS/ESP 기능을 가지는 자동차의 전자 유압 브레이크 시스템용 솔레노이드 밸브 (10) 를 도시한다. 전기자 (6), 하우징 (7), 슬리브 (8), 및 코일 (13) 은 실제의 밸브에서 기계적으로 작동하는 전자기 설비의 구성 부품이다. 더 구체적으로, 밸브 코일 (13) 의 자기장은 전기자 (6) 를 이동시켜서, 전기자가 태핏 (5) 에서 기계적으로 작동한다. 태핏 (5) 은 밸브 시트 (3) 에 있는 개구부를 폐쇄한다. 정상 개방 밸브 (NO 밸브) 의 예로서, 리셋팅 스프링 (9 ; 이 스프링은 도면에서 연속적으로 도시되지 않음) 은 자기장이 없을 때의 개방 위치를 취하여 태핏 (5) 을 누른다. 밸브가 폐쇄되면, 도시된 밸브의 전기자 (6) 는 하우징 (7) 에 접근하지만, 접촉하지는 않는다. 전기자와 하우징 사이에 존재하는 공간은 잔여 에어 슬롯 (d) 으로 나타낸다. 밸브 시트 영역의 상부에는, 스프링 (9) 을 위한 정지부 (12) 가 있고, 이 정지부는 하우징 (7) 과 분자적으로 결부되어 있다. 바닥부의 도면 부호 (14) 는 하우징에 배치된 역류 방지 (non- return) 밸브이다. 역류 방지 밸브 (14) 의 내부에 배치된 볼 (15) 은 파악된 위치에서 링 (16) 에 의해 유지된다.
이와 같이, 도 1 의 종래의 솔레노이드 밸브는 개방 전류의 균일한 작동에 대한 밸브 시트 (3) 의 변위에 의해 생산지에서 이미 기계적으로 조절될 수 있다. 이것이 작동하면, 예를 들어, 자동 조절은 폐쇄된 밸브 위치 또는 개방 전류에서 자기 저항을 시험하는데 사용된다.
도 2 는 솔레노이드 밸브 (10) 를 나타내는데, 여기서는 스프링 힘 (도면에서는 간략화를 위해서 스프링 (9) 이 연속적으로 도시되지 않음) 을 조절하기 위해서 밸브 시트를 향하는 리셋팅 스프링 (9) 의 정지부 (11) 가 전기자의 방향으로 변위되어 있다. 이로써, 이와 유사한 바람직한 방식으로, 밸브의 연속 제조시 에어 슬롯 (d) 을 위한 소정의 영역을 동일한 자속으로 유지하는 것이 가능해진다.
밸브를 조절하기 위해서, 장착 장치는 자동 제조에 의한 조립시 역류 방지 밸브 플레이트 (4) 대신에 하우징 내부로 축선 방향으로 이동된다. 장착 장치는 축선 방향에서 밸브 태핏을 위한 정지부를 제공하고, 또한 정지 슬리브 (4) 를 변위시키는 것을 가능하게 한다. 예비 조립된 전기자/태핏 유닛이 하우징에 삽입되고, 잔여 에어 슬롯이 코킹 (calking) 에 의해 조절되고 완성된다. 그 후 밸브가 작동된다. 밸브가 작동되면, 전류 신호가 전기적으로 측정되고, 그로부터 정지 슬리브의 삽입 척도로 사용되는 양이 생성된다. 전류 측정은 유도된 전압의 통합 측정에 의해서, 또는 특히 단순한 방법으로 전류 제어를 제거한 후 코일 전류 측정에 의해서 실행된다. 원리적으로, 특히 높은 정밀도를 달성하기 위해서 설명된 조절 방법이 여러 번 실행될 수도 있다. 상술한 방법은 밸브의 추가적인 가압과 함께 실행될 수 있고, 그 결과 신호 품질에서의 장점이 달성된다.

Claims (8)

  1. 유체의 유동을 제어하는데 적합한 전자기적으로 구동가능한 액츄에이터의 제조 및/또는 조정 방법으로서, 구체적으로 유압식 또는 공압식 아날로그 밸브 또는 아날로그화된 스위치 밸브 (10) 의 제조 및/또는 조절 방법이며, 상기 액츄에이터는 여자기 코일 (12) 에 의해 구동가능한 전자기 설비를 포함하고, 전자기 설비는 하나 이상의 이동가능한 전기자 (6) 를 포함하고, 전자기 설비는 액츄에이터를 개방 및 폐쇄하기 위한 밸브 작동 장치에 기계적으로 작동하며, 상기 밸브 작동 장치는 적어도 이상의 폐쇄 소자 (5), 여자기 코일이 여기되지 않을 때 폐쇄 소자를 개방 또는 폐쇄하기 위한 하나의 리셋팅 소자 (9), 및 액츄에이터를 개방 또는 폐쇄하기 위한 폐쇄 소자가 결합하는 하나의 밸브 시트 (4) 를 포함하는, 전자기적으로 구동가능한 액츄에이터의 제조 및/또는 조절 방법에 있어서,
    적어도 축선 방향으로 전기자 이동에 대응하는 축선 방향으로 적어도 리셋팅 소자의 정지부의 변위를 허용하는 정해진 길이 (a) 를 갖는 스페이서 소자 (1) 의 삽입에 의해 밸브의 특성이 조절되거나, 또는 스페이서 소자 (1) 가, 전기자 접합면 (17) 과 스페이서 소자의 접합면 (11) 사이의 정해진 길이 (l) 를 가지고 정해진 위치로 삽입되는 것을 특징으로 하는, 전자기적으로 구동가능한 액츄에이터의 제조 및/또는 조절 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 액츄에이터의 하나 이상의 전자기적 특성이 측정되고, 측 정된 전자기 특성 그 자체 또는 그로부터 유도된 양이 셋팅 변수를 조절하기 위한 실제값으로서 사용되고, 이 세팅 변수는 액츄에이터의 제조 또는 조절을 위해 직접 사용되는 것을 특징으로 하는, 전자기적으로 구동가능한 액츄에이터의 제조 및/또는 조절 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 전자기적 특성은, 액츄에이터의
    - 전자기계적 설비의 자기 저항 (RM),
    - 전자기계적 설비의 인덕턴스 (L)
    - 밸브 작동 장치에 작용하는 전자적으로 측정된 자기력 (Fmagn)
    - 개방 또는 폐쇄에 필요한 홀딩 전류 (Ihold), 또는
    - 개방 또는 폐쇄에 필요한 개방 전류 (Iopen) 중에서 하나 이상의 특성인 것을 특징으로 하는, 전자기적으로 구동가능한 액츄에이터의 제조 및/또는 조절 방법.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 제어는, 액츄에이터가 완전 폐쇄된 경우, 전자기적 특성, 특히 개방 전류, 홀딩 전류, 자기 저항, 또는 인덕턴스를 조절하는 것을 특징으로 하는, 전자기적으로 구동가능한 액츄에이터의 제조 및/또는 조절 방법.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 액츄에이터의 조절은 스페이서 소자 (1) 의 축선 방향 변위에 의해 이루어지고, 상기 위치는 전기자 접합면 (17) 과 스페이서 소자의 접합면 (11) 사이의 거리 (l) 를 측정함으로써 또는 스프링 힘을 측정함으로써 얻어지는 것을 특징으로 하는, 전자기적으로 구동가능한 액츄에이터의 제조 및/또는 조절 방법.
  6. 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 전자기 특성을 고려한 밸브 시리즈를 위해서, 에어 슬롯의 크기 (d) 를 위해 특히 적절한 영역이 스페이서 소자의 변위에 의해 유지되는 것을 특징으로 하는, 전자기적으로 구동가능한 액츄에이터의 제조 및/또는 조절 방법.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 조절은 밸브의 제조 공정시 실행되는 기계적 조절인 것을 특징으로 하는, 전자기적으로 구동가능한 액츄에이터의 제조 및/또는 조절 방법.
  8. 유체의 유동을 제어하는데 적합한 전자기적으로 구동가능한 액츄에이터로서, 특히 유압식 또는 공압식 아날로그 밸브 또는 아날로그화된 스위치 밸브 (10) 이며, 전자기적으로 구동가능하고, 여자기 코일 (12) 에 의해 구동가능한 전자기 설비를 포함하고, 전자기 설비는 하나 이상의 이동가능한 전기자 (6) 를 포함하고, 전자기 설비는 액츄에이터를 개방 및 폐쇄하기 위한 밸브 작동 장치에 기계적으로 작용하며, 밸브 작동 장치는 적어도 하나의 폐쇄 소자 (5), 여자기 코일이 여기되지 않을 때 폐쇄 소자를 개방 또는 폐쇄하기 위한 하나의 리셋팅 소자 (9), 및 액츄에이터를 개방 또는 폐쇄하기 위한 폐쇄 소자가 결합하는 하나의 밸브 시트 (4) 를 포함하는, 전자기적으로 구동가능한 액츄에이터에 있어서,
    액츄에이터는 리셋팅 소자를 위한 영역에서 정해진 길이 (a) 를 가지고 또한 전기자 이동의 축선 방향으로 리셋팅 소자의 정지부를 형성하는 스페이서 소자 (1) 를 포함하고, 리셋팅 소자는 특히 밸브 시트의 바로 위에 배치되거나, 또는 리셋팅 소자는 스페이서 소자의 접합면 (11) 과 전기자 접합면 (17) 사이의 정해진 거리 (l) 를 가지는 리셋팅 소자의 영역에서 스페이서 소자 (1) 를 포함하는 것을 특징으로 하는, 전자기적으로 구동가능한 액츄에이터.
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