KR101287205B1 - 액정표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 광경화형 시일재에 광이 충분히 전달되도록 공통배선의 금속층 사이의 투명 도전층을 제거하여 수율을 향상시킬 수 있는 액정표시장치 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 액티브 영역과 더미 영역으로 구분되어 서로 마주보는 제 1, 제 2 기판; 상기 제 1 기판의 더미 영역에 다수개의 금속층과 상기 각 금속층 사이를 제외한 상기 다수개의 금속층상에 적층된 투명 도전층으로 구성된 공통 배선; 상기 제 1, 제 2 기판 사이의 상기 공통 배선층위에 형성되어 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 광경화형 시일재; 그리고 상기 광경화형 시일재에 의해 합착된 제 1, 제 2 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 구성된 것이다.
광경화형 시일재, 공통배선
Description
도 1은 일반적인 액정표시장치의 일부를 나타낸 분해 사시도
도 2는 종래의 액정표시장치의 전체 레이 아웃도
도 3은 도 2의 공통 배선의 확대 평면도
도 4는 도 2의 Ⅰ-Ⅰ' 선상의 단면도
도 5는 본 발명에 따른 공통 배선의 확대 평면도
도 6은 본 발명에 따른 액정표시장치의 공통 배선의 단면도
도 7a 내지 7d는 본 발명에 따른 액정표시장치의 공정 단면도
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
200 : 금속 배선 201 : 금속층
202 : 투명 도전층 211 :게이트 전극
212 : 게이트 절연막 213 : 활성층
214 : 데리타 라인 214a,214b : 소오스/드레인 전극
215 : 보호막 216 : 콘택홀
217 : 화소전극 250 : 광경화형 시일재
251 : 도전볼 300 : 하부 기판
400 : 상부 기판 401 : 블랙매트릭스층
402 : 공통 전극
본 발명은 액정표시장치(Liquid Crystal Display, 이하 'LCD'라 함)에 관한 것으로, 특히 광경화성 시일재의 경화도를 향상시키기에 적당한 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.
이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 공간을 갖고 합착된 제 1, 제 2 유리 기판과, 상기 제 1, 제 2 유리 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.
여기서, 상기 제 1 유리 기판(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 배선과, 상기 각 게이트 배선과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 배선과, 상기 각 게이트 배선과 데 이터 배선이 교차되어 정의된 각 화소영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과 상기 게이트 배선의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 배선의 신호를 상기 각 화소 전극에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성되어 있다.
그리고 제 2 유리 기판(컬러필터 기판)에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B 컬러 필터층과 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성되어 있다. 물론, 횡전계 방식의 액정표시장치에서는 공통전극이 제 1 유리 기판에 형성되어 있다.
이와 같은 상기 제 1, 제 2 유리 기판은 스페이서(spacer)에 의해 일정 공간을 갖고 액정 주입구를 갖는 시일재에 의해 합착되고 상기 두 기판 사이에 액정이 주입된다.
이때, 액정 주입 방법은 상기 실재에 의해 합착된 두 기판 사이를 진공 상태로 유지하여 액정 용기에 상기 액정 주입구가 잠기도록 하면 삼투압 현상에 의해 액정이 두 기판 사이에 주입된다. 이와 같이 액정이 주입되면 상기 액정 주입구를 밀봉재로 밀봉하게 된다.
한편, 상기와 같이 액정표시장치의 구동원리는 액정의 광학적 이방성과 분극성질을 이용한다.
상기 액정은 구조가 가늘고 길기 때문에 분자의 배열에 방향을 가지고 있으며, 인위적으로 액정에 전기장을 인가하여 분자배열의 방향을 제어할 수 있다.
따라서, 상기 액정의 분자배열 방향을 임의로 조절하면, 액정의 분자배열이 변하게 되고, 광학적 이방성에 의하여 편광된 빛이 임의로 변조되어 화상정보를 표 현할 수 있다.
이러한 액정은 전기적인 특정분류에 따라 유전율 이방성이 양(+)인 포지티브 액정과 음(-)인 네거티브 액정으로 구분될 수 있으며, 유전율 이방성이 양인 액정분자는 전기장이 인가되는 방향으로 액정분자의 장축이 평행하게 배열하고, 유전율 이방성이 음인 액정분자는 전기장이 인가되는 방향과 액정분자의 장축이 수직하게 배열한다.
도 1은 일반적인 TN 액정표시장치의 일부를 나타낸 분해 사시도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 일정 공간을 갖고 합착된 하부기판(1) 및 상부기판(2)과, 상기 하부기판(1)과 상부기판(2) 사이에 형성된 액정층(3)으로 구성되어 있다.
보다 구체적으로 설명하면, 상기 하부기판(1)은 화소영역(P)을 정의하기 위하여 일정한 간격을 갖고 일방향으로 복수개의 게이트 배선(4)이 배열되고, 상기 게이트 배선(4)에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 복수개의 데이터 배선(5)이 배열되며, 상기 게이트 배선(4)과 데이터 배선(5)이 교차하는 각 화소영역(P)에는 화소전극(6)이 형성되고, 상기 각 게이트 배선(4)과 데이터 배선(5)이 교차하는 부분에는 상기 게이트 배선의 신호에 따라 턴온/오프되어 상기 데이터 배선(5)의 신호를 상기 각 화소전극(6)에 인가하는 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.
그리고 상기 상부기판(2)은 상기 화소영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(7)과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B 컬러 필터층(8)과, 화상을 구현하기 위한 공통전극(9)이 형성되어 있다.
이와 같이 상부 기판(2)에 공통전극(9)이 형성되므로 상기 공통전극(9)에 공통 전압을 인가하기 위해서는 하부 기판(1)의 더미 영역에 공통 배선이 형성되고 상기 공통 배선과 공통전극(9)을 전기적으로 연결하기 위한 Ag 도트가 상기 상하부 기판 사이에 형성된다. 이를 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 2는 종래의 액정표시장치의 개략적인 평면도이고 도 3은 도 2의 A부분 확대 평면도이며, 도 4는 도 2의 I-I'선상의 단면도이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 일정 공간을 갖고 하부 기판(1)과 상부기판(2)이 합착된다. 상기 하부 기판(1)은 표시 영역과 비 표시 영역으로 구분되고, 상기 표시 영역에서 상기 상부 기판(2)과 합착된다.
상기와 같이 상기 합착된 상하부 기판(1, 2)의 표시 영역은 액티브 영역(A/A)과 더미 영역(D)으로 구분된다.
상기 하부기판(1)의 표시영역 중 액티브 영역에는, 도 1에서 언급한 바와 같이, 게이트 배선(4) 데이터 배선(5), 화소전극(6) 및 박막트랜지스터(T)가 형성된다.
상기 하부기판(1)의 표시 영역중 더미 영역에는, 도 2에 도시한 바와 같이,공통 배선(100)이 형성되고, 비 표시 영역에는 게이트 구동 IC(101) 및 데이터 구동 IC(102)와 상기 각 게이트 배선(4) 및 데이터 배선(5)을 연결하기 위한 인출선(103, 104)이 형성된다.
상기 상부기판(2)의 액티브 영역에는, 도 1에 도시한 바와 같이, 블랙 매트릭스층(7), R,G,B 컬러 필터층(8) 및 공통전극(9)이 형성되고, 더미 영역에는 블랙 매트릭스(7)층이 형성된다.
이와 같이 형성된 상기 상하부 기판(1, 2) 사이의 더미 영역(상부 기판의 가장자리 부근)에는 시일재(105)가 형성되어 상기 상하 기판을 합착하고, 상기 두 기판 사이에 액정층(3)이 형성된다.
여기서, 상기 시일재(105)는 광경화형 시일재가 이용되고 있다.
또한, 상기 공통 배선(100)은, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 게이트 배선(4) 또는 데이터 배선(5)과 같은 금속층(108)과 상기 금속층(108)위에 화소 전극(6)과 동일한 물질인 ITO 등의 투명 도전층(109)을 적층하여 공통배선(100)을 형성한다. 이 때, 상기 투명 도전층(109)은 상기 금속층(108)들 보다 더 넓게 형성하여 공통 전극과의 콘택 면적을 넓게 하였다.
그리고, 상기 공통배선(100)위에 시일재(105)가 중첩되므로, 기판 합착 후 상기 시일재(105)에 광을 조사하여 상기 시일재(105)을 경화시키기 위하여, 상기 공통 배선(100)의 금속층(108)을 통으로 형성하지 않고, 상기 공통 배선(100)에 광이 조사되는 통로를 형성하기 위하여 일정한 간격(107)을 갖도록 복수개의 금속층(108)을 형성한다.
그리고, 일반적으로, 상기 하부 기판(1)에 형성되는 공통 배선(100)과 상기 상부 기판(2)에 형성되는 공통전극(9)을 전기적으로 연결하기 위해서는 별도로 Ag 도트를 형성하였으나, 최근에는 도전볼(106)이 포함된 시일재(105)를 이용하여 두 기판을 합착하였다. 따라서, 상기 도전볼(106)에 의해 상기 하부 기판(1)에 형성된 공통배선(100)과 상부 기판(2)에 형성된 공통전극(9)이 전기적으로 연결된다.
그러나, 이와 같은 종래의 액정표시장치에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있었다.
즉, 상기 시일재에 광을 조사하기 위하여 금속배선의 금속층에 광이 조사되는 통로를 형성하였으나, 그위에 투명 도전층(109)이 형성되어 있으므로, 상기 시일재를 경화시키기 위해 광을 조사할 경우, 상기 금속층위에 형성된 ITO 등의 투명 도전층이 단파장의 광을 흡수하기 때문에 광이 시일재에 충분히 전달되지 않아 상기 시일재가 충분히 경화되지 않으므로 불량이 발생하게 된다.
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 광경화형 시일재에 광이 충분히 전달되도록 공통배선의 금속층 사이의 투명 도전층을 제거하여 수율을 향상시킬 수 있는 액정표시장치 및 그의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치는, 액티브 영역과 더미 영역으로 구분되어 서로 마주보는 제 1, 제 2 기판; 상기 제 1 기판의 더미 영역에 다수개의 금속층과 상기 각 금속층 사이를 제외한 상기 다수개의 금속층상에 적층된 투명 도전층으로 구성된 공통 배선; 상기 제 1, 제 2 기판 사이의 상기 공통 배선층위에 형성되어 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 광경화형 시일재; 그리고 상기 광경화형 시일재에 의해 합착된 제 1, 제 2 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 구성됨에 그 특징이 있다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법은, 액티브 영역과 더미 영역으로 구분되는 제 1 기판의 더미 영역에 공통 배선용 금속층을 다수개 형성하고, 상기 액티브 영역에 게이트 라인 및 게이트 전극을 형성하는 단계; 상기 금속층 및 게이트 라인을 포함한 제 1 기판 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계; 상기 액티브 영역의 상기 게이트 전극 상측의 게이트 절연막위에 활성층을 형성하는 단계; 상기 액티브 영역의 상기 활성층 양측에 소오스/드레인 전극을 형성하는 단계; 상기 기판 전면에 보호막을 증착하고 상기 드레인 전극 상측의 보호막을 제거하여 콘택홀을 형성하고 상기 더미 영역의 상기 게이트 절연막 및 보호막을 제거하여 상기 다수개의 금속층을 노출시키는 단계; 그리고 상기 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극에 연결되도록 상기 액티브 영역의 화소 영역에 화소 전극을 형성하고, 상기 더미 영역의 상기 금속층 상에 투명 도전층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐에 그 특징이 있다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법은, 액티브 영역과 더미 영역으로 구분되는 제 1 기판의 액티브 영역에 게이트 라인 및 게이트 전극을 형성하는 단계; 상기 게이트 라인을 포함한 제 1 기판 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계; 상기 액티브 영역의 상기 게이트 전극 상측의 게이트 절연막위에 활성층을 형성하는 단계; 상기 액티브 영역의 상기 활성층 양측에 소오스/드레인 전극을 형성함과 동시에 상기 더미 영역의 상기 게이트 절연막위에 공통 배선용 금속층을 다수개 형성하는 단계; 상기 기판 전면에 보호막을 증착하고 상기 드레인 전극 상측과 상기 더미 여역의 보호막을 제거하는 단계; 그 리고, 상기 드레인 전극에 연결되도록 상기 액티브 영역의 화소 영역에 화소 전극을 형성하고, 상기 더미 영역의 상기 금속층 상에 투명 도전층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐에 또 다른 특징이 있다.
이와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따른 액정표시장치 및 그 제조 방법을 첨부된 도면을 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 5는 본 발명에 따른 액정표시장치의 공통 배선의 평면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 액정표시장치의 공통 배선의 단면도이다.
도 2에서 언급한 바와 같이, 합착된 상하부 기판은 표시 영역과 비 표시 영역으로 구분되고, 표시 영역은 액티브 영역(A/A)과 더미 영역(D)으로 구분된다.
그리고, 상기 표시영역 중 액티브 영역과, 비 표시 영역은 종래 기술에서 언급한 바와 같다.
따라서, 본 발명에서는 상기 표시 영역중 더미 영역의 구조에 대하여 설명하면 다음과 같다. 즉 상기 더미 영역의 하부 기판에는 공통 배선(200)이 형성된다.
여기서, 상기 공통 배선(200)은, 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 게이트 배선 또는 데이터 배선과 같은 물질로 일정한 간격을 갖고 형성되는 다수개의 금속층(201)과, 상기 다수개의 금속층(201)위에 화소전극과 동일한 물질인 ITO 등의 투명 도전층(202)을 적층하여 공통배선(200)을 형성한다. 이 때, 상기 투명 도전층(202)은 상기 다수개의 금속층(201)들 위에만 형성되고, 상기 금속층(201) 사이에는 형성되지 않는다.
이와 같은 구조를 갖는 금속 배선(200)을 구비한 하부 기판과 상부 기판이 합착된 본 발명에 따른 액정표시장치의 구조는 도 6과 같다.
즉, 하부 기판(300)의 더미 영역에는, 상기 도 5에서 설명한 바와 같이, 상기 다수개의 금속층(201)과 투명 도전층(202)이 적층된 공통배선(200)이 형성된다.
그리고, 상부 기판(400)의 더미 영역에는 불랙매트릭스층(401)과 공통 전극(402)이 형성된다.
그리고 상기와 같이 형성된 상기 하부 기판(300)가 상부 기판(400) 사이에 상기 두 기판을 합착하기 위한 광경화형 시일재(250)가 형성된다. 상기 시일재(250)은 상기 하부 기판(300)에 형성된 금속 배선(200)과 상기 상부 기판(400)에 형성된 공통 전극(402)을 전기적으로 연결하기 위한 도전볼(251)을 구비한다.
이 때, 상기 시일재(250)는 상기 공통 배선(200)에 중첩되도록 형성된다.
이와 같이, 시일재(250)가 상기 공통 배선(200)에 중첩되게 형성되어도 상기 공통 배선(200)을 구성하는 투명 도전층(202)이 상기 금속층(201) 사이에는 형성되지 않으므로, 사이 투명 도전층(202)이 단파장의 광을 흡수하는 비율이 감소하므로, 상기 시일재(250)의 경화 특성을 향상시킬 수 있다.
이와 같은 구조를 갖는 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법을 설명하면 다음과 같다.
도 7a 내지 7d는 본 발명에 따른 액정표시장치의 하부 기판의 공정 단면도이다.
도 7a에 도시한 바와 같이, 더미 영역과 액티브 영역으로 정의되는 하부 기판(300)에 저저항 금속층을 증착하고 사진 식각 공정으로 상기 금속층을 선택적으 로 제거하여, 상기 더미 영역에는 공통 배선용 금속층(201)을 다수개 형성하고,상기 액티브 영역에는 박막트랜지스터의 게이트 전극을 형성한다.
그리고, 상기 금속층(201) 및 게이트 전극(211)을 구비한 기판 전면에 게이트 절연막(212)을 형성한다.
도 7b에 도시한 바와 같이, 상기 게이트 절연막(212)위에 반도체층을 증착하고 선택적으로 제거하여 상기 액티브 영역의 게이트 전극 상측의 게이트 절연막 위에 박막트랜지스터의 활성층(213)을 형성한다.
도 7c에 도시한 바와 같이, 상기 활성층을 포함한 기판 전면에 저저항 금속층을 증착하고 선택적으로 식각하여 상기 박막트랜지스터의 소오스/드레인 전극(214a 214b) 및 데이터 라인(214)을 형성한다.
그리고, 상기 데이터 라인을 포함한 기판 전면에 보호막(215)을 형성한다.
도 7d에 도시한 바와 같이, 상기 보호막을 선택적으로 제거하여 상기 드레인 전극(214b) 상측에 콘택홀(216)을 형성함과 동시에, 상기 더미 영역의 상기 보호막(215) 및 게이트 절연막(212)을 제거하여 상기 공통 배선용 금속층(201)을 노출시킨다.
그리고, 상기 기판 전면에 ITO 또는 IZO 등의 투명 도전막을 증착하고 선택적으로 제거하여 상기 콘택홀(216)을 통해 상기 드레인 전극(214b)에 연결되도록 화소 영역에 화소 전극(217)을 형성함과 동시에 상기 더미 영역의 상기 금속층(201)위에 공통 배선용 투명 도전층(202)을 형성한다.
이 때, 상기 공통 배선용 투명 도전층(202)을 상기 금속층(201)들 사이에는 형성되지 않고 상기 금속층(201) 상에 상기 금속층(201)을 감싸도록 형성한다.
그 후, 도면에는 도시되지 않았지만, 상기 더미 영역의 하부 기판 또는 상부 기판에 도전볼을 구비한 시일재를 도포하고 상기 상하부 기판을 합착한 후, 상기 시일재에 광을 조사하여 상기 시일재를 경화시킨다 ( 도 6 참조).
또한, 상기 공통 배선용 금속층(201)은 상기 게이트 전극(211)과 동일한 물질로 형성함을 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 상기 데이터 라인(214)과 동일한 물질로 형성될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 액정표시장치 및 그의 제조 방법에 있어서는 다음과 같은 효과가 있다.
즉, 더미 영역에 형성되는 공통배선용 금속층위에만 투명 도전층을 형성하므로 광경화형 시일재에 광 전달 효율을 증가시켜 수율을 향상시킬 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
Claims (7)
- 액티브 영역과 더미 영역으로 구분되어 서로 마주보는 제 1, 제 2 기판;상기 제 2 기판에 형성되는 공통 전극에 공통 전압을 공급하기 위해 상기 제 1 기판의 더미 영역에 형성되고, 다수개의 금속층과 상기 각 금속층 사이를 제외한 상기 다수개의 금속층상에 상기 각 금속층에 직접 접촉되고 각 금속층을 감싸도록 적층된 투명 도전층으로 구성된 공통 배선;상기 제 1, 제 2 기판 사이의 상기 공통 배선을 따라 형성되어 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 광경화형 시일재; 그리고상기 광경화형 시일재에 의해 합착된 제 1, 제 2 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 기판의 액티브 영역에는 서로 수직한 방향으로 배열된 게이트 라인 및 데이터 라인 및 화소전극을 구비한 박막트랜지스터 어레이가 형성되고, 상기 금속층은 상기 게이트 라인과 동일 물질로 형성되고, 상기 투명 도전층은 상기 화소 전극과 동일한 물질로 형성됨을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 기판의 액티브 영역에는 서로 수직한 방향으로 배열된 게이트 라인 및 데이터 라인 및 화소전극을 구비한 박막트랜지스터 어레이가 형성되고, 상기 금속층은 상기 데이터 라인과 동일 물질로 형성되고, 상기 투명 도전층은 상기 화소 전극과 동일한 물질로 형성됨을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 액티브 영역과 더미 영역으로 구분되는 제 1 기판의 더미 영역에 공통 전압을 공급하기 위한 공통 배선용 금속층을 다수개 형성하고, 상기 액티브 영역에 게이트 라인 및 게이트 전극을 형성하는 단계;상기 금속층 및 게이트 라인을 포함한 제 1 기판 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계;상기 액티브 영역의 상기 게이트 전극 상측의 게이트 절연막위에 활성층을 형성하는 단계;상기 액티브 영역의 상기 활성층 양측에 소오스/드레인 전극을 형성하는 단계;상기 제 1 기판 전면에 보호막을 증착하고 상기 드레인 전극 상측의 보호막을 제거하여 콘택홀을 형성하고 상기 더미 영역의 상기 게이트 절연막 및 보호막을 제거하여 상기 다수개의 금속층을 노출시키는 단계; 그리고상기 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극에 연결되도록 상기 액티브 영역의 화소 영역에 화소 전극을 형성하고, 상기 더미 영역의 각 금속층 사이를 제외한 상기 다수개의 금속층상에 상기 각 금속층에 직접 접촉되고 각 금속층을 감싸도록 투명 도전층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 삭제
- 액티브 영역과 더미 영역으로 구분되는 제 1 기판의 액티브 영역에 게이트 라인 및 게이트 전극을 형성하는 단계;상기 게이트 라인을 포함한 제 1 기판 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계;상기 액티브 영역의 상기 게이트 전극 상측의 게이트 절연막위에 활성층을 형성하는 단계;상기 액티브 영역의 상기 활성층 양측에 소오스/드레인 전극을 형성함과 동시에 상기 더미 영역의 상기 게이트 절연막위에 공통 전압을 공급하기 위한 공통 배선용 금속층을 다수개 형성하는 단계;상기 기판 전면에 보호막을 증착하고 상기 드레인 전극 상측과 상기 더미 영역의 보호막을 제거하는 단계; 그리고상기 드레인 전극에 연결되도록 상기 액티브 영역의 화소 영역에 화소 전극을 형성하고, 상기 더미 영역의 각 금속층 사이를 제외한 상기 다수개의 금속층 상에 상기 각 금속층에 직접 접촉되고 각 금속층을 감싸도록 투명 도전층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 삭제
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