KR101072103B1

KR101072103B1 - 종방향으로 결합된 컨버터들을 구비한 표면탄성파 공진기필터

Info

Publication number: KR101072103B1
Application number: KR1020067024256A
Authority: KR
Inventors: 토마스 바우어
Original assignee: 에프코스 아게
Priority date: 2004-04-22
Filing date: 2006-11-20
Publication date: 2011-10-10
Also published as: DE102004020183A1; KR20070009714A; DE102004020183B4; US7728698B2; JP2007534243A; WO2005107065A1; JP4861311B2; US20070279157A1

Abstract

본 발명은 비대칭 전기 게이트 및 대칭 전기 게이트를 포함하는, 종방향으로 결합된 입력 컨버터 및 출력 컨버터를 구비한 표면탄성파 공진기 필터에 관한 것이다. 입력 컨버터들은 서로 병렬로 접속되고, 비대칭 전기 게이트의 신호 단자와 연결된다. 입력 컨버터들은 각각 2개의 출력 컨버터 사이에 배치되고, 상기 두 출력 컨버터는 서로 병렬로 접속되어 대칭 전기 게이트의 한 단자에 연결된다. 중앙에 배치된 2개의 출력 컨버터가 함께 소위 V-스플릿(vertical-split) 컨버터를 형성하고, 상기 두 출력 컨버터가 공유하는 V-스플릿 컨버터의 도체 레일이 음향 트랙의 중심부에서 멀리 떨어져 있는 반사 핑거에 의해 반대편에 놓인, 인접한 입력 컨버터의 접지 레일에 연결된다. 본 발명에 따른 필터는 원활한 대칭 및 적응이 구현되는 동시에 삽입 손실이 감소하는 장점을 갖는다.

Description

종방향으로 결합된 컨버터들을 구비한 표면탄성파 공진기 필터{SURFACE WAVE RESONATOR FILTER WITH LONGITUDINALLY COUPLED CONVERTERS}

본 발명은 종방향으로 결합되고 음향 트랙 내에 배치된 입/출력 컨버터들을 구비하고, 비대칭 게이트 및 대칭 게이트를 포함하는 표면탄성파 공진기 필터(DMS 필터, DMS = Double Mode Surface Acoustic Wave)에 관한 것이다.

3개의 컨버터를 구비한 상기 유형의 필터가 예컨대 간행물 EP 1394940 A1호로부터 공지되어 있는데, 거기서는 필터의 한 전기 게이트가 직렬 접속된 2개의 부분 컨버터로 분할된 컨버터에 의해 대칭화된다. 부분 컨버터들은 접지에 놓이는 공통 도체 레일을 포함하며, 상기 도체 레일은 맞은편에 놓인, 비대칭 전기 게이트와 연결된 컨버터들의 도체 레일들에 연결된다. 바람직하지 않은 비대칭을 보상하기 위해 컨버터들 중 하나에 부유식 금속 구조물이 제공된다.

또한, 간행물 EP 0605884 A1의 도 6에 총 7개의 컨버터를 구비한, 비대칭/대칭 방식으로 구동 가능한 추가 DMS 필터가 공지되어 있는데, 여기서는 입력 컨버터와 출력 컨버터가 교대로 배치되고, 병렬 접속된 3개의 입력 컨버터가 1개의 비대칭 전기 입력 게이트에 연결되며, 병렬 접속된 2개의 출력 컨버터는 각각 대칭 전기 출력 게이트의 한 단자에 연결된다.

EP 0605884 A1의 도 7에는 도 6과 달리 중앙의 입력 컨버터가 직렬 접속된 2개의 부분 컨버터로 분할됨으로써(수직 분할, V-split) 입력 게이트의 대칭화가 구현되는, 비대칭/대칭 방식으로 구동 가능한 DMS 필터가 공지되어 있다.

US 3,582,840, US 5,694,096, US 5,770,985 및 US 4,492,940 등으로부터 또 다른 DMS 필터가 공지되어 있다.

필터의 입력 또는 출력에 할당되는 병렬 접속 컨버터들의 수가 증가하면, DMS 필터의 반사 손실이 감소할 수 있다. 그러나 다른 측면에서는, 그러한 경우 추가로 필요한 공급선 엘리먼트들로 인해 필터 장치의 기생 커패시턴스가 증가하고, 입력 및 출력에서의 적응이 악화된다. 추가 입력 컨버터들 또는 출력 컨버터들의 병렬 회로에서는 입력 또는 출력에서 소정의 임피던스 레벨을 얻기 위해 음향 트랙의 애퍼쳐(aperture)가 더 작아진다. 예컨대 3개의 컨버터를 구비한 장치에서 6개의 컨버터를 구비한 장치로의 전환되는 경우, 애퍼쳐는 2배수만큼 감소한다. 그 결과, 애퍼쳐에 비례하여 증가하는 핑거 저항이 2배수만큼 감소한다. 심지어 컨버터들이 병렬로 접속되기 때문에, 핑거 저항 손실은 4배수만큼 감소한다. 이는 특히 핑거 높이가 낮고 핑거 폭이 좁을수록 핑거 저항 손실이 커지는 HF(High Frequency) 필터의 경우에 유리하다. 물론 애퍼쳐가 너무 과도하게 축소될 필요는 없다. 그 이유는 그러한 경우 공지된 횡방향 2차원 손실이 증가하기 때문이다. 최소 애퍼쳐의 임계치는 약 20λ이다. DMS 트랙 내 사용 컨버터의 수가 많아질수록 필터의 길이가 길어지는데, 이때 추가 컨버터의 경우 컨버터마다 예컨대 본딩 와이어 또는 범프와 같은 외부 접지 연결이 필요하며, 이는 전체 장치의 면적을 증가시킨다.

본 발명의 목적은, 삽입 손실이 적고 임피던스 적응성이 우수하며 필요 공간이 적은, 종방향으로 결합된 공진기들을 구비한, 비대칭/대칭 구동식 광대역 표면탄성파 공진기 필터를 제공하는 것이다.

상기 목적은 청구항 1에 따른 필터를 통해 달성된다. 본 발명의 바람직한 실시예들 및 개선예들은 그 외 청구항들에 제시된다.

음향 트랙 및 상기 음향 트랙 내에 배치된, 종방향으로 결합된 입력 및 출력 컨버터들을 구비한 표면탄성파 공진기 필터가 제공된다. 입력 컨버터들은 서로 병렬로 접속되고, 비대칭 전기 게이트의 신호 단자와 연결된다. 입력 컨버터들은 각각, 서로 병렬 접속되고 대칭 출력의 관련 단자에 연결되는 2개의 출력 컨버터 사이에 배치된다. 중심에 배치된, 서로 직렬 접속된 2개의 출력 컨버터는 함께 소위 V-스플릿(vertical split) 컨버터를 형성하고, 상기 두 출력 컨버터가 공유하는 V-스플릿 컨버터의 도체 레일이 (음향 트랙의 중심부에서 멀리 떨어져 있는) 적어도 1개의 연장된 전극 핑거 또는 금속 스트립에 의해 반대편에 놓인, 인접한 입력 컨버터의 접지 레일에 연결된다.

음향 트랙은 공진기 구조물의 형성을 위해 양 측면이 반사기 구조물에 의해 제한된다. 필터는 적어도 하나의 제 1 입력 컨버터 및 적어도 하나의 제 2 입력 컨버터를 포함하고, 상기 입력 컨버터들은 전기적으로 서로 병렬 접속되어 비대칭 입력과 연결된다.

필터는 또한, 대칭 출력의 제 1 단자에 연결되고 서로 병렬 접속되는 적어도 2개의 제 1 출력 컨버터 및 대칭 출력의 제 2 단자와 전기적으로 연결되고 서로 병렬 접속되는 적어도 2개의 제 2 출력 컨버터를 포함한다.

각각의 제 1 입력 컨버터는 2개의 제 1 출력 컨버터 사이에 배치된다. 각각의 제 2 입력 컨버터는 2개의 제 2 출력 컨버터 사이에 배치된다.

본 발명에 따른 필터는 총 6개의 컨버터를 구비한 기본 구조를 갖는다. 물론 필터가 6개 이상의 컨버터를 포함할 수도 있는데, 이 경우 입력 컨버터로서 제공된 컨버터는 모두 비대칭 게이트의 신호 단자와 전기적으로 연결된다. 즉, 필터의 중심부로부터 임의의 방향으로 또는 반사시 구조물의 방향으로 배치된, 출력 컨버터로서 제공된 컨버터는 모두 대칭 게이트의 제 1 신호 단자와 전기적으로 연결되고, 필터의 중심부로부터 그 반대편 방향으로 배치된, 출력 컨버터로서 제공된 컨버터는 모두 대칭 게이트의 제 2 신호 단자와 전기적으로 연결된다.

컨버터들이 전술한 순서로 대칭 전기 게이트 및 비대칭 전기 게이트에 연결됨에 따라, 모든 제 1 입력 컨버터와 제 1 출력 컨버터에서 서로를 향하는 최외측 핫(hot) 핑거 사이의 거리가 실질적으로 반파장의 짝수배에 달하게 된다. 파장(λ)은 통과 대역에서의 필터의 중심 주파수에 관련되거나, 상기 주파수에 상응한다.

접지와 상이한 전위에 놓이거나 신호 경로와 연결된 전극 핑거를 핫(hot) 핑거라 칭한다. 접지에 놓인 전극 핑거를 콜드(cold) 핑거라 칭한다.

컨버터 내에서 전극 핑거들은 바람직하게 하나의 그리드 패턴(grid pattern) 내에 λ/2의 그리드 간격으로 배치되고, 상이한 전위들과 교대로 연결된다.

음향파의 파장(λ)은 제 1 그리드 정지 대역 내부에 전극 핑거로 형성된 주기적이고 규칙적인 그리드 내에서 핑거 중심부에서 측정했을 때 핑거 간격의 정확히 2배와 같다.

그리드 정지 대역이라는 개념은, 그리드 내에서 음향파가 전극 핑거들에 의해 반사된 파 성분들의 중첩에 의해 지수적으로 감쇠됨으로써, 주기적 그리드(periodic grid) 내에서 정상파가 형성되는 주파수 대역을 의미한다. 따라서 예컨대 반사기가 정지 대역 내부의 주파수에 대해서만 높은 반사율을 나타내도록 구동될 수 있고, 정지 대역 외부에서는 파들이 상기 반사기를 통과한다.

불규칙적 그리드의 경우, 파장(λ)이 핑거 간격의 2배의 평균값으로서 산출된다. 즉, 음향 트랙 내 첫 번째 컨버터 핑거와 마지막 컨버터 핑거의 중심 간의 간격을 L이라 하고, 상기 영역 내에 포함된 핑거 수(첫 번째 컨버터 핑거와 마지막 컨버터 핑거를 포함해서)를 NF라 할 경우, 파장(λ)은 λ=2*L/(NF-1)로 정의된다.

컨버터들이 위에 제시된 연결 순서로 대칭 전기 게이트 및 비대칭 전기 게이트에 연결됨에 따라, 모든 제 2 입력 컨버터와 제 2 출력 컨버터의 경우 서로를 향하는 최외측 핫 핑거들의 중심 간의 간격이 거의 반파장의 홀수배에 달하게 된다.

본 발명에 따르면 바람직하게 하기의 조건들 중 적어도 하나가 충족된다.

A) 중심부에 배치된 출력 컨버터의 공통 도체 레일(=제 1 도체 레일)은 제 1 출력 컨버터와 제 1 입력 컨버터 사이에 배치된 제 1 연결 구조물을 통해 인접한 제 1 입력 컨버터의, 접지에 연결된 반대편 도체 레일(=제 2 도체 레일)과 전기적으로 연결되고,

B) 제 2 출력 컨버터와 제 2 입력 컨버터 사이에 제 2 연결 구조물이 배치되는데, 이때 제 1 도체 레일이 상기 제 2 연결 구조물을 통해 인접한 제 2 입력 컨버터의, 접지와 연결된 반대편 도체 레일과 전기적으로 연결된다.

필터 장치 내에서 상기 두 조건 A)와 B)가 모두 충족되는 것이 매우 바람직하다.

제 1 연결 구조물과 제 2 연결 구조물은 적어도 1개의 금속 스트립을 갖는다. 이 금속 스트립은 예컨대 중심부에 배치된 관련 (제 1 또는 제 2) 출력 컨버터의 연장된 콜드 전극 핑거를 말한다. 이 핑거는 그 다음 (제 1 또는 제 2 입력 컨버터에도 할당될 수 있다.

제 1 연결 구조물은 바람직하게 1개 이상의 홀수개의 핑거를 갖고, 제 2 연결 구조물은 2개 이상의 짝수개의 핑거를 갖는다.

음향 트랙의 중심부를 향하는, 입력 컨버터의 말단 핑거들은 모두 핫 핑거일 수 있다. 그러나 상기 핑거들이 접지에 놓일 수도 있다. 물론 본 발명의 범주에서는, 음향 트랙의 중심부를 향하며 접지에 연결된, 입력 컨버터의 말단 핑거들이 더 연장되어 제 1 연결 구조물 또는 제 2 연결 구조물을 형성하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 필터는, 출력 게이트에서의 우수한 신호 대칭성, 적은 삽입 손실 및 입력 게이트 또는 출력 게이트에서의 우수한 임피던스 매칭을 장점으로 한다.

중심부에 배치된 컨버터가 2개의 출력 컨버터로 분할됨으로써, 입력 컨버터와 출력 컨버터가 교대로 배치되는 필터에 비해 비대칭 필터 입력부에서의 임피던스 매칭을 개선시키며, 이 경우 출력 컨버터를 접지에 연결하기 위한 범프 또는 본딩 와이어가 절약된다. 범프 및 상기 범프와 연결된 전기 연결들이 절약됨으로써 기생 커패시턴스가 감소한다. 또한, 그 결과 소자의 크기도 축소될 수 있다.

각각의 개별 컨버터의 전극 핑거들은 바람직하게 주기적 그리드 패턴으로 배치되는데, 이때 핑거 중심 간 간격은 대략 반파장에 달한다. 이 경우, 특히 인접한 컨버터의 서로를 향한 경계 영역 또는 전이 영역에서의 핑거 구조의 주기성은, 예컨대 상기 경계 영역에서의 핑거 중심 간 간격이 컨버터 중심부에서의 핑거 중심 간 간격보다 작도록 변동될 수 있다. 그 결과, 그리드 패턴과 관련하여 인접한 두 컨버터의 중심부 사이에 국부적 오프셋이 발생할 수 있으며, 그러한 국부적 오프셋은 DMS 필터의 작동에 필요한 더 큰 종모드(longitudinal mode)의 토대이다. 상기 컨버터의 중심부들의 그리드 패턴 간 오프셋은 통상 약 -λ/4에 달한다. 또한, 이러한 상황에서는 경계 영역에서의 핑거 중심 간 간격이 더 좁기 때문에 벌크파 손실이 감소할 수 있다.

벌크파 손실의 감소는, 상기 두 컨버터의 핑거 중심 간 간격이 각각 관련 컨버터의 중심부로부터 대응하는 인접 컨버터의 방향으로 단조적으로(monotonically) 변하여, 인접한 컨버터와의 경계에서 그 극값(바람직하게는 최소값)에 도달하는 경우에도 달성될 수 있다. 핑거 폭이 국부의 핑거 간격에 상응하게 매칭될 수도 있다(도 11C 참조).

컨버터 내부에서의 핫 핑거와 콜드 핑거의 순서는 주기적인 것이 바람직하다. 즉, 핫 핑거와 콜드 핑거가 교대로 배치된다. 물론 특정 애플리케이션의 경우, 생략 가중(omission weighting)의 범주에서 상기 순서와 상이하고, 각각의 핑거가 접혀져서 반대편 도체 레일에 연결되는 것이 바람직할 수도 있다. 그럼으로써 접혀진 핑거의 유리한 선택시 필터의 선택 특성(selection behavior)이 개선될 수 있다.

본 발명의 한 바람직한 실시예에서는, 각각의 컨버터에서 소정의 핑거 배열, 예컨대 짝수개 또는 홀수개의 전극 핑거가 사용되거나 소정의 대칭비가 충족됨으로써 필터 특성이 개선된다(도면 설명 참조).

중심부에 배치된 출력 컨버터 -제 1 출력 컨버터 및 제 2 출력 컨버터(AW1, AW2) - 는 핫 전극 핑거와 콜드 전극 핑거의 배열과 관련하여 (수직축을 기준으로) 서로 거울 대칭을 이루도록 형성되는 것이 바람직하다.

하기에서는 실시예들 및 상기 실시예들에 관련된 도면들을 참고로 본 발명을 더 상세히 설명한다. 도면들에는 본 발명의 다양한 실시예들이 축척에 맞지 않게 개략적으로 도시되어있다. 동일한 부분 또는 동일한 작용을 하는 부분은 동일한 도면부호로 표시하였다.

도 1은 음향 트랙 내에 배치된 6개의 컨버터를 구비한, 비대칭/대칭 방식으로 구동되는 DMS 필터의 일례이다(종래 기술).

도 2 및 도 3은 음향 트랙 내에 배치된 6개의 컨버터를 구비한, 비대칭/대칭 방식으로 구동되는 DMS 필터로서, 제 1 도체 레일의 양 측면이 접지와 연결되어 있다.

도 4는 도 2에 따른 DMS 트랙 및 다중 게이트 공진기를 포함하는 필터이다.

도 5는 도 2에 따른 DMS 트랙 및 사다리형 구조의 기본 엘리먼트를 포함하는 필터이다.

도 6A는 4개의 컨버터 및 입력측에 배치된 직렬 공진기를 구비한 필터의 전달 함수와 도 4에 따른 필터의 전달 함수를 비교한 그래프이다.

도 6B는 도 6A의 전달 함수들의 통과 대역의 확대도이다.

도 6C는 도 2 및 도 1에 따른 필터의 대칭 게이트의 단자들 사이의 진폭차를 나타낸 그래프이다.

도 6D는 도 2 및 도 1에 따른 필터의 대칭 게이트의 단자들 사이의 위상차를 나타낸 그래프이다.

도 7 내지 도 9는 각각 6개의 컨버터를 구비한 DMS 트랙을 포함하는 추가 필터이다.

도 10은 중앙에 놓인 출력 컨버터의 일례이다.

도 11A는 주기적 그리드 패턴 상에 배치된 핑거를 가진, 인접 컨버터의 서로를 향한 경계 영역들이다.

도 11B 및 도 11C는 핑거 중심 간 간격이 컨버터 경계면 쪽으로 가면서 단조 감소하는, 인접 컨버터의 서로를 향한 경계 영역들이다.

도 12는 음향 트랙 내에 배치된 8개의 컨버터를 구비한, 비대칭/대칭 방식으 로 구동되는 DMS 필터의 일례이다.

도 13은 가중된 컨버터의 한 섹션의 개략도이다.

도 1에는 반사기 구조물(R1, R2)로 종결된 음향 트랙(AS)을 포함하는 DMS 필터의 일례가 도시되어 있다. 이 필터는 제 1 단자(OUT1)와 제 2 단자(OUT2)를 갖는 1개의 대칭 출력부 및 1개의 비대칭 입력부(IN)를 포함한다.

음향 트랙 내에는 총 6개의 컨버터를 포함하는 기본 구조물이 배치되어 있다.

입력부(IN)의 신호 단자에는 접지된 제 1 입력 컨버터(EW1)와 제 2 입력 컨버터(EW2)의 병렬 회로가 접속된다.

제 1 출력 컨버터(AW1, AW1')는 대칭 출력부의 제 1 단자(OUT1)에 연결되고, 제 2 출력 컨버터(AW2, AW2')는 제 2 단자(OUT2)에 연결된다.

음향 트랙의 중심부에 배치된 제 1 출력 컨버터(AW1)와 제 2 출력 컨버터(AW2)는 나란히 놓여, 공통의 제 1 도체 레일(SS1)을 통해 전기적으로 직렬로 그리고 음향학적으로 역위상으로 접속된다. 역위상이라 함은, 제 1 및 제 2 출력 컨버터에서 상대 컨버터 쪽을 향하는 최외측 핫 핑거들 사이의 간격이 반파장의 홀수배(바람직하게는 λ/2 또는 3λ/2)에 달함을 의미한다.

본 실시예에서 출력 컨버터(AW1, AW2)가 공유하는 제 1 도체 레일(SS1)은 부유식(floating)이다. 즉, SS1 상에서 임의의 전기 전위가 조정될 수 있다. 그 결과, 출력 게이트에서의 신호 대칭성이 악화된다.

도 2에는 제 1 도체 레일(SS1)이 제 1 연결 구조물(RF1)에 의해 제 1 입력 컨버터(EW1)의 도체 레일(SS2)(제 2 도체 레일)에 연결된다. 또한, 제 1 도체 레일(SS1)은 제 2 연결 구조물(RF2)에 의해 제 2 입력 컨버터(EW2)의 도체 레일(SS3)(제 3 도체 레일)에 연결된다.

제 1 연결 구조물(RF1)은 더 연장된 1개의 콜드 전극 핑거로서 형성된다. 제 2 연결 구조물(RF2)은 더 연장된 2개의 콜드 전극 핑거로서 형성된다.

제 1 연결 구조물 및 제 2 연결 구조물(RF1, RF2)(특히, 다수의 전극 핑거를 갖는 연결 구조물)은 음향파에 반사 작용을 한다.

핑거들 간의 간격은 본 발명의 범주에서 항상 핑거 중심 간 간격을 의미한다.

중심부에 배치된 제 1 출력 컨버터 및 제 1 입력 컨버터의, 상대편을 향한 최외측 핑거들 사이의 간격(a₁)은 거의 λ이고, 이때 λ는 파장이다. 상기 핫 핑거들 사이에는 더 연장된 전극 핑거로서 형성된 금속 스트립들(= 제 1 연결 구조물)이 배치된다.

중심부에 배치된 제 2 출력 컨버터 및 제 2 입력 컨버터의, 상대편을 향한 최외측 핑거들 사이의 간격(a₂)은 거의 3λ/2이다.

상기 핫 핑거들 사이에는 더 연장된 전극 핑거로서 형성된 금속 스트립들(= 제 2 연결 구조물)이 배치된다.

출력 컨버터 AW1과 AW2는 본 발명의 모든 변형예에서 역위상으로 접속된다. 본 실시예에서 중심부에 배치된 제 1 출력 컨버터(AW1) 및 제 2 출력 컨버터(AW2)의, 상대편을 향한 최외측 핑거들이 핫 핑거이다. 즉, 제 1 출력 컨버터(AW1) 및 제 2 출력 컨버터(AW2)의, 상대편을 향한 최외측 핫 핑거들 사이의 간격은 거의 λ/2이다.

중심부에 배치된 컨버터들 - 제 1 출력 컨버터(AW1)와 제 2 출력 컨버터(AW2) - 은 도 2에서 각각 동일 개수의 핫 핑거를 갖는다. 총 핑거 수는 상기 두 출력 컨버터(AW1, AW2)에서 모두 동일하게 선택된다.

제 1 및 제 2 입력 컨버터(EW1, EW2)는 동일 개수(N4)의 핫 핑거를 갖는다. 입력 컨버터 EW1 과 EW2의 전체 핑거 수는 1개만큼 차이가 난다. 제 1 입력 컨버터(EW1)가 제 2 입력 컨버터(EW2)보다 1개의 (콜드) 핑거를 더 갖는다.

본 변형예에서, 필터의 기본 구조물의 말단 출력 컨버터 AW1'와 AW2'는 동일 개수(N5)의 핫 핑거를 갖는다. 상기 컨버터의 총 핑거 수 역시 동일하게 선택된다.

본 변형예에서, 제 2 입력 컨버터(EW2) 쪽을 향한, 제 2 말단 출력 컨버터(AW2')의 말단 핑거는 핫 핑거이다. 제 2 말단 출력 컨버터(AW2') 쪽을 향한, 제 2 입력 컨버터(EW2)의 말단 핑거도 역시 핫 핑거이다.

도 2 내지 도 5에서 음향 트랙의 중심부를 향한, 말단 출력 컨버터들(AW1', AW2')의 핑거는 모두 핫 핑거이다. 이와 달리, 도 7 내지 도 9에서 음향 트랙의 중심부를 향한, 제 1 말단 출력 컨버터(AW1')의 핑거는 핫 핑거이고, 음향 트랙의 중심부를 향한, 제 2 말단 출력 컨버터(AW2')의 핑거는 콜드 핑거이다.

도 3에는 중심부에 배치된 제 1 출력 컨버터와 제 2 출력 컨버터(AW1, AW2)의, 상대편을 향한 최외측 핑거들은 콜드 핑거이다. 즉, 상대편을 향한 출력 컨버터 AW1과 AW2의 핫 핑거들 사이의 간격은 거의 3λ/2이다. 도 10에서, 출력 컨버터 AW1과 AW2의, 상대편을 향한 최외측 핑거들 사이의 간격은 반파장의 더 큰 홀수배 - 도 10에서는 7λ/2 -에 달할 수도 있음을 알 수 있다. 이 경우, 출력 컨버터 AW1과 AW2의, 상대편을 향한 최외측 핑거들 사이에 예컨대 짝수개의 콜드 전극 핑거를 갖는 반사기(RF3)가 배치된다. 이 반사기는 제 1 도체 레일(SS1)에 연결된다. 반대편 측면에서는 반사기가 접지에 연결될 수 있다.

도 4에는 도 2에 따라 형성된 DMS 트랙(AS) 옆에 대칭 출력부 측으로 상기 트랙 다음에 접속되고, 반사기 구조물(R1', R2')로 종결되는 추가 음향 트랙을 포함하는 필터가 도시되어 있으며, 상기 추가 음향 트랙은 다중 게이트 공진기로서 형성된다.

다중 게이트 공진기는 반사기 구조물(R1', R2') 사이에 나란히 배치되어 음향학적으로 종방향으로 상호 결합된 2개의 컨버터(W1, W2)를 포함하는데, 이때 각각의 컨버터(W1, W2)는 1개의 단일 신호 경로 내에 배치되거나 각각의 신호 경로 내에 직렬로 접속된다. 컨버터 W1은 한 편으로 필터 출력부의 제 1 단자(OUT1)에 연결되고, 다른 한 편으로 제 1 출력 컨버터 AW1과 AW1'의 병렬 회로에 연결된다. 컨버터 W2는 한 편으로 필터 출력부의 제 2 단자(OUT2)에 연결되고, 다른 한 편으로 제 2 출력 컨버터 AW2와 AW2'의 병렬 회로에 연결된다.

컨버터 W1과 W2는 음향 트랙 내에서 역위상으로 접속된다.

도 5에서는 비대칭 입력부 측에서 도 2에 따른 음향 트랙의 앞에 사다리형 기본 엘리먼트가 접속된다. 이 사다리형 기본 엘리먼트는 신호 경로 내에 배치된 공진기(RE2) 및 상기 신호 경로를 접지에 연결하는 추가 공진기(RE1)를 포함한다. 이 공진기들(RE1, RE2)은 각각 반사기들 사이에 배치되는 컨버터를 나타낸다.

여기에 도시된 변형예에서는, 직렬 공진기(RE2)가 신호 경로 내에서 병렬 공진기(RE1) 다음에 접속된다. 그러나 기본 엘리먼트 내에서 신호 경로 내 병렬 공진기가 직렬 공진기 다음에 접속되는 것도 가능하다. 기본 엘리먼트의 수가 임의로 선택될 수도 있다. 직렬 공진기들 및 병렬 공진기들은 서로 음향 트랙(AS)의 앞에 접속되는 임의의 T형 엘리먼트 및 п형 엘리먼트를 형성할 수 있다.

도 6A 내지 도 6D에는 본 발명의 도 2에 따른 필터 및 공지되어 있는 필터의 전기적 매개변수들의 수치 시뮬레이션(numerical simulation)의 결과가 도시되어 있다.

도 6A에는 도 4에 따른 필터의, 수치학적으로 계산된 전달함수(1)가 도시되어 있다. |S₂₁|은 관련 산란 매개변수 S₂₁의 절대값이다. 상기 전달 함수 1이 a) 출력 컨버터의 1개의 부유식 공통 도체 레일에서 4개의 컨버터를 구비한 음향 트랙 및 b) 상기 음향 트랙의 입력측에 전방 접속된 직렬 공진기를 포함하는 DMS 필터의 전달 함수 2와 비교된다. 후자의 필터는 EP 1394940 A1으로부터 공지된, 도 1에 따른 필터와 대등하다. 상기 필터는 직렬 접속된 2개의 부분 컨버터로 분할된 출력 컨버터도 포함한다.

1930MHz 부근의 고주파 정지 대역에서 본 발명에 따른 필터의 선택은 4개의 컨버터를 구비한 전술한 필터에 비해 훨씬 더 개선된다.

도 6B에는 전달 함수 1과 2의 통과 대역이 더 확대되어 도시되어 있다. 본 발명에 따른 필터의 삽입 손실은 공지된 필터의 삽입 손실보다 약 0.3 내지 0.5dB 더 낮다.

도 6C에는 대칭 출력부의 단자들(OUT1, OUT2) 사이의 진폭차가 도시되어 있고, 도 6D에는 상기 단자들 사이의 (180°를 뺀) 위상차가 도시되어 있다.

곡선 3과 곡선 5는 각각 도 2에 따른(즉, 제 1 도체 레일 SS1이 접지에 연결되는) 필터에 해당된다. 곡선 4와 곡선 6은 각각 도 1에 따른(즉, 제 1 도체 레일 SS1이 접지에 연결되지 않는) 필터에 해당된다.

대칭 신호의 성분들은 필터의 통과 대역에서 동일한 크기를 가지며, 180°에 대해 서로 변위된다(진폭 대칭 및 위상 대칭). 따라서 이상적으로는 진폭차뿐만 아니라 전술한 것처럼 정의된 위상차도 0이다. 도 6C 및 도 6D를 통해, 본 발명에 따른 필터가 더 개선된 진폭 대칭 및 위상 대칭을 보임을 알 수 있다.

도 7 내지 도 9에 도시된 예에서는 제 1 도체 레일(SS1)의 한쪽만 제 1 연결 구조물(RF1)에 의해 접지 및 제 2 도체 레일(SS2)과 전기적으로 연결된다.

도 7 내지 도 9에 따른 예에서 중심부에 배치된 제 2 출력 컨버터와 제 2 입력 컨버터의, 상대편을 향한 최외측 핫 핑거들 사이의 간격(a₂)은 거의 λ/2이다. 간격 a₁은, 도 2에 도시된 것처럼, 거의 λ에 달한다.

중심부에 배치된 제 1 출력 컨버터(AW1)는 도 7에서 N3개의 핫 핑거를 가지며, 중심부에 배치된 제 2 출력 컨버터(AW2)는 "N3' = N3 + 1"개의 핫 핑거를 갖는다. 상기 컨버터들의, 서로를 향하는 핑거는 핫 핑거이다. 상기 두 출력 컨버터(AW1, AW2)의 총 핑거 수의 차는 2개이다.

제 1 입력 컨버터 및 제 2 입력 컨버터(EW1, EW2)는 동일한 개수(N4)의 핫 핑거를 갖는다. 상기 입력 컨버터(EW1, EW2)의 총 핑거 수도 동일하게 선택된다.

본 변형예에서, 필터의 기본 구조물의 말단 출력 컨버터 AW1'와 AW2'는 동일한 개수(N5)의 핫 핑거를 갖는다. 상기 컨버터들의 총 핑거 수는 1개의 차이가 나며, 제 2 출력 컨버터(AW2')의 총 핑거 수가 제 1 출력 컨버터(AW1')의 총 핑거 수보다 1개 더 많다.

제 1 말단 출력 컨버터 및 제 2 말단 출력 컨버터의 총 핑거 수는 모든 변형예에서 동일하게 선택될 수 있고, 또는 1개나 2개의 (콜드) 핑거만큼 차이가 날 수 있다.

도 8에 도시된 필터는, 중심부에 배치된 출력 컨버터 AW1과 AW2의 핫 핑거 수 및 총 핑거 수가 각각 모두 동일하다는 점에서 도 7과 차이가 있다. 상기 컨버터들의, 서로를 향하는 핑거들은 콜드 핑거이다. 여기서 중심부에 배치된 출력 컨버터들(AW1, AW2)은 그들의 핑거 배치와 관련하여 음향 트랙(AS)의 수직 축 내지는 중심축에 대해 거울 대칭을 이루도록 형성된다.

도 7 및 도 8에서, 제 2 입력 컨버터(EW2)와 말단 출력 컨버터(AW2')의, 서로를 향한 말단 핑거들은 모두 콜드 핑거이다. 상기 컨버터들의, 서로를 향한 최 외측 핫 핑거들 사이의 간격은 거의 3λ/2이다.

도 9에서, 제 2 입력 컨버터(EW2)와 말단 출력 컨버터(AW2')의, 서로를 향한 핑거들은 모두 핫 핑거이고, 상기 핫 핑거들 사이의 간격은 거의 λ/2이다.

도 9에서 제 1 입력 컨버터(EW1)는 N4개의 핫 핑거를 가지며, 제 2 입력 컨버터(EW2)는 "N4' = N4 + 1"개의 핫 핑거를 갖는다. 상기 입력 컨버터(EW1, EW2)의 총 핑거 수 역시 1개의 차이가 난다.

본 변형예에서 제 1 말단 출력 컨버터(AW1')는 N2개의 핫 핑거를 갖는다. 본 변형예에서 제 2 말단 출력 컨버터(AW2')는 "N2' = N2 + 1"개의 핫 핑거를 갖는다. 상기 컨버터들의 총 핑거 수의 차는 2개이고, 제 2 출력 컨버터(AW2')의 총 핑거 수가 제 1 출력 컨버터(AW1')의 총 핑거 수보다 2개 더 많다.

여기서 중심부에 배치된 출력 컨버터 AW1과 AW2는 도 8에 도시된 것과 동일하게 형성되어 있다.

도 11A 내지 도 11C에는 두 컨버터 - 여기서는 제 1 입력 컨버터(EW1)와 제 1 말단 출력 컨버터(AW1') - 의 전이 영역(경계 영역)들이 도시되어 있다.

도 11A에서는, λ/2의 주기적 그리드 패턴에서 양 컨버터의 경계 영역 내에 전극 핑거들의 중심부들이 놓여 있다.

도 11B에서는 핑거 중심 간 간격들(l₁ 내지 l₅)이 서로 다른데, 이때 핑거 중심 간 간격 l₁ 내지 l₅는 각 컨버터의 가장자리로 갈수록 감소하고, 컨버터 경계부에서 최소값에 도달한다. 이러한, 전이 영역에서의 핑거 중심 간 간격의 감소를 처프(chirp)라 한다. 도 11B에서는 핑거 폭들이 동일하게 선택되는 반면, 도 11C에서는 핑거 중심 간 간격이 감소함에 따라 핑거 폭도 그에 상응하게 감소한다. 바람직하게는 핑거 간격이 감소하여도 각 컨버터에서의 금속화 비(즉, 총 면적에 대한 금속화 면적의 비)는 전체적으로 일정하게 유지된다.

본 발명에 따른 필터의 DMS 트랙에서의 금속화 비는 바람직하게 0.65 내지 0.75이다.

핫 핑거들의 중심 간 간격은 거의 λ에 달한다. DMS 트랙의 상이한 컨버터들의 핑거 주기에 있어서 약 5% 이하의 작은 편차가 있을 수 있으며, 이는 바람직하다. 심지어 컨버터들의 전이 영역에서는 처프로 인해 λ 내지 약 15%의 편차가 발생할 수도 있다.

본 발명의 범주에서 도 11A 내지 11C에 도시된 컨버터(EW1, AW1') 대신 다음의 컨버터 쌍의 경계 영역이 고려될 수 있다.: AW1과 EW1, AW2와 AW1, EW2와 AW2, AW2'와 EW2.

도 12에서는, 본 발명에 따른 필터가 6개의 컨버터(AW2', EW2, AW2, AW1, EW1 및 AW1')로 구성된 기본 구조물 외에 추가 컨버터 - 여기서는 추가의 제 1 입력 컨버터(EW1') 및 추가의 제 2 입력 컨버터(EW2') - 를 가질 수 있음을 알 수 있다.

모든 입력 컨버터는 서로 병렬로 접속되고, 입력부(IN)의 신호 단자에 연결된다.

또 다른 한 실시예에서는, 제 1 신호 경로 내에서 제 1 출력 컨버터들(AW1, AW1')과 출력부의 제 1 단자(OUT1) 사이에 제 1 직렬 공진기가 직렬로 접속될 수 있고, 제 2 신호 경로 내에서 제 2 출력 컨버터들(AW2, AW2')과 출력부의 제 2 단자(OUT2) 사이에 제 2 직렬 공진기가 직렬로 접속될 수 있다.

도 13에서는, 컨버터 중 적어도 하나 - 여기서는 입력 컨버터(EW1) - 에서 가로 방향으로 각각의 도체 레일(S1)에 연결된 전극 핑거(FG1)와 짧은 쪽 핑거(stub finger)(SF1)가 마주보고 놓인 것을 볼 수 있다. 짧은 쪽 핑거의 길이는 3λ/4 내지 3λ/2인 것이 바람직하다.

가로 방향으로 측정한, 핑거 FG1과 상기 핑거에 대응되는 짧은 쪽 핑거 SF1 사이의 최소 간격(= 갭(GP))은 λ/4 미만인 것이 바람직하다.

임의의 컨버터가 가중될 수 있는데, 이때 음향 트랙 내 또는 각각의 컨버터 내에서 상이한 갭을 갖는 가운데 부분의 가로 방향 자리(y₁ 내지 y₃)는 상이하게 선택된다. 임의의 컨버터가 가중에서 제외될 수도 있는데, 이 경우 1개의 전극 핑거의 연결 순서가 변경됨으로써 2개의 여기 중심(center of excitation)이 생략된다. 1개의 여기 중심은 상이한 전위를 갖는 2개의 인접한 전극 핑거에 상응한다.

본 발명은 한정된 수의 가능한 실시예로서 도시되었으나, 상기 실시예들로 제한되는 것은 아니다. 컨버터들은 분할 핑거들을 가질 수 있는데, 이 경우 1개의 반파장 당 동일한 전위에 놓인 다수의 핑거가 제공된다. 필터의 입력부와 출력부는 근본적으로 상호 교체될 수 있다. 도면들에 도시된 구조들은 수평으로 또는 수직으로 대칭될 수 있다.

도면들에 도시된, 말단 출력 컨버터(AW1', AW2')의 말단 접지 핑거들은 생략 될 수도 있다. 더 정확히 말하면 1개의 접지 핑거가 생략되거나, 두 접지 핑거 모두 생략될 수 있다.

본 발명의 모든 실시예에서, 두 컨버터의 경계부에서 한 컨버터의 말단 콜드 핑거를 제거하고, 상기 말단 콜드 핑거를 경계를 접하고 있는 컨버터에 할당하는 것이 가능하다.

반사기 구조물들은 접지에 놓일 수 있고, 특히 상기 접지와 연결된, 트랙 내 각 말단 컨버터의 도체 레일에 연결될 수 있다.

임의로 선택된, 음향 트랙(AS)의 서로 나란히 놓인 두 컨버터 사이에 이상값과 차이가 나는 위상차의 보상을 위해 반사기가 제공될 수 있다. 상기 음향 트랙은 여러 컨버터 쌍 사이에 삽입되는 다수의 반사기를 포함할 수 있다. 바람직하게는 음향 트랙 내에 제공된 서로 대응되는 반사기들이 음향 트랙의 중점 또는 중심축에 대해 대칭을 이루도록 삽입된다.

중심부에 배치된 제 1 출력 컨버터와 제 2 출력 컨버터는 기본적으로 각각 짝수개 또는 홀수개의 핑거를 가질 수 있다.

Claims

표면탄성파 필터로서,

양 측면이 반사기 구조물(R1, R2)로 종결되고, 그 내부에 음향학적으로 종방향으로 상호 결합된 제 1 입력 컨버터와 제 2 입력 컨버터(EW1, EW2) 및 제 1 출력 컨버터와 제 2 출력 컨버터(AW1, AW1', AW2, AW2')가 배치된 음향 트랙,

전기적으로 비대칭 입력부(IN)에 연결되며 서로 병렬 접속된 적어도 1개의 제 1 입력 컨버터(EW1) 및 적어도 1개의 제 2 입력 컨버터(EW2),

대칭 출력부의 제 1 단자(OUT1)에 연결되며 서로 병렬 접속된 적어도 2개의 제 1 출력 컨버터(AW1, AW1'), 및

상기 대칭 출력부의 제 2 단자(OUT2)에 전기적으로 연결되며 서로 병렬 접속된 적어도 2개의 제 2 출력 컨버터(AW2, AW2')를 포함하며,

상기 제 1 입력 컨버터(EW1) 각각은 상기 2개의 제 1 출력 컨버터(AW1, AW1') 사이에 배치되고, 상기 제 2 입력 컨버터(EW2) 각각은 상기 2개의 제 2 출력 컨버터(AW2, AW2') 사이에 배치되며,

상기 음향 트랙 내에서 중심부에 배치된 제 1 출력 컨버터(AW1)와 그에 대응하는 제 2 출력 컨버터(AW2)가 나란히 놓여, 공통의 제 1 도체 레일(SS1)을 통해 전기적으로 서로 직렬로 접속되며,

상기 제 1 입력 컨버터 모두 및 출력 컨버터에서 서로를 향한 최외측 핫(hot) 핑거들의 중심 간 간격이 거의 반파장의 짝수배에 달하며,

상기 제 2 입력 컨버터 모두 및 출력 컨버터에서 서로를 향한 최외측 핫 핑거들의 중심 간 간격이 거의 반파장의 홀수배에 달하며,

하기의 조건들,

A) 상기 제 1 도체 레일(SS1)은 상기 제 1 출력 컨버터(AW1)와 제 1 입력 컨버터(EW1) 사이에 배치된 제 1 연결 구조물(RF1)을 통해 인접한 제 1 입력 컨버터(EW1)의, 접지에 연결된 반대편 제 2 도체 레일(SS2)과 전기적으로 연결되는 조건,

B) 상기 제 1 도체 레일(SS1)은 상기 제 2 출력 컨버터(AW2)와 제 2 입력 컨버터(EW2) 사이에 배치된 제 2 연결 구조물(RF2)을 통해 인접한 제 2 입력 컨버터(EW2)의, 접지와 연결된 반대편 제 3 도체 레일(SS3)과 전기적으로 연결되는 조건

중 적어도 하나가 충족되고,

이 경우, 상기 제 1 연결 구조물과 상기 제 2 연결 구조물은 적어도 1개의 금속 스트립을 포함하는,

표면탄성파 필터.
제 1항에 있어서,

직접 인접하는 모든 제 1 입력 컨버터 및 출력 컨버터에서, 서로를 향하는 최외측 핫 핑거들의 중심 간 간격이 거의 반파장의 2배인,

표면탄성파 필터.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

직접 인접하는 모든 제 2 입력 컨버터 및 출력 컨버터에서, 서로를 향하는 최외측 핫 핑거들의 중심 간 간격이 거의 반파장에 달하는,

표면탄성파 필터.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 제 2 입력 컨버터 및 출력 컨버터에서, 상기 제 2 입력 컨버터(EW2)와 중심부에 배치된 상기 제 2 출력 컨버터(AW2)의, 서로를 향한 핫 핑거들의 중심 간 간격이 반파장의 3배이거나, 상기 제 2 입력 컨버터(EW2)와 말단부에 배치된 제 2 출력 컨버터(AW2')의, 서로를 향한 핫 핑거들의 중심 간 간격이 반파장과 같거나, 또는 그 반대인,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 금속 스트립은 상기 제 1 도체 레일과 제 2 도체 레일 또는 상기 제 1 도체 레일과 제 3 도체 레일에 연결된, 더 연장된 전극 핑거로서 형성되는,

표면탄성파 필터.
제 5항에 있어서,

상기 제 1 연결 구조물(RF1)은 더 연장된 전극 핑거로 형성된 1개 이상의 홀수개의 금속 스트립들을 포함하는,

표면탄성파 필터.
제 5항 또는 제 6항에 있어서,

상기 제 2 연결 구조물(RF2)은 더 연장된 전극 핑거로 형성된 2개 이상의 짝수개의 금속 스트립들을 포함하는,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 음향 트랙은 1개의 기본 구조물을 형성하는 2개의 제 1 출력 컨버터(AW1, AW1'), 2개의 제 2 출력 컨버터(AW2, AW2'), 1개의 제 1 입력 컨버터(EW1) 및 1개의 제 2 입력 컨버터(EW2)를 포함하는,

표면탄성파 필터.
제 8항에 있어서,

상기 제 1 입력 컨버터(EW1)는 N1개의 핫 핑거를 갖고, 상기 제 2 입력 컨버터(EW2)는 "N1' = N1 + 1"개의 핫 핑거를 갖는,

표면탄성파 필터.
제 8항 또는 제 9항에 있어서,

상기 기본 구조물 내에서 말단의 제 1 출력 컨버터(AW1')는 N2개의 핫 핑거를 갖고, 말단의 제 2 출력 컨버터(AW2')는 "N2' = N2 + 1"개의 핫 핑거를 갖는,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제 1 및 제 2 말단 출력 컨버터(AW1', AW2')의, 음향 트랙의 중심부를 향하는 말단 핑거들은 모두 핫 핑거이거나 또는 모두 콜드 핑거인,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제 1 말단 출력 컨버터(AW1')의, 음향 트랙의 중심부를 향하는 말단 핑거들은 핫 핑거이고, 상기 제 2 말단 출력 컨버터(AW2')의, 음향 트랙의 중심부를 향하는 말단 핑거들은 콜드 핑거인,

표면탄성파 필터.
제 8항에 있어서,

상기 제 1 입력 컨버터(EW1)와 상기 제 2 입력 컨버터(EW2)가 동일한 개수(N4)의 핫 핑거를 갖는,

표면탄성파 필터.
제 8항, 제 9항 및 제 11항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 기본 구조물의 말단 출력 컨버터들(AW1', AW2')은 동일한 개수(N5)의 핫 핑거를 갖는,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 14항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 음향 트랙 내에서 각각 중심부에 배치된 제 1 출력 컨버터(AW1)와 제 2 출력 컨버터(AW2)가 동일 개수(N6)의 핫 핑거를 갖는,

표면탄성파 필터.
제 15항에 있어서,

상기 중심부에 배치된 제 1 출력 컨버터(AW1)와 제 2 출력 컨버터(AW2)가 각각 짝수개의 핑거를 갖는,

표면탄성파 필터.
제 16항에 있어서,

상기 중심부에 배치된 제 1 출력 컨버터(AW1)와 제 2 출력 컨버터(AW2)가 각각 홀수개의 핑거를 갖는,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 14항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 중심부에 배치된 제 1 출력 컨버터(AW1)는 N3개의 핫 핑거를 갖고, 상기 중심부에 배치된 제 2 출력 컨버터(AW2)는 "N3' = N3 + 1개"의 핫 핑거를 갖는,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 18항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 중심부에 배치된 제 1 출력 컨버터(AW1)와 제 2 출력 컨버터(AW2)의, 서로를 향하는 말단 핑거들은 핫 핑거인,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 18항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 중심부에 배치된 제 1 출력 컨버터(AW1)와 제 2 출력 컨버터(AW2)의, 서로를 향하는 말단 핑거들은 콜드 핑거인,

표면탄성파 필터.
제 13항 내지 제 20항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 말단 출력 컨버터들(AW1', AW2')의, 상기 음향 트랙의 중심부를 향한 핑거들은 모두 핫 핑거인,

표면탄성파 필터.
제 13항 내지 제 20항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제 1 말단 출력 컨버터(AW1')의, 상기 음향 트랙의 중심부를 향한 핑거는 핫 핑거이고, 상기 제 2 말단 출력 컨버터(AW2')의, 상기 음향 트랙의 중심부를 향한 핑거는 콜드 핑거인,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 10항, 제 13항 내지 제 20항 및 제 22항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제 2 말단 출력 컨버터(AW2')의, 상기 제 2 입력 컨버터(EW2)를 향한 말단 핑거는 콜드 핑거이고, 상기 제 2 입력 컨버터(EW2)의, 상기 제 2 말단 출력 컨버터(AW2')를 향한 말단 핑거도 콜드 핑거인,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 10항, 제 13항 내지 제 21항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제 2 말단 출력 컨버터(AW2')의, 상기 제 2 입력 컨버터(EW2)를 향한 말단 핑거는 핫 핑거이고, 상기 제 2 입력 컨버터(EW2)의, 상기 제 2 말단 출력 컨버터(AW2')를 향한 말단 핑거도 핫 핑거인,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 24항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 중심부에 배치된 제 1 출력 컨버터와 제 2 출력 컨버터(AW1, AW2) 사이에 짝수개의 핑거를 갖는 반사기(RF3)가 배치되는,

표면탄성파 필터.
제 25항에 있어서,

상기 반사기(RF3)가 상기 제 1 도체 레일(SS1)에 연결되는,

표면탄성파 필터.
제 26항에 있어서,

상기 반사기가 상기 제 1 도체 레일(SS1)의 반대편에서 접지에 연결되는,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 27항 중 어느 한 항에 있어서,

연속 배치된 각각 2개의 컨버터(AW1', EW1, AW1, AW2, EW2, AW2')마다 서로를 향하는 전이 영역을 가지며, 상기 전이 영역에서의 핑거 주기가 상기 2개의 컨버터의 최대 핑거 주기보다 짧은,

표면탄성파 필터.
제 28항에 있어서,

상기 두 컨버터에서 연속하여 놓인 2개의 컨버터(AW1', EW1, AW1, AW2, EW2, AW2')의 서로를 향하는 영역에서의 핑거 주기는 각각 관련 컨버터의 중심부로부터 인접한 컨버터의 방향으로 갈수록 점점 더 짧아져서, 상기 인접한 컨버터와의 경계에서 최소값에 도달하는,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 29항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 입력 컨버터(EW1, EW2)의, 상기 음향 트랙의 중심부를 향하는 말단 핑거들은 모두 핫 핑거인,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 30항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제 1 및 제 2 입력 컨버터와 출력 컨버터 중에서 선택된 적어도 1개의 컨버터에서, 가로 방향으로 각각의 도체 레일에 연결된 전극 핑거와 그 반대편 도체 레일에 연결된 짧은 쪽 핑거(stub finger)가 마주보고 놓이며, 상기 짧은 쪽 핑거의 길이는 3λ/4 내지 3λ/2인,

표면탄성파 필터.
제 31항에 있어서,

가로 방향으로 측정한, 1개의 핑거와 상기 핑거에 대응되는 짧은 쪽 핑거 사이의 최소 간격은 λ/4 미만인,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 32항 중 어느 한 항에 있어서,

제 2 공진기로서 형성되고, 그 내부에 서로 종방향으로 결합된 제 1 컨버터(W1) 및 제 2 컨버터(W2)가 배치된 추가 음향 트랙을 포함하며,

상기 제 2 공진기의 제 1 컨버터(W1)는 제 1 신호 경로 내에서 상기 출력부의 제 1 단자(OUT1)와 상기 제 1 출력 컨버터들(AW1, AW1') 사이에 직렬로 접속되며,

상기 제 2 공진기의 제 2 컨버터(W2)는 제 2 신호 경로 내에서 상기 출력부의 제 2 단자(OUT2)와 상기 제 2 출력 컨버터들(AW2, AW2') 사이에 직렬로 접속되는,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 33항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제 1 신호 경로 내에서 상기 출력부의 제 1 단자(OUT1)와 상기 제 1 출력 컨버터들(AW1, AW1') 사이에 제 1 직렬 공진기가 직렬로 접속되며,

상기 제 2 신호 경로 내에서 상기 출력부의 제 2 단자(OUT2)와 상기 제 2 출력 컨버터들(AW2, AW2') 사이에 제 2 직렬 공진기가 직렬로 접속되는,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 34항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 입력부(IN)와 상기 입력 컨버터들(EW1, EW2) 사이의 신호 경로로 직렬 공진기(RE2)가 직렬로 접속되는,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 35항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 입력부(IN)와 상기 입력 컨버터들(EW1, EW2) 사이에 횡 분기가 배치되고, 상기 가로 분기 내에 병렬 공진기(RE1)가 접속되는,

표면탄성파 필터.
제 1항 내지 제 36항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 입력부와 출력부가 교환되는,

표면탄성파 필터.