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JPS61188542A - 自動現像機 - Google Patents

自動現像機

Info

Publication number
JPS61188542A
JPS61188542A JP2914185A JP2914185A JPS61188542A JP S61188542 A JPS61188542 A JP S61188542A JP 2914185 A JP2914185 A JP 2914185A JP 2914185 A JP2914185 A JP 2914185A JP S61188542 A JPS61188542 A JP S61188542A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
developing
time
developer
liquid
developing device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2914185A
Other languages
English (en)
Inventor
Chuichi Morimoto
森本 忠一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP2914185A priority Critical patent/JPS61188542A/ja
Publication of JPS61188542A publication Critical patent/JPS61188542A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/30Imagewise removal using liquid means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、半導体装置や液晶表示装置の製造。
あるいは特殊製版など微細加工を要する分野で行うホト
エツチングに使用される自動現像・機、特に循環する現
像液により現像を行う自動現像機に関する。
(従来の技術およびその問題点) 従来のこの種の自動現像機は、現像液を現像液恒温槽に
貯留し、ここから循環ポンプにより加圧送液して噴射ノ
ズルから現像液を噴射する一方。
この噴射している現像液の中をホトレジストに<<ター
ンが焼付けられた奉板を搬送ベルト等により一定速度で
移動させて一定時間の現像を行うものである。そして、
現像液は現像を終えた後再び現像液恒温槽に戻され9通
常、数時間程度繰り返し使用される。
ところが、上記従来の自動現像機にあっては。
現像液の経時変化により現像後のパターン寸法が変化す
るといった問題があった。このため、パターン寸法のば
らつきによ全製品の性能低下や工程のやり直し、あるい
は現像液の頻繁な交換によるコストアップを余儀な(さ
れていた。
(発明の目的)         。
本発明は、上記の問題点に鑑み、現像液が経時変化して
も現像後のパターン寸法に変化のない現像を行うことの
できる自動現像機を提供することを目的とする。
(発明の構成) 本発明の自動現像機は、現像液の経時変化に伴って現像
時間を変化させるようにしたものである。
(実施例) 以下1本発明の構成を実施例につき図面を参照して説明
する。
第1図は本発明に係る自動現像機の概略を示す正面図で
ある。
図中、1は基板2を載置して搬送する搬送ベル トで、
駆動モータ3により伝達機構4.を介して駆動される。
この搬送ベルト1の上方には搬送される基板2に向けて
現像液5を噴射する噴射ノズル6が配設されており、下
方には現像液5を貯留する現像液恒温槽7が設けられて
いる。現像液5はこの現像液恒温槽7から循環ポンプ8
により噴射ノズル6に加圧送液され、噴射ノズル6から
噴射される。そして、現像を終えた現像液5は、再び現
像液恒温槽7に戻されて一定期間繰り返し使用される。
なお9図中、9は搬送ベルト1の終点部に連設されたリ
ンス部で、現像後の基板2に付着している不要な現像液
がここで除去される。
上記搬送ベルトlを駆動する駆動モータ3は。
その回転速度を任意に変化させることができるようにな
されており、これによって基板2が現像液5の噴射を受
ける時間、すなわち現像時間を変えることができるよう
になされている0例えば、駆動モータ3の回転速度を遅
(して搬送ベルト1の速度を遅くすると、現像時間は長
くなり、その結実現像後のパターン寸法は小さくなる。
これとは逆に、駆動モータ3の回転速度を速くして搬送
ベルト1の速度を速くすると、現像時間は短くなり。
その結実現像後のパターン寸法は大きくなる。現像液5
は前述したように繰り返し使用していくうちに経時変化
するため、それに伴ってパターン寸法は次第に大きくな
っていく、これを防ぐには現像時間を長くすればよいこ
とから、駆動モータ3はその回転速度が現像液5の経時
変化に伴って遅くなるように制御される。
第2図はそのような駆動モータ3の回転速度の変化例を
示すタイムチャートである。
駆動モータ3は、現像液5の経時変化に見合った適正な
現像時間に相当する速度となるように制御されている。
すなわち、基板2は、現像液5を交換後タイマーAによ
り定められた時間TAの間。
回□転速度Aで決まる現像時間で現像され、続いてタイ
マーBにより定められた時間T、の間9回転速度Bで決
まる現像時間で現像され9時間T、が終了する・とタイ
マーCにより定められた時間Tcの間6回転速度Cで決
まる現像時間で現像され。
その時間が過ぎると今度はタイマーDにより定められた
時間T、の間9回転速度りで決まる現像時間で現像され
、現像液5の経時変化を補正して一定のパターン寸法に
形成される。
なお、上記に限らず、マイクロコンピュータにより駆動
モータ3の回転速度を連続的に変化させ。
現像液5の経時変化によるパターン寸法の変化を補正す
るようにしてもよい、いずれの場合においても駆動モー
タ3の回転速度は、現像時間の変化によるパターン寸法
の変化量と、現像液の経時変化によるパターン寸法の変
化量とから決定すればよい。
(発明の効果) 本発明の自動現像機は、現像液が経時変化しても現像後
のパターン寸法に変化のない現像を行うことができ、従
来問題となっていたパターン寸法のばらつきによる製品
の性能低下や工程のやり直し、あるいは現像液の頻繁な
交換によるコストアップを解消することかで・きる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の自、動現像機の一実施例を示す概略正
面図、第2図は駆動モータの制御手段の一例を示すタイ
ムチャートである。 1・・・搬送ベルト   2・・・基板3・・・駆動モ
ータ   4・・・伝達機構5・・・現像液     
6・・・噴射ノズル7・・・現像液恒温槽・ ・8・・
・循環ポンプ9・・・リンス部  ゛ ほか1名

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)基板上に塗布されパターンが焼付けられたホトレジ
    スト中の潜像を、循環する現像液により現像する自動現
    像機において、 現像液の経時変化に伴うパターン寸法を補 正するように現像時間を変化させるようにしたことを特
    徴とする自動現像機。
JP2914185A 1985-02-15 1985-02-15 自動現像機 Pending JPS61188542A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2914185A JPS61188542A (ja) 1985-02-15 1985-02-15 自動現像機

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2914185A JPS61188542A (ja) 1985-02-15 1985-02-15 自動現像機

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61188542A true JPS61188542A (ja) 1986-08-22

Family

ID=12267998

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2914185A Pending JPS61188542A (ja) 1985-02-15 1985-02-15 自動現像機

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61188542A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103207536A (zh) * 2012-01-13 2013-07-17 昆山允升吉光电科技有限公司 一种卧式显影机传送装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5895349A (ja) * 1981-11-30 1983-06-06 Fuji Photo Film Co Ltd 感光性プレ−トの現像補充液補充方法
JPS59131930A (ja) * 1982-10-21 1984-07-28 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー 放射線感光部材の処理法

Patent Citations (2)

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