JPH0947627A - 排ガス浄化装置 - Google Patents
排ガス浄化装置Info
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- JPH0947627A JPH0947627A JP7203594A JP20359495A JPH0947627A JP H0947627 A JPH0947627 A JP H0947627A JP 7203594 A JP7203594 A JP 7203594A JP 20359495 A JP20359495 A JP 20359495A JP H0947627 A JPH0947627 A JP H0947627A
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- adsorption
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- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/14—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification
- F24F3/1411—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification by absorbing or adsorbing water, e.g. using an hygroscopic desiccant
- F24F3/1423—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification by absorbing or adsorbing water, e.g. using an hygroscopic desiccant with a moving bed of solid desiccants, e.g. a rotary wheel supporting solid desiccants
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F2203/00—Devices or apparatus used for air treatment
- F24F2203/10—Rotary wheel
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- F24F2203/10—Rotary wheel
- F24F2203/1032—Desiccant wheel
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- F24F2203/10—Rotary wheel
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- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F2203/00—Devices or apparatus used for air treatment
- F24F2203/10—Rotary wheel
- F24F2203/1088—Rotary wheel comprising three flow rotor segments
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 吸脱着能を向上し、装置の小型化を図る。
【構成】 吸着材層に排ガス1を接触させ、排ガス1に
含まれる有毒物質もしくは悪臭物質を吸着させ排ガス1
を浄化する領域10、吸着材層に吸着した物質を脱離ガ
スに脱離して吸着材層を再生する領域6及び両領域の間
を移動可能な吸着材層から少なくとも構成され、排ガス
1中の有毒物質もしくは悪臭物質を連続的に吸着して除
去する排ガス浄化装置において、排ガス1の流れ方向に
複数の吸着材層を設け、排ガス流に対し上流側の吸着材
層の吸脱着領域間の移動速度を下流側の吸着材層の移動
速度より速くしたことを特徴とする。
含まれる有毒物質もしくは悪臭物質を吸着させ排ガス1
を浄化する領域10、吸着材層に吸着した物質を脱離ガ
スに脱離して吸着材層を再生する領域6及び両領域の間
を移動可能な吸着材層から少なくとも構成され、排ガス
1中の有毒物質もしくは悪臭物質を連続的に吸着して除
去する排ガス浄化装置において、排ガス1の流れ方向に
複数の吸着材層を設け、排ガス流に対し上流側の吸着材
層の吸脱着領域間の移動速度を下流側の吸着材層の移動
速度より速くしたことを特徴とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、産業施設から発生する
有害もしくは悪臭物質を含有する排ガスの浄化装置に関
する。
有害もしくは悪臭物質を含有する排ガスの浄化装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】産業施設から発生する排ガスに有害もし
くは悪臭物質が含まれている場合、環境保全のため運用
条件に適した型式の排ガス浄化処理が選定され、実施さ
れている。特に排ガス量が比較的多く、処理すべき物質
の濃度が低い場合には一工程で排ガス中の被処理物質の
除去を行うより、排ガス中から被処理物質の分離、濃縮
を行ってから被処理物質の処理を行う方が、装置の小型
化、運転費・維持費の軽減などの点から有利なことが多
い。
くは悪臭物質が含まれている場合、環境保全のため運用
条件に適した型式の排ガス浄化処理が選定され、実施さ
れている。特に排ガス量が比較的多く、処理すべき物質
の濃度が低い場合には一工程で排ガス中の被処理物質の
除去を行うより、排ガス中から被処理物質の分離、濃縮
を行ってから被処理物質の処理を行う方が、装置の小型
化、運転費・維持費の軽減などの点から有利なことが多
い。
【0003】例えば、図2は回転する吸着材ロータ2を
利用し、排ガス中から有害物質の分離、濃縮を連続的に
行う装置の概要を示したものである。常温の排ガス1が
流れる領域(吸着領域10)で排ガス中の有害物質を吸
着した吸着材層は、駆動装置8による回転で移動して高
温の脱離ガスが流れる領域(脱離領域6)で吸着した物
質を脱離して再生する。再生した吸着材層は再び吸着領
域10に移動して有害物質を吸着する。
利用し、排ガス中から有害物質の分離、濃縮を連続的に
行う装置の概要を示したものである。常温の排ガス1が
流れる領域(吸着領域10)で排ガス中の有害物質を吸
着した吸着材層は、駆動装置8による回転で移動して高
温の脱離ガスが流れる領域(脱離領域6)で吸着した物
質を脱離して再生する。再生した吸着材層は再び吸着領
域10に移動して有害物質を吸着する。
【0004】このようにして連続的に排ガス中から有害
物質を吸着除去するが、脱離ガス量を排ガス量より少な
くすることにより、脱離ガス中の有害物質の濃度は排ガ
ス濃度の2倍から10倍の濃度となる。有害物質を含む
ガスの流量が少なくなるので、有害物質の焼却処理や回
収処理は排ガスに直接行うより容易になる。
物質を吸着除去するが、脱離ガス量を排ガス量より少な
くすることにより、脱離ガス中の有害物質の濃度は排ガ
ス濃度の2倍から10倍の濃度となる。有害物質を含む
ガスの流量が少なくなるので、有害物質の焼却処理や回
収処理は排ガスに直接行うより容易になる。
【0005】このような装置では吸着材の吸脱着能が重
要であり、吸着材の飽和吸着量、及び脱離速度が高いほ
ど同じ性能で吸着材ロータ2を小型化できる。吸着材ロ
ータ2を小型化すれば装置を小型化できるばかりでな
く、長期間の使用で吸着材が性能低下を生じた場合の交
換が容易になり、脱離ガスの脱離ガスヒータ7の熱源を
小さくできるので、運転費も軽減できる。
要であり、吸着材の飽和吸着量、及び脱離速度が高いほ
ど同じ性能で吸着材ロータ2を小型化できる。吸着材ロ
ータ2を小型化すれば装置を小型化できるばかりでな
く、長期間の使用で吸着材が性能低下を生じた場合の交
換が容易になり、脱離ガスの脱離ガスヒータ7の熱源を
小さくできるので、運転費も軽減できる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の吸着材
性能は吸着材の種類によって決められ、特殊な吸着材を
使用すると、装置の価格上昇やロータの交換による維持
費の増大が生じるので、吸着材の高性能化による装置の
小型化は困難である。
性能は吸着材の種類によって決められ、特殊な吸着材を
使用すると、装置の価格上昇やロータの交換による維持
費の増大が生じるので、吸着材の高性能化による装置の
小型化は困難である。
【0007】本発明の目的は、特殊な吸着材を使用する
ことなしに吸着材層の吸脱着能を向上し、装置を小型化
できる排ガス浄化装置を提供することにある。
ことなしに吸着材層の吸脱着能を向上し、装置を小型化
できる排ガス浄化装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、装置内の
排ガスの流れ方向に複数の吸着材層を設け、排ガス流の
上流側の吸着材層の吸脱着領域間の移動速度を下流側の
吸着材層の移動速度より速くすることで達成できる。
排ガスの流れ方向に複数の吸着材層を設け、排ガス流の
上流側の吸着材層の吸脱着領域間の移動速度を下流側の
吸着材層の移動速度より速くすることで達成できる。
【0009】
【作用】図3は、ゼオライトを100g/L担持したハ
ニカム吸着材層に100ppmのトルエルを含む空気を
流した時の、ゼオライトの単位重量当たりに吸着された
トルエン重量を示したものである。また図4は、この時
の吸着材層のトルエン吸着率を示したものである。これ
らの図から明らかなように、SVが高い条件ほど一定時
間でゼオライトの単位重量当たりに吸着されるトルエン
重量は高くなるが、トルエン吸着率は低くなり、吸着材
層から下流側に漏れるトルエン量は増加する。これは、
接触するガス中の被吸着物質の濃度が高いほど吸着量が
多くなる性質が吸着材にあるので、図5に示すように、
吸着材層の中に吸着量の分布(破過曲線)を生じるため
である。このため、前述したような排ガス吸着処理装置
において、吸着材層の下流側に漏れるトルエン量を少な
くするには、吸着材層の最下流部の吸着材がほとんど利
用されていない状態のうちに吸着材層の再生を始めなけ
ればならず、また吸着材層の再生時間を長くして(言い
換えれば吸着、脱離のサイクルを長くして)、吸着物質
の脱離を完全に行う必要がある。
ニカム吸着材層に100ppmのトルエルを含む空気を
流した時の、ゼオライトの単位重量当たりに吸着された
トルエン重量を示したものである。また図4は、この時
の吸着材層のトルエン吸着率を示したものである。これ
らの図から明らかなように、SVが高い条件ほど一定時
間でゼオライトの単位重量当たりに吸着されるトルエン
重量は高くなるが、トルエン吸着率は低くなり、吸着材
層から下流側に漏れるトルエン量は増加する。これは、
接触するガス中の被吸着物質の濃度が高いほど吸着量が
多くなる性質が吸着材にあるので、図5に示すように、
吸着材層の中に吸着量の分布(破過曲線)を生じるため
である。このため、前述したような排ガス吸着処理装置
において、吸着材層の下流側に漏れるトルエン量を少な
くするには、吸着材層の最下流部の吸着材がほとんど利
用されていない状態のうちに吸着材層の再生を始めなけ
ればならず、また吸着材層の再生時間を長くして(言い
換えれば吸着、脱離のサイクルを長くして)、吸着物質
の脱離を完全に行う必要がある。
【0010】逆に、上流側の吸着材は速い時期に飽和に
近い状態まで吸着するが、下流側の吸着材層にある程度
吸着してから再生処理に入るので、吸着操作を行ってい
る時間の大部分は吸着処理に寄与していない。
近い状態まで吸着するが、下流側の吸着材層にある程度
吸着してから再生処理に入るので、吸着操作を行ってい
る時間の大部分は吸着処理に寄与していない。
【0011】以上のような理由から、従来の装置では吸
着材層の利用効率が悪い。そこで、排ガスの流れ方向に
直列に吸着材層を幾つかに分割し、短時間で飽和状態に
なる上流側の吸着材層ほど吸着、脱離のサイクルを短く
すれば、吸着材層の利用率が高くなると同時に飽和濃度
近くまで吸着するので、単位吸着材層当たりの吸着処理
量は大きくなる。このため、同じ吸脱着性能を得るの
に、一体型の吸着材層より分割型の吸着材層の方が吸着
材層の大きさは小さくなる。
着材層の利用効率が悪い。そこで、排ガスの流れ方向に
直列に吸着材層を幾つかに分割し、短時間で飽和状態に
なる上流側の吸着材層ほど吸着、脱離のサイクルを短く
すれば、吸着材層の利用率が高くなると同時に飽和濃度
近くまで吸着するので、単位吸着材層当たりの吸着処理
量は大きくなる。このため、同じ吸脱着性能を得るの
に、一体型の吸着材層より分割型の吸着材層の方が吸着
材層の大きさは小さくなる。
【0012】
(実施例)以下、本発明の実施例について図1とともに
説明する。この実施例に係る排ガス浄化装置は、排ガス
流に対し直列に並べた3個の円筒形状の吸着材ロータ2
A,2B,2Cからなる。この吸着材ロータ2A,2
B,2Cはいずれも、直径が320mm、幅が170m
m、及び中心の軸径が50mmであり、ガス流の断面1
inch2 当たり200個のセルを有するハニカムであ
り、各吸着材ロータ2A,2B,2Cにはロータの見掛
け容積1リッター当たり100gのゼオライトが担持し
てある。
説明する。この実施例に係る排ガス浄化装置は、排ガス
流に対し直列に並べた3個の円筒形状の吸着材ロータ2
A,2B,2Cからなる。この吸着材ロータ2A,2
B,2Cはいずれも、直径が320mm、幅が170m
m、及び中心の軸径が50mmであり、ガス流の断面1
inch2 当たり200個のセルを有するハニカムであ
り、各吸着材ロータ2A,2B,2Cにはロータの見掛
け容積1リッター当たり100gのゼオライトが担持し
てある。
【0013】吸着材ロータ2A,2B,2Cの断面積の
60%に当たる部分が吸着領域10であり、20%が1
60℃に加熱した空気を2m/sの流速で流し吸着材を
再生する脱離領域6、残りの20%が脱離操作で温度が
高くなった吸着材層を冷却する冷却領域5である。脱離
領域6で脱離した有害成分は脱離ガスとともに燃焼装置
9に送られ焼却される。装置内を流れる排ガス流に対し
最上流側の吸着材ロータ2Aは毎時3回転、その下流側
の吸着材ロータ2Bは毎時2回転、及び最下流側の吸着
材ロータ2Cは毎時1回転で回転し、各吸着材ロータ2
A,2B,2Cは吸着領域10での排ガスの吸着浄化と
脱離領域6での再生を連続的に繰り返す。
60%に当たる部分が吸着領域10であり、20%が1
60℃に加熱した空気を2m/sの流速で流し吸着材を
再生する脱離領域6、残りの20%が脱離操作で温度が
高くなった吸着材層を冷却する冷却領域5である。脱離
領域6で脱離した有害成分は脱離ガスとともに燃焼装置
9に送られ焼却される。装置内を流れる排ガス流に対し
最上流側の吸着材ロータ2Aは毎時3回転、その下流側
の吸着材ロータ2Bは毎時2回転、及び最下流側の吸着
材ロータ2Cは毎時1回転で回転し、各吸着材ロータ2
A,2B,2Cは吸着領域10での排ガスの吸着浄化と
脱離領域6での再生を連続的に繰り返す。
【0014】なお、図中の3は浄化された排ガス、4は
冷却ガス、7は脱離ガスヒータ、9は燃焼装置に延びた
管路である。
冷却ガス、7は脱離ガスヒータ、9は燃焼装置に延びた
管路である。
【0015】(比較例)図2に比較例である排ガス処理
装置の概要を示した。装置の吸着材ロータ2は一体型で
実施例と同じ直径が320mm及び中心の軸径が50m
mであるが、幅が510mmであり、吸着材ロータ2の
見掛け総容積は実施例と同じである。吸着材ロータ2は
実施例と同じセル密度のハニカムであり、吸着材も実施
例と同様に、ロータの見掛け容積1リッター当たり10
0gのゼオライトが担持してある。吸着領域10、脱離
領域6及び冷却領域5の割合も実施例と同じく、それぞ
れ断面積の60%、20%及び20%であり、脱離領域
6での脱離操作条件も同じである。吸着材ロータ2は毎
時3回転の速度で回転し、吸着材ロータ2は吸着領域1
0での排ガスの吸着浄化と脱離領域6での再生を連続的
に繰り返す。
装置の概要を示した。装置の吸着材ロータ2は一体型で
実施例と同じ直径が320mm及び中心の軸径が50m
mであるが、幅が510mmであり、吸着材ロータ2の
見掛け総容積は実施例と同じである。吸着材ロータ2は
実施例と同じセル密度のハニカムであり、吸着材も実施
例と同様に、ロータの見掛け容積1リッター当たり10
0gのゼオライトが担持してある。吸着領域10、脱離
領域6及び冷却領域5の割合も実施例と同じく、それぞ
れ断面積の60%、20%及び20%であり、脱離領域
6での脱離操作条件も同じである。吸着材ロータ2は毎
時3回転の速度で回転し、吸着材ロータ2は吸着領域1
0での排ガスの吸着浄化と脱離領域6での再生を連続的
に繰り返す。
【0016】(比較試験)実施例と比較例の排ガス処理
装置にそれぞれ、トルエンを100ppm、200pp
m及び600ppm含む試験ガスを20m3/minの
流量で順次流し、定常状態に達したところで装置のトル
エン除去率を測定した。この時、実施例の装置の吸着材
ロータ2の1個当たりのSVは90,000h-1とな
り、比較例のSVは30,000h-1となる。
装置にそれぞれ、トルエンを100ppm、200pp
m及び600ppm含む試験ガスを20m3/minの
流量で順次流し、定常状態に達したところで装置のトル
エン除去率を測定した。この時、実施例の装置の吸着材
ロータ2の1個当たりのSVは90,000h-1とな
り、比較例のSVは30,000h-1となる。
【0017】図6にその結果を示したが、実施例と比較
例の排ガス処理装置は同じ材料、同じ見掛け容量の吸着
材を使用しているにも係わらず、各トルエン濃度条件
で、いずれも実施例の装置の方が高いトルエン除去率を
示した。
例の排ガス処理装置は同じ材料、同じ見掛け容量の吸着
材を使用しているにも係わらず、各トルエン濃度条件
で、いずれも実施例の装置の方が高いトルエン除去率を
示した。
【0018】
【発明の効果】以上の結果に示されるように、本発明の
装置は同じ材料、同じ見掛け容量の吸着材を使用して、
一体型の吸着材層を使用した従来の装置より吸着性能を
高めることができる。従って、同じ性能の装置であれ
ば、従来より、吸着材層を小型にでき、装置の小型化、
装置価格の軽減、吸着材層の交換費用の軽減が図れる。
装置は同じ材料、同じ見掛け容量の吸着材を使用して、
一体型の吸着材層を使用した従来の装置より吸着性能を
高めることができる。従って、同じ性能の装置であれ
ば、従来より、吸着材層を小型にでき、装置の小型化、
装置価格の軽減、吸着材層の交換費用の軽減が図れる。
【図1】本発明の実施例である排ガス浄化装置の概要を
示した図である。
示した図である。
【図2】従来の排ガス浄化装置の概要を示した図であ
る。
る。
【図3】吸着材のトルエン吸収量の経時変化を示した図
である。
である。
【図4】吸着材層をトルエン含有空気が通過した時のト
ルエン除去率の経時変化を示した図である。
ルエン除去率の経時変化を示した図である。
【図5】吸着材層内における吸着材のトルエン吸着量の
分布を示した図である。
分布を示した図である。
【図6】実施例と比較例の性能を比較して示す図であ
る。
る。
1 排ガス 2A〜2C 吸着材ロータ 6 脱離領域 8 駆動装置 10 吸着領域
Claims (1)
- 【請求項1】 吸着材層に排ガスを接触させ排ガスに含
まれる有毒物質もしくは悪臭物質を吸着させ排ガスを浄
化する領域、吸着材層に吸着した物質を脱離ガスに脱離
して吸着材層を再生する領域及び両領域の間を移動可能
な吸着材層から少なくとも構成され、排ガス中の有毒物
質もしくは悪臭物質を連続的に吸着して除去する排ガス
浄化装置において、 排ガスの流れ方向に複数の吸着材層を設け、排ガス流に
対し上流側の吸着材層の吸脱着領域間の移動速度を下流
側の吸着材層の移動速度より速くしたことを特徴とする
排ガス浄化装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7203594A JPH0947627A (ja) | 1995-08-09 | 1995-08-09 | 排ガス浄化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7203594A JPH0947627A (ja) | 1995-08-09 | 1995-08-09 | 排ガス浄化装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0947627A true JPH0947627A (ja) | 1997-02-18 |
Family
ID=16476660
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7203594A Pending JPH0947627A (ja) | 1995-08-09 | 1995-08-09 | 排ガス浄化装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0947627A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002186821A (ja) * | 2000-12-19 | 2002-07-02 | Seibu Giken Co Ltd | 有機溶剤蒸気処理装置 |
WO2004026442A1 (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-01 | Tokyo Electron Limited | 乾燥空気供給装置及び処理装置 |
CN100411087C (zh) * | 2003-04-25 | 2008-08-13 | 霓佳斯株式会社 | 干燥空气供给装置 |
JP2008302277A (ja) * | 2007-06-06 | 2008-12-18 | Toyobo Co Ltd | 有機溶剤含有ガス処理システム |
JP2017078192A (ja) * | 2015-10-19 | 2017-04-27 | 富士通株式会社 | 吸着剤、二酸化炭素還元用電極、及び二酸化炭素還元装置 |
CN106731478A (zh) * | 2015-11-24 | 2017-05-31 | 杰智环境科技股份有限公司 | 卧式转轮及流体净化处理系统 |
-
1995
- 1995-08-09 JP JP7203594A patent/JPH0947627A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002186821A (ja) * | 2000-12-19 | 2002-07-02 | Seibu Giken Co Ltd | 有機溶剤蒸気処理装置 |
JP4523146B2 (ja) * | 2000-12-19 | 2010-08-11 | 株式会社西部技研 | 有機溶剤蒸気処理装置 |
WO2004026442A1 (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-01 | Tokyo Electron Limited | 乾燥空気供給装置及び処理装置 |
US7207123B2 (en) | 2002-09-20 | 2007-04-24 | Tokyo Electron Limited | Dry air-supplying apparatus and treating apparatus |
CN100384514C (zh) * | 2002-09-20 | 2008-04-30 | 东京毅力科创株式会社 | 干燥空气供给装置及处理装置 |
CN100411087C (zh) * | 2003-04-25 | 2008-08-13 | 霓佳斯株式会社 | 干燥空气供给装置 |
JP2008302277A (ja) * | 2007-06-06 | 2008-12-18 | Toyobo Co Ltd | 有機溶剤含有ガス処理システム |
JP2017078192A (ja) * | 2015-10-19 | 2017-04-27 | 富士通株式会社 | 吸着剤、二酸化炭素還元用電極、及び二酸化炭素還元装置 |
CN106731478A (zh) * | 2015-11-24 | 2017-05-31 | 杰智环境科技股份有限公司 | 卧式转轮及流体净化处理系统 |
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