JPH09308814A - 有機溶剤回収システム及び有機溶剤回収方法 - Google Patents
有機溶剤回収システム及び有機溶剤回収方法Info
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- JPH09308814A JPH09308814A JP8148710A JP14871096A JPH09308814A JP H09308814 A JPH09308814 A JP H09308814A JP 8148710 A JP8148710 A JP 8148710A JP 14871096 A JP14871096 A JP 14871096A JP H09308814 A JPH09308814 A JP H09308814A
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Abstract
填した吸着塔で処理した処理ガス中に有機溶剤がリーク
しても、バックアップ処理装置により、環境に対して安
全に対処することができ、しかも設備全体をコンパクト
なものにすることができる有機溶剤回収システム及び有
機溶剤回収方法を提供する。 【解決手段】 吸着材3を充填した吸着塔4を備えた有
機溶剤回収装置に、有機溶剤を含有する被処理ガスを導
入して有機溶剤の吸着処理を行う。次いで、スチームを
導入して脱着処理を行う。前記有機溶剤回収装置から排
出される処理済ガスをバックアップ処理装置14に導入
し、該処理済ガス中にリークしている有機溶剤を吸着
し、清浄化ガスとして排出する。該バックアップ処理装
置14は、吸着材15を担持したハニカム構造の管状孔
を有機溶剤含有ガスの通路とした回転ドラム型有機溶剤
処理機構である。
Description
の拡散をできるだけ低減することができる、有機溶剤含
有ガスから有機溶剤を回収する効率のよい有機溶剤回収
システム及びその方法に関し、また、混合有機溶剤含有
ガスからの有機溶剤回収システム及びその方法に関す
る。
れており、工場、作業場からの排出ガスによる環境への
汚染防止のために近年、排出ガス中の有機溶剤含有量の
規制が益々厳しくなり、有機溶剤含有量をより低減化す
ることができる排出ガス処理技術の確立が要望されてい
る。
めの有機溶剤回収装置に使用される吸着材には、従来、
粒状活性炭や活性炭素繊維が主として使用されている。
溶剤回収装置によりガス中の有機溶剤を回収するには、
吸着工程において有機溶剤を含んだガスを吸着材と接触
させて有機溶剤を吸着させ、次いで脱着工程において吸
着材にスチームを吹き込んで熱により吸着されている有
機溶剤を脱着させ、次いで、次工程で吸着材を再利用す
るためにその吸着率を高める目的で、前工程で高湿・高
温になった吸着材に、加熱した外気等を導入した後、さ
らに、加熱していない外気を導入して冷却・乾燥を行う
乾燥工程が、一般的に行われている。
ポアがその内部に存在するのに対し、活性炭素繊維はミ
クロポアがその外表面に存在するため、有機溶剤に対す
る吸着速度・脱着速度が粒状活性炭に比べ速く行われ、
しかも吸着容量が多いという性質がある。そのため、活
性炭素繊維が吸着材として使用される有機溶剤回収装置
では、スチームを吹き込んで有機溶剤の脱着を行う脱着
時の熱暴露時間が少なくてすみ、高品質な溶剤の回収が
効率よく行えるという利点がある。
維の、有機溶剤回収工程における冷却・乾燥は一般的に
は吸着工程において導入される有機溶剤含有ガスによっ
ても冷却・乾燥が促進されるために、乾燥用ガスを用い
た冷却乾燥工程の途中で、有機溶剤含有ガスの導入によ
る吸着工程を開始して並行させてもよいし、さらには、
乾燥用ガスによる乾燥工程を設けずに、いきなり吸着工
程における有機溶剤含有ガスを導入して、冷却・乾燥効
果を生じさせながら吸着工程を行ってもよいという利点
がある。したがって、吸着→脱着→冷却・乾燥(吸着工
程と重複する時期がある)→吸着からなる脱着・吸着サ
イクルが短期間に行えるという利点がある。
性炭や活性炭素繊維を吸着材として用いた脱着・吸着サ
イクルの脱着工程終了時点では、各吸着材は脱着工程で
使用されたスチームにより湿った状態となっている。し
たがって、続いて行われる吸着工程では、冷却・乾燥が
十分に完了していない時期に、有機溶剤含有被処理ガス
が導入され、吸着工程と冷却・乾燥工程が同時進行する
ことになるので、吸着材の吸着能力が十分に回復してい
ないために破過が比較的起こりやすく、処理済ガス中に
有機溶剤がリークする危険性があった。
と吸着されないような有機溶剤含有ガスを処理する場
合、或いは、例えば、写真フィルム工場での排出ガスに
は、塩化メチレンとメタノールの混合ガスがあり、この
ように被処理ガス中に含有される極性の異なる有機溶剤
が複数種類存在する場合、或いは高濃度有機溶剤含有の
小風量ガスを処理する場合に顕著に高まった。
防止を図り、且つ、吸着処理後の吸着塔から排出される
処理済ガスの有機溶剤濃度を常時極めて低い値(例え
ば、10ppm以下)にするには、有機溶剤回収装置の
吸着容量を高めればよいわけであるが、そのようにする
と、有機溶剤回収装置の吸着材量を多くせねばならず、
装置規模がかなり大型化し、設置場所やコスト等におい
て問題となっていた。特に、吸着材として、吸着効率の
よい活性炭素繊維を使用する場合には、活性炭素繊維は
粒状活性炭に比べて嵩密度が低いため、その装置規模が
さらに大型化するという問題があった。
繊維等の吸着材を充填した吸着塔で処理された処理済ガ
ス中に有機溶剤がリークしても、バックアップ処理装置
により、環境に対して安全に対処することができ、しか
も設備全体をコンパクトなものにすることができる有機
溶剤回収システム及び有機溶剤回収方法を提供すること
を目的とする。
えて、被処理ガスが、高濃度でないと吸着されないよう
な有機溶剤含有ガス、或いは、被処理ガス中に含有され
る極性の異なる有機溶剤が複数種類存在する混合ガス、
或いは高濃度有機溶剤含有の小風量ガスであっても、環
境に対して安全に対処することができ、しかも設備全体
をコンパクトなものにすることができる有機溶剤回収シ
ステム及び有機溶剤回収方法を提供することを目的とす
る。
るために、本発明の有機溶剤回収システムは、(1)有
機溶剤含有ガス中の有機溶剤を吸着材により吸着処理及
び導入されたスチームにより脱着処理することが、バッ
チ処理で行うことができる吸着塔、及び該吸着塔で脱着
された有機溶剤を分離回収するための有機溶剤分離装置
を備えた有機溶剤回収装置と、(2)前記吸着塔で吸着
処理された処理済ガス中にリークした有機溶剤を連続的
に吸着・脱着処理を行うことができ、該脱着処理された
有機溶剤含有ガスは前記有機溶剤回収装置の吸着塔に戻
されるように構成されているバックアップ処理装置とを
有することを特徴とする。
材を充填した吸着塔を備えた有機溶剤回収装置に、有機
溶剤を含有する被処理ガスを導入して有機溶剤を吸着処
理し、(2)前記吸着処理が完了した有機溶剤回収装置
に対してスチームを導入して脱着処理し、(3)前記脱
着処理により脱着される有機溶剤含有ガスを溶剤分離装
置に導き、有機溶剤を分離して回収し、(4)前記吸着
処理を経て吸着塔から排出される処理済ガスを、有機溶
剤を吸着処理することのできるバックアップ処理装置に
導入して、該処理済ガス中にリークしている有機溶剤を
吸着処理し、同時に該バックアップ処理装置で処理され
たガスを清浄化ガスとして排出し、(5)前記バックア
ップ処理装置において、脱着処理後の脱着ガス中の有機
溶剤濃度がバックアップ処理装置に導入されるガスより
も高まるように、脱着のために導入する加熱ガスの熱風
量をコントロールしながら脱着処理し、(6)前記バッ
クアップ処理装置において濃縮された有機溶剤含有脱着
ガスを前記有機溶剤回収装置の吸着塔に戻し、(7)前
記各工程を繰り返し行うことを特徴とする。
溶剤回収装置の吸着塔での脱着工程が完了した時点から
吸着工程の前半において、吸着塔の吸着材を乾燥冷却す
るための気体の導入を並行して行ってもよい。
剤回収方法は、複数種類の有機溶剤が含有されている混
合有機溶剤含有ガスからの有機溶剤回収に好適に適用で
きる。
剤回収方法は、有機溶剤回収装置で有機溶剤の大部分を
吸着・脱着・回収処理しており、該有機溶剤回収装置で
吸着処理後に排出される処理済ガス中に、たとえ有機溶
剤がリークしていても、続いて該処理済ガスをバックア
ップ処理装置に導入し、該処理済ガス中にリークしてい
る有機溶剤を吸着し、濃縮し、有機溶剤回収装置に戻し
て再び吸着・脱着・回収処理を行っているので、被処理
ガス中の有機溶剤含有量の変動があっても、或いは、被
処理ガス中の有機溶剤の種類が変化しても常に安定し
て、環境への汚染ができるだけ低減された回収処理が行
える。
と吸着されないような有機溶剤含有ガス、或いは、被処
理ガス中に含有される極性の異なる有機溶剤が複数種類
存在する混合ガス、或いは高濃度有機溶剤含有の小風量
ガスであっても、本発明によれば、吸着処理、脱着処
理、溶剤回収処理が安全に行える。
形態の例を示す有機溶剤回収システムフロー図である。
本発明の有機溶剤回収システムは、大きく別けて、有機
溶剤含有ガスを導入することができ、有機溶剤を吸着処
理し、脱着・回収処理することができる有機溶剤回収装
置と、該有機溶剤回収装置の吸着塔から排出される吸着
処理済ガスを受入れ、該処理済ガス中にリークしている
有機溶剤の吸着処理及び脱着処理ができ、且つ前記有機
溶剤回収装置へ搬送することができるバックアップ処理
装置とから構成される。
ス等の有機溶剤含有ガスは、ブロワ1により吸着塔導入
ライン2を搬送されて、吸着材3として活性炭素繊維又
は粒状活性炭を充填した吸着塔4へ導入される。吸着塔
4は、2本以上の複数本配置されており、吸入バルブ
5、6及び排出バルブ7、8の交互の切り替え、及び蒸
気バルブ17、18の交互の切り替えにより、絶えず、
何れかの吸着塔4、4において、吸着又は脱着が継続的
に行われるように構成されている。
工程の直後に、特別な冷却・乾燥用ガスを用いた冷却・
乾燥処理を施さずに行ってもよく、また、冷却・乾燥用
の空気を導入しつつ、その任意の時期に吸着工程を開始
してもよい。特に、吸着材3が活性炭素繊維である場合
には、そのミクロポアが外部表面に存在するため、有機
溶剤含有ガスを導入するだけで、冷却・乾燥が進行し、
その吸着活性が徐々に高まるので、特別な冷却・乾燥用
ガスを用いた冷却・乾燥処理を省略することが可能であ
る。
吸着された有機溶剤は、スチーム導入ライン9を通じて
吸着塔4へスチームを導入することにより脱着される。
脱着された有機溶剤は、回収ライン10を通じてコンデ
ンサ11へ導入され、ここで冷却水による凝縮処理が行
われて、凝縮分として回収有機溶剤が得られ、他方、未
凝縮分は、原ガスとしての有機溶剤含有ガスに混入され
る(図1のア)。
と同時進行して排出される処理済ガスは、処理済ガス排
出ライン12及び処理済ガス導入ライン13を通じて、
有機溶剤を吸着処理することのできるバックアップ処理
装置14に導入され、該処理済ガス中にリークしている
有機溶剤は吸着され、同時に該バックアップ処理装置1
4で処理されたガスは清浄化ガスとして排出される。
処理装置との間に、水蒸気を冷却・除去できる冷却機構
を設けた、本発明の別の実施の態様の有機溶剤回収シス
テムを示す。再生工程において、有機溶剤回収装置の吸
着材3を水蒸気で再生した場合、吸着材3に水分が吸着
することがあり、次に吸着工程においてこのような再生
済吸着材3に対して有機溶剤含有ガスを供給すると、そ
の初期において処理済ガスの中に水蒸気が含まれる場合
がある。このように処理済ガスに水蒸気を含む場合は、
図2に示すように、処理済ガス導入ライン13の中間
に、有機溶剤回収装置からの処理済ガスに含まれる水蒸
気を予め冷却して除去することができる冷却機構、例え
ばコンデンサ19を配し、有機溶剤回収装置から排出さ
れる処理済ガスに含まれる水蒸気を予めドレインとして
凝縮・除去することが好ましい。これは処理済ガスに水
蒸気が含まれているとバックアップ処理装置14の吸着
性能を低下させることになるからである。
吸着材を担持したシートをハニカム状に加工してなる多
数の通路を有する、回転できるドラム型有機溶剤処理機
構となっており、該ドラム型有機溶剤処理機構は放射状
に区画された複数のゾーンを有し、該ゾーン毎に行われ
る吸着処理または脱着処理がドラム型有機溶剤処理機構
の回転により連続的に切り替わり連続運転できるように
構成されている(このようなドラム型有機溶剤処理機構
は、例えば、国際公開91/16971号公報によって
知られている。)。
り連続運転できるバックアップ処理装置14は、低濃度
に含有する有機溶剤含有ガスの高効率な浄化に特に適し
ており、吸着塔4からリークする少量な有機溶剤を吸着
し、さらに清浄化する一方、空気等の脱着用媒体を加熱
装置16等で加熱した加熱媒体で連続的に脱着処理し、
脱着処理後の脱着ガス中の有機溶剤を濃縮するように、
脱着のための熱風量をコントロールしている。さらに、
バックアップ処理装置14は、濃縮化された有機溶剤含
有脱着ガスを、吸着塔4へ戻す機能を有する(図1の
ア)。このような種々な機能を有するバックアップ処理
装置14を独立した単体として構成し、従来の吸着塔4
を有する有機溶剤回収装置に装着することのできるアッ
タッチメントとすることができる。
着材15は、前記吸着塔4に充填されている吸着材3と
同質の材料でもよいが、吸着塔4で吸着しきれなかった
有機溶剤を効率よく回収することのできる異なる種類の
材質が好ましい。例えば、吸着塔4で使用される吸着材
3が粒状活性炭或いは活性炭素繊維である場合には、バ
ックアップ処理装置14に使用される吸着材15は、ゼ
オライトのような吸着活性の質の異なる材質が好まし
い。
レン、パークロルエチレン、塩化メチレンは低濃度で粒
状活性炭や活性炭素繊維に比較的吸着されやすいが、メ
タノール、エタノール、イソプロパノールは、比較的高
濃度で粒状活性炭や活性炭素繊維に吸着される性質を持
つからである。本発明は、このような性質の異なる複数
混合有機溶剤を含有するガスの処理に特に有効に適用で
きる特徴を有する。
装置とし、有機溶剤回収装置の吸着塔4の吸着材3に活
性炭素繊維を使用し、バックアップ処理装置14の吸着
材15にゼオライトを使用した有機溶剤回収システムに
て、以下の各実施例に示す条件で各種有機溶剤を含有す
る各被処理ガスを清浄化処理し、有機溶剤を回収した。
繊維を充填した吸着塔を2塔使用し、ガス温度26℃、
ガス湿度75RH%、ガス濃度7,200ppmの塩化
メチレン含有被処理ガス(原ガス)を処理量3.0Nm
3 /秒で、吸着時間8分間、脱着時間6分間の交互切り
替え方式で、塩化メチレンの吸着と脱着を行った。脱着
により得られた塩化メチレンはコンデンサで凝縮して回
収した。
スは、10〜105ppm(平均35ppm)の塩化メ
チレンを含有していた。この処理済ガスを継続的に、バ
ックアップ処理装置に導入した。バックアップ処理装置
は、ゼオライトを担持した直径440mm、厚み400
mm、有効面積0.116m2 、回転数6rphのドラ
ム型有機溶剤処理機構を使用し、脱着処理は濃縮倍率が
5倍となるように、加熱空気量をコントロールした。バ
ックアップ処理装置において脱着した塩化メチレン含有
ガスを吸着塔に戻した。本実施例1のシステムにより清
浄化されたガス(バックアップ処理装置での処理後のガ
ス)中の塩化メチレン濃度は、3.2〜3.8ppm
(平均3.5ppm)までに低減された。
す。
炭素繊維を充填した吸着塔を2塔使用し、ガス温度17
℃、ガス湿度55RH%、ガス濃度35,000ppm
の塩化メチレン・メタノール混合有機溶剤含有被処理ガ
ス(原ガス)(塩化メチレン濃度32,000ppm、
メタノール濃度3,000ppm)を処理量1.0Nm
3 /秒で、吸着時間8分間、脱着時間6分間の交互切り
替え方式で、混合有機溶剤の吸着と脱着を行った。脱着
により得られた塩化メチレンとメタノールは各々コンデ
ンサで凝縮して回収した。
スは、40〜95ppm(平均55ppm)の塩化メチ
レンと、65〜120ppm(平均85ppm)のメタ
ノールを含有していた。この処理済ガスを継続的に、バ
ックアップ処理装置に導入した。バックアップ処理装置
は、ゼオライトを担持した直径440mm、厚み400
mm、有効面積0.116m2 、回転数8rphのドラ
ム型有機溶剤処理槽を使用し、脱着処理は濃縮倍率が5
倍となるように、加熱空気量をコントロールした。バッ
クアップ処理装置において脱着した塩化メチレン及びメ
タノール含有ガスを吸着塔に戻した。本実施例2のシス
テムにより清浄化されたガス(バックアップ処理装置で
の処理後のガス)中の塩化メチレン濃度は5〜11.5
ppm(平均8.3ppm)、メタノール濃度は5.5
〜9.8ppm(平均7.5ppm)までに低減され
た。
す。
炭素繊維を充填した吸着塔を2塔使用し、ガス温度21
℃、ガス湿度50RH%、ガス濃度2,200ppmの
トルエン・酢酸エチル混合有機溶剤含有被処理ガス(原
ガス)(トルエン濃度1,900ppm、酢酸エチル濃
度300ppm)を処理量5.0Nm3 /秒で、吸着時
間8分間、脱着時間6分間の交互切り替え方式で、混合
有機溶剤の吸着と脱着を行った。脱着により得られたト
ルエンと酢酸エチルは各々コンデンサで凝縮して回収し
た。
スは、5〜10ppm(平均8ppm)のトルエンと、
15〜45ppm(平均25ppm)の酢酸エチルを含
有していた。この処理済ガスを継続的に、バックアップ
処理装置に導入した。バックアップ処理装置は、ゼオラ
イトを担持した直径440mm、厚み400mm、有効
面積0.116m2 、回転数6rphのドラム型有機溶
剤処理槽を使用し、脱着処理は濃縮倍率が7倍となるよ
うに、加熱空気量をコントロールした。バックアップ処
理装置において脱着した塩化メチレン及びメタノール含
有ガスを吸着塔に戻した。本実施例3のシステムにより
清浄化されたガス(バックアップ処理装置での処理後の
ガス)中のトルエン濃度は0.5〜1.5ppm(平均
1.0ppm)、酢酸エチル濃度は1.5〜2.0pp
m(平均1.7ppm)までに低減された。
す。
溶剤回収方法によれば、回収装置で回収しきれずにリー
クした少量の有機溶剤を、バックアップ処理装置により
濃縮して再び回収装置に戻すことにより、吸着に適した
濃度で回収することができるので、高濃度でないと吸着
されないような有機溶剤を被処理ガス中に含んでいても
回収することができ、或いは種類の異なる複数の混合有
機溶剤をも回収することができると同時に、清浄化され
るガス中の有機溶剤濃度を低減化することができる。
経路が吸着塔からのみであるので、コンデンサ等の溶剤
分離装置が集約できる。
量が微量であっても、本発明によれば、さらに有機溶剤
含有量を低減化して清浄化することができ、しかも、従
来、回収の困難であった処理済ガス中にリークしている
低有機溶剤含有量の有機溶剤を濃縮して回収することが
できる。
溶剤回収システムフロー図である。
置との間に、水蒸気を冷却・除去できる冷却機構を設け
た、本発明の別の実施の態様の有機溶剤回収システムを
示す。
Claims (13)
- 【請求項1】 (1)有機溶剤含有ガス中の有機溶剤を
吸着材により吸着処理及び導入されたスチームにより脱
着処理することが、バッチ処理で行うことができる吸着
塔、及び該吸着塔で脱着された有機溶剤を分離回収する
ための有機溶剤分離装置を備えた有機溶剤回収装置と、 (2)前記吸着塔で吸着処理された処理済ガス中にリー
クした有機溶剤を連続的に吸着・脱着処理を行うことが
でき、該脱着処理された有機溶剤含有ガスは前記有機溶
剤回収装置の吸着塔に戻されるように構成されているバ
ックアップ処理装置とを有することを特徴とする有機溶
剤回収システム。 - 【請求項2】 請求項1記載の有機溶剤回収装置とバッ
クアップ処理装置との間に、該有機溶剤回収装置からの
処理済ガスに含まれる水蒸気を予め冷却して除去するこ
とができる冷却機構を設けることを特徴とする有機溶剤
回収システム。 - 【請求項3】 前記有機溶剤回収装置は複数個の吸着塔
を有し、該複数個の吸着塔は切り替え手段により交互に
順次切り替えられて、吸着及び脱着が継続して行われる
ように構成されている請求項1又は2記載の有機溶剤回
収システム。 - 【請求項4】 前記バックアップ処理装置は、吸着材を
担持したハニカム構造体の管状孔を有機溶剤含有ガスの
通路とした回転ドラム型有機溶剤処理機構であり、該回
転ドラム型有機溶剤処理機構は放射状に区画された複数
のゾーンを有し、各ゾーン毎に行われる吸着処理又は脱
着処理がドラム型有機溶剤処理機構の回転により連続的
に切り替わり連続運転できるように構成されていること
を特徴とする請求項1、2又は3記載の有機溶剤回収シ
ステム。 - 【請求項5】 前記バックアップ処理装置に担持される
吸着材は有機溶剤回収装置の吸着塔に使用される吸着材
とは種類の異なるものが使用されることを特徴とする請
求項1、2、3又は4記載の有機溶剤回収システム。 - 【請求項6】 前記吸着塔に充填される吸着材が活性炭
素繊維及び粒状活性炭から選ばれたものである請求項
1、2、3、4又は5記載の有機溶剤回収システム。 - 【請求項7】 前記バックアップ処理装置に担持される
吸着材がゼオライト、活性炭素繊維及び粒状活性炭から
選ばれたものである請求項1、2、3、4又は5記載の
有機溶剤回収システム。 - 【請求項8】 吸着材としてゼオライトが担持されたハ
ニカム構造体の管状孔を有機溶剤含有ガスの通路とした
回転ドラム型有機溶剤処理機構を有し、該回転ドラム型
有機溶剤処理機構は放射状に区画された複数のゾーンに
別れ、各ゾーン毎に行われる吸着処理又は脱着処理がド
ラム型有機溶剤処理機構の回転により連続的に切り替わ
り連続運転できるように構成されていることを特徴とす
る、請求項1、2、3、4、5、6又は7記載の有機溶
剤回収システム用のバックアップ処理装置としてのアタ
ッチメント。 - 【請求項9】 (1)吸着材を充填した吸着塔を備えた
有機溶剤回収装置に、有機溶剤を含有する被処理ガスを
導入して有機溶剤を吸着処理し、 (2)前記吸着処理が完了した有機溶剤回収装置に対し
てスチームを導入して脱着処理し、 (3)前記脱着処理により脱着される有機溶剤含有ガス
を溶剤分離装置に導き、有機溶剤を分離して回収し、 (4)前記吸着処理を経て吸着塔から排出される処理済
ガスを、有機溶剤を吸着処理することのできるバックア
ップ処理装置に導入して、該処理済ガス中にリークして
いる有機溶剤を吸着処理し、同時に該バックアップ処理
装置で処理されたガスを清浄化ガスとして排出し、 (5)前記バックアップ処理装置において、脱着処理後
の脱着ガス中の有機溶剤濃度がバックアップ処理装置に
導入されるガスよりも高まるように、脱着のために導入
する加熱ガスの熱風量をコントロールしながら脱着処理
し、 (6)前記バックアップ処理装置において濃縮された有
機溶剤含有脱着ガスを前記有機溶剤回収装置の吸着塔に
戻し、 (7)前記各工程を繰り返し行うことを特徴とする有機
溶剤回収方法。 - 【請求項10】 請求項9記載の有機溶剤回収方法にお
いて、有機溶剤回収装置の吸着塔での脱着工程が完了し
た時点から吸着工程の前半において、吸着塔の吸着材を
乾燥冷却するための気体の導入を並行して行うことを特
徴とする請求項8記載の有機溶剤回収方法。 - 【請求項11】 前記有機溶剤回収装置は、請求項1、
2、3又は6記載の有機溶剤回収装置を使用し、切り替
え手段により複数個の吸着塔を交互に順次切り替えて、
吸着処理及び脱着処理を同時に継続して行うことを特徴
とする請求項9又は10記載の有機溶剤回収方法。 - 【請求項12】 前記バックアップ処理装置には、請求
項1、2、4、5又は7記載のドラム型有機溶剤処理機
構を有するバックアップ処理装置を使用し、該ドラム型
有機溶剤処理機構を回転させることにより該バックアッ
プ処理装置における放射状に区画された複数の各ゾーン
毎に行われる吸着処理又は脱着処理を連続的に切り替え
て連続運転することを特徴とする請求項9又は10記載
の有機溶剤回収方法。 - 【請求項13】 前記有機溶剤回収装置の吸着塔に導入
される被処理ガスには、複数種類の有機溶剤が含有され
ていること特徴とする請求項9、10、11又は12記
載の有機溶剤回収方法。
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