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JPH09129719A - 半導体ウエハの収納構造および半導体ウエハの収納・取出し方法 - Google Patents

半導体ウエハの収納構造および半導体ウエハの収納・取出し方法

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Publication number
JPH09129719A
JPH09129719A JP20426196A JP20426196A JPH09129719A JP H09129719 A JPH09129719 A JP H09129719A JP 20426196 A JP20426196 A JP 20426196A JP 20426196 A JP20426196 A JP 20426196A JP H09129719 A JPH09129719 A JP H09129719A
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JP
Japan
Prior art keywords
wafer
semiconductor wafer
spacer sheet
wafers
container
Prior art date
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Pending
Application number
JP20426196A
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English (en)
Inventor
Akira Nakamura
明 中村
Masahiko Fuyumuro
昌彦 冬室
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Achilles Corp
Original Assignee
Achilles Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Achilles Corp filed Critical Achilles Corp
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Priority to TW88205824U priority patent/TW451903U/zh
Priority to PCT/JP1996/002441 priority patent/WO1997008746A1/ja
Priority to AT96928707T priority patent/ATE392009T1/de
Priority to TW85110588A priority patent/TW382614B/zh
Priority to DE69637489T priority patent/DE69637489T2/de
Priority to EP96928707A priority patent/EP0789393B1/en
Priority to US08/846,256 priority patent/US6533123B1/en
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 衝撃による半導体ウエハの破損防止および摩
擦等による静電気の発生防止を施した前記収納構造およ
び収納・取出し方法を提供する。 【解決手段】 半導体ウエハ４が多数枚重ねられて収納
された導電性材料からなる容器１と、前記半導体ウエハ
間に介在したスペーサシート５と、前記多数枚重ねられ
て収納された半導体ウエハの上下端部に配置された端部
クッション材６Ａ，６Ｂと、からなることを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、円板状の半導体ウ
エハの収納構造および半導体ウエハの収納・取出し方法
に関し、特に、運搬時における衝撃による半導体ウエハ
の破損防止、および摩擦による静電気の発生防止を施し
た前記収納構造および収納・取出し方法に関する。
【０００２】
【技術背景】半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」とい
う）は、一般にはシリコン単結晶インゴットを薄い円板
状に切り出したもので、その径は例えば２〜８インチ程
度である。このウエハの表面に、多数のＬＳＩ等の回路
を形成し、このウエハをチップに切断し、この後これら
のチップをパッケージングしてＬＳＩ等の半導体装置を
製造する。
【０００３】ところで、上記インゴットをウエハに切り
出す工程と、上記ウエハに回路を形成する工程と、この
ウエハをチップに切断してパッケージングする工程とは
異なる場所で行われることが多い。通常、ある工程が行
われる場所から他の工程が行われる場所へのウエハの運
搬には、専用容器が使用される。また、回路が形成され
たウエハの表面の静電破壊は、歩留りの低下に結びつく
ことが多いため、ウエハの専用容器への収納には特別の
配慮がなされる。
【０００４】従来、専用容器の内壁面に多数の溝を形成
しておき、ウエハをこれらの溝に挟持する収納構造が知
られている。また、専用容器内にポリエチレンフィルム
を順次介在させた状態でウエハを積み重ねる収納構造も
知られている。
【０００５】しかし、上記の容器の内壁面に多数の溝を
形成した専用容器による収納構造では、その運搬時にお
ける振動や不慮の落下による衝撃が、直接該容器を通し
てウエハに達し、ウエハが物理的に（力学的に）破損す
る。また、上記の各ウエハ間にポリエチレンフィルムを
介在させる収納構造では、運搬時における振動等によ
り、ポリエチレンフィルムとウエハとが相互に微動する
ことが多い。この微動により静電気が発生し、ポリエチ
レンフィルムやウエハに電荷が蓄積され、その放電によ
りウエハに形成された回路が損傷する。
【０００６】また、専用容器へのウエハの収納や、専用
容器からのウエハの取出しを人手により行う場合、誤操
作等によりウエハに損傷を与える危険が大きい。このた
め、上記ウエハの収納・取出しは、自動制御機構を用い
ることが好ましいが、従来の専用容器を用いた場合に
は、該自動制御機構が複雑となる。
【０００７】
【発明の目的】本発明の目的は、上記の種々の問題を解
決するために提案されたものであり、運搬時の衝撃に対
するウエハの物理的，電気的な損傷防止対策を施したウ
エハの収納構造を提供することである。また、本発明の
目的は、容器内においてウエハとスペーサシートとが、
密着状態で（すなわち、タイトに）接触する結果、ウエ
ハとスペーサシートとを容器から順に取り出そうとする
際に両者が一体となってしまう、という不都合を防止で
きるウエハの収納構造を提供することである。本発明の
さらに他の目的は、自動制御機構に適合した、ウエハの
専用容器への収納、専用容器からの取出しのための方法
を提供することである。
【０００８】
【発明の概要】本発明のウエハの収納構造は、ウエハが
多数枚重ねられて収納された導電性材料からなる容器
と、前記ウエハ間に介在したスペーサシートと、前記多
数枚重ねられて収納されたウエハの上下端部に配置され
た端部クッション材と、からなることを特徴とする。
【０００９】前記容器は、導電性フィラーを添加した導
電性プラスチックス、あるいはポリマーアロイ処理した
導電性プラスチックスを素材として一体成形により製造
される。なお、添加する導電性フィラーとしては、カー
ボンブラック、グラファイトカーボン、炭素繊維、金属
粉末、金属繊維、金属酸化物の粉末、金属コートした無
機質微粉末、有機質微粉末および繊維が使用でき、前記
容器の表面抵抗は１０６Ω／□以下とすることが好まし
い。
【００１０】前記スペーサシートは、通常、紙、合成
紙、合成樹脂フィルム、合成樹脂フォームシート等によ
り形成される。スペーサシートは、導電性を有していて
もよいし、有していなくてもよい。前記スペーサシート
が導電性を有する場合、その表面抵抗は、１０６Ω／□
以下とすることが好ましい。導電性を有するスペーサシ
ートとして、ポリピロール、ポリアニリン等の導電性ポ
リマーを複合化した繊維、炭素繊維、金属被覆繊維等の
導電性繊維を分散したポリオレフィン系合成紙、あるい
は前記導電性フィラーや帯電防止剤を添加したポリエチ
レン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート等
のフィルムやフォームシートを用いることができる。
【００１１】上記スペーサシートは、上記の合成紙等の
単層構造としてもよいし、上記の合成紙等の積層構造と
してもよいが、単層構造としたスペーサシートが、扱い
易さ、物性等の点で好ましい。また、ポリピロールを複
合化した繊維を用いた合成紙が、導電性コントロールの
容易性，耐久性等の点で好ましい。
【００１２】スペーサシートは、透気度（ＪＩＳ Ｐ８
１１７）が１８００秒／１００ｃｃ以下、平滑性（ＪＩ
Ｓ Ｐ８１１９）が１０秒以下、発塵性（日本ＣＩＣ社
方式）が０．５μｍ以上の粒子２００個／１００ｍｍ×
１００ｍｍ以下であることが好ましい。
【００１３】本発明の収納構造では、前述したように、
収納状態においては、ウエハ間にスペーサシートが介在
する（すなわち、これらは交互に積み重ねられる）。こ
の種の収納容器は、防塵の見地から、容器ごと真空包装
されることがあるが、ウエハは、その表面が極めて平滑
であるため、スペーサシートとウエハとは、両者間にエ
アーが実質上存在しない状態で密着して（すなわち、タ
イトに）接触することがある。このため、ウエハの容器
から、スペーサシートとウエハとを順に取り出す際に、
密着した状態のウエハとスペーサシートと分離は、通常
容易ではなく、人手によりウエハからスペーサシートを
一枚一枚剥がさなければならないといった煩わしさがあ
る。特に、後述する自動制御によるウエハの収納・取り
出し方法においては、上記ウエハとスペーサシートとの
密着した状態が、障害となることがある。このような不
都合を解消するために、本発明においては、スペーサシ
ートを、ウエハとの密着状態を元々生じさせない構造と
することができ、また、ウエハとの密着状態が生じたと
しても、この密着状態を容易に解除する構造とすること
ができる。すなわち、前記スペーサシートを、その少な
くとも一方の面に、複数の凹状部および／または凸状部
を有するように、または前記スペーサシートが、スペー
サ周囲から内側に切り込まれたカットラインを有するよ
うに形成することができる。なお、上記凹状部または／
および凸状部の形成は、典型的にはエンボス加工により
形成することができる。また、上記カットラインは典型
的には、カッタによるカットまたはカットラインに幅を
持たせた打ち抜きにより形成することができる。
【００１４】端部クッション材の素材として、軟質ポリ
ウレタンフォーム、ポリエチレンフォーム、ポリプロピ
レンフォーム、ポリスチレンフォーム等用いることがで
きる。また、塵の侵入を防止するために、独立気泡フォ
ームとすることが好ましく、緩衝性の点で軟質ポリウレ
タンが好ましい。また、端部クッション材にも導電性を
持たせることもでき、この表面抵抗は１０１１Ω／□以
下とすることが好ましい。なお、端部クッション材が導
電性を有していない場合には、最上部のウエハと最下部
のウエハとの間に、導電性を有するスペーサシートを設
けることが好ましい。
【００１５】本発明の収納構造では、端部クッション材
は、前述のように交互に積み重ねられたスペーサシート
とウエハと上下端部に設けられ、これらを保持する。端
部クッション材として、その圧縮時応力（１０％）は、
０．０１〜０．６ｋｇ／ｃｍ２程度となるものを採用す
ることが好ましい。たとえば、ウレタンフォームでは
０．０１〜０．０３ｋｇ／ｃｍ２、ポリエチレンフォー
ムでは０．２〜０．４ｋｇ／ｃｍ２、ポリスチレンフォ
ームでは０．２〜０．６ｋｇ／ｃｍ２程度の応力を有す
るものを採用することが好ましい。
【００１６】上記構成による本発明のウエハの収納構造
において、ウエハとスペーサシートとは交互に重ねられ
て容器内に収納されると共に、その上下端部には端部ク
ッション材が設けられる。したがって、運搬時の振動等
により容器に与えられる衝撃は、端部クッション材によ
って吸収され、ウエハは該衝撃から保護される。
【００１７】また、スペーサシートとして、導電性を持
つものを使用した場合には、運搬時における振動でウエ
ハとスペーサシートとの間に、またはウエハと端部クッ
ション材との間に摩擦が生じても、静電気は発生しない
か、仮に発生しても、容器内部に止まることはない。し
たがってウエハに形成された回路が静電気により損傷す
ると言った不都合は生じない。
【００１８】さらに、積み重ねたスペーサシートとウエ
ハとを、前記容器内で上下方向から保持することによっ
て、容器内において各ウエハは、相互に位置ずれを起こ
すことなく安定的に保持される。したがって容器内面へ
のウエハの接触による破損や、ウエハ同士の摩擦による
静電気の発生をさらに効率良く抑止できる。
【００１９】なお、容器内部で発生した静電気を速やか
に外部に逃がすようにするため、または外部電場の容器
内部への影響を防ぐために、容器の表面抵抗は１０６Ω
／□以下とすることが好ましい。
【００２０】本発明の収納構造においては、前記容器
を、ウエハ収納用の筒部を有し、該筒部は、前記ウエハ
または前記スペーサシートを収納・取出しするためのピ
ックアップアームが入り込めるスリットを有するように
もできる。これにより、ウエハ等の収納や取出しを容易
に行うことができる。
【００２１】また、本発明のウエハの収納・取出し方法
は、１つまたは２つのピックアップアームを用いて、少
なくとも１つのスリットを有する筒部を持つ容器の該筒
部内に、半導体ウエハ、スペーサシートを収納し、ある
いは該筒部内からこれらを取り出す、半導体ウエハの収
納・取出し方法であって、自動制御機構に適用される。
１つのピックアップアームを用いる場合には、ピックア
ップアームは、前記少なくとも１つのスリットに入り込
み、前記半導体ウエハと前記スペーサシートとを、交互
に、前記筒部内に収納し、または前記筒部内から取り出
す。また、２つのピックアップアームを用いる場合に
は、これらピックアップアームのうち一方は、前記スリ
ットに入り込む。また２つのピックアップアームのうち
他方は、前記一方のピックアップアームが入り込むスリ
ットと同一のスリット、または異なるスリットに入り込
む。そして、２つのピックアップアームで、前記半導体
ウエハと前記スペーサシートとを、交互に、前記筒部内
に収納し、または前記筒部内から取り出す。
【００２２】本発明のウエハの収納・取出し方法では、
スリットを有する筒部を持つ容器を使用するので、ウエ
ハ等を容器の筒部内に収納し、またはウエハ等を該筒部
内から取り出す際に、ピックアップアームの先端部を、
筒部の内部にまで入り込ませることが可能となる。した
がって、自動制御機構において、ウエハの収納の際にウ
エハ枚数が順次増え、あるいはウエハの取出しの際にウ
エハ枚数が順次減っても、上記ピックアップアームの制
御が極めて容易となる。
【００２３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は、本発明のウエハの収納構造に用いられる
容器（以下、「ウエハ収納容器」と言う）の一例を一部
破断して示す斜視図、図２はそのウエハ収納容器を半断
面として示す側面図である。これら各図において、ウエ
ハ収納容器１は、円板状のウエハを多数枚重ねて収納で
きる有底円筒状の容器本体２と、この容器本体２に被せ
られる蓋体３とで構成されている。
【００２４】容器本体２は、正方形状の基底部２ａ上に
円筒部２ｂが突設されたもので、該円筒部２ｂにより形
成される収納空間２ｅ内に、多数のウエハが積み重ねら
れて収納される。円筒部２ｂの内径は、収納されるウエ
ハ径に合わせて該径よりも数ミリ程度大きく形成され
る。この円筒部２ｂには、その先端部から基端部に亙っ
てスリット２ｃ１〜２ｃ４が円周方向に４等配した位置
に形成されている。これらのスリット２ｃ１〜２ｃ
４は、後述する収納・取出しシステムにおける搬送ロボ
ットのピックアップアームが入り込める幅寸法を有して
いる。スリットの位置は、基底部の一辺の中央部に設け
れば、ピックアップアームのストロークが短くなって好
ましい。もちろん、システムによっては、基底部の対角
線上に位置しても構わない。
【００２５】また、円筒部２ｂの上端外周面には、部分
ねじを構成する４つの傾斜状段部２ｄが略等間隔で形成
されており、これは、蓋体３の円周溝３ｄの内側に形成
した傾斜溝３ｅとねじれ位置で位置合せされて、容器本
体２または蓋体３のわずかな回動により両者を係合状態
とするものである。なお、容器本体２の基底部２ａ上面
（容器側内面）は、図２に示すように、同心円状の複数
の補強リブが突出する凹凸形状となっているが、これら
の上端は同一面上に位置しており、ウエハを水平に載置
できるようになっている。
【００２６】一方、蓋体３は、全体が正四角柱状をな
し、円筒部３ａと、この円筒部３ａに外接する角筒部３
ｂとにより構成されている。この円筒部３ａは、容器本
体２の円筒部２ｂを覆い、下端部が容器本体２の基底部
２ａの一部を残して覆っている。円筒部３ａは、蓋体３
と容器本体２との着脱の際の、案内手段等としての役割
をなしている。
【００２７】蓋体３の天井面には、前記容器本体２の円
筒部２ｂの上端を受け入れる円周溝３ｄが形成してある
と共に、容器本体２の収納空間２ｅに対応する位置に、
同心円状に複数のリブおよび凸部（以下、単にリブ３
ｃ）が下方に突出状に形成されている。これらリブ３ｃ
は、蓋体３を容器本体２に装着した状態で、図２に示す
ように、収納空間２ｅの上部に僅かに進入した状態で、
ウエハの積み重ねの上部に接する。もっとも本発明を構
成するにあたっては、上記ウエハの積み重ねの上部が蓋
体３の内面側によって下方に押し付けられるような構成
が取られればよく、リブ３ｃを設けること、およびこれ
を収納空間２ｅ内に進入させることは必須の要件ではな
い。
【００２８】前記蓋体３は、容器本体２に対し、前述し
た円筒部２ｂの傾斜状段部２ｄと円周溝３ｄ内の傾斜溝
３ｅの係合によって、着脱自在に装着される。すなわ
ち、蓋体３は、容器本体２に対するねじれ位置で、円筒
部２ｂに被せられ、所定角度（１５°〜４５°）回動さ
れることによって、傾斜溝３ｅの傾斜角度だけ容器本体
２側に進行しつつ、徐々に締め付け固定されることとな
る。なお、容器本体２の下面は、蓋体３の上部を受け入
れられるよう、内側に窪んで形成され、これによってウ
エハ収納容器１は、上下方向に多数積み重ねることがで
きる。なお、本実施例では、ウエハ収納容器１として、
体積抵抗２００Ω・ｃｍ、表面抵抗１０６Ω／□以下の
導電性ポリプロピレン樹脂を素材として用いた。
【００２９】次に、前記ウエハ収納容器１内に、多数の
ウエハを収納する態様について説明する。図３は容器本
体２内にウエハを収納した状態を示す斜視図、図４はウ
エハ収納状態における容器本体２の縦断面図、図５はウ
エハ収納容器１内におけるウエハの保持状態を示す図２
の一部拡大断面図である。これら各図において、ウエハ
４は、容器本体２の収納空間２ｅ内に、多数積み重ねて
収納され、各ウエハ４間にはスペーサシート（図３で
は、単層の導電性シート）５が介在される。
【００３０】ウエハは、一般的には、径２インチ（約５
０ｍｍ）〜８インチ（約２００ｍｍ）および厚さ３５
０、５００、７５０μｍ等、各種目的に応じた大きさの
ものがあるが、実施例においては、厚さ３５０μｍの８
インチサイズのものを採用した。実施例に示すウエハ収
納容器１は、このウエハサイズに合わせて設計されたも
のであり、２５枚のウエハを収納できる。
【００３１】スペーサシート５は、ウエハ４を積み重ね
た際に、ウエハ４同士が直接接触しないようにして、ウ
エハ同士の擦れによる傷を防ぐと共に、ウエハ４との間
での静電気の発生を抑制するように作用する。このため
スペーサシート５は、表面抵抗が１０６Ω／□以下の軟
質素材により形成することが好ましい。本実施例では、
スペーサシート５として剛軟度８０ｍｍ以下のポリオレ
フィン系合成紙を素材とし、厚さ２３０μｍ、径２００
ｍｍに形成したものを用いた。また、ウエハはクリーン
状態を維持しなくてはならないため、スペーサシート５
の発塵性は低くなければならない。本実施例では、当該
発塵性（日本ＣＩＣ社方式）は、０．５μｍ以上の粒子
２００個／１００ｍｍ×１００ｍｍ以下のものを用い
た。
【００３２】一方、端部クッション材６Ａ，６Ｂは、容
器本体２の収納空間２ｅの最上部および最下部に配置さ
れる。すなわち、端部クッション材６Ａ，６Ｂは、前述
したウエハ４とスペーサシート５とを交互に積み重ね、
その両端部にこの積み重ねを挟みこむ形で配置される。
この端部クッション材６Ａ，６Ｂにより、積み重ねられ
たウエハ４が容器本体２の基底部２ａおよび蓋体３の天
上面のリブ３ｃに直接接触することはない。端部クッシ
ョン材６Ａ，６Ｂは、適度な衝撃吸収力を有しており、
ウエハ収納容器１に衝撃が与えられた場合でも、これを
吸収し、ウエハ４側には伝えないよう機能する。
【００３３】本実施例では、この端部クッション材６
Ａ，６Ｂとして、表面抵抗８×１０１１Ω／□以下、帯
電圧減衰時間（５０％）１．４秒以下、密度（ＪＩＳ
Ｋ６４０１）２７ｋｇ／ｍ３、硬さ（ＪＩＳ Ｋ６４０
１）６．５ｋｇｆ、反発弾性（ＪＩＳ Ｋ６４０２）４
０％の諸特性を有する軟質ポリウレタンフォームシート
を、径２００ｍｍ、厚さ１５ｍｍに加工したものを用い
た。なお、端部クッション材としての軟質ポリウレタン
フォームシートの反発弾性は、２０〜６０％程度が好ま
しく用いられる。
【００３４】２５枚のウエハ４は、上述したようにスペ
ーサシート５を介在させて積み重ねられ、その上下端部
に端部クッション材６Ａ，６Ｂを配置した状態で、図４
に示すように、容器本体２の収納空間２ｅ内に収められ
る。図示はしないが、この状態で、容器本体２には、蓋
体３が被せられ装着されて、ウエハ４は運搬、保管可能
に収納される。ウエハ４と、スペーサシート５とを、端
部クッション材６Ａ，６Ｂとの積み重ねて、蓋体３を装
着した場合、蓋体３の天上面に形成したリブ３ｃは、端
部クッション材６Ａに押圧力を与える。
【００３５】すなわち、蓋体３が容器本体２に対しねじ
れ位置に被せられると、この位置でリブ３ｃは、端部ク
ッション材６Ａに接触し、蓋体３が回動されて、容器本
体２側の傾斜状段部２ｄが蓋体３側の傾斜溝３ｅと深く
係合する。蓋体３の積層方向への進行につれて、リブ３
ｃは、徐々に端部クッション材６Ａ，６Ｂを下方に押し
付けていく（図５の白抜き矢印参照）。蓋体３が容器本
体２に完全に装着された状態で、各上下の端部クッショ
ン材６Ａ，６Ｂは、厚さが約１０％収縮し、これにより
生ずる応力が積層されたウエハ４を挟みこむ力となり、
ウエハ４、スペーサシート５および端部クッション材６
Ａ，６Ｂは、ウエハ収納容器１内で安定的に保持され
る。なお、端部クッション材６Ａは、蓋体３の回動動作
に伴い、リブ３ｃと摺動接触するので、端部クッション
材６Ａが回転してしまわないように、その表面Ｓを平滑
にしておくことが好ましい。
【００３６】なお、スペーサシート５として、図６
（Ａ），（Ｂ）に示すようなウエハ４との密着状態を元
々生じさせない構造、またはウエハとの密着状態が生じ
たとしても、この密着状態を容易に解除する構造のもの
を使用することができる。図６（Ａ）には、表面にエン
ボス５１が形成された前記構成のスペーサシート５が示
されている。もちろん、このエンボス５１は、前記構成
のスペーサシート５に形成することに限定されず、導電
性を有さないスペーサシートに形成することもできる。
また、エンボス５１のパターンも、ウエハ４との密着状
態を元々生じさせないか、またはウエハとの密着状態が
生じたとしても、この密着した状態を容易に解除するこ
とができれば、いかなるパターン（たとえば、図６
（Ａ）に示した散点状のパターン、あるいはシートの中
心から周囲に延びる放射線状、縞状、格子状のパター
ン）であってもよい。エンボス５１のパターンやスペー
サシート５の材質等にもよるが、エンボス加工後のシー
トの見かけ厚さは、エンボス加工前のシート素材の厚さ
の、１．１〜３倍程度であることが好ましい。なお、エ
ンボスが形成されたスペーサシートを使用する場合に
は、ウエハに対する当該スペーサシートによる緩衝効果
を増大させることができる。前記実施例の構成の合成紙
からなるスペーサシート５を用いてウエハ４をウエハ収
納容器１に収納した後、容器１全体を真空包装し、さら
にこの後、包装を解いて収納容器１からウエハ４を取り
出すテストを行ったが、ウエハ４とスペーサシート５と
は密着状態とはならず、ウエハの取り出し等において支
障が生じることはなかった。また、カーボンブラック３
０重量％を含む、厚さ約５０μｍのポリエチレンシート
に、加工後のシートの厚さが１２０μｍとなるエンボス
を施して作製したスペーサシートを用いて上記と同様の
テストを行ったが、ウエハ４とこのスペーサシートとが
密着した状態となることはなかった。
【００３７】図６（Ｂ）には周囲から内側に複数のカッ
トライン５２が切り込まれた前記構成のスペーサシート
５が示されている。もちろん、このカットライン５２
は、図６（Ａ）のエンボスの場合と同様、前記した構成
のスペーサシート５に形成することに限定されない。ま
た、カットライン５２のパターンも、ウエハ４との密着
状態を元々生じさせないか、またはウエハとの密着状態
が生じたとしても、この密着状態を容易に解除すること
ができれば、いかなるパターン（たとえば、図６（Ｂ）
に示した周囲から中心に向かうパターン、あるいは周囲
から渦状に内側に向かうパターン）であってもよい。ス
ペーサシート５の材質等にもよるが、カットライン５２
の数は２〜３６本とすることが好ましい。
【００３８】次に、本発明のウエハの収納・取出し方法
を、ウエハの搬送システムに応用した場合を例に説明す
る。図７はウエハの収納・取出しシステムの概略構成を
示す斜視図、図８〜図１０は該システムによりウエハ収
納容器にウエハを順次収納していく手順について示す概
略図である。図７において、多数のウエハ４は、コンベ
ア７上を搬送され、順次容器への収納工程に至る。ま
た、ウエハ４を収納するための容器本体２も、別のコン
ベア８により収納工程に至り、ウエハ４が収納されるの
を順次待ち受ける。搬送ロボット９は、収納工程におい
て両コンベア７，８間に設置され、そのピックアップア
ーム９ａの先端に真空吸着部９ｂを備える。コンベア７
上を搬送されてくるウエハ４は、この真空吸着部９ｂに
よって真空吸着され、容器本体２内に収納される。ま
た、搬送ロボット１０は、搬送ロボット９と同じ構成を
有し、コンベア（図示せず）上を搬送されるスペーサシ
ート５および端部クッション材６Ａ，６Ｂを容器本体２
内に搬送し、収納する。
【００３９】このように構成される収納・取出しシステ
ムにおいて、コンベア８上を搬送されてきた空の容器本
体２には、最初に、搬送ロボット１０または手作業によ
って端部クッション材６Ｂが収納される。スペーサシー
ト５は、搬送ロボット１０の真空吸着部１０ｂにより吸
着されて、上方より容器本体２の収納空間２ｅ内に収め
られるが、このとき、搬送ロボット１０のピックアップ
アーム１０ａは、容器本体２に形成されたスリット（図
７では、符合２ｃ１で示すもの）によって、吸着したス
ペーサシート５を収納空間２ｅ底部まで入り込ませるこ
とが可能となる。搬送ロボット１０のピックアップアー
ム１０ａは、収納空間の底部で、真空吸着部１０ｂの吸
着状態を解除し、スペーサシート５を解放し、端部クッ
ション材６Ｂ上に載置した後、初期位置に戻る。
【００４０】次に、搬送ロボット９が稼働し、コンベア
７上のウエハ４を吸着し（図８の破線で示したピックア
ップアーム９ａ参照）、容器本体２の上方に移動した後
（図８の実線で示したピックアップアーム９ａ参照）、
ピックアップアーム９ａの先端を収納空間２ｅ内に下降
させ、収納したスペーサシート５上の近接した位置（あ
るいはスペーサシート５に面接触させた位置）で、ウエ
ハ４の吸着を解除する（図９参照）。この場合にも、容
器本体２のスリット２ｃ１とは異なるスリット（図７で
は、符合２ｃ３で示す）によって、搬送ロボット９のピ
ックアップアーム９ａは下降することが可能となる。上
記ピックアップアーム９ａの収納空間２ｅ内における下
降制御は、真空吸着部９ｂに設けた距離センサ（光セン
サ等）により、スペーサシート５との距離を計測して、
設定した位置でピックアップアーム９ａ先端を停止する
よう制御することができる。また、ピックアップアーム
９ａの関節部にトルクセンサを設けて、ウエハ４がスペ
ーサシート５に接触した時のトルクを検出して、ピック
アップアーム９ａを停止制御することもできる。ウエハ
４を解除した搬送ロボット９は、収納空間２ｅ内を上昇
して（図１０参照）、初期位置に戻り、次のウエハ搬送
のために待機する。
【００４１】次いで、容器本体２内のウエハ４上には、
搬送ロボット１０によってスペーサシート５が同様の方
法により載置され、この後、順次スペーサシート５とウ
エハ４は、交互に積層されていく。２５枚のウエハ４が
容器本体２内に収納され、その上にスペーサシート５が
置かれると、最後に搬送ロボット１０あるいは手作業に
よって端部クッション材６Ａが収納され、収納作業が完
了する。収納作業が完了した時点で、容器本体２は、コ
ンベア８で搬送され、次工程で蓋体３が装着されてウエ
ハの収納が完了する。なお、蓋体３の装着は、前記ウエ
ハの収納工程と共に自動化させることもできるし、作業
員による手作業とすることもできる。また、ウエハ４と
スペーサシート５を、同じロボットによってそれぞれ移
動することもできるし、これらを手作業によって収納し
ていくこともできる。一方、ウエハ収納容器内に収納さ
れたウエハ４を搬出する工程は、収納工程を逆に実行す
ることによって達成される。
【００４２】上記実施例では、ピックアップアーム９
ａ，１０ａの制御は、積み重ねの最上のウエハ４または
スペーサシート５との距離を距離センサにより計測し、
ピックアップアーム９ａ，１０ａの先端を積み重ねの最
上のウエハ４またはスペーサシート５の位置で停止させ
ているが、次のような制御を行うこともできる。すなわ
ち、ウエハ４またはスペーサ５の収納や取出しが行われ
るたびに、ウエハ４またはスペーサ５の厚み分だけ下降
または上昇する機構のテーブルに容器本体２に載置して
おく。これにより、積み重ねの最上のウエハ４またはス
ペーサシート４の位置は常に一定高さに保持される。こ
れにより、ピックアップアーム９ａ，１０ａは常に同じ
高さで、ウエハ４やスペーサシート５の収納や取出しを
行うことができる。
【００４３】前述した収納・取出しシステムにおいて
は、容器本体２、ウエハ４等は、各コンベアおよび搬送
ロボットによって正確に位置制御され、搬送されるの
で、ウエハ４が容器本体２への収納時に、円筒部２ｂに
接触して、これが原因で破損するような事故が起こるこ
とはない。
【００４４】
【発明の効果】以上述べたように本発明の収納構造で
は、積層されたウエハは、弾性部材に挟まれた状態で容
器内に収納され、運搬時の落下、振動により容器に与え
られる衝撃は、弾性部材によって吸収され、ウエハに伝
達されることが阻止され、その物理的な破損が防止され
る。
【００４５】また、各ウエハ間に介在させるスペーサシ
ートを導電性とした場合には、運搬時における振動でウ
エハとスペーサシートの間に摩擦が生じても、静電気は
発生しない（または、静電気が発生したとしても容器内
には止まらない）。したがって、ウエハに形成されたの
回路が静電気による損傷を受けることがない。
【００４６】スペーサシートを、ウエハとの密着状態を
元々生じさせない構造、またはウエハとの密着状態が生
じたとしても、この密着状態を容易に解除する構造とし
た場合には、ウエハの容器からの取り出しに際して、ウ
エハとスペーサシートとが一体化したままとなることが
なく、円滑なウエハの取り出し作業を行うことができ
る。
【００４７】さらに、弾性部材、スペーサシートおよび
ウエハからなる積層体を、前記容器内で上下方向から保
持することによって、容器内において各ウエハは、相互
に位置ずれを起こすことなく安定的に保持され、したが
って容器内面へのウエハの接触による破損や、摩擦によ
る静電気の発生をさらに抑止できる。
【００４８】さらに、ウエハを収納する容器の筒部に、
スリットを形成し、ウエハ等を搬送する収納・取出しシ
ステムのピックアップアームが入り込めるようにするこ
とで、ウエハを容器の筒部内に容易に収納し、またはウ
エハを該筒部内から容易に取り出すことができる。この
結果、従来、手作業によって収納する場合にウエハを容
器に接触させて破損させるといった事故がなくなると共
に、作業効率を飛躍的に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のウエハの収納構造に用いられる収納容
器の一例を一部破断して示す斜視図である。
【図２】図１のウエハ収納容器を半断面として示す側面
図である。
【図３】本発明の収納構造の一例を示す斜視図である。
【図４】図３におけるウエハ収納状態における収納容器
の概略側断面図である。
【図５】本発明の収納構造におけるウエハの保持状態を
示す一部拡大断面図である。
【図６】ウエハとの密着状態を元々生じさせない構造、
またはウエハとの密着状態が生じたとしても、この密着
状態を容易に解除する構造のスペーサシートを例示する
図であり、（Ａ）は表面にエンボスが形成されたスペー
サシートを示し、（Ｂ）は周囲から内側に複数のカット
ラインが切り込まれたスペーサシートを示す。
【図７】本発明のウエハの収納・取出し方法が応用され
る搬送システムの概略構成を示す斜視図である。
【図８】図７の搬送システムによりウエハを容器に収納
する前の状態を示す概略図である。
【図９】図７の搬送システムによりウエハを容器に収納
する途中の状態を示す概略図である。
【図１０】図７の搬送システムによりウエハを容器に収
納した後の状態を示す概略図である。
【符号の説明】
１ ウエハ収納容器 ２ 容器本体 ２ａ 基底部 ２ｂ 円筒部 ２ｃ１〜２ｃ４ スリット ２ｄ 傾斜状段部 ２ｅ 収納空間 ３ 蓋体 ３ａ 円筒部 ３ｂ 角筒部 ３ｃ リブ ３ｄ 円周溝 ３ｅ 傾斜溝 ４ ウエハ ５ スペーサシート ５１ エンボス ５２ カットライン ６Ａ，６Ｂ 端部クッション材 ７，８ コンベア ９，１０ 搬送ロボット ９ａ，１０ａ ピックアップアーム ９ｂ，１０ｂ 真空吸着部

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体ウエハが多数枚重ねられて収納さ
    れた導電性材料からなる容器と、前記半導体ウエハ間に
    介在したスペーサシートと、前記多数枚重ねられて収納
    された半導体ウエハの上下端部に配置された端部クッシ
    ョン材と、からなることを特徴とする半導体ウエハの収
    納構造。
  2. 【請求項２】 前記スペーサシートが、表面抵抗が１０
    ６Ω／□以下の導電性を有することを特徴とする請求項
    １に記載の半導体ウエハの収納構造。
  3. 【請求項３】 前記スペーサシートが、ポリピロールを
    複合化した繊維を用いた導電性の合成紙であることを特
    徴とする請求項１または２に記載の半導体ウエハの収納
    構造。
  4. 【請求項４】 前記スペーサシートが、その少なくとも
    一方の面に、複数の凹状部および／または凸状部を有す
    ることを特徴とする請求項１〜３に記載の半導体ウエハ
    の収納構造。
  5. 【請求項５】 前記スペーサシートが、スペーサ周囲か
    ら内側に切り込まれたカットラインを有することを特徴
    とする請求項１〜３に記載の半導体ウエハの収納構造。
  6. 【請求項６】 前記容器が、表面抵抗が１０６Ω／□以
    下であることを特徴とする請求項１〜５に記載の半導体
    ウエハの収納構造。
  7. 【請求項７】 前記容器が、半導体ウエハ収納用の筒部
    を有し、該筒部は、前記半導体ウエハおよび前記スペー
    サシートを収納・取出しするためのピックアップアーム
    が入り込めるスリットを有することを特徴とする請求項
    １〜６に記載の半導体ウエハの収納構造。
  8. 【請求項８】 １つのピックアップアームを用いて、少
    なくとも１つのスリットを有する筒部を持つ容器の該筒
    部内に、半導体ウエハ、スペーサシートを収納し、ある
    いは該筒部内からこれらを取り出す、半導体ウエハの収
    納・取出し方法であって、 前記ピックアップアームは、前記少なくとも１つのスリ
    ットに入り込み、前記半導体ウエハと前記スペーサシー
    トとを、交互に、前記筒部内に収納し、または前記筒部
    内から取り出すことを特徴とする半導体ウエハの収納・
    取出し方法。
  9. 【請求項９】 ２つのピックアップアームを用いて、少
    なくとも１つのスリットを有する筒部を持つ容器の該筒
    部内に、半導体ウエハ、スペーサシートを収納し、ある
    いは該筒部内からこれらを取り出す、半導体ウエハの収
    納・取出し方法であって、 前記ピックアップアームのうち一方は、前記スリットに
    入り込み、前記ピックアップアームのうち他方は、前記
    一方のピックアップアームが入り込むスリットと、同一
    のスリットまたは異なるスリットに入り込み、前記半導
    体ウエハと前記スペーサシートとを、交互に、前記筒部
    内に収納し、または前記筒部内から取り出すことを特徴
    とする半導体ウエハの収納・取出し方法。
JP20426196A 1995-08-30 1996-07-15 半導体ウエハの収納構造および半導体ウエハの収納・取出し方法 Pending JPH09129719A (ja)

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