JP2009190735A - 半導体ウエハの収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】落下等の衝撃が加わったとしても、半導体ウエハの割れを防止することを目的とする。
【解決手段】ウエハ設置部４より外側の周辺部分が、ウエハ設置部４のトレイ下面よりも上方に形成された突起部５と、ウエハ設置部４のトレイ下面よりも下方に形成された突起部６を有することにより、クッションとウエハ設置部４のトレイ下面との間に隙間が生じ、落下時の衝撃が、直接、ウエハ設置部４のトレイ下面を通じて半導体ウエハ３に伝達されることを防ぎ、半導体ウエハ３の割れを防止できる。
【選択図】図３

Description

本発明は、半導体ウエハの運搬、保管に使用する半導体ウエハの収納容器に係るものである。

従来の半導体ウエハの収納容器について、図７〜図１０を用いて説明する。
図７は従来の収納容器の要部を示す図であり、図７（ａ）は容器本体下部の構造を示す平面図、図７（ｂ）は図７（ａ）のＡ−Ａ断面図、図７（ｃ）は容器本体下部における半導体ウエハ収納状態を示す平面図、図７（ｄ）は図７（ｃ）のＡ−Ａ断面図である。図８は従来の収納容器における半導体ウエハ収納状態を示す図であり、図８（ａ）は収納方法を示す断面図、図８（ｂ）は保持具により保持された状態を示す断面図である。図９は従来の収納容器におけるトレイの構造を示す図、図１０は従来の収納容器におけるトレイが変形する様子を説明する図である。

従来から、例えばガリウム砒素ウエハのようにシリコンウエハよりさらに脆弱で割れやすいウエハを扱うときには、半導体ウエハの上下面をウエハ保護シートではさんで環状の立ち上がり部分を有するトレイ１ａ内に収容し、その半導体ウエハ３を収容したトレイを２段以上積み重ね、クッションを介してその積層体を格納容器に格納する収納容器を用いている。この収納構造によれば、上段のトレイ１ａの立ち上がり部分を下段のトレイ１ａに形成された環状の立ち上がり部分上に配置するため、トレイ内の半導体ウエハに重量の負担をかけないので、多段に積層しても各トレイ内の半導体ウエハ３が破損せず、また、運搬時の振動や不慮の落下による衝撃に際しては、上下段のトレイに形成された環状立ち上がり部分の重ね合わせ部分の緩衝作用によって衝撃、振動が吸収されて脆弱なウエハであっても物理的な破損が防止される（例えば、特許文献１参照）。
特開２００５−１９１４１９号公報

しかしながら、従来の半導体ウエハの収納容器においては以下の問題が起こる。従来の半導体ウエハの収納容器における問題点について図７，図８を用いて詳細を説明する。
図７，図８に示すように、この収納容器２１は、容器本体２２に蓋体２３が覆われた（被せられた）状態で、蓋体２３を容器本体２２に保持（固定）するための保持具２４とから構成されている。なお、この保持具２４は側面視がコの字形状にされたもので、収納容器２１の周囲に複数箇所（例えば、２〜４箇所）に設けて容器本体２２と蓋体２３とを上下から一体的に把持するものである。

上記容器本体２２は、円形の底板（支持板でもある）３１と、この底板３１の上面の左右にそれぞれ所定高さでもって立設された平面視が円弧状の保持部材（位置決め部材ともいえる）３２とから構成されている。これら両保持部材３２の内側に、複数個のトレイ１ａが積層して収納されるようにされている。

また、上記蓋体２３は、円形の蓋板３５と、この蓋板３５の下面に設けられて上記左右の保持部材３２を外側から且つ全周囲に亘って囲うようにされた円筒状の側壁部材３６とから構成されている。なお、この側壁部材３６は、容器本体２２の保持部材３２と略同一高さにされている。

次に、上記収納容器２１に半導体ウエハ３を収納する方法について、図７，図８に基づき説明する。
まず、図７（ａ）および図７（ｂ）に示すように、空状態の容器本体２２を準備し、次に図７（ｃ）および図７（ｄ）に示すように、その底板３１の上面（容器内底面である）にポリエチレンフォームなどで構成された円形の下部クッション材４１を緩衝用として配置した後、トレイ１ａを、２つの保持部材３２間に収納する。次に、上下面をウエハ保護シート２ではさんだ半導体ウエハ３をトレイ１ａの上に載せる。これを繰り返し、所定数のトレイ１ａを積み重ねて収納する。そして、半導体ウエハ３が収納されたトレイ１ａの最上段の上には、空のトレイ１ａを蓋として設置する。

次に、図８（ａ）に示すように、積層された最上部の空トレイ１ａの上面に円形の上部クッション材４２を配置した後、蓋体２３でトレイ１の全体を覆う（蓋体を被せる）。勿論、蓋体２３は、その側壁部材３６が両保持部材３２の外周を覆うように配置される。

次に、図８（ｂ）に示すように、複数個の保持具２４により、蓋体２３を容器本体２２に対して固定する（把持させる）。
このように、容器本体２２内に下部クッション材４１と上部クッション材４２を介在させ、図８（ｂ） に示すように蓋体２３で施蓋することにより下部クッション材４１、上部クッション材４２を圧縮し、その圧縮力を各段のトレイ１ａの積層体にのみ作用させて半導体ウエハ３を重量や締め付け力による破損から保護するようにしている。

図９にトレイ１ａの構造を示す。トレイ１ａは円形の合成樹脂シートの周縁部分を一定範囲でシートと同心上の環状に立ち上がらせて、その立ち上がり部分をトレイ１ａの突起部５ａとし、環状の突起部５ａ内に半導体ウエハ３の設置部４ａを形成したものである。環状の突起部５ａは、断面が中空の台形をなし、内周壁面と、外周壁面との立ち上がり角度を末広がり状に拡径させている。

このように図７，図８に示す収納容器では、従来のトレイ１ａの形状が、ウエハ設置部４ａより外側の周辺部分において、ウエハ設置面４ａのトレイ下面よりも上方に突起しているだけであるため、最下段にあるトレイ１ａのウエハ設置部４ａが下部クッション４１と直接に面で接する構造となっており（図８（ｂ）：は線囲み部ｙ）、収納容器に収納された状態で輸送等する際の落下等の衝撃がその面を通じて半導体ウエハ３に伝達し、ウエハが割れることがある。実際に、収納容器の高さを徐々に上げて底面から落下させた場合、一番下のトレイ１ａに収納された半導体ウエハ３が最初に割れる。

また、トレイ１ａの積層体を下部クッション４１と上部クッション４２を介して容器本体２２に格納し蓋体２３で施蓋をする構造のため、蓋を閉めたときに各段のトレイ１ａの重なり部分に作用する圧縮力や、落下等の衝撃値によって、図１０に示すように、各段のトレイ１ａの重なり部分が変形し、その変移がウエハ設置部４ａへの方向に向かった場合、ウエハ設置部のトレイ１ａが変形する（図１０は線囲み部ｚ）。そのため変形したウエハ設置部４ａのトレイ１ａとその上段のトレイ１ａとの間の半導体ウエハ３が圧迫され、半導体ウエハ３が割れるという問題があった。

本発明は上記問題点に鑑みたものであり、落下等の衝撃が加わったとしても、半導体ウエハの割れを防止することを目的とする。

上記した目的を達成するために、請求項１に係る半導体ウエハの収納容器は、半導体ウエハを上下面が半導体保護シートではさまれた状態で搭載されたトレイを複数段積層して収納する半導体ウエハの収納容器であって、周辺部に設けられる円筒型の側壁部材と、前記収納容器の内面側に相当する部分にクッション材が設けられる蓋体と、前記収納容器の内面側に相当する部分にクッション材が設けられる底板とを有し、前記トレイが、前記半導体ウエハを搭載するウエハ設置部と、前記ウエハ設置部より外周部に形成されて前記ウエハ設置部のトレイ下面よりも上方に突出する第１の突起部と、前記第１の突起部より外周部に形成されて前記ウエハ設置部のトレイ下面よりも下方に突出する第２の突起部とを備えることを特徴とする。

請求項２に係る半導体ウエハの収納容器は、半導体ウエハを上下面が半導体保護シートではさまれた状態で搭載されたトレイを複数段積層して収納する半導体ウエハの収納容器であって、周辺部に設けられる円筒型の側壁部材と、前記収納容器の内面側に相当する部分にクッション材が設けられる蓋体と、前記収納容器の内面側に相当する部分にクッション材が設けられる底板とを有し、前記トレイが、前記半導体ウエハを搭載するウエハ設置部と、前記ウエハ設置部より外周部に形成されて前記ウエハ設置部のトレイ下面よりも上方に突出する第１の突起部と、前記ウエハ設置部と前記第１の突起部とを連結する弾性率がトレイ材料の弾性率より小さい連結部とを備えることを特徴とする。

請求項３に係る半導体ウエハの収納容器は、請求項２記載の半導体ウエハの収納容器において、前記第１の突起部より外周部に形成されて前記ウエハ設置部のトレイ下面よりも下方に突出する第２の突起部をさらに備えることを特徴とする。

請求項４に係る半導体ウエハの収納容器は、請求項２または請求項３のいずれかに記載の半導体ウエハの収納容器において、前記連結部が接着剤であることを特徴とする。
請求項５に係る半導体ウエハの収納容器は、請求項２または請求項３のいずれかに記載の半導体ウエハの収納容器において、前記連結部が溝付リングであることを特徴とする。

請求項６に係る半導体ウエハの収納容器は、請求項２または請求項３のいずれかに記載の半導体ウエハの収納容器において、前記連結部が、前記ウエハ設置部と前記第１の突起部との間の隙間に設けた状態で接着剤付きフィルムを介して連結されることを特徴とする。

以上により、落下等の衝撃が加わったとしても、半導体ウエハの割れを防止することができる。

本発明によれば、ウエハ設置部より外側の周辺部分が、ウエハ設置部のトレイ下面よりも上方に形成された突起部と、ウエハ設置部のトレイ下面よりも下方に形成された突起部を有することにより、クッションとウエハ設置部のトレイ下面との間に隙間が生じ、落下時の衝撃が、直接、ウエハ設置部のトレイ下面を通じて半導体ウエハに伝達されることを防ぎ、半導体ウエハの割れを防止できる。

また、ウエハ設置部と周辺部分の突起部とを、トレイの材質より弾性率の小さい材質を介して連結することにより、蓋を閉めたときに各段のトレイの重なり部分に作用する圧縮力や、落下時の衝撃によって、各段のトレイ重なり部分が変形してその変移がウエハ設置部への方向に向かっても、弾性率の小さい連結部でその応力を吸収するため、ウエハ設置部のトレイの変形量を小さくでき、半導体ウエハの割れを防止できる。

以下、本発明の実施の形態における半導体ウエハの収納容器と収納方法について、図１〜図３を参照しながら説明する。図１は実施の形態１における収納容器の要部を示す図であり、図１（ａ）は容器本体下部の構造を示す平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図、図１（ｃ）は容器本体下部における半導体ウエハ収納状態を示す平面図、図１（ｄ）は図１（ｃ）のＡ−Ａ断面図である。図２は実施の形態１の収納容器における半導体ウエハ収納状態を示す図であり、図２（ａ）は収納方法を示す断面図、図２（ｂ）は保持具により保持された状態を示す断面図である。図３は実施の形態１の収納容器におけるトレイの構造を示す図である。

図１，図２に示すように、この収納容器２１は、容器本体２２に蓋体２３が覆われた（被せられた）状態で、蓋体２３を容器本体２２に保持（固定）するための保持具２４とから構成されている。なお、この保持具２４は側面視がコの字形状にされたもので、その周囲に複数箇所（例えば、２〜４箇所）に設けられて容器本体２２と蓋体２３とを上下から一体的に把持するものである。

上記容器本体２２は、円形の底板（支持板でもある）３１と、この底板３１の上面の左右にそれぞれ所定高さでもって立設された平面視が円弧状の保持部材（位置決め部材ともいえる）３２とから構成されている。これら両保持部材３２の内側に、複数個のトレイ１が積層して収納されるようにされている。

また、上記蓋体２３は、円形の蓋板３５と、この蓋板３５の下面に設けられて上記左右の保持部材３２を外側から且つ全周囲に亘って囲うようにされた円筒状の側壁部材３６とから構成されている。なお、この側壁部材３６は、容器本体２２の保持部材３２と略同一高さにされている。

次に、上記収納容器に半導体ウエハ３を収納する方法について、図１，図２に基づき説明する。
まず、図１（ａ）および図１（ｂ）に示すように、空状態の容器本体２２を準備し、次に図１（ｃ）および図１（ｄ）に示すように、その底板３１の上面（容器内底面である）にポリエチレンフォームなどで構成された円形の下部クッション材４１を緩衝用として配置した後、トレイ１を両保持部材３２間に収納する。次に、上下面をウエハ保護シート２ではさんだ半導体ウエハ３をトレイ１の上に載せる。これを繰り返し、所定数のトレイ１を積み重ねて収納する。そして、半導体ウエハが収納されたトレイ１の最上段の上には、空のトレイ１をふたとして設置する。

次に、図２（ａ）に示すように、積層された最上部の空トレイ１の上面に円形の上部クッション材４２を配置した後、蓋体２３でトレイ１の全体を覆う（蓋体を被せる）。勿論、蓋体２３は、その側壁部材３６が両保持部材３２の外周を覆うように配置される。

次に、図２（ｂ）に示すように、複数個の保持具２４により、蓋体２３を容器本体２２に対して固定する（把持させる）。
容器本体２２内に下部クッション材４１と上部クッション材４２を介在させ、図２（ｂ）に示すように蓋体２３で施蓋することにより、下部クッション材４１と上部クッション材４２を圧縮し、その圧縮力を各段のトレイ１の積層体にのみ作用させて半導体ウエハ３を重量や締め付け力による破損から保護する。半導体ウエハ３の容器本体２２、蓋体２３、下部クッション材４１、上部クッション材４２、ウエハ保護シート２は、いずれも静電気対策として導電処理が施されている。

容器本体２２、蓋体２３は、導電性フィラーを添加した導電性プラスチックス、あるいはポリマーアロイ処理した導電性プラスチックスを素材として一体成形されている。添加する導電性フィラーとしては、カーボンブラック、グラファイトカーボン、グラファイト、炭素繊維、金属粉末、金属繊維、金属酸化物の粉末、金属コートした無機質微粉末、有機質微粉末および繊維が使用できる。

図３にトレイ１の構造を示す。トレイ１は円形の合成樹脂シート（たとえばポリエチレンテレフタート、ポリアミド、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレンなどのシート）から形成されており、合成樹脂シートの周縁部分を一定範囲でトレイ１と同心上の環状に立ち上がらせて、その立ち上がり部分をトレイ１の突起部５とし、環状の突起部５内に半導体ウエハ３のウエハ設置部４を形成したものである。環状の突起部５は、断面が中空の台形をなし、内周壁面と、外周壁面との立ち上がり角度を末広がり状に拡径させている。

また、その、環状の突起部５の外側の周縁部分の一定範囲をトレイ１と同心上の環状に、ウエハ設置部４のトレイ１の下面よりも突出するまで窪ませることにより突起部６を形成し、容器本体２２の最下段に位置するトレイ１と下部クッション４１との間に隙間を生じさせることができる。このように、突起部６を形成して容器本体２２の最下段に位置するトレイ１と下部クッション４１との間に隙間を生じさせることにより、落下時の衝撃が、直接、ウエハ設置部のトレイ下面を通じてウエハに伝達されることを防ぎ、ウエハの割れを防止できる。

トレイ１の導電処理に際しては、トレイ１に加工する合成樹脂シートに導電性粒子を含む樹脂材料を用いればよいし、表面に導電性または、帯電防止の物質を塗布しても良い。
トレイ１を上下段に積層したときには、図２に示すように上段に位置するトレイ１の突起部５の内面が鞘となって下段に位置するトレイ１の突起部５の上面が一定の高さまで受け入れられ、各段のトレイ１のウエハ設置部４上には一定高さのウエハ収納空間が形成される。

上下に積層された各段のトレイ１の各収納部に形成される収納空間の高さにあわせてウエハ保護シート２間に挟んだ半導体ウエハ３の積層厚みを設定し、その収納空間内に半導体ウエハ３を収納する。

次に、本発明の実施の形態２について図４を用いて説明する。
図４は実施の形態２の収納容器におけるトレイの構造を示す図である。
実施の形態２で使用されるトレイ１ｂは、実施の形態１に示したトレイの形状において、図４に示すように、ウエハ設置部４より外側の周辺部分が、ウエハ設置部４のトレイ下面よりも上方に形成された突起部５と、ウエハ設置部４のトレイ下面よりも下方に形成された突起部６を有しており、かつ、突起部５、突起部６が設けられた周辺部分とウエハ設置部４とが、硬化後の弾性率がトレイ１ｂ材料の弾性率より小さい接着剤７で連結されている。

このように、突起部５、突起部６周辺部分とウエハ設置部４とが、硬化後の弾性率がトレイ１ｂ材料の弾性率より小さい接着剤７で連結されることにより、蓋を閉めたときや、落下したとき等に、上段に位置するトレイ１ｂの突起部５と、上段に位置するトレイ１ｂの突起部５内に嵌合した下段に位置するトレイ１ｂの突起部５との間を緊締させる以上の応力が発生した場合、各段のトレイ１ｂ重なり部分が変形してその変移がウエハ設置部４への方向に向かっても、弾性率の小さい連結部でその応力を吸収するため、ウエハ設置部のトレイ１ｂの変形量を小さくすることができ、ウエハの割れを防止することができる。

次に本発明の実施の形態３について図５を用いて説明する。
図５は実施の形態３の収納容器におけるトレイの構造を示す図である。
実施の形態３で使用されるトレイ１ｃは、実施の形態１に示したトレイの形状において、図５に示すように、ウエハ設置部４より外側の周辺部分が、ウエハ設置部４のトレイ下面よりも上方に形成された突起部５と、ウエハ設置部４のトレイ下面よりも下方に形成された突起部６を有しており、かつ、突起部５、突起部６が設けられた周辺部分とウエハ設置部４とが、弾性率がトレイ１ｃ材料の弾性率より小さい溝付きリング８で嵌め合いにて連結されている。ここで、溝付きリング８は、樹脂でできており、弾性率がトレイ１ｃ材料の弾性率より小さい。溝は、トレイ１ｃの厚みと同じか若干小さめの溝幅であり、溝深さは約１〜３ｍｍである。リング状になっている溝付きリング８の外側の溝に、突起部５、突起部６が設けられた周辺部分の外周の一部が嵌めあわされ、また、溝付きリング８の内側の溝に、ウエハ設置部４の外周の一部が嵌めあわされている。

このように、突起部５、突起部６周辺部分とウエハ設置部４とが、弾性率がトレイ１ｃ材料の弾性率より小さい溝付きリング８で嵌め合いにて連結されることにより、蓋を閉めたときや、落下したとき等に、上段に位置するトレイ１ｃの突起部５と、上段に位置するトレイ１ｃの突起部５内に嵌合した下段に位置するトレイ１ｃの突起部５との間を緊締させる以上の応力が発生した場合、各段のトレイ１ｃ重なり部分が変形してその変移がウエハ設置部４への方向に向かっても、弾性率の小さい連結部でその応力を吸収するため、ウエハ設置部４のトレイ１ｃの変形量を小さくすることができ、ウエハの割れを防止することができる。

次に本発明の実施の形態４について図６を用いて説明する。
図６は実施の形態４の収納容器におけるトレイの構造を示す図である。
実施の形態４で使用されるトレイ１ｄは、実施の形態１に示したトレイの形状において、図６に示すように、ウエハ設置部４より外側の周辺部分が、ウエハ設置部４のトレイ下面よりも上方に形成された突起部５と、ウエハ設置部４のトレイ下面よりも下方に形成された突起部６を有しており、かつ、ウエハ設置部と周辺部分の突起部との間には隙間を有し、突起部５、突起部６が設けられた周辺部分とウエハ設置部４との隙間が、弾性率がトレイ１ｄ材料の弾性率より小さい接着剤付きフィルム９を介して連結されている。ここで、接着剤フィルムは、接着剤とフィルムの積層にて構成されており、接着剤とフィルムそれぞれの弾性率は、トレイ１ｄ材料の弾性率より小さい。リング状になっている接着剤つきフィルムの一方の開口部と、突起部５、突起部６が設けられた周辺部分の外周の一部が貼りあわされ、また、接着剤つきフィルムの他方の開口部と、ウエハ設置部４の外周の一部が貼りあわされている。

このように、突起部５、突起部６周辺部分とウエハ設置部４とが、硬化後の弾性率がトレイ１ｄ材料の弾性率より小さい接着剤付きフィルム９を介して連結されることにより、蓋を閉めたときや、落下したとき等に、上段に位置するトレイ１ｄの突起部５と、上段に位置するトレイ１ｄの突起部５内に嵌合した下段に位置するトレイ１ｄの突起部５との間を緊締させる以上の応力が発生した場合、各段のトレイ１ｄ重なり部分が変形してその変移がウエハ設置部への方向に向かっても、弾性率の小さい連結部でその応力を吸収するため、ウエハ下面のトレイ１ｄの変形量を小さくすることができ、ウエハの割れを防止することができる。

実施の形態２〜実施の形態４では、弾性率が低い接着剤，リング，フィルムでウエハ搭載部と周辺部を連結する構成について説明したが、連結部の構成はこれに限らず、ウエハ搭載部および周辺部より低い弾性率を備えた連結部で連結すれば良い。また、突起部６を設けた上で、連結部を設ける構成を説明したが、突起部６または連結部のみを設ける構成であっても、ウエハの割れを防止する効果がある。

本発明は、落下等の衝撃が加わったとしても、半導体ウエハの割れを防止することができ、半導体ウエハの運搬、保管に使用する半導体ウエハの収納容器等に有用である。

実施の形態１における収納容器の要部を示す図 実施の形態１の収納容器における半導体ウエハ収納状態を示す図 実施の形態１の収納容器におけるトレイの構造を示す図 実施の形態２の収納容器におけるトレイの構造を示す図 実施の形態３の収納容器におけるトレイの構造を示す図 実施の形態４の収納容器におけるトレイの構造を示す図 従来の収納容器の要部を示す図 従来の収納容器における半導体ウエハ収納状態を示す図 従来の収納容器におけるトレイの構造を示す図 従来の収納容器におけるトレイが変形する様子を説明する図

符号の説明

１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ トレイ
２ ウエハ保護シート
３ 半導体ウエハ
４、４ａ ウエハ設置部
５、５ａ 突起部
６ 突起部
７ 接着剤
８ 溝付リング
９ 接着剤付フィルム
２１ 収納容器
２２ 容器本体
２３ 蓋体
２４ 保持具
３１ 底板
３２ 保持部材
３５ 蓋板
３６ 側壁部材
４１ 下部クッション材
４２ 上部クッション材

Claims (6)

1. 半導体ウエハを上下面が半導体保護シートではさまれた状態で搭載されたトレイを複数段積層して収納する半導体ウエハの収納容器であって、
   周辺部に設けられる円筒型の側壁部材と、
   前記収納容器の内面側に相当する部分にクッション材が設けられる蓋体と、
   前記収納容器の内面側に相当する部分にクッション材が設けられる底板と
   を有し、前記トレイが、
   前記半導体ウエハを搭載するウエハ設置部と、
   前記ウエハ設置部より外周部に形成されて前記ウエハ設置部のトレイ下面よりも上方に突出する第１の突起部と、
   前記第１の突起部より外周部に形成されて前記ウエハ設置部のトレイ下面よりも下方に突出する第２の突起部と
   を備えることを特徴とする半導体ウエハの収納容器。
2. 半導体ウエハを上下面が半導体保護シートではさまれた状態で搭載されたトレイを複数段積層して収納する半導体ウエハの収納容器であって、
   周辺部に設けられる円筒型の側壁部材と、
   前記収納容器の内面側に相当する部分にクッション材が設けられる蓋体と、
   前記収納容器の内面側に相当する部分にクッション材が設けられる底板と
   を有し、前記トレイが、
   前記半導体ウエハを搭載するウエハ設置部と、
   前記ウエハ設置部より外周部に形成されて前記ウエハ設置部のトレイ下面よりも上方に突出する第１の突起部と、
   前記ウエハ設置部と前記第１の突起部とを連結する弾性率がトレイ材料の弾性率より小さい連結部と
   を備えることを特徴とする半導体ウエハの収納容器。
3. 前記第１の突起部より外周部に形成されて前記ウエハ設置部のトレイ下面よりも下方に突出する第２の突起部をさらに備えることを特徴とする請求項２記載の半導体ウエハの収納容器。
4. 前記連結部が接着剤であることを特徴とする請求項２または請求項３のいずれかに記載の半導体ウエハの収納容器。
5. 前記連結部が溝付リングであることを特徴とする請求項２または請求項３のいずれかに記載の半導体ウエハの収納容器。
6. 前記連結部が、前記ウエハ設置部と前記第１の突起部との間の隙間に設けた状態で接着剤付きフィルムを介して連結されることを特徴とする請求項２または請求項３のいずれかに記載の半導体ウエハの収納容器。

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